JP2009505462A - 位相調整を備えた測定装置、特にベクトル・ネットワーク・アナライザ - Google Patents

Abstract

方法であって、測定装置、特にベクトル・ネットワーク・アナライザを動作し、前記測定装置は少なくとも２つのポートを介し被試験装置と接続され、前記測定装置はそれぞれポートに割り当てられた複数の励起ユニットを有し、各励起ユニットは信号生成器を設け、前記信号生成器により前記割り当てられたポートは励起信号を供給され、前記方法は、前記ポートで出力される励起信号間の実際の位相オフセット（Δψ_ｉｓｔ）を測定点で測定する段階、及び２つの前記信号生成器の少なくとも１つの周波数を補正間隔（Ｔ_ｃｏｒｒ）の間に、特定の設定位相オフセット（Δψ_ｓｏｌｌ）が基準点で前記ポートで出力される励起信号の間で達成されるように変化する段階、を有する方法。

Description

本発明は測定装置、特にベクトル・ネットワーク・アナライザに関する。

特にネットワーク分析の状況では、また他の測定の問題に関し、測定されるべき構成要素（ＤＵＴ）は所謂「差動モード」で差分信号とともに励起されなければならない。「差動モード」では、２つの励起信号の間に１８０度の一定の位相差がある。対照的に所謂「共通モード」では、被試験装置の２つのポートは正確に同相の励起信号を供給されなければならない。実際には、１８０度及び０度以外の励起信号の間の一定の位相関係が考えられ、そして実際に生じる。測定の問題は、従って一般的に正確に同一周波数を有し且つ一定の、変動のない位相差を互いに対し提供する２つの励起信号の生成にある。

「差動モード」の信号源を得るために、特許文献１は２つの励起ポートに共通合成装置を用いることを提案している。２つのポート間で生じる位相差は制御信号により均一にされる。制御信号は信号源の出力に直接に配置された２つのベクトル変調器に供給される。しかしながら、ベクトル変調器は比較的高価な構成要素であり、この手段は比較的高コストである。
米国特許第２００４／０１９６０５１ Ａ１号明細書

本発明の目的は従って、一定の、僅かな位相差変動のみを有する２つの励起信号を低価格で提供する測定装置及び当該測定装置の動作に対応する方法を提供することである。当該目的は測定装置に関しては請求項１の特徴により達成され、当該測定装置の動作方法に関しては請求項７の特徴により達成される。従属請求項は本発明の有利な更なる展開を提供する。

本発明は、２つのポートのそれぞれのために、それぞれ異なる周波数で動作され得る別個の信号生成器の提供を提案する。２つのポートでは、励起信号は同一周波数を有し、及び一定の、変動のない位相関係を有し生成される。実際の位相オフセットは、測定装置、例えばネットワーク・アナライザの２つの内部測定点で測定される。設定位相オフセットから変位した場合、片方又は両方の信号生成器の周波数は、特定設定位相オフセットが回復されるような方法で補正間隔の間、変化される。

これは、位相の遅れている信号生成器の周波数が補正間隔の間に増大されるか、又は位相の進んでいる他方の生成器の周波数が補正間隔の間に減少されるかの何れかで達成され得る。これら両方の測定は互いに組み合わされ得る。

測定技術の実際の状況で重要な点は、励起信号間の位相関係が、全体に基準面としても参照される所与の基準点で観察されることである。基準面は標準的に測定ケーブルのジャック接続のＤＵＴ端である。位相オフセットは、実際には測定装置、例えばネットワーク・アナライザの内部測定点ではなく、励起信号間で測定される。測定装置の内部測定点から外部基準点、例えば測定ケーブルの端までの波の遅延時間は、一般的に励起信号を供給される両方のポートに対し正確に同一ではない。これは例えば測定ケーブルの長さの違いのためであり、従って基準点における励起信号間の所与の設定位相オフセットが測定点における別の設定位相オフセットに対応することによる。しかしながら、割り当ては一義的であり、以下に詳細に説明される較正方法を用い各動作周波数に対し別個に決定されテーブルに格納され得る。基準点の間の所与の設定位相オフセットは後続の動作の間に達成される場合、テーブルから分かり、設定位相オフセットは当該目的のために測定点の間で観察されなければならない。測定点の実際の位相オフセットは次に測定され、測定点の設定位相オフセットと比較される。正変位の場合、進んでいる信号発生器の周波数が減少され、及び／又は遅れている信号発生器の周波数が増大され得る。この手順は、負変位の場合には逆である。

差動モード、つまり１８０度の所望の位相オフセットのための較正テーブルの準備は、単に、信号結合器を用い基準面の励起信号を追加することにより、及び和信号を和信号の振幅を測定するネットワーク・アナライザの第３のポートに供給することにより、多ポート・ネットワーク・アナライザに実装され得る。１８０度の位相差の場合、和信号の振幅の最小値が生じ、２つの励起信号の振幅が等しい場合、和信号は完全に除去される。励起信号の振幅もこの方法で較正され得る。

本発明は以下に例である実施例に基づき図面を参照して説明される。

図１は、例えば多ポート・ベクトル・ネットワーク・アナライザの形式の、４個のポートＴ１乃至Ｔ４を有する例である実施例の測定装置１を示す。図１に示された例である実施例では、被試験装置は４ポートの被試験装置であり、２個の入力ポート４１及び２個の出力ポート４２を有する。被試験装置は、例えば差動入力信号を差動出力信号へ増幅する増幅器である。被試験装置を正確に測定するため、必要なことは、２つの基準点Ｒ１及びＲ２を有する基準面、２つのポートＴ１及びＴ２を介し供給される２つの個別の励起信号を有する差動励起信号に、基準点Ｒ１及びＲ２で互いに対し正確に１８０度の位相オフセットを適用することである。ネットワーク・アナライザは被試験装置から反射され及び被試験装置により異なる周波数で送信された波を測定する。従って基準点Ｒ１及びＲ２の１８０度の位相オフセットは、１つの周波数だけでなくネットワーク・アナライザ１の全ての動作周波数で観察されなければならない。これを保証するため、以下に記載されるように較正が実施されなければならない。

図２はネットワーク・アナライザ１の較正のための第１の構成を示す。この環境では、測定ケーブル３_１又は３_２を介しポートＴ１及びＴ２と接続された基準点Ｒ１及びＲ２の励起信号は、信号結合器３１、望ましくは抵抗性信号結合器内で結合され、ネットワーク・アナライザ１の第３のポートに供給される和信号を形成する。

図３は、ネットワーク・アナライザ１の内部構造を示し、２つのポートＴ１及びＴ２の励起／受信ユニット２_１又は２_２のみを示す。対応する励起／受信ユニットはポートＴ３及びＴ４のために設けられる。

図３に示された例である実施例では、別個の励起／受信ユニット２_１又は２_２が測定装置１の各ポートＴ１、Ｔ２、Ｔ３及びＴ４に設けられる。各励起／受信ユニット２_１又は２_２は別個の信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２を設ける。当該信号生成器を有するので、被試験装置は励起信号を供給され得る。

図１に示された例である実施例で、被試験装置の２つの差動入力ポートのそれぞれは、測定線３_１又は３_２を介し測定装置１の２つのポートＴ１及びＴ２と接続される。一方で、被試験装置の２つの差動出力ポート４２のそれぞれは、測定線３３又は３４を介し測定装置１の２つのポートＴ３及びＴ４とそれぞれ接続される。図３は測定のための構成ではなく、図２の較正のための構成を示す。しかしながら、以下の記載は被試験装置ＤＵＴを有する測定のための較正に関しても適用される。

信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２はそれぞれ可変減衰要素２９_１又は２９_２及び増幅器４_１又は４_２を介し信号分配器５_１又は５_２と接続される。信号枝路６_１又は６_２はそれぞれベクトル結合器７_１又は７_２を介し割り当てられたポートＴ１及びＴ２と接続される。他の枝路８_１又は８_２は個々の励起／受信ユニット２_１又は２_２の第１の受信装置９_１又は９_２の混合器１０_１又は１０_２と接続される。第１の受信装置９_１又は９_２は従って、関連する信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２がアクティブの場合に励起信号を受信する。更に、発振器信号は、例である実施例では個々の励起／受信ユニット２_１又は２_２の内部発振器ＬＯ１及びＬＯ２により生成され、混合器１０_１又は１０_２へ供給される。当該発振器信号は、信号分配器１１_１又は１１_２及びそれぞれ増幅器１２_１又は１２_２を介し混合器１０_１又は１０_２へ供給される。

例である実施例では、同一の発振器ＬＯ１及びＬＯ２は、個々の励起／受信ユニット２_１又は２_２の第２の受信装置１５_１又は１５_２の混合器１４_１又は１４_２へ、信号分配器１１_１又は１１_２の他の信号枝路及び対応する増幅器１３_１又は１３_２を介し供給する。混合器１４_１又は１４_２は緩衝増幅器１６_１又は１６_２及びベクトル結合器７_１又は７_２を介しそれぞれ割り当てられたポートＴ１又はＴ２と接続される。従って、第２の受信装置１５_１は、関連するポートＴ１から受信された、被試験装置からポートＴ１へ反射される、又は被試験装置によりポートＴ１からポートＴ２へ送信される信号を受信する。同様に、励起／受信装置２_２の第２の受信装置１５_２は、被試験装置からポートＴ２へ反射される、又は被試験装置によりポートＴ１からポートＴ２へ送信される信号を受信する。第１の励起／受信ユニット２_１の混合器１０_１及び１４_１は、受信信号を第１の中間周波数ｆ_ＩＦ１を有する第１の中間周波数点に変換する。一方で、第２の励起／受信ユニット２_２の混合器１０_２及び１４_２は、受信信号を中間周波数ｆ_ＩＦ２を有する第２の中間周波数点に変換する。この状況では、中間周波数ｆ_ＩＦ１及びｆ_ＩＦ２は必ずしも同一でなくて良い。

混合器１０_１又は１０_２により生成された中間周波数基準信号ＩＦ Ｒｅｆ１又はＩＦ Ｒｅｆ２、及び混合器１４_１又は１４_２により生成された中間周波数測定信号ＩＦ Ｍｅａｓ１又はＩＦ Ｍｅａｓ２は、信号評価及び制御ユニット１８と接続されたアナログ／デジタル変換器１７へ供給される。基準信号及び測定信号の評価は当該ユニット内で実施される。更に、信号評価及び制御ユニット１８は信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２並びに発振器ＬＯ１及びＬＯ２を、それらがそれぞれ所定周波数ｆ_ＳＯ１、ｆ_ＬＯ１、ｆ_ＳＯ２、及びｆ_ＬＯ２を有する信号を生成するように、制御線１９、２０、２１、及び２２を介し制御する。

評価及び制御ユニット１８は更に制御線２３及び２４を介し調整可能減衰要素２９_１及び２９_２と接続される。従って信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２により生成された励起信号の信号振幅は制御され得る。励起信号の実際の振幅は中間周波数基準信号ＩＦ Ｒｅｆ１及びＩＦ Ｒｅｆ２を介し登録されるので、位相ロック・ループは励起振幅の正確な制御のためにこの方法で形成され得る。

制御線１９乃至２３はバス・システム２５、特にＬＡＮバス・システムに結合され得る。

再び協調されるべき点は、本発明に従う更なる展開が図３に示されたネットワーク・アナライザだけでなく、他の測定装置にも関連することである。

「差動モード」で重要な点は、Δφ＝φ_１−φ_２＝１８０度の定められた位相オフセットが測定ケーブル３_１又は３_２の端、つまり基準点Ｒ１及びＲ２で観察されることである。他の用途では、異なる位相オフセットが観察される。例えば「共通モード」では、共通位相が保証される（Δφ＝０度）。しかしながら、位相差はネットワーク・アナライザ内部の測定点Ｍ１及びＭ２、例えば信号分配器５_１又は５_２で測定される。当該点で測定された位相は図３にψ_１及びψ_２として示される。従って実際の位相差Δψ_ｉｓｔは当該点で測定される。

例えば測定ケーブルの長さが同一でない、測定ケーブルの誘電率が異なる結果として、測定ケーブル３_１又は３_２で波の伝搬レートが異なるため、及び製造のばらつきにより引き起こされる２つの励起／受信ユニット２_１又は２_２内の波の遅延時間の僅かな差のため、基準点Ｒ１及びＲ２の間の設定位相差Δφと異なる位相差Δψ＝ψ１−ψ２は測定点Ｍ１及びＭ２で得られる。従って、測定点Ｍ１及びＭ２の間の所与の位相差Δψは、基準点Ｒ１及びＲ２で所望の位相差Δφを生成するために保証されなければならない。基準点Ｒ１及びＲ２の設定位相差Δφと測定点Ｍ１及びＭ２の間の関連する設定位相差Δψとの間のこの関係は、較正により決定され、及びメモリー３０に格納され得る。

この状況では、１つの周波数に対して測定点Ｍ１及びＭ２の設定位相差Δψを較正するだけでは不十分である。測定点Ｍ１及びＭ２の設定位相差Δψの基準点Ｒ１及びＲ２の設定位相差Δφからの変位は、例えば測定ケーブル３_１又は３_２の散乱のため、周波数に依存する。較正は従って、複数の周波数値に対し、理想的にはネットワーク・アナライザにより制御され得る各周波数点で実施されなければならない。また結果はメモリー３０に格納されたテーブルで表にされなければならない。

測定装置１がネットワーク・アナライザである場合、較正は図２及び３に示された方法で実施され得る。この目的のため、第１のポートＴ１及び第２のポートＴ２の２つの測定ケーブル３_１又は３_２は、望ましくは抵抗性結合器３_１を介しネットワーク・アナライザの第３のポートＴ３と接続された第３の測定ケーブル３_３と接続される。和信号の振幅は、基準点Ｒ１及びＲ２の励起信号の和により得られ、第３のポートＴ３で測定される。ポートＴ１及びＴ２の２つの励起信号の振幅が同一である場合、和信号の完全な除去は、正確な位相点で、つまり正確に１８０度の位相オフセットを有し生じる。振幅が同一振幅でない場合、少なくとも１つの明らかな最小値が１８０度の逆位相の場合に生じる。和信号の振幅が第３のポートＴ３で検出された場合、最小値は正確な逆位相が現れると直ちに定められる。

１８０度と異なる位相オフセットが基準点Ｒ１及びＲ２で設定される場合、同一量だけ変位している位相オフセットは測定点Ｍ１及びＭ２で維持されなければならない。例えば、測定点Ｍ１及びＭ２の間の１８２度の位相オフセットが基準点Ｒ１及びＲ２で１８０度の逆位相を達成するために必要な場合、測定点Ｍ１及びＭ２の間の２度の位相オフセットが、基準点Ｒ１及びＲ２の間で共通位相、つまり０度の位相オフセットを達成するために維持されなければならない。逆位相のために較正された値は、従って他の位相オフセット仕様へ転送され得る。

従来技術と異なる方法では、共通合成器が用いられポートＴ１及びＴ２で「差動モード」の励起信号を生成し、ベクトル変調器が用いられ各ポートで位相オフセットを達成し、各励起／受信ユニット２_１又は２_２が本発明に従い当該ユニット自体の、周波数に関して独立に調整され得る励起発振器ＳＯ１及びＳＯ２に適合される。本発明による手段が図４に示されたように及び以下に記載されるように適応される場合、ベクトル変調器又は他の調整可能位相変位要素は省略され得る。

信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２は望ましくはＹＩＧ発振器を用いた高精度合成器である。ＹＩＧ発振器は、動作モード、つまり「差動モード」又は「共通モード」に対し２つの高精度の同一周波数を生成する。いくつかの環境下では、設定位相点は実際には予め定められ得る。しかしながら、位相ロック・ループ（ＰＬＬ）内の位相制御のため、現在の位相点は常に変動される。従って本発明の測定なしには予め選択された位相差は長期間の間に観察され得ない。本発明によると、測定点Ｍ１及びＭ２の間の実際の位相オフセットは、受信装置９_１又は９_２を用い連続的に測定される。受信装置９_１又は９_２は、アナログ／デジタル変換器１７と一緒に位相測定装置として動作する。制御装置１８では、この方法で決定された測定点Ｍ１及びＭ２の実際の位相オフセットΔψ_ｉｓｔは、現在の動作周波数に対しメモリー３０に格納された測定点Ｍ１及びＭ２の設定位相オフセットΔψ_ｓｏｌｌと比較される。現在の動作周波数は基準点Ｒ１及びＲ２で所与の設定位相オフセットΔφを達成するために用いられる。

測定された実際の位相オフセットΔψ_ｉｓｔが表にある測定点Ｍ１及びＭ２の設定位相オフセットΔψ_ｓｏｌｌより大きい場合、手順は次の通りである。つまり、進んでいる発振器、例えば発振器ＳＯ１の周波数が補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの間の短時間だけ減少されるか、又は遅れている信号発生器、例えば信号発生器ＳＯ１の周波数が補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの間に増大され、従って測定点Ｍ１及びＭ２の間の特定の設定位相オフセットは補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの後に回復される（Δψ_ｉｓｔ＝Δψ_ｓｏｌｌ）。補正間隔の前後で、２つの信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２は正確に同一周波数で動作される。２つの周波数の間で定められた変位は、補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの間に排他的に生じる。勿論、両方の測定、つまり遅れている信号発生器の周波数の増大及び進んでいる信号発生器の周波数の減少は、補正レートを増大するために互いに結合され得る。

測定された実際の位相オフセットΔψ_ｉｓｔがメモリー３０のテーブルに格納された測定点Ｍ１及びＭ２の間の設定位相オフセットより小さい場合、手順は逆になる。つまり、進んでいる信号発生器の周波数は補正間隔の間に増大され、及び／又は遅れている信号生成器の周波数は補正間隔の間に減少される。

上述の手順は図４に示される。図４では、例をより簡単に説明するため、必要な設定位相オフセットΔψ_ｓｏｌｌは測定点Ｍ１及びＭ２の間で０度であると仮定する。図は、試験前、補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの間に、測定された実際の位相オフセットΔψ_ｉｓｔが必要な設定位相オフセットΔψ_ｓｏｌｌ＝０度から変位していることを示す。つまり、如何なる位相変位も測定点Ｍ１及びＭ２に存在しないことが必要であるが、測定点で測定された信号生成器ＳＯ１の位相ψ_１は、測定点Ｍ２で測定された信号生成器ＳＯ２の位相ψ_２より若干大きい。

制御装置１８はこの事実を定めた後、図４に示された例では、信号生成器ＳＯ２の周波数ｆ_ＳＯ２を補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの間の短時間の間、増大する。結果として、遅れている信号生成器ＳＯ２の位相は、共通位相が補正間隔Ｔ_ｃｏｒｒの終了時に回復されるまで連続的に増大される。この共通位相が位相測定装置９_１、９_２、１７により測定されている場合、制御ユニット１８は信号生成器ＳＯ２の周波数の増大を停止し、従って両方の信号生成器ＳＯ１及びＳＯ２は再び正確に同一周波数で動作される。位相変位は監視され続ける。特定の閾値より大きい位相変位が再び生じた場合、上述の制御手段が繰り返される。

補正間隔Ｔｃｏｒｒの間に周波数を増大する手段に関し、迅速な補正と高精度の調整との間で妥協されなければならない。この状況では、段階的に進めることが可能である。つまり大きい位相変位の場合、大きい周波数変位が最初に用いられ、次に当該周波数変位は、測定された実際の位相オフセットΔψ_ｉｓｔが要求される設定位相オフセットΔψ_ｓｏｌｌへ向かう手法に従い段階的に減少される。反復手順も可能である。つまり第１の補正間隔の間に粗補正が実施され、新たに測定された実際の位相オフセットと要求される設定位相オフセットとの間の残りの差分は、後続の精細補正で調整される。精細補正では、信号生成器間のより小さい周波数変移が選択される。この状況では、勿論、２より多い反復段階を有し進めることも可能である。

ポートＴ１及びＴ２を有する第１の差動ポート対が較正された後、ネットワーク・アナライザの他の差動ポート対は同一方法で較正されなければならない。これは図５に、ポートＴ３及びＴ４を有する第２の差動ポート対に関し示される。図２から類推して、ポートＴ３及びＴ４はそれぞれ測定ケーブル３_３又は３_４を介し信号結合器３１と接続される。信号結合器３１はポートＴ３及びＴ４の励起信号の和信号を生成し、それらを測定ケーブル３_２を介し例えばネットワーク・アナライザの第２のポートＴ２へ供給する。基準点Ｒ３及びＲ４のポートＴ３及びＴ４から生成された信号の逆位相はまた、ここでは和信号の振幅の最小値に達すると又は和信号が除去されると現れる。全ての差動ポート対、つまり例である実施例では一方でＴ１及びＴ２、他方でＴ３及びＴ４が較正された後、第１の差動ポート対Ｔ１及びＴ２は、被試験装置４０の入力ポート４１と接続され、及び他方のポート対Ｔ３及びＴ４は被試験装置の出力ポート４２と、図１に示されたように接続され得る。そして被試験装置の試験が開始され得る。

本発明は、示された例である実施例に限定されない。例えば、較正は別の方法で、例えば電力測定により実施され得る。電力測定では、逆位相が達成されると電力最小値が和信号で生じる。更に、有利なことに、例えば和信号の除去が生じるまで調整可能減衰要素２９_１又は２９_２を制御することにより、逆位相が達成された後に２つの励起信号の１つの振幅を変化することにより、振幅は較正中に互いに一致させられる。

本発明は、勿論、２つの測定ポート間の異なるモードの調整可能な選択肢だけでなく、如何なる多チャネル・システムの全ての測定ポート間、特に対照的信号での励起が所与の振幅及び位相関係のバンドル又は相互作用ほど重要でない位相配列モジュールの測定にも用いられ得る。

「差動モード」で被試験装置を測定する測定装置の用途の例を示す。 本発明による測定装置の較正のための第１の構成を示す。 図２に示された較正のための構成のネットワーク・アナライザの詳細な例である実施例を示す。 本発明による測定装置の動作方法の説明のための図を示す。 本発明による、較正のための第２の構成の測定装置を示す。

Claims (12)

1. 測定装置、特にベクトル・ネットワーク・アナライザであって、少なくとも２つのポートを介し被試験装置と接続され、前記測定装置は、
   励起信号を割り当てられたポートへ供給する信号生成器を設ける、前記ポートのそれぞれに割り当てられた複数の励起ユニット、
   前記ポートで出力される測定点の励起信号間の実際の位相オフセットを測定する位相測定装置、及び
   ２つの前記信号生成器の少なくとも１つの周波数を補正間隔の間に、特定の設定位相オフセットが基準点で前記ポートで出力される励起信号の間で達成されるように変化する制御装置、を有する測定装置。
2. メモリー装置を特徴とし、前記メモリー装置に格納されたテーブルは、いくつかの周波数のそれぞれに対し前記各測定点の１つの設定位相オフセットを前記ポートで出力される信号間の基準点の設定位相オフセットと関連付ける、請求項１記載の測定装置。
3. 前記制御装置は、所与の周波数で前記測定点で測定された実際の位相オフセットの前記メモリー装置に格納された前記測定点の設定位相オフセットからの変位を登録し、前記実際の位相オフセットが前記設定位相オフセットより大きい場合、位相の遅れている前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間増大し、及び／又は位相の進んでいる前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間減少し、前記実際の位相オフセットが前記設定位相オフセットより小さい場合、位相の遅れている前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間減少し、及び／又は位相の進んでいる前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間増大する、請求項２記載の測定装置。
4. 前記測定装置は少なくとも３つのポートを有する多ポート・ネットワーク・アナライザであり、差動励起信号は第１のポートと第２のポートの間で生成され、前記第１及び前記第２のポートの励起信号の間に前記基準点で１８０度の設定位相オフセットが存在する、請求項２又は３記載の測定装置。
5. 前記テーブルを提供するために、前記第１のポート及び前記第２のポートの基準点は信号結合器を介し第３のポートと接続され、前記制御ユニットは、前記第３のポートで測定された信号の除去又は前記信号の最小値が現れてから１８０度の前記設定位相オフセットの達成を検出する、請求項４記載の測定装置。
6. 前記制御ユニットは前記第１のポート及び／又は前記第２のポートの励起信号の振幅を、前記第３のポートで検出された信号が除去されるように減衰要素を制御することにより更に設定する、請求項５記載の測定装置。
7. 方法であって、測定装置、特にベクトル・ネットワーク・アナライザを動作し、前記測定装置は少なくとも２つのポートを介し被試験装置と接続され、前記測定装置はそれぞれポートに割り当てられた複数の励起ユニットを有し、各励起ユニットは信号生成器を設け、前記信号生成器により前記割り当てられたポートは励起信号を供給され、前記方法は、
   −前記ポートで出力される励起信号間の実際の位相オフセットを測定点で測定する段階、及び
   −２つの前記信号生成器の少なくとも１つの周波数を補正間隔の間に、特定の設定位相オフセットが基準点で前記ポートで出力される励起信号の間で達成されるように変化する段階、を有する方法。
8. いくつかの周波数のそれぞれに対し前記各測定点の１つの設定位相オフセットを前記ポートで出力される励起信号間の基準点の設定位相オフセットと関連付けるテーブルを格納する段階、を特徴とする請求項７記載の方法。
9. 所与の周波数で前記測定点で測定された実際の位相オフセットの前記格納された前記測定点の設定位相オフセットからの変位を登録する段階、及び
   前記実際の位相オフセットが前記設定位相オフセットより大きい場合、位相の遅れている前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間増大し、及び／又は位相の進んでいる前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間減少し、前記実際の位相オフセットが前記設定位相オフセットより小さい場合、位相の遅れている前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間減少し、及び／又は位相の進んでいる前記信号生成器の周波数を前記補正間隔の間増大する段階、を特徴とする請求項８記載の方法。
10. 前記測定装置は少なくとも３つのポートを有する多ポート・ネットワーク・アナライザであり、差動励起信号は第１のポートと第２のポートの間で生成され、前記第１及び第２のポートの励起信号の間に前記基準点で１８０度の設定位相オフセットが存在する、請求項８又は９記載の方法。
11. 前記第１のポート及び前記第２のポートの基準点を信号結合器を介し前記第３のポートと接続する段階、及び
    前記第３のポートで検出された信号の除去又は前記信号の最小値が現れてから１８０度の前記設定位相オフセットの達成を検出する段階、を特徴とする請求項１０記載の方法。
12. 前記第３のポートで検出された信号が除去されるように、前記第１のポート及び／又は前記第２のポートの励起信号の振幅を設定する段階、を特徴とする請求項１１記載の方法。

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