JP2009066827A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009066827A5 JP2009066827A5 JP2007236098A JP2007236098A JP2009066827A5 JP 2009066827 A5 JP2009066827 A5 JP 2009066827A5 JP 2007236098 A JP2007236098 A JP 2007236098A JP 2007236098 A JP2007236098 A JP 2007236098A JP 2009066827 A5 JP2009066827 A5 JP 2009066827A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- molding
- resin
- optical element
- irradiating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007236098A JP5349777B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007236098A JP5349777B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 光学素子の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009066827A JP2009066827A (ja) | 2009-04-02 |
| JP2009066827A5 true JP2009066827A5 (enExample) | 2010-12-02 |
| JP5349777B2 JP5349777B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=40603615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007236098A Expired - Fee Related JP5349777B2 (ja) | 2007-09-12 | 2007-09-12 | 光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5349777B2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010119725A1 (ja) * | 2009-04-13 | 2010-10-21 | コニカミノルタオプト株式会社 | ウエハレンズの製造方法及びウエハレンズ積層体の製造方法 |
| JP5834458B2 (ja) * | 2011-04-13 | 2015-12-24 | 株式会社ニコン | 光学素子の製造方法および光学素子 |
| JP5780821B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-09-16 | キヤノン株式会社 | 複合型光学素子の製造方法 |
| JP7204363B2 (ja) * | 2017-08-04 | 2023-01-16 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子、その製造方法および光学機器 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2849299B2 (ja) * | 1993-03-10 | 1999-01-20 | キヤノン株式会社 | 複合型精密成形品の製造方法 |
| JP2005001319A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Canon Inc | 多層複合光学素子の成形方法 |
| JP4371777B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2009-11-25 | リコー光学株式会社 | 樹脂硬化方法及び樹脂成型品の製造方法 |
| KR100638826B1 (ko) * | 2005-06-03 | 2006-10-27 | 삼성전기주식회사 | 하이 새그 렌즈의 제작 방법 |
-
2007
- 2007-09-12 JP JP2007236098A patent/JP5349777B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4580411B2 (ja) | ソフトモールド及びその製造方法 | |
| JP5308287B2 (ja) | ナノインプリントを用いたパターン成形方法とパターン成形のためのモールド製作方法 | |
| JP2010537843A5 (enExample) | ||
| WO2008099795A3 (en) | Imprint method and imprint apparatus | |
| WO2011011140A3 (en) | Method and materials for double patterning | |
| WO2009020193A3 (en) | Imprint method and processing method of substrate | |
| JP2010532429A5 (enExample) | ||
| CN105658413B (zh) | 利用压印法的聚酰亚胺的精细图案形成方法 | |
| JPWO2014115728A1 (ja) | 光透過型インプリント用モールド、大面積モールドの製造方法 | |
| JP2016117885A5 (enExample) | ||
| JP2008298962A5 (enExample) | ||
| CN102019804A (zh) | 立体图纹制作方法 | |
| JP2008536716A5 (enExample) | ||
| WO2009006294A3 (en) | Roll-to-roll fabrication of microlens arrays | |
| JP2009066827A5 (enExample) | ||
| KR20140028677A (ko) | 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법 | |
| CN104094140B (zh) | 衍射光栅及其制造方法 | |
| WO2011016651A3 (ko) | 임프린트 리소그래피용 광경화형 수지 조성물 및 이를 이용한 임프린트 몰드의 제조 방법 | |
| TW200700208A (en) | Method for fabricating soft mold | |
| JP5349777B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
| JP2007103914A5 (enExample) | ||
| JP2014240137A5 (enExample) | ||
| JP2012236371A (ja) | インプリントにおける離型方法 | |
| TWI495552B (zh) | Method of manufacturing transfer die | |
| TW200619232A (en) | The curable composition, the method of manufacturing fine structure, and the method of forming pattern |