JP2009226291A - Coating method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating method capable of efficiently removing remaining air in a liquid sending pipe when filling a coating liquid and stably carrying out coating by supplying a sufficiently degassed coating liquid to an inkjet head and stably discharging the liquid droplets out of the head. <P>SOLUTION: When filling the inkjet head with a coating liquid, the organic solvent is replaced with a degassed coating liquid using a gas-permeating film after a liquid sending line is filled with a degassed organic solvent. Further, when coating, the temperature in the side face of the inkjet head is detected, and from the detection result, the temperature of the coating liquid is controlled to be a prescribed temperature and at the same time droplets of the coating liquid are discharged to the substrate from the inkjet head to form a coating film. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェットヘッドを用い、塗布液を連続して移動する基材に吐出して塗布を行う場合に、前記塗布液を安定して吐出することのできる塗布方法に関する。   The present invention relates to a coating method capable of stably discharging the coating liquid when the coating liquid is discharged onto a continuously moving substrate using an inkjet head.

従来、被塗布物である基材の表面に塗布液を塗布する塗布方法には様々な塗布方式が存在し、その塗布方式は大きく2つに大別される。1つは必要な塗布液膜を形成する量だけ塗布液を吐出させて基材表面に塗布液を塗布する前計量型塗布方式であり、代表的なものとしてエクストルージョン塗布方式、スライド塗布方式、カーテン塗布方式などが挙げられる。もう一つは予め必要な塗布液膜形成量よりも余剰な塗布液を吐出させて、その後何らかの手段により余剰塗布液を掻き落とす後計量型塗布方式であり、代表的なものとしてロール塗布方式、エアーナイフ塗布方式、ワイヤーバー塗布方式などが挙げられる。   2. Description of the Related Art Conventionally, there are various coating methods for coating a coating liquid on the surface of a substrate that is an object to be coated, and the coating methods are roughly divided into two. One is a pre-weighing type coating method in which a coating solution is discharged by an amount that forms a required coating solution film, and the coating solution is applied to the substrate surface. Typical examples are an extrusion coating method, a slide coating method, A curtain coating method may be used. The other is a pre-measurement type coating method in which an excess coating solution is discharged in advance than the required coating solution film formation amount, and then the excess coating solution is scraped off by some means, and a typical example is a roll coating method, Examples include an air knife coating method and a wire bar coating method.

一般的には、前計量型塗布方式では装置構成等は複雑であるが高精度な塗布液膜が得られ、後計量型塗布方式では装置構成等は簡便で加工速度は高速であるが前者に比較して塗布液膜の精度は落ちる。ここで、前記高精度とは基材の移動方向及び移動方向と直交する方向での塗布液膜の厚みの均一性を指す。また、前計量型塗布方式と後計量型塗布方式を塗布液の消費量という観点で比較した場合には当然ながら前計量型塗布方式の方が少なく、生産効率上有利である。   In general, the pre-metering type coating method has a complicated apparatus configuration, but a highly accurate coating liquid film can be obtained. In the post-metering type coating method, the apparatus structure is simple and the processing speed is high, but the former In comparison, the accuracy of the coating liquid film decreases. Here, the said high precision refers to the uniformity of the thickness of the coating liquid film in the moving direction of a base material and the direction orthogonal to a moving direction. Further, when comparing the pre-measuring type coating method and the post-measuring type coating method from the viewpoint of the consumption amount of the coating liquid, the pre-measuring type coating method is naturally less and is advantageous in terms of production efficiency.

しかし、これらの従来の塗布方式では、高精度かつ薄膜な塗布液膜を得ることが困難という問題がある。即ち、後計量塗布方式では比較的薄膜を得ることは可能なものの、前述のとおり塗布液膜の精度が悪い。一方、前計量塗布方式では塗布液膜の精度は比較的良いが、薄膜を得ることが難しい。   However, these conventional coating methods have a problem that it is difficult to obtain a highly accurate and thin coating liquid film. That is, although a relatively thin film can be obtained by the post-metering coating method, the accuracy of the coating liquid film is poor as described above. On the other hand, in the pre-metering coating method, the accuracy of the coating liquid film is relatively good, but it is difficult to obtain a thin film.

一方、機能性塗布液膜を基材上に形成してなる塗布物に対して、従来の写真感光材料等と比較してより薄膜でより高精度な塗布液膜のニーズが非常な高まりを見せている。こうした状況の中で、近年需要の増えている民生用の印刷機器等に使用されている、インクジェットプリンタ技術を塗布液の高精度薄膜形成に摘要する研究が進んでいる。例えばインクジェットヘッド(以下、ヘッドとも略す)から圧電振動子による可撓板の変形により塗布液をノズルから液滴として吐出し、基材上に塗布液膜を形成すること及び一定の被覆率で塗布液膜が配置されたパターニングを形成することが知られている。   On the other hand, there is a great increase in the need for coating films with a thin film and higher precision compared to conventional photographic materials, etc., for coated products formed with a functional coating liquid film on a substrate. ing. Under such circumstances, research is progressing to use inkjet printer technology for forming high-precision thin films of coating liquids, which are used in consumer printing equipment and the like, whose demand has been increasing in recent years. For example, a coating liquid is ejected as droplets from a nozzle by deformation of a flexible plate by a piezoelectric vibrator from an inkjet head (hereinafter also abbreviated as a head) to form a coating liquid film on a substrate and coating at a constant coverage. It is known to form a pattern in which a liquid film is arranged.

ここで、被塗布物とは塗布液膜が形成される基材をいい、塗布物とは前記基材上に塗布液膜が形成されたものをいう。   Here, the object to be coated refers to a substrate on which a coating liquid film is formed, and the coating object refers to a substrate in which a coating liquid film is formed on the substrate.

インクジェットヘッドを使用した塗布液膜の形成は、様々な製品の加工方法への適用が検討されている。例えば電気光学パネル(液晶表示装置や有機ELパネル)の製造に必要な液晶、フォトレジスト膜、オーバーコート膜、配向膜、カラーフィルタ、有機EL材料等の各種膜等である。またこれらに限らず広く工業用に適用されつつある。   Formation of a coating liquid film using an inkjet head has been studied for application to various product processing methods. For example, it is a liquid crystal, a photoresist film, an overcoat film, an alignment film, a color filter, various films such as an organic EL material, etc. necessary for manufacturing an electro-optical panel (liquid crystal display device or organic EL panel). Moreover, it is being applied not only to these but widely industrial use.

このインクジェットヘッドを利用して塗布液膜を得る方法(以下インクジェット塗布法ともいう)は、これまでに数々の発明がなされている。例えば、インクジェットヘッドを基材の移動方向と直交する方向に複数並べて配置し、ノズルからの吐出液滴を基材上に基材の移動速度に対応した周波数で吐出することにより塗布液膜を得る方法が代表的である(例えば、特許文献1参照)。インクジェット塗布法は液滴量や基材上での配置ピッチを任意に決めることができるため、前述した塗布方式の分類では前計量塗布方式となる。   A number of inventions have been made so far for a method of obtaining a coating liquid film using this inkjet head (hereinafter also referred to as an inkjet coating method). For example, a plurality of inkjet heads are arranged in a direction perpendicular to the moving direction of the substrate, and a coating liquid film is obtained by discharging droplets discharged from the nozzle onto the substrate at a frequency corresponding to the moving speed of the substrate. The method is representative (see, for example, Patent Document 1). Since the ink jet coating method can arbitrarily determine the amount of droplets and the arrangement pitch on the substrate, the above-described classification of coating methods is a pre-metering coating method.

しかしながら、前記インクジェットヘッドを用いた塗布方法においては、問題点も存在する。前記問題点として、圧電振動子による可撓板の変形、即ちチャネル(塗布液圧力室)の伸縮により塗布液をノズルから液滴として吐出する剪断モード型(ピエゾ方式)のヘッドでは、次のものがある。   However, there are problems in the coating method using the inkjet head. The above-mentioned problem is that in the shear mode type (piezo method) head in which the coating liquid is discharged as droplets from the nozzle by deformation of the flexible plate by the piezoelectric vibrator, that is, expansion and contraction of the channel (coating liquid pressure chamber), There is.

前記塗布液に容存する容存空気が多い場合に、吐出過程において、チャネルの伸縮によりチャネル内部の前記塗布液の流速に差が生じ、これにより負圧が生じることで、塗布液中の飽和溶解度が低下する。このように、塗布液中の飽和溶解度が低下すると、溶解しきれなくなった容存空気が気泡に成長する。前記気泡がチャネル内部に溜まると、吐出量低下やノズル詰まり等の吐出不良を引き起こすことが知られている。   When there is a large amount of air present in the coating solution, a difference in flow rate of the coating solution inside the channel occurs due to the expansion and contraction of the channel in the discharge process, and thereby a negative pressure is generated, resulting in saturated solubility in the coating solution. Decreases. As described above, when the saturation solubility in the coating solution decreases, the remaining air that cannot be dissolved grows into bubbles. It is known that when the bubbles accumulate inside the channel, discharge defects such as a decrease in discharge amount and nozzle clogging are caused.

前記吐出不良を防ぎ、前記塗布液を安定に吐出するためには、前記塗布液に容存する容存空気を減少させることが重要になる。そこで、従来から、吐出量変動を抑えるために、脱気した塗布液を用いる方法がとられてきた。塗布液の脱気には、例えば減圧脱気、超音波脱気等が挙げられる。このように、様々な脱気方法が考案され、インクジェットヘッドからの塗布液の吐出安定性を向上させるための工夫がなされてきた。   In order to prevent the discharge failure and stably discharge the coating solution, it is important to reduce the amount of air existing in the coating solution. Therefore, conventionally, a method of using a degassed coating solution has been taken in order to suppress fluctuations in the discharge amount. Examples of degassing of the coating solution include vacuum degassing and ultrasonic degassing. In this way, various degassing methods have been devised, and contrivances have been made to improve the discharge stability of the coating liquid from the inkjet head.

また、発熱素子を有し、この発熱素子からの熱エネルギーにより生じる塗布液の膜沸騰による急激な体積変化により、ノズルから塗布液を吐出させるサーマルタイプのインクジェットヘッドでも、前記脱気が効果的であることが知られている。即ち、脱気した塗布液をヘッドに供給することにより、吐出不良の原因となる空気をヘッドに、塗布液とともに送り込むことを減少させることができる。   In addition, the deaeration is effective even in a thermal type ink jet head that has a heating element and discharges the coating liquid from the nozzle due to a rapid volume change due to film boiling of the coating liquid caused by the heat energy from the heating element. It is known that there is. That is, by supplying the degassed coating liquid to the head, it is possible to reduce the air that causes the ejection failure from being sent to the head together with the coating liquid.

また、前記インクジェットヘッドは、どのような手法で塗布液を吐出させる場合であっても、吐出を行うことによりヘッドの温度が上昇する。前記温度の上昇により、ヘッドの特性の変動及び塗布液の粘度の低下が生じ、その結果、吐出特性が変化する。ここで、塗布液は、ヘッドを通過するときに、結果的にヘッドを冷却することになる。即ち、塗布液は、ヘッドの温度を一定範囲に保持する役割も有している。したがって、ヘッドの吐出特性を安定化させるべくヘッドの温度を一定範囲に保持するためには、塗布液の温度を所定の温度に保つことが好ましい。   In addition, the inkjet head raises the temperature of the head by discharging regardless of the method used to discharge the coating liquid. The increase in temperature causes fluctuations in the characteristics of the head and a decrease in the viscosity of the coating liquid, and as a result, the ejection characteristics change. Here, when the coating liquid passes through the head, the head is cooled as a result. That is, the coating liquid also has a role of keeping the temperature of the head within a certain range. Therefore, in order to keep the head temperature within a certain range in order to stabilize the ejection characteristics of the head, it is preferable to keep the temperature of the coating liquid at a predetermined temperature.

ここで、前記所定の温度とは、前記ヘッドの温度を一定範囲に保持することができる塗布液の一定範囲の温度であり、予め実験等により設定される。   Here, the predetermined temperature is a temperature within a certain range of the coating liquid that can maintain the temperature of the head within a certain range, and is set in advance by an experiment or the like.

上記脱気及び吐出特性の安定化に対し、気体透過性膜を用いた脱気で、塗布液(インクともいう)を加熱し脱気するとともに、脱気後の塗布液を冷却する脱気装置が提案されている(例えば、特許文献1及び2参照)。   A degassing device that heats and degass the coating liquid (also referred to as ink) and cools the coating liquid after degassing by degassing using a gas permeable membrane to stabilize the degassing and ejection characteristics. Has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

また、気体透過性膜を用いた脱気で、気体透過性膜を介してインクと対向する空間が水の飽和水蒸気圧以下の真空度の時に、単位時間あたりの水分の透過量が、所定量以下である脱気装置が提案されている(例えば、特許文献3参照)。
特開2006−75683号公報 特開2003−341083号公報 特開平11−42771号公報
In addition, when degassing using a gas permeable membrane and the space facing the ink through the gas permeable membrane is at a vacuum level equal to or lower than the saturated water vapor pressure of water, the amount of moisture per unit time permeated is a predetermined amount. The following deaeration devices have been proposed (see, for example, Patent Document 3).
JP 2006-75683 A Japanese Patent Laid-Open No. 2003-341083 JP-A-11-42771

特許文献1及び2は、気体透過性膜を用いた脱気に際し、塗布液を加熱し脱気することにより脱気効率を向上させるとともに、脱気後の塗布液を冷却することによりヘッドの吐出特性を安定化させるものである。   In Patent Documents 1 and 2, when degassing using a gas permeable membrane, the degassing efficiency is improved by heating and degassing the coating liquid, and the ejection of the head by cooling the degassed coating liquid. It stabilizes the characteristics.

特許文献2は、気体透過性膜を用いた脱気に際し、脱気装置で塗布液中の溶存気体と一緒に塗布液成分中の水分、有機溶媒等が蒸気として抜け出し、脱気装置内で塗布液の濃度が変化してしまうことを最小限に抑えるものである。   In Patent Document 2, when degassing using a gas permeable membrane, moisture, organic solvent, etc. in the coating liquid component escapes as vapor together with dissolved gas in the coating liquid in the degassing apparatus, and is applied in the degassing apparatus. The change in the concentration of the liquid is minimized.

しかしながら、脱気後の塗布液をヘッドに送液し充填する際に、脱気装置からヘッドの送液管内部に残留空気があると、前記残留空気が前記塗布液に溶解し脱気後の塗布液の容存空気が再び増加することがある。これにより、塗布開始直後は前記塗布液の容存空気量が多い状態が続き、吐出不良を生じる恐れがあった。前記特許文献1〜3では、前記残留空気に対しての対策には言及されておらず、前記残留空気に起因する吐出不良を減少させることは困難であった。   However, when the degassed coating liquid is fed to the head and filled, if there is residual air from the degassing device inside the liquid feeding pipe of the head, the residual air dissolves in the coating liquid and the degassed The remaining air of the coating liquid may increase again. As a result, the state in which the amount of air remaining in the coating solution is large immediately after the start of coating may cause a discharge failure. In Patent Documents 1 to 3, there is no mention of countermeasures against the residual air, and it has been difficult to reduce discharge failures caused by the residual air.

本発明は、上記状況に鑑みなされたもので、塗布液の充填時に送液管内の残留空気を効果的に除去でき、且つ十分に脱気された塗布液をインクジェットヘッドへ供給し、安定的に液滴を前記ヘッドより吐出して、安定的に塗布を行うことのできる塗布方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above situation, and can effectively remove the residual air in the liquid feeding pipe when the coating liquid is filled, and supply the sufficiently degassed coating liquid to the ink jet head. It is an object of the present invention to provide a coating method capable of stably coating by discharging droplets from the head.

上記目的は、下記の方法により達成される。
1.有機溶媒を含有する塗布液の液滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドを用い、連続的に移動する基材に前記インクジェットヘッドより前記液滴を吐出して塗布液の塗布を行い、塗布液膜を形成する塗布方法において、前記有機溶媒の少なくとも1種に容存する溶存空気を脱気するステップと、前記溶存空気が脱気された前記有機溶媒を塗布液の送液ラインに充填するステップと、前記塗布液を、気体透過性膜を介して前記塗布液と対向する空間を減圧することにより前記塗布液に容存する容存空気を脱気して、前記送液ラインに送液し、前記送液ラインに充填された前記有機溶媒と置換するステップと、前記塗布液を、前記脱気をしながら連続して前記インクジェットヘッドに送液するステップと、
前記インクジェットヘッドの側面の温度を検出し、前記検出の結果に基づき、前記塗布液の温度を所定の温度に制御しながら、前記インクジェットヘッドから前記基材に前記塗布液の液滴を吐出して塗布液膜を形成するステップと、を有することを特徴とする塗布方法。
2.前記塗布液が複数の有機溶媒を含有し、前記塗布液の脱気では前記複数の有機溶媒の構成比率が変化しないことを特徴とする1に記載の塗布方法。
3.前記気体透過性膜は、フッ素樹脂を主成分として構成された中空糸からなることを特徴とする1又は2に記載の塗布方法。
4.前記気体透過性膜は、ポリエチレンを主成分として構成された中空糸からなることを特徴とする1乃至3の何れか1項に記載の塗布方法。
The above object is achieved by the following method.
1. Using an inkjet head that ejects droplets of a coating liquid containing an organic solvent from a nozzle, the droplets are ejected from the inkjet head onto a continuously moving substrate, and the coating liquid is applied to form a coating liquid film. In the coating method to be formed, the step of degassing dissolved air existing in at least one of the organic solvents, the step of filling the organic solvent from which the dissolved air has been degassed into a liquid feed line of the coating solution, The coating liquid is deaerated in the space facing the coating liquid through a gas permeable membrane to deaerate the existing air existing in the coating liquid, and is fed to the liquid feeding line. Replacing the organic solvent filled in a line; and feeding the coating liquid continuously to the inkjet head while degassing;
The temperature of the side surface of the inkjet head is detected, and the droplet of the coating liquid is discharged from the inkjet head onto the substrate while controlling the temperature of the coating liquid to a predetermined temperature based on the detection result. And a step of forming a coating liquid film.
2. 2. The coating method according to 1, wherein the coating solution contains a plurality of organic solvents, and the composition ratio of the plurality of organic solvents does not change when the coating solution is degassed.
3. 3. The coating method according to 1 or 2, wherein the gas permeable membrane is made of a hollow fiber composed mainly of a fluororesin.
4). The coating method according to any one of claims 1 to 3, wherein the gas permeable membrane is made of a hollow fiber composed of polyethylene as a main component.

上記により、塗布液の充填に際し、脱気した有機溶媒を送液管に満たした後、気体透過性膜を用いて脱気した塗布液を前記送液管に充填し、液滴の吐出を開始することで、脱気された塗布液の状態を保ちながら、効果的に送液管の残留空気を除去することができる。これにより、吐出不良の減少を図ることができ、安定した塗布を開始することができる。   As described above, when filling the coating liquid, after filling the liquid feeding tube with the degassed organic solvent, the liquid feeding pipe is filled with the degassed coating liquid using the gas permeable membrane, and droplet discharge is started. By doing so, it is possible to effectively remove the remaining air in the liquid feeding pipe while maintaining the state of the degassed coating liquid. Thereby, discharge failure can be reduced and stable application can be started.

更に、脱気した塗布液の温度を所定の温度に制御することで、塗布液の容存空気量を一定に保つことができ、吐出量低下やノズル詰まり等の吐出不良を減少させることができる。これにより、塗布時のスジ等の塗布不良を減少させることができる。   Further, by controlling the temperature of the degassed coating liquid to a predetermined temperature, the amount of air remaining in the coating liquid can be kept constant, and discharge defects such as a decrease in the discharge amount and nozzle clogging can be reduced. . Thereby, application | coating defects, such as a stripe at the time of application | coating, can be reduced.

以下、図を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.

図1は、本発明に係る塗布方法が適用可能な塗布装置の一例を示す概略模式図である。   FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a coating apparatus to which the coating method according to the present invention can be applied.

ロール状に巻かれた長尺状の基材12は、駆動手段(不図示)により巻き出しロールから矢印A方向に繰り出され搬送される。   The long base material 12 wound in a roll shape is fed from the unwinding roll in the direction of arrow A by a driving means (not shown) and conveyed.

基材12はバックアップロール13に支持されながら搬送される。基材12がバックアップロール13を通過する際に、インクジェットヘッド2より基材12上に塗布液が吐出され、塗布液が基材12に塗布されて塗布液膜12aが形成される。塗布液が塗布された基材12は、乾燥ゾーン(不図示)を経由して巻き取りロール(不図示)に巻き取られる。   The substrate 12 is conveyed while being supported by the backup roll 13. When the base material 12 passes the backup roll 13, the coating liquid is discharged onto the base material 12 from the inkjet head 2, and the coating liquid is applied to the base material 12 to form the coating liquid film 12a. The base material 12 coated with the coating liquid is wound around a winding roll (not shown) via a drying zone (not shown).

本実施の形態では、インクジェットヘッド2は、基材12を挟みバックアップロール13の上方の対向する位置に、基材12の幅方向に塗布幅に対応して配置される。塗布液は、インクジェットヘッド2のノズルよりバックアップロール13のほぼ回転中心方向に射出される。   In the present embodiment, the inkjet head 2 is arranged in the width direction of the base material 12 in the width direction of the base material 12 at an opposing position above the backup roll 13 with the base material 12 interposed therebetween. The coating liquid is ejected from the nozzles of the inkjet head 2 in the direction of the rotation center of the backup roll 13.

インクジェットヘッド2の配置は図1に示す位置に限定されるものではなく、インクジェットヘッド2をバックアップロール13と対向しない位置、例えばバックアップロール13を通過する前後の位置に配置することもできる。この場合は、基材12とインクジェットヘッド2との間隙を安定に維持するために、インクジェットヘッド2の近傍に、基材12の塗布面の反対側に基材12を支持する支持部材を設けることが好ましい。   The arrangement of the inkjet head 2 is not limited to the position shown in FIG. 1, and the inkjet head 2 can be arranged at a position not facing the backup roll 13, for example, a position before and after passing through the backup roll 13. In this case, in order to stably maintain the gap between the substrate 12 and the inkjet head 2, a support member that supports the substrate 12 is provided in the vicinity of the inkjet head 2 on the opposite side of the coating surface of the substrate 12. Is preferred.

塗布装置は、基材2の幅方向に塗布幅に対応して配置されたインクジェットヘッド2、塗布液を供給する塗布液供給機構20を含み構成される。   The coating apparatus includes an inkjet head 2 disposed in the width direction of the substrate 2 corresponding to the coating width, and a coating liquid supply mechanism 20 that supplies the coating liquid.

インクジェットヘッド2の側面には、インクジェットヘッド2の温度を検出する温度センサー14が配設される。   A temperature sensor 14 that detects the temperature of the inkjet head 2 is disposed on the side surface of the inkjet head 2.

塗布液供給機構20は、塗布液をインクジェットヘッド2に供給するとともに、インクジェットヘッド2内の塗布液圧力を一定に保つ。   The coating liquid supply mechanism 20 supplies the coating liquid to the inkjet head 2 and keeps the coating liquid pressure in the inkjet head 2 constant.

塗布液供給機構20は、塗布液タンク7、有機溶媒タンク1、送液ポンプ3、バルブ4、5、6送液管21a、21b、21cを有する。送液管21aと送液管21cの間には、塗布液の脱気を行う脱気装置8が配設される。送液管21cの途中でインクジェットヘッド2の近傍には、送液管21cを介し塗布液と熱交換する熱交換器9が配設される。バルブ4、5、6は電気駆動される電磁バルブ等を用いることができる。   The coating liquid supply mechanism 20 includes a coating liquid tank 7, an organic solvent tank 1, a liquid feeding pump 3, valves 4, 5, and 6 liquid feeding pipes 21a, 21b, and 21c. A deaeration device 8 for degassing the coating liquid is disposed between the liquid supply pipe 21a and the liquid supply pipe 21c. A heat exchanger 9 for exchanging heat with the coating solution is disposed in the vicinity of the inkjet head 2 in the middle of the liquid feeding pipe 21c via the liquid feeding pipe 21c. As the valves 4, 5 and 6, electrically driven electromagnetic valves or the like can be used.

塗布液タンク7は、塗布液を貯留し、インクジェットヘッド2に塗布液を供給する。また、インクジェットヘッド2内の塗布液圧力を一定に保つ機構(不図示)を合わせ持つ。バルブ5は塗布液の供給を制御する。   The coating liquid tank 7 stores the coating liquid and supplies the coating liquid to the inkjet head 2. In addition, it also has a mechanism (not shown) that keeps the coating solution pressure in the inkjet head 2 constant. The valve 5 controls the supply of the coating liquid.

有機溶媒タンク1は、塗布液に含有する少なくとも1種の有機溶媒を貯留し、インクジェットヘッドに塗布液を充填する際に、有機溶媒を供給する。送液ポンプ3は、前記充填時に有機溶媒をインクジェットヘッド2及び全送液管に強制的に送液する。バルブ4は、有機溶媒の送液を制御する。また、バルブ6は、塗布液及び有機溶媒の送液を制御する。   The organic solvent tank 1 stores at least one organic solvent contained in the coating solution, and supplies the organic solvent when the inkjet head is filled with the coating solution. The liquid feed pump 3 forcibly feeds the organic solvent to the inkjet head 2 and all liquid feed pipes during the filling. The valve 4 controls the feeding of the organic solvent. The valve 6 controls the feeding of the coating liquid and the organic solvent.

脱気装置8は、気体透過性膜を介して塗布液と対向する空間を大気圧以下に減圧しながら塗布液を送液し、塗布液の脱気を行う。前記気体透過性膜は、非多孔質で気体透過性に優れ、塗布液に対して対薬品性を有する材質から形成されるものであることが好ましい。具体的には、前記材質としては、フッ素樹脂、ポリエチレン等を主成分としたものが、好ましく用いられる。   The degassing device 8 sends the coating liquid while reducing the space facing the coating liquid to a pressure equal to or lower than the atmospheric pressure through the gas permeable membrane, and degass the coating liquid. The gas permeable membrane is preferably made of a material that is non-porous, has excellent gas permeability, and has chemical resistance to the coating solution. Specifically, as the material, a material mainly composed of fluororesin, polyethylene or the like is preferably used.

また、前記気体透過性膜としては、前記材質で形成される非多孔質の中空糸からなる中空糸膜が挙げられる。前記中空糸は、フッ素樹脂又はポリエチレンを主成分として構成されたものが好ましく用いられる。また、前記中空糸膜は、多層構造としてもよい。   Examples of the gas permeable membrane include a hollow fiber membrane made of a non-porous hollow fiber formed of the material. As the hollow fiber, those composed mainly of fluororesin or polyethylene are preferably used. The hollow fiber membrane may have a multilayer structure.

図3は、中空糸膜を用いた脱気装置9の例を示す図である。脱気モジュール91は、内部に中空糸膜92を有する。塗布液は図の矢印に示すように、送液管21aより脱気モジュール91内に送られ、中空糸膜92内を通り送液管21cに送り出される。中空糸膜92を介して塗布液と対向する空間93は減圧ポンプVPにより減圧される。   FIG. 3 is a diagram showing an example of a deaeration device 9 using a hollow fiber membrane. The deaeration module 91 has a hollow fiber membrane 92 inside. As shown by the arrows in the figure, the coating liquid is sent into the deaeration module 91 from the liquid feeding pipe 21a, passes through the hollow fiber membrane 92, and is sent out to the liquid feeding pipe 21c. The space 93 facing the coating liquid through the hollow fiber membrane 92 is decompressed by the decompression pump VP.

上記により、塗布液の組成、濃度、塗布液に含まれる複数の有機溶媒の構成比率等、の変化を最小限に抑えながら、塗布液に容存する気体を効率よく減少させることができる。   By the above, the gas which exists in a coating liquid can be reduced efficiently, suppressing the change of the composition of a coating liquid, a density | concentration, the structural ratio of the some organic solvent contained in a coating liquid, etc. to the minimum.

インクジェットヘッド2としては特に限定はなく、例えば発熱素子を有し、この発熱素子からの熱エネルギーにより塗布液の膜沸騰による急激な体積変化によりノズルから塗布液を吐出させるサーマルタイプのヘッドでもよいし、インク圧力室に圧電素子を備えた振動板を有しており、この振動板によるインク圧力室の圧力変化で塗布液を吐出させる剪断モード型(ピエゾ型)のヘッドであってもよい。   The inkjet head 2 is not particularly limited. For example, a thermal type head that has a heating element and discharges the coating liquid from the nozzle by a rapid volume change due to film boiling of the coating liquid by the heat energy from the heating element may be used. A shear mode type (piezo type) head that has a vibration plate including a piezoelectric element in the ink pressure chamber and discharges the coating liquid by a pressure change of the ink pressure chamber by the vibration plate may be used.

図2に、インクジェットヘッド201の一例を示す。図3は、ヘッドの一例を示す一部を破断面とした概略斜視図であり、剪断モード型(ピエゾ型)インクジェットヘッドの場合を示している。   FIG. 2 shows an example of the inkjet head 201. FIG. 3 is a schematic perspective view in which a part of an example of the head is broken, and shows a case of a shear mode type (piezo type) ink jet head.

図1に示す例は、剪断モード型(ピエゾ型)インクジェットヘッドを用いており、図1に示すように、インクジェットヘッド2には圧電性基盤を駆動させるためのヘッド制御部30がコネクタ(不図示)を介して接続されている。ヘッド制御部30により、塗布液射出時の圧電性基盤の動作強度や周波数の選択等が行われる。   The example shown in FIG. 1 uses a shear mode type (piezo type) ink jet head, and as shown in FIG. 1, a head control unit 30 for driving a piezoelectric substrate is connected to a connector (not shown). ) Is connected through. The head control unit 30 selects the operation intensity and frequency of the piezoelectric substrate when the coating liquid is ejected.

インクジェットヘッド2は、上層圧電性基盤201b1と下層圧電性基盤201b2とを接合して形成された圧電性基盤201bと、天板201cと、ノズル板201dとを有している。   The inkjet head 2 has a piezoelectric substrate 201b formed by joining an upper piezoelectric substrate 201b1 and a lower piezoelectric substrate 201b2, a top plate 201c, and a nozzle plate 201d.

圧電性基盤201bには、研削加工を施すことによりノズル板201d側が開口し、反対側が閉塞している互いに平行な所定の長さを有する複数のノズル201b3と、ノズル201b3の閉塞した側につながる平坦な面201b4と、ノズル(インク圧力室)201b3の両側に側壁201b5とを有している。複数のノズルは交互に塗布液圧力室用のノズルと空気圧力室用のノズルとして使用する場合もある。図2は塗布液圧力室用として使用した場合を示している。201c2は圧電性基盤201bの上面を覆う第1天板を示し、201c1は第1天板の上面を覆う第2天板を示す。   A plurality of nozzles 201b3 having a predetermined length parallel to each other are opened on the piezoelectric base plate 201b by opening the nozzle plate 201d and closed on the opposite side, and a flat surface connected to the closed side of the nozzle 201b3. A flat surface 201b4 and side walls 201b5 on both sides of a nozzle (ink pressure chamber) 201b3. The plurality of nozzles may be alternately used as a nozzle for a coating solution pressure chamber and a nozzle for an air pressure chamber. FIG. 2 shows a case where it is used for a coating solution pressure chamber. 201c2 shows the 1st top plate which covers the upper surface of the piezoelectric base | substrate 201b, 201c1 shows the 2nd top plate which covers the upper surface of a 1st top plate.

201eは塗布液の塗布液供給管を示す。塗布液供給管201eより供給された塗布液はノズル吐出口201d1より吐出するようになっている。201c3は塗布液供給管201eから供給された塗布液の貯留部を示し、各ノズル201b3に連通した各塗布液供給口201c4より各塗布液圧力室用のノズル201b3に供給されるようになっている。各ノズル201b3は第1天板201c2とノズル板201dとにより覆われることで複数の密閉されたチャネル(塗布液圧力室)が形成されるようになっている。   Reference numeral 201e denotes a coating liquid supply pipe for the coating liquid. The coating liquid supplied from the coating liquid supply pipe 201e is discharged from the nozzle discharge port 201d1. Reference numeral 201c3 denotes a storage portion for the coating liquid supplied from the coating liquid supply pipe 201e, and is supplied to each nozzle 201b3 for each coating liquid pressure chamber from each coating liquid supply port 201c4 communicating with each nozzle 201b3. . Each nozzle 201b3 is covered with a first top plate 201c2 and a nozzle plate 201d, so that a plurality of sealed channels (coating liquid pressure chambers) are formed.

201d1は各側壁の剪断変形に伴い、塗布液圧力室の圧力変化で塗布液を液滴の状態で吐出させるノズル吐出口を示す。ノズル吐出口の間隔は、0.02〜0.3mmが好ましい。201fは塗布液のエアー抜きなどに使用される配管を示す。201fは塗布液射出時にはバルブ等により密閉される構造となっている。   Reference numeral 201d1 denotes a nozzle discharge port that discharges the coating liquid in the form of droplets due to a change in the pressure of the coating liquid pressure chamber accompanying shear deformation of each side wall. The interval between the nozzle discharge ports is preferably 0.02 to 0.3 mm. Reference numeral 201f denotes a pipe used for bleeding the coating liquid. 201f has a structure sealed by a valve or the like when the coating liquid is injected.

第1天板及び第2天板の材料は特に限定されず、例えば有機材料からなってもよいが、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等が挙げられる。   The material of the first top plate and the second top plate is not particularly limited, and may be made of, for example, an organic material. However, alumina, aluminum nitride, zirconia, silicon, silicon nitride, silicon carbide, quartz, lead zirconate titanate ( PZT) and the like.

ノズル板201dを構成する基材としては、金属や樹脂が使用される。例えばステンレス、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン等が好ましく採用できる。特に好ましくはポリイミド樹脂で、Dupont社製:カプトンや宇部興産(株)製:ユーピレックス等が寸法安定性、耐インク性、耐熱性等に優れているので好ましい。   A metal or resin is used as a base material constituting the nozzle plate 201d. For example, stainless steel, polyimide, polysulfone, polyethersulfone and the like can be preferably used. Particularly preferred is a polyimide resin, and DuPont: Kapton or Ube Industries, Ltd .: Upilex, etc. are preferred because they are excellent in dimensional stability, ink resistance, heat resistance and the like.

次に、インクジェットヘッド2に塗布液を充填し、塗布するまでの手順について説明する。   Next, a procedure until the ink jet head 2 is filled with a coating solution and applied is described.

先ず、塗布液に含有されている有機溶媒の少なくとも1種を用い、前記有機溶媒に容存する溶存空気を予め脱気処理する。前記脱気処理は、一般的に知られている有機溶媒系に使用可能な脱気装置を用いて行うことができる。   First, using at least one organic solvent contained in the coating solution, the dissolved air existing in the organic solvent is degassed in advance. The degassing treatment can be performed using a degassing apparatus that can be used in a generally known organic solvent system.

次に、脱気した前記有機溶媒を有機溶媒タンク1に充填する。更に、バルブ4、5、6を開放した状態で、送液ポンプ3で前記有機溶媒を全送液管及びインクジェットヘッド2に送液し、充填する。これにより、全送液管及びインクジェットヘッド2の内部の残留空気を強制的に排除することができる。   Next, the organic solvent tank 1 is filled with the degassed organic solvent. Further, with the valves 4, 5, 6 opened, the liquid feed pump 3 feeds the organic solvent to all the liquid feed pipes and the inkjet head 2 and fills them. Thereby, the residual air inside all the liquid feeding pipes and the inkjet head 2 can be forcibly excluded.

次に、塗布液を塗布液タンク7に充填し、バルブ4を閉鎖、バルブ5、6を開放状態とし、インクジェットヘッド2から吐出を開始する。吐出開始直後は、全送液管及びインクジェットヘッド2の内部に、前述の有機溶媒が残留しているため、しばらく連続吐出して前記有機溶媒を吐出し、前記塗布液との置換を行う。   Next, the coating liquid tank 7 is filled with the coating liquid, the valve 4 is closed, the valves 5 and 6 are opened, and ejection from the inkjet head 2 is started. Immediately after the start of discharge, since the above-mentioned organic solvent remains inside all the liquid feeding pipes and the inkjet head 2, the organic solvent is discharged continuously for a while to replace the coating liquid.

前記塗布液は、脱気装置8で脱気処理され、送液管21cを経由してインクジェットヘッド2に送液、供給される。   The coating liquid is deaerated by the deaerator 8 and is fed and supplied to the inkjet head 2 via the liquid feeding pipe 21c.

インクジェットヘッド2の側面には、インクジェットヘッド2の温度を検出する温度センサー14が配設され、インクジェットヘッド2の温度を検出する。また、送液管21cの途中で、インクジェットヘッド2の塗布液の貯留部201c3(図2参照)の近傍には熱交換器9が配設され、送液管21cを介し塗布液と熱交換する。熱交換器9は、一般的に知られている既存の熱交換器を用いることができる。   A temperature sensor 14 that detects the temperature of the inkjet head 2 is disposed on the side surface of the inkjet head 2 to detect the temperature of the inkjet head 2. Further, in the middle of the liquid feeding pipe 21c, a heat exchanger 9 is disposed in the vicinity of the coating liquid storage part 201c3 (see FIG. 2) of the inkjet head 2, and exchanges heat with the coating liquid via the liquid feeding pipe 21c. . The heat exchanger 9 can be an existing heat exchanger that is generally known.

温度センサー14での温度の検出結果は、温度制御部10に送られ、温度制御部10は、前記検出結果に基づき、熱交換器9を制御し、塗布液の温度を所定の温度に制御する。このように、塗布液の温度を所定の温度に維持することは、即ちインクジェットヘッド2の温度を一定に維持することになり、インクジェットヘッド2の温度上昇によるヘッド2の特性の変動及び塗布液の粘度の低下を防止でき、吐出特性の安定化を図ることができる。   The temperature detection result of the temperature sensor 14 is sent to the temperature control unit 10, and the temperature control unit 10 controls the heat exchanger 9 based on the detection result to control the temperature of the coating liquid to a predetermined temperature. . In this way, maintaining the temperature of the coating liquid at a predetermined temperature means that the temperature of the inkjet head 2 is kept constant, and fluctuations in the characteristics of the head 2 due to the temperature rise of the inkjet head 2 and the coating liquid. It is possible to prevent a decrease in viscosity and to stabilize the discharge characteristics.

上記により、塗布液の充填に際し、脱気した有機溶媒を送液管に満たした後、気体透過性膜を用いて脱気した塗布液を前記送液管に充填し、液滴の吐出を開始することで、脱気された塗布液の状態を保ちながら、効果的に送液管の残留空気を除去することができる。これにより、吐出不良の減少を図ることができ、安定した塗布を開始することができる。   As described above, when filling the coating liquid, after filling the liquid feeding tube with the degassed organic solvent, the liquid feeding pipe is filled with the degassed coating liquid using the gas permeable membrane, and droplet discharge is started. By doing so, it is possible to effectively remove the remaining air in the liquid feeding pipe while maintaining the state of the degassed coating liquid. Thereby, discharge failure can be reduced and stable application can be started.

更に、脱気した塗布液の温度を所定の温度に制御することで、塗布液の容存空気量を一定に保つことができ、吐出量低下やノズル詰まり等の吐出不良を減少させることができる。これにより、塗布時のスジ等の塗布不良を減少させることができる。
<実施例>
図1に示す塗布装置を用い、塗布条件を変えて基材に塗布を行い、形成された塗布液膜の評価を行った。
(塗布条件)
1.脱気装置での、塗布液の脱気の有無
2.塗布液温度を所定の温度とする制御の有無
3.脱気処理した有機溶媒の送液ラインへの充填の有無
(塗布仕様)
基材材質:ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム
基材搬送速度:10m/min
ヘッドノズル面と基材間距離:2mm
ヘッド仕様:ノズル数;500、ノズル間距離;100μm、ノズル径;40μm
ヘッドからの塗布液の吐出速度:5m/s
液滴吐出量:1液滴当たり40pl
塗布液温度:24℃
(評価方法)
形成された塗布液膜に発生したスジの本数を目視で観察し、測定して評価した。
評価レベル
◎:スジ本数0〜3本
○:スジ本数4〜10本
△:スジ本数11〜20本
×:スジ本数21本以上
〔実施例1〕
塗布液は、先ず有機溶媒のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを80%、顔料及び分散剤の固形分を20%の比率で混合し、ハイスピードミキサー等で均一になるまで攪拌し、ミルベースを生成した。次に、前記ミルベースを、横型エンドミルで約1時間分散させ、有機溶媒系の塗布液とした。
Further, by controlling the temperature of the degassed coating liquid to a predetermined temperature, the amount of air remaining in the coating liquid can be kept constant, and discharge defects such as a decrease in the discharge amount and nozzle clogging can be reduced. . Thereby, application | coating defects, such as a stripe at the time of application | coating, can be reduced.
<Example>
Using the coating apparatus shown in FIG. 1, coating was performed on the substrate under different coating conditions, and the formed coating liquid film was evaluated.
(Application conditions)
1. 1. Whether or not the coating liquid is deaerated in the deaerator. 2. Whether to control the coating solution temperature to a predetermined temperature Whether or not the degassed organic solvent is filled in the liquid feed line (application specifications)
Base material: Polyethylene terephthalate resin film Substrate transport speed: 10 m / min
Distance between head nozzle surface and substrate: 2 mm
Head specifications: Number of nozzles: 500, distance between nozzles: 100 μm, nozzle diameter: 40 μm
Discharge speed of coating liquid from the head: 5 m / s
Droplet discharge volume: 40 pl per droplet
Coating temperature: 24 ° C
(Evaluation methods)
The number of streaks generated in the formed coating liquid film was visually observed, measured, and evaluated.
Evaluation level A: 0 to 3 streaks ○: 4 to 10 streaks Δ: 11 to 20 streaks ×: 21 or more streaks [Example 1]
First, 80% of the organic solvent, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and the solid content of the pigment and the dispersant were mixed in a ratio of 20% and stirred with a high speed mixer or the like until uniform, thereby producing a mill base. Next, the mill base was dispersed with a horizontal end mill for about 1 hour to obtain an organic solvent-based coating solution.

塗布開始前に、前述の、塗布するまでの手順に基づき、脱気処理した前記有機溶媒を有機溶媒タンク1に充填し、更に送液ラインに充填した。次に、前記塗布液を塗布液タンク7に充填し、脱気装置8で前記塗布液の脱気をしながら吐出を開始し、前記有機溶媒を吐出して前記塗布液との置換を行い、塗布を行った。   Prior to the start of coating, the organic solvent tank 1 was filled with the degassed organic solvent based on the above-described procedure up to coating, and further filled in the liquid feeding line. Next, the coating solution tank 7 is filled with the coating solution, and discharge is started while the coating solution is degassed by the degassing device 8, and the organic solvent is discharged to replace the coating solution. Application was performed.

脱気装置8は、気体透過性膜にポリエチレンを主成分とする中空糸を用いた有機溶媒薬液系脱気モジュールMHF398PFDE(三菱レイヨン社製)を用いた。前記塗布液と前記中空糸を介して対向する空間の圧力を5.33kPaとし、前記塗布液の容存空気を脱気した。   As the deaeration device 8, an organic solvent chemical liquid deaeration module MHF398PFDE (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) using a hollow fiber mainly composed of polyethylene as a gas permeable membrane was used. The pressure of the space facing the coating solution through the hollow fiber was set to 5.33 kPa, and the air contained in the coating solution was deaerated.

塗布に際し、脱気装置8での脱気後の前記塗布液を、熱交換器9とヘッド2の側面に配設した温度センサー14及び温度制御部10により、ヘッド2から吐出される塗布液の温度が一定になるように温度制御を行った。熱交換器9は、チタン製二重管コイル式小型熱交換器TDC−220−16(山一製作所製)を用いた。
〔実施例2〕
実施例1に対して、有機溶媒のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを60%、同じく有機溶媒のプロピレングリコールを20%、顔料及び分散剤の固形分を20%の比率で混合しハイスピードミキサー等で均一になるまで攪拌し、ミルベースを生成した。次に、前記ミルベースを、横型エンドミルで約1時間分散させ、有機溶媒系の塗布液とした例である。これ以外は、実施例1に準ずる。
〔比較例1〕
実施例1に対して、脱気処理した有機溶媒の送液ラインへの充填を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例2〕
実施例1において、塗布液温度を所定の温度とする制御を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例3〕
実施例1に対して、脱気処理した有機溶媒の送液ラインへの充填と、塗布液温度を一定にする制御と、を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例4〕
実施例1に対して、脱気装置での塗布液の脱気を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例5〕
実施例1に対して、脱気装置での塗布液の脱気と、脱気処理した有機溶媒の送液ラインへの充填と、を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例6〕
実施例1に対して、脱気装置での塗布液の脱気と、塗布液温度を一定にする制御と、を行わない例である。これ以外は実施例1に準ずる。
〔比較例7〕
実施例1に対して、脱気装置での塗布液の脱気、塗布液温度一定の制御、脱気処理した有機溶媒の送液ラインへの充填、の何れも行わない例である。これ以外は、実施例1に準ずる。
At the time of application, the application liquid discharged from the head 2 is discharged from the head 2 by the temperature sensor 14 and the temperature control unit 10 disposed on the side surface of the heat exchanger 9 and the head 2. The temperature was controlled so that the temperature was constant. As the heat exchanger 9, a titanium double tube coil type small heat exchanger TDC-220-16 (manufactured by Yamaichi Seisakusho) was used.
[Example 2]
Compared to Example 1, 60% of the organic solvent, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 20% of the organic solvent, propylene glycol, and 20% of the solid content of the pigment and dispersant were mixed in a high speed mixer and the like. To produce a millbase. Next, the mill base is dispersed in a horizontal end mill for about 1 hour to form an organic solvent-based coating solution. Except this, it is according to Example 1.
[Comparative Example 1]
This is an example in which filling of the degassed organic solvent into the liquid feeding line is not performed with respect to Example 1. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 2]
In Example 1, the application liquid temperature is not controlled to be a predetermined temperature. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 3]
In this example, filling of the degassed organic solvent into the liquid feed line and control for keeping the coating solution temperature constant are not performed. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 4]
In contrast to the first embodiment, the coating liquid is not deaerated by the deaerator. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 5]
In this example, the coating solution is not degassed by the degassing device and the filling of the degassed organic solvent into the liquid feeding line is not performed. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 6]
In contrast to the first embodiment, the degassing of the coating liquid in the degassing apparatus and the control for keeping the coating liquid temperature constant are not performed. Except this, the procedure is the same as in Example 1.
[Comparative Example 7]
This is an example in which none of the degassing of the coating liquid in the degassing apparatus, the constant control of the coating liquid temperature, and the filling of the degassed organic solvent into the liquid feeding line are performed with respect to the first embodiment. Except this, it is according to Example 1.

上記評価結果を表1に示す。   The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 2009226291
Figure 2009226291

表1に示すように本発明の効果が確認された。   As shown in Table 1, the effect of the present invention was confirmed.

本発明に係る塗布方法を用いた塗布装置の例を示す概略模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the coating device using the coating method which concerns on this invention. インクジェットヘッドの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of an inkjet head. 中空糸膜を用いた脱気装置の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the deaeration apparatus using a hollow fiber membrane.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機溶媒タンク
2 インクジェットヘッド
3 送液ポンプ
4、5、6 バルブ
7 塗布液タンク
8 脱気装置
9 熱交換器
91 脱気モジュール
92 中空糸膜
10 温度制御部
12 基材
12a 塗布液膜
13 バックアップロール
14 温度センサー
20 塗布液供給機構
21a、21b、21c 送液管
30 ヘッド制御部
VP 減圧ポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic solvent tank 2 Inkjet head 3 Liquid feed pump 4, 5, 6 Valve 7 Coating liquid tank 8 Deaeration apparatus 9 Heat exchanger 91 Deaeration module 92 Hollow fiber membrane 10 Temperature control part 12 Base material 12a Coating liquid film 13 Backup Roll 14 Temperature sensor 20 Coating liquid supply mechanism 21a, 21b, 21c Liquid feeding pipe 30 Head controller VP Pressure reducing pump

Claims (4)

有機溶媒を含有する塗布液の液滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドを用い、連続的に移動する基材に前記インクジェットヘッドより前記液滴を吐出して塗布液の塗布を行い、塗布液膜を形成する塗布方法において、
前記有機溶媒の少なくとも1種に容存する溶存空気を脱気するステップと、
前記溶存空気が脱気された前記有機溶媒を塗布液の送液ラインに充填するステップと、
前記塗布液を、気体透過性膜を介して前記塗布液と対向する空間を減圧することにより前記塗布液に容存する容存空気を脱気して、前記送液ラインに送液し、前記送液ラインに充填された前記有機溶媒と置換するステップと、
前記塗布液を、前記脱気をしながら連続して前記インクジェットヘッドに送液するステップと、
前記インクジェットヘッドの側面の温度を検出し、前記検出の結果に基づき、前記塗布液の温度を所定の温度に制御しながら、前記インクジェットヘッドから前記基材に前記塗布液の液滴を吐出して塗布液膜を形成するステップと、
を有することを特徴とする塗布方法。
Using an inkjet head that ejects droplets of a coating liquid containing an organic solvent from a nozzle, the droplets are ejected from the inkjet head onto a continuously moving substrate, and the coating liquid is applied to form a coating liquid film. In the coating method to be formed,
Degassing dissolved air present in at least one of the organic solvents;
Filling the organic solvent from which the dissolved air has been degassed into a liquid feed line for a coating liquid;
By depressurizing the space facing the coating solution through the gas permeable membrane, the coating solution is degassed the existing air existing in the coating solution, and is sent to the feeding line, and the feeding solution is sent. Replacing the organic solvent filled in the liquid line;
Continuously feeding the coating liquid to the inkjet head while degassing;
The temperature of the side surface of the inkjet head is detected, and the droplet of the coating liquid is discharged from the inkjet head onto the substrate while controlling the temperature of the coating liquid to a predetermined temperature based on the detection result. Forming a coating liquid film;
A coating method characterized by comprising:
前記塗布液が複数の有機溶媒を含有し、前記塗布液の脱気では前記複数の有機溶媒の構成比率が変化しないことを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 1, wherein the coating solution contains a plurality of organic solvents, and the composition ratio of the plurality of organic solvents does not change when the coating solution is degassed. 前記気体透過性膜は、フッ素樹脂を主成分として構成された中空糸からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 1, wherein the gas permeable membrane is made of a hollow fiber composed mainly of a fluororesin. 前記気体透過性膜は、ポリエチレンを主成分として構成された中空糸からなることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 1 to 3, wherein the gas permeable membrane is made of a hollow fiber mainly composed of polyethylene.
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