JP2009115692A - マイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1及び第2の電極間で発生する電流を増幅することができるマイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体装置1は、下側基板2と上側基板3との間に、流路用の貫通穴を有する樹脂モールド4とを積層して構成されている。下側基板2及び上側基板3は、樹脂モールド4との接合面側に形成された配線パターン11A,11Bと、それら配線パターン11A,11Bにそれぞれ接続され、他の基板側に向かうように設けられた複数のカソード電極120及びアノード電極121とをそれぞれ有する。
【選択図】図3
【解決手段】マイクロ流体装置1は、下側基板2と上側基板3との間に、流路用の貫通穴を有する樹脂モールド4とを積層して構成されている。下側基板2及び上側基板3は、樹脂モールド4との接合面側に形成された配線パターン11A,11Bと、それら配線パターン11A,11Bにそれぞれ接続され、他の基板側に向かうように設けられた複数のカソード電極120及びアノード電極121とをそれぞれ有する。
【選択図】図3
Description
本発明は、マイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法に関する。
従来、電気泳動により分離された試料の検出を行う電気泳動チップが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この電気泳動チップは、一対の基板からなり、一方の基板に交差する電気泳動用の溝を形成し、他方の基板に溝に対応する貫通穴を設けたものである。そして、電気泳動用の溝の適当な位置に検出器を配置しておくことにより、電気泳動により分離された試料の検出を行うことができる。
また、検出器としてくし型電極を用いたマイクロチップが知られている(例えば、非特許文献1参照。)。
このマイクロチップは、流路の所定の壁面上に従来の露光プロセスを用いて作製されたくし状の電極が2つあり、くしの歯が交互に噛み合った構造を有する。そして、それらくし状の電極上で酸化還元反応により発生した電流の電流値を測定することにより、対象となる試料の検量を行うことができる。
本発明の目的は、第1及び第2の電極間で発生する電流を増幅することができるマイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法を提供することにある。
本発明の一態様は、上記目的を達成するため、以下のマイクロ流体装置及びマイクロ流体装置の製造方法を提供する。
[1]流路が形成された流路構造体と、前記流路の壁面に形成された第1及び第2の配線パターンと、前記第1及び第2の配線パターンにそれぞれ接続され、前記壁面に対向する前記流路の壁面に向かうように設けられた複数の第1及び第2の電極とを備えたマイクロ流体装置。
[2]前記第1及び第2の配線パターンは、互いに対向する前記壁面に形成された前記[1]に記載のマイクロ流体装置。
[3]前記複数の第1及び第2の電極は、2次元状に設けられた前記[1]に記載のマイクロ流体装置。
[4]前記複数の第1及び第2の電極は、複数の薄膜を積層して形成された前記[1]に記載のマイクロ流体装置。
[5]柱上の複数の第1及び第2の電極がそれぞれ形成される第1及び第2の配線パターンがそれぞれ形成された第1及び第2の板部材を準備し、基板上に形成された薄膜部材をパターンニングすることにより、前記複数の第1及び第2の電極の断面パターンに対応する複数の薄膜パターンを形成し、前記第1及び第2の板部材と前記複数の薄膜パターンとの接合面を洗浄化し、洗浄化された前記第1及び第2の板部材に洗浄化された前記複数の薄膜パターンを直接接触されることにより前記複数の薄膜パターンを接合し、前記複数の薄膜パターンが接合された前記第1及び第2の板部材の間に、流路用の貫通穴を有する第3の板部材を積層したマイクロ流体装置の製造方法。
請求項1に係るマイクロ流体装置によれば、第1及び第2の電極間で発生する電流を増幅することができる。
請求項2に係るマイクロ流体装置によれば、流路構造体に配線パターンを形成する工程を簡略化することができる。
請求項3に係るマイクロ流体装置によれば、本構成を有していない場合と比較して、複数の第1及び第2の電極を効果的に配列することができる。
請求項4に係るマイクロ流体装置によれば、複数の第1及び第2の電極を容易に形成することができる。
請求項5に係るマイクロ流体装置の製造方法によれば、複数の第1及び第2の電極を容易に製造することができる。
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の実施の形態に係るマイクロ流体装置を示し、図1(a)は斜視図、図1(b)は分解斜視図である。また、図2(a)は、マイクロ流体装置の上面図、図2(b)は、図2(a)のA−A線断面図である。
図1は、本発明の実施の形態に係るマイクロ流体装置を示し、図1(a)は斜視図、図1(b)は分解斜視図である。また、図2(a)は、マイクロ流体装置の上面図、図2(b)は、図2(a)のA−A線断面図である。
このマイクロ流体装置1は、下側基板2と上側基板3との間に、流路用の貫通穴を有する樹脂モールド4とを積層して構成されている。樹脂モールド4が有する貫通穴は、下側基板2及び上側基板3により、その下側及び上側が塞がれることにより流路を形成する。すなわち、本実施の形態では、下側基板2、上側基板3及び樹脂モールド4が流路を形成する流路構造体を構成する。
マイクロ流体装置1は、上記のように流路として形成された短辺流路4aと、短辺流路4aより流路長が長い長辺流路4bと、それら短辺流路4a及び長辺流路4bが合流する合流する合流部4cとを備える。
樹脂モールド4は、熱硬化性を有する樹脂、例えば、ポリジメチルシロキサン(PDMS)等のシリコーン樹脂や、熱可塑性を有する樹脂により形成されている。なお、樹脂モールド4は、樹脂の代わりに、例えば、石英、ガラス、シリコン等により形成してもよい。
下側基板2には、樹脂モールド4との接合面側に設けられ、長辺流路4b内に収納される検出部12と、下側基板2上に形成され、検出部12に接続された配線パターン11Aとが設けられている。なお、検出部12及び配線パターン11Aの詳細については後述する。
上側基板3は、流体を導入する第1〜第4の入口3a〜3dを有する。第1及び第3の入口3a,3cは、短辺流路4aの両端部に対応して設けられており、第2及び第4の入口3b,3dは、長辺流路4bの両端部に対応して設けられている。また、上側基板3には、下側基板2と同様に、樹脂モールド4との接合面側に検出部12及び配線パターン11Bが設けられている。
下側基板2及び上側基板3は、例えば、石英、ガラス、シリコン等からなる。また、配線パターン11A,11Bは、例えば、白金、銅等の導電体からなる。なお、下側基板2及び上側基板3は、異なる材質により形成されていてもよい。
図3は、検出部12及び配線パターン11A,11Bの詳細を示し、図3(a)は、図2(b)のB−B線断面図、図3(b)は、図3(a)のC−C線断面図である。
検出部12は、複数のカソード電極(第1の電極)120と、複数のアノード電極(第2の電極)121とを備える。複数のカソード電極120は、配線パターン11Aに電気的に接続され、複数のアノード電極121は、配線パターン11Bに電気的に接続されている。
カソード電極120及びアノード電極121は、円柱状の構造を有し、それらカソード電極120及びアノード電極121が設けられた下側基板2及び上側基板3の壁面と対向する他の基板の壁面に向かうようにそれぞれ設けられている。なお、カソード電極120及びアノード電極121の形状は、柱状であればよく、その断面形状は、円形の他に矩形でもよいし、これらに限られない。
また、カソード電極120及びアノード電極121は、例えば、白金等の導電体からなり、複数の金属薄膜を積層して形成されている。
また、複数のカソード電極120及びアノード電極121は、2次元状に設けられている。例えば、複数のカソード電極120及びアノード電極121は、図3(a)に例示するように、長辺流路4bによる流体の流れ方向とその流れ方向に対して交差する交差方向とにおいて、所定のピッチで交互に配列されている。なお、流れ方向に対して一定の角度で配列されていてもよい。
(製造方法)
次に、本発明の実施の形態に係るマイクロ流体装置の製造方法について説明する。
次に、本発明の実施の形態に係るマイクロ流体装置の製造方法について説明する。
(1)上側基板、下側基板の製作
まず、複数のカソード電極120及びアノード電極121の断面パターンに対応する複数の電極パターンを積層することにより、下側基板2及び上側基板3に複数のカソード電極120及びアノード電極121をそれぞれ形成するため、電極パターンの製作工程、電極パターンの接合工程について、図4、図5A及び図5Bを参照して説明する。
まず、複数のカソード電極120及びアノード電極121の断面パターンに対応する複数の電極パターンを積層することにより、下側基板2及び上側基板3に複数のカソード電極120及びアノード電極121をそれぞれ形成するため、電極パターンの製作工程、電極パターンの接合工程について、図4、図5A及び図5Bを参照して説明する。
(1−A)電極パターンの製作
図4(a)、図4(b)は、電極パターンの製作工程を示す断面図、図4(c)は、ドナー基板上に形成された電極パターンを示す平面図である。
図4(a)、図4(b)は、電極パターンの製作工程を示す断面図、図4(c)は、ドナー基板上に形成された電極パターンを示す平面図である。
図4(a)に例示するように、ドナー基板13上に離型層14を形成し、離型層14上に電極膜15を着膜する。
ドナー基板13には、シリコンウェハ、石英基板、ガラス基板等を用いることができる。本実施の形態では、シリコンウェハを用いる。
離型層14は、例えば、ポリイミド、フッ化ポリイミド、酸化シリコン等の公知の材料を用いることができる。本実施の形態では、ポリイミドを用いる。なお、ドナー基板に熱酸化処理を行って形成される熱酸化膜を用いてもよい。離型層14のドナー基板13上への形成は、スパッタリング法、分子線ビームエピタキシャル法、化学気相堆積法、真空蒸着法、スピン塗布法等の一般的な薄膜形成方法を用いることができる。
電極膜15の着膜方法としては、例えば、電子ビーム加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法、スパッタリング法、化学蒸着法等の真空蒸着法、スピンコート法等を用いることができる。本実施の形態では、抵抗加熱蒸着法により電極膜15を20μm着膜する。
次に、電極膜15をパターニングすることにより、図4(b)及び図4(c)に例示するように、円形にパターニングされた複数の電極パターン151が千鳥格子状に配列され、それら複数の電極パターン151からなる第1及び第2の電極パターン群150A,150Bが形成される。
パターニングとしては、例えば、リソグラフィー法、集束イオンビーム(FIB)法、電子ビーム直接描画法等を用いることができるが、高い平面形状精度が得られ、量産性が高い点で、リソグラフィー法が好ましい。本実施の形態では、リソグラフィー法により電極膜15をエッチング除去する。エッチングには、化学薬品を用いて被加工物を溶かし込むウエットエッチングや、イオンを利用して被加工物を気化して取り除くドライエッチング等を用いることができる。本実施の形態では、ドライエッチングを用いる。
形成された1つの電極パターン151の直径は、例えば、10μmである。
(1−B)電極パターンの接合
図5(a)〜(f)は、電極パターンの接合工程を示す断面図、図5(g)は、接合工程により製作された複数の電極を示す断面図である。
図5(a)〜(f)は、電極パターンの接合工程を示す断面図、図5(g)は、接合工程により製作された複数の電極を示す断面図である。
第1及び第2の電極パターン群150A,150Bが形成されたドナー基板13を図示しない真空槽内の下部ステージ(図示せず)に配置し、配線パターン11Aが形成された下側基板2を、その配線パターン11Aが形成された面を下向きにして上部ステージ(図示せず)に配置する。
なお、配線パターン11Aは、例えば、リソグラフィー法、集束イオンビーム(FIB)法、電子ビーム直接描画法等により下側基板2に形成することができる。
下部ステージは、x方向、y方向、θ(z軸周り)方向に移動可能となっており、上部ステージは、z方向に移動可能となっている。次に、真空槽内を排気し、高真空状態あるいは超真空状態にする。
次に、図5(a)に例示するように、下部ステージを移動させて下側基板2をドナー基板13の第1の電極パターン群150A上に位置決めし、下側基板2の表面、及びドナー基板13の表面、すなわち第1の電極パターン群150Aの表面をFAB(Fast Atom Beam)処理により清浄化する。FAB処理とは、例えば、アルゴン、クリプトン、キセノン等の不活性ガスを高電圧で加速して接合面に照射し、接合面の酸化膜、不純物等を除去する処理をいう。本実施の形態では、不活性ガスとしてアルゴンを用いる。
次に、図5(b)に例示するように、上部ステージを移動させて下側基板2を降下させ、下側基板2と第1の電極パターン群150Aとを荷重を加えて圧接して常温接合する。次に、図5(c)に例示するように、上部ステージを移動させて下側基板2を上昇させて第1の電極パターン群150Aを下側基板2に転写させる。
ここで、「常温接合」とは、上記のFABによって清浄化された接合面同士を常温雰囲気で接触させ、原子同士を直接結合させる接合方法をいい,表面活性化接合ともいう。常温接合(表面活性化接合)の他に、清浄化された接合面同士が拡散を生じさせない程度の温度(例えば、100℃程度)で加熱して接合してもよい。
次に、図5(d)に例示するように、下部ステージを移動させて下側基板2をドナー基板13上の第2の電極パターン群150B上に位置決めし、下側基板2の表面、すなわち第1の電極パターン群150Aの裏面(ドナー基板13側に接触していた面)、及びドナー基板13の表面、すなわち第2の電極パターン群150Bの表面にArビームを照射して清浄化する。
次に、図5(e)に例示するように、上部ステージを移動させて下側基板2を降下させ、下側基板2上の第1の電極パターン群150Aを第2の電極パターン群150Bに圧接して常温接合する。
次に、図5(f)に例示するように、上部ステージを移動させて下側基板2を上昇させて第2の電極パターン群150Bを下側基板2に転写させる。
次に、他の電極パターン群(図示せず)をさらに複数回(例えば、3回)下側基板2に転写することにより、下側基板2には、図5(g)に例示するように、複数の電極パターン群が積層された複数のカソード電極120が形成される。
そして、上部ステージと下側基板2との間の犠牲層をエッチングにより除去して、下側基板2を上部ステージから分離することにより、複数のアノード電極121が形成された下側基板2が製作される。
また、上記と同様の方法により、上側基板3に対しても複数の電極パターン群が積層された複数のアノード電極121を形成することができる。
(2)樹脂モールドの製作
樹脂モールド4は、その材料としてPDMSを用いた場合には、シリコンウェハ上にフォトレジスト(例えば、SU−8)を塗布して、リソグラフィー法により、短辺流路4a及び長辺流路4bを反転した鋳型を製作する。そして、その鋳型にPDMSを流し込んで加熱して成型することにより樹脂モールド4を製作することができる。
樹脂モールド4は、その材料としてPDMSを用いた場合には、シリコンウェハ上にフォトレジスト(例えば、SU−8)を塗布して、リソグラフィー法により、短辺流路4a及び長辺流路4bを反転した鋳型を製作する。そして、その鋳型にPDMSを流し込んで加熱して成型することにより樹脂モールド4を製作することができる。
(3)貼り合わせ
上記のように製作した下側基板2、上側基板3、及び樹脂モールド4を、図1に例示するように、樹脂モールド4を下側基板2及び上側基板3で挟むように位置合わせして貼り合わせ、マイクロ流体装置1が製作される。
上記のように製作した下側基板2、上側基板3、及び樹脂モールド4を、図1に例示するように、樹脂モールド4を下側基板2及び上側基板3で挟むように位置合わせして貼り合わせ、マイクロ流体装置1が製作される。
なお、樹脂モールド4の材料としてPDMSを用いた場合には、PDMSの自己接着性により、下側基板2及び上側基板3が樹脂モールド4に接合される。また、接着剤により下側基板2及び上側基板3と樹脂モールド4とを接合してもよいし、樹脂モールド4を樹脂の代わりに石英基板等により形成した場合には、常温接合により下側基板2及び上側基板3と石英基板等とを接合してもよい。
(実施の形態の動作)
次に、本実施の形態に係るマイクロ流体装置1を用いて電気泳動を行う場合の動作について、図6及び図7を用いて説明する。図6における測定器16は、カソード電極120及びアノード電極121にそれぞれ接続されて、それら電極間を流れる電流の電流値を測定するための装置である。
次に、本実施の形態に係るマイクロ流体装置1を用いて電気泳動を行う場合の動作について、図6及び図7を用いて説明する。図6における測定器16は、カソード電極120及びアノード電極121にそれぞれ接続されて、それら電極間を流れる電流の電流値を測定するための装置である。
まず、図6(a)に例示するように、第1〜第4の入口3a〜3dのいずれかから流動液Lを注入し、短辺流路4a及び長辺流路4b内を流動液Lで満たす。
次に、図6(b)に例示するように、第1の入口3aから試料Sを注入し、短辺流路4aの両端部である第1及び第3の入口3a,3cに印加電圧V1を印加する。
そして、第1の入口3aに注入された試料Sは、印加電圧V1により第1の入口3aから第3の入口3cの方向に流れ、短辺流路4aは、試料Sで満たされる。
次に、図6(c)に例示するように、長辺流路4bの両端部である第2及び第4の入口3b,3dに印加電圧V2を印加する。
そして、合流部4cにおける試料Sは、印加電圧V2により第4の入口3dの方向に流れていき、検出部12に到達する。
検出部12に到達した試料Sは、複数のカソード電極120及びアノード電極121の間で酸化還元反応を繰り返し行う。
ここで、図7は、試料Sが酸化還元反応を繰り返し行う状態を示す模式図である。なお、図7は、複数のカソード電極120及びアノード電極121のうち試料Sの流れ方向に2列に並んだ複数のカソード電極120及びアノード電極121を取り出したものである。
検出部12に到達した試料Sは、カソード電極120で還元反応Rが行われる。次に、その還元された試料Sは、拡散によりアノード電極121に移動し、アノード電極121で酸化反応Oxが行われる。そして、酸化した試料Sは、拡散により再びカソード電極120に移動し、還元反応Rが行われる。
このようにして、酸化還元反応が複数のカソード電極120及びアノード電極121の間で繰り返し行われることにより、カソード電極120及びアノード電極121を介して測定器16に流れる電流が増幅される。そして、酸化還元反応により発生した電流の電流値が、測定器16により測定され、試料Sの検量が行われる。
(実施例1)
次に、本発明の実施例1について説明する。この実施例1は、マイクロ流体装置をクロノアンペロメトリ法による特定タンパク質の検量に用いたものである。
次に、本発明の実施例1について説明する。この実施例1は、マイクロ流体装置をクロノアンペロメトリ法による特定タンパク質の検量に用いたものである。
クロノアンペロメトリ法とは、検出部12に設けられたカソード電極120及びアノード電極121上で酸化還元反応により発生した電流の電流値を測定することにより、試料としての特定たんぱく質の検量を行う方法である。
実施例1に係るマイクロ流体装置は、流路の幅が700μm、流路の高さが100μmである。カソード電極120及びアノード電極121の直径は、10μmであり、各電極間のピッチは、20μmで配列したものである。また、カソード電極、アノード電極の配列数は、それぞれ65個である。
特定タンパク質1ng/mlを検量した結果、従来のくし型電極(例えば、電極幅10μm、電極長さ2mm、電極間のピッチ20μm)では、検出電流10〜15nAであったのに対し、実施例1に係るマイクロ流体装置では、検出電流80〜120nAであった。
[他の実施の形態]
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲内で種々に変形実施が可能である。例えば、上記実施の形態では、流路構造体により形成される流路の断面形状は四角形であるが、円形でもよいし、他の多角形でもよいし、これらに限られない。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲内で種々に変形実施が可能である。例えば、上記実施の形態では、流路構造体により形成される流路の断面形状は四角形であるが、円形でもよいし、他の多角形でもよいし、これらに限られない。
また、上記実施の形態では、配線パターン11A,11Bは、流路構造体により形成される流路の互いに対向する壁面にそれぞれ形成されたが、配線パターン11A,11Bを同一の壁面に絶縁状態を保持した状態で形成し、それら配線パターン11A,11Bに接続される複数のカソード電極120及びアノード電極121を、配線パターン11A,11Bが形成された壁面に対向する他の壁面に向かうように設けてもよい。
1 マイクロ流体装置
2 下側基板
3 上側基板
3A パターン層
3B パターン層
3a〜3d 入口
4 樹脂モールド
4a 短辺流路
4b 長辺流路
4c 合流部
11A,11B 配線パターン
12 検出部
13 ドナー基板
14 離型層
15 電極膜
16 測定器
120 カソード電極
121 アノード電極
150A,150B 電極パターン群
151 電極パターン
2 下側基板
3 上側基板
3A パターン層
3B パターン層
3a〜3d 入口
4 樹脂モールド
4a 短辺流路
4b 長辺流路
4c 合流部
11A,11B 配線パターン
12 検出部
13 ドナー基板
14 離型層
15 電極膜
16 測定器
120 カソード電極
121 アノード電極
150A,150B 電極パターン群
151 電極パターン
Claims (5)
- 流路が形成された流路構造体と、
前記流路の壁面に形成された第1及び第2の配線パターンと、
前記第1及び第2の配線パターンにそれぞれ接続され、前記壁面に対向する前記流路の壁面に向かうように設けられた複数の第1及び第2の電極とを備えたマイクロ流体装置。 - 前記第1及び第2の配線パターンは、互いに対向する前記壁面に形成された請求項1に記載のマイクロ流体装置。
- 前記複数の第1及び第2の電極は、2次元状に設けられた請求項1に記載のマイクロ流体装置。
- 前記複数の第1及び第2の電極は、複数の薄膜を積層して形成された請求項1に記載のマイクロ流体装置。
- 柱上の複数の第1及び第2の電極がそれぞれ形成される第1及び第2の配線パターンがそれぞれ形成された第1及び第2の板部材を準備し、
基板上に形成された薄膜部材をパターンニングすることにより、前記複数の第1及び第2の電極の断面パターンに対応する複数の薄膜パターンを形成し、
前記第1及び第2の板部材と前記複数の薄膜パターンとの接合面を洗浄化し、
洗浄化された前記第1及び第2の板部材に洗浄化された前記複数の薄膜パターンを直接接触されることにより前記複数の薄膜パターンを接合し、
前記複数の薄膜パターンが接合された前記第1及び第2の板部材の間に、流路用の貫通穴を有する第3の板部材を積層したマイクロ流体装置の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2015025424A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | 株式会社朝日Fr研究所 | マイクロ化学チップ及び反応装置 |
JPWO2015025424A1 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-03-02 | 株式会社朝日Fr研究所 | マイクロ化学チップ及び反応装置 |
WO2023017634A1 (ja) * | 2021-08-11 | 2023-02-16 | 株式会社アドバンテスト | 生乳測定器およびその製造方法 |
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