JP2009045707A - Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article - Google Patents
Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009045707A JP2009045707A JP2007214865A JP2007214865A JP2009045707A JP 2009045707 A JP2009045707 A JP 2009045707A JP 2007214865 A JP2007214865 A JP 2007214865A JP 2007214865 A JP2007214865 A JP 2007214865A JP 2009045707 A JP2009045707 A JP 2009045707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport
- manipulator
- gripping
- article
- transport object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
本発明は、搬送対象物を1枚若しくは多数同時搬送する搬送用マニピュレータにおいて、特に薄板を落下させない機構とそれを備えたハンドおよびその方法に関する。 The present invention relates to a mechanism that does not drop a thin plate in a transport manipulator that transports one or more objects to be transported simultaneously, and a hand equipped with the mechanism and a method therefor.
通常、略四角形状の物品を積み付けるときの、物品を水平方向から把持する平行ハンドを使った物品搬送用ハンド装置は、これまで知られている(特許文献1参照)
この種の物品搬送用ハンド装置としては、例えば、図16に示したものが用いられている。図16は、この類の搬送マニピュレータにおける従来のハンド構成を示したものである。30のハンド装置は物品Aを水平方向(図の左右方向)から把持する一対の平行な平板34、35と物品Aを把持した状態で物品の落下を防止する可動受爪37を具備する。図16のように、物品を密集して積み付ける際は、すでに載置されている物品などの障害物側に、できるだけ近づけるために平板34の板の厚みは薄く、またハンド30の枠ベース31に対して可動させずに固定している。平板35は物品を把持する方向に平行移動し、物品の搬送時には閉じ、積み付け時には開く。可動平板35に設けた可動受爪37は受爪用シリンダ40の動作により軸42を中心として回転し、物品の搬送時には可動受爪37が物品の下方に位置してその下面を掛止することで物品の落下を防止し、物品の積み付け時においては可動受爪37が平板35の非物品把持側に移動することで物品から離れ、所定の場所に積み付けることを容易にする。このように従来の物品搬送用ハンド装置は、可動平板側に物品落下防止装置を備えることによって、物品を搬送する際に、物品を落下させることなく、かつ物品を密集して積み付けることを可能とするのである。図17に示すように、薄板物品を1枚づつ搬送する場合には、内部を真空状態にした吸着盤171を使用することにより、薄板物品をその形状を保ったまま把持出来、薄板物品の搬送を可能とするのである。
As this type of article transport hand device, for example, the one shown in FIG. 16 is used. FIG. 16 shows a conventional hand configuration in this type of transfer manipulator. The
以上のように、従来の物品落下防止装置付搬送用ハンドを備えたマニピュレータは、物品の厚みがある程度あるものや、把持しても剛性が十分にあり、形状を保つものについては、物品を落下させることなく搬送が可能である。
しかしながら物品が薄板の場合は物品の剛性は必ずしも高いとは限らず、把持することにより薄板がたわみ、安定して搬送することが出来ないという問題があった。
また、図17に示すような内部を真空状態にして吸着する方式では、1枚づつしか搬送できずに、多数を搬送するのに時間がかかるという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、上記の不都合を解消し、肉厚物品のほか、薄板の搬送においても薄板を落下させることなく安定して搬送することができるようにするとともに、薄板を多数同時に搬送することができる薄板搬送用ハンドを備えたマニピュレータを提供することを目的とする。
As described above, a manipulator equipped with a conventional transfer hand with an article drop prevention device has a certain thickness, or has a sufficient rigidity even if it is gripped. It can be transported without causing
However, when the article is a thin plate, the rigidity of the article is not always high, and there is a problem that the thin plate is bent by holding and cannot be stably conveyed.
In addition, in the method of sucking the inside in a vacuum state as shown in FIG. 17, there is a problem that only one sheet can be conveyed and it takes time to convey a large number.
The present invention has been made in view of such problems, and solves the above inconveniences, so that it can be stably transported without dropping the thin plate in the transport of the thin plate in addition to the thick article. In addition, an object of the present invention is to provide a manipulator equipped with a thin plate transporting hand capable of transporting a large number of thin plates simultaneously.
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項1記載の搬送対象物搬送用マニピュレータの発明は、少なくとも一対の把持部材と、前記一対の把持部材が互いに接近するよう前記一対の把持部材の少なくとも一方を水平方向に駆動させる把持部材駆動部と、をハンドに備え、前記一対の把持部材の狭持動作によって搬送対象物を挟持して移送する搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記把持部材の一方に当該把持部材の内部または下面から突出して前記搬送対象物の下面を掛止する可動受爪を備え、前記把持部材の他方に当該把持部材の内側面から突出して前記搬送対象物の浮き上がりを掛止する固定受爪を備えたことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記一対の把持部材が、搬送対象物を平板の平面によって狭持する略平板部材であることを特徴としている。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記可動受爪を前記把持部材の内部または下面に収納する受爪駆動部を備え、前記可動受爪は略L字形状の棒状部材であって、前記受爪駆動部が前記略L字形状の長手軸を回転させることによって、短手軸が前記搬送対象物の下面を掛止するよう突出することを特徴としている。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記可動受爪が複数個備えられたことを特徴としている。
請求項5記載の発明は、請求項3記載の搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記受爪駆動部がモータ駆動またはエア駆動による回転式アクチュエータであることを特徴としている。
請求項6記載の発明は、請求項3記載の搬送対象物搬送用マニピュレータにおいて、前記受爪駆動部がエアシリンダと該エアシリンダの先端に設けられたリンク機構とからなることを特徴としている。
請求項7記載の搬送対象物搬送方法の発明は、少なくとも一対の把持部材と、前記一対の把持部材が互いに接近するよう前記一対の把持部材の少なくとも一方を水平方向に駆動させる把持部材駆動部と、をハンドに備え、前記一対の把持部材の狭持動作によって搬送対象物を挟持して移送する搬送対象物搬送用マニピュレータによる搬送対象物搬送方法において、前記把持部材の狭持動作によって搬送対象物を狭持させる際に、前記把持部材内側面から突出して前記搬送対象物の浮き上がりを掛止する固定受爪と、前記把持部材内部から、または前記把持部材の下面から突出して前記搬送対象物の下面を掛止する可動受爪とに物品を接触させるように前記搬送対象物を斜めに把持し、前記搬送対象物を上昇させる際に、前記可動受爪を駆動して前記可動受爪を前記搬送対象物の下面に突出させ、前記搬送対象物を所望の位置に搬送して下降させる際に、前記可動受爪を駆動して前記可動受爪が前記把持部材の前記搬送対象物の非把持側に略突出しないよう前記把持部材の内部または前記把持部材の下面に収納させ、前記把持部材から前記搬送対象物を開放し、前記搬送対象物を所望の位置に載置することを特徴としている。
In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
The invention of a manipulator for conveying an object according to
The invention according to
According to a third aspect of the present invention, in the transport object transport manipulator according to the second aspect of the present invention, the movable target claw is provided with a catch claw driving portion that houses the movable catch claw in an inside or a lower surface of the gripping member. A rod-shaped member having a letter shape, wherein the claw driving part projects so as to latch the lower surface of the object to be transported by rotating the substantially L-shaped longitudinal axis. Yes.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a transport object transport manipulator according to the third aspect, wherein a plurality of the movable catch claws are provided.
A fifth aspect of the present invention is the manipulator for conveying an object according to the third aspect, wherein the claw driving portion is a rotary actuator driven by a motor or air.
According to a sixth aspect of the present invention, in the transport target object manipulator according to the third aspect, the claw driving portion includes an air cylinder and a link mechanism provided at a tip of the air cylinder.
The invention according to claim 7 includes at least a pair of gripping members, and a gripping member driving unit that drives at least one of the pair of gripping members in a horizontal direction so that the pair of gripping members approach each other. In the method for transporting a transport object using a transport object transport manipulator that sandwiches and transports the transport object by a sandwiching operation of the pair of gripping members, the transport object is supported by the gripping operation of the gripping member. A holding claw that protrudes from the inner side surface of the gripping member to prevent the transported object from rising, and protrudes from the inside of the gripping member or from the lower surface of the gripping member. The object to be conveyed is slanted so that the article is brought into contact with the movable catching nail that holds the lower surface, and the movable catching nail is driven when the conveyance object is raised. When the movable catch is protruded from the lower surface of the conveyance object and the conveyance object is conveyed and lowered to a desired position, the movable reception claw is driven to move the movable catch claw to the gripping member. The object to be conveyed is housed in the gripping member or the lower surface of the gripping member so as not to protrude substantially toward the non-gripping side of the transporting object, the transporting object is released from the gripping member, and the transporting object is placed at a desired position. It is characterized by doing.
以上の構成により、一対の把持部材の狭持動作によって搬送対象物を挟持して移送する搬送対象物搬送用マニピュレータの把持部材の一方に可動受爪を、他方に搬送対象物の浮き上がりを掛止する固定受爪を備えたので、特に薄板を搬送する際に、薄板を落下させることなく安定して1枚若しくは多数同時に搬送することができ、かつ、薄板を密集して積み付けることができるようになる。 With the above configuration, the movable receiving claw is hooked on one of the gripping members of the transporting object transporting manipulator that sandwiches and transports the transporting object by holding the pair of gripping members, and the lifting of the transporting object is latched on the other. Because it is equipped with a fixed catching claw, it is possible to transport one sheet or many stably at the same time without dropping the thin plate, especially when transporting the thin plate, and to stack the thin plate densely become.
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
まず、本発明のハンドを備えるマニピュレータについて説明する。
図1は、本発明の薄板物品搬送用ハンド装置を備えたマニピュレータの正面図、図2は、図1におけるマニピュレータ20の上面図である。両図において、本発明の薄板物品の搬送用ハンド装置30はマニピュレータ本体21に取り付けられている。マニピュレータ本体21は従来から周知のものであって、架台22に支持されたベース23上に旋回台24を取り付け、その旋回台24に下腕25の下端部を連結し、その下腕25の上端部に上腕26の後端部を連結し、上記上腕26の先端部に手首部材27を設けた構成とされている。
ここで、旋回台24はS軸を中心とする自由度をもち、図示省略したモータによって旋回動作される。また、下腕25はL軸を中心とする自由度をもち、図示省略したモータによって揺動される。さらに、上腕26は、U軸を中心とする自由度をもち、図示省略したモータによってU軸を中心に上下方向に揺動される。また、手首部材27は、B軸及びT軸を中心とする自由度をもち、上腕26の内部に組込まれた2台のモータのそれぞれによって、B軸を中心に揺動され、かつT軸を中心に回転動作される。
上記で構成されるマニピュレータ20は、予め登録されたデータに従って動作され、手首部材27の位置、角度、姿勢が制御される。
First, a manipulator including the hand of the present invention will be described.
FIG. 1 is a front view of a manipulator provided with a thin article conveying hand device of the present invention, and FIG. 2 is a top view of the
Here, the
The
次に、上記マニピュレータに備えた本発明のハンド装置について説明する。
図3〜図5は、ハンド装置30の詳細を示す。図3は、ハンド装置の下面図である。また、図4は図1においてマニピュレータをハンド側からみた側面図である。また、図5は図1におけるハンド部を拡大した拡大図である。
手首部材27(図4)に連結された枠ベース31(図5)には、図3のように、縦枠32と横枠33とが取り付けられることで剛性を確保している。横枠33には平板用シリンダ38(図3)とリニアレール40(図3)が縦枠32と平行に取り付けられ、平板用シリンダ38とリニアレール40には可動平板35(図3、図5)の上部が取り付けられる。可動平板35は平板用シリンダ38の動作により、リニアレール40に沿って移動する。なお、可動平板35にはL字形状の可動受爪37(図5)が軸41(図5)を支点として取り付けられており、この可動受爪37は受爪用シリンダ39の動作により、軸41を中心として回転する。可動受爪37の下端部は回転により物品の下方若しくは下方外に移動する。この部分は従来のハンド装置の可動受爪37(図16)と同じ構造である。
また、横枠33の一方には固定平板34(図5)の上部が取り付けられる。固定平板34にはその可動平板側面に固定受爪36を具備している。
以上の構成により、図1のようにこのハンド装置30は、薄板物品を把持する際に、固定受爪36に薄板物品を当てることにより、搬送中に薄板を落下させることなく安定して搬送が可能とするものである。
本実施例においては、固定受爪37は固定平板34に固定されているが、薄板物品の大きさ、及び搬送枚数に合わせて固定平板34の上下方向に移動可能なようにしてもよい。また薄板物品でなく、厚みのある物品を搬送する場合には、固定受爪37をさらに上方に移動させて通常の物品搬送を行ってもよい。
Next, the hand device of the present invention provided in the manipulator will be described.
3 to 5 show details of the
As shown in FIG. 3, the
Moreover, the upper part of the fixed flat plate 34 (FIG. 5) is attached to one side of the
With the above configuration, as shown in FIG. 1, the
In this embodiment, the fixed receiving
次に、以上で構成されたマニピュレータによる物品の搬送について説明する。
図6は、供給ステーション1上に停止する薄板物品Aをマニピュレータ20により把持して90°位置がずれるパレットステーション2上に搬送し積み付けるようにした搬送装置のレイアウトを示す平面図である。
図7〜図14は、供給ステーション1に送り込まれた薄板物品を搬送して、パレットステーション2に積み付ける場合のハンドの作動状態を段階的に示す。
図7に示すように、供給ステーション1に薄板物品Aが並べられると、マニピュレータ本体21の動作によって、その上方で待機していたハンド装置30が下降する。このとき、可動平板35、可動受爪37のそれぞれは開いている。
そして、固定受爪36の下端部が薄板物品Aの上面高さに、可動受爪37の下端部が薄板物品Aの下面より低い高さまで下降してハンド装置30が停止する(図8参照)。
図9に示すように、マニピュレータ本体21の動作によって、固定平板34(図5)の固定受爪36が薄板物品Aに接触する。この後、又はこのマニピュレータ本体の動作と同期して、可動平板35、したがってまた可動受爪37が閉じる。この状態で薄板物品Aは固定平板34と可動平板35の間に斜めに固定されており、かつ固定平板34と可動平板35の間隔よりも薄板物品Aの長さの方が長いので、薄板物品Aはハンド装置30から落下することがない。
その後、マニピュレータ本体21(図1)の動作によって、図10に示すようにハンド装置30を薄板物品Aと共に上昇させる。
ハンド装置30と薄板物品Aは、マニピュレータ本体21の動作により、パレット2の積み付け位置の上方まで搬送される(図11参照)。
図12に示すようにマニピュレータ本体21の動作によって、ハンド装置30が下降する。
可動受爪37が開き、その後可動平板35が開いて薄板物品Aを所定の場所に積み付ける。マニピュレータ本体21の動作によりハンド装置30を上昇させる(図13,図14)。
以後、前述の動作が繰り返し行われ、薄板物品Aを落下させることなく安定して搬送することができ、かつ、物品を密集して積み付けることができる。
Next, conveyance of the article by the manipulator configured as described above will be described.
FIG. 6 is a plan view showing a layout of a transport apparatus in which the thin plate article A stopped on the
7 to 14 show the operation state of the hand in a stepwise manner when the thin article fed to the
As shown in FIG. 7, when the thin article A is lined up on the
Then, the lower end of the fixed receiving
As shown in FIG. 9, the fixed receiving
Thereafter, the
The
As shown in FIG. 12, the
The movable receiving
Thereafter, the above-described operation is repeatedly performed, so that the thin plate article A can be stably conveyed without dropping, and the articles can be densely stacked.
以上の実施例は薄板物品を1枚搬送する場合を例にとって説明したが、図15に示すように、多数枚搬送する場合においても本発明を採用すれば、短時間に安定して薄板物品を搬送することが出来る。 In the above embodiment, the case where a single sheet article is conveyed has been described as an example. However, as shown in FIG. 15, if the present invention is adopted even when a large number of sheets are conveyed, the sheet article can be stably produced in a short time. Can be transported.
また、通常の物品搬送用ハンド装置と同様、固定平板の厚みが厚くならない構成をしているので、薄板物品を密集して積み付けることができる。 In addition, since the thickness of the fixed flat plate is not increased as in the case of a normal article transporting hand device, the thin article can be packed densely.
A 物品
B パレットに既に積み付けられた物品
20 マニピュレータ
21 マニピュレータ本体
22 架台
23 ベース
24 旋回台
25 下腕
26 上腕
27 手首部材
30 ハンド装置
31 枠ベース
32 縦枠
33 横枠
34 固定平板
35 可動平板
36 固定受爪
37 可動受爪
38 平板用シリンダ
39 受爪用シリンダ
40 リニアレール
41 軸
A
Claims (7)
前記把持部材の一方に当該把持部材の内部または下面から突出して前記搬送対象物の下面を掛止する可動受爪を備え、
前記把持部材の他方に当該把持部材の内側面から突出して前記搬送対象物の浮き上がりを掛止する固定受爪を備えたことを特徴とする搬送対象物搬送用マニピュレータ。 The hand includes at least a pair of gripping members and a gripping member driving unit that drives at least one of the pair of gripping members in a horizontal direction so that the pair of gripping members approach each other. In a transport object transport manipulator that sandwiches and transports a transport object by operation,
One of the gripping members is provided with a movable receiving claw that protrudes from the inside or the bottom surface of the gripping member and hooks the bottom surface of the conveyance object,
A transport object transport manipulator comprising a fixed receiving claw projecting from the inner surface of the grip member on the other side of the grip member to latch the transport object.
前記把持部材の狭持動作によって搬送対象物を狭持させる際に、前記把持部材内側面から突出して前記搬送対象物の浮き上がりを掛止する固定受爪と、前記把持部材内部から、または前記把持部材の下面から突出して前記搬送対象物の下面を掛止する可動受爪とに物品を接触させるように前記搬送対象物を斜めに把持し、
前記搬送対象物を上昇させる際に、前記可動受爪を駆動して前記可動受爪を前記搬送対象物の下面に突出させ、
前記搬送対象物を所望の位置に搬送して下降させる際に、前記可動受爪を駆動して前記可動受爪が前記把持部材の前記搬送対象物の非把持側に略突出しないよう前記把持部材の内部または前記把持部材の下面に収納させ、
前記把持部材から前記搬送対象物を開放し、前記搬送対象物を所望の位置に載置する搬送対象物搬送方法。 The hand includes at least a pair of gripping members and a gripping member driving unit that drives at least one of the pair of gripping members in a horizontal direction so that the pair of gripping members approach each other. A transport object transport method by a transport object transport manipulator that sandwiches and transports a transport object by operation,
A fixed receiving claw that protrudes from the inner side surface of the gripping member and holds the transported object up when the transporting object is pinched by the gripping operation of the gripping member, and from the inside of the gripping member or the gripping Gripping the transport object obliquely so as to contact the article with a movable receiving claw protruding from the lower surface of the member and hooking the lower surface of the transport object;
When raising the transport object, the movable catch tab is driven to project the movable catch tab on the lower surface of the transport object,
When the transport object is transported to a desired position and lowered, the movable catch is driven so that the movable catch does not substantially protrude toward the non-grip side of the transport object of the grip member. Inside or the lower surface of the gripping member,
A transport object transport method for releasing the transport object from the gripping member and placing the transport object at a desired position.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214865A JP2009045707A (en) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214865A JP2009045707A (en) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009045707A true JP2009045707A (en) | 2009-03-05 |
Family
ID=40498415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007214865A Pending JP2009045707A (en) | 2007-08-21 | 2007-08-21 | Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009045707A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101580181B (en) * | 2009-06-09 | 2011-02-16 | 昆明力神重工有限公司 | Jib type stacking device |
CN103552849A (en) * | 2013-10-29 | 2014-02-05 | 北京航空航天大学 | Robot gripper for box body stacking and unstacking |
CN103707627A (en) * | 2013-12-04 | 2014-04-09 | 合肥海闻机器人开发有限公司 | Robot arm of multi-media digital printer |
JP2016124064A (en) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | オークラ輸送機株式会社 | Hand device and article transfer device |
CN108385633A (en) * | 2018-02-02 | 2018-08-10 | 昆明理工大学 | A kind of boat-carrying salvaging manipulator |
CN108545245A (en) * | 2018-04-28 | 2018-09-18 | 苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司 | Anti-rock sacked goods transfer robot |
CN110181501A (en) * | 2019-07-12 | 2019-08-30 | 嘉兴勤慎智能技术有限公司 | A kind of firm industrial robot of crawl |
-
2007
- 2007-08-21 JP JP2007214865A patent/JP2009045707A/en active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101580181B (en) * | 2009-06-09 | 2011-02-16 | 昆明力神重工有限公司 | Jib type stacking device |
CN103552849A (en) * | 2013-10-29 | 2014-02-05 | 北京航空航天大学 | Robot gripper for box body stacking and unstacking |
CN103707627A (en) * | 2013-12-04 | 2014-04-09 | 合肥海闻机器人开发有限公司 | Robot arm of multi-media digital printer |
JP2016124064A (en) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | オークラ輸送機株式会社 | Hand device and article transfer device |
CN108385633A (en) * | 2018-02-02 | 2018-08-10 | 昆明理工大学 | A kind of boat-carrying salvaging manipulator |
CN108545245A (en) * | 2018-04-28 | 2018-09-18 | 苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司 | Anti-rock sacked goods transfer robot |
CN108545245B (en) * | 2018-04-28 | 2023-10-10 | 苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司 | Anti-shaking bagged article carrying robot |
CN110181501A (en) * | 2019-07-12 | 2019-08-30 | 嘉兴勤慎智能技术有限公司 | A kind of firm industrial robot of crawl |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009045707A (en) | Manipulator for conveying article to be conveyed and method of conveying the article | |
JP6722840B2 (en) | Container supply device, container supply method, and container mounting system | |
JP6064940B2 (en) | Goods transport vehicle | |
JP4807654B2 (en) | Article conveying manipulator and article conveying method | |
JP2014177337A5 (en) | ||
JP2014024143A (en) | Takeout robot system using roller device | |
TW200814225A (en) | Substrate transfer device, and vertical heat treatment apparatus | |
JP2014100757A (en) | Robot system, robot hand, robot | |
JPWO2021030705A5 (en) | ||
CN112951750B (en) | Substrate conveying device, substrate processing device and substrate processing method | |
JP2015036343A (en) | Container holding arm and inversion transfer device | |
WO2021079940A1 (en) | Unloading apparatus and unloading method | |
JP2010165998A (en) | Grasping device, conveyer, transfer device and conveying method for disk-like object | |
WO2018003575A1 (en) | Robot, robot control method, teaching tool, and robot teaching method | |
JP5157460B2 (en) | End effector and transport device including the same | |
TW200823120A (en) | Method and apparatus for vertical wafer transport, buffer and storage | |
JP6056707B2 (en) | Article transfer device and transfer equipment | |
JP4687120B2 (en) | Article alignment device | |
JP2018188194A (en) | Container takeout device | |
JP6027398B2 (en) | Sheet insertion device and sheet insertion method | |
JP2009120289A (en) | Food container feeding device | |
JP2016134526A (en) | Transfer device and transfer method | |
JP6744155B2 (en) | Transport system | |
JP6517162B2 (en) | Tray transfer device | |
JP4169535B2 (en) | Lid member opening / closing device and station provided with the same |