JP2009296007A - Iii−v族化合物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】III−V族化合物半導体発光素子は第1積層体と第2積層体を含み、第1積層体は発光層を含む半導体積層体を含み、その上には発光層からの光を反射するための多層反射構造と第1接合用金属層とが順次形成されており、第2積層体は第2接合用金属層を含み、第1と第2の積層体は第1と第2の接合用金属層の相互接続によって接合されており、多層反射構造は半導体積層体側から順に透光性の導電性酸化物層とこれに隣接する反射金属層とを含み、透光性の導電性酸化物層の厚さを制御することによって光放射特性が制御されている。
【選択図】図3
Description
図3は、本発明の実施形態1によるIII族窒化物半導体発光素子を模式的な断面図で示している。この発光素子においては、発光層を含む複数のIII族窒化物半導体層を含む積層体1−1の下面上にn型用の透光性電極120が形成されている。積層体1−1の上面側の多重金属貼付層B上には、導電性基板電極1−2が貼付けられている。その導電性基板電極1−2は多重金属貼付層Cを含み、多重金属貼付層BとCとが貼合わされている。
図6は、実施形態2によるIII族窒化物半導体発光素子を模式的な断面図で示している。この発光素子においては、発光層を含む複数のIII族窒化物半導体層を含む積層体4−1の下面上にn型用透光性電極120が形成されている。積層体4−1の上面側の多重金属貼付層E上には、導電性基板電極4−2が貼付けられている。その導電性基板電極4−2は多重金属貼付層Fを含み、多重金属貼付層EとFとが貼り合わされている。
実施形態3におけるIII族窒化物半導体発光素子は実施形態1および2に類似の構造を有しているので、実施形態1および2に類似の工程にて作製され得る。ただし、本実施形態3では、実施形態1または2におけるITO層108または408に蛍光作用を生じる不純物(La2O2S:Eu3+)を添加する。これによって、III族窒化物半導体発光素子から外部に取り出される光が白色光になり得る。また、ITO層108または408の厚みを制御することで、実施形態1および2と場合を同様の効果が得られる。
Claims (17)
- III−V族化合物半導体発光素子であって、
第1の積層体と第2の積層体を含み、
前記第1積層体はn型半導体層、活性層、およびp型半導体層が順に積層された半導体積層体を含み、
前記半導体積層体の一主面上には前記活性層から放射された光を反射するための多層反射構造が形成されており、
前記多層反射構造上には第1の接合用金属層が形成されており、
前記第2積層体は第2の接合用金属層を含み、
前記第1積層体と前記第2積層体とは前記第1接合用金属層と前記第2接合用金属層とを互いに接合することによって接合されており、
前記多層反射構造は前記半導体積層体側から順に透光性の導電性酸化物層とこれに隣接する反射金属層とを含み、
前記透光性の導電性酸化物層の厚さを制御することによって光放射特性が制御されていることを特徴とするIII−V族化合物半導体発光素子。 - 前記III−V族化合物半導体は、AlxInyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1)の組成を有していることを特徴とする請求項1に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記多層反射構造は、前記半導体積層体に対してオーミック接触し得る金属層を前記導電性酸化物層に接してさらに含んでいることを特徴とする請求項1または2に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記オーミック接触用金属層は、Ni、Pd、In、およびPtから選択された1種以上の金属を含んでいることを特徴とする請求項3に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記オーミック接触用金属層は、1nm〜20nm範囲内の厚さを有していることを特徴とする請求項3または4に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記透光性の導電性酸化物層は、酸化インジュウム、酸化錫、酸化亜鉛、および不純物によって導電性が付加された酸化チタンの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記透光性の導電性酸化物層は、1nm〜30μmの範囲内の厚さを有することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記反射金属層は、360nm〜600nmの波長範囲内の光を反射し得ることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記反射金属層は、Ag、Al、Rh、およびPdから選択された1種以上の金属を含むことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記反射金属層はAg、Bi、Pd、Au、Nd、Cu、Pt、Rh、およびNiのいずれか2種以上を含む合金を含むことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記反射金属層の合金として、AgBi、AgNd、およびAgNdCuのいずれかが用いられていることを特徴とする請求項10に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記透光性の導電性酸化膜は蛍光作用を生じる不純物を含んでおり、前記活性層からの光は前記蛍光作用によって波長変換されて放出されることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記蛍光作用を生じる不純物は、YAG:Ce、La2O2S:Eu3+、Y2O2S:Eu、ZnS:Cu,Al、および(Ba,Mg)Al10O17:Euから選択された1種以上を含み、前記活性層からの光が前記蛍光作用によって白色光に変換されることを特徴とする請求項12に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記半導体積層体の他方の主面上には透光性電極層が形成されていることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 前記透光性電極層は透光性の導電性酸化物を含むことを特徴とする請求項14に記載のIII−V族化合物半導体発光素子。
- 請求項1から15のいずれかに記載されたIII−V族化合物半導体発光素子を製造するための方法であって、前記発光素子が所定の光放射特性を有するように前記透光性の導電性酸化物層が制御された所定厚さに堆積されることを特徴とするIII−V族化合物半導体発光素子の製造方法。
- 前記透光性の導電性酸化物層がスパッタリングによって堆積されることを特徴とする請求項16に記載のIII−V族化合物半導体発光素子の製造方法。
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