JP2009115151A - Valve device - Google Patents

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Keiji Katano
圭二 片野
Takashi Tamura
孝 田村
Takashi Ando
孝 安藤
Naotaka Shoshita
直孝 庄下
Kiyohiko Osada
清彦 長田
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Icomes Lab Co Ltd
Mirapro Co Ltd
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Icomes Lab Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a valve device that can be compactly configured and executes communication between each discharge-side flow path and an inlet-side flow path in a short period of time while allowing arrangement of a large number of discharge-side flow paths. <P>SOLUTION: The valve device has a plurality of nozzles 4A, 4B, which are protrudingly provided on one face of a substrate 3 while penetrating through the substrate 3 so as to correspond to any one of a plurality of discharge-side flow paths and to be arrayed in the circumferential direction of the substrate 3, a freely rotatable nozzle-switching plate 14, which is brought into pressure contact with the rear face 3C of the face 3B, where the nozzles 4A, 4B of the substrate 3 protrude in order to selectively cover an opening 5 of each nozzle 4 formed in the substrate 3 while being made to communicate with an inlet-side flow path 32, and a drive means 10 that rotationally drives the nozzle-switching plate 14 so that the inlet-side flow path 32 communicates with a specific discharge-side flow path. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、バルブ装置に係り、特に、複数個の排出側流路を有するバルブ装置に関する。   The present invention relates to a valve device, and more particularly to a valve device having a plurality of discharge-side flow paths.

従来から、1個の吸入側流路と、この吸入側流路に選択的に連通される複数個の排出側流路とを有するバルブ装置は知られている(例えば、特許文献1参照)。このようなバルブ装置は、例えば、分析装置において、各排出側流路に連通する異なる試薬の充填された複数の容器を配設し、吸入側流路から、前記各試薬のうち選択された少なくとも1つの特定の試薬と反応する液体または気体を供給して、特定の排出側流路に導入し、この排出側流路と連通する容器中の試薬との反応結果を分析するようにすれば、特定の複数の試薬との反応状態を簡単に得ることができる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a valve device having a single suction side flow path and a plurality of discharge side flow paths that selectively communicate with the suction side flow path is known (for example, see Patent Document 1). Such a valve device, for example, in an analyzer, includes a plurality of containers filled with different reagents communicating with each discharge-side flow path, and at least selected from among the reagents from the suction-side flow path. If a liquid or gas that reacts with one specific reagent is supplied, introduced into a specific discharge-side flow path, and the reaction result with the reagent in the container communicating with this discharge-side flow path is analyzed, Reaction states with a plurality of specific reagents can be easily obtained.

特開2007−170521号公報JP 2007-170521 A

しかしながら、前述した特許文献1に記載のバルブ装置においては、複数の排出側流路が水平方向に1列に配列されていたため、排出側流路の数が増えると、バルブ装置の横方向寸法が大きくなるし、また、続けて吸入側流路に連通される2個の排出側流路の位置が大きく離れていると、吸入側流路との連通のために時間がかかるという問題点があった。したがって、排出側流路の数をあまり増やすことができないという問題点もあった。   However, in the valve device described in Patent Document 1 described above, since the plurality of discharge-side flow paths are arranged in a row in the horizontal direction, when the number of discharge-side flow paths increases, the lateral dimension of the valve device becomes larger. In addition, there is a problem in that it takes time to communicate with the suction side flow path if the positions of the two discharge side flow paths that are continuously communicated with the suction side flow path are far apart. It was. Therefore, there is a problem that the number of discharge side channels cannot be increased so much.

そこで、本発明は、コンパクトに構成でき、各排出側流路と吸入側流路との連通を短時間で行うことができ、しかも、多数の排出側流路を配設することができるバルブ装置を提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention can be configured in a compact manner, can perform communication between each discharge-side flow path and the suction-side flow path in a short time, and can provide a large number of discharge-side flow paths. Is intended to provide.

前述した目的を達成するため、本発明の請求項1に記載のバルブ装置の特徴は、1個の吸入側流路と、この吸入側流路に選択的に連通される複数個の排出側流路とを有するバルブ装置において、前記複数個の排出側流路のいずれかに対応するように基板の円周方向に配列されるように前記基板を貫通しこの基板の一面に突設されている複数個のノズルと、前記基板のノズルが突出する面の裏面に圧接され前記基板に形成された前記各ノズルの開口を選択的に被覆し、前記吸入側流路と連通されている回転自在なノズル切替板と、前記ノズル切替板を前記吸入側流路が特定の前記排出側流路と連通するように回転駆動する駆動手段とを有する点にある。   In order to achieve the above-mentioned object, the valve device according to claim 1 of the present invention is characterized by one suction side flow path and a plurality of discharge side flows selectively communicated with the suction side flow path. In the valve device having a passage, the substrate passes through the substrate so as to be arranged in the circumferential direction of the substrate so as to correspond to any of the plurality of discharge-side flow paths, and is protruded from one surface of the substrate. A plurality of nozzles, and a back surface of a surface from which the nozzles of the substrate protrude, are selectively pressed to cover the openings of the nozzles formed in the substrate, and communicated with the suction side flow path. It has a nozzle switching plate and driving means for driving the nozzle switching plate to rotate so that the suction side flow path communicates with the specific discharge side flow path.

そして、このような構成を採用したことにより、円周状に配列したノズルを効率よくノズル切替板が被覆して吸入側流路との連通をはかることができる。   By adopting such a configuration, the nozzle switching plate can be efficiently covered with the circumferentially arranged nozzles so as to communicate with the suction side flow path.

本発明の請求項2に記載のバルブ装置の特徴は、前記複数個のノズルが、前記基板の半径方向に間隔を隔てて複数列形成されており、各列におけるノズルは相互に円周方向にずれている点にある。   The valve device according to a second aspect of the present invention is characterized in that the plurality of nozzles are formed in a plurality of rows at intervals in the radial direction of the substrate, and the nozzles in each row are in a circumferential direction. It is in the point which has shifted.

そして、このような構成を採用したことにより、複数列にわたって多数のノズルを配設することができる。   And by employ | adopting such a structure, many nozzles can be arrange | positioned over several rows.

本発明の請求項3に記載のバルブ装置の特徴は、前記ノズル切替板が、弾性部材により前記基板に押圧されている点にある。   The valve device according to claim 3 of the present invention is that the nozzle switching plate is pressed against the substrate by an elastic member.

そして、このような構成を採用したことにより、基板およびノズル切替板間を気密あるいは液密に維持することができる。   And by adopting such a configuration, the space between the substrate and the nozzle switching plate can be kept airtight or liquid tight.

本発明の請求項3に記載のバルブ装置の特徴は、前記駆動手段が、ステッピングモータと、このステッピングモータの駆動を減速する減速機とにより構成されている点にある。   The valve device according to claim 3 of the present invention is characterized in that the drive means includes a stepping motor and a speed reducer that decelerates the drive of the stepping motor.

そして、このような構成を採用したことにより、切替板をステッピングモータの駆動により微小角度単位回動させ、所望のノズルに良好に対向させることができる。   By adopting such a configuration, the switching plate can be rotated by a minute angle unit by driving the stepping motor, and can be favorably opposed to a desired nozzle.

本発明のバルブ装置によれば、各排出側流路に対向するノズルのうち所望のものと吸入側流路との連通をノズル切替板の回動により迅速に行うことができる。   According to the valve device of the present invention, communication between a desired nozzle among the nozzles facing each discharge-side flow path and the suction-side flow path can be quickly performed by turning the nozzle switching plate.

図1ないし図3は、本発明に係るバルブ装置の全体を示すものであり、本発明に係るバルブ装置1は、鉛直面内に位置するほぼ平板状の基板3を一端部に備えているほぼ長方形状の基台2を有しており、この基台2は、図示しない部材上に載置されている。   1 to 3 show an entire valve device according to the present invention. The valve device 1 according to the present invention is provided with a substantially flat substrate 3 located in a vertical plane at one end. A rectangular base 2 is provided, and the base 2 is placed on a member (not shown).

前記基板3は、図2に詳示するように、前記基台2との接続部である下端部を除いて円弧状の外周面3Aを有しており、この基板3には、基板3の円周方向に配列されるように基板3を貫通し、この基板3の一方の表面3Bから突出するように突設されている8個×2列のノズル4A1,4A2…4A8,4B1,4B2…4B8を有している。これらの2列のノズル4A,4Bのうちノズル4A1,4A2…4A8は、基板3の中心から同一の半径に位置している。また、前記ノズル4B1,4B2…4B8もまた、基板3の中心から同一の半径に位置している。したがって、前記基板3の表面3Cには、各ノズル4の開口5が位置することになる。   As shown in detail in FIG. 2, the substrate 3 has an arc-shaped outer peripheral surface 3 </ b> A except for a lower end portion that is a connection portion with the base 2, and the substrate 3 includes the substrate 3. 8 × 2 rows of nozzles 4A1, 4A2,... 4A8, 4B1, 4B2,..., Which pass through the substrate 3 so as to be arranged in the circumferential direction and project from one surface 3B of the substrate 3. 4B8. Of these two rows of nozzles 4A, 4B, nozzles 4A1, 4A2,... 4A8 are located at the same radius from the center of the substrate 3. The nozzles 4B1, 4B2,... 4B8 are also located at the same radius from the center of the substrate 3. Accordingly, the opening 5 of each nozzle 4 is located on the surface 3C of the substrate 3.

そして、前記各ノズル4Aの方が前記各ノズル4Bより基板3の中心からの寸法が大きい位置に配設されている。また、前記各ノズル4A,4Bは、前記基板3の円周方向における位置を相互に異にしている。   The nozzles 4A are arranged at positions where the dimensions from the center of the substrate 3 are larger than the nozzles 4B. The nozzles 4A and 4B have different positions in the circumferential direction of the substrate 3.

なお、前記ノズル4A,4Bは、1列あるいは3列以上としてもよいし、また、各列のノズル4A,4Bの数も適宜選択することができる。また、前記各ノズル4A,4Bは、対応する図示しない排出側流路とそれぞれ接続されている。   The nozzles 4A and 4B may be one row or three or more rows, and the number of nozzles 4A and 4B in each row can be selected as appropriate. Each of the nozzles 4A and 4B is connected to a corresponding discharge-side flow path (not shown).

前記基台2には、図2に詳示するように、前記基板3と間隔を置くようにして保持板6が立設されており、この保持板6の上端部には、開口7が形成されており、この開口7内に後述する回転自在な駆動軸9が挿通されるようになっている。また、前記駆動軸9のハウジング9Aがねじ8,8により前記保持板6に固定されている。   As shown in detail in FIG. 2, a holding plate 6 is erected on the base 2 so as to be spaced from the substrate 3, and an opening 7 is formed at the upper end of the holding plate 6. A rotatable drive shaft 9 described later is inserted into the opening 7. The housing 9A of the drive shaft 9 is fixed to the holding plate 6 by screws 8 and 8.

前記駆動軸9の基端側は、遊星歯車機構を備えた減速機10を介して駆動手段であるステッピングモータ11の出力軸11Aに接続されており、このステッピングモータ11の正逆いずれかの方向の駆動により回転されるようになっている。また、前記駆動軸9の先端側には、固定板12が駆動軸9と一体回動可能に嵌着されている。   The base end side of the drive shaft 9 is connected to an output shaft 11A of a stepping motor 11 which is a driving means via a speed reducer 10 having a planetary gear mechanism. It is rotated by driving. Further, a fixed plate 12 is fitted on the front end side of the drive shaft 9 so as to be rotatable together with the drive shaft 9.

前記基板3の前記各ノズル4A,4Bが突設されている表面3Bと反対側の表面3Cの中心部には、円柱状をなすガイド突起13が前記駆動軸9の方向に突出するように駆動軸9と同軸的に突設されている。また、前記基板3と前記固定板12との間には、ノズル切替板14が介装されている。   A guide protrusion 13 having a columnar shape is driven so as to protrude in the direction of the drive shaft 9 at the center of the surface 3C opposite to the surface 3B on which the nozzles 4A and 4B of the substrate 3 project. It protrudes coaxially with the shaft 9. A nozzle switching plate 14 is interposed between the substrate 3 and the fixed plate 12.

前記ノズル切替板14の中心部には、前記固定板12の方向に突出し、前記固定板12の表面12Aに当接するボス15が突設されている。このボス15の内径は前記ガイド突起13の外径とほぼ等しくされており、このボス15は、前記ガイド突起13に対し回転しうるように嵌合されている。   A boss 15 that protrudes in the direction of the fixed plate 12 and abuts against the surface 12A of the fixed plate 12 protrudes from the central portion of the nozzle switching plate 14. The inner diameter of the boss 15 is substantially equal to the outer diameter of the guide protrusion 13, and the boss 15 is fitted to the guide protrusion 13 so as to be rotatable.

また、前記固定板12の前記表面12Aには、他の表面12B側に突出する凹部16が形成されており、この凹部16には、前記ノズル切替板14に突設された突起17が密に嵌合され、前記固定板12と前記ノズル切替板14とが一体に回動されるようになっている。   Further, the surface 12A of the fixed plate 12 is formed with a recess 16 that protrudes toward the other surface 12B. In the recess 16, a projection 17 that protrudes from the nozzle switching plate 14 is densely formed. The fixed plate 12 and the nozzle switching plate 14 are integrally rotated by being fitted.

前記バルブ装置1の近傍には、図4に示すように、このバルブ装置1に所望の気体あるいは液体を供給するためのモータポンプ30が配設されており、このモータポンプ30の吐出側管路31には、樹脂のような材料により形成され、可撓性を有し、捩り可能とされている吸入側流路32が装着されている。   As shown in FIG. 4, a motor pump 30 for supplying a desired gas or liquid to the valve device 1 is disposed in the vicinity of the valve device 1, and a discharge side pipe line of the motor pump 30 is provided. 31 is provided with a suction-side flow path 32 that is made of a material such as resin, has flexibility, and is twistable.

前記固定板12には、図2に詳示するように、前記吸入側流路32が挿通される開口18が形成されており、この開口18を介して前記吸入側流路32は、前記ノズル切替板14に臨むようになっている。   As shown in detail in FIG. 2, the fixing plate 12 is formed with an opening 18 through which the suction side flow path 32 is inserted, and the suction side flow path 32 is connected to the nozzle through the opening 18. It faces the switching plate 14.

一方、前記吸入側流路32に対向する部位の前記ノズル切替板14には、前記吸入側流路32に対向する突起19が形成されており、この突起19内には、前記吸入側流路32に連通する流路20が形成されている。そして、前記吸入側流路32と前記突起19とは、前記流路20が前記吸入側流路32と連通されるようにして接続されている。また、前記流路20内には、この流路20を前記ノズル4A,4Bのいずれか1個と連通するためのポート21が形成されている。このポート21は、外側のノズル4Aおよび内側のノズル4Bといずれも連通しうるようになっているが、外側のノズル4Aと内側のノズル4Bは基板の円周方向における位置が異なるため、常に1個のみのノズル4と連通しうるようになっている。   On the other hand, a projection 19 that faces the suction side flow path 32 is formed on the nozzle switching plate 14 at a portion that faces the suction side flow path 32, and the suction side flow path 32 is formed in the projection 19. A flow path 20 communicating with 32 is formed. The suction side flow path 32 and the protrusion 19 are connected so that the flow path 20 communicates with the suction side flow path 32. Further, a port 21 is formed in the flow path 20 for communicating the flow path 20 with one of the nozzles 4A and 4B. The port 21 can communicate with both the outer nozzle 4A and the inner nozzle 4B. However, the outer nozzle 4A and the inner nozzle 4B have different positions in the circumferential direction of the substrate. It can communicate with only one nozzle 4.

さらに前記突起19の外周には、この突起19と間隔を隔てて圧縮状態とされたコイルばね22が、両端を前記固定板12と前記ノズル切替板14とに圧接するようにして配設されており、このコイルばね22により前記ノズル切替板14が前記基板3に圧接され、前記ポート21から液体または気体が漏洩するのを防止するようになっている。   Further, a coil spring 22 which is compressed with a space from the protrusion 19 is disposed on the outer periphery of the protrusion 19 so that both ends thereof are pressed against the fixing plate 12 and the nozzle switching plate 14. The nozzle switching plate 14 is pressed against the substrate 3 by the coil spring 22 to prevent liquid or gas from leaking from the port 21.

前記基板3の下端部には、図1に詳示するように、前記固定板12および前記ノズル切替板14の原点位置を検出するための原点センサ23が配設されている。一方、前記固定板12には、前記原点センサ23により検出される被検出体24が配設されている。そして、前記原点センサ23が被検出体24を検出することにより、前記固定板12および前記ノズル切替板14の位置が検出されるようになっている。   As shown in detail in FIG. 1, an origin sensor 23 for detecting the origin positions of the fixed plate 12 and the nozzle switching plate 14 is disposed at the lower end of the substrate 3. On the other hand, a detection object 24 detected by the origin sensor 23 is disposed on the fixed plate 12. Then, the origin sensor 23 detects the detected object 24 so that the positions of the fixed plate 12 and the nozzle switching plate 14 are detected.

また、図2に示すように、前記原点センサ23は、前記バルブ装置1およびモータポンプ30の制御をつかさどるCPUのような制御手段25と接続されている。   As shown in FIG. 2, the origin sensor 23 is connected to a control means 25 such as a CPU that controls the valve device 1 and the motor pump 30.

つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having the above-described configuration will be described.

まず、制御手段25からの制御信号により原点センサ23が被検出体24を検出して前記固定板12および前記ノズル切替板14の原点からの位置すなわち回転角度を検出する。そして、吸入側流路32を連通すべきノズル4を設定すると、ステッピングモータ11が所定のステップ数だけ駆動して、所望のノズル4とポート21とが対向するまで、前記固定板12および前記ノズル切替板14を回動させる。このとき、吸入側流路32は捩れるが、この吸入側流路32は捩れ可能な材料により形成されているので問題ない。   First, the origin sensor 23 detects the detected object 24 based on a control signal from the control means 25 and detects the positions of the fixed plate 12 and the nozzle switching plate 14 from the origin, that is, the rotation angle. Then, when the nozzle 4 to be communicated with the suction side flow path 32 is set, the fixed plate 12 and the nozzle are driven until the stepping motor 11 is driven by a predetermined number of steps until the desired nozzle 4 and the port 21 face each other. The switching plate 14 is rotated. At this time, the suction side channel 32 is twisted, but there is no problem because the suction side channel 32 is formed of a twistable material.

そして、所望のノズル4とポート21とが対向したら、ステッピングモータ11の駆動を停止したうえで、モータポンプ30を駆動して、モータポンプ30の吐出側管路31から吸入側流路32に流体(液体または気体)を供給する。すると、この吸入側流路32が、ノズル切替板14の突起19の流路20およびポート21を介して特定のノズル4と連通されているので、このノズル4に流体が供給される。その後、この流体は、このノズル4から対応する排出側流路を介して、特定の容器(図示せず)に供給される。   When the desired nozzle 4 and the port 21 face each other, the driving of the stepping motor 11 is stopped, and then the motor pump 30 is driven so that the fluid flows from the discharge side pipe 31 to the suction side flow path 32 of the motor pump 30. (Liquid or gas) is supplied. Then, since the suction side flow path 32 communicates with the specific nozzle 4 via the flow path 20 and the port 21 of the projection 19 of the nozzle switching plate 14, fluid is supplied to the nozzle 4. Thereafter, the fluid is supplied from the nozzle 4 to a specific container (not shown) through a corresponding discharge side channel.

このようにして、所定量の流体が、特定のノズル4から対応する排出側流路を介して、特定の容器(図示せず)に供給されたら、モータポンプ30の駆動を停止して、特定の容器への流体の供給を停止し、つぎに流体を供給すべき所望のノズル4をポート21と対向するように、再度ステッピングモータ11を所定のステップ数だけ駆動する。   In this way, when a predetermined amount of fluid is supplied from a specific nozzle 4 to a specific container (not shown) via a corresponding discharge side flow path, the driving of the motor pump 30 is stopped and specified. Next, the stepping motor 11 is again driven by a predetermined number of steps so that the desired nozzle 4 to which the fluid is to be supplied faces the port 21.

このようにして、順次複数の容器に対する流体の供給を行うことができる。   In this way, fluid can be sequentially supplied to a plurality of containers.

以上説明したように、本実施形態のバルブ装置1によれば、基板3に、2列にわたって円周上に複数個のノズル4が配設されているので、コンパクトに構成できるし、また、所望のノズル4をポート21と対向するように固定板12およびノズル切替板14を回動させる距離が小さく、短い時間で簡単に所望のノズル4をポート21と対向させることができる。さらに、円周方向に複数列のノズルを配設することにより、多数のノズルを設けることができる。   As described above, according to the valve device 1 of the present embodiment, a plurality of nozzles 4 are arranged on the circumference of the substrate 3 over two rows. The distance by which the fixed plate 12 and the nozzle switching plate 14 are rotated so that the nozzle 4 faces the port 21 is small, and the desired nozzle 4 can easily face the port 21 in a short time. Furthermore, a large number of nozzles can be provided by arranging a plurality of nozzles in the circumferential direction.

なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change is possible as needed.

例えば、粒状の香りの素を封入した複数のカートリッジをカートリッジごとの香りの素を異ならせるようにして用意し、各カートリッジを各ノズル4に接続される各排出側流路に接続し、各カートリッジに対応するノズル4の1つに吸入側流路32が連通するまでステッピングモータ11を駆動してモータポンプ30からノズル4および排出側流路を介してカートリッジに香りの素を溶融させる溶剤を注入することにより、カートリッジ内において香りの液が形成されることになる。そこで、溶剤を注入するカートリッジを順次吸入側流路32に対向させて行くことにより異なる香りの液を形成することができる。   For example, a plurality of cartridges each enclosing a granular scent element are prepared so that each scent element is different for each cartridge, and each cartridge is connected to each discharge-side flow path connected to each nozzle 4. The stepping motor 11 is driven until the suction side flow path 32 communicates with one of the nozzles 4 corresponding to the above, and a solvent that melts the scent element is injected from the motor pump 30 into the cartridge through the nozzle 4 and the discharge side flow path. By doing so, a scented liquid is formed in the cartridge. Therefore, different scented liquids can be formed by sequentially causing the cartridges for injecting the solvent to face the suction side flow path 32.

本発明に係るバルブ装置の実施形態を示す斜視図The perspective view which shows embodiment of the valve apparatus which concerns on this invention 図1の縦断面図1 is a longitudinal sectional view of FIG. 図1と別方向からの斜視図1 is a perspective view from another direction. 図1のバルブ装置に流体を供給するモータポンプを付加して示す斜視図1 is a perspective view showing a motor pump for supplying fluid to the valve device of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 バルブ装置
2 基台
3 基板
4,4A,4B ノズル
6 保持板
9 駆動軸
10 減速機構
11 ステッピングモータ
11A 出力軸
12 固定板
14 ノズル切替板
19 突起
20 流路
21 ポート
22 コイルばね
23 原点センサ
24 被検出体
25 制御手段
30 モータポンプ
31 吐出側管路
32 吸入側流路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Valve apparatus 2 Base 3 Board | substrate 4,4A, 4B Nozzle 6 Holding plate 9 Drive shaft 10 Deceleration mechanism 11 Stepping motor 11A Output shaft 12 Fixing plate 14 Nozzle switching plate 19 Protrusion 20 Flow path 21 Port 22 Coil spring 23 Origin sensor 24 Object 25 Control means 30 Motor pump 31 Discharge side pipe 32 Suction side flow path

Claims (4)

1個の吸入側流路と、この吸入側流路に選択的に連通される複数個の排出側流路とを有するバルブ装置において、
前記複数個の排出側流路のいずれかに対応するように基板の円周方向に配列されるように前記基板を貫通しこの基板の一面に突設されている複数個のノズルと、
前記基板のノズルが突出する面の裏面に圧接され前記基板に形成された前記各ノズルの開口を選択的に被覆し、前記吸入側流路と連通されている回転自在なノズル切替板と、
前記ノズル切替板を前記吸入側流路が特定の前記排出側流路と連通するように回転駆動する駆動手段と
を有することを特徴とするバルブ装置。
In a valve device having one suction side flow path and a plurality of discharge side flow paths selectively communicated with the suction side flow path,
A plurality of nozzles penetrating the substrate so as to be arranged in the circumferential direction of the substrate so as to correspond to any of the plurality of discharge-side flow paths;
A rotatable nozzle switching plate that is in pressure contact with the back surface of the surface on which the nozzle of the substrate protrudes and selectively covers the opening of each nozzle formed on the substrate, and is in communication with the suction side flow path;
A valve device comprising: drive means for rotationally driving the nozzle switching plate so that the suction side flow path communicates with the specific discharge side flow path.
前記複数個のノズルは、前記基板の半径方向に間隔を隔てて複数列形成されており、各列におけるノズルは相互に円周方向にずれていることを特徴とする請求項1に記載のバルブ装置。 2. The valve according to claim 1, wherein the plurality of nozzles are formed in a plurality of rows at intervals in the radial direction of the substrate, and the nozzles in each row are displaced from each other in the circumferential direction. apparatus. 前記ノズル切替板は、弾性部材により前記基板に押圧されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のバルブ装置。 The valve device according to claim 1, wherein the nozzle switching plate is pressed against the substrate by an elastic member. 前記駆動手段は、ステッピングモータと、このステッピングモータの駆動を減速する減速機とにより構成されている請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のバルブ装置。 The valve device according to any one of claims 1 to 3, wherein the driving unit includes a stepping motor and a speed reducer that decelerates the driving of the stepping motor.
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JP2013080761A (en) * 2011-10-03 2013-05-02 Toshiba Corp Pressure control device

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