JP2009156663A - X-ray inspecting device having temperature control function of inspection object - Google Patents
X-ray inspecting device having temperature control function of inspection object Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009156663A JP2009156663A JP2007333627A JP2007333627A JP2009156663A JP 2009156663 A JP2009156663 A JP 2009156663A JP 2007333627 A JP2007333627 A JP 2007333627A JP 2007333627 A JP2007333627 A JP 2007333627A JP 2009156663 A JP2009156663 A JP 2009156663A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- heating
- temperature
- inspection apparatus
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 112
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 191
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 71
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 17
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000001073 sample cooling Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
本発明は、X線を用いて被検査物を透視することで、被検査物の内部および外部の欠陥等を検査するX線検査装置に関し、特に、被検査物を加熱若しくは冷却制御して、被検査物内部の微細構造の変化などを検査することが可能なX線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus that inspects the inside and outside defects of the inspection object by seeing through the inspection object using X-rays, and in particular, controls heating or cooling of the inspection object, The present invention relates to an X-ray inspection apparatus capable of inspecting a change in a fine structure inside an object to be inspected.
X線を利用した検査装置としては、X線顕微鏡,異物検査装置,物質の表面検査装置,蛍光X線分析装置などの各種の産業検査装置や、X線診断装置などの医療用X線装置が知られている。高分解能を有するX線検査装置としては、例えば、電子銃が作る電界に磁界を重畳させる磁界重畳レンズをX線発生手段の構成要素として備え、電子発生部から発生した直後の電子を磁界重畳レンズによって集束させながら電子銃によって加速させることによって、X線発生用ターゲットに当てる電子線の損失電子線量を低減させる構成としたものが公知である(例えば本出願人による特許文献1参照)。この特許文献1に記載のX線顕微検査装置においては、焦点サイズが0.1μmより良い超高分解能(40〜100nm)で被検査物の微細構造を非破壊で検査可能としている。
As inspection apparatuses using X-rays, there are various industrial inspection apparatuses such as X-ray microscopes, foreign substance inspection apparatuses, substance surface inspection apparatuses, fluorescent X-ray analysis apparatuses, and medical X-ray apparatuses such as X-ray diagnostic apparatuses. Are known. As an X-ray inspection apparatus having high resolution, for example, a magnetic field superimposing lens that superimposes a magnetic field on an electric field generated by an electron gun is provided as a constituent element of the X-ray generation unit, and electrons immediately after being generated from the electron generating unit A configuration is known in which a loss electron dose of an electron beam applied to an X-ray generation target is reduced by accelerating with an electron gun while being focused by (see, for example,
このような超高分解能を有するX線検査装置(X線顕微検査装置)は、例えば高密度集積回路等の半田付けの合否検査等に利用することが可能である。その場合、近年までは、検査装置外部で加熱した被検査物を検査装置内部にセッティングして観察することが多く、充分な温度管理が行えなかったが、近年では、被検査物(観察試料)を加熱する加熱源をX線検査装置本体に内蔵し、試料の加熱による状態変化をX線透過像にて観察できるようにしたものが提案されている(例えば特許文献2、3参照)。
X線検査装置のオプション機器として、観察試料を加熱しながら熱変化の状態をX線透視像により観察できる装置(以下、加熱装置)が提案されているが、上述した特許文献2や特許文献3に記載されている従来の加熱源では、一方向からの加熱の為、観察試料の熱分布を均一にすることができなかった。また、半田の鉛フリー化に伴い、半田付け温度の上昇速度、及び冷却速度の差異による引け巣やクラックの問題を解決するために、最適な温度の設定が必要とされており、精密な観察試料の温度制御が必要であった。また、冷却方法が自然冷却であったため、リフロー炉の冷却再現ができなかったり、加熱後の観察試料交換に対しては、装置自体が冷えるまでかなりの時間を要していたりした。 As an optional device for the X-ray inspection apparatus, apparatuses (hereinafter referred to as a heating apparatus) that can observe the state of thermal change by X-ray fluoroscopic images while heating the observation sample have been proposed. In the conventional heating source described in 1), the heat distribution of the observation sample cannot be made uniform because of heating from one direction. In addition, with the trend toward lead-free soldering, optimal temperature settings are required to solve the problem of shrinkage cavities and cracks due to differences in the soldering temperature rise rate and cooling rate. Sample temperature control was required. In addition, since the cooling method was natural cooling, it was not possible to reproduce the cooling of the reflow furnace, or it took a considerable time for the observation sample to be replaced after heating until the device itself cooled.
本発明は上述のような問題に鑑みて成されたものであり、本発明の主要な目的は、被検査物の面上の温度分布のムラを無くすとともに表面と裏面との温度差を無くし、リフロー特性に応じた加熱が可能なX線検査装置を提供することにある。また、被検査物の加熱による検査の後に被検査物を温度プロファイルに従って自動的に冷却することが可能なX線検査装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the problems as described above, and the main object of the present invention is to eliminate uneven temperature distribution on the surface of the object to be inspected and to eliminate the temperature difference between the front surface and the back surface. An object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of heating according to reflow characteristics. Another object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of automatically cooling an inspection object according to a temperature profile after the inspection by heating the inspection object.
本発明は、X線源とX線検出器との間の観察エリア上に載置された被検査物を加熱して前記被検査物の熱変化の状態を前記X線検出器で撮像したX線透過像に基づいて検査する機能を有するX線検査装置に関するものであり、本発明の上記目的は、前記X線源と前記観察エリアとの間の微小間隙部側方に熱風噴出口が配置され、前記熱風噴出口から前記観察エリア上の被検査物上部に熱風を噴出して前記被検査物をその上面側から加熱する第1加熱手段と、前記観察エリアと前記X線検出器との間に加熱源が配設され、前記加熱源から前記観察エリアに向けて熱を放射して前記被検査物をその下面側から加熱する第2加熱手段と、前記被検査物の上面側の温度及び下面側の温度を検出する温度検出手段と、温度プロファイルのデータを記憶する記憶手段と、前記被検査物の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように前記第1及び第2加熱手段による各加熱量を協調制御しながら前記温度プロファイルに従って前記被検査物を昇温させる温度制御手段と、を備えることによって達成される。 In the present invention, an X-ray detector is used to capture an image of the state of thermal change of the inspection object by heating the inspection object placed on the observation area between the X-ray source and the X-ray detector. The present invention relates to an X-ray inspection apparatus having a function of inspecting based on a line transmission image, and the object of the present invention is to provide a hot air jet outlet on the side of a minute gap between the X-ray source and the observation area. A first heating means for jetting hot air from the hot air outlet to the upper part of the inspection object on the observation area to heat the inspection object from the upper surface side, and the observation area and the X-ray detector. A heating source disposed between the second heating means for radiating heat from the heating source toward the observation area to heat the object to be inspected from its lower surface side; and a temperature on the upper surface side of the object to be inspected And temperature detecting means for detecting the temperature of the lower surface side, and storing temperature profile data The inspection object is raised according to the temperature profile while cooperatively controlling the heating amounts of the first and second heating means so that there is no difference in the detected temperature between the storage means and the upper surface side and the lower surface side of the inspection object. And temperature control means for heating.
また、本発明の上記目的は、前記熱風噴出口は、前記X線源のX線光軸に直交する直線に対して互いに位置をずらして対向配置された第1及び第2の噴出口を有し、前記第1加熱手段は、前記第1及び前記第2の噴出口から各々熱風を噴出し前記観察エリア上で攪拌させることで前記被検査物上面の温度分布を均等化する構成とすること、前記微小間隙部側方に冷風噴出口が配置され、前記冷風噴出口から前記観察エリア上の被検査物に向けて冷風を噴出して前記被検査物を冷却する冷却手段を更に備えること、前記冷却手段による冷却と、前記第1及び第2加熱手段による各加熱量の協調制御とによって、前記被検査物の検出温度及び前記温度プロファイルの設定データに基づいて前記被検査物を前記温度プロファイルに従って降温させる降温制御機能を有すること、前記温度プロファイルに従って前記被検査物を加熱又は降温させた後に前記被検査物を所定温度まで急速冷却する急冷制御機能とを有すること、前記第1加熱手段、前記第2加熱手段、及び前記温度検出手段を有する加熱ユニットは、その筐体側面部が耐熱ガラスで形成されていると共に、前記耐熱ガラスを通して前記被検査物の状態変化を撮像するための外観観察用カメラを有すること、によってそれぞれ一層効果的に達成される。 In addition, the object of the present invention is to provide the hot air outlet having first and second outlets that are arranged opposite to each other with respect to a straight line orthogonal to the X-ray optical axis of the X-ray source. The first heating means is configured to equalize the temperature distribution on the upper surface of the object to be inspected by jetting hot air from the first and second jet nozzles and stirring them on the observation area. A cooling air outlet is disposed on the side of the minute gap, and further includes cooling means for cooling the inspection object by injecting cold air from the cooling air outlet toward the inspection object on the observation area. The temperature profile of the object to be inspected based on the detected temperature of the object to be inspected and the setting data of the temperature profile by the cooling by the cooling means and the coordinated control of each heating amount by the first and second heating means. Lower the temperature according to Having a temperature control function, having a rapid cooling control function for rapidly cooling the inspection object to a predetermined temperature after heating or cooling the inspection object according to the temperature profile, the first heating means, the second A heating unit having a heating unit and the temperature detection unit has an exterior observation camera for imaging a state change of the inspection object through the heat-resistant glass and a side surface portion of the housing formed of the heat-resistant glass. Each of which is achieved more effectively.
さらに、本発明の上記目的は、前記X線検出器及び前記外観観察用カメラからの各映像信号を入力すると共に前記被検査物の高拡大倍率のX線透過像と前記被検査物の外観画像とを同時に観察可能なモニタ画像として出力する機能を有する画像処理手段を備えること、前記モニタ画像上に、更に検査情報を重ねて表示する機能を有する画像処理機能を備えること、前記モニタ画像を再生可能に記録媒体に記録する機能を有する画像処理手段を備えること、前記X線源となるターゲット面と前記観察エリアとの間に前記ターゲット面を熱的に保護する第1の遮蔽部材を配置すると共に、前記観察エリアと前記X線検出器との間に前記X線検出器を熱的に保護し且つ前記X線検出器への物体の落下を阻止する第2の遮蔽部材を配置して成ること、前記ターゲット面と前記第1の遮蔽部材の間隙部に前記被検査物の加熱により発生する有害ガス及び煙を吸引する吸引手段を更に備えること、前記ターゲット面と前記第1の遮蔽部材の間隙部に空気を噴出することにより前記ターゲット面を冷却する強制空冷機構を備えること、前記X線源と前記観察エリアとの間の最小距離が1.3mm乃至5mm程度であること、或いは前記X線源と前記観察エリアとの間の最小距離が0.8mm乃至3mm程度であること、によってそれぞれ一層効果的に達成される。 Further, the object of the present invention is to input each video signal from the X-ray detector and the appearance observation camera, and to transmit an X-ray transmission image of the inspection object at a high magnification and an appearance image of the inspection object. And an image processing means having a function of outputting the information as a monitor image that can be simultaneously observed, an image processing function having a function of displaying inspection information in a superimposed manner on the monitor image, and reproducing the monitor image An image processing unit having a function of recording on a recording medium is provided, and a first shielding member for thermally protecting the target surface is disposed between the target surface serving as the X-ray source and the observation area. In addition, a second shielding member that thermally protects the X-ray detector and prevents the object from falling on the X-ray detector is disposed between the observation area and the X-ray detector. thing, A gap between the target surface and the first shielding member is further provided with suction means for sucking harmful gas and smoke generated by heating the inspection object, and a gap between the target surface and the first shielding member. A forced air cooling mechanism for cooling the target surface by ejecting air on the screen, a minimum distance between the X-ray source and the observation area being about 1.3 mm to 5 mm, or the X-ray source And a minimum distance between the observation area and the observation area is about 0.8 mm to 3 mm, respectively.
本発明によれば、被検査物の表裏の各面をムラなく均一に加熱することができると共に、被検査物の表裏面の温度差を無くしリフロー特性に応じた加熱が可能となる。また、X線源側からの加熱は、熱風によって加熱する構成としているので、X線源と前記観察エリアとの間の間隙が微小なX線検査顕微装置においても、被検査物の温度コントロールが容易となってその温度特性を高精度で検査することが可能となる。 According to the present invention, the front and back surfaces of the object to be inspected can be uniformly heated, and the temperature difference between the front and back surfaces of the object to be inspected can be eliminated and heating according to the reflow characteristics can be performed. In addition, since the heating from the X-ray source side is configured to be heated by hot air, even in an X-ray inspection microscope having a very small gap between the X-ray source and the observation area, the temperature of the inspection object can be controlled. This makes it easy to inspect the temperature characteristics with high accuracy.
さらに、冷却手段を備えることで、リフロー炉の冷却再現が可能になると共に、加熱後の観察試料の交換時間を短縮化することが可能となる。さらに、第1の遮蔽部材や強制空冷機構を備えることで、加熱装置からのターゲット部材への加熱を熱的に遮断することができる。第2の遮蔽部材を備えることで、加熱装置からのX線検出器への加熱を熱的に遮断することができると共に落下物による損傷を防止することができる。また、外観観察用カメラを備えることで、X線透過像による試料内部の微細構造の変化と外観の変化とを同時に観察することが可能となる。さらに、吸引手段を備えることで、加熱により発生する有害ガス及び煙をX線検査装置外に排気できると共にX線ターゲットの腐食を防止することができる。 Furthermore, by providing the cooling means, it is possible to reproduce the cooling of the reflow furnace and shorten the exchange time of the observation sample after heating. Furthermore, by providing the first shielding member and the forced air cooling mechanism, the heating of the target member from the heating device can be thermally blocked. By providing the second shielding member, the heating of the X-ray detector from the heating device can be thermally blocked and damage due to falling objects can be prevented. Further, by providing an appearance observation camera, it is possible to simultaneously observe the change in the fine structure inside the sample and the change in the appearance by the X-ray transmission image. Furthermore, by providing the suction means, harmful gas and smoke generated by heating can be exhausted outside the X-ray inspection apparatus and corrosion of the X-ray target can be prevented.
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。本発明はX線検査装置に適用される加熱装置に係る発明であり、X線検査装置自体の詳細な説明については説明を省略する。なお、本発明に係る加熱装置は、例えば背景技術で説明した超高分解能を有するX線顕微検査装置に好適に適用される。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention relates to a heating apparatus applied to an X-ray inspection apparatus, and a detailed description of the X-ray inspection apparatus itself is omitted. Note that the heating apparatus according to the present invention is suitably applied to, for example, an X-ray microscopic inspection apparatus having ultrahigh resolution described in the background art.
図1は本発明に係るX線検査装置の主要部の構成例を示す模式図である。図1に示されるX線検査装置は、対象観察物である試料1に熱を加え、その熱変化の状態をX線透過像にて観察することができる装置であり、X線源11とX線検出器12との間に加熱ユニット20を備えている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a main part of an X-ray inspection apparatus according to the present invention. The X-ray inspection apparatus shown in FIG. 1 is an apparatus that can apply heat to a
加熱ユニット20は、X線検査装置のオプション装置であり、その用途は、(1)鉛フリー半田等の半田溶融時のボイド、引け巣、クラック発生の解析、(2)LED(Light Emitting Diode)やIC(Integrated Circuit)など電子部品での熱衝撃による熱応力がもたらす不具合原因の解析、(3)半田付けリフローの実験による最適な温度プロファイルの開発などである。
The
加熱ユニット20は、図1に示すように、試料1をその上面側(X線源11側)から加熱する第1加熱手段21と、試料1をその下面側(X線検出器12側)から加熱する第2加熱手段22と、試料1の上面側の温度と下面側の温度を検出する温度検出手段24とを備えている。本実施の形態では、第1加熱手段21の加熱源としてはエアヒータ(温風ヒータ)を使用し、第2加熱手段22の加熱源としてはハロゲンランプを使用し、温度検出手段24としては、熱電対を使用している。
As shown in FIG. 1, the
加熱ユニット20を構成する各手段は、試料1の温度を調節するための温度調節器30を介してX線検査装置の制御コンピュータ40と接続されており、第1加熱手段21と第2加熱手段22による試料1の加熱温度が、温度調節器30を介して制御コンピュータ40によって制御されるようになっている。
Each means constituting the
制御コンピュータ40は、例えばPC(パーソナルコンピュータ)等のコンピュータと制御プログラムから構成され、設定温度41に従って試料1を昇温させる機能を備えている。温度制御に用いる設定温度41は、試料1を観察する温度、温度の保持時間、昇温速度や降温速度を示す温度プロファイルとして、制御コンピュータ40の記憶部に記憶されている。そして、本実施の形態では、制御コンピュータ40は、温度検出手段24の検出データと設定温度41のデータに基づいて、試料1の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように温度調節器30を介して第1加熱手段21と第2加熱手段22による各加熱量を協調制御しながら、温度プロファイル41に従って試料1の温度を昇温させるようにしている。
The
以下、本発明に係るX線検査装置の特徴的な構成について機能別に順次説明する。なお、同一構成箇所については同符号を付して説明を省略又は簡略化して説明する。また、ここでは加熱ユニット20の構成について説明し、制御系の構成については後述する。
<加熱手段の構成>
先ず、試料の上下面の温度差を低減するための加熱手段の構成について説明する。
Hereinafter, the characteristic configuration of the X-ray inspection apparatus according to the present invention will be sequentially described by function. In addition, about the same structure location, description is abbreviate | omitted or simplified by attaching | subjecting a same sign. Here, the configuration of the
<Configuration of heating means>
First, the structure of the heating means for reducing the temperature difference between the upper and lower surfaces of the sample will be described.
本実施の形態では、観察対象の試料に対し上下の熱源で協調して加熱することにより、より高い制御性を実現している。加熱方式は、上面からの加熱は温風ヒータによる熱風とし、下面からの加熱は熱光源(例えばハロゲンランプ)による光の放射として、第1加熱手段と第2加熱手段とを協調制御することにより試料の表面と裏面との温度差を小さくするようにしている。初めに第1加熱手段の構成について説明する。 In the present embodiment, higher controllability is realized by heating the sample to be observed in cooperation with upper and lower heat sources. The heating method is such that the heating from the upper surface is hot air by a hot air heater, and the heating from the lower surface is radiation of light from a heat light source (for example, a halogen lamp), and the first heating means and the second heating means are controlled in a coordinated manner. The temperature difference between the front and back surfaces of the sample is made small. First, the configuration of the first heating means will be described.
図2は、試料1を上面側(表面側)から加熱する第1加熱手段21の構成の一例を示す構造図であり、図2(A)は加熱ユニット20の正面構造図、図2(B)は、図2(A)の加熱ユニット20を矢印Z方向から見た平面構造図である。図2(A)に示すように、X線源11となるターゲット11aの面と試料1の載置面(観察エリア20aの面)との間の距離は、X線透視像の拡大倍率に反比例して変化し、最大拡大倍率の時に最小となる。その最小距離は、本実施の形態では、1.3mm乃至5mm程度(第1の遮蔽部材28aを備えない場合は、0.8mm乃至3mm程度)である。そのため、加熱源として例えばハロゲンランプ等の熱光源を用いた場合、その微小な間隙部にセットされた試料1に上面から光を照射して試料1を均一に加熱するのは困難である。
FIG. 2 is a structural diagram showing an example of the configuration of the first heating means 21 that heats the
そこで、本実施の形態においては、第1加熱手段21の加熱源としてはエアヒータを用い、微小な間隙部に熱風を噴出することで試料1を上面側から加熱する構成としている。
Therefore, in the present embodiment, an air heater is used as the heating source of the first heating means 21, and the
詳しくは、図2(A)に示すように、X線源11と観察エリア20aとの間の微小間隙部の側方に温風機構21aを配置し、観察エリア20a側に突出させたノズル21bの温風噴出口21cから観察エリア20a上の試料1上部に熱風を噴出することで、試料1をその上面側から加熱する構成としている。
Specifically, as shown in FIG. 2 (A), a
また、本実施の形態では、第1加熱手段21は2つのエアヒータを用いており、図2(B)に示すように、X線源11のX線光軸に直交する直線に対して互いに位置をずらして2つの熱風噴出口21cを対向配置し、各々の熱風噴出口21cから熱風を対向噴出して観察エリア20a上で攪拌させることにより、試料1の上面側の温度分布を均等化する構成としている。なお、本例では、第1加熱手段21の加熱源として高温のN2ガスを用いており、最大10°C/秒の昇温速度で試料1を加熱できるようにしている。
In the present embodiment, the first heating means 21 uses two air heaters, and they are positioned relative to each other with respect to a straight line orthogonal to the X-ray optical axis of the
次に、第2加熱手段の構成について、説明する。 Next, the configuration of the second heating means will be described.
図3は、試料1を下面側(裏面側)から加熱する第2加熱手段22の構成の一例を示す構造図であり、図2(A)の加熱ユニット20を矢印X方向から見た側面構造図である。第2加熱手段22の加熱源は光を使用したものを用いており、例えばハロゲンランプ,赤外ランプ,白熱球等の高熱を発するランプが、上記加熱源(以下、熱光源と言う)として好適に適用される。本例での加熱ユニット20は、図3中に示すように、第2加熱手段22としての2つの熱光源22a,22bを、X線源11のターゲット面11aから出射されるX線ビームによるX線観察範囲(X線の通過領域)に干渉しない位置に対向配置し、2つの熱光源22a,22bからの放射光により観察試料1を下面側から直接加熱する構成としている。また、熱光源22a,22bは、断面が楕円状の反射鏡22cを設けてその焦点位置にそれぞれ配置し、それぞれの反射鏡22cからの反射光を試料1の下面の同一領域に放射(試料下面の全域若しくは所望の領域に局所的に放射)する構成としている。なお、本例では、熱光源22a,22bとして500W程度のハロゲンランプをそれぞれ用いることで、第1加熱手段と同様に、最大10℃/秒の昇温速度で試料1を加熱できるようにしている。
FIG. 3 is a structural diagram showing an example of the configuration of the second heating means 22 for heating the
ここで、図3を用いて、X線源11と観察エリア20aとの間の距離について説明する。
Here, the distance between the
図3において、X線源11(ターゲット面11a)と観察エリア20aとの間の距離Wは、W1+W2+W3となる。但し、W1は、第1の遮蔽部材28aの上面とターゲット面11aとの間の距離(便宜上「第1の距離」と呼ぶ)、W2は、第1の遮蔽部材28aとその支持部材の下面との間の距離(便宜上「第2の距離」と呼ぶ)、W3は、第1の遮蔽部材28aの支持部材の下面と試料1の上面との間の距離(便宜上「第3の距離」と呼ぶ)を示している。X線源11とX線検出器12との間の距離をD(図示せず)とすると、X線画像の拡大倍率MはD÷Wであり、Dが一定のときは、Wが最小値のときに最大倍率をとる。従って、大きな拡大倍率撮像のためには、W1,W2,W3の各々が最小になることが好ましい。第1の距離W1は、ステージ13上の試料1のZ軸方向の移動によって変化し、それに応じてX線画像の拡大倍率が変化するが、最大拡大倍率のときにおいて、最小値約0.3mm〜0.5mmをとることができる。第2の距離W1は、第1の遮蔽部材28aとその支持部材の厚さによって決定されるが、最小値として0.5mm〜2.0mm程度をとることができる。第3の距離W3は、試料1の種類によって異なり、当該試料1の厚さによって決定されるが、最小値として0.5mm〜2.5mm程度である。
In FIG. 3, the distance W between the X-ray source 11 (
したがって、X線源11と観察エリア20aとの間の最小距離Wは、1.3mm〜5.0mmとなる。また、第1の遮蔽部材28aを備えない実施の形態では、X線源11と観察エリア20aとの間の最小距離Wは0.8mm〜3mm程度となる。
<冷却手段の構成>
次に、試料の冷却機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
Therefore, the minimum distance W between the
<Configuration of cooling means>
Next, the configuration of a heating unit having a sample cooling function will be described.
背景技術で説明したように、加熱機能を備えた従来のX線検査装置は、冷却方法が自然冷却であったため、リフロー炉の冷却過程を再現できなかったり、自然放冷では加熱後の観察試料交換に対しては、装置自体が冷えるまでかなりの時間を要していたりした。そこで、本実施の形態では、加熱ユニットに冷却機能を加えて、低温空気による急速冷却、及び温度プロファイル(リフロー)に則した冷却制御を可能としている。 As described in the background art, the conventional X-ray inspection apparatus having a heating function cannot reproduce the cooling process of the reflow furnace because the cooling method is natural cooling. It took a considerable amount of time for the device to cool down. Therefore, in this embodiment, a cooling function is added to the heating unit to enable rapid cooling with low-temperature air and cooling control according to the temperature profile (reflow).
図4は、冷却手段を備えた加熱ユニットの構成の一例を図2(B)に対応させて示す平面構造図である。本実施の形態においては、冷却手段23の冷却源としてはエアクーラを用い、微小な間隙部に冷風を噴出することで試料1を冷却する形態としている。なお、エアクーラとは、冷媒や電気を使用することなく、コンプレッサー等からの圧縮空気の供給のみで冷風を発生できる装置であり、例えば東浜商事株式会社の超低温空気発生器ACシリーズが知られている。本例では、エアクーラは電磁弁33dの開度制御であり、制御コンピュータ40は、電磁弁33dを開度にして冷却空気を当てたまま、加熱制御のPIDで冷却速度と冷却温度を制御する形態としている。
FIG. 4 is a plan structural view showing an example of the configuration of the heating unit provided with the cooling means corresponding to FIG. In the present embodiment, an air cooler is used as a cooling source of the cooling means 23, and the
詳しくは、冷却手段23は、試料を冷却する冷却機構23aとその冷風噴出口23bと冷風ガイド壁23cとを備えている。本例では、図4に示すように、微小間隙部側方に冷風噴出口23bを配置し、冷風噴出口23bから観察エリア20a上の試料に向けて冷風を噴出して試料を冷却する構成としている。冷却手段23は、図1の例では、温度調節器30を介して制御コンピュータ40に接続されており、冷却手段23よる冷却と、第1加熱手段21及び第2加熱手段22による各加熱量の協調制御とによって、試料の検出温度及び温度プロファイルの設定データに基づいて試料を温度プロファイルに従って降温させる降温制御機能と、温度プロファイルに従って試料を加熱又は降温させた後に試料を所定温度(例えば加熱若しくは冷却前の温度)まで急速冷却する急冷制御機能とを備えている。このように冷却機能を追加し、冷却についても制御可能とすることにより、冷却による試料の状態変化についてもリフロー特性に応じた温度特性を得ることが可能となる。
<加熱ユニット内部の観察機能に係る構成>
次に、加熱ユニット内部の観察機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
Specifically, the cooling means 23 includes a
<Configuration related to the observation function inside the heating unit>
Next, a configuration of the heating unit having an observation function inside the heating unit will be described.
本実施の形態では、透明な耐熱ガラス窓を通して加熱ユニット内部をカメラで観察できるようにして、熱変化時の試料の状態変化を示す高拡大倍率のX線透過像と外観画像を同時に観察及び記録可能としている。 In this embodiment, the inside of the heating unit can be observed with a camera through a transparent heat-resistant glass window, and a high-magnification X-ray transmission image and an appearance image showing the change in the state of the sample at the time of heat change are simultaneously observed and recorded. It is possible.
図5は、試料の外観観察手段を備えた加熱ユニットの構成の一例を図3に対応させて示す側面構造図である。図5に示すように、加熱ユニット20の筐体側面部は、耐熱ガラス25で形成されており、その耐熱ガラス25を通して試料1の状態変化を撮像するための外観観察用カメラ26(例えばCCDカメラ)を加熱ユニット20の筐体外部に配置した構成としている。本例では、外観観察用カメラ26は、耐熱ガラス25から成る観察用窓に近接して固設した構成としているが、例えば、加熱ユニット20の筐体側面部全域を耐熱ガラス25で形成し、外観観察用カメラ26を傾動及び回動制御可能な構成としても良い。
FIG. 5 is a side structural view showing an example of the configuration of a heating unit provided with a sample appearance observation means corresponding to FIG. As shown in FIG. 5, the side surface of the casing of the
本実施の形態では、外観観察用カメラ26は、画像処理装置50に接続されている。画像処理装置50は、X線検出器12及び外観観察用カメラ26からの各映像信号を入力すると共に、試料1の高拡大倍率のX線透過像と試料1の外観画像と検査条件(検査日時、加熱の経過時間、試料の温度、X線の管電圧値や管電流値など)とを同時に観察可能なモニタ画像として出力する機能と、X線透過像と外観画像とを同一時間軸で再生可能に記録媒体に記録する機能とを有する画像処理手段を備えている。このような画像処理手段を備えることで、試料内部の微細構造の変化と外観の変化とを同時に観察及び記録することが可能となる。
<X線源及びX線検出器の保護に係る構成>
次に、X線源とX線検出器を熱的及び機械的に保護するための加熱ユニットの構成について、図2(A)を参照して説明する。
In the present embodiment, the
<Configuration related to protection of X-ray source and X-ray detector>
Next, the structure of the heating unit for protecting the X-ray source and the X-ray detector thermally and mechanically will be described with reference to FIG.
一般にX線源となるターゲット面(ベリリウム材)は、電子ビームによって温度上昇を生ずるので冷却への配慮が重要な部位である。本実施の形態のX線検査装置では、更にターゲットの下側に配置された加熱源21からも加熱を受ける恐れがあるので、熱的に保護する必要がある。
In general, a target surface (beryllium material) serving as an X-ray source is an area where an increase in temperature is caused by an electron beam, so that consideration for cooling is an important part. In the X-ray inspection apparatus according to the present embodiment, since there is a possibility that the
そこで、本実施の形態では、図2(A)に示すように、ターゲット11aと第1加熱手段21の加熱源側の熱風の通風路との間に第1の遮蔽部材28aを配置して熱風がターゲット11aに当らないようにすることにより熱的に遮断するようにしている。また、第2加熱手段22の熱光源22a,22bの下側(観察エリアとX線検出器との間)にも同様の素材を使用した第2の遮蔽部材28bを配置して、加熱ユニットからX線検出器20への熱気を遮断すると共に、試料1(観察ワーク)及び半田などが落下してX線検出器に当ることを防止する構成としている。第1の遮蔽部材28a及び第2の遮蔽部材28bとしては、放射線透過性に優れ且つ熱的に安定した素材を使用し、例えば薄板状のアルミ板やカーボン板を用いるのが好ましい。このような遮蔽部材28a、28bを備えることで、ターゲット面を熱的に保護することができると共に、X線検出器を熱的に保護し且つX線検出器への物体の落下を阻止することができる。
<吸煙手段の構成>
次に、吸煙機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 2A, the
<Configuration of smoke absorbing means>
Next, the configuration of the heating unit having a smoke absorbing function will be described.
図6(A)及び図6(B)は、各々、吸煙手段及び強制空冷手段を備えた加熱ユニットの構成の一例を図2(A)に対応させて示す側面構造図である。本実施の形態においては、本発明に係る加熱ユニットは、吸煙手段27(吸煙装置)を備え、図6(A)に示すように、吸煙装置27の吸入口を微小間隙部の側方に配置した構成としている。そして、吸煙手段27によりX線源11と加熱ユニットの筐体天面(本例では第1の遮蔽部材28a)との間隙に空気の流れを発生させて、加熱により発生する微小間隙部内の有害なガスや煙等を吸煙する構成としている。こうすることにより、有害なガスや煙等をX線検査装置本体10の外部に排気できると共に、腐食の影響を受けやすいターゲット部材(主にベリリウム)の腐食を防止することができる。更にターゲット面の冷却を促進することもできる。また、図6(B)に示すように、ターゲット11aと第1加熱手段の加熱源との間の僅かな隙間に、強制空冷手段29により空気を吹きつけて乱流を生じせしめることによって、加熱ユニット20側からターゲット面への熱伝達を減少させる構成としている。こうすることにより、ターゲット面の温度上昇を防ぐことができる。
<X線検査装置の全体構成と制御系の構成>
次に、本発明に係るX線検査装置の全体構成について説明する。
6 (A) and 6 (B) are side structural views showing an example of the configuration of the heating unit including the smoke absorbing means and the forced air cooling means, respectively, corresponding to FIG. 2 (A). In the present embodiment, the heating unit according to the present invention includes the smoke absorbing means 27 (smoke absorbing device), and as shown in FIG. 6A, the suction port of the
<Overall configuration of X-ray inspection apparatus and configuration of control system>
Next, the overall configuration of the X-ray inspection apparatus according to the present invention will be described.
図7は、X線検査装置の全体構成の一例を示すブロック図である。なお、ここでは、図7中の画像処理装置50や録画装置60を含むX線検査システムをX線検査装置と称して、その制御系の構成を中心に説明する。また、前述の吸煙手段27と強制空冷手段29については図示及び説明を省略する。
FIG. 7 is a block diagram showing an example of the overall configuration of the X-ray inspection apparatus. Here, the X-ray inspection system including the
図7において、X線検査装置の本体10には、前述のように、X線源11とX線検出器12との間に加熱ユニット20が搭載されている。加熱ユニット20は、本例では、X線光軸に対する試料1の傾斜角度及びX線光軸周りの回転角度の調整が可能なユーセントリック調整機構を有するステージ13上に着脱自在に固設され、ステージ13の傾斜及び回動動作と連動して動作するようになっている。詳しくは、加熱ユニット20が搭載されるステージ13は、X,Y,Z方向に制御コンピュータ40を介して駆動でき、Z軸方向の移動により、X線透過像の拡大倍率がリアルタイムに変化し、X線ターゲットと観察エリア間の距離を最小とすることにより、最大拡大倍率が得られるようになっている。また、ステージ13のX軸方向及びY軸方向の移動は、試料1の観察中心点をX線検出画像の中心に捉えたまま、試料1の観察位置を任意の位置に変更できるようにしている。
In FIG. 7, the
加熱ユニット20内の第1加熱手段21(エアヒータ)、第2加熱手段22(ハロゲンランプ)、冷却手段23(エアクーラ)、温度検出手段24(熱電対)は、それぞれ温度調節器30に接続され、その温度調節器30は制御コンピュータ40に接続されている。
The first heating means 21 (air heater), the second heating means 22 (halogen lamp), the cooling means 23 (air cooler), and the temperature detection means 24 (thermocouple) in the
制御コンピュータ40には、温度調節器30の他に、X線源11、映像分配器50aを介してX線検出器12、ステージ13、画像処理装置50、及び操作用モニタターミナル80が接続されている。操作用モニタターミナル80は、X線制御や加熱温調制御に係る画面(制御パラメータの設定画面や、X線制御や加熱温調制御に関する手動操作用画面など)が表示される。制御コンピュータ40は、ユーセントリック調整機構を有するステージ13を駆動制御する機能、調温制御系31を介して温度検出手段24が検出した試料1の上面側及び下面側の温度に基づく温度制御を行うとともに、温度プロファイルに従って試料1を昇温若しくは降温させる温調制御機能、操作用モニタターミナル80からの指示に応じたX線制御機能、電子部品等を構成する構造体の一部の破壊や半田の凝固に伴って生じるランド剥離などが発生する臨界温度を検出する機能などを備えている。なお、これらの機能を制御コンピュータ40に実現させるためのプログラムは、制御コンピュータ40によって読取可能な所定の記憶媒体に格納されている。
In addition to the
画像処理装置50には、制御コンピュータ40、映像分配器50aを介してX線検出器12、外観観察用カメラ26、録画装置60、及び加熱動画モニタ70が接続されている。画像処理装置50は、制御コンピュータ40の制御の下に、X線検出器12からのX線透過像の映像信号を映像分配器50aを介して入力すると共に、外観観察用カメラ26からの加熱ユニット内部の映像信号と検査条件(検査日時、加熱の経過時間、試料の温度、X線の管電圧値や管電流値など)を入力し、試料1の高拡大倍率のX線透過像と試料1の外観画像と検査条件とを同時に観察可能なモニタ画像を生成してその映像信号を加熱動画モニタ70に出力すると共に、X線透過像と外観画像とを同一時間軸で再生可能に録画装置60の記録媒体に記録する。録画装置60の記録情報は、試料1が被製造物の場合、例えば製造時の適正加熱温度、加熱速度や加熱時間の情報として利用可能であり、製造工程において理想の温度で被製造物を加熱したり、温度管理をしたりすることができる。すなわち、製造段階の適正加熱温度、加熱速度や加熱時間を前もって測定することができるので、その情報を製造工程に取込めば、加熱工程に伴う不良品の発生を無くすことが可能となる。
An
加熱動画モニタ70には、図7中の表示例に示すように、例えば、試料1のX線透過像と外観画像とが左右の表示ウィンド内にそれぞれ表示され、その下側に検査情報(例えば、検査日時、加熱の経過時間、試料の温度、X線の管電圧値や管電流値などの検査条件)が表示される。なお、その際、ランド剥離等の欠陥が発生する臨界温度の検出結果(X線透過像のパターンマッチング処理や外観画像のパターンマッチング処理による欠陥の検出結果としての温度情報や画像)を加熱動画モニタ70に表示するようにしても良い。
As shown in the display example in FIG. 7, for example, an X-ray transmission image and an appearance image of the
次に、温度調節器30の構成について説明する。
Next, the configuration of the
図8は、図7中の温度調節器30の構成例を示すブロック図である。なお、図8中の実線は制御信号、一点鎖線はN2ガス30a、二点鎖線は圧縮空気30bをそれぞれ示している。
FIG. 8 is a block diagram illustrating a configuration example of the
図8に示される温度調節器30は、調温制御系31としては、試料1を上面側から加熱するエアヒータ21の調温制御を行う第1加熱制御系31aと、試料1を下面側から加熱するハロゲンランプ22の調温制御を行う第2加熱制御系32aと、試料を冷却するエアクーラ23の調温制御を行う冷却制御系33aとを備えている。
A
第1加熱制御系31aには、試料の上面側の温度を検出するための熱電対24と、温風制御電源31bと、その温風制御電源31bに接続されるエアヒータ21に供給するN2ガス30aのガス圧を調整するレギュレータ31cと、N2ガス30aの流量を計測する流量計31dと、N2ガス30aの流量を制御するための電磁弁31eとが接続されている。一方、第2加熱制御系32aには、試料の下面側の温度を検出するための熱電対24と、ハロゲン制御電源32bが接続されている。
The first
そして、冷却制御系33aには、エアクーラ23に供給する圧縮空気30bの空気圧を調整するレギュレータ33bと、圧縮空気30bの流量を計測する流量計33cと、圧縮空気30bの流量を制御するための電磁弁33dとが接続されている。
The cooling
上述のような温度調節器30の構成において、試料の温度を調節する際の制御方法を説明する。
A control method for adjusting the temperature of the sample in the configuration of the
加熱制御の際には、制御コンピュータ40は、第1加熱制御系31aに目標温度信号を送出する。第1加熱制御系31aは、試料の上面側の現在温度,目標温度,及び両者の偏差に応じて制御信号を送出して、エアヒータ21に供給するガスの流量とエアヒータのパワーを調節して試料の上面側の温度が目標温度となるようにPID制御する。また、制御コンピュータ40は、第2加熱制御系32aに目標温度信号を送出し、第2加熱制御系32aは、試料の下面側の現在温度,目標温度,及び両者の偏差に応じて制御信号を送出して、ハロゲン制御電源32bの電圧を制御することによりハロゲンランプの光量を調節して試料の下面側の温度が目標温度となるようにPID制御する。
At the time of heating control, the
本実施の形態では、制御コンピュータ40は、上記温度調節器30を介して調温制御を行うことにより、試料の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように、第1加熱制御系31a及び第2加熱制御系32aを介して協調制御する。さらに、試料の観察温度範囲や昇温速度等を示す温度プロファイルの設定データと熱電対24からの温度検出信号に基づく温度情報に基づいて、試料の温度が所望の温度推移に沿って変化するように制御する。
In the present embodiment, the
一方、冷却制御の際には、制御コンピュータ40は、温度プロファイルに基づく冷却制御の場合は、試料の観察温度範囲や降温速度等を示す温度プロファイルの設定データと熱電対24からの温度検出信号に基づき、試料の温度が所望の温度推移に沿って変化するように、電磁弁33dの開度を制御すると共に、第1加熱制御系31a及び第2加熱制御系32aを介して加熱量を協調制御することにより、温度プロファイルに基づく試料1の冷却制御を行う。目標の温度まで試料の温度を降温させる場合において、目標温度より低くなったときは、第1加熱制御系31a及び第2加熱制御系32aは加熱する制御を行い、目標温度となった時点で温調制御を終了する。また、前述の加熱制御において、目標の温度まで試料の温度を昇温させて観察が終了した場合は、冷却制御系33aを介して常温となるまで試料の温度を急速に冷却する制御を行い、常温となった時点で温調制御を終了する。なお、温度プロファイルの設定データに基づいて試料の温度を自動的に制御するモードの他に、例えば操作用モニタターミナル80の画面上でユーザによって手動で設定された温度プロファイルの情報(目標温度、昇温速度、降温速度、温度推移を示すグラフ等で示す情報)に従って温度を制御する手動モードで動作させることもできる。
On the other hand, in the cooling control, the
なお、上述した実施の形態では、第1及び第2加熱手段の加熱源の数は、2つの場合を例として説明したが、それぞれ2つに限るものではなく、3つ以上としても良い。また、第1加熱手段の温風の流路と噴射範囲、及び、熱光源の光路と照射範囲は、それぞれ固定の場合を例として説明したが、例えば、温風噴出用ノズルの開口量の制御機構や傾動制御機構を設けると共に、レンズ等から成る集光手段や光路の変換手段を設けて、試料の所望の領域を局所的に加熱できる構成としても良い。また、上述した実施の形態においては、特定の具体例を示して本発明を説明したが、特許請求の範囲に定義された本発明の趣旨および主要な特徴から逸脱することなく、これら具体例に様々な変形や変更を加えた態様で実施することができる。すなわち、具体例の詳細および添付の図面により本発明が限定されるものと解釈してはならない。 In the above-described embodiment, the number of heating sources of the first and second heating means is described as an example, but the number is not limited to two, but may be three or more. Moreover, although the flow path and injection range of the warm air of the first heating means, and the optical path and irradiation range of the heat light source have been described as examples, for example, control of the opening amount of the hot air ejection nozzle In addition to providing a mechanism and a tilt control mechanism, a condensing means such as a lens or an optical path conversion means may be provided so that a desired region of the sample can be locally heated. In the above-described embodiments, the present invention has been described by showing specific specific examples. However, these specific examples are described without departing from the spirit and main features of the present invention defined in the claims. The present invention can be implemented with various modifications and changes. In other words, the present invention should not be construed as being limited by the details of the specific examples and the accompanying drawings.
1 試料
10 X線検査装置本体
11 X線源
11a ターゲット
12 X線検出器
13 ステージ
20 加熱ユニット
20a 観察エリア
21 第1加熱手段(エアヒータ)
21a 温風機構
21b ノズル
21c 温風噴出口
22 第2加熱手段(ハロゲンランプ)
22a,22b 熱光源
22c 反射鏡
23 冷却手段(エアクーラ)
23a 冷却機構
23b 冷風噴出口
23c 冷風ガイド壁
24 温度検出手段
25 耐熱ガラス
26 外観観察用カメラ
27 吸煙手段(吸煙装置)
28a,28b 遮蔽部材
29 強制空冷手段
30 温度調節器
30a N2ガス
30b 圧縮空気
31 調温制御系
31a 第1加熱制御系
31b 温風制御電源
31c レギュレータ
31d 流量計
31e 電磁弁
32a 第2加熱制御系
32b ハロゲン制御電源
33a 冷却制御系
33b レギュレータ
33c 流量計
33d 電磁弁
40 制御コンピュータ
41 設定温度
50 画像処理装置
50a 映像分配器
60 録画装置
70 加熱動画モニタ
80 操作用モニタターミナル
DESCRIPTION OF
21a
22a, 22b Thermal
28a,
Claims (14)
前記X線源と前記観察エリアとの間の微小間隙部側方に熱風噴出口が配置され、前記熱風噴出口から前記観察エリア上の被検査物上部に熱風を噴出して前記被検査物をその上面側から加熱する第1加熱手段と、前記観察エリアと前記X線検出器との間に加熱源が配設され、前記加熱源から前記観察エリアに向けて熱を放射して前記被検査物をその下面側から加熱する第2加熱手段と、前記被検査物の上面側の温度及び下面側の温度を検出する温度検出手段と、温度プロファイルのデータを記憶する記憶手段と、前記被検査物の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように前記第1及び第2加熱手段による各加熱量を協調制御しながら前記温度プロファイルに従って前記被検査物を昇温させる温度制御手段と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。 An X-ray transmission image obtained by imaging the state of thermal change of the inspection object by heating the inspection object placed on the observation area between the X-ray source and the X-ray detector. An X-ray inspection apparatus having a function of inspecting based on:
A hot air spout is disposed on the side of the minute gap between the X-ray source and the observation area, and hot air is blown from the hot air spout to the upper part of the inspection object on the observation area. A first heating means for heating from the upper surface side, and a heating source is disposed between the observation area and the X-ray detector, and heat is radiated from the heating source toward the observation area. Second heating means for heating the object from its lower surface side, temperature detecting means for detecting the temperature on the upper surface side and the lower surface side of the object to be inspected, storage means for storing temperature profile data, and the object to be inspected Temperature control means for raising the temperature of the object to be inspected according to the temperature profile while cooperatively controlling each heating amount by the first and second heating means so that there is no detected temperature difference between the upper surface side and the lower surface side of the object; X characterized by having Inspection equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333627A JP5383034B2 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | X-ray inspection apparatus having temperature control function of inspection object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333627A JP5383034B2 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | X-ray inspection apparatus having temperature control function of inspection object |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009156663A true JP2009156663A (en) | 2009-07-16 |
JP5383034B2 JP5383034B2 (en) | 2014-01-08 |
Family
ID=40960849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007333627A Active JP5383034B2 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | X-ray inspection apparatus having temperature control function of inspection object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5383034B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011075498A (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Inspection apparatus, and inspection method |
JP2016205899A (en) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 株式会社ミツトヨ | Control method and device of turntable |
JP2019158366A (en) * | 2018-03-07 | 2019-09-19 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
CN113589186A (en) * | 2021-05-20 | 2021-11-02 | 杭州泉泰科技有限公司 | Battery pack overcharge 85-DEG C environmental test tool |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384174A (en) * | 1976-12-30 | 1978-07-25 | Oki Yunibatsuku Kk | Method of drawing electronic part soldered from printed board and device therefor |
JPS6267670U (en) * | 1985-10-18 | 1987-04-27 | ||
JPH0252245A (en) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Tokyo Electron Ltd | X-ray inspection device |
JPH10270840A (en) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Hitachi Ltd | Method for exchanging electronic part |
JP2001305028A (en) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Nippon Steel Corp | Transmission electron microscope observation sample preparing method for solid phase reactive sample and charged particle beam device |
JP2003149173A (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Tohken Co Ltd | X-ray examining device having function of heating examining object |
JP2005039062A (en) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Okuhara Electric Inc | Electronic part attaching/detaching device |
JP2005274194A (en) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Interior behavior observation device of electronic component using x-ray transmission dynamic image |
JP2005353712A (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Soldering equipment including radioscopy camera |
JP2006294958A (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Kiyoshi Matsumoto | Apparatus for soldering and removing electronic component |
-
2007
- 2007-12-26 JP JP2007333627A patent/JP5383034B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384174A (en) * | 1976-12-30 | 1978-07-25 | Oki Yunibatsuku Kk | Method of drawing electronic part soldered from printed board and device therefor |
JPS6267670U (en) * | 1985-10-18 | 1987-04-27 | ||
JPH0252245A (en) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Tokyo Electron Ltd | X-ray inspection device |
JPH10270840A (en) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Hitachi Ltd | Method for exchanging electronic part |
JP2001305028A (en) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Nippon Steel Corp | Transmission electron microscope observation sample preparing method for solid phase reactive sample and charged particle beam device |
JP2003149173A (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-21 | Tohken Co Ltd | X-ray examining device having function of heating examining object |
JP2005039062A (en) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | Okuhara Electric Inc | Electronic part attaching/detaching device |
JP2005274194A (en) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Interior behavior observation device of electronic component using x-ray transmission dynamic image |
JP2005353712A (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Soldering equipment including radioscopy camera |
JP2006294958A (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Kiyoshi Matsumoto | Apparatus for soldering and removing electronic component |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011075498A (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-14 | Mitsubishi Electric Corp | Inspection apparatus, and inspection method |
JP2016205899A (en) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 株式会社ミツトヨ | Control method and device of turntable |
JP2019158366A (en) * | 2018-03-07 | 2019-09-19 | アンリツインフィビス株式会社 | X-ray inspection device |
JP7001323B2 (en) | 2018-03-07 | 2022-01-19 | アンリツ株式会社 | X-ray inspection equipment |
CN113589186A (en) * | 2021-05-20 | 2021-11-02 | 杭州泉泰科技有限公司 | Battery pack overcharge 85-DEG C environmental test tool |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5383034B2 (en) | 2014-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20220258276A1 (en) | Electron beam layer manufacturing | |
JP5555633B2 (en) | Method for inspecting a test substrate under a predetermined temperature condition and an inspection apparatus capable of setting the temperature condition | |
KR100661794B1 (en) | Infrared thermal image microscope with blackbody source | |
JP5383034B2 (en) | X-ray inspection apparatus having temperature control function of inspection object | |
JP5007115B2 (en) | High temperature furnace wall imaging device | |
JP2009194255A (en) | Defect inspection apparatus | |
US8040146B2 (en) | Inspection apparatus having a heating mechanism for performing sample temperature regulation | |
EP3535569B1 (en) | Flash thermography photobox | |
CN107247039A (en) | The Electronic Speculum detection method and device of laser localization irradiation sample Surface Dynamic Processes | |
US20080283748A1 (en) | Electron microscope | |
CN109352182A (en) | Array sample laser heating system | |
JP2006184177A (en) | Infrared inspection device and method | |
JP2018044881A (en) | Crack inspection apparatus and crack inspection method | |
WO2013084904A1 (en) | X-ray analysis device | |
TWI721377B (en) | Apparatus and method for measuring warpage | |
JP2002107317A (en) | Device for observing high-temperature | |
JP2004128509A (en) | Prober for testing substrate at low temperature | |
JP2005353712A (en) | Soldering equipment including radioscopy camera | |
JP7254095B2 (en) | Topographic measuring device | |
JP5021373B2 (en) | Inspection device, inspection method, and probe unit used for inspection device | |
JP2005227188A (en) | Observation device | |
JP4818245B2 (en) | Heating X-ray observation device | |
KR20040098687A (en) | In-situ monitering system for bonding process and method thereof | |
JP6648441B2 (en) | Heating equipment for X-ray CT equipment | |
JP2010017753A (en) | Small heating furnace for simulation test of reflow furnace |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101210 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120327 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120426 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5383034 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |