JP2009293729A - ガイド装置付き流体圧シリンダー - Google Patents

Abstract

【課題】ピストンロッドの直進性を向上させるとともに、小型化することが可能なガイド装置付き流体圧シリンダーを提供する。
【解決手段】棒状固定部材２０は外周面が筒状ケーシング部材１０の内周面との間でシリンダー室１１０を形成する。筒状可動部材３０はシリンダー室１１０内で軸方向に自在に往復運動ができる。隔壁部材４０はシリンダー室１１０内の空間で第１と第２の流体圧室８０、９０に区画するために棒状固定部材２０に固着されている。第１と第２の流体圧室８０と９０の各々に流体を流入させ、第１と第２の流体圧室８０と９０の各々から流体を流出させるための流通路２３ａ、２３ｂが棒状固定部材２０に形成されている。ガイド装置５０は、筒状可動部材３０の軸方向に沿った移動を案内するために筒状ケーシング部材１０と筒状可動部材３０の間に設けられている。
【選択図】図１

Description

この発明は、一般的には流体圧シリンダーに関し、特定的には油圧等の流体圧力によりシリンダー本体から外部に軸方向に突出するピストンロッド等の可動部材の移動を案内する装置が取り付けられたガイド装置付き流体圧シリンダーに関するものである。

従来から、油圧により作動する往復動アクチュエータとして流体圧シリンダーがあり、直動駆動源として、生産ラインを構成する自動加工機械等の各種産業機械に広く使用されている。たとえば、特開２００４−３３０２９１号公報（特許文献１）に開示されているように、プレス装置に用いられる流体圧シリンダーは、流体圧により直線方向に往復動するピストンを収容するシリンダーチューブと、ピストンに取り付けられ、シリンダーチューブの端面から外部に突出するピストンロッドとを備え、このピストンロッドに、連結部材を介在させて、被加工物をプレスするために上下移動可能な上金型が取り付けられている。上金型の上下移動の直進性を補完するために、ピストンロッドには板状部材が取り付けられ、この板状部材に上金型が取り付けられ、板状部材にはガイドポストが挿入されている。ピストンロッドがシリンダーチューブの端面から外部に突出すると、板状部材がガイドポストに沿って移動するので、上金型が直進移動することができる。

また、従来から、流体圧シリンダーの直進性を補完するために、ピストンロッド（シャフト）の先端部にガイド装置が取り付けられているものとして、たとえば、シャフトガイド一体型の油圧サーボプレスがある。

図４は、従来のシャフトガイド一体型の油圧サーボプレスの概略的な構成を示す図である。

図４に示すように、油圧サーボプレス５００は、油圧シリンダー５１０と、ガイド装置５２０とを備える。油圧シリンダー５１０は、油圧シリンダーチューブ５１１と、油圧シリンダーチューブ５１１の端面から外部に突出するピストンロッド（シャフト）５１２とを備える。ピストンロッド５１２には、スライダー５３０が取り付けられている。ガイド装置５２０は、スライダー５３０の上下動を案内するためにスライダー５３０の外周面の上を転動可能なローラ部材５２１を備えている。スライダー５３０の先端部にはフランジ部材５４０が取り付けられている。ガイド装置５２０は、油圧シリンダー５１０の本体に取り付けられ、支持構造体５５０にボルト５２２で固定されている。支持構造体５５０は、ベースプレート５５１と、ベースプレート５５１に固定された支柱部材５５２と、支柱部材５５２にボルト５５３で固定されたトッププレート５５４とから構成される。被加工物を加工するための金型は支持構造体５５０内に配置され、上金型はフランジ部材５４０に取り付けられる。油圧シリンダーチューブ５１１には油圧を検知するための圧力センサー５１３が取り付けられている。スライダー５３０にはスケール５３１が取り付けられ、このスケール５３１を検知して長さを測定するために検知部５６０が設けられている。
特開２００４−３３０２９１号公報

上記のように従来のプレス装置に用いられる流体圧シリンダーでは、ピストンロッドの直進性を補完するためにガイドポストやガイド装置がピストンロッドの先端部より外側に設けられている。このため、プレス装置は、流体圧シリンダーのピストンロッドが往復移動する方向に長くなり、必然的に装置全体の高さが大きくなるという問題があった。

そこで、この発明の目的は、ピストンロッドの直進性を向上させるとともに、小型化することが可能なガイド装置付き流体圧シリンダーを提供することである。

この発明に従ったガイド装置付き流体圧シリンダーは、筒状ケーシング部材と、棒状固定部材と、筒状可動部材と、隔壁部材と、ガイド装置とを備える。筒状ケーシング部材は内周面を有する。棒状固定部材は、一方端部が筒状ケーシング部材の一方端部に固定され、他方端部が筒状ケーシング部材の内側に挿通され、外周面が筒状ケーシング部材の内周面との間でシリンダー室を形成するように筒状ケーシング部材に装着されている。筒状可動部材は、シリンダー室内で軸方向に自在に往復運動ができるように装着されている。隔壁部材は、シリンダー室内の空間で、棒状固定部材と筒状可動部材との間の空間を、第１の流体圧室と第２の流体圧室とに区画するために棒状固定部材に固着されている。第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々から流体を流出させるための流通路が棒状固定部材に形成されている。ガイド装置は、筒状可動部材の軸方向に沿った移動を案内するために筒状ケーシング部材と筒状可動部材の間に設けられている。

この発明のガイド装置付き流体圧シリンダーは、以上のように構成されているので、従来のピストンロッドに相当する筒状可動部材は、棒状固定部材の外周面と筒状ケーシング部材の内周面との間に形成されたシリンダー室内で軸方向に自在に往復運動する。また、シリンダー室内で筒状可動部材を流体圧によって往復移動させるために設けられる第１と第２の流体圧室は、棒状固定部材と筒状可動部材との間の空間に配置されており、筒状ケーシング部材の内側で筒状可動部材の外側にある空間に配置されていない。さらに、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々から流体を流出させるための流通路は、棒状固定部材に形成されており、筒状ケーシング部材の内側で筒状可動部材の外側にある空間に配置されていない。したがって、筒状可動部材の軸方向に沿った移動を案内するためのガイド装置は、筒状ケーシング部材と筒状可動部材の間に設けることができる。これにより、従来のようにガイド装置をピストンロッドの先端部より外側に設けることなく、流体圧シリンダー内にガイド装置を設けることができるので、本発明の流体圧シリンダーをプレス装置等に適用した場合に、筒状可動部材の直進性を向上させるとともに、小型化を図ることができる。

この発明のガイド装置付き流体圧シリンダーにおいて、流通路は、ほぼ上記軸方向に延びるように棒状固定部材に形成された二つの貫通孔を含み、二つの貫通孔の一方端部は、棒状固定部材の外部に通じており、二つの貫通孔の他方端部は、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々に通じていることが好ましい。

このように構成することにより、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室と第２の流体圧室の各々から流体を流出させるための流通路を棒状固定部材に内蔵することができるので、流体の流入または流出のための配管を少なくすることができる。これにより、流体圧シリンダーをプレス装置等に適用する場合にその構成を簡素化することができる。

また、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダーにおいて、ガイド装置は、筒状ケーシング部材の内周面に設けられた、筒状可動部材の外周面の上を上記軸方向に転動可能な転動体を含むことが好ましい。

このように構成することにより、転動体と筒状可動部材の外周面との接触部において実質的に差動滑りを発生させることがないように、筒状可動部材の軸方向に沿った移動を案内することができる。

さらに、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダーは、筒状可動部材の外周面に接するように筒状ケーシング部材の内周面に設けられた油保持部材をさらに備えることが好ましい。

このように構成することにより、油保持部材に保持される潤滑剤が筒状ケーシング部材の内周面と筒状可動部材の外周面の接触部に供給されるので、筒状ケーシング部材の内周面と筒状可動部材の外周面の摩耗を防止することができる。

さらにまた、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダーは、筒状可動部材の往復運動に連動するように筒状可動部材に取り付けられた変位検出部材をさらに備えることが好ましい。

このように構成することにより、筒状可動部材の位置をリアルタイムで検出して制御することができるので、筒状可動部材の位置の高度な制御が可能になる。

以上のように、この発明によれば、従来のようにガイド装置をピストンロッドの先端部より外側に設けることなく、流体圧シリンダー内にガイド装置を設けることができるので、本発明の流体圧シリンダーをプレス装置等に適用した場合に、筒状可動部材の直進性を向上させるとともに、小型化を図ることができる。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は本発明の一つの実施の形態として可動部材が後退位置にあるときのガイド装置付き流体圧シリンダーを部分的に縦断面で示す部分断面側面図、図２は本発明の一つの実施の形態として可動部材が前進位置にあるときのガイド装置付き流体圧シリンダーを部分的に縦断面で示す部分断面側面図、図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った方向から見た横断面図である。

図１に示すように、ガイド装置付き流体圧シリンダー１００は、筒状ケーシング部材１０と、棒状固定部材２０と、筒状可動部材３０と、隔壁部材４０と、ガイド装置５０とを備える。

筒状ケーシング部材１０は内周面を有し、三つのケーシング部分１０ａ、１０ｂ、１０ｃから構成されている。ケーシング部分１０ａとケーシング部分１０ｂの間、ケーシング部分１０ｂとケーシング部分１０ｃの間には、ガイド装置５０が設けられている。ケーシング部分１０ａとケーシング部分１０ｂはボルト１１によって締め付け固定されている。

筒状ケーシング部材１０（ケーシング部分１０ａ）の一方端部にはフランジ部１５が形成されており、フランジ部１５に貫通孔１６が設けられている。

棒状固定部材２０の一方端部には、相対的に径の大きな鍔部２６が形成されている。棒状固定部材２０の鍔部２６よりも一方端部側の部分が筒状ケーシング部材１０の貫通孔１６に挿通されている。棒状固定部材２０の鍔部２６よりも一方端部側の部分には雌ねじ部２１ａが形成されている。固定ナット２９が雌ねじ部２１ａに螺合することにより、棒状固定部材２０の一方端部が筒状ケーシング部材１０の一方端部に固定されている。

棒状固定部材２０の他方端部が筒状ケーシング部材１０の内側に挿通されている。棒状固定部材２０の外周面と筒状ケーシング部材１０の内周面との間でシリンダー室１１０が形成されるように棒状固定部材２０が筒状ケーシング部材１０に装着されている。

筒状可動部材３０は、シリンダー室１１０内で軸方向に自在に往復運動ができるように装着されている。筒状可動部材３０の一方端部には、第２の流体圧室（後退用流体圧室）９０の外壁を形成するための外壁部材３１とともに、目盛（スケール）付きの棒状の変位検出部材７０が固定ナット７１によって固着されている。変位検出部材７０は、筒状可動部材３０の往復運動に連動するように筒状可動部材３０に取り付けられている。変位検出部材７０の目盛等を検知するために検知部２００が流体圧シリンダー１００の外部に設けられている。

筒状可動部材３０の他方端部には、第１の流体圧室（前進用流体圧室）８０の外壁を形成するための内底部３７が形成され、内底部３７から他方端部側に向かって延びるように外筒部３８が形成されている。外筒部３８には、被加工材を加工するための金型等の工具部材を取り付けるための雌ねじ部３６が形成されている。

シリンダー室１１０内の空間で、棒状固定部材２０と筒状可動部材３０との間の空間を、外壁部材３１と内底部３７との間で、第１の流体圧室（前進用流体圧室）８０と第２の流体圧室（後退用流体圧室）９０とに区画するために、棒状固定部材２０の他方端部には、隔壁部材４０が雌ねじ部２１ｂを介して固着されている。第１の流体圧室８０は、筒状可動部材３０の内周面と棒状固定部材２０の外周面と外壁部材３１と隔壁部材４０とによって囲まれた空間である。第２の流体圧室９０は、筒状可動部材３０の内底部３７と棒状固定部材２０の他方端面と隔壁部材４０とによって囲まれた空間である。

第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々から流体を流出させるための流通路２３ａ、２３ｂが棒状固定部材２０に形成されている。第１の流通路２３ａは、ほぼ軸方向に延びるように棒状固定部材２０に形成された一つの貫通孔からなり、貫通孔の一方端部には、棒状固定部材２０の外部に通じるように開口２４ａが形成され、貫通孔の他方端部には、第１の流体圧室８０に通じるように開口２５ａが形成されている。第２の流通路２３ｂは、ほぼ軸方向に延びるように棒状固定部材２０に形成された一つの貫通孔からなり、貫通孔の一方端部には、棒状固定部材２０の外部に通じるように開口２４ｂが形成され、貫通孔の他方端部には、第２の流体圧室９０に通じるように開口２５ｂが形成されている。ここで、開口２４ａ、２４ｂ、２５ａは棒状固定部材２０の端面に形成されているが、開口２５ｂは、棒状固定部材２０の外周面に形成されている。開口２４ａ、２４ｂには、油圧配管等が取り付けられる。

フェルト等の油保持部材６０が、筒状可動部材３０の外周面に接するように筒状ケーシング部材１０の内周面に設けられている。

なお、筒状ケーシング部材１０の内周面と筒状可動部材３０の外周面との間には、筒状可動部材３０の往復運動に伴って外部から塵埃がシリンダー室１１０内に侵入するのを防止するために、ダストシール１３、１４が嵌め入れられている。また、隔壁部材４０の外周面と筒状可動部材３０の外周面との間の摺動部には、ピストンリング（またはＵパッキン）４１、ウェアリング４２、ピストンリング（またはＵパッキン）４３が嵌め入れられている。隔壁部材４０の内周面と棒状固定部材２０の外周面との間には、Ｏリング２２が嵌め入れられている。さらに、外壁部材３１の内周面と棒状固定部材２０の外周面との間の摺動部にも、ピストンリング（またはＵパッキン）３２、ウェアリング３３、ダストシール３４が嵌め入れられている。筒状可動部材３０の内周面と外壁部材３１の外周面との間には、Ｏリング３５が嵌め入れられている。

二つのガイド装置５０が、筒状可動部材３０の軸方向に沿った移動を案内するために筒状ケーシング部材１０と筒状可動部材３０の間に設けられている。ガイド装置５０は、筒状ケーシング部材１０の内周面に設けられた転動体を含み、例えば、ニードルベアリングからなり、ニードルベアリングは、筒状可動部材３０の外周面の上を軸方向に転動可能である。

図３に示すように、ニードルベアリング（ガイド装置）５０は、筒状可動部材３０の外周面の上を軸方向（図３の紙面に垂直な方向）に転動する円筒状の外輪５１と、外輪５１の内周側に配置され、各々が回転自在に支持された複数のニードルローラ５２とから構成される。ニードルベアリング５０は、支持軸部材５３により支持されている。このように構成されているので、外輪５１は支持軸部材５３の周りを回転自在に転動できるようになっている。支持軸部材５３は、ケーシング部分１０ｃの内部においてポケット穴１７に形成された支持穴内に挿入されている。

図３に示す実施の形態では、筒状可動部材３０は、軸方向と直交する断面がほぼ円形断面である外周面を有する。外輪５１は、筒状可動部材３０の外周面に接触可能な凹状に湾曲する外周面を有する。外周面を形成する曲面は、筒状可動部材３０の外周面を形成する曲面よりも大きな曲率半径を有する。

図３に示すように、ニードルベアリング５０が配置される筒状ケーシング部材１０を構成するケーシング部分１０ｂ、１０ｃの箇所の周方向の間には、複数個の貫通孔１２が、この例では６個の貫通孔１２が軸方向に延びるように形成されている。貫通孔１２の各々には、通しボルトが挿入される。通しボルトの雄ねじ部に螺合する雌ねじ部がケーシング部分の一方側面に形成されている。たとえば、ケーシング部分１０ｃと１０ｂとの間では、通しボルトがケーシング部分１０ｂの一方側面に締め付け固定されることによって、ケーシング部分１０ｃがケーシング部分１０ｂに固着され、これにより、ガイド装置としてのニードルベアリング５０が流体圧シリンダー１００の本体としての筒状ケーシング部材１０に取り付けられている。なお、ケーシング部分１０ｂと１０ａとの間では、ボルト１１が締め付け固定されることによって、ケーシング部分１０ａがケーシング部分１０ｂに固着され、これにより、ガイド装置としてのニードルベアリング５０が流体圧シリンダー１００の本体としての筒状ケーシング部材１０に取り付けられている。

以上のように構成された流体圧シリンダー１００は、次のように作動する。

まず、図１に示すように筒状可動部材３０が後退している位置において、油圧回路を作動させることにより、油等の流体が開口２４ａから第１流通路２３ａを通じて開口２５ａを経て第１流体圧室８０内に流入すると同時に、油等の流体が第２流体圧室９０内から開口２５ｂを経て第２流通路２３ｂを通じて開口２４ｂへと流出する。これにより、図２に示すように、筒状可動部材３０は、前進し、筒状ケーシング部材１０の他方端部から外へ突出する。

一方、図２に示すように筒状可動部材３０が前進している位置において、油圧回路を作動させることにより、油等の流体が開口２４ｂから第２流通路２３ｂを通じて開口２５ｂを経て第２流体圧室９０内に流入すると同時に、油等の流体が第１流体圧室８０内から開口２５ａを経て第１流通路２３ａを通じて開口２４ａへと流出する。これにより、図１に示すように、筒状可動部材３０は、後退し、筒状ケーシング部材１０の内部に挿通される。

このような筒状可動部材３０の軸方向に沿った往復運動は、ガイド装置５０によって案内される。

この発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００は、以上のように構成されているので、従来のピストンロッドに相当する筒状可動部材３０は、棒状固定部材２０の外周面と筒状ケーシング部材１０の内周面との間に形成されたシリンダー室１１０内で軸方向に自在に往復運動する。また、シリンダー室１１０内で筒状可動部材３０を流体圧によって往復移動させるために設けられる第１と第２の流体圧室８０、９０は、棒状固定部材２０と筒状可動部材３０との間の空間に配置されており、筒状ケーシング部材１０の内側で筒状可動部材３０の外側にある空間に配置されていない。さらに、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々から流体を流出させるための第１と第２の流通路２３ａ、２３ｂは、棒状固定部材２０に形成されており、筒状ケーシング部材１０の内側で筒状可動部材３０の外側にある空間に配置されていない。したがって、筒状可動部材３０の軸方向に沿った移動を案内するためのガイド装置５０は、筒状ケーシング部材１０と筒状可動部材３０の間に設けることができる。これにより、従来のようにガイド装置をピストンロッドの先端部より外側に設けることなく、流体圧シリンダー内にガイド装置を設けることができるので、本発明の流体圧シリンダー１００をプレス装置等に適用した場合に、筒状可動部材３０の直進性を向上させるとともに、小型化を図ることができる。

また、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００において、第１と第２の流通路２３ａ、２３ｂは、ほぼ上記軸方向に延びるように棒状固定部材２０に形成された二つの貫通孔を含み、二つの貫通孔の一方端部は、棒状固定部材２０の外部に通じており、二つの貫通孔の他方端部は、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々に通じている。このように構成することにより、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々に流体を流入させ、または、第１の流体圧室８０と第２の流体圧室９０の各々から流体を流出させるための第１と第２の流通路２３ａ、２３ｂを棒状固定部材２０に内蔵することができるので、流体の流入または流出のための配管を少なくすることができる。これにより、流体圧シリンダー１００をプレス装置等に適用する場合にその構成を簡素化することができる。

さらに、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００において、ガイド装置５０は、筒状ケーシング部材１０の内周面に設けられた転動体として、筒状可動部材３０の外周面の上を軸方向に転動可能なニードルベアリングを含むことことにより、転動体と筒状可動部材３０の外周面との接触部において実質的に差動滑りを発生させることがないように、筒状可動部材３０の軸方向に沿った移動を案内することができる。

具体的には、この発明の実施の形態のガイド装置付き流体圧シリンダー１００において、図３に示すように、ケーシング部分１０ｃの貫通孔１８の内側面には、軸方向と直交する平面内で周方向に配置された複数のポケット穴１７が軸方向に複数列形成されており、ニードルベアリング５０の外輪５１がケーシング部分１０ｃの複数のポケット穴１７の各々に設けられ、筒状可動部材３０の外周面の上を軸方向に転動可能であり、ガイド装置５０は、外輪５１を回転自在に支持する支持軸部材５３をさらに含む。このようにガイド装置を構成することにより、外輪５１と筒状可動部材３０の外周面との接触面において実質的に差動すべりを発生させることがないように、筒状可動部材３０の軸方向に沿った移動を案内することができる。

さらにまた、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００は、筒状可動部材３０の外周面に接するように筒状ケーシング部材１０の内周面に設けられた油保持部材６０をさらに備えることにより、油保持部材６０に保持される潤滑剤が筒状ケーシング部材１０の内周面と筒状可動部材３０の外周面の接触部に供給されるので、筒状ケーシング部材１０の内周面と筒状可動部材３０の外周面の摩耗を防止することができる。

なお、流体圧シリンダー１００が油圧シリンダーの場合には、筒状可動部材３０が筒状ケーシング部材１０の外部に突出して移動する度にフェルト等の油保持部材６０内の油が筒状可動部材３０の外周面に付着する。このため、筒状可動部材３０の外周面に密着して接触する外輪５１に潤滑油が自動的に供給されることになる。これにより、外輪５１の軸方向への転動を円滑にすることができる。

また、この発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００は、筒状可動部材３０の往復運動に連動するように筒状可動部材３０に取り付けられた変位検出部材７０をさらに備えることにより、筒状可動部材３０の位置をリアルタイムで検出して制御することができるので、筒状可動部材３０の位置の高度な制御が可能になる。

本発明のガイド装置付き流体圧シリンダー１００は、典型的には被加工材を金型等で押圧することによって加工するプレス装置に用いられる油圧シリンダーに適用されるが、油圧により作動する往復動アクチュエータの直動駆動源として、生産ラインを構成する自動加工機械等の各種産業機械に広く適用することができ、また空気圧シリンダーにも適用することができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものであることが意図される。

本発明の一つの実施の形態として可動部材が後退位置にあるときのガイド装置付き流体圧シリンダーを部分的に縦断面で示す部分断面側面図である。 本発明の一つの実施の形態として可動部材が前進位置にあるときのガイド装置付き流体圧シリンダーを部分的に縦断面で示す部分断面側面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った方向から見た横断面図である。 従来のシャフトガイド一体型の油圧サーボプレスの概略的な構成を示す図である。

符号の説明

１００：ガイド装置付き流体圧シリンダー、１０：筒状ケーシング部材、２０：棒状固定部材、２３ａ：第１流通路、２３ｂ：第２流通路、２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ：開口、３０：筒状可動部材、４０：隔壁部材、５０：ガイド装置（ニードルベアリング）、６０：油保持部材、７０：変位検出部材、８０：第１流体圧室、９０：第２流体圧室。

Claims (3)

1. 内周面を有する筒状ケーシング部材と、
   一方端部が前記筒状ケーシング部材の一方端部に固定され、他方端部が前記筒状ケーシング部材の内側に挿通され、外周面が前記筒状ケーシング部材の内周面との間でシリンダー室を形成するように前記筒状ケーシング部材に装着された棒状固定部材と、
   前記シリンダー室内で軸方向に自在に往復運動ができるように装着された筒状可動部材と、
   前記シリンダー室内の空間で、前記棒状固定部材と前記筒状可動部材との間の空間を、第１の流体圧室と第２の流体圧室とに区画するために前記棒状固定部材に固着された隔壁部材とを備え、
   前記第１の流体圧室と前記第２の流体圧室の各々に流体を流入させ、または、前記第１の流体圧室と前記第２の流体圧室の各々から流体を流出させるための流通路が前記棒状固定部材に形成されており、さらに、
   前記筒状可動部材の前記軸方向に沿った移動を案内するために前記筒状ケーシング部材と前記筒状可動部材の間に設けられたガイド装置とを備える、ガイド装置付き流体圧シリンダー。
2. 前記ガイド装置は、前記筒状ケーシング部材の内周面に設けられた、前記筒状可動部材の外周面の上を前記軸方向に転動可能な転動体を含む、請求項１に記載のガイド装置付き流体圧シリンダー。
3. 前記筒状可動部材の往復運動に連動するように前記筒状可動部材に取り付けられた変位検出部材をさらに備える、請求項１または請求項２に記載のガイド装置付き流体圧シリンダー。

Images