JP2009300244A - 腐食センサ - Google Patents
腐食センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009300244A JP2009300244A JP2008154867A JP2008154867A JP2009300244A JP 2009300244 A JP2009300244 A JP 2009300244A JP 2008154867 A JP2008154867 A JP 2008154867A JP 2008154867 A JP2008154867 A JP 2008154867A JP 2009300244 A JP2009300244 A JP 2009300244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- corrosive
- corrosion
- chip
- frequency
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
Abstract
【課題】消費電力が少なく温度、密度、粘度の影響を受けないで腐食度を測定することが可能な腐食度センサを提供する。
【解決手段】非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと周波数の2乗の比を演算する演算部を備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと周波数の2乗の比を演算する演算部を備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、構造部材の腐食を検出する腐食センサに関し、腐食性部材と、非腐食部材を共振させ、これらの部材の共振周波数の差をもとに測定対象の部材の腐食度を推定する腐食センサに関するものである。
従来、腐食センサは腐食減量を電気抵抗の増加で測定するもの、電気化学電位を測定するものが知られている。腐食減量法は電気抵抗を測定するものであるが、形状変化に対応した電気抵抗を測定するので電圧が腐食化学反応に影響する可能性があった。
また、高感度電気抵抗法は環境の腐食性を腐食速度としてモニタリングでき、かつ感度と応答性に優れることから、現場検証試験などで用いられている。
また、化学電位による腐食センサも知られているが、この腐食センサはCL-などその環境に存在するイオンに影響されるので正確に腐食が起きるか予測できない。たとえば、CL-が存在すると、不動態域で孔食が起こり、鉄に孔があく。電位−pH図は、実際の環境で起る現象の全てを予測する事は出来ない。
また、化学電位による腐食センサも知られているが、この腐食センサはCL-などその環境に存在するイオンに影響されるので正確に腐食が起きるか予測できない。たとえば、CL-が存在すると、不動態域で孔食が起こり、鉄に孔があく。電位−pH図は、実際の環境で起る現象の全てを予測する事は出来ない。
図2は腐食により変化する共振周波数を検出して測定部材の腐食度を測定する腐食センサの従来例を示すものである。
この腐食センサは円板形状の測定試料11と、その測定試料11の周縁を固定する剛性のある筒状の支持体12と、支持体12の端部を固定して装着する振動子13と、測定試料11、支持体12及び振動子13で囲われた密閉空間で測定試料の真裏またはその近辺に設置された物理量センサ14とから構成されている。
この腐食センサは円板形状の測定試料11と、その測定試料11の周縁を固定する剛性のある筒状の支持体12と、支持体12の端部を固定して装着する振動子13と、測定試料11、支持体12及び振動子13で囲われた密閉空間で測定試料の真裏またはその近辺に設置された物理量センサ14とから構成されている。
上記の構成において、まず外部からの信号により振動子13を振動させ、その振動を支持体12を介して測定試料11の表面に直角方向に伝搬し、その測定試料11の中央部の振動時の振幅を物理量センサ14が測定する。
ここで物理量センサ14は、接触または非接触で測定試料11の歪、変位、または電気容量などを測定し、測定値は電気信号に変換されて外部に取り出される。
ここで物理量センサ14は、接触または非接触で測定試料11の歪、変位、または電気容量などを測定し、測定値は電気信号に変換されて外部に取り出される。
図3はこのような腐食センサの構成図である。
図において腐食センサ1は図2に示すもので、この腐食センサ1の測定試料11は振動子駆動回路2により駆動される振動子13の振動に応じて支持体12を介して振動し、測定試料11の中央部の振動は物理量センサ14により測定される。測定された振動データはコンピュータ3に入力されて演算処理される。
図において腐食センサ1は図2に示すもので、この腐食センサ1の測定試料11は振動子駆動回路2により駆動される振動子13の振動に応じて支持体12を介して振動し、測定試料11の中央部の振動は物理量センサ14により測定される。測定された振動データはコンピュータ3に入力されて演算処理される。
そして、振動子駆動回路2により腐食センサ1に振動数が高→低または低→高と変動する振動を掃引するとき、腐食センサ1は、その各次数の共振振動数に達したときに共振する。
図4(a,b)は腐食センサ1における測定試料11の振動特性を示すもので、横軸に測定試料に与えられた振動の振動数を示し、縦軸にはその振動数に対する測定試料11の振幅を示している。
図4(a,b)は腐食センサ1における測定試料11の振動特性を示すもので、横軸に測定試料に与えられた振動の振動数を示し、縦軸にはその振動数に対する測定試料11の振幅を示している。
そして、実線の曲線は測定試料が腐食などにより質量変化した場合の振動特性を示し、鎖線の曲線は測定試料が初期の新しい状態にある場合の振動特性を示している。これらの図に示すように、共振振動数において測定試料11の振幅はピークに達する。測定時コンピュータ3には各振動数での腐食センサ1に設置された物理量センサ14より測定試料11の振幅に対応した物理量が、更に振動子駆動回路2から起振力の振動数が入力され、物理量のピークに対応する振動数が共振振動数と判断される。
次に、測定試料11の質量が腐食生成物析出物又は付着物により見かけ上増加した場合、図4(a)に示すように損傷を受けた測定試料の各次数での共振振動数P0’,P1’等は、初期における質量変化がないときの共振周波数P0,P1などに比べ高振動数側にシフトする。また、測定試料の質量が溶出、溶解により減少した場合図4(b)に示すように損傷を受けた測定試料の各次数での共振振動数P0’’,P1’’等は、初期における質量変化がないときの共振周波数P0,P1などに比べ低振動数側にシフトする。
従って、コンピュータ3内で測定試料11の初期における共振周波数と測定環境において質量変化を生じた後での共振周波数の差を求め、その値に対応する測定試料の算出し、腐食損傷の定量化を随時行うことができる。そして、各次数の共振振動数の内で最低時の共振振動では測定試料の振幅のピークが他の高次の振幅のピークに比べもっとも大きく、振幅のピークを検出することができる。
ところで、上述の従来例においては、次のような課題があった。
周波数を掃引して振幅が最大になる周波数、または発振回路の励振信号と振動体の振動信号との位相差がπ/2になる時にその周波数を共振周波数として見つけているので、その間駆動回路での電力を消費するとともに所定の時間を要する。
また、振動が温度、粘度、密度により影響を受けるのでその補正が必要である。
周波数を掃引して振幅が最大になる周波数、または発振回路の励振信号と振動体の振動信号との位相差がπ/2になる時にその周波数を共振周波数として見つけているので、その間駆動回路での電力を消費するとともに所定の時間を要する。
また、振動が温度、粘度、密度により影響を受けるのでその補正が必要である。
従って本発明は、消費電力が少なく温度、密度、粘度の影響を受けないで腐食度を測定することが可能な腐食度センサを提供することを目的としている。
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明においては、
非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと、前記2つの共振周波数の2乗の比を演算する演算部を備えたことを特徴とする。
非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと、前記2つの共振周波数の2乗の比を演算する演算部を備えたことを特徴とする。
請求項2においては、請求項1に記載の腐食センサにおいて、
前記腐食性チップと非腐食性チップは初期段階においては同一周波数で共振するように形成されたことを特徴とする。
前記腐食性チップと非腐食性チップは初期段階においては同一周波数で共振するように形成されたことを特徴とする。
請求項3においては、請求項1に記載の腐食センサにおいて、
前記第1,第2弾性体は不錆鋼若しくは金メッキを含む不錆処理が施されたことを特徴とする。
前記第1,第2弾性体は不錆鋼若しくは金メッキを含む不錆処理が施されたことを特徴とする。
請求項4においては、請求項1に記載の腐食センサにおいて、
前記腐食性チップと非腐食性チップは腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中に近接して配置され、前記腐食性チップは腐食度を測定すべき部材と同一部材で形成されたことを特徴とする。
前記腐食性チップと非腐食性チップは腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中に近接して配置され、前記腐食性チップは腐食度を測定すべき部材と同一部材で形成されたことを特徴とする。
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項1によれば、非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと、前記2つの共振周波数の2乗の比を演算する演算部を備えているので、消費電力が少なく温度、密度、粘度の影響を受けないで腐食性チップの腐食度を測定することができる。
請求項2によれば、腐食性チップと非腐食性チップは初期段階においては同一周波数で共振するように形成されているので、腐食の状況を連続して容易に観察することができる。
請求項3によれば、第1,第2弾性体は不錆鋼若しくは金メッキを含む不錆処理が施されているので、ノイズがなく信頼性の高い腐食センサを得ることができる。
また、請求項4によれば、腐食性チップと非腐食性チップは腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中に近接して配置され、前記腐食性チップは腐食度を測定すべき部材と同一部材で形成されているので、信頼性の高い構造物の腐食監視が可能となる。
また、請求項4によれば、腐食性チップと非腐食性チップは腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中に近接して配置され、前記腐食性チップは腐食度を測定すべき部材と同一部材で形成されているので、信頼性の高い構造物の腐食監視が可能となる。
図1は本発明の腐食センサの実施形態の一例を示すブロック構成図である。
図1において、21は腐食性チップであり、腐食度を測定すべき部材と同じ材質で形成されている。22はリファレンスとして機能する非腐食性(耐食)チップである。
図1において、21は腐食性チップであり、腐食度を測定すべき部材と同じ材質で形成されている。22はリファレンスとして機能する非腐食性(耐食)チップである。
これらのチップの寸法は例えば縦横の寸法が10×20mm、厚み5mm程度とし、長さ50mm、直径3mm程度の腐食しないバネ(以下単にバネという)22a,22bの一端に固定されている。24a,24bは固定部材であり、例えば直径10mm、長さ10mmに形成され、その一端にバネ22a,22bの他端が気密に固定されている。
25a,25bは圧電素子やコイルなどで構成された公知の自励発振回路で、その出力はバネ22a,22bを介して腐食性チップ21および非腐食性チップ22に伝達され、これらのチップを共振周波数により共振させる。
26は周波数カウンタ27を含むCPUで、腐食性チップ21および非腐食性チップ22の共振周波数を入力し2つの共振周波数の2乗の比を演算する。図1に示すように、固定部材24(a,b)は例えば一点鎖線Aで示す壁面にその外周が気密に固定され、バネ23a,23bを含む腐食性チップ21、非腐食性チップ22を腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中(例えば液体中)に近接して配置されている。
上述の構成において、腐食性チップと非腐食性チップ(リファレンス)の形状は等しく質量Mcと質量Mrも等しいものとし、同材質、同形状に形成された腐食しないバネ23a,23bのバネ定数をKとすると、
非腐食性チップ(リファレンス)の周波数fは以下の式で表すことができる。
fr=1/2π・(K/Mr)1/2
また、腐食性チップの周波数fcは以下の式となる。
fc=1/2π・(K/Mc)1/2
非腐食性チップ(リファレンス)の周波数fは以下の式で表すことができる。
fr=1/2π・(K/Mr)1/2
また、腐食性チップの周波数fcは以下の式となる。
fc=1/2π・(K/Mc)1/2
従って、(fr/fc)2=Mc/Mrとなる。
腐食が進行する前は(fr/fc)2は1に等しい。
腐食が進行するとMcが減量するので腐食度合いを知ることが出来る。
腐食速度はd[(fr/fc)2]/dt で計算することができる。
腐食が進行する前は(fr/fc)2は1に等しい。
腐食が進行するとMcが減量するので腐食度合いを知ることが出来る。
腐食速度はd[(fr/fc)2]/dt で計算することができる。
fc=1/2π・(K/Mc)1/2だけでもMcの減少から計測できるが、流体の粘性や温度などの影響で有効バネ定数Kが変化してしまうので、fcの変化となる(fr/fc)2にすることにより質量減量が無次元化されて誤差が小さくなり、温度や粘度の影響が少なくなる。
上記の構成によれば、
(1) 腐食電位によらず実際の腐食量となる質量減少を電気機械的共振回路の振動数の変化として検出する腐食センサで、あって、
(2) 腐食による質量減量を連続的に計測することができ、
(3) 腐食する振動子と腐食しないリファレンス振動子の周波数比率演算をすることで腐食減量と腐食速度を出力する腐食センサを実現することができる。
(1) 腐食電位によらず実際の腐食量となる質量減少を電気機械的共振回路の振動数の変化として検出する腐食センサで、あって、
(2) 腐食による質量減量を連続的に計測することができ、
(3) 腐食する振動子と腐食しないリファレンス振動子の周波数比率演算をすることで腐食減量と腐食速度を出力する腐食センサを実現することができる。
公知文献、配管技術 8086 防食インヒビターの記事によれば、オイル精製プロセスの蒸留塔の腐食速度は0.01mm/年程度とされている。例えばこれより腐食速度が10倍速いとしても腐食速度は0.1mm/年程度である。従って、腐食性チップの厚さは5mm程度あれば耐食センサとして十分に機能する。
(fr/fc)2=Mc/Mrとして周波数の変化分を見ると、
Δ(fc/fc)2=Δ(Mc/Mc)なので、周波数で0.01%(1/1000)の分解能があれば0.02%の腐食チップの腐食度の検出ができる。
即ち腐食チップの厚さを5mmとすれば、5mm×0.0002=0.001mmの変化(腐食)を検出することができる。
Δ(fc/fc)2=Δ(Mc/Mc)なので、周波数で0.01%(1/1000)の分解能があれば0.02%の腐食チップの腐食度の検出ができる。
即ち腐食チップの厚さを5mmとすれば、5mm×0.0002=0.001mmの変化(腐食)を検出することができる。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。実施例では腐食性/非腐食性チップの形状を長方形としたが図示の例に限るものではない。また、バネの形状は丸棒であってもよく、要は固有振動数で共振する形状と材質であればよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
1 腐食センサ
2 振動子駆動回路
3 コンピュータ
11 測定試料
12 支持体
13 振動子
14 物理量センサ
21 腐食性チップ
22 非腐食性チップ
23 バネ
24 固定部材
25 自励発振回路
26 CPU
27 周波数カウンタ
2 振動子駆動回路
3 コンピュータ
11 測定試料
12 支持体
13 振動子
14 物理量センサ
21 腐食性チップ
22 非腐食性チップ
23 バネ
24 固定部材
25 自励発振回路
26 CPU
27 周波数カウンタ
Claims (4)
- 非腐食性第1弾性体の一端に固定された腐食チップと、非腐食性第2弾性体の一端に固定された非腐食チップと、前記第1,第2弾性体を介して前記腐食性チップ及び非腐食性チップをそれぞれ共振させる自励発振回路と、前記腐食性チップ及び非腐食性チップからの共振周波数をカウントする周波数カウンタと、前記2つの共振周波数の2乗の比を演算する演算部を備えたことを特徴とする腐食センサ。
- 前記腐食性チップと非腐食性チップは初期段階においては同一周波数で共振するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の腐食センサ。
- 前記第1,第2弾性体は不錆鋼若しくは金メッキを含む不錆処理が施されたことを特徴とする請求項1に記載の腐食センサ。
- 前記腐食性チップと非腐食性チップは腐食度を測定すべき構造物が配置された環境中に近接して配置され、前記腐食性チップは腐食度を測定すべき部材と同一部材で形成されたことを特徴とする請求項1に記載の腐食センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008154867A JP2009300244A (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 腐食センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008154867A JP2009300244A (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 腐食センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009300244A true JP2009300244A (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=41547303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008154867A Pending JP2009300244A (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 腐食センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009300244A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103076400A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-05-01 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种基于振动频率的新型腐蚀探头及其测量系统 |
CN113496891A (zh) * | 2020-04-03 | 2021-10-12 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路硅片表面氧化膜自适应均匀腐蚀方法 |
-
2008
- 2008-06-13 JP JP2008154867A patent/JP2009300244A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103076400A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-05-01 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种基于振动频率的新型腐蚀探头及其测量系统 |
CN113496891A (zh) * | 2020-04-03 | 2021-10-12 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路硅片表面氧化膜自适应均匀腐蚀方法 |
CN113496891B (zh) * | 2020-04-03 | 2023-03-14 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路硅片表面氧化膜自适应均匀腐蚀方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210396565A1 (en) | Measuring system having a measuring transducer of vibration-type | |
JP5603412B2 (ja) | 不均質流体密度測定装置 | |
JP5352244B2 (ja) | 機械的振動子を用いる金属損失率センサおよび測定 | |
US7040179B2 (en) | Process meter | |
US9134165B2 (en) | Method for detecting accretion or abrasion in a flow measuring device | |
US9488619B2 (en) | Device and method for monitoring interaction between a fluid and a wall | |
RU2320964C2 (ru) | Прибор для измерения физических параметров | |
JP2013536953A (ja) | 対称共振器を有する流体特性測定装置 | |
US20200264087A1 (en) | Vibronic Sensor and Measuring Assembly for Monitoring a Flowable Medium | |
US20180120217A1 (en) | Corrosion Time Profile Measurement Device | |
KR20150091136A (ko) | 측방향 모드 강성을 결정함으로써 진동계에서 유체 튜브의 횡단면적의 변화에 대한 검출 | |
US20230184573A1 (en) | Method for monitoring a coriolis mass flow meter | |
JP5386482B2 (ja) | 所定の状態によって作動または停止する機械的振動体 | |
JP2009300244A (ja) | 腐食センサ | |
US20240210295A1 (en) | Density meter having at least one measuring tube, and method for operating and method for adjusting a density meter of this type | |
Shanmugavalli et al. | Smart Coriolis mass flowmeter | |
Chakraborty et al. | Nonlinear dynamics of resonant microelectromechanical system (MEMS): A review | |
JP2017072383A (ja) | 土壌監視装置、土壌監視システムおよび土壌監視方法 | |
Dultsev et al. | QCM operating in threshold mode as a gas sensor | |
Heinisch et al. | Miniaturized resonating viscometers facilitating measurements at tunable frequencies in the low kHz-range | |
Wolf et al. | New tuning fork corrosion sensor with high sensitivity | |
Zhang et al. | Early detection of the wear of coriolis flowmeters through in situ stiffness diagnosis | |
Manus et al. | Method for Diagnosing Random Zero Shift in Coriolis Flowmeter Caused by its Mechanical Support | |
Wu | Development of acoustic wave devices to characterize viscosity and its nonlinearity |