JP2009103911A - Method of manufacturing display panel - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a display panel capable of effectively preventing intrusion of gas from an end part and a part close to a cutting part of a liquid crystal cell. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the display panel having a first substrate, a second substrate disposed opposite to the first substrate and a sealing member disposed between the first and the second substrates includes: a step of forming a planarization layer composed of an organic material at the end part and part of upper and lower parts of the panel; and a step of forming a gas barrier layer composed of an inorganic material to cover the planarization layer. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示パネルの製造方法に関し、特に端部にガスバリア層を有する表示パネルの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a display panel, and more particularly to a method for manufacturing a display panel having a gas barrier layer at an end portion.

フィルム基板間に液晶が封入された液晶セルにおいて、液晶が封入された領域内へ気体が進入し、気泡が発生する場合がある。ここで液晶セルとは液晶パネルのうち偏光板を除いた構造をいう。   In a liquid crystal cell in which liquid crystal is sealed between film substrates, gas may enter a region where liquid crystal is sealed and bubbles may be generated. Here, the liquid crystal cell refers to a structure excluding the polarizing plate in the liquid crystal panel.

気泡の発生を抑制する方法として、液晶セルの端部にエポキシ接着剤をガスバリア層として設けて、液晶セルの端部からガスが液晶セル内に侵入しないようにする方法が知られている(例えば、特許文献1)。しかしながら、エポキシ接着剤等の有機材料では、気体の進入を完全に防止することはできず、依然として液晶セル内への気体の進入による気泡の発生が生じる場合があった。   As a method of suppressing the generation of bubbles, a method is known in which an epoxy adhesive is provided as a gas barrier layer at the end of a liquid crystal cell so that gas does not enter the liquid crystal cell from the end of the liquid crystal cell (for example, Patent Document 1). However, organic materials such as epoxy adhesives cannot completely prevent the ingress of gas, and bubbles may still be generated due to the ingress of gas into the liquid crystal cell.

また、2枚の基板間にエレクトロルミネセンス(EL:Electro Luminescence)が得られる発光材料からなる薄膜を配置し、その端面に、水蒸気の進入を防止するためにガスバリア層としてDLC(Diamond like Carbon)膜を形成することが知られている(例えば、特許文献2)。   In addition, a thin film made of a light emitting material capable of obtaining electroluminescence (EL) is disposed between two substrates, and DLC (Diamond like Carbon) is used as a gas barrier layer on its end face to prevent water vapor from entering. It is known to form a film (for example, Patent Document 2).

特開2001−221998号公報(第2図)Japanese Patent Laid-Open No. 2001-221998 (FIG. 2) 特開2002−151253号公報(第1図)Japanese Patent Laid-Open No. 2002-151253 (FIG. 1)

図1は、液晶セルの製造工程の一部を説明するための図である。   FIG. 1 is a diagram for explaining a part of the manufacturing process of the liquid crystal cell.

図1(a)に示すように、第1の基板111、第1の透明電極パターン112、第1の配向層113、液晶層114、第2の配向層115、第2の透明電極パターン116、第2の基板117、複数の球スペーサ118及びシール材119等を有する液晶セル110が複数同時に形成され、その第1の基板111及び第2の基板117の外部には、気体の侵入を防止するための第2のガスバリア層121及び第3のガスバリア層122がプラズマコーティング方式によって形成されている。   As shown in FIG. 1A, a first substrate 111, a first transparent electrode pattern 112, a first alignment layer 113, a liquid crystal layer 114, a second alignment layer 115, a second transparent electrode pattern 116, A plurality of liquid crystal cells 110 each including a second substrate 117, a plurality of sphere spacers 118, a sealant 119, and the like are formed at the same time, and gas is prevented from entering the outside of the first substrate 111 and the second substrate 117. Therefore, the second gas barrier layer 121 and the third gas barrier layer 122 are formed by a plasma coating method.

その後、図1(a)において、矢印a及びbに示す部分がカッター(不図示)によって切断され、液晶セル110が個々に切り出されることとなる。ここで、カッターによって切断されることによって、点線c及びdで示した第2のガスバリア層121の部分、及び点線e及びfで示した第3のガスバリア層122の部分等に割れが生じる場合がある。   Thereafter, in FIG. 1A, portions indicated by arrows a and b are cut by a cutter (not shown), and the liquid crystal cell 110 is cut out individually. Here, there are cases where the second gas barrier layer 121 indicated by dotted lines c and d, the third gas barrier layer 122 indicated by dotted lines e and f, and the like are cracked by being cut by the cutter. is there.

また、図1(b)は、カッターによって切断された液晶セル110の端面の一部拡大図であるが、図示するように、切断面には、深さ1μm程度の細かい溝gが多数形成される場合がある。この溝gは、微視的にみて、柔軟性のある基板を先端の丸い刃でひきちぎるように切断するために生じるものと考えられる。   FIG. 1B is a partially enlarged view of the end face of the liquid crystal cell 110 cut by a cutter. As shown in the drawing, a large number of fine grooves g having a depth of about 1 μm are formed on the cut face. There is a case. Microscopically, the groove g is considered to be generated in order to cut the flexible substrate so as to be torn with a round blade at the tip.

したがって、溝gの深さが深い場合には、液晶セル110の端部に、そのまま無機ガスバリア層をコーティングしても、溝gの部分までコーティングすることができず、溝gの部分からの気体の進入を完全に防止することができないという不具合が生じる場合がある。   Therefore, when the depth of the groove g is deep, even if the end portion of the liquid crystal cell 110 is coated with the inorganic gas barrier layer as it is, the portion up to the groove g cannot be coated, and the gas from the groove g portion cannot be coated. In some cases, it may be impossible to completely prevent the entry of the vehicle.

さらに、第1の基板111及び第2の基板117の切断箇所近傍(図1の点線c〜f)では、第2及び第3ガスバリア層121及び122に割れが生じる場合があり、液晶セル110の端部だけにガスバリア層を設けても、その割れの部分から気体が進入してしまうという不具合が生じる場合がある。また、第2及び第3のガスバリア層121及び122の上にはそれぞれ粘着層を介して偏光板が配置されることとなるが、粘着層から発生した気体が、上述した第2及び第3ガスバリア層121及び122の割れの部分から液晶セル内に進入してしまうという不具合も生じる可能性がある。   Further, in the vicinity of the cut portion of the first substrate 111 and the second substrate 117 (dotted lines cf in FIG. 1), the second and third gas barrier layers 121 and 122 may be cracked. Even if the gas barrier layer is provided only at the end, there may be a problem that gas enters from the cracked portion. In addition, a polarizing plate is disposed on the second and third gas barrier layers 121 and 122 via an adhesive layer, respectively, but the gas generated from the adhesive layer is the second and third gas barriers described above. There is a possibility that a problem of entering the liquid crystal cell from the cracked portions of the layers 121 and 122 may occur.

そこで、本発明は、液晶セルの端部及び切断箇所近傍から気体が進入するのを効果的に防止することを可能とする表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a display panel that can effectively prevent gas from entering from the end of a liquid crystal cell and the vicinity of a cut portion.

上記目的を達成するために、本発明に係る液晶パネルの製造方法では、第1基板と、前記第1基板と対向して配置された第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたシール部材とを有する表示パネルの製造方法であって、前記パネルの端部と、上部及び下部の一部に平坦化層を形成する工程と、前記平坦化層を覆ってガスバリア層を形成する工程とを有することを特徴とする。さらに、本発明に係る他の液晶パネルの製造方法では、第1基板と、前記第1基板と対向して配置された第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたシール部材とを有する表示パネルの製造法であって、前記パネルの端部と、上部及び下部の一部にガスバリア層を形成する工程とを有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, in a method of manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention, a first substrate, a second substrate disposed to face the first substrate, the first substrate, the second substrate, A display panel having a sealing member disposed between the substrate, a step of forming a planarizing layer on an end of the panel, and a part of the upper part and the lower part, and covering the planarizing layer And a step of forming a gas barrier layer. Furthermore, in another method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention, the first substrate, the second substrate disposed opposite to the first substrate, and the first substrate and the second substrate are disposed. A method of manufacturing a display panel having a sealed member, which includes a step of forming a gas barrier layer on an end portion of the panel and part of an upper portion and a lower portion.

本発明に係る液晶パネルの製造方法にしたがって製造された表示パネルでは、表示パネルの端部及び切断箇所近傍からの気体の進入を防止することが可能となり、表示領域内に気泡が発生することを回避することができる。   In the display panel manufactured according to the method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention, it is possible to prevent gas from entering from the edge of the display panel and the vicinity of the cut portion, and bubbles are generated in the display area. It can be avoided.

以下図面を参照して、本発明に係る表示パネルの製造方法について説明する。実施例1では、表示パネルの一例として液晶パネルの端部に平坦化層、無機ガスバリア層及び有機ガスバリア層を形成する方法について説明し、実施例2では、液晶パネルの端部に平坦化層及び無機ガスバリア層を形成する方法について説明し、実施例3では、液晶パネルの端部に無機ガスバリア層のみを形成する方法について説明する。   A display panel manufacturing method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In Example 1, a method for forming a planarization layer, an inorganic gas barrier layer, and an organic gas barrier layer on an end portion of a liquid crystal panel as an example of a display panel will be described. In Example 2, a planarization layer and an end portion of a liquid crystal panel A method for forming the inorganic gas barrier layer will be described. In Example 3, a method for forming only the inorganic gas barrier layer at the end of the liquid crystal panel will be described.

図2は、本発明の実施例1に係る液晶パネルの概略断面図である。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the liquid crystal panel according to Embodiment 1 of the present invention.

液晶パネル100は、液晶セル110、液晶セル110の上面x上に配置された第1の偏光板130、第1の偏光板130を固定するための第1の粘着層132、液晶セル110の下面y上に配置された第2の偏光板131、第2の偏光板131を固定するための第2の粘着層133、液晶セル110の上面xの一部(切断箇所近傍)、下面yの一部(切断箇所近傍)、及び端部z(切断面)を覆うように配置された第1ガスバリア層140等から構成される。   The liquid crystal panel 100 includes a liquid crystal cell 110, a first polarizing plate 130 disposed on the upper surface x of the liquid crystal cell 110, a first adhesive layer 132 for fixing the first polarizing plate 130, and a lower surface of the liquid crystal cell 110. the second polarizing plate 131 disposed on y, the second adhesive layer 133 for fixing the second polarizing plate 131, a part of the upper surface x of the liquid crystal cell 110 (near the cutting position), and the lower surface y. The first gas barrier layer 140 and the like are disposed so as to cover the portion (near the cut portion) and the end z (cut surface).

液晶セル110は、第1の基板111、第2基板117、シール材119、第1及び第2の基板111及び117の間隔を保持するために複数配置された球スペーサ118、第1及び第2の基板111及び117とシール材119との間に封入された液晶層114、第1の基板111の上に配置された第2のガスバリア層121、第2の基板117の上に配置された第3のガスバリア層122等を有している。また、第1の基板111上には、第1の透明電極パターン112及び第1の配向膜113が形成され、第2の基板117上には、第1の透明電極パターン112に対向した第2の透明電極パターン116及び第2の配向膜115が形成されている。なお、説明のために、図2における縮尺は実際と異なる場合がある点に留意されたい。   The liquid crystal cell 110 includes a first substrate 111, a second substrate 117, a sealing material 119, a plurality of spherical spacers 118 arranged to maintain a distance between the first and second substrates 111 and 117, a first and a second. Liquid crystal layer 114 sealed between the substrates 111 and 117 and the sealant 119, the second gas barrier layer 121 disposed on the first substrate 111, and the second layer disposed on the second substrate 117. 3 gas barrier layers 122 and the like. In addition, a first transparent electrode pattern 112 and a first alignment film 113 are formed on the first substrate 111, and a second opposite to the first transparent electrode pattern 112 is formed on the second substrate 117. The transparent electrode pattern 116 and the second alignment film 115 are formed. For the sake of explanation, it should be noted that the scale in FIG. 2 may differ from the actual scale.

液晶114には、一般的に用いられているTN(ツイステッドネマティック)液晶等が用いられる。   As the liquid crystal 114, a commonly used TN (twisted nematic) liquid crystal or the like is used.

第1及び第2の基板111及び117は、可撓性であって、厚さ100μmのポリカードネイト樹脂によって形成されている。しかしながら、第1及び第2の基板111及び117は、これに限定されるものではなく、変性アクリル樹脂、ポリメタクリル樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリエチレンレテフタレート樹脂、ノルボルテン樹脂、ガラス等であっても良く、厚さを50〜250μmとすることができる。   The first and second substrates 111 and 117 are flexible and formed of a polycardnate resin having a thickness of 100 μm. However, the first and second substrates 111 and 117 are not limited to this, and are modified acrylic resin, polymethacrylic resin, polyethersulfone resin, polyethylene terephthalate resin, norboltene resin, glass, and the like. The thickness can be 50 to 250 μm.

第1及び第2の透明電極パターン112及び116は、第1及び第2の基板111及び117上に、それぞれスパッタリング法によって、厚さ約0.03μmのITOから構成された透明導電膜を形成し、その後エッチングによって不要な部分を除去することによってパターン化されている。第1及び第2の透明電極パターンへは、所定の配線が施され、液晶パネル100の表示駆動制御部(不図示)から所定の電圧が印加されるように構成されている。液晶パネル100の表示駆動制御部は、第1及び第2の透明電極パターン112及び116間に、所定の電圧を印加することによって、液晶層114を透過モードと非透過モードとの間で、切り換えを行うことができるように構成される。   The first and second transparent electrode patterns 112 and 116 are formed by forming a transparent conductive film made of ITO having a thickness of about 0.03 μm on the first and second substrates 111 and 117, respectively, by sputtering. Then, it is patterned by removing unnecessary portions by etching. Predetermined wiring is applied to the first and second transparent electrode patterns, and a predetermined voltage is applied from a display drive control unit (not shown) of the liquid crystal panel 100. The display drive control unit of the liquid crystal panel 100 switches the liquid crystal layer 114 between the transmissive mode and the non-transmissive mode by applying a predetermined voltage between the first and second transparent electrode patterns 112 and 116. Configured to be able to do.

第2及び第3のガスバリア層121及び122は、二酸化シリコンから構成され、液晶セルの製造時にスパッタリング法によって、第1及び第2の基板111及び117上に成膜される。   The second and third gas barrier layers 121 and 122 are made of silicon dioxide, and are formed on the first and second substrates 111 and 117 by a sputtering method when the liquid crystal cell is manufactured.

第1のガスバリア層140は、平坦化層141、無機物からなる無機ガスバリア層142及び有機保護層143から構成される。なお、図2では、液晶パネル100の一部の断面図のみを示しているが、ガスバリア層140は、液晶セル110の周囲のほぼ全てに配置されているものとする。   The first gas barrier layer 140 includes a planarization layer 141, an inorganic gas barrier layer 142 made of an inorganic material, and an organic protective layer 143. In FIG. 2, only a partial cross-sectional view of the liquid crystal panel 100 is shown, but the gas barrier layer 140 is assumed to be disposed almost all around the liquid crystal cell 110.

平坦化層141として、有機物であるエポキシ樹脂を主成分とするガスバリア性樹脂である「マクシーブ」(登録商標)を用い、乾燥時の膜厚が約5〜10μmとなるように塗布する。上述したように、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍では、切断時に発生した割れが生じている場合があり、そのままでは割れの部分から気体が進入してしまう恐れがある。さらに、その割れの部分にさらに無機ガスバリアをスパッタリング等によってコーティングしようとしても、割れの部分が無機ガスバリア層で確実にカバーされず、気体の進入を防ぐことができない。同様に、液晶セル110の端部zには、切断時に形成される細かい溝が形成され(図1(b)参照)、そのまま無機ガスバリア層をスパッタリング等によってコーティングしようとしても、溝が無機ガスバリア層で確実にカバーされず、気体の進入を防ぐことができない。そこで、割れや溝を埋めるために、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍と、端部zを覆うように、最初に、平坦化層141を設けた。なお、本実施例では、平坦化層141として、ガスバリア性能も兼ね備えるエポキシ樹脂を主成分とする樹脂を利用するため、更にガスバリア性能を向上させることができる。   As the planarizing layer 141, “MAXIVE” (registered trademark), which is a gas barrier resin mainly composed of an epoxy resin that is an organic substance, is applied so that the film thickness when dried is about 5 to 10 μm. As described above, in the vicinity of the cut portion of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110, a crack generated at the time of cutting may occur, and there is a possibility that gas enters from the cracked portion as it is. Furthermore, even if an attempt is made to coat the cracked portion with an inorganic gas barrier by sputtering or the like, the cracked portion is not reliably covered with the inorganic gas barrier layer, and gas entry cannot be prevented. Similarly, a fine groove formed at the time of cutting is formed at the end z of the liquid crystal cell 110 (see FIG. 1B). Even if the inorganic gas barrier layer is coated as it is by sputtering or the like, the groove is formed in the inorganic gas barrier layer. It is not reliably covered with, and gas entry cannot be prevented. Therefore, in order to fill the cracks and grooves, the planarization layer 141 was first provided so as to cover the vicinity of the cut portion of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z. In this embodiment, as the planarization layer 141, a resin mainly composed of an epoxy resin that also has gas barrier performance is used. Therefore, the gas barrier performance can be further improved.

無機ガスバリア層142として、二酸化シリコンを用い、スパッタリング法によって、膜厚が100nmとなるように成膜する。なお、無機ガスバリア層は、二酸化シリコンによるものに限定されることなく、例えば、窒化シリコン、DLC、アルミ箔、銅箔等によって構成しても良い。また膜厚は10nm以上あれば、所望のガスバリア特性を得ることが可能である。無機ガスバリア層142は、平坦化層141によって平滑化された表面上に成膜されるので、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍と、端部zを確実に覆うことができる。   As the inorganic gas barrier layer 142, silicon dioxide is used and is formed by a sputtering method so that the film thickness becomes 100 nm. The inorganic gas barrier layer is not limited to silicon dioxide, and may be composed of, for example, silicon nitride, DLC, aluminum foil, copper foil, or the like. If the film thickness is 10 nm or more, it is possible to obtain desired gas barrier characteristics. Since the inorganic gas barrier layer 142 is formed on the surface smoothed by the planarization layer 141, the vicinity of the cut portion of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z can be reliably covered.

有機保護層として、エポキシ樹脂を主成分とするガスバリア製樹脂である「マクシーブ」(登録商標)を用い、乾燥時の膜厚が約5〜10μmとなるように有機保護層143を塗布する。ガスバリア特性を有する平坦化層141と無機ガスバリア層142によって、ガスバリア機能は充分であるので、必ずしも有機保護層143を設ける必要は無い。しかしながら、無機ガスバリア層142は、硬質であるので、成膜時のピンポールに加え、キズ、クラック等が発生する可能性があり、有機保護層143は、そのようなピンポール、キズ、クラック等によるガスバリア特性の不備を補うことを目的としている。したがって、有機保護層143を設けることによって、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍と、端部zのガスバリア特性を強固に維持することができる。   As the organic protective layer, “MAXIVE” (registered trademark), which is a gas barrier resin mainly composed of an epoxy resin, is used, and the organic protective layer 143 is applied so that the film thickness when dried is about 5 to 10 μm. Since the gas barrier function is sufficient by the planarization layer 141 and the inorganic gas barrier layer 142 having gas barrier properties, the organic protective layer 143 is not necessarily provided. However, since the inorganic gas barrier layer 142 is hard, scratches and cracks may occur in addition to the pin poles during film formation, and the organic protective layer 143 is a gas barrier caused by such pin poles, scratches, cracks, and the like. The purpose is to compensate for the lack of characteristics. Therefore, by providing the organic protective layer 143, the gas barrier characteristics of the vicinity of the cut portion of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z can be firmly maintained.

図3は、液晶パネルの製造工程を説明するための図である。   FIG. 3 is a diagram for explaining a manufacturing process of the liquid crystal panel.

図3(a)は、複数同時に形成された液晶セル110が、カッターによって切断されて、1つの液晶セル110が切り出された状態を示している(即ち図1の工程の後の状態)。   FIG. 3A shows a state in which a plurality of liquid crystal cells 110 formed simultaneously are cut by a cutter and one liquid crystal cell 110 is cut out (that is, a state after the step of FIG. 1).

図3(a)に示す状態で液晶セル110は、第1の基板111、第1の透明電極パターン112、第1の配向膜113、液晶層114、第2の配向膜115、第2の透明電極パターン116、第2基板117、球スペーサ118、シール材119、第2のガスバリア層121、第3のガスバリア層122等を有している。さらに、前述したように、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeでは、切断時に発生した割れがあり、端部zには、切断時に形成される細かい溝が形成されている(図1(b)参照)。   In the state shown in FIG. 3A, the liquid crystal cell 110 includes a first substrate 111, a first transparent electrode pattern 112, a first alignment film 113, a liquid crystal layer 114, a second alignment film 115, and a second transparent film. The electrode pattern 116, the second substrate 117, the sphere spacer 118, the sealing material 119, the second gas barrier layer 121, the third gas barrier layer 122, and the like are included. Further, as described above, in the vicinity of the cut portions c and e of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110, there are cracks generated at the time of cutting, and fine grooves formed at the time of cutting are formed at the end z. (See FIG. 1B).

図3(b)は、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeと、端部zを覆うように平坦化層141を塗布した状態を示した図である。   FIG. 3B is a diagram showing a state in which the planarizing layer 141 is applied so as to cover the cut portions c and e on the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z.

平坦化層141の塗布は、図4に示すような治具を利用して行う。即ち、土台200上に配置された金属板201とマグネット202との間に、図3(a)に示す液晶セル110を挟み込み、液晶セル110の周囲の端部が塗布され易いように固定する。マグネット202と金属板201との間の磁力によって液晶セル110が固定されているので、液晶セル110を傷つけず、さらに特別な接着剤等も利用することなく、簡単に平坦化層141の塗布を行うことができる。   The planarization layer 141 is applied using a jig as shown in FIG. That is, the liquid crystal cell 110 shown in FIG. 3A is sandwiched between the metal plate 201 disposed on the base 200 and the magnet 202 and fixed so that the peripheral edge of the liquid crystal cell 110 is easily applied. Since the liquid crystal cell 110 is fixed by the magnetic force between the magnet 202 and the metal plate 201, the flattening layer 141 can be easily applied without damaging the liquid crystal cell 110 and without using a special adhesive or the like. It can be carried out.

液晶セル110を固定後、メラミン樹脂製スポンジ210の先端部にエポキシ樹脂を主成分とするガスバリア製樹脂である「マクシーブ」(登録商標)と溶剤を混ぜた溶液212を付け、液晶セル110の所定の領域に塗布するように作業する。なお、平坦化層141の塗布には、メラミン樹脂製スポンジ210以外に、高密度のスポンジや高精細繊維の布等を利用することもできる。溶液212の塗布後、液晶セル110を、60〜80℃で約1時間焼成を行って、溶剤を飛ばし、平坦化層141の塗布を完了する。なお、平坦化層141は、複数回に分けて溶液の塗布を繰り返すことによって、成膜するようにしても良い。   After fixing the liquid crystal cell 110, a solution 212 in which “Maxive” (registered trademark), which is a gas barrier resin mainly composed of an epoxy resin, and a solvent is attached to the tip of the melamine resin sponge 210, and a predetermined liquid crystal cell 110 is fixed. Work to apply to the area. In addition to the melamine resin sponge 210, a high-density sponge, a high-definition fiber cloth, or the like can be used for applying the planarization layer 141. After the application of the solution 212, the liquid crystal cell 110 is baked at 60 to 80 ° C. for about 1 hour, the solvent is removed, and the application of the planarization layer 141 is completed. Note that the planarization layer 141 may be formed by repeating the application of the solution in a plurality of times.

図3(c)は、平坦化層141の上に無機ガスバリア層142を成膜した状態を示した図である。   FIG. 3C is a diagram showing a state in which the inorganic gas barrier layer 142 is formed on the planarization layer 141.

無機ガスバリア層142は、スパッタ法により形成する。液晶セル100を回転させながらアルゴンと酸素の混合雰囲気中で、ターゲット221から飛び出してきたシリコンと酸素とを反応させ成膜する。図5(a)に示すように、液晶セル100を多数積み重ねた積層体230を小型ターンテーブル223上に載せる。積層体230の小型ターンテーブルへの固定は、スペーサの一部に設けた支持部(図示せず)によって行なう。小型ターンテーブル223は、k方向に自転し、さらに容器220内でj方向に公転する大型ターンテーブル222上に配置される。図5(b)は、基板端部に開口部を設けた液晶パネルの積層体230の開口部を通った部分の断面図である。積層体230は、図5(b)に示すように、30枚程度の液晶セル100と液晶セル110より1回り小さいスペーサ231とを交互に積み重ねたものであり、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されている。スペーサは、例えばアルミニウムを用いて形成することができる。二酸化シリコン分子241は、アルゴン分子240と衝突してランダムに移動するので、液晶セル110の端部付近に満遍なく所定の厚さ(例えば、100nm)の無機ガスバリア層142を成膜することが可能となる。ここで、液晶パネル端部からスペーサ端部までの距離は2〜5mm程度が好ましい。
なお、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されていることから、例えば液晶セル110が図5(b)に示す開口部150を有していた場合にも開口部150の部分も良好に無機ガスバリア層を形成することができる。
The inorganic gas barrier layer 142 is formed by a sputtering method. While the liquid crystal cell 100 is rotated, a film is formed by reacting silicon and oxygen that have jumped out of the target 221 in a mixed atmosphere of argon and oxygen. As shown in FIG. 5A, a stacked body 230 in which a large number of liquid crystal cells 100 are stacked is placed on a small turntable 223. The laminated body 230 is fixed to the small turntable by a support portion (not shown) provided in a part of the spacer. The small turntable 223 is arranged on a large turntable 222 that rotates in the k direction and revolves in the j direction within the container 220. FIG. 5B is a cross-sectional view of a portion that passes through the opening of the liquid crystal panel laminate 230 provided with an opening at the end of the substrate. As shown in FIG. 5B, the stacked body 230 is formed by alternately stacking about 30 liquid crystal cells 100 and spacers 231 that are slightly smaller than the liquid crystal cells 110. It is arranged to be exposed. The spacer can be formed using, for example, aluminum. Since the silicon dioxide molecules 241 collide with the argon molecules 240 and move randomly, the inorganic gas barrier layer 142 having a predetermined thickness (for example, 100 nm) can be uniformly formed near the end of the liquid crystal cell 110. Become. Here, the distance from the liquid crystal panel end to the spacer end is preferably about 2 to 5 mm.
Since the vicinity of the end of the liquid crystal cell 110 is exposed, for example, even when the liquid crystal cell 110 has the opening 150 shown in FIG. An inorganic gas barrier layer can be formed satisfactorily.

図3(d)は、無機ガスバリア層142の上に、有機保護層143を塗布した状態を示した図である。   FIG. 3D is a view showing a state where the organic protective layer 143 is applied on the inorganic gas barrier layer 142.

有機保護層143の塗布は、平坦化層141の塗布と同様に、図4に示すような治具を利用し、メラミン樹脂製スポンジ210の先端部にエポキシ樹脂を主成分とするガスバリア製樹脂である「マクシーブ」(登録商標)と溶剤を混ぜた溶液212を付け、液晶セル110の所定の領域に塗布するように作業する。溶液212の塗布後、液晶セル110を、60〜80℃で約1時間焼成を行って、溶剤を飛ばし、有機保護層143の塗布の塗布を完了する。   The organic protective layer 143 is applied in the same manner as the flattening layer 141 by using a jig as shown in FIG. 4 and a gas barrier resin mainly composed of an epoxy resin at the tip of the melamine resin sponge 210. A solution 212 in which a certain “MAXIVE” (registered trademark) and a solvent are mixed is attached, and the liquid 212 is applied to a predetermined region of the liquid crystal cell 110. After application of the solution 212, the liquid crystal cell 110 is baked at 60 to 80 ° C. for about 1 hour, the solvent is removed, and the application of the organic protective layer 143 is completed.

上述したように、図3(a)〜(d)による製造工程によって、液晶セル110の端部とその近傍に、第1のガスバリア層140が形成される。なお、図3(d)に示す様に、第1ガスバリア層140は、液晶セル110の切断箇所から距離wの範囲まで液晶セル110の端部部分を覆うようにすることが望ましい。本実施例では、距離wは0.5mmである。   As described above, the first gas barrier layer 140 is formed at the end of the liquid crystal cell 110 and in the vicinity thereof by the manufacturing process shown in FIGS. As shown in FIG. 3D, it is desirable that the first gas barrier layer 140 covers the end portion of the liquid crystal cell 110 from the cut portion of the liquid crystal cell 110 to the range of the distance w. In this embodiment, the distance w is 0.5 mm.

第1のガスバリア層140の形成後、第1のガスバリア層140を避けるようにして、液晶セル110の上面x上に第1の粘着層132及び第1の偏光板を配置し、液晶セル110の下面y上に第2の粘着層132及び第1の偏光板を配置して、液晶パネル100を完成させる。   After the formation of the first gas barrier layer 140, the first adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the upper surface x of the liquid crystal cell 110 so as to avoid the first gas barrier layer 140. The second adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the lower surface y to complete the liquid crystal panel 100.

ところで、無機ガスバリア層142として、アルミ箔を利用する場合には、平坦化層141の塗布後、塗布面を覆うようにアルミ箔を接着させ、オートクレープ加圧装置で加圧して、気泡を消滅させた後、アルミ箔の端部にも接着剤を塗布して、アルミ箔の配置を完了する。なお、アルミ箔の接着には、平坦化層141に利用した樹脂を用いることが好ましい。   By the way, when an aluminum foil is used as the inorganic gas barrier layer 142, after applying the flattening layer 141, the aluminum foil is adhered so as to cover the application surface, and the bubbles are eliminated by applying pressure with an autoclave pressurizing device. Then, an adhesive is applied to the end of the aluminum foil to complete the arrangement of the aluminum foil. Note that the resin used for the planarization layer 141 is preferably used for bonding the aluminum foil.

実施例2においては、無機ガスバリア層142上には有機ガスバリア層を形成しない点で実施例1と相違している。実施例2の液晶パネルの断面構造を図6に示す。   The second embodiment is different from the first embodiment in that an organic gas barrier layer is not formed on the inorganic gas barrier layer 142. A cross-sectional structure of the liquid crystal panel of Example 2 is shown in FIG.

液晶パネル100の構造は実施例1と同様である。本実施例では、第1のガスバリア層140は、平坦化層141及び無機ガスバリア層142から構成される。なお、図6では、液晶パネル100の一部の断面図のみを示しているが、ガスバリア層140は、液晶セル110の周囲のほぼ全てに配置されているものとする。   The structure of the liquid crystal panel 100 is the same as that of the first embodiment. In the present embodiment, the first gas barrier layer 140 includes a planarization layer 141 and an inorganic gas barrier layer 142. In FIG. 6, only a partial cross-sectional view of the liquid crystal panel 100 is shown, but the gas barrier layer 140 is assumed to be disposed almost all around the liquid crystal cell 110.

平坦化層141の形成方法及び無機ガスバリア層142の形成方法は実施例1と同様である。ガスバリア特性を有する平坦化層141と無機ガスバリア層142によって、ガスバリア機能は充分である場合には、無機ガスバリア層142上に有機保護層を設ける必要はない。   The formation method of the planarization layer 141 and the formation method of the inorganic gas barrier layer 142 are the same as those in the first embodiment. In the case where the gas barrier function is sufficient by the planarization layer 141 and the inorganic gas barrier layer 142 having gas barrier properties, it is not necessary to provide an organic protective layer on the inorganic gas barrier layer 142.

図7は、実施例2における液晶パネルの製造工程を説明するための図である。   FIG. 7 is a diagram for explaining a manufacturing process of the liquid crystal panel in the second embodiment.

図7(a)は、複数同時に形成された液晶セル110が、カッターによって切断されて、1つの液晶セル110が切り出された状態を示している(即ち図1の工程の後の状態)。   FIG. 7A shows a state in which a plurality of liquid crystal cells 110 formed simultaneously are cut by a cutter and one liquid crystal cell 110 is cut out (that is, a state after the step of FIG. 1).

図7(a)に示す状態で液晶セル110は、第1の基板111、第1の透明電極パターン112、第1の配向膜113、液晶層114、第2の配向膜115、第2の透明電極パターン116、第2基板117、球スペーサ118、シール材119、第2のガスバリア層121、第3のガスバリア層122等を有している。さらに、前述したように、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeでは、切断時に発生した割れがあり、端部zには、切断時に形成される細かい溝が形成されている(図1(b)参照)。   In the state shown in FIG. 7A, the liquid crystal cell 110 includes a first substrate 111, a first transparent electrode pattern 112, a first alignment film 113, a liquid crystal layer 114, a second alignment film 115, and a second transparent film. The electrode pattern 116, the second substrate 117, the sphere spacer 118, the sealing material 119, the second gas barrier layer 121, the third gas barrier layer 122, and the like are included. Further, as described above, in the vicinity of the cut portions c and e of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110, there are cracks generated at the time of cutting, and fine grooves formed at the time of cutting are formed at the end z. (See FIG. 1B).

図7(b)は、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeと、端部zを覆うように平坦化層141を塗布した状態を示した図である。   FIG. 7B is a view showing a state in which the planarization layer 141 is applied so as to cover the cut portions c and e on the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z.

平坦化層141の塗布方法は、実施例1と同様である。   The method for applying the planarizing layer 141 is the same as that in the first embodiment.

図7(c)は、平坦化層141の上に無機ガスバリア層142を成膜した状態を示した図である。   FIG. 7C is a view showing a state in which the inorganic gas barrier layer 142 is formed on the planarization layer 141.

無機ガスバリア層142は、スパッタ法により形成する。液晶セル100を回転させながらアルゴンと酸素の混合雰囲気中で、ターゲット221から飛び出してきたシリコンと酸素とを反応させて成膜する。図5(a)に示すように、液晶セル100を多数積み重ねた積層体230は、容器220内に配置された、j方向に公転する大型ターンテーブル222上に配置された、k方向に自転する小型ターンテーブル223上に載せられる。積層体230の小型ターンテーブルへの固定は、スペーサの一部に設けた支持部(図示せず)によって行なう。図5(b)は、基板端部に開口部を設けた液晶パネルの積層体230の開口部を通った部分の断面図である。積層体230は、図5(b)に示すように、30枚程度の液晶セル100と液晶セル110より1回り小さいスペーサ231とを交互に積み重ねたものであり、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されている。スペーサは、例えばアルミニウムを用いて形成することができる。二酸化シリコン分子241は、アルゴン分子240と衝突してランダムに移動するので、液晶セル110の端部付近に満遍なく所定の厚さ(例えば、100nm)の無機ガスバリア層142を成膜することが可能となる。ここで、液晶パネル端部からスペーサ端部までの距離は2〜5mm程度が好ましい。
なお、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されていることから、例えば液晶セル110が図5(b)に示す開口部150を有していた場合であっても、開口部150の部分にも良好に無機ガスバリア層を形成することができる。
The inorganic gas barrier layer 142 is formed by a sputtering method. The film is formed by reacting silicon and oxygen that have jumped out of the target 221 in a mixed atmosphere of argon and oxygen while rotating the liquid crystal cell 100. As shown in FIG. 5A, the stacked body 230 in which a large number of liquid crystal cells 100 are stacked rotates on the large turntable 222 disposed in the container 220 and revolves in the j direction. It is placed on a small turntable 223. The laminated body 230 is fixed to the small turntable by a support portion (not shown) provided in a part of the spacer. FIG. 5B is a cross-sectional view of a portion that passes through the opening of the liquid crystal panel laminate 230 provided with an opening at the end of the substrate. As shown in FIG. 5B, the stacked body 230 is formed by alternately stacking about 30 liquid crystal cells 100 and spacers 231 that are slightly smaller than the liquid crystal cells 110. It is arranged to be exposed. The spacer can be formed using, for example, aluminum. Since the silicon dioxide molecules 241 collide with the argon molecules 240 and move randomly, the inorganic gas barrier layer 142 having a predetermined thickness (for example, 100 nm) can be uniformly formed near the end of the liquid crystal cell 110. Become. Here, the distance from the liquid crystal panel end to the spacer end is preferably about 2 to 5 mm.
In addition, since it arrange | positions so that the edge part vicinity of the liquid crystal cell 110 may be exposed, even if the liquid crystal cell 110 has the opening part 150 shown in FIG.5 (b), for example, the opening part 150 is shown. An inorganic gas barrier layer can be formed well on this part.

上述したように、図7(a)〜(c)に示した製造工程によって、液晶セル110の端部とその近傍に、第1のガスバリア層140が形成される。なお、図7(c)に示すように、第1ガスバリア層140は、液晶セル110の切断箇所から距離wの範囲まで液晶セル110の端部部分を覆うようにすることが望ましい。本実施例では、距離wは0.5mmである。   As described above, the first gas barrier layer 140 is formed at the end of the liquid crystal cell 110 and in the vicinity thereof by the manufacturing steps shown in FIGS. As shown in FIG. 7C, it is desirable that the first gas barrier layer 140 covers the end portion of the liquid crystal cell 110 from the cut position of the liquid crystal cell 110 to the range of the distance w. In this embodiment, the distance w is 0.5 mm.

第1のガスバリア層140の形成後、第1のガスバリア層140を避けるようにして、液晶セル110の上面x上に第1の粘着層132及び第1の偏光板を配置し、液晶セル110の下面y上に第2の粘着層132及び第1の偏光板を配置して、液晶パネル100を完成させる。   After the formation of the first gas barrier layer 140, the first adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the upper surface x of the liquid crystal cell 110 so as to avoid the first gas barrier layer 140. The second adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the lower surface y to complete the liquid crystal panel 100.

ところで、無機ガスバリア層142として、アルミ箔を利用する場合には、平坦化層141の塗布後、塗布面を覆うようにアルミ箔を接着させ、オートクレープ加圧装置で加圧して、気泡を消滅させた後、アルミ箔の端部にも接着剤を塗布して、アルミ箔の配置を完了する。なお、アルミ箔の接着には、平坦化層141に利用した樹脂を用いることが好ましい。   By the way, when an aluminum foil is used as the inorganic gas barrier layer 142, after applying the flattening layer 141, the aluminum foil is adhered so as to cover the application surface, and the bubbles are eliminated by applying pressure with an autoclave pressurizing device. Then, an adhesive is applied to the end of the aluminum foil to complete the arrangement of the aluminum foil. Note that the resin used for the planarization layer 141 is preferably used for bonding the aluminum foil.

実施例3においては、平坦化層を形成せずに液晶パネル端部に直接無機ガスバリア層142を形成する点を特徴とする。実施例3の液晶パネルの断面構造を図8に示す。   The third embodiment is characterized in that the inorganic gas barrier layer 142 is formed directly on the edge of the liquid crystal panel without forming a planarizing layer. The cross-sectional structure of the liquid crystal panel of Example 3 is shown in FIG.

液晶パネル100の構造は実施例1と同様である。本実施例では、第1のガスバリア層140は、無機ガスバリア層142のみで構成される。なお、図8では、液晶パネル100の一部の断面図のみを示しているが、ガスバリア層140は、液晶セル110の周囲のほぼ全てに配置されているものとする。   The structure of the liquid crystal panel 100 is the same as that of the first embodiment. In the present embodiment, the first gas barrier layer 140 is composed only of the inorganic gas barrier layer 142. In FIG. 8, only a partial cross-sectional view of the liquid crystal panel 100 is shown, but the gas barrier layer 140 is assumed to be disposed almost all around the liquid crystal cell 110.

本実施例では、ガスバリア層を無機ガスバリア層142のみで形成しているが、基板切断時の亀裂の深さが浅い場合で無機バリア層のみで十分に気泡の発生が抑制できる場合は、平坦化層は不要となる。   In this example, the gas barrier layer is formed only by the inorganic gas barrier layer 142. However, when the crack depth when cutting the substrate is shallow and the generation of bubbles can be sufficiently suppressed only by the inorganic barrier layer, the gas barrier layer is planarized. No layer is required.

図9は、実施例3における液晶パネルの製造工程を説明するための図である。   FIG. 9 is a diagram for explaining a manufacturing process of the liquid crystal panel in the third embodiment.

図9(a)は、複数同時に形成された液晶セル110が、カッターによって切断されて、1つの液晶セル110が切り出された状態を示している(即ち図1の工程の後の状態)。   FIG. 9A shows a state in which a plurality of liquid crystal cells 110 formed simultaneously are cut by a cutter and one liquid crystal cell 110 is cut out (that is, a state after the step of FIG. 1).

図9(a)に示す状態で液晶セル110は、第1の基板111、第1の透明電極パターン112、第1の配向膜113、液晶層114、第2の配向膜115、第2の透明電極パターン116、第2基板117、球スペーサ118、シール材119、第2のガスバリア層121、第3のガスバリア層122等を有している。ここで、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeにおいて、切断時に割れが発生せず、端部zに形成される溝が浅い場合に本実施例は有効である。   In the state shown in FIG. 9A, the liquid crystal cell 110 includes a first substrate 111, a first transparent electrode pattern 112, a first alignment film 113, a liquid crystal layer 114, a second alignment film 115, and a second transparent film. The electrode pattern 116, the second substrate 117, the sphere spacer 118, the sealing material 119, the second gas barrier layer 121, the third gas barrier layer 122, and the like are included. Here, in the vicinity of the cut portions c and e of the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110, this embodiment is effective when no cracks are generated at the time of cutting and the groove formed in the end z is shallow.

図9(b)は、液晶セル110の上面x及び下面yの切断箇所近傍c及びeと、端部zを覆うように無機ガスバリア層142を形成した状態を示した図である。   FIG. 9B is a diagram showing a state in which the inorganic gas barrier layer 142 is formed so as to cover the cutting portions c and e on the upper surface x and the lower surface y of the liquid crystal cell 110 and the end z.

無機ガスバリア層142は、スパッタ法により形成する。液晶セル100を回転させながらアルゴンと酸素の混合雰囲気中で、ターゲット221から飛び出してきたシリコンと酸素を反応させ成膜する。図10(a)に示すように、液晶セル100を多数積み重ねた積層体230は、容器220内に配置された、j方向に公転する大型ターンテーブル222上に配置された、k方向に自転する小型ターンテーブル223上に載せられる。積層体230の小型ターンテーブルへの固定は、スペーサの一部に設けた支持部(図示せず)によって行なう。図10(b)は、基板端部に開口部を設けた液晶パネルの積層体230の開口部を通った部分の断面図である。積層体230は、図10(b)に示すように、30枚程度の液晶セル100と液晶セル110より1回り小さいスペーサ231とを交互に積み重ねたものであり、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されている。スペーサは、例えばアルミニウムを用いて形成することができる。二酸化シリコン分子241は、アルゴン分子240と衝突してランダムに移動するので、液晶セル110の端部付近に満遍なく所定の厚さ(例えば、100nm)の無機ガスバリア層142を成膜することが可能となる。ここで、液晶パネル端部からスペーサ端部までの距離は2〜5mm程度が好ましい。
なお、液晶セル110の端部付近が露出するように配置されていることから、例えば液晶セル110が図10(b)に示す開口部150を有していた場合にも開口部150の部分も良好に無機ガスバリア層を形成することができる。
The inorganic gas barrier layer 142 is formed by a sputtering method. While the liquid crystal cell 100 is rotated, a film is formed by reacting silicon and oxygen that have jumped out of the target 221 in a mixed atmosphere of argon and oxygen. As shown in FIG. 10A, the stacked body 230 in which a large number of liquid crystal cells 100 are stacked rotates in the k direction and is disposed on the large turntable 222 that is disposed in the container 220 and revolves in the j direction. It is placed on a small turntable 223. The laminated body 230 is fixed to the small turntable by a support portion (not shown) provided in a part of the spacer. FIG. 10B is a cross-sectional view of a portion that passes through the opening of the liquid crystal panel laminate 230 provided with an opening at the end of the substrate. As shown in FIG. 10B, the stacked body 230 is formed by alternately stacking about 30 liquid crystal cells 100 and spacers 231 that are slightly smaller than the liquid crystal cells 110. It is arranged to be exposed. The spacer can be formed using, for example, aluminum. Since the silicon dioxide molecules 241 collide with the argon molecules 240 and move randomly, the inorganic gas barrier layer 142 having a predetermined thickness (for example, 100 nm) can be uniformly formed near the end of the liquid crystal cell 110. Become. Here, the distance from the liquid crystal panel end to the spacer end is preferably about 2 to 5 mm.
Since the vicinity of the end portion of the liquid crystal cell 110 is exposed, for example, even when the liquid crystal cell 110 has the opening 150 shown in FIG. An inorganic gas barrier layer can be formed satisfactorily.

上述したように、図9(a)、(b)に示した製造工程によって、液晶セル110の端部とその近傍に、第1のガスバリア層140が形成される。なお、図9(b)に示すように、第1ガスバリア層140は、液晶セル110の切断箇所から距離wの範囲まで液晶セル110の端部部分を覆うようにすることが望ましい。本実施例では、距離wは0.5mmである。   As described above, the first gas barrier layer 140 is formed at the end portion of the liquid crystal cell 110 and in the vicinity thereof by the manufacturing process shown in FIGS. As shown in FIG. 9B, it is desirable that the first gas barrier layer 140 covers the end portion of the liquid crystal cell 110 from the cut portion of the liquid crystal cell 110 to the range of the distance w. In this embodiment, the distance w is 0.5 mm.

第1のガスバリア層140の形成後、第1のガスバリア層140を避けるようにして、液晶セル110の上面x上に第1の粘着層132及び第1の偏光板を配置し、液晶セル110の下面y上に第2の粘着層132及び第1の偏光板を配置して、液晶パネル100を完成させる。   After the formation of the first gas barrier layer 140, the first adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the upper surface x of the liquid crystal cell 110 so as to avoid the first gas barrier layer 140. The second adhesive layer 132 and the first polarizing plate are disposed on the lower surface y to complete the liquid crystal panel 100.

ところで、無機ガスバリア層142として、アルミ箔を利用する場合には、平坦化層141の塗布後、塗布面を覆うようにアルミ箔を接着させ、オートクレープ加圧装置で加圧して、気泡を消滅させた後、アルミ箔の端部にも接着剤を塗布して、アルミ箔の配置を完了する。なお、アルミ箔の接着には、平坦化層141に利用した樹脂を用いることが好ましい。
また、無機ガスバリア層の外側に樹脂ガスバリア層を形成するとなお良い。
By the way, when an aluminum foil is used as the inorganic gas barrier layer 142, after applying the flattening layer 141, the aluminum foil is adhered so as to cover the application surface, and the bubbles are eliminated by applying pressure with an autoclave pressurizing device. Then, an adhesive is applied to the end of the aluminum foil to complete the arrangement of the aluminum foil. Note that the resin used for the planarization layer 141 is preferably used for bonding the aluminum foil.
Further, it is better to form a resin gas barrier layer outside the inorganic gas barrier layer.

なお、本実施例においては、液晶パネルを例にとって記載したが、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイや、電気泳動型表示パネル等の他の方式の表示パネルにおいても、同様に水蒸気等の侵入を防止するガスバリア層を形成できる。   In this embodiment, the liquid crystal panel has been described as an example. However, in other types of display panels such as an organic electroluminescence display and an electrophoretic display panel, a gas barrier layer that similarly prevents entry of water vapor or the like. Can be formed.

液晶セルの製造工程の一部を説明するための図である。It is a figure for demonstrating a part of manufacturing process of a liquid crystal cell. 本発明の実施例1に係る液晶パネルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the liquid crystal panel which concerns on Example 1 of this invention. 本発明の実施例1に係る液晶パネルの製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the liquid crystal panel which concerns on Example 1 of this invention. 平坦化層の塗布のための治具を示す図である。It is a figure which shows the jig | tool for application | coating of a planarization layer. 本発明の実施例1に係る無機ガスバリア層の成膜方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the film-forming method of the inorganic gas barrier layer which concerns on Example 1 of this invention. 本発明の実施例2に係る液晶パネルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the liquid crystal panel which concerns on Example 2 of this invention. 本発明の実施例2に係る液晶パネルの製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the liquid crystal panel which concerns on Example 2 of this invention. 本発明の実施例3に係る液晶パネルの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the liquid crystal panel which concerns on Example 3 of this invention. 本発明の実施例3に係る液晶パネルの製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the liquid crystal panel which concerns on Example 3 of this invention. 本発明の実施例3に係る無機ガスバリア層の成膜方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the film-forming method of the inorganic gas barrier layer which concerns on Example 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 液晶パネル
110 液晶セル
111 第1の基板
114 液晶層
117 第2の基板
119 シール部材
140 第1ガスバリア層
141 平坦化層
142 無機ガスバリア層
143 有機保護層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Liquid crystal panel 110 Liquid crystal cell 111 1st board | substrate 114 Liquid crystal layer 117 2nd board | substrate 119 Seal member 140 1st gas barrier layer 141 Planarization layer 142 Inorganic gas barrier layer 143 Organic protective layer

Claims (10)

第1基板と、
前記第1基板と対向して配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたシール部材とを有する表示パネルの製造方法であって、
前記パネルの端部と、上部及び下部の一部に平坦化層を形成する工程と、
前記平坦化層を覆ってガスバリア層を形成する工程とを有する表示パネルの製造方法。
A first substrate;
A second substrate disposed opposite the first substrate;
A manufacturing method of a display panel having a sealing member disposed between the first substrate and the second substrate,
Forming a planarization layer on the edge of the panel and part of the upper and lower parts;
Forming a gas barrier layer so as to cover the planarizing layer.
第1基板と、
前記第1基板と対向して配置された第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されたシール部材とを有する表示パネルの製造方法であって、
前記パネルの端部と、上部及び下部の一部にガスバリア層を形成する工程とを有する表示パネルの製造方法。
A first substrate;
A second substrate disposed opposite the first substrate;
A manufacturing method of a display panel having a sealing member disposed between the first substrate and the second substrate,
A method for manufacturing a display panel, comprising: an end portion of the panel; and a step of forming a gas barrier layer on a part of an upper portion and a lower portion.
前記ガスバリア層を形成する工程において、
複数の表示パネルをスペーサを介して積層して前記ガスバリア層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1または2に記載の表示パネルの製造方法。
In the step of forming the gas barrier layer,
The method of manufacturing a display panel according to claim 1, further comprising a step of stacking a plurality of display panels via spacers to form the gas barrier layer.
前記スペーサの外形は前記パネルの外形よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の表示パネルの製造方法。   The method of manufacturing a display panel according to claim 3, wherein an outer shape of the spacer is smaller than an outer shape of the panel. 前記スペーサは前記パネルの端部から2〜5mm内側に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the spacer is disposed 2 to 5 mm inside from an end of the panel. 前記ガスバリア層の形成はスパッタ法によることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。   6. The method of manufacturing a display panel according to claim 1, wherein the gas barrier layer is formed by a sputtering method. スパッタ成膜時に基板を回転することを特徴とする請求項6に記載の表示パネルの製造方法。   The method of manufacturing a display panel according to claim 6, wherein the substrate is rotated during sputter deposition. 前記ガスバリア層を覆うようにして第2の平坦化層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 1, further comprising a step of forming a second planarization layer so as to cover the gas barrier layer. 前記表示パネルは液晶表示パネルであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein the display panel is a liquid crystal display panel. 前記表示パネルは有機エレクトロルミネッセンスパネルであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。   The method for manufacturing a display panel according to claim 1, wherein the display panel is an organic electroluminescence panel.
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