JP2009128259A - Lsi tester - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、LSIテスタに関し、詳しくは、システムソフトウェアのバージョン管理の改善に関するものである。 The present invention relates to an LSI tester, and more particularly to an improvement in version management of system software.
従来から、LSIテスタのシステムソフトウェアは基本的にバージョンアップが行われていて、毎年少なくとも1回はバージョンアップされることが多い。 Conventionally, system software for LSI testers has been basically upgraded, and is often upgraded at least once a year.
ところで、LSIの開発製造形態として、開発をデザインハウスに委託し、製造は自社設備で行い、検査対象LSI(以下DUTという)の検査をテストハウスに委託することも行われている。この場合、LSIテスタは、DUTの設計開発を行うデザインハウスや量産化されたDUTのテストを行うテストハウスでも使われるが、これら各ハウスで使われるシステムソフトウェアのバージョンが異なることがある。 By the way, as a form of development and manufacturing of LSI, development is outsourced to a design house, manufacture is performed in-house equipment, and inspection of an inspection target LSI (hereinafter referred to as DUT) is also outsourced to a test house. In this case, the LSI tester is also used in a design house that designs and develops DUTs and a test house that tests mass-produced DUTs. However, the versions of system software used in these houses may differ.
デザインハウスがLSIを評価したLSIテスタのシステムソフトウェアバージョンとテストハウスが持っているシステムソフトウェアバージョンが異なる場合、テストハウスはテスタのシステムソフトをデザインハウスに合わせるために再インストールするか、または、バージョンはそのままでLSIを再評価し、相関合わせ作業を行うことになる。 If the system software version of the LSI tester that the design house has evaluated the LSI differs from the system software version that the test house has, the test house will reinstall the tester system software to match the design house, or the version will be The LSI is re-evaluated as it is, and correlation work is performed.
特許文献1にはLSIテスタにおける操作画面の構成が記載されている。
しかし、従来のLSIテスタでは、システムソフトウェアバージョンの切り替えに伴って、システムソフトウェアを再インストールした後に測定部の校正や機能診断も行わなければならず、DUTのテストを長い時間止めることになってテスタの稼働率を低下させてしまうという問題がある。 However, in the conventional LSI tester, along with the switching of the system software version, the calibration of the measuring unit and the function diagnosis must be performed after the system software is reinstalled, and the test of the DUT is stopped for a long time. There is a problem of lowering the operating rate of.
また、2つのシステムソフトウェアバージョンによるDUTの測定データの相関を取る場合には、まずあるシステムソフトウェアバージョンに手動でテスタを切り替えてDUTのテストを行った後、次のシステムソフトウェアバージョンに手動でテスタを切り替えてDUTのテストを行わなければならず、テスタの前にずっと作業者が張り付いている必要がある。 When correlating DUT measurement data with two system software versions, first switch the tester manually to a certain system software version and then test the DUT, then manually switch the tester to the next system software version. It is necessary to switch and test the DUT, and it is necessary to have an operator stuck in front of the tester.
また、DUTの複数チップの相関データを測定するのにあたっては、プローバーやハンドラで制御することになるが、そのためにはプローバーやハンドラにシステムソフトウェアバージョンを切り替えるためのインターフェイスを組み込まなければならず、これらの構造が複雑になるという問題もある。 In addition, when measuring the correlation data of multiple chips of a DUT, it is controlled by a prober or handler. To that end, an interface for switching the system software version must be incorporated in the prober or handler. There is also a problem that the structure of is complicated.
また、システムソフトウェアバージョンを現状よりも古いものに戻した場合には、新しいバージョンでしか認識しないハードウェアをエラー検出(異常)することがあり、その場合にはそのハードウェアを取り外さなければならない。 In addition, when the system software version is returned to an older version than the current state, hardware that is recognized only by the new version may be detected (abnormal), and in that case, the hardware must be removed.
さらに、ハードウェアの機能を上げるために新しいシステムソフトウェアでないと制御できないような新しいハードウェアを実装すると、古いシステムソフトウェアバージョンに戻したときには制御が古いため、その新しいハードウェアが動作しないことになる。 Furthermore, if new hardware that can only be controlled by new system software is installed in order to increase the hardware functions, the new hardware will not operate because the control is old when the system software version is restored.
本発明は、これらの課題を解決するものであり、その目的は、作業者に多大な負担を強いることなく新旧のシステムソフトウェアバージョンを瞬時に切り替えて必要な測定が行えるLSIテスタを実現することにある。 The present invention solves these problems, and its purpose is to realize an LSI tester capable of instantaneously switching between new and old system software versions without imposing a heavy burden on the operator. is there.
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、新旧バージョンのシステムソフトウェアを格納するバージョン別システムソフトウェア格納部と、システムソフトウェアの各バージョン別の校正データを格納するバージョン別校正データ格納部と、これらバージョン別システムソフトウェア格納部から所望バージョンのシステムソフトウェアを選択的に読み出すとともにバージョン別校正データ格納部からシステムソフトウェアの各バージョンに対応した校正データを読み出してシステムを駆動するインタフェース、とで構成されたことを特徴とするLSIテスタである。
In order to achieve such an object, the invention according to
請求項2記載の発明は、請求項1記載のLSIテスタにおいて、前記インタフェースは、前記システムソフトウェアの各バージョンに関連したデータをデータセット単位で選択することを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the LSI tester according to the first aspect, the interface selects data related to each version of the system software in units of data sets.
請求項3記載の発明は、請求項1記載のLSIテスタにおいて、前記インタフェースは、システムソフトウェアのバージョンを切り替えるコマンドを出力する機能を有し、テストシステムを構成するプローバやハンドラであることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the LSI tester according to the first aspect, the interface has a function of outputting a command for switching a system software version, and is a prober or a handler constituting a test system. To do.
請求項4記載の発明は、請求項1記載のLSIテスタにおいて、異なるバージョンのシステムソフトウェアに基づく相関データを自動取得することを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the LSI tester according to the first aspect, correlation data based on different versions of system software is automatically acquired.
本発明によれば、新旧のシステムソフトウェアバージョンを瞬時に切り替えて必要な測定を行うことができるLSIテスタが実現できる。 According to the present invention, an LSI tester capable of instantaneously switching between new and old system software versions and performing necessary measurements can be realized.
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示すブロック図である。図1において、テスタ起動時のGUI表示部10には、所望のシステムソフトウェアを選択指定するための図2に示すようなテスタスタータGUI画面が表示される。テスタスタータGUI画面には、インストール済みのバージョン番号一覧表示部11、現在起動中または起動予定のバージョン番号表示部12、システムソフトウェアの実行状態表示部13、データセット選択部14、システムソフトウェアのスタートボタン15、システムソフトウェアのストップボタン16、メッセージ表示欄17などが設けられている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a tester starter GUI screen as shown in FIG. 2 for selecting and specifying desired system software is displayed on the
ユーザーインタフェース部20は、GUI表示部10のGUI画面を介して行われるシステムソフトウェアのバージョン選択指定操作に連動して、所定の情報入力処理を実行するもので、システムソフトウェアバージョン指定入力部21とデータセット選択入力部22で構成されている。システムソフトウェアバージョン指定入力部21は、GUI表示部10のGUI画面を介して選択指定されるシステムソフトウェアのバージョン情報をテスタ内部に入力する。データセット選択入力部22は、GUI表示部10のGUI画面を介して選択指定されるDUTの名称やプログラムの名称などのデータセット情報をテスタ内部に入力する。
The user interface unit 20 executes a predetermined information input process in conjunction with a system software version selection / designation operation performed via the GUI screen of the
システムソフトウェア部30は、GUI表示部10およびユーザーインタフェース部20を介して選択指定される所定のバージョンのシステムソフトウェアを選択的に起動させるものであり、システムソフトウェア切替制御部31、システムソフトウェアバージョン管理部32、バージョン別に複数のシステムソフトウェアが格納されているバージョン別システムソフトウェア格納部33、システムソフトウェアのバージョン別に校正データが格納されているバージョン別校正データ格納部34などで構成されている。
The system software unit 30 selectively activates a predetermined version of the system software selected and specified via the
テスト実行部40は、選択的に起動されたバージョンのシステムソフトウェアに基づきDUTに対する所定のテストを行うものであり、テスト実行ハードウェア部41と、DUT42と、測定データ格納部43などで構成されている。
The test execution unit 40 performs a predetermined test on the DUT based on the selectively activated version of the system software, and includes a test
これらGUI表示部10、ユーザーインタフェース部20、システムソフトウェア部30およびテスト実行部40は、バスBを介して接続されている。
The
図1の動作を説明する。
ユーザーは、図2に示すGUI表示部10のGUI画面のインストール済みバージョン番号一覧表示部11から起動したいバージョンのシステムソフトウェアを選択指定し、スタートボタン15を操作する。なお、DUTの機種別校正データが必要な場合には、GUI画面のデータセット選択部14から所望のDUTの機種名を設定入力する。
The operation of FIG. 1 will be described.
The user selects and designates the version of the system software to be activated from the installed version number list display unit 11 on the GUI screen of the
ユーザーインタフェース部20のシステムソフトウェアバージョン指定入力部21はGUI表示部10のGUI画面を介して選択指定されるシステムソフトウェアのバージョン情報をシステムソフトウェア部30に入力し、データセット選択入力部22はシステムソフトウェアのバージョンに対応したデータセット情報またはGUI画面のデータセット選択部14から入力されるDUTの機種名に対応したデータセット情報をシステムソフトウェア部30に入力する。
The system software version
システムソフトウェア部30のシステムソフトウェア切替制御部31は、システムソフトウェアバージョン管理部32を介してバージョン別システムソフトウェア格納部33にアクセスして該当するバージョンのシステムソフトウェアを起動させるとともに、バージョン別校正データ格納部34にアクセスして該当するバージョンまたはDUTの機種名に対応した校正データを読み出す。なお、このシステムソフトウェア切替制御部31は、システムソフトウェアのバージョンを切り替えるのにあたり、以前に校正データを取得した時とハードウェアの構成が変わった場合は校正データの再取得をメッセージで促し、それでも動作させる場合はシステムエラーとするバージョン切り替えチェック機能も有するものとする。
The system software switching control unit 31 of the system software unit 30 accesses the version-specific system
テスト実行部40のテスト実行ハードウェア部41は、システムソフトウェア部30で起動された所定のバージョンのシステムソフトウェアに基づいてDUT42に対する一連のテストを実行し、測定データを測定データ格納部43に格納する。
The test
これら一連の処理実行を指示する具体的なコマンドとしては、たとえば以下のようなものを用いる。
Changeversion → バージョン番号 →バージョンを切り替えるコマンド
startsystemsoft → システムソフトを起動するコマンド
currentversion → 現在のバージョンを調べるコマンド
startsystemver → changeversionとstartsystemsoftを同時に実行するコマンド
stopsystemsoft → システムソフトを停止するコマンド
For example, the following commands are used as specific commands to instruct execution of a series of these processes.
Changeversion → Version number → Version switching command
startsystemsoft → Command to start system software
currentversion → command to check the current version
startsystemver-> command to execute changeversion and startsystemsoft at the same time
stopsystemsoft → Command to stop system software
システムソフトウェア部30において、システムソフトウェアのバージョンを切り替えるのにあたっては、以下のいずれかの方法を用いることができる。なお、これらシステムソフトウェアのバージョン切り替えに連動して、校正データもバージョン毎に自動で切り替わることとする。
<方法1 シンボリックリンク>
システムソフトが各バージョンへのシンボリックリンクになっていて、シンボリックリンクを切り替えるだけでシステムソフトが切り替わる。
/sys/system_soft → システムソフト
シンボリックリンク
/sys/system_soft_version3.03 → システムソフトV3.03
/sys/system_soft_version3.04 → システムソフトV3.04
/sys/system_soft_version3.05 → システムソフトV3.05
In the system software unit 30, any one of the following methods can be used for switching the version of the system software. The calibration data is automatically switched for each version in conjunction with the version switching of the system software.
<
The system software is a symbolic link to each version, and the system software can be switched simply by switching the symbolic link.
/ sys / system_soft → System software
Symbolic link
/sys/system_soft_version3.03 → System software V3.03
/sys/system_soft_version3.04 → System software V3.04
/sys/system_soft_version3.05 → System software V3.05
<方法2 環境変数>
システムソフトが置いてあるディレクトリを環境変数に格納し、環境変数を用いてシステムソフトにアクセスする。これにより、環境変数を切り替えるだけでシステムソフトが切り替わる。
$SYSTEM_SOFT = ”/sys/system_soft_version3.03”
/sys/system_soft_version3.03 → システムソフトV3.03
/sys/system_soft_version3.04 → システムソフトV3.04
/sys/system_soft_version3.05 → システムソフトV3.05
<Method 2 environment variable>
The directory where the system software is stored is stored in an environment variable, and the system software is accessed using the environment variable. As a result, the system software is switched simply by switching the environment variable.
$ SYSTEM_SOFT = ”/sys/system_soft_version3.03”
/sys/system_soft_version3.03 → System software V3.03
/sys/system_soft_version3.04 → System software V3.04
/sys/system_soft_version3.05 → System software V3.05
<方法3 コピー>
方法1とほぼ同じであるが、シンボリックリンクを切り替えるのではなく、実体をコピーしてくる方法である。これは多少時間がかかる。
<Method 3 Copy>
Although it is almost the same as the
旧バージョンのシステムソフトウェアと新しいハードウェアを組み合わせた場合の動作について説明する。新バージョンのシステムソフトウェアを古いバージョンに切り替えた場合において、新しいハードウェアを検知しないときはエラーにはならず、そのモジュールがないものとして動作する。 The operation when the old version of system software and new hardware are combined will be described. When the new version of the system software is switched to the old version, if no new hardware is detected, no error occurs and the module operates without it.
なお、そのハードウェアがないとシステムが成り立たない場合には、そのハードウェアを旧システムソフトで実装認識できないため、そのハードウェアが未実装ということでエラーとなる。このときは「認識できないIDのハードウェアが実装されました」などのエラーメッセージを出力し、ユーザーのハード交換を補助する。 If the system cannot be established without the hardware, the hardware cannot be recognized by the old system software, and an error occurs because the hardware is not installed. At this time, an error message such as “Hardware with an unrecognizable ID has been implemented” is output to assist the user in hardware replacement.
図3は本発明の他の実施例を示すブロック図であり、図1と共通する部分には同一の符号を付けている。図3において、ユーザーインタフェース部20には、システムソフトウェアバージョン指定入力部21とデータセット選択入力部22の他に、相関データ取得命令部23が設けられている。そして、バスBには、相関測定制御部51と相関データ演算部52で構成された相関測定部50が接続されている。
FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the present invention, and the same reference numerals are given to portions common to FIG. In FIG. 3, the user interface unit 20 is provided with a correlation data acquisition command unit 23 in addition to the system software version
このような図3の構成により、同一DUTについて、2つのシステムソフトウェアバージョン間における相関データを自動取得する動作を説明する。
まず、図2のバージョン番号一覧表示部11からシステムソフトウェアとして2つのバージョンを選択する。たとえば図示しないキーボードのシフトキーまたはコントロールキーを押しながらバージョン番号一覧表示部11のバージョンを選択することにより2バージョンを選択できる。
The operation of automatically acquiring correlation data between two system software versions for the same DUT with the configuration of FIG. 3 will be described.
First, two versions are selected as system software from the version number list display unit 11 of FIG. For example, two versions can be selected by selecting a version of the version number list display unit 11 while pressing a shift key or a control key of a keyboard (not shown).
次に、データセット選択部14から相関データの対象となるDUT42のデータセットを選択する。
その後、スタートボタン15を押す。
Next, the data set of the
Thereafter, the
そして、以下の動作を自動実行する。
1)システムソフトウェアを選択されたうちの一方のバージョンに切り替える。
2)必要であれば自動校正データを取得する。
3)データセットで選択されたテストプログラムをビルド&ロードし実行する。
4)DUT42の測定データとして自動実行スクリプト(.lesファイル)に記述されたデータを取得し、測定データ格納部43に格納する。
5)取得した測定データをファイルに落とした場合はそのバックアップをディレクトリごととっておく。
6)選択された他方のバージョンにシステムを切り替え、1)〜5)を実行する。
これにより、各バージョンにおける測定データが測定データ格納部43に格納される。
Then, the following operations are automatically executed.
1) Switch the system software to one of the selected versions.
2) Acquire automatic calibration data if necessary.
3) Build, load and execute the test program selected in the data set.
4) Data described in the automatic execution script (.les file) as measurement data of the
5) When the acquired measurement data is dropped into a file, make a backup of each directory.
6) Switch the system to the other selected version and execute 1) to 5).
Thereby, the measurement data in each version is stored in the measurement
なお、必要に応じて、シュムーデータ、実行時間、校正データ、診断データなども取得できる。特に、診断データが自動取得できることにより、ハードウェアの故障箇所解析がより容易に行える。 Note that shmoo data, execution time, calibration data, diagnostic data, and the like can be acquired as necessary. In particular, since the diagnosis data can be automatically acquired, the failure location analysis of hardware can be performed more easily.
相関測定部50は、これら各バージョンにおける測定データや各種データに基づき、測定目的に応じた相関データを演算する。これらの演算結果は、GUI表示部10に表示される。
The correlation measuring unit 50 calculates correlation data according to the measurement purpose based on the measurement data and various data in each version. These calculation results are displayed on the
上記実施例では、GUI表示部10からシステムソフトウェアのバージョンを切り替える例を示したが、テストシステムを構成するプローバやハンドラから切り替えるようにしてもよい。プローバやハンドラとの通信方式であるGPIB通信やイーサーネット(登録商標)通信において、システムソフトウェアのバージョンを切り替えるコマンドを決めておき、そのインタフェースを用意する。コマンド自体はアスキーの文字列で定義されるものであり、そのコマンドに指定したシステムソフトウェアバージョンを指定できるようにインタフェース仕様の拡張を行う。
In the above-described embodiment, an example in which the version of the system software is switched from the
GUI表示部10からのシステムソフトウェアのバージョン切り替えと同様に、テストシステムを構成するプローバやハンドラからの切り替えコマンドに基づき、システムソフトウェア部30のシステムソフトウェア切替制御部31は、システムソフトウェアバージョン管理部32を介してバージョン別システムソフトウェア格納部33にアクセスして該当するバージョンのシステムソフトウェアを起動させるとともに、バージョン別校正データ格納部34にアクセスして該当するバージョンまたはDUTの機種名に対応した校正データを読み出し、DUT42に対する一連のテストを実行する。
Similar to the system software version switching from the
このような構成によれば、GUIツールやバージョンの切り替えコマンドを用いることによりシステムソフトウェアを自由に即座に切り替えることができるのできわめて短時間でシステムソフトウェアのバージョンおよびバージョン別校正データを切り替えることができ、DUTのテストを長い時間止めることはなく、テスタの稼働率低下を防止できる。 According to such a configuration, the system software can be switched freely and immediately by using a GUI tool or a version switching command, so that the version of the system software and the calibration data by version can be switched in a very short time. The test of the DUT is not stopped for a long time, and the tester operating rate can be prevented from being lowered.
そして、2つのシステムソフトウェアバージョンでDUTの測定データの相関を取るのにあたっても、自動取得できるので、 And even when correlating DUT measurement data with two system software versions, it can be automatically acquired,
また、プローバーやハンドラからシステムソフトウェアのバージョン切り替えを制御するのにあたり、それらのインターフェイスを簡略化できる。 In addition, when the system software version switching is controlled from a prober or handler, their interfaces can be simplified.
また、システムソフトウェアバージョンを現状よりも古いものに戻したことにより新しいハードウェアを認識できなくてもエラーになることはなく、効率よくテスタを稼働させることができる。 Further, by returning the system software version to an older version than the current state, even if new hardware cannot be recognized, no error occurs and the tester can be operated efficiently.
また、システムソフトウェアのバージョン切り替えに応じて校正データも自動的に切り替わり、以前取得した校正データとハードウェアの構成が異なる場合は作業者にその旨を知らせることができるので、作業者は校正データに関わる作業を効率よく遂行できる。 In addition, the calibration data automatically switches according to the system software version switch, and if the hardware configuration differs from the previously acquired calibration data, the operator can be notified of this, so the worker can use the calibration data. Can perform related work efficiently.
また、システムソフトウェアの2つのバージョンにおけるDUTの相関データを自動取得でき、複数チップにおけるシステムソフトウェアの2つのバージョン間でのDUTの相関データもプローバやハンドラからの通信命令でバージョンを切り替えることにより自動取得できるので、作業者がテスタの前に張り付いている必要はなく、作業者の作業工数を削減できる。 In addition, DUT correlation data for two versions of system software can be automatically acquired. Correlation data for DUT between two versions of system software on multiple chips can also be automatically acquired by switching versions using communication commands from a prober or handler. Therefore, it is not necessary for the worker to stick to the front of the tester, and the number of work hours for the worker can be reduced.
以上説明したように、本発明によれば、新旧のシステムソフトウェアバージョンを瞬時に切り替えて必要な測定が行えるバージョンアップが稼働率の阻害要因にならないデザインハウスやテストハウスにも好適なLSIテスタが実現できる。 As described above, according to the present invention, an LSI tester suitable for a design house or a test house that does not hinder the operating rate due to an upgrade that can perform necessary measurements by switching between old and new system software versions is realized. it can.
10 GUI表示部
11 バージョン番号一覧表示部
12 バージョン番号表示部
13 実行状態表示部
14 データセット選択部
15 スタートボタン
16 ストップボタン
17 メッセージ表示欄
20 ユーザーインタフェース部
21 システムソフトウェアバージョン指定入力部
22 データセット選択入力部
30 システムソフトウェア部
31 システムソフトウェア切替制御部
32 システムソフトウェアバージョン管理部
33 バージョン別システムソフトウェア格納部
34 バージョン別校正データ格納部
40 テスト実行部
41 テスト実行ハードウェア部
42 DUT
43 測定データ格納部
DESCRIPTION OF
43 Measurement data storage
Claims (4)
システムソフトウェアの各バージョン別の校正データを格納するバージョン別校正データ格納部と、
これらバージョン別システムソフトウェア格納部から所望バージョンのシステムソフトウェアを選択的に読み出すとともにバージョン別校正データ格納部からシステムソフトウェアの各バージョンに対応した校正データを読み出してシステムを駆動するインタフェース、
とで構成されたことを特徴とするLSIテスタ。 A version-specific system software storage for storing old and new versions of system software;
A calibration data storage unit for each version storing calibration data for each version of the system software;
An interface that selectively reads out the desired version of the system software from the version-specific system software storage unit and reads out calibration data corresponding to each version of the system software from the version-specific calibration data storage unit, and drives the system,
An LSI tester characterized by comprising:
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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