JP2009206448A - 面発光半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】面発光半導体レーザ100は、発振波長がλであり、活性層13の近傍にイオン注入型の電流狭窄層14を有する。上部ブラッグ反射鏡15には、円孔(空孔)が存在しない点欠陥を中央部に有する2次元円孔配列20が形成される。電流狭窄層14の電流開口の幅が、点欠陥に最も近接する円孔中心を結ぶ円の直径(D)以下であり、円の直径Dが10.6λ以下である。
【選択図】図1
Description
前記上部反射鏡構造には、空孔が存在しない点欠陥を中央部に有する2次元空孔配列が形成され、前記上部反射鏡構造及び前記下部反射鏡構造の少なくとも一方には、前記発光層の近傍に、中央部に電流開口を残し周囲にイオンが注入された電流狭窄層が形成されており、
前記電流開口の幅が、前記点欠陥に最も近接する空孔中心を結ぶ円の直径以下であり、かつ前記円の直径が10.6λ以下であることを特徴とする面発光半導体レーザ素子を提供する。
Z≦D
となるように円孔の配列及び電流開口の幅(大きさ)が決められている。円の直径Dは、2次元円孔配列の点欠陥の幅とも呼ぶ。円の直径Dは、発振波長をλとすると、D≦10.6λとする。好ましくは、円の直径Dの範囲として、
7λ≦D≦9.4λ
を採用する。
上記実施形態の面発光レーザとして、発振波長850nmの3つの面発光レーザを作製して、実施例のサンプルとした。実施例1のサンプルは、D=7μm、実施例2のサンプルは、D=8μm、実施例3のサンプルは、D=9μmとした。電流開口の幅(Z)は、いずれの実施例についても7μmとした。点欠陥の幅Dの値は、実施例1〜3についてそれぞれ、フォトニック結晶の三角格子配列された円孔の配列周期を3.5μm、4μm、4.5μmとすることにより実現した。これらDの値は、発振波長をλとすると、それぞれ、8.2λ、9.4λ、10.6λに相当する。また、比較例のサンプルとして、D=10μm(=11.8λ)、Z=10μmの素子を作製した。
11:基板
12:下部DBRミラー
13:活性層
14:電流狭窄層
15:上部DBRミラー
16:上部電極
17:下部電極
18:発光領域
20:2次元円孔配列
21:SiNx膜
22:レジストパターン
Claims (3)
- 基板上に形成された上部反射鏡構造及び下部反射鏡構造と、該上部反射鏡構造と下部反射鏡構造との間に配置された発光層とを備え、自由空間における発振波長がλの面発光半導体レーザ素子において、
前記上部反射鏡構造には、空孔が存在しない点欠陥を中央部に有する2次元空孔配列が形成され、前記上部反射鏡構造及び前記下部反射鏡構造の少なくとも一方には、前記発光層の近傍に、中央部に電流開口を残し周囲にイオンが注入された電流狭窄層が形成されており、
前記電流開口の幅が、前記点欠陥に最も近接する空孔中心を結ぶ円の直径以下であり、かつ前記円の直径が10.6λ以下であることを特徴とする面発光半導体レーザ素子。 - 前記円の直径が9.4λ以下であることを特徴とする、請求項1に記載の面発光半導体レーザ素子。
- 前記円の直径が7λ以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の面発光半導体レーザ素子。
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