JP2009170520A - Layout method, program and system of integrated circuit device, integrated circuit device, and electronics - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a layout method of an integrated circuit device which can achieve reinforcement of power supply without increasing the chip area. <P>SOLUTION: The layout method of the integrated circuit device comprises a step (S14) for searching an area where a functional cell is not arranged yet, and a step (S16) for arranging a power supply reinforcement cell including first and second power supply reinforcement lines at least a part of which is formed, respectively, of first and second polysilicon wiring patterns in an area where a functional cell is not arranged yet. At step S16, the first and second polysilicon wiring patterns are made to intersect with first and second power supply lines, respectively, and at least one of the first and second power supply reinforcement cells is arranged along a second direction so that at least one of two wiring patterns connecting two first power supply lines and two second power supply lines, respectively, is formed along the second direction through the first and second power supply reinforcement lines. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、集積回路装置のレイアウト方法、集積回路装置のレイアウトプログラム、集積回路装置のレイアウトシステム、集積回路装置及び電子機器に関する。   The present invention relates to an integrated circuit device layout method, an integrated circuit device layout program, an integrated circuit device layout system, an integrated circuit device, and an electronic apparatus.

近年、LSIのプロセス微細化に伴い集積度が飛躍的に向上し、LSIを構成する各セルを安定的に動作させるために各セルに供給する電源を補強する必要性が高まっている。例えば、セルの配置領域において電源をメッシュ状に配線することにより電源補強が行われる。一般に、各セルには所定方向(例えば、横方向)に沿って電源用のメタル配線が敷設されているので、各セルを横方向に配置するだけで横方向の電源配線が形成される。すなわち、横方向の電源配線のために専用の領域を確保する必要はない。一方、レイアウト面積を小さくするために各セルには縦方向の電源配線が敷設されていない。従って、各セルを縦方向に配置するだけでは縦方向の電源配線は形成されない。そこで、例えば、消費電力を評価して縦方向の電源配線の必要数を決定し、一定間隔毎に縦方向の電源配線を敷設する必要がある。
特開平8−272836号公報
In recent years, with the miniaturization of LSI processes, the degree of integration has dramatically improved, and there is an increasing need to reinforce the power supplied to each cell in order to stably operate each cell constituting the LSI. For example, the power supply is reinforced by wiring the power supply in a mesh shape in the cell arrangement region. In general, since power supply metal wiring is laid along each cell in a predetermined direction (for example, the horizontal direction), the power supply wiring in the horizontal direction is formed only by arranging each cell in the horizontal direction. That is, it is not necessary to secure a dedicated area for the horizontal power supply wiring. On the other hand, in order to reduce the layout area, no vertical power supply wiring is laid in each cell. Accordingly, the power supply wiring in the vertical direction cannot be formed only by arranging the cells in the vertical direction. Therefore, for example, it is necessary to evaluate the power consumption, determine the required number of power supply lines in the vertical direction, and install the power supply lines in the vertical direction at regular intervals.
JP-A-8-272836

しかし、セルが配置されている領域には縦方向の電源配線を敷設することができないため、縦方向の電源配線を敷設するための専用の領域を確保する必要がある。そのため、コストを犠牲にしてチップ面積を増加させなければ、十分な電源補強を実現することができなかった。   However, since the vertical power supply wiring cannot be laid in the area where the cells are arranged, it is necessary to secure a dedicated area for laying the vertical power supply wiring. Therefore, sufficient power supply reinforcement cannot be realized unless the chip area is increased at the cost of cost.

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる集積回路装置のレイアウト方法等を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an integrated circuit device layout method and the like that can realize power supply reinforcement without increasing the chip area. .

(1)本発明は、
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウト方法であって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索ステップと、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置ステップと、を含み、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする。
(1) The present invention
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A method for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after arranging the plurality of functional cells in the predetermined area, a non-arranged area search step for searching an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. A power reinforcement cell arranging step of arranging a power reinforcement cell including a second power reinforcement line formed by two polysilicon wiring patterns,
In the power reinforcing cell placement step,
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line The at least two power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.

第1の電源供給線及び第2の電源供給線はそれぞれVDD電源供給線及びVSS電源供給線であってもよい。   The first power supply line and the second power supply line may be a VDD power supply line and a VSS power supply line, respectively.

所定のメタル配線層は、例えば、最下層のメタル1配線層であってもよい。   The predetermined metal wiring layer may be, for example, the lowermost metal 1 wiring layer.

複数の機能セルを所定の領域に配置した後のレイアウトは、複数の機能セルを所定の領域に配置した後複数の機能セルを接続するネットの配線を行う前のレイアウトであってもよいし、複数の機能セルの配置及び複数の機能セルを接続するネットの配線を行った後のレイアウトであってもよい。   The layout after arranging a plurality of functional cells in a predetermined area may be a layout before arranging a plurality of functional cells in a predetermined area and before wiring a net connecting the plurality of functional cells, The layout after the arrangement of the plurality of functional cells and the wiring of the net connecting the plurality of functional cells may be used.

本発明によれば、機能セルを所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、機能セルの未配置領域に少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って並べて配置することにより、第2の方向に沿って、第1の電源補強線を介して2つの第1の電源供給線を接続する配線パターン及び第2の電源補強線を介して2つの第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成される。すなわち、少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って並べて配置するだけで第1の電源及び第2の電源の少なくとも一方を補強することができる。従って、本発明によれば、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現する集積回路装置を提供することができる。   According to the present invention, in the layout after the functional cells are arranged in the predetermined region, the second cell is arranged in the second direction by arranging at least two power reinforcing cells in the non-functional region. A wiring pattern for connecting two first power supply lines via a first power supply reinforcing line and a wiring pattern for connecting two second power supply lines via a second power supply reinforcing line along the direction Is formed. That is, it is possible to reinforce at least one of the first power source and the second power source only by arranging at least two power source reinforcing cells side by side along the second direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an integrated circuit device that realizes power supply reinforcement without increasing the chip area.

また、本発明によれば、第1の電源供給線及び第2の電源供給線が所定のメタル配線層に敷設されるのに対して、電源補強セルに含まれる第1の電源補強線及び第2の電源補強線の少なくとも一部はメタル配線層よりも下位のポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンによりそれぞれ形成される。そして、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンを第2の電源供給線及び第1の電源供給線とそれぞれ交差させるように電源補強セルが配置される。従って、本発明によれば、第1の電源供給線と第2の電源補強線、第2の電源供給線と第1の電源補強線をそれぞれショートさせることなく、第1の電源を補強するための配線パターン及び第2の電源を補強するための配線パターンの少なくとも一方を形成することができる。   According to the present invention, the first power supply line and the second power supply line are laid on a predetermined metal wiring layer, whereas the first power supply line and the second power supply line included in the power supply cell are provided. At least a part of the two power supply reinforcing lines is formed by a first polysilicon wiring pattern and a second polysilicon wiring pattern laid in a polysilicon wiring layer below the metal wiring layer, respectively. The power reinforcing cells are arranged so that the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively. Therefore, according to the present invention, in order to reinforce the first power supply without short-circuiting the first power supply line and the second power supply reinforcement line, and the second power supply line and the first power supply reinforcement line, respectively. At least one of the wiring pattern and the wiring pattern for reinforcing the second power source can be formed.

(2)本発明の集積回路装置のレイアウト方法において、
前記電源補強セルは、
前記第1の電源補強線の一部及び前記第2の電源補強線の一部が、前記所定のメタル配線層に敷設され、コンタクトを介して前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンにそれぞれ接続された第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンにより形成され、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第1のメタル配線パターンにより前記第1の電源補強線が前記第1の電源供給線に接続され、前記第2のメタル配線パターンにより前記第2の電源補強線が前記第2の電源供給線に接続されるように前記電源補強セルを配置するようにしてもよい。
(2) In the integrated circuit device layout method of the present invention,
The power reinforcing cell is
A part of the first power supply reinforcing line and a part of the second power supply reinforcing line are laid on the predetermined metal wiring layer, and the first polysilicon wiring pattern and the second power supply line are connected via a contact. Formed by a first metal wiring pattern and a second metal wiring pattern respectively connected to the polysilicon wiring pattern;
In the power reinforcing cell placement step,
The first power supply line is connected to the first power supply line by the first metal wiring pattern, and the second power supply line is connected to the second power supply line by the second metal wiring pattern. You may make it arrange | position the said power supply reinforcement cell so that it may be connected to.

電源補強セルを、第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンが敷設された所定のメタル配線層(第1の電源供給線及び第2の電源供給線が敷設されたメタル配線層)と同じメタル配線層に敷設され、第1のメタル配線パターンの一部及び第2のメタル配線パターンの一部とそれぞれ重複する第1の電源配線パターン及び第2の電源配線パターンを含むように構成し、第1の電源配線パターン及び第2の電源配線パターンが第1の電源供給線及び第2の電源供給線とそれぞれ重複するように電源補強セルを配置することにより、第1の電源補強線及び第2の電源補強線がそれぞれ第1の電源供給線及び第2の電源供給線と接続されるようにしてもよい。   A power reinforcing cell is connected to a predetermined metal wiring layer in which the first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are laid (metal wiring layer in which the first power supply line and the second power supply line are laid). A first power supply wiring pattern and a second power supply wiring pattern that are laid on the same metal wiring layer and overlap with a part of the first metal wiring pattern and a part of the second metal wiring pattern, respectively, are configured. By arranging the power reinforcement cells so that the first power supply wiring pattern and the second power supply wiring pattern overlap the first power supply line and the second power supply line, respectively, The second power supply reinforcement line may be connected to the first power supply line and the second power supply line, respectively.

また、電源補強セルはそのような第1の電源配線パターン及び第2の電源配線パターンを含まないが、第1のメタル配線パターンの一部及び第2のメタル配線パターンの一部が第1の電源供給線及び第2の電源供給線とそれぞれ重複するように電源補強セルを配置することにより、第1の電源補強線及び第2の電源補強線がそれぞれ第1の電源供給線及び第2の電源供給線と接続されるようにしてもよい。   Further, the power reinforcing cell does not include the first power wiring pattern and the second power wiring pattern, but a part of the first metal wiring pattern and a part of the second metal wiring pattern are the first. By arranging the power supply reinforcing cells so as to overlap the power supply line and the second power supply line, respectively, the first power supply line and the second power supply line are respectively connected to the first power supply line and the second power supply line. You may make it connect with a power supply line.

本発明によれば、電源補強セルを配置するだけで第1の電源補強線を第1の電源供給線に接続し、第2の電源補強線を第2の電源供給線に接続することができるので、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現する集積回路装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to connect the first power supply reinforcement line to the first power supply line and connect the second power supply reinforcement line to the second power supply line simply by disposing the power supply reinforcement cell. Therefore, an integrated circuit device that realizes power supply reinforcement without increasing the chip area can be provided.

(3)本発明の集積回路装置のレイアウト方法において、
前記電源補強セルは、
前記第1のメタル配線パターン及び前記第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び前記第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、
前記第1の辺及び前記第2の辺が前記第2の方向と直交するように前記電源補強セルを配置するようにしてもよい。
(3) In the integrated circuit device layout method of the present invention,
The power reinforcing cell is
The first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are laid so as to be in contact with a first side of the cell and a second side facing the first side,
The power reinforcing cell may be arranged so that the first side and the second side are orthogonal to the second direction.

本発明によれば、電源補強セルは第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、第1の辺及び第2の辺が第2の方向と直交するように電源補強セルを配置する。従って、2つの電源補強セルが第2の方向に沿って隣接するように配置された場合には、各電源補強セルの第1のメタル配線パターン同士及び第2のメタル配線パターン同士が接続される。すなわち、本発明によれば、少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って隣接するように配置するだけで、第1の電源及び第2の電源の少なくとも一方を補強することができる。従って、本発明によれば、あらかじめ電源補強のための配線領域を確保することなく、効率的に電源補強をすることができる。   According to the present invention, the power reinforcing cell is laid so that the first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are in contact with the first side of the cell and the second side facing the first side, and The power supply reinforcing cell is arranged so that the first side and the second side are orthogonal to the second direction. Therefore, when two power supply reinforcing cells are arranged so as to be adjacent to each other in the second direction, the first metal wiring patterns and the second metal wiring patterns of each power supply reinforcing cell are connected to each other. . That is, according to the present invention, it is possible to reinforce at least one of the first power source and the second power source only by arranging at least two power source reinforcing cells so as to be adjacent in the second direction. Therefore, according to the present invention, it is possible to efficiently reinforce the power supply without securing a wiring area for power supply reinforcement in advance.

(4)本発明の集積回路装置のレイアウト方法において、
前記所定のメタル配線層は、
前記複数の機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層よりも下位のメタル配線層であってもよい。
(4) In the integrated circuit device layout method of the present invention,
The predetermined metal wiring layer is
The metal wiring layer may be a lower metal wiring layer than a metal wiring layer for wiring a net connecting the plurality of functional cells.

例えば、複数の機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層がメタル2配線層〜メタル4配線層である場合には、所定のメタル配線層は、メタル1配線層であってもよい。   For example, when a metal wiring layer for wiring a net connecting a plurality of functional cells is a metal 2 wiring layer to a metal 4 wiring layer, the predetermined metal wiring layer may be a metal 1 wiring layer.

本発明によれば、第1の電源及び第2の電源を補強するための各配線パターンが、機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層よりも下位のメタル配線層及びポリシリコン配線層において形成される。従って、機能セルを接続するネットの配線に電源補強セルの配置が影響しない。すなわち、本発明によれば、不必要に配線領域を増加させることなくネットの配線を行うことができるので、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる。   According to the present invention, each wiring pattern for reinforcing the first power supply and the second power supply is provided in a metal wiring layer and a polysilicon wiring layer lower than a metal wiring layer for wiring a net connecting functional cells. It is formed. Therefore, the arrangement of the power reinforcing cell does not affect the net wiring connecting the functional cells. That is, according to the present invention, it is possible to perform net wiring without unnecessarily increasing the wiring area, and thus it is possible to realize power supply reinforcement without increasing the chip area.

(5)本発明の集積回路装置のレイアウト方法は、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの両方が形成されるように、少なくとも3つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置するようにしてもよい。
(5) An integrated circuit device layout method of the present invention includes:
In the power reinforcing cell placement step,
A wiring pattern connecting the two first power supply lines via the first power supply reinforcement line and the second power supply lines via the second power supply reinforcement line along the second direction. You may make it arrange | position at least 3 said power supply reinforcement cells along with the said 2nd direction so that both the wiring patterns which connect a power supply line may be formed.

(6)本発明の集積回路装置のレイアウト方法において、
前記機能セル及び前記電源補強セルは、
ゲートアレイの一単位であるベーシックセルと所定の配線パターンに基づいて実現されるようにしてもよい。
(6) In the integrated circuit device layout method of the present invention,
The functional cell and the power supply reinforcing cell are:
It may be realized based on a basic cell as a unit of the gate array and a predetermined wiring pattern.

(7)本発明は、
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウトを行うレイアウトプログラムであって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索手段と、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置手段としてコンピュータを機能させ、
前記電源補強セル配置手段は、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする。
(7) The present invention
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A layout program for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after the plurality of functional cells are arranged in the predetermined area, an unarranged area search means for searching for an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. And a second power source reinforcement line formed by the polysilicon wiring pattern, and a power source reinforcement cell arrangement means for arranging a power source reinforcement cell including the second power source reinforcement line,
The power reinforcing cell arranging means is
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line The at least two power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.

(8)本発明は、
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウトを行うレイアウトシステムであって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索手段と、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置手段と、を含み、
前記電源補強セル配置手段は、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする。
(8) The present invention
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A layout system for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after the plurality of functional cells are arranged in the predetermined area, an unarranged area search means for searching for an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. Power reinforcing cell arrangement means for arranging a power reinforcing cell including a second power reinforcing line formed by two polysilicon wiring patterns,
The power reinforcing cell arranging means is
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line The at least two power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.

(9)本発明は、
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置であって、
前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない領域に配置され、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを含み、
少なくとも2つの前記電源補強セルが前記第2の方向に沿って並んで配置されることにより、前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されていることを特徴とする。
(9) The present invention
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. An integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
A first power supply reinforcement line formed by a first polysilicon wiring pattern disposed in a region where the functional cell is not disposed in the predetermined region and at least a part of which is laid on a polysilicon wiring layer; and A power supply reinforcing cell including a second power supply reinforcing line formed by a second polysilicon wiring pattern partially laid on the polysilicon wiring layer,
By arranging at least two of the power reinforcing cells side by side along the second direction, the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern are connected to the second power supply line and A wiring pattern that crosses each of the first power supply lines and connects the two first power supply lines through the first power supply reinforcing line along the second direction; At least one of the wiring patterns that connect the two second power supply lines via the power reinforcing line is formed.

本発明によれば、所定の領域における機能セルが配置されていない領域に少なくとも2つの電源補強セルが第2の方向に沿って並んで配置されることにより、第2の方向に沿って、第1の電源補強線を介して2つの第1の電源供給線を接続する配線パターン及び第2の電源補強線を介して2つの第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されている。すなわち、本発明に係る集積回路装置は、機能セルの未配置領域を利用して少なくとも2つの電源補強セルが第2の方向に沿って並んで配置されることにより、第1の電源及び第2の電源の少なくとも一方が補強されている。従って、本発明によれば、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる集積回路装置を提供することができる。   According to the present invention, the at least two power reinforcing cells are arranged along the second direction in the area where the functional cells are not arranged in the predetermined area. At least one of a wiring pattern for connecting two first power supply lines via one power supply reinforcing line and a wiring pattern for connecting two second power supply lines via a second power reinforcing line is formed. ing. That is, in the integrated circuit device according to the present invention, the first power source and the second power source cell are arranged by arranging at least two power source reinforcing cells side by side along the second direction using the non-arranged region of the functional cells. At least one of the power supplies is reinforced. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an integrated circuit device capable of realizing power supply reinforcement without increasing the chip area.

(10)本発明の集積回路装置において、
前記電源補強セルは、
前記第1の電源補強線の一部及び前記第2の電源補強線の一部が、前記所定のメタル配線層に敷設され、コンタクトを介して前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンにそれぞれ接続された第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンにより形成され、前記第1のメタル配線パターンにより前記第1の電源補強線が前記第1の電源供給線に接続され、前記第2のメタル配線パターンにより前記第2の電源補強線が前記第2の電源供給線に接続されるように配置されていてもよい。
(10) In the integrated circuit device of the present invention,
The power reinforcing cell is
A part of the first power supply reinforcing line and a part of the second power supply reinforcing line are laid on the predetermined metal wiring layer, and the first polysilicon wiring pattern and the second power supply line are connected via a contact. A first metal wiring pattern and a second metal wiring pattern respectively connected to the polysilicon wiring pattern are formed, and the first power supply reinforcing line is formed into the first power supply line by the first metal wiring pattern. The second power supply reinforcement line may be connected to the second power supply line by the second metal wiring pattern.

(11)本発明の集積回路装置において、
前記電源補強セルは、
前記第1のメタル配線パターン及び前記第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び前記第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、前記第1の辺及び前記第2の辺が前記第2の方向と直交するように配置されていてもよい。
(11) In the integrated circuit device of the present invention,
The power reinforcing cell is
The first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are laid so as to contact a first side of the cell and a second side opposite to the first side, and the first side and the second side The two sides may be arranged so as to be orthogonal to the second direction.

(12)本発明の集積回路装置において、
前記所定のメタル配線層は、
前記複数の機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層よりも下位のメタル配線層であってもよい。
(12) In the integrated circuit device of the present invention,
The predetermined metal wiring layer is
The metal wiring layer may be a lower metal wiring layer than a metal wiring layer for wiring a net connecting the plurality of functional cells.

(13)本発明の集積回路装置は、
少なくとも3つの前記電源補強セルが前記第2の方向に沿って並んで配置されることにより、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの両方が形成されていてもよい。
(13) An integrated circuit device according to the present invention includes:
By arranging at least three of the power supply reinforcing cells side by side along the second direction, the two first power supplies are provided along the second direction via the first power supply reinforcing line. Both a wiring pattern connecting the supply lines and a wiring pattern connecting the two second power supply lines via the second power supply reinforcing line may be formed.

(14)本発明の集積回路装置において、
前記機能セル及び前記電源補強セルは、
ゲートアレイの一単位であるベーシックセルと所定の配線パターンに基づいて実現されるようにしてもよい。
(14) In the integrated circuit device of the present invention,
The functional cell and the power supply reinforcing cell are:
It may be realized based on a basic cell as a unit of the gate array and a predetermined wiring pattern.

(15)本発明は、
上記に記載された集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器である。
(15) The present invention provides:
An integrated circuit device as described above;
Data input means to be processed by the integrated circuit device;
An electronic device comprising: output means for outputting data processed by the integrated circuit device.

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. Moreover, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.

1.集積回路装置
図1(A)、図1(B)は、本実施形態の集積回路装置について説明するための図である。図1(A)の集積回路装置は、複数のセルにより構成される各行の間にセル間の配線領域30を有するチャネル型のセルアレイを含んで実現されており、図1(B)の集積回路装置は各行の間にセル間の配線領域を有しないチャネルレス型のセルアレイを含んで実現されている。
1. Integrated Circuit Device FIGS. 1A and 1B are diagrams for explaining an integrated circuit device according to this embodiment. The integrated circuit device of FIG. 1A is realized by including a channel type cell array having a wiring region 30 between cells between each row constituted by a plurality of cells, and the integrated circuit of FIG. The device is realized including a channelless cell array having no inter-cell wiring region between rows.

集積回路装置1は、複数の機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)が機能セル配置可能領域2(所定の領域)においてX方向(第1の方向)及びY方向(第1の方向に直交する第2の方向)にアレイ状に配置され、複数の機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)にVDD電源(第1の電源)及びVSS電源(第2の電源)をそれぞれ供給するVDD電源供給線(第1の電源供給線)10−1、10−2、10−3、・・・及びVSS電源供給線(第2の電源供給線)20−1、20−2、20−3、・・・がX方向に沿って所定のメタル配線層に敷設されている。   The integrated circuit device 1 includes a plurality of functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) In the X direction in the functional cell arrangement area 2 (predetermined area). (First direction) and Y direction (second direction orthogonal to the first direction) are arranged in an array, and a plurality of functional cells (FC101, FC102, ..., FC201, FC202, ..., VDD power supply lines (first power supply lines) 10-1, 10-2 for supplying VDD power (first power) and VSS power (second power) to FC301, FC302,. 10-3, ... and VSS power supply lines (second power supply lines) 20-1, 20-2, 20-3, ... are laid on the predetermined metal wiring layer along the X direction. Yes.

ここで、所定のメタル配線層は、機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)を接続するネットを配線するメタル配線層(例えば、メタル2配線層〜メタル4配線層)よりも下位のメタル配線層(例えば、最下層のメタル1配線層)であってもよい。   Here, the predetermined metal wiring layer is a metal wiring layer (for example, for wiring a net connecting functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...). It may be a lower metal wiring layer (for example, the lowermost metal 1 wiring layer) than the metal 2 wiring layer to the metal 4 wiring layer.

さらに、VDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・及びVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・が敷設されるメタル配線層と同じ配線層において、機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)の内部のネットの配線が行われている場合には、図1(B)の集積回路装置1のように配線領域30を必要とせずに、機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)を接続するネットの配線を機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)の上を通して行うことができる。図1(B)の集積回路装置1は、配線領域30がないので図1(A)の集積回路装置1と比較してレイアウト面積をより小さくすることができる。   Further, the same as the metal wiring layer in which the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... And the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,. In the wiring layer, when the internal net wiring of the functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) Is performed, FIG. ) Of the net for connecting functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) Wiring can be performed over the functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...). Since the integrated circuit device 1 of FIG. 1B does not have the wiring region 30, the layout area can be made smaller than that of the integrated circuit device 1 of FIG.

集積回路装置1は、電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)を含む。   The integrated circuit device 1 includes power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...).

電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成されたVDD電源補強線(第1の電源補強線)(図示せず)と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成されたVSS電源補強線(第2の電源補強線)(図示せず)と、を含む。   The power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...) Are at least partially formed by the first polysilicon wiring pattern laid on the polysilicon wiring layer. VSS power supply reinforcement line (first power supply reinforcement line) (not shown) formed and a VSS power supply reinforcement line (not shown) formed by a second polysilicon wiring pattern laid at least partially on the polysilicon wiring layer ( Second power supply reinforcing line) (not shown).

電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、機能セル配置可能領域2における機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)が配置されていない領域に配置されている。   The power reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...) Are function cells (FC101, FC102,..., FC201,. FC202,..., FC301, FC302,.

集積回路装置1は、少なくとも2つの電源補強セル(例えば、PC101とPC201、又は、PC202とPC301等)がY方向に沿って並んで配置されることにより、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンをVSS電源供給線及びVDD電源供給線とそれぞれ交差させて、Y方向に沿って、VDD電源補強線を介して2つのVDD電源供給線(例えば、10−1と10−2等)を接続する配線パターン(図示せず)及びVSS電源補強線を介して2つのVSS電源供給線(例えば、20−2と20−3等)を接続する配線パターン(図示せず)の少なくとも一方が形成されている。   The integrated circuit device 1 includes at least two power supply reinforcement cells (for example, PC101 and PC201, or PC202 and PC301, etc.) arranged side by side along the Y direction, so that the first polysilicon wiring pattern and the second The polysilicon wiring pattern is crossed with the VSS power supply line and the VDD power supply line, respectively, and two VDD power supply lines (for example, 10-1 and 10-2) are provided via the VDD power reinforcing line along the Y direction. Etc.) and a wiring pattern (not shown) for connecting two VSS power supply lines (for example, 20-2 and 20-3) via a VSS power supply reinforcing line. One is formed.

ここで、例えば、図1(A)の集積回路装置1において、2つの電源補強セルPC101及びPC201の各VDD電源補強線を接続するメタル配線の少なくとも一部が配線領域30に敷設されることにより、2つのVDD電源供給線10−1、10−2を接続する配線パターンが形成されていてもよい。同様に、2つの電源補強セルPC202及びPC301の各VSS電源補強線を接続するメタル配線の少なくとも一部が配線領域30に敷設されることにより、2つのVSS電源供給線20−2、20−3を接続する配線パターンが形成されていてもよい。また、例えば、図1(B)の集積回路装置1において、電源補強セルPC101及びPC201を配置するだけで、2つのVDD電源供給線10−1、10−2を接続する配線パターンが形成されていてもよい。同様に、電源補強セルPC202及びPC301を配置するだけで、2つのVSS電源供給線20−2、20−3を接続する配線パターンが形成されていてもよい。   Here, for example, in the integrated circuit device 1 of FIG. 1A, at least a part of the metal wiring connecting the VDD power supply reinforcing lines of the two power supply reinforcing cells PC101 and PC201 is laid in the wiring region 30. A wiring pattern for connecting the two VDD power supply lines 10-1 and 10-2 may be formed. Similarly, at least a part of the metal wiring connecting the VSS power supply reinforcing lines of the two power supply reinforcing cells PC202 and PC301 is laid in the wiring region 30, whereby the two VSS power supply lines 20-2 and 20-3 are provided. A wiring pattern for connecting the two may be formed. Further, for example, in the integrated circuit device 1 of FIG. 1B, a wiring pattern for connecting the two VDD power supply lines 10-1 and 10-2 is formed only by arranging the power reinforcing cells PC101 and PC201. May be. Similarly, a wiring pattern for connecting two VSS power supply lines 20-2 and 20-3 may be formed only by disposing the power supply reinforcing cells PC202 and PC301.

また、集積回路装置1は、少なくとも3つの電源補強セル(例えば、PC103、PC203、PC303)がY方向に沿って並んで配置されることにより、Y方向に沿って、VDD電源補強線を介して2つのVDD電源供給線(例えば、10−1と10−2等)を接続する配線パターン(図示せず)及びVSS電源補強線を介して2つのVSS電源供給線(例えば、20−2と20−3等)を接続する配線パターン(図示せず)の両方が形成されていてもよい。   Further, the integrated circuit device 1 includes at least three power supply reinforcement cells (for example, PC103, PC203, and PC303) arranged side by side along the Y direction, whereby the VDD power supply reinforcement line is provided along the Y direction. Two VSS power supply lines (for example, 20-2 and 20) are connected via a wiring pattern (not shown) for connecting two VDD power supply lines (for example, 10-1 and 10-2) and a VSS power supply reinforcing line. -3 etc.) both of the wiring patterns (not shown) may be formed.

ここで、例えば、図1(A)の集積回路装置1において、2つの電源補強セルPC103及びPC203の各VDD電源補強線及び各VSS電源補強線をそれぞれ接続する2つのメタル配線の少なくとも一部、及び2つの電源補強セルPC203及びPC303の各VDD電源補強線及び各VSS電源補強線をそれぞれ接続する2つのメタル配線の少なくとも一部が配線領域30に敷設されることにより、2つのVDD電源供給線10−1、10−2を接続する配線パターン及び2つのVSS電源供給線20−2、20−3を接続する配線パターンの両方が形成されていてもよい。また、例えば、図1(B)の集積回路装置1において、電源補強セルPC103、PC203及びPC303を配置するだけで、2つのVDD電源供給線10−1、10−2を接続する配線パターン及び2つのVSS電源供給線20−2、20−3を接続する配線パターンの両方が形成されていてもよい。   Here, for example, in the integrated circuit device 1 of FIG. 1A, at least a part of two metal wirings connecting the VDD power supply reinforcement lines and the VSS power supply reinforcement lines of the two power supply reinforcement cells PC103 and PC203, respectively. And at least a part of the two metal wirings connecting the VDD power supply reinforcement lines and the VSS power supply reinforcement lines of the two power supply reinforcement cells PC203 and PC303, respectively, are laid in the wiring region 30, thereby providing two VDD power supply lines. Both a wiring pattern for connecting 10-1 and 10-2 and a wiring pattern for connecting two VSS power supply lines 20-2 and 20-3 may be formed. Further, for example, in the integrated circuit device 1 of FIG. 1B, a wiring pattern for connecting the two VDD power supply lines 10-1 and 10-2 and 2 only by arranging the power reinforcing cells PC103, PC203, and PC303. Both wiring patterns connecting the two VSS power supply lines 20-2 and 20-3 may be formed.

電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、VDD電源補強線の一部及びVSS電源補強線の一部が、コンタクトを介して第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンにそれぞれ接続された第1のメタル配線パターン(図示しない)及び第2のメタル配線パターン(図示しない)により形成されていてもよい。第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンは、VDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・及びVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・が敷設されているメタル配線層と同じメタル配線層(例えば、メタル1配線層)に敷設される。電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、第1のメタル配線パターンによりVDD電源補強線がVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかに接続され、第2のメタル配線パターンによりVSS電源補強線がVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかに接続されるように配置されていてもよい。   In the power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...), A part of the VDD power supply reinforcement line and a part of the VSS power supply reinforcement line are connected via contacts. The first polysilicon wiring pattern (not shown) and the second metal wiring pattern (not shown) connected to the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern, respectively, may be used. The first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern include VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... And VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3. Are laid on the same metal wiring layer (for example, metal 1 wiring layer) as the metal wiring layer on which are laid. The power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...) Have a VDD power supply reinforcement line 10-1, a VDD power supply line 10-1, a first metal wiring pattern, 10-2, 10-3,..., And the VSS power supply reinforcing line is connected to one of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,. You may arrange | position so that it may be connected to either.

さらに、電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、第1の辺及び第2の辺がY方向と直交するように配置されていてもよい。   Further, the power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...) Have the first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern as the first cell. The first side and the second side may be arranged so as to be in contact with the second side opposite to the first side and the first side, and the first side and the second side may be orthogonal to the Y direction.

なお、機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)及び電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)は、ゲートアレイの一単位であるベーシックセルと所定の配線パターンに基づいて実現されていてもよい。   In addition, functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) And power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,. (PC301, PC302,...) May be realized based on a basic cell as a unit of a gate array and a predetermined wiring pattern.

本実施形態の集積回路装置によれば、機能セル配置可能領域における機能セルが配置されていない領域に少なくとも2つの電源補強セルがY方向に沿って並んで配置されることにより、Y方向に沿って、VDD電源補強線を介して2つのVDD電源供給線を接続する配線パターン及びVSS電源補強線を介して2つのVSS電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されている。すなわち、本実施形態の集積回路装置は、機能セルの未配置領域を利用して少なくとも2つの電源補強セルがY方向に沿って並んで配置されることにより、VDD電源及びVSS電源の少なくとも一方が補強されている。従って、本実施形態の集積回路装置によれば、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる。   According to the integrated circuit device of the present embodiment, at least two power supply reinforcing cells are arranged along the Y direction in the area where the functional cells are not arranged in the functional cell arrangement possible area. Thus, at least one of a wiring pattern connecting the two VDD power supply lines via the VDD power supply reinforcing line and a wiring pattern connecting the two VSS power supply lines via the VSS power supply reinforcing line is formed. That is, in the integrated circuit device according to the present embodiment, at least one of the VDD power supply and the VSS power supply is provided by arranging at least two power supply reinforcing cells side by side along the Y direction using the non-arranged area of the functional cells. It is reinforced. Therefore, according to the integrated circuit device of this embodiment, power supply reinforcement can be realized without increasing the chip area.

また、本実施形態の集積回路装置によれば、VDD電源供給線及びVSS電源供給線が所定のメタル配線層(例えば、メタル1配線層)に敷設されるのに対して、電源補強セルに含まれるVDD電源補強線及びVSS電源補強線の少なくとも一部は当該メタル配線層よりも下位のポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンによりそれぞれ形成される。そして、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンをVSS電源供給線及びVDD電源供給線とそれぞれ交差させるように電源補強セルが配置されている。従って、本実施形態の集積回路装置によれば、VDD電源供給線とVSS電源補強線、VSS電源供給線とVDD電源補強線をそれぞれショートさせることなく、VDD電源を補強するための配線パターン及びVSS電源を補強するための配線パターンの少なくとも一方を形成することができる。   Further, according to the integrated circuit device of the present embodiment, the VDD power supply line and the VSS power supply line are laid on a predetermined metal wiring layer (for example, a metal 1 wiring layer), but are included in the power supply reinforcement cell. At least a part of the VDD power supply reinforcement line and the VSS power supply reinforcement line are formed by a first polysilicon wiring pattern and a second polysilicon wiring pattern laid in a polysilicon wiring layer lower than the metal wiring layer, respectively. The The power reinforcing cells are arranged so that the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the VSS power supply line and the VDD power supply line, respectively. Therefore, according to the integrated circuit device of this embodiment, the VDD power supply line and the VSS power supply reinforcing line, and the VSS power supply line and the VDD power supply reinforcing line are not short-circuited, and the wiring pattern and VSS for reinforcing the VDD power supply are provided. At least one of the wiring patterns for reinforcing the power supply can be formed.

また、本実施形態の集積回路装置によれば、電源補強セルは第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、第1の辺及び第2の辺がY方向と直交するように電源補強セルが配置されている。そして、2つの電源補強セルがY方向に沿って隣接するように配置されている場合には、各電源補強セルの第1のメタル配線パターン同士及び第2のメタル配線パターン同士が接続されている。すなわち、本実施形態の集積回路装置によれば、少なくとも2つの電源補強セルがY方向に沿って隣接するように配置されている場合には、VDD電源及びVSS電源の少なくとも一方が補強されているので、あらかじめ電源補強のための配線領域を確保することなく、効率的に電源補強をすることができる。   Further, according to the integrated circuit device of the present embodiment, the power reinforcing cell has the first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern on the first side and the second side opposite to the first side of the cell. The power reinforcing cell is arranged so as to be in contact with each other and the first side and the second side are orthogonal to the Y direction. When the two power reinforcing cells are arranged so as to be adjacent to each other in the Y direction, the first metal wiring patterns and the second metal wiring patterns of each power reinforcing cell are connected to each other. . That is, according to the integrated circuit device of the present embodiment, when at least two power supply reinforcing cells are arranged adjacent to each other in the Y direction, at least one of the VDD power supply and the VSS power supply is reinforced. Therefore, it is possible to efficiently reinforce the power supply without securing a wiring area for power supply reinforcement in advance.

また、本実施形態の集積回路装置によれば、VDD電源及びVSS電源を補強するための各配線パターンが、機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層(例えばメタル2配線層〜メタル4配線層)よりも下位のメタル1配線層及びポリシリコン配線層において形成されている。従って、機能セルを接続するネットの配線に電源補強セルの配置が影響しない。すなわち、本実施形態の集積回路装置によれば、不必要に配線領域を増加させることなくネットの配線を行うことができるので、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる。   Further, according to the integrated circuit device of the present embodiment, each wiring pattern for reinforcing the VDD power supply and the VSS power supply has a metal wiring layer (for example, a metal 2 wiring layer to a metal 4 wiring) for wiring a net connecting functional cells. The metal 1 wiring layer and the polysilicon wiring layer which are lower than the layer) are formed. Therefore, the arrangement of the power reinforcing cell does not affect the net wiring connecting the functional cells. That is, according to the integrated circuit device of the present embodiment, the net wiring can be performed without unnecessarily increasing the wiring area, so that power supply reinforcement can be realized without increasing the chip area.

2.集積回路装置のレイアウト方法
図2は、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するためのフローチャートの一例である。以下では、ゲートアレイ方式による集積回路装置のレイアウト方法を例にとり説明する。なお、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法により、先に説明した図1(A)又は図1(B)の集積回路装置1を実現することができる。
2. Integrated Circuit Device Layout Method FIG. 2 is an example of a flowchart for explaining the integrated circuit device layout method of the present embodiment. Hereinafter, a layout method of an integrated circuit device using a gate array method will be described as an example. Note that the integrated circuit device 1 of FIG. 1A or FIG. 1B described above can be realized by the integrated circuit device layout method of the present embodiment.

本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法においては、まず、機能セル配置可能領域2において、ベーシックセルをX方向(第1の方向)及びX方向に直交するY方向(第2の方向)にアレイ状に配置する(図2のステップS10)。図3(A)、図3(B)に、ステップS10の処理が終了した後の集積回路装置1(の一部)のレイアウトの一例を示す。ここで、図3(A)は集積回路装置1をチャネル型のゲートアレイにより実現する場合の図であり、図3(B)は集積回路装置1をチャネルレス型のゲートアレイにより実現する場合の図である。   In the integrated circuit device layout method of the present embodiment, first, in the functional cell arrangement possible region 2, the basic cells are arrayed in the X direction (first direction) and the Y direction (second direction) orthogonal to the X direction. (Step S10 in FIG. 2). FIGS. 3A and 3B show an example of the layout of (a part of) the integrated circuit device 1 after the process of step S10 is completed. Here, FIG. 3A is a diagram in the case where the integrated circuit device 1 is realized by a channel-type gate array, and FIG. 3B is a diagram in the case where the integrated circuit device 1 is realized by a channel-less gate array. FIG.

集積回路装置1には、ベーシックセル(BC101、BC102、・・・、BC201、BC202、・・・、BC301、BC302、・・・)がX方向及びY方向にアレイ状に配置されている。図3(A)では1行目のベーシックセル(BC101、BC102、・・・)と2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)の間及び2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)と3行目のベーシックセル(BC301、BC302、・・・)の間等に配線領域30が設けられている。これに対し、図3(B)では1行目のベーシックセル(BC101、BC102、・・・)と2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)の間及び2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)と3行目のベーシックセル(BC301、BC302、・・・)の間等に配線領域が設けられておらず、レイアウト面積をより小さくすることができる。   In the integrated circuit device 1, basic cells (BC101, BC102,..., BC201, BC202,..., BC301, BC302,...) Are arranged in an array in the X direction and the Y direction. In FIG. 3A, the basic cells in the first row (BC101, BC102,...) And the basic cells in the second row (BC201, BC202,...) And the basic cells in the second row (BC201, BC202). ,... And a basic cell (BC301, BC302,...) In the third row, and the like. On the other hand, in FIG. 3B, the basic cells in the first row (BC101, BC102,...) And the basic cells in the second row (BC201, BC202,...) And in the second row. A wiring area is not provided between (BC201, BC202,...) And the basic cells (BC301, BC302,...) In the third row, and the layout area can be further reduced.

図3(A)、図3(B)において、ベーシックセル(BC101、BC102、・・・、BC201、BC202、・・・、BC301、BC302、・・・)はすべて同じ構成のセルである。ただし、2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)は、1行目のベーシックセル(BC101、BC102、・・・)に対してY方向に沿って向きが反転するように配置され、3行目のベーシックセル(BC301、BC302、・・・)は、2行目のベーシックセル(BC201、BC202、・・・)に対してY方向に沿って向きが反転するように配置されている。すなわち、Y方向に沿って1行毎に向きを反転しながらすべてのベーシックセルが配置されている。   3A and 3B, basic cells (BC101, BC102,..., BC201, BC202,..., BC301, BC302,...) Are all cells having the same configuration. However, the basic cells (BC201, BC202,...) In the second row are arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the basic cells (BC101, BC102,...) In the first row. The basic cells (BC301, BC302,...) In the third row are arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the basic cells (BC201, BC202,...) In the second row. Yes. That is, all the basic cells are arranged while reversing the direction for each row along the Y direction.

機能セル配置可能領域2は、X方向に沿って所定の間隔で連続する番号(0、1、2、・・・、47、・・・)が付けられた複数の配線グリッド3が設定されていてもよい。ベーシックセル(BC101、BC102、・・・、BC201、BC202、・・・、BC301、BC302、・・・)は、X方向の長さ(幅)が配線グリッドの間隔の整数倍(例えば、3倍)になるように作成されていてもよい。   The functional cell arrangement possible region 2 is set with a plurality of wiring grids 3 assigned numbers (0, 1, 2,..., 47,...) Consecutive at predetermined intervals along the X direction. May be. Basic cells (BC101, BC102,..., BC201, BC202,..., BC301, BC302,...) Have a length (width) in the X direction that is an integral multiple of the interval of the wiring grid (for example, three times). ) May be created.

図4に、ベーシックセルの構成の一例を示す。ベーシックセル40は、2つのポリシリコン配線41、42とP型拡散領域43により構成される2つのP型トランジスタと、2つのポリシリコン配線41、42とN型拡散領域44により構成される2つのN型トランジスタを含む。ベーシックセル40において、ポリシリコン配線41、42、P型拡散領域43、N型拡散領域44の一部を、メタル1層配線で接続することにより、種々の論理を有する機能セルを実現することができる。   FIG. 4 shows an example of a basic cell configuration. The basic cell 40 includes two P-type transistors composed of two polysilicon wirings 41 and 42 and a P-type diffusion region 43, and two parts composed of two polysilicon wirings 41 and 42 and an N-type diffusion region 44. Includes N-type transistors. In the basic cell 40, by connecting part of the polysilicon wirings 41 and 42, the P-type diffusion region 43, and the N-type diffusion region 44 with a metal one-layer wiring, a functional cell having various logics can be realized. it can.

また、ベーシックセル40は、ウェルコンタクト又は基板コンタクトを配置するためのN型拡散領域45及びP型拡散領域46を含むようにしてもよい。   Further, the basic cell 40 may include an N-type diffusion region 45 and a P-type diffusion region 46 for arranging a well contact or a substrate contact.

ベーシックセル40は配線グリッド間隔の3倍の幅を有し、47−1、47−2、47−3、47−4はベーシックセル40の辺(境界)を示す。そして、例えば、図3(A)におけるベーシックセルBC202は、辺47−1及び辺47−3がベーシックセルBC201の辺47−3及びベーシックセルBC203の辺47−1とそれぞれ接するように配置されている。また、図3(B)におけるベーシックセルBC202は、辺47−1及び47−3がベーシックセルBC201の辺47−3及びベーシックセルBC203の辺47−1とそれぞれ接し、辺47−4及び47−2がベーシックセルBC102の辺47−4及びベーシックセルBC302の辺47−2とそれぞれ接するように配置されている。   The basic cell 40 has a width three times the wiring grid interval, and 47-1, 47-2, 47-3, 47-4 indicate sides (boundaries) of the basic cell 40. For example, the basic cell BC202 in FIG. 3A is arranged such that the side 47-1 and the side 47-3 are in contact with the side 47-3 of the basic cell BC201 and the side 47-1 of the basic cell BC203, respectively. Yes. 3B, the sides 47-1 and 47-3 are in contact with the side 47-3 of the basic cell BC201 and the side 47-1 of the basic cell BC203, respectively, and the sides 47-4 and 47- 2 is arranged so as to be in contact with the side 47-4 of the basic cell BC102 and the side 47-2 of the basic cell BC302.

本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法においては、次に、機能セルを配置する(図2のステップS12)。図5(A)、図5(B)に、ステップS12の処理が終了した後の集積回路装置1(の一部)のレイアウトの一例を示す。図5(A)、図5(B)では、それぞれ、図3(A)、図3(B)に示す集積回路装置1のレイアウトにおいて、ベーシックセル(BC101、BC102、・・・、BC201、BC202、・・・、BC301、BC302、・・・)の一部を機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)に置き換えて配置している。ここで、2行目の機能セル(FC201、FC202、・・・)は、1行目の機能セル(FC101、FC102、・・・)に対してY方向に沿って向きが反転するように配置され、3行目の機能セル(FC301、FC302、・・・)は、2行目の機能セル(FC201、FC202、・・・)に対してY方向に沿って向きが反転するように配置されている。すなわち、Y方向に沿って1行毎に向きを反転しながら機能セルが配置されている。   In the integrated circuit device layout method of the present embodiment, next, functional cells are arranged (step S12 in FIG. 2). FIG. 5A and FIG. 5B show an example of the layout of (a part of) the integrated circuit device 1 after the process of step S12 is completed. 5A and 5B, in the layout of the integrated circuit device 1 shown in FIGS. 3A and 3B, basic cells (BC101, BC102,..., BC201, BC202 are respectively shown. , ..., BC301, BC302, ...) are replaced with functional cells (FC101, FC102, ..., FC201, FC202, ..., FC301, FC302, ...). Yes. Here, the functional cells (FC201, FC202,...) In the second row are arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the functional cells (FC101, FC102,...) In the first row. The functional cells (FC301, FC302,...) In the third row are arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the functional cells (FC201, FC202,...) In the second row. ing. That is, the functional cells are arranged while reversing the direction for each row along the Y direction.

さらに、図5(A)、図5(B)では、機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)にVDD電源及びVSS電源をそれぞれ供給するVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・及びVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・がX方向に沿って、例えばメタル1配線層に敷設されている。   Further, in FIGS. 5A and 5B, VDD power and VSS power are respectively supplied to the functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...). VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... And VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,. It is laid on one wiring layer.

機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)はその実現する論理に応じて必要とするベーシックセル数が異なる。例えば、機能セルFC101はベーシックセルBC101及びBC102で実現されており、機能セルFC102はベーシックセルBC104のみで実現されている。機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)は、反転論理を実現するインバータセル、NAND論理を実現するNANDセル、OR論理を実現するORセル等である。   Functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) Require different numbers of basic cells depending on the logic to be realized. For example, the functional cell FC101 is realized by the basic cells BC101 and BC102, and the functional cell FC102 is realized only by the basic cell BC104. Functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) Are inverter cells that implement inverted logic, NAND cells that implement NAND logic, and OR logic. OR cell or the like.

図6に、機能セルの一例としてインバータセルの構成の一例を示す。図4と同じ構成には同じ番号を付しており、説明を省略する。   FIG. 6 shows an example of the configuration of an inverter cell as an example of a functional cell. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

インバータセル50は、図4で説明したベーシックセル40に対して、メタル1層配線51、52、53、54及びコンタクト55、56、57、58、59が付加されている。   In the inverter cell 50, metal first-layer wirings 51, 52, 53, 54 and contacts 55, 56, 57, 58, 59 are added to the basic cell 40 described in FIG.

コンタクト55は、メタル1層配線51とポリシリコン配線42を接続する。従って、メタル1層配線51に供給された入力信号は、コンタクト55を介して、ポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのゲートとポリシリコン配線42及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのゲートに印加される。   The contact 55 connects the metal first layer wiring 51 and the polysilicon wiring 42. Therefore, the input signal supplied to the metal first layer wiring 51 is connected to the gate of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43 and the polysilicon wiring 42 and the N-type diffusion region via the contact 55. 44 is applied to the gate of the N-type transistor constituted by 44.

コンタクト56及び57は、メタル1層配線52とP型拡散領域43及びN型拡散領域44をそれぞれ接続する。すなわち、ポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのドレインとポリシリコン配線42及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのドレインが接続されている。   Contacts 56 and 57 connect the metal first layer wiring 52 to the P-type diffusion region 43 and the N-type diffusion region 44, respectively. That is, the drain of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43 and the drain of the N-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the N-type diffusion region 44 are connected.

コンタクト58はメタル1層配線53とP型拡散領域43を接続する。メタル1層配線53は、図5(A)又は図5(B)に示すVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのソースには、コンタクト58を介してVDD電源が供給される。   A contact 58 connects the metal first layer wiring 53 and the P-type diffusion region 43. The metal first layer wiring 53 is laid at a position overlapping with any one of the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... Shown in FIG. ing. Accordingly, VDD power is supplied to the source of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43 through the contact 58.

コンタクト59はメタル1層配線54とN型拡散領域44を接続する。メタル1層配線54は、図5(A)又は図5(B)に示すVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線42及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのソースには、コンタクト59を介してVSS電源が供給される。   A contact 59 connects the metal first-layer wiring 54 and the N-type diffusion region 44. The metal first layer wiring 54 is laid at a position overlapping with any one of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,... Shown in FIG. ing. Accordingly, VSS power is supplied to the source of the N-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the N-type diffusion region 44 through the contact 59.

インバータセル50は、以上の構成により、メタル1層配線51に供給された入力信号の反転論理の信号をメタル1層配線52から出力する。   The inverter cell 50 outputs the inverted logic signal of the input signal supplied to the metal first layer wiring 51 from the metal first layer wiring 52 with the above configuration.

図7に、機能セルの他の一例として2入力NANDセルの構成の一例を示す。図4と同じ構成には同じ番号を付しており、説明を省略する。   FIG. 7 shows an example of the configuration of a 2-input NAND cell as another example of the functional cell. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

2入力NANDセル60は、図4で説明したベーシックセル40に対して、メタル1層配線61、62、63、64、65及びコンタクト66、67、68、69、70、71、72が付加されている。   In the 2-input NAND cell 60, metal first-layer wirings 61, 62, 63, 64, 65 and contacts 66, 67, 68, 69, 70, 71, 72 are added to the basic cell 40 described in FIG. ing.

コンタクト66は、メタル1層配線61とポリシリコン配線41を接続する。従って、メタル1層配線61に供給された入力信号は、コンタクト66を介して、ポリシリコン配線41及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのゲートとポリシリコン配線41及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのゲートに印加される。   The contact 66 connects the metal first layer wiring 61 and the polysilicon wiring 41. Therefore, the input signal supplied to the metal first layer wiring 61 is connected to the gate of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 41 and the P-type diffusion region 43 and the polysilicon wiring 41 and the N-type diffusion region via the contact 66. 44 is applied to the gate of the N-type transistor constituted by 44.

コンタクト67は、メタル1層配線62とポリシリコン配線42を接続する。従って、メタル1層配線62に供給された入力信号は、コンタクト67を介して、ポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのゲートとポリシリコン配線42及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのゲートに印加される。   The contact 67 connects the metal first layer wiring 62 and the polysilicon wiring 42. Accordingly, the input signal supplied to the metal first layer wiring 62 is connected to the gate of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43 and the polysilicon wiring 42 and the N-type diffusion region via the contact 67. 44 is applied to the gate of the N-type transistor constituted by 44.

コンタクト68及び69は、メタル1層配線63とP型拡散領域43及びN型拡散領域44をそれぞれ接続する。すなわち、ポリシリコン配線41及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのドレイン、ポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのドレイン、ポリシリコン配線42及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのドレインが接続されている。   Contacts 68 and 69 connect the metal first-layer wiring 63 to the P-type diffusion region 43 and the N-type diffusion region 44, respectively. That is, the drain of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 41 and the P-type diffusion region 43, the drain of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43, the polysilicon wiring 42 and the N-type diffusion. The drain of the N-type transistor constituted by the region 44 is connected.

コンタクト70及び71はメタル1層配線64とP型拡散領域43を接続する。メタル1層配線64は、図5(A)又は図5(B)に示すVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線41及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのソース及びポリシリコン配線42及びP型拡散領域43により構成されるP型トランジスタのソースには、それぞれコンタクト70及び71を介してVDD電源が供給される。   Contacts 70 and 71 connect the metal first layer wiring 64 and the P-type diffusion region 43. The metal first layer wiring 64 is laid at a position overlapping with any one of the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... Shown in FIG. ing. Therefore, contacts 70 and 71 are provided on the source of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 41 and the P-type diffusion region 43 and the source of the P-type transistor constituted by the polysilicon wiring 42 and the P-type diffusion region 43, respectively. The VDD power is supplied through this.

コンタクト72はメタル1層配線65とN型拡散領域44を接続する。メタル1層配線65は、図5(A)又は図5(B)に示すVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線41及びN型拡散領域44により構成されるN型トランジスタのソースには、コンタクト72を介してVSS電源が供給される。   A contact 72 connects the metal first layer wiring 65 and the N-type diffusion region 44. The metal first layer wiring 65 is laid at a position overlapping with any one of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,... Shown in FIG. ing. Therefore, VSS power is supplied to the source of the N-type transistor constituted by the polysilicon wiring 41 and the N-type diffusion region 44 through the contact 72.

2入力NANDセル60は、以上の構成により、メタル1層配線61及び62に供給された2つの入力信号に対するNAND論理の信号をメタル1層配線63から出力する。   With the above configuration, the 2-input NAND cell 60 outputs NAND logic signals from the metal 1 layer wiring 63 for the two input signals supplied to the metal 1 layer wirings 61 and 62.

本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法においては、次に、図2のステップS12の処理の終了後のレイアウト(機能セルの配置を行った後のレイアウト)において、機能セル配置可能領域における機能セルが配置されていない未配置領域を探索する(未配置領域探索ステップ、図2のステップS14)。例えば、図5(A)又は図5(B)において、機能セル配置可能領域2における機能セル(FC101、FC102、・・・、FC201、FC202、・・・、FC301、FC302、・・・)が配置されていない領域、すなわち、ベーシックセル(BC103、BC107、・・・、BC203、BC205、・・・、BC305、BC307、・・・)が配置されている領域を探索する。   In the integrated circuit device layout method according to the present embodiment, next, in the layout after the completion of the processing in step S12 in FIG. 2 (the layout after the functional cells are arranged), the functional cells in the functional cell arrangement possible region. A non-arranged area where no is arranged is searched (unarranged area searching step, step S14 in FIG. 2). For example, in FIG. 5 (A) or FIG. 5 (B), functional cells (FC101, FC102,..., FC201, FC202,..., FC301, FC302,...) An area not arranged, that is, an area in which basic cells (BC103, BC107,..., BC203, BC205,..., BC305, BC307,...) Are searched.

次に、ステップS14で探索した未配置領域に、少なくとも2つの電源補強セルをY方向に沿って並べて配置する(電源補強セル配置ステップ、図2のステップS16)。先に説明した図1(A)、図1(B)の集積回路装置1における機能セル及び電源補強セルの配置は、それぞれ、図5(A)、図5(B)に示す集積回路装置1のレイアウトにおいて、ベーシックセル(BC103、BC107、・・・、BC203、BC205、・・・、BC305、BC307、・・・)を電源補強セル(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)に置き換えたものである。   Next, at least two power reinforcement cells are arranged side by side along the Y direction in the non-arranged area searched in step S14 (power reinforcement cell placement step, step S16 in FIG. 2). The arrangement of the functional cells and the power supply reinforcing cells in the integrated circuit device 1 of FIGS. 1A and 1B described above is the integrated circuit device 1 shown in FIGS. 5A and 5B, respectively. In this layout, basic cells (BC103, BC107,..., BC203, BC205,..., BC305, BC307,...) Are connected to power supply reinforcement cells (PC101, PC102,..., PC201, PC202,... · PC301, PC302, ...).

ステップS16の処理において、図1(A)、図1(B)に示すように、ステップS14で探索した未配置領域に、少なくとも2つの電源補強セル(例えば、PC101及びPC201)をY方向に沿って並べて配置するようにしてもよいし、3つの電源補強セル(例えば、PC103、PC203及びPC303)をY方向に沿って並べて配置するようにしてもよい。   In the process of step S16, as shown in FIGS. 1A and 1B, at least two power supply reinforcement cells (for example, PC101 and PC201) are arranged along the Y direction in the unarranged area searched in step S14. The three power supply reinforcing cells (for example, PC103, PC203, and PC303) may be arranged side by side along the Y direction.

図8に、電源補強セルの構成の一例を示す。図4と同じ構成には同じ番号を付しており、説明を省略する。   In FIG. 8, an example of a structure of a power supply reinforcement cell is shown. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

電源補強セル80は、図4で説明したベーシックセル40に対して、メタル1層配線81、82、83、84、85、86及びコンタクト87、88、89、90が付加されている。   In the power reinforcing cell 80, metal first-layer wirings 81, 82, 83, 84, 85, 86 and contacts 87, 88, 89, 90 are added to the basic cell 40 described in FIG.

電源補強セル80は、VDD電源補強線(第1の電源補強線)及びVSS電源補強線(第2の電源補強線)を含む。VDD電源補強線の少なくとも一部はポリシリコン配線層に敷設されたポリシリコン配線42(第1のポリシリコン配線パターン)により形成されており、VSS電源補強線の少なくとも一部はポリシリコン配線層に敷設されたポリシリコン配線41(第2のポリシリコン配線パターン)により形成されている。   The power supply reinforcing cell 80 includes a VDD power supply reinforcing line (first power supply reinforcing line) and a VSS power supply reinforcing line (second power supply reinforcing line). At least a part of the VDD power supply reinforcing line is formed by a polysilicon wiring 42 (first polysilicon wiring pattern) laid on the polysilicon wiring layer, and at least a part of the VSS power supply reinforcing line is formed on the polysilicon wiring layer. It is formed by a laid polysilicon wiring 41 (second polysilicon wiring pattern).

また、VDD電源補強線の一部は、メタル1配線層に敷設され、コンタクト89及び90を介してポリシリコン配線42に接続されたメタル1層配線83及び84(第1のメタル配線パターン)により形成されており、VSS電源補強線の一部は、メタル1配線層に敷設され、コンタクト87及び88を介してポリシリコン配線41に接続されたメタル1層配線81及び82(第2のメタル配線パターン)により形成されていてもよい。   Further, a part of the VDD power supply reinforcing line is laid in the metal 1 wiring layer, and is formed by metal 1 layer wiring 83 and 84 (first metal wiring pattern) connected to the polysilicon wiring 42 through the contacts 89 and 90. A part of the VSS power supply reinforcing line is formed and is laid on the metal 1 wiring layer, and is connected to the polysilicon wiring 41 via the contacts 87 and 88 (second metal wiring 81 and 82). Pattern).

ここで、メタル1層配線83の一部はメタル1層配線85と重複している。そして、メタル1層配線85は、図1(A)又は図1(B)に示すVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線42及びメタル1層配線84には、メタル1層配線85、メタル1層配線83、コンタクト89及び90を介してVDD電源が供給される。同様に、メタル1層配線82の一部はメタル1層配線86と重複している。そして、メタル1層配線86は、図1(A)又は図1(B)に示すVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。従って、ポリシリコン配線41及びメタル1層配線81には、メタル1層配線86、メタル1層配線82、コンタクト88及び87を介してVSS電源が供給される。   Here, a part of the metal first layer wiring 83 overlaps with the metal first layer wiring 85. The metal first layer wiring 85 is positioned so as to overlap with any one of the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... Shown in FIG. It is laid. Therefore, VDD power is supplied to the polysilicon wiring 42 and the metal first layer wiring 84 through the metal first layer wiring 85, the metal first layer wiring 83, and the contacts 89 and 90. Similarly, a part of the metal first layer wiring 82 overlaps with the metal first layer wiring 86. And the metal 1 layer wiring 86 is in the position which overlaps with any of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,... Shown in FIG. It is laid. Therefore, VSS power is supplied to the polysilicon wiring 41 and the metal first layer wiring 81 through the metal first layer wiring 86, the metal first layer wiring 82, and the contacts 88 and 87.

すなわち、図1(A)又は図1(B)のように電源補強セル80(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)を配置することにより、メタル1層配線83及び84によりVDD電源補強線がVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかと接続され、メタル1層配線81及び82によりVSS電源補強線がVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかと接続される。   That is, by arranging the power supply reinforcing cells 80 (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., PC301, PC302,...) As shown in FIG. The VDD power supply reinforcement line is connected to one of the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... By the metal first layer wirings 83 and 84, and the VSS power supply reinforcement is provided by the metal first layer wirings 81 and 82. The line is connected to one of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,.

さらに、メタル1層配線83、84及びメタル1層配線81、82は、セルの辺47−2(第1の辺)及び辺47−2と対向する辺47−4(第2の辺)に接するように敷設されていてもよい。図1(A)又は図1(B)では、辺47−2、47−4がY方向と直交するように電源補強セル80(PC101、PC102、・・・、PC201、PC202、・・・、PC301、PC302、・・・)を配置している。   Further, the metal first layer wirings 83 and 84 and the metal first layer wirings 81 and 82 are on the side 47-2 (first side) and the side 47-4 (second side) opposite to the side 47-2 of the cell. You may be laid so that it may touch. In FIG. 1 (A) or FIG. 1 (B), the power supply reinforcing cells 80 (PC101, PC102,..., PC201, PC202,..., So that the sides 47-2 and 47-4 are orthogonal to the Y direction. PC301, PC302, ...) are arranged.

そのため、図1(A)の集積回路装置1の場合、2つの電源補強セル(例えば、PC101及びPC201)がY方向に沿って並んで配置されると、配線領域30を利用して、2つの電源補強セルのメタル1層配線81同士(又はメタル1層配線82同士)及びメタル1層配線83同士(又はメタル1層配線84同士)を接続するメタル配線(例えば、メタル1層配線やメタル2層配線等)をY方向に沿って敷設することができる。従って、電源補強のための専用の配線領域を必要とせずに効率よく電源補強を行うことができる。また、図1(B)の集積回路装置1の場合、2つの電源補強セル(例えば、PC101及びPC201)がY方向に沿って並んで配置(隣接するように配置)されると、2つの電源補強セルのメタル1層配線81同士(又はメタル1層配線82同士)及びメタル1層配線83同士(又はメタル1層配線84同士)が接続される。従って、電源補強のための専用の配線領域を必要とせずに効率よく電源補強を行うことができる。   Therefore, in the case of the integrated circuit device 1 in FIG. 1A, when two power supply reinforcing cells (for example, PC 101 and PC 201) are arranged along the Y direction, Metal wiring (for example, metal 1 layer wiring or metal 2) for connecting metal 1 layer wirings 81 (or between metal 1 layer wirings 82) and metal 1 layer wirings 83 (or between metal 1 layer wirings 84) of power supply reinforcing cells. Layer wiring etc.) can be laid along the Y direction. Therefore, the power supply can be efficiently reinforced without requiring a dedicated wiring area for power supply. In the case of the integrated circuit device 1 in FIG. 1B, when two power reinforcing cells (for example, PC 101 and PC 201) are arranged side by side along the Y direction (arranged so as to be adjacent to each other), two power supplies The metal 1 layer wirings 81 (or the metal 1 layer wirings 82) and the metal 1 layer wirings 83 (or the metal 1 layer wirings 84) of the reinforcing cell are connected. Therefore, the power supply can be efficiently reinforced without requiring a dedicated wiring area for power supply.

また、電源補強セル80はメタル1層配線81、82、83、84を含むので、電源補強セル80を未配置領域に配置することによりメタル1層配線の分布の均等化を向上させることができる。   In addition, since the power reinforcing cell 80 includes the metal first layer wirings 81, 82, 83, and 84, the distribution of the metal first layer wiring can be improved by arranging the power reinforcing cell 80 in the non-arranged region. .

さらに、電源補強セル80はVDD電源が供給されるVDD電源補強線及びVSS電源が供給されるVSS電源補強線を含むので、電源補強セル80を未配置領域に配置することによりシールド効果が得られる。   Furthermore, since the power supply reinforcing cell 80 includes a VDD power supply reinforcing line to which VDD power is supplied and a VSS power supply line to which VSS power is supplied, a shielding effect can be obtained by arranging the power reinforcing cell 80 in the non-arranged region. .

図9に、電源補強セルの構成の他の一例を示す。図8と同じ構成には同じ番号を付しており、説明を省略する。   FIG. 9 shows another example of the configuration of the power supply reinforcing cell. The same components as those in FIG. 8 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

電源補強セル100は、図8で説明した電源補強セル80に対して、メタル1層配線82及び83がそれぞれP型拡散領域46及びN型拡散領域45と重複するように配線されており、メタル1層配線82とP型拡散領域46を接続するためのコンタクト91及びメタル1層配線83とN型拡散領域45を接続するためのコンタクト92が付加されている。   The power reinforcing cell 100 is wired so that the metal first-layer wirings 82 and 83 overlap the P-type diffusion region 46 and the N-type diffusion region 45 with respect to the power reinforcing cell 80 described in FIG. A contact 91 for connecting the first layer wiring 82 and the P type diffusion region 46 and a contact 92 for connecting the metal first layer wiring 83 and the N type diffusion region 45 are added.

そして、メタル1層配線85は、図1(A)又は図1(B)に示すVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設され、メタル1層配線86は、図1(A)又は図1(B)に示すVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・のいずれかと重複するような位置に敷設されている。   The metal first layer wiring 85 is positioned so as to overlap with any one of the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,... Shown in FIG. A position where the metal first layer wiring 86 is laid and overlaps one of the VSS power supply lines 20-1, 20-2, 20-3,... Shown in FIG. Is laid.

従って、N型拡散領域45にはメタル1層配線83及びコンタクト92を介してVDD電源が供給される。N型拡散領域45はNウェル(又はN基板)に配置され、Nウェル(又はN基板)の電位をVDDに安定化する役割を果たす。   Therefore, VDD power is supplied to the N-type diffusion region 45 via the metal first layer wiring 83 and the contact 92. The N type diffusion region 45 is disposed in the N well (or N substrate) and plays a role of stabilizing the potential of the N well (or N substrate) to VDD.

また、P型拡散領域46にはメタル1層配線82及びコンタクト91を介してVSS電源が供給される。P型拡散領域46はPウェル(又はP基板)に配置され、Pウェル(又はP基板)の電位をVSSに安定化する役割を果たす。   Further, VSS power is supplied to the P-type diffusion region 46 through the metal first layer wiring 82 and the contact 91. The P-type diffusion region 46 is disposed in the P well (or P substrate) and plays a role of stabilizing the potential of the P well (or P substrate) to VSS.

すなわち、電源補強セル100を未配置領域に配置することにより、Nウェル(又はN基板)の電位及びPウェル(又はP基板)の電位をより安定化させることができる。   That is, by arranging the power supply reinforcing cell 100 in the non-arranged region, the potential of the N well (or N substrate) and the potential of the P well (or P substrate) can be further stabilized.

本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法においては、最後に、機能セル間のネットを配線する(図2のステップS18)。ステップS18の処理において、図1(A)又は図1(B)におけるVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・、及びVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・が敷設されるメタル1配線層よりも上位のメタル配線層(例えば、メタル2配線層〜メタル4配線層)において、機能セルを接続するネットを配線する。ここで、少なくとも2つの電源補強セルがY方向に沿って並んで配置された場合に形成されるVDD電源を補強するための配線パターン及びVSS電源を補強するための配線パターンは、ポリシリコン配線、コンタクト、メタル1配線層において形成されるので、機能セル間のネットの配線に影響を与えない。   In the integrated circuit device layout method of the present embodiment, finally, nets between functional cells are wired (step S18 in FIG. 2). In the process of step S18, the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,..., And the VSS power supply lines 20-1, 20-2 in FIG. , 20-3,... Are wired in a metal wiring layer higher than the metal 1 wiring layer (for example, metal 2 wiring layer to metal 4 wiring layer). Here, the wiring pattern for reinforcing the VDD power source and the wiring pattern for reinforcing the VSS power source formed when at least two power source reinforcing cells are arranged side by side along the Y direction are polysilicon wiring, Since it is formed in the contact and metal 1 wiring layer, the net wiring between the functional cells is not affected.

図10は、図8に示す電源補強セルがY方向に並んで2つ配置された場合に形成されるVDD電源を補強するための配線パターンについて説明するための図である。電源補強セル80−1及び80−2がY方向に並んで配置(隣接するように配置)されている。ここで、電源補強セル80−2は電源補強セル80−1に対してY方向に沿って向きが反転するように配置されている。   FIG. 10 is a diagram for explaining a wiring pattern for reinforcing the VDD power supply formed when two power supply reinforcing cells shown in FIG. 8 are arranged in the Y direction. The power reinforcing cells 80-1 and 80-2 are arranged side by side in the Y direction (arranged so as to be adjacent to each other). Here, the power supply reinforcement cell 80-2 is arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the power supply reinforcement cell 80-1.

電源補強セル80−1及び80−2は、例えば、それぞれ図1(B)における電源補強セルPC101及びPC201に対応する。従って、電源補強セル80−1のメタル1層配線85−1及び86−1には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−1及びVSS電源供給線20−1からVDD電源及びVSS電源が供給される。同様に、電源補強セル80−2のメタル1層配線85−2及び86−2には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−2及びVSS電源供給線20−2からVDD電源及びVSS電源が供給される。   The power supply reinforcement cells 80-1 and 80-2 correspond to, for example, the power supply reinforcement cells PC101 and PC201 in FIG. Accordingly, for example, the VDD power supply and the VSS power are supplied from the VDD power supply line 10-1 and the VSS power supply line 20-1, respectively, to the metal first layer wirings 85-1 and 86-1 of the power supply reinforcing cell 80-1. The Similarly, for example, the VDD power supply and the VSS power supply are supplied from the VDD power supply line 10-2 and the VSS power supply line 20-2 to the metal first layer wirings 85-2 and 86-2 of the power supply reinforcing cell 80-2, respectively. Is done.

そして、電源補強セル80−1のメタル1層配線85−1(VDD電源供給線10−1)と電源補強セル80−2のメタル1層配線85−2(VDD電源供給線10−2)は、電源補強セル80−1のメタル1層配線83−1、コンタクト89−1、ポリシリコン配線42−1、コンタクト90−1、メタル1層配線84−1、及び電源補強セル80−2のメタル1層配線84−2、コンタクト90−2、ポリシリコン配線42−2、コンタクト89−2、メタル1層配線83−2を介して接続される。すなわち、電源補強セル80−1のメタル1層配線83−1、コンタクト89−1、ポリシリコン配線42−1、コンタクト90−1、メタル1層配線84−1、及び電源補強セル80−2のメタル1層配線84−2、コンタクト90−2、ポリシリコン配線42−2、コンタクト89−2、メタル1層配線83−2により、ポリシリコン配線42−1及び42−2をメタル1層配線86−1(VSS電源供給線20−1)及び86−2(VSS電源供給線20−2)とそれぞれ交差させて、VDD電源供給線10−1及び10−2を接続するVDD電源を補強するための配線パターンが形成される。   And the metal 1 layer wiring 85-1 (VDD power supply line 10-1) of the power reinforcement cell 80-1 and the metal 1 layer wiring 85-2 (VDD power supply line 10-2) of the power reinforcement cell 80-2 are as follows. , Metal first layer wiring 83-1 of power supply reinforcing cell 80-1, contact 89-1, polysilicon wiring 42-1, contact 90-1, metal first layer wiring 84-1, and metal of power reinforcing cell 80-2. The first layer wiring 84-2, the contact 90-2, the polysilicon wiring 42-2, the contact 89-2, and the metal first layer wiring 83-2 are connected. That is, the metal 1 layer wiring 83-1, the contact 89-1, the polysilicon wiring 42-1, the contact 90-1, the metal 1 layer wiring 84-1, and the power supply reinforcing cell 80-2 of the power reinforcing cell 80-1. By using the metal first layer wiring 84-2, the contact 90-2, the polysilicon wiring 42-2, the contact 89-2, and the metal first layer wiring 83-2, the polysilicon wirings 42-1 and 42-2 are connected to the metal first layer wiring 86. -1 (VSS power supply line 20-1) and 86-2 (VSS power supply line 20-2), respectively, to reinforce the VDD power supply connecting the VDD power supply lines 10-1 and 10-2 The wiring pattern is formed.

図11は、図8に示す電源補強セルがY方向に並んで2つ配置された場合に形成されるVSS電源を補強するための配線パターンについて説明するための図である。電源補強セル80−2及び80−3がY方向に並んで配置(隣接するように配置)されている。ここで、電源補強セル80−2はY方向に沿って図10の電源補強セル80−2と同じ向きに配置されており、電源補強セル80−3は電源補強セル80−2に対してY方向に沿って向きが反転するように配置されている。   FIG. 11 is a diagram for explaining a wiring pattern for reinforcing the VSS power supply formed when two power supply reinforcing cells shown in FIG. 8 are arranged in the Y direction. The power reinforcing cells 80-2 and 80-3 are arranged side by side in the Y direction (arranged so as to be adjacent to each other). Here, the power supply reinforcement cell 80-2 is arranged in the same direction as the power supply reinforcement cell 80-2 of FIG. 10 along the Y direction, and the power supply reinforcement cell 80-3 is Y with respect to the power supply reinforcement cell 80-2. It arrange | positions so that direction may be reversed along a direction.

電源補強セル80−2及び80−3は、例えば、それぞれ図1(B)における電源補強セルPC202及びPC301に対応する。従って、電源補強セル80−2のメタル1層配線85−2及び86−2には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−2及びVSS電源供給線20−2からVDD電源及びVSS電源が供給される。同様に、電源補強セル80−3のメタル1層配線85−3及び86−3には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−3及びVSS電源供給線20−3からVDD電源及びVSS電源が供給される。   The power supply reinforcement cells 80-2 and 80-3 correspond to, for example, the power supply reinforcement cells PC202 and PC301 in FIG. 1B, respectively. Accordingly, for example, the VDD power supply and the VSS power are supplied from the VDD power supply line 10-2 and the VSS power supply line 20-2 to the metal first layer wirings 85-2 and 86-2 of the power supply reinforcing cell 80-2, respectively. The Similarly, the VDD power supply and the VSS power supply are supplied from, for example, the VDD power supply line 10-3 and the VSS power supply line 20-3 to the metal first layer wirings 85-3 and 86-3 of the power reinforcing cell 80-3, respectively. Is done.

そして、電源補強セル80−2のメタル1層配線86−2(VSS電源供給線20−2)と電源補強セル80−3のメタル1層配線86−3(VSS電源供給線20−3)は、電源補強セル80−2のメタル1層配線82−2、コンタクト88−2、ポリシリコン配線41−2、コンタクト87−2、メタル1層配線81−2、及び電源補強セル80−3のメタル1層配線81−3、コンタクト87−3、ポリシリコン配線41−3、コンタクト88−3、メタル1層配線82−3を介して接続される。すなわち、電源補強セル80−2のメタル1層配線82−2、コンタクト88−2、ポリシリコン配線41−2、コンタクト87−2、メタル1層配線81−2、及び電源補強セル80−3のメタル1層配線81−3、コンタクト87−3、ポリシリコン配線41−3、コンタクト88−3、メタル1層配線82−3により、ポリシリコン配線41−2及び41−3をメタル1層配線85−2(VDD電源供給線10−2)及び85−3(VDD電源供給線10−3)とそれぞれ交差させて、VSS電源供給線20−2及び20−3を接続するVSS電源を補強するための配線パターンが形成される。   And the metal 1 layer wiring 86-2 (VSS power supply line 20-2) of the power reinforcement cell 80-2 and the metal 1 layer wiring 86-3 (VSS power supply line 20-3) of the power reinforcement cell 80-3 are as follows. , Metal first layer wiring 82-2, contact 88-2, polysilicon wiring 41-2, contact 87-2, metal first layer wiring 81-2, and metal of power reinforcing cell 80-3 The first layer wiring 81-3, the contact 87-3, the polysilicon wiring 41-3, the contact 88-3, and the metal first layer wiring 82-3 are connected. That is, the metal first layer wiring 82-2, contact 88-2, polysilicon wiring 41-2, contact 87-2, metal first layer wiring 81-2, and power reinforcing cell 80-3 of the power reinforcing cell 80-2. By using the metal first layer wiring 81-3, the contact 87-3, the polysilicon wiring 41-3, the contact 88-3, and the metal first layer wiring 82-3, the polysilicon wirings 41-2 and 41-3 are connected to the metal first layer wiring 85. -2 (VDD power supply line 10-2) and 85-3 (VDD power supply line 10-3), respectively, to reinforce the VSS power supply connecting the VSS power supply lines 20-2 and 20-3. The wiring pattern is formed.

図12は、図8に示す電源補強セルがY方向に並んで3つ配置された場合に形成されるVDD電源を補強するための配線パターン及びVSS電源を補強するための配線パターンについて説明するための図である。電源補強セル80−1、80−2及び80−3がY方向に並んで配置(隣接するように配置)されている。ここで、電源補強セル80−1、80−2及び80−3はY方向に沿ってそれぞれ図10及び図11の電源補強セル80−1、80−2及び80−3と同じ向きに配置されている。すなわち、電源補強セル80−2は電源補強セル80−1に対してY方向に沿って向きが反転するように配置され、電源補強セル80−3は電源補強セル80−2に対してY方向に沿って向きが反転するように配置されている。   FIG. 12 is a diagram for explaining a wiring pattern for reinforcing the VDD power source and a wiring pattern for reinforcing the VSS power source, which are formed when three power source reinforcing cells shown in FIG. 8 are arranged in the Y direction. FIG. The power reinforcing cells 80-1, 80-2, and 80-3 are arranged side by side (arranged so as to be adjacent) in the Y direction. Here, the power supply reinforcement cells 80-1, 80-2, and 80-3 are arranged in the same direction as the power supply reinforcement cells 80-1, 80-2, and 80-3 in FIGS. 10 and 11, respectively, along the Y direction. ing. That is, the power supply reinforcement cell 80-2 is arranged so that the direction is reversed along the Y direction with respect to the power supply reinforcement cell 80-1, and the power supply reinforcement cell 80-3 is in the Y direction with respect to the power supply reinforcement cell 80-2. It is arranged so that the direction is reversed along.

電源補強セル80−1、80−2及び80−3は、例えば、それぞれ図1(B)におけるPC103、PC203及びPC303の電源補強セルに対応する。従って、電源補強セル80−1のメタル1層配線85−1及び86−1には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−1及びVSS電源供給線20−1からVDD電源及びVSS電源が供給される。同様に、電源補強セル80−2のメタル1層配線85−2及び86−2には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−2及びVSS電源供給線20−2からVDD電源及びVSS電源が供給される。同様に、電源補強セル80−3のメタル1層配線85−3及び86−3には、例えば、それぞれVDD電源供給線10−3及びVSS電源供給線20−3からVDD電源及びVSS電源が供給される。   The power supply reinforcement cells 80-1, 80-2, and 80-3 correspond to, for example, the power supply reinforcement cells of the PC 103, PC 203, and PC 303 in FIG. Accordingly, for example, the VDD power supply and the VSS power are supplied from the VDD power supply line 10-1 and the VSS power supply line 20-1, respectively, to the metal first layer wirings 85-1 and 86-1 of the power supply reinforcing cell 80-1. The Similarly, for example, the VDD power supply and the VSS power supply are supplied from the VDD power supply line 10-2 and the VSS power supply line 20-2 to the metal first layer wirings 85-2 and 86-2 of the power supply reinforcing cell 80-2, respectively. Is done. Similarly, the VDD power supply and the VSS power supply are supplied from, for example, the VDD power supply line 10-3 and the VSS power supply line 20-3 to the metal first layer wirings 85-3 and 86-3 of the power reinforcing cell 80-3, respectively. Is done.

従って、電源補強セル80−1のメタル1層配線85−1(VDD電源供給線10−1)と電源補強セル80−2のメタル1層配線85−2(VDD電源供給線10−2)を接続する図10で説明した配線パターン及び電源補強セル80−2のメタル1層配線86−2(VSS電源供給線20−2)と電源補強セル80−3のメタル1層配線86−3(VSS電源供給線20−3)を接続する図11で説明した配線パターンの両方が形成される。   Therefore, the metal 1 layer wiring 85-1 (VDD power supply line 10-1) of the power supply reinforcing cell 80-1 and the metal 1 layer wiring 85-2 (VDD power supply line 10-2) of the power reinforcing cell 80-2 are connected. The wiring pattern and the metal 1 layer wiring 86-2 (VSS power supply line 20-2) of the power reinforcing cell 80-2 and the metal 1 layer wiring 86-3 (VSS) of the power reinforcing cell 80-3 which are connected in FIG. Both of the wiring patterns described in FIG. 11 for connecting the power supply line 20-3) are formed.

結局、図1(B)の集積回路装置1では、PC101とPC201、PC103とPC203の2組の電源補強セルにより、VDD電源供給線10−1と10−2(及び10−3)をY方向に接続する2つの配線パターンが形成される。また、PC202とPC301、PC203とPC303、PC204とPC304の3組の電源補強セルにより、VSS電源供給線20−2(及び20−1)と20−3をY方向に接続する3つの配線パターンが形成される。   After all, in the integrated circuit device 1 of FIG. 1B, the VDD power supply lines 10-1 and 10-2 (and 10-3) are connected in the Y direction by two sets of power supply reinforcement cells of PC101 and PC201 and PC103 and PC203. Two wiring patterns connected to are formed. In addition, three sets of power reinforcement cells, PC202 and PC301, PC203 and PC303, PC204 and PC304, have three wiring patterns for connecting the VSS power supply lines 20-2 (and 20-1) and 20-3 in the Y direction. It is formed.

図13は、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するためのフローチャートの他の一例である。図13に示すフローチャートのステップS20及びS22の処理は、図2に示すフローチャートのステップS10及びS12の処理と同じである。   FIG. 13 is another example of a flowchart for explaining the layout method of the integrated circuit device of this embodiment. The processes in steps S20 and S22 in the flowchart shown in FIG. 13 are the same as the processes in steps S10 and S12 in the flowchart shown in FIG.

一方、図2に示すフローチャートが未配置領域探索ステップ(ステップS14)及び電源補強セル配置ステップ(ステップS16)の処理を行った後にステップS18において機能セル間のネットを配線するのに対して、図13に示すフローチャートはステップS24において機能セル間のネットを配線した後に未配置領域探索ステップ(ステップS26)及び電源補強セル配置ステップ(ステップS28)の処理を行う点において相違する。   On the other hand, while the flowchart shown in FIG. 2 performs the processing of the unplaced area searching step (step S14) and the power reinforcing cell placement step (step S16), the net between functional cells is wired in step S18. The flowchart shown in FIG. 13 is different in that the processing of the unplaced area searching step (step S26) and the power supply reinforcing cell placement step (step S28) is performed after the net between the functional cells is wired in step S24.

ステップS24の処理において、図1(A)又は図1(B)におけるVDD電源供給線10−1、10−2、10−3、・・・及びVSS電源供給線20−1、20−2、20−3、・・・が敷設されるメタル1配線層よりも上位のメタル配線層(例えば、メタル2配線層〜メタル4配線層)において、機能セルを接続するネットを配線する。これに対して、電源補強セルはポリシリコン配線層及びメタル1配線層で配線が行われている。従って、ステップS24の処理において機能セルを接続するネットを配線した後であっても、ステップS28の処理において当該ネットの配線を変更することなく未配置領域に電源補強セルを配置することができる。   In the process of step S24, the VDD power supply lines 10-1, 10-2, 10-3,..., And the VSS power supply lines 20-1, 20-2 in FIG. In the metal wiring layer (for example, metal 2 wiring layer to metal 4 wiring layer) higher than the metal 1 wiring layer on which 20-3,. On the other hand, the power reinforcing cell is wired with a polysilicon wiring layer and a metal 1 wiring layer. Accordingly, even after the net connecting the functional cells is wired in the process of step S24, the power reinforcing cell can be arranged in the non-arranged region without changing the net wiring in the process of step S28.

以上、図1〜図13で説明したように、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、機能セルを所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、機能セルの未配置領域に少なくとも2つの電源補強セルをY方向に沿って並べて配置することにより、Y方向に沿って、VDD電源補強線を介して2つのVDD電源供給線を接続する配線パターン及びVSS電源補強線を介して2つのVSS電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成される。すなわち、少なくとも2つの電源補強セルをY方向に沿って並べて配置するだけでVDD電源及びVSS電源の少なくとも一方を補強することができる。従って、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現する集積回路装置を提供することができる。   As described above with reference to FIGS. 1 to 13, according to the layout method of the integrated circuit device of this embodiment, in the layout after the functional cells are arranged in the predetermined area, at least 2 in the area where the functional cells are not arranged. By arranging two power supply reinforcing cells side by side along the Y direction, a wiring pattern connecting two VDD power supply lines via the VDD power supply reinforcing line and two VSS power supply reinforcing lines along the Y direction are provided. At least one of the wiring patterns connecting the VSS power supply lines is formed. That is, at least one of the VDD power supply and the VSS power supply can be reinforced by simply arranging at least two power supply reinforcing cells side by side along the Y direction. Therefore, according to the integrated circuit device layout method of the present embodiment, it is possible to provide an integrated circuit device that realizes power supply reinforcement without increasing the chip area.

また、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、VDD電源供給線及びVSS電源供給線がメタル1配線層に敷設されるのに対して、電源補強セルに含まれるVDD電源補強線及びVSS電源補強線の少なくとも一部はメタル1配線層よりも下位のポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンによりそれぞれ形成される。そして、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンをVSS電源供給線及びVDD電源供給線とそれぞれ交差させるように電源補強セルが配置される。従って、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、VDD電源供給線とVSS電源補強線、VSS電源供給線とVDD電源補強線をそれぞれショートさせることなく、VDD電源を補強するための配線パターン及びVSS電源を補強するための配線パターンの少なくとも一方を形成することができる。   Further, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, the VDD power supply line and the VSS power supply line are laid in the metal 1 wiring layer, whereas the VDD power supply line included in the power supply cell and At least a part of the VSS power supply reinforcing line is formed by a first polysilicon wiring pattern and a second polysilicon wiring pattern laid in a polysilicon wiring layer below the metal 1 wiring layer, respectively. Then, the power reinforcing cell is arranged so that the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the VSS power supply line and the VDD power supply line, respectively. Therefore, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, the wiring for reinforcing the VDD power supply without short-circuiting the VDD power supply line and the VSS power supply line, and the VSS power supply line and the VDD power supply reinforcement line, respectively. At least one of the pattern and the wiring pattern for reinforcing the VSS power supply can be formed.

また、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、電源補強セルは第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、第1の辺及び第2の辺がY方向と直交するように電源補強セルを配置する。従って、2つの電源補強セルがY方向に沿って隣接するように配置された場合には、各電源補強セルの第1のメタル配線パターン同士及び第2のメタル配線パターン同士が接続される。すなわち、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、少なくとも2つの電源補強セルをY方向に沿って隣接するように配置するだけで、VDD電源及びVSS電源の少なくとも一方を補強することができる。従って、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、あらかじめ電源補強のための配線領域を確保することなく、効率的に電源補強をすることができる。   Further, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, the power reinforcing cell has the second metal wiring pattern and the second metal wiring pattern facing the first side and the first side of the cell. The power supply reinforcing cell is arranged so that the first side and the second side are orthogonal to the Y direction. Therefore, when two power supply reinforcing cells are arranged so as to be adjacent to each other in the Y direction, the first metal wiring patterns and the second metal wiring patterns of each power supply reinforcing cell are connected to each other. That is, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, it is possible to reinforce at least one of the VDD power source and the VSS power source only by arranging at least two power source reinforcing cells so as to be adjacent in the Y direction. it can. Therefore, according to the layout method of the integrated circuit device of this embodiment, it is possible to efficiently reinforce the power without securing a wiring area for power reinforcement in advance.

また、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、VDD電源及びVSS電源を補強するための各配線パターンが、機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層(例えばメタル2配線層〜メタル4配線層)よりも下位のメタル1配線層及びポリシリコン配線層において形成される。従って、機能セルを接続するネットの配線に電源補強セルの配置が影響しない。すなわち、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法によれば、不必要に配線領域を増加させることなくネットの配線を行うことができるので、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現することができる。   Further, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, each wiring pattern for reinforcing the VDD power source and the VSS power source has a metal wiring layer (for example, a metal 2 wiring layer˜ The metal 1 wiring layer and the polysilicon wiring layer lower than the (metal 4 wiring layer) are formed. Therefore, the arrangement of the power reinforcing cell does not affect the net wiring connecting the functional cells. That is, according to the layout method of the integrated circuit device of the present embodiment, it is possible to perform net wiring without unnecessarily increasing the wiring area, thereby realizing power supply reinforcement without increasing the chip area. Can do.

3.集積回路装置のレイアウトシステム、集積回路装置のレイアウトプログラム
図14は、本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム及びレイアウトプログラムについて説明するための図である。本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム200は、当該構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。
3. Integrated Circuit Device Layout System, Integrated Circuit Device Layout Program FIG. 14 is a diagram for explaining the integrated circuit device layout system and layout program of this embodiment. The integrated circuit device layout system 200 of the present embodiment may have a configuration in which some of the components (parts) are omitted.

操作部220は、ユーザーの操作等をデータとして入力するためのものであり、その機能は、例えばキーボードやマウス等のハードウェアにより実現できる。   The operation unit 220 is for inputting user operations and the like as data, and the function can be realized by hardware such as a keyboard and a mouse.

記憶部230は、処理部210や通信部270などのワーク領域となるもので、その機能はRAMなどのハードウェアにより実現できる。   The storage unit 230 serves as a work area such as the processing unit 210 and the communication unit 270, and its function can be realized by hardware such as a RAM.

記憶部230は、ライブラリ情報記憶部232を含む。   The storage unit 230 includes a library information storage unit 232.

ライブラリ情報記憶部232は、設計データにより得られたライブラリ情報(論理回路情報、レイアウト情報、接続情報)や、生成されたネットリストの情報等が記憶されている。   The library information storage unit 232 stores library information (logic circuit information, layout information, connection information) obtained from design data, information on the generated netlist, and the like.

情報記憶媒体240(コンピュータにより読み取り可能な媒体)は、プログラムやデータなどを格納するものであり、その機能は、光ディスク(CD、DVD等)、光磁気ディスク(MO)、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、或いはメモリ(ROM)などのハードウェアにより実現できる。   The information storage medium 240 (a computer-readable medium) stores programs, data, and the like, and functions as an optical disk (CD, DVD, etc.), a magneto-optical disk (MO), a magnetic disk, a hard disk, and a magnetic disk. It can be realized by hardware such as a tape or a memory (ROM).

また情報記憶媒体240には、本実施形態の各手段としてコンピュータを機能させるプログラムやデータが記憶される。   The information storage medium 240 stores programs and data that cause the computer to function as each unit of the present embodiment.

処理部210は、この情報記憶媒体240に格納されるプログラム(レイアウトプログラム)や情報記憶媒体240から読み出されたデータ(機能セルや電源補強セルのデータ等)などに基づいて本実施形態の種々の処理を行う。即ち情報記憶媒体240には、本実施形態の各手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム(各手段の処理をコンピュータに実行させるためのプログラム)が記憶される。   The processing unit 210 performs various operations of the present embodiment based on a program (layout program) stored in the information storage medium 240, data read from the information storage medium 240 (function cell, power supply cell data, etc.), and the like. Perform the process. That is, the information storage medium 240 stores a program for causing a computer to function as each unit of the present embodiment (a program for causing a computer to execute the process of each unit).

表示部250は、本実施形態により生成された画像を出力するものであり、その機能は、CRTディスプレイ、LCD(液晶ディスプレイ)、OELD(有機ELディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、タッチパネル型ディスプレイなどのハードウェアにより実現できる。   The display unit 250 outputs an image generated according to the present embodiment, and functions thereof are a CRT display, an LCD (liquid crystal display), an OELD (organic EL display), a PDP (plasma display panel), and a touch panel display. It can be realized by hardware such as.

音出力部260は、本実施形態により生成された音を出力するものであり、その機能は、スピーカ、或いはヘッドフォンなどのハードウェアにより実現できる。   The sound output unit 260 outputs the sound generated according to the present embodiment, and its function can be realized by hardware such as a speaker or headphones.

通信部270は、外部(例えばサーバ装置や他の端末機)との間で通信を行うための各種の制御を行うものであり、その機能は、各種プロセッサ又は通信用ASICなどのハードウェアや、プログラムなどにより実現できる。   The communication unit 270 performs various controls for communicating with the outside (for example, a server device or other terminals), and functions thereof include hardware such as various processors or communication ASICs, It can be realized by a program.

処理部210(プロセッサ)は、操作部220からの操作データやプログラムなどに基づいて、各種処理などを行う。この処理部210は記憶部230をワーク領域として各種処理を行う。処理部210の機能は各種プロセッサ(CPU、DSP等)、ASIC(ゲートアレイ等)などのハードウェアや、アプリケーションプログラム、OS(例えば汎用OS等)により実現できる。   The processing unit 210 (processor) performs various processes based on operation data and programs from the operation unit 220. The processing unit 210 performs various processes using the storage unit 230 as a work area. The functions of the processing unit 210 can be realized by hardware such as various processors (CPU, DSP, etc.), ASIC (gate array, etc.), application programs, and OS (for example, general-purpose OS).

処理部210は、未配置領域探索手段212、電源補強セル配置手段214を含む。処理部210は、さらに、機能セル配置手段216、ネット配線手段218を含んでもよい。   The processing unit 210 includes a non-arranged area searching unit 212 and a power supply reinforcing cell arranging unit 214. The processing unit 210 may further include a functional cell placement unit 216 and a net wiring unit 218.

未配置領域探索手段212は、複数の機能セルを所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、所定の領域における機能セルが配置されていない未配置領域を探索する処理を行う。   The non-arranged area searching unit 212 performs a process of searching for an unallocated area in which a functional cell in a predetermined area is not arranged in a layout after arranging a plurality of functional cells in the predetermined area.

電源補強セル配置手段214は、未配置領域探索手段212が探索した未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する処理を行う。そして、電源補強セル配置手段214は、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンを第2の電源供給線及び第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、第2の方向に沿って、第1の電源補強線を介して2つの第1の電源供給線を接続する配線パターン及び第2の電源補強線を介して2つの第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って並べて配置する。   The power reinforcement cell placement means 214 is a first power reinforcement formed by a first polysilicon wiring pattern at least partially laid on the polysilicon wiring layer in the unplaced area searched by the unplaced area search means 212. A process of arranging a power supply reinforcement cell including a line and a second power supply reinforcement line formed by a second polysilicon wiring pattern laid at least partially on the polysilicon wiring layer is performed. Then, the power reinforcing cell arranging means 214 intersects the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern with the second power supply line and the first power supply line, respectively, in the second direction. A wiring pattern connecting the two first power supply lines via the first power supply reinforcing line and a wiring pattern connecting the two second power supply lines via the second power reinforcing line At least two power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so that one is formed.

機能セル配置手段216は、所定の領域において第1の方向及び第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に複数の機能セルを配置する処理を行う。   The functional cell arrangement unit 216 performs a process of arranging a plurality of functional cells in an array in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction in a predetermined region.

ネット配線手段218は、集積回路装置(の一部)の回路接続情報に基づいて、機能セルを接続するネットを配線する処理を行う。   The net wiring means 218 performs processing for wiring a net for connecting functional cells based on circuit connection information of (a part of) the integrated circuit device.

未配置領域探索手段212及び電源補強セル配置手段214は、機能セル配置手段216が機能セルを配置する処理を行った後のレイアウトにおいて、それぞれ未配置領域を探索する処理及び電源補強セルを配置する処理を行うようにしてもよい。   The non-arranged area searching unit 212 and the power supply reinforcing cell arranging unit 214 arrange the process of searching for the non-arranged area and the power reinforcing cell, respectively, in the layout after the functional cell arranging unit 216 performs the process of arranging the functional cell. Processing may be performed.

また、未配置領域探索手段212及び電源補強セル配置手段214は、ネット配線手段218が機能セルを接続するネットを配線する処理を行った後のレイアウトにおいて、それぞれ未配置領域を探索する処理及び電源補強セルを配置する処理を行うようにしてもよい。   In addition, the unplaced area searching unit 212 and the power supply reinforcing cell placing unit 214 are respectively a process for searching for unplaced areas and a power source in the layout after the net wiring unit 218 performs the process of wiring nets connecting functional cells. You may make it perform the process which arrange | positions a reinforcement cell.

本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム又はレイアウトプログラムによれば、機能セルを所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、機能セルの未配置領域に少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って並べて配置することにより、第2の方向に沿って、第1の電源補強線を介して2つの第1の電源供給線を接続する配線パターン及び第2の電源補強線を介して2つの第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成される。すなわち、少なくとも2つの電源補強セルを第2の方向に沿って並べて配置するだけで第1の電源及び第2の電源の少なくとも一方を補強することができる。従って、本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム又はレイアウトプログラムによれば、チップ面積の増加を伴わずに電源補強を実現する集積回路装置を提供することができる。   According to the layout system or the layout program of the integrated circuit device of this embodiment, in the layout after the functional cells are arranged in the predetermined area, at least two power supply reinforcing cells are arranged in the second direction in the functional cell non-arranged area. By arranging the two power supply lines along the second direction, the wiring pattern connecting the two first power supply lines via the first power supply reinforcing line and the two power supply reinforcing lines along the second direction. At least one of the wiring patterns for connecting the second power supply line is formed. That is, it is possible to reinforce at least one of the first power source and the second power source only by arranging at least two power source reinforcing cells side by side along the second direction. Therefore, according to the layout system or layout program of the integrated circuit device of this embodiment, it is possible to provide an integrated circuit device that realizes power supply reinforcement without increasing the chip area.

また、本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム又はレイアウトプログラムによれば、第1の電源供給線及び第2の電源供給線が所定のメタル配線層に敷設されるのに対して、電源補強セルに含まれる第1の電源補強線及び第2の電源補強線の少なくとも一部はメタル配線層よりも下位のポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンによりそれぞれ形成される。そして、第1のポリシリコン配線パターン及び第2のポリシリコン配線パターンを第2の電源供給線及び第1の電源供給線とそれぞれ交差させるように電源補強セルが配置される。従って、本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム又はレイアウトプログラムによれば、第1の電源供給線と第2の電源補強線、第2の電源供給線と第1の電源補強線をそれぞれショートさせることなく、第1の電源を補強するための配線パターン及び第2の電源を補強するための配線パターンの少なくとも一方を形成することができる。   According to the layout system or layout program of the integrated circuit device of this embodiment, the first power supply line and the second power supply line are laid on a predetermined metal wiring layer, whereas the power supply reinforcing cell A first polysilicon wiring pattern and a second polysilicon wiring in which at least a part of the first power supply reinforcing line and the second power supply reinforcing line included in the wiring are laid in a polysilicon wiring layer lower than the metal wiring layer Each is formed by a pattern. The power reinforcing cells are arranged so that the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively. Therefore, according to the layout system or layout program of the integrated circuit device of the present embodiment, the first power supply line and the second power supply reinforcement line, and the second power supply line and the first power supply reinforcement line are short-circuited, respectively. It is possible to form at least one of a wiring pattern for reinforcing the first power source and a wiring pattern for reinforcing the second power source.

なお、本実施形態の各手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム(レイアウトプログラム)は、ホスト装置(サーバー)が有する情報記憶媒体からネットワーク及び通信部270を介して情報記憶媒体240(記憶部230)に配信してもよい。このようなホスト装置(サーバー)の情報記憶媒体の使用も本発明の範囲内に含めることができる。   Note that a program (layout program) for causing a computer to function as each unit of this embodiment is an information storage medium 240 (storage unit 230) from an information storage medium included in a host device (server) via a network and communication unit 270. May be delivered to. Use of the information storage medium of such a host device (server) can also be included in the scope of the present invention.

4.電子機器
図15に、本実施の形態の電子機器のブロック図の一例を示す。本電子機器800は、マイクロコンピュータ(集積回路装置)810、入力部820、メモリ830、電源生成部840、LCD850、音出力部860を含む。
4). Electronic Device FIG. 15 shows an example of a block diagram of the electronic device of this embodiment. The electronic apparatus 800 includes a microcomputer (integrated circuit device) 810, an input unit 820, a memory 830, a power generation unit 840, an LCD 850, and a sound output unit 860.

ここで、入力部820は、種々のデータを入力するためのものである。マイクロコンピュータ810は、この入力部820により入力されたデータに基づいて種々の処理を行うことになる。メモリ830は、マイクロコンピュータ810などの作業領域となるものである。電源生成部840は、電子機器800で使用される各種電源を生成するためのものである。LCD850は、電子機器が表示する各種の画像(文字、アイコン、グラフィック等)を出力するためのものである。   Here, the input unit 820 is for inputting various data. The microcomputer 810 performs various processes based on the data input by the input unit 820. The memory 830 serves as a work area for the microcomputer 810 and the like. The power generation unit 840 is for generating various power sources used in the electronic device 800. The LCD 850 is for outputting various images (characters, icons, graphics, etc.) displayed by the electronic device.

音出力部860は、電子機器800が出力する各種の音(音声、ゲーム音等)を出力するためのものであり、その機能は、スピーカなどのハードウェアにより実現できる。   The sound output unit 860 is for outputting various sounds (sound, game sound, etc.) output from the electronic device 800, and the function can be realized by hardware such as a speaker.

図16(A)に、電子機器の1つである携帯電話950の外観図の例を示す。この携帯電話950は、入力部として機能するダイヤルボタン952や、電話番号や名前やアイコンなどを表示するLCD954や、音出力部として機能し音声を出力するスピーカ956を備える。   FIG. 16A illustrates an example of an external view of a cellular phone 950 that is one of electronic devices. The cellular phone 950 includes a dial button 952 that functions as an input unit, an LCD 954 that displays a telephone number, a name, an icon, and the like, and a speaker 956 that functions as a sound output unit and outputs sound.

図16(B)に、電子機器の1つである携帯型ゲーム装置960の外観図の例を示す。この携帯型ゲーム装置960は、入力部として機能する操作ボタン962、十字キー964や、ゲーム画像を表示するLCD966や、音出力部として機能しゲーム音を出力するスピーカ968を備える。   FIG. 16B illustrates an example of an external view of a portable game device 960 that is one of electronic devices. The portable game device 960 includes an operation button 962 that functions as an input unit, a cross key 964, an LCD 966 that displays a game image, and a speaker 968 that functions as a sound output unit and outputs game sound.

図16(C)に、電子機器の1つであるパーソナルコンピュータ970の外観図の例を示す。このパーソナルコンピュータ970は、入力部として機能するキーボード972や、文字、数字、グラフィックなどを表示するLCD974、音出力部976を備える。   FIG. 16C illustrates an example of an external view of a personal computer 970 that is one of electronic devices. The personal computer 970 includes a keyboard 972 that functions as an input unit, an LCD 974 that displays characters, numbers, graphics, and the like, and a sound output unit 976.

本実施の形態の集積回路装置を図16(A)〜図16(C)の電子機器に組み込むことにより、電源ノイズに強く信頼性の高い電子機器を提供することができる。   By incorporating the integrated circuit device of this embodiment into the electronic devices in FIGS. 16A to 16C, an electronic device that is strong against power supply noise and has high reliability can be provided.

なお、本実施形態を利用できる電子機器としては、図16(A)〜図16(C)に示すもの以外にも、携帯型情報端末、ページャー、電子卓上計算機、タッチパネルを備えた装置、プロジェクタ、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置等の種々の電子機器を考えることができる。   Note that electronic devices that can use this embodiment include, in addition to those shown in FIGS. 16A to 16C, portable information terminals, pagers, electronic desk calculators, devices equipped with touch panels, projectors, Various electronic devices such as a word processor, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, and a car navigation device can be considered.

なお、本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。   In addition, this invention is not limited to this embodiment, A various deformation | transformation implementation is possible within the range of the summary of this invention.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

図1(A)、図1(B)は、本実施形態の集積回路装置について説明するための図である。FIG. 1A and FIG. 1B are diagrams for explaining the integrated circuit device of this embodiment. 本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するためのフローチャートの一例。An example of the flowchart for demonstrating the layout method of the integrated circuit device of this embodiment. 図3(A)、図3(B)は、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するための図である。3A and 3B are diagrams for explaining a layout method of the integrated circuit device of the present embodiment. ベーシックセルの構成の一例を示す図。The figure which shows an example of a structure of a basic cell. 図5(A)、図5(B)は、本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するための図である。FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams for explaining a layout method of the integrated circuit device of this embodiment. 機能セルの一例としてのインバータセルの構成の一例を示す図。The figure which shows an example of a structure of the inverter cell as an example of a functional cell. 機能セルの一例としての2入力NANDセルの構成の一例を示す図。The figure which shows an example of a structure of 2 input NAND cell as an example of a functional cell. 電源補強セルの構成の一例を示す図。The figure which shows an example of a structure of a power supply reinforcement cell. 電源補強セルの構成の一例を示す図。The figure which shows an example of a structure of a power supply reinforcement cell. 電源補強セルがY方向に2つ並んで配置された場合に形成されるVDD電源を補強するための配線パターンについて説明するための図。The figure for demonstrating the wiring pattern for reinforcing the VDD power supply formed when two power supply reinforcement cells are arrange | positioned along with the Y direction. 電源補強セルがY方向に2つ並んで配置された場合に形成されるVSS電源を補強するための配線パターンについて説明するための図。The figure for demonstrating the wiring pattern for reinforcing the VSS power supply formed when two power supply reinforcement cells are arrange | positioned along with the Y direction. 電源補強セルがY方向に3つ並んで配置された場合に形成されるVDD電源を補強するための配線パターン及びVSS電源を補強するための配線パターンについて説明するための図。The figure for demonstrating the wiring pattern for reinforcing the VDD power supply formed when three power supply reinforcement cells are arrange | positioned along with the Y direction, and the wiring pattern for reinforcing a VSS power supply. 本実施形態の集積回路装置のレイアウト方法について説明するためのフローチャートの一例。An example of the flowchart for demonstrating the layout method of the integrated circuit device of this embodiment. 本実施形態の集積回路装置のレイアウトシステム及びレイアウトプログラムについて説明するための図。1 is a diagram for explaining a layout system and a layout program of an integrated circuit device according to an embodiment. 集積回路装置を含む電子機器のブロック図の一例。1 is an example of a block diagram of an electronic device including an integrated circuit device. 図16(A)〜図16(C)は、種々の電子機器の外観図の例。16A to 16C are examples of external views of various electronic devices.

符号の説明Explanation of symbols

1 集積回路装置、2 機能セル配置可能領域、3 配線グリッド、10−1〜10−3 VDD電源供給線、20−1〜20−3 VSS電源供給線、30 配線領域、40 ベーシックセル、41 ポリシリコン配線、41−1〜41−3 ポリシリコン配線、42 ポリシリコン配線、42−1〜42−3 ポリシリコン配線、43 P型拡散領域、44 N型拡散領域、45 N型拡散領域、46 P型拡散領域、47−1〜47−4 辺、50 インバータセル、51 メタル1層配線、52 メタル1層配線、53 メタル1層配線、54 メタル1層配線、55 コンタクト、56 コンタクト、57 コンタクト、58 コンタクト、59 コンタクト、60 2入力NANDセル、61 メタル1層配線、62 メタル1層配線、63 メタル1層配線、64 メタル1層配線、65 メタル1層配線、66 コンタクト、67 コンタクト、68 コンタクト、69 コンタクト、70 コンタクト、71 コンタクト、72 コンタクト、80 電源補強セル、80−1〜80−3 電源補強セル、81 メタル1層配線、81−1〜81−3 メタル1層配線、82 メタル1層配線、82−1〜82−3 メタル1層配線、83 メタル1層配線、83−1〜83−3 メタル1層配線、84 メタル1層配線、84−1〜84−3 メタル1層配線、85 メタル1層配線、85−1〜85−3 メタル1層配線、86 メタル1層配線、86−1〜86−3 メタル1層配線、87 コンタクト、87−1〜87−3 コンタクト、88 コンタクト、88−1〜88−3 コンタクト、89 コンタクト、89−1〜89−3 コンタクト、90 コンタクト、90−1〜90−3 コンタクト、91 コンタクト、92 コンタクト、100 電源補強セル、200 レイアウトシステム、210 処理部、212 未配置領域探索手段、214 電源補強セル配置手段、216 機能セル配置手段、218 ネット配線手段、220 操作部、230 記憶部、232 ライブラリ情報記憶部、240 情報記憶媒体、250 表示部、260 音出力部、270 通信部、800 電子機器、810 マイクロコンピュータ(集積回路装置)、820 入力部、830 メモリ、840 電源生成部、850 LCD、860 音出力部、950 携帯電話、952 ダイヤルボタン、954 LCD、956 スピーカ、960 携帯型ゲーム装置、962 操作ボタン、964 十字キー、966 LCD、968 スピーカ、970 パーソナルコンピュータ、972 キーボード、974 LCD、976 音出力部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Integrated circuit device, 2 Function cell arrangement | positioning area | region, 3 Wiring grid, 10-1 to 10-3 VDD power supply line, 20-1 to 20-3 VSS power supply line, 30 Wiring area, 40 Basic cell, 41 Poly Silicon wiring, 41-1 to 41-3 polysilicon wiring, 42 polysilicon wiring, 42-1 to 42-3 polysilicon wiring, 43P type diffusion region, 44N type diffusion region, 45N type diffusion region, 46P Diffusion region, 47-1 to 47-4 sides, 50 inverter cell, 51 metal 1 layer wiring, 52 metal 1 layer wiring, 53 metal 1 layer wiring, 54 metal 1 layer wiring, 55 contacts, 56 contacts, 57 contacts, 58 contacts, 59 contacts, 60 2-input NAND cell, 61 metal 1 layer wiring, 62 metal 1 layer wiring, 63 metal Layer wiring, 64 metal 1 layer wiring, 65 metal 1 layer wiring, 66 contact, 67 contact, 68 contact, 69 contact, 70 contact, 71 contact, 72 contact, 80 power supply reinforcement cell, 80-1 to 80-3 power supply reinforcement Cell, 81 Metal 1 layer wiring, 81-1 to 81-3 Metal 1 layer wiring, 82 Metal 1 layer wiring, 82-1 to 82-3 Metal 1 layer wiring, 83 Metal 1 layer wiring, 83-1 to 83- 3 metal 1 layer wiring, 84 metal 1 layer wiring, 84-1 to 84-3 metal 1 layer wiring, 85 metal 1 layer wiring, 85-1 to 85-3 metal 1 layer wiring, 86 metal 1 layer wiring, 86- 1-86-3 metal 1 layer wiring, 87 contacts, 87-1 to 87-3 contacts, 88 contacts, 88-1 to 88-3 contacts, 8 Contact, 89-1 to 89-3 Contact, 90 Contact, 90-1 to 90-3 Contact, 91 Contact, 92 Contact, 100 Power Reinforcement Cell, 200 Layout System, 210 Processing Unit, 212 Unplaced Area Search Means, 214 Power reinforcement cell arrangement means, 216 functional cell arrangement means, 218 net wiring means, 220 operation section, 230 storage section, 232 library information storage section, 240 information storage medium, 250 display section, 260 sound output section, 270 communication section, 800 Electronic equipment, 810 microcomputer (integrated circuit device), 820 input unit, 830 memory, 840 power generation unit, 850 LCD, 860 sound output unit, 950 mobile phone, 952 dial button, 954 LCD, 956 speaker, 960 portable game Location, 962 operation buttons 964 cross key, 966 LCD, 968 speaker, 970 personal computer, 972 keyboard, 974 LCD, 976 a sound output unit

Claims (15)

複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウト方法であって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索ステップと、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置ステップと、を含み、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A method for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after arranging the plurality of functional cells in the predetermined area, a non-arranged area search step for searching an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. A power reinforcement cell arranging step of arranging a power reinforcement cell including a second power reinforcement line formed by two polysilicon wiring patterns,
In the power reinforcing cell placement step,
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line A method for laying out an integrated circuit device, wherein at least two of the power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.
請求項1において、
前記電源補強セルは、
前記第1の電源補強線の一部及び前記第2の電源補強線の一部が、前記所定のメタル配線層に敷設され、コンタクトを介して前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンにそれぞれ接続された第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンにより形成され、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第1のメタル配線パターンにより前記第1の電源補強線が前記第1の電源供給線に接続され、前記第2のメタル配線パターンにより前記第2の電源補強線が前記第2の電源供給線に接続されるように前記電源補強セルを配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
In claim 1,
The power reinforcing cell is
A part of the first power supply reinforcing line and a part of the second power supply reinforcing line are laid on the predetermined metal wiring layer, and the first polysilicon wiring pattern and the second power supply line are connected via a contact. Formed by a first metal wiring pattern and a second metal wiring pattern respectively connected to the polysilicon wiring pattern;
In the power reinforcing cell placement step,
The first power supply line is connected to the first power supply line by the first metal wiring pattern, and the second power supply line is connected to the second power supply line by the second metal wiring pattern. A layout method of an integrated circuit device, wherein the power reinforcing cell is arranged so as to be connected to a power source.
請求項2において、
前記電源補強セルは、
前記第1のメタル配線パターン及び前記第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び前記第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、
前記第1の辺及び前記第2の辺が前記第2の方向と直交するように前記電源補強セルを配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
In claim 2,
The power reinforcing cell is
The first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are laid so as to be in contact with a first side of the cell and a second side facing the first side,
A layout method of an integrated circuit device, wherein the power supply reinforcing cell is arranged so that the first side and the second side are orthogonal to the second direction.
請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記所定のメタル配線層は、
前記複数の機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層よりも下位のメタル配線層であることを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
In any one of Claims 1 thru | or 3,
The predetermined metal wiring layer is
A method for laying out an integrated circuit device, characterized in that the metal wiring layer is lower than a metal wiring layer for wiring a net connecting the plurality of functional cells.
請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記電源補強セル配置ステップにおいて、
前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの両方が形成されるように、少なくとも3つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
In any one of Claims 1 thru | or 4,
In the power reinforcing cell placement step,
A wiring pattern connecting the two first power supply lines via the first power supply reinforcement line and the second power supply lines via the second power supply reinforcement line along the second direction. A layout method of an integrated circuit device, wherein at least three of the power reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so that both wiring patterns connecting power supply lines are formed.
請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記機能セル及び前記電源補強セルは、
ゲートアレイの一単位であるベーシックセルと所定の配線パターンに基づいて実現されることを特徴とする集積回路装置のレイアウト方法。
In any one of Claims 1 thru | or 5,
The functional cell and the power supply reinforcing cell are:
A layout method of an integrated circuit device, which is realized based on a basic cell as a unit of a gate array and a predetermined wiring pattern.
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウトを行うレイアウトプログラムであって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索手段と、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置手段としてコンピュータを機能させ、
前記電源補強セル配置手段は、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウトプログラム。
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A layout program for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after the plurality of functional cells are arranged in the predetermined area, an unarranged area search means for searching for an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. And a second power source reinforcement line formed by the polysilicon wiring pattern, and a power source reinforcement cell arrangement means for arranging a power source reinforcement cell including the second power source reinforcement line,
The power reinforcing cell arranging means is
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line A layout program for an integrated circuit device, wherein at least two of the power supply reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置のレイアウトを行うレイアウトシステムであって、
前記複数の機能セルを前記所定の領域に配置した後のレイアウトにおいて、前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない未配置領域を探索する未配置領域探索手段と、
前記未配置領域に、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを配置する電源補強セル配置手段と、を含み、
前記電源補強セル配置手段は、
前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されるように、少なくとも2つの前記電源補強セルを前記第2の方向に沿って並べて配置することを特徴とする集積回路装置のレイアウトシステム。
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. A layout system for laying out an integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
In a layout after the plurality of functional cells are arranged in the predetermined area, an unarranged area search means for searching for an unarranged area in which the functional cells are not arranged in the predetermined area;
In the non-arranged region, a first power reinforcing line formed by a first polysilicon wiring pattern at least partly laid on the polysilicon wiring layer and a first power supply line at least partly laid on the polysilicon wiring layer. Power reinforcing cell arrangement means for arranging a power reinforcing cell including a second power reinforcing line formed by two polysilicon wiring patterns,
The power reinforcing cell arranging means is
The first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern intersect with the second power supply line and the first power supply line, respectively, along the second direction, At least one of a wiring pattern that connects the two first power supply lines via one power reinforcing line and a wiring pattern that connects the two second power supply lines via the second power reinforcing line An integrated circuit device layout system, wherein at least two of the power supply reinforcing cells are arranged side by side along the second direction so as to be formed.
複数の機能セルが所定の領域において第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向にアレイ状に配置され、前記複数の機能セルに第1の電源及び第2の電源をそれぞれ供給する第1の電源供給線及び第2の電源供給線が前記第1の方向に沿って所定のメタル配線層に敷設された集積回路装置であって、
前記所定の領域における前記機能セルが配置されていない領域に配置され、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第1のポリシリコン配線パターンにより形成された第1の電源補強線と、少なくとも一部がポリシリコン配線層に敷設された第2のポリシリコン配線パターンにより形成された第2の電源補強線と、を含む電源補強セルを含み、
少なくとも2つの前記電源補強セルが前記第2の方向に沿って並んで配置されることにより、前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンを前記第2の電源供給線及び前記第1の電源供給線とそれぞれ交差させて、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの少なくとも一方が形成されていることを特徴とする集積回路装置。
A plurality of functional cells are arranged in an array in a predetermined region in a first direction and a second direction orthogonal to the first direction, and a first power source and a second power source are respectively supplied to the plurality of functional cells. An integrated circuit device in which a first power supply line and a second power supply line to be supplied are laid on a predetermined metal wiring layer along the first direction,
A first power supply reinforcement line formed by a first polysilicon wiring pattern disposed in a region where the functional cell is not disposed in the predetermined region and at least a part of which is laid on a polysilicon wiring layer; and A power supply reinforcing cell including a second power supply reinforcing line formed by a second polysilicon wiring pattern partially laid on the polysilicon wiring layer,
By arranging at least two of the power reinforcing cells side by side along the second direction, the first polysilicon wiring pattern and the second polysilicon wiring pattern are connected to the second power supply line and A wiring pattern that crosses each of the first power supply lines and connects the two first power supply lines through the first power supply reinforcing line along the second direction; An integrated circuit device, wherein at least one of the wiring patterns connecting the two second power supply lines via the power reinforcing line is formed.
請求項9において、
前記電源補強セルは、
前記第1の電源補強線の一部及び前記第2の電源補強線の一部が、前記所定のメタル配線層に敷設され、コンタクトを介して前記第1のポリシリコン配線パターン及び前記第2のポリシリコン配線パターンにそれぞれ接続された第1のメタル配線パターン及び第2のメタル配線パターンにより形成され、前記第1のメタル配線パターンにより前記第1の電源補強線が前記第1の電源供給線に接続され、前記第2のメタル配線パターンにより前記第2の電源補強線が前記第2の電源供給線に接続されるように配置されていることを特徴とする集積回路装置。
In claim 9,
The power reinforcing cell is
A part of the first power supply reinforcing line and a part of the second power supply reinforcing line are laid on the predetermined metal wiring layer, and the first polysilicon wiring pattern and the second power supply line are connected via a contact. A first metal wiring pattern and a second metal wiring pattern respectively connected to the polysilicon wiring pattern are formed, and the first power supply reinforcing line is formed into the first power supply line by the first metal wiring pattern. An integrated circuit device characterized in that the second power supply reinforcing line is connected to the second power supply line by the second metal wiring pattern.
請求項10において、
前記電源補強セルは、
前記第1のメタル配線パターン及び前記第2のメタル配線パターンがセルの第1の辺及び前記第1の辺と対向する第2の辺に接するように敷設され、前記第1の辺及び前記第2の辺が前記第2の方向と直交するように配置されていることを特徴とする集積回路装置。
In claim 10,
The power reinforcing cell is
The first metal wiring pattern and the second metal wiring pattern are laid so as to contact a first side of the cell and a second side opposite to the first side, and the first side and the second side 2. An integrated circuit device, wherein two sides are arranged so as to be orthogonal to the second direction.
請求項9乃至11のいずれかにおいて、
前記所定のメタル配線層は、
前記複数の機能セルを接続するネットを配線するメタル配線層よりも下位のメタル配線層であることを特徴とする集積回路装置。
In any of claims 9 to 11,
The predetermined metal wiring layer is
An integrated circuit device comprising a metal wiring layer lower than a metal wiring layer for wiring a net connecting the plurality of functional cells.
請求項9乃至12のいずれかにおいて、
少なくとも3つの前記電源補強セルが前記第2の方向に沿って並んで配置されることにより、前記第2の方向に沿って、前記第1の電源補強線を介して2つの前記第1の電源供給線を接続する配線パターン及び前記第2の電源補強線を介して2つの前記第2の電源供給線を接続する配線パターンの両方が形成されていることを特徴とする集積回路装置。
In any of claims 9 to 12,
By arranging at least three of the power supply reinforcing cells side by side along the second direction, the two first power supplies are provided along the second direction via the first power supply reinforcing line. An integrated circuit device, wherein both a wiring pattern for connecting a supply line and a wiring pattern for connecting the two second power supply lines through the second power supply reinforcing line are formed.
請求項9乃至13のいずれかにおいて、
前記機能セル及び前記電源補強セルは、
ゲートアレイの一単位であるベーシックセルと所定の配線パターンに基づいて実現されることを特徴とする集積回路装置。
In any of claims 9 to 13,
The functional cell and the power supply reinforcing cell are:
An integrated circuit device, which is realized based on a basic cell as a unit of a gate array and a predetermined wiring pattern.
請求項9乃至14に記載された集積回路装置と、
前記集積回路装置の処理対象となるデータの入力手段と、
前記集積回路装置により処理されたデータを出力するための出力手段とを含むことを特徴とする電子機器。
An integrated circuit device according to claim 9 to 14, and
Data input means to be processed by the integrated circuit device;
And an output means for outputting data processed by the integrated circuit device.
JP2008004577A 2008-01-11 2008-01-11 Layout method, program and system of integrated circuit device, integrated circuit device, and electronics Withdrawn JP2009170520A (en)

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