JP2009296862A - Piezoelectric actuator - Google Patents

Piezoelectric actuator Download PDF

Info

Publication number
JP2009296862A
JP2009296862A JP2008151108A JP2008151108A JP2009296862A JP 2009296862 A JP2009296862 A JP 2009296862A JP 2008151108 A JP2008151108 A JP 2008151108A JP 2008151108 A JP2008151108 A JP 2008151108A JP 2009296862 A JP2009296862 A JP 2009296862A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
plunger
box
piezoelectric
end portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008151108A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Okiri
大桐宏司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miwa Lock KK
Miwa Lock Co Ltd
Art Inc Japan
Original Assignee
Miwa Lock KK
Miwa Lock Co Ltd
Art Inc Japan
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miwa Lock KK, Miwa Lock Co Ltd, Art Inc Japan filed Critical Miwa Lock KK
Priority to JP2008151108A priority Critical patent/JP2009296862A/en
Priority to CN 200810214877 priority patent/CN101383234B/en
Publication of JP2009296862A publication Critical patent/JP2009296862A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a load to a piezoelectric element for being displaced so as not to weight a working piece controlled by the piezoelectric element as much as possible. <P>SOLUTION: A piezoelectric actuator incorporates a plunger, a spring member always energizing the plunger so as to project a tip portion of the plunger from an opening of a box, a piezoelectric element to convert a voltage signal into a mechanical displacement, and a working piece to be connected to the piezoelectric element and to disengage the plunger by control of the piezoelectric element in the box. In the piezoelectric actuator, the working piece disengages the plunger by sliding an inner face of a bottom wall of the box toward a horizontal direction, the piezoelectric element connects one end portion thereof to a first piezoelectric element and one end portion of the first piezoelectric element and includes a second piezoelectric element for being extratensively displaced from a free end portion side, and a base end portion of the first piezoelectric element is supported at a box side. Meanwhile, the working piece is engaged with the free end portion of a second piezoelectric element piece. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧電アクチュエーターに関し、特に、機械駆動機構における電気的制御可能なクラッチ装置用の圧電アクチュエーターに関する。   The present invention relates to a piezoelectric actuator, and more particularly to a piezoelectric actuator for an electrically controllable clutch device in a mechanical drive mechanism.

特許文献1は、技術分野を問わず、電気制御式のラッチ機構について独占権を要求するものであり、そのラッチ機構は、「箱体に往復動可能に設けられた中空プランジャ(中空作動杆)の内部に長尺状の圧電素子を中空作動杆の長手方向に配設し、前記長尺状圧電素子の基端部をニ分割の中空作動杆片でもって挟持し、基端部から水平状態に延びる圧電素子の自由端部を、箱体に軸支された係合片(ツメと称する係合片)の中空作動杆片の内部に延在する受け脚部に臨ませ、圧電素子にリード線を介して電圧信号を印加すると、圧電素子の自由端部が変位して前記係合片の受け脚部を押圧し、これにより、係合片は一端部の支軸を支点にして、その係合先端部が中空作動杆片の外面に形成された傾斜状切欠溝から離れること」、を特徴とする。   Patent Document 1 requires an exclusive right for an electrically controlled latch mechanism regardless of the technical field, and the latch mechanism is “a hollow plunger (hollow operating rod) provided in a box so as to be reciprocally movable”. A long piezoelectric element is arranged in the longitudinal direction of the hollow actuating rod, and the base end of the long piezoelectric element is sandwiched between two hollow actuating rods so that it is horizontal from the base end. The free end of the piezoelectric element extending in the direction of the piezoelectric element faces the receiving leg that extends inside the hollow working rod of the engagement piece (engagement piece referred to as a claw) that is pivotally supported by the box. When a voltage signal is applied through the wire, the free end portion of the piezoelectric element is displaced and presses the receiving leg portion of the engagement piece, whereby the engagement piece has its support shaft as one fulcrum, The engagement tip portion is separated from the inclined notch groove formed on the outer surface of the hollow operating rod ".

特許文献1について付言すれば、特許文献1は、(ア)長尺状の圧電素子を中空作動杆内に一端部を固定した状態で内装した点、(イ)図示しない、リード線が中空作動杆の水平移動量に対応して可動する点、(ウ)横T字形状の係合片を、その受け脚部が圧電素子の自由端部に対向するように中空作動杆の内部に延在し、かつ受け脚部と交差する係合先端部が中空作動杆片の外面傾斜状切欠溝と係脱する点に特徴がある、と認定することができる。   In addition to Patent Document 1, Patent Document 1 describes that (a) a long piezoelectric element is housed in a state where one end portion is fixed in a hollow working rod, and (a) a lead wire that is not shown in the drawing is hollow. (C) A horizontal T-shaped engagement piece extends inside the hollow working rod so that its receiving leg faces the free end of the piezoelectric element. In addition, it can be recognized that the engagement tip portion intersecting with the receiving leg portion is characterized in that it is engaged with and disengaged from the outer surface inclined notch groove of the hollow operating rod.

しかしながら、特許文献1に記載の電気制御式のラッチ機構は、圧電素子を中空作動杆片に挟持状態に内蔵させ、ツメと称する係合片の脚部を圧電素子の自由端部付近へと延在させるために、中空作動杆片を複雑に構成しなければ成らないという問題点があった。   However, the electric control type latch mechanism described in Patent Document 1 has a piezoelectric element built in a state of being sandwiched by a hollow operating rod, and a leg portion of an engagement piece called a claw is extended to the vicinity of the free end of the piezoelectric element. In order to make it exist, there was a problem that the hollow working piece had to be configured in a complicated manner.

また、部品点数が多すぎるという欠点もあった。   In addition, there is a disadvantage that the number of parts is too large.

なお、ここで、電圧を印加するとか、電気的信号を与えるとか、駆動信号を与える等の用語は、発明の本質的観点から法解釈学的に認定判断されるものである。   Here, terms such as applying a voltage, giving an electrical signal, giving a drive signal, and the like are legally interpreted from the essential viewpoint of the invention.

電圧印加、電気信号を印加する、駆動信号を与える等の用語は、同じ意味合いである。
特表2006−519465号公報
Terms such as voltage application, electric signal application, drive signal application, etc. have the same meaning.
Special table 2006-519465 gazette

本発明の所期の目的は、圧電素子と共働する作動片(プランジャ用ロック片)の重量を圧電素子に直接掛けないことである。付言すると、圧電素子によって制御される作動片の重量を極力掛けないようにして変位可能な圧電素子への負荷を減らすことである。第2の目的は、箱体の内部空間を有効的に活用することである。第3の目的は、箱体の内部空間に長尺状圧電素子、ロック機能を有する作動片、プランジャ及びバネ部材を容易に組み付けることができることである。第4の目的は、変位量の大きい長尺状圧電素子(アクチュエータ)も実装することができることである。第5の目的は、変位量の大きい長尺状圧電素子と共働する作動片をプランジャに確実に係脱させることができることである。   An intended object of the present invention is not to directly apply the weight of an operating piece (a plunger locking piece) that cooperates with the piezoelectric element to the piezoelectric element. In other words, the load on the displaceable piezoelectric element is reduced so as not to apply the weight of the operation piece controlled by the piezoelectric element as much as possible. The second purpose is to effectively use the internal space of the box. The third object is that a long piezoelectric element, an operating piece having a lock function, a plunger and a spring member can be easily assembled in the internal space of the box. A fourth object is that a long piezoelectric element (actuator) having a large displacement can be mounted. The fifth object is to enable the plunger to reliably engage and disengage the operating piece that cooperates with the long piezoelectric element having a large displacement.

本発明の圧電アクチュエーターは、箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片をそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、前記作動片は、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャに係脱し、また、前記圧電素子は、第1圧電素子と該第1圧電素子の一端部にその一端部が結合すると共に、自由端部側から外拡変位可能な第2圧電素子を有し、前記第1圧電素子の基端部は箱体側に支持され、一方、前記第2圧電素子片の自由端部に前記作動片が係合していることを特徴とすることを特徴とする。   The piezoelectric actuator of the present invention converts a plunger into a box, a spring member that constantly urges the plunger so that the tip of the plunger protrudes from the opening of the box, and a voltage signal into a mechanical displacement. Piezoelectric actuators each incorporating a piezoelectric element and an operating piece that is connected to the piezoelectric element and that engages and disengages from the plunger under the control of the piezoelectric element, wherein the operating piece covers the inner surface of the bottom wall of the box. Slides horizontally to engage / disengage from the plunger, and the piezoelectric element is coupled to one end of the first piezoelectric element and one end of the first piezoelectric element, and can be expanded outward from the free end side. A second piezoelectric element, and a base end portion of the first piezoelectric element is supported on the box body side, while the operating piece is engaged with a free end portion of the second piezoelectric element piece. To feature And butterflies.

また、本発明の圧電アクチュエーターは、箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片とをそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、前記作動片は前記圧電素子の自由端部に係合し、通電時、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャを係止することを特徴とする。   Further, the piezoelectric actuator of the present invention includes a plunger in the box, a spring member that constantly biases the plunger so that the tip of the plunger protrudes from the opening of the box, and a mechanical displacement of the voltage signal. Piezoelectric actuators each incorporating a piezoelectric element to be converted and an operating piece connected to and disengaged from the plunger by control of the piezoelectric element, the operating piece being a free end of the piezoelectric element The inner surface of the bottom wall of the box body is slid in the horizontal direction and the plunger is locked when energized.

(a)請求項1又は請求項5に記載の発明は、作動片は圧電素子の自由端部に係合し、通電時、箱体の底壁の内面を水平方向にスライドしてプランジャを係止するので、本願発明の所期の目的を達成することができる。
(b)また、圧電素子をプランジャの外部に位置付けたので、箱体内の内部空間を有効的に活用することができる、各部材を容易に組み合わせることができる、箱体の内部空間に変位量の大きい長尺状圧電素子を実装させることによって作動片をプランジャに確実に係脱させることができる等がある。
(A) In the invention according to claim 1 or 5, the operating piece engages with the free end of the piezoelectric element, and when energized, the inner surface of the bottom wall of the box is slid horizontally to engage the plunger. Therefore, the intended purpose of the present invention can be achieved.
(B) Since the piezoelectric element is positioned outside the plunger, the internal space in the box can be used effectively, and the members can be easily combined. For example, by mounting a large elongated piezoelectric element, the operating piece can be reliably engaged with and disengaged from the plunger.

以下、図1乃至図11に示す本発明を実施するための最良の形態(第1実施例)により説明する。
(1)発明の実施の環境
図1は圧電アクチュエーターXを示す概略説明図である。この圧電アクチュエーターXは、例えば機械駆動機構における電気的制御可能なクラッチ装置に使用される。したがって、用途の一例は特許文献1と同じである。図1は箱体1の内部構造を示している。なお、符号Yは、例えば戸枠である。
(2)箱体1
図1は縦長状の箱体1内に組み込まれた主たる部材の斜視図で、ケース蓋、右側壁、基板等は省略している。図2はケース蓋1bの一部を切欠した正面面視からの説明図、図3はケース身1aの構成を示す概略説明図、図4は図2の4−4線に基づく一部概略断面説明図である。
The best mode for carrying out the present invention shown in FIGS. 1 to 11 will be described below (first embodiment).
(1) Environment for Implementing the Invention FIG. 1 is a schematic explanatory view showing a piezoelectric actuator X. FIG. The piezoelectric actuator X is used for, for example, an electrically controllable clutch device in a mechanical drive mechanism. Therefore, an example of the application is the same as that of Patent Document 1. FIG. 1 shows the internal structure of the box 1. In addition, the code | symbol Y is a door frame, for example.
(2) Box 1
FIG. 1 is a perspective view of main members incorporated in a vertically long box 1, and a case lid, a right side wall, a substrate and the like are omitted. FIG. 2 is an explanatory view from a front view with a part of the case lid 1b cut away, FIG. 3 is a schematic explanatory view showing the structure of the case body 1a, and FIG. It is explanatory drawing.

箱体1は、ケース身1aと、このケース身に合体するケース蓋1bとから成る。したがって、錠箱と同様の構成である。例えば図3を参照にすると、2、3は上下の壁で、上壁2の一端部(左端部)には、プランジャ41用の開口4が形成されている。また、5、6は左右の側壁である。   The box 1 includes a case body 1a and a case lid 1b united with the case body. Therefore, it is the same structure as a lock box. For example, referring to FIG. 3, reference numerals 2 and 3 denote upper and lower walls, and an opening 4 for the plunger 41 is formed at one end portion (left end portion) of the upper wall 2. Reference numerals 5 and 6 denote left and right side walls.

しかして、箱体1内部には、プランジャ41用の複数の案内手段が設けられている。すなわち、7は底壁3と所定空間を有して対向する第1案内壁、8は前壁2の開口4並びに前記第1案内壁7と対向するように箱体1の中央部に設けられた第2水平案内壁で、これらの水平案内壁7、8の中央部にはプランジャ41の摺動軸42を案内することができるように不番の貫通孔(案内孔)がそれぞれ形成されている。   Thus, a plurality of guide means for the plunger 41 are provided inside the box body 1. That is, 7 is a first guide wall facing the bottom wall 3 with a predetermined space, and 8 is provided at the center of the box 1 so as to face the opening 4 of the front wall 2 and the first guide wall 7. The second horizontal guide wall is formed with an unnumbered through hole (guide hole) at the center of the horizontal guide walls 7 and 8 so that the sliding shaft 42 of the plunger 41 can be guided. Yes.

一方、9、10は前壁2と直交するように該前壁2の内壁面から底壁3に向かって所要量延在し、前記プランジャ41のラッチ部分43を案内する第1・第2垂直案内壁である。   On the other hand, the first and second vertical guides 9 and 10 extend from the inner wall surface of the front wall 2 toward the bottom wall 3 so as to be orthogonal to the front wall 2 and guide the latch portion 43 of the plunger 41. It is a guide wall.

また、箱体1内部には、長尺状の圧電素子21の基端部21aを支持する支持部材11が設けられている。本実施例では、前記圧電素子21が右側壁6の内壁面に沿って垂直状態に配設されるので、図2で示すように、右側壁6の下部或は底壁3の右側内壁面に固定されている。支持部材11は、例えば上向きコ字形状に形成され、該支持部材11の垂直溝11aに圧電素子21の基端部21aが差込み係合する。
(3)箱体1内に組み込まれる部材
図2で示すように、箱体1内には、昇圧回路を有する基板15、該基板15とリード線16を介して電気的に接続する長尺状の圧電素子21、ロック機能を有する作動片31、複数の案内手段に案内されて上下方向に進退動するプランジャ41、該プランジャ41の先端部(ラッチ部分)43が箱体1の開口4から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材47がそれぞれ組み込まれている。
A support member 11 that supports the base end portion 21 a of the long piezoelectric element 21 is provided inside the box body 1. In the present embodiment, the piezoelectric element 21 is disposed vertically along the inner wall surface of the right side wall 6, so that it is formed on the lower side of the right side wall 6 or the right inner wall surface of the bottom wall 3 as shown in FIG. It is fixed. The support member 11 is formed, for example, in an upward U shape, and the base end portion 21 a of the piezoelectric element 21 is inserted into and engaged with the vertical groove 11 a of the support member 11.
(3) Members to be incorporated in the box 1 As shown in FIG. 2, the box 1 has a board 15 having a booster circuit, and a long shape electrically connected to the board 15 via the lead wires 16. The piezoelectric element 21, the operation piece 31 having a locking function, the plunger 41 that is guided by a plurality of guide means and moves back and forth in the vertical direction, and the tip portion (latch portion) 43 of the plunger 41 protrudes from the opening 4 of the box 1. Thus, a spring member 47 that constantly biases the plunger is incorporated.

なお、本実施例では、前記基板15は、右側壁6の内壁面に適宜に固定され、図7で示すように箱体1外に配設された制御部14によって制御される。
(4)圧電素子21
図1及び図2で示すように、長尺状の圧電素子21は、箱体1の一側壁6の内面に沿って配設された一枚タイプ又は二枚タイプ(本実施例)の長板体で、その基端部21aは底壁3側に設けられた支持部材11に支持され、一方、前記基端部21aと重なるように対向する自由端部21bは底壁3の内壁面を水平方向にスライドする作動片31の係合部32に差込み係合する(図2、図5参照)。
In this embodiment, the substrate 15 is appropriately fixed to the inner wall surface of the right side wall 6 and is controlled by the control unit 14 disposed outside the box 1 as shown in FIG.
(4) Piezoelectric element 21
As shown in FIGS. 1 and 2, the long piezoelectric element 21 is a single plate type or two plate type (this embodiment) long plate disposed along the inner surface of one side wall 6 of the box 1. The base end portion 21a of the body is supported by the support member 11 provided on the bottom wall 3 side, while the free end portion 21b facing the base end portion 21a horizontally covers the inner wall surface of the bottom wall 3. It is inserted and engaged with the engaging portion 32 of the operating piece 31 that slides in the direction (see FIGS. 2 and 5).

さて、本実施例の長尺状の圧電素子21は、図6で示すように二重構造体21A、21Bである。すなわち、この圧電素子21は、基端部21aを有する第1圧電素子21Aと、該第1圧電素子の一端部にその一端部が結合すると共に、自由端部21b側から反るように外拡変位可能な第2圧電素子21Bとを有し、前記第1圧電素子の基端部21aは、前記自由端部21bよりも若干長い(図5参照)。   Now, the long piezoelectric element 21 of the present embodiment is a double structure 21A, 21B as shown in FIG. That is, the piezoelectric element 21 has a first piezoelectric element 21A having a base end portion 21a and one end portion coupled to one end portion of the first piezoelectric element, and extends outwardly so as to warp from the free end portion 21b side. The base end portion 21a of the first piezoelectric element is slightly longer than the free end portion 21b (see FIG. 5).

このような二重構造体21A、21Bの長尺状圧電素子21は、その第1圧電素子21Aの基端部21aが支持部材11の垂直溝11aに固定的に支持されているものの、通電時には、中央部に相当する結合端部21c側がプランジャ41の摺動軸42の上端部側方向に反るように変位すると同時に、第2圧電素子21Bの自由端部21bも前記摺動軸42の下端部側方向に反るように変位するので、作動片31の左右動する幅(変位量)が大きくなる(図10と図2を参照)。したがって、箱体1の内部空間に変位量の大きい長尺状圧電素子21を実装させ、該長尺状圧電素子と共働する作動片31をプランジャ41に確実に係脱させることができるという利点がある。   In such a long piezoelectric element 21 of the double structures 21A and 21B, the base end portion 21a of the first piezoelectric element 21A is fixedly supported by the vertical groove 11a of the support member 11. The free end portion 21b of the second piezoelectric element 21B is also moved to the lower end of the sliding shaft 42 at the same time as the coupling end portion 21c side corresponding to the central portion is displaced so as to warp toward the upper end portion side of the sliding shaft 42 of the plunger 41. Since it is displaced so as to warp in the part side direction, the width (displacement amount) by which the operating piece 31 moves left and right is increased (see FIGS. 10 and 2). Therefore, the advantage is that the long piezoelectric element 21 having a large displacement amount is mounted in the internal space of the box body 1 and the operating piece 31 that cooperates with the long piezoelectric element can be reliably engaged with and disengaged from the plunger 41. There is.

また、長尺状圧電素子21の基端部を簡単に箱体1内に固定することができる。   Further, the base end portion of the long piezoelectric element 21 can be easily fixed in the box 1.

ところで、圧電素子21は、外観上二枚の長板の一端部を結合したように見えるが、図7で示すような多層の構造体であり、昇圧回路を有する基板15から印加された電圧信号を機械的な変位に変換する。ここで、図7を参照にして、圧電素子21の基本的構成及び機能を説明する。圧電素子21は、圧電体を含む多層構造の長方状の板状体であり、例えば中央板22と、この中央板22の両面に導電性接着層23を介して積層される一対の圧電板24とを備えている。   By the way, although the piezoelectric element 21 looks like one end portion of two long plates joined together, it is a multilayer structure as shown in FIG. 7, and a voltage signal applied from the substrate 15 having a booster circuit. To mechanical displacement. Here, the basic configuration and function of the piezoelectric element 21 will be described with reference to FIG. The piezoelectric element 21 is a rectangular plate-like body having a multilayer structure including a piezoelectric body. For example, a central plate 22 and a pair of piezoelectric plates laminated on both surfaces of the central plate 22 with a conductive adhesive layer 23 interposed therebetween. 24.

しかして、前記中央板22は、表面部に導電性を有する補強材であり、その材料としては、SK鋼を焼入れ処理したものが用いられている。また、前記圧電板24は、不番の圧電体と、この圧電体の両面に積層される一対の電極25とを備えている。圧電板24の圧電体は、電圧の印加により歪みが生じるピエゾ効果を有する材料であれば特に限定されるものではないが、例えば圧電セラミックス、高分子圧電体、単結晶圧電体等を使用する。中でも、大きな圧電効果を有し、耐久性も良好なチタン酸・ジルコン酸鉛系圧電セラミックス(PZT)が使用されている。   Thus, the central plate 22 is a reinforcing material having conductivity on the surface, and a material obtained by quenching SK steel is used. The piezoelectric plate 24 includes an unnumbered piezoelectric body and a pair of electrodes 25 stacked on both surfaces of the piezoelectric body. The piezoelectric body of the piezoelectric plate 24 is not particularly limited as long as it is a material having a piezo effect that causes distortion when voltage is applied. For example, piezoelectric ceramics, polymer piezoelectric bodies, single crystal piezoelectric bodies, and the like are used. Among these, piezoelectric titanate / zirconate-based piezoelectric ceramics (PZT) having a large piezoelectric effect and good durability are used.

また、電極25は圧電体の外縁部を除いたほぼ全面に積層され、例えば銀ペーストの印刷及び焼付けにより形成される。   Moreover, the electrode 25 is laminated | stacked on the substantially whole surface except the outer edge part of a piezoelectric material, for example, is formed by printing and baking of a silver paste.

上記の圧電素子21には、外面側に配設される一対の電極25と中央板22に、例えば外部に配設した制御部14を介して錠箱内の基板15の駆動部(ドライブ)から駆動(電圧)信号が印加される。本実施例では、図2で示すようにリード線16が基板15に電気的に接続しており、プランジャ41が動いても、リード線16自体は全く動かない。基板15は、このリード線16を介して外側の両電極25に正電圧及び負電圧を交互に印加する。   The piezoelectric element 21 includes a pair of electrodes 25 and a central plate 22 arranged on the outer surface side, for example, from a driving unit (drive) of the substrate 15 in the lock box via the control unit 14 arranged outside. A drive (voltage) signal is applied. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the lead wire 16 is electrically connected to the substrate 15, and even if the plunger 41 moves, the lead wire 16 itself does not move at all. The substrate 15 alternately applies a positive voltage and a negative voltage to both outer electrodes 25 via the lead wires 16.

このように正電圧を印加した場合、一方の圧電体は伸び、これに対して、他方の圧電体は縮む結果、圧電素子21は一方側に湾曲する。このような圧電素子21の機能を、ここでは「電圧信号を機械的な変位に変換する」と表現する。なお、電圧効果に関しては、前記したように、電圧板24を両面に備えたバイモルフ構造の他に、片面のみに電圧板24を備えたユニモルフ構造が公知事項として知られている。
(5)作動片31
図8はロック機能を有する作動片31の斜視図である。本実施例の作動片31は、長方形の底面31a・上面31bを有するブッロック形状(例えば直方体)に形成されている。ブッロック状の作動片31は、底壁3と第1案内壁7との間の所定空間に組み込まれ、圧電素子21に制御されながら前記底壁3の内壁面を左右方向へとスライドする。付言すると、本実施例の作動片31は、圧電素子21の自由端部21bに接続し、かつ圧電素子21と共働しながらプランジャ41の摺動軸42の下端面に入り込む。
When a positive voltage is applied in this way, one piezoelectric body expands, while the other piezoelectric body contracts. As a result, the piezoelectric element 21 curves to one side. Here, the function of the piezoelectric element 21 is expressed as “converting a voltage signal into a mechanical displacement”. As for the voltage effect, as described above, in addition to the bimorph structure having the voltage plate 24 on both sides, a unimorph structure having the voltage plate 24 only on one side is known as a known matter.
(5) Working piece 31
FIG. 8 is a perspective view of the operating piece 31 having a locking function. The working piece 31 of this embodiment is formed in a block shape (for example, a rectangular parallelepiped) having a rectangular bottom surface 31a and top surface 31b. The block-shaped operating piece 31 is incorporated in a predetermined space between the bottom wall 3 and the first guide wall 7 and slides on the inner wall surface of the bottom wall 3 in the left-right direction while being controlled by the piezoelectric element 21. In addition, the operating piece 31 of the present embodiment is connected to the free end 21 b of the piezoelectric element 21 and enters the lower end surface of the sliding shaft 42 of the plunger 41 while cooperating with the piezoelectric element 21.

しかして、作動片31は、圧電素子21の自由端部21bを接続するために支持部材側の一端部に凹所状の係合部32を有する。また、作動片31の滑動を良好にするために底面31a・上面31bに球状の摺動小突起33を有する。
(6)プランジャ41と付勢バネ47、
図9はラッチ機能を有するプランジャ41の斜視図である。本実施例のプランジャ41は、第1・第2の水平案内壁7,8に案内される摺動軸42と、この摺動軸42の上端部に連設されたラッチ部分43とから成り、前記摺動軸42の中央部には第2水平案内壁8に受け止められるフランジ部44が設けられている。
Therefore, the operating piece 31 has a concave engaging portion 32 at one end portion on the support member side in order to connect the free end portion 21 b of the piezoelectric element 21. In addition, spherical sliding small protrusions 33 are provided on the bottom surface 31a and the top surface 31b in order to improve the sliding of the operating piece 31.
(6) Plunger 41 and biasing spring 47,
FIG. 9 is a perspective view of the plunger 41 having a latch function. The plunger 41 of the present embodiment is composed of a sliding shaft 42 guided by the first and second horizontal guide walls 7 and 8 and a latch portion 43 connected to the upper end of the sliding shaft 42. A flange portion 44 that is received by the second horizontal guide wall 8 is provided at the center of the sliding shaft 42.

そして、付勢バネ47は、ラッチ部分43の後端面(下端面)と第2水平案内壁8にそれぞれ圧接するように摺動軸42に巻装され、かつプランジャの三角形状のラッチ部分43が箱体1の開口4から突出するように該プランジャを常時付勢する。なお、プランジャ41の先端部43は、本実施例では三角形に形成されているが、これは任意事項であり、係止機能を有する係止面と、摺接機能を有する傾斜面を直角三角形にすることもできる。   The urging spring 47 is wound around the sliding shaft 42 so as to be in pressure contact with the rear end surface (lower end surface) of the latch portion 43 and the second horizontal guide wall 8, and the triangular latch portion 43 of the plunger is provided. The plunger is always urged so as to protrude from the opening 4 of the box 1. In addition, although the front-end | tip part 43 of the plunger 41 is formed in the triangle in a present Example, this is an arbitrary matter, and the locking surface which has a locking function, and the inclined surface which has a sliding contact function are made into a right triangle. You can also

(7)作用
図2では、圧電アクチュエーターXの箱体1の上壁(前壁)2と対向する固定体(例えば戸枠)Yが存在していることを前提としている。もちろん、Yが可動側であって、圧電アクチュエーターXの箱体1が固定側であっても良い。プランジャ41は、その先端部43が開口4から突出するようにバネ部材47によって常時付勢されている。そこで、非通電時と通電時の場合を説明する。図11は非通電時の場合である。圧電素子21に電圧を印加していない場合(非通電時)には、圧電素子21は、箱体1の右側壁6の内壁面に対して平行状態(略垂直状態)である。付言すると、作動片31は圧電素子21の自由端部21bで底壁3の内壁面をスライドしながら支持部材11側に引き戻され、プランジャ41の被係合部(本実施例では摺動軸の下端面)から離れる(アンロック状態)。したがって、プランジャ41は矢印で示すようにバネ部材47のバネ力に抗して箱体1内に後退することが可能となる。
(7) Operation In FIG. 2, it is assumed that there is a fixed body (for example, a door frame) Y that faces the upper wall (front wall) 2 of the box 1 of the piezoelectric actuator X. Of course, Y may be the movable side, and the box 1 of the piezoelectric actuator X may be the fixed side. The plunger 41 is always urged by a spring member 47 so that the tip end portion 43 projects from the opening 4. Therefore, the case of non-energization and energization will be described. FIG. 11 shows a case where no power is supplied. When no voltage is applied to the piezoelectric element 21 (when no current is applied), the piezoelectric element 21 is in a parallel state (substantially vertical state) to the inner wall surface of the right side wall 6 of the box 1. In addition, the operating piece 31 is pulled back toward the support member 11 while sliding on the inner wall surface of the bottom wall 3 at the free end portion 21b of the piezoelectric element 21, and the engaged portion of the plunger 41 (in this embodiment, the sliding shaft) Move away from the bottom edge (unlocked). Therefore, the plunger 41 can be retracted into the box 1 against the spring force of the spring member 47 as indicated by an arrow.

これに対して、図1及び図2は通電時の場合である。圧電素子21に電圧を印加した場合には、該圧電素子21は、電圧信号を機械的な変位に変換するので、前述したように結合端部21c側及び自由端部21b側がプランジャ41の摺動軸42側に反るように位置変位する。   On the other hand, FIG.1 and FIG.2 is a case at the time of electricity supply. When a voltage is applied to the piezoelectric element 21, the piezoelectric element 21 converts the voltage signal into a mechanical displacement, so that the coupling end 21 c side and the free end 21 b side slide on the plunger 41 as described above. The position is displaced so as to warp toward the shaft 42 side.

したがって、作動片31は底壁3の内壁面をスライドしながら支持部材11側から離れ、前記摺動軸42の下端面に入り込む(ロック状態)。それ故に、プランジャ41は後退することができない。このように圧電素子21は、その自由端部21bで作動片31を底壁3の内壁面に沿って左右にスライドさせて、プランジャ41をアンロック状態又はロック状態に制御する(図10参照)。   Therefore, the operating piece 31 moves away from the support member 11 side while sliding on the inner wall surface of the bottom wall 3 and enters the lower end surface of the sliding shaft 42 (locked state). Therefore, the plunger 41 cannot be retracted. In this way, the piezoelectric element 21 controls the plunger 41 in the unlocked state or the locked state by sliding the operating piece 31 left and right along the inner wall surface of the bottom wall 3 at its free end 21b (see FIG. 10). .

次に、本発明の第2実施例を説明する。なお、この第2実施例の説明に当たって、第1実施例と同一の部分には、同一又は同様の符号を付して重複する説明を省略する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the description of the second embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same or similar reference numerals, and redundant description is omitted.

図12乃至図16は第2実施例の各説明図である。この第2実施例の圧電アクチュエーターX1に於いて、長尺状圧電素子21、作動片31A、支持部材11、基板15等の配設箇所がそれぞれ異なるものの、第1実施例と主に異なる点は、次の通りである。
(イ)第1実施例のプランジャ41は、錠箱1の上壁2の開口4から突出しているのに対して、第1実施例のプランジャ41Aは、箱体1Aの右側壁6の下端部に形成された開口4Aから突出している。そして、プランジャ41、41A同士の構成を比較すると、前者41は摺動軸42を有するのに対し、後者は摺動軸42を有さない。しかして、図13で示すようにプランジャ41Aの手前側の正面壁41aは矢印の標識板形状に形成され、向こう側の背面壁41bまで横断面矩形状に形成されている(図14参照)。また、プランジャ41Aの前記背面壁41bの適宜箇所には、突起状のラッチ被係合部45が形成されている。
(ロ)したがって、第2実施例のプランジャ41Aは、その後端部と錠箱1Aの左側壁5との間に介在するバネ部材47のバネ力に抗して、かつ、底壁3の内壁面と第1水平案内板7Aに規制されながら水平方向に後退動可能である。
(ハ)また、通電時、第1実施例の作動片31はプランジャ41の下方に入り込み、該プランジャ41の後退を阻止するのに対して、第2実施例の作動片31Aは、ケース身1aの一つの幅広側壁からケース蓋1b側へ底壁3の内壁面をスライドしながらプランジャ41Aのラッチ被係合部45に係合して、該プランジャ41Aの後退を阻止する。
(ニ)さらに、錠箱1A内の案内手段は、底壁3と対向する第1水平案内板7Aのみである。また、基板15は錠箱1A内の設けられた隔壁状の支持板48を介して垂直状態に取付けられている。その他の細部的な相違の説明は割愛する。
12 to 16 are explanatory views of the second embodiment. In the piezoelectric actuator X1 of the second embodiment, although the location of the long piezoelectric element 21, the operating piece 31A, the support member 11, the substrate 15 and the like is different, the main differences from the first embodiment are as follows. It is as follows.
(A) The plunger 41 of the first embodiment protrudes from the opening 4 of the upper wall 2 of the lock box 1, whereas the plunger 41A of the first embodiment is the lower end of the right side wall 6 of the box 1A. It protrudes from the opening 4A formed in. When comparing the configurations of the plungers 41 and 41A, the former 41 has the sliding shaft 42, whereas the latter does not have the sliding shaft 42. Thus, as shown in FIG. 13, the front wall 41a on the near side of the plunger 41A is formed in the shape of an arrow mark plate, and is formed in a rectangular cross section up to the rear wall 41b on the far side (see FIG. 14). Further, a protrusion-like latch engaged portion 45 is formed at an appropriate location on the back wall 41b of the plunger 41A.
(B) Therefore, the plunger 41A of the second embodiment is against the spring force of the spring member 47 interposed between the rear end portion and the left side wall 5 of the lock box 1A, and the inner wall surface of the bottom wall 3 And can be moved backward in the horizontal direction while being restricted by the first horizontal guide plate 7A.
(C) When energized, the working piece 31 of the first embodiment enters below the plunger 41 and prevents the plunger 41 from retreating, whereas the working piece 31A of the second embodiment has the case body 1a. The inner wall surface of the bottom wall 3 is slid from one wide side wall to the case lid 1b side while engaging the latch engaged portion 45 of the plunger 41A to prevent the plunger 41A from retreating.
(D) Furthermore, the guide means in the lock box 1A is only the first horizontal guide plate 7A facing the bottom wall 3. The substrate 15 is attached in a vertical state via a partition-like support plate 48 provided in the lock box 1A. The explanation of other detailed differences is omitted.

ところで、第1及び第2実施例の圧電素子21は、二重構造体21A、21B(一端部が連結したニ枚タイプ)のもので、公衆が電気通信回線を介してアクセス可能な一般の公開情報によると、「バイモルフ」と称されている。   By the way, the piezoelectric element 21 of the first and second embodiments is of a double structure 21A, 21B (two-sheet type with one end connected), and is open to the public that can be accessed by the public via a telecommunication line. According to the information, it is called “bimorph”.

そして、一般の公開情報によると、該バイモルフは、中央ベース板の表面と裏側の両面に電圧セラミックスをそれぞれ張り付けたもの、つまり、二枚の電圧セラミックスを用いて構成される圧電アクチュエーターの総称である。したがって、第1及び第2実施例の圧電素子21は、二枚の電圧セラミックスを用いる構成であるならば、当然、一枚タイプの構造体であっても良い。   According to general public information, the bimorph is a general term for piezoelectric actuators in which voltage ceramics are attached to both the front and back sides of the central base plate, that is, two piezoelectric ceramics. . Therefore, as long as the piezoelectric element 21 of the first and second embodiments is configured to use two voltage ceramics, it may be a single-sheet type structure.

また、前記一般の公開情報によると、圧電素子は、「ユニモルフ」と称されているものも存在する。図17はユニモルフの具体的構成を示す概略説明図である。この図17から明らかなように、ユニモルフ構造の圧電素子21は、基本的には一枚の金属板の一側面に一枚の電圧セラミックスを張り付けた構造で、例えば一枚のユニモルフ、二枚のユニモルフ等が存在する。   Further, according to the general public information, there is a piezoelectric element called “unimorph”. FIG. 17 is a schematic explanatory diagram showing a specific configuration of a unimorph. As is apparent from FIG. 17, the piezoelectric element 21 having a unimorph structure basically has a structure in which one voltage ceramic is attached to one side of one metal plate. For example, one unimorph, two sheets Unimorph exists.

しだかって、第1及び第2実施例の圧電素子21は、一枚のユニモルフを採用したものであっても良い。ここで、念のために、ユニモルフを採用した他の実施例も本発明の射程距離の範囲内であることを確認するために、図18にその一例を示す。   However, the piezoelectric element 21 of the first and second embodiments may employ a single unimorph. Here, just in case, in order to confirm that another embodiment adopting a unimorph is also within the range of the range of the present invention, an example is shown in FIG.

この図18は、圧電素子21が「一枚タイプの構造体」であって、かつ「一枚のユニモルフ」のものである。圧電素子21を一枚タイプの構造体にした場合には、その自由端部21aを支持する支持部材11は、上壁2の内壁面側に固定される。このように、本発明の圧電素子21は、発明の目的を逸脱しない範囲内に於いて、「バイモルフ」及び「ユニモルフ」のいずれでも用いることができる。   In FIG. 18, the piezoelectric element 21 is a “single-sheet type structure” and “one unimorph”. In the case where the piezoelectric element 21 is a single-sheet structure, the support member 11 that supports the free end 21 a is fixed to the inner wall surface side of the upper wall 2. Thus, the piezoelectric element 21 of the present invention can be used as either “bimorph” or “unimorph” without departing from the object of the invention.

さらに、本発明の圧電アクチュエーターXの用途は、電気的制御用のクラッチ機構に限定されるものではなく、建具用のラッチ機構やロック機構に用いることができる。圧電アクチュエーターXを建具に用いる場合には、上下方向に移動するシャッターや可動障子、水平方向に回転する扉に装着することができる。   Furthermore, the application of the piezoelectric actuator X of the present invention is not limited to the clutch mechanism for electrical control, but can be used for a latch mechanism or a lock mechanism for joinery. When the piezoelectric actuator X is used for joinery, it can be attached to a shutter or movable shoji that moves in the vertical direction, or a door that rotates in the horizontal direction.

また、本実施例では、基板15に少なくとも駆動部を設けたが、駆動部と共に制御部14を設けても良いことはもちろんである。   In the present embodiment, at least the drive unit is provided on the substrate 15, but it is needless to say that the control unit 14 may be provided together with the drive unit.

本発明は、主に建具や錠前の業界で利用される。   The present invention is mainly used in the joinery and lock industry.

図1乃至図11は本発明の最良の実施例(第1実施例)を示す各説明図。図12乃至図16は本発明の最良の実施例(第2実施例)を示す各説明図。
第1実施例の圧電アクチュエーターの内部構造の斜視図(通電時、ロック状態)。 圧電アクチュエーターの内部構造を示す概略説明図(基準図、ロック状態)。 ケース身の構成を示す概略説明図。 図2の4−4線に基づく概略断面説明図。 主要部の概略説明図。 圧電素子の一例を示す斜視図。 圧電素子の具体的構成を示す概略説明図。 作動片の構成を示す斜視図。 プランジャの構成を示す斜視図。 非通電時(アンロック状態)から通電時(ロック状態)への概略説明図。 非通電時(アンロック状態)の説明図。 第2実施例の圧電アクチュエーターの内部構造の斜視図(通電時、ロック状態)。 圧電アクチュエーターの内部構造を示す概略説明図(図2と同様の図)。 図13の14−14線に基づく概略断面説明図。 主要部の概略説明図(図10と同様の図)。 圧電アクチュエーターの内部構造の斜視図(図11と同様の図)。 圧電素子の他例(ユニモルフ構造)を示す概略説明図。 ユニモルフを用いた場合における図2と同様の概略説明図。
1 to 11 are explanatory views showing the best embodiment (first embodiment) of the present invention. 12 to 16 are explanatory views showing the best embodiment (second embodiment) of the present invention.
The perspective view of the internal structure of the piezoelectric actuator of 1st Example (at the time of electricity supply, a locked state). Schematic explanatory drawing (reference diagram, locked state) showing the internal structure of the piezoelectric actuator. The schematic explanatory drawing which shows the structure of a case body. FIG. 4 is a schematic cross-sectional explanatory diagram based on line 4-4 in FIG. 2; The schematic explanatory drawing of the principal part. The perspective view which shows an example of a piezoelectric element. Schematic explanatory drawing which shows the specific structure of a piezoelectric element. The perspective view which shows the structure of an action | operation piece. The perspective view which shows the structure of a plunger. Schematic explanatory drawing from the non-energized state (unlocked state) to the energized state (locked state). Explanatory drawing at the time of non-energization (unlocked state). The perspective view of the internal structure of the piezoelectric actuator of 2nd Example (at the time of electricity supply, a locked state). The schematic explanatory drawing which shows the internal structure of a piezoelectric actuator (same figure as FIG. 2). FIG. 14 is a schematic cross-sectional explanatory diagram based on the line 14-14 in FIG. 13. Schematic explanatory drawing of the main part (similar to FIG. 10). The perspective view of the internal structure of a piezoelectric actuator (same figure as FIG. 11). Schematic explanatory drawing which shows the other example (unimorph structure) of a piezoelectric element. The schematic explanatory drawing similar to FIG. 2 in the case of using a unimorph.

符号の説明Explanation of symbols

X、X1…圧電アクチュエーター、Y…固定側(又は可動側)、1、1A…箱体、1a…ケース身、1b…ケース蓋、2…上壁、3…底壁、4、4A…開口、5、6…左右の側壁、7、7A…第1水平案内壁、11…支持部材、14…制御部、15…基板、16…リード線、21…圧電素子、21A…第1圧電素子、21B…第2圧電素子、21a…基端部、21b…自由端部、21c…結合端部、31、31A…作動片、32…係合部、33…摺動小突起、41、41A…プランジャ、41a…正面壁、41b…背面壁、42…摺動軸、43…ラッチ部分(先端部)、44…フランジ部、45…ラッチ被係合部、47…バネ部材、48…隔壁状の支持板。 X, X1 ... piezoelectric actuator, Y ... fixed side (or movable side), 1, 1A ... box, 1a ... case body, 1b ... case lid, 2 ... top wall, 3 ... bottom wall, 4A ... opening, 5, 6 ... Left and right side walls, 7, 7A ... First horizontal guide wall, 11 ... Support member, 14 ... Control part, 15 ... Substrate, 16 ... Lead wire, 21 ... Piezoelectric element, 21A ... First piezoelectric element, 21B ... 2nd piezoelectric element, 21a ... Base end part, 21b ... Free end part, 21c ... Coupling end part, 31, 31A ... Actuating piece, 32 ... Engagement part, 33 ... Sliding small protrusion, 41, 41A ... Plunger, 41a ... Front wall, 41b ... Back wall, 42 ... Sliding shaft, 43 ... Latch part (tip part), 44 ... Flange part, 45 ... Latch engaged part, 47 ... Spring member, 48 ... Partition-like support plate .

Claims (5)

箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片をそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、前記作動片は、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャに係脱し、また、前記圧電素子は、第1圧電素子と該第1圧電素子の一端部にその一端部が結合すると共に、自由端部側から外拡変位可能な第2圧電素子を有し、前記第1圧電素子の基端部は箱体側に支持され、一方、前記第2圧電素子片の自由端部に前記作動片が係合していることを特徴とする圧電アクチュエーター。 Inside the box, a plunger, a spring member that constantly biases the plunger so that the tip of the plunger protrudes from the opening of the box, a piezoelectric element that converts a voltage signal into a mechanical displacement, and the piezoelectric element Piezoelectric actuators each incorporating an operating piece connected to and disengaged from the plunger by control of the piezoelectric element, wherein the operating piece slides horizontally on the inner surface of the bottom wall of the box. The piezoelectric element includes a first piezoelectric element and a second piezoelectric element that is coupled to one end of the first piezoelectric element and has a second piezoelectric element that can be displaced outwardly from the free end side. And the base end part of the said 1st piezoelectric element is supported by the box side, On the other hand, the said operation piece is engaging with the free end part of the said 2nd piezoelectric element piece, The piezoelectric actuator characterized by the above-mentioned. 請求項1に於いて、箱体内に昇圧回路を有する基板が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein a substrate having a booster circuit is provided in the box. 請求項1に於いて、通電時、作動片はプランジャの下方に入り込み、該プランジャの後退を阻止することを特徴とする圧電アクチュエーター。 2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein, when energized, the operating piece enters below the plunger and prevents the plunger from moving backward. 請求項1に於いて、通電時、作動片はプランジャのラッチ被係合部に係合して、該プランジャの後退を阻止することを特徴とする圧電アクチュエーター。 2. The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein, when energized, the operating piece engages with a latch engaged portion of the plunger to prevent the plunger from moving backward. 箱体内に、プランジャと、このプランジャの先端部が箱体の開口から突出するように該プランジャを常時付勢するバネ部材と、電圧信号を機械的な変位に変換する圧電素子と、この圧電素子に接続され、かつ該圧電素子の制御によって前記プランジャに係脱する作動片とをそれぞれ組み込んだ圧電アクチュエーターであって、前記作動片は前記圧電素子の自由端部に係合し、通電時、前記箱体の底壁の内面を水平方向にスライドして前記プランジャを係止することを特徴とする圧電アクチュエーター。 Inside the box, a plunger, a spring member that constantly biases the plunger so that the tip of the plunger protrudes from the opening of the box, a piezoelectric element that converts a voltage signal into a mechanical displacement, and the piezoelectric element And a piezoelectric actuator that incorporates an operating piece that engages with and disengages from the plunger under the control of the piezoelectric element, wherein the operating piece engages with a free end of the piezoelectric element, A piezoelectric actuator, wherein an inner surface of a bottom wall of a box is slid horizontally to lock the plunger.
JP2008151108A 2007-09-03 2008-06-09 Piezoelectric actuator Pending JP2009296862A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008151108A JP2009296862A (en) 2008-06-09 2008-06-09 Piezoelectric actuator
CN 200810214877 CN101383234B (en) 2007-09-03 2008-09-03 Piezoelectric actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008151108A JP2009296862A (en) 2008-06-09 2008-06-09 Piezoelectric actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009296862A true JP2009296862A (en) 2009-12-17

Family

ID=41544442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008151108A Pending JP2009296862A (en) 2007-09-03 2008-06-09 Piezoelectric actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009296862A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW543059B (en) A longitudinal piezoelectric latching relay
JP4289511B2 (en) Piezoelectric actuator
JP2008178250A (en) Pressing mechanism of ultrasonic resonator and ultrasonic motor
JP2008066060A (en) Switch and contact module
JP5162664B2 (en) Polymer actuator and polymer actuator mounted device
JP4044864B2 (en) Piezoelectric relay
JP5097879B2 (en) Piezoelectric actuator
JP2009296862A (en) Piezoelectric actuator
JP2009303282A (en) Piezoelectric actuator
JP2009296695A (en) Piezoelectric actuator
JP5148356B2 (en) Piezoelectric actuator
JP2009303424A (en) Piezoelectric actuator
JP2007318861A (en) Static actuator
US6927529B2 (en) Solid slug longitudinal piezoelectric latching relay
JP2016006719A (en) Push-button switch
JP2010114997A (en) Piezoelectric actuator
JPS62272575A (en) Piezoelectric actuator
US20070018766A1 (en) Safety switch
KR100280257B1 (en) Piezo / electric distortion actuator
WO2023056619A1 (en) Piezoelectric drive device and piezoelectric drive system having same
KR20230164183A (en) Piezoelectric actuation device and piezoelectric actuation system including the same
JP4625951B2 (en) Electrostatic actuator
JP2016031847A (en) Switching device
JP5804374B2 (en) Electrostatic actuator
JP2005276817A (en) Electromagnetic relay and method for adjusting property thereof