JP2009273235A5 - - Google Patents

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Description

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項1の発明は、振動を発生する振動子(13,23)と、前記振動子と加圧接触され、前記振動により、前記振動子に対して相対移動する相対移動部材(15,25)と、前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に設けられたカーボンナノチューブを含有する膜(18,31)と、を備える振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項2の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)は、前記振動子(13,23)と前記相対移動部材(15,25)との少なくとも一方の接触面に、直接形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)は、厚さが3〜100μmであること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記カーボンナノチューブは、前記膜(18,31)内において、粒子間距離の平均偏差を平均粒子間距離で割った値が、0〜0.5となるように、分散していること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ、カーボンナノホーンの少なくとも1つであること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項6の発明は、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)は、熱硬化性樹脂を含むこと、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項7の発明は、請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)は、熱硬化性樹脂を含み、前記熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂の少なくとも1つであること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項8の発明は、請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)はフッ素樹脂を含むこと、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項9の発明は、請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記膜(18,31)は、熱硬化性樹脂及びフッ素樹脂を含み、前記フッ素樹脂は、前記熱硬化性樹脂100重量部に対し、5〜35重量部配合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項10の発明は、振動を発生する振動子(13,23)と、前記振動子と加圧接触され、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材(15,25)と、を備え、前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方が、ポリアミドイミド樹脂とフッ素樹脂とを含む熱硬化性樹脂膜であり、他方がアルマイト皮膜であること、を特徴とする振動アクチュエータ(10,20)である。
請求項1の発明は、請求項1から請求項10までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器(3)である。
なお、本発明をわかりやすく説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。さらに、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
The present invention solves the above problems by the following means.
According to the first aspect of the present invention, the vibrator (13, 23) that generates vibration and the relative movement member (15, 25) that is in pressure contact with the vibrator and moves relative to the vibrator by the vibration. And a film (18, 31) containing carbon nanotubes provided on at least one of a contact surface of the vibrator with respect to the relative movement member and a contact surface of the relative movement member with respect to the vibrator. (10, 20).
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the first aspect, the film (18, 31) contacts at least one of the vibrator (13, 23) and the relative movement member (15, 25). The vibration actuator (10, 20) is characterized in that it is directly formed on the surface.
A third aspect of the present invention is the vibration actuator according to the first or second aspect, wherein the film (18, 31) has a thickness of 3 to 100 μm. ).
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to any one of the first to third aspects, the carbon nanotubes average the average deviation of the interparticle distance in the film (18, 31). The vibration actuator (10, 20) is characterized by being dispersed so that a value divided by an interparticle distance is 0 to 0.5.
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to any one of the first to fourth aspects, the carbon nanotube is at least one of a single-walled carbon nanotube, a multi-walled carbon nanotube, and a carbon nanohorn. Are vibration actuators (10, 20).
The invention according to claim 6 is the vibration actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the film (18, 31) includes a thermosetting resin. (10, 20).
The invention of claim 7 is the vibration actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein the film (18, 31) includes a thermosetting resin, and the thermosetting resin is The vibration actuator (10, 20) is characterized by being at least one of an epoxy resin, a phenol resin, a polyamide-imide resin, and a polyimide resin.
The invention according to claim 8 is the vibration actuator according to any one of claims 1 to 7, wherein the film (18, 31) contains a fluororesin. 20).
The invention of claim 9 is the vibration actuator according to any one of claims 1 to 8, wherein the film (18, 31) includes a thermosetting resin and a fluororesin, The vibration actuator (10, 20) is characterized in that 5 to 35 parts by weight is blended with 100 parts by weight of the thermosetting resin.
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a vibrator (13, 23) that generates vibration, a relative movement member (15, 25) that is in pressure contact with the vibrator and moves relative to the vibrator by the vibration. And at least one of the contact surface of the vibrator with respect to the relative movement member and the contact surface of the relative movement member with respect to the vibrator is a thermosetting resin film containing a polyamideimide resin and a fluororesin, The vibration actuator (10, 20) is characterized in that the other is an alumite film.
The invention of claim 1 1 is an optical apparatus comprising a vibration actuator according to any one of claims 1 to 10 (3).
In addition, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description has been made in association with the reference numerals of the drawings showing the embodiments. Alternatively, at least a part may be replaced with another component. Further, the configuration requirements that are not particularly limited with respect to the arrangement are not limited to the arrangement disclosed in the embodiment, and can be arranged at a position where the function can be achieved.

Claims (11)

振動を発生する振動子と、
前記振動子と加圧接触され、前記振動により、前記振動子に対して相対移動する相対移動部材と、
前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に設けられたカーボンナノチューブを含有する膜と、
を備える振動アクチュエータ。
A vibrator that generates vibration;
A relative movement member that is in pressure contact with the vibrator and moves relative to the vibrator by the vibration;
A film containing carbon nanotubes provided on at least one of a contact surface of the vibrator with respect to the relative movement member and a contact surface of the relative movement member with respect to the vibrator;
A vibration actuator comprising:
請求項1に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜は、前記振動子と前記相対移動部材との少なくとも一方の接触面に、直接形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 1,
The film is directly formed on at least one contact surface of the vibrator and the relative movement member;
Vibration actuator characterized by
請求項1又は請求項2に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜は、厚さが3〜100μmであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to claim 1 or 2,
The film has a thickness of 3 to 100 μm;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記カーボンナノチューブは、前記膜内において、粒子間距離の平均偏差を平均粒子間距離で割った値が、0〜0.5となるように、分散していること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
In the vibration actuator according to any one of claims 1 to 3,
The carbon nanotubes are dispersed in the film so that the average deviation of the interparticle distance divided by the average interparticle distance is 0 to 0.5.
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記カーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ、カーボンナノホーンの少なくとも1つであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
In the vibration actuator according to any one of claims 1 to 4,
The carbon nanotube is at least one of a single-walled carbon nanotube, a multi-walled carbon nanotube, and a carbon nanohorn;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜は、熱硬化性樹脂を含むこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
In the vibration actuator according to any one of claims 1 to 5,
The film includes a thermosetting resin;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜は、熱硬化性樹脂を含み、
前記熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂の少なくとも1つであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein
The film includes a thermosetting resin,
The thermosetting resin is at least one of an epoxy resin, a phenol resin, a polyamide-imide resin, and a polyimide resin;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜はフッ素樹脂を含むこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to any one of claims 1 to 7,
The film includes a fluororesin;
Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記膜は、熱硬化性樹脂及びフッ素樹脂を含み、
前記フッ素樹脂は、前記熱硬化性樹脂100重量部に対し、5〜35重量部配合されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
The vibration actuator according to any one of claims 1 to 8,
The film includes a thermosetting resin and a fluororesin,
The fluororesin is blended in an amount of 5 to 35 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin.
Vibration actuator characterized by
振動を発生する振動子と、  A vibrator that generates vibration;
前記振動子と加圧接触され、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材と、を備え、  A relative movement member that is in pressure contact with the vibrator and moves relative to the vibrator by the vibration;
前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方が、ポリアミドイミド樹脂とフッ素樹脂とを含む熱硬化性樹脂膜であり、他方がアルマイト皮膜であること、  At least one of the contact surface of the vibrator with respect to the relative movement member and the contact surface of the relative movement member with respect to the vibrator is a thermosetting resin film containing a polyamideimide resin and a fluororesin, and the other is an alumite film. Being
を特徴とする振動アクチュエータ。Vibration actuator characterized by
請求項1から請求項10までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器。 An optical apparatus comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 10 .
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