JP2009160610A - レーザリペア装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源7と、被加工部材Aに対向して配置され、レーザ光源7から出射されたレーザ光を被加工部材Aに照射する加工ヘッド5と、レーザ光源7と加工ヘッド5とを接続し、強度分布を均一化しつつレーザ光を導光する光ファイバ8と、レーザ光源7、加工ヘッド5および光ファイバ8を一体的に、被加工部材Aに対して移動させる移動機構4とを備えるレーザリペア装置1を提供する。
【選択図】 図1
Description
このレーザ加工装置は、装置の外部に固定されたレーザ発振器と加工対象物上をXYの2次元方向に移動可能な可動式の加工ヘッドとを備え、レーザ発振器と加工ヘッドとの間を光ファイバで連結している。また、このレーザ加工装置は加工ヘッドを移動させるために、加工ヘッドのXY方向のストロークに応じた長い光ファイバを使用している。
本発明は、レーザ光を発生するレーザ光源と、被加工部材に対向して配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を被加工部材に照射する加工ヘッドと、前記レーザ光源と前記加工ヘッドとを接続し、強度分布を均一化しつつレーザ光を導光する光ファイバと、前記レーザ光源、加工ヘッドおよび光ファイバを一体的に、被加工部材に対して移動させる前記移動機構とを備えるレーザリペア装置を提供する。
このようにすることで、落射照明光源から出射された照明光を対物レンズを介して被加工部材に照射し、被加工部材から戻る反射光を対物レンズによって集光し、撮像素子によって撮影することができる。したがって、加工ヘッドによって被加工部材の表面状態を観察しながら、精度よく加工することができる。
このようにすることで、1回以上巻かれた光ファイバによって、レーザ光の均一化の効果が増大させられ、より均一な強度分布のレーザ光を用いて被加工部材を加工することができる。
本実施形態に係るレーザリペア装置1は、大型の液晶基板Aの配線パターン部等の微小領域をレーザ加工する装置であって、図1および図2に示されるように、液晶基板Aを水平な平面状態を保ったまま浮上させる浮上プレート2と、該浮上プレート2の側方において液晶基板Aの一側縁部を吸着してX方向に搬送する吸着搬送ステージ3と、浮上プレート2の上方にY方向に掛け渡される門型の顕微鏡ステージ(移動機構)4と、該顕微鏡ステージ4によって、Y方向に移動させられる加工ヘッド5、レーザ電源6、レーザ光源7および光ファイバ8とを備えている。
これらヘッド取付部18およびレーザユニット取付部19は相互に固定されることにより一体的にY方向に移動させられるようになっている。
本実施形態に係るレーザリペア装置1を用いて液晶基板Aの顕微鏡検査およびレーザ加工を行うには、図示しない搬送ロボット等によって液晶基板Aを浮上プレート2上に載置して浮上させた状態で、基板整列機構23によって位置決めする。位置決め後、吸着搬送ステージ3を上昇させて吸着部3aによって液晶基板Aを吸着し、吸着搬送ステージ3のリニアモータを駆動させ、リニアガイドレールに沿ってX方向に搬送する。
サーバからの液晶基板Aの欠陥位置情報により、加工ヘッド5をY方向に、吸着搬送ステージ3をX方向に移動させて、顕微鏡検査やレーザ加工を行うことにより、液晶基板Aのほぼ全面にわたって顕微鏡検査およびレーザ加工を施すことができる。
また、損傷し易い光ファイバ8を変形させずに済むので、繰り返し使用による光ファイバ8の劣化を防止することができるという利点もある。
1 レーザリペア装置
4 顕微鏡ステージ(移動機構)
5 加工ヘッド
7 レーザ光源
8 光ファイバ
9 対物レンズ
10 落射照明光源
14 撮像素子
Claims (3)
- レーザ光を発生するレーザ光源と、
被加工部材に対向して配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を被加工部材に照射する加工ヘッドと、
前記レーザ光源と前記加工ヘッドとを接続し、強度分布を均一化しつつレーザ光を導光する光ファイバと、
前記レーザ光源、加工ヘッドおよび光ファイバを一体的に、被加工部材に対して移動させる移動機構とを備えるレーザリペア装置。 - 前記加工ヘッドが、被加工部材を顕微鏡観察するための対物レンズ、落射照明光源および撮像素子を備える請求項1に記載のレーザリペア装置。
- 前記光ファイバが、前記レーザ光源と前記加工ヘッドとの間において、1回以上巻かれている請求項1または請求項2に記載のレーザリペア装置。
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