JP2009182405A - Ccd solid-state imaging device and output signal correction method thereof - Google Patents

Ccd solid-state imaging device and output signal correction method thereof Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate image non-uniformity due to characteristic variations among a plurality of floating diffusion amplifiers in a CCD solid-state imaging device having a charge transfer line for output divided into a plurality of parts. <P>SOLUTION: The CCD solid-state imaging device is provided in which a light receiving surface for receiving incident light from a subject is divided into a plurality of regions and the charge transfer lines for output each of which includes a floating diffusion amplifier for each of the divided region are provided, and the CCD solid-state imaging device includes: a storage element 43 stored with correction values for correcting characteristic variations among the plurality of floating diffusion amplifiers 22a to 22n; and a correction means 42 which corrects an imaged image signal read out from each divided region and output from the amplifier 22i corresponding to the divided region, by the correction value. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はCCD型固体撮像素子及びその出力信号補正方法に係り、特に、出力用の電荷転送路を複数備えるCCD型固体撮像素子及びその出力信号補正方法に関する。   The present invention relates to a CCD solid-state imaging device and an output signal correction method thereof, and more particularly to a CCD solid-state imaging device including a plurality of output charge transfer paths and an output signal correction method thereof.

CCD型固体撮像素子は、出力用電荷転送路の転送速度がネックとなり、CMOS型固体撮像素子に比較して、撮像画像信号の高速読出の点で不利になっている。このため、近年の多画素化が進展したCCD型固体撮像素子では、出力用電荷転送路を複数に分割し、高速化に対処している。   The CCD solid-state imaging device is disadvantageous in terms of high-speed reading of a picked-up image signal as compared with a CMOS solid-state imaging device because the transfer speed of the output charge transfer path becomes a bottleneck. For this reason, in the CCD type solid-state image pickup device in which the recent increase in the number of pixels has progressed, the output charge transfer path is divided into a plurality of parts to cope with the increase in speed.

例えば、下記の特許文献1記載のCCD型固体撮像素子では、二次元アレイ状に形成された複数の画素を左半分の領域にある画素と右半分の領域にある画素とに分けると共に水平電荷転送路も左右に2分割し、左領域の画素が検出した信号は左側水平電荷転送路で出力し、右領域の画素が検出した信号は右側水平電荷転送路で出力し、信号出力速度を2倍にしている。   For example, in the CCD solid-state imaging device described in Patent Document 1 below, a plurality of pixels formed in a two-dimensional array are divided into a pixel in the left half region and a pixel in the right half region and horizontal charge transfer is performed. The road is also divided into left and right, the signal detected by the pixel in the left area is output on the left horizontal charge transfer path, the signal detected by the pixel in the right area is output on the right horizontal charge transfer path, and the signal output speed is doubled I have to.

特開2002―300477号公報JP 2002-300477 A

出力用電荷転送路を複数に分割し、出力を複数に分けることで、固体撮像素子からの信号読出速度は速くなる。このため、分割数を増やすほど高速化を図ることが可能となる。   By dividing the output charge transfer path into a plurality of parts and dividing the output into a plurality of parts, the signal reading speed from the solid-state imaging device is increased. For this reason, it is possible to increase the speed as the number of divisions is increased.

しかし、出力用電荷転送路の出力段にはフローティングディフュージョンアンプが設けられ、転送されてきた信号電荷の電荷量に応じた電圧値信号をこのアンプが撮像画像信号として出力する構成のため、出力用電荷転送路の分割数だけ設けられる複数のアンプの特性を一致させないと、アンプ毎にアンプ利得が異なり、画像にムラが生じてしまうという問題が生じる。   However, a floating diffusion amplifier is provided at the output stage of the output charge transfer path, and this amplifier outputs a voltage value signal corresponding to the charge amount of the transferred signal charge as a captured image signal. If the characteristics of a plurality of amplifiers provided for the number of divided charge transfer paths are not matched, there is a problem in that the amplifier gain differs for each amplifier and unevenness occurs in the image.

しかしながら、複数のアンプを、その特性が一致するように半導体基板上に製造することは極めて困難であり、出力用電荷転送路を複数に分割したCCD型固体撮像素子の製造歩留まりを低下させる一因になっている。   However, it is extremely difficult to manufacture a plurality of amplifiers on a semiconductor substrate so that their characteristics coincide with each other, and this is a cause of reducing the manufacturing yield of a CCD solid-state imaging device in which an output charge transfer path is divided into a plurality of parts. It has become.

本発明の目的は、出力用電荷転送路を複数に分割しても撮像画像に生じるムラを抑制することができるCCD型固体撮像素子とその出力信号補正方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a CCD type solid-state imaging device capable of suppressing unevenness in a captured image even when an output charge transfer path is divided into a plurality, and an output signal correction method thereof.

本発明のCCD型固体撮像素子は、被写体からの入射光を受光する受光面を複数領域に分割し、各分割領域毎にフローティングディフュージョンアンプを持つ出力用電荷転送路を備えるCCD型固体撮像素子において、複数の前記フローティングディフュージョンアンプの特性差を補正する補正値を格納した記憶素子と、各分割領域から読み出され該分割領域に対応する前記フローティングディフュージョンアンプから出力された撮像画像信号を前記補正値で補正する補正手段とを備えることを特徴とする。   The CCD solid-state image pickup device of the present invention is a CCD solid-state image pickup device that includes an output charge transfer path having a floating diffusion amplifier for each divided region, in which a light receiving surface that receives incident light from a subject is divided into a plurality of regions. A storage element storing a correction value for correcting a characteristic difference between the plurality of floating diffusion amplifiers, and a captured image signal read from each divided area and output from the floating diffusion amplifier corresponding to the divided area. And a correction means for correcting at.

本発明のCCD型固体撮像素子は、前記記憶素子が可変長の測定データを格納する容量を持っていることを特徴とする。   The CCD type solid-state imaging device of the present invention is characterized in that the storage device has a capacity for storing variable-length measurement data.

本発明のCCD型固体撮像素子の前記補正手段は、前記記憶素子に格納されている前記補正値を補間演算して求めた補正値で前記補正を行うことを特徴とする。   The correction unit of the CCD solid-state imaging device according to the present invention is characterized in that the correction is performed with a correction value obtained by performing an interpolation operation on the correction value stored in the storage element.

本発明のCCD型固体撮像素子の出力信号補正方法は、被写体からの入射光を受光する受光面を複数領域に分割し、各分割領域毎にフローティングディフュージョンアンプを持つ出力用電荷転送路を備えるCCD型固体撮像素子の出力信号補正方法において、複数の前記フローティングディフュージョンアンプの特性差を補正する補正値を記憶素子から読み出し、各分割領域から読み出され該分割領域に対応する前記フローティングディフュージョンアンプから出力された撮像画像信号を前記補正値で補正することを特徴とする。   An output signal correction method for a CCD type solid-state imaging device according to the present invention includes a CCD having an output charge transfer path that divides a light-receiving surface that receives incident light from a subject into a plurality of regions and has a floating diffusion amplifier in each divided region. In a method for correcting an output signal of a solid-state solid-state imaging device, a correction value for correcting a characteristic difference between the plurality of floating diffusion amplifiers is read from a storage element, read from each divided region, and output from the floating diffusion amplifier corresponding to the divided region The captured image signal thus corrected is corrected with the correction value.

本発明よれば、各アンプの特性差を補正するため、出力用の電荷転送路を複数に分割したCCD型固体撮像素子の製造歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the present invention, since the difference in characteristics of each amplifier is corrected, it is possible to improve the manufacturing yield of a CCD type solid-state imaging device in which an output charge transfer path is divided into a plurality.

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係るCCD型固体撮像素子1の構成図である。このCCD型固体撮像素子10は、撮像チップ20と、CDS/多重化回路チップ30と、出力回路チップ40とからなる。これら半導体チップ20,30,40は1つのパッケージ内に収納され、ワイヤボンディングで接続される。尚、回路チップ30,40を1チップ化しても良い。   FIG. 1 is a configuration diagram of a CCD solid-state imaging device 1 according to an embodiment of the present invention. The CCD solid-state imaging device 10 includes an imaging chip 20, a CDS / multiplexing circuit chip 30, and an output circuit chip 40. These semiconductor chips 20, 30, 40 are housed in one package and connected by wire bonding. The circuit chips 30 and 40 may be integrated into one chip.

撮像チップ20は、半導体基板表面に二次元アレイ状に形成された複数のフォトダイオード(PD)及び各フォトダイオード列に沿って形成された複数の垂直電荷転送路(VCCD)とを備える。本実施形態の撮像チップ20では、これらPD,VCCDを水平方向に短冊状にn個の画像領域20a,20b,…,20nに分割し、夫々の画像領域毎に、出力用電荷転送路である水平電荷転送路21a,21b,…,21nを設けている。   The imaging chip 20 includes a plurality of photodiodes (PD) formed in a two-dimensional array on the surface of a semiconductor substrate and a plurality of vertical charge transfer paths (VCCD) formed along each photodiode column. In the imaging chip 20 of this embodiment, these PDs and VCCDs are divided into n image areas 20a, 20b,..., 20n in a strip shape in the horizontal direction, and each image area is an output charge transfer path. Horizontal charge transfer paths 21a, 21b,..., 21n are provided.

このため、水平電荷転送路21a〜21nの出力端部の各々には、転送されてきた信号電荷量に応じた電圧値信号を撮像画像信号として出力するフローティングディフュージョンアンプ22a〜22nが設けられる。アンプ22aの出力をOSa、アンプ22bの出力をOSb、…、アンプ22nの出力をOSnとする。   Therefore, floating diffusion amplifiers 22a to 22n that output voltage value signals corresponding to the transferred signal charge amount as captured image signals are provided at the output ends of the horizontal charge transfer paths 21a to 21n. The output of the amplifier 22a is OSa, the output of the amplifier 22b is OSb,..., And the output of the amplifier 22n is OSn.

CDS/多重化回路チップ30は、各アンプ22a〜22nに夫々対応するCDS(相関二重サンプリング)回路31a〜31nと、各CDS回路31a〜31nの出力信号を取り込み1列の信号に多重化して出力するマルチプレクサでなる多重化回路32とを備える。   The CDS / multiplexing circuit chip 30 takes in the output signals of the CDS (correlated double sampling) circuits 31a to 31n corresponding to the amplifiers 22a to 22n and the respective CDS circuits 31a to 31n, and multiplexes them into one column of signals. And a multiplexing circuit 32 composed of an output multiplexer.

出力回路チップ40は、多重化回路32から出力される信号(アナログの撮像画像信号)を取り込みデジタル信号に変換するA/D変換回路41と、A/D変換回路41から出力されるデジタルの撮像画像信号に対して補正処理を行い補正後の撮像画像信号を外部に出力する補正回路42と、補正回路42が補正処理を行うときに用いる補正値を格納した記憶素子43とを備える。   The output circuit chip 40 captures a signal (analog captured image signal) output from the multiplexing circuit 32 and converts it into a digital signal, and a digital image output from the A / D conversion circuit 41. A correction circuit 42 that performs correction processing on the image signal and outputs the captured image signal after correction to the outside, and a storage element 43 that stores correction values used when the correction circuit 42 performs correction processing.

記憶素子43には、各アンプ22a〜22n毎の特性差を補償する補正値を格納したルックアップテーブルが設けられており、補正回路42は、A/D変換回路41から取り込んだ撮像画像信号がどのアンプ22iから出力された信号であるかを識別して、ルックアップテーブルから該当する補正値を求め、この補正値で撮像画像信号を補正する。   The storage element 43 is provided with a look-up table that stores correction values for compensating for the characteristic differences between the amplifiers 22a to 22n. The correction circuit 42 receives the captured image signal captured from the A / D conversion circuit 41. Which amplifier 22i is the output signal is identified, the corresponding correction value is obtained from the lookup table, and the captured image signal is corrected with this correction value.

多重化回路32,A/D変換回路41,補正回路42には、同じ同期信号(SYNC信号),クロック信号(CLK信号)が入力され、これら各回路32,41,42は同期信号,クロック信号に基づいて動作する。また、垂直電荷転送路の駆動パルスViや水平電荷転送路21a〜22nの駆動パルスHiは、これら同期信号やクロック信号に基づいて図示しないタイミングジェネレータによって生成される。   The same synchronizing signal (SYNC signal) and clock signal (CLK signal) are input to the multiplexing circuit 32, the A / D conversion circuit 41, and the correction circuit 42. These circuits 32, 41, and 42 are synchronized with each other. Operates based on. Further, the drive pulse Vi for the vertical charge transfer path and the drive pulse Hi for the horizontal charge transfer paths 21a to 22n are generated by a timing generator (not shown) based on these synchronization signals and clock signals.

図2は、CDS/多重化回路チップ30の内部構成図である。各アンプ22a〜22nからの出力信号OSa〜OSnを夫々取り込み相関二重サンプリング処理するCDS回路31a〜31nが並列に設けられており、各CDS回路31a〜31nの出力が、夫々、開閉スイッチ32a〜32nを介して1つのバッファアンプ33に接続され、バッファアンプ33の出力が、この回路チップ30の出力信号となる。   FIG. 2 is an internal configuration diagram of the CDS / multiplexing circuit chip 30. CDS circuits 31a to 31n that receive the output signals OSa to OSn from the amplifiers 22a to 22n, respectively, and perform correlated double sampling processing are provided in parallel. The buffer amplifier 33 is connected to one buffer amplifier 33 via 32n, and the output of the buffer amplifier 33 becomes an output signal of the circuit chip 30.

回路チップ30内には、マルチプレクサコントロール回路34が設けられ、このコントロール回路34は、同期信号,クロック信号に基づいてセレクタ信号34a〜34nを各開閉スイッチのいずれか1つに出力する。セレクタ信号34iが出力されると、同一i番号の開閉スイッチ32iが閉成され、このi番号のCDS回路31iの出力が、バッファアンプ33を通して出力される。   A multiplexer control circuit 34 is provided in the circuit chip 30. The control circuit 34 outputs selector signals 34a to 34n to any one of the open / close switches based on the synchronization signal and the clock signal. When the selector signal 34 i is output, the open / close switch 32 i with the same i number is closed, and the output of the CDS circuit 31 i with this i number is output through the buffer amplifier 33.

図3は、この多重化回路チップ30で行われる多重化の説明図である。今、説明を簡単にするために、固体撮像素子の受光領域が3つの画像領域a,b,cに分割されているとする。また、1行分の夫々の撮像画像信号を、領域aではa1,a2,a3,a4,a5とし、領域bではb1,b2,b3,b4,b5とし、領域cではc1,c2,c3,c4,c5とする。   FIG. 3 is an explanatory diagram of multiplexing performed in the multiplexing circuit chip 30. In FIG. For the sake of simplicity, it is assumed that the light receiving area of the solid-state imaging device is divided into three image areas a, b, and c. The captured image signals for one row are a1, a2, a3, a4, a5 in the region a, b1, b2, b3, b4, b5 in the region b, and c1, c2, c3 in the region c. Let c4 and c5.

信号a1を検出する画素(PD)、信号a2を検出する画素、…信号a5を検出する画素、信号b1を検出する画素、…信号b5を検出する画素、信号c1を検出する画素、…信号c5を検出する画素は、横一行に並んで設けられる。従って、この一行分の撮像画像信号は、
a1,a2,…,a5,b1,b2,…,b5,c1,c2,…c5
という信号配列にならないと、被写体の画像にはならない。
Pixel (PD) that detects signal a1, pixel that detects signal a2,... Pixel that detects signal a5, pixel that detects signal b1,... Pixel that detects signal b5, pixel that detects signal c1,. Pixels for detecting are arranged in a horizontal row. Therefore, the captured image signal for this line is
a1, a2, ..., a5, b1, b2, ..., b5, c1, c2, ... c5
If the signal arrangement is not obtained, the image of the subject cannot be obtained.

しかし、画像領域aのアンプ出力信号OSa=a1―a2―a3―a4―a5と、画像領域bのアンプ出力信号OSb=b1―b2―b3―b4―b5と、画像領域cのアンプ出力信号OSc=c1―c2―c3―c4―c5は、同時並行的に出力されるため、時間的に、上記の信号配列にはならない。   However, the amplifier output signal OSa = a1-a2-a3-a4-a5 in the image area a, the amplifier output signal OSb = b1-b2-b3-b4-b5 in the image area b, and the amplifier output signal OSc in the image area c. = C1−c2−c3−c4−c5 are output in parallel, and thus do not have the above signal arrangement in time.

そこで、本実施形態では、多重化回路32のコントローラ34がセレクタ信号を制御し、出力時間順に
a1,b1,c1,a2,b2,c2,…,a5,b5,c5
の信号配列となるように1列化して多重し、これをA/D変換回路41がこの信号配列のままデジタル信号化し、補正回路42がアンプの特性差の補正を行い、外部出力する。
Therefore, in this embodiment, the controller 34 of the multiplexing circuit 32 controls the selector signal, and a1, b1, c1, a2, b2, c2,..., A5, b5, c5 in order of output time.
The A / D conversion circuit 41 converts the signal into a digital signal with this signal arrangement, and the correction circuit 42 corrects the amplifier characteristic difference and outputs it externally.

外部出力された信号を受信した図示しない画像処理装置は、信号を受け取った順にフレームメモリに格納するが、この信号はデジタル化されているため、瞬時に信号配列を図3(b)に示す様に変換して、本来の信号配列にすることができる。この信号配列の変換処理機能を、補正回路42に持たせることでも良い。   An image processing apparatus (not shown) that receives an externally output signal stores the signals in the frame memory in the order in which they are received. Since these signals are digitized, the signal arrangement is instantaneously shown in FIG. Can be converted into the original signal array. The correction circuit 42 may be provided with this signal array conversion processing function.

多重化された信号は、信号配列(図3(b)の上段の配列)の順番が決まっている。このため、どの信号がどのアンプ22i(画像領域20i)から出力された信号であるかは、動作クロックを計数することで容易に識別可能である。   The order of the signal arrangement (the upper arrangement in FIG. 3B) is determined for the multiplexed signals. For this reason, which signal is the signal output from which amplifier 22i (image region 20i) can be easily identified by counting the operation clock.

そこで、アンプ22aから出力された信号の場合には記憶素子43のアンプ22a用補正値をルックアップテーブルから読み出し、この補正値に基づいて撮像画像信号を補正する。また、アンプ22iから出力された信号の場合には、アンプ22i用補正値をルックアップテーブルから読み出し、この補正値に基づいて撮像画像信号を補正する。   Therefore, in the case of a signal output from the amplifier 22a, the correction value for the amplifier 22a of the storage element 43 is read from the lookup table, and the captured image signal is corrected based on this correction value. In the case of a signal output from the amplifier 22i, the correction value for the amplifier 22i is read from the lookup table, and the captured image signal is corrected based on this correction value.

これにより、各アンプ22iの特性が一致していなくても、ムラの無い高品質の被写体画像データを得ることが可能となる。   Thereby, even if the characteristics of the amplifiers 22i do not match, it is possible to obtain high-quality subject image data without unevenness.

記憶素子43に設けるルックアップテーブルは、固体撮像素子の製造ラインの検査工程や、撮像装置の組み立てラインの調整工程で、データ(補正値)を入力するのが好ましい。各工程において、ルックアップテーブルによる補正処理を無効にした状態で、固体撮像素子に所定照度の光を均一に照射し、垂直電荷転送路,水平電荷転送路を駆動して、撮像画像信号を出力させる。そして、各撮像画像信号が同一値となるような補正値を決定してルックアップテーブルデータとして登録する。   The lookup table provided in the storage element 43 preferably inputs data (correction value) in the inspection process of the production line of the solid-state imaging device and the adjustment process of the assembly line of the imaging device. In each process, with the correction processing using the lookup table disabled, uniformly illuminate the solid-state image sensor with light of a predetermined illuminance, drive the vertical charge transfer path and horizontal charge transfer path, and output the captured image signal Let Then, a correction value is determined so that each captured image signal has the same value, and is registered as lookup table data.

この補正値をどの程度詳しく登録するかは、撮像装置の組み立てメーカ等によって異なるため、記憶素子43の容量として可変長なデータを登録できるように十分な大きさを確保しておく。例えば、低照度,中照度,高照度の3点の測定データを求めて補正値を登録する場合ばかりでなく、10点程度の測定データを求めて補正値を登録する場合にも対処できるようにしておく。照度と出力信号値との関係はリニアでないため、測定データの点数が多いほど高精度の補正が可能となる。   Since how much the correction value is registered differs depending on the assembly maker of the imaging device or the like, a sufficient size is secured so that variable-length data can be registered as the capacity of the storage element 43. For example, it is possible to cope with not only the case where three points of measurement data of low illuminance, medium illuminance and high illuminance are obtained and registered correction values, but also the case where ten points of measurement data are obtained and correction values are registered. Keep it. Since the relationship between the illuminance and the output signal value is not linear, the more accurate the measurement data, the higher the accuracy of correction.

ルックアップテーブルデータを用いて補正を行う場合、測定データの点数が少ない場合には、間の測定データを補間演算して補正値を求めることになる。この補間演算は、特性差の補正を行うときに測定データに基づいて行っても良く、予め補間演算して求めた補正値をルックアップテーブルに登録することでも良い。   When correction is performed using the look-up table data, if the number of points in the measurement data is small, the correction value is obtained by interpolating the measurement data in between. This interpolation calculation may be performed based on the measurement data when correcting the characteristic difference, or a correction value obtained by performing an interpolation calculation in advance may be registered in the lookup table.

補間演算は、例えば線形補間で行う。図4は、補間演算例の説明図である。ルックアップテーブル(LUT)の入力値がA10=10のときの出力値がB10=20、入力値がA20=20のときの出力値がB20=40であるとする。そして、入力値がA12=12のときの出力値B12の値が登録されていない場合に、出力値B12の代わりに補間出力C12を求める。このC12は、
C12=(B20-B10)/(A20-A10)*(A12-A10)+B10
=(40-20)/(20-10)*(12-10)+20
=24
として算出できる。
The interpolation calculation is performed by linear interpolation, for example. FIG. 4 is an explanatory diagram of an example of interpolation calculation. Assume that the output value when the input value of the lookup table (LUT) is A10 = 10 is B10 = 20, and the output value when the input value is A20 = 20 is B20 = 40. Then, when the value of the output value B12 when the input value is A12 = 12, the interpolation output C12 is obtained instead of the output value B12. This C12 is
C12 = (B20-B10) / (A20-A10) * (A12-A10) + B10
= (40-20) / (20-10) * (12-10) +20
= 24
Can be calculated as

尚、ルックアップテーブルは、フローティングディフュージョンアンプの出力値の補正にとどまらず、固体撮像素子の他の部位や全ての系の特性差を含めた補正に用いても良い。   The look-up table is not limited to the correction of the output value of the floating diffusion amplifier, but may be used for correction including the characteristic differences of other parts of the solid-state imaging device and all systems.

以上述べた様に、本実施形態によれば、従来は複数のアンプに特性差がある固体撮像素子については不良品としていたものを、撮像画像信号を補正して品質の高い画像を得ることができるため、固体撮像素子の製造歩留まりが高くなり、低コストで出力用電荷転送路が複数に分割された固体撮像素子を提供することが可能になる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to obtain a high-quality image by correcting a picked-up image signal for a solid-state image pickup device that has conventionally had a difference in characteristics among a plurality of amplifiers as a defective product. Therefore, the manufacturing yield of the solid-state imaging device is increased, and it is possible to provide a solid-state imaging device in which the output charge transfer path is divided into a plurality of parts at low cost.

また、上述した実施形態では、A/D変換回路41を1個だけ設ければ済むため、A/D変換回路を複数設けた場合に生じるA/D変換回路間の特性差に対処する必要がなくなり、また、コスト削減も図ることができる。   In the above-described embodiment, since only one A / D conversion circuit 41 needs to be provided, it is necessary to deal with a characteristic difference between A / D conversion circuits that occurs when a plurality of A / D conversion circuits are provided. In addition, the cost can be reduced.

本発明に係るCCD型固体撮像素子は、低コストで撮像画像信号を高速に読み出すことが可能となるため、デジタルカメラ等に搭載する固体撮像素子として有用である。   The CCD solid-state imaging device according to the present invention is useful as a solid-state imaging device mounted on a digital camera or the like because it can read a captured image signal at high speed at low cost.

本発明の一実施形態に係るCCD型固体撮像素子の構成図である。1 is a configuration diagram of a CCD solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention. 図1に示すCDS/多重化回路チップの構成図である。It is a block diagram of the CDS / multiplex circuit chip shown in FIG. 図2に示す多重化回路における多重化の仕方の説明図である。It is explanatory drawing of the method of multiplexing in the multiplexing circuit shown in FIG. 補間演算の一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of an interpolation calculation.

符号の説明Explanation of symbols

10 CCD型固体撮像素子
20 撮像チップ
20a〜20n 画像領域
21a〜21n 水平電荷転送路
22a〜22n フローティングディフュージョンアンプ
30 CDS/多重化回路チップ
31a〜31n CDS回路
32 多重化回路
40 出力回路チップ
41 A/D変換回路
42 補正回路
43 記憶素子(ルックアップテーブル)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 CCD type solid-state image sensor 20 Imaging chip 20a-20n Image area 21a-21n Horizontal charge transfer path 22a-22n Floating diffusion amplifier 30 CDS / multiplex circuit chip 31a-31n CDS circuit 32 Multiplex circuit 40 Output circuit chip 41 A / D conversion circuit 42 Correction circuit 43 Memory element (look-up table)

Claims (4)

被写体からの入射光を受光する受光面を複数領域に分割し、各分割領域毎にフローティングディフュージョンアンプを持つ出力用電荷転送路を備えるCCD型固体撮像素子において、複数の前記フローティングディフュージョンアンプの特性差を補正する補正値を格納した記憶素子と、各分割領域から読み出され該分割領域に対応する前記フローティングディフュージョンアンプから出力された撮像画像信号を前記補正値で補正する補正手段とを備えることを特徴とするCCD型固体撮像素子。   In a CCD solid-state imaging device having a charge transfer path for output having a floating diffusion amplifier for each divided region, the light receiving surface for receiving incident light from a subject is divided into a plurality of regions, and a characteristic difference between the plurality of floating diffusion amplifiers A storage element that stores a correction value for correcting the image, and a correction unit that corrects the captured image signal read from each divided region and output from the floating diffusion amplifier corresponding to the divided region with the correction value. A CCD type solid-state imaging device. 前記記憶素子が可変長の測定データを格納する容量を持っていることを特徴とする請求項1に記載のCCD型固体撮像素子。   2. The CCD solid-state image pickup device according to claim 1, wherein the storage element has a capacity for storing measurement data having a variable length. 前記補正手段は、前記記憶素子に格納されている前記補正値を補間演算して求めた補正値で前記補正を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のCCD型固体撮像素子。   3. The CCD solid-state imaging device according to claim 1, wherein the correction unit performs the correction using a correction value obtained by performing an interpolation operation on the correction value stored in the storage element. 4. . 被写体からの入射光を受光する受光面を複数領域に分割し、各分割領域毎にフローティングディフュージョンアンプを持つ出力用電荷転送路を備えるCCD型固体撮像素子の出力信号補正方法において、複数の前記フローティングディフュージョンアンプの特性差を補正する補正値を記憶素子から読み出し、各分割領域から読み出され該分割領域に対応する前記フローティングディフュージョンアンプから出力された撮像画像信号を前記補正値で補正することを特徴とするCCD型固体撮像素子の出力信号補正方法。   In a method for correcting an output signal of a CCD type solid-state imaging device comprising a light-receiving surface that receives incident light from a subject divided into a plurality of regions and an output charge transfer path having a floating diffusion amplifier in each divided region, the plurality of floating signals A correction value for correcting a characteristic difference of the diffusion amplifier is read from the storage element, and a captured image signal read from each divided area and output from the floating diffusion amplifier corresponding to the divided area is corrected with the correction value. An output signal correction method for a CCD solid-state imaging device.
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