JP2009257861A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、カーブを有する軌道上で搬送する搬送システムにおいて、搬送手段を自由に構成する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、軌道（１）と、軌道における所定の位置に付けられた補正マークと、軌道に沿って走行して被搬送物を搬送すると共に、所定の位置を通過する際に補正マークを読み取る読取手段（６）、及び軌道に沿って走行した走行距離を検出する距離検出手段（７）を有する搬送手段（３）と、読み取られた補正マークに基づいて、検出された走行距離を補正するための補正係数を取得する補正係数取得手段（５）と、取得された補正係数を用いて検出された走行距離を補正すると共に、補正された走行距離を補正距離として特定する補正距離特定手段（５）とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、カーブを有する軌道上で搬送する搬送システムの技術分野に関する。

この種の搬送システムとして、例えば補正区間に設けられた基準部材間で、エンコーダによって駆動車輪の回転に応じたパルス数を検出し、検出されたパルス数と設定パルス数とを比較することによって、エンコーダの検出値を補正するものがある（特許文献１参照）。

特開平４−１０４００６号公報

しかしながら、上述した特許文献１の搬送システムによれば、搬送車が、相異なる複数のカーブを走行することを考慮して、エンコーダによる検出値にカーブの違いによる誤差が生じないように、エンコーダを、例えば搬送車本体における下面の中央に取り付けている。このようなエンコーダの取り付け位置は、搬送車の構成を制限してしまいかねない。また、搬送車本体の両側に、例えば一対の車輪を配している場合、一対の車輪のうちのいずれかとエンコーダとの間に、駆動力を伝達する伝達機構を備える必要がある。この場合に、該伝達機構を介して検出される検出値について、その信頼性が欠けてしまいかねない。更には、伝達機構を備える分、搬送車の重量が増加すると共に高コストになってしまいかねないという問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、エンコーダなどの距離検出手段を有する搬送車等の搬送手段を自由に構成可能な搬送システムを提供することを課題とする。

本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、軌道と、該軌道における所定の位置に付けられた補正マークと、前記軌道に沿って走行して被搬送物を搬送すると共に、前記所定の位置を通過する際に前記補正マークを読み取る読取手段、及び前記軌道に沿って走行した走行距離を検出する距離検出手段を有する搬送手段と、前記読み取られた補正マークに基づいて、前記検出された走行距離を補正するための補正係数を取得する補正係数取得手段と、前記取得された補正係数を用いて前記検出された走行距離を補正すると共に、前記補正された走行距離を補正距離として特定する補正距離特定手段とを備える。

本発明の搬送システムによれば、その動作時には、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の被搬送物は、例えばＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、ビークル等の搬送手段によって、例えば天井又は床上に敷設されたレール等の軌道に沿って搬送される。すると、例えばマークセンサ等の読取手段によって、軌道に付けられた補正マークが、搬送手段が通過する際に（即ち、補正マークの脇や補正マークの上下などを通過する際に）、読み取られると共に、エンコーダ等の距離検出手段によって、軌道に沿って走行した走行距離が検出される。ここに「補正マーク」は、軌道において、例えば分岐若しくはカーブが開始される位置、又は分岐若しくはカーブが終了される位置に付けられている。このような補正マークは、典型的には、軌道における複数の所定の位置（例えば各カーブの手前や出口、各直線の手前や出口、各分岐の手前、各合流の手前など）に、複数付けられる。

ここで、軌道は、例えば、相異なる方向に延びる、又は相異なる半径を有する複数のカーブを含んでいる。このような軌道に沿って走行する搬送手段が備える距離検出手段は、例えば、搬送手段本体の中心から一側方に偏って取り付けられている。このような距離検出手段により検出される走行距離は、該複数のカーブの違いによる検出誤差を含んでいる。

本発明では、該検出誤差を解消するために、読取手段により一の補正マークが読み取られると、読み取られた補正マークに基づいて、補正係数取得手段によって、補正係数が取得される。ここに「補正係数取得手段」は、例えば搬送手段に設けられた又は搬送手段と通信接続されたコントローラ、メモリ等を含んでなる制御手段又は搬送制御手段である。「補正係数」は、例えば各補正マークに対応付けられており、各補正マークの下流側にある軌道（例えば、カーブする軌道）に対応して予め設定されている。すると、補正距離特定手段によって、取得された補正係数を用いて走行距離が補正され、補正された走行距離が補正距離として特定される。ここに「補正距離特定手段」は、例えば搬送手段に設けられた又は搬送手段と通信接続されたコントローラ、メモリ等を含んでなる制御手段又は搬送制御手段に含まれる。或いは、制御手段や搬送制御手段から独立したコントローラ等から構成される。

この後、例えば搬送手段に設けられた又は搬送手段と通信接続されたコントローラ、メモリ等を含んでなる制御手段又は搬送制御手段によって、特定された補正距離に基づいて、搬送手段について、精度の高い制御（例えば、走行位置及び停止位置、又は走行速度）が可能となる。

このように、走行中に、軌道に付けられた補正マークを通過すると、距離検出手段による検出値が補正され、検出値に含まれる検出誤差を解消することが可能となる。従って、距離検出手段の取り付け位置に関わらずに、搬送手段を自由に構成することが可能となる。

本発明の搬送システムの一態様では、前記補正係数を、前記補正マークに対応付ける形で格納する記憶手段を更に備え、前記補正係数取得手段は、前記記憶手段から、前記読み取られた補正マークに対応付けられた前記補正係数を取得し、前記補正距離特定手段は、前記取得された補正係数を前記検出された走行距離に乗じることにより前記補正距離を特定する。

この態様によれば、走行時に、読取手段により補正マークが読み取られると、補正係数取得手段によって、制御手段又は搬送制御手段と通信接続可能であるデータベースや、制御手段又は搬送制御手段に含まれるメモリ等の記憶手段から、補正マークに対応付けられた補正係数が取得される。すると、補正距離特定手段によって、取得された補正係数を、距離検出手段により検出された走行距離に乗じた値（即ち、補正距離）が算出される。このように、補正マークに対応付けられた補正係数を用いて、走行距離が補正される。これにより、走行距離に含まれる検出誤差を解消することが可能となる。

この態様では、前記特定された補正距離に基づいて、前記搬送手段の走行を制御する走行制御手段を更に備え、前記走行制御手段は、前記軌道における前記読み取られた補正マークの下流側に、択一的に走行可能である複数の軌道部分がある場合、前記複数の軌道部分のうち走行すべき軌道部分として一の軌道部分を選択し、前記記憶手段は、前記複数の軌道部分の各々に対応する前記補正係数を、前記複数の軌道部分の各々に対応付ける形で格納し、前記補正係数取得手段は、前記複数の軌道部分がある場合、前記記憶手段から、前記選択された一の軌道部分に対応付けられた前記補正係数を取得してもよい。

このように構成すれば、走行時に、例えば制御手段又は搬送制御手段等の走行制御手段によって、例えば、搬送指示に従って、補正マークの下流側にある複数の軌道部分のうち、走行すべき一の軌道部分が選択される。この後、読取手段により補正マークが読み取られると、補正係数取得手段によって、選択された一の軌道部分に対応付けられた補正係数が選択される。このように、走行すべき軌道部分に対応する補正係数を用いて、走行距離が補正される。これにより、走行距離に含まれる検出誤差を解消することが可能となる。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記補正係数取得手段は、前記読み取られた補正マークにより示される前記所定の位置、及び前記所定の位置から走行すべき前記軌道の状態に応じて、前記補正係数を一義的に決定し、前記補正距離特定手段は、前記決定された補正係数を用いて前記補正距離を特定する。

この態様によれば、走行時に、読取手段により補正マークが読み取られると、補正係数取得手段によって、補正係数が一義的に決定される。具体的には、先ずデータベースや、制御手段又は搬送制御手段内のメモリ等の記憶手段から、補正マークの位置から搬送手段が走行すべき軌道の状態が読み取られる。すると、読み取られた状態が、例えば予め設定された判定式に当て嵌められ、軌道の状態に対応する補正係数が一義的に決定される。ここに「軌道の状態」は、例えばカーブの方向、カーブの半径の大小等であってもよい。すると、補正距離特定手段によって、決定された補正係数を用いて、走行距離が補正される。このように、補正マークに示される軌道における位置、及び該位置から搬送手段が走行すべき軌道部分の状態に基づいて、補正係数が一義的に導かれる。これにより、例えば軌道が変更されるのに伴って、変更された軌道部分の状態のみを変更すればいいので、補正係数を容易に変更することが可能となる。

この態様では、前記状態は、前記走行すべき軌道について、分岐の有無、カーブしている方向、及びカーブの半径の大小を示してもよい。

このように構成すれば、補正係数取得手段によって、走行すべき軌道部分が、例えば補正マークの位置からカーブしているか否か、カーブしている方向が右方及び左方のどちらか、並びにカーブ半径が大及び小のどちらか等のカーブの状態に基づいて、補正係数が決定される。これにより、高い精度の補正係数を設定することが可能となる。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記距離検出手段は、前記搬送手段の駆動部に直接取り付けられている。

この態様によれば、例えばモータ等の駆動部に直接取り付けられた距離検出手段によって、走行距離が検出される。これにより、駆動部及び距離検出手段間に伝達機構を配さなくて済むので、検出値の信頼性が高まると共に、距離検出手段を全体として小型に構成して、搬送手段をより自由に構成することが可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

先ず、実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る軌道及び搬送手段を模式的に示し、図２は、図１の搬送手段における測定手段の取り付け位置を示し、図３は、図１の複数の補正マーク及びそれらに対応付けられた補正係数を示す。

図１において、本実施形態に係る搬送システム１００は、軌道１、ビークル３、データベース９、及び搬送コントローラ１０を備える。

軌道１は、ビークル３がＦＯＵＰを搬送するための経路であって、本軌道１ａ及び支軌道１ｂを含む。図１に示すように、本軌道１ａについて、複数の補正マークＭ１〜Ｍ４が夫々付けられ、支軌道１ｂについて、補正マークＭ２が付けられている。具体的には、本軌道１ａは、補正マークＭ１で左方に分岐される。この左方に分岐した軌道部分が、支軌道１ｂである。本軌道１ａは、補正マークＭ３で右方にカーブされた後、補正マークＭ４で再び直進される。支軌道１ｂは、補正マークＭ１を始点として、左方にカーブされた後、補正マークＭ２で再び直進される。尚、ＦＯＵＰは、本発明に係る「被搬送物」の一例である。

複数の補正マークＭ１〜Ｍ４は、本実施形態では、後述する補正係数を取得するために使用され、夫々相異なる識別コードを示す。各補正マークＭ１〜Ｍ４の識別コードは、ビークル３の走行に伴い、後述するマークセンサにより読み取られる。

ビークル３は、本発明に係る「搬送手段」の一例として、モータにより駆動され、軌道１に沿って走行し、ＦＯＵＰを搬送する。図２に示すように、ビークル３は、制御部５、マークセンサ６、エンコーダ７、及びバーコードリーダ８を備える。

マークセンサ６は、本発明に係る「読取手段」の一例として、投光部及び受光部を有する投光型のセンサであって、ビークル３本体の下面に取り付けられている。マークセンサ６は、ビークル３の走行時に、ビークル３が通過した補正マーク（即ち、複数の補正マークＭ１〜Ｍ４のうちのいずれか）に付けられた識別コードを読み取り、読み取った識別コードを示す信号を制御部５に送る。

エンコーダ７は、本発明に係る「距離検出手段」の一例として、モータにより駆動される車輪の回転軸に直接取り付けられている。エンコーダ７は、車輪の回転に係る値を走行距離として検出し、検出された値（即ち、走行距離）を示す信号を制御部５に送る。本実施形態では、制御部５に送られた走行距離は、制御部５によって補正される。

バーコードリーダ８は、マークセンサ６と同様に、ビークル３本体の下面に取り付けられている。バーコードリーダ８は、ビークル３の走行時に、ビークル３が通過したバーコードＢＣｘ（図２に示される）を読み取り、読み取ったバーコードを示す信号を制御部５に送る。この読み取られたバーコードＢＣｘに基づいて、ビークル３の走行が制御される。

図１において、制御部５は、搬送コントローラ１０からの搬送指示に従って、ビークル３の各部を制御する。制御部５は、本発明に係る「補正係数取得手段」及び「補正距離特定手段」の一例として、マークセンサ６からの信号が示す補正マークに基づいて、エンコーダ７からの走行距離を補正する走行距離補正処理を行う。尚、制御部５における「補正係数取得手段」及び「補正距離特定手段」の少なくとも一部の機能を、搬送コントローラ１０が備えていてもよい。

走行距離補正処理について、具体的には、制御部５は、後述する軌道情報テーブル２０から、マークセンサ６からの補正マーク（又は補正マークの識別コード）に対応付けされた補正係数を示す情報を取得する。この際、取得された情報が複数存在する場合に、制御部５は、補正マークから走行すべき進行方向（即ち、下流側軌道）に対応付けされた補正係数を示す情報を選択する。尚、このような補正係数は、本実施形態では、搬送コントローラ１０からの搬送指示に先立って行われる初期設定で設定される。

続いて、制御部５は、カーブ半径の違いにより生じるエンコーダ７の検出誤差を解消するべく、走行距離を補正する。具体的には、制御部５は、軌道情報テーブル２０から取得（或いは、複数取得された後に１つに選択）される補正係数を、エンコーダ７からの走行距離に乗じる。制御部５は、例えば走行距離「Ｓｅｎ」、補正距離「α」とする場合に、補正された走行距離である補正距離「Ｓ」を後述する式（１）により算出する。

Ｓ ＝ α ＊ Ｓｅｎ （１）

制御部５は、初期設定時に、軌道１について、複数の軌道部分に対応する補正係数を補正マークに紐付けて記憶する軌道情報テーブル２０を作成する。制御部５は、作成した軌道情報テーブル２０を、搬送コントローラ１０を介してデータベース９に送る。

制御部５は、本発明に係る「走行制御手段」の一例としても機能し、停止位置及び走行速度の調整を含めて、ビークル３の走行を制御する。制御部５は、本実施形態では特に、搬送コントローラ１０からの搬送指示に基づいて、軌道１において分岐する軌道位置（例えば、図１における補正マークＭ１の位置）で、ビークル３が該軌道位置（即ち、補正マークＭ１）以降に走行（進行）すべき軌道部分を選択する。尚、制御部５における「走行制御手段」の少なくとも一部の機能を、搬送コントローラ１０が備えていてもよい。

搬送コントローラ１０は、軌道１に沿って走行する複数のビークル３と無線により接続されており、これら複数のビークル３を統括的に制御する。搬送コントローラ１０は、データベース９と接続されており、このデータベース９に対するビークル３のアクセスを可能とする。

データベース９は、本発明に係る「記憶手段」の一例として、制御部５からの軌道情報テーブル２０を記憶する。データベース９は、軌道１の状態が変化されるのに伴い、軌道情報テーブル２０を更新可能とする。

図３において、具体的には、軌道情報テーブル２０は、「補正マーク（又は補正マークの識別コード）」に対応付ける形で「下流側軌道」及び「補正係数」を格納している。「下流側軌道」は、ビークル３が各補正マークの位置から下流側へ走行可能である軌道１の部分（以下、「軌道部分」と言う）の状態を示す。「補正係数」は、各軌道部分に対応しており、ビークル３が各軌道部分を走行してエンコーダ７により検出される走行距離を補正可能である係数を示す。尚、「補正係数」について、本実施形態では、直進する軌道部分に対して一様に「１」が設定されており、右又は左にカーブする軌道部分に対して、カーブ半径に対応する値が設定されている。

図１及び図３に示すように、補正マーク「Ｍ１」の下流側軌道について、本軌道１ａに沿った「直進」、及び支軌道１ｂに沿った「左カーブ」の２つの軌道部分があり、軌道部分「左カーブ」に対応する補正係数が「左カーブ補正値」に設定されている。補正マーク「Ｍ２」の下流側軌道について、支軌道１ｂに沿った「直進」の軌道部分がある。補正マーク「Ｍ３」の下流側軌道について、本軌道１ａに沿った「右カーブ」の軌道部分があり、軌道部分「右カーブ」に対応する補正係数が「右カーブ補正値」に設定されている。補正マーク「Ｍ４」の下流側軌道について、本軌道１ａに沿った「直進」の軌道部分がある。
（第１走行距離補正処理）

次に、本実施形態に係る補正係数取得手段及び補正距離特定手段として機能する制御部５による第１走行距離補正処理について図１及び図３を参照して説明する。第１走行距離補正処理について、走行距離の補正時に、各補正マークに対応付けられた補正係数が使用される。

図１において、走行時に、先ずマークセンサ６によって、軌道１に付けられたいずれかの補正マークが読み取られる。ここで、例えば補正マークＭ３が読み取られた場合に、制御部５によって、軌道情報テーブル２０から、補正マークＭ３に対応付けられた補正係数α「右カーブ補正値」が取得される。続いて、エンコーダ７によって、補正マークＭ３から補正マークＭ４までの走行距離Ｓｅｎが検出される。すると、制御部５によって、補正係数α「右カーブ補正値」を、走行距離Ｓｅｎに乗じて、補正距離Ｓが算出される。これにより、補正マークＭ４以降の走行時に、補正距離Ｓに基づいて、ビークル３の走行（即ち、停止位置及び走行速度）が制御される。

一方、マークセンサ６によって、例えば補正マークＭ１が読み取られた場合に、制御部５によって、軌道情報テーブル２０から、補正マークＭ１に対応付けられた補正係数α「１」及び「左カーブ補正値」が取得される。すると、制御部５によって、ビークル３が補正マークＭ１以降に走行すべき下流側軌道「左カーブ」（即ち、支軌道１ｂに沿った軌道部分）が選択されると共に、下流側軌道「左カーブ」に対応する補正係数α「左カーブ補正値」が選択される。続いて、エンコーダ７によって、補正マークＭ１から補正マークＭ２までの走行距離Ｓｅｎが検出される。すると、制御部５によって、補正係数α「左カーブ補正値」を、走行距離Ｓｅｎに乗じて、補正距離Ｓが算出される。これにより、補正マークＭ２以降の走行時に、補正距離Ｓに基づいて、ビークル３の走行が制御される。

このように、本実施形態の第１走行距離補正処理では、軌道１において、分岐若しくはカーブが開始される位置（例えば、補正マークＭ１，Ｍ３）、又は分岐若しくはカーブが終了される軌道位置（例えば、補正マークＭ２，Ｍ４）に補正マークを付け、走行時に、マークセンサ６に読み取られた補正マークに対応付けられた補正係数を用いて、エンコーダ７の検出値が補正される。これにより、エンコーダ７の取り付け位置に関わらずに、該検出値における検出誤差が解消される。従って、エンコーダ７を自由に取り付けることができると共に、ビークル３の構成について自由度が高まる。

尚、本実施形態では、補正係数を、軌道情報テーブル２０から取得するが、軌道１の状態に応じて一義的に決定してもよい。
（第２走行距離補正処理）

次に、制御部５による第２走行距離補正処理について図４を参照して説明する。ここに図４は、本実施形態に係る制御部５による走行距離補正処理の一例である第２走行距離補正処理を示すフローチャートである。

第１走行距離補正処理では、補正マークに対応付けられた補正係数が使用されるが、第２走行距離補正処理では、ビークル３が走行すべき軌道部分の状態によって一義的に導かれる補正係数が使用される。

データベース９は、第１走行距離補正処理で使用される軌道情報テーブル２０の他に、第２走行距離補正処理で使用される不図示のカーブ情報テーブルを有する。カーブ情報テーブルは、本発明に係る「軌道の状態」の一例として、「補正マーク（又は補正マークの識別コード）」及び上述した少なくとも一の「下流側軌道」に対応付ける形で、複数のカーブ情報として「カーブの有無」、「カーブ方向」、及び「カーブ半径の大小」を格納している。「カーブの有無」は、各補正マークから、走行すべき軌道部分が「カーブする」及び「直進する」のどちらであるかを示す。「カーブ方向」は、各補正マークから分岐している軌道部分がカーブしている方向が「右」及び「左」のどちらであるかを示す。「カーブ半径の大小」は、右方又は左方へのカーブの半径が「大」及び「小」のどちらであるかを示す。

図４において、走行時に、先ずマークセンサ６により、軌道１に付けられたいずれかの補正マークが読み取られたか否かが判定される（ステップＳ５０）。この判定の結果、未だ読み取られない場合に（ステップＳ５０:ＮＯ）、読み取られるまで待機状態となる。

一方、ステップＳ５０の判定の結果、いずれかの補正マークが読み取られた場合に（ステップＳ５０：ＹＥＳ）、制御部５によって、読み取られた補正マークの位置から、ビークル３が走行すべき軌道部分が選択されると共に、カーブ情報テーブルから、選択された軌道部分に対応付けられたカーブ情報が取得される。すると、該軌道部分が直進しているかカーブしているかが判定される（ステップＳ５１）。この判定の結果、直進している場合に（ステップＳ５１:直進）、エンコーダ７に検出された走行距離の補正が不要として、一連の処理が終了される。

一方、ステップＳ５１の判定の結果、軌道部分がカーブしている場合に（ステップＳ５１:分岐）、カーブした支軌道１ｂが本軌道１ａに対して、右カーブなのか左カーブなのかが判定される（ステップＳ５２）。この判定の結果、左カーブである場合に（ステップＳ５２:左）、この左カーブについて、角度が大きいか小さいかが判定される（ステップＳ５３）。この判定の結果、角度が小さい場合に（ステップＳ５３：小）、補正係数「左小カーブ補正値」に、エンコーダ７による走行距離を乗じる左小カーブ補正が行われ（ステップＳ５３）、一連の処理が終了される。

一方、ステップＳ５３の判定の結果、左カーブについて角度が大きい場合に（ステップＳ５３:大）、補正係数「左大カーブ補正値」に、エンコーダ７による走行距離を乗じる左大カーブ補正が行われ（ステップＳ５５）、一連の処理が終了される。

一方、ステップＳ５２の判定の結果、分岐した支軌道１ｂが本軌道１ａに対して、右カーブである場合に（ステップＳ５２：右）、この右カーブについて、角度が大きいか小さいかが判定される（ステップＳ５６）。この判定の結果、角度が小さい場合に（ステップＳ５６：小）、補正係数「右小カーブ補正値」に、エンコーダ７による走行距離を乗じる右小カーブ補正が行われ（ステップＳ５７）、一連の処理が終了される。

一方、ステップＳ５６の判定の結果、右カーブについて角度が大きい場合に（ステップＳ５６:大）、補正係数「右大カーブ補正値」に、エンコーダ７による走行距離を乗じる右大カーブ補正が行われ（ステップＳ５８）、一連の処理が終了される。

このように、本実施形態の第２走行距離補正処理では、少なくともカーブする軌道部分について、カーブの方向、及びカーブの半径の大小を判定することによって、補正係数が一義的に決定され、該補正係数を用いて、エンコーダ７の検出値が補正される。これにより、エンコーダ７の取り付け位置に関わらずに、該検出値における検出誤差が解消される。従って、エンコーダ７を自由に取り付けることができると共に、ビークル３の構成について自由度が高まる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能である。

実施形態に係る軌道及び搬送手段を示す模式図である。 実施形態に係る距離検出手段の取り付け位置を示す搬送手段の下面図である。 実施形態に係る記憶手段の軌道情報テーブルを示す表である。 実施形態に係る搬送システムによる走行距離補正処理の一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１…軌道、３…ビークル、５…制御部、６…マークセンサ、７…エンコーダ、９…データベース、１０…搬送コントローラ、１００…搬送システム

Claims (6)

1. 軌道と、
   該軌道における所定の位置に付けられた補正マークと、
   前記軌道に沿って走行して被搬送物を搬送すると共に、前記所定の位置を通過する際に前記補正マークを読み取る読取手段、及び前記軌道に沿って走行した走行距離を検出する距離検出手段を有する搬送手段と、
   前記読み取られた補正マークに基づいて、前記検出された走行距離を補正するための補正係数を取得する補正係数取得手段と、
   前記取得された補正係数を用いて前記検出された走行距離を補正すると共に、前記補正された走行距離を補正距離として特定する補正距離特定手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
2. 前記補正係数を、前記補正マークに対応付ける形で格納する記憶手段を更に備え、
   前記補正係数取得手段は、前記記憶手段から、前記読み取られた補正マークに対応付けられた前記補正係数を取得し、
   前記補正距離特定手段は、前記取得された補正係数を前記検出された走行距離に乗じることにより前記補正距離を特定する
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記特定された補正距離に基づいて、前記搬送手段の走行を制御する走行制御手段を更に備え、
   前記走行制御手段は、前記軌道における前記読み取られた補正マークの下流側に、択一的に走行可能である複数の軌道部分がある場合、前記複数の軌道部分のうち走行すべき軌道部分として一の軌道部分を選択し、
   前記記憶手段は、前記複数の軌道部分の各々に対応する前記補正係数を、前記複数の軌道部分の各々に対応付ける形で格納し、
   前記補正係数取得手段は、前記複数の軌道部分がある場合、前記記憶手段から、前記選択された一の軌道部分に対応付けられた前記補正係数を取得する
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
4. 前記補正係数取得手段は、前記読み取られた補正マークにより示される前記所定の位置、及び前記所定の位置から走行すべき前記軌道の状態に応じて、前記補正係数を一義的に決定することで取得することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
5. 前記状態は、前記走行すべき軌道について、分岐の有無、カーブしている方向、及びカーブの半径の大小を示すことを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
6. 前記距離検出手段は、前記搬送手段の駆動部に直接取り付けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送システム。

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