JP2009168517A - Magnetic field visualizing apparatus, inspecting apparatus, visualizing method and defect detecting method - Google Patents

Magnetic field visualizing apparatus, inspecting apparatus, visualizing method and defect detecting method Download PDF

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Koji Yamada
興治 山田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a visualizing apparatus capable of displaying a magnetic field distribution so as to be able to easily find a defect. <P>SOLUTION: The visualizing apparatus comprises a screen 21 having a first plane 1 and a second plane 2 comprising fluorescent materials 20 of a plurality of colors arranged in a certain order of colors; an electron beam irradiating means 23 irradiating an electron beam 22 to one of the fluorescent materials 20; a deflecting means 24 deflecting the electron beam 22; and a signal supplying means 26 providing a signal with the electron beam irradiating means 23 and the deflecting means 24, deflecting the electron beam 22 so as to irradiate only fluorescent materials 20 of one color among those of a polarity of colors, and displaying a color image only having that color on the screen 21. A color image having a plurality of colors that are corresponding with the magnetic field distribution is formed on the second plane by bringing the first plane close to the material while displaying the color image of that color and subjecting the electron beam 22 to Lorenz force. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気漏洩する材料の磁界分布の可視化装置および可視化方法、さらには、その可視化装置および可視化方法を用いた検査装置および欠陥の検出方法に関する。   The present invention relates to a visualization device and a visualization method for a magnetic field distribution of a magnetic leaking material, and further relates to an inspection device and a defect detection method using the visualization device and the visualization method.

発電設備やガス供給パイプラインには、鉄鋼材料が使用されており、その鉄鋼材料に損傷が生じたり、劣化が起こると、電気やガスの供給ができなくなり、社会に重大な影響がもたらされる。例えば、医療現場では、長期間電気やガスの供給が停止すると、生命の危険さえある。このため、鉄鋼材料の損傷や劣化を未然に防ぐべく、製造段階での品質検査や設置後の定期検査が行われている。   Steel materials are used in power generation facilities and gas supply pipelines. If the steel materials are damaged or deteriorated, electricity and gas cannot be supplied, which has a serious impact on society. For example, in the medical field, if the supply of electricity or gas is stopped for a long time, there is even a life danger. For this reason, in order to prevent damage and deterioration of steel materials, quality inspection at the manufacturing stage and periodic inspection after installation are performed.

これらの検査では、損傷箇所や劣化箇所を検知するために、超音波探傷といった非破壊評価が行われている。この方法は、超音波を対象物に当ててその反響を映像化することで、その対象物の内部の状態を切断等することなく、損傷や劣化についての評価を行う方法である。   In these inspections, nondestructive evaluation such as ultrasonic flaw detection is performed in order to detect a damaged part or a deteriorated part. This method is a method for evaluating damage and deterioration by cutting an internal state of an object by applying an ultrasonic wave to the object and visualizing the echo.

鉄鋼材料の中で最も頻繁に使用される材料として、ステンレス鋼がある。このステンレス鋼は、常磁性を示すが、材料内部の残留応力の増大に伴い、マルテンサイトが生成され磁化する。こうした材料の初期条件からの変化や、材料の劣化、すなわち無垢材からの格子欠陥密度の増加は、磁気物性の変化として捉えることができる。   Stainless steel is the most frequently used material among steel materials. This stainless steel exhibits paramagnetism, but martensite is generated and magnetized as the residual stress inside the material increases. Such a change from the initial condition of the material and deterioration of the material, that is, an increase in the lattice defect density from the solid material can be regarded as a change in magnetic properties.

例えば、磁化過程で発生する不連続磁化(磁気ノイズ)の変化や、残留する局所的な格子ひずみに伴う局所的な着磁量の変化は、非一様な着磁分布として検出することができ、非破壊的な磁気物性評価により検出することができる。   For example, changes in discontinuous magnetization (magnetic noise) that occur in the magnetization process and changes in the amount of local magnetization due to residual local lattice distortion can be detected as non-uniform magnetization distributions. It can be detected by nondestructive magnetic property evaluation.

これらの磁気ノイズの変化や局所的な着磁量の変化は、磁界(磁場)の強さや向きを計測することを目的とした磁気センサ(ホール素子)を用い、磁気ノイズ測定や漏洩磁束密度測定を行うことで捉えることができる。また、レーザCCDを用いた距離計により装置から試料面までの距離を求めることで、または干渉基準鏡により試料面のx、y、zの3方向の表面形状変化をCCDに取り込むことで、表面形状変化を捉えることもできる(非特許文献1参照)。   These magnetic noise changes and local changes in the amount of magnetization are measured using a magnetic sensor (Hall element) for measuring the strength and direction of the magnetic field (magnetic field), and measuring magnetic noise and magnetic flux density. Can be captured. In addition, the distance from the device to the sample surface can be obtained by a distance meter using a laser CCD, or the surface shape changes in the x, y, and z directions of the sample surface can be taken into the CCD by an interference reference mirror. A change in shape can also be captured (see Non-Patent Document 1).

ホール素子を用いた漏洩磁束密度測定や、レーザCCDや干渉基準鏡を用いた表面形状変化測定により磁界の強さの分布を高感度で可視化表示することができ、初期条件でのその分布と時間経過後の分布とを見て比較することができるため、その着磁分布の変化や表面形状の変化を簡単かつ高感度で捉えることができる。このことから、この方法は、材料の損傷や劣化を、高感度で、かつ簡便に評価することができる。   The magnetic field strength distribution can be visualized and displayed with high sensitivity by measuring the leakage magnetic flux density using a Hall element and measuring the surface shape using a laser CCD or interference reference mirror. Since it can be compared with the distribution after the passage, the change in the magnetization distribution and the change in the surface shape can be captured easily and with high sensitivity. From this, this method can easily evaluate damage and deterioration of a material with high sensitivity.

そのほか、被測定物全体の電磁界放射の様子を正確に、かつ連続的に可視化表示することができる装置が提案されている(特許文献1参照)。この装置は、電界または磁界を検出するアンテナと、そのアンテナに誘起される高周波電圧または高周波電流を電界または磁界の検出信号として取り出す帯域フィルタと、その帯域フィルタにより取り出された検出信号の信号レベルを可視表示するための表示用素子とを備えた検出表示ユニットをシート上に複数個配設してなるものである。具体的には、帯域フィルタにより取り出された検出信号の信号レベルに応じた熱量を赤外線カメラにより可視化して電界の空間分布状態を観測することができるようにしている。この装置は、被測定物を覆うように設置することで、正確な電磁界の測定を行い、観測する位置の電磁界の状態を直接その位置に表示することができる。
山田興治、磯部仁博、“磁気センサと表面形状計測による鉄基構造材料の非破壊検査”、[online]、平成12年、[平成19年12月21日検索]、インターネット<URL:http://www.saitama-u.ac.jp/crc/professor/kiyo/h12/21.pdf> 特開2001−66337号公報
In addition, an apparatus capable of accurately and continuously visualizing and displaying the state of electromagnetic field radiation of the entire object to be measured has been proposed (see Patent Document 1). This device includes an antenna that detects an electric field or a magnetic field, a band filter that extracts a high-frequency voltage or high-frequency current induced in the antenna as an electric or magnetic field detection signal, and a signal level of the detection signal that is extracted by the band filter. A plurality of detection display units including display elements for visual display are arranged on a sheet. Specifically, the amount of heat corresponding to the signal level of the detection signal extracted by the bandpass filter is visualized by an infrared camera so that the spatial distribution state of the electric field can be observed. By installing this apparatus so as to cover the object to be measured, it is possible to accurately measure the electromagnetic field and directly display the state of the electromagnetic field at the position to be observed at that position.
Koji Yamada, Hitoshi Hirobe, “Non-destructive inspection of iron-based structural materials using magnetic sensors and surface shape measurement”, [online], 2000, [Searched on December 21, 2007], Internet <URL: http: //www.saitama-u.ac.jp/crc/professor/kiyo/h12/21.pdf> JP 2001-663337 A

ホール素子を用いる漏洩磁束密度測定では、12ビットの空間分解能でCPUに取り込み、多数サンプルにより計測精度を向上させており、磁気分布の画像を得るためには、数十分から数時間という長い時間を要している。   In leakage magnetic flux density measurement using a Hall element, the measurement accuracy is improved with a large number of samples by taking it into the CPU with a spatial resolution of 12 bits. In order to obtain an image of magnetic distribution, it takes a long time from several tens of minutes to several hours. Is needed.

また、上記のアンテナを用いる装置は、アンテナで磁界を検出し、その検出信号を処理し、画像表示している。このため、アンテナで磁界を検出し、検出信号を生成し、その検出信号を処理してから画像表示するまでには時間を要し、その間の磁界の変化を観測することはできない。磁界分布により欠陥を発見する場合においても、アンテナで磁界を検出し、検出信号を生成し、その検出信号を処理してから画像表示するまでには時間を要するため、即座に欠陥の有無を検出することはできない。   The apparatus using the antenna detects a magnetic field with the antenna, processes the detection signal, and displays an image. For this reason, it takes time to detect a magnetic field with an antenna, generate a detection signal, process the detection signal, and display an image, and a change in the magnetic field during that time cannot be observed. Even when a defect is discovered by magnetic field distribution, it takes time to detect the magnetic field with the antenna, generate a detection signal, process the detection signal, and display the image. I can't do it.

品質検査を流れ作業で行い、検査時間を短縮して作業効率を向上させるためには、短時間で欠陥の有無を検出しなければならない。また、医療の現場では、医療器具や破損した医療器具が人体に取り残されるケースがあり、医療器具が取り残されていないかどうか、また、医療器具が破損しているか否かを即座に検出することができることが望まれている。   In order to perform quality inspections in a flow operation and shorten the inspection time to improve the work efficiency, it is necessary to detect the presence or absence of defects in a short time. Also, in medical practice, there are cases where medical devices or damaged medical devices are left behind in the human body, and immediately detect whether the medical devices are left behind and whether or not the medical devices are damaged. It is hoped that it can be done.

そこで、これらの欠陥を簡単に発見することができるように、磁界分布を即座に表示することができる可視化装置および方法の提供が望まれていた。   Therefore, it has been desired to provide a visualization apparatus and method that can immediately display the magnetic field distribution so that these defects can be easily found.

本発明者は、鋭意検討した結果、カラーテレビに使用されているブラウン管を用い、RGBのうちの1色でスクリーンを表示したまま、そのスクリーンを着磁され磁気漏洩する金属等の材料へ近づけると、電子ビームの荷電粒子が、その粒子の進行方向に対して垂直な方向に作用するローレンツ力を受けて、目標とされた蛍光物質の隣やさらに隣の蛍光物質に当たり、それを電子ビームを発射する電子銃の側から見ると、磁界分布がRGBで明瞭かつ即座に表示されることを見出した。この磁界分布は、磁気漏洩する材料へスクリーンを近づけると即座に表示されるため、簡単に、かつ短時間で欠陥の有無を検出することができる。   As a result of intensive studies, the present inventor uses a cathode ray tube used in a color television, and displays the screen in one color of RGB while bringing the screen close to a material such as a metal that is magnetized and magnetically leaks. The charged particle of the electron beam receives the Lorentz force acting in the direction perpendicular to the traveling direction of the particle, hits the fluorescent material next to the target fluorescent material and further adjacent to the fluorescent material, and emits the electron beam From the electron gun side, the magnetic field distribution was clearly and immediately displayed in RGB. Since this magnetic field distribution is immediately displayed when the screen is brought close to the magnetic leaking material, the presence or absence of defects can be detected easily and in a short time.

本発明は、上記のことを見出すことによりなされたものであり、上記課題は、本発明の可視化装置および可視化方法を提供することにより解決することができる。   This invention is made | formed by discovering the above, The said subject can be solved by providing the visualization apparatus and visualization method of this invention.

本発明によれば、磁気漏洩する材料の磁界分布を可視化するための装置であって、
前記材料に近隣して配置される第1面と、前記第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質を備える第2面とを有するスクリーンと、
前記蛍光物質の1つに電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビーム照射手段から照射された前記電子ビームを偏向させる偏向手段と、
前記電子ビーム照射手段および前記偏向手段に信号を与え、前記複数色のうちの1つの色の前記蛍光物質のみに前記電子ビームが照射されるように偏向させ、前記スクリーンに当該色のみからなる前記カラー像を表示させる信号供給手段とを含み、
当該色のみからなる当該カラー像を表示させつつ前記第1面を前記材料へ接近させ、前記電子ビームが前記磁界の強さおよび向きに応じてローレンツ力を受けることにより、前記第2面に前記磁界分布に対応した前記複数色からなるカラー像を形成させる、可視化装置が提供される。
According to the present invention, an apparatus for visualizing a magnetic field distribution of a magnetic leaking material,
A screen having a first surface disposed adjacent to the material, and a second surface comprising a plurality of color phosphors arranged in a certain color order on the back surface of the first surface;
An electron beam irradiation means for irradiating one of the fluorescent materials with an electron beam;
Deflection means for deflecting the electron beam irradiated from the electron beam irradiation means;
A signal is given to the electron beam irradiating means and the deflecting means, the deflecting is performed so that only the fluorescent material of one of the plurality of colors is irradiated with the electron beam, and the screen is made of only the color. Signal supply means for displaying a color image,
The first surface is brought close to the material while displaying the color image consisting only of the color, and the electron beam receives a Lorentz force according to the strength and direction of the magnetic field, thereby causing the second surface to A visualization device is provided that forms a color image composed of a plurality of colors corresponding to a magnetic field distribution.

この可視化装置は、一方に開口が拡張された中空体を含み、その中空体の拡張された開口を有する一端に、外部に第1面が向き、内部に第2面が向くようにスクリーンが配設され、他端に電子ビーム照射手段が配設され、中空体の外側面に偏向手段が周設されていて、中空体の一部に、第2面を可視化するための窓が設けられたものとすることができる。このように、中空体で覆うことにより、外光を遮断し、第2面に明瞭なカラー像を表示させることができ、また、窓を通してそのカラー像を観測することができる。   This visualization device includes a hollow body having an opening expanded on one side, and a screen is arranged at one end of the hollow body having the expanded opening so that the first surface faces outward and the second surface faces inside. The electron beam irradiation means is disposed at the other end, the deflection means is provided around the outer surface of the hollow body, and a window for visualizing the second surface is provided in a part of the hollow body. Can be. Thus, by covering with a hollow body, external light can be blocked, a clear color image can be displayed on the second surface, and the color image can be observed through a window.

また、この可視化装置は、窓に設けられ、第2面を撮像するための撮像手段と、撮像手段に接続され、撮像された第2面のカラー像を表示するための表示手段とを備えることができる。表示手段に表示させることで、第2面に映し出されたカラー像を適当に拡大して表示させることができ、磁界分布の細かい部分まで観測することができる。   The visualization apparatus includes an imaging unit that is provided in the window and that captures the second surface, and a display unit that is connected to the imaging unit and displays a color image of the captured second surface. Can do. By displaying on the display means, the color image projected on the second surface can be appropriately enlarged and displayed, and a fine portion of the magnetic field distribution can be observed.

本発明では、上記の可視化装置と、欠陥のない材料の磁界分布に対応したカラー像を基準データとして記憶する記憶手段と、可視化装置によって得られたカラー像が基準データと異なるか否かを判定する像判定手段とを含み、基準データと異なる場合に欠陥を有すると判定する、材料の品質を検査するための検査装置を提供することもできる。   In the present invention, the above-described visualization device, storage means for storing a color image corresponding to the magnetic field distribution of a material having no defect as reference data, and whether or not the color image obtained by the visualization device is different from the reference data are determined. It is also possible to provide an inspection apparatus for inspecting the quality of a material, which includes an image determination means for determining whether or not the image has a defect when different from the reference data.

欠陥としては、材料の表面に形成された傷、材料の内部に存在する空洞、応力による変形であり、基準データと異なる部分の位置および大きさから欠陥の位置および大きさを判断する。   The defect is a flaw formed on the surface of the material, a cavity existing inside the material, or deformation due to stress, and the position and size of the defect are determined from the position and size of a portion different from the reference data.

さらに、本発明では、磁気漏洩する材料の磁界分布を可視化する方法および磁気漏洩する材料の磁界分布から当該材料の欠陥を検出する方法を提供することができる。   Furthermore, the present invention can provide a method for visualizing the magnetic field distribution of a magnetic leaking material and a method for detecting a defect in the material from the magnetic field distribution of the magnetic leaking material.

本発明の磁界分布の可視化装置を提供することで、磁界分布を目で見ることができ、その可視化装置を含む検査装置を提供することで、鉄鋼材料等の欠陥を、切断等することなく非破壊的に簡単に発見することができる。   By providing the magnetic field distribution visualization device of the present invention, the magnetic field distribution can be visually observed, and by providing an inspection device including the visualization device, defects such as steel materials can be removed without cutting or the like. It can be easily discovered destructively.

この可視化装置は、磁界分布を明瞭に表示することができ、磁界分布の把握も容易であるため、学校用の教育機材として利用可能である。   Since this visualization device can clearly display the magnetic field distribution and easily understand the magnetic field distribution, it can be used as educational equipment for schools.

この検査装置および欠陥を検出する方法は、非破壊的に簡単に検査を行うことができるため、品質検査にかかるコストを低減させ、検査時間を短縮することができる。   Since this inspection apparatus and the method for detecting defects can be easily inspected non-destructively, the cost for quality inspection can be reduced and the inspection time can be shortened.

磁界分布、すなわち磁界の強さや向きを可視化するためには、観察すべき材料が磁化されていなければならない。したがって、この材料は、磁性を帯びることが可能な物質である必要があり、磁性体とされる。ここでいう磁性体は、特に、磁場内で極めて強く磁化され、磁場を取り除いても残留磁化を残す性質をもつ物質である強磁性体である。強磁性体としては、鉄、コバルト、ニッケル等を挙げることができる。   In order to visualize the magnetic field distribution, that is, the strength and direction of the magnetic field, the material to be observed must be magnetized. Therefore, this material needs to be a substance that can be magnetized, and is a magnetic substance. The magnetic substance here is a ferromagnetic substance which is a substance that has the property of being extremely strongly magnetized in a magnetic field and leaving residual magnetization even when the magnetic field is removed. Examples of the ferromagnetic material include iron, cobalt, nickel, and the like.

強磁性体である鉄を使用した製品は、原子炉、船舶、ガス管、水道管、ボルト、ナット等数多くあり、これらの製品は磁化されやすく、近くに電流が流れるコイルや磁石等が存在することで容易に磁化される。鉄鋼材料として数多く使用されるステンレス鋼は、内部の残留応力の増大に伴い、マルテンサイトが生成され磁化する。磁化されたこれらの材料は、磁気漏洩し、その周辺には磁界が発生する。   There are many products using iron, which is a ferromagnetic material, such as nuclear reactors, ships, gas pipes, water pipes, bolts and nuts. These products are easily magnetized, and there are coils, magnets, etc. through which current flows nearby. It is easily magnetized. Stainless steel, which is used in many cases as a steel material, is martensitic and magnetized as the internal residual stress increases. These magnetized materials leak magnetically and generate a magnetic field around them.

これらの材料は、製造段階において、内部に穴や表面に傷等の欠陥を有する場合がある。また、この欠陥は、それらの材料を使用することによっても生じる。こういった欠陥が生じると、その周辺に発生する磁界にも変化が生じる。図1に示すような鉄の棒10を参照して説明する。図1(a)は、傷がない場合の磁力線を示し、図1(b)は中央部に溝11のような傷が形成された場合の磁力線を示す。磁化されると磁極が発生するが、図1では、わかりやすくするためにN極とS極とを示してある。図1(a)に示すように、傷がない場合は、一端のN極から他端のS極へ向く磁力線となるが、図1(b)に示すように溝11が存在すると、その溝11に磁極が発生し、図1(b)に示すような溝11の両端に発生したN極からS極へ向き、その溝11から湧き出すような磁力線ができる。このことから、傷が存在することで、磁界分布が変化することがわかる。これは、表面にできた傷に限らず、内部に存在する穴等の欠陥でも同様である。このため、予め欠陥のない磁界分布を取得しておき、それとは異なる磁界分布を検出することにより、欠陥の存在を検出することができる。   In the manufacturing stage, these materials may have defects such as holes and scratches on the surface. This defect is also caused by using these materials. When such a defect occurs, the magnetic field generated around the defect also changes. Description will be made with reference to an iron rod 10 as shown in FIG. FIG. 1A shows magnetic lines of force when there is no flaw, and FIG. 1B shows magnetic lines of force when a flaw such as the groove 11 is formed at the center. When magnetized, a magnetic pole is generated. In FIG. 1, the N pole and the S pole are shown for easy understanding. As shown in FIG. 1 (a), when there is no flaw, the magnetic field lines are directed from the N pole at one end to the S pole at the other end. However, when the groove 11 exists as shown in FIG. A magnetic pole is generated at 11 and magnetic lines of force appearing from the N pole to the S pole generated at both ends of the groove 11 as shown in FIG. From this, it can be seen that the presence of a flaw changes the magnetic field distribution. This is not limited to scratches formed on the surface, and the same applies to defects such as holes existing inside. For this reason, the presence of a defect can be detected by acquiring a magnetic field distribution without defects in advance and detecting a different magnetic field distribution.

この欠陥の有無を即座に検出することができれば、この品質検査を短時間で行うことができ、コストダウンを図ることができる。欠陥の有無の判断を短時間で行うためには、磁界分布を可視化することができれば最も効率的である。   If the presence or absence of this defect can be detected immediately, this quality inspection can be performed in a short time, and the cost can be reduced. In order to determine the presence or absence of defects in a short time, it is most efficient if the magnetic field distribution can be visualized.

そこで、本発明では、磁界分布を視認することができる可視化装置を提供する。この可視化装置は、磁気漏洩する材料に近隣して配置するだけで、即座に磁界分布を目に見える形で表示することができる装置である。磁気漏洩する材料に近づけるのみで即座に磁界分布が表示されるため、欠陥の有無を即座に検出することができる。また、どのような磁界分布になっているかを視認可能であるため、磁界に関する学習を行っている学校用教育材料としても利用することができ、教育現場においてもインパクトを与え、生徒にも大きな興味を与えることができる。   Therefore, the present invention provides a visualization device that can visually recognize the magnetic field distribution. This visualization device is a device that can instantly display the magnetic field distribution in a visible form simply by placing it in the vicinity of the magnetic leaking material. Since the magnetic field distribution is displayed immediately only by approaching the magnetic leaking material, the presence or absence of defects can be detected immediately. In addition, since it is possible to visually recognize the magnetic field distribution, it can be used as educational material for schools that are learning about magnetic fields. Can be given.

図2を参照して、可視化装置の構成について説明する。可視化装置は、第1面と、その第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質20を備える第2面とを有するスクリーン21を備える。また、蛍光物質20の1つに電子ビーム22を照射する電子ビーム照射手段23と、その電子ビーム照射手段23から照射された電子ビーム22を偏向させ、スクリーン21にカラー像を表示させる偏向手段24とを備える。さらに、電子ビーム22を目標の蛍光物質20に正確に当てるために各蛍光物質20に対応して設けられた複数の穴または複数の縦長のスリットを有するマスク25を備える。また、電子ビーム照射手段23および偏向手段24に対し、どの色、どの位置にある蛍光物質20に電子ビーム22を当てるかを指示する信号を供給するための信号供給手段26を備える。   With reference to FIG. 2, the structure of a visualization apparatus is demonstrated. The visualization device includes a screen 21 having a first surface and a second surface including a plurality of colors of fluorescent materials 20 arranged in a certain color order on the back surface of the first surface. Further, an electron beam irradiation unit 23 that irradiates one of the fluorescent materials 20 with an electron beam 22 and a deflection unit 24 that deflects the electron beam 22 irradiated from the electron beam irradiation unit 23 and displays a color image on the screen 21. With. Further, a mask 25 having a plurality of holes or a plurality of vertically long slits provided corresponding to each fluorescent material 20 is provided in order to accurately apply the electron beam 22 to the target fluorescent material 20. Further, a signal supply means 26 is provided for supplying a signal instructing the electron beam irradiation means 23 and the deflection means 24 to which color and in which position the fluorescent material 20 is to be irradiated with the electron beam 22.

第2面は、赤(R)、緑(G)、青(B)、赤、緑、青…の順に配列するように各色の蛍光物質20がマトリックス状に塗り分けられている。縦一列には、同じ赤、同じ緑、同じ青の蛍光物質20が所定間隔で配列していて、隣り合う色が異なる色、すなわち赤、緑、青の順とされている。電子ビーム照射手段23は、例えば、赤、緑、青用に3つ設けることができ、偏向手段24は、電子ビーム照射手段23から照射された電子ビーム22を偏向し、第2面に当てられる場所を移動して数十分の一秒間に1枚の静止画を表示させる。電子ビーム照射手段23により照射される場所は、各瞬間では1点であるが、各点での照射時間は短く、残像によりスクリーン21全体の各点に同時に照射されているように見えるため、このような静止画を表示することができる。   The second surface is coated with fluorescent materials 20 of respective colors in a matrix so as to be arranged in the order of red (R), green (G), blue (B), red, green, blue,. In the vertical line, fluorescent substances 20 of the same red, the same green, and the same blue are arranged at a predetermined interval, and adjacent colors are different, that is, red, green, and blue. For example, three electron beam irradiation means 23 can be provided for red, green, and blue, and the deflection means 24 deflects the electron beam 22 emitted from the electron beam irradiation means 23 and is applied to the second surface. Move the place to display one still image per tens of seconds. Although the location irradiated by the electron beam irradiation means 23 is one point at each moment, the irradiation time at each point is short, and it seems that each point of the entire screen 21 is irradiated simultaneously by the afterimage. Such a still image can be displayed.

この可視化装置は、偏向手段24がRGBのうちの1つの色、例えば青の蛍光物質20のみに電子ビーム22が照射されるように偏向させ、スクリーン21に青のみからなるカラー像を表示させ、その後、青のみからなるカラー像を表示させつつ第1面を磁気漏洩する材料へ接近させ、電子ビーム22がローレンツ力を受けることにより、第2面に磁界分布に対応したRGBからなるカラー像を形成させる。第2面に形成されたカラー像は、磁界分布に対応しており、それを見るだけで、その材料の周りに生じている漏洩磁気の磁界分布を把握することができる。   In this visualization apparatus, the deflecting unit 24 deflects the electron beam 22 so that only one of the RGB colors, for example, the blue fluorescent material 20 is irradiated, and causes the screen 21 to display a color image composed of only blue. After that, the first surface is brought close to the magnetic leaking material while displaying a color image consisting only of blue, and the electron beam 22 receives the Lorentz force, whereby a color image composed of RGB corresponding to the magnetic field distribution is formed on the second surface. Let it form. The color image formed on the second surface corresponds to the magnetic field distribution, and the magnetic field distribution of leakage magnetism generated around the material can be grasped only by looking at it.

磁気漏洩する材料は、磁化された鉄鋼材料等の強磁性体であり、この周りには磁界が発生しており、磁場環境を形成している。磁化された強磁性体をある方向にある速度で流れる荷電粒子に近づけ、その荷電粒子を磁場内におくと、その磁場から力を受け、進行方向が変更される。この荷電粒子の進行方向を変更させる、その進行方向に対して垂直に作用する力がローレンツ力であり、磁場内では荷電粒子はこのローレンツ力を受ける。荷電粒子とは、電荷を帯びた粒子であり、イオン化した原子や、核崩壊によって生じるヘリウムの原子核、すなわちアルファ粒子や、電子が挙げられる。   The magnetically leaking material is a ferromagnetic material such as a magnetized steel material, and a magnetic field is generated around it to form a magnetic field environment. When a magnetized ferromagnet is brought close to a charged particle flowing at a certain speed in a certain direction and the charged particle is placed in a magnetic field, the traveling direction is changed by receiving a force from the magnetic field. A force acting perpendicularly to the traveling direction that changes the traveling direction of the charged particles is a Lorentz force, and the charged particles receive the Lorentz force in a magnetic field. A charged particle is a charged particle, and includes ionized atoms, helium nuclei generated by nuclear decay, that is, alpha particles and electrons.

このローレンツ力について、図3を参照して詳細に説明する。磁化された材料を接近させる前は、電子ビーム22は磁場環境内におかれておらず、ローレンツ力は作用しない。しかしながら、磁化された材料を接近させると、その材料のまわりに発生する磁界によって電子ビーム22が磁場環境内におかれ、電子ビーム22を構成する電荷粒子がローレンツ力を受ける。   The Lorentz force will be described in detail with reference to FIG. Prior to approaching the magnetized material, the electron beam 22 is not in a magnetic field environment and Lorentz force does not act. However, when the magnetized material is approached, the electron beam 22 is placed in the magnetic field environment by the magnetic field generated around the material, and the charged particles constituting the electron beam 22 are subjected to Lorentz force.

電子ビーム22が進行する方向を、スクリーン21の第2面30に向かう矢線Aの方向とし、その電子ビーム22に対向してスクリーン21の第1面31に磁石32のN極を近づけると、磁界はスクリーン21の四方に向いて発生する。例えば、鉛直方向上向きの矢線B1で示される磁界に対するローレンツ力は、フレミングの法則に従い、矢線C1で示される水平方向、下向きの矢線B2で示される磁界に対するローレンツ力は、矢線C2で示される、矢線C1とは反対方向に作用する。また、水平方向に向いた磁界に対するローレンツ力は、鉛直方向に上向きまたは下向きに作用する。   When the direction in which the electron beam 22 travels is the direction of the arrow A toward the second surface 30 of the screen 21, and the N pole of the magnet 32 approaches the first surface 31 of the screen 21 facing the electron beam 22, The magnetic field is generated in the four directions of the screen 21. For example, the Lorentz force for the magnetic field indicated by the arrow B1 pointing upward in the vertical direction follows the Fleming's law, and the Lorentz force for the magnetic field indicated by the arrow C1 in the horizontal direction and the arrow B2 pointing downward is indicated by the arrow C2. As shown, it acts in the opposite direction to the arrow C1. Further, the Lorentz force with respect to the magnetic field directed in the horizontal direction acts upward or downward in the vertical direction.

蛍光物質20は、電子ビーム22が照射される側では水平方向に赤、緑、青…の順に並び、鉛直方向には同じ赤、あるいは同じ緑、または同じ青とされているため、水平方向へローレンツ力が作用すると、隣の色の蛍光物質20に当たり、鉛直方向に向いた磁界に対してその色を発色する。これに対し、垂直方向へ作用するローレンツ力は、もともと当たっていた色と同じ色であるため、水平方向に向いた磁界に対しては色の変化は生じない。   The fluorescent materials 20 are arranged in the order of red, green, blue,... In the horizontal direction on the side irradiated with the electron beam 22, and are the same red, the same green, or the same blue in the vertical direction. When the Lorentz force acts, it strikes the fluorescent material 20 of the adjacent color and develops that color against the magnetic field oriented in the vertical direction. On the other hand, since the Lorentz force acting in the vertical direction is the same color as that originally hit, the color does not change with respect to the magnetic field directed in the horizontal direction.

このため、スクリーン21を全面青で表示し、第1面31に磁石32のN極を近づけると、図4(a)に示すように鉛直方向上向きの磁界、すなわちその磁石32より上側は、ローレンツ力を受けて、電子ビームが照射される側から見て青の右側に配列する赤の蛍光物質20に電子ビーム22が当たり、Rで示される赤色に発色する。磁石32より下側は、反対側に配列する緑の蛍光物質20に電子ビーム22が当たり、Gで示される緑色に発色する。磁石32に対して左右のスクリーン21は、色の変化は生じないため、もとの色と同じBで示される青色に発色する。なお、図4では、これらの色のほか、渦模様が示されているが、これはマスク25として使用されるシャドウマスクの縦長のスリットが表示されたものである。   For this reason, when the screen 21 is displayed in blue on the entire surface and the N pole of the magnet 32 is brought close to the first surface 31, the vertically upward magnetic field, that is, the upper side of the magnet 32, as shown in FIG. In response to the force, the electron beam 22 strikes the red fluorescent material 20 arranged on the right side of the blue as viewed from the side irradiated with the electron beam, and develops a red color indicated by R. Below the magnet 32, the electron beam 22 hits the green fluorescent material 20 arranged on the opposite side and develops a green color indicated by G. Since the left and right screens 21 with respect to the magnet 32 do not change in color, the left and right screens 21 develop blue in the same color as the original color. In FIG. 4, in addition to these colors, a vortex pattern is shown, which is a display of a vertically long slit of a shadow mask used as the mask 25.

磁石32のS極をスクリーン21に近づけると、図4(b)に示すように、図4(a)とは反対に、上側が緑色となり、下側が赤色となる。これは、ローレンツ力が作用する向きが反対になるからである。   When the south pole of the magnet 32 is brought close to the screen 21, the upper side becomes green and the lower side becomes red, as shown in FIG. 4 (b). This is because the direction in which the Lorentz force acts is opposite.

U字磁石を近づけると、磁界の向きは、U字磁石のN極からS極への一方向である。例えば、S極を上側、N極を下側に配置すると、上向きに磁界が発生し、図4(c)に示すように、S極とN極との間の部分が赤色に発色する。これとは反対に、N極を上側、S極を下側に配置すると、下向きに磁界が発生し、図4(d)に示すように、そのN極とS極との間の部分が緑色に発色する。   When the U-shaped magnet is brought closer, the direction of the magnetic field is one direction from the N pole to the S pole of the U-shaped magnet. For example, when the S pole is placed on the upper side and the N pole is placed on the lower side, a magnetic field is generated upward, and the portion between the S pole and the N pole is colored red as shown in FIG. On the other hand, when the N pole is placed on the upper side and the S pole is placed on the lower side, a magnetic field is generated downward, and the portion between the N and S poles is green as shown in FIG. Color develops.

ローレンツ力を受ける前は青の蛍光物質20のみに電子ビーム22が当てられるが、ローレンツ力を受けることで、その青の蛍光物質に隣り合う赤の蛍光物質や、その赤の蛍光物質のさらに隣にある緑の蛍光物質に当たる。これは、ローレンツ力の大きさによって変わり、その大きさが大きくなるにつれて、図5(a)〜(c)に示すように変化する。図5(a)は、10−3テスラ(10ガウス)未満の弱磁界の場合、図5(b)は、0.6テスラの磁界、図5(c)は、1.2テスラの磁界の場合を示す。図5では、コイルに電流を流し、各強度の磁界を発生させている。 Before receiving the Lorentz force, the electron beam 22 is applied only to the blue fluorescent material 20, but by receiving the Lorentz force, the red fluorescent material adjacent to the blue fluorescent material and the red fluorescent material adjacent to the red fluorescent material. Hits the green fluorescent material in This changes depending on the magnitude of the Lorentz force, and changes as shown in FIGS. 5A to 5C as the magnitude increases. 5A shows a weak magnetic field of less than 10 −3 Tesla (10 Gauss), FIG. 5B shows a magnetic field of 0.6 Tesla, and FIG. 5C shows a magnetic field of 1.2 Tesla. Show the case. In FIG. 5, a current is passed through the coil to generate a magnetic field of each strength.

いずれも電子ビーム22は青の蛍光物質に向けて照射されているが、図5(a)では、磁場環境内におかれた電子ビーム22が赤の蛍光物質に当たり、赤色に発色している。図5(b)では、図5(a)に示す場合に比較して磁界の強さが強いため、大きいローレンツ力が作用する。スクリーン21において磁気漏洩する材料に近い側ではローレンツ力が大きく、その材料から離れるにつれて小さくなるため、その大きさに応じて、赤、緑、青の蛍光物質に当たり、RGBからなるカラー像が表示される。このカラー像は、RGBで繰り返される色の数および間隔によって強さおよび向きを表現し、等高線のように、間隔が狭い方向へ磁界が向き、その色数が多いほど磁界の強さが強いことを表している。   In either case, the electron beam 22 is irradiated toward the blue fluorescent material. However, in FIG. 5A, the electron beam 22 placed in the magnetic field environment hits the red fluorescent material and is colored red. In FIG. 5B, since the magnetic field is stronger than in the case shown in FIG. 5A, a large Lorentz force acts. Since the Lorentz force is large on the side close to the magnetic leaking material on the screen 21 and decreases with distance from the material, a color image composed of RGB is displayed according to the size of the fluorescent material of red, green, and blue. The This color image expresses the strength and direction by the number and spacing of colors repeated in RGB, and the magnetic field is directed in the direction where the spacing is narrow like a contour line, and the strength of the magnetic field increases as the number of colors increases. Represents.

したがって、図5(c)では、図5(b)に示す場合に比較してさらに磁界の強さが強いため、さらに大きいローレンツ力が作用し、図5(b)示す場合に比較してRGBの間隔が狭く、多くの色数で表現されている。   Therefore, in FIG. 5C, since the magnetic field is stronger than in the case shown in FIG. 5B, a larger Lorentz force acts, and RGB in comparison with the case shown in FIG. The interval between is narrow and is expressed in many colors.

スクリーン21、電子ビーム照射手段23、偏向手段24およびマスク25を備える装置として、カラーテレビに使用されているブラウン管を挙げることができる。このブラウン管は、ほとんどが640×480の解像度であり、電波から色の三原色である赤、緑、青の色信号を取り出し、赤、緑、青の3本の電子銃から各色の強度に応じた電子ビームを発射し、赤、緑、青に光る蛍光物質で微細に塗り分けられたスクリーンに当てることにより、画面を光らせる。この画面上では、各瞬間においては1点が光っているのみで、電子ビームを当てる場所を移動させることにより、約30分の1秒間で静止した画像を1枚描く。色は、電子ビームの強さによって変えられ、電子ビームを当てる場所の移動には、2組のコイルが作る磁界が利用される。   As an apparatus including the screen 21, the electron beam irradiation means 23, the deflection means 24, and the mask 25, a cathode ray tube used in a color television can be exemplified. Most of these CRTs have a resolution of 640 x 480, take out the color signals of the three primary colors red, green, and blue from radio waves, and respond to the intensity of each color from the three electron guns of red, green, and blue The screen shines by emitting an electron beam and applying it to a screen that is finely coated with fluorescent materials that glow in red, green, and blue. On this screen, only one point is shining at each moment, and a stationary image is drawn in about 1/30 second by moving the place where the electron beam is applied. The color is changed depending on the intensity of the electron beam, and a magnetic field generated by two sets of coils is used to move the place where the electron beam is applied.

各瞬間において1点を正確に光らせるために、スクリーンと電子銃との間にシャドウマスクが配置される。シャドウマスクは、蜂の巣(マトリクス)状に多数の細かい穴が設けられた金属板であり、電子銃から発射された電子ビームを、この金属板の多数の穴を通してスクリーンに塗布された所望の色の蛍光物質に当てることにより、所望の色を発色させる。2組のコイルとして、電子銃から発射された電子ビームを曲げ、スクリーンの各色の蛍光物質に当てることができるように偏向ヨークと呼ばれる電磁コイルが使用される。ブラウン管は、一端が拡張した中空体で覆うことにより、外光を遮断し、第2面に明瞭なカラー像を表示させている。   A shadow mask is placed between the screen and the electron gun to shine one point accurately at each moment. The shadow mask is a metal plate having a large number of fine holes formed in a honeycomb shape, and an electron beam emitted from an electron gun is applied to a screen of a desired color applied to the screen through the many holes of the metal plate. A desired color is developed by applying to a fluorescent material. As the two sets of coils, electromagnetic coils called deflection yokes are used so that the electron beam emitted from the electron gun can be bent and applied to the fluorescent material of each color of the screen. The cathode ray tube is covered with a hollow body having one end expanded to block outside light and display a clear color image on the second surface.

ブラウン管に代えてアパーチャーグリル管という、丸穴のシャドウマスクではなく、縦長のスリットを有するシャドウマスクを用いるものを採用することもできる。   Instead of a cathode ray tube, an aperture grill tube that uses a shadow mask having a vertically long slit instead of a round hole shadow mask may be employed.

本発明の可視化装置は、例えば青色の蛍光物質20にのみ電子ビーム22を照射するように信号供給手段26が信号を出力し、電子ビーム照射手段23および偏向手段24がその信号を受け取り、青色の蛍光物質20にのみ電子ビーム22を照射し、スクリーン21を青色に表示したままで、磁気漏洩する材料に近づけることを特徴とする。また、外光を遮断するために図6(a)に示す絶縁材料から形成される中空体60が設けられる場合は、図6(b)に示すように、その中空体60の一部分に窓61を設け、その窓61を通して中空体60の内部に向いた第2面に表示されるカラー像を観測することができるようにする。   In the visualization apparatus of the present invention, for example, the signal supply unit 26 outputs a signal so that only the blue fluorescent material 20 is irradiated with the electron beam 22, and the electron beam irradiation unit 23 and the deflection unit 24 receive the signal, Only the fluorescent material 20 is irradiated with the electron beam 22, and the screen 21 is displayed in blue, and close to the magnetically leaking material. When the hollow body 60 formed of the insulating material shown in FIG. 6A is provided to block outside light, a window 61 is formed in a part of the hollow body 60 as shown in FIG. The color image displayed on the second surface facing the inside of the hollow body 60 through the window 61 can be observed.

信号供給手段26は、ユーザによって予め設定された色またはユーザによって選択された色の入力を受けて、スクリーン21全体の色がその入力された色になるように信号を生成し、その信号を電子ビーム照射手段23および偏向手段24へ供給する。各色用の電子ビーム照射手段が設けられる場合には、その色の電子ビーム照射手段にのみその信号が供給される。その信号を生成するために、その信号を作成するためのプログラムが記録されたメモリと、そのメモリからそのプログラムを読み出し実行するプロセッサとを含んで構成することができる。   The signal supply means 26 receives an input of a color preset by the user or a color selected by the user, generates a signal so that the color of the entire screen 21 becomes the input color, and outputs the signal to the electronic It supplies to the beam irradiation means 23 and the deflection means 24. When an electron beam irradiation means for each color is provided, the signal is supplied only to the electron beam irradiation means for that color. In order to generate the signal, it may be configured to include a memory in which a program for generating the signal is recorded, and a processor that reads the program from the memory and executes the program.

また、中空体60に設けられる窓61は、磁界分布の全体が見える位置および大きさに形成することができる。この窓61は、単に矩形や円形等に切断しただけでもよいが、開閉可能な扉が取り付けられていたり、透明なガラス等がはめ込まれていてもよい。   Moreover, the window 61 provided in the hollow body 60 can be formed at a position and a size where the entire magnetic field distribution can be seen. The window 61 may be simply cut into a rectangle or a circle, but a door that can be opened and closed may be attached, or a transparent glass or the like may be fitted.

さらに、窓61には、撮像手段が配設され、その撮像手段に表示手段が接続されていてもよい。撮像手段としては、CCDカメラを挙げることができ、表示手段としては、モニタを挙げることができる。これにより、第2面に形成されるカラー像を拡大等して、そのカラー像をより見やすく、明瞭に表示することができる。   Further, the window 61 may be provided with an imaging unit, and a display unit may be connected to the imaging unit. As the imaging means, a CCD camera can be mentioned, and as the display means, a monitor can be mentioned. As a result, the color image formed on the second surface can be enlarged and the color image can be displayed more clearly and clearly.

また、撮像手段および表示手段は、無線通信を可能にする無線通信手段を備えることができ、無線通信により撮像手段と表示手段とが離れた場所であってもそのカラー像を表示させることもできる。撮像手段からの出力は、像データであり、この像データを格納するための記憶手段を備えることもできる。なお、この可視化装置の磁界感度は、スクリーン21に塗り分けられる蛍光物質20のサイズ、それに対応して使用されるシャドウマスクの穴径およびピッチにもよるが、一般的なブラウン管を可視化装置として用いても約2×10−6テスラ(0.02ガウス)という高感度で磁界を検出することができる。ちなみに、地磁気は約0.3〜0.5ガウスであり、電子機器が発生する漏洩磁気は0.1ガウス以上である。 In addition, the imaging unit and the display unit can include a wireless communication unit that enables wireless communication, and the color image can be displayed even when the imaging unit and the display unit are separated by wireless communication. . The output from the imaging means is image data, and a storage means for storing the image data can be provided. The magnetic field sensitivity of the visualization device depends on the size of the fluorescent material 20 applied to the screen 21 and the hole diameter and pitch of the shadow mask used correspondingly, but a general cathode ray tube is used as the visualization device. Even in such a case, the magnetic field can be detected with a high sensitivity of about 2 × 10 −6 Tesla (0.02 Gauss). Incidentally, the geomagnetism is about 0.3 to 0.5 gauss, and the leakage magnetism generated by the electronic equipment is 0.1 gauss or more.

また、本発明では、磁界の可視化方法を提供することもできる。この可視化方法は、上記の可視化装置を使用して行うことができ、第1面と、その第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質を備える第2面とを有するスクリーンの1つの色の蛍光物質のみに電子ビームが照射されるように偏向させ、スクリーンに当該色のみからなるカラー像を表示させるステップと、当該色のみからなる当該カラー像を表示させつつ第1面を材料へ接近させ、電子ビームが磁界の強さおよび向きに応じてローレンツ力を受けることにより、第2面に磁界分布に対応した複数色からなるカラー像を形成させるステップとを含む。   The present invention can also provide a magnetic field visualization method. This visualization method can be performed using the above-described visualization apparatus, and includes a first surface and a second surface including a plurality of colors of fluorescent materials arranged in a predetermined color order on the back surface of the first surface. A step of deflecting an electron beam so that only one fluorescent substance of a color of the screen is irradiated with an electron beam, and displaying a color image consisting only of the color on the screen, and displaying the color image consisting only of the color. Forming a color image composed of a plurality of colors corresponding to the magnetic field distribution on the second surface by causing one surface to approach the material and the electron beam receiving a Lorentz force according to the strength and direction of the magnetic field.

さらに、本発明では、上記の可視化装置を含む品質検査装置を提供することができる。この装置は、上記の可視化装置と、欠陥のない材料の磁界分布に対応したカラー像を基準データとして記憶する記憶手段と、その可視化装置によって得られたカラー像が基準データと異なるか否かを判定する像判定手段とを含む。像判定手段は、記憶手段に記憶された基準データと異なる場合に欠陥を有すると判定する。   Furthermore, in this invention, the quality inspection apparatus containing said visualization apparatus can be provided. This device includes the above-described visualization device, storage means for storing a color image corresponding to the magnetic field distribution of a material having no defect as reference data, and whether or not the color image obtained by the visualization device is different from the reference data. Image determining means for determining. The image determination unit determines that there is a defect when the reference data is different from the reference data stored in the storage unit.

記憶手段としては、データを記憶することができるものであれば、メモリやHDDのほか、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD−ROM、DVD−R、DVD−RW、DVD−RAM、SDカード等を挙げることができる。そのデータを記憶するために、信号供給手段26として構成されるプロセッサを用いることができる。なお、この信号供給手段26として構成されるメモリを、この記憶手段として用いることもできる。   As a storage means, as long as data can be stored, in addition to memory and HDD, CD-ROM, CD-R, CD-RW, DVD-ROM, DVD-R, DVD-RW, DVD-RAM SD card etc. can be mentioned. A processor configured as the signal supply means 26 can be used to store the data. Note that a memory configured as the signal supply means 26 can also be used as the storage means.

像判定手段は、記憶手段から基準データを読み出し、判定を行うためのプログラムを実行して、得られたカラー像の像データがその基準データと異なるか否かを判定する。異なると判定した場合は、欠陥を有すると判定し、同じと判定した場合は、欠陥なしと判定する。この像判定手段は、信号供給手段26と同様、プログラムを実行することによりその機能を実現するため、プログラムを格納するためのメモリと、そのプログラムを読み出し実行するプロセッサとを含んで構成することができる。   The image determination unit reads the reference data from the storage unit, executes a program for determination, and determines whether the image data of the obtained color image is different from the reference data. If it is determined that they are different, it is determined that they have a defect, and if they are determined to be the same, it is determined that there is no defect. Similar to the signal supply unit 26, the image determination unit realizes its function by executing a program, and therefore includes a memory for storing the program and a processor for reading and executing the program. it can.

欠陥は、材料の表面に形成された傷や、材料の内部に存在する空洞、使用に伴う応力による変形等であり、基準データと異なる部分の位置および大きさから、その欠陥の位置および大きさを判断することができる。また、磁界分布から、磁場勾配が急峻であるか、なだらかであるかがわかり、その傷が深いものであるか、あるいは浅いものであるかも判断することができる。なお、表面に傷がない場合は、内部に空洞が存在することがわかる。   Defects are scratches formed on the surface of the material, cavities existing inside the material, deformation due to stress due to use, etc. The position and size of the defect from the position and size of the part different from the reference data Can be judged. Further, it can be seen from the magnetic field distribution whether the magnetic field gradient is steep or gentle, and it can be determined whether the damage is deep or shallow. In addition, when there is no damage | wound on the surface, it turns out that a cavity exists inside.

上記では予め欠陥のない材料の像データを記憶しておき、像判定手段がその像データと比較しているが、欠陥の有無を、検査を行う者が判断することができ、その像を見ただけで欠陥の種類や大きさ等を判断することができるのであれば、上記の可視化装置のみとし、この記憶手段および像判定手段を設けなくてもよい。   In the above, image data of a material having no defect is stored in advance, and the image judging means compares it with the image data. However, the inspector can judge the presence or absence of a defect, and the image can be viewed. If the type and size of the defect can be determined simply by using only the above-described visualization device, the storage unit and the image determination unit may not be provided.

ここで、材料として、1kOe(エルステッド)の磁場の強さで磁化した棒状の鉄鋼材を、多数回繰り返し応力を加えた場合の漏洩磁気を、磁気センサであるホール素子で観察した場合の画像と、上記構成の可視化装置で観察した場合の画像を図7および図8に示す。なお、1Oeは、真空中で単位磁極から1cm離れた場所の磁場の強さである。図7がホール素子で観察した場合の画像で、図8が可視化装置で観察した場合の画像である。図7(a)は、漏洩磁気の磁束分布を示し、図7(b)は、その磁束Φを距離xで微分して得られた漏洩磁束一次導関数分布を示す。図8(a)は図7(a)と同様、漏洩磁気の磁束分布を示し、図8(b)は図7(b)と同様、漏洩磁束一次導関数分布を示す。   Here, as a material, an image obtained by observing the leakage magnetism when a bar-shaped steel material magnetized with a magnetic field strength of 1 kOe (Oersted) is applied many times with a Hall element as a magnetic sensor, and 7 and 8 show images observed with the visualization apparatus having the above-described configuration. Note that 1 Oe is the strength of the magnetic field at a location 1 cm away from the unit magnetic pole in vacuum. FIG. 7 is an image when observed with a Hall element, and FIG. 8 is an image when observed with a visualization device. FIG. 7A shows the magnetic flux distribution of leakage magnetism, and FIG. 7B shows the leakage flux first derivative distribution obtained by differentiating the magnetic flux Φ by the distance x. FIG. 8A shows the magnetic flux distribution of leakage magnetism as in FIG. 7A, and FIG. 8B shows the first derivative distribution of leakage magnetic flux as in FIG. 7B.

図7に示す画像は、ホール素子で取得された画像であり、この画像を取得するのに約1時間かかった。図7(a)に示す画像を参照すると、一端が例えばN極、他端がS極に磁化されて赤色、青色で示され、磁束密度が高い両端部はその色が濃く、磁束密度が低い中央部へいくにつれてそれらの色が薄くなっている。図7(b)に示す画像を参照すると、鉄鋼材のほとんどが青色で示され、その中に赤色で示された斑点が複数存在し、多数回繰り返し応力が加えられることにより発生した格子欠陥密度分布をその斑点により観測することができた。   The image shown in FIG. 7 is an image acquired by the Hall element, and it took about 1 hour to acquire this image. Referring to the image shown in FIG. 7 (a), one end is magnetized to, for example, the N pole and the other end is magnetized to the S pole and is shown in red and blue, and both ends having a high magnetic flux density are dark and the magnetic flux density is low. As they go to the center, their colors fade. Referring to the image shown in FIG. 7 (b), most of the steel material is shown in blue, and there are a plurality of spots shown in red in it, and the lattice defect density generated by applying stress repeatedly many times. The distribution could be observed by the spots.

図8に示す画像は、図2に示す可視化装置で、数秒で取得された画像である。この場合は、図8(a)に示す画像は、図7(a)に示す画像とほぼ同様で、一端が例えばN極、他端がS極に磁化されて赤色、青色で示され、磁束密度が高い両端部はその色が濃く、磁束密度が低い中央部へいくにつれてそれらの色が薄くなっている。図8(b)では、鉄鋼材が黒で示され、その中に赤色および青色でモザイク状に示された格子欠陥密度分布をはっきり観測することができた。このことから、ホール素子を用いる場合に比較して、短時間で高感度の画像を取得することができ、欠陥を高精度で検出することができることが見出された。   The image shown in FIG. 8 is an image acquired in a few seconds by the visualization apparatus shown in FIG. In this case, the image shown in FIG. 8A is almost the same as the image shown in FIG. 7A, and one end is magnetized to, for example, the N pole and the other end is magnetized to the S pole. Both ends of the high density are dark in color, and the colors become lighter toward the central part where the magnetic flux density is low. In FIG. 8B, the steel material is shown in black, and the lattice defect density distribution shown in a mosaic pattern in red and blue can be clearly observed therein. From this, it was found that a high-sensitivity image can be acquired in a short time and defects can be detected with high accuracy compared to the case of using a Hall element.

図9は、鉄鋼材の長さ方向に対する厚さ(mm)と、ノイズピークポジション(rel)とを示した図である。約20〜40mmの位置、約80mmの位置において厚さが薄くなっており、それに対応してノイズピークポジションが上昇している。これは、図7(b)に示した斑点が密集した部分、図8(b)に示した赤色および青色でモザイク状に示された部分に対応している。このことから、応力による変形で材料厚さが薄くなっている部分も高精度で検出することができることが見出された。   FIG. 9 is a diagram showing the thickness (mm) in the length direction of the steel material and the noise peak position (rel). The thickness is reduced at a position of about 20 to 40 mm and a position of about 80 mm, and the noise peak position is correspondingly increased. This corresponds to the portion where the spots shown in FIG. 7B are dense, and the portion shown in mosaic in red and blue shown in FIG. 8B. From this, it was found that a portion where the material thickness is thin due to deformation due to stress can be detected with high accuracy.

手術時の血流を止める医療器具に、コッヘル止血鉗子がある。コッヘル止血鉗子は、図10に示すものである。このコッヘル止血鉗子は、ステンレス鋼から製造されており、山と谷が連続する掴み部100を有する高剛性部110と、高剛性部110に連続する柔軟部120と、柔軟部120に連続し、指を入れる挿入部130とを有する2つの鉗子部材が、高剛性部110と柔軟部120との間に取り付けられる支持部140によって回転可能に支持されている。これは、はさみと同様に2つの挿入部130のそれぞれに指を入れ、2つの指を開閉して使用されるものである。   A Kocher hemostatic forceps is a medical instrument that stops blood flow during surgery. The Kochel hemostatic forceps is shown in FIG. This Kochel hemostatic forceps is manufactured from stainless steel, and includes a high-rigidity portion 110 having a grip portion 100 in which peaks and valleys are continuous, a flexible portion 120 continuous with the high-rigidity portion 110, and a flexible portion 120, Two forceps members having an insertion part 130 for inserting a finger are rotatably supported by a support part 140 attached between the high-rigidity part 110 and the flexible part 120. Like the scissors, this is used by putting a finger in each of the two insertion portions 130 and opening and closing the two fingers.

このコッヘル止血鉗子の仕上げ工程では、掴み部100が表面を鍛造により形成している。鍛造とは、金属をハンマで打って形作ることをいう。このため、この掴み部100を形成する際には材料に大きな応力がかかり、その部分は磁化する。図11には、その掴み部100を備える高剛性部110の先端を可視化装置のスクリーン21に近づけ、磁界分布がスクリーン21に表示されたところが示されている。この先端は、N極に磁化されているため、図4(a)で示したと同様、鉗子の上側が赤色で表示され、下側が緑色で表示される。このようにステンレス鋼では、応力が加えられることにより磁化され、可視化装置において磁界分布が表示される。   In the finishing process of the Kochel hemostatic forceps, the grip portion 100 forms the surface by forging. Forging refers to forming a metal by hitting it with a hammer. For this reason, when the grip portion 100 is formed, a large stress is applied to the material, and the portion is magnetized. FIG. 11 shows a state in which the tip of the high-rigidity portion 110 including the grip portion 100 is brought close to the screen 21 of the visualization device and the magnetic field distribution is displayed on the screen 21. Since the tip is magnetized to the north pole, the upper side of the forceps is displayed in red and the lower side is displayed in green, as shown in FIG. Thus, in stainless steel, it is magnetized by applying stress, and the magnetic field distribution is displayed in the visualization device.

コッヘル止血鉗子は、使用によってもこの掴み部100に応力が集中する。このため、掴み部100は損傷しやすく、手術中に人体にその破片が取り残される場合がある。こういったことが起こらないようにすべく、仕上げ段階においてなるべく応力がかからないように、溶接等により掴み部100を形成することを提案することができる。この提案は、可視化装置でステンレス鋼に応力がかかり磁化した部分を検出することによりなしうるものである。このため、可視化装置は、こういった応力がかかる部分を検出するのにも有用である。   The Kocher hemostatic forceps concentrates stress on the grip 100 even when used. For this reason, the grip portion 100 is easily damaged, and the fragments may be left behind in the human body during the operation. In order to prevent this from happening, it can be proposed to form the grip portion 100 by welding or the like so that stress is not applied as much as possible in the finishing stage. This proposal can be made by detecting a magnetized portion of the stainless steel that is stressed by a visualization device. For this reason, the visualization device is also useful for detecting a portion to which such stress is applied.

これまで、図面を参照して本発明の磁界の可視化装置、可視化方法、さらには品質検査装置および欠陥の検出方法について説明してきたが、本発明は図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、他の実施の形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。   So far, the magnetic field visualization device, visualization method, quality inspection device, and defect detection method of the present invention have been described with reference to the drawings, but the present invention is limited to the embodiments shown in the drawings. However, other embodiments, additions, changes, deletions, and the like can be changed within a range that can be conceived by those skilled in the art, and as long as the operations and effects of the present invention are exhibited in any aspect, the present invention It is included in the range.

本発明の磁界の可視化装置および可視化方法は、上述したように、学校教育において磁界を理解させるための教材として有用である。すなわち、物理教育現場において大きなインパクトを与え、ローレンツ力と電子流との関係や、磁石のN極およびS極の絶対的評価等をRGBの色感覚で直感的に理解することができるからである。また、検査装置および欠陥の検出方法は、磁性材料から製造される部品や製品の品質検査を流れ作業で行うことを可能にし、いずれの場所においてもその検査を行うことができるため、特に、取り付け後や狭い場所での検査に有用である。さらに、シャドウマスクを高細密化し、さらに高感度化することで、さらなる微小欠陥の発見も可能となる。   As described above, the magnetic field visualization apparatus and visualization method of the present invention are useful as teaching materials for understanding magnetic fields in school education. In other words, it has a great impact in the physical education field, and the relationship between the Lorentz force and the electron current, the absolute evaluation of the N pole and S pole of the magnet, etc. can be intuitively understood with RGB color sense. . In addition, the inspection device and the defect detection method enable the quality inspection of parts and products manufactured from magnetic materials to be performed in a flow operation, and can be performed at any location, so that mounting Useful for inspections in the back and in narrow places. Furthermore, by making the shadow mask finer and more sensitive, it becomes possible to find further minute defects.

この可視化装置は、図5に示したように磁界の強さに応じて表示される画像が変化するため、磁界の強さを測定することができ、非接触の電流計への応用が可能である。電線に電流を流すと周囲に磁界が発生し、その電流と磁界の強さが比例関係にあることから、可視化装置において磁気の強さが計測できればその電流値を計測できるからである。   As shown in FIG. 5, this visualization device changes the displayed image according to the strength of the magnetic field, so that it can measure the strength of the magnetic field and can be applied to a non-contact ammeter. is there. This is because when a current is passed through an electric wire, a magnetic field is generated around the current, and the current and the strength of the magnetic field are in a proportional relationship, so that the current value can be measured if the visualization can measure the magnetic strength.

磁化された鉄の棒の周りに発生する磁界の磁力線を示した図。The figure which showed the magnetic force line of the magnetic field which generate | occur | produces around the magnetized iron rod. 本発明の可視化装置の実施形態を示した図。The figure which showed embodiment of the visualization apparatus of this invention. 電子ビームが受けるローレンツ力の向きを示した図。The figure which showed direction of the Lorentz force which an electron beam receives. スクリーンを全面青色とし、第1面に磁石を近づけたところを示した図。The figure which made the screen the whole surface blue, and showed the place which brought the magnet close to the 1st surface. ローレンツ力の大きさにより変化する磁界分布を示した図。The figure which showed magnetic field distribution which changes with the magnitude | size of Lorentz force. 可視化装置に用いられる中空体を例示した図。The figure which illustrated the hollow body used for a visualization device. 磁化した棒状の鉄鋼材の漏洩磁気を、磁気センサであるホール素子で観察した場合の画像を示した図。The figure which showed the image at the time of observing the leakage magnetism of the magnetized rod-shaped steel material with the Hall element which is a magnetic sensor. 磁化した棒状の鉄鋼材の漏洩磁気を、図2に示す可視化装置で観察した場合の画像を示した図。The figure which showed the image at the time of observing the leakage magnetism of the magnetized rod-shaped steel material with the visualization apparatus shown in FIG. 鉄鋼材の長さと、厚さおよびノイズピークポジションとの関係を示した図。The figure which showed the relationship between the length of steel materials, thickness, and a noise peak position. コッヘル止血鉗子を示した図。The figure which showed Kochel hemostatic forceps. コッヘル止血鉗子の掴み部の磁界分布を示した図。The figure which showed the magnetic field distribution of the holding part of Kochel hemostatic forceps.

符号の説明Explanation of symbols

10…棒、11…溝、20…蛍光物質、21…スクリーン、22…電子ビーム、23…電子ビーム照射手段、24…偏向手段、25…マスク、26…信号供給手段、30…第2面、31…第1面、32…磁石、60…中空体、61…窓、100…掴み部、110…高剛性部、120…柔軟部、130…挿入部、140…支持部






















DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Rod, 11 ... Groove, 20 ... Fluorescent substance, 21 ... Screen, 22 ... Electron beam, 23 ... Electron beam irradiation means, 24 ... Deflection means, 25 ... Mask, 26 ... Signal supply means, 30 ... Second surface, DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 ... 1st surface, 32 ... Magnet, 60 ... Hollow body, 61 ... Window, 100 ... Grab part, 110 ... High rigidity part, 120 ... Flexible part, 130 ... Insertion part, 140 ... Support part






















Claims (9)

磁気漏洩する材料の磁界分布を可視化するための装置であって、
前記材料に近隣して配置される第1面と、前記第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質を備える第2面とを有するスクリーンと、
前記蛍光物質の1つに電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビーム照射手段から照射された前記電子ビームを偏向させる偏向手段と、
前記電子ビーム照射手段および前記偏向手段に信号を与え、前記複数色のうちの1つの色の前記蛍光物質のみに前記電子ビームが照射されるように偏向させ、前記スクリーンに当該色のみからなるカラー像を表示させる信号供給手段とを含み、
当該色のみからなる当該カラー像を表示させつつ前記第1面を前記材料へ接近させ、前記電子ビームが前記磁界の強さおよび向きに応じてローレンツ力を受けることにより、前記第2面に前記磁界分布に対応した前記複数色からなるカラー像を形成させる、可視化装置。
A device for visualizing the magnetic field distribution of magnetically leaking material,
A screen having a first surface disposed adjacent to the material, and a second surface comprising a plurality of color phosphors arranged in a certain color order on the back surface of the first surface;
An electron beam irradiation means for irradiating one of the fluorescent materials with an electron beam;
Deflection means for deflecting the electron beam irradiated from the electron beam irradiation means;
A signal that gives a signal to the electron beam irradiation means and the deflection means, deflects the electron beam so that only the fluorescent material of one of the plurality of colors is irradiated with the electron beam, and makes the screen include only the color. Signal supply means for displaying an image,
The first surface is brought close to the material while displaying the color image composed only of the color, and the electron beam receives a Lorentz force according to the strength and direction of the magnetic field, thereby causing the second surface to A visualization device for forming a color image composed of a plurality of colors corresponding to a magnetic field distribution.
一方に開口が拡張された中空体を含み、前記中空体の拡張された前記開口を有する一端に、外部に前記第1面が向き、内部に前記第2面が向くように前記スクリーンが配設され、他端に前記電子ビーム照射手段が配設され、前記中空体の外側面に前記偏向手段が周設されていて、前記中空体の一部に、前記第2面を可視化するための窓が設けられた、請求項1に記載の可視化装置。   One end of the hollow body includes an expanded hollow body, and the screen is disposed at one end of the hollow body having the expanded opening so that the first surface faces outward and the second surface faces internal. A window for visualizing the second surface in a part of the hollow body, wherein the electron beam irradiation means is disposed at the other end, and the deflecting means is provided around the outer surface of the hollow body. The visualization device according to claim 1, further comprising: 前記窓に設けられ、前記第2面を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段に接続され、撮像された前記第2面のカラー像を表示するための表示手段とを備える、請求項2に記載の可視化装置。   3. An imaging unit provided in the window and configured to image the second surface; and a display unit connected to the imaging unit and configured to display a captured color image of the second surface. The visualization device described in 1. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の可視化装置と、欠陥のない前記材料の前記磁界分布に対応した前記カラー像を基準データとして記憶する記憶手段と、前記可視化装置によって得られたカラー像が前記基準データと異なるか否かを判定する像判定手段とを含み、前記基準データと異なる場合に欠陥を有すると判定する、前記材料の品質を検査するための検査装置。   The visualization apparatus according to any one of claims 1 to 3, storage means for storing the color image corresponding to the magnetic field distribution of the material having no defect as reference data, and a color obtained by the visualization apparatus An inspection apparatus for inspecting the quality of the material, including image determining means for determining whether an image is different from the reference data, and determining that the image has a defect when different from the reference data. 前記欠陥は、前記材料の表面に形成された傷、前記材料の内部に存在する空洞、応力による変形であり、前記基準データと異なる部分の位置および大きさから前記欠陥の位置および大きさを判断する、請求項4に記載の検査装置。   The defect is a flaw formed on the surface of the material, a cavity existing inside the material, or deformation due to stress, and the position and size of the defect are determined from the position and size of a portion different from the reference data. The inspection apparatus according to claim 4. 磁気漏洩する材料の磁界分布を可視化する方法であって、
第1面と、前記第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質を備える第2面とを有するスクリーンの1つの色の前記蛍光物質のみに電子ビームが照射されるように偏向させ、前記スクリーンに当該色のみからなるカラー像を表示させるステップと、
当該色のみからなる当該カラー像を表示させつつ前記第1面を前記材料へ接近させ、前記電子ビームが前記磁界の強さおよび向きに応じてローレンツ力を受けることにより、前記第2面に前記磁界分布に対応した前記複数色からなるカラー像を形成させるステップとを含む、可視化方法。
A method for visualizing a magnetic field distribution of a magnetic leaking material,
An electron beam is irradiated only to the fluorescent material of one color of a screen having a first surface and a second surface having a plurality of fluorescent materials arranged in a predetermined color order on the back surface of the first surface. And displaying a color image consisting only of the color on the screen;
The first surface is brought close to the material while displaying the color image composed only of the color, and the electron beam receives a Lorentz force according to the strength and direction of the magnetic field, thereby causing the second surface to Forming a color image composed of the plurality of colors corresponding to the magnetic field distribution.
さらに、前記第2面を撮像するステップと、撮像された前記第2面のカラー像を表示するステップとを含む、請求項6に記載の可視化方法。   The visualization method according to claim 6, further comprising: imaging the second surface; and displaying a captured color image of the second surface. 磁気漏洩する材料の磁界分布から当該材料の欠陥を検出する方法であって、
第1面と、前記第1面の裏面で、一定の色順序で配列する複数色の蛍光物質を備える第2面とを有するスクリーンの1つの色の前記蛍光物質のみに電子ビームが照射されるように偏向させ、前記スクリーンに当該色のみからなるカラー像を表示させるステップと、
当該色のみからなる当該カラー像を表示させつつ前記第1面を前記材料へ接近させ、前記電子ビームが前記磁界の強さおよび向きに応じてローレンツ力を受けることにより、前記第2面に前記磁界分布に対応した前記複数色からなるカラー像を形成させるステップと、
記憶手段に基準データとして記憶された欠陥のない前記材料の前記磁界分布に対応した前記カラー像を読み出すステップと、
形成された前記カラー像が前記基準データと異なるか否かを判定するステップとを含み、前記基準データと異なる場合に欠陥を有すると判定する、欠陥の検出方法。
A method for detecting defects in a material from a magnetic field distribution of the material that leaks magnetically,
An electron beam is irradiated only to the fluorescent material of one color of a screen having a first surface and a second surface having a plurality of fluorescent materials arranged in a predetermined color order on the back surface of the first surface. And displaying a color image consisting only of the color on the screen;
The first surface is brought close to the material while displaying the color image composed only of the color, and the electron beam receives a Lorentz force according to the strength and direction of the magnetic field, thereby causing the second surface to Forming a color image composed of the plurality of colors corresponding to a magnetic field distribution;
Reading the color image corresponding to the magnetic field distribution of the material free of defects stored as reference data in storage means;
And a step of determining whether or not the formed color image is different from the reference data, and determining a defect when the color image is different from the reference data.
前記欠陥は、前記材料の表面に形成された傷、前記材料の内部に存在する空洞、応力による変形であり、前記基準データと異なる部分の位置および大きさから前記欠陥の位置および大きさを判断するステップをさらに含む、請求項8に記載の欠陥の検出方法。
























The defect is a flaw formed on the surface of the material, a cavity existing inside the material, or deformation due to stress, and the position and size of the defect are determined from the position and size of a portion different from the reference data. The defect detection method according to claim 8, further comprising a step of:
























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