JP2009092183A - Linearly moving device and its abnormality determining device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means for early determining a circulation abnormality of a rolling element circulating in a circulating passage. <P>SOLUTION: A metal detecting sensor 16 detecting the approach of a ball 9 circulating in the circulating passage 14 is arranged in a part for forming a direction changing passage 12 of a resin end cap 11 constituting a part of the circulating passage 14 of a linear guide device 1. A passing time interval of the ball 9 is detected by the metal detecting sensor 16. When the passing time interval is an abnormality determining passing period or longer, the occurrence of the circulation abnormality is determined. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、リニアガイド装置やボールねじ装置等の工作機械や精密機械、半導体製造装置、射出成形機等の機械装置の送り機構等に用いられる直動装置およびその異常判定装置に関する。   The present invention relates to a linear motion device used in a machine tool such as a linear guide device and a ball screw device, a precision machine, a semiconductor manufacturing device, a feed mechanism of a mechanical device such as an injection molding machine, and the like and an abnormality determination device thereof.

直動装置としてのリニアガイド装置は、循環路を循環するボール等の転動体を介して、レールにスライダを直線移動可能に支持して構成されており、循環路における何らかの異常によって転動体の正常な循環が阻害され、詰り現象等の循環異常が発生すると、転動体の循環における摺動抵抗が増大して方向転換路が形成されたエンドキャップに過大な力が作用し、エンドキャップが破損して直動装置としての機能を果たせなくなるという致命的な損傷に至る可能性があり、致命的損傷に至る前に異常を検出する手段が求められている。   A linear guide device as a linear motion device is configured by supporting a slider on a rail so that it can move linearly via rolling elements such as balls circulating in a circulation path. If an abnormal circulation such as a clogging phenomenon occurs, the sliding resistance of the rolling element increases and excessive force acts on the end cap where the direction change path is formed, causing the end cap to break. Therefore, there is a possibility of fatal damage that the function as a linear motion device cannot be performed, and means for detecting an abnormality before the fatal damage is required.

従来のリニアガイド装置の異常判定装置としては、リニアガイド装置をスライダに設けた戻り路と、エンドキャップに設けた方向転換路と、レールに設けたレール軌道溝とスライダに設けたスライダ軌道溝とを対向させて形成した負荷路とを連通した4つの循環路にそれぞれ複数のボールを装填し、循環路の負荷路を転動するボールによりレールを直線的に移動するスライダを支持して構成し、そのリニアガイド装置の異常を検出するために、スライダの移動方向の前後端部に取付けられたエンドキャップの、それぞれの循環路を構成する方向転換路の外壁の合計8箇所の端面に歪ゲージにより形成したブリッジ回路を貼付し、それぞれのブリッジ回路によりエンドキャップの端面の変形量を検出して、いずれかのブリッジ回路からの電圧信号が変化したときに、エンドキャップが破損するであろうことを検知して、リニアガイド装置の稼動を停止している(例えば、特許文献1参照。)。
特開2005−42785号公報(第6頁段落0032−0036、第8頁段落0051−0058、第1図、第6図)
As a conventional linear guide device abnormality determination device, a return path provided with a linear guide device on a slider, a direction change path provided on an end cap, a rail track groove provided on a rail, and a slider track groove provided on a slider, A plurality of balls are loaded in each of four circulation paths communicating with a load path formed opposite to each other, and a slider that linearly moves the rail is supported by a ball that rolls along the load path of the circulation path. In order to detect abnormalities in the linear guide device, strain gauges are attached to the end faces of a total of eight locations on the outer walls of the direction change paths constituting the respective circulation paths of the end caps attached to the front and rear ends of the slider moving direction. The bridge circuit formed by the above is pasted, the deformation amount of the end face of the end cap is detected by each bridge circuit, and the voltage signal from either bridge circuit is detected. When There has changed, by detecting that would end cap is damaged, it has stopped the operation of the linear guide device (e.g., see Patent Document 1.).
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-42785 (6th page, paragraphs 0032-0036, 8th page, paragraphs 0051-0058, FIGS. 1 and 6)

しかしながら、上述した従来の技術においては、エンドキャップに形成された方向転換路の外壁の端面の変形を検出して循環路における異常を検出しているため、循環異常に伴って増大した摺動抵抗による変形を検出することになり、異常の検出が可能になった時点では、循環異常が相当に進行した状態になっており、リニアガイド装置の致命的な破損を未然に防止するには不十分であるという問題がある。   However, in the above-described conventional technology, since the abnormality in the circulation path is detected by detecting the deformation of the outer wall of the direction change path formed in the end cap, the sliding resistance increased due to the circulation abnormality. When the abnormality can be detected, the circulation abnormality has progressed considerably and is insufficient to prevent fatal damage to the linear guide device. There is a problem that.

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、循環路を循環する転動体の循環異常を早期に判定する手段を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide means for early determination of abnormal circulation of rolling elements circulating in a circulation path.

本発明は、上記課題を解決するために、固定体と、前記固定体に複数の金属製の転動体を介して移動可能に支持された移動体と、前記転動体が循環する循環路とを備えた直動装置において、前記循環路の一部を構成する樹脂部材に、前記循環路を循環する前記転動体の接近を検出する金属検出センサを設け、前記金属検出センサにより、前記転動体の通過時間間隔を検出することを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention provides a fixed body, a movable body supported by the fixed body through a plurality of metal rolling elements so as to be movable, and a circulation path through which the rolling elements circulate. In the linear motion device provided, a metal detection sensor that detects an approach of the rolling element circulating in the circulation path is provided in a resin member that constitutes a part of the circulation path, and the metal detection sensor is used to detect the rolling element. It is characterized by detecting a passage time interval.

これにより、本発明は、循環路に循環異常が生じたときに、通過時間間隔が長時間側に移行することを利用して、摺動抵抗が増大する以前の循環異常を金属検出センサにより直接検出して、循環路に循環異常が生じたことを早期に、かつ確実に判定することができるという効果が得られる。   Thus, the present invention uses the fact that the passage time interval shifts to the long time side when a circulation abnormality occurs in the circulation path, and directly detects the circulation abnormality before the sliding resistance increases by the metal detection sensor. It is possible to obtain an effect that it can be detected early and surely that a circulation abnormality has occurred in the circulation path.

以下に、図面を参照して本発明による直動装置およびその異常判定装置の実施例について説明する。   Embodiments of a linear motion device and its abnormality determination device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は実施例のリニアガイド装置を示す斜視図、図2は実施例の異常判定装置を示すブロック図である。
図1において、1は直動装置としてのリニアガイド装置である。
2は直動装置の固定体としてのレールであり、合金鋼等の鋼材で製作された長尺の柱状部材であって、その上面には機械装置の基台等にレール2を固定するための段付ボルト穴であるレール取付穴3が所定のピッチで複数設けられている。
FIG. 1 is a perspective view illustrating a linear guide device according to an embodiment, and FIG. 2 is a block diagram illustrating an abnormality determination device according to the embodiment.
In FIG. 1, 1 is a linear guide device as a linear motion device.
Reference numeral 2 denotes a rail as a fixed body of the linear motion device, which is a long columnar member made of a steel material such as alloy steel, and has an upper surface for fixing the rail 2 to a base of a mechanical device or the like. A plurality of rail mounting holes 3 which are stepped bolt holes are provided at a predetermined pitch.

5は固定体の転動体ガイド面としてのレール軌道溝であり、レール2の両方の側面の長手方向に沿って形成された円弧状断面の溝である。
6は直動装置の移動体としてのスライダであり、合金鋼等の鋼材で製作された略コの字状の断面形状を有する鞍状部材であって、その上面には取付ねじ穴7が設けられており、この取付ねじ穴7を用いて機械装置の移動テーブル等がボルト等により締結される。
Reference numeral 5 denotes a rail track groove as a rolling element guide surface of the fixed body, which is a groove having an arcuate cross section formed along the longitudinal direction of both side surfaces of the rail 2.
Reference numeral 6 denotes a slider as a moving body of the linear motion device, which is a bowl-shaped member having a substantially U-shaped cross-section made of a steel material such as alloy steel, and has an attachment screw hole 7 provided on the upper surface thereof. The moving table or the like of the mechanical device is fastened with a bolt or the like using the mounting screw hole 7.

8は移動体の転動体ガイド面としてのスライダ軌道溝であり、スライダ6の両方の袖壁6aの内側にレール軌道溝5に対向して設けられた円弧状断面の溝である。
9は直動装置の転動体としてのボールであり、合金鋼等の鋼材で製作された球体である。
10は戻り路であり、スライダ6の袖壁6aに形成されたボール9を循環させるためのボール9の直径より大きい直径を有し、スライダ6の移動方向(スライダ移動方向という。)にスライダ6を貫通する貫通穴であって、それぞれのスライダ軌道溝8に対応して設けられている。
Reference numeral 8 denotes a slider raceway groove as a rolling element guide surface of the moving body, which is a groove having an arcuate cross section provided inside the sleeve walls 6 a of the slider 6 so as to face the rail raceway groove 5.
Reference numeral 9 denotes a ball as a rolling element of the linear motion device, which is a sphere made of a steel material such as alloy steel.
A return path 10 has a diameter larger than the diameter of the ball 9 for circulating the ball 9 formed on the sleeve wall 6 a of the slider 6, and the slider 6 moves in the moving direction of the slider 6 (referred to as the slider moving direction). Is provided corresponding to each slider raceway groove 8.

11はエンドキャップであり、樹脂材料等で製作され、スライダ6のスライダ移動方向の前後端部に配置されている。
12はエンドキャップ11の袖部11aのスライダ6側に設けられた方向転換路であり、対向配置されたスライダ軌道溝8とレール軌道溝5とにより形成される負荷路とスライダ6の戻り路10とをそれぞれ接続するU字状に湾曲した通路であって、それぞれの負荷路に対応して設けられており、ボール9を案内してその循環方向を転向させる機能を有している。
Reference numeral 11 denotes an end cap, which is made of a resin material or the like, and is disposed at the front and rear ends of the slider 6 in the slider moving direction.
Reference numeral 12 denotes a direction change path provided on the slider 6 side of the sleeve portion 11a of the end cap 11, and a load path formed by the slider raceway groove 8 and the rail raceway groove 5 arranged opposite to each other and a return path 10 of the slider 6. Are respectively provided in correspondence with the respective load paths, and have a function of guiding the balls 9 and turning their circulation directions.

上記の負荷路の両端部は、エンドキャップ11の方向転換路12とスライダ6の戻り路10とで形成される連通路によりそれぞれ連通されてリニアガイド装置1の循環路14が形成され、この循環路14に複数のボール9が装填される。
また、スライダ6の移動に伴ってボール9が循環路14を循環し、負荷路を転動するボール9がスライダ6に加えられた荷重を往復動自在に支持し、スライダ6がレール2の長手方向に沿った直線往復移動可能に支持される。これによりリニアガイド装置1が直動装置として機能する。
Both ends of the load path are connected to each other by a communication path formed by the direction change path 12 of the end cap 11 and the return path 10 of the slider 6 to form a circulation path 14 of the linear guide device 1. A plurality of balls 9 are loaded on the path 14.
Further, as the slider 6 moves, the ball 9 circulates in the circulation path 14, and the ball 9 rolling on the load path supports the load applied to the slider 6 in a reciprocating manner. It is supported so that it can reciprocate linearly along the direction. Thereby, the linear guide apparatus 1 functions as a linear motion apparatus.

本実施例のリニアガイド装置1には、片側に2つ、両側で4つの循環路14が形成されており、それぞれの循環路14の一部を構成する樹脂部材としてエンドキャップ11を有している。
16は金属検出センサであり、金属の存在を検出する誘導型または磁気型のギャップセンサ等であって、検出対象となる金属(本実施例では、ボール9)との距離に応じてセンサ出力が変化し、ボール9の接近の検出を可能としている。
In the linear guide device 1 of the present embodiment, two circulation paths 14 are formed on one side, and four circulation paths 14 are formed on both sides, and end caps 11 are provided as resin members constituting a part of each circulation path 14. Yes.
Reference numeral 16 denotes a metal detection sensor, which is an inductive or magnetic gap sensor that detects the presence of metal, and the sensor output varies depending on the distance from the metal to be detected (in this embodiment, the ball 9). It changes and the approach of the ball 9 can be detected.

また、金属検出センサ16は、スライダ6のスライダ移動方向の前端部に配置された樹脂製のエンドキャップ11の両側の袖部11aの、方向転換路12の壁面となる部位の端面に形成された有底の穴等にそれぞれ取付けられており、4つの循環路14のそれぞれの方向転換路12を移動するボール9の通過を検出する。
本実施例の金属検出センサ16は、図1において、手前側のエンドキャップ11のぞれぞれの袖部11aの下側の循環路14の方向転換路12となる部位に1つずつ、奥側のエンドキャップ11にのぞれぞれの袖部11aの上側の循環路14の方向転換路12となる部位に1つずつ、合計4つ取付けられている。
Further, the metal detection sensor 16 is formed on the end surface of the portion serving as the wall surface of the direction change path 12 of the sleeve portions 11a on both sides of the resin end cap 11 arranged at the front end portion of the slider 6 in the slider moving direction. Each is attached to a bottomed hole or the like, and detects the passage of the ball 9 moving along the direction change path 12 of each of the four circulation paths 14.
In FIG. 1, the metal detection sensor 16 of the present embodiment is arranged in a rear part, one at a site to be the direction change path 12 of the circulation path 14 on the lower side of each sleeve 11 a of the end cap 11 on the front side. A total of four are attached to the end cap 11 on the side, one at each of the portions that become the direction change paths 12 of the circulation path 14 on the upper side of each sleeve portion 11a.

18はリード線であり、各金属検出センサ16のセンサ出力信号を、それぞれ図2に示すパーソナルコンピュータ等の異常判定装置20へ導く機能を有している。
図2において、21は異常判定装置20の制御部であり、異常判定装置20内の各部を制御して異常判定処理等を実行すると共にデータ通信等も制御する。
22は記憶部であり、制御部21が実行するプログラムやそれに用いる各種のデータおよび制御部21による処理結果等が格納される。
Reference numeral 18 denotes a lead wire, which has a function of guiding the sensor output signal of each metal detection sensor 16 to an abnormality determination device 20 such as a personal computer shown in FIG.
In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a control unit of the abnormality determination device 20, which controls each unit in the abnormality determination device 20 to execute abnormality determination processing and the like and also controls data communication and the like.
A storage unit 22 stores a program executed by the control unit 21, various data used for the program, a processing result by the control unit 21, and the like.

23は時計部であり、水晶発振器等を有する周波数発生器とカレンダを格納したメモリ等を備えており、発生した周波数を基に経過時間等を計数すると共に、現在日時等を制御部21へ出力する機能を有している。
24は表示部であり、LCD等の表示画面を備えており、循環異常の判定時の警告画面等を表示する機能を有している。
A clock unit 23 includes a frequency generator having a crystal oscillator and the like, a memory storing a calendar, etc., and counts elapsed time based on the generated frequency and outputs the current date and time to the control unit 21. It has a function to do.
A display unit 24 includes a display screen such as an LCD, and has a function of displaying a warning screen or the like at the time of determining a circulation abnormality.

25は入力部であり、キーボードやマウス等を備えており、リニアガイド装置1が組込まれた機械装置の操作担当者等からの、各種の設定値や、正常時の通過周期を算出するための諸元値、閾値設定のためのパラメータ等の入力を受付ける機能を有している。
26は警報部であり、ブザーやスピーカ等を備えており、異常発生時等にブザー音や電子音により警報を発する機能を有している。
An input unit 25 includes a keyboard, a mouse, and the like, and is used to calculate various set values and normal passage periods from an operator in charge of the mechanical device in which the linear guide device 1 is incorporated. It has a function of accepting input of specification values, parameters for threshold setting, and the like.
An alarm unit 26 includes a buzzer, a speaker, and the like, and has a function of issuing an alarm by a buzzer sound or an electronic sound when an abnormality occurs.

30は駆動装置であり、図示しないボールねじ装置等を駆動するモータ等を備えており、リニアガイド装置1のスライダ6の移動速度をリアルタイムに異常判定装置20の制御部21へ送信する機能を有している。
上記の異常判定装置20の記憶部22には、リニアガイド装置1の幾何学的関係、および駆動装置30から取得したスライダ6の移動速度を基にボール9の正常運転時における公転速度を求め、金属検出センサ16からのセンサ出力信号を基に循環路14の方向転換路12を通過する隣合うボール9間の通過時間間隔を検出し、この通過時間間隔が、異常判定通過周期以上となったときに、循環路14における循環異常を判定して、表示部24や警報部26により操作担当者等への警告を報知する機能等を有する異常判定処理プログラムが予め格納されており、制御部21が実行する異常判定処理プログラムのステップにより本実施例の異常判定装置20のハードウェアとしての各機能手段が形成される。
Reference numeral 30 denotes a driving device, which includes a motor for driving a ball screw device (not shown) and the like, and has a function of transmitting the moving speed of the slider 6 of the linear guide device 1 to the control unit 21 of the abnormality determination device 20 in real time. is doing.
In the storage unit 22 of the abnormality determination device 20, the revolution speed during normal operation of the ball 9 is obtained based on the geometric relationship of the linear guide device 1 and the moving speed of the slider 6 acquired from the driving device 30. Based on the sensor output signal from the metal detection sensor 16, the passage time interval between the adjacent balls 9 passing through the direction change path 12 of the circulation path 14 is detected, and this passage time interval becomes equal to or greater than the abnormality determination passage period. Sometimes, an abnormality determination processing program having a function of determining a circulation abnormality in the circulation path 14 and notifying a warning to a person in charge of operation by the display unit 24 or the alarm unit 26 is stored in advance. Each function means as hardware of the abnormality determination device 20 of the present embodiment is formed by the steps of the abnormality determination processing program executed by.

また、記憶部22には、金属検出センサ16からのセンサ出力信号を基に1つのボール9の通過を検出するための通過検出閾値(図4に符号Kで示す実線参照)等が予め設定されて格納されている。
本実施例の通過検出閾値としては、金属検出センサ16からのセンサ出力信号のピーク電圧の30%以上、50%以下の範囲の電圧(本実施例では、40%の電圧)が設定されている。
The storage unit 22 is preset with a passage detection threshold (see a solid line indicated by a symbol K in FIG. 4) for detecting the passage of one ball 9 based on a sensor output signal from the metal detection sensor 16. Stored.
As the passage detection threshold of this embodiment, a voltage in the range of 30% to 50% of the peak voltage of the sensor output signal from the metal detection sensor 16 (40% in this embodiment) is set. .

更に、記憶部22には、リニアガイド装置1の運転時に、循環路14を循環するボール9の循環異常を判定するときの異常判定通過周期を算出するための異常転動体間隔としての異常ボール間隔が予め設定されて格納されている。
本実施例の異常ボール間隔としては、各循環路14に装填されたボール9間に設定された隙間の総和(総隙間という。)の寸法許容範囲の最大値にボール9の直径を加えた長さに一定の倍率を乗じた長さが格納されている。
Further, the storage unit 22 stores an abnormal ball interval as an abnormal rolling element interval for calculating an abnormality determination passage period when determining an abnormal circulation of the ball 9 circulating in the circulation path 14 during operation of the linear guide device 1. Are preset and stored.
The abnormal ball interval of the present embodiment is a length obtained by adding the diameter of the ball 9 to the maximum value of the allowable dimension range of the sum of the gaps (referred to as the total gap) set between the balls 9 loaded in each circulation path 14. The length obtained by multiplying the length by a certain magnification is stored.

なお、ボール9間に、ボール9同士が直接接触することを防止するための樹脂製等のスペーサが挿入されている場合は、総隙間の最大値にボール9の直径およびスペーサにより隔置されるボール9の間隔を加えた長さに一定の倍率を乗じた長さが異常ボール間隔として格納される。
また、前記の一定の倍率は、1.0以上、1.2以下の範囲の値(本実施例では、1.1)が設定されている。
When a spacer made of resin or the like is inserted between the balls 9 to prevent the balls 9 from coming into direct contact with each other, the maximum value of the total gap is spaced by the diameter of the balls 9 and the spacers. A length obtained by multiplying the length of the ball 9 by a certain magnification is stored as the abnormal ball interval.
The constant magnification is set to a value in the range of 1.0 or more and 1.2 or less (1.1 in this embodiment).

以下に、図3に示すフローチャートを用い、Sで示すステップに従って本実施例の異常判定処理について説明する。
機械装置の操作担当者が、始業時等に機械装置および異常判定装置20へ電源を投入すると、異常判定装置20の記憶部22に格納されている異常判定処理プログラムが自動的に起動される。
In the following, the abnormality determination process of the present embodiment will be described according to the steps indicated by S using the flowchart shown in FIG.
When a person in charge of operating the mechanical device turns on the power to the mechanical device and the abnormality determination device 20 at the start of work or the like, the abnormality determination processing program stored in the storage unit 22 of the abnormality determination device 20 is automatically started.

S1、異常判定処理プログラムが起動すると、制御部21は、駆動装置30からのスライダ6の「0」を超える移動速度の着信を待って待機し、駆動装置30から移動速度を受信したときに、ステップS2へ移行する。
移動速度を受信しない場合は、前記の待機を継続する。
S2、駆動装置30からの移動速度を受信した制御部21は、記憶部22に格納されている異常ボール間隔を読出すと共に、スライダ6の移動速度Vsと、式(1)に示す転動に関する幾何学的関係、つまり公転速度Vbは移動速度Vsの半分の速度になるという幾何学的関係とを基に、ボール9の公転速度Vbを算出する。
S1, when the abnormality determination processing program is activated, the control unit 21 waits for the arrival of the moving speed exceeding “0” of the slider 6 from the driving device 30, and when the moving speed is received from the driving device 30, The process proceeds to step S2.
If the moving speed is not received, the standby is continued.
S <b> 2, the control unit 21 that has received the moving speed from the driving device 30 reads out the abnormal ball interval stored in the storage unit 22, and relates to the moving speed Vs of the slider 6 and the rolling shown in the equation (1). The revolution speed Vb of the ball 9 is calculated based on the geometric relation, that is, the geometric relation that the revolution speed Vb is half of the movement speed Vs.

Vb=Vs/2 ・・・・・・・(1)
そして、制御部21は、読出した異常ボール間隔を算出した公転速度で除して、異常判定通過周期を算出する。
S3、異常判定通過周期を算出した制御部21は、記憶部22に格納されている通過検出閾値を読出し、時計部23により、金属検出センサ16のセンサ出力信号が、その上昇時に通過検出閾値以上になったときから、次のセンサ出力信号の上昇時に通過検出閾値以上となるまでの時間を測定して、通過時間間隔(図4参照)を検出する。
Vb = Vs / 2 (1)
Then, the control unit 21 calculates the abnormality determination passing period by dividing the read abnormal ball interval by the calculated revolution speed.
In S3, the control unit 21 that has calculated the abnormality determination passage period reads the passage detection threshold value stored in the storage unit 22, and the clock unit 23 causes the sensor output signal of the metal detection sensor 16 to exceed the passage detection threshold value when it rises. From this time, the time until the value of the next sensor output signal rises to the passage detection threshold or more is measured to detect the passage time interval (see FIG. 4).

S4、通過時間間隔を検出した制御部21は、検出した通過時間間隔が、異常判定通過周期以上のときは、循環路14に循環異常が生じたことを判定してステップS5へ移行する。
通過時間間隔が異常判定通過周期未満の場合は、正常運転と判定してステップS1へ戻り、上記の異常判定を継続する。
When the detected passage time interval is equal to or greater than the abnormality determination passage period, the control unit 21 that has detected the passage time interval determines that a circulation abnormality has occurred in the circulation path 14 and proceeds to step S5.
If the passage time interval is less than the abnormality determination passage period, it is determined that the operation is normal, the process returns to step S1, and the above abnormality determination is continued.

S5、循環路14に循環異常が生じたことを判定した制御部21は、循環路14に循環異常が生じた旨の文言や循環異常と判定した循環路14の位置等を表示した循環異常警告画面を表示部24に表示し、警報部26からブザー音またはビープ音等を発して、操作担当者等に警告を報知すると共に、駆動装置30へ停止指令を送信してリニアガイド装置1の運転を停止させる。   S5, the control unit 21 that has determined that a circulation abnormality has occurred in the circulation path 14, displays a message that a circulation abnormality has occurred in the circulation path 14, a position of the circulation path 14 that has been determined to be a circulation abnormality, and the like. A screen is displayed on the display unit 24, a buzzer sound or a beep sound is generated from the alarm unit 26, a warning is given to an operator or the like, and a stop command is transmitted to the drive device 30 to operate the linear guide device 1. Stop.

このように、本実施例の異常判定処理においては、金属検出センサ16により方向転換路12を移動するボール9の通過時間間隔を直接検出するので、循環路14に詰り現象等の循環異常が生じたときに、通過時間間隔が長時間側に移行することを利用して、摺動抵抗が増大する以前の循環異常を直接検出して、循環路に循環異常が生じたことを早期に、かつ確実に判定することができ、摺動抵抗の増大に伴うエンドキャップ11の破損という致命的損傷を未然に防止することができる。   As described above, in the abnormality determination process of the present embodiment, the metal detection sensor 16 directly detects the passage time interval of the ball 9 moving on the direction change path 12, so that a circulation abnormality such as a clogging phenomenon occurs in the circulation path 14. By using the fact that the passage time interval shifts to the long time side, the circulation abnormality before the sliding resistance increases is directly detected, and the circulation abnormality has occurred at an early stage, and It can be determined reliably, and fatal damage such as breakage of the end cap 11 accompanying increase in sliding resistance can be prevented in advance.

また、転動に関する幾何学的関係とスライダ6の移動速度を用いて、異常判定通過周期を算出しながら、金属検出センサ16により検出したボール9の通過時間間隔を監視するので、スライダ6の移動における加減速時を含む運転時の全ストローク範囲での通過時間間隔の異常を検出することができ、循環路14に循環異常が生じたことを迅速に、かつ確実に判定することができる。   In addition, the time interval of the ball 9 detected by the metal detection sensor 16 is monitored while calculating the abnormality determination passage period using the geometric relationship regarding the rolling and the moving speed of the slider 6. Thus, it is possible to detect an abnormality in the passage time interval in the entire stroke range during operation including acceleration / deceleration, and to quickly and reliably determine that a circulation abnormality has occurred in the circulation path 14.

更に、本実施例の金属検出センサ16は、誘導型または磁気型のセンサであるので、樹脂を介して金属を検出することが可能になり、エンドキャップ11の方向転換路12に開口を設けることなく、ボール9の通過時間間隔を検出することができる。
以上説明したように、本実施例では、リニアガイド装置の循環路の一部を構成する樹脂製のエンドキャップに、循環路を循環するボールの接近を検出する金属検出センサを設け、この金属検出センサによりボールの通過時間間隔を検出するようにしたことによって、循環路に詰り現象等の循環異常が生じたときに、通過時間間隔が長時間側に移行することを利用して、摺動抵抗が増大する以前の循環異常を金属検出センサにより直接検出して、循環路に循環異常が生じたことを早期に、かつ確実に判定することができ、摺動抵抗の増大に伴うエンドキャップの破損という致命的損傷を未然に防止することができる。
Furthermore, since the metal detection sensor 16 of the present embodiment is an inductive or magnetic sensor, it is possible to detect metal via resin, and an opening is provided in the direction change path 12 of the end cap 11. In addition, the passage time interval of the ball 9 can be detected.
As described above, in this embodiment, a metal detection sensor for detecting the approach of a ball circulating in the circulation path is provided on the resin end cap that constitutes a part of the circulation path of the linear guide device. By detecting the passage time interval of the ball by the sensor, when the circulation abnormality such as clogging occurs in the circulation path, the sliding resistance is utilized by shifting the passage time interval to the long time side. It is possible to detect the circulatory abnormality before the increase in the metal directly with the metal detection sensor, and to quickly and surely determine that the circulatory abnormality has occurred in the end cap. Can be prevented.

また、循環路を循環するボールの循環異常を判定するときの、異常判定通過周期を算出するための異常ボール間隔を格納しておき、この異常ボール間隔を、転動に関する幾何学的関係と、スライダの移動速度とを基に算出したボールの公転速度で除して異常判定通過周期を算出し、金属検出センサのセンサ出力信号により検出したボールの通過時間間隔を、算出した異常判定通過周期と比較し、検出した通過時間間隔が異常判定通過周期以上のときに、循環路に循環異常が生じたこと判定するようにしたことによって、スライダの移動における加減速時を含む運転時の全ストローク範囲での通過時間間隔の異常を検出することができ、循環路に循環異常が生じたことを迅速に、かつ確実に判定することができる。   In addition, when determining abnormal circulation of the ball circulating in the circulation path, the abnormal ball interval for calculating the abnormality determination passage period is stored, and the abnormal ball interval is expressed as a geometric relationship with rolling, Divide by the revolution speed of the ball calculated based on the moving speed of the slider to calculate the abnormality determination passage period, and the ball passage time interval detected by the sensor output signal of the metal detection sensor is calculated as the calculated abnormality determination passage period. Comparing and determining that a circulation abnormality has occurred in the circulation path when the detected passage time interval is equal to or greater than the abnormality determination passage period, the entire stroke range during operation including acceleration / deceleration in the movement of the slider It is possible to detect an abnormality in the passage time interval at, and to quickly and reliably determine that a circulation abnormality has occurred in the circulation path.

なお、上記実施例においては、転動体としてボールを用いたリニアガイド装置を例に説明したが、転動体としてころを用いたリニアガイド装置においても同様の効果を得ることができる。
この場合に負荷路を形成するレールの転動体ガイド面とスライダの転動体ガイド面はころが転動するレール軌道面とスライダ軌道面とで構成され、エンドキャップにおいて方向転換路が立体交差する場合は、スライダ移動方向の前後端部に配置されたエンドキャップに、それぞれの端面に近い側の方向転換路を通過するころの通過時間間隔を検出するための金属検出センサを設けるようにするとよい。
In the above embodiment, the linear guide device using a ball as a rolling element has been described as an example. However, the same effect can be obtained in a linear guide device using a roller as a rolling element.
In this case, the rolling element guide surface of the rail that forms the load path and the rolling element guide surface of the slider are composed of the rail raceway surface on which the roller rolls and the slider raceway surface, and the direction change path intersects three-dimensionally at the end cap. The end caps arranged at the front and rear end portions in the slider moving direction may be provided with a metal detection sensor for detecting the passage time interval of the rollers passing through the direction change paths on the side close to each end face.

また、直動装置はリニアガイド装置であるとして説明したが、直動装置としてのボールねじ装置に本発明を適用しても同様の効果を得ることができる。
この場合に、直動装置の固定体としてのボールねじ軸に、複数の金属製のボールを介して移動体としてのボールナットを移動可能に支持させ、固定体の転動体ガイド面としての軸軌道溝と、移動体の転動体ガイド面としてのナット軌道溝とを対向配置して形成された負荷路の両端を、樹脂部材としての樹脂製のリターンチューブやエンドキャップ、こま等で連通して循環路を形成し、その循環路の一部を構成する樹脂部材に金属検出センサを設け、この金属検出センサによりボールの通過時間間隔を検出するようにし、上記ステップS1の前に公転速度Vbを算出するためのボールねじ装置の形状の諸元値を入力するステップを設け、操作担当者に、軸軌道溝のリードL、ボールピッチ円直径Dm、ボールの直径Dw、負荷路におけるボールとナット軌道溝および軸軌道溝との接触角αとからなる形状の諸元値を入力させ、上記ステップS2において、スライダ6の移動速度Vsと、式(2)に示す転動に関する幾何学的関係とを基に、ボールの公転速度Vbを算出するとよい。
Although the linear motion device has been described as being a linear guide device, the same effect can be obtained even if the present invention is applied to a ball screw device as the linear motion device.
In this case, a ball screw shaft as a fixed body of the linear motion device is supported by a ball nut as a moving body through a plurality of metal balls so as to be movable, and an axial track as a rolling element guide surface of the fixed body Circulating both ends of the load path formed by placing the groove and the nut raceway groove as the rolling element guide surface of the moving body in opposition with a resin return tube, end cap, and top as a resin member A metal detection sensor is provided on a resin member that forms a path and a part of the circulation path, and a ball passing time interval is detected by the metal detection sensor, and the revolution speed Vb is calculated before step S1. The step of inputting the specification value of the shape of the ball screw device for the operation is provided, and the operator is informed of the lead L of the shaft raceway groove, the ball pitch circle diameter Dm, the ball diameter Dw, By inputting the specification value of the shape composed of the contact angle α with the nut raceway groove and the shaft raceway groove, in step S2, the moving speed Vs of the slider 6 and the geometrical relationship regarding the rolling shown in the equation (2). Based on the above, the revolution speed Vb of the ball may be calculated.

この場合に、公転速度Vbは、
Vb=πDm(1−(Dw/Dm)cosα)Vs/2L ・・・・・・(2)
なる幾何学的関係を用いて算出する。
更に、ボールねじ装置の転動体を円柱状のローラとした、直動装置としてのローラねじ装置に本発明を適用しても同様の効果を得ることができる。
In this case, the revolution speed Vb is
Vb = πDm (1− (Dw / Dm) cos α) Vs / 2L (2)
It calculates using the geometrical relationship which becomes.
Furthermore, even if the present invention is applied to a roller screw device as a linear motion device in which the rolling element of the ball screw device is a cylindrical roller, the same effect can be obtained.

実施例のリニアガイド装置を示す斜視図The perspective view which shows the linear guide apparatus of an Example. 実施例の異常判定装置を示すブロック図The block diagram which shows the abnormality determination apparatus of an Example 実施例の異常判定処理を示すフローチャートThe flowchart which shows the abnormality determination process of an Example 実施例の金属検出センサのセンサ出力信号の波形を示す説明図Explanatory drawing which shows the waveform of the sensor output signal of the metal detection sensor of an Example

符号の説明Explanation of symbols

1 リニアガイド装置
2 レール
3 レール取付穴
5 レール軌道溝
6 スライダ
6a 袖壁
7 取付ねじ穴
8 スライダ軌道溝
9 ボール
10 戻り路
11 エンドキャップ
11a 袖部
12 方向転換路
14 循環路
16 金属検出センサ
18 リード線
20 異常判定装置
21 制御部
22 記憶部
23 時計部
24 表示部
25 入力部
26 警報部
30 駆動装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Linear guide apparatus 2 Rail 3 Rail mounting hole 5 Rail track groove 6 Slider 6a Sleeve wall 7 Mounting screw hole 8 Slider track groove 9 Ball 10 Return path 11 End cap 11a Sleeve part 12 Direction change path 14 Circulation path 16 Metal detection sensor 18 Lead wire 20 Abnormality determination device 21 Control unit 22 Storage unit 23 Clock unit 24 Display unit 25 Input unit 26 Alarm unit 30 Drive device

Claims (2)

固定体と、前記固定体に複数の金属製の転動体を介して移動可能に支持された移動体と、前記転動体が循環する循環路とを備えた直動装置において、
前記循環路の一部を構成する樹脂部材に、前記循環路を循環する前記転動体の接近を検出する金属検出センサを設け、
前記金属検出センサにより、前記転動体の通過時間間隔を検出することを特徴とする直動装置。
In a linear motion device comprising: a stationary body; a movable body supported by the stationary body through a plurality of metal rolling elements; and a circulation path through which the rolling elements circulate.
The resin member constituting a part of the circulation path is provided with a metal detection sensor that detects the approach of the rolling elements circulating in the circulation path,
A linear motion device characterized in that the metal detection sensor detects a passing time interval of the rolling elements.
固定体と、前記固定体に複数の金属製の転動体を介して移動可能に支持された移動体と、前記転動体が循環する循環路と、前記循環路の一部を構成する樹脂部材に設けられた、前記循環路を循環する前記転動体の接近を検出する金属検出センサと、を備えた直動装置の異常判定装置であって、
前記循環路を循環する転動体の循環異常を判定するときの、異常判定通過周期を算出するための異常転動体間隔を格納する手段と、
前記金属検出センサのセンサ出力信号から、前記転動体の通過時間間隔を検出する手段と、
前記転動体の転動に関する幾何学的関係と、前記移動体の移動速度とを基に、前記転動体の公転速度を算出する手段と、
前記異常転動体間隔を、前記算出した公転速度で除して、前記異常判定通過周期を算出する手段と、
前記検出した通過時間間隔が、前記異常判定通過周期以上のときに、前記循環路に循環異常が生じたこと判定する手段と、を備えることを特徴とする直動装置の異常判定装置。
A fixed body, a movable body supported by the fixed body through a plurality of metal rolling elements, a circulation path through which the rolling elements circulate, and a resin member constituting a part of the circulation path An abnormality determination device for a linear motion device, comprising: a metal detection sensor provided to detect the approach of the rolling elements that circulate in the circulation path;
Means for storing an abnormal rolling element interval for calculating an abnormality determination passage period when determining a circulation abnormality of the rolling element circulating in the circulation path;
Means for detecting a passage time interval of the rolling elements from a sensor output signal of the metal detection sensor;
Means for calculating a revolution speed of the rolling element based on a geometric relationship relating to rolling of the rolling element and a moving speed of the moving object;
Means for dividing the abnormal rolling element interval by the calculated revolution speed to calculate the abnormality determination passage period;
An abnormality determination device for a linear motion device, comprising: means for determining that a circulation abnormality has occurred in the circulation path when the detected passage time interval is equal to or greater than the abnormality determination passage period.
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