JP2009031643A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009031643A5
JP2009031643A5 JP2007197394A JP2007197394A JP2009031643A5 JP 2009031643 A5 JP2009031643 A5 JP 2009031643A5 JP 2007197394 A JP2007197394 A JP 2007197394A JP 2007197394 A JP2007197394 A JP 2007197394A JP 2009031643 A5 JP2009031643 A5 JP 2009031643A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable portion
light
oscillator device
movable
torsion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2007197394A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2009031643A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007197394A priority Critical patent/JP2009031643A/ja
Priority claimed from JP2007197394A external-priority patent/JP2009031643A/ja
Priority to US12/174,890 priority patent/US8081366B2/en
Publication of JP2009031643A publication Critical patent/JP2009031643A/ja
Publication of JP2009031643A5 publication Critical patent/JP2009031643A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2007197394A 2007-07-30 2007-07-30 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置 Withdrawn JP2009031643A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007197394A JP2009031643A (ja) 2007-07-30 2007-07-30 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置
US12/174,890 US8081366B2 (en) 2007-07-30 2008-07-17 Oscillating device, light deflector, and image forming apparatus using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007197394A JP2009031643A (ja) 2007-07-30 2007-07-30 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009031643A JP2009031643A (ja) 2009-02-12
JP2009031643A5 true JP2009031643A5 (enExample) 2010-09-09

Family

ID=40402196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007197394A Withdrawn JP2009031643A (ja) 2007-07-30 2007-07-30 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8081366B2 (enExample)
JP (1) JP2009031643A (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101279441B1 (ko) * 2008-08-21 2013-07-05 삼성전자주식회사 멤스 미러, 미러 스캐너, 광주사 유닛 및 광주사 유닛을 채용한 화상형성장치
US8437065B2 (en) * 2010-10-18 2013-05-07 Microvision, Inc. Scanning platform having asymmetric flexures
JP5713083B2 (ja) * 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
JP7169745B2 (ja) 2018-01-19 2022-11-11 キヤノン株式会社 半導体装置および光学式エンコーダ
JP7297538B2 (ja) * 2019-06-06 2023-06-26 スタンレー電気株式会社 光偏向器及び製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4317611A (en) * 1980-05-19 1982-03-02 International Business Machines Corporation Optical ray deflection apparatus
US5740150A (en) * 1995-11-24 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Galvanomirror and optical disk drive using the same
JP2003019700A (ja) 2001-07-06 2003-01-21 Canon Inc マイクロ構造体、およびその作製方法
JP3740444B2 (ja) 2001-07-11 2006-02-01 キヤノン株式会社 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体
JP4574396B2 (ja) * 2005-03-02 2010-11-04 キヤノン株式会社 光偏向器
JP2009031642A (ja) * 2007-07-30 2009-02-12 Canon Inc 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006243251A5 (enExample)
KR100742882B1 (ko) 광편향기
KR101030889B1 (ko) 광 편향기 및 이를 이용한 광학기구
JP5500016B2 (ja) 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置
JP2009031643A5 (enExample)
CN101925845A (zh) 图像投影的振动反射镜
JP2009031642A5 (enExample)
JP6369038B2 (ja) ヘッドアップディスプレイ装置
JP2011510358A5 (enExample)
EP2535759A3 (en) Optical scanning device
JP2012198298A (ja) 光偏向装置並びにこれを備えた光走査装置、画像投影装置、画像読取装置および画像形成装置
CN1968821A (zh) 具有振荡扫描镜的多激光双向打印机
JP7102705B2 (ja) アクチュエーター、光学装置及びプロジェクター
JP2009251596A (ja) 光走査装置、これを採用した画像形成装置及び光走査方法
JP2008026849A (ja) スキャナ
US8081366B2 (en) Oscillating device, light deflector, and image forming apparatus using the same
KR101109286B1 (ko) 요동 구조체, 그것을 사용한 요동체 장치, 광편향 장치 및 화상 형성 장치
JP2009031642A (ja) 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置
JP7035451B2 (ja) アクチュエーター、光学装置及びプロジェクター
JP2007226108A5 (enExample)
JP2011013621A (ja) 光偏向器、画像形成装置及び画像投影装置
JP2008058752A5 (enExample)
JP2007171929A5 (enExample)
CN108535969A (zh) 一种新型摇摆振动装置
JP2016081037A (ja) 光偏向器、２次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置