JP2009052881A - Extremely low temperature cooling device - Google Patents
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Description
本発明は、冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置に係り、特に、ギフォードマクマホンサイクル型(GM型)のパルス管冷凍機やバルブユニットがコールドヘッドから分離可能なギフォードマクマホンサイクル冷凍機(GM冷凍機)に用いるのに好適な、冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防ぐことが可能な極低温冷却装置に関する。 The present invention relates to a cryogenic cooling device having a cryostat cooled by using a refrigerator, and in particular, a Gifford McMahon capable of separating a Gifford McMahon cycle type (GM type) pulse tube refrigerator and a valve unit from a cold head. The present invention relates to a cryogenic cooling device suitable for use in a cycle refrigerator (GM refrigerator) and capable of preventing vibration caused by the refrigerator from being transmitted to the entire cryostat or a cooled object.
冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置においては、通常、冷凍機に起因する何種類かの振動が発生し、クライオスタット全体及び被冷却体に伝わる。まず、圧力振動源である圧縮機は機械式であるため、その機械振動が、圧縮機と、クライオスタットに取付けられた冷却部であるコールドヘッドとを連結する連結管を通じてコールドヘッドに伝わり、クライオスタット全体に影響を及ぼす。又、GM冷凍機やスターリング冷凍機のような、コールドヘッド内部にピストン(ディスプレーサとも呼ばれる)を有する冷凍機では、圧縮膨張に伴うピストンの往復運動が周期的な振動を引き起こし、クライオスタット全体及び被冷却体に伝わる。更に、冷凍機のシリンダが通常薄肉の筒状構造物であるため、圧縮膨張に伴うコールドヘッド内の高低圧力振動がシリンダの弾性伸縮を引き起こし、被冷却体に新たな振動を付加する。 In a cryogenic cooling device equipped with a cryostat that is cooled using a refrigerator, several types of vibrations are usually generated due to the refrigerator and transmitted to the entire cryostat and the object to be cooled. First, since the compressor that is the pressure vibration source is mechanical, the mechanical vibration is transmitted to the cold head through a connecting pipe that connects the compressor and the cold head that is a cooling unit attached to the cryostat, and the entire cryostat. Affects. Further, in a refrigerator having a piston (also called a displacer) such as a GM refrigerator or a Stirling refrigerator, the reciprocating motion of the piston accompanying compression and expansion causes periodic vibration, and the entire cryostat and the object to be cooled. It is transmitted to the body. Further, since the cylinder of the refrigerator is usually a thin cylindrical structure, high and low pressure vibrations in the cold head accompanying compression and expansion cause elastic expansion and contraction of the cylinders and add new vibrations to the object to be cooled.
このような問題点を解決するべく、特許文献1には、超電導コイル冷却装置において、(1)被冷却体である超伝導コイルを、冷凍機の冷却ステージに、細い銅線を編んだ編組線や、薄い銅板を多数枚積み重ねたものでなる良熱伝導性金属からなる振動吸収部材を介して連結して、冷却ステージからの振動を吸収すること、更に、(2)冷凍機とクライオスタットの真空容器の間に、蛇腹管等のフレキシブル管やコイル体でなる振動吸収部材を介在させて、冷凍機で発生する振動を真空容器に伝播させないようにすることが記載されている。 In order to solve such problems, Patent Document 1 discloses a superconducting coil cooling device in which (1) a superconducting coil as a cooled object is braided with a thin copper wire knitted on a cooling stage of a refrigerator. In addition, it is connected via a vibration absorbing member made of a highly heat conductive metal made of a stack of many thin copper plates to absorb vibrations from the cooling stage, and (2) a vacuum between the refrigerator and the cryostat. It describes that a vibration absorbing member made of a flexible tube such as a bellows tube or a coil body is interposed between the containers so that vibration generated in the refrigerator is not propagated to the vacuum container.
又、特許文献2には、膨張器−ディスプレーサを圧縮機に対してベローズにより低振動に取り付けることが記載されている。 Patent Document 2 describes that an expander-displacer is attached to a compressor with a bellows with low vibration.
又、特許文献3には、ジュールトムソンサイクル(J−Tサイクル)と予冷サイクルからなるヘリウム液化冷凍機を用いた微弱磁場測定装置において、(1)予冷サイクルを構成するホースとJ−Tサイクルを構成するホースに、予冷サイクルの振動を分離するための振動遮断チューブを設けること、及び、(2)予冷サイクルを構成する部材と、これを支える構造物の間に、予冷サイクルの振動を分離するための空気ばねを介在させることが記載されている。 Patent Document 3 discloses a weak magnetic field measuring apparatus using a helium liquefaction refrigerator comprising a Joule-Thomson cycle (JT cycle) and a precooling cycle. (1) A hose and a JT cycle constituting the precooling cycle The hose to be configured is provided with a vibration isolation tube for isolating the vibration of the precooling cycle, and (2) the vibration of the precooling cycle is separated between the member constituting the precooling cycle and the structure supporting this. It is described that an air spring is interposed.
しかしながら、特許文献1に記載の超電導コイル冷却装置では、冷凍機と超伝導コイルが、クライオスタットの真空容器内に設けられた熱シールド容器、該熱シールド容器の支持棒、及び、コイル支持棒を介してつながっており、支持棒を通じて伝わってきた振動を断ち切ることができない。 However, in the superconducting coil cooling device described in Patent Document 1, the refrigerator and the superconducting coil are connected via a heat shield container provided in a cryostat vacuum container, a support rod for the heat shield container, and a coil support rod. The vibrations transmitted through the support rod cannot be cut off.
又、特許文献2のように、クライオスタットの冷凍機取付部にベローズを導入して、クライオスタット全体に伝わる、圧縮機からの振動やピストンの往復運動による振動を低減することも考えられるが、クライオスタット内が通常真空状態であるため、ベローズが収縮して柔軟性を失い、期待する程の減振効果を得ることができない。 In addition, as in Patent Document 2, it is conceivable to introduce a bellows into the cryostat refrigerator mounting portion to reduce the vibration from the compressor and the reciprocating motion of the piston transmitted to the entire cryostat. Is normally in a vacuum state, the bellows contracts and loses its flexibility, and an expected vibration reduction effect cannot be obtained.
又、特許文献3に記載の装置においても、クライオスタットの荷重が冷凍機にかかるため、振動を十分に遮断できないという問題点を有していた。 The apparatus described in Patent Document 3 also has a problem in that vibration cannot be sufficiently blocked because the cryostat load is applied to the refrigerator.
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防ぐことを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and it is an object of the present invention to prevent vibration caused by the refrigerator from being transmitted to the entire cryostat or the object to be cooled.
本発明は、冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持する、クライオスタットとは別に設けられ、且つ真空容器ではないサポートステージと、該サポートステージの内側に配置される該クライオスタットと、該クライオスタットで支持され、被冷却体の荷重を吊持する低振動ステージと、を備えることにより、前記課題を解決したものである。 The present invention relates to a cryogenic cooling device having a cryostat cooled using a refrigerator, wherein the cold head of the refrigerator is fixed and supports the load, and is provided separately from the cryostat and is not a vacuum vessel. The problem is solved by providing a stage, the cryostat disposed inside the support stage, and a low-vibration stage supported by the cryostat and suspending a load of an object to be cooled.
又、前記クライオスタット全体を、除振機構を介して地面(床も含む)に設置するようにして、防振効果を高めたものである。 In addition, the entire cryostat is installed on the ground (including the floor) through a vibration isolation mechanism to enhance the vibration isolation effect.
又、前記冷凍機を構成する圧縮機とコールドヘッドを、地面又は壁に固定されたフレキシブル管又はホースにより連結するようにして、防振効果を高めたものである。 In addition, the compressor and the cold head constituting the refrigerator are connected by a flexible pipe or hose fixed to the ground or a wall, thereby improving the vibration isolation effect.
又、前記フレキシブル管又はホースのコールドヘッド側をリジッド管とし、クライオスタットとは別に設けられた台又は地面又は壁に固定するようにして、防振効果を高めたものである。 Further, the cold pipe side of the flexible pipe or hose is a rigid pipe and is fixed to a stand or a ground or a wall provided separately from the cryostat so as to enhance the vibration isolation effect.
又、前記冷凍機を構成する圧縮機とコールドヘッドが、該コールドヘッドから分離可能なバルブユニットを備えたものにおいて、該バルブユニットを、クライオスタットとは別に設けられた台又は地面又は壁に固定するようにして、防振効果を高めたものである。 Further, in the case where the compressor and the cold head constituting the refrigerator are provided with a valve unit separable from the cold head, the valve unit is fixed to a stand provided separately from the cryostat, the ground, or a wall. In this way, the anti-vibration effect is enhanced.
又、前記クライオスタットとサポートステージをベローズで連結し、コールドヘッドのトップフランジやクライオスタット本体と共に真空空間を形成するようにして、防振効果を高めたものである。 In addition, the cryostat and the support stage are connected with a bellows to form a vacuum space together with the top flange of the cold head and the cryostat main body, thereby improving the vibration isolation effect.
又、前記ベローズを溶接ベローズとし、ベローズの山と山の間に緩衝材を配設して、ベローズの振動が発振するのを防止したものである。 Further, the bellows is a welded bellows, and a cushioning material is disposed between the peaks of the bellows to prevent the vibration of the bellows from oscillating.
又、前記冷凍機を、パルス管冷凍機、GM冷凍機又スターリング冷凍機としたものである。 Further, the refrigerator is a pulse tube refrigerator, a GM refrigerator, or a Stirling refrigerator.
本発明は、又、前記の極低温冷却装置を備えた超伝導装置、クライオポンプ装置、極低温計測分析装置、核磁気共鳴(NMR)装置を提供するものである。 The present invention also provides a superconducting device, a cryopump device, a cryogenic measurement / analysis device, and a nuclear magnetic resonance (NMR) device provided with the cryogenic cooling device.
本発明によれば、冷凍機に起因する振動が、クライオスタット全体や被冷却体に伝わるのを防止することが可能となる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to prevent that the vibration resulting from a refrigerator is transmitted to the whole cryostat or a to-be-cooled body.
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の第1実施形態は、本発明を図1に示す如く、2段式のGM型パルス管冷凍機、又は、冷凍機10の圧縮機12から高圧ガスライン14及び低圧ガスライン16を介してコールドヘッド18に供給されるガスの高低圧力を切り換えるためのバルブユニット20がコールドヘッド18から分離できる2段式のGM冷凍機を使用した極低温冷却装置に適用したもので、冷凍機10のコールドヘッド18をクライオスタット30に直接固定せず、クライオスタット30とは別に設けたサポートステージ50にコールドヘッド18を固定して、その荷重を支持すると共に、被冷却体8が固定され、その荷重を吊持する2段低振動ステージ42を、支持棒53、54を介してクライオスタット30(ここではクライオスタットのトップフランジ31)で支持するようにしている。図において、21は、コールドヘッド18の1段冷却ステージ、22は、同じく2段冷却ステージである。
In the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the two-stage GM type pulse tube refrigerator or the
前記サポートステージ50は、真空容器ではないが、極めて大きい質量(例えば30Kg以上)を有し、クライオスタット30とは無関係に地面に設置することが望ましい。
The
前記クライオスタット30の全体は、例えばゴムシートや空気ばね、除振構造体でなる除振機構(図ではゴムシート)54を介して地面又はサポートステージ(図では地面)に設置される。
The entirety of the
更に、前記圧縮機12の振動がクライオスタット30全体に伝わらないようにするため、圧縮機12とコールドヘッド18をつなぐフレキシブル管(又はホース)24をクランプ60を用いて地面又は壁に固定する。
Further, in order to prevent the vibration of the
更に、前記バルブユニット20を、クライオスタット30とは別に設けた台又は地面又は壁(ここでは質量の大きい(例えば10Kg以上)バルブ固定台62)に固定する。
Further, the
更に、前記バルブユニット20やコールドヘッド18の付近で、フレキシブル管24に代えて、例えばステンレスや銅等の硬いリジッド管64を使用し、且つ、このリジッド管64を前記クライオスタット30とは別に設けた台又は地面又は壁(ここでは前記バルブ固定台62)にクランプ66により固定する。
Further, in the vicinity of the
更に、前記クライオスタット30(ここではそのトップフランジ31)とサポートステージ50(ここではそのトップフランジ51)の間をベローズ70で連結し、コールドヘッド18のトップフランジ19やクライオスタット30本体と共に真空空間61を形成する。
Further, the cryostat 30 (here, the top flange 31) and the support stage 50 (here, the top flange 51) are connected by a
前記ベローズ70としては、変形し易く振動吸収し易い溶接ベローズを使用し、ベローズ70の山と山の間にゴムシート、ゴムリング等の緩衝材72を設けて、外部から衝撃があった場合のベローズの振動の発振を防止することができる。なお、二重ベローズとして液体を封入したり、あるいは溶接ベローズの代わりに成形ベローズを用いることも可能である。
As the
又、前記コールドヘッドの1段、2段冷却ステージ21、22と1段、2段低振動ステージ41、42との間に、それぞれ、ステージの熱収縮を吸収するための可撓的なヒートリンク81、82を設けている。該ヒートリンク81、82の材料としては、例えば熱伝導率の良い銅やアルミニウムの編素線や薄板を使用することで、可撓性を保ちつつ、伝熱性能を確保することができる。
Also, a flexible heat link for absorbing thermal contraction of the stage between the first and
本実施形態では2段式の冷凍機を使用しているため、1段低振動ステージ41に熱シールド90を設け、被冷却体8が固定される低温側の2段低振動ステージ42の冷却効果を高めている。
In this embodiment, since a two-stage refrigerator is used, a heat shield 90 is provided on the first-stage
このようにして、冷凍機10のコールドヘッド18をクライオスタット30に直接固定せず、クライオスタット30とは別に設けたサポートステージ50に荷重を載せることにより、圧縮機12からの振動やピストンの往復運動による振動がクライオスタット30に伝わるのを防ぐことができる。
In this manner, the
又、被冷却体8の荷重支持を、振動の少ないクライオスタット30(ここではそのトップフランジ31)からとることにより、圧縮機12からの振動やピストンの往復運動による振動が、荷重支持体を通じて被冷却体8に伝わるのを防ぐことができる。
Further, by taking the load support of the cooled
又、クライオスタット30全体を、除振機構54を介して地面又はサポートステージに設置することにより、サポートステージ50とのカップリングを弱め、サポートステージ50を通じてクライオスタット30全体に振動が伝わるのを防ぐことができる。
Further, by installing the
又、クランプ60を用いてフレキシブル管24を地面又は壁に固定することにより、圧縮機12からの振動が地面又は壁で遮断され、クライオスタット30全体に伝わり難くなる。
Further, by fixing the
又、バルブユニット20やコールドヘッド18の付近でリジッド管64を使用し、且つ、クライオスタット30とは別に設けた質量の大きい台又は地面又は壁(図ではバルブ固定台62)に固定しているので、圧縮機12の圧力変化に伴うフレキシブル管24の脈動を減らすことができる。
In addition, a
又、バルブユニット20を、クライオスタット30とは別に設けた質量の大きい台又は地面又は壁(図ではバルブ固定台26)に固定しているので、圧縮機12からの振動が一層確実に遮断されるだけでなく、バルブユニット20自身が発生する振動も遮断され、クライオスタット30全体に伝わり難くなる。
Further, since the
又、クライオスタット30(ここではそのトップフランジ31)とサポートステージ50(ここではそのトップフランジ51)の間をベローズ70で連結しているので、真空によりベローズ70が柔軟性を失うのを防いで、圧縮機12からの振動やピストンの往復運動による振動がクライオスタット30に伝わるのを防いでいる。
In addition, since the cryostat 30 (here, the top flange 31) and the support stage 50 (here, the top flange 51) are connected by the
更に、ベローズ70に溶接ベローズを使用し、且つベローズの山と山との間に緩衝材72を使用することで、ベローズの減衰効果を一層強化している。
Further, by using a welded bellows for the
又、コールドヘッド18の各段冷却ステージ21、22と各段低振動ステージ41、42の間に可撓的なヒートリンク81、82を設けているので、ピストンの往復運動による振動やシリンダの弾性伸縮による振動が被冷却体8に伝わるのを防ぐことができる。
Further, since
次に、図2を参照して、単段式のGM冷凍機を使用した極低温冷却装置に適用した本発明の第2実施形態を詳細に説明する。 Next, a second embodiment of the present invention applied to a cryogenic cooling device using a single-stage GM refrigerator will be described in detail with reference to FIG.
本実施形態では、図2に示す如く、コールドヘッド18の内部に切換バルブと駆動モータが組み込まれているため、コールドヘッド18付近の高圧ガスラインと低圧ガスライン14、16を、硬い、例えばステンレス製のリジッド管64に置き換え、クランプ66によって、バルブ固定台に代わる連結管固定台68に固定している。
In this embodiment, as shown in FIG. 2, since the switching valve and the drive motor are incorporated in the
又、低振動ステージが1段低振動ステージ41のみとなり、2段低振動ステージ42、支持棒54、ヒートリンク82、熱シールド90は省略されている。
Further, the low vibration stage is only the one-stage
他の点については第1実施形態と同様であるので、説明は省略する。 Since other points are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.
次に、図3に示す如く、圧縮機12がコールドヘッド18と一体、又は、連結管26を介して至近距離(1m以内)に配置されるスターリング冷凍機やスターリング型パルス管冷凍機を使用した極低温冷却装置に適用した本発明の第3実施形態を詳細に説明する。
Next, as shown in FIG. 3, a Stirling refrigerator or a Stirling type pulse tube refrigerator in which the
本実施形態では、図3に示す如く、コールドヘッド18と共に圧縮機12もサポートステージ50に固定し、該サポートステージ50によって、圧縮機12の荷重とコールドヘッド18の荷重を支持するようにしている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the
他の点については前記第2実施形態と同様であるので、説明は省略する。 The other points are the same as in the second embodiment, and the description is omitted.
なお、前記実施形態ではGM型のパルス管冷凍機が2段式とされ、他の冷凍機が1段式とされていたが、冷凍機の段数と形式の組合せは、実施形態に限定されない。 In the above embodiment, the GM type pulse tube refrigerator is a two-stage type, and the other refrigerator is a one-stage type. However, the combination of the number of stages and the type of the refrigerator is not limited to the embodiment.
本発明は、低振動が要求される超伝導装置、デバイス冷却装置、検出器冷却装置、サンプル冷却装置、クライオポンプ装置、計測分析装置、NMR装置等に適用できる。 The present invention can be applied to a superconducting apparatus, a device cooling apparatus, a detector cooling apparatus, a sample cooling apparatus, a cryopump apparatus, a measurement / analysis apparatus, an NMR apparatus and the like that require low vibration.
8…被冷却体
10…冷凍機
12…圧縮機
14…高圧ガスライン
16…低圧ガスライン
18…コールドヘッド
20…バルブユニット
21、22…冷却ステージ
24…フレキシブル管
30…クライオスタット
31、51…トップフランジ
41、42…低振動ステージ
50…サポートステージ
54…除振機構
60、66…クランプ
62…バルブ固定台
64…リジッド管
68…連結管固定台
70…ベローズ
72…緩衝材
81、82…ヒートリンク
DESCRIPTION OF
Claims (14)
冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持する、クライオスタットとは別に設けられ、且つ真空容器ではないサポートステージと、
該サポートステージの内側に配置される該クライオスタットと、
該クライオスタットで支持され、被冷却体の荷重を吊持する低振動ステージと、
を備えたことを特徴とする極低温冷却装置。 In a cryogenic cooling device equipped with a cryostat that is cooled using a refrigerator,
A support stage which is provided separately from the cryostat and which supports the load of the cold head of the refrigerator and is not a vacuum vessel;
The cryostat disposed inside the support stage;
A low-vibration stage supported by the cryostat and suspending the load of the object to be cooled;
A cryogenic cooling device comprising:
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