JP2009016510A - 固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターンニング時に、カラーフィルタ材料間の間隔は、カラーフィルタ材料の特性や熱処理時の溶融量を考慮して、溶融後に隙間がなくなるような間隔に設定する。また、アライメント精度による位置ずれを考慮して、カラーフィルター6a、6bおよび6cの端部が互いに重ならないような間隔に設定する。このように、カラーフィルタ6a’、6b’および6c’を、隣接する他の色のカラーフィルタ材料との間に所定の間隔Cが開くように半導体基板1上にパターンニングし、これを加熱処理して流動および硬化させる。
【選択図】図1
Description
該層間絶縁膜上に、感光性を有する第3カラーフィルタ材料を所望の膜厚に塗布し、該複数の受光部に対応した各領域のうち、残る領域にパターンが残されるように露光機を用いて露光し、これに現像液による処理を施して第3カラーフィルタをパターニングする第3カラーフィルタパターニング工程とを有する。
2 受光部(フォトダイオード)
3 ポリシリコンゲート膜(ゲート電極膜)
4 遮光膜
5a、5b、5c 層間絶縁膜
6a’、6b’、6c’ 加熱処理前のカラーフィルタ(パターンニングされたカラーフィルタ材料)
6a、6b、6c 加熱処理後のカラーフィルタ
7 マイクロレンズ
10 CCD型イメージセンサ
Claims (22)
- 半導体基板の表面側に入射光を光電変換させるための複数の受光部が設けられ、該複数の受光部の上方にそれぞれ、該複数の受光部のそれぞれに対応して、入射光を光学的に分光させるための各色のカラーフィルタがそれぞれ設けられた固体撮像素子を製造する方法において、
カラーフィルタ材料を、これに隣接する他の色のカラーフィルタ材料との間に所定の間隔が開くようにパターンニングするカラーフィルタパターンニング工程と、
パターンニングされたカラーフィルタ材料を加熱処理して流動化させ、さらにこれを硬化させて該各色のカラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程とを有する固体撮像素子の製造方法。 - 前記加熱処理時に前記所定の間隔を、前記カラーフィルタ材料を溶融させて埋め込みかつ該カラーフィルタ材料が互いに重ならないように該カラーフィルタ材料の膜厚を設定する請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記加熱処理により前記カラーフィルタ材料を溶融させて、重力により基板平面方向に沿って広げて前記所定の間隔を該カラーフィルタ材料で埋め込む請求項1または2に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタ形成工程は、前記加熱処理を、前記カラーフィルタ材料をパターンニングした後に各色毎に個別に行うかまたは、複数色のカラーフィルタ材料を順次パターンニングした後に該複数色一括または、該複数色のうちの2色を一括して行う請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記加熱処理を前記各色毎に個別に行う場合には、前記カラーフィルタ材料を溶融させて、所定のカラーフィルタ面積まで広げ、かつ、該カラーフィルタ材料と隣接するカラーフィルタ材料との所定の間隔を完全に埋め込む請求項4に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記加熱処理を前記複数色一括または、該複数色のうちの2色を一括して行う場合には、前記加熱処理により前記複数色または前記2色のカラーフィルタ材料を全て同時に溶融させて、前記所定の間隔を完全に前記カラーフィルタの材料で埋め込むまで該カラーフィルタの面積を広げる請求項4に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記加熱処理を 摂氏150度〜摂氏165度の温度で、2〜5分間行う請求項1〜6のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタ材料として、顔料または染料が添加されたポリスチレン系樹脂を用いる請求項1〜6のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記ポリスチレン系樹脂は、レジスト材料にポリヒドロキシスチレンが1wtパーセント以上10wtパーセント以下含有されている請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記顔料として、グリーンカラーフィルタには、イエローの顔料を1.5wtパーセント以上3.5wtパーセント以下と、グリーンの顔料を6.0wtパーセント以上8.0wtパーセント以下とを混合させて含有させた材料を用い、レッドカラーフィルタには、レッドの顔料を5.0wtパーセント以上10.0wtパーセント以下含有させた材料を用い、ブルーカラーフィルタには、α型、β型またはε型結晶形態を有する銅フタロシアニン系ブルーの顔料を4.0wtパーセント以上8.0wtパーセント以下含有させた材料を用いる請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタ材料には、硬化用の熱架橋材が添加されている請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタ材料には、前記熱架橋材として、エポキシ系化合物およびメラニン系樹脂の両方が添加されている請求項11に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記熱架橋材として、前記エポキシ系化合物または前記メラニン系樹脂は0.1wtパーセント以上2.0wtパーセント以下添加されている請求項11に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタパターンニング工程において、前記所定の間隔は、前記カラーフィルタ材料の特性および熱処理時の溶融量により溶融後に隙間がなくなるような間隔に設定されている請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタパターンニング工程において、前記所定の間隔は、アライメント精度による位置ずれ量の限界値により、隣接したカラーフィルタ材料同士が互いに重ならないような間隔に設定されている請求項1または14に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタパターンニング工程において、前記所定の間隔は、0.1μm以上0.2μm以下に設定されている請求項1、14および15のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタパターンニング工程は、
前記半導体基板上に設けられた層間絶縁膜上に、感光性を有する第1カラーフィルタ材料を所望の膜厚に塗布し、前記複数の受光部に対応した各領域のうちの所望の領域のみにパターンが残されるように露光機を用いて露光し、これに現像液による処理を施して第1カラーフィルタをパターニングする第1カラーフィルタパターニング工程と、
該層間絶縁膜上に、感光性を有する第2カラーフィルタ材料を所望の膜厚に塗布し、該複数の受光部に対応した各領域のうち、該所望の領域とは別の所望の領域にパターンが残されるように露光機を用いて露光し、これに現像液による処理を施して第2カラーフィルタをパターニングする第2カラーフィルタパターニング工程と、
該層間絶縁膜上に、感光性を有する第3カラーフィルタ材料を所望の膜厚に塗布し、該複数の受光部に対応した各領域のうち、残る領域にパターンが残されるように露光機を用いて露光し、これに現像液による処理を施して第3カラーフィルタをパターニングする第3カラーフィルタパターニング工程とを有する請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。 - 前記第1カラーフィルタは緑色のカラーフィルタであり、前記第2カラーフィルタは赤色および青色の一方のカラーフィルタであり、前記第3カラーフィルタは赤色および青色の他方のカラーフィルタである請求項17に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記各色のカラーフィルタは、緑色、赤色および青色の3原色かまたは、補色系も用いたイエロー、マゼンダ、シアンおよびグリーンの4色である請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記各色のカラーフィルタはベイヤー配列である請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 請求項1〜20のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法により製造された固体撮像素子であって、
半導体基板の表面側に入射光を光電変換させるための複数の受光部が設けられ、該複数の受光部の上方にそれぞれ、該複数の受光部のそれぞれに対応して、入射光を光学的に分光させるための各色のカラーフィルタがそれぞれ設けられ、該各色のカラーフィルタが、隣接するカラーフィルタ間に隙間がなくかつ隣接するカラーフィルタ同士が互いに重ならないように形成されている固体撮像素子。 - 請求項1〜20のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法により製造された固体撮像素子を画像入力デバイスとして撮像部に用いた電子情報機器。
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