JP2009214032A

JP2009214032A - Suspension-jetting device, manufacturing device of flat panel display, flat panel display, manufacturing device of solar cell, and solar cell

Info

Publication number: JP2009214032A
Application number: JP2008060849A
Authority: JP
Inventors: Kenji Katagiri; 賢司片桐; Yuji Akiba; 祐司秋葉
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp; Hitachi High Tech Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2008-03-11
Filing date: 2008-03-11
Publication date: 2009-09-24

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To execute cleaning to remove solid dirt firmly adhering to an ink-jetting head and also make cleaning without detaching an ink-jetting head from an ink-jetting device. SOLUTION: A suspension-jetting device is provided with; an ink-jetting stage 11 in which an ink is jetted onto a substrate 1 by an ink-jetting head 25 in which nozzles 30 for jetting ink downward are arranged in line; and a maintenance stage 12 which is provided with an ultrasonic wave cleaning tank 35 having a cleaning liquid tank 40, which is filled with a cleaning liquid 41 for cleaning the ink-jetting head 25, and an ultrasonic wave fixation element 52 which irradiates the cleaning liquid 41 with ultrasonic waves. By this, firmly adhering solid dirt can surely be cleaned off. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、粒子を混在させた懸濁液を基板に散布する複数の噴射口を備えた噴射ヘッドをクリーニングする懸濁液散布装置、この懸濁液散布装置を適用したフラットパネルディスプレイの製造装置、このフラットパネルディスプレイの製造装置により製造されたフラットパネルディスプレイ、懸濁液散布装置を適用した太陽電池の製造装置、この懸濁液散布装置により製造された太陽電池に関するものである。 The present invention relates to a suspension spraying device for cleaning an ejection head having a plurality of ejection ports for spraying a suspension in which particles are mixed to a substrate, and a flat panel display manufacturing apparatus to which the suspension spraying device is applied The present invention relates to a flat panel display manufactured by the flat panel display manufacturing apparatus, a solar cell manufacturing apparatus to which the suspension spraying apparatus is applied, and a solar cell manufactured by the suspension spraying apparatus.

フラットパネルディスプレイとしての液晶ディスプレイは、ガラス等の透明薄板からなるＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とを接合させたものから構成され、ＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板との間にはセルギャップと呼ばれる微小な隙間が形成される。セルギャップは複数のスペーサビーズの凝集体からなるスペーサにより確保され、この空間に液晶が封入される。スペーサは粒径が３〜５μｍの球状とした微小粒子からなり、ＴＦＴ基板又はカラーフィルタ基板の何れか一方に多数分散した配置を行う。 A liquid crystal display as a flat panel display is composed of a TFT substrate made of a transparent thin plate such as glass and a color filter substrate, and a minute gap called a cell gap is formed between the TFT substrate and the color filter substrate. Is formed. The cell gap is secured by a spacer made of an aggregate of a plurality of spacer beads, and liquid crystal is sealed in this space. The spacer is composed of spherical fine particles having a particle diameter of 3 to 5 μm, and a large number of spacers are dispersed on either the TFT substrate or the color filter substrate.

スペーサは基板上のブラックマトリクス領域に限定的に配置される。このために、スペーサビーズを溶剤に均一に分散させた懸濁液からなるスペーサインクを用いて、ブラックマトリクス領域にスペーサインクを着弾させるようにして散布している。スペーサインクを供給する方式としてはインクジェット方式が採用されている。インクジェット方式は、微小なノズルを１列に複数配列したインクジェットヘッドからなるインクジェットヘッドを用いて、各ノズルから基板に向けてスペーサインクの液滴を噴射するようにしているものが一般的である。 The spacer is limitedly arranged in the black matrix region on the substrate. For this purpose, spacer ink made of a suspension in which spacer beads are uniformly dispersed in a solvent is used to spray the spacer ink so as to land on the black matrix region. As a method for supplying the spacer ink, an ink jet method is adopted. In general, an ink jet method uses an ink jet head composed of an ink jet head in which a plurality of minute nozzles are arranged in a row and ejects droplets of spacer ink from each nozzle toward a substrate.

インクジェット方式では、インクジェットヘッドからのインクの吐出状態を良好にするために、定期的にインクジェットヘッドのクリーニングを行う。この種のクリーニング技術としては、例えば特許文献１に開示されている技術がある。特許文献１では、各ノズルに対して局所的にインクの吸引除去を行う局所吸引手段を備え、この局所吸引手段をノズルの配列方向に移動させて、各ノズルのクリーニングを行っている。
特開平５−２０１０２８号公報 In the ink jet method, the ink jet head is periodically cleaned in order to improve the ink discharge state from the ink jet head. As this type of cleaning technique, for example, there is a technique disclosed in Patent Document 1. In Patent Literature 1, a local suction unit that locally sucks and removes ink from each nozzle is provided, and the local suction unit is moved in the nozzle arrangement direction to clean each nozzle.
JP-A-5-201028

インクジェットヘッドの各ノズルからインクを繰り返して噴射すると、インクの一部が液膜となってインクジェットヘッドに付着する。インクにはスペーサビーズが混在されており、また粘度の高い液体であるため、インクジェットヘッドに付着したインクが乾燥すると、インクが蒸発してスペーサビーズが固化汚れとなってインクジェットヘッドに固着する。また、各ノズルから繰り返しインクが噴射されることにより、インクジェットヘッドに固着した固化汚れに新たなインクが付着し、固化汚れが堆積して塊となって成長していく。この固化汚れがノズルの一部を塞いだ場合にはインクの吐出方向を変化させ、またノズルの全部を塞いだ場合にはインクの不吐出状態となる。 When ink is repeatedly ejected from each nozzle of the inkjet head, a part of the ink becomes a liquid film and adheres to the inkjet head. Since the spacer beads are mixed in the ink and the liquid has a high viscosity, when the ink attached to the ink jet head is dried, the ink is evaporated and the spacer beads are solidified and fixed to the ink jet head. Further, when the ink is repeatedly ejected from each nozzle, new ink adheres to the solidified dirt fixed to the ink jet head, and the solidified dirt accumulates and grows as a lump. When the solidified dirt blocks a part of the nozzle, the ink ejection direction is changed, and when all the nozzles are blocked, the ink is not ejected.

従って、インクジェットヘッドのクリーニングを行って、インクの吐出状態を良好にする。特許文献１では、ノズルに対して局所吸引を行なっているため、液膜状態となって付着している液膜の除去には好適であるが、インクジェットヘッドに固着している固化汚れのクリーニングには不適である。 Therefore, the ink jet head is cleaned to improve the ink ejection state. In Patent Document 1, since local suction is performed with respect to the nozzle, it is suitable for removing the liquid film adhering to the liquid film state, but for cleaning solidified dirt adhered to the inkjet head. Is unsuitable.

固化汚れは強い密着力でインクジェットヘッドに固着しているため、固化汚れに洗浄液を供給して溶解力を作用させて、さらに衝撃力や剥離力等の物理的なエネルギーを固化汚れに与えて洗い流すようにする。このため、インクジェットヘッドを一度インク散布装置から取り外してから、洗浄装置等により強力にクリーニングを行なうようにしている。そして、クリーニングが終了した後に、インク散布装置に装着して再びインクの散布作業が行われる。基板上に散布されるインクは、ブラックマトリクス領域に限定的に着弾させなければならず、非常に高い着弾精度が要求されため、インクジェットヘッドを装着する際には、極めて厳格な位置に取り付ける必要がある。この調整作業に多くの時間を要し、生産効率が低下してしまう。 Since the solidified dirt adheres to the ink jet head with a strong adhesion force, a cleaning liquid is supplied to the solidified dirt to cause the dissolving power to act, and further physical energy such as impact force and peeling force is applied to the solidified dirt and washed away. Like that. For this reason, after the ink jet head is once removed from the ink spraying device, it is strongly cleaned by a cleaning device or the like. Then, after the cleaning is completed, the ink is sprayed again after being mounted on the ink spraying device. The ink sprayed on the substrate must be landed on the black matrix area in a limited way and requires very high landing accuracy. Therefore, when mounting an inkjet head, it is necessary to mount it at an extremely strict position. is there. This adjustment work takes a lot of time, and the production efficiency decreases.

そこで、本発明は、インクジェットヘッドに固着した固化汚れを除去するクリーニングを行い、さらにインク散布装置からインクジェットヘッドを取り外すことなくクリーニングを行なうことを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to perform cleaning to remove solidified dirt adhered to the ink jet head, and to perform cleaning without removing the ink jet head from the ink spraying device.

以上の課題を解決するため、本発明の請求項１の懸濁液散布装置は、懸濁液を下方に向けて噴射する噴射口を１列に配列して設けた噴射ヘッドにより、基板に前記懸濁液を散布する散布ステージと、前記噴射ヘッドを洗浄する洗浄液を充填した洗浄液槽と、前記洗浄液に超音波を放射する超音波発振手段とを備える超音波洗浄槽を設けたメンテナンスステージと、を備えたこと、を特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the suspension spraying device according to claim 1 of the present invention is configured such that the ejection head that ejects the suspension downward is arranged on the substrate by an ejection head provided in a row. A maintenance stage provided with an ultrasonic cleaning tank provided with a spraying stage for spraying a suspension, a cleaning liquid tank filled with a cleaning liquid for cleaning the ejection head, and an ultrasonic oscillation means for emitting ultrasonic waves to the cleaning liquid; It is characterized by comprising.

この懸濁液散布装置によれば、メンテナンスステージに超音波洗浄槽を設けて、噴射ヘッドの超音波洗浄を行っているため、超音波のキャビテーション効果により、固化汚れに対して強い溶解力及び剥離力を作用させることができ、噴射ヘッドに強力に密着している固化汚れを確実に洗い流すことができる。 According to this suspension spraying device, since the ultrasonic cleaning tank is provided in the maintenance stage and the jet head is ultrasonically cleaned, strong dissolving power and peeling against solidified dirt due to the ultrasonic cavitation effect A force can be applied, and the solidified dirt strongly adhered to the ejection head can be surely washed away.

本発明の請求項２の懸濁液散布装置は、請求項１記載の懸濁液散布装置において、前記メンテナンスステージの前記超音波洗浄槽は、前記洗浄液槽と、前記超音波を伝達するための超音波伝達媒体が充填され、前記超音波発振手段を内部に設けた超音波伝達槽との二段の槽により構成され、前記超音波洗浄槽内部の前記超音波伝達媒体の液面位置に前記洗浄液槽を設けたこと、を特徴とする。 The suspension spraying device according to claim 2 of the present invention is the suspension spraying device according to claim 1, wherein the ultrasonic cleaning tank of the maintenance stage transmits the ultrasonic waves to the cleaning liquid tank. It is filled with an ultrasonic transmission medium, and is composed of a two-stage tank with an ultrasonic transmission tank provided with the ultrasonic wave oscillating means inside, and the liquid level position of the ultrasonic transmission medium inside the ultrasonic cleaning tank is A cleaning liquid tank is provided.

この懸濁液散布装置によれば、洗浄液槽と超音波伝達槽との二段構成にしていることにより、噴射ヘッドを洗浄する洗浄液を大幅に少なくすることができる。超音波発振手段から放射された超音波により効果的にキャビテーションを発生させるためには、超音波発振手段と噴射ヘッドとの間隔をある程度設けなければならない。キャビテーション効果を発生させるのは、噴射ヘッドの周辺だけでよいため、噴射ヘッドに形状が近い小型の洗浄液槽と超音波伝達媒体が充填された大型の超音波伝達槽との二段構成にして、超音波を伝達するために必要な距離の大部分を大型の超音波伝達槽に担わせることができるようになる。従って、洗浄液は小型の洗浄液槽に充填されるため、洗浄液の使用量を大幅に低減することができるようになる。 According to this suspension spraying device, the cleaning liquid for cleaning the ejection head can be greatly reduced by adopting the two-stage configuration of the cleaning liquid tank and the ultrasonic transmission tank. In order to effectively generate cavitation by the ultrasonic waves emitted from the ultrasonic oscillating means, it is necessary to provide a certain distance between the ultrasonic oscillating means and the ejection head. Since it is only necessary to generate the cavitation effect around the jet head, it has a two-stage configuration of a small cleaning liquid tank close to the jet head and a large ultrasonic transmission tank filled with an ultrasonic transmission medium. A large ultrasonic transmission tank can carry most of the distance necessary for transmitting ultrasonic waves. Accordingly, since the cleaning liquid is filled in a small cleaning liquid tank, the amount of the cleaning liquid used can be greatly reduced.

本発明の請求項３の懸濁液散布装置は、請求項１記載の懸濁液散布装置において、前記散布ステージと前記メンテナンスステージとの間を往復移動し、前記噴射ヘッドが取り付けられるヘッド移動手段を備えたこと、を特徴とする。 A suspension spraying device according to a third aspect of the present invention is the suspension spraying device according to the first aspect, wherein the suspension moving device reciprocates between the spraying stage and the maintenance stage, and the ejecting head is attached to the head moving means. It is characterized by comprising.

この懸濁液散布装置によれば、散布ステージとメンテナンスステージとの間を往復動作するヘッド移動手段に噴射ヘッドを取り付けているため、噴射ヘッドを取り外すことなく、散布ステージからメンテナンスステージに移行してクリーニングを行い、そしてクリーニング完了後に散布ステージに復帰させることができる。従って、噴射ヘッドの装着作業を行わないことから、調整作業が必要なく、生産効率が大幅に向上する。 According to this suspension spraying apparatus, since the ejection head is attached to the head moving means that reciprocates between the dispersion stage and the maintenance stage, the spray stage is moved to the maintenance stage without removing the ejection head. Cleaning can be performed and returned to the spreading stage after cleaning is complete. Therefore, since the mounting operation of the ejection head is not performed, no adjustment operation is required, and the production efficiency is greatly improved.

本発明の請求項４の懸濁液散布装置は、請求項１または２記載の懸濁液散布装置において、前記洗浄液槽に、この洗浄液槽に充填されている洗浄液を排出する洗浄液排出手段と、新たに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えたこと、を特徴とする。 The suspension spraying device according to claim 4 of the present invention is the suspension spraying device according to claim 1 or 2, wherein the cleaning liquid tank is configured to discharge the cleaning liquid filled in the cleaning liquid tank, And a cleaning liquid supply means for newly supplying a cleaning liquid.

この懸濁液散布装置によれば、洗浄液を入れ替えるための排出手段と供給手段とを備えているため、噴射ヘッドの洗浄を行ったときに粒子が洗浄液に分散したとしても、洗浄液を入れ替えることにより、次に噴射ヘッドの洗浄を行うときには、粒子が含まれていない洗浄液で洗浄を行うことができるようになる。特に、前述したように、洗浄液槽を小型の槽としたことで、洗浄液の入れ替えを行うときの洗浄液の量を大幅に少なくしているため、排出手段と供給手段とによる迅速に液の入れ替えを行うことができるようになる。 According to this suspension spraying apparatus, since the discharge means and the supply means for replacing the cleaning liquid are provided, even if particles are dispersed in the cleaning liquid when the ejection head is cleaned, the cleaning liquid is replaced. Next, when the ejection head is cleaned, the cleaning can be performed with a cleaning liquid that does not contain particles. In particular, as described above, since the cleaning liquid tank is a small tank, the amount of the cleaning liquid when replacing the cleaning liquid is greatly reduced, so that the liquid can be quickly replaced by the discharging means and the supplying means. Will be able to do.

本発明の請求項５の懸濁液散布装置は、請求項２記載の懸濁液散布装置において、前記超音波洗浄槽に、前記超音波伝達媒体の液面の高さを検出する液面検出手段と、前記液面検出手段が、設定された上限位置を超過したときに前記超音波伝達媒体を排出する超音波伝達媒体排出手段と、前記液面検出手段が、設定された下限位置を下回ったときに前記超音波伝達媒体を供給する超音波伝達媒体供給手段と、を設けたこと、を特徴とする。 The suspension spraying device according to claim 5 of the present invention is the suspension spraying device according to claim 2, wherein the ultrasonic cleaning tank detects the liquid level of the ultrasonic transmission medium. Means, an ultrasonic transmission medium discharge means for discharging the ultrasonic transmission medium when the liquid level detection means exceeds a set upper limit position, and the liquid level detection means falls below a set lower limit position. And an ultrasonic transmission medium supply means for supplying the ultrasonic transmission medium at the time.

この懸濁液散布装置によれば、超音波伝達槽と洗浄液槽との二段構成にしたときに、超音波伝達媒体の液面の高さを検出し上限位置（洗浄液槽の上面よりも若干低い位置）を超過したときには超音波伝達媒体を排出し、下限位置（洗浄液槽の下面よりも若干高い位置）を下回ったときには超音波伝達媒体を供給することにより、液面を適切な位置にコントロールすることができる。 According to this suspension spraying device, when the ultrasonic transmission tank and the cleaning liquid tank are configured in two stages, the liquid level of the ultrasonic transmission medium is detected and the upper limit position (slightly higher than the upper surface of the cleaning liquid tank) is detected. When the lower position is exceeded, the ultrasonic transmission medium is discharged. When the lower limit position (a position slightly higher than the lower surface of the cleaning liquid tank) is exceeded, the ultrasonic transmission medium is supplied to control the liquid level to an appropriate position. can do.

本発明の請求項６のフラットパネルディスプレイの製造装置は、請求項１乃至５の何れか１項に記載の懸濁液散布装置を備えたこと、を特徴とする。また、本発明の請求項７のフラットパネルディスプレイは、請求項６記載のフラットパネルディスプレイの製造装置により製造されたことを特徴としている。 A flat panel display manufacturing apparatus according to a sixth aspect of the present invention includes the suspension spraying apparatus according to any one of the first to fifth aspects. A flat panel display according to a seventh aspect of the present invention is manufactured by the flat panel display manufacturing apparatus according to the sixth aspect.

噴射ヘッドとしてスペーサビーズを混在させたインクを噴射する噴射ヘッドとして用いたときには、フラットパネルディスプレイを製造する製造装置に懸濁液散布装置を適用することができる。この場合の懸濁液は、ブラックマトリクス領域に分散配置させるスペーサビーズを混在させたインクとなる。フラットパネルディスプレイとしては、他に、有機ＥＬディスプレイやプラズマディスプレイ等を適用することができる。 When used as an ejection head that ejects ink in which spacer beads are mixed as the ejection head, the suspension spraying device can be applied to a manufacturing apparatus for manufacturing a flat panel display. The suspension in this case becomes ink mixed with spacer beads dispersed and arranged in the black matrix region. In addition, as the flat panel display, an organic EL display, a plasma display, or the like can be applied.

本発明の請求項８の太陽電池は、請求項１乃至５の何れか１項に記載の懸濁液散布装置を備えたこと、を特徴とする。また、本発明の請求項９の太陽電池は、請求項８記載の太陽電池の製造装置により製造されたことを特徴としている。 A solar cell according to an eighth aspect of the present invention includes the suspension spraying device according to any one of the first to fifth aspects. A solar cell according to claim 9 of the present invention is manufactured by the solar cell manufacturing apparatus according to claim 8.

噴射ヘッドとして金属粒子等を混在させた懸濁液を噴射する噴射ヘッドとして用いたときには、太陽電池を製造する製造装置に懸濁液散布装置を適用することができる。太陽電池は、パネルセル内の発電電気を外部へ取り出すための金属配線や金属膜、太陽光を電気に変換するためのシリコン膜、ＩＴＯ（透明導電膜）等をガラス基板上に形成する。このときに、ナノ単位の金属粒子を懸濁液に混在させて、噴射ヘッドから懸濁液を噴射させ、ガラス基板上に金属膜の形成や金属配線の描画等を行うことができる。 When used as an ejection head that ejects a suspension in which metal particles or the like are mixed as an ejection head, the suspension spraying device can be applied to a manufacturing apparatus that manufactures solar cells. In a solar cell, a metal wiring and a metal film for taking out the generated electricity in the panel cell to the outside, a silicon film for converting sunlight into electricity, ITO (transparent conductive film), and the like are formed on a glass substrate. At this time, metal particles in nano units can be mixed in the suspension, and the suspension can be ejected from the ejection head to form a metal film on the glass substrate, draw a metal wiring, or the like.

本発明は、噴射ヘッドのクリーニングを超音波洗浄により行なっていることから、噴射ヘッドに強力に固着している固化汚れを確実に洗い流すことができるようになる。また、超音波伝達層を超音波の伝達領域として、洗浄液槽をキャビテーション発生領域として、領域を分割した二槽構造としているため、洗浄液の使用量を大幅に削減することができ、液の入れ替えを速やかに完了することができる。そして、ヘッド移動制御手段が、散布ステージとクリーニングステージとの間を噴射ヘッドが移行するように制御しているため、噴射ヘッドを装着したまま超音波洗浄を行った後に、散布ステージに復帰させることができる。従って、固化汚れに対して強力なクリーニングを行なったとしても、短時間で復帰することができることから、生産効率を大幅に向上させることができるようになる。 In the present invention, since the ejection head is cleaned by ultrasonic cleaning, the solidified dirt strongly adhered to the ejection head can be surely washed away. In addition, since the ultrasonic transmission layer is used as the ultrasonic transmission area, the cleaning liquid tank is used as the cavitation generation area, and the area is divided into two tanks, the amount of cleaning liquid used can be greatly reduced, and the liquid can be replaced. Can be completed promptly. And since the head movement control means controls the ejection head to move between the spraying stage and the cleaning stage, after performing ultrasonic cleaning with the spray head mounted, the head movement control means can return to the spraying stage. Can do. Therefore, even if powerful cleaning is performed on the solidified dirt, it can be recovered in a short time, so that the production efficiency can be greatly improved.

以下、本発明の実施形態について説明する。以下においては、フラットパネルディスプレイの１つである液晶ディスプレイの製造装置を例示して、ヘッドクリーニング装置を説明したものである。従って、噴射ヘッドはインクジェットヘッドとして、懸濁液はインクとして、懸濁液中の粒子はスペーサビーズとして説明しているが、これに限定されない。例えば、太陽電池の製造装置に適用する場合には、懸濁液中に混在される粒子はナノ単位の金属粒子となる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. In the following, a head cleaning apparatus will be described by exemplifying a liquid crystal display manufacturing apparatus which is one of flat panel displays. Accordingly, the ejection head is described as an ink jet head, the suspension as ink, and the particles in the suspension as spacer beads. However, the present invention is not limited to this. For example, when applied to a solar cell manufacturing apparatus, particles mixed in a suspension are nano-unit metal particles.

図１において、基板１はガラス等の透明性の薄板ある。基板１としては、ＴＦＴ回路が形成されたＴＦＴ基板やカラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板を適用することができるが、ここでは、基板１はカラーフィルタ基板であるものとして説明する。基板１は、主に画素領域２とブラックマトリクス領域３とを有している。画素領域２はＲＧＢの各色の画素を構成する画素領域であり、画素領域２の間はブラックマトリクス領域３により区画形成されている。ブラックマトリクス領域３にはスペーサ４が格子状に均一に散布され、スペーサ４によりカラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とが接合されたときに、所定間隙となるセルギャップを形成する。そして、スペーサ４により形成される両基板の間の隙間に液晶を封入することにより液晶パネルが形成される。スペーサ４は、カラーフィルタ基板側だけではなく、ＴＦＴ基板側に形成するものであってもよい。 In FIG. 1, a substrate 1 is a transparent thin plate such as glass. As the substrate 1, a TFT substrate on which a TFT circuit is formed or a color filter substrate on which a color filter is formed can be applied. Here, the substrate 1 will be described as a color filter substrate. The substrate 1 mainly has a pixel region 2 and a black matrix region 3. The pixel area 2 is a pixel area constituting pixels of each color of RGB, and the pixel area 2 is partitioned and formed by a black matrix area 3. In the black matrix region 3, spacers 4 are uniformly distributed in a lattice shape, and when the color filter substrate and the TFT substrate are joined by the spacers 4, a cell gap is formed as a predetermined gap. A liquid crystal panel is formed by sealing liquid crystal in a gap between the two substrates formed by the spacer 4. The spacer 4 may be formed not only on the color filter substrate side but also on the TFT substrate side.

図２にインク散布装置１０を示す。インク散布装置１０は、インクの散布動作を行なうためのインク散布ステージ１１と、クリーニングを行うためのクリーニングステージ１２とに分かれている。基板１に対してインクの散布を行うインク散布ステージ１１は、搬送テーブル２０とリニアモータ手段２１とＸ軸ガイド２２とＹ軸ガイド２３とインクジェット機構２４とを主に有している。インクジェット機構２４は、インクジェットヘッド２５とヘッド移動機構２６とヘッド上下機構２７とヘッド回転機構２８と揺動機構２９とを有して概略構成している。図２では、１つのインクジェットヘッドを設けた例を示しているが、インクジェットヘッドは複数であってもよい。 FIG. 2 shows the ink spraying device 10. The ink spraying device 10 is divided into an ink spraying stage 11 for performing an ink spraying operation and a cleaning stage 12 for performing cleaning. The ink spraying stage 11 that sprays ink on the substrate 1 mainly includes a transport table 20, linear motor means 21, an X-axis guide 22, a Y-axis guide 23, and an ink jet mechanism 24. The ink jet mechanism 24 includes an ink jet head 25, a head moving mechanism 26, a head up / down mechanism 27, a head rotating mechanism 28, and a swing mechanism 29 and is schematically configured. Although FIG. 2 shows an example in which one inkjet head is provided, a plurality of inkjet heads may be provided.

基板１は搬送テーブル２０に載置されて、真空吸着手段等で固定的に保持されている。そして、搬送テーブル２０はリニアモータ手段２１によりＸ軸ガイド２２に沿って図中のＸ方向に搬送される。搬送テーブル２０にはリニアモータ手段２１のエンコーダ付きのモータ可動子２１Ｍが具備されており、またインク散布ステージ１１のベースにはリニアモータ手段２１の固定子２１Ｆが固定されている。モータ可動子２１Ｍにより、所定ピッチで搬送テーブル２０がＸ方向に搬送される。 The substrate 1 is placed on the transfer table 20 and fixedly held by a vacuum suction means or the like. And the conveyance table 20 is conveyed in the X direction in the figure along the X-axis guide 22 by the linear motor means 21. The transfer table 20 is provided with a motor movable element 21M with an encoder of the linear motor means 21, and a stator 21F of the linear motor means 21 is fixed to the base of the ink spraying stage 11. The transport table 20 is transported in the X direction at a predetermined pitch by the motor movable element 21M.

インクジェット機構２４は、制御装置Ｍ１に電気的に接続されており、制御装置Ｍ１からの指令により、ヘッド移動機構２６やヘッド上下機構２７、ヘッド回転機構２８、揺動機構２９等の各種制御を行なう。制御装置Ｍ１はコンピュータＭ２に接続されており、制御装置Ｍ１から出力される指令の内容を変更等することができるようになっている。インクジェットヘッド２５のヘッド移動機構２６は、搬送テーブル２０を跨ぐように門型をしたＹ軸ガイド２３に装着され、インクジェット機構２４全体がＹ軸ガイド２３に沿ってＹ方向に移動可能な構成となっている。ヘッド上下機構２７は上下にインクジェットヘッド２５を昇降させる機構であり、ヘッド回転機構２８はインクジェットヘッド２５を任意の角度で回転させる機構である。 The ink jet mechanism 24 is electrically connected to the control device M1, and performs various controls of the head moving mechanism 26, the head up-and-down mechanism 27, the head rotating mechanism 28, the swinging mechanism 29, and the like according to commands from the control device M1. . The control device M1 is connected to the computer M2, and can change the contents of a command output from the control device M1. The head moving mechanism 26 of the ink jet head 25 is mounted on a gate-shaped Y-axis guide 23 so as to straddle the transport table 20, and the entire ink jet mechanism 24 can move in the Y direction along the Y-axis guide 23. ing. The head up / down mechanism 27 is a mechanism for moving the inkjet head 25 up and down, and the head rotating mechanism 28 is a mechanism for rotating the inkjet head 25 at an arbitrary angle.

インクジェットヘッド２５は、図３に示すように、噴射口としての多数の微小なノズル３０を所定のピッチ間隔で配列したものから構成し、各ノズル３０からスペーサビーズ入りの一定量のインクを下方に向けて間欠的に噴射する。各ノズル３０は、図４に示すように、チャンバピース３１と、圧電素子からなるアクチュエータ３２とを備えている。アクチュエータ３２に電圧を印加すると、図４の二点鎖線で示すように、アクチュエータ３２が変形して、チャンバピース３１が拡張する。その結果、図示しないインクを充填したインクタンクからインクがチャンバピース３１に吸い込まれる。そして、アクチュエータ３２への電圧の印加を停止すると、元の状態に復元して、チャンバピース３１の容積が減少して、その分のインクがノズル３０から噴射される。 As shown in FIG. 3, the ink-jet head 25 is composed of a plurality of minute nozzles 30 as ejection ports arranged at a predetermined pitch interval, and a certain amount of ink containing spacer beads is directed downward from each nozzle 30. Inject intermittently toward. As shown in FIG. 4, each nozzle 30 includes a chamber piece 31 and an actuator 32 made of a piezoelectric element. When a voltage is applied to the actuator 32, the actuator 32 is deformed and the chamber piece 31 expands as shown by a two-dot chain line in FIG. As a result, ink is sucked into the chamber piece 31 from an ink tank filled with ink (not shown). When the application of the voltage to the actuator 32 is stopped, the original state is restored, the volume of the chamber piece 31 is reduced, and the corresponding amount of ink is ejected from the nozzle 30.

クリーニングステージ１２について説明する。クリーニングステージ１２はインクジェットヘッド２５のクリーニングを行なうステージであり、超音波洗浄槽３５をクリーニングステージ１２に設けている。図５乃至図７に示すように、超音波洗浄槽３５は、洗浄液槽４０と超音波伝達槽５０との二段構成になっている。洗浄液槽４０はインクジェットヘッド２５のサイズに適した小型の槽であり、細長の形状をした槽になっており、槽の深さはインクジェットヘッド２５とほぼ同程度の浅い槽になっている。洗浄液槽４０にはインクジェットヘッド２５を洗浄するための洗浄液４１が充填されている。洗浄液４１としては、ＩＰＡやエチレングリコール等を使用することができるが、インクジェットヘッド２５から噴射されるインクと同じインクを洗浄液４１として使用することが望ましい。ただし、インクジェットヘッド２５から噴射するインクはスペーサビーズを分散させているが、洗浄液４１にはスペーサビーズを分散させない液体のみのインクを使用するものとする。 The cleaning stage 12 will be described. The cleaning stage 12 is a stage for cleaning the inkjet head 25, and an ultrasonic cleaning tank 35 is provided in the cleaning stage 12. As shown in FIGS. 5 to 7, the ultrasonic cleaning tank 35 has a two-stage configuration of a cleaning liquid tank 40 and an ultrasonic transmission tank 50. The cleaning liquid tank 40 is a small tank suitable for the size of the inkjet head 25, and is a tank having an elongated shape. The depth of the tank is a shallow tank that is almost the same as that of the inkjet head 25. The cleaning liquid tank 40 is filled with a cleaning liquid 41 for cleaning the inkjet head 25. IPA, ethylene glycol, or the like can be used as the cleaning liquid 41, but it is desirable to use the same ink as the ink ejected from the inkjet head 25 as the cleaning liquid 41. However, the ink ejected from the inkjet head 25 has spacer beads dispersed therein, but the cleaning liquid 41 uses only liquid ink that does not disperse spacer beads.

洗浄液槽４０は、洗浄液４１を排出するための洗浄液排出口４２と、洗浄液４１を供給するための洗浄液供給口４３とを備えている。洗浄液排出口４２は排出配管４４に接続され、洗浄液供給口４３は供給配管４５に接続されている。排出配管４４は排出ポンプ４６とフィルタ４７とを備えており、洗浄液槽４０の洗浄液４１を吸引して、不純物をフィルタ４７により除去する。不純物としては、主にスペーサビーズ等の粒子がある。排出配管４４の一端は、回収タンク４８の液面の上部位置に臨んでおり、不純物が除去された洗浄液４１は回収タンク４８に回収される。回収タンク４８の洗浄液４１には供給配管４５の一端が浸漬されており、この供給配管４５には供給ポンプ４９を設けている。供給ポンプ４９の吸引作用により、回収タンク４８に回収されている不純物が除去された洗浄液４１が、洗浄液供給口４３から再び洗浄液槽４０に戻される。以上により、洗浄液４１の液循環系が構成される。 The cleaning liquid tank 40 includes a cleaning liquid discharge port 42 for discharging the cleaning liquid 41 and a cleaning liquid supply port 43 for supplying the cleaning liquid 41. The cleaning liquid discharge port 42 is connected to a discharge pipe 44, and the cleaning liquid supply port 43 is connected to a supply pipe 45. The discharge pipe 44 includes a discharge pump 46 and a filter 47. The cleaning liquid 41 in the cleaning liquid tank 40 is sucked and impurities are removed by the filter 47. Impurities mainly include particles such as spacer beads. One end of the discharge pipe 44 faces the upper position of the liquid level of the recovery tank 48, and the cleaning liquid 41 from which impurities have been removed is recovered in the recovery tank 48. One end of a supply pipe 45 is immersed in the cleaning liquid 41 of the recovery tank 48, and a supply pump 49 is provided in the supply pipe 45. The cleaning liquid 41 from which the impurities recovered in the recovery tank 48 are removed by the suction action of the supply pump 49 is returned from the cleaning liquid supply port 43 to the cleaning liquid tank 40 again. The liquid circulation system of the cleaning liquid 41 is configured as described above.

超音波伝達槽５０について説明する。超音波伝達槽５０は、洗浄液槽４０よりも大型の槽であり、内部に超音波伝達媒体としての純水５１が充填されている。また、超音波伝達槽５０の下部には超音波固定子５２を備えており、純水５１の液面位置に洗浄液槽４０を設けている。洗浄液槽４０は長手方向の端部において、それぞれ支持部材５３により支持・固定されて、洗浄液槽４０の深さ方向においてほぼ中間に純水５１の液面が位置するような関係で固定されている。 The ultrasonic transmission tank 50 will be described. The ultrasonic transmission tank 50 is a larger tank than the cleaning liquid tank 40 and is filled with pure water 51 as an ultrasonic transmission medium. Further, an ultrasonic stator 52 is provided below the ultrasonic transmission tank 50, and a cleaning liquid tank 40 is provided at a liquid surface position of the pure water 51. The cleaning liquid tank 40 is supported and fixed by the support members 53 at the ends in the longitudinal direction, and fixed so that the liquid surface of the pure water 51 is located approximately in the middle in the depth direction of the cleaning liquid tank 40. .

純水５１は、超音波固定子５２から放射される超音波を洗浄液槽４０に伝達するための媒体であるが、超音波の伝達に適した媒体であれば、純水以外の任意の媒体を適用することができる。ただし、純水５１はあくまでも超音波を伝達する媒体であり、実際に超音波による洗浄を行うのは洗浄液４１である。このため、キャビティを発生させないために、純水５１には脱気した媒体を用いることが望ましい。超音波固定子５２は、多数の超音波振動子を備えた超音波発振手段であり、各超音波振動子は上方に向けて超音波を放射する。従って、超音波固定子５２から放射された超音波は、純水５１を介して、洗浄液槽４０の内部の洗浄液４１にまで伝達される。純水５１は脱気した媒体であるためキャビテーションは発生せず、洗浄液槽４０に充填された洗浄液４１でキャビテーションが発生する。 The pure water 51 is a medium for transmitting the ultrasonic waves radiated from the ultrasonic stator 52 to the cleaning liquid tank 40, but any medium other than pure water can be used as long as it is a medium suitable for the transmission of ultrasonic waves. Can be applied. However, the pure water 51 is only a medium that transmits ultrasonic waves, and it is the cleaning liquid 41 that actually performs ultrasonic cleaning. For this reason, in order not to generate a cavity, it is desirable to use a degassed medium for the pure water 51. The ultrasonic stator 52 is an ultrasonic oscillating means including a large number of ultrasonic vibrators, and each ultrasonic vibrator emits ultrasonic waves upward. Therefore, the ultrasonic wave radiated from the ultrasonic stator 52 is transmitted to the cleaning liquid 41 inside the cleaning liquid tank 40 through the pure water 51. Since the pure water 51 is a degassed medium, cavitation does not occur, and cavitation occurs in the cleaning liquid 41 filled in the cleaning liquid tank 40.

超音波伝達槽５０には、純水排出口５４と純水供給口５５とを設けてあり、それぞれ配管に接続されている。純水排出口５４からは純水５１を排出できるようになっており、純水供給口５５からは純水５１を供給できるようになっている。純水排出口５４及び純水供給口５５に接続される各配管にポンプ、フィルタ、回収タンクを設けておくことにより、洗浄液４１と同様に純水５１を循環式の入れ替え機構とすることができる。 The ultrasonic transmission tank 50 is provided with a pure water discharge port 54 and a pure water supply port 55, and each is connected to a pipe. Pure water 51 can be discharged from the pure water discharge port 54, and pure water 51 can be supplied from the pure water supply port 55. By providing a pump, a filter, and a recovery tank in each pipe connected to the pure water discharge port 54 and the pure water supply port 55, the pure water 51 can be used as a circulation type replacement mechanism like the cleaning liquid 41. .

また、超音波伝達槽５０の側部には液面検出槽５６を設けている。液面検出槽５６は、連通管５７と検出センサ５８と純水排出口５９とを備えており、連通管５７において超音波伝達槽５０と液面検出槽５６とは連通している。従って、液面検出槽５６の水位と超音波伝達槽５０の水位とは一致する。検出センサ５８は、純水５１の液面の高さを検出するためのセンサであり、フロートと磁石とを用いて液面を検出するセンサや一対の導電性電極を用いて液面を検出するセンサ等の任意のセンサを適用することができる。検出センサ５８が液面検出槽５６の液面の高さを検出することで、超音波伝達槽５０の液面の高さを検出することができる。また、液面検出槽５６に溜まった純水５１を排出するための純水排出口５９を設けてある。 Further, a liquid level detection tank 56 is provided on the side of the ultrasonic transmission tank 50. The liquid level detection tank 56 includes a communication pipe 57, a detection sensor 58, and a pure water discharge port 59, and the ultrasonic transmission tank 50 and the liquid level detection tank 56 communicate with each other in the communication pipe 57. Therefore, the water level in the liquid level detection tank 56 matches the water level in the ultrasonic transmission tank 50. The detection sensor 58 is a sensor for detecting the liquid level of the pure water 51, and detects the liquid level using a sensor that detects the liquid level using a float and a magnet or a pair of conductive electrodes. Any sensor such as a sensor can be applied. When the detection sensor 58 detects the height of the liquid level in the liquid level detection tank 56, the height of the liquid level in the ultrasonic transmission tank 50 can be detected. Further, a pure water discharge port 59 for discharging the pure water 51 accumulated in the liquid level detection tank 56 is provided.

次に、洗浄液槽４０の洗浄液４１の液循環系について説明する。洗浄液槽４０において、インクジェットヘッド２５は洗浄液４１に浸漬して超音波洗浄がされて固化汚れが洗浄されるが、洗浄時に剥離されたスペーサビーズは洗浄液４１に分散してしまい、また超音波洗浄を行っているために洗浄液４１の内部で攪拌された状態になる。従って、次にインクジェットヘッド２５の超音波洗浄を行うときには、スペーサビーズが混じった洗浄液４１により洗浄を行うことになる。そうすると、インクジェットヘッド２５に再度スペーサビーズ入りの洗浄液４１が付着し、これが乾燥して固化汚れとなった固着してしまう。 Next, the liquid circulation system of the cleaning liquid 41 in the cleaning liquid tank 40 will be described. In the cleaning liquid tank 40, the inkjet head 25 is immersed in the cleaning liquid 41 and subjected to ultrasonic cleaning to clean the solidified dirt, but the spacer beads peeled off during the cleaning are dispersed in the cleaning liquid 41, and the ultrasonic cleaning is performed. As a result, the cleaning liquid 41 is stirred. Therefore, the next time ultrasonic cleaning of the inkjet head 25 is performed, the cleaning is performed with the cleaning liquid 41 mixed with the spacer beads. As a result, the cleaning liquid 41 containing spacer beads again adheres to the ink jet head 25, and this becomes dry and becomes solidified dirt.

このために、洗浄液槽４０には洗浄液４１の入れ替えを行なうための液循環系を設けている。洗浄液４１にスペーサビーズが分散されたときには、洗浄液排出口４２より洗浄液４１を排出し、スペーサビーズが混ざっていない新たな洗浄液４１を洗浄液供給口４３から供給することにより、常にスペーサビーズが混ざっていない洗浄液４１によりインクジェットヘッド２５の洗浄を行うことができる。特に、洗浄液排出口４２から排出された洗浄液４１は、フィルタ４７によりスペーサビーズが除去されて回収タンク４８に回収され、再び洗浄液槽４０に戻すような循環式の機構を採用しているため、洗浄液４１の再利用を図ることができる。 For this purpose, the cleaning liquid tank 40 is provided with a liquid circulation system for replacing the cleaning liquid 41. When the spacer beads are dispersed in the cleaning liquid 41, the cleaning liquid 41 is discharged from the cleaning liquid discharge port 42, and a new cleaning liquid 41 not mixed with the spacer beads is supplied from the cleaning liquid supply port 43, so that the spacer beads are not always mixed. The inkjet head 25 can be cleaned with the cleaning liquid 41. In particular, the cleaning liquid 41 discharged from the cleaning liquid discharge port 42 employs a circulation type mechanism in which spacer beads are removed by the filter 47 and recovered in the recovery tank 48 and returned to the cleaning liquid tank 40 again. 41 can be reused.

洗浄液槽４０の洗浄液４１の入れ替えのタイミングとしては、インクジェットヘッド２５にスペーサビーズが再付着することを回避するという観点から、１回の超音波洗浄を行うたびに行なうことが望ましい。１回の洗浄を行ったときには、綺麗な洗浄液４１に交換して、スペーサビーズが再付着しないようにする。特に、超音波伝達槽５０と洗浄液槽４０との二段構成にすることにより、洗浄液槽４０を小型の槽にしているため、洗浄液槽４０に充填される洗浄液４１の量は非常に少ない。このため、液の交換を速やかに完了することができるため、生産効率が低下するおそれもない。なお、液循環系を用いているのは、洗浄液４１にスペーサビーズを分散させていないインクを用いているからであり、ＩＰＡやエチレングリコール等を洗浄液４１として用いる場合には、液循環系を用いて再利用を図るのではなく、一度使用した洗浄液を排液として処理する。 The timing of replacing the cleaning liquid 41 in the cleaning liquid tank 40 is desirably performed every time ultrasonic cleaning is performed from the viewpoint of avoiding reattachment of the spacer beads to the inkjet head 25. When the cleaning is performed once, the cleaning solution 41 is replaced with a clean cleaning solution 41 so that the spacer beads do not adhere again. In particular, since the cleaning liquid tank 40 is made into a small tank by using the ultrasonic transmission tank 50 and the cleaning liquid tank 40, the amount of the cleaning liquid 41 filled in the cleaning liquid tank 40 is very small. For this reason, since replacement | exchange of a liquid can be completed rapidly, there is no possibility that production efficiency may fall. The reason why the liquid circulation system is used is that the ink in which the spacer beads are not dispersed in the cleaning liquid 41 is used. When IPA, ethylene glycol, or the like is used as the cleaning liquid 41, the liquid circulation system is used. Instead of reusing it, the cleaning liquid once used is treated as drainage.

次に、超音波洗浄槽３５の洗浄液槽４０と超音波伝達槽５０との二段構成について説明する。超音波固定子５２とインクジェットヘッド２５とが直近に位置していると、超音波の伝搬効率が悪くなり、効果的にキャビテーションを発生させることができなくなる。例えば、超音波固定子５２の近傍でキャビテーションが発生すると、発生したキャビテーションの作用により超音波固定子５２の超音波振動子に影響を与え、超音波の放射能力が低下するといったことがある。このため、ある程度の間隔を設ける必要がある。そこで、超音波固定子５２とインクジェットヘッド２５との間隔を広げるために、洗浄液槽４０を大型化することにより、例えば超音波伝達槽５０の全部を洗浄液４１により充填することにより、効果的にキャビテーションを発生させることは可能である。しかし、この場合には大量の洗浄液４１を必要とし、また洗浄液４１を液循環系により循環可能にしているため、大量の洗浄液４１を入れ替えなければならなくなる。その結果、液の入れ替えに大幅な時間を要し、生産効率が大きく低下するというデメリットもある。 Next, a two-stage configuration of the cleaning liquid tank 40 and the ultrasonic transmission tank 50 of the ultrasonic cleaning tank 35 will be described. If the ultrasonic stator 52 and the inkjet head 25 are positioned in the immediate vicinity, the propagation efficiency of the ultrasonic waves is deteriorated, and cavitation cannot be effectively generated. For example, when cavitation occurs in the vicinity of the ultrasonic stator 52, the generated cavitation may affect the ultrasonic vibrator of the ultrasonic stator 52, thereby reducing the ultrasonic radiation ability. For this reason, it is necessary to provide a certain amount of space. Therefore, in order to widen the gap between the ultrasonic stator 52 and the inkjet head 25, the cleaning liquid tank 40 is enlarged, for example, the entire ultrasonic transmission tank 50 is filled with the cleaning liquid 41, thereby effectively cavitation. It is possible to generate However, in this case, a large amount of cleaning liquid 41 is required, and since the cleaning liquid 41 can be circulated by the liquid circulation system, a large amount of cleaning liquid 41 must be replaced. As a result, there is a demerit that it takes a long time to replace the liquid and the production efficiency is greatly reduced.

そこで、洗浄液槽４０をキャビテーション発生領域として狭小の領域に設定し、超音波伝達槽５０を伝達領域として広範な領域として設定する。キャビテーション発生領域としては、インクジェットヘッド２５のヘッド面およびノズル３０の内部を洗浄するのに必要最小限の領域でよいため、洗浄液槽４０は限定的な狭小な領域、例えばインクジェットヘッド２５と同程度または若干大きいサイズを有するものであればよい。一方、伝達領域としての超音波伝達槽５０は、キャビテーションを発生させるために必要な距離を確保するために、大型の槽として構成する。インクジェットヘッド２５から洗い落とされたスペーサビーズは、洗浄液槽４０の槽により区画形成されているため、純水５１に混じることはない。従って、インクジェットヘッド２５の洗浄を行うたびに純水５１を交換する必要性はなくなり、非常に少ない容量の洗浄液槽４０の洗浄液４１だけを入れ替えるだけで足りることになる。このため、洗浄液４１の使用量を少なくすることができ、入れ替えに要する時間を大幅に短縮することが可能になる。 Therefore, the cleaning liquid tank 40 is set as a narrow area as a cavitation generation area, and the ultrasonic transmission tank 50 is set as a wide area as a transmission area. The cavitation generation region may be a minimum region necessary for cleaning the head surface of the ink jet head 25 and the inside of the nozzle 30, so that the cleaning liquid tank 40 has a limited narrow region, for example, the same level as that of the ink jet head 25 or Any material having a slightly larger size may be used. On the other hand, the ultrasonic transmission tank 50 as a transmission area is configured as a large tank in order to secure a distance necessary for generating cavitation. The spacer beads washed off from the ink jet head 25 are partitioned by the tank of the cleaning liquid tank 40, and therefore are not mixed with the pure water 51. Therefore, it is not necessary to replace the pure water 51 every time the inkjet head 25 is cleaned, and it is sufficient to replace only the cleaning liquid 41 in the cleaning liquid tank 40 having a very small capacity. For this reason, the usage-amount of the washing | cleaning liquid 41 can be decreased and it becomes possible to shorten significantly the time which replacement | exchange requires.

ここで、洗浄液槽４０の下面の素材としては、音響インピーダンスが純水５１と近いものを用いることが望ましい。超音波は純水５１から洗浄液槽４０の下面を通過して洗浄液４１に伝達されるため、純水５１と洗浄液槽４０とでは音響インピーダンスが異なり、超音波の反射が生じるためである。このため、できる限り音響インピーダンスが近い素材を用いることにより、超音波の伝達効率の損失をできる限り抑制する。 Here, it is desirable to use a material having an acoustic impedance close to that of the pure water 51 as a material for the lower surface of the cleaning liquid tank 40. This is because the ultrasonic wave passes through the lower surface of the cleaning liquid tank 40 from the pure water 51 and is transmitted to the cleaning liquid 41, so that the acoustic impedance is different between the pure water 51 and the cleaning liquid tank 40 and the ultrasonic waves are reflected. For this reason, the loss of the transmission efficiency of an ultrasonic wave is suppressed as much as possible by using a material having an acoustic impedance as close as possible.

次に、液面検出について説明する。例えば、純水５１を超音波伝達槽５０に充填するときに、純水５１の供給量が不足し、または過剰に供給することがある。この場合には、純水５１の供給量を適切にコントロールしなければならない。超音波伝達槽５０に充填されている純水５１の液面は、洗浄液槽４０の下面と上面との間になければならない。洗浄液槽４０の下面よりも下回ると、超音波固定子５２から放射された超音波は、純水５１から空気層を経由して洗浄液槽４０にまで伝搬しなければならないため、洗浄液槽４０の洗浄液４１に超音波を殆ど伝達させることができない。また、洗浄液槽４０の上面を超過すると、洗浄液４１に純水５１が混入してしまう。このため、純水５１の液面が適正な位置になるように、液面位置を検出するための検出センサ５８を設けている。検出センサ５８は、予め決められた上限位置と下限位置との間を適正範囲として認識しており、上限位置を超過したときには純水排出口５４から純水５１を排出し、下限位置を下回ったときには純水供給口５５から純水５１を供給する。上限位置としては洗浄液槽４０の上面よりも僅かに低い位置に設定し、下限位置としては洗浄液槽４０の下面よりも僅かに高い位置に設定する。これにより、純水５１の液面を適正な位置にコントロールすることができるようになる。 Next, the liquid level detection will be described. For example, when the pure water 51 is filled in the ultrasonic transmission tank 50, the supply amount of the pure water 51 may be insufficient or excessively supplied. In this case, the supply amount of the pure water 51 must be controlled appropriately. The liquid level of the pure water 51 filled in the ultrasonic transmission tank 50 must be between the lower surface and the upper surface of the cleaning liquid tank 40. Below the lower surface of the cleaning liquid tank 40, the ultrasonic wave radiated from the ultrasonic stator 52 must propagate from the pure water 51 through the air layer to the cleaning liquid tank 40, so the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 40 41 can hardly transmit ultrasonic waves. If the upper surface of the cleaning liquid tank 40 is exceeded, pure water 51 is mixed into the cleaning liquid 41. For this reason, the detection sensor 58 for detecting a liquid level position is provided so that the liquid level of the pure water 51 may become an appropriate position. The detection sensor 58 recognizes a predetermined range between the predetermined upper limit position and the lower limit position as an appropriate range, and when the upper limit position is exceeded, the pure water 51 is discharged from the pure water discharge port 54 and falls below the lower limit position. Sometimes, pure water 51 is supplied from the pure water supply port 55. The upper limit position is set to a position slightly lower than the upper surface of the cleaning liquid tank 40, and the lower limit position is set to a position slightly higher than the lower surface of the cleaning liquid tank 40. Thereby, the liquid level of the pure water 51 can be controlled to an appropriate position.

次に、インクジェットヘッド２５の動作について説明する。インクジェットヘッド２５は、通常は、基板１に対してインクを散布するインク散布動作を行っている。インク散布動作を行っていると、インクジェットヘッド２５のヘッド面やノズル３０にインクの液膜が付着する。インク散布動作を行っている間は、インクジェットヘッド２５のヘッド面やノズル３０は比較的湿潤状態に保たれていることから、付着した液膜は乾燥しにくい。しかし、インクジェットヘッド２５を休止している場合等、インクを噴射していない時間が長くなると、インク成分が蒸発して乾燥する。インクは粘性の高いスペーサビーズを混在させた液体であるため、液膜が乾燥すると、スペーサビーズが固化汚れの塊となってヘッド面やノズル３０の内部で強い密着力で固着する。そして、繰り返してインクを噴射することから、固化汚れがノズル３０の大部分を塞ぐサイズにまで成長し、最終的にはノズル３０の全部を塞ぐほどに成長する。そうすると、インクの飛散方向の変化やインクの不吐出といった状態になる。 Next, the operation of the inkjet head 25 will be described. The inkjet head 25 normally performs an ink spraying operation for spraying ink to the substrate 1. During the ink spraying operation, an ink liquid film adheres to the head surface of the inkjet head 25 and the nozzle 30. While the ink spraying operation is being performed, the head surface of the inkjet head 25 and the nozzle 30 are kept relatively wet, so that the attached liquid film is difficult to dry. However, when the ink is not ejected for a long time, such as when the inkjet head 25 is at rest, the ink components are evaporated and dried. Since the ink is a liquid in which spacer beads having high viscosity are mixed, when the liquid film is dried, the spacer beads become a solidified lump and adhere to the head surface and the inside of the nozzle 30 with strong adhesion. Since the ink is repeatedly ejected, the solidified stain grows to a size that covers most of the nozzles 30, and finally grows to the extent that the entire nozzles 30 are blocked. If it does so, it will be in the state of the change of the scattering direction of ink, or the non-ejection of ink.

このため、固化汚れが大きくなる前に、固化汚れを除去するクリーニングを行なう。通常は、インクジェットヘッド２５をインク散布装置１０から取り外して、専用の洗浄装置等においてインクジェットヘッド２５のクリーニングを行い、確実に固化汚れを洗い流して、良好な状態にする。そして、クリーニングが完了した後に再びインク散布装置１０にインクジェットヘッド２５を装着するが、基板１に散布されるインクには極めて高い着弾精度が要求されるため、取り付けの調整作業に多くの時間が費やされることになる。調整作業を行っている間はインク散布装置１０を稼動することができないことから、生産効率が大きく低下する。 For this reason, before the solidified dirt becomes large, cleaning for removing the solidified dirt is performed. Normally, the ink jet head 25 is removed from the ink spraying device 10, and the ink jet head 25 is cleaned by a dedicated cleaning device or the like, so that solidified dirt is surely washed away to obtain a good state. After the cleaning is completed, the ink jet head 25 is attached to the ink spraying device 10 again. However, since the ink sprayed onto the substrate 1 requires extremely high landing accuracy, a lot of time is spent on the adjustment work of the mounting. Will be. Since the ink spraying device 10 cannot be operated during the adjustment work, the production efficiency is greatly reduced.

そこで、インクジェットヘッド２５をインク散布装置１０に装着したままクリーニングを行う。インクジェットヘッド２５は常時はインク散布ステージ１１に位置しており、クリーニングを行なうときのみクリーニングステージ１２に移行する。クリーニングを行なうときには、制御装置Ｍ１からインクジェット機構２４に対して信号を出力し、インクジェット機構２４がヘッド移動機構２６を制御して、Ｙ軸ガイド２３に沿って移動する。これにより、インクジェット機構２４はＹ方向、つまりインク散布ステージ１１からクリーニングステージ１２に移動する。そして、クリーニングステージ１２、つまり洗浄液槽４０の上部に位置したときに、インクジェット機構２４は、インクジェットヘッド２５を、ヘッド回転機構２８により姿勢を９０度回転してから、ヘッド上下機構２７によりインクジェットヘッド２５を下降させる。このとき、少なくともインクジェットヘッド２５のヘッド面が洗浄液４１に浸かる位置にまで下降させる。 Therefore, cleaning is performed with the inkjet head 25 mounted on the ink spraying device 10. The ink jet head 25 is always located on the ink spraying stage 11 and moves to the cleaning stage 12 only when cleaning is performed. When cleaning is performed, a signal is output from the control device M 1 to the ink jet mechanism 24, and the ink jet mechanism 24 controls the head moving mechanism 26 to move along the Y-axis guide 23. As a result, the inkjet mechanism 24 moves in the Y direction, that is, from the ink spraying stage 11 to the cleaning stage 12. When the inkjet mechanism 24 is positioned above the cleaning stage 12, that is, the upper part of the cleaning liquid tank 40, the inkjet head 25 rotates the attitude of the inkjet head 25 by 90 degrees by the head rotation mechanism 28, and then the inkjet head 25 by the head up-and-down mechanism 27. Is lowered. At this time, the ink jet head 25 is lowered to a position where the head surface of the ink jet head 25 is immersed in the cleaning liquid 41.

そして、制御装置Ｍ１は、インクジェットヘッド２５を洗浄液４１に浸漬させた状態で、超音波固定子５２の各超音波振動子を駆動する制御を行なう。各超音波振動子からは超音波が放射され、純水５１を伝搬して洗浄液槽４０の洗浄液４１にまで伝達される。インクジェットヘッド２５に固着している固化汚れは、洗浄液４１に浸漬されて溶解力が作用しており、しかも超音波によるキャビテーション効果が発生し、その衝撃波によりインクジェットヘッド２５に固着している固化汚れには強い剥離力が作用する。このため、固化汚れが強力に密着していたとしても、インクジェットヘッド２５から剥離されて洗い流されることになる。以上により、インクジェットヘッド２５のクリーニングは完了する。 And the control apparatus M1 performs control which drives each ultrasonic transducer | vibrator of the ultrasonic stator 52 in the state which the inkjet head 25 was immersed in the washing | cleaning liquid 41. FIG. Ultrasonic waves are radiated from the respective ultrasonic transducers, propagated through the pure water 51 and transmitted to the cleaning liquid 41 in the cleaning liquid tank 40. The solidified dirt adhering to the ink jet head 25 is immersed in the cleaning liquid 41 and has a dissolving power. Moreover, an ultrasonic cavitation effect occurs, and the solidified dirt adhering to the ink jet head 25 is generated by the shock wave. Has a strong peeling force. For this reason, even if the solidified dirt adheres strongly, it is peeled off from the inkjet head 25 and washed away. Thus, the cleaning of the inkjet head 25 is completed.

クリーニングが完了した後に、制御装置Ｍ１はインクジェット機構２４に対して、インク散布ステージ１１の復帰に備えるための指令を出力する。この指令に基づいて、ヘッド上下機構２７によりインクジェットヘッド２５が上昇する。これにより、復帰に備えるための動作を完了する。 After the cleaning is completed, the control device M1 outputs a command for preparing for the return of the ink spraying stage 11 to the ink jet mechanism 24. Based on this command, the inkjet head 25 is raised by the head vertical mechanism 27. Thereby, the operation for preparing for the return is completed.

以上により、インクジェットヘッド２５をインク散布装置１０から取り外すことなく、インク散布ステージ１１からクリーニングステージ１２に移行させて、超音波洗浄を行った後に、クリーニングステージ１２からインク散布ステージ１１に復帰させることができるようになる。 As described above, without removing the ink jet head 25 from the ink spraying device 10, the ink spraying stage 11 is moved to the cleaning stage 12, and after ultrasonic cleaning, the cleaning stage 12 can be returned to the ink spraying stage 11. become able to.

次に、超音波洗浄以外の洗浄を行う機構を備えた総合的なクリーニングステージ１２について説明する。図８及び図９は、クリーニングステージ１２を構成するクリーニングユニットＣＵを示している。クリーニングユニットＣＵは、吸引機構Ｃ１と洗浄機構Ｃ２と超音波洗浄機構Ｃ３とを備えて構成され、各機構はステージ本体６０の内部に配置されている。各機構のうち超音波洗浄機構Ｃ３は、前述してきた超音波による洗浄機構である。 Next, the comprehensive cleaning stage 12 having a mechanism for performing cleaning other than ultrasonic cleaning will be described. 8 and 9 show the cleaning unit CU that constitutes the cleaning stage 12. The cleaning unit CU includes a suction mechanism C1, a cleaning mechanism C2, and an ultrasonic cleaning mechanism C3, and each mechanism is disposed inside the stage body 60. Of the mechanisms, the ultrasonic cleaning mechanism C3 is the ultrasonic cleaning mechanism described above.

吸引機構Ｃ１は、インクジェットヘッド２５に液膜となって付着しているインクを非接触で吸引除去する機構である。図８及び図９に示すように、吸引機構Ｃ１は、主に吸引ブロック６１からなり、吸引ブロック６１にスリット６２を形成している。また、吸引ブロック６１は連結部材６３に接続されており、連結部材６３にはスライダ６４を取り付けている。ステージ本体６０の外壁にはガイドレール６５を設けてあり、スライダ６４はガイドレール６５に沿って移動可能なように構成している。また、スライダ６４を移動させるための送りねじ手段６６を設けている。ガイドレール６５は、図中のＸ方向に平行に設けているため、送りねじ手段６６によりスライダ６４がガイドレール６５を移動することにより、吸引ブロック６１はＸ方向に移動する。また、吸引ブロック６１はＸ方向に移動するため、超音波洗浄機構Ｃ３の超音波伝達槽５０や洗浄液槽４０等と干渉しないように、ステージ本体６０よりも若干高い位置に吸引ブロック６１を配置する。 The suction mechanism C 1 is a mechanism that suctions and removes ink adhering to the inkjet head 25 as a liquid film in a non-contact manner. As shown in FIGS. 8 and 9, the suction mechanism C 1 mainly includes a suction block 61, and a slit 62 is formed in the suction block 61. The suction block 61 is connected to a connecting member 63, and a slider 64 is attached to the connecting member 63. A guide rail 65 is provided on the outer wall of the stage main body 60, and the slider 64 is configured to be movable along the guide rail 65. Further, feed screw means 66 for moving the slider 64 is provided. Since the guide rail 65 is provided parallel to the X direction in the figure, the suction block 61 moves in the X direction when the slider 64 moves along the guide rail 65 by the feed screw means 66. Further, since the suction block 61 moves in the X direction, the suction block 61 is disposed at a position slightly higher than the stage main body 60 so as not to interfere with the ultrasonic transmission tank 50 and the cleaning liquid tank 40 of the ultrasonic cleaning mechanism C3. .

洗浄機構Ｃ２は、主に概略矩形の洗浄ブロック７１からなり、洗浄ブロック７１には所定深さの溝７２が形成されている。洗浄ブロック７１の上面には側壁部としての所定高さを有するＯリング７３を設けており、溝７２を囲むようにＯリング７３を配置している。溝７２の底面には複数箇所に吸引孔７４を設けており、溝７２の側面には液供給孔７５を設けている。また、液供給孔７５には液供給配管７６が接続され、液供給配管７６を適宜の液供給機構に接続する。 The cleaning mechanism C2 mainly includes a substantially rectangular cleaning block 71, and a groove 72 having a predetermined depth is formed in the cleaning block 71. An O-ring 73 having a predetermined height as a side wall is provided on the upper surface of the cleaning block 71, and the O-ring 73 is disposed so as to surround the groove 72. Suction holes 74 are provided at a plurality of locations on the bottom surface of the groove 72, and liquid supply holes 75 are provided on the side surface of the groove 72. A liquid supply pipe 76 is connected to the liquid supply hole 75, and the liquid supply pipe 76 is connected to an appropriate liquid supply mechanism.

インクジェットヘッド２５のクリーニングを行なうときには、インクジェットヘッド２５の状態に応じて、吸引機構Ｃ１と洗浄機構Ｃ２と超音波洗浄機構Ｃ３とのうち、何れの機構によりクリーニングを行なうかの選択をする。図８及び図９に示しているように、洗浄機構Ｃ２と超音波洗浄機構Ｃ３とはＹ方向に隣接した位置に設け、また超音波洗浄機構Ｃ３と吸引機構Ｃ１とはＹ方向においてほぼ同じ位置に設けてある。従って、何れの機構によるクリーニングを行なうのであっても、インクジェット機構２４をクリーニングステージ１２にまで移動させたときに、Ｙ方向における移動量を若干変えるだけで、任意の機構によるクリーニングを行なうような位置に配置することができる。これらの移動制御は、制御装置Ｍ１が行なう。 When cleaning the ink-jet head 25, it is selected according to the state of the ink-jet head 25 which of the suction mechanism C1, the cleaning mechanism C2, and the ultrasonic cleaning mechanism C3 is used for cleaning. As shown in FIGS. 8 and 9, the cleaning mechanism C2 and the ultrasonic cleaning mechanism C3 are provided at positions adjacent to each other in the Y direction, and the ultrasonic cleaning mechanism C3 and the suction mechanism C1 are substantially the same positions in the Y direction. Is provided. Therefore, no matter which mechanism is used for cleaning, when the ink jet mechanism 24 is moved to the cleaning stage 12, the position at which the cleaning is performed by an arbitrary mechanism is performed only by slightly changing the amount of movement in the Y direction. Can be arranged. These movement controls are performed by the control device M1.

まず、インクジェットヘッド２５に液膜が付着している程度であれば、吸引機構Ｃ１により液膜除去のクリーニングを行うようにする。この場合には、インク散布ステージ１１からクリーニングステージ１２の吸引機構Ｃ１の上部位置、つまり吸引ブロック６１の上部位置にインクジェットヘッド２５を移動させる。そして、ヘッド回転機構２８により向きを９０度変えた後に、吸引ブロック６１との間に僅かに隙間を設ける程度にまで、ヘッド上下機構２７によりインクジェットヘッド２５を下降させる。そして、スリット６２から吸引力を作用させながら、吸引ブロック６１をＸ方向に移動させる。インクジェットヘッド２５のうち特に液膜が付着するのはノズル３０近傍であり、吸引ブロック６１をスライドさせながら吸引すると、ノズル３０の内側に付着した液膜まで除去できるため、効果的に液膜の除去を行うことができる。 First, if the liquid film adheres to the inkjet head 25, the liquid film removal is cleaned by the suction mechanism C1. In this case, the ink jet head 25 is moved from the ink spraying stage 11 to the upper position of the suction mechanism C1 of the cleaning stage 12, that is, the upper position of the suction block 61. Then, after changing the direction by 90 degrees by the head rotating mechanism 28, the ink jet head 25 is lowered by the head up-and-down mechanism 27 to such an extent that a slight gap is provided between the head block 61 and the suction block 61. Then, the suction block 61 is moved in the X direction while applying a suction force from the slit 62. Of the inkjet head 25, the liquid film adheres particularly in the vicinity of the nozzle 30, and when the suction block 61 is slid while being sucked, even the liquid film adhered to the inside of the nozzle 30 can be removed, so that the liquid film is effectively removed. It can be performed.

また、洗浄機構Ｃ２や超音波洗浄機構Ｃ３によるクリーニングは、固化汚れに洗浄液を供給して行うため、クリーニング完了後にはインクジェットヘッド２５に洗浄液が付着する。そこで、洗浄液を供給するクリーニングを行った後に、吸引機構Ｃ１によりインクジェットヘッド２５に付着した洗浄液を吸引除去するようにすれば、よりクリーニング効果を高めることができるようになる。 Further, the cleaning by the cleaning mechanism C2 and the ultrasonic cleaning mechanism C3 is performed by supplying the cleaning liquid to the solidified dirt, so that the cleaning liquid adheres to the inkjet head 25 after the cleaning is completed. Therefore, the cleaning effect can be further enhanced if the cleaning liquid adhering to the ink jet head 25 is removed by suction by the suction mechanism C1 after cleaning for supplying the cleaning liquid is performed.

次に、インクジェットヘッド２５にある程度の大きさの固化汚れが固着している場合、例えば、インクの不吐出や急激な飛散方向の変化を起こさないが、基板１上のインクの着弾位置にずれを生じさせるような固化汚れが固着している場合には、洗浄機構Ｃ２により洗浄を行う。まず、インク散布ステージ１１からクリーニングステージ１２の洗浄機構Ｃ２の上部位置、つまり溝７２の上部位置にまでインクジェットヘッド２５を移動させ、ヘッド回転機構２８により９０度向きを変えた後に、Ｏリング７３との間に僅かに隙間を設ける程度にまで、ヘッド上下機構２７によりインクジェットヘッド２５を下降させる。 Next, when solidified dirt of a certain size adheres to the inkjet head 25, for example, no ink ejection or a sudden change in the scattering direction occurs, but the ink landing position on the substrate 1 is shifted. When solidified dirt that may be generated is fixed, cleaning is performed by the cleaning mechanism C2. First, after the inkjet head 25 is moved from the ink spraying stage 11 to the upper position of the cleaning mechanism C2 of the cleaning stage 12, that is, the upper position of the groove 72, the head rotating mechanism 28 changes the direction by 90 degrees, The ink jet head 25 is lowered by the head up-and-down mechanism 27 to such an extent that a slight gap is provided therebetween.

そして、液供給孔７５から洗浄液（洗浄液槽４０に充填される洗浄液４１と同じ）を大量に供給して、溝７２から溢れ出した洗浄液がインクジェットヘッド２５に固着した固化汚れを溶解することにより、固化汚れの洗浄を行う。つまり、吸引機構Ｃ１とは異なり、洗浄機構Ｃ２では、洗浄液の分解力により固化汚れを洗い流すクリーニングを行う。このとき、インクジェット機構２４に備えられる揺動機構２９によりインクジェットヘッド２５を揺動させながら洗浄を行えば、固化汚れに衝撃力を作用させることができ、効果的に洗浄を行うことができるようになる。 Then, a large amount of cleaning liquid (same as the cleaning liquid 41 filled in the cleaning liquid tank 40) is supplied from the liquid supply hole 75, and the cleaning liquid overflowing from the groove 72 dissolves the solidified dirt fixed to the inkjet head 25. Wash the solidified dirt. That is, unlike the suction mechanism C1, the cleaning mechanism C2 performs cleaning to wash away the solidified dirt by the decomposition force of the cleaning liquid. At this time, if cleaning is performed while the inkjet head 25 is swung by the swing mechanism 29 provided in the inkjet mechanism 24, an impact force can be applied to the solidified dirt so that cleaning can be performed effectively. Become.

また、ヘッド上下機構２７によりインクジェットヘッド２５をＯリング７３に当接する位置にまで下降させることにより、溝７２とＯリング７３とインクジェットヘッド２５とにより、密閉空間が形成される。そして、吸引孔７４から吸引を行なって負圧吸引力を発生させると共に、インクジェットヘッド２５の各ノズル３０からインクを吐出することにより、固化汚れに対して吐出するインクによる溶解力を作用させて、負圧吸引力により剥離力を作用させる。これにより、固化汚れの洗浄を行うこともできる。 Further, by lowering the inkjet head 25 to a position where it abuts on the O-ring 73 by the head up-and-down mechanism 27, a sealed space is formed by the groove 72, the O-ring 73 and the inkjet head 25. Then, suction is performed from the suction hole 74 to generate a negative pressure suction force, and by discharging ink from each nozzle 30 of the inkjet head 25, the dissolving force by the discharged ink is applied to the solidified dirt, A peeling force is applied by a negative pressure suction force. Thereby, the solidified dirt can be washed.

また、液供給孔７５から洗浄液を供給して溝７２に溜めておく。そして、Ｏリング７３にインクジェットヘッド２５を当接させて密閉空間を形成した後に、インクジェットヘッド２５の各ノズル３０から吸引力を作用させる。そうすると、密閉空間には負圧吸引力が発生し、溝７２に溜まっていた洗浄液は各ノズル３０に吸い込まれ、インクジェットヘッド２５に固着した固化汚れに洗浄液が供給されて溶解力を作用し、同時に負圧吸引力により剥離力が作用する。これにより、固化汚れの洗浄を行うことができる。 Further, the cleaning liquid is supplied from the liquid supply hole 75 and stored in the groove 72. Then, after the inkjet head 25 is brought into contact with the O-ring 73 to form a sealed space, a suction force is applied from each nozzle 30 of the inkjet head 25. Then, a negative pressure suction force is generated in the sealed space, and the cleaning liquid accumulated in the groove 72 is sucked into each nozzle 30, and the cleaning liquid is supplied to the solidified dirt fixed to the inkjet head 25 to act on the dissolving force. The peeling force acts by the negative pressure suction force. Thereby, the solidified dirt can be washed.

また、単にインクジェットヘッド２５からインクを吐出するだけでも、インクジェットヘッド２５に固着した固化汚れに対して溶解力を作用させて、また剥離力を作用させる洗浄を行うことができるようになる。つまり、洗浄機構Ｃ２によるクリーニングは、インクジェットヘッド２５に固着した固化汚れに対して、インクや洗浄液（スペーサビーズが混在されていないインク）を供給することにより、固化汚れを溶解させて、同時にエネルギーを与えることにより、洗い流すクリーニングになる。 In addition, by simply ejecting ink from the inkjet head 25, it is possible to perform cleaning that causes a dissolving force to act on the solidified dirt adhered to the inkjet head 25 and a peeling force. In other words, the cleaning by the cleaning mechanism C2 supplies the ink and a cleaning liquid (ink not containing spacer beads) to the solidified dirt fixed to the ink jet head 25, thereby dissolving the solidified dirt and simultaneously supplying energy. By giving, it becomes a cleaning to wash away.

吸引機構Ｃ１と洗浄機構Ｃ２とにより定期的にクリーニングしていれば、インクジェットヘッド２５をある程度良好な状態に維持することができる。ただし、洗浄機構Ｃ２によるクリーニングでは洗い流せないほど強い密着力で固化汚れがインクジェットヘッド２５に固着している場合には、超音波洗浄機構Ｃ３によるクリーニングを行うようにする。 If the cleaning is periodically performed by the suction mechanism C1 and the cleaning mechanism C2, the ink jet head 25 can be maintained in a good state to some extent. However, when the solidified dirt adheres to the inkjet head 25 with such a strong adhesion that cannot be washed away by the cleaning mechanism C2, cleaning is performed by the ultrasonic cleaning mechanism C3.

吸引機構Ｃ１は、単に吸引力を作用させながら吸引ブロック６１を移動するだけであるため、最も短時間且つ簡単にクリーニングを完了することができるが、固化汚れのクリーニングには適していない。洗浄機構Ｃ２は、洗浄液を供給しながらエネルギーを与えることにより、固化汚れを洗い流すことができるが、吸引機構Ｃ１によるクリーニングよりは時間を要し、また固化汚れの密着強度によっては除去できない場合がある。超音波洗浄機構Ｃ３は、インクジェットヘッド２５を洗浄液槽４０に浸漬させているため、固化汚れに対して溶解力を作用させることができ、さらに超音波のキャビテーション効果による強力な衝撃力により剥離力を作用させることができるため、最も高いクリーニング効果を発揮する。ただし、固化汚れを確実に剥離させるために、吸引機構Ｃ１や洗浄機構Ｃ２と比べて、クリーニングに要する時間が長くなる。 Since the suction mechanism C1 simply moves the suction block 61 while applying a suction force, cleaning can be completed in the shortest time and easily, but it is not suitable for cleaning solidified dirt. The cleaning mechanism C2 can wash the solidified dirt by supplying energy while supplying the cleaning liquid, but it takes more time than cleaning by the suction mechanism C1, and may not be removed depending on the adhesion strength of the solidified dirt. . Since the ultrasonic cleaning mechanism C3 has the inkjet head 25 immersed in the cleaning liquid tank 40, the ultrasonic cleaning mechanism C3 can apply a dissolving force to the solidified dirt, and can further exert a peeling force by a strong impact force due to an ultrasonic cavitation effect. Since it can be made to act, the highest cleaning effect is exhibited. However, the time required for cleaning is longer than that of the suction mechanism C1 and the cleaning mechanism C2 in order to surely remove the solidified dirt.

つまり、吸引機構Ｃ１と洗浄機構Ｃ２と超音波洗浄機構Ｃ３とでは、それぞれクリーニングの度合いが、軽度と中度と強度とに分類することができ、インクジェットヘッド２５の汚れの度合いによって適宜の洗浄機構を選択することができる。そして、全ての機構において、インクジェットヘッド２５はインク散布装置１０から取り外すことなく行なわれるため、インクジェットヘッド２５の状態に応じて適切な洗浄を行うことができ、同時に生産効率を向上させることができるようになる。 That is, in the suction mechanism C1, the cleaning mechanism C2, and the ultrasonic cleaning mechanism C3, the degree of cleaning can be classified into light, medium, and strength, respectively. Can be selected. And in all the mechanisms, since the inkjet head 25 is performed without removing it from the ink spraying device 10, it is possible to perform appropriate cleaning according to the state of the inkjet head 25 and at the same time improve the production efficiency. become.

スペーサが散布される基板の構成説明図である。It is structure explanatory drawing of the board | substrate with which a spacer is spread | dispersed. インク散布ステージの全体構成を示す外観図である。It is an external view which shows the whole structure of an ink dispersion | distribution stage. インクジェットヘッドの先端部を示す構成説明図である。It is a structure explanatory view showing the tip part of an ink jet head. インクジェットヘッドを構成するノズルの断面図である。It is sectional drawing of the nozzle which comprises an inkjet head. 外槽および洗浄槽の横断面図である。It is a cross-sectional view of an outer tank and a washing tank. 外槽および洗浄槽の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of an outer tank and a washing tank. 外槽および洗浄槽の上面図である。It is a top view of an outer tank and a washing tank. クリーニングユニットの外観図である。It is an external view of a cleaning unit. クリーニングユニットの上面図である。It is a top view of a cleaning unit.

Explanation of symbols

１基板１０インク散布装置
１１インク散布ステージ１２クリーニングステージ
２４インクジェット機構２５インクジェットヘッド
３５超音波洗浄槽４０洗浄液槽
４１洗浄液４２洗浄液排出口
４３洗浄液供給口５０超音波伝達槽
５１純水５２超音波固定子
５６液面検出槽 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate 10 Ink spreading apparatus 11 Ink spreading stage 12 Cleaning stage 24 Inkjet mechanism 25 Inkjet head 35 Ultrasonic cleaning tank 40 Cleaning liquid tank 41 Cleaning liquid 42 Cleaning liquid discharge port 43 Cleaning liquid supply port 50 Ultrasonic transmission tank 51 Pure water 52 Ultrasonic stator 56 Liquid level detection tank

Claims

A spraying stage for spraying the suspension on the substrate by a spray head provided with spray ports arranged in a row to spray the suspension downward;
A maintenance stage provided with an ultrasonic cleaning tank comprising a cleaning liquid tank filled with a cleaning liquid for cleaning the ejection head, and an ultrasonic oscillation means for emitting ultrasonic waves to the cleaning liquid;
A suspension spraying device characterized by comprising:

The ultrasonic cleaning tank of the maintenance stage is two-staged with the cleaning liquid tank and an ultrasonic transmission tank filled with an ultrasonic transmission medium for transmitting the ultrasonic waves and provided with the ultrasonic oscillation means inside. Of tanks,
The suspension spraying device according to claim 1, wherein the cleaning liquid tank is provided at a liquid level position of the ultrasonic transmission medium inside the ultrasonic cleaning tank.

The suspension spraying apparatus according to claim 1, further comprising a head moving unit that reciprocally moves between the spraying stage and the maintenance stage and to which the ejection head is attached.

3. The suspension according to claim 1, wherein the cleaning liquid tank includes a cleaning liquid discharging means for discharging the cleaning liquid filled in the cleaning liquid tank and a cleaning liquid supply means for newly supplying the cleaning liquid. Suspension spray device.

In the ultrasonic cleaning tank,
Liquid level detection means for detecting the height of the liquid level of the ultrasonic transmission medium;
An ultrasonic transmission medium discharging means for discharging the ultrasonic transmission medium when the liquid level detection means exceeds a set upper limit position;
An ultrasonic transmission medium supply means for supplying the ultrasonic transmission medium when the liquid level detection means falls below a set lower limit position;
The suspension spraying device according to claim 2, wherein the suspension spraying device is provided.

An apparatus for manufacturing a flat panel display, comprising the suspension spraying device according to any one of claims 1 to 5.

A flat panel display manufactured by the flat panel display manufacturing apparatus according to claim 6.

An apparatus for manufacturing a solar cell, comprising the suspension spraying device according to any one of claims 1 to 5.

The solar cell manufactured with the manufacturing apparatus of the solar cell of Claim 8.