JP2009210363A

JP2009210363A - 検査装置

Info

Publication number: JP2009210363A
Application number: JP2008052759A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Kobayashi; 茂樹小林
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2008-03-04
Filing date: 2008-03-04
Publication date: 2009-09-17

Abstract

【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において陰面（オクルージョン）のない３次元画像の獲得を低コストで実現する。
【解決手段】基板面の上方において第１ミラーおよび第２ミラーが基板の同一ラインを左右方向から斜めの視軸で見下ろし、第３ミラーが両ミラーからの反射光束を１次元イメージセンサカメラの電子スキャンと同期して交番的に１次元イメージセンサカメラに入射する両眼視システムと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源によって３次元撮像幾何光学配置を構成することにより、陰面（オクルージョン）のないクリームはんだ印刷品質の自動的な３次元画像検査を低コストでできるようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、エレクトロニクス工場等において、イメージセンサカメラによりクリームはんだ印刷基板を３次元撮像して外観検査を行う検査装置に関する。

最近のプリント基板への部品組みつけ工法はほぼ表面実装方式になり、素基板にクリームはんだを謄写版式に印刷塗布し、その上に部品を自動マウントし、クリームはんだをリフロー炉で加熱溶融して、基板への部品のはんだ付を完了する。この方式における部品実装不良は、クリームはんだ印刷工程、部品マウント工程、はんだ溶融工程で発生し得るので、それぞれの工程において品質を検査・確認する必要性が一般的に認識されるようになった。
中でもクリームはんだ印刷工程における印刷不良は、重篤なはんだ付不良の原因になるため、検査装置によるはんだ印刷品質の自動検査が必須になってきている。従来のこの種検査装置は、大別、２次元検出方式と３次元計測方式とがあり、前者は基板に対して垂直方向から撮った平面画像で印刷の平面方向の不良を検出する。また後者は３次元計測により、印刷はんだの高さ計測を行う。
３次元計測法は、はんだに斜め方向からレーザ光を投射して高さによる反射スポットの位置変化量から算出する方法や、既知のパタンを持つ構造光を投光して、その変形分から算出する方法などが開示されている（特許文献１、２参照）。
特開２０００−０９７６３１特開２００５−３３７９４３

一方、本出願人は、先に２台の傾斜カメラと角度と色相の異なる３種の光源を備えたクリームはんだ３次元検査技術を考案し、出願している（未公開）。この技術は、基板に対して斜め撮像角度の左右２台の１次元カラーイメージセンサが、それぞれカメラよりも低い位置の光源と真上方向の光源の計３光源がそれぞれの色相光で照明する基板を撮像して、３種の色相光で同時に三重照明されたクリームはんだ印刷基板の全面３次元画像を獲得し、基準基板画像と検体基板画像の差画像処理によって異常箇所を検出し、かつ異常箇所についてクリームはんだの３次元画像計測を行うものである。

この技術は、２台のカメラで左右両方向から基板を斜めに撮像するので、オクルージョンのない３次元画像計測及び３次元画像検査を可能にしたものであるが、２台のカメラと２台のカメラが獲得した基板全面のカラー画像データの保存のための大きなメモリを必要とするため、検査装置のコストが高価になるという問題があった。

解決しようとする問題点は、オクルージョンのない３次元検査装置において、高コストの問題を解決できなかった点である。

本発明の検査装置は、水平な基板面上の一定ラインを斜めに見るように、鏡面を斜め角度に設置した第１ミラーと、第１ミラーに対向して同じラインを見るように第１ミラーと絶対値が同じて符合が異なる角度に設置した第２ミラーと、両ミラーからの光束を一定周波数で交番的に切換えて１次元カラーイメージセンサカメラに伝える第３ミラーと、第３ミラーからの光束を受けて基板の２視方向３次元画像を獲得する１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を保持して１次元カラーイメージセンサと直角の方向に移動する移動テーブルとを備えた撮像手段と、基板をほぼ真上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源とを備え、３光源によって基板を三重に照明する照明手段と、基板を移動して獲得したカラー画像信号を保存し、第１ミラーに対応するカラー画像信号と第２ミラーに対応するカラー画像信号を分離集成して第１ミラー画像信号と第２ミラー画信号とを出力する画像信号分離手段と、獲得した第１ミラー画像と第２ミラー画像を用いて基板上の物体の３次元画像計測を行う３次元計測手段と、３次元画像計測データを用いて物体の良否判定を行う判定手段とより成ることを特徴とする。
また本発明の検査装置は、水平な基板からの光束が斜めに入射するように鏡面を基板に対して斜め角度に設置した第１ミラーと、ミラー挿入装置によって第１ミラーの光路に挿入されて基板からの光束を第１ミラーへ向けて反射する第２ミラーと、基板の往移動タイミングに合せて第１ミラーのみを介した基板からの光束を受け、また基板の復移動タイミングに合せて光路に挿入された第２ミラーと第１ミラーとを介した光束を受けることにより、基板を前後２視方向から３次元撮像する１次元カラーイメージセンサカメラとを備えた撮像手段と、基板をほぼ真上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源とを備え、３光源によって基板を三重に照明する照明手段と、獲得した第１ミラー画像と第２ミラー画像を用いて基板上の物体の３次元画像計測を行う３次元計測手段と、３次元画像計測データを用いて物体の良否判定を行う判定手段とより成ることを特徴とする。

本発明の検査装置は、１台のイメージセンサカメラで前後両方向から基板を斜めに撮像し、かつ３基の色相別カラー光源で基板上の物体の上面、手前側面、反対側面をそれぞれの色相に着色照明するので、オクルージョンのないクリームはんだの検査および計測が低コストで実現するという利点がある。

オクルージョンのない基板上物体の検査および計測が容易な３次元検査装置を低コストで実現するという目的を、１台のイメージセンサカメラで前後両方向から基板を斜めに撮像し、かつ３基の色相別カラー光源で物体の上面、手前側面、反対側面をそれぞれの色相に着色照明することによって達成した。

図１は、本発明検査装置の第１実施例の全体構成図であって、基板１上にはクリームはんだ２が印刷され、基板１は１次元テーブル３に水平姿勢で保持されている。

基板１の上方には、１次元カラーイメージセンサカメラ４と照明装置の第１色相光源５−１と第２色相光源５−２と第３色相光源５−３が配置されている。又、第１ミラー６−１、第２ミラー６−２、第３ミラー６−３、及びテレセントリックレンズ６−４が配置されている。

１次元カラーイメージセンサカメラ４は、光学系６を介して基板画像を撮像する。光学系６は表面鏡及びレンズより成り、第１ミラー６−１と第２ミラー６−２と第３ミラー６−３とテレセントリックレンズ６−４から構成されている。第１ミラー６−１と第２ミラー６−２は対向し、垂直軸に対して符合が異なるが絶対値が同じ角度で傾斜して基板面からの光束を反射し、第３ミラーに入射する。第３ミラーは振動鏡であってカメラ４のラインセンサ電子スキャンに同期して、反射面を第１ミラーあるいは第２ミラーに向け、それらのミラーから交互に入射した基板からの光束をテレセントリックレンズ６−４を介してカメラ４に向けて反射する。

１次元カラーイメージセンサカメラ４が３カラーラインＣＣＤ方式である場合を例にとって以下説明する。（３板ＣＣＤ方式であっても本質的な機能は同様であるからこれを割愛する。）図２は、カメラ４の電子スキャンと第３ミラーを介して得られる第１ミラー、第２ミラー各光束との関係を説明する図である。３カラーライン方式は、Ｒ、Ｇ、Ｂ専用のＣＣＤを平行に配置し、それぞれの電子スキャンによって得られるＲ信号、Ｇ信号、Ｂ信号を合成して、カラー画像信号を生成する。３カラーラインＣＣＤ方式カメラは通常、このＲ、Ｇ、Ｂスキャンと信号合成を繰返して、１枚の画像としている。
本発明は、第３ミラーの交番的振動によって、まず第１ミラーからの光束に対応するＲ、Ｇ、Ｂライン信号を獲得し、次に第２ミラーからの光束に対応するＲ、Ｇ、Ｂライン信号を獲得する。この過程を繰返して、第１ミラー対応画像信号と第２ミラー対応画像信号とが交互に混合した重複画像信号を獲得し、保存する。
その後、保存した重複画像を第１ミラー対応画像と第２ミラー対応画像に分離集成する。これは、スキャンのフラグによって容易に行うことができる。図１において、基板１を左方向に移動して撮像するので、第１ミラーは基板光束を基板の進行方向つまり前方からから受け、第２ミラーは基板光束を基板の進行方向に対して後方から受ける。
基板１の移動速度と１次元カラーイメージセンサカメラ４のＣＣＤ素子電子スキャンレートは、基板１の相対的移動速度を通常の１／２にしている。これは、基板の１走査によって前後２枚の画像を獲得するためである。したがって獲得された画像データ量は、通常走査の場合の２倍になっている。
本発明によれば、このようにして１台の１次元カラーイメージセンサカメラ４に対して対象を１回相対移動することによって、基板１とクリームはんだ２の左右方向（あるいは前後方向）の２枚の斜め視軸による３Ｄ画像が得られる。

次に、照明について説明する。第１色相光源５−１は第１ミラー６−１よりも低い位置で第１ミラーと同じ方向から基板を照明し、第２色相光源５−２は第２ミラー６−２よりも低い位置で第２ミラーと同じ方向から基板を照明し、第３色相光源５−３は基板を直上方向から照明している。
図３（Ａ）の光学配置模式図に示すように、照明・撮像系の構成は、下記のようになっている：
第１色相光源５−１は、第１ミラー６−１よりも下方に設置され、第１色相光例えば赤色の光束を基板に投射することによって、クリームはんだの側面を赤色に着色する。
第２色相光源５−２は、第２ミラー６−２よりも下方に設置され、第２色相光例えば緑色の光束を基板に投射することによって、クリームはんだの側面を緑色に着色する。
第３色相光源５−３は、カメラ視野直上に設置され、第３色相光例えば青色の光束を基板に投射することによって、クリームはんだの上面を青色に着色する。

この幾何光学配置で、第１色相光源５−１と第３色相光源５−３の間に設置された斜め姿勢の第１ミラー６−１から基板光束が１次元カラーイメージセンサカメラ４に入射してこれを撮像すると、図２（Ｂ）の画像模式図に示すように、クリームはんだの３次元画像が得られ、しかもはんだの上面は青色画像領域となり、また側面は赤色画像領域となる。
赤色領域の奥行き（図２（Ｂ）長方形領域の横幅に相当）はクリームはんだの側面画像の奥行きであるので、クリームはんだの高さに比例し、青色領域はクリームはんだの上面画像であるので、クリームはんだの面積に比例する。

又この幾何光学配置で、第２色相光源５−２と第３色相光源５−３の間に設置された斜め姿勢の第２ミラー６−２から基板光束が１次元カラーイメージセンサカメラ４に入射してこれを撮像すると、図２（Ｂ）の画像模式図に示すように、クリームはんだの３次元画像が得られ、しかもはんだの上面は青色画像領域となり、また側面は緑色画像領域となる。
緑色領域の奥行き（図２（Ｂ）長方形領域の横幅に相当）はクリームはんだの側面画像の奥行きであるので、クリームはんだの高さに比例し、青色領域はクリームはんだの上面画像であるので、クリームはんだの面積に比例する。

上記の画像は、１次元イメージセンサカメラが視野全体を一定傾斜角で獲得するので、画像の奥行き（図２（Ｂ）長方形領域の横幅）と基板実寸との関係が画像のどこでも一定である。更に、テレセントリックレンズ６−４によって長方形領域の縦幅と基板上の実寸とは画像のどこでも一定である。従って、カメラの傾斜角から、三角法によって実寸を容易に算出することができる。又、２台のミラーで両方向から立体物である印刷されたクリームはんだの画像を撮るので、オクルージョンのない画像計測が可能である。

クリームはんだのはみ出しやブリッジは、いずれのカメラの画像においても青色領域の広がり異常として検出される。

図１の全体構成図において、１次元カラーイメージセンサカメラ４は、制御装置７に接続され、制御装置７は、１次元センサ撮像ユニット８、前後画像分離集成ユニット９、３次元画像抽出ユニット１０、３次元画像計測ユニット１１、良否判定ユニット１２、及びシステム全体を制御する統合システム制御ユニット１３を有し、各ユニット８乃至１３は、バス１８を通じてデータの交換を行う。

又、制御装置７には、教示データ等の入力を行う入力ユニット１４と、検査結果等を印字する出力ユニット１５と、外部装置との間でデータ送受を行う通信ユニット１６と、画像や検査結果等を表示する表示ユニット１７が接続されている。

次に、図４（Ａ）のフロー図に従って、この実施例検査装置の教示ステップを説明する。まずクリームはんだが正しく印刷された基準基板１（図１）をテーブルに装填し（ＳＴ１）、基板のＩＤデータを教示し（ＳＴ２）、更に検査領域を教示する（ＳＴ３）。検査領域はクリームはんだが印刷される場所（パッドと称する）を中心として設定される。この教示には、基板のコンピュータ設計データを利用することができる。その後、基準基板を１次元テーブル３で移動して１次元カラーイメージセンサカメラ４でスキャン撮像する（ＳＴ４）。獲得した基準基板の３次元全面画像を第１ミラー６−１を介して得られた前画像と第２ミラーを介して得られた後画像とに分離集成し、両画像をそれぞれ対応する表示ユニット１７に表示する（ＳＴ５）。次に、ＳＴ３で教示した検査領域を画像上に重畳表示して、画像と検査領域との対応を確認する（ＳＴ６）。

教示ステップが完了したら、基準基板を除去する（ＳＴ７）。

次に、この実施例における自動検査の動作を、図４（Ｂ）のフロー図に沿って説明する。
まず、図１において検体基板１を１次元テーブル３に装填し（ＳＴ１１）、検体基板のＩＤデータを入力するか又は読取ると（ＳＴ１２）、制御装置７の指令で検体基板１を１次元移動し、１次元センサ撮像ユニット８の制御によって１次元カラーイメージセンサカメラ４で検体基板１をスキャン撮像する（ＳＴ１３）。

そこで前後画像分離集成ユニット９が第１ミラー６−１を介して得られた前画像と第２ミラーを介して得られた後画像とに分離集成
する（ＳＴ１４）。次に３次元画像抽出ユニット１０が、前画像においては検査領域内画像から閾値を超える赤色画素と青色画素を抽出し、後画像においては検査領域内画像から閾値を超える緑色画素と青色画素を抽出する（ＳＴ１５）。３次元画像計測ユニット１１が、両画像の全検査領域について、クリームはんだの面積、高さ、体積を計測する（ＳＴ１６）（図２（Ｂ）参照）。

次に、良否判定ユニット１２が、両画像から得られた全検査領域の計測データを統合して、印刷されたクリームはんだの品質良否判定を行い（ＳＴ１７）、検査結果を報告したら（ＳＴ１８）、検体基板を除去する（ＳＴ１９）。

次に、本発明検査装置の第２実施例を説明する。図５は、本発明検査装置の第２実施例の全体構成図であって、基板１上にはクリームはんだ２が印刷され、基板１は１次元テーブル３に水平姿勢で保持されている。

基板１の上方には、１次元カラーイメージセンサカメラ４と照明装置の第１色相光源５−１と第２色相光源５−２と第３色相光源５−３が配置されている。又、第１ミラー６−１、第２ミラー６−２、及びテレセントリックレンズ６−３が配置されている。

１次元カラーイメージセンサカメラ４は、光学系６を介して基板画像を撮像する。光学系６は表面鏡及びレンズより成り、第１ミラー６−１と第２ミラー６−２とテレセントリックレンズ６−３から構成されている。第１ミラー６−１は基板面に対して斜め姿勢に設置され、基板からの斜めの光束を受けて水平設置のカメラ４へ向け反射する。この反射光束は、テレセントリックレンズ６−３を経由する。第２ミラー６−２は可動鏡であって、撮像のための１次元テーブル３による基板移動に同期して上下し、基板からの第１ミラー６−１への光路に出入することができる。撮像は、まず１次元テーブル３が基板１を図５の右から左へ移動させて行う（往移動）。このとき、第２ミラー６−２は光路から外され、カメラ４はクリームはんだの前方側面画像を撮像する。こうして基板全面の前視方向画像を獲得したら、次に１次元テーブル３が基板１を図５の左から右へ移動させる（復移動）。このとき、第２ミラー６−２は光路から挿入され、カメラ４はクリームはんだの後方側面画像を撮像する。即ち、基板全面の後視方向画像を獲得する。このようにして、１次元テーブル３の往復運動により、前方からの斜め視角による基板１の全面３Ｄ画像と後方からの斜め視角による基板１の全面３Ｄ画像が獲得される。なお、第２ミラーの光路への出し入れ機構は、上下運動方式ではなく、回転運動方式などでもよいことは言うまでもない。

この実施例検査装置の照明における光源配置とその作用は、実施例１と全く同様であるため、説明を省略する。

図５の全体構成図において、１次元カラーイメージセンサカメラ４は、制御装置７に接続され、制御装置７は、１次元センサ撮像ユニット８、前後画像位置補正ユニット９、３次元画像比較ユニット１０、３次元画像計測ユニット１１、良否判定ユニット１２、及びシステム全体を制御する統合システム制御ユニット１３を有し、各ユニット８乃至１３は、バス１８を通じてデータの交換を行う。

次に、図６（Ａ）のフロー図に従って、この実施例検査装置の教示ステップを説明する。まずクリームはんだが正しく印刷された基準基板１（図５）をテーブルに装填し（ＳＴ２１）、基板のＩＤデータを教示し（ＳＴ２２）、更に検査領域を教示する（ＳＴ２３）。検査領域はクリームはんだが印刷される場所（パッドと称する）を中心として設定される。この教示には、基板のコンピュータ設計データを利用することができる。その後、基準基板を１次元テーブル３で往復移動して１次元カラーイメージセンサカメラ４で往復スキャン撮像する（ＳＴ２４）。獲得した２枚の基準基板３次元全面画像を、それぞれ対応する表示ユニット１７に表示し、両画像中の特定箇所を補正マークとして設定する（ＳＴ２５）。この実施例検査装置では、カメラ４が基板から受ける光束の光路に第２ミラーが入った場合と出た場合では、カメラ４が写す基板上の位置が異なる。第１ミラー６−１からの光束が基板面との角度が４５°の場合、第２ミラー６−２表面の光束反射位置の基板面からの高さが例えば１０ミリであると、第２ミラー６−２が光路に挿入されたときには、カメラに映る基板上の位置は１０ミリ前方になり、第２ミラー６−２が光路から外れたときには、その位置が１０ミリ後方になる。従って理論上の位置補正は２０ミリとなり、更に基板チャッキング時のずれ補正は基板上の補正マークを使って行っている。
次に、ＳＴ２３で教示した検査領域を画像上に重畳表示して、画像と検査領域との対応を確認し（ＳＴ２６）、基準基板を除去する（ＳＴ２７）。

次に、テスト基板を装填し（ＳＴ２８）、１次元テーブル３で往復移動して１次元カラーイメージセンサカメラ４により往復スキャン撮像する（ＳＴ２９）。基準基板の３次元画像２枚とテスト基板の３次元画像２枚をそれぞれ表示ユニット１７に表示して、デフォルト画像精度とデフォルト検出感度の条件で両者の差画像処理を試行し、テスト基板上の不良を見逃すことがあれば、その検査領域の画像精度あるいは検出感度を上げ、また、過検出が多ければ、その検査領域のそれらを下げることにより、この基板に最適な画像精度と検出感度に調節する（ＳＴ３０）。
全検査領域の画像精度と検出感度の調節が終り、教示ステップが完了したら、テスト基板を除去する（ＳＴ３１）。

画像精度は、検査領域内の全画素を比較するか、間引いて行うか、選択できるようにしている。全画素を対象とすると、検査精度は当然アップするが、画像処理時間が長くなるので、基板の種類や不良の種類によって必要な画素密度を適用し、検査時間の短縮ができるようにしている。
また検査領域の検出感度は、差画像処理の閾値を上下させる差分感度と、閾値を超えた画素の広がりや移動の範囲を限定する感度とに大別される。異同画素の範囲を検出することによって、基板上に印刷されたクリームはんだの平面方向へのはみ出しや不足のみならず、高さの大小不良も検出できる。
基準基板と比較する基板の画像同士の差画像処理を行うと、例えば検体基板上のクリームはんだの高さが検体基板のそれよりも高い場合には、図３（Ｂ）下欄に示すように、差分画像が得られ、高さについての画像化検査が可能である。

次に、この実施例における自動検査の動作を、図６（Ｂ）のフロー図に沿って説明する。
まず、図５において検体基板１を１次元テーブル３に装填し（ＳＴ４１）、検体基板のＩＤデータを入力するか又は読取ると（ＳＴ４２）、制御装置７の指令で検体基板１を往復移動し、１次元センサ撮像ユニット８の制御によって１次元カラーイメージセンサカメラ４により検体基板１の全面を往復スキャン撮像する（ＳＴ４３）。

そこで３次元画像比較ユニット１０が、基準基板３次元画像と検体基板３次元画像の各検査領域について、差分画像処理を行い（ＳＴ４４）、教示した画像精度と検出感度に基づいて異同画素を検出する（ＳＴ４５）。

次に、良否判定ユニット１２が、両画像から得られた異同画素データを統合して、印刷されたクリームはんだの品質良否判定を行い（ＳＴ４６）、検査結果を報告したら（ＳＴ４７）、検体基板を除去する（ＳＴ４８）。

ミラー光学系によって基板面の同一ラインからの前後２個の斜め光束を１次元カラーイメージセンサカメラに入射する両眼視システムと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源によって３次元撮像幾何光学配置を構成し、クリームはんだ印刷品質の自動的な３次元画像検査を行う検査装置に適用できる。

検査装置の全体構成を示した説明図である。（実施例１）１次元イメージセンサカメラの重複画像信号とその分離集成を示した説明図である。（実施例１）検査装置における撮像の幾何光学配置と画像処理を説明する図である。（全実施例）検査装置における教示と自動検査の動作を示したフロー図である。（実施例１）検査装置の全体構成を示した説明図である。（実施例２）検査装置における教示と自動検査の動作を示したフロー図である。（実施例２）

符号の説明

１基板
２クリームはんだ
４１次元カラーイメージセンサカメラ
５照明装置
６光学系
７制御装置

Claims

水平な基板面上の一定ラインを斜めに見るように、鏡面を斜め角度に設置した第１ミラーと、第１ミラーに対向して同じラインを見るように第１ミラーと絶対値が同じて符合が異なる角度に設置した第２ミラーと、両ミラーからの光束を一定周波数で交番的に反射して１次元カラーイメージセンサカメラに伝える第３ミラーと、第３ミラーからの光束を受けて基板の２視方向３次元画像を獲得する１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を保持して１次元カラーイメージセンサと直角の方向に移動する移動テーブルとを備えた撮像手段と、
基板をほぼ真上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源とを備え、３光源によって基板を三重に照明する照明手段と、
基板を移動して獲得したカラー画像信号を保存し、第１ミラーに対応するカラー画像信号と第２ミラーに対応するカラー画像信号を分離集成して第１ミラー画像信号と第２ミラー画像信号とを出力する画像信号分離手段と、
獲得した第１ミラー画像と第２ミラー画像を用いて基板上の物体の３次元画像計測を行う３次元計測手段と、
３次元画像計測データを用いて物体の良否判定を行う判定手段と
より成る検査装置。
水平な基板からの光束が斜めに入射するように鏡面を基板に対して斜め角度に設置した第１ミラーと、ミラー挿入装置によって第１ミラーの光路に挿入されて基板からの光束を第１ミラーへ向けて反射する第２ミラーと、基板の往移動タイミングに合せて第１ミラーのみを介した基板からの光束を受け、また基板の復移動タイミングに合せて光路に挿入された第２ミラーと第１ミラーとを介した光束を受けることにより、基板を前後２視方向から３次元撮像する１次元カラーイメージセンサカメラとを備えた撮像手段と、
基板をほぼ真上方向から照明する第３色相光光源と、第１ミラーよりも低い位置にあって第１ミラーと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２ミラーよりも低い位置にあって第２ミラーと同じ方向から基板を照明する第２色相光源とを備え、３光源によって基板を三重に照明する照明手段と、
獲得した第１ミラー画像と第２ミラー画像を用いて基板上の物体の３次元画像計測を行う３次元計測手段と、
３次元画像計測データを用いて物体の良否判定を行う判定手段と
より成る検査装置。
前記撮像手段の光路系は、テレセントリックレンズを備えることを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の検査装置。