JP2009284045A - Piezoelectric oscillator - Google Patents

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Sohiro Yamamoto
壮洋 山本
Hideto Naruse
秀人 成瀬
Shigehisa Kurogo
重久 黒後
Norihito Matsukawa
典仁 松川
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Miyazaki Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric oscillator the frequency fluctuations of which are reduced. <P>SOLUTION: The piezoelectric oscillator comprises: a temperature sensor 3; a temperature compensation voltage generation unit 4, which generates a low temperature compensation voltage for compensating temperature characteristics on a low temperature side based upon a room temperature and a high temperature compensation voltage for compensating temperature characteristics on a high temperature side, on the basis of the detection output of the temperature sensor 3; a temperature sensor phase switching unit 9 which changes the phase of the detection output of the temperature sensor 3 when the detection output of the temperature sensor 3 decreases below a predetermined voltage and outputs the detection output; an HPF 10, which inputs the output voltage output from the temperature sensor phase switching unit 9, passes only a high-pass component included in the detection output of the temperature sensor 3, and superposes it on a reference voltage to output the reference voltage with the high-pass component superimposed on it, and an oscillation circuit unit 7 constituted by connecting an oscillation circuit 21, a piezoelectric vibrator 22, and a frequency temperature compensating circuit 23 in series. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、水晶振動子等の圧電振動子を使用した温度補償型の圧電発振器に関し、特に
、MOS型温度補償型の圧電発振器の温度センサの温度揺らぎを抑制するのに好適なもの
である。
The present invention relates to a temperature-compensated piezoelectric oscillator using a piezoelectric vibrator such as a crystal vibrator, and is particularly suitable for suppressing temperature fluctuation of a temperature sensor of a MOS-type temperature-compensated piezoelectric oscillator.

近年、圧電発振器は周波数安定度、小型軽量、低価格等により携帯電話等の通信機器か
ら水晶時計のような民生機器まで、多くの分野で用いられている。中でも圧電振動子の周
波数温度特性を補償した温度補償型圧電発振器(TCXO)は、周波数安定度を必要とす
る携帯電話等に広く用いられている。
特許文献1には、MOS型バラクタを使用した温度補償型圧電発振器が開示されている

特許文献2には、バラクタの両端に同相の信号を入れることで電圧ノイズをキャンセル
させ位相雑音を低減した温度補償型圧電発振器が開示されている。
特開2005−167510公報 特開2004−320239公報
In recent years, piezoelectric oscillators are used in many fields from communication devices such as mobile phones to consumer devices such as quartz watches because of their frequency stability, small size and light weight, and low price. In particular, a temperature compensated piezoelectric oscillator (TCXO) that compensates for the frequency temperature characteristics of a piezoelectric vibrator is widely used in mobile phones and the like that require frequency stability.
Patent Document 1 discloses a temperature compensated piezoelectric oscillator using a MOS varactor.
Patent Document 2 discloses a temperature compensated piezoelectric oscillator in which voltage noise is canceled and phase noise is reduced by putting in-phase signals at both ends of a varactor.
JP 2005-167510 A JP 2004-320239 A

しかしながら、特許文献1に開示されている従来のMOS型バラクタを使用した温度補
償型圧電発振器においては、ファンなどの風が当たると、瞬間的に温度が変動した場合温
度センサが検知する温度が揺らぎ、その結果、発振周波数も揺らいでしまい、短期安定度
が悪化するという問題点があった。
また特許文献2に開示されている技術を、従来のMOS型バラクタを使用した温度補償
発振器に単純に適用したとしても、温度補償を行う関係上バラクタにかかる温度補償電圧
の温度感度ともう一方の基準電圧の温度感度とを等しいレベルにすることはできないため
、温度揺らぎに対して周波数を安定させることは困難であった。
また、バラクタ両端の電圧の温度感度が異なってしまうと温度揺らぎに対して周波数を
安定させることができないという問題点があった。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、周波数の揺らぎを低減したMOS
型バラクタを使用した温度補償型の圧電発振器を提供することにある。
However, in the temperature compensated piezoelectric oscillator using the conventional MOS type varactor disclosed in Patent Document 1, when the temperature of the fan fluctuates, the temperature detected by the temperature sensor fluctuates when the temperature fluctuates instantaneously. As a result, the oscillation frequency fluctuates and the short-term stability deteriorates.
Further, even if the technique disclosed in Patent Document 2 is simply applied to a temperature compensated oscillator using a conventional MOS type varactor, the temperature sensitivity of the temperature compensated voltage applied to the varactor and the other are considered because of temperature compensation. Since the temperature sensitivity of the reference voltage cannot be made equal, it is difficult to stabilize the frequency against temperature fluctuation.
Further, if the temperature sensitivity of the voltage across the varactor is different, there is a problem that the frequency cannot be stabilized against temperature fluctuation.
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problem, and has reduced the frequency fluctuation.
Another object of the present invention is to provide a temperature compensated piezoelectric oscillator using a type varactor.

本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本発明に係る圧電発振器は、温度を検出する温度センサと、前記温度セン
サの検出出力に基づいて、常温温度を中心として低温側の温度特性を補償する低温補償電
圧と、高温側の温度特性を補償する高温補償電圧を発生する温度補償電圧発生部と、前記
温度センサの検出出力が所定電圧以下になったときに前記温度センサの検出出力の位相を
切り替えて出力する温度センサ位相切替部と、該温度センサ位相切替部から出力される出
力電圧を入力として、前記温度センサの検出出力に含まれる高域成分のみを通過させて基
準電圧に重畳して出力するハイパスフィルタと、発振回路、圧電振動子、及び周波数温度
補償回路を直列に接続して構成され、前記周波数温度補償回路は、第1可変容量素子と容
量とを直列接続した回路に、前記第1可変容量素子と極性を逆にした第2可変容量素子を
並列接続した回路であり、前記第1可変容量素子のバックゲートと前記容量との接続点に
低温補償電圧が供給され、前記容量と第2可変容量素子のゲートとの接続点に高温補償電
圧が供給され、前記第1可変容量素子のゲートと前記第2可変容量素子のバックゲートと
の接続点に前記ハイパスフィルタからの出力電圧が供給される発振回路部と、を備えたこ
とを特徴とする。
[Application Example 1] A piezoelectric oscillator according to the present invention includes a temperature sensor for detecting temperature, a low-temperature compensation voltage for compensating temperature characteristics on the low temperature side centered on normal temperature based on the detection output of the temperature sensor, and a high temperature A temperature compensation voltage generator for generating a high temperature compensation voltage for compensating the temperature characteristic of the side, and a temperature sensor that switches and outputs the phase of the detection output of the temperature sensor when the detection output of the temperature sensor falls below a predetermined voltage A high-pass filter that outputs only the high-frequency component included in the detection output of the temperature sensor and superimposes it on the reference voltage, with the output voltage output from the temperature sensor phase switching unit as an input, and a phase switching unit; An oscillation circuit, a piezoelectric vibrator, and a frequency temperature compensation circuit are connected in series. The frequency temperature compensation circuit is connected to a circuit in which a first variable capacitance element and a capacitor are connected in series. A circuit in which a first variable capacitance element and a second variable capacitance element having a polarity opposite to each other are connected in parallel, and a low-temperature compensation voltage is supplied to a connection point between a back gate of the first variable capacitance element and the capacitance, and the capacitance A high temperature compensation voltage is supplied to the connection point between the first variable capacitance element and the gate of the second variable capacitance element, and the output voltage from the high-pass filter is connected to the connection point between the gate of the first variable capacitance element and the back gate of the second variable capacitance element. And an oscillation circuit unit to which the signal is supplied.

上記のように構成すると、周囲の温度が瞬時に揺らいだ場合でも、温度補償電圧発生部
の高温又は低温補償電圧と温度揺らぎ成分が重畳された基準電圧とは、共に同位相で変動
するので、発振回路部の周波数温度補償回路において温度補償電圧に含まれる温度揺らぎ
成分をキャンセルすることができ、発振周波数が温度揺らぎの影響を受けない圧電発振器
を実現することができる。
よって、本発明の圧電発振器を、例えばファンやヒータといった熱源を配置するような
アプリケーションに適用すれば、熱源配置の自由度を広げることができる。
また、温度センサの感度を従来よりも更に大きくとることによって、周囲温度の変化に
対して周波数温度補正の応答性を高めることができる。つまり、周波数温度補正の応答ス
ピードの向上と温度の微小な揺らぎに起因する周波数補正ノイズの抑圧との両立が可能に
なる。
When configured as described above, even if the ambient temperature fluctuates instantaneously, the high or low temperature compensation voltage of the temperature compensation voltage generator and the reference voltage on which the temperature fluctuation component is superimposed both fluctuate in the same phase. In the frequency temperature compensation circuit of the oscillation circuit section, the temperature fluctuation component included in the temperature compensation voltage can be canceled, and a piezoelectric oscillator in which the oscillation frequency is not affected by the temperature fluctuation can be realized.
Therefore, if the piezoelectric oscillator of the present invention is applied to an application in which a heat source such as a fan or a heater is disposed, the degree of freedom of the heat source arrangement can be expanded.
Further, by making the sensitivity of the temperature sensor even higher than before, the response of the frequency temperature correction to the change in the ambient temperature can be improved. That is, it is possible to achieve both improvement in the response speed of frequency temperature correction and suppression of frequency correction noise caused by minute fluctuations in temperature.

[適用例2]前記低温補償電圧、前記高温補償電圧が所定の電圧以下になったときに前
記低温補償電圧、前記高温補償電圧をそれぞれ所定電圧にクリップするクリップ回路と、
前記低温補償電圧又は前記高温補償電圧が所定電圧にクリップされているときに、ハイレ
ベルの電圧を出力するフィルタ制御部と、を備え、前記ハイパスフィルタは、前記フィル
タ制御部からの入力電圧がハイレベルのときは、前記基準電圧のみを前記発振回路部に供
給し、前記フィルタ制御部からの入力電圧がハイレベル以外のときは前記基準電圧に前記
温度センサの検出出力に含まれる高域成分を重畳して前記発振回路部に供給する適用例1
に記載の圧電発振器を特徴とする。
[Application Example 2] A clip circuit that clips the low temperature compensation voltage and the high temperature compensation voltage to a predetermined voltage when the low temperature compensation voltage and the high temperature compensation voltage are equal to or lower than a predetermined voltage,
A filter control unit that outputs a high-level voltage when the low-temperature compensation voltage or the high-temperature compensation voltage is clipped to a predetermined voltage, and the high-pass filter has a high input voltage from the filter control unit. When it is level, only the reference voltage is supplied to the oscillation circuit unit, and when the input voltage from the filter control unit is other than high level, the high frequency component included in the detection output of the temperature sensor is added to the reference voltage. Application example 1 of superimposing and supplying the oscillation circuit unit
The piezoelectric oscillator described in the above item is characterized.

上記のように構成すると、温度補償電圧発生部から出力される高温補償電圧又は低温補
償電圧がクリップ回路により一定電圧レベルにクリップされている期間は、発振回路部の
周波数温度補償回路に入力される高温補償電圧、及び低温補償電圧は、温度センサの揺ら
ぎ成分の影響を受けないので、温度揺らぎ成分を基準電圧に重畳させずに直接、発振回路
部に供給するようにした。これにより、クリップ回路が設けられている場合でも発振周波
数が揺らぎの影響を受けない圧電発振器を実現することができる。
With the above configuration, the high-temperature compensation voltage or the low-temperature compensation voltage output from the temperature compensation voltage generator is input to the frequency temperature compensation circuit of the oscillation circuit during the period when the clipping circuit is clipped to a constant voltage level. Since the high temperature compensation voltage and the low temperature compensation voltage are not affected by the fluctuation component of the temperature sensor, the temperature fluctuation component is directly supplied to the oscillation circuit unit without being superimposed on the reference voltage. Accordingly, it is possible to realize a piezoelectric oscillator in which the oscillation frequency is not affected by fluctuation even when the clip circuit is provided.

[適用例3]温度センサ位相切替部は、前記温度センサの検出出力が所定電圧以上のと
きは前記温度センサの検出出力と同相の検出電圧を出力し、前記温度センサの検出出力が
所定電圧以下のときは前記温度センサの検出出力と逆相の検出電圧を出力する適用例1又
は2に記載の圧電発振器を特徴とする。
Application Example 3 The temperature sensor phase switching unit outputs a detection voltage in phase with the detection output of the temperature sensor when the detection output of the temperature sensor is equal to or higher than a predetermined voltage, and the detection output of the temperature sensor is equal to or lower than the predetermined voltage. In this case, the piezoelectric oscillator according to Application Example 1 or 2 that outputs a detection voltage having a phase opposite to that of the detection output of the temperature sensor is characterized.

上記のように構成すると、温度補償電圧発生部の高温又は低温補償電圧と温度揺らぎ成
分が重畳された基準電圧とは、共に同位相で変動するので、発振回路部の周波数温度補償
回路において温度補償電圧に含まれる温度揺らぎ成分をキャンセルすることができ、発振
周波数が温度揺らぎの影響を受けない圧電発振器を実現することができる。
When configured as described above, the temperature compensation voltage generating unit high temperature or low temperature compensation voltage and the reference voltage on which the temperature fluctuation component is superimposed both fluctuate in the same phase. A temperature fluctuation component included in the voltage can be canceled, and a piezoelectric oscillator in which the oscillation frequency is not affected by the temperature fluctuation can be realized.

[適用例4]前記可変容量素子は、MOS型可変容量素子、バラクタ、可変容量ダイオ
ード若しくは、印加電圧により容量が可変する半導体デバイスを用いた適用例1乃至5の
何れか一項に記載の圧電発振器を特徴とする。
[Application Example 4] The piezoelectric element according to any one of Application Examples 1 to 5, in which the variable capacitance element is a MOS variable capacitance element, a varactor, a variable capacitance diode, or a semiconductor device whose capacitance is changed by an applied voltage. Featuring an oscillator.

上記のように構成すると、温度補償型圧電発振器を構成したり、発振回路をIC化した
りするにあたり、適切な可変容量素子を選定することが可能となると共に、温度揺らぎに
よるノイズを除去できるという効果がある。
When configured as described above, it is possible to select a suitable variable capacitance element and to eliminate noise due to temperature fluctuations when configuring a temperature compensated piezoelectric oscillator or making an oscillation circuit into an IC. There is.

以下、本発明の圧電発振器の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る温度補償型圧電発振器の構成を示した示すブロ
ック図である。
この図1に示す温度補償型圧電発振器(以下、単に「圧電発振器」と称する)1は、定
電圧発生部2、温度センサ3、温度補償電圧発生部4、クリップ回路5、6、発振回路部
7、切替制御部8、温度センサ位相切替部9、及びハイパスフィルタ(以下、「HPF)
と称する)10を備える。
定電圧発生部2は、図示しない電圧源回路から入力される電源電圧から所定電圧を生成
して、温度センサ3や温度補償電圧発生部4等に出力する。
温度センサ3は、例えば、サーミスタ或いはダイオード等により構成され、圧電発振器
1の周囲温度或いは内部温度を検出して検出電圧VTを出力する。また、温度センサ3か
ら出力される検出電圧VTは温度が上昇するに従って電圧が低くなる負の傾斜特性を有す
る。
温度補償電圧発生部4は、温度センサ3からの検出電圧VTに基づいて、常温(25℃
)を中心として低温側の温度特性を補償する低温補償電圧VLと、高温側の温度特性を補
償する高温補償電圧VHを発生する。
クリップ回路5は、温度補償電圧発生部4から出力される低温補償電圧VLが所定のク
リップ電圧Vcl1になったときにクリップする。クリップ回路6は、温度補償電圧発生
部4から出力される高温補償電圧VHが所定のクリップ電圧Vcl2になったときにクリ
ップする。
Hereinafter, embodiments of the piezoelectric oscillator of the present invention will be described.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a temperature compensated piezoelectric oscillator according to the first embodiment of the present invention.
A temperature compensated piezoelectric oscillator (hereinafter simply referred to as “piezoelectric oscillator”) 1 shown in FIG. 1 includes a constant voltage generator 2, a temperature sensor 3, a temperature compensated voltage generator 4, clip circuits 5 and 6, and an oscillation circuit unit. 7, switching control unit 8, temperature sensor phase switching unit 9, and high-pass filter (hereinafter "HPF")
10).
The constant voltage generator 2 generates a predetermined voltage from a power supply voltage input from a voltage source circuit (not shown), and outputs it to the temperature sensor 3, the temperature compensation voltage generator 4, and the like.
The temperature sensor 3 is composed of, for example, a thermistor or a diode, and detects the ambient temperature or the internal temperature of the piezoelectric oscillator 1 and outputs a detection voltage VT. The detection voltage VT output from the temperature sensor 3 has a negative slope characteristic in which the voltage decreases as the temperature rises.
The temperature compensation voltage generator 4 is based on the detection voltage VT from the temperature sensor 3 at room temperature (25 ° C.
), A low temperature compensation voltage VL for compensating the low temperature side temperature characteristic and a high temperature compensation voltage VH for compensating the high temperature side temperature characteristic are generated.
The clip circuit 5 clips when the low temperature compensation voltage VL output from the temperature compensation voltage generator 4 reaches a predetermined clip voltage Vcl1. The clip circuit 6 clips when the high temperature compensation voltage VH output from the temperature compensation voltage generator 4 reaches a predetermined clip voltage Vcl2.

発振回路部7は、発振回路21、圧電振動子22、周波数温度補償回路23、及びコン
デンサ(容量)C1を直列に接続して構成される。
発振回路21は、コルピッツ型発振回路であり、トランジスタTrのコレクタを、抵抗
R1を介して電源VDDに接続し、ベースとコレクタ間には抵抗R2を接続した自己バイ
アス回路が構成される。トランジスタTr1のベースとエミッタ間には、コンデンサC2
を接続し、エミッタと接地間にはエミッタ抵抗R3とコンデンサC3とを並列に接続する

周波数温度補償回路23は、低温補償用の第1可変容量素子(第1MOS型バラクタ)
MLとコンデンサC4とを直列接続した回路に、第1MOS型バラクタMLと極性を逆に
した高温補償用の第2可変容量素子(第2MOS型バラクタ)MHを並列接続した回路で
ある。第1MOS型バラクタMLのバックゲートとコンデンサC4との接続点には抵抗R
4を介して低温補償電圧VLが印加される共に、コンデンサC4と第2MOS型バラクタ
MHのゲートとの接続点には抵抗R5を介して高温補償電圧VHが印加される。また、第
1MOS型バラクタMLのゲートと第2MOS型バラクタMHのバックゲートとの接続点
には抵抗R6を介してHPF10から基準電圧Vrefが印加される。
切替制御部8は、図2(a)に示す温度センサ3の検出電圧VTと、基準温度電圧VT
refとを比較し、検出電圧VTが基準温度電圧VTref以下になったときに、図2(b)に
示すようなハイレベル(Hレベル)からローレベル(Lレベル)に切り替わる切替制御信
号SV1を温度センサ位相切替部9に出力する。センサ基準電圧VTrefは、常温(25
℃)のときに温度センサ3から出力される検出電圧VTと略等しい電圧とされる。
The oscillation circuit unit 7 is configured by connecting an oscillation circuit 21, a piezoelectric vibrator 22, a frequency temperature compensation circuit 23, and a capacitor (capacitance) C1 in series.
The oscillation circuit 21 is a Colpitts type oscillation circuit, and a self-bias circuit is configured in which the collector of the transistor Tr is connected to the power supply VDD via the resistor R1, and the resistor R2 is connected between the base and the collector. A capacitor C2 is provided between the base and emitter of the transistor Tr1.
The emitter resistor R3 and the capacitor C3 are connected in parallel between the emitter and the ground.
The frequency temperature compensation circuit 23 is a first variable capacitance element (first MOS varactor) for low temperature compensation.
This is a circuit in which a first variable varactor ML (second MOS type varactor) MH having a polarity opposite to that of the first MOS type varactor ML is connected in parallel to a circuit in which ML and a capacitor C4 are connected in series. The connection point between the back gate of the first MOS type varactor ML and the capacitor C4 has a resistance R
4 is applied with a low temperature compensation voltage VL, and a connection point between the capacitor C4 and the gate of the second MOS type varactor MH is applied with a high temperature compensation voltage VH through a resistor R5. A reference voltage Vref is applied from the HPF 10 to the connection point between the gate of the first MOS varactor ML and the back gate of the second MOS varactor MH via the resistor R6.
The switching control unit 8 is configured to detect the detection voltage VT of the temperature sensor 3 and the reference temperature voltage VT shown in FIG.
When the detected voltage VT is equal to or lower than the reference temperature voltage VTref, the switching control signal SV1 that switches from the high level (H level) to the low level (L level) as shown in FIG. Output to the temperature sensor phase switching unit 9. The sensor reference voltage VTref is normal temperature (25
The detected voltage VT output from the temperature sensor 3 at the time of (° C.).

温度センサ位相切替部9は、非反転増幅器31a及び反転増幅器31bと、スイッチ3
2a、32bを有するスイッチ回路32とを備える。
非反転増幅器31a、及び反転増幅器31bには、温度センサ3の検出電圧VTが入力
され、非反転増幅器31a及び反転増幅器31bのいずれか一方の出力がスイッチ回路3
2を介して出力される。スイッチ回路32は、切替制御部8からの切替制御信号SV1に
よりオン/オフ切替制御が行われており、切替制御信号SV1がHレベルのときは、非反
転増幅器31a側のスイッチ32aがオン、反転増幅器31bのスイッチ32bがオフに
なる。逆に切替制御信号SV1がLレベルのときは、非反転増幅器31a側のスイッチ3
2aがオフ、反転増幅器31bのスイッチ32bがオンになる。
従って、温度センサ位相切替部9の出力電圧VT2は、図3に示すような波形となる。
つまり、常温(25℃)以下の低温領域では、温度センサ3の検出電圧VTと同相の検出
電圧VT2を出力し、常温以上の高温領域では、温度センサ3の検出電圧VTと逆相の検
出電圧VT2を出力する。
HPF10は、例えば、抵抗R7とコンデンサC5によるパッシブフィルタにより構成
され、温度センサ位相切替部9から出力される検出電圧VT2を入力として、この検出電
圧VT2に含まれる高域成分、即ち、温度揺らぎ成分のみを通過させ、通過させた高域成
分を基準電圧Vrefに重畳して発振回路部7に出力する。
ここで、上記RCによるパッシブフィルタの定数を、R7=1MΩ、C5=0.01u
Fとすると、温度揺らぎ成分が約16Hzを超えたときにフィルタを通過して基準電圧V
refに重畳されることになる。
The temperature sensor phase switching unit 9 includes a non-inverting amplifier 31a and an inverting amplifier 31b, and a switch 3
And a switch circuit 32 having 2a and 32b.
The detection voltage VT of the temperature sensor 3 is input to the non-inverting amplifier 31a and the inverting amplifier 31b, and the output of either the non-inverting amplifier 31a or the inverting amplifier 31b is the switch circuit 3.
2 is output. The switch circuit 32 is subjected to on / off switching control by the switching control signal SV1 from the switching control unit 8. When the switching control signal SV1 is at the H level, the switch 32a on the non-inverting amplifier 31a side is turned on and inverted. The switch 32b of the amplifier 31b is turned off. Conversely, when the switching control signal SV1 is at the L level, the switch 3 on the non-inverting amplifier 31a side.
2a is turned off, and the switch 32b of the inverting amplifier 31b is turned on.
Therefore, the output voltage VT2 of the temperature sensor phase switching unit 9 has a waveform as shown in FIG.
That is, the detection voltage VT2 having the same phase as the detection voltage VT of the temperature sensor 3 is output in a low temperature region of room temperature (25 ° C.) or less, and the detection voltage VT opposite to the detection voltage VT of the temperature sensor 3 is output in a high temperature region of room temperature or more. VT2 is output.
The HPF 10 is composed of, for example, a passive filter composed of a resistor R7 and a capacitor C5. The detection voltage VT2 output from the temperature sensor phase switching unit 9 is used as an input, and a high frequency component, that is, a temperature fluctuation component included in the detection voltage VT2. Only the high frequency component that has passed is superimposed on the reference voltage Vref and output to the oscillation circuit unit 7.
Here, the constant of the passive filter by RC is R7 = 1 MΩ, C5 = 0.01u.
Assuming F, the reference voltage V passes through the filter when the temperature fluctuation component exceeds about 16 Hz.
It will be superimposed on ref.

ここで、本実施形態の圧電発振器の温度補償原理を図4〜図6を参照して説明する。
図4(a)は、MOS型バラクタのC−V特性を示した図であり、この図4によりMO
S型バラクタを用いた温度補償原理を概略的に説明すると、MOS型バラクタのC−V特
性70の立ち上がる領域(B領域)と立ち下がる領域(A領域)を利用して、それぞれ低
温と高温の補償を行う構成である。図4(b)は、図4(a)の特性を有するMOS型バ
ラクタを使用したときの負荷容量と温度の関係(補償容量カーブ)を示した図である。
図4(b)に示す補償容量カーブの低温領域Cは、上述した低温補償用の第1MOS型
バラクタMLにより生成される。また補償容量カーブの高温領域Dは、上述した高温補償
用の第2MOS型バラクタMHにより生成される。即ち、本実施形態の圧電発振器1の発
振回路部7に設けられている周波数温度補償回路23には低温用と高温用のMOS型バラ
クタがそれぞれ設けられており、これにより圧電振動子22の周波数を温度補償するため
の容量カーブ71の特性を得ることができる。
Here, the temperature compensation principle of the piezoelectric oscillator of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 4A is a diagram showing the CV characteristics of a MOS varactor.
The temperature compensation principle using the S-type varactor will be schematically described. Using the rising region (B region) and the falling region (A region) of the CV characteristic 70 of the MOS varactor, the low temperature and the high temperature respectively. This is a configuration for performing compensation. FIG. 4B is a diagram showing the relationship between the load capacity and temperature (compensation capacity curve) when the MOS varactor having the characteristics shown in FIG. 4A is used.
The low temperature region C of the compensation capacitance curve shown in FIG. 4B is generated by the above-described first MOS varactor ML for low temperature compensation. Further, the high temperature region D of the compensation capacitance curve is generated by the above-described second MOS varactor MH for high temperature compensation. That is, the frequency temperature compensation circuit 23 provided in the oscillation circuit section 7 of the piezoelectric oscillator 1 of the present embodiment is provided with low-temperature and high-temperature MOS type varactors, and thereby the frequency of the piezoelectric vibrator 22. The characteristic of the capacity curve 71 for temperature compensation can be obtained.

図5(a)は高温補償電圧と温度との関係を示す図である。
高温補償には、図5(b)に示すようにMOS型バラクタのC−V特性の立ち上がりカ
ーブにおける左側領域(使用領域)部分を利用するので、温度補償を必要としない低温及
び常温近傍の温度領域では、図5(a)に示すように高温補償電圧VHをクリップ回路6
によりクリップ制御して一定電圧とし、温度補償を必要とする高温領域のみ温度上昇に伴
って電圧が直線的に上昇するように制御している。このとき基準電圧Vrefと高温補償電
圧VHが等しくなる(電位差=0)P点の温度が補償温度の高温部になる。
図6(a)は低温補償電圧と温度との関係を示す図である。
低温補償には、図6(b)に示すようにMOS型バラクタのC−V特性の立ち上がりカ
ーブにおける右側領域(使用領域)部分を利用するので、温度補償を必要としない高温及
び常温近傍の温度領域では、図6(a)に示すように低温補償電圧VLをクリップ回路5
によりクリップ制御して一定電圧とし、温度補償を必要とする低温領域のみ温度低下に伴
って電圧が直線的に上昇するように制御している。このとき基準電圧Vrefと低温補償電
圧VLが等しくなる(電位差=0)Q点の温度が補償温度の低温部になる。
FIG. 5A shows the relationship between the high temperature compensation voltage and the temperature.
For the high temperature compensation, as shown in FIG. 5 (b), the left side region (use region) in the rising curve of the CV characteristic of the MOS varactor is used. In the region, the high temperature compensation voltage VH is applied to the clip circuit 6 as shown in FIG.
Thus, the clip control is performed to obtain a constant voltage, and the voltage is controlled to rise linearly as the temperature rises only in a high temperature region that requires temperature compensation. At this time, the reference voltage Vref and the high temperature compensation voltage VH become equal (potential difference = 0), and the temperature at the point P becomes the high temperature portion of the compensation temperature.
FIG. 6A is a diagram showing the relationship between the low temperature compensation voltage and the temperature.
For the low temperature compensation, as shown in FIG. 6B, the right region (use region) in the rising curve of the C-V characteristic of the MOS varactor is used. In the region, the low temperature compensation voltage VL is applied to the clip circuit 5 as shown in FIG.
Thus, the clip control is performed so that the voltage is constant, and the voltage is controlled to rise linearly as the temperature decreases only in a low temperature region that requires temperature compensation. At this time, the reference voltage Vref and the low temperature compensation voltage VL become equal (potential difference = 0), and the temperature at the point Q becomes the low temperature portion of the compensation temperature.

図7は、本実施形態の圧電発振器の補償電圧の温度特性を示した図であり、縦軸は補償
電圧を示し、横軸は周囲温度を示している。HPF10からの基準電圧Vrefは、例えば
プラスの一定の電圧であり、抵抗R6を介して発振回路部7の第1MOS型バラクタML
のゲートと第2MOS型バラクタMHのバックゲートとの接続点に供給される。この場合
、第1MOS型バラクタMLに対しては逆バイアスとなり、第2MOS型バラクタMHに
対しては順バイアスとなる。その状態でまず低温補償電圧VLの動作を温度が低温(−4
0℃)から高温(+90℃)まで連続して変化した場合を説明する。
低温補償電圧VLは−40℃のとき基準電圧Vrefとの交点にあり、そのときの第1M
OS型バラクタMLの容量は、第1MOS型バラクタMLの端子間電圧が0Vであるとき
の所定の容量となる。そして温度が上昇すると低温補償電圧VLは直線的に低下し、それ
に伴って第1MOS型バラクタMLの電位差が大きくなり容量が増加する。そして、低温
補償電圧VLがクリップ回路5のクリップ電圧Vcl1まで低下すると、クリップ回路5
が動作して低温補償電圧VLはクリップ電圧Vcl1によりクリップされて一定となる。
FIG. 7 is a diagram showing temperature characteristics of the compensation voltage of the piezoelectric oscillator according to the present embodiment, where the vertical axis shows the compensation voltage and the horizontal axis shows the ambient temperature. The reference voltage Vref from the HPF 10 is, for example, a constant positive voltage, and the first MOS varactor ML of the oscillation circuit unit 7 is connected via the resistor R6.
Is supplied to a connection point between the first gate and the back gate of the second MOS type varactor MH. In this case, a reverse bias is applied to the first MOS varactor ML, and a forward bias is applied to the second MOS varactor MH. In this state, the operation of the low temperature compensation voltage VL is first performed at a low temperature (−4
A case where the temperature continuously changes from 0 ° C. to a high temperature (+ 90 ° C.) will be described.
The low temperature compensation voltage VL is at the intersection with the reference voltage Vref at −40 ° C., and the first M at that time
The capacity of the OS type varactor ML is a predetermined capacity when the voltage between the terminals of the first MOS type varactor ML is 0V. As the temperature rises, the low-temperature compensation voltage VL decreases linearly, and accordingly, the potential difference of the first MOS varactor ML increases and the capacitance increases. When the low-temperature compensation voltage VL decreases to the clip voltage Vcl1 of the clip circuit 5, the clip circuit 5
The low temperature compensation voltage VL is clipped by the clip voltage Vcl1 and becomes constant.

次に、高温補償電圧VHの動作を温度が高温(+90℃)から低温(−40℃)まで連
続して変化した場合を説明する。
高温補償電圧VHは+90℃のとき基準電圧Vrefとの交点にあり、そのときの第2M
OS型バラクタMHの容量は、第2MOS型バラクタMHの端子間電圧が0Vであるとき
の所定の容量となる。そして温度が低下すると高温補償電圧VHは直線的に低下し、それ
に伴って第2MOS型バラクタMHの電位差が大きくなり容量が減少する。そして、高温
補償電圧VHがクリップ回路6のクリップ電圧Vcl2まで低下すると、クリップ回路6
が動作して高温補償電圧VHはクリップ電圧Vcl2によりクリップされて一定となる。
このように構成すると、MOS型バラクタを用いた間接温度補償方式の圧電発振器にお
いて、低温補償電圧VL及び高温補償電圧VHをリニアに変化させることが可能になり温
度補償回路の構成が容易になる。
また本実施形態の圧電発振器では、温度により直線的に変化する低温補償電圧VL及び
高温補償電圧VHを常温付近でクリップさせるようにしたことで、第1及び第2MOS型
バラクタML、MHの容量値が不安定になる領域を回避して周波数の安定度を高めること
ができる。
Next, the case where the operation of the high temperature compensation voltage VH continuously changes from a high temperature (+ 90 ° C.) to a low temperature (−40 ° C.) will be described.
The high temperature compensation voltage VH is at the intersection with the reference voltage Vref at + 90 ° C., and the second M at that time
The capacity of the OS type varactor MH is a predetermined capacity when the voltage between the terminals of the second MOS type varactor MH is 0V. When the temperature decreases, the high temperature compensation voltage VH decreases linearly, and accordingly, the potential difference of the second MOS varactor MH increases and the capacitance decreases. When the high temperature compensation voltage VH decreases to the clip voltage Vcl2 of the clip circuit 6, the clip circuit 6
The high temperature compensation voltage VH is clipped by the clip voltage Vcl2 and becomes constant.
With this configuration, in the indirect temperature compensation type piezoelectric oscillator using the MOS type varactor, the low temperature compensation voltage VL and the high temperature compensation voltage VH can be linearly changed, and the configuration of the temperature compensation circuit is facilitated.
Further, in the piezoelectric oscillator of this embodiment, the low-temperature compensation voltage VL and the high-temperature compensation voltage VH that change linearly with temperature are clipped around the normal temperature, so that the capacitance values of the first and second MOS type varactors ML and MH are clipped. The frequency stability can be increased by avoiding the region where the frequency becomes unstable.

上記のように構成したうえで、本実施形態の圧電発振器1は、切替制御部8、温度セン
サ位相切替部9、及びHPF10を備えたるようにした。そして、瞬間的に温度が変動し
たときに発生する温度揺らぎ成分のみを取り出すために、温度センサ3の検出電圧VTを
、温度センサ位相切替部9を介してHPF10に入力し、HPF10において温度センサ
3の検出電圧VTに含まれる高周波成分(揺らぎ成分)を通過させるようにした。HPF
10を通過した高周波成分は、HPF10において基準電圧Vrefに重畳されて発振回路
部7に供給される。この際、温度センサ位相切替部9では、温度領域ごとに温度センサ3
の出力電圧VTに含まれる温度揺らぎ成分の位相を、低温では同相出力、高温では逆相出
力に反転して、HPF10に入力するようにしている。
このように構成すると、周囲の温度が瞬時に揺らいだ場合でも、温度補償電圧発生部4
の温度補償電圧と温度揺らぎ成分が重畳された基準電圧Vrefとが共に同位相で変動する
ので、発振回路部7の周波数温度補償回路23において温度補償電圧に含まれる揺らぎ成
分(高周波成分)をキャンセルすることができ、発振周波数が温度揺らぎの影響を受けな
い圧電発振器を実現することができる。
このように本実施形態の圧電発振器を構成すれば、例えばファンやヒータといった熱源
を配置するようなアプリケーションに適用した場合でも、熱源配置の自由度を広げること
ができる。
また、温度センサの感度を従来よりも更に大きくとることによって、周囲温度の変化に
対して周波数温度補正の応答性を高めることができる。つまり、周波数温度補正の応答ス
ピードの向上と温度の微小な揺らぎに起因する周波数補正ノイズの抑圧との両立が可能に
なる。
なお、周囲温度が穏やかに変化した場合は、温度センサ3に含まれる温度揺らぎ成分は
HPF10でカットされ、基準電圧VrefはDCレベルで安定に保たれるので、温度変化に
対して補償電圧が追従して温度補償を行うことができる。
In addition to the above configuration, the piezoelectric oscillator 1 according to the present embodiment includes the switching control unit 8, the temperature sensor phase switching unit 9, and the HPF 10. Then, in order to extract only the temperature fluctuation component that occurs when the temperature fluctuates instantaneously, the detection voltage VT of the temperature sensor 3 is input to the HPF 10 via the temperature sensor phase switching unit 9, and the HPF 10 detects the temperature sensor 3. The high-frequency component (fluctuation component) included in the detection voltage VT is allowed to pass. HPF
The high frequency component that has passed through 10 is superimposed on the reference voltage Vref in the HPF 10 and supplied to the oscillation circuit unit 7. At this time, the temperature sensor phase switching unit 9 performs temperature sensor 3 for each temperature region.
The phase of the temperature fluctuation component included in the output voltage VT is inverted to the in-phase output at the low temperature and the reverse phase output at the high temperature, and input to the HPF 10.
With this configuration, even when the ambient temperature fluctuates instantaneously, the temperature compensation voltage generator 4
Since the temperature compensation voltage and the reference voltage Vref on which the temperature fluctuation component is superimposed both fluctuate in the same phase, the frequency temperature compensation circuit 23 of the oscillation circuit unit 7 cancels the fluctuation component (high frequency component) included in the temperature compensation voltage. Thus, a piezoelectric oscillator whose oscillation frequency is not affected by temperature fluctuations can be realized.
If the piezoelectric oscillator of this embodiment is configured in this way, the degree of freedom of heat source arrangement can be expanded even when applied to an application in which a heat source such as a fan or a heater is arranged.
Further, by making the sensitivity of the temperature sensor even higher than before, the response of the frequency temperature correction to the change in the ambient temperature can be improved. That is, it is possible to achieve both improvement in the response speed of frequency temperature correction and suppression of frequency correction noise caused by minute fluctuations in temperature.
When the ambient temperature changes gently, the temperature fluctuation component included in the temperature sensor 3 is cut by the HPF 10, and the reference voltage Vref is kept stable at the DC level, so that the compensation voltage follows the temperature change. Thus, temperature compensation can be performed.

次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図8は、本発明の第2の実施形態に係る温度補償型圧電発振器の構成を示した示すブロ
ック図である。なお、図1に示した圧電発振器と同一部位には同一符号を付して説明は省
略する。
この図8に示す圧電発振器40は、フィルタ制御部41が追加されている点と、HPF
42の構成が上記図1に示した圧電発振器1とは異なる。
フィルタ制御部41は、定電圧発生部2から所定電圧が入力されると共に、温度補償電
圧発生部4から高温補償電圧VH、及び低温補償電圧VLが入力されている。そして、こ
の高温補償電圧VHと低温補償電圧VLとに基づいて、常温(25℃)を含む所定温度範
囲内において、Hレベルの制御信号SV2をHPF42に出力する。
ここで、制御信号SV2がHレベルとなる所定温度範囲は、温度補償電圧発生部4から
出力される高温補償電圧VH又は低温補償電圧VLの電圧レベルがクリップ回路5、6に
クリップされて一定レベルになる温度範囲とされる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of a temperature compensated piezoelectric oscillator according to the second embodiment of the present invention. The same parts as those of the piezoelectric oscillator shown in FIG.
The piezoelectric oscillator 40 shown in FIG. 8 includes a filter control unit 41 and an HPF.
The configuration of 42 is different from the piezoelectric oscillator 1 shown in FIG.
The filter control unit 41 receives a predetermined voltage from the constant voltage generation unit 2 and receives a high temperature compensation voltage VH and a low temperature compensation voltage VL from the temperature compensation voltage generation unit 4. Based on the high temperature compensation voltage VH and the low temperature compensation voltage VL, an H level control signal SV2 is output to the HPF 42 within a predetermined temperature range including normal temperature (25 ° C.).
Here, the predetermined temperature range in which the control signal SV2 becomes H level is a constant level when the voltage level of the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL output from the temperature compensation voltage generator 4 is clipped to the clip circuits 5 and 6. The temperature range becomes.

HPF42は、抵抗R7、コンデンサC5、及びスイッチ43a、43bを有するスイ
ッチ回路43により構成され、スイッチ回路43のスイッチ43aの一端はコンデンサC
5に接続され、他端は温度センサ位相切替部9の出力ラインに接続されている。一方、ス
イッチ43bの一端はコンデンサC5に接続され、他端は接地されている。
スイッチ回路43は、フィルタ制御部41からの制御信号SV2によりオン/オフ制御
が行われており、制御信号SV2がHレベルのときは、スイッチ43bがオン、スイッチ
43aがオフになる。逆に制御信号SV2がLレベルのときは、スイッチ43aがオン、
スイッチ43bがオフになる。
つまり、フィルタ制御部41からの制御信号SV2がLレベルとなる期間、即ち、高温
補償電圧VH又は低温補償電圧VLが温度により直線的に変化する期間は、温度センサ位
相切替部9の出力電圧VT2をHPF42に入力し、HPF42において温度センサ3の
検出電圧VTに含まれる高周波成分(揺らぎ成)を抽出する。そして、抽出した高周波成
分を基準電圧Vrefに重畳して発振回路部7に供給するようにしている。
またフィルタ制御部41からの制御信号SV2がHレベルとなる期間、即ち、高温補償
電圧VH、又は低温補償電圧VLがクリップ回路5、6により一定電圧レベルにクリップ
される期間は、スイッチ回路43のスイッチ43bをオンにしてコンデンサC5の他端を
接地することで、温度センサ位相切替部9の出力電圧VT2をHPF42に入力しないよ
うにした。つまり、高温補償電圧VH又は低温補償電圧VLが一定電圧レベルにクリップ
される常温付近においては、温度揺らぎ成分を基準電圧Vrefに重畳させずに直接、発振
回路部7に供給するようにした。
The HPF 42 includes a switch circuit 43 having a resistor R7, a capacitor C5, and switches 43a and 43b. One end of the switch 43a of the switch circuit 43 is a capacitor C.
The other end is connected to the output line of the temperature sensor phase switching unit 9. On the other hand, one end of the switch 43b is connected to the capacitor C5, and the other end is grounded.
The switch circuit 43 is on / off controlled by the control signal SV2 from the filter control unit 41. When the control signal SV2 is at the H level, the switch 43b is turned on and the switch 43a is turned off. Conversely, when the control signal SV2 is at the L level, the switch 43a is on,
The switch 43b is turned off.
That is, during the period when the control signal SV2 from the filter control unit 41 is at L level, that is, the period during which the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL varies linearly with temperature, the output voltage VT2 of the temperature sensor phase switching unit 9 Is input to the HPF 42, and the HPF 42 extracts a high frequency component (fluctuation generation) included in the detection voltage VT of the temperature sensor 3. The extracted high-frequency component is superimposed on the reference voltage Vref and supplied to the oscillation circuit unit 7.
Further, the period during which the control signal SV2 from the filter control unit 41 is at the H level, that is, the period during which the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL is clipped to the constant voltage level by the clip circuits 5 and 6, By turning on the switch 43b and grounding the other end of the capacitor C5, the output voltage VT2 of the temperature sensor phase switching unit 9 is not input to the HPF 42. That is, in the vicinity of room temperature where the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL is clipped to a constant voltage level, the temperature fluctuation component is directly supplied to the oscillation circuit unit 7 without being superimposed on the reference voltage Vref.

このように構成すれば、温度補償電圧発生部4から出力される高温補償電圧VH、又は
低温補償電圧VLが温度により直線的に変化する期間では、周囲の温度が瞬時に揺らいだ
場合でも、温度補償電圧発生部4の温度補償電圧と、温度揺らぎ成分が重畳されたを基準
電圧とが共に同位相で変動するので、発振回路部7の周波数温度補償回路23において、
温度補償電圧に含まれる揺らぎ成分(高周波成分)をキャンセルすることができる。これ
により、発振周波数が揺らぎの影響を受けない圧電発振器を実現することができる。
また、温度補償電圧発生部4から出力される高温補償電圧VH、又は低温補償電圧VL
がクリップ回路5、6により一定電圧レベルにクリップされている期間は、発振回路部7
の周波数温度補償回路23に入力される高温補償電圧VH、及び低温補償電圧VLは、温
度センサ3の揺らぎ成分の影響を受けないので、温度揺らぎ成分を基準電圧Vrefに重畳
させずに直接、発振回路部7に供給することで、発振周波数が揺らぎの影響を受けない圧
電発振器を実現することができる。
従って、このように本実施形態の圧電発振器を構成すれば、第1の実施形態の圧電発振
器と同様、例えばファンやヒータといった熱源を配置するようなアプリケーションに適用
した場合でも、熱源配置の自由度を広げることができる。
また、温度センサの感度を従来よりも更に大きくとることによって、周囲温度の変化に
対して周波数温度補正の応答性を高めることができる。つまり、周波数温度補正の応答ス
ピードの向上と温度の微小な揺らぎに起因する周波数補正ノイズの抑圧との両立が可能に
なる。
With such a configuration, even when the ambient temperature fluctuates instantaneously during the period in which the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL output from the temperature compensation voltage generator 4 varies linearly with temperature, Since the temperature compensation voltage of the compensation voltage generation unit 4 and the reference voltage on which the temperature fluctuation component is superimposed fluctuate in the same phase, the frequency temperature compensation circuit 23 of the oscillation circuit unit 7
The fluctuation component (high frequency component) included in the temperature compensation voltage can be canceled. As a result, a piezoelectric oscillator whose oscillation frequency is not affected by fluctuations can be realized.
Further, the high temperature compensation voltage VH or the low temperature compensation voltage VL output from the temperature compensation voltage generator 4 is used.
During the period when the clipping circuits 5 and 6 are clipped to a constant voltage level.
The high temperature compensation voltage VH and the low temperature compensation voltage VL input to the frequency temperature compensation circuit 23 are not affected by the fluctuation component of the temperature sensor 3, and thus directly oscillate without superimposing the temperature fluctuation component on the reference voltage Vref. By supplying to the circuit unit 7, it is possible to realize a piezoelectric oscillator whose oscillation frequency is not affected by fluctuations.
Therefore, if the piezoelectric oscillator of this embodiment is configured as described above, the degree of freedom of the heat source arrangement, even when applied to an application in which a heat source such as a fan or a heater is arranged, as in the piezoelectric oscillator of the first embodiment. Can be spread.
Further, by making the sensitivity of the temperature sensor even higher than before, the response of the frequency temperature correction to the change in the ambient temperature can be improved. That is, it is possible to achieve both improvement in the response speed of frequency temperature correction and suppression of frequency correction noise caused by minute fluctuations in temperature.

図9はフィルタ制御部の構成例を示した図であり、(a)は回路図、(b)は動作態様
を示した図、図10は図9(a)に示したフィルタ制御部の各部の動作説明図である。
図9(a)に示すフィルタ制御部41は、3つのコンパレータ51、52、53と、4
つのスイッチSW1、SW2、SW3、SW4とにより構成される。
コンパレータ51、52の非反転入力端子(+)には、定電圧発生部2からの所定電圧
をダイオードD1分だけ電圧降下させた電圧Vregを印加する。またコンパレータ51の反
転入力端子(−)には低温補償電圧VLを印加する。またコンパレータ52の反転入力端
子(−)は、スイッチSW2を介してコンパレータ52の出力端子に接続する。
コンパレータ53の非反転入力端子(+)は、スイッチSW4の一端に接続すると共に
、抵抗R21、R22を介してそれぞれスイッチSW1、SW3の一端に接続する。また
コンパレータ53の反転入力端子(−)には高温補償電圧VHを印加する。
スイッチSW1の他端は、ダイオードD1のカソードに接続し、スイッチSW3の他端
は、接地する。またスイッチSW4の他端は、コンパレータ52の出力端子に接続する。
また、各スイッチSW1〜SW4は、コンパレータ51の出力電圧CPoutの電圧レベ
ルにより図9(b)に示すようにオン/オフ制御される。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration example of the filter control unit, (a) is a circuit diagram, (b) is a diagram showing an operation mode, and FIG. 10 is each part of the filter control unit shown in FIG. 9 (a). FIG.
The filter control unit 41 shown in FIG. 9A includes three comparators 51, 52, 53 and 4
It is composed of two switches SW1, SW2, SW3, SW4.
The non-inverting input terminal (+) of the comparators 51 and 52 is applied with a voltage Vreg obtained by dropping the predetermined voltage from the constant voltage generator 2 by the diode D1. The low temperature compensation voltage VL is applied to the inverting input terminal (−) of the comparator 51. The inverting input terminal (−) of the comparator 52 is connected to the output terminal of the comparator 52 through the switch SW2.
The non-inverting input terminal (+) of the comparator 53 is connected to one end of the switch SW4 and is connected to one end of the switches SW1 and SW3 via the resistors R21 and R22, respectively. A high temperature compensation voltage VH is applied to the inverting input terminal (−) of the comparator 53.
The other end of the switch SW1 is connected to the cathode of the diode D1, and the other end of the switch SW3 is grounded. The other end of the switch SW4 is connected to the output terminal of the comparator 52.
Each switch SW1 to SW4 is ON / OFF controlled as shown in FIG. 9B by the voltage level of the output voltage CPout of the comparator 51.

以下、図10を用いて、図9(a)に示すフィルタ制御部の動作を説明する。
まず、コンパレータ51は、図10(a)に示すように電圧Vregと低温補償電圧VL
との比較を行う。低温補償電圧VLが電圧Vregより高い期間(温度範囲)では、図10
(b)に示すようにコンパレータ51の出力電圧CPoutがLレベルとなる。
コンパレータ51の出力電圧CPoutがLレベルのときは、図9(b)に示すように、
スイッチSW1はオン、スイッチSW2はオフ、スイッチSW3はオン、スイッチSW4
はオフとなり、コンパレータ53の非反転入力端子(+)の入力電圧は、図10(c)に
示すようにLレベルとなる。よって、コンパレータ53から出力される出力電圧SV2は
Lレベルとなる。
次に、コンパレータ51に入力される低温補償電圧VLが電圧Vregより低くなると、
図10(b)に示すようにコンパレータ51の出力電圧CPoutがHレベルとなる。
コンパレータ51の出力電圧CPoutがHレベルのときは、図9(b)に示すように、
スイッチSW1はオフ、スイッチSW2はオン、スイッチSW3はオフ、スイッチSW4
はオンとなり、コンパレータ53の非反転入力端子(+)の入力電圧V1は、図10(c
)に示すようにHレベルとなる。このとき、コンパレータ53の非反転入力端子(+)の
入力電圧V1を、コンパレータ53の反転入力端子(−)に入力される高温補償電圧VH
の電圧レベルより高い電圧レベルに設定しておくことで、コンパレータ53の出力電圧S
V2はHレベルとなる。この後、周囲温度の上昇に伴って、コンパレータ53の反転入力
端子(−)に入力される高温補償電圧VHの電圧レベルが上昇して、図10(c)に示す
ように高温補償電圧VHがコンパレータ53の非反転入力端子(+)に入力される入力電
圧V1のレベルより高くなると、コンパレータ53の出力電圧SV2の電圧レベルはHレ
ベルからLレベルとなる。これにより、図10(d)に示すような波形の出力電圧SV2
を出力するフィルタ制御部41、つまり、低温補償電圧VLと高温補償電圧VHの電圧レ
ベルが一定のクリップ電圧レベルになる常温付近の温度範囲においてのみHレベルの出力
電圧SV2を出力するフィルタ制御部41を実現することができる。
Hereinafter, the operation of the filter control unit shown in FIG. 9A will be described with reference to FIG.
First, as shown in FIG. 10A, the comparator 51 includes a voltage Vreg and a low temperature compensation voltage VL.
Compare with. In a period (temperature range) in which the low temperature compensation voltage VL is higher than the voltage Vreg, FIG.
As shown in (b), the output voltage CPout of the comparator 51 becomes L level.
When the output voltage CPout of the comparator 51 is L level, as shown in FIG.
Switch SW1 is on, switch SW2 is off, switch SW3 is on, switch SW4
Is turned off, and the input voltage of the non-inverting input terminal (+) of the comparator 53 becomes L level as shown in FIG. Therefore, the output voltage SV2 output from the comparator 53 becomes L level.
Next, when the low temperature compensation voltage VL input to the comparator 51 becomes lower than the voltage Vreg,
As shown in FIG. 10B, the output voltage CPout of the comparator 51 becomes H level.
When the output voltage CPout of the comparator 51 is H level, as shown in FIG.
Switch SW1 is off, switch SW2 is on, switch SW3 is off, switch SW4
Is turned on, and the input voltage V1 of the non-inverting input terminal (+) of the comparator 53 is shown in FIG.
As shown in FIG. At this time, the input voltage V1 of the non-inverting input terminal (+) of the comparator 53 is changed to the high temperature compensation voltage VH input to the inverting input terminal (−) of the comparator 53.
By setting the voltage level higher than the voltage level of the comparator 53, the output voltage S of the comparator 53 is set.
V2 becomes H level. Thereafter, as the ambient temperature rises, the voltage level of the high temperature compensation voltage VH inputted to the inverting input terminal (−) of the comparator 53 rises, and the high temperature compensation voltage VH becomes as shown in FIG. When the level of the input voltage V1 input to the non-inverting input terminal (+) of the comparator 53 becomes higher, the voltage level of the output voltage SV2 of the comparator 53 changes from H level to L level. As a result, the output voltage SV2 having a waveform as shown in FIG.
, That is, the filter control unit 41 that outputs the H-level output voltage SV2 only in a temperature range near room temperature where the voltage levels of the low-temperature compensation voltage VL and the high-temperature compensation voltage VH are constant clip voltage levels. Can be realized.

図11は、本実施形態の圧電発振器が適用される表面実装型圧電発振器の構造の一例を
示した断面図である。
この図11に示す圧電発振器は、上面と下面に夫々凹所62、63を備えると共に矩形
環状の底面64に4つの実装端子65を備えた縦断面形状が略H型の絶縁容器(パッケー
ジ)61と、上面側凹所62内に設けた2つの上面側内部パッド66に圧電振動素子22
上の2つの励振電極を夫々電気的に接続した状態で該上面側凹所62を気密封止する金属
リッド67と、下面側凹所63の天井面63aに配置され各上面側内部パッド66、及び
各実装端子65と所定の配線パターンにより導通した下面側内部パッド68と、下面側内
部パッド68に実装される発振回路を構成するIC部品69と、を備える。
上面側凹所62を備えた絶縁容器61の上部と、上面側内部パッド66と、水晶振動素
子22と、金属リッド67は、水晶振動子(圧電振動子)を構成している。即ち、水晶振
動子はセラミック等の絶縁材料からなる絶縁容器61の上面側凹所63内の上面側内側パ
ッド66上に水晶振動素子Xを導電性接着剤(導電性ペースト)70を用いて電気的・機
械的に接続し、絶縁容器61の外璧上面の導体リングに金属リッド67を溶接等によって
電気的・機械的に接続して上面側凹所62内を気密封止した構成である。
絶縁容器61の外底面に温度センサ3、温度補償電圧発生部4、クリップ回路、5、6
、発振回路部7、切替制御部8、温度センサ位相切替部9、HPF10、42、フィルタ
制御部41等のIC部品69を搭載した構成を有している。このように圧電発振器を構成
して小型化した場合は、その熱容量が小さくなり、温度センサ3は周囲の瞬間的な温度変
化や風などによる温度変動(揺らぎ)に敏感に反応し、温度補償型圧電発振器の出力周波
数が微小に変動する(周波数が揺らぐ)ことになるが、本実施形態のように圧電発振器6
1において温度変動をキャンセルすれば、周波数変動を招くことなく温度補償型圧電発振
器を小型化することができる。
なお、本実施形態の第1及び第2可変容量素子ML、MHとしてはMOSバラクタを例
に挙げて説明したが、これはあくまでも一例であり、可変容量素子、可変容量ダイオード
、若しくは、印加電圧により容量が可変する半導体デバイス等を用いることが可能である

第1及び第2可変容量素子ML、MHとして、上記のような多種の素子を考慮しておく
と、温度補償型圧電発振器を構成するにあたり、又は発振回路をIC化するに当り、適切
な可変容量素子を選定することが可能となると共に、温度揺らぎによるノイズを除去でき
るという効果がある。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing an example of the structure of a surface mount piezoelectric oscillator to which the piezoelectric oscillator of this embodiment is applied.
The piezoelectric oscillator shown in FIG. 11 includes an insulating container (package) 61 having a substantially H-shaped vertical cross-section having recesses 62 and 63 on the upper surface and the lower surface and four mounting terminals 65 on a rectangular annular bottom surface 64. And the piezoelectric vibration element 22 on the two upper surface side internal pads 66 provided in the upper surface side recess 62.
A metal lid 67 that hermetically seals the upper surface side recess 62 in a state where the upper two excitation electrodes are electrically connected to each other, and an upper surface side internal pad 66 disposed on the ceiling surface 63a of the lower surface side recess 63, And a lower surface side internal pad 68 electrically connected to each mounting terminal 65 by a predetermined wiring pattern, and an IC component 69 constituting an oscillation circuit mounted on the lower surface side internal pad 68.
The upper portion of the insulating container 61 having the upper surface side recess 62, the upper surface side internal pad 66, the crystal resonator element 22, and the metal lid 67 constitute a crystal resonator (piezoelectric resonator). In other words, the crystal resonator is electrically connected to the crystal resonator element X on the upper surface side inner pad 66 in the upper surface side recess 63 of the insulating container 61 made of an insulating material such as ceramic by using the conductive adhesive (conductive paste) 70. The metal lid 67 is electrically and mechanically connected to the conductor ring on the upper surface of the outer wall of the insulating container 61 by welding or the like, and the inside of the upper side recess 62 is hermetically sealed.
On the outer bottom surface of the insulating container 61, the temperature sensor 3, the temperature compensation voltage generator 4, the clip circuits 5, 6
, An oscillation circuit unit 7, a switching control unit 8, a temperature sensor phase switching unit 9, HPFs 10 and 42, a filter control unit 41, and other IC components 69 are mounted. When the piezoelectric oscillator is configured and miniaturized in this way, its heat capacity is reduced, and the temperature sensor 3 is sensitive to temperature fluctuations (fluctuations) due to ambient temperature changes and wind, and is a temperature compensated type. Although the output frequency of the piezoelectric oscillator fluctuates slightly (the frequency fluctuates), the piezoelectric oscillator 6 as in the present embodiment.
If the temperature fluctuation is canceled in 1, the temperature compensated piezoelectric oscillator can be reduced in size without causing the frequency fluctuation.
Note that the first and second variable capacitance elements ML and MH of the present embodiment have been described by taking MOS varactors as examples, but this is only an example, depending on the variable capacitance elements, variable capacitance diodes, or applied voltage. It is possible to use a semiconductor device whose capacitance is variable.
Considering the above-described various elements as the first and second variable capacitance elements ML and MH, it is possible to appropriately change the temperature compensation type piezoelectric oscillator or the oscillation circuit into an IC. Capacitance elements can be selected, and noise due to temperature fluctuation can be removed.

本発明の第1の実施形態に係る温度補償型圧電発振器の構成を示した示すブロック図である。1 is a block diagram showing a configuration of a temperature compensated piezoelectric oscillator according to a first embodiment of the present invention. 切替制御部の特性を示した図である。It is the figure which showed the characteristic of the switching control part. 温度センサ位相切替部の特性を示した図である。It is the figure which showed the characteristic of the temperature sensor phase switching part. 本発明の実施形態に係る圧電発振器の温度補償原理を説明する図である。It is a figure explaining the temperature compensation principle of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る圧電発振器の温度補償原理を説明する図である。It is a figure explaining the temperature compensation principle of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る圧電発振器の温度補償原理を説明する図である。It is a figure explaining the temperature compensation principle of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る圧電発振器の補償電圧の温度特性を示した図である。It is the figure which showed the temperature characteristic of the compensation voltage of the piezoelectric oscillator which concerns on embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る温度補償型圧電発振器の構成を示した示すブロック図である。It is the block diagram which showed the structure of the temperature compensation type | mold piezoelectric oscillator which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. フィルタ制御部の構成例を示した図である。It is the figure which showed the structural example of the filter control part. 図9に示すフィルタ制御部の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the filter control part shown in FIG. 本実施形態の圧電発振器が適用される表面実装型圧電発振器の構造の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the structure of the surface mount type piezoelectric oscillator to which the piezoelectric oscillator of this embodiment is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1、40…圧電発振器、2…定電圧発生部、3…温度センサ、4…温度補償電圧発生部
、5、6…クリップ回路、7…発振回路部、8…切替制御部、9…温度センサ位相切替部
、10、42…HPF、21…発振回路、22…圧電振動子、23…周波数温度補償回路
、31a…非反転増幅器、31b…反転増幅器、32、43…スイッチ回路、32a、3
2b、43a、43b…スイッチ、41…フィルタ制御部、51、52、53…コンパレ
ータ、61…絶縁容器(パッケージ)、62、63…凹所、64…底面、65…実装端子
、66…上面側内部パッド、67…金属リッド、68…下面側内部パッド、69…IC部
品、70…導電性接着剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,40 ... Piezoelectric oscillator, 2 ... Constant voltage generation part, 3 ... Temperature sensor, 4 ... Temperature compensation voltage generation part, 5, 6 ... Clip circuit, 7 ... Oscillation circuit part, 8 ... Switching control part, 9 ... Temperature sensor Phase switching unit 10, 42 ... HPF, 21 ... oscillation circuit, 22 ... piezoelectric vibrator, 23 ... frequency temperature compensation circuit, 31a ... non-inverting amplifier, 31b ... inverting amplifier, 32, 43 ... switch circuit, 32a, 3
2b, 43a, 43b ... switch, 41 ... filter control unit, 51, 52, 53 ... comparator, 61 ... insulating container (package), 62, 63 ... recess, 64 ... bottom surface, 65 ... mounting terminal, 66 ... top surface side Internal pad, 67 ... Metal lid, 68 ... Lower surface side internal pad, 69 ... IC component, 70 ... Conductive adhesive

Claims (4)

温度を検出する温度センサと、
前記温度センサの検出出力に基づいて、常温温度を中心として低温側の温度特性を補償
する低温補償電圧と、高温側の温度特性を補償する高温補償電圧を発生する温度補償電圧
発生部と、
前記温度センサの検出出力が所定電圧以下になったときに前記温度センサの検出出力の
位相を切り替えて出力する温度センサ位相切替部と、
該温度センサ位相切替部から出力される出力電圧を入力として、前記温度センサの検出
出力に含まれる高域成分のみを通過させて基準電圧に重畳して出力するハイパスフィルタ
と、
発振回路、圧電振動子、及び周波数温度補償回路を直列に接続して構成され、前記周波
数温度補償回路は、第1可変容量素子と容量とを直列接続した回路に、前記第1可変容量
素子と極性を逆にした第2可変容量素子を並列接続した回路であり、前記第1可変容量素
子のバックゲートと前記容量との接続点に低温補償電圧が供給され、前記容量と第2可変
容量素子のゲートとの接続点に高温補償電圧が供給され、前記第1可変容量素子のゲート
と前記第2可変容量素子のバックゲートとの接続点に前記ハイパスフィルタからの出力電
圧が供給される発振回路部と、
を備えたことを特徴とする圧電発振器。
A temperature sensor for detecting the temperature;
Based on the detection output of the temperature sensor, a low temperature compensation voltage that compensates for the temperature characteristics on the low temperature side centered on the normal temperature, and a temperature compensation voltage generator that generates a high temperature compensation voltage for compensating the temperature characteristics on the high temperature side,
A temperature sensor phase switching unit that switches and outputs the phase of the detection output of the temperature sensor when the detection output of the temperature sensor becomes a predetermined voltage or less;
A high-pass filter that receives the output voltage output from the temperature sensor phase switching unit as an input, passes only a high-frequency component included in the detection output of the temperature sensor, and superimposes it on a reference voltage;
An oscillation circuit, a piezoelectric vibrator, and a frequency temperature compensation circuit are connected in series. The frequency temperature compensation circuit is connected to a circuit in which a first variable capacitance element and a capacitor are connected in series with the first variable capacitance element. A circuit in which a second variable capacitance element having a reverse polarity is connected in parallel, and a low temperature compensation voltage is supplied to a connection point between the back gate of the first variable capacitance element and the capacitance, and the capacitance and the second variable capacitance element An oscillation circuit in which a high temperature compensation voltage is supplied to a connection point with the gate of the first variable capacitance element, and an output voltage from the high-pass filter is supplied to a connection point between the gate of the first variable capacitance element and the back gate of the second variable capacitance element. And
A piezoelectric oscillator comprising:
前記低温補償電圧、前記高温補償電圧が所定の電圧以下になったときに前記低温補償電
圧、前記高温補償電圧をそれぞれ所定電圧にクリップするクリップ回路と、
前記低温補償電圧又は前記高温補償電圧が所定電圧にクリップされているときに、ハイ
レベルの電圧を出力するフィルタ制御部と、を備え、
前記ハイパスフィルタは、前記フィルタ制御部からの入力電圧がハイレベルのときは、
前記基準電圧のみを前記発振回路部に供給し、前記フィルタ制御部からの入力電圧がハイ
レベル以外のときは前記基準電圧に前記温度センサの検出出力に含まれる高域成分を重畳
して前記発振回路部に供給することを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
A clip circuit that clips the low-temperature compensation voltage and the high-temperature compensation voltage to a predetermined voltage when the low-temperature compensation voltage and the high-temperature compensation voltage are less than or equal to a predetermined voltage;
A filter control unit that outputs a high level voltage when the low temperature compensation voltage or the high temperature compensation voltage is clipped to a predetermined voltage, and
When the input voltage from the filter control unit is at a high level, the high pass filter
Only the reference voltage is supplied to the oscillation circuit unit, and when the input voltage from the filter control unit is other than a high level, the oscillation is performed by superimposing a high-frequency component included in the detection output of the temperature sensor on the reference voltage. The piezoelectric oscillator according to claim 1, wherein the piezoelectric oscillator is supplied to a circuit unit.
温度センサ位相切替部は、前記温度センサの検出出力が所定電圧以上のときは前記温度
センサの検出出力と同相の検出電圧を出力し、前記温度センサの検出出力が所定電圧以下
のときは前記温度センサの検出出力と逆相の検出電圧を出力することを特徴とする請求項
1又は2に記載の圧電発振器。
The temperature sensor phase switching unit outputs a detection voltage in phase with the detection output of the temperature sensor when the detection output of the temperature sensor is equal to or higher than a predetermined voltage, and the temperature when the detection output of the temperature sensor is equal to or lower than the predetermined voltage. The piezoelectric oscillator according to claim 1 or 2, wherein a detection voltage having a phase opposite to a detection output of the sensor is output.
前記可変容量素子は、MOS型可変容量素子、バラクタ、可変容量ダイオード若しくは
、印加電圧により容量が可変する半導体デバイスを用いたことを特徴とする請求項1乃至
3の何れか一項に記載の圧電発振器。
4. The piezoelectric device according to claim 1, wherein the variable capacitance element is a MOS variable capacitance element, a varactor, a variable capacitance diode, or a semiconductor device whose capacitance is changed by an applied voltage. 5. Oscillator.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2016052098A (en) * 2014-09-02 2016-04-11 日本電波工業株式会社 Oscillator
WO2020066672A1 (en) * 2018-09-28 2020-04-02 株式会社村田製作所 Temperature compensation circuit and temperature compensated crystal oscillator
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