JP2009103936A - Light control mirror improved in durability - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light control mirror improved in durability with respect to the repetition of switching. <P>SOLUTION: The light control mirror is made transparent by being exposed into an atmosphere containing hydrogen and is made into a metal state by being exposed into an atmosphere containing oxygen. The light control mirror thin film material is characterized in that a light reflection switchable layer is formed on a transparent substrate, a catalyst layer is formed thereon and further, a protective film is applied thereon. As the protective film, metal alkoxide or Teflon (R) is applied on the catalyst layer. The light control mirror thin film material is improved in visible light transmittance in the transparent state and is provided with diffusivity of light in the transparent state by the application of the protective film. The light control mirror member comprises including the above light control mirror thin film material as a component. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、透明な状態と鏡の状態にスイッチングすることのできる光反射型調光ミラーに関するものであり、更に詳しくは、本発明は、窓ガラスから入射する太陽光をブラインドやカーテンなしで自動的にコントロールする調光ガラスに用いる新規調光ミラー薄膜材料及び該調光ミラー部材に関するものである。本発明は、建物や乗り物における太陽光の透過率を制御するための窓材料技術等として有用である耐久性を向上させた調光ミラーを提供するものである。   The present invention relates to a light-reflective dimming mirror that can be switched between a transparent state and a mirror state. More specifically, the present invention automatically applies sunlight incident from a window glass without a blind or a curtain. The present invention relates to a new light control mirror thin film material used for a light control glass to be controlled and the light control mirror member. The present invention provides a light control mirror with improved durability, which is useful as a window material technology for controlling the transmittance of sunlight in buildings and vehicles.

一般に、建物において窓(開口部)は大きな熱の出入り場所になっている。例えば、冬の暖房時の熱が窓から流失する割合は48%程度であり、夏の冷房時に窓から熱が入る割合は71%程度にも達する。したがって、窓における光・熱をうまくコントロールすることにより、膨大な省エネルギー効果を得ることができる。調光ガラスは、このような目的で開発されたものであり、光・熱の流入・流出をコントロールする機能を有している。   In general, windows (openings) in buildings are places where large heat enters and exits. For example, the rate at which heat is lost from the windows during winter heating is about 48%, and the rate at which heat enters from the windows during summer cooling is about 71%. Therefore, enormous energy saving effect can be obtained by controlling light and heat in the window. The light control glass has been developed for such a purpose and has a function of controlling inflow and outflow of light and heat.

このような調光ガラスの調光を行う方式には、いくつかの種類があるが、その中でも、1)電流・電圧の印加により可逆的に透過率の変化する材料を、エレクトロクロミック材料といい、また、2)雰囲気ガスの制御により透過率が変化する材料を、ガスクロミック(ガソクロミック)材料という。この中でも、調光層に酸化タングステン薄膜を用いたエレクトロクロミック調光ガラスの研究が最も進んでおり、現在、ほぼ実用化段階に達しており、市販品も出されている。   There are several types of light control methods for such light control glass. Among them, 1) a material whose transmittance is reversibly changed by application of current and voltage is called an electrochromic material. 2) A material whose transmittance is changed by controlling the atmospheric gas is referred to as a gas chromic material. Among them, research on electrochromic light control glass using a tungsten oxide thin film as a light control layer is most advanced, and it has almost reached the stage of practical use, and a commercial product is also available.

この酸化タングステンを初めとして、これまで知られているエレクトロクロミック調光ガラスは、すべて調光層で光を吸収することにより調光を行うことをその原理としている。この場合、この種の調光ガラスは、調光層が光を吸収することにより熱を持ち、それがまた室内に再放射されるため、省エネルギー効果が低くなってしまうという欠点を持っている。これをなくすためには、光を吸収することにより調光を行うのではなく、光を反射することにより調光を行う光反射型にする必要がある。つまり、鏡の状態と透明な状態が可逆的に変化するような特性を有する材料が望まれていた。   The electrochromic light control glass known so far, including this tungsten oxide, is based on the principle that light control is performed by absorbing light in the light control layer. In this case, this type of light control glass has the disadvantage that the light control layer has heat by absorbing light and is re-radiated indoors, so that the energy saving effect is reduced. In order to eliminate this, it is necessary not to perform light control by absorbing light, but to use a light reflection type that performs light control by reflecting light. That is, a material having such a property that the state of the mirror and the transparent state reversibly change has been desired.

このような、鏡の状態と透明な状態で変化する材料は長らく見つかっていなかったが、1996年にオランダの研究グループにより、イットリウムやランタンなどの希土類の水素化物が、水素により鏡の状態と透明な状態に変化することが発見され、このような材料が「調光ミラー」と命名された(非特許文献1)。これらの希土類水素化物は、透過率の変化が大きく、調光ミラー特性に優れている。しかし、この調光ミラーは、材料として希土類元素を用いるため、窓のコーティングなどに用いる場合、資源やコストに問題があった。   Such a material that changes between a mirror state and a transparent state has not been found for a long time, but in 1996, a Dutch research group found that rare earth hydrides such as yttrium and lanthanum became transparent with a mirror state by hydrogen. It has been discovered that such a material changes to a new state, and such a material has been named “light control mirror” (Non-patent Document 1). These rare earth hydrides have a large change in transmittance and are excellent in light control mirror characteristics. However, since this light control mirror uses rare earth elements as a material, there are problems in resources and costs when used for window coating and the like.

その後、希土類金属とマグネシウムの合金薄膜の水素化物(非特許文献2)や、マグネシウム・ニッケル合金の水素化物(非特許文献3)も調光ミラー特性を持つことが発見された。本発明者らのグループでは、マグネシウム・ニッケル合金の中でも、マグネシウム成分の多い、MgNix(0.1<x<0.3)が優れた光学特性を示すことを見出した(非特許文献4)。また、マグネシウム・チタン合金を用いると、透明時にほとんど完全に無色にできることを見出した。   Subsequently, it was discovered that rare earth metal and magnesium alloy thin film hydrides (Non-patent Document 2) and magnesium-nickel alloy hydrides (Non-patent Document 3) also have dimming mirror characteristics. In the group of the present inventors, it has been found that MgNix (0.1 <x <0.3), which has a large magnesium component among magnesium / nickel alloys, exhibits excellent optical properties (Non-patent Document 4). Further, it has been found that when a magnesium-titanium alloy is used, it can be almost completely colorless when transparent.

このように、これまで報告されている調光ミラー材料としては、イットリウムやランタン等の希土類金属の水素化物、希土類金属とマグネシウム合金薄膜の水素化物、及びマグネシウム・遷移金属合金の水素化物等があるが、この中で、資源やコストの観点から、窓ガラスのコーティングに適しているのはマグネシウム・ニッケル合金やマグネシウム・チタン合金を用いたものである。   Thus, the dimming mirror materials reported so far include hydrides of rare earth metals such as yttrium and lanthanum, hydrides of rare earth metal and magnesium alloy thin films, and hydrides of magnesium / transition metal alloys. However, among these, magnesium / nickel alloys and magnesium / titanium alloys are suitable for window glass coating from the viewpoint of resources and cost.

これらの調光ミラー薄膜材料は、いずれも水素を含む雰囲気に晒すと水素化によって透明化し、酸素を含む雰囲気に晒すと脱水素化によって金属状態に戻る。ただ、いずれの材料についても、はじめのうちは良好なスイッチング特性を示すものの、繰り返しに伴い、だんだんスイッチングしなくなるという劣化を示す。この調光ミラー材料の劣化は早く、どの材料を用いても、100回程度で劣化してしまうものがほとんどで、どのような応用に用いるにしても、繰り返しに対する耐久性が不十分であり、このことが実用化を阻む最大の障害になっていた。   Any of these light control mirror thin film materials becomes transparent by hydrogenation when exposed to an atmosphere containing hydrogen, and returns to a metal state by dehydrogenation when exposed to an atmosphere containing oxygen. However, although all materials show good switching characteristics at the beginning, they show deterioration that gradually stops switching with repetition. Deterioration of this light control mirror material is fast, and most of the materials will deteriorate in about 100 times regardless of which material is used. This was the biggest obstacle to practical use.

J.N.Huiberts,R.Griessen,J.H.Rector,R.J.Wijngaarden,J.P.Dekker,D.G.de Groot,N.J.Koeman,Nature,380(1996)231J. et al. N. Huberts, R.A. Griessen, J. et al. H. Rector, R.D. J. et al. Wijngaarden, J. et al. P. Dekker, D.M. G. de Groot, N.M. J. et al. Koeman, Nature, 380 (1996) 231 Nagengast D.G,van Gogh A.T.M,Kooij E.S,Dam B,Griessen R.Appl.Phys.Lett.,75(1999)2050Nagengast D.G. G, van Gogh A.G. T.A. M, Kooij E .; S, Dam B, Griessen R.M. Appl. Phys. Lett. , 75 (1999) 2050 T.J.Richardson,J.L.Slack,R.D.Armitage,R.Kostecki,B.Farangis,and M.D.Rubin,Appl.Phys.Lett.,78(2001)3047T.A. J. et al. Richardson, J. et al. L. Slack, R.M. D. Armitage, R.M. Kostecki, B.M. Farangis, and M.M. D. Rubin, Appl. Phys. Lett. , 78 (2001) 3047 K.Yoshimura,Y.Yamada and M.Okada:Appl.Phys.Lett.,81(2002)4709K. Yoshimura, Y. et al. Yamada and M.M. Okada: Appl. Phys. Lett. , 81 (2002) 4709

このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、スイッチングの繰り返しに対する耐久性を向上させ調光ミラー材料を開発することを目標として、その耐久性の向上に取り組み、研究を重ねた結果、調光ミラー薄膜の表面に、保護膜を形成することで、スイッチングの繰り返しに対する耐久性を飛躍的に高めることができることを見出し、更に、この保護膜の形成により、透明状態における可視光の透過率を向上させることができることも見出し、本発明を完成するに至った。   In such a situation, the present inventors, in view of the above-mentioned prior art, with the goal of improving the durability against repeated switching and developing a dimming mirror material, working on improving the durability, As a result of repeated research, it was found that by forming a protective film on the surface of the dimming mirror thin film, it was possible to dramatically improve the durability against repeated switching. It has also been found that the transmittance of visible light can be improved, and the present invention has been completed.

本発明は、調光ミラー薄膜材料の表面に簡便な方法により保護膜を形成することで、スイッチングの繰り返しに対する耐久性を向上させた調光ミラーを提供することを目的としている。また、本発明は、この保護膜の形成により、透明化した状態での可視光の透過率を高めた調光ミラーを提供することも目的としている。   An object of the present invention is to provide a dimming mirror having improved durability against repeated switching by forming a protective film on the surface of the dimming mirror thin film material by a simple method. Another object of the present invention is to provide a dimming mirror having a visible light transmittance increased in a transparent state by the formation of the protective film.

上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
(1)水素を含む雰囲気に晒すことにより透明化し、酸素を含む雰囲気に晒すことにより金属状態になる光反射型調光ミラーにおいて、透明な基材の上に形成された反射調光層と、その上に形成された触媒層とを有し、更にその上に形成された保護膜を有してなることを特徴とする調光ミラー薄膜材料。
(2)反射調光層が、希土類金属、希土類金属とマグネシウムの合金、マグネシウムと遷移金属の合金のいずれかの薄膜である、前記(1)に記載の調光ミラー薄膜材料。
(3)上記薄膜の表面に、触媒層として、0.5nm−100nmのパラジウムもしくは白金がコートされている、前記(1)に記載の調光ミラー薄膜材料。
(4)反射調光層と触媒層の間に、薄い金属膜のバッファ層を有する、前記(1)に記載の調光ミラー薄膜材料。
(5)上記保護膜として、触媒層の上に、金属アルコキシドもしくはテフロンが塗布されている、前記(1)に記載の調光ミラー薄膜材料。
(6)上記保護膜により、透明状態における可視光透過率を向上させた、前記(1)に記載の調光ミラー薄膜材料。
(7)上記保護膜により、透明状態において光の拡散性を持たせた、前記(1)の調光ミラー薄膜材料。
(8)前記(1)から(7)のいずれかに記載の調光ミラー薄膜材料を構成要素として含むことを特徴とする調光ミラー部材。
The present invention for solving the above-described problems comprises the following technical means.
(1) In a light-reflective dimming mirror that becomes transparent by being exposed to an atmosphere containing hydrogen and becomes a metal state by being exposed to an atmosphere containing oxygen, a reflective dimming layer formed on a transparent substrate; A light control mirror thin film material comprising: a catalyst layer formed thereon; and a protective film formed thereon.
(2) The light control mirror thin film material according to (1), wherein the reflective light control layer is a thin film of any one of a rare earth metal, an alloy of rare earth metal and magnesium, and an alloy of magnesium and transition metal.
(3) The light control mirror thin film material according to (1), wherein the surface of the thin film is coated with 0.5 to 100 nm of palladium or platinum as a catalyst layer.
(4) The light control mirror thin film material according to (1) above, which has a thin metal film buffer layer between the reflective light control layer and the catalyst layer.
(5) The light control mirror thin film material according to (1), wherein a metal alkoxide or Teflon is applied on the catalyst layer as the protective film.
(6) The light control mirror thin film material according to (1), wherein the visible light transmittance in a transparent state is improved by the protective film.
(7) The light control mirror thin film material according to (1), wherein the protective film provides light diffusibility in a transparent state.
(8) A light control mirror member comprising the light control mirror thin film material according to any one of (1) to (7) as a constituent element.

次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、調光ミラー薄膜材料であって、水素を含む雰囲気に晒すことにより透明化し、酸素を含む雰囲気に晒すことにより金属状態になる調光ミラーであって、透明な基材の上に反射調光層、その上に触媒層が形成されており、更にその上に保護膜が塗布、形成されていることを特徴とするものである。
Next, the present invention will be described in more detail.
The present invention is a dimming mirror thin film material, which is a dimming mirror that becomes transparent when exposed to an atmosphere containing hydrogen and becomes a metal state when exposed to an atmosphere containing oxygen, on a transparent substrate. A reflection light control layer, a catalyst layer is formed thereon, and a protective film is further applied and formed thereon.

本発明では、反射調光層が、希土類金属、希土類金属とマグネシウムの合金、マグネシウムと遷移金属の合金のいずれかの薄膜であること、上記薄膜の表面に、触媒層として、0.5nm−100nmのパラジウムもしくは白金がコートされていること、上記保護膜として、触媒層の上に、金属アルコキシドもしくはテフロン(登録商標)が塗布されていること、を好ましい実施の態様としている。   In the present invention, the reflective dimming layer is a thin film of any one of a rare earth metal, an alloy of rare earth metal and magnesium, an alloy of magnesium and transition metal, and 0.5 nm-100 nm as a catalyst layer on the surface of the thin film. In the preferred embodiment, palladium or platinum is coated and a metal alkoxide or Teflon (registered trademark) is applied on the catalyst layer as the protective film.

また、本発明では、反射調光層と触媒層の間に、薄い金属膜のバッファ層を有すること、上記保護膜により、透明状態における可視光透過率を向上させたこと、上記保護膜により、透明状態において光の拡散性を持たせたこと、が好ましく、更に、本発明は、上記の調光ミラー薄膜材料を構成要素として含む調光ミラー部材の点に特徴を有するものである。   Further, in the present invention, having a thin metal film buffer layer between the reflection light control layer and the catalyst layer, the protective film has improved the visible light transmittance in a transparent state, the protective film, It is preferable to have light diffusibility in a transparent state, and the present invention is characterized in that the light control mirror member includes the light control mirror thin film material as a constituent element.

本発明は、調光ミラー(Switchable Mirror)の保護膜コーティングに関するものである。調光ミラーは、透明な状態と鏡の状態(金属状態)、もしくはその中間状態に、スイッチングすることのできる材料であり、透明な基材の上に、イットリウムやランタン等の希土類薄膜(特表平10―503858号公報)、希土類金属とマグネシウム合金薄膜(特表平11―514759号公報)、マグネシウムと遷移金属の合金薄膜(米国特許第2002/0044717A1)、もしくはマグネシウム薄膜(特開2003−261356号公報、特開2003−335553号公報)を蒸着したものである。   The present invention relates to a protective film coating of a dimming mirror (Switchable Mirror). The light control mirror is a material that can be switched between a transparent state and a mirror state (metal state) or an intermediate state thereof. A rare earth thin film (special table) such as yttrium or lanthanum is formed on a transparent substrate. No. 10-503858), rare earth metal and magnesium alloy thin film (Japanese Patent Publication No. 11-514759), magnesium and transition metal alloy thin film (US 2002 / 0044717A1), or magnesium thin film (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-261356). And JP-A-2003-335553) are vapor-deposited.

これらの材料の中でも、材料コストの安さや、優れた光学特性などから、MgNix(0.1<x<0.3)が調光ミラーに適した材料である。これらの調光薄膜層は、スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法(CVD)、めっき法等により作製することができる。しかし、これらの方法に制限されない。調光薄膜層の厚さは、10nmから300nmである。   Among these materials, MgNix (0.1 <x <0.3) is a suitable material for the light control mirror because of its low material cost and excellent optical characteristics. These light control thin film layers can be produced by sputtering, vacuum deposition, electron beam deposition, chemical vapor deposition (CVD), plating, or the like. However, it is not limited to these methods. The thickness of the light control thin film layer is 10 nm to 300 nm.

この調光薄膜層の上に触媒層が形成される。上記触媒層として、好適には、パラジウムもしくは白金が用いられる。しかし、これらに限定されるものではなく、これらと同効のものであれば同様に使用することができる。この触媒層は、好適には、上記マグネシウム薄膜の表面に0.5nm−10nmのパラジウムもしくは白金をコートして形成される。しかし、触媒層の形成方法及びその形態は特に制限されない。   A catalyst layer is formed on the light control thin film layer. As the catalyst layer, palladium or platinum is preferably used. However, it is not limited to these, and can be used similarly if they have the same effect. This catalyst layer is preferably formed by coating palladium or platinum of 0.5 nm to 10 nm on the surface of the magnesium thin film. However, the formation method and form of the catalyst layer are not particularly limited.

上記触媒層は、スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法(CVD)、めっき法等により作製することができる。しかし、これらの方法に制限されない。上記調光ミラー材料からなる調光層を基板の透明部材ないしガラス表面に形成することにより調光ミラー部材ないし調光ミラーガラスが得られる。この場合、基板としては、好適には、アクリル、プラスチック、透明シート、ガラスが例示される。しかし、これらに限らず、これらと同効のものであれば同様に使用することができる。   The catalyst layer can be produced by sputtering, vacuum vapor deposition, electron beam vapor deposition, chemical vapor deposition (CVD), plating, or the like. However, it is not limited to these methods. A light control mirror member or light control mirror glass is obtained by forming a light control layer made of the light control mirror material on the transparent member or glass surface of the substrate. In this case, the substrate is preferably exemplified by acrylic, plastic, transparent sheet, and glass. However, the present invention is not limited to these and can be used in the same manner as long as they have the same effect.

この調光ミラーは、水素を含んだ雰囲気に晒すことで水素化が起こり、金属状態から透明状態に変化する。また、水素を含まず酸素を含む雰囲気に晒すことで脱水素化が起こり、透明状態から金属状態に変化する。いずれの調光ミラー薄膜材料を用いた場合も、最初のうちは、良好なスイッチングを示し、大きな透過率変化を示すが、これを繰り返していくと劣化が起こり、だんだんと変化しなくなってしまう。その劣化の原因を調べた結果、ひとつは、スイッチングの繰り返しによりパラジウム層の下のマグネシウムが表面に析出してくることと、もう一つは、水素化・脱水素化の繰り返しに伴う薄膜の膨張・収縮の繰り返しにより薄膜が壊れてくることの二つの要因があることが分かった。   When this light control mirror is exposed to an atmosphere containing hydrogen, hydrogenation occurs and the metal mirror changes to a transparent state. In addition, dehydrogenation occurs by exposure to an atmosphere containing oxygen but not hydrogen, and changes from a transparent state to a metallic state. Whichever light control mirror thin film material is used, good switching is exhibited at first and a large change in transmittance is exhibited. However, when this is repeated, deterioration occurs and the change gradually stops. As a result of investigating the cause of the deterioration, one is that magnesium under the palladium layer is deposited on the surface by repeated switching, and the other is expansion of the thin film due to repeated hydrogenation and dehydrogenation. -It was found that there are two factors that cause the thin film to break due to repeated shrinkage.

前者のマグネシウムの表面への析出に関しては、パラジウム層とマグネシウム合金層の間に、バッファ層としてチタン等の薄い金属膜を挿入することが有効であることを見出した(特願2006−130939号)。ただし、バッファ層を挿入しても、膨張・収縮の影響でやはり劣化は起こるが、本発明者らは、パラジウムの表面に保護膜を塗布することで、その影響を抑え、スイッチングの繰り返しに対する耐久性を飛躍的に高めることができることを見出し、本発明に至った。   Regarding the former deposition on the surface of magnesium, it was found that it is effective to insert a thin metal film such as titanium as a buffer layer between the palladium layer and the magnesium alloy layer (Japanese Patent Application No. 2006-130939). . However, even if a buffer layer is inserted, degradation still occurs due to the effects of expansion and contraction. However, the present inventors applied a protective film on the surface of palladium to suppress the influence and tolerate repeated switching. The present inventors have found that the properties can be dramatically improved, and have reached the present invention.

調光ミラーの触媒層の上に、保護膜として金属アルコキシドもしくはテフロン(登録商標)を塗布すると、劣化を大幅に抑え、スイッチングに対する繰り返し寿命を延ばすことができる。これらの保護膜の塗布は、好適にはスピンコーティング法やディップコーティング法もしくはスパッタリングを用いて行うが、特にその手法には制約されない。金属アルコキシドとしては、チタン・アルコキシド、バナジウム・アルコキシド、アルミ・アルコキシド等が好適なものとして例示される。   When a metal alkoxide or Teflon (registered trademark) is applied as a protective film on the catalyst layer of the light control mirror, the deterioration can be greatly suppressed and the repeated life for switching can be extended. The application of these protective films is preferably performed using a spin coating method, a dip coating method, or sputtering, but the method is not particularly limited. Preferred examples of the metal alkoxide include titanium alkoxide, vanadium alkoxide, aluminum alkoxide and the like.

調光ミラーでは、透明時の可視光透過率は高い方が望ましいが、水素化状態になった薄膜も若干の吸収を持つため、比較的可視光透過率の高いMgNiを用いた場合でも、可視光の透過率は50%程度である。 In the dimming mirror, it is desirable that the visible light transmittance when transparent is high, but the thin film in a hydrogenated state also has some absorption, so even when Mg 6 Ni having a relatively high visible light transmittance is used. The transmittance of visible light is about 50%.

これに対して、保護膜として金属アルコキシドもしくはテフロン(登録商標)を塗布すると、透明状態における可視光の透過率が10%程度向上することが分かった。これは、多層薄膜の干渉効果により可視光領域における透過率が向上したものと考えられる。したがって、これらの保護膜の塗布により、耐久性が向上すると共に、透明状態における透過率が向上するという、二重のメリットが得られることになる。   On the other hand, it was found that when a metal alkoxide or Teflon (registered trademark) was applied as a protective film, the visible light transmittance in a transparent state was improved by about 10%. This is considered that the transmittance in the visible light region is improved by the interference effect of the multilayer thin film. Therefore, the application of these protective films provides a double merit that durability is improved and transmittance in a transparent state is improved.

ただ、建築物にこの調光ミラーを用いようとする場合、あまりにクリアな鏡状態になると、太陽等が反射してまぶしくなってしまうという問題点がある。これを解決するためには、反射状態において、光を散乱するようにすれば良い。このような拡散性の反射面を作ることで、反射状態のガラスは白っぽく見えるようになり、太陽光なども散乱されて、まぶしいという現象が抑えられる。本発明で保護膜として用いた材料の一つである金属アルコキシドを塗布すると、表面が光を拡散するようになり、より白みがかった拡散性になることが分かった。   However, when this dimming mirror is used in a building, there is a problem that the sun or the like is reflected and dazzled if the mirror is too clear. In order to solve this, light may be scattered in the reflection state. By creating such a diffusive reflective surface, the reflected glass appears whitish, and the phenomenon of dazzling sunlight and the like is suppressed. It has been found that when a metal alkoxide, which is one of the materials used as a protective film in the present invention, is applied, the surface diffuses light, resulting in a more whitish diffusivity.

本発明の調光ミラーガラスは、上記窓材料だけでなく、あらゆる種類の部材ないし物品にも広く用いることができる。それにより、例えば、プライバシー保護を目的とした遮蔽物や、鏡状態と透明状態に変わることを利用した装飾物及び玩具等に調光ミラー機能を付加することができる。本発明において、調光ミラー機能を有する物品とは、上記調光ミラーガラスを装着したあらゆる種類の物品を包含するものとして定義される。   The light control mirror glass of this invention can be widely used not only for the said window material but for all kinds of members or articles. Thereby, for example, a dimming mirror function can be added to a shielding object for the purpose of privacy protection, a decorative object using a change from a mirror state to a transparent state, a toy, and the like. In the present invention, an article having a light control mirror function is defined as including all kinds of goods equipped with the light control mirror glass.

本発明により、次のような効果が奏される。
(1)調光ミラーに保護膜を塗布することで、スイッチングに対する耐久性を大幅に向上させることができる。
(2)また、上記保護膜を塗布することで、調光ミラーの透明状態における透過率を高くすることができる。
(3)スイッチングの繰り返しに対する耐久性を飛躍的に高めると共に、透過率を高めた高耐久性調光ミラーを提供することができる。
(4)本発明により、保護膜の塗布により、耐久性の向上と、透明状態における透過率の向上という、二重の利点が得られる。
(5)また、上記保護膜の塗布により、透明状態において、光の拡散性を持たせることができる。
The present invention has the following effects.
(1) The durability against switching can be greatly improved by applying a protective film to the light control mirror.
(2) Moreover, the transmittance | permeability in the transparent state of a light control mirror can be made high by apply | coating the said protective film.
(3) It is possible to provide a highly durable dimming mirror that dramatically increases the durability against repeated switching and has an increased transmittance.
(4) According to the present invention, the application of the protective film provides the double advantage of improved durability and improved transmittance in a transparent state.
(5) Also, by applying the protective film, light diffusibility can be imparted in a transparent state.

次に、本発明を実施例に基づいて具休的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。   Next, the present invention will be described casually based on examples, but the present invention is not limited to the following examples.

本実施例では、調光ミラー薄膜材料の作製を行った。参照試料として、ガラス基板上に、バッファ層無しのものと、バッファ層を挿入したマグネシウム・ニッケル合金系調光ミラー薄膜を作製した。これらの成膜は、ターゲットとして、それぞれ、金属マグネシウム、金属ニッケル、金属チタン、それに金属パラジウムをセットした4連のマグネトロンスパッタ装置で行った。基板としては、大きさ30mm×30mm、厚さ1mmのガラス板を用い、これを洗浄後、真空装置の中にセットして真空排気を行った。   In this example, a light control mirror thin film material was produced. As reference samples, a glass substrate without a buffer layer and a magnesium / nickel alloy-based dimming mirror thin film in which the buffer layer was inserted were prepared. These films were formed by a quadruple magnetron sputtering apparatus in which metallic magnesium, metallic nickel, metallic titanium, and metallic palladium were set as targets. As a substrate, a glass plate having a size of 30 mm × 30 mm and a thickness of 1 mm was used. After cleaning this, it was set in a vacuum apparatus and evacuated.

成膜にあたっては、まず、マグネシウムとニッケルのターゲットを同時スパッタしてマグネシウム・ニッケル薄膜を作製した。スパッタ中のアルゴンガス圧は、0.8Paであり、直流スパッタ法によりマグネシウムに30W、ニッケルに11Wのパワーを加えてスパッタを行い、ほぼMgNiに近い組成を持つ合金薄膜を作製した。 In film formation, first, a magnesium / nickel thin film was produced by simultaneously sputtering a magnesium and nickel target. The argon gas pressure during sputtering was 0.8 Pa, and sputtering was performed by applying a power of 30 W to magnesium and 11 W to nickel by direct current sputtering to produce an alloy thin film having a composition almost similar to Mg 4 Ni.

一つの試料は、同じ真空条件下で、6Wのパワーを加えて、パラジウム薄膜の蒸着を行った。MgNi層の膜厚は約40nm、パラジウム層の厚さは約4nmである。もう一つの試料は、MgNiの成膜後、45Wのパワーを加えて、チタン薄膜の蒸着を行い、引き続き6Wのパワーを加えて、パラジウム薄膜の蒸着を行った。MgNi層の膜厚は約40nm、チタン層の厚さは約2nm、パラジウム層の厚さは約4nmである。 One sample was subjected to vapor deposition of a palladium thin film under the same vacuum condition by applying 6 W power. The thickness of the Mg 4 Ni layer is about 40 nm, and the thickness of the palladium layer is about 4 nm. As another sample, after depositing Mg 4 Ni, a 45 W power was applied to deposit a titanium thin film, and then a 6 W power was applied to deposit a palladium thin film. The thickness of the Mg 4 Ni layer is about 40 nm, the thickness of the titanium layer is about 2 nm, and the thickness of the palladium layer is about 4 nm.

これらの試料のスイッチング特性を図1(a)に示したような装置で評価を行った。ガラス上に作製したPd/MgNi薄膜が内側になるように、もう一枚のガラスとシリコンゴムのスペーサーを用いて張り合わせ、その間の空間にアルゴンで4%に希釈した水素ガスを流したり、止めたりすることによりスイッチングを行った。 The switching characteristics of these samples were evaluated using an apparatus as shown in FIG. The other glass and silicon rubber spacers are bonded together so that the Pd / Mg 4 Ni thin film produced on the glass is on the inside, and hydrogen gas diluted to 4% with argon flows in the space between them, Switching was performed by stopping.

蒸着直後のPd/MgNi薄膜(保護膜無し)は、金属光沢を用い、鏡の状態になっているが、水素ガスを流すと、数秒で透明な状態に変わる。水素ガスを止めると端面から空気が入ってきて2−3分で鏡の状態に戻る。このときの波長670nmにおける透過率の変化を、半導体レーザーとシリコンフォトダイオードを用いて測定した。図1(b)に、測定装置の写真を示す。 The Pd / Mg 4 Ni thin film (without protective film) immediately after deposition uses a metallic luster and is in a mirror state, but when a hydrogen gas is flowed, it changes to a transparent state in a few seconds. When hydrogen gas is stopped, air enters from the end face and returns to the mirror state in 2-3 minutes. The change in transmittance at a wavelength of 670 nm at this time was measured using a semiconductor laser and a silicon photodiode. FIG. 1B shows a photograph of the measuring device.

図2(a)と(b)に、この評価装置で測定した、バッファ層の無いPd/MgNi薄膜と、バッファ層を付けたPd/Ti/MgNi薄膜のスイッチングに関する耐久性をそれぞれ示す。バッファ層が無い場合には劣化が早く、スイッチングの繰り返しと共に変化幅がだんだんと小さくなり、170回程度で変化幅が非常に小さくなってしまう。これに対して、チタンのバッファ層を挿入したサンプルでは、300回程度までは全く劣化を示さないが、その後急激に劣化してしまう。 2 (a) and 2 (b) show the durability of switching between the Pd / Mg 4 Ni thin film without the buffer layer and the Pd / Ti / Mg 4 Ni thin film with the buffer layer, as measured by this evaluation apparatus. Show. When there is no buffer layer, the deterioration is quick, the change width gradually decreases with repeated switching, and the change width becomes very small after about 170 times. On the other hand, the sample in which the titanium buffer layer is inserted does not show any deterioration until about 300 times, but then deteriorates rapidly.

本実施例では、実施例1で作製した調光ミラー試料に保護膜を塗布した試料を作製した。すなわち、劣化を抑えるために、実施例1で作製した試料Pd/Ti/MgNiの表面にアルコキシドを塗布した試料を作製した。アルコキシド溶液として、Titanium tetraisopropoxideを1.5ml取り、50mlのベンゼンとトルエンの混合溶液(1:1)中に溶かし、体積濃度が3.0%になるようにしたものを用いた。 In this example, a sample in which a protective film was applied to the light control mirror sample produced in Example 1 was produced. That is, in order to suppress deterioration, a sample in which the alkoxide was applied to the surface of the sample Pd / Ti / Mg 4 Ni prepared in Example 1 was prepared. As the alkoxide solution, 1.5 ml of Titanium tetrapropoxide was taken and dissolved in 50 ml of a mixed solution of benzene and toluene (1: 1) so that the volume concentration was 3.0%.

この溶液を実施例1と同じ条件で作製したバッファ層を挿入したマグネシウム・ニッケル調光ミラー薄膜(Pd/Ti/MgNi)上にディップコーティング法により塗布した。試料を溶液中で2cm/minの速度で引き上げて空気中でゲル膜化した。このゲル膜を室温で2時間自然乾燥して後、更に、60℃で1時間乾燥して有機物などを除去した。 This solution was applied by dip coating on a magnesium / nickel light control mirror thin film (Pd / Ti / Mg 4 Ni) with a buffer layer prepared under the same conditions as in Example 1. The sample was pulled up at a rate of 2 cm / min in the solution to form a gel film in the air. The gel film was naturally dried at room temperature for 2 hours, and further dried at 60 ° C. for 1 hour to remove organic substances.

図2(c)に、この試料をスイッチングした場合の透過率の変化を示す。実施例1の保護膜が無い場合と比べ、スイッチングに対する耐久性が大幅に向上し、1700回あたりまでほとんど劣化が起こっていない。   FIG. 2C shows the change in transmittance when this sample is switched. Compared with the case where the protective film of Example 1 is not provided, the durability against switching is greatly improved, and almost no deterioration occurs until around 1700 times.

図3に示したのは、時間に対する光学透過率の変化を示したものであり、保護膜をつけた試料は、保護膜をつけていない試料と比べて、金属状態から透明状態への変化及び透明状態から金属状態への反応時間には大きな違いはなく、透明になった際の透過率は10%程度大きくなっていることが分かる。   FIG. 3 shows the change in optical transmittance with respect to time, and the sample with the protective film changes from the metallic state to the transparent state and the sample without the protective film. It can be seen that there is no significant difference in the reaction time from the transparent state to the metal state, and the transmittance when it becomes transparent is increased by about 10%.

このように、金属アルコキシドを用いた保護膜の塗布により、耐久性が向上すると共に、透明時の透過率が高くなる。図4は、保護膜をつけていない試料と、金属アルコキシドの保護膜をつけた試料の、金属状態における反射の様子を示したものである。保護膜の無い試料は、鏡に近い状態であり、手前のものをよく反射しているのに対し、保護膜を付けた試料では、表面の拡散により白っぽい状態になっていることが分かる。   Thus, the application of the protective film using the metal alkoxide improves the durability and increases the transmittance when transparent. FIG. 4 shows the state of reflection in a metal state between a sample without a protective film and a sample with a metal alkoxide protective film. It can be seen that the sample without the protective film is close to the mirror and reflects the near one well, whereas the sample with the protective film is whitish due to surface diffusion.

劣化を抑える材料として、テフロン(登録商標)をコーティングした例を示す。元になる試料は、実施例1で作製した試料Pd/Ti/MgNiと同じものを用い、その表面に、スパッタ装置を用いて、テフロン(登録商標)の薄膜をコーティングした。直径50mm、厚さ1mmのテフロン(登録商標)板を接着剤で銅基板上に固定して、ターゲットとして、アルゴンガスとCFガスを流量の比率10:1で0.73Paの圧力になるように導入し、約30Wでスパッタを行った。 An example in which Teflon (registered trademark) is coated as a material for suppressing deterioration will be described. The original sample was the same as the sample Pd / Ti / Mg 4 Ni produced in Example 1, and the surface was coated with a thin film of Teflon (registered trademark) using a sputtering apparatus. A Teflon (registered trademark) plate having a diameter of 50 mm and a thickness of 1 mm is fixed on a copper substrate with an adhesive, and argon gas and CF 4 gas are used as a target so that the pressure is 0.73 Pa at a flow ratio of 10: 1. Was sputtered at about 30 W.

40分間のスパッタで、約1μmの厚さのテフロン(登録商標)膜が得られた。図5に、このテフロン(登録商標)保護膜をコーティングした試料のスイッチングに関する耐久性を示す。保護膜の無い場合と比較して(図2の(a)と(b))、耐久性は、大幅に向上し、1500回程度までスイッチングできていることが分かる。   A Teflon (registered trademark) film having a thickness of about 1 μm was obtained by sputtering for 40 minutes. FIG. 5 shows durability regarding switching of a sample coated with the Teflon (registered trademark) protective film. Compared to the case without the protective film (FIGS. 2A and 2B), it can be seen that the durability is significantly improved and switching is possible up to about 1500 times.

以上詳述したように、本発明は、耐久性を向上させた調光ミラーに係るものであり、本発明により、調光ミラーに保護膜を塗布することで、その耐久性を大幅に改善すると共に、透明状態における透過率を向上させた調光ミラーを提供することができる。本発明により、上記保護膜の塗布により、透明状態における可視光透過率を向上させ、しかも光の拡散性を持たせた調光ミラーを提供することができる。本発明は、スイッチングの繰り返しに対する耐久性を飛躍的に向上させた調光ミラーを実現可能にした新技術、新製品を提供するものとして有用である。   As described above in detail, the present invention relates to a light control mirror with improved durability. By applying a protective film to the light control mirror according to the present invention, the durability is greatly improved. At the same time, it is possible to provide a light control mirror having improved transmittance in a transparent state. According to the present invention, it is possible to provide a light control mirror that improves the visible light transmittance in a transparent state and has light diffusibility by applying the protective film. INDUSTRIAL APPLICATION This invention is useful as what provides the new technique and new product which enabled realization of the light control mirror which improved the durability with respect to the repetition of switching dramatically.

図1は、調光ミラー特性評価装置の概略図を示す。(a)は模式図、(b)は写真、である。FIG. 1 is a schematic diagram of a dimming mirror characteristic evaluation apparatus. (A) is a schematic diagram, (b) is a photograph. 図2は、Mg−Ni調光ミラーのスイッチングに対する耐久性を示す。(a)はバッファ層無し、保護膜無し、(b)はバッファ層有り、保護膜無し、(c)はバッファ層有り、保護膜有り、である。FIG. 2 shows the durability against switching of the Mg—Ni dimming mirror. (A) No buffer layer, no protective film, (b) With a buffer layer, no protective film, (c) With a buffer layer, with a protective film. 図3は、保護膜の無い試料とアルコキシドの保護膜を塗布した試料のスイッチング特性を示す。FIG. 3 shows the switching characteristics of a sample without a protective film and a sample coated with an alkoxide protective film. 図4は、保護膜の無い試料(左)と、アルコキシドを保護膜として塗布した試料(右)の外観を示す。FIG. 4 shows the appearance of a sample without a protective film (left) and a sample coated with alkoxide as a protective film (right). 図5は、テフロン(登録商標)の保護膜をつけた試料のスイッチングに対する耐久性を示す。FIG. 5 shows the durability against switching of a sample with a Teflon (registered trademark) protective film.

Claims (8)

水素を含む雰囲気に晒すことにより透明化し、酸素を含む雰囲気に晒すことにより金属状態になる光反射型調光ミラーにおいて、透明な基材の上に形成された反射調光層と、その上に形成された触媒層とを有し、更にその上に形成された保護膜を有してなることを特徴とする調光ミラー薄膜材料。   In a light reflective dimming mirror that becomes transparent when exposed to an atmosphere containing hydrogen and becomes a metal state when exposed to an atmosphere containing oxygen, a reflective dimming layer formed on a transparent substrate, A light control mirror thin film material comprising: a formed catalyst layer; and a protective film formed thereon. 反射調光層が、希土類金属、希土類金属とマグネシウムの合金、マグネシウムと遷移金属の合金のいずれかの薄膜である、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, wherein the reflection light control layer is a thin film of any one of a rare earth metal, an alloy of rare earth metal and magnesium, and an alloy of magnesium and transition metal. 上記薄膜の表面に、触媒層として、0.5nm−100nmのパラジウムもしくは白金がコートされている、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, wherein the surface of the thin film is coated with 0.5 nm to 100 nm of palladium or platinum as a catalyst layer. 反射調光層と触媒層の間に、薄い金属膜のバッファ層を有する、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, further comprising a thin metal film buffer layer between the reflection light control layer and the catalyst layer. 上記保護膜として、触媒層の上に、金属アルコキシドもしくはテフロンが塗布されている、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, wherein a metal alkoxide or Teflon is applied on the catalyst layer as the protective film. 上記保護膜により、透明状態における可視光透過率を向上させた、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, wherein the visible light transmittance in a transparent state is improved by the protective film. 上記保護膜により、透明状態において光の拡散性を持たせた、請求項1に記載の調光ミラー薄膜材料。   The light control mirror thin film material according to claim 1, wherein the protective film provides light diffusibility in a transparent state. 請求項1から7のいずれかに記載の調光ミラー薄膜材料を構成要素として含むことを特徴とする調光ミラー部材。   A light control mirror member comprising the light control mirror thin film material according to claim 1 as a constituent element.
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