JP2010009657A - 熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、磁気記録装置、並びに光照射ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気ディスクに対する高密度記録を実現する。
【解決手段】主磁極2のネックハイト部2aをマスクとして、SiO2膜46、52及びTa2O5膜144のネックハイト部2aと重ならない部分を除去し、SiO2膜46のうち除去されなかった部分を芯部として光照射ヘッドを作成するので、芯部の位置及び形状をネックハイト部に合わせることが可能である。したがって、レーザ光が照射される部分と同一範囲に、ネックハイト部から磁場を印加することができるので、保磁力の高い磁気ディスク(熱アシストを必要とする磁気ディスク)に対する情報の記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録の実現が可能である。
【選択図】図11
【解決手段】主磁極2のネックハイト部2aをマスクとして、SiO2膜46、52及びTa2O5膜144のネックハイト部2aと重ならない部分を除去し、SiO2膜46のうち除去されなかった部分を芯部として光照射ヘッドを作成するので、芯部の位置及び形状をネックハイト部に合わせることが可能である。したがって、レーザ光が照射される部分と同一範囲に、ネックハイト部から磁場を印加することができるので、保磁力の高い磁気ディスク(熱アシストを必要とする磁気ディスク)に対する情報の記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録の実現が可能である。
【選択図】図11
Description
本発明は熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、磁気記録装置、並びに光照射ヘッドに関し、特に近接場光を利用して磁気記録を行う熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、上記熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置を具備する磁気記録装置、並びに熱アシスト方式の磁気記録に用いられる光照射ヘッドに関する。
情報化社会の進展に伴い、コンピュータシステムで扱う情報量は増大の一途を辿っている。この情報量の増大に対応するために、情報記録装置(例えば、ハードディスク装置(HDD:Hard Disk Drive))においては、記録媒体(ハードディスク)に対する情報記録を飛躍的に高い記録密度で行うことが可能な技術の出現が待望されている。
HDDにおける高密度化のためには、単位情報が記録される磁気記録媒体のビットサイズを縮小する必要がある。この場合、記録媒体内の結晶粒のサイズを小さくする必要があるが、結晶粒のサイズを小さくすると、記録ビットの熱的不安定性が増大するので、媒体の材料としては保磁力の大きい材料を採用することが望ましい。
しかるに、HDDが有する磁気記録ヘッドから記録媒体に印加する磁場の強度には限界があるため、保磁力の大きい材料で磁気記録媒体を形成してしまうと、記録自体が困難になるおそれがある。
これを克服するため、最近では、小さな記録ビットの熱的不安定性限界を克服できる保磁力の大きい記録媒体を使用し、記録時には、記録媒体に局部的に熱を加えることで記録保磁力を低下させる方法が開発されている(例えば、特許文献1、2等参照)。
この方法は、熱補助磁気記録(heat-assisted magnetic recording)方式と呼ばれている。この熱補助磁気記録方式によれば、磁気記録媒体の結晶粒を小さくしても、熱的安定性を確保することが可能である。この方式で用いるヘッド(熱補助磁気記録ヘッド)には、磁気記録ヘッドのほか、光を照射して磁気記録媒体を局部的に加熱することにより媒体の保磁力を一時的に低下させる近接場発生光伝送モジュール(光照射ヘッド)が設けられている。
ここで、一般的に、高密度記録のためには記録磁場強度の勾配が求められる。熱補助磁気記録方式での実効的な磁場の勾配は、次式(1)のように通常の磁気記録による磁場の勾配dHw/dxと、熱を加えたことによる磁場勾配dHw,media/dxとの和により表される。
したがって、上記熱を加えたことによる磁場勾配(dHw,media/dx)を大きくすることで、記録密度の高密度化が期待でき、そのためには、ダイナミックな保磁力(dynamic coercivity)の温度勾配(dHc/dT)が大きい媒体、及び急峻な温度分布(dT/dx)にすることが可能な光照射ヘッドが必要である。
この場合の記録方式としては、(1)光照射ヘッドから射出されるレーザ光のスポットサイズが磁場分布より大きい方式(磁気ドミナント方式)、(2)レーザ光のスポットサイズが磁場分布より小さい方式(光ドミナント方式)、(3)レーザ光のスポットサイズと磁場分布とがほぼ同一サイズの方式、に大別することできる。このうち、(3)の方式は、熱減磁の問題が少なく、より確実に高密度化が実現できる方式であると考えられるが、レーザ光のスポットサイズと磁場分布を同一サイズにする場合、スポットと磁場の位置合わせを正確に(高精度に)行うことが要求される。
この位置合わせにおいては、磁気記録ヘッドの磁気記録媒体と近接対向する部分(磁場を印加する部分)と光照射ヘッドの光を射出する部分を、磁気記録媒体のトラックピッチ以下にする必要がある。また、磁気記録媒体のトラックピッチは、高密度記録に伴って益々狭くなり、0.1μm以下になると予想される。
これに対し、従来、熱補助磁気記録ヘッド装置を製造する場合には、磁気記録ヘッドと光照射ヘッドを個別に製造した後、位置合わせしつつ、両ヘッドの位置を固定する必要があった。しかしながら、このような製造方法では、高精度な位置合わせは非常に困難である。
なお、この場合の光照射ヘッドとしては、例えば、特開平10−206660号公報のように、先鋭化した光ファイバの先端に開口を設けるものを採用することができる。また、光照射ヘッドとしてはAppl.Phys.let.,Vol74,No.15のように、ビームスポットサイズと伝搬効率をともに向上させる光ファイバを採用することもできる。しかるに、光照射ヘッドの製造の際には、高記録密度化に対応するために極めて高い加工精度が必要となるが、上記光照射ヘッドでは、当該加工精度を満足できないおそれがある。
本発明は、かかる事情の下になされたものであり、高密度記録が可能な熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法を提供することを目的とする。また、記憶容量の大容量化を図ることが可能な磁気記録装置を提供することを目的とする。更に、近接場光が射出される位置及び範囲を適切に設定することが可能な光照射ヘッドを提供することを目的とする。
本明細書記載の磁気記録ヘッド装置は、第1方向に垂直な平面方向に広がる平板状の磁気記録本体部と、前記磁気記録本体部の一部から前記平面内の第2方向に突出した突起部と、を有する磁気記録部と、前記磁気記録部の前記第1方向一側に設けられた第1の屈折率を有する光照射本体部と、前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する芯部と、を有し、前記芯部から近接場光を射出する光照射部と、を備え、前記芯部は、前記突起部と平行かつ前記突起部の前記第1方向一側に配置され、前記第2方向を長手方向とし、前記第2方向に前記平面内で直交する第3方向に関する前記突起部の幅と、前記芯部の前記第3方向に関する幅とが同一となっている。
これによれば、芯部は、突起部の第1方向一側に配置されていることから、芯部を介して射出される近接場光の第3方向に関する位置と、突起部の第3方向に関する位置を同一とすることができ、また、突起部の第3方向に関する幅と、芯部の第3方向に関する幅とは同一であることから、近接場光の照射領域の第3方向に関する幅と、突起部から印加される磁気の幅をほぼ一致させることができる。これにより、近接場光が照射された部分と同一範囲に、突起部から磁場を印加することができるので、保磁力の高い記録媒体に対する情報記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録の実現が可能となる。
本明細書記載の磁気記録ヘッド装置の製造方法は、第1の屈折率を有する第1層、前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2層、前記第1の屈折率を有する第3層を第1方向に順に積層して積層部を形成するステップと、前記第1方向に垂直な平面方向に広がる平板状の磁気記録本体部と、前記磁気記録本体部の一部から前記平面内の第2方向に突出した突起部と、を有する磁気記録部のうち、前記突起部が前記積層部上に位置するように前記磁気記録部を形成するステップと、前記磁気記録部の突起部をマスクとして、前記積層部の、前記第1方向に関して前記突起部と重ならない部分を除去するステップと、前記第2層の前記除去するステップで除去されなかった一部を芯部として、近接場光を射出する光照射部を作成するステップと、を含んでいる。
これによれば、磁気記録部の突起部をマスクとして、積層部の突起部と重ならない部分を除去し、第2層のうち除去されなかった部分を芯部として、近接場光を射出する光照射部を作成するので、芯部の位置及び形状を磁気記録部の突起部に合わせることが可能である。したがって、近接場光が照射された部分と同一範囲に、突起部から磁場を印加することができるので、保磁力の高い記録媒体に対する情報記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録が可能となる。
本明細書記載の磁気記録装置は、上記熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置と、前記磁気記録ヘッド装置を介してデータが書き込まれる磁気記録媒体と、を備える。
これによれば、保磁力の高い記録媒体に対する情報記録を高精度で行うことができるので、保磁力の高い記録媒体を用いることで高密度記録を実現することが可能となる。
本明細書記載の光照射ヘッドは、第1の屈折率を有する光照射本体部と、前記光照射本体部の一部に設けられた前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する芯部と、を備え、前記芯部の第1方向一側には、磁気記録部から第1方向に直交する第2方向に突設された突起部が近接配置され、前記芯部の前記第1、第2方向のそれぞれに直交する第3方向の幅と、前記突起部の前記第3方向の幅とが同一である。
これによれば、芯部は、突起部の第1方向一側に配置されていることから、芯部を介して射出される近接場光の第3方向に関する位置と、突起部の第3方向に関する位置を同一とすることができ、また、突起部の第3方向に関する幅と、芯部の第3方向に関する幅とは、同一であることから、近接場光の照射領域の第3方向に関する幅と、突起部から印加される磁場の幅をほぼ一致させることができる。これにより、近接場光が射出される位置及び範囲を適切に設定することができる。
本明細書記載の熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置は、高密度記録ができるという効果を奏する。また、本明細書記載の熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置の製造方法は、高密度記録が可能な磁気記録ヘッド装置を提供することができるという効果を奏する。また、本明細書記載の磁気記録装置は、記憶容量の大容量化を図ることができるという効果を奏する。更に、本明細書記載の光照射ヘッドは、近接場光が射出される位置及び範囲を適切に設定することができるという効果を奏する。
以下、本発明に係る磁気記録装置及び磁気記録ヘッド装置の一実施形態について、図1〜図16に基づいて詳細に説明する。
図1は、一実施形態に係る磁気記録装置としてのハードディスクドライブ(HDD)100の内部構成を示している。この図1に示すように、HDD100は、箱型の筺体12と、筺体12内部の空間(収容空間)に収容された磁気記録媒体としての磁気ディスク10、スピンドルモータ14、ヘッド・スタック・アッセンブリ(HSA)40等と、を備える。なお、筺体12は、実際には、ベースと上蓋(トップ・カバー)とにより構成されているが、図1では、図示の便宜上、ベースのみを図示している。
磁気ディスク10は、表面が記録面となっており、スピンドルモータ14によって、その回転軸回りに例えば4200〜15000rpmなどの高速度で回転駆動される。この磁気ディスク10は、小さな記録ビットの熱的不安定性限界を克服するため、磁性粒子を細かくして保磁力を大きくする一方、局部的に熱が加えられることで保磁力が低下する性質を有するものである。なお、磁気ディスク10は、表面と裏面の両面が記録面であっても良い。また、磁気ディスク10は、図1の紙面直交方向に複数枚設けられていても良い。
HSA40は、円筒形状のハウジング部30と、ハウジング部30に固定されたフォーク部32と、フォーク部32に保持されたコイル34と、ハウジング部30に固定されたキャリッジアーム36と、キャリッジアーム36に保持されたヘッドスライダ16と、を備えている。なお、前述のように、磁気ディスク10の表面と裏面の両面が記録面である場合には、キャリッジアーム及びヘッドスライダが磁気ディスク10を挟んで上下対称に一対設けられる。また、磁気ディスクが複数枚設けられている場合には、各磁気ディスクの各記録面に対応して、キャリッジアームとヘッドスライダが設けられる。
キャリッジアーム36は、例えばステンレス板を打ち抜き加工したり、アルミニウム材料を押し出し加工することにより成型される。ヘッドスライダ16は、磁気記録ヘッド装置としての記録再生ヘッド71(図1では不図示、図2参照)を有している。
HSA40は、ハウジング部30の中心部分に設けられた軸受部材18を介して、筺体12に回転自在(Z軸回りの回転が自在)に連結されている。また、HSA40が有するコイル34と、筺体12のベースに固定された永久磁石を含む磁極ユニット24とにより構成されるボイスコイルモータ50により、HSA40の軸受部材18を中心とした揺動が行われる。なお、図1では、揺動の軌道が、一点鎖線にて示されている。
上記のように構成されるHDD100では、磁気ディスク10に対するデータ(情報)の読み書きは、キャリッジアーム36の先端に設けられた記録再生ヘッドによって行われる。この場合、記録再生ヘッドを保持するヘッドスライダ16は、磁気ディスク10の回転によって生じる揚力によって、磁気ディスク10の表面から浮上し、記録再生ヘッド71は、磁気ディスク10との間に微小間隔を維持した状態でデータの読み書きを実行する。また、キャリッジアーム36が上述した揺動を行うことにより、記録再生ヘッド71が磁気ディスク10のトラック横断方向にシーク移動し、読み書きする対象のトラックを変更する。
次に、本実施形態の記録再生ヘッド71の構成について図2に基づいて説明する。図2は、記録再生ヘッド71の縦断面図である。
本実施形態では、記録再生ヘッド71として、熱補助磁気記録方式(熱アシスト方式)、かつ垂直磁気記録方式の磁気記録再生ヘッドを採用する。この記録再生ヘッド71は、図2(a)に示すように、下部磁気シールド64と、上部磁気シールド66と、再生用磁気センサヘッド(MR素子)56と、磁気記録部としての主磁極2と、補助磁極70と、光照射部としての光照射ヘッド1と、を備えている。再生用磁気センサヘッド(再生ヘッド)56は、下部磁気シールド64と上部磁気シールド66の間に設けられており、光照射ヘッド1は、上部磁気シールド66と主磁極2との間に設けられている。主磁極2と補助磁極70との間には、情報書きこみ用のコイル68が形成されており、これら主磁極2、補助磁極70、及びコイル68により、磁気記録ヘッド72が構成されている。
光照射ヘッド1は、図3に平面図にて示すように、矩形及び等角台形を組み合わせた形状を有する薄板状の光照射本体部としてのヘッド本体20と、ヘッド本体20内部に埋め込まれた角柱状の芯部22と、を有している。なお、以下においては、角柱状の芯部22の長手方向をX軸方向、短手方向をY軸方向、図3の紙面直交方向をZ軸方向として説明するものとする。
上記光照射ヘッド1には、図2(a)に示すように、光導波路62の一端部が接続されている。この光導波路62の他端部には、不図示であるが、レーザ光源(例えば、波長405nmの青紫色LD)が接続されており、当該レーザ光源から射出されるレーザ光が光照射ヘッド1に入射するようになっている。この場合の、レーザ光の入射時における偏光方向は、ヘッド本体20の板厚方向(図3におけるZ軸方向)に設定されている。
ヘッド本体20の材料としては、例えば、屈折率2.17のTa2O5を用いることができる。また、芯部22の材料としては、ヘッド本体20の材料よりも屈折率の小さい、例えば、屈折率1.484のSiO2を用いることができる。ここで、芯部22の大きさとしては、例えば、図3に示す幅Wが50nm、高さHが100nm、奥行き(図3の紙面直交方向の長さ)が20nmであるものとする。本実施形態では、上述のように光照射ヘッド1に芯部22を設けることにより、ヘッド本体20の内部を伝搬する光の電場エネルギーを芯部22に集中させることができる。この場合、芯部22の+X側の端面である射出開口からビームスポットの縮小された光を射出することができる。具体的には、スポットサイズとして、(x,y)=(0.1μm,0.3μm)の1/e2のスポットサイズを得ることができる。
また、本実施形態では、ヘッド本体20から外部に光が漏れないようにするため、ヘッド本体20の周囲をクラッドで被覆することとしている。この場合、クラッドの材料としては、芯部22と同様、屈折率1.484のSiO2を用いることができる。
上記のように構成される記録再生ヘッド71は、図2(b)に模式的に示すように、磁気ディスク10の回転方向R前方から、再生ヘッド56、光照射ヘッド1、磁気記録ヘッド72の順に、ヘッドスライダ16の端部に設けられている。
したがって、本実施形態の記録再生ヘッド71では、磁気ディスク10の回転により、再生ヘッド56、光照射ヘッド1及び磁気記録ヘッド72の順に磁気ディスク10の特定セクタ上を通過する(図2(b)参照)。このため、情報の書きこみ時においては、光照射ヘッド1からレーザ光を射出することにより、レーザ光3を磁気ディスク10の微小領域に照射し、磁気ディスク10の当該微小領域の温度を上昇させる。このようにすることで、温度が上昇した微小領域に対して、コイル68で発生された磁界73を用いて、情報を書きこむことにより、比較的小さな磁界強度で磁気ディスク10に情報を書きこむことができる。
次に、本実施形態における光照射ヘッドの製造方法について図4〜図16に基づいて説明する。
まず、図4(a)に示すように、ウエハ90上面(+Z側の面)に矩形のSiO2膜(クラッドになる部分)42を成膜する。このウエハ90には、実際には、再生ヘッド56、下部磁気シールド64及び上部磁気シールド66が既に形成されており、その上面がフラットになるように予め研磨されている。なお、図4(b)は、図4(a)を矢印L方向から見た(+X方向から−X方向に見た)端面図である。
次いで、図5(a)に示すように、SiO2膜42上に、第1膜としてのTa2O5膜44を成膜する。このTa2O5膜44は、後にヘッド本体20を構成する部分であるので、ヘッド本体20(図3参照)とほぼ同形状を有している。なお、図5(b)は、図5(a)を矢印L方向から見た状態を示す端面図である。
次いで、図6(a)に示すように、Ta2O5膜44の先端部(等角台形状部分の+X端部)にのみ第2膜としてのSiO2膜46を台形状に成膜する。この場合、SiO2膜46を成膜する部分以外をレジストパターン等により遮蔽することにより、SiO2膜46の成膜を行う。このSiO2膜46は、後に、芯部22になるものである。なお、図6(b)は、図6(a)を矢印L方向から見た状態を示す端面図である。
次いで、図7(a)に示すように、第3膜としてのTa2O5膜44’をTa2O5膜44(SiO2膜46)の全面に成膜するとともに、上面全体がフラットになるように、研磨する。この場合、Ta2O5膜44’とTa2O5膜44との間には、境目が無くなる。したがって、以下においては、Ta2O5膜44’とTa2O5膜44とを合わせた部分を、「Ta2O5膜144」とも表記するものとする(図7(b)参照)。なお、Ta2O5膜44、SiO2膜46、Ta2O5膜44’により、積層部が構成されている。
次いで、図8(a)に示すように、SiO2膜(後にクラッドになる部分)48を全面に成膜するとともに、SiO2膜48の上面(+Z側の面)全体がフラットになるように研磨する。なお、この場合、SiO2膜48とSiO2膜42との間には、境目が無くなる。したがって、以下においては、SiO2膜48とSiO2膜42とを合わせて、「SiO2膜52」とも表記するものとする(図8(b)参照)。
次いで、図9(a)、及び図9(a)を矢印L方向から見た端面図である図9(b)に示すように、SiO2膜52の上面にTi膜(マスク)54を形成する。なお、図9(b)は端面図であるため、Ti膜(マスク)54は図示されないが、説明の便宜上、図9(b)に限り、Ti膜(マスク)54を図示することとしている。この場合、上方から見て、Ta2O5膜144と重なる部分(ただし、SiO2膜46と重なる部分を除く)にのみTi膜(マスク)54を形成する。このTi膜(マスク)54の形成に際しては、Ti膜(マスク)54を形成しない部分をレジストパターンなどで遮蔽するなどする必要がある。
次いで、図10(a)に示すように、Ti膜(マスク)54の上から、磁気記録ヘッド用材料(磁性体かつエッチングにより除去されにくい材料、例えば、Feなど)をメッキ等することにより、主磁極2を形成する。この主磁極2は、全体的に見て略五角形状の形状を有する磁気記録本体部としての主磁極本体2bと、主磁極本体2bの+X側の端部に設けられたネックハイトと呼ばれる突起状の部分(以下、単に「ネックハイト部」と呼ぶ)2aとを有する。なお、図10(b)は、図10(a)を矢印L方向から見た状態を示す端面図である。
次いで、図11(a)、図11(b)に示すように、主磁極2(例えば、材料Fe)とTi膜54とをマスクとして、CF4などのガスを用いて、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)を行う。この場合、最初に成膜したTa2O5膜44(図5(a)参照)はエッチングされないように、エッチング量を制御するものとする。
このようにしてRIEを行うことで、SiO2膜46は、主磁極2のネックハイト部2aの下側部分を残して除去される。また、Ta2O5膜44’は、主磁極2のネックハイト部2aの下側部分及びTi膜(マスク)54の下側部分を残して除去される。また、SiO2膜52は、主磁極2のネックハイト部2aの下側部分及びTi膜(マスク)54の下側部分を残して、Ta2O5膜44の上面高さまでの範囲で除去される。
上記のようにしてRIEが終了した後は、図12(a)に示すように、先端部分に、再度Ta2O5膜74を成膜する。この場合、図12(a)を矢印L方向から見た図12(b)に示すように、Ta2O5膜74は、ネックハイト部2aを覆う程度の厚みで成膜される。また、この成膜においては、Ta2O5膜74を成膜しない部分をレジストパターンなどでマスクする必要がある。なお、Ta2O5膜74と、Ta2O5膜44と、Ta2O5膜44’との間には、境目がなくなるので(図12(c)参照)、以下においては、これらのTa2O5膜を纏めて、「Ta2O5膜174」とも呼ぶものとする。
次いで、図13(a)及び図13(a)を矢印L方向から見た端面図である図13(b)に示すように、Ta2O5膜174をエッチングして、図13(b)に示すSiO2膜48(SiO2膜52の一部)の下面位置まで除去する。
次いで、図14(a)、及び図14(a)を矢印L方向から見た端面図である図14(b)に示すように、全面にSiO2膜76を成膜し、主磁極2の上面高さまで研磨して、全面をフラットに成型する。この場合、SiO2膜46、SiO2膜48、SiO2膜76の間の境目が図14(c)のように無くなるので、以下においては、これらSiO2膜を纏めて、「クラッド176」とも呼ぶものとする。
以上のような工程を経ることにより、図15に示すように、Ta2O5膜174がヘッド本体20となり、その内部に設けられたSiO2膜46が芯部22となって、光照射ヘッド1が製造されることになる。また、光照射ヘッド1の周囲は、クラッド176により囲まれ、主磁極2と光照射ヘッド1とが所定の位置関係で維持される。なお、図15では、図示の便宜上、Ti膜54の図示を省略している。
この場合、図15の主磁極2と光照射ヘッド1とを分解して示す図16に示すように、光照射ヘッド1の芯部22と、主磁極2のネックハイト部2aのXY面内の形状が同一(X軸方向の長さ及びY軸方向の長さが同一)となる。すなわち、光照射ヘッド1から射出されるレーザ光のスポットサイズと磁場分布とをほぼ同一サイズに設定することができる。また、芯部22とネックハイト部2aのXY面内の位置が同一に設定されることから、別途位置合わせ等を行わなくても、レーザ光のスポットと磁場分布との正確な位置合わせを行うことができる。
以上詳細に説明したように、本実施形態の記録再生ヘッド71及びHDD100によると、光照射ヘッド1の芯部22は、主磁極2のネックハイト部2aの−Z方向で、ネックハイト部2aに平行に配置されていることから、芯部22のY軸方向に関する位置と、ネックハイト部2aのY軸方向に関する位置を同一にすることができる。また、ネックハイト部2aのY軸方向に関する幅と、芯部22のY軸方向に関する幅とが同一であるので、光照射ヘッド1から射出されるレーザ光のY軸方向に関するスポットサイズと、ネックハイト部2aから印加される磁場の幅をほぼ一致させることができる。これにより、レーザ光が照射された部分と同一範囲に、ネックハイト部2aから磁場を印加することができるので、保磁力の高い磁気ディスク(熱アシストを必要とする磁気ディスク)に対する情報記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録の実現が可能である。
また、本実施形態の記録再生ヘッド71の製造方法によると、主磁極2のネックハイト部2aをマスクとして、SiO2膜46、48及びTa2O5膜144のネックハイト部2aと重ならない部分を除去し、SiO2膜46のうち除去されなかった部分を芯部22として、レーザ光を射出する光照射ヘッド1を作成するので、芯部22の位置及び形状をネックハイト部2aに合わせることが可能である。したがって、レーザ光が照射される部分と同一範囲に、ネックハイト部2aから磁場を印加することができるので、保磁力の高い磁気ディスク(熱アシストを必要とする磁気ディスク)に対する情報の記録を高精度で行うことが可能であり、高密度記録の実現が可能である。
また、本実施形態の製造方法では、ネックハイト部2aの中心軸部分(磁場強度中心に相当)と、芯部22の中心(光中心に相当)との間の距離(Z軸方向の距離)を、接近させることができる。具体的には、本実施形態の製造方法を使用することで、当該距離を約20nm以下に設定することも可能である。
また、本実施形態の光照射ヘッド1によると、芯部22は、ネックハイト部2aのZ軸方向一側(−Z側)に配置されていることから、芯部22のY軸方向に関する位置と、ネックハイト部2aのY軸方向に関する位置とを同一とすることができる。また、芯部22のY軸方向に関する幅をネックハイト部2aのY軸方向に関する幅とが同一であるので、光照射ヘッド1から射出されるレーザ光のY軸方向に関するスポットサイズを、ネックハイト部2aから印加される磁場の幅をほぼ一致させることができる。これにより、ネックハイト部から磁場が印加される部分と同一範囲に、レーザ光を照射することが可能となる。
なお、上記実施形態では、図16に示すように、ネックハイト部2aを+Z方向から見た形状と、芯部22を+Z方向から見た形状とが同一である場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、ネックハイト部2aのX軸方向に関する長さのほうが、芯部22のX軸方向に関する長さよりも長く設定されても良い。この場合、芯部22のX軸方向に関する長さに応じて、図9に示すTi膜54のX軸方向の長さを変更すれば良い。
なお、上記実施形態では、光照射ヘッド1のヘッド本体20の材料として、Ta2O5を用い、芯部22の材料として、SiO2を用いることとしたがこれに限られるものではなく、その他の材料を用いることも可能である。例えば、ヘッド本体20の材料として、ダイヤモンドを用いることとしても良い。また、クラッドなどその他の部材についても、別の材料を用いることとしても良い。また、図2のように、磁気記録ヘッド72の外側に、光照射ヘッド1を形成したが、光と磁気の照射位置をより近づけるために、主磁極2と補助磁極70の間に、光照射ヘッド1を形成する場合にも、同様に作製可能である。この場合には、主磁極2と補助磁極70の位置を逆にするのが望ましい。
上述した実施形態は本発明の好適な実施の例である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。
1 光照射ヘッド(光照射部)
2 主磁極(磁気記録部)
2a ネックハイト部(突起部)
2b 主磁極本体(磁気記録本体部)
10 磁気ディスク(磁気記録媒体)
20 ヘッド本体(光照射本体部)
22 芯部
44 Ta2O5膜(第1層、積層部の一部)
44’ Ta2O5膜(第3層、積層部の一部)
46 SiO2膜(第2層、積層部の一部)
71 記録再生ヘッド(磁気記録ヘッド装置)
100 HDD(磁気記録装置)
2 主磁極(磁気記録部)
2a ネックハイト部(突起部)
2b 主磁極本体(磁気記録本体部)
10 磁気ディスク(磁気記録媒体)
20 ヘッド本体(光照射本体部)
22 芯部
44 Ta2O5膜(第1層、積層部の一部)
44’ Ta2O5膜(第3層、積層部の一部)
46 SiO2膜(第2層、積層部の一部)
71 記録再生ヘッド(磁気記録ヘッド装置)
100 HDD(磁気記録装置)
Claims (6)
- 第1方向に垂直な平面方向に広がる平板状の磁気記録本体部と、前記磁気記録本体部の一部から前記平面内の第2方向に突出した突起部と、を有する磁気記録部と、
前記磁気記録部の前記第1方向一側に設けられた第1の屈折率を有する光照射本体部と、前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する芯部と、を有し、前記芯部から近接場光を射出する光照射部と、を備え、
前記芯部は、前記突起部と平行かつ前記突起部の前記第1方向一側に配置され、前記第2方向に前記平面内で直交する第3方向に関する前記突起部の幅と、前記芯部の前記第3方向に関する幅とが同一であることを特徴とする熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置。 - 前記突起部の前記第2方向に関する長さと、前記芯部の前記第2方向に関する長さとは、同一であることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置。
- 第1の屈折率を有する第1層、前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2層、前記第1の屈折率を有する第3層を第1方向に順に積層して積層部を形成するステップと、
前記第1方向に垂直な平面方向に広がる平板状の磁気記録本体部と、前記磁気記録本体部の一部から前記平面内の第2方向に突出した突起部と、を有する磁気記録部のうち、前記突起部が前記積層部上に位置するように前記磁気記録部を形成するステップと、
前記磁気記録部の突起部をマスクとして、前記積層部の、前記第1方向に関して前記突起部と重ならない部分を除去するステップと、
前記第2層の前記除去するステップで除去されなかった一部を芯部として、近接場光を射出する光照射部を作成するステップと、を含む熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置の製造方法。 - 前記除去するステップでは、エッチングを行い、
前記磁気記録部の材料として、前記エッチングにより除去されない材料を用いることを特徴とする請求項3に記載の熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置と、
前記磁気記録ヘッド装置を介してデータが書き込まれる磁気記録媒体と、を備える磁気記録装置。 - 第1の屈折率を有する光照射本体部と、前記光照射本体部の一部に設けられた前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する芯部と、を備え、
前記芯部の第1方向一側には、磁気記録部から第1方向に直交する第2方向に突設された突起部が近接配置され、
前記芯部の前記第1、第2方向のそれぞれに直交する第3方向の幅と、前記突起部の前記第3方向の幅とが同一であることを特徴とする光照射ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008166058A JP2010009657A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、磁気記録装置、並びに光照射ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008166058A JP2010009657A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、磁気記録装置、並びに光照射ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010009657A true JP2010009657A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41589959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008166058A Withdrawn JP2010009657A (ja) | 2008-06-25 | 2008-06-25 | 熱アシスト方式の磁気記録ヘッド装置及びその製造方法、磁気記録装置、並びに光照射ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010009657A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012084213A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-04-26 | Seiko Instruments Inc | 近接場光発生素子、及び近接場光発生素子の製造方法、近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの製造方法並びに情報記録再生装置 |
US8619511B1 (en) | 2012-08-06 | 2013-12-31 | HGST Netherlands B.V. | Heat-assisted magnetic recording head with optical spot-size converter fabricated in 2-dimensional waveguide |
-
2008
- 2008-06-25 JP JP2008166058A patent/JP2010009657A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012084213A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-04-26 | Seiko Instruments Inc | 近接場光発生素子、及び近接場光発生素子の製造方法、近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの製造方法並びに情報記録再生装置 |
US8619511B1 (en) | 2012-08-06 | 2013-12-31 | HGST Netherlands B.V. | Heat-assisted magnetic recording head with optical spot-size converter fabricated in 2-dimensional waveguide |
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A711 | Notification of change in applicant |
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