JP2009094405A - Magnet paste and thick film magnet - Google Patents

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照夫 清宮
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thick film magnet which can be formed to have a fine pattern shape while exhibiting a desired magnetic characteristic. <P>SOLUTION: A magnet paste is obtained by mixing at least SmFeN-based magnet particles, an adhesive and a solvent. The magnet particles are set to have a composition proportion not smaller than 67 wt.% and not larger than 97 wt.%. The magnet paste is printed by screen printing into a predetermined pattern on a polyimide substrate and is then thermoset to form a thick film magnet. For example, as shown in Fig.2, the pattern is formed to have a line width of about 100 μm and a thickness of about 150 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁石ペースト及び厚膜磁石に関するものである。   The present invention relates to a magnet paste and a thick film magnet.

希土類系の永久磁石は、モータを始め携帯電話やコンピュータの電子部品など幅広い分野で使用されている。この希土類系の永久磁石に用いられる磁性材料として一般に利用されているのは、サマリウム(Sm)とネオジム(Nd)があり、それを用いた磁石製品は、サマリウム・コバルト磁石(SmCo)と、ネオジム・鉄・ボロン磁石(NdFeB)がある。   Rare earth permanent magnets are used in a wide range of fields such as motors, mobile phones and computer electronic components. The magnetic materials generally used for the rare earth permanent magnets are samarium (Sm) and neodymium (Nd), and the magnet products using them are samarium cobalt magnet (SmCo) and neodymium. There are iron and boron magnets (NdFeB).

これら希土類系の永久磁石を製造する製造方法は、磁石の厚さによって異なり、本発明が対象とする1μm〜数百μm程度の厚膜と称される範囲のものでは、PLD法(Pulsed Laser Deposition method)やAD法(Aerosol Depsition method)が用いられる。PLD法はPVD (物理気相蒸着)法の一種であり、真空チャンバー内のターゲットにパルスレーザを断続的に照射し、ターゲットをアブレーションすることにより放出されるフラグメント(イオン、クラスタ、分子、原子)をターゲットと対向して配置された基板に到達、堆積させることで成膜させる技術である。また、AD法は、サブミクロンサイズの微粒子をガスと混合させ、エアロゾル状にしてノズルを通して基板に向けて吹き付けることで、基板表面に成膜する技術である。   The manufacturing method for manufacturing these rare earth-based permanent magnets varies depending on the thickness of the magnet, and in the range of a thick film having a thickness of about 1 μm to several hundred μm, which is the object of the present invention, the PLD method (Pulsed Laser Deposition) method) and AD method (Aerosol Depsition method) are used. The PLD method is a kind of PVD (physical vapor deposition) method. Fragments (ions, clusters, molecules, atoms) emitted by intermittently irradiating a target in a vacuum chamber with a pulsed laser and ablating the target Is a technique for forming a film by arriving at and depositing on the substrate disposed opposite to the target. The AD method is a technique for forming a film on the substrate surface by mixing fine particles of submicron size with a gas, making it into an aerosol form, and spraying it toward the substrate through a nozzle.

また、特許文献1には、NdFeB,SmCoをポリウレタン,エポキシ樹脂の一種であるフェノキシ樹脂と混合してペースト化し、そのペースト状の材料をスクリーン印刷などで基板上に成膜し、その後、樹脂が硬化することを利用して厚膜の磁石を作成する技術が開示されている。
特開2003−197409号公報
In Patent Document 1, NdFeB and SmCo are mixed with polyurethane and a phenoxy resin which is a kind of epoxy resin to form a paste, and the paste-like material is formed on a substrate by screen printing or the like. A technique for producing a thick film magnet by using curing is disclosed.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-197409

PLD法やAD法は、装置構成が大掛かりになるとともに、磁性材料を基板上に所望の厚さに成膜するのに長時間かかるので実用的でない。また、特許文献1に開示された技術では、PLD法などに比べると簡易に厚膜の希土類永久磁石を作製することができるが、材料となるNdFeBやSmCoは平均粒径が大きいこともあり、微細なパターン形状の厚膜を印刷形成することが困難であった。なお、NdFeBやSmCoを粉砕して平均粒子径を小さくしたものをフェノキシ樹脂等と混合してペースト化したものに基づいて厚膜の希土類永久磁石を作製した場合には、実用的な磁気特性を得ることができない。   The PLD method and AD method are not practical because the apparatus configuration becomes large and it takes a long time to form a magnetic material on the substrate to a desired thickness. Further, in the technique disclosed in Patent Document 1, a thick-film rare earth permanent magnet can be easily produced as compared with the PLD method or the like, but NdFeB or SmCo as a material may have a large average particle size. It was difficult to print and form a thick film with a fine pattern shape. When a thick-film rare earth permanent magnet is prepared based on a paste obtained by mixing NdFeB or SmCo with a reduced average particle size with phenoxy resin or the like, practical magnetic properties are obtained. Can't get.

この発明は上述した課題を解決するもので、その目的は、所望の磁気特性を発揮しつつ微細なパターン形状を構成することができる磁石ペースト及び厚膜磁石を提供することにある。   This invention solves the subject mentioned above, The objective is to provide the magnet paste and thick film magnet which can comprise a fine pattern shape, exhibiting a desired magnetic characteristic.

上述した目的を達成するために、本発明に係る磁石ペーストは、(1)少なくともSmFeN系の磁石粉体、接着剤及び溶剤を混ぜ合わせて構成される磁石ペーストであって、前記磁石粉体の組成比率が、67wt%以上、97wt%以下とした。   In order to achieve the above-described object, the magnet paste according to the present invention is (1) a magnet paste configured by mixing at least an SmFeN-based magnet powder, an adhesive, and a solvent, The composition ratio was 67 wt% or more and 97 wt% or less.

(2)本発明に係る磁石ペーストの別の解決手段としては、少なくともSmFeN系の磁石粉体、接着剤及び溶剤を混ぜ合わせて構成される磁石ペーストであって、前記磁石粉体の組成比率が、67wt%以上、90wt%以下とするとよい。   (2) Another solution of the magnet paste according to the present invention is a magnet paste configured by mixing at least an SmFeN-based magnet powder, an adhesive and a solvent, and the composition ratio of the magnet powder is 67 wt% or more and 90 wt% or less.

SmFeN系の磁石粉体は、その粒径が小さいので、ペースト状にした際に微細な開口径のマスク(スクリーン)を用いても平滑性がよく、微細パターンを形成することができる。磁石粉体、接着剤、溶剤を混ぜ合わせる際の手順は任意であり、すべての材料を一緒に混合してもよいし、任意の組み合わせのものを先に混合し、他の材料をその後に混入させるようにしてもよい。   Since the SmFeN-based magnet powder has a small particle size, smoothness is good and a fine pattern can be formed even if a mask (screen) having a fine opening diameter is used when it is made into a paste. The procedure for mixing the magnet powder, adhesive, and solvent is arbitrary, and all materials may be mixed together, or any combination may be mixed first, followed by other materials. You may make it make it.

そして、磁石粉体の組成比率が、67wt%未満になると、磁石としての実用的な磁気特性が得られない。ここで実用的な磁気特性とは、たとえば、残留磁束密度(Br)が1.3kG以上,保磁力(Hc)が1.8kOe以上、最大エネルギー積(BH)max(B−H曲線上の第2象限におけるBとHの積の最大値)が0.3MG・Oe以上等となる。もちろん、この数値に限られるものではない。また、磁石粉体の組成比率が、97.5wt%を超えると、硬化後の強度が弱くなり、実用的で無くなる。そこで、上記(1)に示す範囲とした。   When the composition ratio of the magnet powder is less than 67 wt%, practical magnetic characteristics as a magnet cannot be obtained. Here, practical magnetic characteristics include, for example, a residual magnetic flux density (Br) of 1.3 kG or more, a coercive force (Hc) of 1.8 kOe or more, and a maximum energy product (BH) max (the first on the BH curve). The maximum value of the product of B and H in the second quadrant is 0.3 MG · Oe or more. Of course, it is not limited to this value. On the other hand, if the composition ratio of the magnet powder exceeds 97.5 wt%, the strength after curing becomes weak and impractical. Therefore, the range shown in the above (1) was adopted.

また、線幅が1mm以下となるパターンを印刷することを考慮した場合、90wt%を超えて磁石粉体を混入すると、印刷スクリーンまたはメタルマスクを通過するために必要な粘度が不足する。そこで、上記(2)に示す範囲とした。   In consideration of printing a pattern with a line width of 1 mm or less, if the magnet powder exceeds 90 wt%, the viscosity necessary for passing through the printing screen or metal mask is insufficient. Therefore, the range shown in (2) above was adopted.

(3)また、前記磁石粉体の粒径は、平均粒径が5μm以下、最大粒径が10μm以下のものとするとよい。平均粒径が5μmより大きかったり、最大粒径が10μmより大きい場合には、印刷後の膜厚を10μm以下にすることが困難であり、印刷後の成膜した表面の平坦性も悪くなる。そこで、粒径を上記範囲にするのが好ましい。もちろん、要求される膜厚が10μmよりも大きい場合には、膜厚の点から規定される上記粒径の範囲を超えるのは妨げない。   (3) The magnet powder may have an average particle size of 5 μm or less and a maximum particle size of 10 μm or less. When the average particle diameter is larger than 5 μm or the maximum particle diameter is larger than 10 μm, it is difficult to make the film thickness after printing 10 μm or less, and the flatness of the film-formed surface after printing also deteriorates. Therefore, it is preferable to set the particle size within the above range. Of course, when the required film thickness is larger than 10 μm, it is not hindered to exceed the above-mentioned particle size range defined in terms of film thickness.

(4)前記接着剤は、エポキシ樹脂を用いることができる。接着剤としては、樹脂を用いることができる。この場合の樹脂は、たとえば、ポリエステル類、アクリル類、塩化ビニル類、酢酸ビニル類、ウレタン類、エポキシ類、フェノールポリマー類やその他の混合物を用いることができる。エポキシ樹脂は、接着強度が強いので、最終的に作製される厚膜磁石の強度の点からみると、エポキシ樹脂を用いるのが好ましい。もちろん、(1)〜(3)その他の発明では、他の樹脂を用いてもよいし、樹脂以外の接着剤を用いることも可能である。   (4) An epoxy resin can be used for the adhesive. A resin can be used as the adhesive. As the resin in this case, for example, polyesters, acrylics, vinyl chlorides, vinyl acetates, urethanes, epoxies, phenol polymers, and other mixtures can be used. Since the epoxy resin has a strong adhesive strength, it is preferable to use an epoxy resin from the viewpoint of the strength of the finally produced thick film magnet. Of course, in (1) to (3) other inventions, other resins may be used, and adhesives other than resins may be used.

(5)本発明に係る厚膜磁石は、上記の(1)〜(4)のいずれかに記載の磁石ペーストを用い、印刷法で基板上に成膜し、硬化後の膜厚が10μm以上500μm以下になるように形成されたものとした。硬化させるためには、適宜の硬化剤を混入することで行なうことができる。この硬化剤は、(1)〜(4)のいずれかに記載の磁石ペーストに対して混入してもよいし、磁石ペーストを作製する際に、他の材料とともに混入してもよい。接着剤としてエポキシ樹脂を用いた場合の硬化剤は、一般のエポキシ樹脂用硬化剤を用いればよい。最終的に硬化すればよいので、必ずしも積極的に硬化剤を混入する必要はなく、また、硬化剤以外の硬化方法をとることもできる。   (5) A thick film magnet according to the present invention is formed on a substrate by a printing method using the magnet paste according to any one of (1) to (4) above, and a film thickness after curing is 10 μm or more. It was formed so as to be 500 μm or less. In order to make it harden | cure, it can carry out by mixing an appropriate hardening | curing agent. This curing agent may be mixed with the magnet paste according to any one of (1) to (4), or may be mixed with other materials when producing the magnet paste. As a curing agent when an epoxy resin is used as an adhesive, a general curing agent for epoxy resin may be used. Since it only needs to be finally cured, it is not always necessary to positively mix the curing agent, and a curing method other than the curing agent can be employed.

(6)基板の材質は各種のものを用いることができ、たとえば、可撓性のある基板とすることができる。可撓性のある基板としては、たとえば、ポリイミドなどを用いることができる。このようにすると、曲げに対して強い磁石が形成される。   (6) Various materials can be used for the substrate, for example, a flexible substrate. For example, polyimide or the like can be used as the flexible substrate. In this way, a magnet strong against bending is formed.

(7)前記基板上に印刷されたパターンの線幅が、30μm以上、5mm以下の範囲内とするとよい。スクリーンの開口径の限界から、30μm未満の線幅を印刷で形成するのは困難となる。また、昨今のダウンサイズの要請から、5mmを超える線幅は、実用的でない。そこで、上記の範囲とするのが好ましい。   (7) The line width of the pattern printed on the substrate may be in the range of 30 μm or more and 5 mm or less. Due to the limit of the opening diameter of the screen, it is difficult to form a line width of less than 30 μm by printing. Also, due to the recent demand for downsizing, a line width exceeding 5 mm is not practical. Therefore, the above range is preferable.

(8)上記の(5)〜(7)のいずれかの発明を前提とし、その厚膜磁石は、磁場中で硬化させることで異方性を備えるようにした。所定パターンで基板上に印刷した膜(磁石ペースト)を磁場中で硬化させると、その磁場の磁界の方向で配向した状態を保ったまま硬化するので、異方性磁石となる。   (8) On the premise of the invention of any one of the above (5) to (7), the thick film magnet is provided with anisotropy by being cured in a magnetic field. When a film (magnet paste) printed on a substrate in a predetermined pattern is cured in a magnetic field, the film is cured while maintaining an oriented state in the direction of the magnetic field, thereby forming an anisotropic magnet.

本発明では、SmFeN系磁石粉体を用いたペーストを印刷することで、微細な厚膜磁石を短時間で形成することが可能となる。   In the present invention, a fine thick film magnet can be formed in a short time by printing a paste using SmFeN-based magnet powder.

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。本実施形態の磁石ペーストは、SmFeN系の磁石粉体と、接着剤としてのエポキシ樹脂と、エポキシ樹脂用硬化剤とを混合し、磁石粉体を樹脂組成物中に分散させ、さらに、この混合物に溶剤を添加してペースト化する。このとき、SmFeN系の磁石粉体の組成比率は、67wt%以上97.5wt%以下とする。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. The magnet paste of this embodiment is a mixture of SmFeN-based magnet powder, an epoxy resin as an adhesive, and a curing agent for epoxy resin, and the magnet powder is dispersed in the resin composition. A solvent is added to the paste to form a paste. At this time, the composition ratio of the SmFeN-based magnet powder is 67 wt% or more and 97.5 wt% or less.

この磁石ペーストを用いてスクリーン印刷を行なうことで、基板上に所望のパターン形状からなる厚膜の希土類永久磁石が形成される。そこで、上記の溶剤は、印刷を行なう際の磁石ペーストの粘度を調整するために添加するものであり、目的の粘度に合わせてその溶剤の種類や添加量を設定する。   By performing screen printing using this magnet paste, a thick-film rare earth permanent magnet having a desired pattern shape is formed on the substrate. Therefore, the above-mentioned solvent is added to adjust the viscosity of the magnet paste during printing, and the type and amount of the solvent are set according to the target viscosity.

スクリーン印刷は、開口幅が5mm以下、板厚が500μm以下のメタルマスクを用いて行なう。好ましくは、開口幅は100μm以下の印刷用のマスクを用いることである。メタルマスクを用いることで、1回の印刷で厚い膜厚のパターンを形成することができる。さらに、SmFeN系の磁石粉体は、その粒径が小さい(たとえば、最大粒径が10μm以下、平均粒径が5μm)ため、微細なパターン形状を基板上に形成することができる。なお、1回の印刷工程で所望の膜厚が得られない場合には、複数回印刷処理を施してもよい、メタルマスクに替えて、通常のスクリーン印刷に用いられるメッシュを使用することもできる。ただし、メッシュを用いた場合には、1回の印刷工程で成膜される膜厚が薄いため、印刷を複数回行なう必要がある。印刷工程を複数回行なう場合、一回の印刷処理で形成された膜の上に重ねるようにして印刷を行なうが、その際に、先に印刷した膜を硬化させた後に次の膜を印刷してもよいし、硬化前に重ねて一緒に硬化させてもよい。   Screen printing is performed using a metal mask having an opening width of 5 mm or less and a plate thickness of 500 μm or less. Preferably, a printing mask having an opening width of 100 μm or less is used. By using a metal mask, a thick film pattern can be formed by one printing. Furthermore, since the SmFeN-based magnet powder has a small particle size (for example, a maximum particle size of 10 μm or less and an average particle size of 5 μm), a fine pattern shape can be formed on the substrate. In addition, when a desired film thickness cannot be obtained by one printing process, a printing process may be performed a plurality of times. Instead of a metal mask, a mesh used for normal screen printing can also be used. . However, when a mesh is used, since the film thickness formed in one printing process is thin, it is necessary to perform printing a plurality of times. When the printing process is performed multiple times, printing is performed so as to be superimposed on the film formed by one printing process. At that time, after the previously printed film is cured, the next film is printed. Alternatively, they may be cured together before being cured.

また、印刷した膜が硬化する間、所定の磁場中に置くようにした場合には、その磁場の磁界の方向に配向され、異方性磁石となる。もちろん、磁場中に置くことなく硬化させても良い。   In addition, when the printed film is set in a predetermined magnetic field while it is cured, it is oriented in the direction of the magnetic field and becomes an anisotropic magnet. Of course, it may be cured without being placed in a magnetic field.

なお上記の実施形態は、接着剤としてエポキシ樹脂を使用したが、他の樹脂を用いても良い。また、上記実施形態では、SmFeN系の磁石粉体の粒径は、最大粒径が10μm以下、平均粒径が5μmのものを用いたが、それ以上の条件のものを用いることも可能である。スクリーン印刷により形成される永久磁石のパターン形状は、各種のものが形成できるが、マスク(メタルマスク/メッシュ)の開口幅を適宜に設定することで、線幅は、30μm〜5mmといった微細なパターンにすることができると共に、その膜厚も10〜500μmといった厚膜とすることができる。   In the above embodiment, an epoxy resin is used as an adhesive, but other resins may be used. In the above embodiment, the SmFeN-based magnet powder has a maximum particle size of 10 μm or less and an average particle size of 5 μm. . Various patterns can be formed for the permanent magnet pattern formed by screen printing. By setting the opening width of the mask (metal mask / mesh) as appropriate, the line width can be as fine as 30 μm to 5 mm. In addition, the film thickness can be as thick as 10 to 500 μm.

また、印刷対象となる基板は、各種のものを用いることができる。そして、ポリイミド基板を用いた場合には、可撓性が良好であるので、曲げにも強い厚膜永久磁石となり、用途が増す。   Various substrates can be used as the substrate to be printed. And when a polyimide substrate is used, since flexibility is favorable, it becomes a thick film permanent magnet strong also to a bending, and an application increases.

市販のエポキシ樹脂と市販の硬化剤(エポキシ樹脂用)を、9:1の重量比で混合して樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物と、SmFeN粉を2:8重量比で、分散機により混合し、その後、三本ロールミルで混練し、厚膜磁石組成物を得た。ここで用いたSmFeN粉の粒径は、平均粒径が5μmで最大粒径が10μmである。この厚膜磁石組成物に対し、粘度調整のために有機溶剤(テルピネオール)を添加し、印刷用のペースト(磁石ペースト)とした。   A commercially available epoxy resin and a commercially available curing agent (for epoxy resin) were mixed at a weight ratio of 9: 1 to obtain a resin composition. The obtained resin composition and SmFeN powder were mixed at a weight ratio of 2: 8 by a disperser and then kneaded by a three-roll mill to obtain a thick film magnet composition. The SmFeN powder used here has an average particle size of 5 μm and a maximum particle size of 10 μm. To this thick film magnet composition, an organic solvent (terpineol) was added to adjust the viscosity to obtain a printing paste (magnet paste).

この印刷用の磁石ペーストを用い、スクリーン印刷によりポリイミド基板上に所定のパターン・膜厚で印刷をした。スクリーン印刷に用いたメタルマスクは、板厚200μmである。その後、200℃の温度下で、30分間放置し、印刷した厚膜を硬化させた。   Using this magnet paste for printing, printing was performed on the polyimide substrate with a predetermined pattern and film thickness by screen printing. The metal mask used for screen printing has a plate thickness of 200 μm. Thereafter, the printed thick film was cured by leaving it at a temperature of 200 ° C. for 30 minutes.

硬化後のパターンをデジタル顕微鏡(マイクロスコープ)で確認したところ、図1に示すように、線幅dは約100μmの帯状のパターンを平行に等間隔に配列したものが作製できた。この図1に示す一部(3本分のパターン)の表面の厚さを測定すると、図2に示すようなり、各印刷された帯状のパターン部分の厚さは、150μm程度の厚膜となっていることが確認できた。   When the cured pattern was confirmed with a digital microscope (microscope), as shown in FIG. 1, a strip-like pattern having a line width d of about 100 μm was arranged in parallel at equal intervals. When the thickness of the surface of a part (pattern for three pieces) shown in FIG. 1 is measured, it becomes as shown in FIG. 2, and the thickness of each printed belt-like pattern portion is a thick film of about 150 μm. It was confirmed that

更に、このようにして作製された厚膜磁石の磁気特性は、下記表に示すようになった。この表から明らかなように、直径1mm以下の微小な形状においても実用上十分な磁気性能が得られることが確認できた。

Figure 2009094405
Further, the magnetic properties of the thick film magnet thus produced are as shown in the following table. As is clear from this table, it was confirmed that practically sufficient magnetic performance was obtained even in a minute shape having a diameter of 1 mm or less.
Figure 2009094405

実施例1における樹脂組成物とSmFeN粉との混合比率を適宜変えた(SmFeN粉の含有率を65wt%〜95wt%)以外は、実施例1と同様の手順によりポリイミド基板上に所定パターンの厚膜磁石を作製した。厚膜の硬化後、印刷した厚膜に対して30kOeにて予備着磁を行なった。   Except for changing the mixing ratio of the resin composition and SmFeN powder in Example 1 as appropriate (the SmFeN powder content is 65 wt% to 95 wt%), the thickness of the predetermined pattern on the polyimide substrate is the same as in Example 1. A membrane magnet was produced. After the thick film was cured, pre-magnetization was performed on the printed thick film at 30 kOe.

得られた各厚膜磁石に対し、振動試料型磁力計を用いてそれぞれの磁気特性を測定した結果、図3,図4に示すようになった。SmFeN粉の含有率が、67wt%程度で、実用的な磁気特性のフェライト磁石の残留磁化(1.3kG)以上の磁気特性が得られることが確認できた。   Each of the obtained thick film magnets was measured for magnetic properties using a vibrating sample magnetometer, and the results were as shown in FIGS. It was confirmed that when the content of the SmFeN powder is about 67 wt%, the magnetic properties of the ferrite magnet having practical magnetic properties equal to or higher than the residual magnetization (1.3 kG) can be obtained.

スクリーン印刷を行なう際のマスクを、実施例1におけるメタルマスクに替えて、メッシュタイプ(メッシュ#325)のものを用い、同様の手法で厚膜磁石を作製した。具体的な実験結果の図示は省略するが、上記と同様の磁気特性が得られた。また、メッシュタイプのスクリーンを用いた場合、1回の印刷で最小30μm×30μmサイズで、最大20μmの厚さの厚膜磁石が作製できることが確認できた。そして、それ以上の膜厚が必要な場合、複数回印刷を行なえばよい。   Instead of the metal mask used in Example 1 for screen printing, a mesh type (mesh # 325) was used, and a thick film magnet was produced in the same manner. Although illustration of specific experimental results is omitted, the same magnetic characteristics as described above were obtained. Further, when a mesh type screen was used, it was confirmed that a thick film magnet having a minimum size of 30 μm × 30 μm and a maximum thickness of 20 μm could be produced by one printing. And when the film thickness beyond that is required, printing may be performed a plurality of times.

実施例1と同様の手順によりポリイミド基板上に、磁石ペーストを印刷した。そして、印刷した厚膜の硬化を、磁場中で行なった。具体的には、図5に示すように、板状の永久磁石1の上に、磁石ペーストを印刷した基板3を設置する。この永久磁石1の上には、スペーサ2を介して他の永久磁石4を配置する。両永久磁石1,4の対向する面の磁極が異なるようにすることで、基板3を直交する磁界が発生する。この配向用の永久磁石1,4としては、例えば、SmCo磁石を用いることができる。この状態で、熱硬化させると、所定方向に配向した厚膜磁石が作製される。表2は、等方性(配向磁界:0kG)と異方性(配向磁界:1.2kG)のそれぞれの磁気特性を示している。この表から明らかなように、同じSmFeN粉を90wt%混合した厚膜磁石において、配向の効果が得られていることが確認できた。なお、図示の例では、基板3をその両側から2つの永久磁石で挟み込むようにしたが、永久磁石を片方にのみ設置しても良い。

Figure 2009094405
A magnet paste was printed on the polyimide substrate by the same procedure as in Example 1. Then, the printed thick film was cured in a magnetic field. Specifically, as shown in FIG. 5, a substrate 3 on which a magnet paste is printed is placed on a plate-like permanent magnet 1. On the permanent magnet 1, another permanent magnet 4 is arranged via a spacer 2. By making the magnetic poles of the opposing surfaces of the permanent magnets 1 and 4 different, a magnetic field perpendicular to the substrate 3 is generated. As the permanent magnets 1 and 4 for orientation, for example, SmCo magnets can be used. When cured in this state, a thick film magnet oriented in a predetermined direction is produced. Table 2 shows magnetic properties of isotropic (orientation magnetic field: 0 kG) and anisotropy (orientation magnetic field: 1.2 kG). As is apparent from this table, it was confirmed that the orientation effect was obtained in the thick film magnet in which 90 wt% of the same SmFeN powder was mixed. In the illustrated example, the substrate 3 is sandwiched between the two permanent magnets from both sides, but the permanent magnets may be installed only on one side.
Figure 2009094405

次に、磁場中配向における磁場の影響を調べるため、表面磁石密度の異なる磁性材料を用いて磁場中で硬化を行なった。具体的には、配向磁界が0kG,1.2kG,2.3kGと替え、その他については実施例4と同じにした。   Next, in order to investigate the influence of the magnetic field on the orientation in the magnetic field, curing was performed in the magnetic field using magnetic materials having different surface magnet densities. Specifically, the orientation magnetic field was changed to 0 kG, 1.2 kG, and 2.3 kG, and the others were the same as those in Example 4.

その結果、表面状態は、図6に示すようになった。1.2kGを超えた2.3kGの場合には、線幅が細くなると共に膜厚が高くなり、パターン形状が崩れていることが確認できる。これは、配向時の磁場の磁界が強く、磁界に沿って磁性粉が針状に連なった磁気ブラシが生成されたためと推測される。よって、2.3kGで着磁した場合には、目的の線幅・膜厚が製造できないことが確認できた。換言すると、1.2kG以下とするのがよい。   As a result, the surface state was as shown in FIG. In the case of 2.3 kG exceeding 1.2 kG, it can be confirmed that the line width is reduced and the film thickness is increased, and the pattern shape is broken. This is presumably because the magnetic field of the magnetic field at the time of orientation was strong, and a magnetic brush in which magnetic powders continued in a needle shape along the magnetic field was generated. Therefore, it was confirmed that the target line width and film thickness could not be produced when magnetized at 2.3 kG. In other words, it should be 1.2 kG or less.

パターン形状の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a pattern shape. 表面状態を示す図である。It is a figure which shows a surface state. 磁気特性を示す図である。It is a figure which shows a magnetic characteristic. 磁気特性を示す図である。It is a figure which shows a magnetic characteristic. 磁場中配向を説明する図である。It is a figure explaining the orientation in a magnetic field. 表面状態を示す図である。It is a figure which shows a surface state.

Claims (9)

少なくともSmFeN系の磁石粉体、接着剤及び溶剤を混ぜ合わせて構成される磁石ペーストであって、
前記磁石粉体の組成比率が、67wt%以上、97wt%以下である磁石ペースト。
A magnet paste composed by mixing at least SmFeN-based magnet powder, an adhesive and a solvent,
The magnet paste whose composition ratio of the said magnet powder is 67 wt% or more and 97 wt% or less.
少なくともSmFeN系の磁石粉体、接着剤及び溶剤を混ぜ合わせて構成される磁石ペーストであって、
前記磁石粉体の組成比率が、67wt%以上、90wt%以下である磁石ペースト。
A magnet paste composed by mixing at least SmFeN-based magnet powder, an adhesive and a solvent,
The magnet paste whose composition ratio of the said magnet powder is 67 wt% or more and 90 wt% or less.
前記磁石粉体の粒径は、平均粒径が5μm以下、最大粒径が10μm以下のものとしたことを特徴とする請求項1または2に記載の磁石ペースト。   3. The magnet paste according to claim 1, wherein the magnet powder has an average particle size of 5 μm or less and a maximum particle size of 10 μm or less. 前記接着剤は、エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の磁石ペースト。   The magnet paste according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive is an epoxy resin. 請求項1から4のいずれか1項に記載の磁石ペーストを用い、印刷法で基板上に成膜し、硬化後の膜厚が10μm以上500μm以下になるように形成されたことを特徴とする厚膜磁石。   The magnet paste according to any one of claims 1 to 4, wherein the magnet paste is formed on a substrate by a printing method, and the film thickness after curing is from 10 μm to 500 μm. Thick film magnet. 前記基板は、可撓性のある基板であることを特徴とする請求項5に記載の厚膜磁石。   The thick film magnet according to claim 5, wherein the substrate is a flexible substrate. 前記基板上に印刷されたパターンの線幅が、30μm以上、5mm以下の範囲内としたことを特徴とする請求項5または6に記載の厚膜磁石。   The thick film magnet according to claim 5 or 6, wherein a line width of a pattern printed on the substrate is in a range of 30 µm or more and 5 mm or less. 磁場中で硬化させることで異方性を備えるようにしたことを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の厚膜磁石。   The thick film magnet according to any one of claims 5 to 7, wherein anisotropy is provided by curing in a magnetic field. 前記基板上に印刷されたパターンの線幅が30μm以上、1mm以下の範囲内としたことを特徴とする請求項8に記載の厚膜磁石。   The thick film magnet according to claim 8, wherein a line width of a pattern printed on the substrate is in a range of 30 μm or more and 1 mm or less.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013135219A (en) * 2011-12-22 2013-07-08 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Coil component and manufacturing method thereof
JP2017511605A (en) * 2014-03-28 2017-04-20 マグネットノーツ、リミテッド Rotating process for applying magnetic composition

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