JP2009151192A - Method for manufacturing lens frame member - Google Patents

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Yoshinori Onoda
美紀 小野田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a lens frame member which is capable of suitably forming a fine relief structure having superior anti-reflectiveness on the surface of an inwall, for suppressing the occurrence of flare, ghost, etc. <P>SOLUTION: The lens frame member 1 is made of polycarbonate resin and an annular lens support portion 1a is formed in the inwall. A fine relief structure layer 1b is formed in an inwall surface on the right side of the lens support portion 1a as follows: first a Zn metal layer is formed by plate-processing after the injection molded lens frame member 1 is cleaned, then, an oxide film is formed in a metal layer surface by leaving it as it is, and then, the lens support portion 2 and the inwall on the left side of the lens support portion 2 are masked, then, exposed to heating water vapor at 150°C for 30 minutes and then, heat-treated at 100°C for 30 minutes. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、カメラ、顕微鏡等の光学装置において、レンズ等の光学素子を保持するためなどに用いられる、反射防止性に優れた鏡枠部材の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a lens frame member having excellent antireflection properties, which is used for holding an optical element such as a lens in an optical apparatus such as a camera or a microscope.

カメラ、顕微鏡などの光学装置の鏡枠部材においては、迷光が鏡枠部材内壁面で反射して光路内に入ってしまうと、ゴーストやフレアを発生するため、鏡枠部材内壁面からの反射光を抑えるためにバッフルやフードを用いている。本来は、バッフルやフードのような部材を用いずに、鏡枠部材内壁からの反射光自体を起こさない若しくは低くすることが理想的であるが、鏡枠のような筒状でかつ複雑形状なものに反射防止処理をする手法がない。一般的に光学部材に用いられる干渉による反射防止膜は、蒸着やスパッタにより製膜するため、筒状内壁面や複雑形状であると回り込まず、製膜できない部分が出来てしまう。   In a lens frame member of an optical device such as a camera or a microscope, if stray light is reflected by the inner wall surface of the lens frame member and enters the optical path, a ghost or flare is generated. Therefore, the reflected light from the inner wall surface of the lens frame member Baffles and hoods are used to suppress the problem. Originally, it is ideal to avoid or reduce the reflected light from the inner wall of the lens frame member without using a member such as a baffle or hood, but it is cylindrical and has a complicated shape like a lens frame. There is no technique for anti-reflection treatment on things. In general, an antireflection film due to interference used for an optical member is formed by vapor deposition or sputtering. Therefore, if it has a cylindrical inner wall surface or a complicated shape, it does not wrap around, and a portion that cannot be formed is formed.

一方、近年になって、ディスプレイ、太陽電池、光学素子への応用を目的として、従来からの干渉による反射防止膜に代わり、基材の表面の上に、サブ波長レベルの単位で形成された微細な凹凸構造(以下、単に微細凹凸構造という)を有する反射防止膜を形成したり、基材の表面を、直接、微細凹凸構造に加工したりする技術の開発が行われるようになってきた。そして、その微細凹凸構造は、通常、空気界面側から基材側へ向かっていくにしたがい占有体積が増大していくように形成されているので、入射光にとっては、屈折率が空気の屈折率から基材の屈折率に徐々に変化していくように感じられ、屈折率の異なる界面で起こる反射が抑えられるようになっている。そのため、このような微細凹凸構造による反射防止機能は、従来からの干渉による反射防止機能にくらべて、波長依存性、角度依存性において優れている。   On the other hand, in recent years, for the purpose of application to displays, solar cells, and optical elements, instead of the conventional antireflection film due to interference, a fine layer formed on the surface of the substrate in sub-wavelength level units. Technology has been developed to form an antireflection film having a rough concavo-convex structure (hereinafter simply referred to as a fine concavo-convex structure) or to directly process the surface of a substrate into a fine concavo-convex structure. The fine concavo-convex structure is usually formed so that the occupied volume increases as it goes from the air interface side to the base material side, so that for incident light, the refractive index is the refractive index of air. It seems that the refractive index of the base material gradually changes, and the reflection occurring at the interface having different refractive indexes is suppressed. For this reason, the antireflection function by such a fine concavo-convex structure is superior in wavelength dependency and angle dependency compared to the conventional antireflection function by interference.

また、このような微細凹凸構造を形成する一般的な方法としては、成形型でプレスする方法のほか、リソグラフィ法、シート貼り付け法、陽極酸化法などが知られている。そして、下記の特許文献1には、それらのうちの成形型でプレスする方法を用い、板状部に形成された開口部の内壁に、微細凹凸構造(反射防止構造体)を形成した樹脂製の部材が記載されている。また、リソグラフィ法の場合は、表面に感光性物質を塗布し、その感光物質に、微細凹凸構造をパターニングしたマスクを介して露光するか、もしくは電子ビームやX線などでパターン状に露光した後、露光されていない部分を除去して微細凹凸構造を得るようにする。また、シート貼り付け法では、上述した微細凹凸構造の形成方法等を用いてシート表面に微細凹凸構造を形成し、そのシートを鏡枠部材の表面に貼り付けるようにする。また、陽極酸化法では、アルミ合金の表面を酸などの溶液中に浸け、外部電源をかけると多孔質層が形成することを利用して、微細凹凸構造を得るようにする。   Further, as a general method for forming such a fine concavo-convex structure, a lithography method, a sheet attaching method, an anodizing method, and the like are known in addition to a method of pressing with a mold. And in the following patent document 1, using the method of pressing with a molding die among them, a resin made by forming a fine concavo-convex structure (antireflection structure) on the inner wall of the opening formed in the plate-like portion These members are described. In the case of lithography, a photosensitive material is applied to the surface, and the photosensitive material is exposed through a mask patterned with a fine concavo-convex structure or exposed in a pattern with an electron beam or X-ray. The unexposed portion is removed to obtain a fine concavo-convex structure. In the sheet attaching method, the fine uneven structure is formed on the surface of the sheet using the above-described method for forming the fine uneven structure, and the sheet is attached to the surface of the lens frame member. In the anodic oxidation method, the surface of the aluminum alloy is immersed in a solution such as an acid, and a porous layer is formed when an external power source is applied to obtain a fine concavo-convex structure.

更に、下記の特許文献2には、ゾルゲル法を用いて花弁状の微細凹凸構造をもつアルミナ透明薄膜を形成する方法が記載されている。そして、そこに記載されている方法では、基材の表面に、アルミニウム-sec-ブトキシドと安定化剤であるアセト酢酸エチルの塗布液からアモルファスアルミナ膜を、ディップコーティング法、スピンコート法により製膜し、乾燥・焼成してから熱水処理し、再度、乾燥・焼成して花弁状アルミナ透明膜を得るようにしている。   Further, Patent Document 2 below describes a method of forming an alumina transparent thin film having a petal-like fine concavo-convex structure using a sol-gel method. In the method described therein, an amorphous alumina film is formed on the surface of the base material from a coating solution of aluminum-sec-butoxide and ethyl acetoacetate, which is a stabilizer, by dip coating or spin coating. Then, it is dried and baked and then treated with hot water, and again dried and baked to obtain a petal-like alumina transparent film.

特開2006−285223号公報JP 2006-285223 A 特開2006−259711号公報JP 2006-259711 A

ところで、上記のような成形型でプレスする方法は、特許文献1に記載されているような薄い板状部に形成された開口部の内壁に、微細凹凸構造を形成する場合には有効である。しかしながら、筒状をしていて内壁が複雑な形状をしている鏡枠部材の場合には、成形型を内壁面全体に接触させてプレスすることは不可能である。また、上記のリソグラフィ法を用いて微細凹凸構造を形成しようとすると、内壁の所望の場所に感光性物質を選択的に塗布するのが難しく、しかも、露光する際には影になる部分が生じてしまうという不都合がある。また、シート貼り付け法の場合には、鏡枠部材の内壁の複雑な形状にそってシートを貼り付けるのが非常に困難である。また、陽極酸化法を用いた場合には、鏡枠部材を液中に漬けるため、鏡枠部材の全面に微細凹凸構造が形成されてしまうし、適応できる材料も限定されてしまうことになる。更に、ゾルゲル法を用い、複雑な形状をした鏡枠部材の内壁に、ディップコーティング法、スピンコート法などで製膜しようとすると、コーティングのできない部分ができてしまい、所望の場所に微細凹凸構造を形成できない場合が生じてしまう。   By the way, the method of pressing with a molding die as described above is effective when forming a fine uneven structure on the inner wall of an opening formed in a thin plate-like portion as described in Patent Document 1. . However, in the case of a lens barrel member having a cylindrical shape and an inner wall having a complicated shape, it is impossible to press the molding die in contact with the entire inner wall surface. In addition, if a fine concavo-convex structure is formed using the above-described lithography method, it is difficult to selectively apply a photosensitive substance to a desired location on the inner wall, and a shadowed portion is generated during exposure. There is an inconvenience. In the case of the sheet pasting method, it is very difficult to stick the sheet along the complicated shape of the inner wall of the lens frame member. Further, when the anodizing method is used, the lens frame member is immersed in the liquid, so that a fine concavo-convex structure is formed on the entire surface of the lens frame member, and applicable materials are also limited. Furthermore, using the sol-gel method, when trying to form a film on the inner wall of a lens barrel member with a complicated shape by the dip coating method, spin coating method, etc., a portion that cannot be coated is formed, and a fine uneven structure is formed at a desired location. May not be formed.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、迷光によって発生するフレア、ゴースト等の発生を抑制するために、内壁の表面に優れた反射防止性を有する微細凹凸構造を好適に形成することの可能な鏡枠部材の製造方法を提供することである。   The present invention has been made to solve such problems, and its object is to provide excellent reflection on the surface of the inner wall in order to suppress the occurrence of flares, ghosts and the like caused by stray light. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a lens frame member capable of suitably forming a fine concavo-convex structure having a preventive property.

上記の目的を達成するために、本願の第1の発明における鏡枠部材の製造方法は、所定の材料で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に水素よりイオン化傾向の大きい金属からなる金属層を形成する工程と、前記金属層の表面を酸化物層又は水酸化物層に形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行うことを特徴としている。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing a lens frame member according to the first invention of the present application is based on a metal having a higher ionization tendency than hydrogen on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a predetermined material. Forming a metal layer, forming a surface of the metal layer into an oxide layer or hydroxide layer, and subjecting the oxide layer or hydroxide layer to hot water treatment or steam treatment And the step of forming the concavo-convex structure layer.

また、第2の発明は、第1の発明を前提にして、前記金属が、Al,Mg,Znのいずれかであることを特徴としている。
また、第3の発明は、第1又は第2の発明を前提にして、前記金属層は、メッキ法によって形成することを特徴としている。
また、第4の発明は、第1乃至第3の発明のいずれかを前提にして、前記酸化物層又は水酸化物層は、酸又はアルカリ処理によって形成することを特徴としている。
Further, the second invention is characterized in that the metal is any one of Al, Mg, and Zn on the premise of the first invention.
The third invention is characterized in that the metal layer is formed by a plating method on the premise of the first or second invention.
The fourth invention is characterized in that the oxide layer or the hydroxide layer is formed by acid or alkali treatment on the premise of any of the first to third inventions.

また、上記の目的を達成するために、本願の第5の発明における鏡枠部材の製造方法は、水素よりイオン化傾向の大きい金属で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に酸化物層又は水酸化物層を形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行うことを特徴としている。   In order to achieve the above object, a method for manufacturing a lens frame member according to the fifth invention of the present application is characterized in that an oxide is formed on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a metal having a higher ionization tendency than hydrogen. It is characterized in that a step of forming a layer or a hydroxide layer and a step of forming a fine concavo-convex structure layer by performing hot water treatment or steam treatment on the oxide layer or hydroxide layer are performed in order.

また、第6の発明は、第5の発明を前提にして、前記金属が、Al,Mg,Znのいずれかであることを特徴としている。
また、第7の発明は、第5又は第6の発明を前提にして、前記酸化物層又は水酸化物層は、酸又はアルカリ処理によって形成することを特徴としている。
The sixth invention is characterized in that, based on the fifth invention, the metal is any one of Al, Mg, and Zn.
The seventh invention is characterized in that the oxide layer or the hydroxide layer is formed by acid or alkali treatment on the premise of the fifth or sixth invention.

更に、第8の発明は、第1乃至第7の発明のいずれかを前提にして、前記微細凹凸構造層の膜厚が、20〜300nmであることを特徴としている。   Furthermore, an eighth invention is characterized in that the film thickness of the fine concavo-convex structure layer is 20 to 300 nm on the premise of any one of the first to seventh inventions.

本発明は、所定の材料で所定の形状に加工された鏡枠部材の場合には、予めその内壁面に金属層(膜)を形成しておいてからその表面に酸化物化処理又は水酸化物化処理を行い、また、最初から金属材料だけによって所定の形状に加工された鏡枠部材の場合には、直接その内壁面に酸化物化処理又は水酸化物化処理を行い、その後は、いずれの場合にも、熱水処理又は水蒸気処理によって微細凹凸構造層(膜)を形成するようにしたため、複雑な形状をしている内壁面にも優れた反射防止性を有する微細凹凸構造層を形成することができ、迷光によるゴーストやフレアの発生を抑制することが可能になる。   In the case of a lens frame member processed into a predetermined shape with a predetermined material, the present invention forms a metal layer (film) on the inner wall surface in advance and then oxidizes or hydroxideizes the surface. In the case of a lens frame member that has been processed into a predetermined shape from the beginning only with a metal material, the inner wall surface is directly oxidized or hydroxideized, and in any case However, since the fine concavo-convex structure layer (film) is formed by hot water treatment or steam treatment, it is possible to form a fine concavo-convex structure layer having excellent antireflection properties on the inner wall surface having a complicated shape. It is possible to suppress the generation of ghosts and flares due to stray light.

本願の請求項1に係る発明は、所定の材料で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に水素よりイオン化傾向の大きい金属からなる金属層を形成する工程と、前記金属層の表面を酸化物層又は水酸化物層に形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行い、優れた反射防止性を有する鏡枠部材を製造するものである。   The invention according to claim 1 of the present application includes a step of forming a metal layer made of a metal having a higher ionization tendency than hydrogen on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a predetermined material, and a surface of the metal layer. The step of forming the oxide layer or the hydroxide layer and the step of forming the fine concavo-convex structure layer by subjecting the oxide layer or the hydroxide layer to hydrothermal treatment or steam treatment are performed in order, A lens frame member having antireflection properties is manufactured.

この場合、所定の形状に一次加工される鏡枠部材の材料は、特に限定されるものではない。しかしながら、一般に鏡枠部材は軽量であって加工が容易であることが要求されている。また、次の工程では、鏡枠部材の内壁面に、水素よりイオン化傾向の大きい金属からなる金属層を形成することになるが、その加工方法としては、メッキ法を採用するのが有利である。そのため、それらを勘案した場合には、鏡枠部材の材料として、導電性を付与されたプラスチック材料を用いることが望ましい。   In this case, the material of the lens frame member that is primarily processed into a predetermined shape is not particularly limited. However, in general, the lens frame member is required to be lightweight and easy to process. In the next step, a metal layer made of a metal having a higher ionization tendency than hydrogen is formed on the inner wall surface of the lens frame member, and it is advantageous to employ a plating method as the processing method. . Therefore, in consideration of these, it is desirable to use a plastic material imparted with conductivity as the material of the lens frame member.

次に、このような鏡枠部材の内壁表面に金属層を形成するが、その金属層は、表面に酸化物層又は水酸化物層を形成し易くするために、水素よりイオン化傾向の大きい金属からなっている必要がある。水素よりイオン化傾向の大きい金属又はその合金からなる金属層は、酸化物の形態をとり易いので、通常の雰囲気下で保管していれば、自然に酸化物膜が形成される。そして、水素よりイオン化傾向の大きい金属としては、製造上の容易さを考慮すれば、単体でも存在し得るAl,Mg,Znなどが好ましい。また、そのような金属層は、メッキ法を用いて形成すると、複雑な形状の内壁部に対しても、まんべんなくコーティングすることが可能である。そして、その場合には、金属を水溶液化した電解質溶液中に、鏡枠部材を陰極とし、メッキ用金属を陽極として浸漬し、直流電流を流すことによって、電解質溶液中の金属陽イオンを陰極側の鏡枠部材の表面に積層し、金属層を形成することになる。   Next, a metal layer is formed on the inner wall surface of such a lens frame member. The metal layer has a higher ionization tendency than hydrogen in order to easily form an oxide layer or a hydroxide layer on the surface. It must be made up of. A metal layer made of a metal or an alloy thereof having a higher ionization tendency than hydrogen is likely to be in the form of an oxide, so that an oxide film is naturally formed if stored in a normal atmosphere. As the metal having a higher ionization tendency than hydrogen, Al, Mg, Zn, etc., which can exist alone, are preferable in consideration of ease of production. Further, when such a metal layer is formed using a plating method, it is possible to evenly coat the inner wall portion having a complicated shape. In this case, the metal cation in the electrolyte solution is immersed in the electrolyte solution in which the metal is made into an aqueous solution by using a lens frame member as a cathode and a plating metal as an anode, and flowing a direct current. This is laminated on the surface of the lens frame member to form a metal layer.

このようにして、金属層を形成した後、その金属層の表面に酸化物層を形成することになるが、その場合には、上記のように、通常の雰囲気下で自然に形成することも可能である。しかしながら、そのように自然にまかせて酸化物層を形成するのではなく、金属層の表面を積極的に酸やアルカリで処理し、水酸化物層を形成するようにしてもよい。そのような処理によって形成すると、所望の膜厚の水酸化物層を確実に得ることが可能になるので、次工程における微細凹凸構造層の形成処理が、常に安定して行えることになる。   In this way, after forming the metal layer, an oxide layer is formed on the surface of the metal layer. In this case, the oxide layer may be formed naturally in a normal atmosphere as described above. Is possible. However, the oxide layer may be formed by treating the surface of the metal layer with acid or alkali positively instead of forming the oxide layer naturally. When formed by such treatment, a hydroxide layer having a desired film thickness can be obtained with certainty, so that the formation process of the fine concavo-convex structure layer in the next step can always be performed stably.

次に、このようにして形成された酸化物層又は水酸化物層に、熱水処理又は水蒸気処理を行う。金属の酸化物もしくは水酸化物形態のものに熱水処理又は水蒸気処理を行うと、水酸化物の状態から、熱水又は加熱水蒸気中に溶解・再析出がおこり、微細凹凸構造層が形成される。そして、その場合、例えば、摺動部位やレンズ固定部位などのように、微細凹凸構造層を形成する必要のないところや形成したくないところには、マスクをして処理すれば、所望の部位や所望の領域のみに微細凹凸構造層を形成することもできる。   Next, hot water treatment or steam treatment is performed on the oxide layer or hydroxide layer thus formed. When hydrothermal treatment or steam treatment is performed on a metal oxide or hydroxide form, dissolution / reprecipitation occurs in hot water or heated steam from the hydroxide state, and a fine uneven structure layer is formed. The In that case, for example, in a place where the fine uneven structure layer does not need to be formed or a place where it is not desired to be formed, such as a sliding part or a lens fixing part, a desired part can be obtained by processing with a mask. Alternatively, the fine uneven structure layer can be formed only in a desired region.

このようにして形成された微細凹凸構造層は、低反射特性を得るのに極めて適したものである。即ち、微細凹凸構造層とは、その構造単位がサブ波長レベルであり、空気との界面側から鏡枠部材側に対して占有体積が増大していくような構造を持っているものをいうが、そのような構造をしていると、入射光にとっては、屈折率が空気の屈折率から基材の屈折率に徐々に変化しているように感じられることになり、屈折率の異なる界面で起こる反射を抑えることが可能になる。尚、この微細凹凸構造は、ある単位構造が繰り返されている周期構造であっても、ランダム構造であってもよい。   The fine concavo-convex structure layer thus formed is extremely suitable for obtaining low reflection characteristics. That is, the fine concavo-convex structure layer has a structure in which the structural unit is at the sub-wavelength level, and the occupied volume increases from the interface side with the air to the lens frame member side. With such a structure, the incident light will feel that the refractive index is gradually changing from the refractive index of air to the refractive index of the substrate, and at the interface with different refractive indexes. It is possible to suppress the reflection that occurs. The fine uneven structure may be a periodic structure in which a certain unit structure is repeated or a random structure.

また、本願の請求項5に係る発明は、水素よりイオン化傾向の大きい金属で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に酸化物層又は水酸化物層を形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行い、優れた反射防止性を有する鏡枠部材を製造するものである。即ち、請求項1に係る発明と異なる点は、鏡枠部材そのものの材料に、水素よりイオン化傾向の大きい金属又はその合金からなる金属を用いることである。そして、その金属は、水素よりイオン化傾向の大きい金属であれば何でもよいとはいうものの、単体でも存在するAl,Zn,Mgを用いることが望ましい。   Further, the invention according to claim 5 of the present application includes a step of forming an oxide layer or a hydroxide layer on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a metal having a higher ionization tendency than hydrogen, and the oxidation A lens frame member having excellent antireflection properties is manufactured by sequentially performing a hydrothermal treatment or a steam treatment on a physical layer or a hydroxide layer to form a fine relief structure layer. That is, the difference from the invention according to claim 1 is that the lens frame member itself is made of a metal having a higher ionization tendency than hydrogen or a metal made of an alloy thereof. The metal may be any metal as long as it has a higher ionization tendency than hydrogen, but it is desirable to use Al, Zn, or Mg that exists in a simple substance.

そして、この場合には、次に、上記のような金属層を形成せず、内壁表面に、直接、酸化物層又は水酸化物層を形成することになる。そのため、上記のように金属層を形成する場合よりも工程数が少なくなる。このようにして、酸化物層又は水酸化物層を形成した後は、その酸化物層又は水酸化物層を熱水処理又は水蒸気処理することによって、微細凹凸構造層を形成することになるが、この場合にも、上記の場合と同様にして、所望の場所のみに微細凹凸構造層を形成することが可能となる。   In this case, an oxide layer or a hydroxide layer is formed directly on the inner wall surface without forming the metal layer as described above. For this reason, the number of steps is reduced as compared with the case where the metal layer is formed as described above. After forming the oxide layer or hydroxide layer in this way, the oxide layer or hydroxide layer is subjected to hydrothermal treatment or steam treatment to form a fine relief structure layer. Also in this case, the fine concavo-convex structure layer can be formed only at a desired place in the same manner as in the above case.

尚、このような微細凹凸構造層を形成して、鏡枠部材の内壁表面の反射率を低く抑えるようにするためには、微細凹凸構造層の膜厚を20〜300nmにするのが望ましい。膜厚が20nmよりも小さいと十分な反射防止機能が実現できないし、300nmより大きいと細長い構造になって機械強度が弱くなり、くずれ易くなってしまうからである。但し、ここで、微細凹凸構造層の膜厚とは、膜表面に形成された凸部の山の高さと凹部の谷底点の深さとの和を指していて、JIS B 0601 に規定されている輪郭線の最大高さRzに相当するものであり、その膜圧は、原子間力顕微鏡を用いて測定することができる。また、走査型電子顕微鏡による断面観察で計測し、求めるようにすることもできる。   In order to form such a fine concavo-convex structure layer and keep the reflectance of the inner wall surface of the lens frame member low, it is desirable that the film thickness of the fine concavo-convex structure layer be 20 to 300 nm. This is because if the film thickness is less than 20 nm, a sufficient antireflection function cannot be realized, and if it is more than 300 nm, the structure becomes elongated and the mechanical strength becomes weak, and the film tends to break. Here, the film thickness of the fine concavo-convex structure layer refers to the sum of the height of the peak of the convex portion formed on the film surface and the depth of the bottom point of the concave portion, and is defined in JIS B 0601. This corresponds to the maximum height Rz of the contour line, and the film pressure can be measured using an atomic force microscope. It can also be obtained by measurement by cross-sectional observation with a scanning electron microscope.

以下に本発明の四つの実施例と、それらに対する一つの比較例を説明するが、本発明は、それらの実施例に限定されるものではない。
尚、各実施例と比較例における反射防止膜の評価方法は、次のとおりである。
1.膜断面観察
電界放射型走査型電子顕微鏡(日立製作所社製のS4700)を用いて反射防止膜の断面の観察を行った。
2.反射率測定
レンズ反射率測定機(オリンパス社製のUSPM-RU)を用いて、BK7ガラス平板をリファレンスとして測定した。
3.鏡枠内面での反射
作製した鏡枠部材にレンズを組み付けて評価用のレンズ鏡枠ユニットとし、レンズに光を通したとき、鏡枠部材の内壁面で反射する光を目視で観察した。
Hereinafter, four examples of the present invention and one comparative example for the same will be described, but the present invention is not limited to these examples.
In addition, the evaluation method of the anti-reflective film in each Example and a comparative example is as follows.
1. Observation of cross section of film The cross section of the antireflection film was observed using a field emission scanning electron microscope (S4700, manufactured by Hitachi, Ltd.).
2. Reflectance measurement Using a lens reflectometer (USPM-RU manufactured by Olympus), the BK7 glass plate was measured as a reference.
3. Reflection on the inner surface of the lens frame A lens lens frame unit for evaluation was assembled by assembling the lens to the manufactured lens frame member. When light was passed through the lens, the light reflected on the inner wall surface of the lens frame member was visually observed.

先ず、図1及び図2を用いて実施例1を説明する。図1は、本実施例の製造方法によって製作された鏡枠部材を、レンズを組み付けた状態で示した断面図であり、図2は、図1に示された鏡枠部材だけを、図1の斜め右方向から視て示した断面図である。本実施例の鏡枠部材1は、ポリカーボネート樹脂(三菱エンジニアリングプラスチックス(株)製のユーピロンメッキグレードPL-1)を射出成形で作製したものであり、長さは30mmであり、内径は20mmである。また、その内壁には、環状のレンズ支え部1aが形成されており、図1は、そこで支えるようにしてレンズ2を接着剤で固定し、レンズ鏡枠ユニットとしたものを示している。そして、このレンズ鏡枠ユニットは、光が図1の左側からレンズ2に入射することを前提にしている。   First, Example 1 is demonstrated using FIG.1 and FIG.2. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a lens frame member manufactured by the manufacturing method of this embodiment in a state where a lens is assembled. FIG. 2 shows only the lens frame member shown in FIG. It is sectional drawing seen from the diagonal right direction. The lens frame member 1 of this example is made by injection molding polycarbonate resin (Iupilon plating grade PL-1 manufactured by Mitsubishi Engineering Plastics Co., Ltd.). The length is 30 mm and the inner diameter is 20 mm. is there. Further, an annular lens support portion 1a is formed on the inner wall, and FIG. 1 shows a lens barrel unit in which the lens 2 is fixed with an adhesive so as to support it. This lens barrel unit is premised on that light enters the lens 2 from the left side of FIG.

また、図2から明らかであるように、レンズ支え部1aより右側の内壁面には、微細凹凸構造層1bが形成されているが、本実施例の場合には、その微細凹凸構造層1bを次のようにして形成した。先ず、上記のようにして射出成形された状態の鏡枠部材1を洗浄したのち、Znメッキ処理を行い、鏡枠部材1の全表面にZn金属層を形成した。次いで、自然放置により金属層表面に酸化膜層が形成された後、レンズ支え部2とその左側の内壁にマスキングをし、150℃の加熱水蒸気中に30分間さらしてから、100℃で30分間熱処理して微細凹凸構造層1bを形成した。このとき、鏡枠部材1の内壁側にのみ加熱水蒸気があたるようにしたので、外壁には微細凹凸構造層は形成されなかった。そして、形成された微細凹凸構造層1bの膜厚は、約120nmであった。   As is clear from FIG. 2, a fine uneven structure layer 1b is formed on the inner wall surface on the right side of the lens support portion 1a. In the present embodiment, the fine uneven structure layer 1b is It formed as follows. First, after the lens frame member 1 in an injection-molded state as described above was washed, a Zn plating process was performed to form a Zn metal layer on the entire surface of the lens frame member 1. Next, after an oxide film layer is formed on the surface of the metal layer by natural standing, the lens support 2 and the inner wall on the left side thereof are masked and exposed to heated steam at 150 ° C. for 30 minutes, and then at 100 ° C. for 30 minutes. The fine uneven structure layer 1b was formed by heat treatment. At this time, since the heated water vapor was applied only to the inner wall side of the lens frame member 1, the fine uneven structure layer was not formed on the outer wall. The film thickness of the formed fine concavo-convex structure layer 1b was about 120 nm.

このようにして得られた鏡枠部材1にレンズ2を組み付けたのが、図1に示されているレンズ鏡枠ユニットであるが、この状態で、レンズ2に光を通し、反射状態を目視で観察したところ、微細凹凸構造層1bでの反射は確認できず、良好な結果であった。   The lens frame unit 1 shown in FIG. 1 is assembled with the lens frame member 1 obtained in this manner. In this state, light is passed through the lens 2 and the reflection state is visually observed. As a result, no reflection on the fine concavo-convex structure layer 1b could be confirmed, which was a good result.

次に、図3及び図4を用いて実施例2を説明するが、図3は、本実施例の製造方法によって製作された鏡枠部材を、上記の図1と同様に、レンズを組み付けた状態で示した断面図であり、図4は、その鏡枠部材の内壁表面に形成された微細凹凸構造層を走査型電子顕微鏡で観察して撮影した写真である。本実施例の鏡枠部材11は、アルミ材を切削加工して作製したものであり、長さは30mmであり、内径は20mmである。また、鏡枠部材11の内壁には、図3の左端近傍に環状のレンズ支え部11aが形成されており、図3の右端近傍には内径を大きくしたことによってもう一つのレンズ支え部11bが形成されている。図3は、それらのレンズ支え部11a,11bで支えるようにしてレンズ12,13を接着剤で固定し、レンズ鏡枠ユニットとしたものを示している。そして、このレンズ鏡枠ユニットも、光が図3の左側からレンズ12に入射することを前提にしている。   Next, Example 2 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. In FIG. 3, the lens frame member manufactured by the manufacturing method of this example is assembled with the lens in the same manner as in FIG. FIG. 4 is a photograph taken by observing a fine concavo-convex structure layer formed on the inner wall surface of the lens frame member with a scanning electron microscope. The lens barrel member 11 of the present embodiment is manufactured by cutting an aluminum material, has a length of 30 mm, and an inner diameter of 20 mm. Further, an annular lens support portion 11a is formed on the inner wall of the lens frame member 11 in the vicinity of the left end in FIG. 3, and another lens support portion 11b is formed in the vicinity of the right end in FIG. Is formed. FIG. 3 shows a lens barrel unit in which the lenses 12 and 13 are fixed with an adhesive so as to be supported by the lens support portions 11a and 11b. This lens barrel unit also assumes that light is incident on the lens 12 from the left side of FIG.

また、図3に示されているように、二つのレンズ支え部11a,11bの間の内壁面には、微細凹凸構造層11cが形成されているが、本実施例の場合には、その微細凹凸構造層11cを次のようにして形成した。先ず、上記のようにして切削加工で作製したアルミ製の鏡枠部材11を自然放置し、内壁表面に酸化膜層を形成した。その後、レンズ支え部11a,11bの間の領域を除いて、内壁面をマスキングし、150℃の加熱水蒸気中に30分間さらしてから、400℃で30分間熱処理し、微細凹凸構造層11cを形成した。そして、本実施例の場合、微細凹凸構造層11cは、図4に示したように形成され、その膜厚は、約180nmであった。   Further, as shown in FIG. 3, a fine concavo-convex structure layer 11c is formed on the inner wall surface between the two lens support parts 11a and 11b. The uneven structure layer 11c was formed as follows. First, the lens barrel member 11 made by cutting as described above was allowed to stand naturally, and an oxide film layer was formed on the inner wall surface. Thereafter, the inner wall surface is masked except for the region between the lens support portions 11a and 11b, and is exposed to heated steam at 150 ° C. for 30 minutes, and then heat-treated at 400 ° C. for 30 minutes to form the fine relief structure layer 11c. did. In the case of this example, the fine concavo-convex structure layer 11c was formed as shown in FIG. 4, and the film thickness was about 180 nm.

このようにして得られた鏡枠部材11にレンズ12,13を組み付けたのが、図3に示されているレンズ鏡枠ユニットであるが、この状態で、レンズ12に点光源からなる光を通して、反射状態を目視で観察したところ、微細凹凸構造層11cでの反射は確認されず、良好な結果であった。   The lens frame unit shown in FIG. 3 has the lenses 12 and 13 assembled to the lens frame member 11 thus obtained. In this state, light from a point light source is passed through the lens 12. When the reflection state was observed visually, the reflection on the fine uneven structure layer 11c was not confirmed, and the result was good.

上記の図3は、本実施例の説明にも援用される。即ち、本実施例に用いた鏡枠部材11はアルミ製であって実施例2の場合と全く同じ形状寸法に加工されたものである。そして、実施例2の場合と同じ内壁面領域に微細凹凸構造層11cを形成した。その後、二つのレンズ支え部11a,11bで支えるようにして二つのレンズ12,13を固定し、レンズ鏡枠ユニットとしておいて評価した。   The above FIG. 3 is also incorporated in the description of this embodiment. In other words, the lens frame member 11 used in the present embodiment is made of aluminum and processed into the same shape and dimension as in the second embodiment. And the fine uneven structure layer 11c was formed in the same inner wall surface area | region as the case of Example 2. FIG. Thereafter, the two lenses 12 and 13 were fixed so as to be supported by the two lens support portions 11a and 11b, and evaluated as a lens barrel unit.

上記のように、実施例2の場合には、アルミ製の鏡枠部材11を切削加工後に自然放置して、内壁表面に酸化膜層を形成していた。ところが、本実施例の場合には、自然放置ではなく、塩酸で処理することによって内壁表面に、酸化膜層を形成した。その後の具体的な工程は実施例2の場合と実質的に同じであり、それによって形成された微細凹凸構造層11cの膜厚は、約200nmであった。   As described above, in the case of Example 2, the lens barrel member 11 made of aluminum was naturally left after cutting, and an oxide film layer was formed on the inner wall surface. However, in the case of this example, the oxide film layer was formed on the inner wall surface by treating with hydrochloric acid instead of leaving it naturally. The subsequent specific steps were substantially the same as in Example 2, and the film thickness of the fine uneven structure layer 11c formed thereby was about 200 nm.

このようにして得られた鏡枠部材11にレンズ12,13を組み付けてレンズ鏡枠ユニットとした後、レンズ12に点光源からなる光を通して、反射状態を目視で観察したところ、微細凹凸構造層11cでの反射は確認されず、良好な結果であった。   After the lenses 12 and 13 are assembled to the lens frame member 11 obtained in this way to form a lens lens frame unit, the reflection state is visually observed through the light from the point light source. The reflection at 11c was not confirmed and was a good result.

本実施例の説明にも、上記の図3が援用される。そのため、本実施例に用いた鏡枠部材11も、実施例2の場合と全く同じ形状寸法に加工されたものである。ただし、実施例2と異なる点は、実施例2の鏡枠部材11は、アルミ材を切削加工して作製したものであるのに対して、本実施例の鏡枠部材11は、真鍮材を切削加工して作製したものである。その後における、微細凹凸構造層11cの製膜工程は、実施例2の場合と全く同じであり、その結果、内壁表面に形成された微細凹凸構造層11cの膜厚は約110nmであった。   The above FIG. 3 is also used for the description of this embodiment. Therefore, the lens frame member 11 used in the present embodiment is also processed to have exactly the same shape and dimension as in the second embodiment. However, the difference from Example 2 is that the lens frame member 11 of Example 2 is manufactured by cutting an aluminum material, whereas the lens frame member 11 of this example is made of a brass material. It was produced by cutting. The subsequent film formation process of the fine concavo-convex structure layer 11c was exactly the same as in Example 2. As a result, the film thickness of the fine concavo-convex structure layer 11c formed on the inner wall surface was about 110 nm.

この鏡枠部材11にレンズ12,13を組み付けてレンズ鏡枠ユニットとし、レンズ12に点光源からなる光を通して、目視で反射状態を確認したところ、微細凹凸構造層11cでの反射は確認できず、良好な結果であった。   When the lenses 12 and 13 are assembled to the lens frame member 11 to form a lens lens frame unit, and the reflection state is visually confirmed through the light from the point light source through the lens 12, reflection on the fine concavo-convex structure layer 11c cannot be confirmed. It was a good result.

比較例Comparative example

上記の図3は、本比較例の説明にも援用される。即ち、本比較例に用いた鏡枠部材11もアルミ製であって実施例2の場合と全く同じ形状寸法に加工されたものである。そして、実施例2の場合と同じ内壁面領域に微細凹凸構造層11cを形成した。その後、二つのレンズ支え部11a,11bで支えるようにして二つのレンズ12,13を固定し、レンズ鏡枠ユニットとしておいて評価した。   The above FIG. 3 is also incorporated in the description of this comparative example. That is, the lens frame member 11 used in this comparative example is also made of aluminum and processed into the same shape and dimensions as in the second embodiment. And the fine uneven structure layer 11c was formed in the same inner wall surface area | region as the case of Example 2. FIG. Thereafter, the two lenses 12 and 13 were fixed so as to be supported by the two lens support portions 11a and 11b, and evaluated as a lens barrel unit.

本比較例の場合には、その微細凹凸構造層11cを次のようにして形成した。先ず、切削加工で作製されたアルミ製の鏡枠部材11を自然放置し、内壁表面に酸化膜層を形成した。その後、レンズ支え部11a,11bの間の領域を除いて、内壁面をマスキングし、50℃の熱水中に10分間さらしてから、400℃で30分間熱処理し、微細凹凸構造層11cを形成した。即ち、50℃の熱水中に10分間さらした点が実施例2と異なっている。そして、本比較例の場合には、形成された微細凹凸構造層11cの膜厚が、約15nmであった。   In the case of this comparative example, the fine uneven structure layer 11c was formed as follows. First, an aluminum lens frame member 11 produced by cutting was left to stand, and an oxide film layer was formed on the inner wall surface. Then, except for the region between the lens support portions 11a and 11b, the inner wall surface is masked, exposed to hot water at 50 ° C. for 10 minutes, and then heat treated at 400 ° C. for 30 minutes to form the fine relief structure layer 11c. did. That is, it differs from Example 2 in that it was exposed to hot water at 50 ° C. for 10 minutes. In the case of this comparative example, the film thickness of the formed fine uneven structure layer 11c was about 15 nm.

このようにして得られた鏡枠部材11にレンズ12,13を組み付けてレンズ鏡枠ユニットとした後、レンズ12に点光源からなる光を通して、反射状態を目視で観察したところ、微細凹凸構造層11cでの反射が確認された。   After the lenses 12 and 13 are assembled to the lens frame member 11 obtained in this way to form a lens lens frame unit, the reflection state is visually observed through the light from the point light source. The reflection at 11c was confirmed.

尚、上記の各実施例においては、鏡枠部材に、直接レンズを固定しているが、本発明の鏡枠部材は、そのように構成するためのものだけには限定されない。レンズを直接取り付けている部材を固定する場合もあるし、直接にも間接にもレンズを固定せず、レンズを固定している部材を移動可能に取り付ける場合もある。   In each of the above-described embodiments, the lens is directly fixed to the lens frame member. However, the lens frame member of the present invention is not limited only to such a configuration. In some cases, the member directly attaching the lens is fixed, and in other cases, the lens is not fixed directly or indirectly, but the member fixing the lens is movably attached.

実施例1の製造方法によって製作された鏡枠部材を、レンズを組み付けた状態で示した断面図である。It is sectional drawing which showed the lens-frame member manufactured by the manufacturing method of Example 1 in the state which assembled | attached the lens. 図1に示されている鏡枠部材だけを、図1の斜め右方向から視て示した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing only the lens frame member shown in FIG. 1 as viewed from the diagonally right direction of FIG. 1. 実施例2の製造方法によって製作された鏡枠部材を、レンズを組み付けた状態で示した断面図である。It is sectional drawing which showed the lens-frame member manufactured by the manufacturing method of Example 2 in the state which assembled | attached the lens. 実施例2の製造方法によって鏡枠部材の内壁表面に形成された微細凹凸構造層を走査型電子顕微鏡で観察して撮影した図(写真)である。It is the figure (photograph) which observed and image | photographed the fine concavo-convex structure layer formed in the inner wall surface of the lens-frame member with the scanning electron microscope by the manufacturing method of Example 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1,11 鏡枠部材
1a,11a,11b レンズ支え部
1b,11c 微細凹凸構造層
2,12,13 レンズ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,11 Lens frame member 1a, 11a, 11b Lens support part 1b, 11c Fine uneven structure layer 2, 12, 13 Lens

Claims (8)

所定の材料で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に水素よりイオン化傾向の大きい金属からなる金属層を形成する工程と、前記金属層の表面を酸化物層又は水酸化物層に形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行うことを特徴とする鏡枠部材の製造方法。   Forming a metal layer made of a metal having a higher ionization tendency than hydrogen on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a predetermined material; and converting the surface of the metal layer into an oxide layer or a hydroxide layer The manufacturing method of the lens frame member characterized by performing sequentially the process of forming, and the process of forming a fine concavo-convex structure layer by performing a hot water process or a water vapor process to the said oxide layer or a hydroxide layer. 前記金属が、Al,Mg,Znのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の鏡枠部材の製造方法。   The method for manufacturing a lens frame member according to claim 1, wherein the metal is any one of Al, Mg, and Zn. 前記金属層は、メッキ法によって形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の鏡枠部材の製造方法。   The method for manufacturing a lens frame member according to claim 1, wherein the metal layer is formed by a plating method. 前記酸化物層又は水酸化物層は、酸又はアルカリ処理によって形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の鏡枠部材の製造方法。   4. The method for manufacturing a lens frame member according to claim 1, wherein the oxide layer or the hydroxide layer is formed by an acid or alkali treatment. 水素よりイオン化傾向の大きい金属で所定の形状に加工された鏡枠部材の内壁表面に酸化物層又は水酸化物層を形成する工程と、前記酸化物層又は水酸化物層に熱水処理又は水蒸気処理を行うことによって微細凹凸構造層を形成する工程とを順に行うことを特徴とする鏡枠部材の製造方法。   Forming an oxide layer or a hydroxide layer on the inner wall surface of a lens frame member processed into a predetermined shape with a metal having a higher ionization tendency than hydrogen; and hydrothermal treatment or A method of manufacturing a lens frame member, comprising sequentially performing a step of forming a fine relief structure layer by performing a water vapor treatment. 前記金属が、Al,Mg,Znのいずれかであることを特徴とする請求項5に記載の鏡枠部材の製造方法。   The method for manufacturing a lens frame member according to claim 5, wherein the metal is any one of Al, Mg, and Zn. 前記酸化物層又は水酸化物層は、酸又はアルカリ処理によって形成することを特徴とする請求項5又は6に記載の鏡枠部材の製造方法。   The method for manufacturing a lens frame member according to claim 5 or 6, wherein the oxide layer or the hydroxide layer is formed by an acid or alkali treatment. 前記微細凹凸構造層の膜厚が、20〜300nmであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の鏡枠部材の製造方法。   The method of manufacturing a lens frame member according to any one of claims 1 to 7, wherein the fine concavo-convex structure layer has a thickness of 20 to 300 nm.
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JP2017151451A (en) * 2017-03-30 2017-08-31 日立マクセル株式会社 Lens unit

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