JP2009301685A - ヘッドジンバルアセンブリの組立方法、組立装置、およびヘッドジンバルアセンブリ、情報記録再生装置 - Google Patents

Abstract

【課題】動作時に、ヘッドを安定浮上させることが可能なヘッドジンバルアセンブリの組立方法、組立装置、およびヘッドジンバルアセンブリ、情報記録再生装置を提供する。
【解決手段】ピボット軸のまわりを回動可能に形成された棒状の回動部材と、回動部材の先端部に、磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダ２と、磁気記録媒体を加熱するための光をスライダに導入するための光導波路３２と、を備えたヘッドジンバルアセンブリ１２の組立方法であって、回動部材にスライダを取り付ける工程と、スライダに光導波路を接続する工程と、回動部材がヘッドジンバルアセンブリの浮上時の姿勢と略等価な形状となるように、回動部材に力を加える工程と、回動部材に力が加えられた状態で、光導波路を回動部材に支持する工程と、を備えた。
【選択図】図９

Description

本発明は、光を集光したスポット光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッドジンバルアセンブリの組立方法、組立装置、およびヘッドジンバルアセンブリ、情報記録再生装置に関するものである。

近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の容量増加に伴い、単一記録面内における情報の記録密度が増加している。例えば、磁気ディスクの単位面積当たりの記録容量を多くするためには、面記録密度を高くする必要がある。ところが、記録密度が高くなるにつれて、記録媒体上で１ビット当たりの占める記録面積が小さくなっている。このビットサイズが小さくなると、１ビットの情報が持つエネルギーが、室温の熱エネルギーに近くなり、記録した情報が熱揺らぎ等のために反転したり、消えてしまったりする等の熱減磁の問題が生じてしまう。

一般的に用いられてきた面内記録方式では、磁化の方向が記録媒体の面内方向に向くように磁気を記録する方式であるが、この方式では上述した熱減磁による記録情報の消失等が起こり易い。そこで、このような不具合を解消するために、記録媒体に対して垂直な方向に磁化信号を記録する垂直記録方式に移行しつつある。この方式は、記録媒体に対して、単磁極を近づける原理で磁気情報を記録する方式である。この方式によれば、記録磁界が記録膜に対してほぼ垂直な方向を向く。垂直な磁界で記録された情報は、記録膜面内においてＮ極とＳ極とがループを作り難いため、エネルギー的に安定を保ち易い。そのため、この垂直記録方式は、面内記録方式に対して熱減磁に強くなっている。

しかしながら、近年の記録媒体は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、上述した垂直記録方式であっても、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。

そこで、この不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間に書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。

近接場光を利用した記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置と略同一であり、磁気ヘッドに代わり、近接場光利用ヘッドを用いる。近接場光利用ヘッドは、光学的微小開口やナノメートルサイズの突起などからなる近接場光発生素子を持つ。近接場光発生素子は空気浮上技術を用いたスライダに搭載される。スライダはサスペンションの先端に取り付けられ、動圧により記録媒体に対して一定の高さで浮上する。これにより、近接場光発生素子は記録媒体上に存在する任意のデータマークへアクセスする。高速回転する記録媒体にスライダを追従させるため、近接場光利用ヘッドには記録媒体のうねりに対応して姿勢を安定させるフレクシャ機能をもたせている。このような構成の近接場光利用ヘッドは、ヘッドに光を供給するために光導波路などからなる光導入部を必要とする。ここでの光導波路は光ファイバも含む。電気配線に比べて配線の自由度が低い光導波路を用いて、いかに効率よく光を近接場光発生素子および記録媒体に導くかが、近接場光を利用した記録再生技術の重要な点である。

このような近接場光利用ヘッドにおいて、光導波路をスライダに接続し、メディア面に水平な方向に伝播している光導波路からの光を反射させて伝播方向を開口方向に向ける光反射面を用いて、微小なビームスポットを近接場光発生素子に入射させる手法が考慮されている（例えば、特許文献１参照）。

図１１に近接場光利用ヘッドアセンブリ（ヘッドジンバルアセンブリ）１００を用いた情報記録再生装置の概略を示す。近接場光利用ヘッドアセンブリ１００は、光ファイバ１０３、サスペンションアーム１０４、フレクシャ１０５、スライダ１０６、近接場光発生素子（不図示）から構成される。近接場光発生素子を搭載するスライダ１０６を、記録媒体１０７の表面に数ｎｍから数十ｎｍ程度まで近接した状態で記録媒体１０７を高速に回転させ、スライダ１０６が記録媒体１０７と常に一定の相対配置で浮上するために、フレクシャ１０５をサスペンションアーム１０４の先端部に設けている。

サスペンションアーム１０４は固定穴１０４ａを介してボイスコイルモータ（不図示）に固定されており、ボイスコイルモータによって記録媒体１０７の半径方向に移動可能である。ここで、スライダ１０６は、記録媒体１０７に近接場光発光素子が対面するように配置されている。レーザ１０１からの光束をスライダ１０６まで導く光伝播部は、レンズ１０２とサスペンションアーム１０４に固定された光ファイバ１０３から構成されている。必要に応じて、レーザ１０１は回路系１０８により強度変調などをかけることもできる。

この近接場光利用ヘッドアセンブリ１００では、サスペンションアーム１０４からフレクシャ１０５を介してスライダ１０６を記録媒体１０７に向かって押し付ける力と、記録媒体１０７の回転に伴う風圧によりスライダ１０６を浮上させる力とが釣り合うことによって、スライダ１０６は記録媒体１０７に対して数ｎｍから数十ｎｍ程度の間隙をもって安定に浮上している。サスペンションアーム１０４は、スライダ１０６方向に予め湾曲させられており、そのバネ力によってスライダ１０６への押し付け力を発生させている。情報記録再生装置の動作時は、サスペンションアーム１０４の湾曲は、スライダ１０６への押し付け力の反力のために緩和されている。
国際特許公開第００／２８５３６号パンフレット

しかしながら、上述した従来のヘッドジンバルアセンブリにあっては、比較的剛性の大きい光導波路を有するため、サスペンションアームのスライダへの押し付け力とスライダの浮上力との釣り合いが乱され、スライダと記録媒体の間隙の維持ができなくなりやすい。このことに対して、ヘッドジンバルアセンブリの組立時における、スライダと光導波路の固定およびサスペンションアームと光導波路の固定が重要な要素となる。組立時には、サスペンションアームは湾曲しており、このままの位置関係で上記のような固定を行えば、サスペンションアームの湾曲が緩和される情報記録再生装置の動作時には、光導波路がスライダを引っ張ることになり、スライダの浮上姿勢が乱れることになる。

そこで本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、動作時に、ヘッドを安定浮上させることが可能なヘッドジンバルアセンブリの組立方法、組立装置、およびヘッドジンバルアセンブリ、情報記録再生装置を提供することである。

本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法は、一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成された棒状の回動部材と、該回動部材の先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立方法であって、前記回動部材に前記スライダを取り付ける工程と、前記スライダに前記光導波路を接続する工程と、前記回動部材が前記ヘッドジンバルアセンブリの浮上時の姿勢と略等価な形状となるように、前記回動部材に力を加える工程と、前記回動部材に前記力が加えられた状態で、前記光導波路を前記回動部材に支持する工程と、を備えたことを特徴としている。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法においては、回動部材に外力を与え、回動部材がヘッドジンバルアセンブリの浮上時の姿勢と略等価な形状となるように調整することにより、近接場光利用ヘッドの浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現することが可能となる。また、回動部材に対するスライダの姿勢も、動作時と同じにすることができる。また、回動部材が浮上したときの状態に保持された状態で、光導波路を回動部材の最適な位置に容易に支持固定することができる。さらに、このように回動部材が浮上時の動作姿勢に保持された状態で光導波路を回動部材に支持固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路からの力がスライダに作用することがなくなり、スライダを安定して浮上させることができる。

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法は、一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立方法であって、前記ロードビームに前記スライダを取り付ける工程と、前記スライダに前記光導波路を接続する工程と、前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面および前記ベースプレートの少なくともいずれか一方に力を加えて、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が、前記ヘッドジンバルアセンブリの動作時において前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす所定角度になるように調整する工程と、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が前記所定角度になった状態で、前記光導波路を前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定する工程と、を備えたことを特徴としている。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法においては、スライダまたはベースプレートに外力を与え、ベースプレートとロードビームとのなす角度を調整することにより、近接場光利用ヘッドの浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現することが可能となる。また、ベースプレートに対するスライダの姿勢も、動作時と同じにすることができる。また、ベースプレートおよびロードビームが浮上したときの状態に保持された状態で、光導波路をロードビーム、ベースプレートまたはアーム部の最適な位置に容易に支持固定することができる。さらに、このようにベースプレートおよびロードビームが浮上時の動作姿勢に保持された状態で光導波路をロードビーム、ベースプレートまたはアーム部に支持固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路からの力がスライダに作用することがなくなり、スライダを安定して浮上させることができる。

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法は、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面に力を加えて調整することを特徴としている。
また、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、前記ベースプレートに力を加えて調整することを特徴としている。
また、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面および前記ベースプレートに力を加えて調整することを特徴としている。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法においては、様々な方法でスライダまたはベースプレートに外力を与え、ベースプレートとロードビームとのなす角度を調整することにより、近接場光利用ヘッドの浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現することが可能となる。

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立装置は、一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立装置であって、前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面を支持可能な外力付加板と、前記ベースプレートを支持するステージと、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が、前記ヘッドジンバルアセンブリの動作時において前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす所定角度になるように、前記外力付加板および前記ステージを相対移動させる移動機構と、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を検知する角度センサと、前記角度が前記所定角度になったか否かを判定する判定手段と、前記角度が前記所定角度になったときに前記外力付加板および前記ステージの相対移動を停止させる停止手段と、を有する制御装置と、前記光導波路を前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定する支持装置と、を備えたことを特徴としている。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立装置においては、スライダの下面を外力付加板に配置し、ベースプレートをステージに配置して、外力付加板およびステージの少なく共いずれか一方を上下動させることにより、ベースプレートとロードビームとのなす角度を自在に調節することが可能となる。したがって、その角度を角度センサで検知することにより、浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現させることができる。なお、この状態で光導波路をロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路からの力がスライダに作用することがなくなり、スライダを安定して浮上させることができる。

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリであって、該ヘッドジンバルアセンブリの動作時に、前記ベースプレートと前記ロードビームとの間のなす角度が所定角度に保持された状態において、前記光導波路からの力が前記スライダに作用しないように前記光導波路が前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定されていることを特徴としている。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、動作時に光導波路からの力がスライダに作用することがないため、スライダを安定して浮上させることができる。

さらに、本発明に係る情報記録再生装置は、上述したヘッドジンバルアセンブリと、光導波路に対して光束を入射させる光源と、一定方向に回転する磁気記録媒体と、該磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、該ピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部と、該アーム部の基端側を支持すると共に、該アーム部を前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、前記スライダ及び前記光源の作動を制御する制御部と、を備えていることを特徴としている。

本発明に係る情報記録再生装置においては、動作時に光導波路からの力がスライダに作用することがないため、スライダを安定して浮上させることができる。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの組立方法によれば、回動部材に外力を与え、回動部材がヘッドジンバルアセンブリの浮上時の姿勢と略等価な形状となるように調整することにより、近接場光利用ヘッドの浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現することが可能となる。また、回動部材に対するスライダの姿勢も、動作時と同じにすることができる。また、回動部材が浮上したときの状態に保持された状態で、光導波路を回動部材の最適な位置に容易に支持固定することができる。さらに、このように回動部材が浮上時の動作姿勢に保持された状態で光導波路を回動部材に支持固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路からの力がスライダに作用することがなくなり、スライダを安定して浮上させることができる。

（情報記録再生装置）
以下、本発明に係る実施形態を、図１から図１０を参照して説明する。図１は、本発明に係る情報記録再生装置１の概略構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。

図１に示すように、情報記録再生装置１は、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光導波路３２（図２参照）を介して光束を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ面内方向にスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを回転軸Ｌを中心に回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２のスライダ２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９と、を備えている。

ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品を収容する凹部が形成される。なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している。

また、このハウジング９には、ハウジング９の開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定されている。

ディスクＤの外側で、底部９ａの一つの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心にＸＹ面内方向で回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けて（ディスクＤ方向に向けて）延設されたアーム部１４と、アーム部１４を基端部を介して片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部１５は、略直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。

アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ面内方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４，１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、交互に配置可能に構成されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスクＤの表面に平行な方向（ＸＹ面内方向）に移動可能になっている。なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。

ヘッドジンバルアセンブリ１２は、図示しない近接場光発生素子を有するスライダ２に、レーザ光源２０からの光束を導いて近接場光（スポット光）を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。なお、近接場光発生素子は、例えば、光学的微小開口や、ナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されている。

図２は、スライダ２を上向きにした状態でサスペンション３をスライダ２側から見た斜視図である。図３は、スライダ２を上向きにした状態でジンバル１７を見た平面図である。図４は、図３のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、スライダ２を上向きにした状態におけるサスペンション３先端の断面図である。

図２〜図４に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記スライダ２をディスクＤから浮上させるサスペンションとして機能するものであり、スライダ２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、各レーザ光源２０から出射された光束をスライダ２の集光レンズまで導く光導波路３２と、を備えている。なお、サスペンション３は、スライダ２をディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち、２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６を備えている。

まず上記スライダ２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。スライダ２は、先端側に固定された再生素子（不図示）と、該再生素子に隣接して固定された記録素子（不図示）とを備えている。また、スライダ２は、記録素子を間に挟んで再生素子の反対側に、レーザ光源２０から出射された光束を集光させる図示しない集光レンズ（光学系）と、該集光レンズによって集光された光束から近接場光を発生させる上記近接場光発生素子とを有している。つまり、スライダ２には、先端部に再生素子、記録素子、近接場光発生素子が並んだ状態で配置されている。

また、スライダ２の下面は、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。具体的には、スライダ２をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ２をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ２を最適な状態で浮上させるように設計されている。

つまり、スライダ２は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けているとともに、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ２は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上するようになっている。

サスペンション３は、平面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の裏面（下面）に取り付けられるとともに、先端部がベースプレート２２から延出するように形成されたヒンジ板２３と、ヒンジ板２３の延出部に連結された平面視略三角状のロードビーム２４と、を備えている。

ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されるようになっている。ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の略全面に亘って形成された平板状のものであり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａが形成されている。延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分には幅方向内側、つまり互いの延出部２３ａに向かう方向に幅が拡大する拡大部２３ｂが形成されている。この拡大部２３ｂの上面には、ロードビーム２４が連結されている。

ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。これにより、ヒンジ板２３はベースプレート２２とロードビーム２４との間で屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。つまり、ヒンジ板２３の延出部２３ａが湾曲するように構成されている。
なお、アーム部１４に連結されるベースプレート２２およびロードビーム２４（ヒンジ板２３を含む）は、アーム部１４がピボット軸１０を中心に回動するため、このアーム部１４、ベースプレート２２およびロードビーム２４で回動部材を構成している。なお、回動部材は、サスペンション３のみで構成されていてもよい。

また、サスペンション３は、フレクシャ２５を備えている。フレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。フレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略六角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３に沿って延在する支持体１８とで構成されている。

図３，４に示すように、ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。

また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠部２６が形成されており、この切欠部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部（舌片部）１７ｂが形成されている。つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠部２６を備えている。これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３（ベースプレート２２）の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂに上記スライダ２が載置固定されている。つまり、スライダ２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。

また、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及びスライダ２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、スライダ２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。この浮上する力は、突起部１９からロードビーム２４に伝わって、該ロードビーム２４を撓ませるように作用する。また、ディスクＤのうねり等により、スライダ２にＸＹ方向に向かう風圧が加わったときに、スライダ２及びパッド部１７ｂは、突起部１９を中心としてＸ軸及びＹ軸の２軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクＤのうねりによるＺ方向の変位（ディスク面Ｄ１に略直交する方向への変位）を吸収することができ、スライダ２の姿勢が安定するようになっている。なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。

図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３に沿ってアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際に、サスペンション３の変形に追従するように構成されている。支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、アーム部１４の基部１５に至るまで引き回されている。

図５は、キャリッジ１１の基部１５の側面図である。
図１，５に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。制御部５とターミナル基板３０とは可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０とスライダ２とは、電気配線３１により接続されている。電気配線３１は、キャリッジ１１毎に設けられたスライダ２の数に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介してスライダ２に出力されるようになっている。

また、ターミナル基板３０には、スライダ２の集光レンズに向けて光束を供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束を出射するものであり、各アーム部１４に設けられたスライダ２の数に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、各レーザ光源２０から出射された光束をスライダ２の集光レンズまで導く光導波路３２が接続されている。

光導波路３２としては、コアとクラッドを有する光ファイバなどが用いられる。光導波路３２として使用される材料の一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ_２）でコアを形成し、フッ素をドープした石英でクラッドを形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束の波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７となり、クラッドの屈折率が１．４７未満となるため好ましい。また、ゲルマニウムをドープした石英でコアを形成し、石英でクラッドを形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束の波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７より大きくなり、クラッドの屈折率が１．４７となるため、好ましい。特に、コアとクラッドとの屈折率差が大きいほど、コア内に光束を閉じ込める力が大きくなるため、コアに酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、クラッドに石英などを用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束を利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４．０）でコアを形成することも有効である。

ここで、光導波路３２は、レーザ光源２０とスライダ２との間に敷設された光ファイバなどのケーブル材で構成されており、レーザ光源２０とスライダ２との間のベースプレート２２（ヒンジ板２３）の下面において、固定部材４０により支持固定されている。本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２（情報記録再生装置１）では、装置の動作時に光導波路３２からの力がスライダ２に作用しないように、光導波路３２が固定部材４０によりベースプレート２２に支持固定されている。なお、固定部材４０として、例えば樹脂系の接着剤を採用することが可能である。接着剤は硬化後にも弾性を有するため、光導波路３２の軸方向への微小移動を許容する。これにより、動作時に光導波路３２からスライダ２に作用する力を低減することができる。

（ヘッドジンバルアセンブリの組立装置）
次に、ヘッドジンバルアセンブリ１２の組立装置について説明する。
図６に示すように、組立装置５０は、スライダ２の浮上面（下面）２ａと当接可能な外力付加板５１と、ベースプレート２２を上下動させるためのステージ５２と、ベースプレート２２とロードビーム２４とのなす角度θを検知する角度センサ５３と、角度θが所定角度θ１になったか否かを判定する判定手段および角度θが所定角度θ１になったときにステージ５２の移動を停止させる停止手段と、を有する制御装置５４と、光導波路３２をベースプレート２２に支持固定する支持装置（不図示）と、を備えている。

（ヘッドジンバルアセンブリの組立方法）
次に、ヘッドジンバルアセンブリ１２の組立方法について説明する。
まず、ロードビーム２４にスライダ２を取り付け、ロードビーム２４とベースプレート２２とをヒンジ板２３を介して連結する。次に、スライダ２に光導波路３２を接続する。この状態では、ヘッドジンバルアセンブリ１２は、図７に示すように、ベースプレート２２とロードビーム２４との間のなす角度はθになっている。つまり、ヒンジ板２３が撓んだ状態になっている。

上述の状態まで組み上がった後、ヘッドジンバルアセンブリ１２を組立装置５０にセットする。このとき、スライダ２の浮上面２ａを外力付加板５１に当接するように配置するとともに、ベースプレート２２をステージ５２に配置する。

図８に示すように、外力付加板５１を固定した状態で、ステージ５２を下方（外力付加板５１側）へ移動させる。このとき、ベースプレート２２とロードビーム２４との間のなす角度θを角度センサ５３により検出しながらステージ５２を移動させる。そして、角度θが情報記録再生装置１の動作時（ヘッドジンバルアセンブリ１２の浮上時）のベースプレート２２とロードビーム２４とのなす所定角度θ１になるまでステージ５２を移動させる。なお、所定角度θ１は略０°であるのが好ましい。このときの所定角度θ１は、ベースプレート２２の上面の延長線とロードビーム２４の上面とのなす角度のことである。

ベースプレート２２とロードビーム２４とのなす角度θが所定角度θ１になった状態で、制御装置５４からの指示によりステージ５２の移動を停止する。この状態では、動作時と同様にスライダ２の浮上面２ａに力Ｆ３を加えているため、ロードビーム２４に対するスライダ２の姿勢も動作時と同様にすることができる。また、動作時にはロードビーム２４も僅かながら撓むが、本実施形態では動作時と同様にロードビーム２４を撓ませることができる。

そして、図９に示すように、支持装置（不図示）により光導波路３２をベースプレート２２に固定部材４０を用いて支持固定することによりヘッドジンバルアセンブリ１２の組立が完了する。このようにして、光導波路３２をベースプレート２２に固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路３２からの力がスライダ２に作用することがなくなり、スライダ２を安定して浮上させることができる。

（情報記録再生方法）
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、ディスクＤ上の所望する位置にスライダ２を位置させることができる。

ここで、キャリッジ１１の基部１５が、ピボット軸１０まわりを回動可能に構成されているため、アーム部１４は、ピボット軸１０を回転中心としてディスク面Ｄ１に平行な方向に移動する。この時、基部１５のターミナル基板３０上にレーザ光源２０を設けることで、スライダ２にレーザ光源２０を搭載した場合に比べて、スライダ２の移動時においてキャリッジ１１に作用するモーメントが小さい。したがって、トラッキングの精度を維持することができる。また、ターミナル基板３０は、制御部５とスライダ２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、電気配線３１はターミナル基板３０を基点としてスライダ２に引き回される。

次いで、レーザ光源２０から光束を光導波路３２に入射させて、光束をスライダ２に導く。スライダ２の集光レンズに光束を供給するレーザ光源２０が、スライダ２の基部１５におけるターミナル基板３０上に設けられている。この場合、レーザ光源２０から出射された光束は、光導波路３２からスライダ２に向かって伝播される。この時、光導波路３２の内部を伝播される光束は、スライダ２内で集光レンズによって集光され、スポットサイズが徐々に絞り込まれる。これにより、近接場光発生素子の周囲には、近接場光が滲み出るように発生する。

そして、近接場光が入射されたディスクＤは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。一方、制御部５によってスライダ２の記録素子に電流が供給されると、電磁石の原理によりディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と記録素子で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。

これに対して、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、記録素子に隣接して固定されている再生素子が、ディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
このように、スライダ２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。

ここで、スライダ２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に力Ｆ２により押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ２は、浮上面２ａがディスクＤに対向しているので、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力Ｆ３を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ２はディスクＤ上から離間した位置に浮遊している状態となっている。

この際スライダ２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるため、スライダ２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力Ｆ３は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上述したようにスライダ２は浮上する。なお、サスペンション３には、ベースプレート２２とロードビーム２４とがヒンジ板２３を介して連結されているため、ベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に撓み易くなっている。

またスライダ２は、ディスクＤのうねりに起因して発生する風圧（ＸＹ方向に向かう風圧）を受けたとしても、ジンバル手段１６、即ち、突起部１９の先端に点接触したパッド部１７ｂを介してＸＹ軸回りに捩じれるようになっている。そのため、うねりによるＺ方向への変位を吸収することができ、浮上している際のスライダ２の姿勢を安定にすることができる。

さらに、本実施形態においては、図１０に示すように、情報記録再生装置１の動作時（Ｆ２＝Ｆ３の時）に光導波路３２からの力がスライダ２に作用しないように構成した。具体的には、組立装置５０を用いてベースプレート２２およびロードビーム２４を浮上時の動作姿勢に模擬的に設定した状態で、支持部材４０を用いてベースプレート２２に光導波路３２を支持固定した。

本実施形態によれば、ベースプレート２２（スライダ２）に外力を与え、ベースプレート２２とロードビーム２４との間のなす角度θを調節することにより、ヘッドジンバルアセンブリ１２の浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現することが可能となる。また、ベースプレート２２およびロードビーム２４が浮上したときの状態に保持された状態で、光導波路３２をベースプレート２２の最適な位置に容易に支持固定することができる。また、このようにベースプレート２２およびロードビーム２４が浮上時の動作姿勢に保持された状態で光導波路３２をベースプレート２２に支持固定することにより、実際の浮上時（動作時）に光導波路３２からの力がスライダ２に作用することがなくなり、スライダ２を安定して浮上させることができる。

また、組立装置５０を用いることにより、スライダ２の浮上面（下面）２ａを外力付加板５１に配置し、ベースプレート２２をステージ５２に配置してステージ５２を上下動させることにより、ベースプレート２２とロードビーム２４とのなす角度θを自在に調節することが可能となる。したがって、その角度θを角度センサ５３で検知することにより、浮上時（動作時）の動作姿勢を模擬的に実現させることができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成や形状等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば、上述の実施形態では、アーム部の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリが設けられている構成について説明したが、各ディスク間に差し入れられるアーム部の両面に、各ディスクに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリを設けるような構成も可能である。この場合、アーム部の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリの各スライダにより、各スライダに対向するディスク面の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部により２枚のディスクの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。

また、本実施形態の組立装置では、外力付加板を固定してステージを移動させる構成を用いたが、逆にステージを固定して外力付加板をステージ側へ移動させるように構成してもよい。また、外力付加板およびステージを共に移動可能に構成してもよい。
また、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリでは、光導波路をベースプレートに支持固定した場合の説明をしたが、光導波路をロードビームやアーム部に支持固定してもよい、また、それらの複数の箇所で支持固定してもよい。

また、上述の実施形態では、スライダを浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面に対向配置されていればディスクとスライダとが接触していても構わない。つまり、本発明のスライダは、コンタクトスライダタイプのスライダであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
さらに、本実施形態では近接場光を利用した情報記録再生装置の場合で説明したが、スポット光を利用した情報記録再生装置に採用してもよい。

本発明の実施形態における情報記録再生装置の概略構成図である。 本発明の実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの斜視図（裏面）である。 本発明の実施形態におけるジンバルの平面図である。 図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 本発明の実施形態における基部の側面図である。 本発明の実施形態における組立装置の概略構成図である。 本発明の実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの組立方法を示す説明図（１）である。 本発明の実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの組立方法を示す説明図（２）である。 本発明の実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの組立方法を示す説明図（３）である。 本発明の実施形態における情報記録再生装置の動作時の概略構成図である。 従来の近接場光利用ヘッドの概略構成図である。

符号の説明

１…情報記録再生装置 ２…スライダ ２ａ…浮上面（磁気記録媒体との対向面） ５…制御部 ６…アクチュエータ ７…スピンドルモータ（回転駆動部） １０…ピボット軸 １２…ヘッドジンバルアセンブリ １４…アーム部 ２０…レーザ光源（光源） ２２…ベースプレート ２３…ヒンジ板２３ａ…延出部（湾曲部） ２４…ロードビーム ３２…光導波路 ５０…組立装置 ５１…外力付加板 ５２…ステージ ５３…角度センサ ５４…制御装置 Ｄ…磁気記録媒体 Ｄ１…ディスク面（表面） θ…角度 θ１…所定角度

Claims (8)

1. 一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成された棒状の回動部材と、
   該回動部材の先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、
   前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立方法であって、
   前記回動部材に前記スライダを取り付ける工程と、
   前記スライダに前記光導波路を接続する工程と、
   前記回動部材が前記ヘッドジンバルアセンブリの浮上時の姿勢と略等価な形状となるように、前記回動部材に力を加える工程と、
   前記回動部材に前記力が加えられた状態で、前記光導波路を前記回動部材に支持する工程と、を備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの組立方法。
2. 一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、
   該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、
   該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、
   前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立方法であって、
   前記ロードビームに前記スライダを取り付ける工程と、
   前記スライダに前記光導波路を接続する工程と、
   前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面および前記ベースプレートの少なくともいずれか一方に力を加えて、前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が、前記ヘッドジンバルアセンブリの動作時において前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす所定角度になるように調整する工程と、
   前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が前記所定角度になった状態で、前記光導波路を前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定する工程と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のヘッドジンバルアセンブリの組立方法。
3. 前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、
   前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面に力を加えて調整することを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリの組立方法。
4. 前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、
   前記ベースプレートに力を加えて調整することを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリの組立方法。
5. 前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を前記所定角度になるように調整する工程において、
   前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面および前記ベースプレートに力を加えて調整することを特徴とする請求項２に記載のヘッドジンバルアセンブリの組立方法。
6. 一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、
   該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、
   該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、
   前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリの組立装置であって、
   前記スライダにおける前記磁気記録媒体との対向面を支持可能な外力付加板と、
   前記ベースプレートを支持するステージと、
   前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度が、前記ヘッドジンバルアセンブリの動作時において前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす所定角度になるように、前記外力付加板および前記ステージを相対移動させる移動機構と、
   前記ベースプレートと前記ロードビームとのなす角度を検知する角度センサと、
   前記角度が前記所定角度になったか否かを判定する判定手段と、前記角度が前記所定角度になったときに前記外力付加板および前記ステージの相対移動を停止させる停止手段と、を有する制御装置と、
   前記光導波路を前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定する支持装置と、を備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの組立装置。
7. 一定方向に回転する磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部の先端側に支持されるベースプレートと、
   該ベースプレートに可撓性を有するヒンジ板を介して連結されたロードビームと、
   該ロードビームの先端部に、前記磁気記録媒体の表面と対向するように取り付けられ、前記磁気記録媒体の表面に平行で、かつ、互いに直交する２軸回りに回動自在となるように支持されたスライダと、
   前記磁気記録媒体を加熱するための光を前記スライダに導入するための光導波路と、を備えたヘッドジンバルアセンブリであって、
   該ヘッドジンバルアセンブリの動作時に、前記ベースプレートと前記ロードビームとの間のなす角度が所定角度に保持された状態において、前記光導波路からの力が前記スライダに作用しないように前記光導波路が前記ロードビーム、前記ベースプレートまたは前記アーム部に支持固定されていることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
8. 請求項７に記載のヘッドジンバルアセンブリと、
   光導波路に対して光束を入射させる光源と、
   一定方向に回転する磁気記録媒体と、
   該磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、
   該ピボット軸のまわりを回動可能に形成されたアーム部と、
   該アーム部の基端側を支持すると共に、該アーム部を前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、
   前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、
   前記スライダ及び前記光源の作動を制御する制御部と、を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。

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