JP2009044874A

JP2009044874A - Single axis robot

Info

Publication number: JP2009044874A
Application number: JP2007207826A
Authority: JP
Inventors: Makoto Kamogawa; 良加茂川; Takashi Kaieda; 隆海江田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2007-08-09
Filing date: 2007-08-09
Publication date: 2009-02-26
Anticipated expiration: 2027-08-09
Also published as: JP5260914B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve operability of a single axis robot at low cost. <P>SOLUTION: Guide rails 14 and 15 extending along a longitudinal direction are arranged in a plurality of rows in a frame 2. A plurality of sliding tables 3 and 4 individually moving along the guide rails 14 and 15 are disposed in a width direction of the frame 2. A stator 5 is arranged in one row in common to a plurality of moving members 6 installed in accordance with the sliding tables 3 and 4. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、一軸方向に延びるフレームと、このフレームに沿って配列された複数の磁石を有する固定子と、この固定子に対し相対移動可能に設けられた可動子と、この可動子と一体に移動可能に設けられたスライドテーブルとを備えたリニアモータ式の単軸ロボットに関する。 The present invention includes a frame extending in a uniaxial direction, a stator having a plurality of magnets arranged along the frame, a mover provided so as to be relatively movable with respect to the stator, and the mover integrally. The present invention relates to a linear motor type single-axis robot provided with a slidable slide table.

従来、下記特許文献１に示されるように、固定台に移動可能に支持されたスライドテーブルを、複数の永久磁石等からなる固定子と、この固定子に対し対向配置された電機子コイル等からなる可動子とを備えたリニアモータにより駆動するリニアモータ式単軸ロボット（リニアスライダ）において、上記可動子およびこれと一体に移動する上記スライドテーブルを、その移動方向に沿って複数配置することが行われている。この特許文献１に開示された単軸ロボットによれば、移動可能なスライドテーブルが複数設けられているため、このスライドテーブルに複数の作業用機器を取り付けることにより、これら複数の作業用機器を同時に移動させながら所望の作業を効率よく行うことができるという利点がある。
特開２００１−２１１６３０号公報 Conventionally, as shown in Patent Document 1 below, a slide table supported movably on a fixed base is made up of a stator composed of a plurality of permanent magnets and the like, and an armature coil or the like disposed opposite to the stator. In a linear motor type single-axis robot (linear slider) driven by a linear motor provided with a movable element, a plurality of the movable element and the slide table that moves integrally with the movable element may be arranged along the moving direction. Has been done. According to the single-axis robot disclosed in Patent Document 1, a plurality of movable slide tables are provided. By attaching a plurality of work devices to the slide table, the plurality of work devices can be simultaneously connected. There is an advantage that a desired work can be efficiently performed while being moved.
JP 2001-2111630 A

しかしながら、上記特許文献１に開示された単軸ロボットでは、作業用機器を取り付け可能な複数のスライドテーブルが、その移動方向に並んで配置されているため、一方のスライドテーブルの可動範囲が、他方のスライドテーブルの移動によって影響されてしまい、これら各スライドテーブルと一体に移動する上記作業用機器の作業領域が制限されてしまうという問題がある。 However, in the single-axis robot disclosed in Patent Document 1, a plurality of slide tables to which work devices can be attached are arranged side by side in the movement direction, so that the movable range of one slide table is the other. There is a problem that the work area of the working device that moves together with each of the slide tables is limited.

もちろん、このような問題を解決するための手段として、単一のスライドテーブルを備えた単軸ロボットを並列に複数台並べて使用することも考えられるが、このようにした場合には、互いに別々の部品を有する独立した単軸ロボットを複数台用意する必要があるため、相対的により多くのコストがかかることが避けられないという問題がある。 Of course, as a means for solving such a problem, it is conceivable to use a plurality of single-axis robots equipped with a single slide table in parallel. Since it is necessary to prepare a plurality of independent single-axis robots having parts, there is a problem that it is inevitable that the cost is relatively higher.

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、比較的安価なコストで使い勝手を効果的に向上させることが可能なリニアモータ式の単軸ロボットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and an object thereof is to provide a linear motor type single-axis robot capable of effectively improving usability at a relatively low cost. .

上記課題を解決するためのものとして、本発明は、一軸方向に延びるフレームと、このフレームに沿って配列された複数の磁石を有する固定子と、この固定子に対し相対移動可能に設けられた可動子と、この可動子と一体に移動可能に設けられたスライドテーブルとを備えたリニアモータ式の単軸ロボットであって、上記フレームに、その長手方向に沿って延びる複数列のガイドレールが設けられ、上記スライドテーブルが、上記フレームの幅方向に複数並んで配置されるとともに、上記各ガイドレールに沿って個別に移動可能に支持され、上記各スライドテーブルに対応して設けられた複数の可動子に対し、上記固定子が共通に１列設けられたことを特徴とするものである（請求項１）。 In order to solve the above problems, the present invention is provided with a frame extending in a uniaxial direction, a stator having a plurality of magnets arranged along the frame, and a relative movement with respect to the stator. A linear motor type single-axis robot including a mover and a slide table provided so as to be movable integrally with the mover, and a plurality of rows of guide rails extending along a longitudinal direction of the frame. A plurality of slide tables arranged side by side in the width direction of the frame, and supported by each of the slide tables so as to be individually movable along the respective guide rails. A single row of the stators is provided in common with the mover (claim 1).

本発明の単軸ロボットによれば、一軸方向に延びるフレームに対し、複数のスライドテーブルがフレームの幅方向に並ぶように配置され、これら各スライドテーブルが、複数列のガイドレールに沿ってフレームの長手方向に個別に移動可能に支持されているため、上記複数のスライドテーブルを移動させる際に、両者の可動範囲が互いに影響し合うことがなく、上記フレームの長手方向に亘って上記各スライドテーブルをそれぞれ自在に移動させることができる。このため、上記各スライドテーブルに用途に応じた所定の作業用機器をそれぞれ取り付けることにより、複数の作業用機器を自在に移動させながら所望の作業を効率よく行えるという利点がある。 According to the single-axis robot of the present invention, a plurality of slide tables are arranged so as to be aligned in the width direction of the frame with respect to the frame extending in the uniaxial direction, and these slide tables are arranged along the plurality of rows of guide rails. Since each of the slide tables is supported so as to be individually movable in the longitudinal direction, the movable ranges of the two do not affect each other when the plurality of slide tables are moved, and the slide tables extend in the longitudinal direction of the frame. Can be moved freely. For this reason, there is an advantage that a desired work can be efficiently performed while freely moving a plurality of work equipments by attaching predetermined work equipments according to applications to the respective slide tables.

しかも、上記複数のスライドテーブルに対応して設けられた複数の可動子に対し、固定子を共通に１列だけ設けた上記構成によれば、例えば上記複数の可動子に対して固定子を別々に設けることにより、並列独立に移動する上記複数の可動子と同数の固定子をフレームの内部に設けた場合と異なり、単軸ロボットの構造をより簡素化できるとともに、部品コストやその組立工数を効果的に削減できるという利点がある。 Moreover, according to the above configuration in which only one row of stators is provided in common with respect to the plurality of movable elements provided corresponding to the plurality of slide tables, for example, the stators are separately provided for the plurality of movable elements. Unlike the case where the same number of stators as the plurality of movers that move independently in parallel are provided inside the frame, the structure of the single-axis robot can be further simplified, and the component cost and assembly man-hour can be reduced. There is an advantage that it can be effectively reduced.

本発明において、上記スライドテーブルの数は特に問わないが、スライドテーブルが横並びに２つ設けられる場合には、上記ガイドレールが、上記フレームの左右両側部にそれぞれ設けられ、上記複数のスライドテーブルとして、上記各ガイドレールに沿って個別に移動可能な左右一対のスライドテーブルが設けられ、これら左右一対のスライドテーブルに対応して設けられた一対の可動子に対し、上記固定子が共通に１列設けられることが好ましい（請求項２）。 In the present invention, the number of the slide tables is not particularly limited. However, when two slide tables are provided side by side, the guide rails are provided on both the left and right sides of the frame, and the plurality of slide tables are used. A pair of left and right slide tables that are individually movable along the respective guide rails are provided, and the stator is arranged in one row in common with the pair of movers provided corresponding to the pair of left and right slide tables. It is preferable to be provided (Claim 2).

この構成によれば、簡単かつ合理的な構成で、単軸ロボットの使い勝手を向上させることができる。 According to this configuration, the usability of the single-axis robot can be improved with a simple and rational configuration.

上記スライドテーブルのうち、隣接する他のスライドテーブルと対向する側の側面部に、回転可能な転動体が設けられることが好ましい（請求項３）。 It is preferable that a rotatable rolling element is provided on a side surface portion of the slide table facing the other adjacent slide table.

この構成によれば、各スライドテーブルの側面部どうしが互いに摺動（当接）した場合でも、その摺動抵抗が、上記スライドテーブルの側面部に設けられた転動体の回転により効果的に低減されるため、上記のようなスライドテーブルどうしの摺動にかかわらず、これら各スライドテーブルを上記フレームに沿って円滑に移動させることができるという利点がある。 According to this configuration, even when the side surfaces of the slide tables slide (contact) with each other, the sliding resistance is effectively reduced by the rotation of the rolling elements provided on the side surfaces of the slide table. Therefore, there is an advantage that these slide tables can be smoothly moved along the frame regardless of the sliding of the slide tables as described above.

また、本発明においては、上記フレームに設けられた複数列のガイドレールのうち少なくとも１つに、上記スライドテーブルが長手方向に複数並んだ状態で支持されることも、また好ましい（請求項４）。 In the present invention, it is also preferable that at least one of the plurality of rows of guide rails provided on the frame is supported in a state where a plurality of the slide tables are arranged in the longitudinal direction. .

この構成によれば、コンパクトな構成でありながらより多くの作業用機器を移動させることが可能な単軸ロボットを実現できる等の利点がある。 According to this configuration, there is an advantage that it is possible to realize a single-axis robot capable of moving a larger number of work devices while having a compact configuration.

また、本発明において、上記フレームに対し横並びに配置された上記複数のスライドテーブルの間に、これら各スライドテーブルどうしを隔てる隔壁部材が設けられる場合には、上記スライドテーブルのうちこの隔壁部材と対向する部分に、回転可能な転動体が設けられることも、また好ましい（請求項５）。 In the present invention, when a partition member for separating the slide tables is provided between the plurality of slide tables arranged side by side with respect to the frame, the partition member of the slide table faces the partition member. It is also preferable that a rotatable rolling element is provided in the portion to be made (Claim 5).

この構成によれば、上記スライドテーブルがその移動時に隔壁部材と摺動（当接）した場合でも、その摺動抵抗を低減して上記スライドテーブルを円滑に移動させることができるという利点がある。 According to this configuration, even when the slide table slides (contacts) with the partition member during the movement, there is an advantage that the slide table can be smoothly moved by reducing the sliding resistance.

上記フレームが、上記固定子が上面に設置される底壁部と、この底壁部と対向する天井壁部と、上記底壁部の側辺部に沿って立設された側壁部とを有する場合、このうちの天井壁部の下面に、上記複数列のガイドレールのうち少なくとも１つが取り付けられることが好ましい（請求項６）。 The frame includes a bottom wall portion on which the stator is installed on an upper surface, a ceiling wall portion facing the bottom wall portion, and a side wall portion erected along a side portion of the bottom wall portion. In this case, it is preferable that at least one of the plurality of rows of guide rails is attached to the lower surface of the ceiling wall portion.

この構成によれば、上記各ガイドレールの設置場所を、上記固定子に邪魔されることなく適正に確保できるという利点がある。 According to this structure, there exists an advantage that the installation place of each said guide rail can be ensured appropriately, without being disturbed by the said stator.

また、この場合において、上記フレームの底壁部のうち上記固定子の設置部の外側領域にあたる部分、もしくは上記フレームの側壁部に、上記複数列のガイドレールの一部を設け、上記天井壁部に残りのガイドレールを設けるようにしても、上記各ガイドレールの設置場所を適正に確保することができる（請求項７）。 In this case, a part of the bottom wall portion of the frame corresponding to an outer region of the stator installation portion or a side wall portion of the frame is provided with a part of the plurality of rows of guide rails, and the ceiling wall portion Even when the remaining guide rails are provided, the installation location of each guide rail can be appropriately secured.

以上説明したように、本発明によれば、比較的安価なコストで使い勝手を効果的に向上させることが可能なリニアモータ式の単軸ロボットを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a linear motor type single-axis robot capable of effectively improving usability at a relatively low cost.

図１〜図３は、本発明のリニアモータ式単軸ロボットの第１実施形態を示している。これらの図に示すように、当実施形態のリニアモータ式単軸ロボット１（以下、単軸ロボット１と略称する）は、一軸方向（図１および図３に示されるＸ軸方向）に延びるように設置されたフレーム２と、このフレーム２に沿って移動可能な２つのスライドテーブル３，４とを備える。なお、当明細書では以後、フレーム２の長手方向（Ｘ軸方向）を前後方向、フレーム２の幅方向（Ｘ軸方向と直交する方向）を左右方向として説明を進める。 1 to 3 show a first embodiment of a linear motor type single-axis robot of the present invention. As shown in these drawings, the linear motor type single-axis robot 1 (hereinafter simply referred to as a single-axis robot 1) of the present embodiment extends in one axis direction (the X-axis direction shown in FIGS. 1 and 3). 2 and two slide tables 3 and 4 movable along the frame 2. In the following description, the description will proceed with the longitudinal direction of the frame 2 (X-axis direction) as the front-rear direction and the width direction of the frame 2 (direction perpendicular to the X-axis direction) as the left-right direction.

上記フレーム２は、断面略Ｃ字状に形成されており、その開口部が上方を向く状態で設置されている。すなわち、上記フレーム２は、水平向きに設置された底壁部１１と、この底壁部１１の左右両端部から上方に延びる左右一対の側壁部１２と、これら一対の側壁部１２の上端部からそれぞれ水平方向に延びる左右一対の上壁部１３とを有している。このようなフレーム２は、例えばアルミニウム合金製の押出し材等によって構成することが可能である。 The frame 2 has a substantially C-shaped cross section, and is installed with its opening facing upward. That is, the frame 2 includes a bottom wall portion 11 installed horizontally, a pair of left and right side wall portions 12 extending upward from both left and right end portions of the bottom wall portion 11, and an upper end portion of the pair of side wall portions 12. Each has a pair of left and right upper wall portions 13 extending in the horizontal direction. Such a frame 2 can be constituted by an extruded material made of, for example, an aluminum alloy.

また、上記フレーム２の内部には、その底壁部１１の左右両側部において前後方向に延びる左右一対のガイドレール１４，１５が配置されているとともに、この左右のガイドレール１４，１５の内側に位置する上記底壁部１１の中央部には、前後方向に延びる固定子５が配置されている。 In addition, a pair of left and right guide rails 14 and 15 extending in the front-rear direction are disposed inside the frame 2 on both left and right sides of the bottom wall portion 11, and inside the left and right guide rails 14 and 15. A stator 5 extending in the front-rear direction is disposed at the center of the bottom wall portion 11 positioned.

上記固定子５は、前後方向に延びる平板状の固定ヨーク１７と、この固定ヨーク１７の上面に設けられ、交互に極性が異なるように（表面側の磁極がＮ，Ｓ，Ｎ，Ｓ…となるように）前後方向に配列された複数の磁石１６とから構成されている。 The stator 5 is provided on a flat plate-shaped fixed yoke 17 extending in the front-rear direction and the upper surface of the fixed yoke 17 so that the polarities are alternately different (the magnetic poles on the surface side are N, S, N, S... It comprises a plurality of magnets 16 arranged in the front-rear direction.

上記磁石１６は、上面視長方形をなす板状の永久磁石からなり、互いに平行に、かつ一定ピッチで前後方向に一列に並ぶように配置されている。なお、当実施形態における磁石１６は、上記フレーム２の前後軸に対し所定角度傾いた状態（磁石１６の短辺がフレーム２の前後軸と非平行な状態）で配置されている。 The magnets 16 are made of plate-like permanent magnets that are rectangular in top view, and are arranged in parallel to each other and in a line in the front-rear direction at a constant pitch. In addition, the magnet 16 in this embodiment is disposed in a state where the magnet 16 is inclined at a predetermined angle with respect to the longitudinal axis of the frame 2 (the short side of the magnet 16 is not parallel to the longitudinal axis of the frame 2).

上記左右一対のガイドレール１４，１５には、それぞれ、レールスライダ１８が摺動自在に嵌合しており、これら各レールスライダ１８の上面には、上記２つのスライドテーブル３，４の下部を構成するベース部１９が、それぞれボルト締結等の手段により固定されている。すなわち、上記各ガイドレール１４，１５上には、上記レールスライダ１８を介して各スライドテーブル３，４が移動可能に支持されている。 A rail slider 18 is slidably fitted to the pair of left and right guide rails 14 and 15, and the lower portions of the two slide tables 3 and 4 are formed on the upper surface of each rail slider 18. The base portions 19 are fixed by means such as bolt fastening. That is, the slide tables 3 and 4 are movably supported on the guide rails 14 and 15 via the rail slider 18.

上記スライドテーブル３，４は、上記フレーム２の上方側において左右方向に並ぶように配置されているとともに、上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に前後移動可能に支持されている。具体的に、これら左右一対のスライドテーブル３，４は、上記レールスライダ１８に固定されたベース部１９と、このベース部１９の上面にボルト締結等の手段により固定されたテーブル本体２１と、このテーブル本体２１の上面を覆うテーブルカバー２２とをそれぞれ有している。そして、このうちのベース部１９に、上記固定子５に対して相対移動可能な左右一対の可動子６（詳細は後述する）がそれぞれ取り付けられることにより、これら各可動子６と一体に、上記スライドテーブル３，４が上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に移動するように構成されている。なお、図１では、左右のスライドテーブル３，４のうちの一方側のテーブル４を、テーブルカバー２２を取り外した状態で示している。 The slide tables 3 and 4 are arranged so as to be lined up in the left-right direction on the upper side of the frame 2, and are supported so as to be individually movable back and forth along the guide rails 14 and 15. Specifically, the pair of left and right slide tables 3, 4 includes a base portion 19 fixed to the rail slider 18, a table body 21 fixed to the upper surface of the base portion 19 by means such as bolt fastening, A table cover 22 that covers the upper surface of the table body 21 is provided. Then, a pair of left and right movable elements 6 (details will be described later) that can move relative to the stator 5 are attached to the base portion 19, so that the movable elements 6 are integrated with the movable elements 6. The slide tables 3 and 4 are configured to move individually along the guide rails 14 and 15. In FIG. 1, the table 4 on one side of the left and right slide tables 3 and 4 is shown with the table cover 22 removed.

上記スライドテーブル３，４のテーブル本体２１は、その左右両側辺部に、前後方向に延びる左右一対のサイドフレーム部２４を有している。これら各サイドフレーム部２４の前後方向２箇所には、他の部分よりも上方に突出した取付座２４ａが設けられており、この取付座２４ａの上面に、用途に応じた各種の作業用機器が、ボルト締結等の手段により固定されるようになっている。 The table main body 21 of the slide tables 3 and 4 has a pair of left and right side frame portions 24 extending in the front-rear direction on both left and right side portions. At two places in the front-rear direction of each side frame portion 24, there are provided mounting seats 24a projecting upward from the other portions, and various work devices according to applications are provided on the upper surface of the mounting seat 24a. It is fixed by means such as bolt fastening.

また、上記サイドフレーム部２４のうち、上記取付座２４ａに隣接した前後方向２箇所には、この取付座２４ａよりも小さい突出量で上方に突出し、かつ上記テーブルカバー２２の載置面を構成するテーブル固定部２４ｂが設けられている。上記テーブルカバー２２は、上記取付座２４ａの設置部を除くテーブル本体２１の上面を覆うように形成されており、上記テーブル固定部２４ｂに載置された状態でテーブル本体２１に固定される。 Further, two side frame portions 24 adjacent to the mounting seat 24a in the side frame portion 24 project upward with a projecting amount smaller than the mounting seat 24a, and constitute a mounting surface for the table cover 22. A table fixing portion 24b is provided. The table cover 22 is formed so as to cover the upper surface of the table main body 21 excluding the installation portion of the mounting seat 24a, and is fixed to the table main body 21 while being placed on the table fixing portion 24b.

このようなテーブル本体２１およびこれを覆うテーブルカバー２２等からなる上記スライドテーブル３，４は、図１に示すように、その外形が上面視で略矩形状を呈している。ただし、この矩形状のスライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部（つまりフレーム２の幅方向内側に位置する側面部）には、その前後端部に、上記テーブルカバー２２の角部を面取りしてなる面取り部２２ａが形成されている。 As shown in FIG. 1, the slide tables 3, 4 including the table main body 21 and the table cover 22 covering the table main body 21 have a substantially rectangular shape when viewed from above. However, of the rectangular slide table 3 (or 4), the side surface portion on the side facing the other adjacent slide table 4 (or 3) (that is, the side surface portion positioned on the inner side in the width direction of the frame 2) A chamfered portion 22a formed by chamfering the corner portion of the table cover 22 is formed at the front and rear end portions thereof.

また、上記面取り部２２ａが設置されるのと同じ側のスライドテーブル３，４の側面部には、テーブル本体２１に保持されて上下軸回りに回転可能な複数のローラ２３（本発明にかかる転動体に相当）が設けられている。具体的に、このローラ２３は、テーブル本体２１側部の凹部２１ｂ（図２参照）に収容された状態で回転可能に取り付けられており、上記スライドテーブル３，４の側面から外側にわずかに突出するように設けられている。 In addition, a plurality of rollers 23 (rotating rollers according to the present invention) that are held by the table main body 21 and can be rotated about the vertical axis are provided on the side portions of the slide tables 3 and 4 on the same side as the chamfered portion 22a. Equivalent to a moving object). Specifically, the roller 23 is rotatably mounted while being accommodated in a recess 21b (see FIG. 2) on the side of the table body 21, and slightly protrudes outward from the side surfaces of the slide tables 3 and 4. It is provided to do.

上記可動子６は、上記ベース部１９の下面に沿って前後方向に一列に並ぶように配置された複数の板状体からなる電機子コア２５と、この電機子コア２５に巻装されたコイル２６と、これら電機子コア２５およびコイル２６の周囲を覆うような形状に充填されて型成形された樹脂製の保護部２７とを有している。このような可動子６は、上記左右一対のガイドレール１４，１５に対しフレーム２の幅方向中心側に位置するように設けられているとともに、上記可動子５の磁石１６に対し所定隙間を隔てて上方側に対向配置されている。 The mover 6 includes an armature core 25 composed of a plurality of plate-like bodies arranged in a line in the front-rear direction along the lower surface of the base portion 19, and a coil wound around the armature core 25. 26 and a resin protective part 27 filled and molded in a shape that covers the periphery of the armature core 25 and the coil 26. Such a movable element 6 is provided so as to be positioned on the center side in the width direction of the frame 2 with respect to the pair of left and right guide rails 14 and 15, and is separated from the magnet 16 of the movable element 5 by a predetermined gap. Are arranged opposite to each other on the upper side.

そして、このような構造を有する可動子６において、そのコイル２６に図外の制御装置から電流が供給されると、これに応じて各コイル２６の周りに磁束が生じるとともに、この磁束と、上記固定子５の磁石１６との相互作用により、上記可動子６を固定子５に対し相対移動させる推力が発生し、この推力によって上記可動子６が前後方向に駆動されることになる。 In the mover 6 having such a structure, when a current is supplied to the coil 26 from a control device (not shown), a magnetic flux is generated around each coil 26 according to this, and the magnetic flux The interaction of the stator 5 with the magnet 16 generates a thrust that moves the mover 6 relative to the stator 5, and the thrust is driven in the front-rear direction.

図１および図２に示すように、上記フレーム２の幅方向中心部には、上記左右一対のスライドテーブル３，４（およびこれに対応して設けられる左右一対の可動子６）どうしを隔てる隔壁部材７が立設されている。この隔壁部材７は、上記固定子５の設置部の前後方向外側に位置して上記フレーム２の底壁部１１に固定される脚部３２と、この脚部３２に支持され、上記固定子５の上方を前後方向に亘って延びるように設置された縦壁部３１と、この縦壁部３１の上端部から左右両側に向かって延びる上壁部３３とを有している。 As shown in FIGS. 1 and 2, a partition wall that separates the pair of left and right slide tables 3 and 4 (and a pair of left and right movable elements 6 provided corresponding thereto) at the center in the width direction of the frame 2. A member 7 is erected. The partition member 7 is positioned on the outer side in the front-rear direction of the installation portion of the stator 5 and is fixed to the bottom wall portion 11 of the frame 2, and is supported by the leg portion 32. A vertical wall portion 31 installed so as to extend in the front-rear direction, and an upper wall portion 33 extending from the upper end portion of the vertical wall portion 31 toward the left and right sides.

このような隔壁部材７が設けられたフレーム２の上面には、図２に示すように、その左右の上壁部１３と上記隔壁部材７の上壁部３３との間に、それぞれ開口部３５が形成される。そして、これら左右の開口部３５を介して、上記一対のスライドテーブル３，４が、フレーム２の上方に突出するように設けられている。 On the upper surface of the frame 2 provided with such a partition member 7, as shown in FIG. 2, an opening 35 is provided between the left and right upper wall portions 13 and the upper wall portion 33 of the partition member 7. Is formed. The pair of slide tables 3 and 4 are provided so as to protrude above the frame 2 through the left and right openings 35.

また、上記フレーム２の開口部３５は、その開口幅と略同一の幅を有して前後方向に延びるシャッター部材３７によって覆われている。このシャッター部材３７は、可撓性を有する帯状体からなり、その一部が上記スライドテーブル３，４の内部を通過するように設けられている。 The opening 35 of the frame 2 is covered with a shutter member 37 having a width substantially the same as the opening width and extending in the front-rear direction. The shutter member 37 is formed of a flexible belt-like body, and a part of the shutter member 37 is provided so as to pass through the slide tables 3 and 4.

すなわち、上記スライドテーブル３，４のテーブル本体２１には、その前後方向複数個所にローラ３９が設けられており、このローラ３９によって上側に凸となるように案内された上記シャッター部材３７の一部が、上記スライドテーブル３，４の内部、すなわち、上記テーブル本体２１およびテーブルカバー２２の間を通過するように構成されている。そして、このようにスライドテーブル３，４の内部に導入されたシャッター部材３７が、上記複数のローラ３９のうちテーブル本体２１の前後端部に位置するローラによって下方に案内されることにより、上記スライドテーブル３，４の前後において、上記シャッター部材３７がフレーム２の開口部３５を覆う高さに再び戻されるようになっている。 That is, the table body 21 of the slide tables 3 and 4 is provided with rollers 39 at a plurality of positions in the front-rear direction, and a part of the shutter member 37 guided by the rollers 39 so as to protrude upward. Are configured to pass through the inside of the slide tables 3, 4, that is, between the table main body 21 and the table cover 22. The shutter member 37 thus introduced into the slide tables 3 and 4 is guided downward by the rollers positioned at the front and rear end portions of the table body 21 among the plurality of rollers 39, whereby the slide Before and after the tables 3 and 4, the shutter member 37 is returned again to a height that covers the opening 35 of the frame 2.

ここで、フレーム２の上壁部１３と接する高さに位置して上記開口部３５を覆う上記シャッター部材３７が、ローラ３９により案内されて上方に遊離する（フレーム２に対し上方に離間する）位置は、上記スライドテーブル３，４の移動に伴い前後方向に変化する。そして、このようなシャッター部材３７の遊離部では、その側方部が、上記サイドフレーム部２４の内側壁部２４ｃによって左右から塞がれることにより、上記のようなシャッター部材３７の遊離にかかわらず、フレーム２の内部空間が外部から遮断されるように構成されている。 Here, the shutter member 37 located at a height in contact with the upper wall portion 13 of the frame 2 and covering the opening 35 is guided upward by the roller 39 and separated upward (separated upward from the frame 2). The position changes in the front-rear direction as the slide tables 3 and 4 move. And in the free part of such a shutter member 37, the side part is plugged from the left and right by the inner wall part 24c of the side frame part 24, so that the shutter member 37 is not released as described above. The internal space of the frame 2 is configured to be blocked from the outside.

図２に示すように、上記フレーム２の底壁部１１には、その左右両側部に設けられた上記ガイドレール１４，１５と平行に前後方向に延びる板状の磁気スケール４２が、底壁部１１の略全長に亘って設けられている。一方、上記スライドテーブル３，４１のベース部１９には、その幅方向外側の側面部から側方かつ下方に突出するＭＲヘッド４３が設けられている。このＭＲヘッド４３は、上記磁気スケール４２の上方に対向配置されており、上記スライドテーブル３，４の移動中に上記磁気スケール４２を読取ることにより、スライドテーブル３，４の前後位置を検出するように構成されている。 As shown in FIG. 2, the bottom wall 11 of the frame 2 has a plate-like magnetic scale 42 extending in the front-rear direction in parallel with the guide rails 14 and 15 provided on both left and right sides thereof. 11 is provided over substantially the entire length. On the other hand, the base portion 19 of the slide tables 3 and 41 is provided with an MR head 43 that protrudes laterally and downward from the side surface portion on the outer side in the width direction. The MR head 43 is disposed above the magnetic scale 42 so as to detect the front and rear positions of the slide tables 3 and 4 by reading the magnetic scale 42 while the slide tables 3 and 4 are moving. It is configured.

上記のように一軸方向に延びるフレーム２と、このフレーム２に沿って配列された複数の磁石１６を有する固定子５と、この固定子５に対し相対移動可能に設けられた可動子６と、この可動子６と一体に移動可能に設けられたスライドテーブル３，４とを備えた単軸ロボット１において、上記フレーム２に、その長手方向に沿って延びる複数列のガイドレール１４，１５を設け、上記フレーム２の左右にそれぞれ１つずつ上記スライドテーブル３，４を配置するとともに、これら左右一対のスライドテーブル３，４を上記各ガイドレール１４，１５に沿って個別に移動可能に支持し、上記各スライドテーブル３，４に対応して設けられた一対の可動子６に対し上記固定子５を共通に１列設けた上記第１実施形態の構成によれば、単軸ロボット１の使い勝手をより安価なコストで効果的に向上させることができるという利点がある。 The frame 2 extending in the uniaxial direction as described above, the stator 5 having a plurality of magnets 16 arranged along the frame 2, and the mover 6 provided to be relatively movable with respect to the stator 5, In the single-axis robot 1 having the slide tables 3 and 4 provided so as to be movable integrally with the mover 6, the frame 2 is provided with a plurality of rows of guide rails 14 and 15 extending along the longitudinal direction thereof. The slide tables 3 and 4 are arranged one by one on the left and right sides of the frame 2, and the pair of left and right slide tables 3 and 4 are supported so as to be individually movable along the guide rails 14 and 15, According to the configuration of the first embodiment in which the stators 5 are provided in one row in common with the pair of movable elements 6 provided corresponding to the slide tables 3 and 4, a single-axis robot is provided. There is an advantage that it is possible to improve the usability more at low cost effectively.

すなわち、上記構成の単軸ロボット１によれば、一軸方向に延びるフレーム２に対し、２つのスライドテーブル３，４が左右方向（フレーム２の幅方向）に並ぶように配置され、これら各スライドテーブル３，４が、複数列のガイドレール１４，１５に沿って前後方向（フレーム２の長手方向）に個別に移動可能に支持されているため、上記２つのスライドテーブル３，４を前後移動させる際に、両者の可動範囲が互いに影響し合うことがなく、上記フレーム２の長手方向に亘って上記各スライドテーブル３，４をそれぞれ自在に移動させることができる。このため、上記各スライドテーブル３，４に用途に応じた所定の作業用機器をそれぞれ取り付けることにより、複数の作業用機器を自在に前後移動させながら所望の作業を効率よく行えるという利点がある。 That is, according to the single-axis robot 1 configured as described above, the two slide tables 3 and 4 are arranged in the left-right direction (the width direction of the frame 2) with respect to the frame 2 extending in the uniaxial direction. 3 and 4 are supported so as to be individually movable in the front-rear direction (longitudinal direction of the frame 2) along the plurality of rows of guide rails 14 and 15, when the two slide tables 3 and 4 are moved back and forth. In addition, the movable ranges of the two do not affect each other, and the slide tables 3 and 4 can be moved freely along the longitudinal direction of the frame 2. For this reason, there is an advantage that desired work can be efficiently performed while freely moving a plurality of work devices back and forth by attaching predetermined work devices according to applications to the slide tables 3 and 4.

しかも、上記２つのスライドテーブル３，４に対応して設けられた一対の可動子６に対し、前後方向に延びる固定ヨーク１７およびその上面に配列された複数の磁石１６からなる固定子５を、共通に１列だけ設けた上記構成によれば、例えば上記一対の可動子６に対して固定子５を別々に設けることにより、フレーム２の内部に２列の固定子５を設けた場合と異なり、単軸ロボット１の構造をより簡素化できるとともに、部品コストやその組立工数を効果的に削減できるという利点がある。 Moreover, with respect to the pair of movers 6 provided corresponding to the two slide tables 3 and 4, a stator 5 comprising a fixed yoke 17 extending in the front-rear direction and a plurality of magnets 16 arranged on the upper surface thereof, According to the above configuration in which only one row is provided in common, for example, by providing the stators 5 separately for the pair of movers 6, unlike the case where the two rows of stators 5 are provided inside the frame 2. There are advantages that the structure of the single-axis robot 1 can be further simplified and the cost of parts and the number of assembly steps can be effectively reduced.

もちろん、上記構成の単軸ロボット１に代えて、単一のスライドテーブルを備えた単軸ロボットを並列に２つ並べて使用した場合でも、これら２つの単軸ロボットによって個別に作業用機器を駆動しながら効率よく作業を行うことが可能である。しかしながら、このようにした場合には、フレーム２やその内部の固定子５等の部品を別々に備える独立した２つの単軸ロボットを用意する必要があるため、上記構成の単軸ロボット１と異なり、より多くの部品コスト等がかかることが避けられないという問題がある。これに対し、上記のように単一のフレーム２に対し２つのスライドテーブル３，４を個別に移動可能に設け、しかもこれらスライドテーブル３，４に取り付けられる一対の可動子６に対し、１列の固定子５を共通に設けた上記第１実施形態の構成によれば、単軸ロボット１の使い勝手をより安価なコストで効果的に向上させることができるという利点がある。 Of course, instead of the single-axis robot 1 configured as described above, even when two single-axis robots equipped with a single slide table are used in parallel, the work devices are individually driven by these two single-axis robots. However, it is possible to work efficiently. However, in this case, since it is necessary to prepare two independent single-axis robots that are separately provided with components such as the frame 2 and the stator 5 inside thereof, unlike the single-axis robot 1 configured as described above. However, there is a problem that more parts costs are inevitable. On the other hand, as described above, the two slide tables 3 and 4 are provided so as to be individually movable with respect to the single frame 2, and one row is provided for the pair of movable elements 6 attached to the slide tables 3 and 4. According to the configuration of the first embodiment in which the stator 5 is provided in common, there is an advantage that the usability of the single-axis robot 1 can be effectively improved at a lower cost.

さらに、上記実施形態の単軸ロボット１は、左右一対のスライドテーブル３，４が、共通のフレーム２に設けられた複数列のガイドレール１４，１５に沿って移動可能に支持される構成であるため、単軸ロボット１の製造時に、上記各スライドテーブル３，４の平行度が精度よく確保されるという利点がある。このため、上記のように単一のスライドテーブルを備えた単軸ロボットを２つ並べて使用した場合と異なり、各スライドテーブル３，４の移動時の位置精度を効果的に向上させることができ、これら各スライドテーブル３，４に取り付けられる作業用機器の駆動制御をより精度よく行えるという利点がある。 Further, the single-axis robot 1 of the above embodiment is configured such that the pair of left and right slide tables 3 and 4 are supported so as to be movable along a plurality of rows of guide rails 14 and 15 provided on the common frame 2. Therefore, there is an advantage that the parallelism of the slide tables 3 and 4 is ensured with high accuracy when the single-axis robot 1 is manufactured. For this reason, unlike the case where two single-axis robots having a single slide table are used side by side as described above, the position accuracy during the movement of each slide table 3, 4 can be effectively improved, There is an advantage that the drive control of the working equipment attached to each of the slide tables 3 and 4 can be performed with higher accuracy.

また、上記第１実施形態のように、スライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部に、回転可能な転動体としてのローラ２３を設けた場合には、スライドテーブル３，４がその移動時に幅方向に傾く等により、各スライドテーブル３，４の側面部どうしが互いに摺動（当接）したとしても、その摺動抵抗が上記ローラ２３の回転により効果的に低減されるため、上記のようなスライドテーブル３，４どうしの摺動にかかわらず、これら各スライドテーブル３，４を上記フレーム２に沿って円滑に前後移動させることができるという利点がある。 Further, as in the first embodiment, a roller 23 as a rotatable rolling element is provided on a side surface of the slide table 3 (or 4) facing the other adjacent slide table 4 (or 3). When the slide tables 3 and 4 are inclined in the width direction when the slide tables 3 and 4 are moved, even if the side portions of the slide tables 3 and 4 slide (contact) with each other, the sliding resistance is reduced. Since the rotation is effectively reduced by the rotation of the roller 23, the slide tables 3 and 4 are smoothly moved back and forth along the frame 2 regardless of the sliding of the slide tables 3 and 4 as described above. There is an advantage that you can.

なお、上記第１実施形態では、左右一対のスライドテーブル３，４の両方に上記ローラ２３を設けたが、このうちの一方側のスライドテーブル３（または４）についてはローラ２３を省略してもよい。 In the first embodiment, the roller 23 is provided on both the pair of left and right slide tables 3 and 4. However, the roller 23 may be omitted for the slide table 3 (or 4) on one side thereof. Good.

また、上記第１実施形態では、上記スライドテーブル３（または４）のうち、隣接する他のスライドテーブル４（または３）と対向する側の側面部に、その前後両端の角部を面取りしてなる面取り部２２ａを設けたため、これら各スライドテーブル３，４のすれ違い時に仮に衝突が起きたとしても、この衝突により上記スライドテーブル３，４の移動が阻害されるという事態を効果的に防止できるという利点がある。 Moreover, in the said 1st Embodiment, the corner | angular part of the front-and-rear both ends is chamfered in the side part of the side facing the other adjacent slide table 4 (or 3) among the said slide tables 3 (or 4). Since the chamfered portion 22a is provided, even if a collision occurs when the slide tables 3 and 4 pass each other, it is possible to effectively prevent a situation in which the movement of the slide tables 3 and 4 is hindered by the collision. There are advantages.

すなわち、スライドテーブル３，４に上記のような面取り部２２ａが設けられていない場合には、例えば一方のスライドテーブル３が幅方向に傾いた状態で他方のスライドテーブル４とすれ違おうとしたときに、両者の角部どうしが衝突する等により、これら各スライドテーブル３，４に大きな衝撃が加わり、各スライドテーブル３，４がそれ以上移動できなくなってしまうおそれがある。これに対し、上記のようにスライドテーブル３，４の角部に面取り部２２ａが設けられている場合には、上記のような衝突が起きたとしても、その衝撃が効果的に緩和されるとともに、面取り部２２ａのテーパ面によってスライドテーブル３，４の軌道が修正されるため、スライドテーブル３，４の衝突時にその前後移動が阻止されるという事態を効果的に防止できるという利点がある。 That is, when the slide tables 3 and 4 are not provided with the chamfered portion 22a as described above, for example, when one slide table 3 is inclined in the width direction and tries to pass the other slide table 4. If the corners of the two collide with each other, a large impact is applied to each of the slide tables 3 and 4, and the slide tables 3 and 4 may not be able to move any more. On the other hand, when the chamfered portions 22a are provided at the corners of the slide tables 3 and 4 as described above, even if the above collision occurs, the impact is effectively reduced. Since the orbits of the slide tables 3 and 4 are corrected by the tapered surface of the chamfered portion 22a, there is an advantage that it is possible to effectively prevent a situation in which the back and forth movement is prevented when the slide tables 3 and 4 collide.

なお、上記第１実施形態において、スライドテーブル３，４のベース部１９のうち、その下方のレールスライダ１８よりも隔壁部材７側に突出するように形成された部分（可動子６が取り付けられる部分）が、上記隔壁部材７側にさらに大きく突出するように形成されている場合には、このベース部１９の突出部と上記隔壁部材７とが、スライドテーブル３，４の移動時に当接するおそれがある。そこで、このような場合には、図４に示すように、上記隔壁部材７の縦壁部３１と対向する部分である上記ベース部１９の突出部の先端に、上記テーブル本体２１に設けられたローラ２３と同様のローラ４５を設けるとよい。このようにすれば、上記スライドテーブル３，４の移動時にそのベース部１９が上記隔壁部材７と摺動（当接）した場合でも、その摺動抵抗を低減して上記スライドテーブル３，４を円滑に移動させることができるという利点がある。 In the first embodiment, in the base portion 19 of the slide tables 3 and 4, a portion (a portion to which the movable element 6 is attached) formed so as to protrude from the rail slider 18 below the partition member 7 side. ) Is formed so as to protrude further toward the partition member 7 side, the protruding portion of the base portion 19 and the partition member 7 may come into contact with each other when the slide tables 3 and 4 are moved. is there. Therefore, in such a case, as shown in FIG. 4, the table body 21 is provided at the tip of the protruding portion of the base portion 19, which is a portion facing the vertical wall portion 31 of the partition wall member 7. A roller 45 similar to the roller 23 may be provided. In this way, even when the base portion 19 slides (contacts) with the partition member 7 when the slide tables 3 and 4 are moved, the sliding resistance is reduced and the slide tables 3 and 4 are moved. There is an advantage that it can be moved smoothly.

（実施形態２）
上記第１実施形態では、フレーム２の長手方向に沿って移動可能なスライドテーブル３，４を、フレーム２の左右にそれぞれ１つずつ配置したが、例えばフレーム２の左右いずれか一方側に、複数のスライドテーブル３，４を前後方向（フレーム２の長手方向）に並べるように配置してもよい。図５は、このように構成した場合の具体例を、本発明の単軸ロボットの第２実施形態として示したものである。 (Embodiment 2)
In the first embodiment, the slide tables 3 and 4 that are movable along the longitudinal direction of the frame 2 are arranged one on each of the left and right sides of the frame 2. The slide tables 3 and 4 may be arranged in the front-rear direction (longitudinal direction of the frame 2). FIG. 5 shows a specific example of such a configuration as the second embodiment of the single-axis robot of the present invention.

この図５に示される単軸ロボット１００では、フレーム２の幅方向一側（図中では＋Ｙ側）に、１つのスライドテーブル１３１が設けられる一方、上記フレーム２の幅方向反対側（図中では−Ｙ側）には、前後方向（Ｘ軸方向）に並べられた２つのスライドテーブル１３２，１３３が配置されている。このうち、＋Ｙ側に設けられたスライドテーブル１３１は、上記第１実施形態のスライドテーブル３，４と同様に、フレーム２の内部に設けられた左右一対のガイドレール１４，１５のうち一方側（＋Ｙ側）のレール１４に沿って前後移動可能に支持されている。一方、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３は、ともに、上記とは反対の−Ｙ側のガイドレール１５に沿って前後移動可能に支持されている。 In the single-axis robot 100 shown in FIG. 5, one slide table 131 is provided on one side in the width direction of the frame 2 (+ Y side in the drawing), while on the other side in the width direction of the frame 2 (in the drawing). On the −Y side, two slide tables 132 and 133 arranged in the front-rear direction (X-axis direction) are arranged. Among these, the slide table 131 provided on the + Y side is the same as the slide tables 3 and 4 of the first embodiment, on one side of the pair of left and right guide rails 14 and 15 provided inside the frame 2 ( (+ Y side) is supported so as to be movable back and forth along the rail 14. On the other hand, the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side are both supported so as to be movable back and forth along the guide rail 15 on the −Y side opposite to the above.

なお、上記各スライドテーブル１３１〜１３３を上記各ガイドレール１４，１５に沿って移動させるための機構は、上記第１実施形態と同様である。すなわち、上記各スライドテーブル１３１〜１３３の下面側には、上記第１実施形態と同様の可動子（図示省略）がそれぞれ設けられており、これら各可動子が、前後方向に一列に配置された複数の磁石１６等からなる固定子５との相互作用で推力を得ることにより、上記各スライドテーブル１３１〜１３３が上記各ガイドレール１４，１５に沿って前後方向に移動するように構成されている。 The mechanism for moving the slide tables 131 to 133 along the guide rails 14 and 15 is the same as that in the first embodiment. In other words, the same movable elements (not shown) as those in the first embodiment are provided on the lower surface side of each of the slide tables 131 to 133, and these movable elements are arranged in a line in the front-rear direction. The slide tables 131 to 133 are configured to move in the front-rear direction along the guide rails 14 and 15 by obtaining a thrust by interaction with the stator 5 including a plurality of magnets 16 and the like. .

また、上記各スライドテーブル１３１〜１３３には、上記第１実施形態と同様に、面取り部４１が設けられている。なお、図５ではその図示を省略しているが、上記スライドテーブル１３１の内側（−Ｙ側）の側面部、およびこれに対向する側のスライドテーブル１３２，１３３の側面部には、上記第１実施形態と同様に、転動体としてのローラ（図１等の符号２３相当）が設けられることが好ましい。 Each of the slide tables 131 to 133 is provided with a chamfered portion 41 as in the first embodiment. Although not shown in FIG. 5, the first side surface portion of the slide table 131 (−Y side) and the side surface portions of the slide tables 132 and 133 on the opposite side are arranged on the first side. Similarly to the embodiment, it is preferable to provide a roller (corresponding to reference numeral 23 in FIG. 1 and the like) as a rolling element.

以上のような構成の本発明の第２実施形態によれば、フレーム２の幅寸法を大きく拡大することなく、スライドテーブル１３１〜１３３の数を増やすことができるため、コンパクトな構成でありながらより多くの作業用機器を移動させることが可能な単軸ロボット１００を実現できるという利点がある。また、上記各スライドテーブル１３１〜１３３に取り付けられる３つの可動子（図２等の符号６相当）に対し、固定子５を共通に１列設けたため、より簡単かつ安価な構成で、上記単軸ロボット１００の使い勝手を向上させることができる。 According to the second embodiment of the present invention having the above-described configuration, the number of slide tables 131 to 133 can be increased without greatly increasing the width dimension of the frame 2. There is an advantage that a single-axis robot 100 capable of moving many work devices can be realized. Further, since one row of the stators 5 is provided in common for the three movers (corresponding to reference numeral 6 in FIG. 2 and the like) attached to the slide tables 131 to 133, the single shaft can be configured with a simpler and less expensive configuration. Usability of the robot 100 can be improved.

さらに、この第２実施形態の構成によれば、単軸ロボット１００の用途をより多様化できるという利点がある。すなわち、例えば可動範囲を長く確保したい作業用機器を、＋Ｙ側に設けられた単一のスライドテーブル１３１（つまり、他のスライドテーブルの移動とは関係なく広範囲に移動可能なスライドテーブル１３１）に取り付けるとともに、可動範囲がある程度制限されても問題のない作業用機器を、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３にそれぞれ取り付ければ、より多くの作業用機器を用途に応じた適正な可動範囲内で移動させながら、これらの作業用機器によって所望の作業を効率よく行うことができる。また例えば、−Ｙ側に設けられた２つのスライドテーブル１３２，１３３のうちの一方を、フレーム２の長手方向一端部に固定した状態で、残りのスライドテーブル（１３２，１３３のいずれか）と、＋Ｙ側に設けられた上記スライドテーブル１３１とにそれぞれ作業用機器を取り付ければ、これら２つの作業用機器を、上記第１実施形態と同様に、ともに十分な可動範囲内で自在に移動させることができる。 Furthermore, according to the configuration of the second embodiment, there is an advantage that the uses of the single-axis robot 100 can be further diversified. In other words, for example, a work device for which a long movable range is desired is attached to a single slide table 131 provided on the + Y side (that is, a slide table 131 that can move over a wide range regardless of the movement of other slide tables). At the same time, if work devices that do not have any problem even if the movable range is limited to some extent are attached to the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side, more work devices can be appropriately used according to the application. A desired work can be efficiently performed by these working devices while being moved within the movable range. Further, for example, in a state where one of the two slide tables 132 and 133 provided on the −Y side is fixed to one end portion in the longitudinal direction of the frame 2, the remaining slide table (any one of 132 and 133), If work devices are respectively attached to the slide table 131 provided on the + Y side, these two work devices can be freely moved within a sufficient movable range, as in the first embodiment. it can.

（実施形態３）
上記第１実施形態では、前後方向に延びるフレーム２に対し、２つのスライドテーブル３，４を左右方向に並べるように配置したが、３つ以上のスライドテーブル３，４を左右方向に並設することも当然に可能である。図６および図７は、このように構成した場合の具体例を、本発明の単軸ロボットの第３実施形態として示したものである。 (Embodiment 3)
In the first embodiment, the two slide tables 3 and 4 are arranged in the left-right direction with respect to the frame 2 extending in the front-rear direction, but three or more slide tables 3, 4 are arranged in parallel in the left-right direction. Of course it is also possible. 6 and 7 show a specific example of such a configuration as the third embodiment of the single-axis robot of the present invention.

これら図６および図７に示される単軸ロボット２００では、フレーム２２０が、比較的大きな幅寸法をもって前後方向（図中のＸ軸方向）に延びるように設置されており、このフレーム２２０に対し、４つのスライドテーブル２３１〜２３４が左右方向（図中のＹ軸方向）に並ぶように配置されている。これら４つのスライドテーブル２３１〜２３４の下面側には、上記第１実施形態と同様の可動子２０６がそれぞれ設けられている。一方、フレーム２２０の底壁部２２１上には、平板状の固定ヨーク２０９およびその上面に沿って前後方向に１列に並べられた複数の磁石２０８からなる固定子２０５が設けられている。そして、上記各可動子２０６が、これに対向する上記固定子２０５との相互作用で推力を得ることにより、上記各スライドテーブル２３１〜２３４が上記可動子２０６とともに前後方向に移動するように構成されている。 In the single-axis robot 200 shown in FIG. 6 and FIG. 7, the frame 220 is installed so as to extend in the front-rear direction (X-axis direction in the drawing) with a relatively large width dimension. Four slide tables 231 to 234 are arranged in the left-right direction (Y-axis direction in the figure). On the lower surface side of these four slide tables 231 to 234, the movable elements 206 similar to those in the first embodiment are provided. On the other hand, on the bottom wall portion 221 of the frame 220, a flat plate-shaped fixed yoke 209 and a stator 205 including a plurality of magnets 208 arranged in a line in the front-rear direction along the upper surface thereof are provided. And each said movable element 206 is comprised so that each said slide table 231-234 may move to the front-back direction with the said movable element 206 by obtaining a thrust by interaction with the said stationary element 205 which opposes this. ing.

上記フレーム２２０は、上記固定子２０５が上面に設置された底壁部２２１と、この底壁部２２１の左右両側辺部に沿って立設された左右一対の側壁部２２２と、上記底壁部２２１の前後辺部に沿って立設された前壁部２２３および後壁部２２４と、これら前壁部２２３および後壁部２２４の上端面に両端部が載置・固定された前後方向に延びる４枚の天井壁部２２５〜２２８とを有している。各天井壁部２２５〜２２８は、上記４つのスライドテーブル２３１〜２３４の設置部に対応してＹ軸方向に並ぶように配置されており、これら各天井壁部２２５〜２２８の下面には、前後方向に延びる４本のガイドレール２１４〜２１７がそれぞれ取り付けられている。そして、これら各ガイドレール２１４〜２１７に、上記スライドテーブル２３１〜２３４の上面の前後２箇所に設けられたスライダ２１８が摺動自在に嵌合することにより、上記スライドテーブル２３１〜２３４が、上記ガイドレール２１４〜２１７に沿って前後移動可能に吊り下げられている。なお、上記４枚の天井壁部２２５〜２２８は互いに隙間を空けて配置されており、後述するステー２８１が上記隙間を通って上方に突出するように設けられている。 The frame 220 includes a bottom wall portion 221 on which the stator 205 is installed on an upper surface, a pair of left and right side wall portions 222 erected along both left and right side portions of the bottom wall portion 221, and the bottom wall portion. Front wall part 223 and rear wall part 224 erected along the front and rear side parts of 221, and extend in the front-rear direction in which both end parts are placed and fixed on the upper end surfaces of these front wall part 223 and rear wall part 224. It has four ceiling wall portions 225 to 228. The ceiling wall portions 225 to 228 are arranged so as to be aligned in the Y-axis direction corresponding to the installation portions of the four slide tables 231 to 234. Four guide rails 214 to 217 extending in the direction are respectively attached. Then, the slide tables 231 to 234 are slidably fitted to the guide rails 214 to 217 at two positions on the top and bottom of the slide tables 231 to 234, so that the slide tables 231 to 234 are guided by the guides. It is suspended along the rails 214 to 217 so as to be movable back and forth. The four ceiling wall portions 225 to 228 are arranged with a gap therebetween, and a stay 281 described later is provided so as to protrude upward through the gap.

上記各スライドテーブル２３１〜２３４には、その後端部（−Ｘ側の端部）から上記各天井壁部２２５〜２２８間の隙間を通って上方に突出するステー２８１が取り付けられており、このステー２８１の上端部には、上記各天井壁部２２５〜２２８の上面に載置された屈曲自在なケーブルベア（登録商標）等からなるケーブル保持部材２８３の一端がブラケット２８２を介して接続されている。上記スライドテーブル２３１〜２３４の各可動子２０６からは、信号線２８４および動力線２８５が外部に延びており、これら信号線２８４および動力線２８５は、上記ステー２８１、ブラケット２８２、およびケーブル保持部材２８３の各部材の内部を通って不図示の制御装置や電源回路に接続される。 Each of the slide tables 231 to 234 is provided with a stay 281 that protrudes upward from a rear end portion (−X side end portion) through a gap between the ceiling wall portions 225 to 228. One end of a cable holding member 283 made of a bendable cable bear (registered trademark) or the like placed on the upper surface of each of the ceiling wall portions 225 to 228 is connected to the upper end portion of 281 via a bracket 282. . A signal line 284 and a power line 285 extend from the movable elements 206 of the slide tables 231 to 234, and the signal line 284 and the power line 285 are connected to the stay 281, the bracket 282, and the cable holding member 283. These are connected to a control device and a power supply circuit (not shown) through the inside of each member.

一方、上記各スライドテーブル２３１〜２３４の前端部（＋Ｘ側の端部）には、作業用機器の一部を構成する棒状部材２８６がそれぞれ取り付けられている。この棒状部材２８６は、上記フレーム２２０の前壁部２２３に形成された切欠部２２３ａを通ってフレーム２２０の外部に突出するように設けられている。そして、上記各スライドテーブル２３１〜２３４が上記ガイドレール２１４〜２１７に沿って前後移動するのに応じ、上記各棒状部材２８６がその軸方向に進退駆動されるように構成されている。 On the other hand, rod-like members 286 that constitute a part of the work equipment are attached to the front end portions (+ X side end portions) of the slide tables 231 to 234, respectively. The rod-shaped member 286 is provided so as to protrude to the outside of the frame 220 through a notch 223 a formed in the front wall portion 223 of the frame 220. And, as the slide tables 231 to 234 move back and forth along the guide rails 214 to 217, the rod-shaped members 286 are configured to advance and retract in the axial direction.

このような構成の本発明の第３実施形態によれば、４つのスライドテーブル２３１〜２３４にそれぞれ作業用機器を取り付けることにより、１つの単軸ロボット２００でより多くの作業用機器を個別に前後移動させることができるという利点がある。また、上記各スライドテーブル２３１〜２３４の信号線２８４および動力線２８５を、屈曲自在なケーブル保持部材２８３の内部に保持したため、上記各テーブル２３１〜２３４の移動時に上記信号線２８４および動力線２８５が他の部材と干渉するのを効果的に防止することができる。 According to the third embodiment of the present invention having such a configuration, by attaching work devices to the four slide tables 231 to 234, more work devices can be individually moved back and forth with one single-axis robot 200. There is an advantage that it can be moved. Further, since the signal lines 284 and the power lines 285 of the slide tables 231 to 234 are held inside the bendable cable holding member 283, the signal lines 284 and the power lines 285 are moved when the tables 231 to 234 are moved. Interference with other members can be effectively prevented.

さらに、上記第３実施形態では、４つのスライドテーブル２３１〜２３４の各可動子２０６に対し固定子２０５を共通に１列だけ設けたため、例えば上記各可動子２０６に対して固定子２０５を別々に設けることにより、並列独立に移動する上記４つの可動子２０６と同数の固定子２０５をフレーム２２０の内部に設けた場合と異なり、単軸ロボット２００の構造を簡素化してその部品コスト等を効果的に削減できるという利点がある。 Further, in the third embodiment, since only one row of the stators 205 is provided in common for each of the movable elements 206 of the four slide tables 231 to 234, for example, the stator 205 is separately provided for each of the movable elements 206. Unlike the case where the same number of stators 205 as the four movable elements 206 that move independently in parallel are provided in the frame 220, the structure of the single-axis robot 200 is simplified and its component costs are effectively reduced. There is an advantage that it can be reduced.

なお、上記のような構成に代えて、４つのスライドテーブル２３１〜２３４のうち、隣接する２つまたは３つのスライドテーブルに対し、上記固定子２０５を共通に設け、その他のスライドテーブル用の固定子を個別に設けるようにしてもよい。または、上記スライドテーブル２３１〜２３４を複数の組に分けて、各組ごとに共通の固定子２０５を設けてもよい。すなわち、上記４つのスライドテーブル２３１〜２３４のうち、＋Ｙ側の２つのスライドテーブル２３１，２３２からなる組に対し１列の固定子２０５を設けるとともに、−Ｙ側の２つのスライドテーブル２３３，２３４からなる組に対し１列の固定子２０５を設けることにより、合計２列の固定子２０５を設けるようにしてもよい。このように構成した場合でも、各スライドテーブル２３１〜２３４に対し個別に１列ずつ固定子を設けた場合（つまり合計４列の固定子を設けた場合）と比べて、単軸ロボット２００の構造を簡素化することができる。 Instead of the above configuration, the stator 205 is provided in common for two or three adjacent slide tables among the four slide tables 231 to 234, and the other stator for the slide table is provided. May be provided individually. Alternatively, the slide tables 231 to 234 may be divided into a plurality of groups, and a common stator 205 may be provided for each group. That is, among the four slide tables 231 to 234, one row of stators 205 is provided for a set of two slide tables 231 and 232 on the + Y side, and two slide tables 233 and 234 on the −Y side are provided. A total of two rows of stators 205 may be provided by providing one row of stators 205 for each set. Even in the case of such a configuration, the structure of the single-axis robot 200 is compared to the case where the stators are individually provided for each of the slide tables 231 to 234 (that is, when a total of four rows of stators are provided). Can be simplified.

また、上記第３実施形態では、フレーム２２０のうち、固定子２０５が上面に設置された底壁部２２１と対向する各天井壁部２２５〜２２８に、上記各スライドテーブル２３１〜２３４用の４本のガイドレール２１４〜２１７を取り付けたため、これら各ガイドレール２１４〜２１７の設置場所を、上記固定子２０５に邪魔されることなく適正に確保できるという利点がある。 Moreover, in the said 3rd Embodiment, four each for the said slide tables 231-234 are attached to each ceiling wall part 225-228 facing the bottom wall part 221 in which the stator 205 was installed in the upper surface among the frames 220. FIG. Since the guide rails 214 to 217 are attached, there is an advantage that the installation locations of the guide rails 214 to 217 can be appropriately secured without being obstructed by the stator 205.

さらに、ガイドレール２１４〜２１７を天井壁部２２５〜２２８に設けた上記構成によれば、図５および図６に示すように、上記各ガイドレール２１４〜２１７を、各スライドテーブル２３１〜２３４用の可動子２０６と上面視で重複する位置に設けることができるため、例えば上記ガイドレール２１４〜２１７を上記可動子２０６に対し左右方向（Ｙ軸方向）にオフセットした位置に設けた場合と異なり、上記可動子２０６の推力により前後移動する上記スライドテーブル２３１〜２３４に対し前後軸回りの回転モーメントが生じることがなく、上記スライドテーブル２３１〜２３４をより円滑に前後移動させることができるという利点がある。 Furthermore, according to the above-described configuration in which the guide rails 214 to 217 are provided on the ceiling wall portions 225 to 228, the guide rails 214 to 217 are provided for the slide tables 231 to 234 as shown in FIGS. 5 and 6. Unlike the case where the guide rails 214 to 217 are provided at positions offset in the left-right direction (Y-axis direction) with respect to the mover 206, for example, the guide rails 214 to 217 can be provided at positions overlapping with the mover 206 in a top view. There is an advantage that the slide tables 231 to 234 can be moved back and forth more smoothly without causing a rotational moment around the front and rear axes with respect to the slide tables 231 to 234 that move back and forth by the thrust of the mover 206.

なお、上記第３実施形態では、４本のガイドレール２１４〜２１７の全てを天井壁部２２５〜２２８に設けたが、このうち、内側の２本のガイドレール２１５，２１６のみを、これに対応する天井壁部２２６，２２７に設けた上で、残りの外側のガイドレール、つまりＹ軸方向の両端部に位置する２本のガイドレール２１４，２１７を、上記底壁部２２１のうち固定子２０５の設置部の外側領域にあたる部分、もしくは、底壁部２２１の側辺部に立設された上記側壁部２２２に設けてもよい。このように構成した場合でも、上記第３実施形態と同様に、上記ガイドレール２１４〜２１７の設置場所を、上記固定子２０５に邪魔されることなく適正に確保できるという利点がある。 In the third embodiment, all of the four guide rails 214 to 217 are provided on the ceiling wall portions 225 to 228. Of these, only the inner two guide rails 215 and 216 are supported. The remaining outer guide rails, that is, the two guide rails 214 and 217 located at both ends in the Y-axis direction, are provided on the stator wall 205 of the bottom wall 221. You may provide in the side wall part 222 standingly arranged by the part which corresponds to the outer area | region of the installation part, or the side part of the bottom wall part 221. FIG. Even in such a configuration, there is an advantage that the installation location of the guide rails 214 to 217 can be appropriately secured without being obstructed by the stator 205, similarly to the third embodiment.

また、上記第３実施形態では、フレーム２２０に４つのスライドテーブル２３１〜２３４を移動可能に設けたが、スライドテーブルの数をさらに増やすことにより、より多数の作業用機器を駆動し得るように構成することも当然に可能である。もちろん、このようにした場合には、単軸ロボット２００が大型化するだけでなく、その構造が複雑化するといった問題が生じるが、さらにこの場合において、各スライドテーブルに対し個別に１列ずつ固定子を設けてしまうと、上記のような問題はより顕著となる。これに対し、上記第３実施形態では、複数のスライドテーブル２３１〜２３４の各可動子２０６に対向配置される固定子２０５を共通化したため、上記のような構造の複雑化等の問題を効果的に抑制することが可能である。特に、図１〜図３に示した上記第１実施形態の単軸ロボット１のように、左右一対のスライドテーブル３，４をフレーム２の幅方向に並べて配置するとともに、フレーム２の左右両側部に設けられた左右一対のガイドレール１４，１５に沿って上記各スライドテーブル３，４を前後方向に移動可能に支持し、これら各テーブル３，４に対応して設けられた一対の可動子６に対し、固定子５を共通に１列設けるようにした場合には、より簡単かつ合理的な構成で、単軸ロボット１の使い勝手を向上させることができる。 In the third embodiment, the four slide tables 231 to 234 are movably provided on the frame 220. However, by further increasing the number of slide tables, a larger number of work devices can be driven. Of course it is also possible to do. Of course, in this case, there is a problem that not only the single-axis robot 200 is enlarged but also its structure is complicated. In this case, one row is fixed to each slide table individually. If a child is provided, the above problem becomes more prominent. On the other hand, in the third embodiment, since the stator 205 disposed opposite to each movable element 206 of the plurality of slide tables 231 to 234 is made common, problems such as the above complicated structure are effective. It is possible to suppress it. In particular, as in the single-axis robot 1 of the first embodiment shown in FIGS. 1 to 3, a pair of left and right slide tables 3 and 4 are arranged side by side in the width direction of the frame 2, and both left and right side portions of the frame 2 are arranged. The pair of left and right guide rails 14, 15 provided on the slide table 3, 4 is supported so as to be movable in the front-rear direction, and a pair of movers 6 provided corresponding to the tables 3, 4. On the other hand, when one row of the stators 5 is provided in common, the usability of the single-axis robot 1 can be improved with a simpler and more rational configuration.

本発明の第１実施形態にかかる単軸ロボットの一部切欠き平面図である。1 is a partially cutaway plan view of a single-axis robot according to a first embodiment of the present invention. 図１のII−II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG. 図２のIII−III線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the III-III line of FIG. 上記単軸ロボットの変形例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the modification of the said single axis robot. 本発明の単軸ロボットの第２実施形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the single axis robot of this invention. 本発明の単軸ロボットの第３実施形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the single axis robot of this invention. 図６のVII−VII線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the VII-VII line of FIG.

Explanation of symbols

１，１００，２００単軸ロボット
２，２２０フレーム
３，４，１３１〜１３３，２３１〜２３４スライドテーブル
５，２０５固定子
６可動子
７隔壁部材
１４，１５，２１４〜２１７ガイドレール
１６，２６０磁石
２３，４５ローラ（転動体）
２２１底壁部
２２２側壁部
２２５天井壁部 1,100,200 single-axis robot 2,220 frame 3,4,131-133,231-234 slide table 5,205 stator 6 mover 7 partition member 14, 15, 214-217 guide rail 16,260 magnet 23 45 Roller
221 Bottom wall 222 Side wall 225 Ceiling wall

Claims

A frame extending in a uniaxial direction, a stator having a plurality of magnets arranged along the frame, a mover provided to be movable relative to the stator, and a mover integrally movable with the mover A linear motor type single-axis robot provided with a slide table,
The frame is provided with a plurality of rows of guide rails extending along the longitudinal direction,
A plurality of the slide tables are arranged side by side in the width direction of the frame, and are supported so as to be individually movable along the guide rails.
A single-axis robot, wherein a single row of the stators is provided in common for a plurality of movable elements provided corresponding to the slide tables.

The single-axis robot according to claim 1,
The guide rail is provided on each of the left and right sides of the frame,
As the plurality of slide tables, a pair of left and right slide tables that are individually movable along the guide rails are provided,
A single-axis robot, wherein a single row of the stators is provided in common for a pair of movers provided corresponding to the pair of left and right slide tables.

The single-axis robot according to claim 1 or 2,
A single-axis robot characterized in that a rotatable rolling element is provided on a side surface of the slide table facing the other adjacent slide table.

The single-axis robot according to any one of claims 1 to 3,
A single-axis robot, wherein a plurality of the slide tables are supported in a state of being arranged in a longitudinal direction on at least one of a plurality of rows of guide rails provided on the frame.

In the single axis robot according to any one of claims 1 to 4,
A partition member separating the slide tables is provided between the plurality of slide tables arranged side by side with respect to the frame, and a rotatable rolling element is provided on a portion of the slide table facing the partition member. A single-axis robot characterized in that is provided.

The single-axis robot according to claim 1,
The frame includes a bottom wall portion on which the stator is installed on an upper surface, a ceiling wall portion facing the bottom wall portion, and a side wall portion erected along a side portion of the bottom wall portion. And
A single-axis robot, wherein at least one of the plurality of rows of guide rails is attached to the lower surface of the ceiling wall portion.

The single-axis robot according to claim 6,
A part of the bottom wall portion of the frame corresponding to the outer region of the installation portion of the stator or a side wall portion of the frame is provided with a part of the plurality of rows of guide rails, and the remaining guide rails on the ceiling wall portion A single-axis robot characterized in that is provided.