JP2009098190A - Display device - Google Patents

Display device Download PDF

Info

Publication number
JP2009098190A
JP2009098190A JP2007266761A JP2007266761A JP2009098190A JP 2009098190 A JP2009098190 A JP 2009098190A JP 2007266761 A JP2007266761 A JP 2007266761A JP 2007266761 A JP2007266761 A JP 2007266761A JP 2009098190 A JP2009098190 A JP 2009098190A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
dichroic
micromirror
array
liquid crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007266761A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5095342B2 (en
Inventor
Kentaro Oku
健太郎 奥
Mitsuhiro Imazeki
充博 今関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Displays Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Displays Ltd filed Critical Hitachi Displays Ltd
Priority to JP2007266761A priority Critical patent/JP5095342B2/en
Publication of JP2009098190A publication Critical patent/JP2009098190A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5095342B2 publication Critical patent/JP5095342B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device capable of displaying images in color without using a color filter. <P>SOLUTION: The display device is constituted by laminating a dichroic micromirror array 20 and a microlens array 10 on a liquid crystal cell 60 composed of a TFT substrate 30, a liquid crystal layer 40, and a counter substrate 50. External light is converged by an outward convex lens 11 and is converted into parallel light by an inward convex lens 13. A slit 15 is formed in the vicinity of focus of the outward convex lens 11 to obtain parallel light by the inward convex lens 13 highly precisely. The external light is decomposed into red light, green light, and blue light by the dichroic micromirror array 20 and is made incident to a red pixel, a green pixel, and a blue pixel in the liquid crystal cell 60. Since the color filter is not used, efficiency of use of back light is tripled. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は表示装置に係り、特にバックライトの光利用効率を向上した液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly to a liquid crystal display device with improved light utilization efficiency of a backlight.

液晶表示装置は小型、薄型に出来ることから様々な領域に用途が拡大している。液晶表示装置は自発光ではないために、バックライトが必要である。すなわち、液晶表示装置は画像を形成する液晶表示パネルとバックライトとから形成されている。   Since liquid crystal display devices can be made small and thin, their applications are expanding to various areas. Since the liquid crystal display device is not self-luminous, a backlight is necessary. That is, the liquid crystal display device is formed of a liquid crystal display panel for forming an image and a backlight.

液晶表示パネルは液晶セル60と液晶セル60の上下に貼り付けられた偏光板によって形成されている。従来の液晶表示パネルは、画素電極や画素電極への信号を制御する薄膜トランジスタ(TFT)等が形成されたTFT基板と、カラー画像を形成するためのカラーフィルタ等が形成された対向基板と、TFT基板とカラーフィルタ基板の間に挟持された液晶層によって形成されている。   The liquid crystal display panel is formed by a liquid crystal cell 60 and a polarizing plate attached to the top and bottom of the liquid crystal cell 60. A conventional liquid crystal display panel includes a TFT substrate on which a pixel electrode and a thin film transistor (TFT) for controlling a signal to the pixel electrode are formed, a counter substrate on which a color filter for forming a color image is formed, a TFT The liquid crystal layer is sandwiched between the substrate and the color filter substrate.

従来の液晶表示装置では、カラーフィルタはサブ画素毎に赤、緑、青のカラーフィルタが形成される。本明細書では、サブ画素は赤画素、緑画素、青画素の3種類があり、この3個のサブ画素によって画素が形成されるものと定義する。そして、赤画素においては、バックライトのうち、赤スペクトルの光のみを透過し、他のスペクトルの光はカラーフィルタによって吸収される。また、緑画素においては、緑スペクトルの光のみを透過し、他のスペクトルの光はカラーフィルタによって吸収される。青画素においても同様である。したがって、従来の液晶表示装置ではバックライトの利用効率が悪かった。   In the conventional liquid crystal display device, color filters of red, green, and blue are formed for each sub-pixel. In this specification, there are three types of sub-pixels, a red pixel, a green pixel, and a blue pixel, and it is defined that a pixel is formed by these three sub-pixels. In the red pixel, only the red spectrum light in the backlight is transmitted, and the other spectrum light is absorbed by the color filter. In the green pixel, only green spectrum light is transmitted, and other spectrum light is absorbed by the color filter. The same applies to blue pixels. Therefore, the conventional liquid crystal display device has poor backlight utilization efficiency.

「特許文献1」には、カラーフィルタによってバックライトの利用効率が低下する現象を防止するために、カラーフィルタを用いないでカラー画像を形成する液晶表示装置が開示されている。すなわち、バックライトと液晶表示パネルの間にマイクロレンズアレイおよびダイクロイックマイクロミラーアレイを設置する。そして、バックライトからの光を、先ずマイクロレンズアレイによって画素毎に収束し、ダイクロイックマイクロミラーアレイによって光を赤、緑、青のスペクトルに分解し、このスペクトルに分解された光を各サブ画素に供給することによってカラー画像を形成する。したがって、「特許文献1」に記載の技術は、バックライトの利用効率を従来の3倍に向上することができるという利点を有する。   “Patent Document 1” discloses a liquid crystal display device that forms a color image without using a color filter in order to prevent a phenomenon in which the use efficiency of a backlight is lowered due to the color filter. That is, a microlens array and a dichroic micromirror array are installed between the backlight and the liquid crystal display panel. Then, the light from the backlight is first converged for each pixel by the microlens array, the light is decomposed into red, green, and blue spectra by the dichroic micromirror array, and the light decomposed into this spectrum is applied to each subpixel. A color image is formed by supplying. Therefore, the technique described in “Patent Document 1” has an advantage that the utilization efficiency of the backlight can be improved three times as compared with the conventional technique.

特開平8−54623号公報JP-A-8-54623

図23は「特許文献1」に記載の技術の概略である。図23において、バックライトからの光はマイクロレンズアレイ10の外凸レンズ11によって、画素毎に収束される。収束された光は内凹レンズ12によって平行光に変換される。平行光の幅はほぼサブ画素の幅に等しい。   FIG. 23 is an outline of the technique described in “Patent Document 1”. In FIG. 23, the light from the backlight is converged for each pixel by the outer convex lens 11 of the microlens array 10. The converged light is converted into parallel light by the inner concave lens 12. The width of the parallel light is approximately equal to the width of the sub-pixel.

この平行光は赤光反射ダイクロイックミラー21によって赤光Rが横方向に反射され、緑光Gと青光Bは透過する。反射した赤光Rはさらに赤光反射ダイクロイックミラー21によって反射して赤画素に入射する。赤光反射ダイクロイックミラー21を透過した青光Bと緑光Gは青光反射ダイクロイックミラー22によってさらに分解され、各々、青画素と緑画素に入射する。したがって、光が光学系によって吸収されることが無い。   As for this parallel light, the red light R is reflected in the lateral direction by the red light reflecting dichroic mirror 21, and the green light G and the blue light B are transmitted. The reflected red light R is further reflected by the red light reflecting dichroic mirror 21 and enters the red pixel. The blue light B and the green light G that have passed through the red light reflecting dichroic mirror 21 are further decomposed by the blue light reflecting dichroic mirror 22 and enter the blue pixel and the green pixel, respectively. Therefore, light is not absorbed by the optical system.

図23は原理図である。図24は「特許文献1」に開示されているダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造方法である。先ず、透明樹脂を図24(a)のように、加工してマイクロミラー樹脂25とする。マイクロミラー樹脂25の片側に干渉膜26を蒸着する。干渉膜26はマイクロミラー樹脂25の法線方向からθ傾けて蒸着する。θは22.5度である。このように干渉膜26を22.5度傾けて蒸着するのは、図24における斜面に形成された干渉膜26と下面に形成された干渉膜261との膜厚を合わせるためである。このようにして形成されたマイクロミラー樹脂25の凹部にさらに樹脂を充填してダイクロイックマイクロミラーアレイ20が完成する。   FIG. 23 is a principle diagram. FIG. 24 shows a method of manufacturing the dichroic micromirror array 20 disclosed in “Patent Document 1”. First, the transparent resin is processed into the micromirror resin 25 as shown in FIG. An interference film 26 is deposited on one side of the micromirror resin 25. The interference film 26 is deposited with an inclination of θ from the normal direction of the micromirror resin 25. θ is 22.5 degrees. The reason why the interference film 26 is deposited while being inclined by 22.5 degrees is to match the film thicknesses of the interference film 26 formed on the inclined surface in FIG. 24 and the interference film 261 formed on the lower surface. The dichroic micromirror array 20 is completed by filling the recesses of the micromirror resin 25 thus formed with a resin.

図25はこのようにして形成されたダイクロイックマイクロミラーアレイ20をマイクロレンズアレイ10と液晶セル60の間に設置した状態を示す断面図である。図26は図25の構成の動作を示す図である。図26において、バックライからの光は外凸レンズ11によって収束され、内凹レンズ12によって平行光に変換さる。そして、赤光透過ダイクロイックミラー23によって、赤光Rが分離され、さらに青光反射ダイクロイックミラー22によって青光Bが分離される。図24のようなダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造方法では、マイクロミラー樹脂25の下面に干渉膜261が形成されるが、この干渉膜261は図25および図26では赤光透過ダイクロイックミラー23となっている。赤光透過ダイクロイックミラー23は赤光Rを透過させなければならない。このために、図24に示すように、干渉膜26を斜めに蒸着することによって膜厚を制御している。   FIG. 25 is a cross-sectional view showing a state in which the dichroic micromirror array 20 thus formed is installed between the microlens array 10 and the liquid crystal cell 60. FIG. 26 shows the operation of the configuration of FIG. In FIG. 26, the light from the backlight is converged by the outer convex lens 11 and converted into parallel light by the inner concave lens 12. The red light R is separated by the red light transmitting dichroic mirror 23, and the blue light B is further separated by the blue light reflecting dichroic mirror 22. In the manufacturing method of the dichroic micromirror array 20 as shown in FIG. 24, the interference film 261 is formed on the lower surface of the micromirror resin 25. This interference film 261 becomes the red light transmission dichroic mirror 23 in FIGS. ing. The red light transmitting dichroic mirror 23 must transmit the red light R. For this purpose, as shown in FIG. 24, the film thickness is controlled by depositing the interference film 26 obliquely.

図27はダイクロイックミラーに光が角度を持って入射した場合と垂直に入射した場合とてダイクロイックミラーの透過率がどのように変化するかを示す図である。図27(a)は光がダイクロイックミラーに45度の角度で入射した場合の模式図である。液晶表示装置ではS偏光のみが使用される。S偏光とは電磁波の振動方向が紙面に垂直の場合である。   FIG. 27 is a diagram illustrating how the transmittance of the dichroic mirror changes depending on whether light is incident on the dichroic mirror at an angle or perpendicularly. FIG. 27A is a schematic diagram when light is incident on the dichroic mirror at an angle of 45 degrees. In liquid crystal display devices, only S-polarized light is used. S-polarized light is when the direction of vibration of electromagnetic waves is perpendicular to the paper surface.

図27(b)は同じ膜厚の干渉膜26に対して、光が45度で入射した場合と直角に入射した場合の透過率特性である。同じ膜厚であっても、光の入射各によって光が干渉する実質的な膜厚は光の入射角度によって異なる。これによってダイクロイックミラーによって光を分離することができる。たとえば、図26において、青光反射ダイクロイックミラー22と赤光透過ダイクロイックミラー23は同時に蒸着された干渉膜26であるが、光の入射角度が異なるために、青光反射ダイクロイックミラー22と赤光透過ダイクロイックミラー23という異なる作用を持つことが出来る。   FIG. 27B shows transmittance characteristics when light is incident on the interference film 26 having the same film thickness at 45 degrees and at a right angle. Even if the film thickness is the same, the substantial film thickness at which light interferes with each incident light varies depending on the incident angle of light. As a result, the light can be separated by the dichroic mirror. For example, in FIG. 26, the blue-light reflecting dichroic mirror 22 and the red-light transmitting dichroic mirror 23 are the interference films 26 deposited at the same time. The dichroic mirror 23 can have a different action.

以上説明した「特許文献1」に記載の技術は、次のような問題点がある。すなわち、バックライトからの光を外凸レンズ11と内凹レンズ12によって平行光線とするが、この平行光線の作り方が問題である。特に内凹レンズ12は小さいので、精度よく製作することが難しい。マイクロレンズアレイ10は樹脂をプレスすること等によって形成する。このような場合、凹レンズを形成するためには成形するための金型を雄金型とする必要があるが、マイクロレンズを形成するような場合は、雌金型よりも雄金型の方が難しい。したがって、形成されるマイクロレンズの精度も悪くなる。   The technique described in “Patent Document 1” described above has the following problems. That is, the light from the backlight is converted into a parallel light beam by the outer convex lens 11 and the inner concave lens 12, but how to make this parallel light is a problem. In particular, since the inner concave lens 12 is small, it is difficult to manufacture it with high accuracy. The microlens array 10 is formed by pressing a resin or the like. In such a case, in order to form a concave lens, the mold for molding needs to be a male mold, but in the case of forming a microlens, a male mold is preferred to a female mold. difficult. Therefore, the accuracy of the formed microlens also deteriorates.

「特許文献1」の他の問題は、マイクロレンズアレイ10、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20、液晶表示パネルの位置あわせ精度を正確に行わなければならない点である。たとえば、従来技術のように、液晶表示パネルの対向基板50にカラーフィルタが形成されている場合は、TFT基板30と対向基板50との2つの部品の位置合わせのみを行えばよかった。しかし、「特許文献1」に記載の液晶表示装置では3つの部品の位置合わせを行わなければならず、位置ずれの問題を引き起こしやすい。3つの部品の位置合わせが正確でないと色純度が劣化する。   Another problem of “Patent Document 1” is that the alignment accuracy of the microlens array 10, the dichroic micromirror array 20, and the liquid crystal display panel must be accurately performed. For example, when the color filter is formed on the counter substrate 50 of the liquid crystal display panel as in the prior art, only the alignment of the two components of the TFT substrate 30 and the counter substrate 50 may be performed. However, in the liquid crystal display device described in “Patent Document 1”, it is necessary to align the three components, which easily causes a problem of displacement. If the alignment of the three parts is not accurate, the color purity will deteriorate.

本発明は以上のような問題点を解決するものであり、その対策として次のような手段をとる。すなわち、第1の課題に対しては、マイクロレンズアレイに対し、バックライト光が入射する面には外凸レンズを形成し、ダイクロイックマイクロミラーアレイが形成される面についても内凸レンズを形成する。本構成のようなマイクロレンズアレイでは凸レンズのほうが精度良く形成できる。   The present invention solves the above problems, and the following measures are taken as countermeasures. That is, for the first problem, an external convex lens is formed on the surface on which the backlight is incident, and an internal convex lens is also formed on the surface on which the dichroic micro mirror array is formed. In a microlens array like this configuration, a convex lens can be formed with higher accuracy.

さらに、マイクロレンズアレイの内部で、外凸レンズの焦点面の付近には遮光膜を形成する。そして、この遮光膜に対して外凸レンズの焦点付近には光通過孔を形成する。このような構成とすることによって、ダイクロイックマイクロミラーアレイにより平行度の優れた光を供給することが出来、ダイクロイックマイクロミラーアレイによるスペクトル分割をより正確に行うことが出来る。   Further, a light shielding film is formed in the vicinity of the focal plane of the outer convex lens inside the microlens array. A light passage hole is formed near the focal point of the outer convex lens with respect to the light shielding film. With this configuration, light with excellent parallelism can be supplied by the dichroic micromirror array, and spectrum division by the dichroic micromirror array can be performed more accurately.

第2の課題に題しては、ダイクロイックマイクロミラーアレイを第1のダイクロイックマイクロミラーと第2のダイクロイックマイクロミラーでくの字型に形成し、このようなダイクロイックマイクロミラーアレイを法線方向から見た場合、くの字形の先端とくの字の後端が一致すように構成することを特徴とする。この構成によって、マイクロレンズアレイとダイクロイックマイクロミラーアレイの位置がずれても、バックライトからのすべての光はダイクロイックマイクロミラーアレイを通過することになって、赤光、緑光、青光に分解することが出来る。   For the second problem, a dichroic micromirror array is formed in a square shape by the first dichroic micromirror and the second dichroic micromirror, and such a dichroic micromirror array is viewed from the normal direction. In this case, it is characterized in that the front end of the square shape coincides with the rear end of the square shape. With this configuration, even if the microlens array and the dichroic micromirror array are misaligned, all the light from the backlight will pass through the dichroic micromirror array and be decomposed into red light, green light, and blue light. I can do it.

本発明のマイクロレンズアレイによれば、バックライトからの光を精度良く平行光に変えてダイクロイックマイクロミラーアレイに放射するので、ダイクロイックマイクロミラーアレイにおける赤光、緑光、青光へ分解を精度よく行うことが出来る。したがって、色純度のよい画像を得ることが出来る。   According to the microlens array of the present invention, the light from the backlight is accurately converted into parallel light and emitted to the dichroic micromirror array, so that the dichroic micromirror array is accurately decomposed into red light, green light, and blue light. I can do it. Therefore, an image with good color purity can be obtained.

また、本発明のダイクロイックマイクロミラーアレイを使用することによって、マイクロレンズアレイとダイクロイックマイクロミラーアレイの位置合わせに誤差が生じても、色純度が劣化することを防止することが出来る。また、本発明のダイクロイックマイクロミラーアレイは膜厚をコントロールするための斜め蒸着は不要となるので、ダイクロイックマイクロミラーアレイの生産性を上げることが出来る。   Further, by using the dichroic micromirror array of the present invention, it is possible to prevent the color purity from being deteriorated even if an error occurs in the alignment between the microlens array and the dichroic micromirror array. Further, since the dichroic micromirror array of the present invention does not require oblique vapor deposition for controlling the film thickness, the productivity of the dichroic micromirror array can be increased.

本発明によれば、カラーフィルタを使用せずに、カラー画像を表示することができるので、バックライトの光の利用効率を3倍に上げることが出来る。したがって、光の利用効率の良い液晶表示装置を実現することが出来る。   According to the present invention, since a color image can be displayed without using a color filter, the light use efficiency of the backlight can be increased three times. Therefore, a liquid crystal display device with high light utilization efficiency can be realized.

実施例にしたがって、本発明の詳細な内容を開示する。   The detailed contents of the present invention will be disclosed according to the embodiments.

実施例1は本発明における第1の課題、すなわち、マイクロレンズアレイ10からダイクロイックマイクロミラーアレイ20に精度の良い平行光を供給するための構成を与えるものである。図1は本実施例の動作を説明する断面図である。図1において、マイクロレンズアレイ10、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20、液晶セル60が積層されている。なお、液晶表示装置には偏光板が使用されるが、図1では省略されている。偏光板は図1のマイクロレンズアレイ10の外側に設置しても良いし、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20と液晶セル60の間に設置しても良い。   The first embodiment provides a first problem in the present invention, that is, a configuration for supplying parallel light with high accuracy from the microlens array 10 to the dichroic micromirror array 20. FIG. 1 is a sectional view for explaining the operation of this embodiment. In FIG. 1, a microlens array 10, a dichroic micromirror array 20, and a liquid crystal cell 60 are stacked. In addition, although a polarizing plate is used for the liquid crystal display device, it is omitted in FIG. The polarizing plate may be installed outside the microlens array 10 of FIG. 1 or may be installed between the dichroic micromirror array 20 and the liquid crystal cell 60.

マイクロレンズアレイ10は外凸レンズ11と内凸レンズ13によって構成されている。本実施例では内側に凸レンズが形成されていることが従来例と大きく異なる点である。図1において、バックライトからマイクロレンズアレイ10に白色光Wが外凸レンズ11入射する。当然白色光Wは赤光R、緑光G、青光Bのスペクトルを含んだものである。白色光Wは外凸レンズ11によって収束される。本実施例の外凸レンズ11はレンズ強度の強いものであり、外凸レンズ11によって収束した光は内凸レンズ13に入射する前に焦点を結ぶ。   The microlens array 10 includes an outer convex lens 11 and an inner convex lens 13. In this embodiment, a convex lens is formed on the inner side, which is a big difference from the conventional example. In FIG. 1, white light W enters the external convex lens 11 from the backlight to the microlens array 10. Naturally, the white light W includes a spectrum of red light R, green light G, and blue light B. The white light W is converged by the outer convex lens 11. The outer convex lens 11 of this embodiment has a strong lens strength, and the light converged by the outer convex lens 11 is focused before entering the inner convex lens 13.

本実施例ではマイクロレンズアレイ10の外凸レンズ11の焦点面付近に遮光膜16を形成し、この遮光膜16に対して、外凸レンズ11のい焦点付近に光通過孔を形成する。この光通過孔はスリット15でもよい。本明細書は光通過孔としてスリット15という用語を用いる。すなわち、本実施例では外凸レンズ11の焦点付近にスリット15を形成する。このスリット15によって、周辺光はカットされる。したがって、内凸レンズ13へ入射する光は内凸レンズ13において、平行光成分を形成する光以外はカットされる。これによって、内凸レンズ13を通過した光は精度の良い平行光となる。   In this embodiment, a light shielding film 16 is formed near the focal plane of the outer convex lens 11 of the microlens array 10, and a light passage hole is formed near the focal point of the outer convex lens 11 with respect to the light shielding film 16. The light passage hole may be a slit 15. This specification uses the term slit 15 as the light passage hole. That is, in this embodiment, the slit 15 is formed near the focal point of the outer convex lens 11. The ambient light is cut by the slit 15. Therefore, the light incident on the inner convex lens 13 is cut by the inner convex lens 13 except for the light forming the parallel light component. As a result, the light passing through the inner convex lens 13 becomes parallel light with high accuracy.

本実施例ではスリット15を入れることによって内凸レンズ13において、非常に精度の良い平行光を形成しているが、スリット15を入れない場合でも従来例よりも精度の良い平行光を得ることが出来る。すなわち、マイクロレンズアレイ10を金型を用いてプレスによって形成する場合、凸レンズであれば、金型に溝を形成するだけなので、精度の良い型を容易に形成することが出来る。一方、凹レンズを形成する場合は、金型に凸部を形成する必要があるので、単なる溝を形成する場合に比較して困難である。内凸レンズ13あるいは、内凹レンズ12はサイズが小さいために、型の作り易さがレンズ精度に大きく影響する。   In this embodiment, parallel light with very high accuracy is formed in the inner convex lens 13 by inserting the slit 15, but parallel light with higher accuracy than the conventional example can be obtained even when the slit 15 is not provided. . That is, when the microlens array 10 is formed by pressing using a mold, if it is a convex lens, only a groove is formed in the mold, so that a highly accurate mold can be easily formed. On the other hand, in the case of forming a concave lens, it is necessary to form a convex portion in the mold, which is difficult compared to the case of forming a simple groove. Since the inwardly convex lens 13 or the inwardly concave lens 12 is small in size, the ease of making a mold greatly affects the lens accuracy.

図1において、内凸レンズ13を出た光は赤光反射ダイクロイックミラー21によって、赤光Rのみ反射されて横方向に向かい、緑光Gと青光Bは透過する。赤光Rは横方向に存在する、赤光反射ダイクロイックミラー21によて再び反射されて液晶セル60に入射する。   In FIG. 1, the light exiting the inner convex lens 13 is reflected by the red light reflecting dichroic mirror 21 only in the red light R and travels in the lateral direction, and the green light G and the blue light B are transmitted. The red light R is reflected again by the red light reflecting dichroic mirror 21 present in the lateral direction and enters the liquid crystal cell 60.

一方、赤光反射ダイクロイックミラー21を透過した緑光Gおよび青光Bのうち、青光Bは青光反射ダイクロイックミラー22によって反射され、右方向に存在する青光反射ダイクロイックミラー22によって再び反射されて液晶セル60に入射する。緑光Gは直進し、青光反射ダイクロイックミラー22を透過して液晶セル60に入射する。   On the other hand, of the green light G and blue light B transmitted through the red light reflecting dichroic mirror 21, the blue light B is reflected by the blue light reflecting dichroic mirror 22, and is reflected again by the blue light reflecting dichroic mirror 22 existing in the right direction. The light enters the liquid crystal cell 60. The green light G travels straight, passes through the blue light reflecting dichroic mirror 22 and enters the liquid crystal cell 60.

液晶セル60は、TFT基板30と対向基板50および、TFT基板30と対向基板50の間に挟持された液晶層40によって構成される。赤光Rが入射する部分の液晶セル60には赤画素を形成する画素電極、TFT、対向電極等が形成されている。同様に、緑光Gが入射する部分の液晶セル60には緑画素が形成されており、青光Bが入射する部分には液晶セル60の青画素が形成されている。   The liquid crystal cell 60 includes a TFT substrate 30 and a counter substrate 50, and a liquid crystal layer 40 sandwiched between the TFT substrate 30 and the counter substrate 50. In the liquid crystal cell 60 where red light R is incident, a pixel electrode, a TFT, a counter electrode, and the like that form a red pixel are formed. Similarly, a green pixel is formed in the liquid crystal cell 60 where the green light G is incident, and a blue pixel of the liquid crystal cell 60 is formed where the blue light B is incident.

図2は本実施例の断面模式図である。図2において、マイクロレンズアレイ10の外凸レンズ11の焦点面付近には遮光膜16が形成され、外凸レンズ11に焦点付近にはスリット15が形成されている。この遮光膜16は、たとえば、次のようにして形成することが出来る。すなわち、マイクロレンズアレイ10を上層と下層に分けて形成する。上層は外凸レンズ11が形成されるが、上層の、外凸レンズ11が形成されるのと反対側の面に印刷によってスリット15部を残して遮光膜16を印刷する。その後、マイクロレンズアレイ10の内凸レンズ13が形成された下層を上層と接合する。   FIG. 2 is a schematic sectional view of this example. In FIG. 2, a light shielding film 16 is formed near the focal plane of the outer convex lens 11 of the microlens array 10, and a slit 15 is formed near the focal point of the outer convex lens 11. The light shielding film 16 can be formed as follows, for example. That is, the microlens array 10 is formed by being divided into an upper layer and a lower layer. Although the outer convex lens 11 is formed on the upper layer, the light shielding film 16 is printed on the surface on the opposite side of the upper layer where the outer convex lens 11 is formed, leaving a slit 15 portion by printing. Thereafter, the lower layer where the inwardly convex lens 13 of the microlens array 10 is formed is bonded to the upper layer.

ダイクロイックマイクロミラーアレイ20は「特許文献1」と同様な構成となっている。すなわち、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の赤画素に対応する部分には赤光透過ダイクロイックミラー23が形成されている。この赤光透過ダイクロイックミラー23はダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造工程の要請から、形成されることは「本発明の課題」の項で述べたとおりである。ただし、本マイクロレンズアレイ10においては、赤光透過ダイクロイックミラー23の干渉膜26の厚さがコントロールされるために、赤光Rの損失はほとんど無い。   The dichroic micromirror array 20 has the same configuration as “Patent Document 1”. That is, a red light transmitting dichroic mirror 23 is formed in a portion corresponding to the red pixel of the dichroic micromirror array 20. The red light transmitting dichroic mirror 23 is formed in response to a request for a manufacturing process of the dichroic micromirror array 20 as described in the section “Problems of the present invention”. However, in this microlens array 10, the thickness of the interference film 26 of the red light transmitting dichroic mirror 23 is controlled, so that there is almost no loss of red light R.

以上のように、本実施例においては、カラーフィルタを用いずにカラー画像を形成することが出来るので、バックライトの光利用効率をカラーフィルタを用いる場合に比して3倍以上に向上させることが出来る。さらに、マイクロレンズアレイ10の内側に凸レンズを用いることによって精度の良い平行光を形成することが出来る。また、外凸レンズ11の焦点付近にスリット15を形成することによってさらに精度の良い平行光を形成することが出来る。   As described above, in this embodiment, since a color image can be formed without using a color filter, the light utilization efficiency of the backlight can be improved by three times or more as compared with the case where a color filter is used. I can do it. Further, by using a convex lens inside the microlens array 10, it is possible to form highly accurate parallel light. Further, by forming the slit 15 in the vicinity of the focal point of the outer convex lens 11, parallel light with higher accuracy can be formed.

本実施例は、本発明の第2の課題を解決するものである。図3は本発明の第2の実施例を示す断面模式図である。図3において、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20と液晶セル60が積層されている。マイクロレンズアレイ10の外側には凸レンズが形成されている。また、マイクロレンズアレイ10の内側には凹レンズが形成されている。マイクロレンズアレイ10の下側には、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20が形成されているが、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の構成は実施例1の場合に比して単純である。   This embodiment solves the second problem of the present invention. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of the present invention. In FIG. 3, a microlens array 10, a dichroic micromirror array 20, and a liquid crystal cell 60 are stacked. A convex lens is formed outside the microlens array 10. A concave lens is formed inside the microlens array 10. A dichroic micromirror array 20 is formed below the microlens array 10, but the configuration of the dichroic micromirror array 20 is simpler than that of the first embodiment.

本実施例のダイクロイックマイクロミラーアレイ20は上層には赤光反射ダイクロイックミラー21が45度の角度で平行に形成されている。ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の下層にはダイクロイックマイクロミラーアレイ20が上層とは逆方向に45度で平行に形成されている。上層のダイクロイックマイクロミラーアレイ20は赤光Rを反射して緑光Gと青光Bを透過する。また、下層のダイクロイックマイクロミラーアレイ20は緑光Gおよび赤光Rを透過して、青光Bを反射する。   In the dichroic micromirror array 20 of this embodiment, red light reflecting dichroic mirrors 21 are formed in parallel at an angle of 45 degrees on the upper layer. In the lower layer of the dichroic micromirror array 20, the dichroic micromirror array 20 is formed in parallel at 45 degrees in the direction opposite to the upper layer. The upper dichroic micromirror array 20 reflects red light R and transmits green light G and blue light B. The lower dichroic micromirror array 20 transmits green light G and red light R and reflects blue light B.

本実施例のダイクロイックマイクロミラーアレイ20は、実施例1と異なり、赤光透過ダイクロイックミラー23が存在しないために、赤光透過ダイクロイックミラー23のために、干渉膜26を制御する必要が無く、したがって、斜め蒸着をする必要が無い。これは量産性を非常に向上させる。   Unlike the first embodiment, the dichroic micromirror array 20 of this embodiment does not require the interference film 26 to be controlled for the red light transmitting dichroic mirror 23 because the red light transmitting dichroic mirror 23 does not exist. There is no need for oblique deposition. This greatly improves mass productivity.

ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の下には液晶セル60が設置されている。液晶セル60の赤光Rが入射する部分には赤画素が形成され、緑光が入射する部分には緑画素が形成され、青光が入射する部分には青画素が形成されていることは実施例1と同様である。   A liquid crystal cell 60 is installed under the dichroic micromirror array 20. In the liquid crystal cell 60, a red pixel is formed in a portion where the red light R is incident, a green pixel is formed in a portion where the green light is incident, and a blue pixel is formed in a portion where the blue light is incident. Similar to Example 1.

図4は本実施例におけるダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造方法である。図4(a)において、まず、鋸歯状に溝の形成されたダイクロイックマイクロミラーアレイ金型28にUV硬化樹脂を導入し、これをミラー基板27に転写する。ミラー基板27は後で剥離するので材料は何でもよいが、UV硬化樹脂をUV(紫外線)で照射するのでガラス等、透明な材料がよい。   FIG. 4 shows a manufacturing method of the dichroic micromirror array 20 in this embodiment. 4A, first, a UV curable resin is introduced into a dichroic micromirror array mold 28 in which grooves are formed in a sawtooth shape, and this is transferred to the mirror substrate 27. Since the mirror substrate 27 is peeled later, any material can be used. However, since the UV curable resin is irradiated with UV (ultraviolet rays), a transparent material such as glass is preferable.

図4(b)において、UVで硬化したマイクロミラー樹脂25に対して若干斜め方向から干渉膜26を蒸着する。この場合、干渉膜26を斜めから蒸着する理由はマイクロミラー樹脂25の垂直部分に蒸着膜を被着させないためであり、実施例1の場合のダイクロイックマイクロミラーアレイ20の場合と異なり、膜厚の制御のための斜め蒸着ではないので、角度の設定は実施例1の場合に比してラフでよい。   In FIG. 4B, an interference film 26 is deposited on the micromirror resin 25 cured with UV from a slightly oblique direction. In this case, the reason why the interference film 26 is deposited obliquely is that the deposited film is not deposited on the vertical portion of the micromirror resin 25. Unlike the case of the dichroic micromirror array 20 in the first embodiment, the thickness of the interference film 26 is different. Since the angle deposition is not for control, the angle may be set more roughly than in the first embodiment.

干渉膜26を蒸着後、図5(a)に示すように、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の凹部にマイクロミラー樹脂25を流しこみ、平行平板フィルムとする。その後、図5(b)に示すように、形成された平行平板フィルムの上に、ダイクロイックマイクロミラーアレイ金型28によってUV硬化樹脂を鋸歯状に転写する。   After depositing the interference film 26, as shown in FIG. 5A, the micromirror resin 25 is poured into the recesses of the dichroic micromirror array 20 to form a parallel plate film. Thereafter, as shown in FIG. 5B, the UV curable resin is transferred in a sawtooth shape on the formed parallel flat film by the dichroic micromirror array mold 28.

さらに、図6(a)に示すように、鋸歯上のマイクロミラー樹脂25の傾斜部のみに被着するように、干渉膜26を斜め方向から蒸着する。この場合も、斜め蒸着は鋸歯状のマイクロミラー樹脂25の垂直部に被着しないようにすればよいので、斜め蒸着の角度は実施例1の場合の斜め蒸着の角度に比してラフでよい。その後、図6(b)に示すように、蒸着膜が形成された面にマイクロミラー樹脂25を流し込み、平行平板のダイクロイックマイクロミラーアレイ20が完成する。このようにして形成されたダイクロイックマイクロミラーアレイ20は構成が単純であり、その分高精度に形成することが出来る。   Further, as shown in FIG. 6A, the interference film 26 is deposited from an oblique direction so as to be deposited only on the inclined portion of the micromirror resin 25 on the sawtooth. Also in this case, since the oblique vapor deposition should not be deposited on the vertical portion of the sawtooth micromirror resin 25, the angle of the oblique vapor deposition may be rough as compared with the angle of the oblique vapor deposition in the first embodiment. . Thereafter, as shown in FIG. 6B, the micromirror resin 25 is poured into the surface on which the vapor deposition film is formed, and the parallel plate dichroic micromirror array 20 is completed. The dichroic micromirror array 20 formed in this way has a simple configuration and can be formed with high accuracy accordingly.

本実施例におけるダイクロイックマイクロミラーアレイ20はその配置の仕方によっては、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20との位置ずれがあった場合でも色純度の劣化を防止できるという特徴を有する。図7は本実施例の動作を示す断面図である。図7において、マイクロレンズアレイ10を通過した平行光は赤光反射ダイクロイックミラー21と青光反射ダイクロイックミラー22によって3色の光に分離され、液晶セル60に入射する。図7はマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の位置合わせが完全な場合である。   The dichroic micromirror array 20 in the present embodiment has a feature that, depending on the arrangement, the color purity can be prevented from deteriorating even when the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 are misaligned. FIG. 7 is a sectional view showing the operation of this embodiment. In FIG. 7, the parallel light that has passed through the microlens array 10 is separated into light of three colors by the red light reflecting dichroic mirror 21 and the blue light reflecting dichroic mirror 22 and enters the liquid crystal cell 60. FIG. 7 shows a case where the alignment between the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 is complete.

図8はマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の位置がずれた場合の例である。図8においては、くの字形に形成されたダイクロイックミラーとダイクロイックミラーとの間に隙間dが存在している。この部分に入射する光はダイクロイックマイクロミラーアレイ20の作用を受けないため、白色光Wのまま、たとえば、液晶セル60に形成された緑画素に入射する。そうすると色純度を劣化させる。   FIG. 8 shows an example where the positions of the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 are shifted. In FIG. 8, there is a gap d between the dichroic mirror formed in a square shape and the dichroic mirror. Since the light incident on this portion is not affected by the dichroic micromirror array 20, the white light W is incident on, for example, a green pixel formed in the liquid crystal cell 60. This degrades the color purity.

このような、場合であっても、液晶セル60の対向基板50にカラーフィルタを形成しておけば、色純度の劣化は防止することが出来る。この場合、カラーフィルタはわずかな白色光Wの緑成分以外を吸収するだけなので、カラーフィルタによる光利用効率の低下はわずかなもので済む。   Even in such a case, if a color filter is formed on the counter substrate 50 of the liquid crystal cell 60, deterioration of the color purity can be prevented. In this case, since the color filter only absorbs a small amount of the white light W other than the green component, the decrease in light use efficiency due to the color filter is negligible.

一方、本実施例におけるマイクロレンズアレイ10の位置を適切な配置とすることによって、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の位置合わせにずれが生じた場合も、色純度の劣化を防止することが出来る。図9はその構成を示す。   On the other hand, by appropriately arranging the positions of the microlens array 10 in this embodiment, even when the alignment between the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 is shifted, deterioration of color purity can be prevented. I can do it. FIG. 9 shows the configuration.

図9は、くの字形に形成された干渉膜26と干渉膜26の間の隙間が無い場合である。この様子を図9の点線で示す。すなわち、図8に示すdがゼロの場合である。以後この構成を稠密構造という。言い換えれば、図9の状態は、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20を平面でみた場合、すなわち、液晶表示装置の法線方向から見た場合、赤光反射ダイクロイックミラー21の上端が、隣の赤光反射ダイクロイックミラー21の下端と一致しているということである。   FIG. 9 shows a case where there is no gap between the interference film 26 and the interference film 26 formed in a dogleg shape. This is shown by the dotted line in FIG. That is, d shown in FIG. 8 is zero. Hereinafter, this configuration is referred to as a dense structure. In other words, when the dichroic micromirror array 20 is viewed in a plane, that is, when viewed from the normal direction of the liquid crystal display device, the upper end of the red light reflecting dichroic mirror 21 is adjacent to the adjacent red light reflecting dichroic state in FIG. That is, it coincides with the lower end of the mirror 21.

この場合の動作を図10〜図13に示す。図10はマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の位置ずれが無い場合である。図10において、赤光反射ダイクロイックミラー21と青光反射ダイクロイックミラー22によって、マイクロレンズアレイ10を出射した白色光Wは、赤光R、緑光G、青光Bに分離されて液晶セル60に入射する。   The operation in this case is shown in FIGS. FIG. 10 shows a case where there is no positional deviation between the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20. In FIG. 10, the white light W emitted from the microlens array 10 by the red light reflecting dichroic mirror 21 and the blue light reflecting dichroic mirror 22 is separated into red light R, green light G, and blue light B and enters the liquid crystal cell 60. To do.

図11はマイクロレンズアレイ10を出射した平行光のエッジと赤光反射ダイクロイックミラー21のエッジがg1だけずれた場合である。この場合、g1だけずれた分の平行光は、隣の赤光反射ダイクロイックミラー21によって反射され、ずれていない部分の赤光Rの主要部分と同様に、液晶セル60の赤画素に入射する。したがって、色純度の劣化は無い。   FIG. 11 shows a case where the edge of the parallel light emitted from the microlens array 10 and the edge of the red light reflecting dichroic mirror 21 are shifted by g1. In this case, the parallel light that is shifted by g1 is reflected by the adjacent red light reflecting dichroic mirror 21, and enters the red pixel of the liquid crystal cell 60 in the same manner as the main part of the red light R that is not shifted. Therefore, there is no deterioration in color purity.

図12はマイクロレンズアレイ10を出射した平行光のエッジと赤光反射ダイクロイックミラー21のエッジがさらにずれて、平行光の幅の半分程度のg1だけずれた場合である。この場合も、図12に示すように、ずれた半分の光は隣の赤光反射ダイクロイックミラー21によって反射され、結局、液晶セル60の赤画素に入射する。   FIG. 12 shows a case where the edge of the parallel light emitted from the microlens array 10 and the edge of the red light reflecting dichroic mirror 21 are further shifted by a distance g1 that is about half the width of the parallel light. Also in this case, as shown in FIG. 12, half of the shifted light is reflected by the adjacent red light reflecting dichroic mirror 21 and eventually enters the red pixel of the liquid crystal cell 60.

したがって、本実施例によれば、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20がずれた場合であっても色純度は劣化しない。本実施例では、マイクロレンズアレイ10と液晶セル60の位置合わせを正確に行えばよいことになる。これは量産性に対して大きな利点である。   Therefore, according to this embodiment, even if the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 are displaced, the color purity does not deteriorate. In this embodiment, the microlens array 10 and the liquid crystal cell 60 need only be aligned accurately. This is a great advantage for mass productivity.

以上の例では、くの字形の干渉膜26の距離、すなわち、図8におけるdがゼロであるとして説明した。しかし、完全な稠密構造を達成することは難しい。つまり、図8のdを完全にゼロにすることは困難である。図8のdをどの程度まで、許容できるかを評価すると次のとおりである。すなわち、干渉膜26は20層から40層の蒸着膜で形成されている。この干渉膜26の膜厚は層数によっても異なるが、3μm程度である。したがって、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20のずれが3μm程度であれば、色純度の劣化は無い。さらに、5ミクロン程度のずれが生じた場合でも色純度の劣化は、人間の目にはほとんど認識できない。   In the above example, the distance of the U-shaped interference film 26, that is, d in FIG. 8 is assumed to be zero. However, it is difficult to achieve a complete dense structure. That is, it is difficult to make d in FIG. 8 completely zero. To what extent d in FIG. 8 can be tolerated is evaluated as follows. That is, the interference film 26 is formed of 20 to 40 deposited films. The thickness of the interference film 26 varies depending on the number of layers, but is about 3 μm. Therefore, if the deviation between the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 is about 3 μm, there is no deterioration in color purity. Furthermore, even when a shift of about 5 microns occurs, the deterioration of color purity is hardly perceivable by the human eye.

図13は、図12のように、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の合わせが大きくずれた上、さらに、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の上層に形成される赤光反射ダイクロイックミラー21と下層に形成される青光反射ダイクロイックミラー22の位置がずれた場合の動作を示す。この場合も、図13に示すように、隣に存在する赤光反射ダイクロイックミラー21あるいは青光反射ダイクロイックミラー22と補完しあうことによって、色純度の劣化を防止することが出来る。   In FIG. 13, the alignment of the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 is greatly shifted as shown in FIG. 12, and further, the red light reflecting dichroic mirror 21 formed on the upper layer of the dichroic micromirror array 20 is formed on the lower layer. The operation when the position of the formed blue light reflecting dichroic mirror 22 is shifted will be described. Also in this case, as shown in FIG. 13, the color purity can be prevented from deteriorating by complementing the adjacent red light reflecting dichroic mirror 21 or blue light reflecting dichroic mirror 22.

このように、本実施例によるダイクロイックマイクロミラーアレイ20を用いることによって、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20とマイクロレンズアレイ10の位置合わせの裕度が向上するばかりでなく、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20自体の製造裕度を向上させることが出来る。   Thus, by using the dichroic micromirror array 20 according to the present embodiment, not only the margin of alignment between the dichroic micromirror array 20 and the microlens array 10 is improved, but also the manufacturing margin of the dichroic micromirror array 20 itself is increased. The degree can be improved.

図14〜図16は本実施例におけるダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造方法の他の形態である。図14(a)において、UV硬化樹脂をダイクロイックマイクロミラーアレイ金型28によってミラー基板27上に転写することは図4(a)と同様である。図14(b)は、このように鋸歯状に形成されたマイクロミラー樹脂25の傾斜部に干渉膜26をイオンスパッタリングによって形成する例である。   14 to 16 show other forms of the method for manufacturing the dichroic micromirror array 20 in the present embodiment. In FIG. 14A, the UV curable resin is transferred onto the mirror substrate 27 by the dichroic micromirror array mold 28 as in FIG. 4A. FIG. 14B shows an example in which the interference film 26 is formed by ion sputtering on the inclined portion of the micromirror resin 25 thus formed in a sawtooth shape.

イオンスパッタリングはイオン化した薄膜材料を電界で加速して直進性をよくしたスパッタリング方法である。イオンスパッタリングを用いれば、斜め蒸着を用いずに、ミラー基板27に対して垂直方向からスパッタリングをすることができるので、量産性の観点からは非常に有利である。   Ion sputtering is a sputtering method in which an ionized thin film material is accelerated by an electric field to improve straightness. If ion sputtering is used, sputtering can be performed in a direction perpendicular to the mirror substrate 27 without using oblique vapor deposition, which is very advantageous from the viewpoint of mass productivity.

このようにして、図15(a)に示すように、鋸歯状のマイクロミラー樹脂25の傾斜部に干渉膜26が形成されたダイクロイックマイクロミラーアレイ20の1部が形成される。その後、鋸歯状部の凹部にマイクロミラー樹脂25を流し込み、UVによって硬化させ、平行平板状のフィルムが形成される。   In this way, as shown in FIG. 15A, a portion of the dichroic micromirror array 20 in which the interference film 26 is formed on the inclined portion of the sawtooth micromirror resin 25 is formed. Thereafter, the micromirror resin 25 is poured into the concave portion of the serrated portion and cured by UV to form a parallel plate-like film.

このフィルムの上に、さらに、図15(b)に示すように上層用の鋸歯状のマイクロミラー樹脂25を形成し、図16(a)に示すように、イオンスパッタリングによってマイクロミラー樹脂25の傾斜部に干渉膜26を形成する。その後、図16(b)に示すように、凹部に樹脂を流し込んでUV硬化することによって、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20が完成する。本実施形態でのダイクロイックマイクロミラーアレイ20は斜め蒸着を必要としないために、量産性に優れている。   Further, a sawtooth micromirror resin 25 for the upper layer is formed on the film as shown in FIG. 15B, and the micromirror resin 25 is inclined by ion sputtering as shown in FIG. 16A. The interference film 26 is formed on the part. Thereafter, as shown in FIG. 16B, a dichroic micromirror array 20 is completed by pouring resin into the recesses and curing with UV. Since the dichroic micromirror array 20 in this embodiment does not require oblique vapor deposition, it is excellent in mass productivity.

図17は本発明の第3の実施例を示す概略断面図である。図17において、液晶セル60の上に、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20、マイクロレンズアレイ10が順に積層されている。マイクロレンズアレイ10では外凸レンズ11と内凹レンズ12によって平行光が形成されることは実施例2と同様である。   FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing a third embodiment of the present invention. In FIG. 17, a dichroic micromirror array 20 and a microlens array 10 are sequentially stacked on a liquid crystal cell 60. In the microlens array 10, parallel light is formed by the outer convex lens 11 and the inner concave lens 12 as in the second embodiment.

実施例2と本実施例が異なる点は、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の形状である。図17において、上層に形成された赤光反射ダイクロイックミラー21と下層に形成された青光反射ダイクロイックミラー22とは樹脂層によってh2だけ隔てられている。赤光反射ダイクロイックミラー21と青光反射ダイクロイックミラー22の間に樹脂層が存在していても、光の進路が変わるわけではない。   The difference between the second embodiment and the present embodiment is the shape of the dichroic micromirror array 20. In FIG. 17, the red light reflecting dichroic mirror 21 formed in the upper layer and the blue light reflecting dichroic mirror 22 formed in the lower layer are separated from each other by h2. Even if a resin layer exists between the red light reflecting dichroic mirror 21 and the blue light reflecting dichroic mirror 22, the light path does not change.

本実施例の特徴はダイクロイックマイクロミラーアレイ20をプレスによって形成できる点である。図18は本実施例におけるダイクロイックマイクロミラーアレイ20の製造方法である。図18(a)において、マイクロミラー樹脂25はプレスによって形成される。すなわち、もともとは平行平板であったマイクロミラー樹脂25を上下からプレスすることによって、上下に鋸歯状の凹部を形成する。その後、イオンスパッタリング等によって傾斜部に干渉膜26を被着させる。   The feature of this embodiment is that the dichroic micromirror array 20 can be formed by pressing. FIG. 18 shows a method of manufacturing the dichroic micromirror array 20 in this embodiment. In FIG. 18A, the micromirror resin 25 is formed by pressing. That is, by pressing the micromirror resin 25 that was originally a parallel plate from above and below, sawtooth-shaped recesses are formed at the top and bottom. Thereafter, the interference film 26 is deposited on the inclined portion by ion sputtering or the like.

さらに、干渉膜26を覆ってマイクロミラー樹脂25の上下の凹部に樹脂を流しこみ、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20が完成する。図18(a)に示すように、本実施例ダイクロイックマイクロミラーアレイ20は、鋸歯状部と中央部に分かれている。鋸歯部の高さh1あるいはh3は80μm、中央部の高さh2は40μmである。したがって、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20全部の厚さは200ミクロン程度であり、中央部が形成されても液晶表示装置全体の厚さに対してはほとんど影響は無い。   Further, the dichroic micromirror array 20 is completed by covering the interference film 26 and pouring the resin into the upper and lower recesses of the micromirror resin 25. As shown in FIG. 18A, the dichroic micromirror array 20 of this embodiment is divided into a sawtooth portion and a central portion. The height h1 or h3 of the sawtooth portion is 80 μm, and the height h2 of the central portion is 40 μm. Therefore, the total thickness of the dichroic micromirror array 20 is about 200 microns, and even if the central portion is formed, there is almost no influence on the thickness of the entire liquid crystal display device.

以上のように、本実施例によれば、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20の上下の面をプレスによって1度に形成するので、高い量産性を持って、かつ、精度良く形成することが出来る。   As described above, according to the present embodiment, since the upper and lower surfaces of the dichroic micromirror array 20 are formed at a time by pressing, the dichroic micromirror array 20 can be formed with high mass productivity and high accuracy.

実施例2と実施例3はマイクロレンズアレイ10として、外凸レンズ11と内凹レンズ12の組み合わせによって平行光をダイクロイックマイクロミラーアレイ20に入射している。実施例2および実施例3で使用したダイクロイックマイクロミラーアレイ20を、実施例1で説明した、外凸レンズ11と内凹レンズ12によって形成されたマイクロレンズアレイ10と組み合わせることが出来ることは勿論である。   In the second and third embodiments, as the microlens array 10, parallel light is incident on the dichroic micromirror array 20 by the combination of the outer convex lens 11 and the inner concave lens 12. It goes without saying that the dichroic micromirror array 20 used in the second and third embodiments can be combined with the microlens array 10 formed by the outer convex lens 11 and the inner concave lens 12 described in the first embodiment.

図19は本実施例の一形態である。図19において、液晶セル60の上にダイクロイックマイクロミラーアレイ20が設置され、さらにその上にマイクロレンズアレイ10が設置されている。マイクロレンズアレイ10は外凸レンズ11と内凸レンズ13によって構成されている。実施例1で説明したように、マイクロレンズアレイ10内の外凸レンズ11の焦点位置付近にスリット15を設置することによってマイクロレンズアレイ10から出射する平行光の精度をさらに向上させることが出来る。   FIG. 19 shows one embodiment of this embodiment. In FIG. 19, the dichroic micromirror array 20 is installed on the liquid crystal cell 60, and the microlens array 10 is further installed thereon. The microlens array 10 includes an outer convex lens 11 and an inner convex lens 13. As described in the first embodiment, the accuracy of the parallel light emitted from the microlens array 10 can be further improved by installing the slit 15 in the vicinity of the focal position of the outer convex lens 11 in the microlens array 10.

マイクロレンズアレイ10を出射した平行光はダイクロイックマイクロミラーアレイ20によって赤光R、緑光G、青光Bに分解され、それぞれ、液晶セル60の赤画素、緑画素、青画素に入射する。図19においては、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20は稠密構造になっていない。すなわち、図19に示すように、2個のくの字形の干渉膜26の間dはゼロではない。   The parallel light emitted from the microlens array 10 is decomposed into red light R, green light G, and blue light B by the dichroic micromirror array 20, and enters the red pixel, green pixel, and blue pixel of the liquid crystal cell 60, respectively. In FIG. 19, the dichroic micromirror array 20 does not have a dense structure. That is, as shown in FIG. 19, d between the two dog-shaped interference films 26 is not zero.

図20は図19の断面模式図に示す液晶表示装置の動作を示す図である。図19はバックライトからの光がマイクロレンズアレイ10を通過して平行光となり、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20によって赤光R、緑光G、青光Bに分解されて液晶セル60に入射する様子を示している。   FIG. 20 is a diagram showing the operation of the liquid crystal display device shown in the schematic cross-sectional view of FIG. FIG. 19 shows a state in which light from the backlight passes through the microlens array 10 to become parallel light and is split into red light R, green light G, and blue light B by the dichroic micromirror array 20 and enters the liquid crystal cell 60. ing.

図20はマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20の合わせ精度が完全な場合である。したがって、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20が稠密構造になっていなくとも色純度は劣化していない。一方、本実施例で使用しているマイクロレンズアレイ10は実施例1で説明したように、平行光の精度を上げることが出来る。したがって、マイクロレンズアレイ10から、より細い平行光を出射することが出来る。   FIG. 20 shows a case where the alignment accuracy of the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 is perfect. Therefore, even if the dichroic micromirror array 20 does not have a dense structure, the color purity does not deteriorate. On the other hand, as described in the first embodiment, the microlens array 10 used in this embodiment can improve the accuracy of parallel light. Accordingly, finer parallel light can be emitted from the microlens array 10.

より細い平行光を使用できれば、その分、合わせ精度に対する裕度を大きくすることが出来る。そして、外凸レンズ11の焦点付近にスリット15を形成すれば、さらに精度のよい平行光を形成することが出来、その分、さらい合わせ精度に対する裕度を上げることが出来る。   If narrower parallel light can be used, the tolerance for alignment accuracy can be increased accordingly. If the slit 15 is formed in the vicinity of the focal point of the outer convex lens 11, more accurate parallel light can be formed, and the margin for the cleaning accuracy can be increased accordingly.

図21はマイクロレンズアレイ10に実施例1と同様な構成、すなわち、外凸レンズ11と内凸レンズ13を用いた場合で、かつダイクロイックマイクロミラーアレイ20を稠密構造とした場合である。図21はマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20にずれが無い場合であるが、実施例2で説明したように、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20が稠密構造をとれば、マイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20に合わせずれが生じても、色純度の劣化を防止できる。   FIG. 21 shows a configuration similar to that of the first embodiment in the microlens array 10, that is, a case where the outer convex lens 11 and the inner convex lens 13 are used, and the dichroic micromirror array 20 has a dense structure. FIG. 21 shows a case where there is no deviation between the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20. However, as described in the second embodiment, if the dichroic micromirror array 20 has a dense structure, the microlens array 10 and the dichroic micromirror 20 are arranged. Even if misalignment occurs in the mirror array 20, it is possible to prevent color purity deterioration.

図22はマイクロレンズアレイ10に実施例1のレンズ構成、すなわち、外凸レンズ11と内凸レンズ13を使用した場合で、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20に実施例3の構成を使用した場合である。この場合は、ダイクロイックマイクロミラーアレイ20を精度よく、かつ、高い量産性を持って生産することが出来る。この場合もダイクロイックマイクロミラーアレイ20に稠密構造を用いることによってマイクロレンズアレイ10とダイクロイックマイクロミラーアレイ20に位置ずれが生じても液晶表示装置の色純度の劣化を防止することが出来る。   FIG. 22 shows a case where the lens configuration of the first embodiment is used for the microlens array 10, that is, the configuration of the third embodiment is used for the dichroic micromirror array 20 when the outer convex lens 11 and the inner convex lens 13 are used. In this case, the dichroic micromirror array 20 can be produced with high accuracy and high productivity. Also in this case, the use of a dense structure for the dichroic micromirror array 20 can prevent the color purity of the liquid crystal display device from being deteriorated even if the microlens array 10 and the dichroic micromirror array 20 are misaligned.

実施例1の動作説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory diagram of the first embodiment. 実施例1の概略断面図である。1 is a schematic sectional view of Example 1. FIG. 実施例2の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of Example 2. FIG. ダイクロイックマイクロミラーアレイの製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. ダイクロイックマイクロミラーアレイの製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. ダイクロイックマイクロミラーアレイの製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. 実施例2の動作説明図である。FIG. 6 is an operation explanatory diagram of Embodiment 2. 実施例2で合わせずれが生じた場合の説明図である。It is explanatory drawing when the misalignment arises in Example 2. 実施例2の他の形態の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of another embodiment of Example 2. FIG. 実施例2の他の形態の動作図である。It is an operation | movement figure of the other form of Example 2. 実施例2の他の形態で合わせずれがある場合の図である。It is a figure in case there exists misalignment in the other form of Example 2. FIG. 実施例2の他の形態でより大きな合わせずれがある場合の図である。It is a figure in case there exists a bigger misalignment in the other form of Example 2. FIG. 実施例2のさらに他の形態で合わせずれがある場合の図である。It is a figure in case there exists misalignment in the further another form of Example 2. FIG. ダイクロイックマイクロミラーアレイの他の製造工程図である。It is another manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. ダイクロイックマイクロミラーアレイの他の製造工程図である。It is another manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. ダイクロイックマイクロミラーアレイの他の製造工程図である。It is another manufacturing-process figure of a dichroic micromirror array. 実施例3の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of Example 3. FIG. 実施例ダイクロイックマイクロミラーアレイの製造工程である。Example A manufacturing process of a dichroic micromirror array. 実施例3の概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of Example 3. FIG. 実施例3の動作説明図である。FIG. 9 is an operation explanatory diagram of Embodiment 3. 実施例3の他の形態の概略断面図である。10 is a schematic cross-sectional view of another form of Example 3. FIG. 実施例3のさらに他の形態の概略断面図である。10 is a schematic cross-sectional view of still another embodiment of Example 3. FIG. 従来技術の原理説明図である。It is principle explanatory drawing of a prior art. 従来技術のダイクロイックマイクロミラーアレイの製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the dichroic micromirror array of a prior art. 従来技術の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a prior art. 従来技術の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of a prior art. ダイクロイックマイクロミラーアレイの動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of a dichroic micromirror array.

符号の説明Explanation of symbols

10…マイクロレンズアレイ、 11…外凸レンズ、 12…内凹レンズ、 13…内凸レンズ、 15…スリット、 16…遮光膜、 20…ダイクロイックマイクロミラーアレイ、 21…赤光反射ダイクロイックミラー、 22…青光反射ダイクロイックミラー、 23…赤光透過ダイクロイックミラー、 25…マイクロミラー樹脂、 26…干渉膜、 27…ミラー基板、 28…ダイクロイックマイクロミラーアレイ金型、 60…液晶セル、 R…赤光、 G…緑光、 B…青光、 W…白色光。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Microlens array, 11 ... Outer convex lens, 12 ... Inner concave lens, 13 ... Inner convex lens, 15 ... Slit, 16 ... Light shielding film, 20 ... Dichroic micromirror array, 21 ... Red light reflection dichroic mirror, 22 ... Blue light reflection Dichroic mirror, 23 ... Red light transmitting dichroic mirror, 25 ... Micromirror resin, 26 ... Interference film, 27 ... Mirror substrate, 28 ... Dichroic micromirror array mold, 60 ... Liquid crystal cell, R ... Red light, G ... Green light, B ... Blue light, W ... White light.

Claims (17)

赤画素、緑画素、青画素がマトリクス状に形成された液晶セルと、ダイクロイックマイクロミラーアレイと、マイクロレンズアレイが積層され、背面にバックライトを有する液晶表示装置であって、
前記マイクロレンズアレイはバックライトからの光が入射する外凸レンズと前記ダイクロイックマイクロミラーアレイ側に形成された内凸レンズから形成され、
前記ダイクロイックミラーは第1のダイクロイックマイクロミラーを有する第1の層と、第2のダイクロイックマイクロミラーを有する第2の層から構成され、
前記バックライトからの光は前記ダイクロイックマイクロミラーアレイによって、赤光、緑光、青光に分解され、前記赤光、前記緑光、前記青光は前記液晶セルの赤画素、緑画素、青画素に各々入射することを特徴とする液晶表示装置。
A liquid crystal display device in which a red pixel, a green pixel, and a blue pixel are formed in a matrix, a dichroic micromirror array, a microlens array, and a backlight on the back surface.
The micro lens array is formed of an outer convex lens on which light from a backlight is incident and an inner convex lens formed on the dichroic micro mirror array side,
The dichroic mirror is composed of a first layer having a first dichroic micromirror and a second layer having a second dichroic micromirror,
The light from the backlight is decomposed into red light, green light, and blue light by the dichroic micromirror array, and the red light, the green light, and the blue light are respectively applied to the red pixel, the green pixel, and the blue pixel of the liquid crystal cell. A liquid crystal display device characterized by being incident.
前記マイクロレンズアレイは内部に遮光層を有し、前記外凸レンズの焦点付近に前記遮光膜の通過孔を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the microlens array has a light shielding layer inside and has a passage hole of the light shielding film near a focal point of the outer convex lens. 前記第1のダイクロイックマイクロミラーは第1の光を反射し、第2の光および第3の光を透過し、前記第2のダイクロイックマイクロミラーは前記第2の光を透過し、前記第3の光を反射することを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The first dichroic micromirror reflects the first light, transmits the second light and the third light, the second dichroic micromirror transmits the second light, and the third light The display device according to claim 1, wherein the display device reflects light. 前記第1の光は赤光であり、前記第2の光は緑光であり、前記第3の光は青光であることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 3, wherein the first light is red light, the second light is green light, and the third light is blue light. 前記第1のダイクロイックマイクロミラーは第1の光を反射し、第2の光および第3の光を透過し、前記第2のダイクロイックマイクロミラーは前記第2の光を透過し、前記第3の光を反射し、かつ、前記第1の光を透過することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。   The first dichroic micromirror reflects the first light, transmits the second light and the third light, the second dichroic micromirror transmits the second light, and the third light The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device reflects light and transmits the first light. 前記第1の光は赤光であり、前記第2の光は緑光であり、前記第3の光は青光であることを特徴とする請求項5に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 5, wherein the first light is red light, the second light is green light, and the third light is blue light. 赤画素、緑画素、青画素がマトリクス状に形成された液晶セルと、ダイクロイックマイクロミラーアレイと、マイクロレンズアレイが積層され、背面にバックライトを有する液晶表示装置であって、
前記マイクロレンズアレイはバックライトからの光が入射する面に形成された第1のレンズと前記ダイクロイックマイクロミラーアレイ側に形成された第2のレンズから形成され、
前記ダイクロイックマイクロミラーアレイは、光が入射する方向に対して第1の角度を有する第1のダイクロイックマイクロミラーと、光が入射する方向に対して第2の角度を有する第2のダイクロイックマイクロミラーが形成され、
前記第1のダイクロイックマイクロミラーと前記第2のダイクロイックマイクロミラーはくの字型を形成し、
前記バックライトからの光は前記ダイクロイックマイクロミラーアレイによって、赤光、緑光、青光に分解され、前記赤光、前記緑光、前記青光は前記液晶セルの赤画素、緑画素、青画素に各々入射することを特徴とする液晶表示装置。
A liquid crystal display device in which a red pixel, a green pixel, and a blue pixel are formed in a matrix, a dichroic micromirror array, a microlens array, and a backlight on the back surface.
The microlens array is formed of a first lens formed on a surface on which light from a backlight is incident and a second lens formed on the dichroic micromirror array side,
The dichroic micromirror array includes a first dichroic micromirror having a first angle with respect to a light incident direction and a second dichroic micromirror having a second angle with respect to the light incident direction. Formed,
Forming the first dichroic micromirror and the second dichroic micromirror in a U shape;
The light from the backlight is decomposed into red light, green light, and blue light by the dichroic micromirror array, and the red light, the green light, and the blue light are respectively applied to the red pixel, the green pixel, and the blue pixel of the liquid crystal cell. A liquid crystal display device characterized by being incident.
前記第1のダイクロイックマイクロミラーは第1の光を反射し、第2の光および第3の光を透過し、前記第2のダイクロイックマイクロミラーは前記第2の光を透過し、前記第3の光を反射し、かつ、前記第1の光を透過することを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。   The first dichroic micromirror reflects the first light, transmits the second light and the third light, the second dichroic micromirror transmits the second light, and the third light The liquid crystal display device according to claim 7, wherein the liquid crystal display device reflects light and transmits the first light. 前記第1の光は赤光であり、前記第2の光は緑光であり、前記第3の光は青光であることを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置。   The liquid crystal display device according to claim 8, wherein the first light is red light, the second light is green light, and the third light is blue light. 前記第1の角度は光の入射方向に対して時計回りに45度で、前記第2の角度は光の入射方向に対して反時計回りに45度であることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。   The first angle is 45 degrees clockwise with respect to the incident direction of light, and the second angle is 45 degrees counterclockwise with respect to the incident direction of light. The liquid crystal display device described. 前記第1のダイクロイックマイクロミラーは前記マイクロレンズアレイ側に第1の端部を持ち、前記ダイクロイックマイクロミラーは前記ダイクロイックマイクロミラーアレイの第2の層側に第2の端部を持ち、前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第1の端部と前記第1のダイクロイックマイクロミラーの隣の前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第2の端部は、光の入射方向から見た場合、5μm以内で一致していることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。   The first dichroic micromirror has a first end on the microlens array side, the dichroic micromirror has a second end on the second layer side of the dichroic micromirror array, and the first The first end of the first dichroic micromirror and the second end of the first dichroic micromirror adjacent to the first dichroic micromirror coincide with each other within 5 μm when viewed from the light incident direction. The liquid crystal display device according to claim 7. 前記第1のダイクロイックマイクロミラーは前記マイクロレンズアレイ側に第1の端部を持ち、前記ダイクロイックマイクロミラーは前記ダイクロイックマイクロミラーアレイの第2の層側に第2の端部を持ち、前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第1の端部と前記第1のダイクロイックマイクロミラーの隣の前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第2の端部は、光の入射方向から見た場合、3μm以内で一致していることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置。   The first dichroic micromirror has a first end on the microlens array side, the dichroic micromirror has a second end on the second layer side of the dichroic micromirror array, and the first The first end of the first dichroic micromirror and the second end of the first dichroic micromirror adjacent to the first dichroic micromirror coincide with each other within 3 μm when viewed from the light incident direction. The liquid crystal display device according to claim 7. ダイクロイックマイクロミラーアレイと、マイクロレンズアレイが積層された光学装置であって、
前記マイクロレンズアレイは外光が入射する外凸レンズと前記ダイクロイックマイクロミラーアレイ側に形成された内凸レンズから形成され、
前記マイクロレンズアレイは内部に遮光層を有し、前記外凸レンズの焦点付近に前記遮光膜の通過孔を有し、
前記ダイクロイックミラーは第1のダイクロイックマイクロミラーを有する第1の層と、第2のダイクロイックマイクロミラーを有する第2の層から構成され、
前記外光は前記ダイクロイックマイクロミラーアレイによって、赤光、緑光、青光に分解されることを特徴とする光学装置。
An optical device in which a dichroic micromirror array and a microlens array are stacked,
The micro lens array is formed of an outer convex lens on which external light is incident and an inner convex lens formed on the dichroic micro mirror array side,
The microlens array has a light shielding layer inside, and has a passage hole of the light shielding film near the focal point of the outer convex lens,
The dichroic mirror is composed of a first layer having a first dichroic micromirror and a second layer having a second dichroic micromirror,
The optical apparatus, wherein the external light is decomposed into red light, green light, and blue light by the dichroic micromirror array.
ダイクロイックマイクロミラーアレイと、マイクロレンズアレイが積層された光学装置であって、
前記マイクロレンズアレイは外光が入射する面に形成された第1のレンズと前記ダイクロイックマイクロミラーアレイ側に形成された第2のレンズから形成され、
前記ダイクロイックマイクロミラーアレイは、光が入射する方向に対して第1の角度を有する第1のダイクロイックマイクロミラーと、光が入射する方向に対して第2の角度を有する第2のダイクロイックマイクロミラーが形成され、
前記第1のダイクロイックマイクロミラーと前記第2のダイクロイックマイクロミラーはくの字型を形成し、
前記第1のダイクロイックマイクロミラーは第1の光を反射し、第2の光および第3の光を透過し、前記第2のダイクロイックマイクロミラーは前記第2の光を透過し、前記第3の光を反射し、かつ、前記第1の光を透過することを特徴とする光学装置。
An optical device in which a dichroic micromirror array and a microlens array are stacked,
The micro lens array is formed of a first lens formed on a surface on which external light is incident and a second lens formed on the dichroic micro mirror array side,
The dichroic micromirror array includes a first dichroic micromirror having a first angle with respect to a light incident direction and a second dichroic micromirror having a second angle with respect to a light incident direction. Formed,
Forming the first dichroic micromirror and the second dichroic micromirror in a U shape;
The first dichroic micromirror reflects the first light, transmits the second light and the third light, the second dichroic micromirror transmits the second light, and the third light An optical device that reflects light and transmits the first light.
前記第1の光は赤光であり、前記第2の光は緑光であり、前記第3の光は青光であることを特徴とする請求項14に記載の光学装置。   15. The optical apparatus according to claim 14, wherein the first light is red light, the second light is green light, and the third light is blue light. 前記第1の角度は光の入射方向に対して時計回りに45度で、前記第2の角度は光の入射方向に対して反時計回りに45度であることを特徴とする請求項14に記載の光学装置。   The first angle is 45 degrees clockwise with respect to the light incident direction, and the second angle is 45 degrees counterclockwise with respect to the light incident direction. The optical device described. 前記第1のダイクロイックマイクロミラーは前記マイクロレンズアレイ側に第1の端部を持ち、前記ダイクロイックマイクロミラーは前記ダイクロイックマイクロミラーアレイの第2の層側に第2の端部を持ち、前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第1の端部と前記第1のダイクロイックマイクロミラーの隣の前記第1のダイクロイックマイクロミラーの第2の端部は、光の進行方向から見た場合、5μm以内で一致していることを特徴とする請求項14に記載の光学装置。   The first dichroic micromirror has a first end on the microlens array side, the dichroic micromirror has a second end on the second layer side of the dichroic micromirror array, and the first The first end of the first dichroic micromirror and the second end of the first dichroic micromirror adjacent to the first dichroic micromirror coincide with each other within 5 μm when viewed from the light traveling direction. The optical apparatus according to claim 14, wherein the optical apparatus is provided.
JP2007266761A 2007-10-12 2007-10-12 Display device Active JP5095342B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007266761A JP5095342B2 (en) 2007-10-12 2007-10-12 Display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007266761A JP5095342B2 (en) 2007-10-12 2007-10-12 Display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009098190A true JP2009098190A (en) 2009-05-07
JP5095342B2 JP5095342B2 (en) 2012-12-12

Family

ID=40701299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007266761A Active JP5095342B2 (en) 2007-10-12 2007-10-12 Display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5095342B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105629616A (en) * 2015-08-19 2016-06-01 京东方科技集团股份有限公司 Display panel and display device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0772478A (en) * 1993-09-06 1995-03-17 Toshiba Corp Liquid crystal display device
JPH0854623A (en) * 1994-06-09 1996-02-27 Hitachi Ltd Optical device, liquid crystal panel, liquid crystal display device and solid-state image-pickup device
JPH11338379A (en) * 1998-05-22 1999-12-10 Seiko Epson Corp Electro-optical device and projector type display using it
JP2000151933A (en) * 1998-11-06 2000-05-30 Nec Corp Image pickup element and its manufacture

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0772478A (en) * 1993-09-06 1995-03-17 Toshiba Corp Liquid crystal display device
JPH0854623A (en) * 1994-06-09 1996-02-27 Hitachi Ltd Optical device, liquid crystal panel, liquid crystal display device and solid-state image-pickup device
JPH11338379A (en) * 1998-05-22 1999-12-10 Seiko Epson Corp Electro-optical device and projector type display using it
JP2000151933A (en) * 1998-11-06 2000-05-30 Nec Corp Image pickup element and its manufacture

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105629616A (en) * 2015-08-19 2016-06-01 京东方科技集团股份有限公司 Display panel and display device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5095342B2 (en) 2012-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5815229A (en) Microlens imbedded liquid crystal projection panel including thermal insulation layer
JP2008026654A (en) Three-dimensional display device
JPWO2004011987A1 (en) Substrate with parallax barrier layer, method for manufacturing substrate with parallax barrier layer, and three-dimensional display device
TWI300493B (en)
US8305527B2 (en) Color separation system
JP2009069850A (en) Picture display device
JP2008089906A (en) Lens array unit and stereoscopic video display device equipped therewith
JP2008216649A (en) Liquid crystal display device
US10191198B2 (en) Display apparatus including directional backlight unit and method of assembling the display apparatus
JP5568409B2 (en) 3D display device
JP3198625B2 (en) Microlens array substrate, method of manufacturing the same, and image display device using the substrate
JP2004280087A (en) Picture display device and its manufacturing method
JP6004157B2 (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method of three-dimensional liquid crystal display device
CN101419303B (en) Colourful filtering substrate, making method thereof and liquid crystal display panel
JP5881328B2 (en) Optical plate, method for manufacturing the same, display device, and method for manufacturing the same
JP2006184673A (en) Liquid crystal device and electronic apparatus
JP2007072476A (en) Method for producing substrate with parallax barrier layer
JP2007226083A (en) Method and apparatus for manufacturing electro-optic device
US10571739B2 (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
JP2002236283A (en) Image display device and manufacturing method therefor and microlens array substrate and manufacturing method therefor
JP5095342B2 (en) Display device
WO2023231672A1 (en) Display device and control method therefor
JP2008241759A (en) Display device
JP2008261936A (en) Liquid crystal device, method for manufacturing the same, and substrate for liquid crystal device
US7868975B2 (en) Color filter substrate and fabricating method thereof and liquid crystal display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101007

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20110218

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20110218

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120516

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120619

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120806

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120821

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120919

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5095342

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350