JP2009025132A - Transmission type light area sensor - Google Patents
Transmission type light area sensor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009025132A JP2009025132A JP2007188186A JP2007188186A JP2009025132A JP 2009025132 A JP2009025132 A JP 2009025132A JP 2007188186 A JP2007188186 A JP 2007188186A JP 2007188186 A JP2007188186 A JP 2007188186A JP 2009025132 A JP2009025132 A JP 2009025132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- face
- light guide
- sensor head
- core material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、透過型光エリアセンサに関し、一方のセンサヘッドから一定幅の検査領域に光照射し、該検査領域を通過した光を他方のセンサヘッドで受光する透過型光エリアセンサに関する。 The present invention relates to a transmissive optical area sensor, and more particularly to a transmissive optical area sensor that irradiates an inspection region having a certain width from one sensor head and receives light passing through the inspection region by the other sensor head.
透過型光エリアセンサとして、光ファイバを用いてセンサヘッドを形成してなるものがある。このセンサヘッドは、複数の光ファイバの端部をセンサヘッド本体に固定し、検査領域幅の全体にわたって光ファイバ端部を1列若しくは複数列に配列している。このように構成された光ファイバエリアセンサでは、一方のセンサヘッドから検査領域幅をカバーするように光を照射し、検査領域を通過した光を他方のセンサヘッドで受光する。光ファイバ端部を1列に配列してセンサヘッドを形成している例として、特開昭60−157125号公報(特許文献1)に記載のものが挙げられる。
しかしながら、光ファイバはある程度の開口角を持つので、センサヘッドの光ファイバ端面から出射する光は広がりを持っている。そのため、図4に示すように、発光側センサヘッドの光ファイバ41の出射端面から出た光では、わずかながら発光側センサヘッド端面付近に光無照射部分が生じることになる。被検出物42がこの光無照射部分以外の部分を通過した場合には、受光側エリアセンサにおいて受光レベルが低下して、被検出物42の存在を検出することができるが、被検出物42が光無照射部分を通過した場合には、受光側エリアセンサにおいて受光レベルが十分には低下せず、被検出物42の存在を見逃すという問題がある。
However, since the optical fiber has a certain opening angle, the light emitted from the end face of the optical fiber of the sensor head has a spread. Therefore, as shown in FIG. 4, in the light emitted from the emission end face of the
従って、本発明の目的は、発光側センサヘッド端面付近の光無照射部分を無くし、検査領域内のどの位置にある被検出物をも検出することができる透過型光エリアセンサを提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a transmissive optical area sensor that can detect an object to be detected at any position in an inspection region by eliminating a non-irradiated portion near the end face of the light emitting side sensor head. is there.
本発明によれば、以上の目的を達成するものとして、
発光側センサヘッドから幅をもつ検査領域へと光を照射し、該検査領域を通過した光を受光側センサヘッドで受光する透過型光エリアセンサであって、
前記発光側センサヘッドは、発光素子から発せられた光を一方の端面に入射させて導光し且つ他方の端面から出射させる出射用導光体を含んで構成され、
前記受光側センサヘッドは、前記検査領域を通過した光を一方の端面に入射させて導光し且つ他方の端面から出射させて光検出素子へと導く受光用導光体を含んで構成され、
前記発光側センサヘッドと受光側センサヘッドとが正対に位置し、
前記出射用導光体は、芯材と該芯材の周囲を覆う少なくとも1層の鞘材とからなる層構造をもつシート状の導光体であることを特徴とする透過型光エリアセンサ、
が提供される。
According to the present invention, the above object is achieved as follows:
A transmissive optical area sensor that irradiates light from a light emitting side sensor head to an inspection region having a width, and receives light passing through the inspection region by a light receiving side sensor head,
The light emitting side sensor head is configured to include a light guide for emission that guides light emitted from the light emitting element to enter one end face and emits the light from the other end face,
The light receiving side sensor head is configured to include a light receiving light guide that guides the light that has passed through the inspection region to be incident on one end face and guide the light to the light detecting element.
The light-emitting side sensor head and the light-receiving side sensor head are located in a facing relationship,
The emission light guide is a sheet-shaped light guide having a layer structure including a core material and at least one sheath material covering the periphery of the core material,
Is provided.
本発明の一態様においては、前記受光用導光体は、芯材と該芯材の周囲を覆う少なくとも1層の鞘材とからなる層構造をもつシート状の導光体である。本発明の一態様においては、前記受光用導光体は、前記一方の端面において断面形状が直線状となるように並べられた複数の光ファイバを含んでなる。 In one aspect of the present invention, the light receiving light guide is a sheet-like light guide having a layer structure including a core material and at least one sheath material covering the periphery of the core material. In one aspect of the present invention, the light receiving light guide includes a plurality of optical fibers arranged so that a cross-sectional shape thereof is linear on the one end surface.
本発明の透過型光エリアセンサによれば、発光側センサヘッド端面付近の光無照射部分を無くして、検査領域内のどの位置にある被検出物をも検出することができる。 According to the transmissive optical area sensor of the present invention, it is possible to detect an object to be detected at any position in the inspection region by eliminating the non-irradiated portion near the light emitting side sensor head end face.
以下、図面を参照しながら,本発明の透過型光エリアセンサの実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of a transmissive optical area sensor of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1aは本発明の透過型光エリアセンサの第1の実施形態の構成を示す模式図である。本実施形態の透過型光エリアセンサにおいて、発光側センサヘッドは、ヘッド本体11及び出射用導光体12を含んで構成される。出射用導光体12の一方の端部は発光側センサヘッド本体11に固定保持されている。出射用導光体12の一方端部の端面は、光出射端面とされ、発光側センサヘッド本体11の端面にて外部に露出している。出射用導光体12の光出射端面は、導光体そのままの状態でも良いし、端面保護のために透明なガラス板やアクリルなどの樹脂成形板を付設しても良いし、光を集光するためのレンズなどを付設しても良い。
FIG. 1a is a schematic diagram showing the configuration of the first embodiment of the transmissive optical area sensor of the present invention. In the transmissive optical area sensor of the present embodiment, the light emitting side sensor head includes a head body 11 and a
出射用導光体12の他方の端部の端面は光入射端面とされ、該光入射端面に隣接し対向するように発光素子13が配置されている。発光素子13から発せられた光は、出射用導光体12の光入射端面に入射し、出射用導光体中を導光され、出射用導光体12の光出射端面から出射する。
The end face of the other end of the
受光側センサヘッドは、ヘッド本体14及び受光用導光体15を含んで構成される。受光用導光体15の一方の端部は受光側センサヘッド本体14に固定保持されている。受光用導光体15の一方端部の端面は、光入射端面とされ、受光側センサヘッド本体14の端面にて外部に露出している。受光用導光体15の光入射端面は、導光体そのままの状態でも良いし、端面保護のために透明なガラス板やアクリルなどの樹脂成形板を付設しても良いし、光を集光するためのレンズなどを付設しても良い。
The light receiving side sensor head includes a head
受光用導光体15の他方の端部の端面は光出射端面とされ、該光出射端面に隣接し対向するように光検出素子16が配置されている。受光用導光体15の光入射端面に入射した光は、受光用導光体中を導光され、受光用導光体15の光出射端面から出射して光検出素子16へと導かれる。 The end face of the other end of the light receiving light guide 15 is a light emitting end face, and the light detecting element 16 is disposed so as to be adjacent to and face the light emitting end face. The light incident on the light incident end face of the light receiving light guide 15 is guided through the light receiving light guide, emitted from the light emitting end face of the light receiving light guide 15, and guided to the light detection element 16.
発光側センサヘッドと受光側センサヘッドとは正対するように配置される。これにより、発光側センサヘッドの出射用導光体12の光出射端面から発せられ、所要の幅(図1aにおける上下方向寸法)をもつ検査領域へと照射され、該検査領域を通過した光を、効率よく受光側センサヘッドの受光用導光体15の光入射端面に入射させて受光することができる。
The light emitting side sensor head and the light receiving side sensor head are arranged to face each other. As a result, the light emitted from the light emitting end face of the
出射用導光体12および受光用導光体15として用いられるシート状導光体について、出射用導光体12を例にとり、図1bを参照して説明する。シート状導光体12は、芯材12aと鞘材12bとで構成され、芯材12aの周囲を鞘材12bで覆った構成となっている。このようなシート状導光体12の層構造において、鞘材は2層以上からなるものでもよい。
The sheet-like light guide used as the
芯材12aとしては、導光体芯材として公知の材料が使用可能であり、例えば、メタクリル酸メチルの単独重合体(PMMA)または共重合体を主成分として構成することができる。中でも光透過性及び耐久性に優れると共に安価なことから、PMMAを主成分として構成することが好ましい。なお、メタクリル酸メチルの共重合体を用いる場合、メタクリル酸メチルの含有量は50質量%以上とすることが好ましい。また、ポリカーボネート系樹脂を用いた場合、PMMAより高屈折率であり、開口数が大きくなり、受光量を増やすことが可能であり、シートを屈曲した際、光の漏れを低く抑えることができる。さらに、耐熱性が要求される場合などには、上述のポリカーボネート系樹脂や、脂環式ポリオレフィン系樹脂を用いることもできる。
As the
鞘材12bとしては、導光体鞘材として公知の材料が使用可能であり、例えば、含フッ素オレフィン系樹脂を主成分とする樹脂組成物により構成することができる。含フッ素オレフィン系樹脂としては、例えば、フッ化ビニリデン系共重合体を挙げることができ、具体的にはフッ化ビニリデンとテトラフルオロエチレンとの2元共重合体、フッ化ビニリデンとヘキサフルオロアセトンとの2元共重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとの2元共重合体、フッ化ビニリデンとテトラフルオロエチレンとヘキサフルオロエチレンとの3元共重合体等を例示できる。
As the
シート状導光体12は、その取り扱い性を高める観点から、屈曲性を有することが好ましい。そのためには、厚さ(t)は0.2mm〜3mmの範囲が適している。幅(W)は検査領域の幅に応じた幅を任意に選択すればよい。さらに幅(W)と厚さ(t)との比率W/tは10〜10000の範囲が適している。
The sheet-
シート状導光体12の保護のために被覆を設けても良い。被覆材としては公知の材料が使用可能であり、例えば、ポリエチレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩素化ポリエチレン系樹脂、ナイロン系樹脂等が挙げられる。
A coating may be provided to protect the sheet-
尚、受光用導光体15としてシート状導光体を用いる場合には、その幅(W)は光検出素子16の寸法(シート状導光体の幅方向に対応する寸法)以下にすることが好ましい。例えば、浜松ホトニクス(株)製フォトダイオードS2551の受光面サイズは29.1×1.2mmであり、シート状導光体の幅は29.1mm以下とすることが好ましい。 In the case where a sheet-like light guide is used as the light-receiving light guide 15, the width (W) thereof should be less than or equal to the dimension of the light detection element 16 (the dimension corresponding to the width direction of the sheet-like light guide). Is preferred. For example, the light receiving surface size of the photodiode S2551 manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd. is preferably 29.1 × 1.2 mm, and the width of the sheet light guide is preferably 29.1 mm or less.
発光素子13としては、公知の発光素子が使用可能であり、例えば、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、発光ダイオード(LED)、半導体レーザー(LD)が挙げられる。上記の発光素子の中でも特にLEDは、長時間点灯した場合でもLED周辺での温度上昇が小さい、サイズが小さく小型化が容易などの理由から、本発明の発光素子13として特に好ましい。発光素子13としてLEDを用いる場合には、色(波長)の制限は無く、白色、赤色、緑色、青色など、どの波長のLEDを使用しても良い。LEDは出射用導光体12の光入射端面に隣接して1個設置しても良いし、複数個設置しても良い。
As the light emitting element 13, a known light emitting element can be used, and examples thereof include a halogen lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, a light emitting diode (LED), and a semiconductor laser (LD). Among the light-emitting elements described above, the LED is particularly preferable as the light-emitting element 13 of the present invention because the temperature rise around the LED is small even when it is lit for a long time, the size is small, and the size can be easily reduced. When an LED is used as the light emitting element 13, there is no limitation on the color (wavelength), and an LED having any wavelength such as white, red, green, and blue may be used. One LED may be installed adjacent to the light incident end face of the
光検出素子16としては、公知の光検出素子が使用可能であり、例えば、フォトダイオード(PD)、フォトトランジスタなどが挙げられる。 As the light detection element 16, a known light detection element can be used, and examples thereof include a photodiode (PD) and a phototransistor.
図2は本発明の透過型エリアセンサの第2の実施形態の構成の一部を示す模式図である。本実施形態は、受光側センサヘッドの受光用導光体25として複数の光ファイバからなるものを用いたこと以外は、第1の実施形態と同一である。受光用導光体25の一方の端部は受光側センサヘッド本体24に固定保持されている。受光用導光体25の一方端部の端面は、光入射端面とされ、受光側センサヘッド本体24の端面にて外部に露出している。この受光用導光体25の一方端部の端面において、該受光用導光体を構成する複数の光ファイバは断面形状が直線状(検査領域の幅方向に延びた直線状)となるように並べられている。受光用導光体25の他方の端部の端面は光出射端面とされており、該光出射端面において複数の光ファイバは集束されている。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a part of the configuration of the second embodiment of the transmission type area sensor of the present invention. This embodiment is the same as the first embodiment, except that a light receiving
受光用導光体25を構成する光ファイバとしては、公知の組成の光ファイバが使用可能であり、例えば、三菱レイヨン(株)製の光ファイバであって、ファイバ径φ2.0mmのCK−80、ファイバ径φ1.5mmのCK−60、ファイバ径φ1.0mmのCK−40、ファイバ径φ0.75mmのCK−30、ファイバ径φ0.5mmのCK−20などが挙げられる。
As the optical fiber constituting the light receiving
以上のような本発明実施形態の透過型光エリアセンサによれば、センサ端面付近を含む全ての検査領域内における光無照射部分を無くすことができ、検査領域内のどの位置にある被検出物をも良好に検出することができる。 According to the transmissive optical area sensor of the embodiment of the present invention as described above, it is possible to eliminate the light non-irradiation portion in all the inspection areas including the vicinity of the sensor end face, and the object to be detected at any position in the inspection area Can also be detected satisfactorily.
以下、本発明の実施例を説明する。 Examples of the present invention will be described below.
(実施例1)
上記第2の実施形態に属する透過型光エリアセンサであって、図3aに示されるものを作製した。
Example 1
A transmissive optical area sensor belonging to the second embodiment as shown in FIG. 3A was produced.
出射用導光体31aとして、芯材にPMMA(三菱レイヨン(株)製、アクリペット)を用い、鞘材にフッ化ビニリデン系樹脂VP−100(ダイキン工業(株)製)を用いた、幅30mm及び厚さ1mmのシート状導光体を使用した。 Width using PMMA (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., Acrypet) as the core material and vinylidene fluoride resin VP-100 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) as the sheath material as the light guide 31a for emission. A sheet-like light guide having a thickness of 30 mm and a thickness of 1 mm was used.
受光用導光体32aとして、ファイバ径φ1mmの光ファイバ(三菱レイヨン(株)製、CK−40)を30本用いた光ファイバシートを使用した。
An optical fiber sheet using 30 optical fibers (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., CK-40) having a fiber diameter of 1 mm was used as the light receiving
発光素子33として、ハロゲンランプ100W(三菱レイヨン(株)製、ハロゲンランプ光源ELI−100G)を用いた。
As the
受光用導光体32aからの出射光量を測定するための光検出素子たる光測定器34として、光パワーメータ(アンリツ(株)製、OPTICAL POWER METER ML910A)を用いた。
An optical power meter (manufactured by Anritsu Co., Ltd., OPTICAL POWER METER ML910A) was used as the
被検出物35として0.5mmのピンゲージを用い、シート状導光体−ピンゲージ間距離WD1を1mmとし、シート状導光体−光ファイバシート間距離WD2を20mmとして測定した。 A pin gauge of 0.5 mm was used as the object to be detected 35, the sheet-like light guide-pin gauge distance WD1 was 1 mm, and the sheet-like light guide-optical fiber sheet distance WD2 was 20 mm.
出射光量の平均出力9.35[dB]に対し、ピンゲージ位置出力は6.35[dB]となり、2.99[dB]の出力差を得ることができた。 The pin gauge position output was 6.35 [dB] against the average output 9.35 [dB] of the emitted light amount, and an output difference of 2.99 [dB] could be obtained.
測定結果を表1及び図5に示す。 The measurement results are shown in Table 1 and FIG.
(比較例)
実施例1の比較例の透過型光エリアセンサとして、図3bに示されるものを作製した。出射用導光体31bおよび受光用導光体32bとして、ファイバ径φ1mmの光ファイバ(三菱レイヨン(株)製、CK−40)を30本用いた光ファイバシートを使用した。その他の構成は実施例1と同じである。ピンゲージを光出射用導光体31bの光ファイバの正面および隣接光ファイバ間において各々測定を行った。光ファイバ正面では、出射光量の平均出力8.75[dB]に対し、ピンゲージ位置出力は6.56[dB]となり、2.19[dB]の出力差が得られた。隣接光ファイバ間では、出射光量の平均出力8.69[dB]に対し、ピンゲージ位置出力は7.81[dB]であり、出力差は0.88[dB]しかなかった。光出射用導光体として光ファイバシートを用いた場合、被検出物の通過位置によって1.31[dB]の差が出る結果が得られた。
(Comparative example)
As the transmissive optical area sensor of the comparative example of Example 1, the one shown in FIG. An optical fiber sheet using 30 optical fibers (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., CK-40) having a fiber diameter of 1 mm was used as the
測定結果を表1及び図6〜7に示す。 The measurement results are shown in Table 1 and FIGS.
(実施例2)
上記第1の実施形態に属する透過型光エリアセンサであって、図3cに示されるものを作製した。
(Example 2)
A transmissive optical area sensor belonging to the first embodiment as shown in FIG.
出射用導光体31cおよび受光用導光体32cとして、芯材にPMMA(三菱レイヨン(株)製、アクリペット)を用い、鞘材にフッ化ビニリデン系樹脂VP−100(ダイキン工業(株)製)を用いた、幅30mm及び厚さ1mmのシート状導光体を使用した。
As the
実施例1と同様にして測定を行ったところ、ピンゲージがある場合と無い場合とで比較した場合の光量変動を確認することができた。 Measurement was performed in the same manner as in Example 1. As a result, it was possible to confirm the fluctuation in the amount of light when compared with and without the pin gauge.
11:発光側センサヘッド本体
12:出射用導光体
12a:芯材
12b:鞘材
13:発光素子
14:受光側センサヘッド本体
15:受光用導光体
16:光検出素子
24:受光側センサヘッド本体
25:受光用導光体
31a:出射用導光体(シート状導光体)
31b:出射用導光体(光ファイバシート)
31c:出射用導光体(シート状導光体)
32a:受光用導光体(光ファイバシート)
32b:受光用導光体(光ファイバシート)
32c:受光用導光体(シート状導光体)
33:発光素子
34:光測定器
35:被検出物
41:光ファイバ
42:被検出物
11: Light emitting side sensor head main body 12: Emitting
31b: Output light guide (optical fiber sheet)
31c: Outgoing light guide (sheet-like light guide)
32a: Light guide for light reception (optical fiber sheet)
32b: Light guide for light reception (optical fiber sheet)
32c: Light guide for light reception (sheet-shaped light guide)
33: Light emitting element 34: Light measuring device 35: Object to be detected 41: Optical fiber 42: Object to be detected
Claims (3)
前記発光側センサヘッドは、発光素子から発せられた光を一方の端面に入射させて導光し且つ他方の端面から出射させる出射用導光体を含んで構成され、
前記受光側センサヘッドは、前記検査領域を通過した光を一方の端面に入射させて導光し且つ他方の端面から出射させて光検出素子へと導く受光用導光体を含んで構成され、
前記発光側センサヘッドと受光側センサヘッドとが正対に位置し、
前記出射用導光体は、芯材と該芯材の周囲を覆う少なくとも1層の鞘材とからなる層構造をもつシート状の導光体であることを特徴とする透過型光エリアセンサ。 A transmissive optical area sensor that irradiates light from a light emitting side sensor head to an inspection region having a width, and receives light passing through the inspection region by a light receiving side sensor head,
The light emitting side sensor head is configured to include a light guide for emission that guides light emitted from the light emitting element to enter one end face and emits the light from the other end face,
The light receiving side sensor head is configured to include a light receiving light guide that guides the light that has passed through the inspection region to be incident on one end face and guide the light to the light detecting element.
The light-emitting side sensor head and the light-receiving side sensor head are located in a facing relationship,
The transmissive optical area sensor, wherein the light guide for emission is a sheet-shaped light guide having a layer structure including a core material and at least one sheath material covering the periphery of the core material.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007188186A JP5190226B2 (en) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | Transmission type optical area sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007188186A JP5190226B2 (en) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | Transmission type optical area sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009025132A true JP2009025132A (en) | 2009-02-05 |
JP5190226B2 JP5190226B2 (en) | 2013-04-24 |
Family
ID=40397074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007188186A Expired - Fee Related JP5190226B2 (en) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | Transmission type optical area sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5190226B2 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57139711A (en) * | 1981-02-25 | 1982-08-28 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Flat plate optical waveguide |
JPS6375883U (en) * | 1986-11-06 | 1988-05-20 | ||
JPH09251104A (en) * | 1996-03-16 | 1997-09-22 | Keyence Corp | Optical lens and optical sensor using the same |
JP2005340160A (en) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Fujikura Ltd | Sheet-shaped light guide body and illumination device |
-
2007
- 2007-07-19 JP JP2007188186A patent/JP5190226B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57139711A (en) * | 1981-02-25 | 1982-08-28 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Flat plate optical waveguide |
JPS6375883U (en) * | 1986-11-06 | 1988-05-20 | ||
JPH09251104A (en) * | 1996-03-16 | 1997-09-22 | Keyence Corp | Optical lens and optical sensor using the same |
JP2005340160A (en) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Fujikura Ltd | Sheet-shaped light guide body and illumination device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5190226B2 (en) | 2013-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007042093A (en) | Method and system for detecting selection by touch | |
JP2013175142A (en) | Coordinate input device and coordinate input system | |
JP2015072175A (en) | Inspection equipment | |
JP2009150690A (en) | Reflection-type optical sensor | |
JP2005186388A (en) | Inkjet printer | |
KR101738188B1 (en) | Relief pattern detection device | |
US8941079B2 (en) | Light irradiation device and light measurement device | |
JP4946603B2 (en) | Light guide and linear light source device | |
JP5190226B2 (en) | Transmission type optical area sensor | |
WO2013094376A1 (en) | Input system | |
US11067433B2 (en) | Optical detection system with light sampling | |
US20130321879A1 (en) | Light guide and image reading apparatus | |
JP2016051146A (en) | Optical detection device | |
JP2013002842A (en) | Liquid sensor | |
JP5544257B2 (en) | Optical line sensor device | |
US20170241773A1 (en) | Surface shape measuring apparatus and defect determining apparatus | |
KR101725797B1 (en) | Light projection head and optical sensor | |
JP6207847B2 (en) | Detection apparatus and detection method | |
JP5199083B2 (en) | Flow path sensor and tube fixture used therefor | |
JP6078294B2 (en) | Touch panel device | |
JP2002148102A (en) | Detector and method for detecting liquid | |
WO2016098872A1 (en) | Surface shape measuring apparatus and defect determining apparatus | |
JP2013190980A (en) | Coordinate input device, coordinate input system, and coordinate input method | |
JP7472636B2 (en) | Light source device, projector and machining device | |
KR101651320B1 (en) | Multi channel photo sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100617 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20101214 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110510 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120619 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120911 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121206 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130128 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5190226 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |