JP2009015654A - Quality management system of work and quality management method of work - Google Patents
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- 238000003326 Quality management system Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000007726 management method Methods 0.000 title description 75
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 395
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 122
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 109
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 38
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 89
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 claims description 67
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 133
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 37
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 25
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000009118 appropriate response Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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Abstract
Description
本発明は、ワークの品質管理システムおよびワークの品質管理方法に関するものであり、特に好適には、ワークの検査データ(ワークに発生した欠陥数など)の経時的な傾向などをリアルタイムで監視し、規格外の数の欠陥を有するワークが検出された場合には、品質管理従事者などに対して当該欠陥が検出された設備(装置)を報知するとともに、検査データの欠陥の発生の経時的な傾向を報知することができるワークの品質管理システムおよびワークの品質管理方法に関するものである。 The present invention relates to a work quality control system and a work quality control method, and particularly preferably, monitors trends in time of work inspection data (such as the number of defects generated in a work) in real time, When a workpiece having a non-standard number of defects is detected, the equipment (device) in which the defect is detected is notified to a quality control worker or the like, and the occurrence of defects in the inspection data over time The present invention relates to a work quality control system and a work quality control method capable of reporting a trend.
ワークの検査データを用いた従来のワークの品質管理方法としては、たとえば、検査装置によってワークの検査を行ってワークの検査データを取得し、その検査データを蓄積させる方法がある。この場合には、たとえば品質管理従事者(検査従事者)が、前記蓄積された検査データを一定数ごとまたは一定時間ごとに検索し、異常な検査データを発見した場合には、前記品質管理従事者(検査従事者)などが、異常が発生した設備(装置)を停止するなどの対応をする。 As a conventional work quality control method using workpiece inspection data, for example, there is a method of inspecting a workpiece by an inspection apparatus to acquire workpiece inspection data and accumulating the inspection data. In this case, for example, when a quality control worker (inspection worker) searches the stored inspection data every predetermined number or every predetermined time and finds abnormal inspection data, the quality control worker The person (inspector) etc. takes measures such as stopping the equipment (device) where the abnormality occurred.
このような方法は、次のような問題点を有している。蓄積される検査データのほとんどは、欠陥数などが規準値内にある(すなわち、良品の)ワークの検査データである。これらのワークの検査データを検索して検査することは、一方では、検査した検査データに対応するワークが良品(欠陥が規準値以内)であることを保障するものであるから、有益なものである。しかしながら他方では、良品の検査データは本来検査する必要がないから、これらを検索して確認することは、時間と労力の無駄になっているといえる。 Such a method has the following problems. Most of the inspection data accumulated is inspection data of a workpiece whose number of defects is within a standard value (that is, a non-defective product). Searching and inspecting the inspection data of these workpieces is useful, on the other hand, because it guarantees that the workpiece corresponding to the inspection data is non-defective (within the standard value). is there. However, on the other hand, it is not necessary to inspect the non-defective product inspection data, and it can be said that searching and checking these data is a waste of time and labor.
また、異常な検査データが発見された場合には、品質管理従事者は、設備の停止や原因の調査など、所定の対応をとらなければならないことがある。その結果、品質管理従事者などは、その対応に時間と労力をかける必要があり、その間、検査データの監視を行うことができなくなることがある。そうすると、ある異常な検査データの発生に対応している間に、別の設備で別の異常な検査データが発生していても、検査従事者はそれに気が付かず、その異常な検査データを見逃してしまうおそれもある。 In addition, when abnormal inspection data is found, the quality control worker may have to take a predetermined measure such as stopping the equipment or investigating the cause. As a result, quality control workers and the like need to spend time and effort on the response, and during that time, inspection data may not be monitored. Then, even if another abnormal inspection data is generated in another facility while dealing with the occurrence of certain abnormal inspection data, the inspection worker is not aware of it and misses the abnormal inspection data. There is also a risk.
異常な検査データが検出された場合における原因の調査方法としては、たとえば特許文献1に記載の構成や、特許文献2に記載の構成などが提案されている。特許文献1に記載の構成は、まず、ワーク(ウェハ)の検査結果と、異常な欠陥が発生したワークにおける当該欠陥の分布の類似度が定量的に評価され、得られた類似度のデータの周期性が解析される。そして解析結果と各製造装置の着工方法との関係が評価され、異常な欠陥の発生の原因工程および装置が推定または確定されるというものである。
As a method for investigating the cause when abnormal inspection data is detected, for example, the configuration described in
また、特許文献2に記載の構成は、半導体製造装置の状態を示すパラメータの管理基準を最適な値に設定できるものである。そして製造された修正回路装置の特性に不良が発生した場合には、不良要因となった工程や半導体製造装置のパラメータが容易に抽出できるというものである。
Further, the configuration described in
ところで、従来の構成では、ワークの品質管理が品質管理従事者の熟練度(スキル)に依存することがあり、ワークの品質を一定にできないことがある。また、突発的に品質に不良が生じた場合には、このような検査データの収集解析を行うことができない場合があり、欠陥を有するワークを発見する機会を逃すおそれがある。さらに、ワークの工程処理履歴に検査データを紐付けして監視する方法がある。しかしながらこのような紐付けられた検査データの監視は、処理装置の増加や管理項目の細分化などによって、品質管理従事者が常時すべての検査データを監視することは物理的に不可能に近い。 By the way, in the conventional configuration, the quality control of the workpiece may depend on the skill level of the quality control worker, and the quality of the workpiece may not be constant. In addition, when quality is suddenly deteriorated, there is a possibility that such collection and analysis of inspection data cannot be performed, and there is a possibility that an opportunity to find a workpiece having a defect may be missed. Furthermore, there is a method of monitoring inspection data by associating it with a process processing history of a workpiece. However, such linked inspection data monitoring is physically impossible for a quality control worker to constantly monitor all inspection data due to an increase in processing devices and fragmentation of management items.
また、特許文献2に記載の構成は、工場内などにおいてリアルタイムで行う品質監視手法としては、品質管理従事者に対するユーザビリティ(ここでは、システムが行った判定に対する検証のプロセスや、不良発生原因と推定される設備がいずれの設備であるかを品質管理従事者に通報する方法)が不十分であると考えられる。
In addition, the configuration described in
そして、このような構成では、品質管理従事者の意思決定プロセスに時間を要することが考えられる。たとえば24時間連続して稼動するような工場(たとえば半導体製造工場)において、前記意思決定プロセスに時間を要すると、その間に規格外の欠陥を有するワーク(すなわち不良品)を生産し続けることになる。したがって、品質管理従事者に対するユーザビリティの向上は、製品の歩留まりの向上の面からも重要である。 And in such a structure, it can be thought that time is required for the decision making process of a quality control worker. For example, in a factory that operates continuously for 24 hours (for example, a semiconductor manufacturing factory), if it takes time for the decision-making process, it will continue to produce workpieces (ie, defective products) having non-standard defects during that time. . Therefore, improvement of usability for quality control workers is important from the viewpoint of improving the yield of products.
このように、従来の構成では、ワークの欠陥(不良)がいずれの設備(工作機械など)が原因で発生しているのかを、速やかに特定することができないことがあった。また、このため、ワークの欠陥がいずれの設備で発生しているのかをリアルタイムで把握し、品質管理従事者に直ちに報知すること、および報知を受けた品質管理従事者が直ちに対策をとることも困難であった。 As described above, in the conventional configuration, it may not be possible to quickly determine which equipment (machine tool or the like) causes the workpiece defect (defect). In addition, for this reason, it is possible to grasp in real time which equipment has a workpiece defect, notify the quality control worker immediately, and the quality control worker who receives the notification immediately takes measures. It was difficult.
さらに従来の構成ではユーザビリティの度合いが低く、このため、いずれの設備が、規格外の欠陥(すなわち不良)を有するワークを発生させる原因となっているかを、品質管理従事者が知るのに手間を要することがある。この結果、規格外の欠陥を有するワークの生産停止までに時間を要することがあり、歩留まりの向上の妨げ、または歩留まりの低下の原因となっていた。 Furthermore, the degree of usability is low in the conventional configuration. Therefore, it takes time and effort for the quality control worker to know which equipment is causing the work having non-standard defects (that is, defects). It may take. As a result, it may take time to stop production of a workpiece having a nonstandard defect, which hinders improvement in yield or causes reduction in yield.
上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、ワークの不良発生をリアルタイムで監視して品質管理従事者などに速やかに報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、例えばいずれの装置においてどのような傾向の不良が発生しているかをリアルタイムで把握し、速やか品質管理従事者などに報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、ユーザビリティの向上の図ることができる品質管理システムおよび品質管理方法を提供すること、例えば、いずれの設備において不良が発生しているかを分かり易く品質管理従事者に報知する品質管理システムおよび品質管理方法を提供することである。 In view of the above circumstances, the problem to be solved by the present invention is to provide a quality management system and a quality management method for monitoring the occurrence of a workpiece defect in real time and promptly notifying a quality control worker, for example, A quality management system and a quality management method for grasping in real time what kind of defects are occurring in the equipment, and promptly informing quality management personnel, etc., and quality management capable of improving usability To provide a system and a quality management method, for example, to provide a quality management system and a quality management method for easily informing a quality management worker of which equipment is defective.
前記課題を解決するため、本発明は、所定の処理を経たワークに存在する欠陥および/または不良の数を略リアルタイムで計数する複数の欠陥計数手段と、該欠陥計数手段が計数した欠陥および/または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶することができる第一の記憶手段と、該第一の記憶手段に記憶される計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理図作成手段と、前記管理図作成手段が作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定手段と、該第一の判定手段が、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上および/または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定手段と、前記第一の判定手段の判定結果および/または前記第二の判定手段の判定結果を略リアルタイムで報知する報知手段とを備えることを要旨とするものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a plurality of defect counting means for counting the number of defects and / or defects existing in a workpiece that has undergone predetermined processing in substantially real time, and the defects and / or counts counted by the defect counting means. Alternatively, a first storage unit that can store defective count data in substantially real time in the order of the workpieces that have undergone the predetermined processing, and the count data stored in the first storage unit, Based on the management chart creation means for creating a management table in which the number of existing defects and / or defects is arranged in the order of the work subjected to the predetermined processing in substantially real time, and the management table created by the management chart creation means In real time, it is determined whether the number of defects and / or defects of the workpiece is greater than or equal to the upper limit reference value and / or less than or equal to the lower limit reference value. The first determination means and the first determination means determine that the number of defects and / or defects of the workpiece is not less than an upper reference value and / or not more than a lower reference value. Whether the number of defects and / or defects that have suddenly exceeded the upper limit reference value or the lower limit reference value or the number of defects and / or defects that the workpiece has gradually depends on the order of the workpieces that have been treated. Second determination means for determining in real time whether the upper limit reference value or the lower limit reference value has been exceeded and the determination result of the first determination means and / or the second determination means The gist of the present invention is to provide a notification means for reporting the determination result in substantially real time.
ここで、前記欠陥数計数手段は、前記所定の処理を行う複数の所定の設備に設けられることが好ましい。そして、前記第一の記憶手段は、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および/または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶することができることが好ましい。 Here, it is preferable that the defect number counting means is provided in a plurality of predetermined facilities for performing the predetermined processing. The first storage means can collectively store the defect and / or defect count data present in the workpiece counted by the defect count means provided in the predetermined plurality of facilities in substantially real time. preferable.
また、ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データを記憶する第二の記憶手段をさらに備え、前記第一の記憶手段が記憶する前記ワークの欠陥および/または不良の計数データと、前記第二の記憶手段が記憶する履歴データとが紐づけられる構成であっても良い。 Further, the apparatus further comprises a second storage unit that stores history data including processing history data for each lot of workpieces, and the workpiece defect and / or defect count data stored in the first storage unit; The history data stored in the second storage unit may be associated with the history data.
また、前記管理図作成手段は、前記第一の記憶手段に記憶される前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成する。そして、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成することが好ましい。 Further, the control chart creating means arranges the number of defects and / or defects existing in the work in the order of the work subjected to the processing based on the count data stored in the first storage means. Create a management table. It is preferable that a graph showing the number of defects and / or defects existing in the work in the order of the work subjected to the predetermined processing is created in substantially real time based on the management table.
前記報知手段は、前記管理図作成手段が作成した前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であることが好ましい。 It is preferable that the notifying means can display a graph showing the number of defects and / or defects existing in the work created by the control chart creating means in the order of the work subjected to the predetermined processing.
また、第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、が好ましい。 Further, when the first determination means determines that a workpiece having the number of defects or defects equal to or higher than the upper reference value and / or lower than the lower reference value has occurred, the notification means generates the work. When it is confirmed that the quality control worker has accepted the notification of the process, the management item of the process determined that the work has occurred is notified, and the quality control worker When it is confirmed that the notification of the management item of the process has been received, it is preferable to notify the apparatus related to the management item of the process determined to have generated the workpiece.
また、第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する構成であっても良い。 Further, when the first determination means determines that a workpiece having the number of defects or defects equal to or higher than the upper reference value and / or lower than the lower reference value has occurred, the notification means generates the work. If it is not possible to confirm that the quality control worker has accepted the notification of the process, the notification of the determined process is continued, and the quality control worker When it is not possible to confirm that the notification has been received, the configuration may be such that the notification of the device relating to the management item of the process in which it is determined that the work has occurred is continued.
また、第二の判定手段による、前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、前記報知手段による報知方法が異なる構成であることが好ましい。 Further, the number of defects or defects of the workpiece suddenly exceeds the upper limit reference value or the lower limit reference value by the second determination means, or the number of defects or defects of the workpiece gradually changes. It is preferable that the notification method by the notification means is different depending on the determination result as to whether the upper limit reference value or the lower limit reference value is exceeded.
また、ワークに存在する欠陥および/または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値が異なる構成とすることが好ましい。 Further, the defect and / or defect present in the workpiece suddenly exceeds the upper limit reference value or the lower limit reference value, or the number of defects and / or defects present in the workpiece is gradually changed, so that the upper limit criterion. It is preferable that the upper limit reference value and the lower limit reference value are different depending on whether the value or the lower limit reference value is exceeded.
また、本発明は、所定の処理を経たワークに存在する欠陥および/または不良の数を略リアルタイムで計数する計数ステップと、前記計数した欠陥および/または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶する記憶ステップと、前記記憶された計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理テーブル作成ステップと、前記作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定ステップと、該第一の判定ステップにおいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上および/または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定ステップと、前記第一の判定ステップの判定結果および/または前記第二の判定ステップの判定結果を略リアルタイムで報知するステップと、を有することを要旨とするものである。 Further, the present invention provides a counting step for counting the number of defects and / or defects existing in a workpiece that has undergone a predetermined process in substantially real time, and the counted data of the counted defects and / or defects is subjected to the predetermined process. A storage step for storing the workpieces in substantially real time in the order of the workpieces passed, and a management in which the number of defects and / or defects existing in the workpieces are arranged in the order of the workpieces subjected to the predetermined processing based on the stored count data. A management table creation step for creating a table in substantially real time, and based on the created management table, the number of defects and / or defects possessed by the work is greater than or equal to an upper limit reference value and / or less than or equal to a lower limit reference value. In the first determination step for determining whether or not the workpiece is in real time, and in the first determination step, the work is present. The number of defects and / or defects of the workpiece suddenly exceeds the upper reference value or the lower reference value. Whether the number of defects and / or defects that the workpiece has gradually changed according to the order of the workpiece subjected to the treatment and exceeded the upper limit reference value or the lower limit reference value, And a step of notifying the determination result of the first determination step and / or the determination result of the second determination step in substantially real time. Is.
ここで、前記欠陥数を計数する計数ステップは、前記所定の処理を行う複数の所定の設備において実行され、前記記憶ステップにおいては、前記所定の複数の設備に設けられる前記欠陥計数手段が計数したワークに存在する欠陥および/または不良の計数データをまとめて略リアルタイムで記憶する方法であることが好ましい。 Here, the counting step for counting the number of defects is executed in a plurality of predetermined facilities for performing the predetermined processing, and in the storing step, the defect counting means provided in the predetermined plurality of facilities is counted. Preferably, the method is a method of storing defect data and / or defect count data existing in the workpiece together in substantially real time.
また、ワークのロットごとの処理履歴のデータが含まれる履歴データと、前記記憶された前記ワークの欠陥および/または不良の計数データとが紐づけられる方法であることが好ましい。 Further, it is preferable that the history data including processing history data for each lot of workpieces is associated with the stored workpiece defect and / or defect count data.
また、前記記憶した前記計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを作成するとともに、該管理テーブルに基づいて前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを略リアルタイムで作成する方法であることが好ましい。 Further, based on the stored count data, a management table in which the number of defects and / or defects existing in the work is arranged in the order of the work subjected to the processing is created, and the management table is used based on the management table. The method is preferably a method of creating a graph showing the number of defects and / or defects present in a workpiece in the order of the workpiece subjected to the predetermined processing in substantially real time.
また、前記作成された前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that a graph showing the number of defects and / or defects existing in the created workpiece in the order of the workpiece subjected to the predetermined processing can be displayed.
また、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知することが好ましい。 In addition, when it is determined that the number of defects or defects is equal to or higher than the upper limit reference value and / or a work having a lower limit reference value or less has occurred, whether the number of defects or defects is equal to or higher than the upper limit reference value If the process determined that a workpiece having a value equal to or lower than the lower limit reference value has occurred and the quality control worker confirms that the notification of the process has been accepted, the number of defects or defects is the upper limit reference value. In the case where it is confirmed that the management item of the process determined that the work that is above and / or below the lower reference value has occurred and the quality control worker has received the notification of the management item of the process is confirmed. It is preferable to notify a device relating to a management item of a process in which it is determined that a workpiece having the number of defects or defects equal to or higher than the upper limit reference value and / or lower than the lower limit reference value has occurred. Arbitrariness.
また、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定された場合において、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する方法であっても良い。 In addition, when it is determined that the number of defects or defects is equal to or higher than the upper limit reference value and / or a work having a lower limit reference value or less has occurred, whether the number of defects or defects is equal to or higher than the upper limit reference value Informing the process that it is determined that a work that is less than or equal to the lower limit reference value has occurred, and if it is not possible to confirm that the quality control worker has received the notification of the process, continue the notification of the determined process, It may be a method of continuing notification of an apparatus related to a management item of a process in which it is determined that a workpiece having the number of defects or defects equal to or higher than an upper limit reference value and / or lower than the lower limit reference value has occurred.
ここで、前記ワークが有する欠陥または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるか、前記ワークが有する欠陥または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるかの判定結果に応じて、報知方法が異なってもよい。 Here, the number of defects or defects that the workpiece has suddenly exceeds the upper limit reference value or the lower limit reference value, or the number of defects or defects that the workpiece has gradually changes to the upper limit reference value or The notification method may be different depending on the determination result as to whether or not the lower limit reference value is exceeded.
また、ワークに存在する欠陥および/または不良が突発的に前記上限規準値または前記下限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に変化していって前記上限規準値または前記下限規準値を超えたかにより、前記上限規準値および前記下限規準値を異ならせる方法であっても良い。 Further, the defect and / or defect present in the workpiece suddenly exceeds the upper limit reference value or the lower limit reference value, or the number of defects and / or defects present in the workpiece is gradually changed, so that the upper limit criterion. The upper limit reference value and the lower limit reference value may be made different depending on whether the value or the lower limit reference value is exceeded.
本発明によれば、本発明に係るワークの品質管理システムが略リアルタイムで、ワークに存在する欠陥および/または不良が規準値内にあるか否かを判定するから、ユーザビリティの向上を図ることができる。また、略リアルタイムで判定するから、欠陥および/または不良を有するワークが発生した場合に、速やかに対策をとることができる。また、欠陥および/または不良の発生傾向を略リアルタイムで判定しているから、設備の状態を略リアルタイムで把握することが可能となる。特に欠陥および/または不良の数の動向把握を行うことにより、設備や装置に対する早期の対策が可能となる。 According to the present invention, the work quality management system according to the present invention determines whether defects and / or defects existing in the work are within the standard value in substantially real time, thereby improving usability. it can. Further, since the determination is made in substantially real time, when a workpiece having a defect and / or a defect is generated, a countermeasure can be taken promptly. Moreover, since the occurrence tendency of defects and / or defects is determined in substantially real time, the state of the facility can be grasped in substantially real time. In particular, by grasping the trend of the number of defects and / or defects, it is possible to take early measures against facilities and apparatuses.
前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルおよびグラフを略リアルタイムで作成すれば、略リアルタイムで設備などの傾向を管理することができる。したがって、設備などの異常を早期に把握することができ、また早期に対応することができる。 If a management table and a graph in which the number of defects and / or defects existing in the workpiece are arranged in the order of the workpiece subjected to the processing are created in substantially real time, the tendency of equipment and the like can be managed in substantially real time. Therefore, it is possible to grasp abnormalities such as equipment at an early stage and to cope with it early.
前記報知手段は、前記管理図作成手段が作成した前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に示したグラフを表示可能であれば、たとえば品質管理従事者は、装置や設備の異常の傾向をビジュアルに把握することができるようになる。したがって、ユーザビリティの向上を図ることができる。 If the notifying means can display a graph showing the number of defects and / or defects existing in the work created by the control chart creating means in the order of the work subjected to the predetermined processing, for example, quality control The worker can visually grasp the tendency of abnormality of the device and equipment. Therefore, usability can be improved.
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知する構成とすれば、次のような作用効果を奏する。すなわち、品質管理従事者は、異常が発生した箇所(欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した箇所)を、いずれの工程であるか工程→当該工程のいずれの管理項目であるか→当該管理項目に含まれるいずれの設備または装置であるか、の順で異常が発生した箇所を知ることができる。このように、大きい項目から小さい項目に向かって、異常が発生した箇所を知ることができる。したがって、品質管理従事者に対するユーザビリティに優れる。 When the first determination means determines that a workpiece having the number of defects or defects equal to or higher than the upper reference value and / or lower than the lower reference value has occurred, the notification means determines that the work has occurred. When the determined process is notified and the quality control worker confirms that the notification of the process has been received, the management item of the process determined that the work has occurred is notified, and the quality control worker When it is confirmed that the notification of the management item is received, the following operational effects can be obtained if the apparatus according to the management item of the process determined to have generated the workpiece is notified. In other words, the quality control worker selects a part where an abnormality has occurred (a part where the number of defects or defects is determined to be greater than or equal to the upper reference value and / or lower than the lower reference value) as any process. It is possible to know the location where an abnormality has occurred in the order of whether or not the process → which management item of the process is → which equipment or device included in the management item. Thus, it is possible to know the location where an abnormality has occurred from a large item to a small item. Therefore, it is excellent in usability for quality control workers.
第一の判定手段が、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した場合において、品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続する構成であると、次のような作用効果を奏する。すなわち、品質管理従事者が報知に対して何らかのアクションを起こすまでは、報知手段は品質管理従事者に対して、欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したことを報知し続けることになる。このため、品質管理従事者は、半強制的に異常に対してアクションをとらされることになり、装置等の異常に対して早期に対応できることになる。 When the first determination means determines that a work has occurred in which the number of defects or defects is greater than or equal to the upper limit reference value and / or less than or equal to the lower limit reference value, the quality control worker accepts notification of the process. If it is not possible to confirm that it has been confirmed, the notification of the determined process is continued. If it is not possible to confirm that the quality control worker has received notification of the management item of the process, it is determined that the work has occurred. If the configuration is such that the notification of the device relating to the process management item is continued, the following operational effects can be obtained. That is, until the quality control worker takes some action on the notification, the notification means tells the quality control worker that the number of defects or defects is greater than or equal to the upper reference value and / or lower than the lower reference value. It will continue to notify that a certain work has occurred. For this reason, the quality control worker is forced to take an action for the abnormality semi-forcedly, and can cope with the abnormality of the device or the like at an early stage.
ワークに存在する欠陥および/または不良の数の前記上限規準値または前記下限規準値の超え方が、突発的であるか、経時的に徐々にであるかによって報知方法が異なると、当該異常の発生原因の予測をつけやすく、異常に対して的確に対応をとることが容易となる。 If the notification method differs depending on whether the number of defects and / or defects present in the workpiece exceeds the upper limit value or the lower limit value, it is sudden or gradual over time. It is easy to make a prediction of the cause of occurrence, and it is easy to take an appropriate response to the abnormality.
ワークに存在する欠陥および/または不良の数の前記上限規準値または前記下限規準値の超え方が、突発的であるか、経時的に徐々にであるかによって前記上限規準値および前記下限規準値が異ならせると、次のような作用効果を奏する。すなわち、たとえば、突発的に越えた場合に比較して、経時的に徐々に越えた場合の前記上限規準値を小さくすると、設備に異常が生じつつある傾向を早期に把握することができ、早期に対応することができる。一方で、突発的に越えた場合の前記上限規準値が大きいと、異常(すなわち欠陥および/または不良を有するワークを生産する)状態になりつつあるという傾向の早期認知の阻害とならない。このように、装置の状態を的確に認知することが容易となる。 The upper reference value and the lower reference value depending on whether the number of defects and / or defects present in the workpiece exceeds the upper reference value or the lower reference value suddenly or gradually over time. If they are different, the following effects are obtained. That is, for example, if the upper limit reference value is gradually reduced over time compared to the case where it suddenly exceeds, it is possible to quickly grasp the tendency that equipment is abnormal, It can correspond to. On the other hand, if the upper limit criterion value when suddenly exceeded is large, it does not hinder early recognition of the tendency of becoming an abnormal state (that is, producing a workpiece having defects and / or defects). Thus, it becomes easy to accurately recognize the state of the apparatus.
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
なお、以下の説明においては、液晶表示パネルのTFTアレイ基板を製造する製造設備に適用される例を用いて説明する。にしたがって、ここでいうワークとは、主にガラス基板や、TFTアレイ基板の半完成品(未完成品)などを指す。但し、本発明は、液晶表示パネルの製造設備に適用される構成に限定されるものではなく、あくまでも説明のための例として示すものである。 In the following description, an example applied to a manufacturing facility for manufacturing a TFT array substrate of a liquid crystal display panel will be described. Accordingly, the work referred to here mainly refers to a glass substrate, a semi-finished product (unfinished product) of a TFT array substrate, and the like. However, this invention is not limited to the structure applied to the manufacturing equipment of a liquid crystal display panel, but is shown as an example for description to the last.
図1は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の概略構成を示したブロック図である。図1に示すように、本発明の実施形態にかかるワークの管理システム1は、所定の数の検査装置11と、第一の記憶手段12と、第二の記憶手段13と、第三の記憶手段14と、管理図作成手段15と、第一の判定手段16と、第二の判定手段17と、報知手段18と、設定手段19と、を備える。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a work
検査装置11は、それぞれ所定の処理装置や加工装置(たとえば洗浄装置やエッチング装置など)など、各種所定の工程のための所定の装置や設備の間に設けられるか、または所定の装置や設備に付随して設けられる。各検査装置が検査する項目は、工程(処理装置や加工装置)の種類に応じて定められる。ただし、共通の検査項目として、処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および/または不良の数がある。すなわち各検査装置11は、所定の処理または加工などを経たワークに存在する欠陥および/または不良の数を、略リアルタイムで計数できる欠陥数計数手段としての機能を有する。
The
第一の記憶手段12は、前記各検査装置11が計数した、各ワークに存在する欠陥および/または不良の数を、集約的、蓄積的かつ略リアルタイムに記憶していくことができる。
The first storage means 12 can store the number of defects and / or defects present in each workpiece, counted by each
第二の記憶手段13は、ワークのロットごとに履歴データを記憶する。履歴データには、各ロットのワークの処理工程、処理設備、処理ユニット、処理時刻などの製造履歴データが含まれる。なお、この履歴データは、たとえば、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1とは別に存在するCIM(Computer Integrated Manufacturing)によって管理されているデータから読み出して記憶される。
The second storage means 13 stores history data for each work lot. The history data includes manufacturing history data such as processing steps, processing equipment, processing units, and processing times of the workpieces of each lot. The history data is read and stored, for example, from data managed by CIM (Computer Integrated Manufacturing) that exists separately from the work
管理図作成手段15は、管理テーブルと傾向管理図とを略リアルタイムで作成および更新する。 The management chart creation means 15 creates and updates the management table and the trend chart in substantially real time.
管理テーブルは、ワークに存在する欠陥および/または不良の数を、各処理または加工において、各処理または加工が施されたワークの順に並べたテーブルである。すなわち、当該処理装置または加工装置が処理または加工したワークに存在する欠陥および/または不良の数を、処理または加工を施したワークの順に並べることにより、所定の処理装置または加工装置における欠陥および/または不良の発生の経時的な変化を示す。 The management table is a table in which the number of defects and / or defects existing in a work is arranged in the order of the work subjected to each processing or processing in each processing or processing. That is, by arranging the number of defects and / or defects present in the workpiece processed or processed by the processing apparatus or processing apparatus in the order of the processed or processed workpiece, defects and / or defects in the predetermined processing apparatus or processing apparatus are arranged. Or, it shows a change over time in the occurrence of defects.
傾向管理図は、ワークのロットごとの欠陥および/または不良の数を、経時的に示したグラフである。すなわち、所定の処理または加工が施されたワークのロットの順に、各ワークのロットに存在する欠陥および/または不良の数示したグラフである。具体的にはたとえば、横軸(定義域)は、所定の処理または加工が施されたワークのロットが、当該処理または加工が施されたワークのロットの順に並べられる。縦軸は、当該処理または加工が施されたワークの各ロットの欠陥および/または不良の数を示す。このように、この傾向管理図は、所定の処理装置または加工装置における欠陥および/または不良の発生の経時的な変化を、ワークのロットごとに示すものである。 The trend control chart is a graph showing the number of defects and / or defects for each lot of work over time. That is, it is a graph showing the number of defects and / or defects present in each lot of workpieces in the order of the lots of workpieces subjected to predetermined processing or processing. Specifically, for example, on the horizontal axis (definition area), lots of workpieces that have been subjected to predetermined processing or processing are arranged in the order of workpiece lots that have been subjected to the processing or processing. The vertical axis indicates the number of defects and / or defects in each lot of the workpiece subjected to the processing or processing. As described above, this trend control chart shows a change with time of occurrence of defects and / or defects in a predetermined processing apparatus or processing apparatus for each lot of workpieces.
第一の判定手段16は、所定の処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および/または不良の数が、規準値の範囲内にあるか、すなわち下限の規準値以上、上限の規準値以下にあるかを判定する。なお、本発明においては、下限の規準値の値を「下限規準値」と称し、上限の規準値の値を「上限規準値」を称することがある。これらの下限規準値と上限規準値は、ワークの種類や、処理装置または加工装置などに応じて適宜設定される。 The first determination means 16 determines whether the number of defects and / or defects existing in a workpiece that has been subjected to predetermined processing or machining is within the range of the reference value, that is, the reference value of the upper limit that is greater than or equal to the reference value of the lower limit. Determine if it is: In the present invention, the value of the lower limit reference value is sometimes referred to as “lower limit reference value”, and the value of the upper limit reference value is sometimes referred to as “upper limit reference value”. These lower limit reference value and upper limit reference value are appropriately set according to the type of workpiece, the processing apparatus, the processing apparatus, or the like.
上限規準値は、ワークに存在する欠陥および/または不良の数の許容上限値である。すなわち、欠陥および/または不良の数が、上限規準値より小さい値のワークは、第一の判定手段により良品であると判定される。一方、欠陥および/または不良の数が、上限規準値以上の値のワークは、第一の判定手段により異常なワークであると判定される。このようにこの上限規準値は、主に、ワークの品質管理を目的として設定される値である。 The upper reference value is an allowable upper limit value of the number of defects and / or defects existing in the workpiece. That is, a workpiece having a number of defects and / or defects smaller than the upper reference value is determined to be a non-defective product by the first determination means. On the other hand, the workpiece having the number of defects and / or defects equal to or greater than the upper reference value is determined as an abnormal workpiece by the first determination means. As described above, the upper limit reference value is a value set mainly for the purpose of work quality control.
下限規準値は、ワークに存在する欠陥および/または不良の数の許容下限値である。すなわち、所定の処理または加工を経たワークの欠陥および/または不良の数が、下限規準値より大きい場合には、当該処理装置または加工装置に付属する検査装置は正常であると判定される。一方、所定の処理または加工を経たワークの欠陥および/または不良の数が、下限規準値より小さい場合には、当該処理装置または加工装置に付属する検査装置は異常であると判定される。 The lower limit reference value is an allowable lower limit value of the number of defects and / or defects present in the workpiece. That is, when the number of defects and / or defects of a workpiece that has undergone predetermined processing or processing is larger than the lower limit reference value, it is determined that the inspection device attached to the processing device or processing device is normal. On the other hand, when the number of defects and / or defects of the workpiece that has undergone predetermined processing or processing is smaller than the lower limit reference value, it is determined that the inspection device attached to the processing device or processing device is abnormal.
すなわち、所定の処理または加工が施されたワークに存在する欠陥および/または不良は、少なければ少ないほど良い。そして理想的には、欠陥および/または不良の数は0であることが好ましい。しかしながら現実には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数をゼロにすることは不可能に近い。 That is, the fewer defects and / or defects that exist in a workpiece that has been subjected to predetermined processing or processing, the better. Ideally, the number of defects and / or defects is preferably zero. However, in reality, it is almost impossible to zero the number of defects and / or defects present in the workpiece.
したがって、通常は、所定の処理または加工が施されたワークには、ある一定数の欠陥および/または不良が存在する。このため、検査装置11がワークに存在する欠陥および/または不良を検出して計数する場合において、計数される欠陥および/または不良の数がある所定の数よりも少なければ、それは、検査装置11に異常があるか、検査能力が著しく低下していると考えられる。すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が、実際に当該ある所定の数よりも少ないとは考えづらい。
Therefore, there is usually a certain number of defects and / or defects in a workpiece that has been subjected to predetermined processing or processing. For this reason, when the
そこで、ワークに存在する欠陥および/または不良の数の下限規準値を設定しておく。そして、検査装置11により検出され計数されるワークに存在する欠陥および/または不良が、この下限規準値より小さい値である場合には、第一の判定手段12は、当該検査装置11に異常があるか、検査能力が著しく低下していると判定する。このように、下限規準値は、主に検査装置の異常を判定するために設定される値である。
Therefore, a lower limit reference value for the number of defects and / or defects existing in the workpiece is set. And when the defect and / or defect which exist in the workpiece | work detected and counted by the
なお、上限規準値には、突発上限規準値と傾向上限規準値との二種類が設定される。同様に下限規準値にも、突発下限規準値と傾向下限規準値との二種類が設定される。 Two types of sudden upper limit reference value and trend upper limit reference value are set as the upper limit reference value. Similarly, two types of sudden lower limit reference value and trend lower limit reference value are set for the lower limit reference value.
突発上限規準値は、検査装置11が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。これに対して傾向上限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に徐々に多くなっていき、その結果この数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。
The sudden upper limit reference value determines that the work is abnormal when the number of defects and / or defects present in the work obtained and counted by the
突発下限規準値は、検査装置11が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より小さくなった場合において、当該検査装置11に異常が発生したか、または検査能力が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。これに対して傾向下限規準値は、検査装置11が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に徐々に少なくなっていき、その結果この数値より小さくなった場合において、当該検査装置11に異常が発生したか、または検査能力11が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。
The sudden lower limit reference value indicates that when the number of defects and / or defects existing in the workpiece obtained and counted by the
第二の判定手段17は、第一の判定手段16により、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が上限規準値より多いと判定された場合において、欠陥および/または不良の数が突発的に増加したものであるのか、徐々に増加したものであるかを判断する。すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良が、突発的に突発上限規準値を超えたのか、徐々に(傾向的に)傾向上限規準値を超えたものであるのかを判定する。
When the
また、第二の判定手段17は、第一の判定手段16により、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が下限規準値より少ないと判定された場合において、欠陥および/または不良の数が突発的に減少したものであるのか、徐々に減少したものであるかを判断する。すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良が、突発的に突発下限規準値を下回ったのか、徐々に(傾向的に)減少していき、その結果傾向下限規準値を下回ったものであるのかを判定する。 Further, the second determination means 17 determines the number of defects and / or defects when the first determination means 16 determines that the number of defects and / or defects present in the workpiece is less than the lower limit reference value. It is judged whether it is a sudden decrease or a gradual decrease. In other words, whether the defects and / or defects existing in the workpiece suddenly fall below the sudden lower limit criterion value, or gradually (trend) decrease, and as a result, fall below the trend lower limit criterion value. Determine.
報知手段18は、第一の判定手段16の判定結果、および第二の判定手段17の判定結果などを作業者(たとえば品質管理従事者など。以下同じ)に報知する。具体的には、各工程の状態(すなわち、どの工程は正常で、どの工程は異常であるか)、異常と判断された工程の管理項目(すなわち、いずれの検査装置において異常が検出されたか)、異常を検知した検査装置11が検査を行う処理装置の状態(すなわち、異常を検知した検査装置11が検査を行っている装置のうち、いずれが正常で、いずれが異常であるか)、を報知できる。さらに、任意の設備の傾向管理図を表示することができる。したがって、異常が発生した装置の傾向管理図を表示して、当該装置により処理または加工されたワークに存在する欠陥および/または不良の数の変化動向を報知することができる。なお、報知手段の構成および動作の詳細については後述する。
The notification means 18 notifies the operator (for example, a quality control worker etc. The same applies hereinafter) of the determination result of the first determination means 16, the determination result of the second determination means 17, and the like. Specifically, the state of each process (that is, which process is normal and which process is abnormal), and the management item of the process determined to be abnormal (that is, in which inspection device the abnormality was detected) The state of the processing apparatus in which the
設定手段19は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の各種パラメータを設定するためのものである。本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の設定は、作業者などによって設定が行われる。具体的には、突発上限規準値、傾向上限規準値、突発下限規準値、傾向下限規準値などが設定される。このほか、検査装置11が多数存在する場合において、いずれの検査装置11を、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1により管理する対象とするか、対象となる検査装置11が検査する複数の項目のうち、いずれの項目を本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1により管理する対象とするか、などが設定される。
The setting means 19 is for setting various parameters of the work
第三の記憶手段14は、設定手段19により設定された設定値が記憶される。そして本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の動作時において適宜その内容が読み出される。そして、この第三の記憶手段14に記憶される設定内容に基づいて、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1が動作する。
The
次に、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の具体的な動作、すなわち、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法について説明する。図2は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の動作、すなわち本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法の流れの概略を示したフローチャートである。以下、主にこのフローチャートを参照して説明する。
Next, a specific operation of the work
まず、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の動作の前提について説明する。各検査装置11が作動しており、ワークを検査し、検査データの取得を継続的に行っている。各検査装置11が取得する検査データの内容は、設定手段19により設定され、第三の記憶手段14に記憶されている。具体的には、各検査装置11がいずれの工程の間に設けられるものであるのか、またはいずれの処理設備などに附属して設けられるものであるのかなどに応じて異なる。ただし、それらの多くには、所定の処理または加工(すなわち所定の工程)を経た後にワークに存在する欠陥および/または不良の数が含まれる。
First, the premise of operation | movement of the
また、各検査装置11および各検査装置11が取得する検査データには、自動監視指定されているものと、されていないものがある。自動監視指定されている検査装置11および検査データは、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1(品質管理方法)によって管理される。一方、自動監視指定されていない検査装置11および検査データは、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1(品質管理方法)によっては管理されない。
In addition, each
なお、いずれの検査装置および検査データが自動監視指定されるは、たとえば作業者などにより決定される。そして設定手段19により設定され、設定された内容は第三の記憶手段14に記憶される。 Note that which inspection device and inspection data are designated for automatic monitoring is determined by, for example, an operator. The contents set by the setting means 19 are stored in the third storage means 14.
まず、ステップS1−1において、各検査装置11が取得している検査データが、第一の記憶手段12に、略リアルタイムかつ蓄積的に記憶されていく。次に、ステップS1−2において、第一の記憶手段12に記憶された検査データが読み出され、管理図作成手段15に送られる。
First, in step S <b> 1-1, the inspection data acquired by each
また、ステップS1−3において、第二の記憶手段13から履歴データが読み出され、ワークのロットまたはワークについて、第一の記憶手段12から読み出された検査データと第二の記憶手段13から読み出された履歴データとがひも付けされる。すなわち、ワークごとに、またはロットごとに検査データと履歴データとがひも付けされる。
In step S 1-3, history data is read from the
次いで、ステップS1−4において、先に読み出された検査データが、自動監視指定されている検査データであるか否かが判別される。そしてステップS1−5において、自動監視指定されていない検査データは除去される。すなわち、自動監視指定されていない検査装置および検査データは、これから先の処理が行われない。なお、先に読み出された検査データが自動監視指定されているか否かは、管理図作成手段15が第三の記憶手段14に記憶される設定値を読み出して判定する。 Next, in step S1-4, it is determined whether or not the previously read inspection data is inspection data that is designated for automatic monitoring. In step S1-5, the inspection data not designated for automatic monitoring is removed. That is, the inspection device and inspection data that are not designated for automatic monitoring are not processed any further. Whether or not the previously read inspection data is designated for automatic monitoring is determined by the control chart creation means 15 by reading the setting value stored in the third storage means 14.
ステップS1−6において、管理図作成手段15は、第一の記憶手段12から読み出した検査データにひも付けられた履歴データを、第二の記憶手段13から読み出す。具体的には、管理図作成手段15は、各検査データが取得されたワークが属するロット、当該ワークの履歴データ、および自動監視指定されている処理工程または加工工程の装置ならびに処理時間などといった履歴データ(すなわち、所定のワークに対する処理または加工の履歴データ)を読み出す。
In step S <b> 1-6, the control
そして、ステップS1−7において、管理図作成手段15は、読み出して選別した検査データおよび履歴データに基づいて、各検査装置11の管理テーブルを作成する。さらに作成した管理テーブルに基づいて、傾向管理図を作成する。
In step S1-7, the management chart creating means 15 creates a management table for each
管理テーブルは、ワークに存在する欠陥および/または不良の数を、各処理または加工において、各処理または加工が施されたワークの順に並べたテーブルである。すなわち、当該処理装置または加工装置が処理または加工したワークに存在する欠陥および/または不良の数を、処理または加工を施したワークの順に並べることにより、所定の処理装置または加工装置における欠陥および/または不良の発生の経時的な変化を示すものである。 The management table is a table in which the number of defects and / or defects existing in a work is arranged in the order of the work subjected to each processing or processing in each processing or processing. That is, by arranging the number of defects and / or defects present in the workpiece processed or processed by the processing apparatus or processing apparatus in the order of the processed or processed workpiece, defects and / or defects in the predetermined processing apparatus or processing apparatus are arranged. Or it shows the change over time of the occurrence of defects.
傾向管理図は、ワークのロットごとの欠陥および/または不良の数を、経時的に示したグラフである。すなわち、所定の処理または加工が施されたワークのロットの順に、各ワークのロットに存在する欠陥および/または不良の数示したグラフである。具体的にはたとえば、横軸(定義域)は、所定の処理または加工が施されたワークのロットが、当該処理または加工が施されたワークのロットの順に並べられる。縦軸は、当該処理または加工が施されたワークの各ロットの欠陥および/または不良の数を示す。このように、この傾向管理図は、所定の処理装置または加工装置における欠陥および/または不良の発生の経時的な変化を、ワークのロットごとに示すものである。 The trend control chart is a graph showing the number of defects and / or defects for each lot of work over time. That is, it is a graph showing the number of defects and / or defects present in each lot of workpieces in the order of the lots of workpieces subjected to predetermined processing or processing. Specifically, for example, on the horizontal axis (definition area), lots of workpieces that have been subjected to predetermined processing or processing are arranged in the order of workpiece lots that have been subjected to the processing or processing. The vertical axis indicates the number of defects and / or defects in each lot of the workpiece subjected to the processing or processing. As described above, this trend control chart shows a change with time of occurrence of defects and / or defects in a predetermined processing apparatus or processing apparatus for each lot of workpieces.
そして、管理図作成手段15は、作成した管理テーブルと、傾向管理図の更新を継続する。すなわち、検査データは経時的に蓄積されていくものである。そこで、管理テーブルと傾向管理図を作成した後、追加的に蓄積された検査データと履歴データとを読み出し、作成した管理テーブルと傾向管理図に追加していく。このデータの追加が管理テーブルと傾向管理図の更新である。 Then, the management chart creation means 15 continues to update the created management table and the trend management chart. That is, the inspection data is accumulated over time. Therefore, after creating the management table and the trend management chart, the additionally accumulated examination data and history data are read out and added to the created management table and the trend management chart. This addition of data is an update of the management table and the trend management chart.
なお、傾向管理図の横軸(定義域)はワークのロットである。そして、ロットの並び順は、所定の処理または加工について、当該所定の処理または加工が施された順である。したがって、傾向管理図の更新とは、当該所定の処理または加工が施された順が最後データを、順に追加していくプロセスである。換言すると傾向管理図には、所定の処理または加工を経たワークに存在する欠陥および/または不良の数などが、当該所定の処理または加工が施されたワークの順に並べられたグラフである。そして、傾向管理図の更新によって、当該所定の処理または加工が施されたワークの順にデータが追加されていく。 The horizontal axis (definition area) of the trend control chart is a lot of work. The lot order is the order in which the predetermined processing or processing is performed for the predetermined processing or processing. Therefore, updating the trend management chart is a process of adding the last data in order of the predetermined processing or processing. In other words, the trend management chart is a graph in which the number of defects and / or defects existing in a workpiece that has undergone predetermined processing or processing is arranged in the order of the workpiece that has undergone the predetermined processing or processing. Then, by updating the trend management chart, data is added in the order of the workpiece subjected to the predetermined processing or processing.
このように傾向管理図は、設定された工程を経たワークまたはワークのロットの順に、検査データがどのように変化しているかを示すグラフとなる。換言すると、この傾向管理図は、検査データの経時的傾向を示すグラフとなる。 As described above, the trend management chart is a graph showing how the inspection data is changed in the order of the workpiece or the lot of workpieces that has passed through the set process. In other words, this trend management chart is a graph showing the temporal trend of the inspection data.
図3は、傾向管理図の具体例を示した図である。図に示すように、傾向管理図は、横軸がワークまたはワークのロットであり、縦軸は検査データ、たとえばワークに存在する欠陥および/または不良の数である。そして横軸のワークまたはワークのロットは、表示設定された処理または加工の順にワークまたはワークのロットが並べられている。すなわち、時間の経過に則っている。縦軸は当該ワークまたはワークのロットに対応する検査データである。したがって、この傾向管理図から、検査データの経時的な変化を読み取ることができる。 FIG. 3 is a diagram showing a specific example of the trend management chart. As shown in the figure, in the trend chart, the horizontal axis is a workpiece or a lot of workpieces, and the vertical axis is inspection data, for example, the number of defects and / or defects present in the workpiece. The horizontal axis of workpieces or workpiece lots are arranged in the order of processing or processing set for display. In other words, it follows the passage of time. The vertical axis is inspection data corresponding to the workpiece or the lot of the workpiece. Therefore, the change with time of the inspection data can be read from this trend control chart.
図2に戻って説明する。次いで第一の判定手段16は、作成され更新が継続される傾向管理図を略リアルタイムで読み取り、ステップS1−8において、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が規準値の範囲内にあるかを判定する。具体的には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が、突発上限基準値を上回っていないか、および突発下限規準値を下回っていないかを、リアルタイムで判定する。なお、「突発上限規準値」と「突発下限規準値」は、ワークの種類や、処理装置または加工装置などに応じて適宜設定される。 Returning to FIG. Next, the first determination means 16 reads the trend control chart that has been created and continued to be updated in substantially real time, and in step S1-8, the number of defects and / or defects present in the work is within the standard value range. Determine whether. Specifically, it is determined in real time whether the number of defects and / or defects present in the workpiece does not exceed the sudden upper limit reference value and does not fall below the sudden lower limit reference value. The “sudden upper limit reference value” and “sudden lower limit reference value” are appropriately set according to the type of workpiece, the processing device, the processing device, or the like.
前記のとおり、突発上限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より大きくなった場合において、当該ワークが異常であると判断するための基準となる数値である。突発下限規準値は、検査装置が取得計数したワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的にこの数値より小さくなった場合において、当該検査装置に異常が発生したか、または検査能力が著しく変化したと判断するための基準となる数値である。 As described above, the sudden upper limit reference value is abnormal when the number of defects and / or defects existing in the workpiece obtained and counted by the inspection apparatus suddenly becomes larger than this value over time. It is a numerical value that serves as a reference for judging. Sudden lower limit standard value is whether the inspection device is abnormal when the number of defects and / or defects present in the workpiece obtained and counted by the inspection device suddenly becomes smaller than this value over time, Alternatively, it is a numerical value that serves as a reference for determining that the inspection capability has changed significantly.
ワークに存在する欠陥および/または不良の数が突発上限規準値より多いと、第一の判定手段16により判定された場合には、第二の判定手段17は、ステップS1−9において、次のような判定を行う。すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に多くなり、突発上限規準値より大きい値となったのか、または、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に増加していって、その結果、突発上限規準値を超えたのかを判定する。 If the number of defects and / or defects present in the workpiece is greater than the sudden upper limit reference value, and the first determination means 16 determines that the second determination means 17 performs the following in step S1-9: Make such a determination. That is, the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly increases over time and becomes a value larger than the sudden upper limit reference value, or the number of defects and / or defects present in the workpiece gradually increases. As a result, it is determined whether or not the sudden upper limit reference value is exceeded.
一方、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が突発下限規準値より少ないと、第一の判定手段16により判定された場合には、第二の判定手段17は、ステップS1−9において、次のような判定を行う。すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に少なくなり、突発下限規準値より小さい値となったのか、または、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発下限規準値を下回ったのかを判定する。 On the other hand, if the first determination means 16 determines that the number of defects and / or defects present in the workpiece is less than the sudden lower limit reference value, the second determination means 17 in step S1-9 The following determination is made. That is, the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly decreases with time and becomes a value smaller than the sudden lower limit reference value, or the number of defects and / or defects present in the workpiece gradually increases. As a result, it is determined whether or not it falls below the sudden lower limit reference value.
なお、突発上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、第二の判定手段17が、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に増加していって、その結果、その結果、突発上限規準値を上回ったと判定することは稀であると考えられる。同様に、突発下限規準値が傾向下限規準値よりも小さい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発下限規準値を下回ったと判定することは稀であると考えられる。 In addition, when it is set to a value larger than the sudden upper limit reference value, the second determination means 17 gradually increases the number of defects and / or defects present in the workpiece, and as a result, As a result, it is rare to determine that the sudden upper limit criterion value has been exceeded. Similarly, when the sudden lower limit reference value is set to a value smaller than the trend lower limit reference value, the number of defects and / or defects existing in the workpiece gradually decreases, and as a result, the sudden lower limit It is considered rare to determine that the value is below the reference value.
すなわち、突発上限規準値が傾向上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に増加していって、その結果、突発上限規準値を超えるよりも前に、傾向上限規準値を超える。そして、この段階で異常が発生したと判断される。このため、突発上限規準値を超えたと判定することは稀であると考えられる。 That is, when the sudden upper limit standard value is set to a value larger than the trend upper limit standard value, the number of defects and / or defects existing in the workpiece gradually increases, and as a result, the sudden upper limit standard value is increased. Before the value is exceeded, the trend threshold is exceeded. Then, it is determined that an abnormality has occurred at this stage. For this reason, it is considered rare to determine that the sudden upper limit reference value has been exceeded.
同様に、突発下限規準値が傾向下限規準値よりも小さい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が徐々に減少していって、その結果、突発上限規準値を下回るよりも前に、傾向下限規準値を下回る。そして、この段階で異常が発生したと判断される。このため、突発下限規準値を超えたと判定することは稀であると考えられる。 Similarly, when the sudden lower limit reference value is set to a value smaller than the trend lower limit reference value, the number of defects and / or defects existing in the workpiece gradually decreases, and as a result, the sudden upper limit Before falling below the threshold, the trend falls below the lower threshold. Then, it is determined that an abnormality has occurred at this stage. For this reason, it is considered rare to determine that the sudden lower limit reference value has been exceeded.
ステップS1−9において、第二の判定手段17によって、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に変化して、突発上限規準値より大きい値となったか、または、突発下限規準値より小さい値となったと判定された場合には、ステップS1−10において、報知手段19はその旨を報知する。なお、具体的な報知態様については後述する。
In step S1-9, the number of defects and / or defects existing in the workpiece has suddenly changed over time and has become larger than the sudden upper limit reference value by the second determination means 17 or suddenly. When it is determined that the value is smaller than the lower limit reference value, in step S1-10, the
次いで、ステップS1−11において、第二の判定手段17は、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が、徐々に増加していって傾向上限規準値を超えたのであるのか否か、または徐々に減少していって傾向下限規準値を下回ったかのであるか否かを判定する。そして、それらの場合には、ステップS1−12において、報知手段19はその旨を報知する。なお、具体的な報知態様については後述する。 Next, in step S1-11, the second determination means 17 determines whether or not the number of defects and / or defects existing in the workpiece has gradually increased and exceeded the tendency upper limit criterion value, or It is determined whether or not the value gradually decreases and falls below the lower trend threshold value. In those cases, the notification means 19 notifies that in step S1-12. A specific notification mode will be described later.
なお、なお、突発上限規準値が傾向上限規準値よりも大きい値に設定されている場合には、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的に増加して傾向上限規準値を上回る現象、または、経時的に突発的に減少して傾向下限規準値を下回る現象が生じうる。しかし、ステップS1−11においては、これらのような場合、すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が、経時的に突発的に増加して傾向上限規準値を上回った場合、または、経時的に突発的に減少して傾向下限規準値を下回った場合には、報知手段は作動しない。 In addition, when the sudden upper limit reference value is set to a value larger than the trend upper limit reference value, the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly increases with time and the upper limit of the trend is reached. A phenomenon that exceeds the standard value or a phenomenon that suddenly decreases with time and falls below the lower limit standard value may occur. However, in step S1-11, in these cases, that is, when the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly increases with time and exceeds the upper limit trend value, or When the value suddenly decreases with time and falls below the lower limit trend value, the notification means does not operate.
そして、ステップS1−13において、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の動作を継続するか終了するかが選択される。ステップS1−13において動作の継続が選択され、ステップS1−1に戻った場合には、検査装置11は新たな検査データを取得しているはずであり、当該新たな検査データについて、前記動作が実行されることになる。そしてステップS1−13において、動作の終了が選択されるまで、このような動作を繰り返す。
In step S1-13, whether to continue or end the operation of the work
次いで、報知手段18の詳細な構成および動作について説明する。
Next, the detailed configuration and operation of the
図4は、報知手段18の構成の概略を模式的に示したブロック図である。図4に示すように報知手段18は、表示手段181と、表示制御手段182と、表示操作手段183とを有する。
FIG. 4 is a block diagram schematically showing the outline of the configuration of the notification means 18. As shown in FIG. 4, the
表示手段181は、画面上に所定の情報を表示できるものであることが好ましい。より好ましくは、所定の表示面積を有する表示デバイスであって、文字や図表を表示できるものがよい。この表示手段181には、たとえば液晶表示パネルやCRTなどが好適に適用できる。表示制御手段182は、表示手段181を制御する。表示操作手段183は、表示手段181を操作するための入力デバイスであり、たとえば表示手段181にどのような文字や図表などを表示させるかを選択したりするために操作される。
The display means 181 is preferably capable of displaying predetermined information on the screen. More preferably, the display device has a predetermined display area and can display characters and diagrams. For example, a liquid crystal display panel or a CRT can be suitably applied to the display means 181. The
具体的な表示操作手段183としては、たとえば、キーボードなどのほか、表示手段181としてタッチパネル方式のものを適用し、当該タッチパネル181により所定の入力を行うことができるものであっても良い。
As a specific
図5(a),(b)は、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システム1の報知手段18の表示手段181の通常の表示画面を示したものである。以下、この表示画面を「第一の表示画面」と称する。第一の表示画面には、ワークの製造設備の各工程と、各工程の状態とが表示される。
FIGS. 5A and 5B show a normal display screen of the
図5(a)は、すべての工程が正常である場合の表示画面である。図5(a)に示すように、所定の工程が正常である場合には、当該工程について「Good」と表示される。厳密には次のとおりである。 FIG. 5A is a display screen when all the processes are normal. As shown in FIG. 5A, when the predetermined process is normal, “Good” is displayed for the process. Strictly, it is as follows.
ここでいう「所定の工程が正常である場合」とは、第一の判定手段16によるワークに存在する欠陥および/または不良の数が規準値内におさまっている状態をいう。そして、管理図作成手段15から報知手段18に送られてくる信号が、「ワークに存在する欠陥および/または不良の数が規準値内におさまっている」というものであれば、報知手段は18、当該検査データの属する工程については、「Good」と表示する。
Here, “when the predetermined process is normal” refers to a state in which the number of defects and / or defects existing in the workpiece by the
そして、ある検査データについて、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に突発上限規準値を超えた場合、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に突発下限規準値を下回った場合、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に徐々に傾向上限規準値を超えた場合、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に徐々に傾向下限規準値を下回った場合のいずれかの場合には、その旨を示す信号が、管理図作成手段15から報知手段18に送られる。 For a certain inspection data, if the number of defects and / or defects present in the workpiece suddenly exceeds the sudden upper limit reference value over time, the number of defects and / or defects present in the workpiece suddenly increases over time. If the number of defects and / or defects present in the workpiece gradually exceeds the tendency upper limit value over time, the number of defects and / or defects present in the workpiece will increase over time. Therefore, in any case where the value gradually falls below the trend lower limit reference value, a signal indicating that fact is sent from the control chart creation means 15 to the notification means 18.
報知手段18は、その旨を示す信号を受信すると、表示手段181の第一は表示画面にその旨を表示する。具体的には、当該異常な検査データが発生した検査装置が属する工程の表示を「Good」から「Alarm」に変更する。図5(b)は、工程3において、判定表示が「Good」から「Alarm」に変更された画面の例を示す。 When the notification means 18 receives the signal indicating that, the first of the display means 181 displays that fact on the display screen. Specifically, the display of the process to which the inspection apparatus in which the abnormal inspection data is generated belongs is changed from “Good” to “Alarm”. FIG. 5B shows an example of a screen in which the determination display is changed from “Good” to “Alarm” in step 3.
なお、「Alarm」の表示方法としては、単に文字を変更するのみではなく、文字色や背景色を変更するものであっても良い。具体的には、赤地に白字で「Alarm」と表示したり、赤地に白字の表示と白地に赤字の表示を交互に繰り返すような表示であっても良い。すなわち、作業者の注意を喚起しやすいような表示であることが好ましい。これにより作業者は、複数ある工程のうち、いずれの工程で異常が発生しているのかを容易に知ることができる。 The display method of “Alarm” is not limited to simply changing the character, but may be a method of changing the character color or the background color. Specifically, “Alarm” may be displayed in white on a red background, or a display in which white display on a red background and red display on a white background are alternately repeated. In other words, it is preferable that the display is easy to call the operator's attention. Thereby, the worker can easily know which process has an abnormality among a plurality of processes.
第一の画面がこのような(図5(b)に示すような)画面に変わった場合には、作業者は、表示操作手段183を用いて、当該「Alarm」を選択しクリック等する。たとえばタッチパネル方式の画面であれば、当該「Alarm」と表示されている箇所を押す。作業者により前記動作が実行されると、表示制御手段182は、画面表示を切り替える。図6は、第一の画面から切り替えられた画面である。以下、第一の画面から前記操作により切り替えられる画面を、「第二の表示画面」と称する。
When the first screen is changed to such a screen (as shown in FIG. 5B), the operator uses the
なお、作業者が、当該「Alarm」を選択しクリック等をしない場合には、表示手段は前記「Alarm」表示を継続する。換言すると、作業者が、当該「Alarm」を選択しクリック等をしない限りは、前記「Alarm」表示を継続する。 When the operator selects the “Alarm” and does not click, the display means continues to display the “Alarm”. In other words, unless the operator selects the “Alarm” and clicks, the “Alarm” display is continued.
第二の表示画面には、まず、「検査装置1」、「検査装置2」、「検査装置3」、・・・、というように、自動監視指定されている検査装置が文字で羅列される。そして、羅列された検査装置11のうち、いずれの検査装置11で異常な検査データが取得されたかがわかるように表示される。具体的には図6に示すように、当該検査装置11が反転表示される。これにより作業者は、異常な検査データを取得した検査装置11が、複数存在する検査装置11のうちのいずれの検査装置11であるかを知ることができる。
On the second display screen, first, the inspection devices designated for automatic monitoring, such as “
異常な検査データとは、すなわち、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に突発上限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に突発的に突発下限規準値を下回ったか、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に徐々に傾向上限規準値を超えたか、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が経時的に徐々に傾向下限規準値を下回ったかのいずれかである。 Abnormal inspection data means that the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly exceeded the sudden upper limit reference value over time, or the number of defects and / or defects present in the workpiece over time. Either the number of defects and / or defects existing in the workpiece suddenly falls below the lower limit criterion value, or the number of defects and / or defects present in the workpiece gradually exceeds the upper limit criterion value over time, or the number of defects and / or defects present in the workpiece over time Either gradually falls below the lower trend threshold.
第二の表示画面に切り替わった場合、作業者は、画面に表示される異常な検査データを取得した検査装置11を選択し、クリックなどをする。異常な検査データを取得した検査装置11が選択され、クリックなどがなされると、表示制御手段182は、当該検査装置11にひも付けられた項目を表示手段181の画面上に展開するように表示する。そして、異常な検査データを検出した設備について、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が異常であることを表示する。
When the screen is switched to the second display screen, the operator selects the
具体的には図6に示すように、展開された表示画面には、異常なデータを取得した検査装置11が検査を行っている設備(装置)を示す項目と、場合によっては当該設備に付随する(または内包される)具体的な設備を示す項目と、当該具体的な設備において発生した欠陥数が異常であるかを示す項目が表示される。
Specifically, as shown in FIG. 6, the expanded display screen includes an item indicating the facility (device) that is inspected by the
そして、表示制御手段182および表示手段181は、規準値の範囲外の欠陥数が発生した設備について、欠陥数の項目に「Alarm」と表示する。なお、欠陥数が規準値の範囲内の設備における欠陥数の項目には、「Good」と表示する。これにより、作業者は、いずれの設備において、異常な欠陥および/または不良が発生しているかを知ることができる。
Then, the
そして作業者は、画面上に展開するように表示されている項目から、「Alarm」表示を選択してクリックなどをする。 Then, the operator selects “Alarm” display from the items displayed so as to be expanded on the screen, and clicks on it.
作業者によって、画面上に展開するように表示されている項目から、「Alarm」表示が選択されてクリックされると、表示制御手段は、表示手段が表示している画面を変更する。すなわち「Alarm」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と、傾向管理図(図3参照)を表示する。これにより作業者は、どの工程のどの検査装置11が検査をしているどの設備について異常が発生しているのかを容易に知ることができる。それとともに傾向管理図が表示されるから、当該検査装置11または当該設備において、ワークに存在する欠陥および/または不良の数の推移を容易に把握することができる。
When an “Alarm” display is selected and clicked from an item displayed to be expanded on the screen by the operator, the display control means changes the screen displayed by the display means. That is, the contents of the items on the upper side of the items for which “Alarm” is displayed and the trend management chart (see FIG. 3) are displayed. Thereby, the operator can easily know which equipment in which which
なお、表示手段181の画面に表示される傾向管理図については、どのデータが異常なデータであるか、およびどのような異常であるかを容易に知ることができるような態様で表示することが好ましい。たとえば傾向管理図中に、突発上限規準値、突発下限規準値、傾向上限規準値、傾向下限規準値のうちの一部または全部を表示し、どのデータがどの規準値の範囲外にあるかを容易に知ることができるようにしても良い。さらに、所定の規準値の範囲外にあるデータについては、規準値の範囲内にあるデータと表示色を異ならせて表示しても良い。このようにすると、どのワークのロットでどのような異常が発生しているかの特定が容易となる。
Note that the trend chart displayed on the screen of the
そして作業者は、傾向管理図を確認し、この傾向管理図に基づいて、異常が発生したロットのワークの調査を実施する。そして当該ロットのワークが不良品であると判定された場合には、当該ロットのワークを処理した処理装置または工作機械であって、異常な検査データが検出された設備を停止する。それとともに、報知手段18の表示操作手段183を操作して当該アラームを解除する。 Then, the worker confirms the trend management chart, and based on the trend management chart, carries out a survey of the work of the lot in which an abnormality has occurred. When it is determined that the work of the lot is a defective product, the processing apparatus or the machine tool that has processed the work of the lot, and the equipment in which abnormal inspection data is detected is stopped. At the same time, the display operation means 183 of the notification means 18 is operated to release the alarm.
一方、当該ロットのワークが不良品として扱うほどのものではないと判断された場合には(たとえばこのまま製造ラインに流しても良いと判断された場合には)、当該アラームが発生している設備を検査する。そして、そのまま稼動させて良いか、いったん稼動を停止させるべきかを判断する。そしてそのまま稼動させても良いと判断した場合には、報知手段の表示操作手段を用いて、当該アラームを解除する。一方、当該設備の稼動を停止すべきと判断した場合には、当該設備の稼動を停止するとともに、報知手段18の表示操作手段183を用いて、当該アラームを解除する。
On the other hand, when it is determined that the work of the lot is not enough to be handled as a defective product (for example, when it is determined that the work can be allowed to flow as it is), the facility where the alarm is generated Inspect. Then, it is determined whether the operation can be performed as it is or whether the operation should be stopped once. When it is determined that the operation can be performed as it is, the alarm is canceled using the display operation unit of the notification unit. On the other hand, when it is determined that the operation of the facility should be stopped, the operation of the facility is stopped and the alarm is canceled using the
なお、当該設備を停止させた後は、原因の調査および対策を施し、再び稼動させることができるようにする。 After stopping the equipment, investigate the cause and take countermeasures so that it can be operated again.
図7は、本発明の実施形態にかかる品質管理システム1の報知手段18の動作を示したフローチャートである。本発明の実施形態にかかる品質管理システム1の報知手段の動作の詳細は前述のとおりであるので、ここでは報知手段18の動作を簡単に説明する。
FIG. 7 is a flowchart showing the operation of the
ステップS2−1において、第一の画面においていずれかの工程に「Alarm」表示があるかが判定される。そして表示がない場合には、判定を継続する。「Alarm」表示が発生した場合には、ステップS2−2において、作業者により当該「Alarm」表示が選択されクリックされたかを判定する。作業者により当該「Alarm」表示が選択されクリックされた場合には、ステップS2−3に進み、表示手段が表示する画面を、第一の画面表示から第二の画面表示に変更する。ステップS2−2において作業者により何らの操作も行われない場合には、当該「Alarm」表示を継続する。 In step S2-1, it is determined whether “Alarm” is displayed in any process on the first screen. If there is no display, the determination is continued. If the “Alarm” display has occurred, it is determined in step S2-2 whether the “Alarm” display has been selected and clicked by the operator. When the “Alarm” display is selected and clicked by the operator, the process proceeds to step S2-3, and the screen displayed by the display unit is changed from the first screen display to the second screen display. If no operation is performed by the operator in step S2-2, the “Alarm” display is continued.
第一の画面表示から第二の画面表示に変更された後(ステップS2−3)、ステップS2−4において、「Alarm」表示がなされている検査装置が選択され、クリックされたかなどが判定される。ステップS2−4において、「Alarm」表示がなされている検査装置11が選択され、クリックされたと判定された場合には、ステップS2−5に進む。一方、作業者により何らの操作も行われない場合には、ステップS2−4において「Alarm」表示を継続する。
After changing from the first screen display to the second screen display (step S2-3), in step S2-4, it is determined whether or not an inspection apparatus displaying “Alarm” is selected and clicked. The If it is determined in step S2-4 that the
ステップS2−5において、表示制御手段182および表示手段181は、当該検査装置にひも付けられた項目を表示手段の画面上に展開するように表示する。そして、異常な検査データを検出した設備について、ワークに存在する欠陥および/または不良の数が異常であることを示す「Alarm」表示を行う。
In step S2-5, the
そしてステップS2−6に進み、このステップS2−6において、作業者がS2−5の「Alarm」表示を選択し、表示操作手段によって当該「Alarm」表示がクリックなどされたかが判定される。当該「Alarm」表示がクリックなどされたと判定された場合には、ステップS2−7に進む。ステップS2−6において作業者により何らの操作が行われないと判定された場合には、当該「Alarm」表示を継続する。 Then, the process proceeds to step S2-6. In step S2-6, the operator selects “Alarm” display in S2-5, and it is determined whether the “Alarm” display is clicked by the display operation unit. If it is determined that the “Alarm” display has been clicked, the process proceeds to step S2-7. When it is determined in step S2-6 that no operation is performed by the worker, the “Alarm” display is continued.
ステップS2−6において、ステップS2−5の「Alarm」表示がクリックなどされたと判定され、ステップS2−7に進んだ場合には、ステップS2−7において、「Alarm」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と、傾向管理図を表示する。 If it is determined in step S2-6 that the “Alarm” display in step S2-5 has been clicked or the like, and the process proceeds to step S2-7, the item “Alarm” is displayed in step S2-7. The contents of the higher-level items and the trend chart are displayed.
そしてステップS2−8に進む。ステップS2−8においては、「Alarm」表示を解除する操作が行われたか否かが判定される。「Alarm」表示を解除する操作が行われたと判定された場合には、「Alarm」表示を解除する。一方、「Alarm」表示を解除する操作が行われないと判定された場合には、当該「Alarm」表示を継続する。 Then, the process proceeds to step S2-8. In step S2-8, it is determined whether or not an operation for canceling the “Alarm” display has been performed. When it is determined that an operation for canceling the “Alarm” display is performed, the “Alarm” display is canceled. On the other hand, when it is determined that the operation for canceling the “Alarm” display is not performed, the “Alarm” display is continued.
なお、前記のとおり、「Alarm」表示がなされている項目の上位側の項目の内容と傾向管理図の表示を開始してから、「Alarm」表示を解除する操作が行われたと判断されたまでの間に、作業者などは次の行為を行う。 As described above, from the start of the display of the contents and trend control chart of the items on the upper side of the item displaying “Alarm”, until it is determined that the operation of canceling the “Alarm” display has been performed. In the meantime, workers etc. perform the following actions.
傾向管理図を確認し、この傾向管理図に基づいて、異常が発生したロットのワークの調査を実施する。そして当該ロットのワークが不良品であると判定された場合には、当該ロットのワークを処理した処理装置または工作機械であって、異常な検査データが検出された設備を停止する。 The trend control chart is confirmed, and based on the trend management chart, the work of the lot in which an abnormality has occurred is investigated. When it is determined that the work of the lot is a defective product, the processing apparatus or the machine tool that has processed the work of the lot, and the equipment in which abnormal inspection data is detected is stopped.
一方、当該ロットのワークが不良品として扱うほどのものではないと判断された場合には(たとえばこのまま製造ラインに流しても良いと判断された場合には)、当該アラームが発生している設備を検査する。そして、そのまま稼動させて良いか、いったん稼動を停止させるべきかを判断する。一方、当該設備の稼動を停止すべきと判断した場合には、当該設備の稼動を停止する。 On the other hand, when it is determined that the work of the lot is not enough to be handled as a defective product (for example, when it is determined that the work can be allowed to flow as it is), the facility where the alarm is generated Inspect. Then, it is determined whether the operation can be performed as it is or whether the operation should be stopped once. On the other hand, when it is determined that the operation of the facility should be stopped, the operation of the facility is stopped.
以上、本発明の実施形態にかかるワークの品質管理システムおよび本発明の実施形態にかかるワークの品質管理方法について詳細に説明したが、本発明は前記実施形態に何ら限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。 The work quality management system according to the embodiment of the present invention and the work quality management method according to the embodiment of the present invention have been described in detail above, but the present invention is not limited to the embodiment. Various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
1ワークの品質管理システム
11 検査装置
12 第一の記憶手段
13 第二の記憶手段
14 第三の記憶手段
15 管理図作成手段
16 第一の判定手段
17 第二の判定手段
18 報知手段
181 表示手段
182 表示制御手段
183 表示操作手段
19 設定手段
1 work
Claims (18)
該欠陥計数手段が計数した欠陥および/または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶することができる第一の記憶手段と、
該第一の記憶手段に記憶される計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理図作成手段と、
前記管理図作成手段が作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定手段と、
該第一の判定手段が、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上および/または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定手段と、
前記第一の判定手段の判定結果および/または前記第二の判定手段の判定結果を略リアルタイムで報知する報知手段と、
を備えることを特徴とするワークの品質管理システム。 A plurality of defect counting means for counting the number of defects and / or defects existing in a workpiece that has undergone predetermined processing in substantially real time;
First storage means capable of storing defect and / or defect count data counted by the defect counting means in substantially real time in the order of the workpieces having undergone the predetermined processing;
Based on the count data stored in the first storage means, a management table in which the number of defects and / or defects existing in the workpiece is arranged in the order of the workpiece subjected to the predetermined processing is created in substantially real time. Control chart creation means;
Based on the management table created by the control chart creating means, it is determined in substantially real time whether the number of defects and / or defects of the work is greater than or equal to the upper limit reference value and / or less than or equal to the lower limit reference value. First determining means to perform,
When the first determination means determines that the number of defects and / or defects that the workpiece has is not less than the upper reference value and / or not more than the lower reference value, the number of defects and / or defects that the workpiece has. The number of defects and / or defects of the workpiece gradually changes according to the order of the workpieces that have been treated, or the upper limit reference value or A second determination means for determining whether or not the lower limit reference value is exceeded in substantially real time;
An informing means for informing the determination result of the first determination means and / or the determination result of the second determination means in substantially real time;
A workpiece quality control system characterized by comprising:
前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、
を特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のワークの品質管理システム。 In the case where the first determination means determines that a work has occurred in which the number of defects or defects is not less than the upper reference value and / or not more than the lower reference value,
The informing means informs the process of determining that the workpiece has occurred,
If it is confirmed that the quality control worker has received the notification of the process, the management item of the process determined that the work has occurred,
If it is confirmed that a quality control worker has received notification of the management item of the process, informing the device related to the management item of the process determined that the work has occurred,
The work quality control system according to any one of claims 1 to 5, wherein:
前記報知手段は、前記ワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記ワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続すること、
を特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載のワークの品質管理システム。 In the case where the first determination means determines that a work has occurred in which the number of defects or defects is not less than the upper reference value and / or not more than the lower reference value,
The informing means informs the process of determining that the workpiece has occurred,
If quality control personnel cannot confirm that the process notification has been accepted, continue the notification of the determined process,
If it is not possible to confirm that the quality control worker has received the notification of the management item of the process, continuing the notification of the device according to the management item of the process determined that the work has occurred
The work quality control system according to any one of claims 1 to 6, wherein:
前記計数した欠陥および/または不良の計数データを、前記所定の処理を経たワークの順に略リアルタイムで記憶する記憶ステップと、
前記記憶された計数データに基づいて、前記ワークに存在する欠陥および/または不良の数を前記所定の処理が施されたワークの順に並べた管理テーブルを略リアルタイムで作成する管理テーブル作成ステップと、
前記作成した管理テーブルに基づいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるか否かを略リアルタイムで判定する第一の判定ステップと、
該第一の判定ステップにおいて、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が上限規準値以上および/または下限規準値以下であると判定した場合において、前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が突発的に上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、処置が施されたワークの順に応じて前記ワークが有する欠陥および/または不良の数が徐々に変化して上限基準値または下限規準値を超えたものであるのか、を略リアルタイムで判定する第二の判定ステップと、
前記第一の判定ステップの判定結果および/または前記第二の判定ステップの判定結果を略リアルタイムで報知するステップと、
を有することを特徴とするワークの品質管理方法。 A counting step for counting in real time the number of defects and / or defects present in a workpiece that has undergone predetermined processing;
A storage step of storing the counted defect and / or defect count data in substantially real time in the order of the workpieces that have undergone the predetermined processing;
A management table creating step for creating a management table in which the number of defects and / or defects existing in the workpiece are arranged in the order of the workpieces that have undergone the predetermined processing based on the stored count data;
Based on the created management table, a first determination for determining in real time whether the number of defects and / or defects of the workpiece is greater than or equal to an upper limit reference value and / or less than or equal to a lower limit reference value. Steps,
In the first determination step, when it is determined that the number of defects and / or defects that the workpiece has is not less than the upper reference value and / or not more than the lower reference value, the number of defects and / or defects that the workpiece has. The number of defects and / or defects of the workpiece gradually changes according to the order of the workpieces that have been treated, or the upper limit reference value or A second determination step for determining in substantially real time whether the lower limit reference value is exceeded;
Informing the determination result of the first determination step and / or the determination result of the second determination step in substantially real time;
A work quality control method characterized by comprising:
前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目を報知し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認した場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置を報知すること、
を特徴とする請求項10から請求項14のいずれかに記載のワークの品質管理方法。 When it is determined that the number of defects or defects is greater than or equal to the upper reference value and / or a workpiece that is less than or equal to the lower reference value has occurred,
Informing the process of determining that the number of the defects or defects is greater than or equal to the upper reference value and / or that a workpiece having a lower reference value or less has occurred,
When it is confirmed that a quality control worker has received the notification of the process, it is determined that a work has occurred in which the number of the defects or defects is equal to or higher than the upper reference value and / or lower than the lower reference value. Inform process management items,
When it was confirmed that a quality control worker received notification of the management item of the process, there was a work in which the number of the defects or defects was not less than the upper limit value and / or not more than the lower limit value. Informing the device related to the management item of the process determined to be,
The work quality control method according to any one of claims 10 to 14, wherein:
前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程を報知し、
品質管理従事者が前記工程の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記判定した工程の報知を継続し、
品質管理従事者が前記工程の管理項目の報知を受け付けたことを確認できない場合には、前記欠陥または不良の数が上限規準値以上であるかおよび/または下限規準値以下であるワークが発生したと判定した工程の管理項目にかかる装置の報知を継続すること、
を特徴とする請求項10から請求項15のいずれかに記載のワークの品質管理方法。 When it is determined that the number of defects or defects is greater than or equal to the upper reference value and / or a workpiece that is less than or equal to the lower reference value has occurred,
Informing the process of determining that the number of the defects or defects is greater than or equal to the upper reference value and / or that a workpiece having a lower reference value or less has occurred,
If quality control personnel cannot confirm that the process notification has been accepted, continue the notification of the determined process,
When it is not possible to confirm that the quality control worker has received the notification of the management item of the process, there is a work in which the number of the defects or defects is equal to or higher than the upper reference value and / or lower than the lower reference value. Continuing the notification of the device related to the management item of the process determined to be,
The work quality control method according to any one of claims 10 to 15, wherein:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=40356474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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JP2010250401A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | Tendency monitoring system |
US20210323150A1 (en) * | 2020-04-21 | 2021-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus monitoring target, control method therefor, and storage medium storing control program therefor |
CN116307342A (en) * | 2023-01-29 | 2023-06-23 | 深圳康荣电子有限公司 | Production control method and control device of touch display screen |
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-
2007
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010250401A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | Tendency monitoring system |
US20210323150A1 (en) * | 2020-04-21 | 2021-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus monitoring target, control method therefor, and storage medium storing control program therefor |
US11839980B2 (en) * | 2020-04-21 | 2023-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Image processing apparatus monitoring target, control method therefor, and storage medium storing control program therefor |
CN116307342A (en) * | 2023-01-29 | 2023-06-23 | 深圳康荣电子有限公司 | Production control method and control device of touch display screen |
CN117236972A (en) * | 2023-11-13 | 2023-12-15 | 浪潮(山东)农业互联网有限公司 | Agricultural product traceability management method and system based on blockchain technology |
CN117236972B (en) * | 2023-11-13 | 2024-02-09 | 浪潮(山东)农业互联网有限公司 | Agricultural product traceability management method and system based on blockchain technology |
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