JP2009004409A - Apparatus and method for manufacturing etching foil for electrolytic capacitor - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and method for manufacturing an etching foil for an electrolytic capacitor which prevent a drop in an etching rate due to unnecessary chemical dissolution of an aluminum foil. <P>SOLUTION: According to the apparatus 1 for manufacturing the etching foil for the electrolytic capacitor, unnecessary chemical dissolution of the aluminum foil 10 tends to occur around an in-liquid roller 25 in an etching bath 20 holding an etching liquid and such an electroless location is separated from a spot opposite to electrodes 21 and 22. For this reason, such a nonelectrolyte spot is isolated from the surroundings via an enclosure 30, which is filled with water. A place encircled with the enclosure 30 is thus filled with water or an etching liquid having extremely low acid concentration. Inside the enclosure 30, therefore, unnecessary chemical dissolution does not occur on the surface of the aluminum foil 10 even if the aluminum foil 10 is disposed at the nonelectrolyte spot not opposite to the electrodes 21 and 22. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、アルミニウム電解コンデンサに用いられる電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置および製造方法に関するものである。   The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method of an electrolytic capacitor etching foil used for an aluminum electrolytic capacitor.

昨今、電子機器の小形化に伴い、コンデンサの高容量化が望まれている。電解コンデンサの静電容量を増加させる方法としては、電極箔として使用するアルミニウム箔の表面積を拡大させる方法が挙げられ、これを達成する手段としては、塩酸を含むエッチング液中でアルミニウム箔に通電してアルミニウム箔の表面を電気化学的に粗面化する方法が一般的である。
このような方法を実施するための電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置は、例えば、図3に示すように、エッチング液が貯留されたエッチング槽120を有しており、エッチング槽120の内部には、アルミニウム箔10の走行経路を規定する液中ローラ125と、エッチング槽120内でアルミニウム箔に対向する電極121、122とが配置されている。(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。
In recent years, with the miniaturization of electronic devices, it is desired to increase the capacity of capacitors. As a method of increasing the electrostatic capacitance of the electrolytic capacitor, there is a method of increasing the surface area of the aluminum foil used as the electrode foil. As a means for achieving this, the aluminum foil is energized in an etching solution containing hydrochloric acid. In general, the surface of the aluminum foil is electrochemically roughened.
An apparatus for manufacturing an electrolytic capacitor etching foil for carrying out such a method has an etching tank 120 in which an etching solution is stored, for example, as shown in FIG. A submerged roller 125 that defines the travel path of the aluminum foil 10 and electrodes 121 and 122 that face the aluminum foil in the etching tank 120 are disposed. (For example, refer to Patent Document 1 and Non-Patent Document 1).

特開2005−243671JP-A-2005-243671 永田伊佐也著、「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」、日本蓄電気工業株式会社、平成9年2月24日、第2版第1刷、P250−252Isaya Nagata, “Electrolytic Cathode Aluminum Electrolytic Capacitor”, Nihon Bunkyo Kogyo Co., Ltd., February 24, 1997, Second Edition, 1st Printing, P250-252

しかしながら、図3に示す製造装置100では、液中ローラ125の周辺には電極121、122が配置されていないため、アルミニウム箔10が液中ローラ125の周辺を走行する間、アルミニウム箔10には通電が行われない。
このため、液中ローラ125の周辺を走行する間、アルミニウム箔10の表面では無駄な化学溶解が起こり、アルミニウム箔10のエッチング倍率が低下するという問題がある。
特に、アルミニウム箔10におけるピット長、ピット数を増大させ、表面積を増加させるには、エッチング電気量を大きくする必要があるので、アルミニウム箔10の走行速度を遅く設定する。その結果、アルミニウム箔10が液中ローラ125の周辺を通過する時間が長くなり、アルミニウム箔10の表面での無駄な化学溶解が激しくなるという問題がある。
However, in the manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 3, since the electrodes 121 and 122 are not disposed around the submerged roller 125, while the aluminum foil 10 travels around the submerged roller 125, the aluminum foil 10 includes Power is not supplied.
For this reason, while traveling around the submerged roller 125, there is a problem that wasteful chemical dissolution occurs on the surface of the aluminum foil 10 and the etching magnification of the aluminum foil 10 is lowered.
In particular, in order to increase the pit length and the number of pits in the aluminum foil 10 and increase the surface area, it is necessary to increase the amount of electricity to be etched, so the traveling speed of the aluminum foil 10 is set to be slow. As a result, it takes a long time for the aluminum foil 10 to pass around the submerged roller 125, and there is a problem that wasteful chemical dissolution on the surface of the aluminum foil 10 becomes intense.

以上の問題に鑑みて、本発明の課題は、アルミニウム箔の無駄な化学溶解によるエッチング倍率の低下を防止することのできる電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置および製造方法を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an electrolytic capacitor etching foil manufacturing apparatus and manufacturing method capable of preventing a reduction in etching magnification due to wasteful chemical dissolution of an aluminum foil.

本発明は上記課題を解決するものでありエッチング液が貯留されたエッチング槽と、該エッチング槽内で前記アルミニウム箔の走行経路を規定する液中ローラと、前記エッチング槽内で走行する前記アルミニウム箔に対向する電極とを備えた電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置において、前記エッチング槽内に、該エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行経路のうち、前記電極との対向箇所から外れた無電解箇所をエッチング液から分離する隔壁が配置されていることを特徴とする。   The present invention solves the above-described problem, and an etching tank in which an etching solution is stored, a submerged roller that defines a travel path of the aluminum foil in the etching tank, and the aluminum foil that travels in the etching tank. In the manufacturing apparatus for an electrolytic capacitor etching foil provided with an electrode facing the electroless capacitor, an electroless portion in the etching tank that is out of a position facing the electrode in a traveling path of the aluminum foil in the etching tank. A partition wall for separating the substrate from the etching solution is disposed.

また、エッチング液が貯留されたエッチング槽と、前記エッチング槽内の液中ローラにより規定された走行経路に沿ってアルミニウム箔を走行させながら、前記エッチング槽内のアルミニウム箔に対向する電極に通電し、アルミニウム箔に電解エッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、前記エッチング槽内に、該エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行経路のうち、前記電極との対向箇所から外れた無電解箇所をエッチング液から分離する隔壁を配置しておくことを特徴とする。   The electrode facing the aluminum foil in the etching tank is energized while running the aluminum foil along the traveling path defined by the etching tank storing the etching liquid and the submerged roller in the etching tank. In the method for producing an electrolytic capacitor etching foil for performing electrolytic etching on an aluminum foil, in the etching tank, the electroless portion of the traveling path of the aluminum foil in the etching tank is deviated from the position facing the electrode. A partition wall is separated from the etching solution.

本発明においては、エッチング槽内のうち、前記電極との対向箇所から外れた無電解箇所、すなわち、液中ローラが配置されている箇所周辺では、無電解状態となって無駄な化学溶解が発生するので、当該箇所を、隔壁によって周囲から分離する。
その結果、当該箇所で、化学溶解が発生しても、隔壁の外側に比してエッチング液中のアルミニウム濃度が高いため、化学溶解を最小限に抑えることができる。
また、後述するように、隔壁により分離された空間内に、水、または前記エッチング液より低濃度のエッチング液を供給することで、前記隔壁により分離された空間内のエッチング液の酸濃度を低くできるので、化学溶解が発生しにくくなる。それ故、アルミニウムエッチング箔を製造する際、無駄な化学溶解に起因するエッチング倍率の低下を防止することができるので、静電容量の高い電解コンデンサ用エッチング箔を製造することができる。
In the present invention, in the etching tank, an electroless portion that is out of a position facing the electrode, that is, around the portion where the submerged roller is disposed, becomes an electroless state and wasteful chemical dissolution occurs. Therefore, the said part is isolate | separated from the circumference | surroundings by a partition.
As a result, even if chemical dissolution occurs at the location, the chemical concentration can be minimized because the aluminum concentration in the etching solution is higher than that outside the partition wall.
Further, as will be described later, by supplying water or an etchant having a lower concentration than the etchant into the space separated by the partition, the acid concentration of the etchant in the space separated by the partition is lowered. As a result, chemical dissolution is less likely to occur. Therefore, when manufacturing an aluminum etching foil, it is possible to prevent a reduction in etching magnification due to useless chemical dissolution, and thus it is possible to manufacture an electrolytic capacitor etching foil having a high capacitance.

本発明において、前記隔壁は、前記無電解箇所としての前記液中ローラおよびその周辺を前記エッチング液から分離可能な箇所に配置される。
特に、隔壁は、電極下端に設けると漏れ電流による電気化学溶解も抑制することができる。
In this invention, the said partition is arrange | positioned in the location which can isolate | separate the said liquid roller as the said electroless location, and its periphery from the said etching liquid.
In particular, when the partition wall is provided at the lower end of the electrode, electrochemical dissolution due to leakage current can also be suppressed.

本発明において、前記隔壁により分離された空間内では、水、または前記エッチング液より低濃度のエッチング液を供給するための給水口が備えられていることが好ましい。
このように構成することで、給水口から次々に、水、または低濃度のエッチング液が供給され、前記隔壁により分離された空間内のエッチング液の酸濃度を低くできるので、無駄な化学溶解が発生しにくい。
それ故、アルミニウムエッチング箔を製造する際、無駄な化学溶解に起因するエッチング倍率の低下を防止することができる。
In the present invention, it is preferable that a water supply port for supplying water or an etching solution having a lower concentration than the etching solution is provided in the space separated by the partition walls.
By configuring in this way, water or low-concentration etching solution is supplied one after another from the water supply port, and the acid concentration of the etching solution in the space separated by the partition wall can be lowered, so that wasteful chemical dissolution is prevented. Hard to occur.
Therefore, when manufacturing an aluminum etching foil, it is possible to prevent a reduction in etching magnification due to useless chemical dissolution.

この場合、前記給水口は、前記隔壁により分離された空間内の下部に備えられていることが好ましい。隔壁により分離された空間内の下部から水または低濃度のエッチング液を供給すると、隔壁で囲まれた空間全体に行き渡らせることができる。   In this case, it is preferable that the water supply port is provided at a lower portion in a space separated by the partition wall. When water or a low-concentration etching solution is supplied from the lower part in the space separated by the partition walls, the entire space surrounded by the partition walls can be spread.

本発明では、前記隔壁において前記アルミニウム箔を通過させる開口部は、前記アルミニウム箔を両側から挟むように配置された複数本の丸棒(円管を含む)により塞がれていることが好ましい。このように構成することで、隔壁の内側へのエッチング液の流入を防止でき、アルミニウム箔の化学溶解を防止することができる。   In this invention, it is preferable that the opening part which lets the said aluminum foil pass in the said partition is obstruct | occluded by the several round bar (a circular tube is included) arrange | positioned so that the said aluminum foil may be pinched | interposed from both sides. By comprising in this way, inflow of the etching liquid to the inner side of a partition can be prevented, and chemical dissolution of aluminum foil can be prevented.

本発明においては、エッチング槽内のうち、前記電極との対向箇所から外れた箇所、すなわち、液中ローラが配置されている箇所では、無電解状態となってアルミニウム箔の化学溶解が発生するので、当該箇所を、隔壁によって周囲から分離する。
このため、隔壁で周辺から分離された空間内では、隔壁の外側よりエッチング液中のアルミニウム濃度が高いため、アルミニウム箔の化学溶解が発生しにくい。
それ故、アルミニウムエッチング箔を製造する際、アルミニウム箔の化学溶解に起因するエッチング倍率の低下を防止できるので、静電容量の高い電解コンデンサ用エッチング箔を製造することができる。
In the present invention, in the etching tank, the location away from the location facing the electrode, i.e., the location where the submerged roller is disposed, becomes an electroless state and the chemical dissolution of the aluminum foil occurs. The said part is isolate | separated from the circumference | surroundings by a partition.
For this reason, in the space separated from the periphery by the partition wall, the aluminum concentration in the etching solution is higher than the outside of the partition wall, so that chemical dissolution of the aluminum foil hardly occurs.
Therefore, when manufacturing the aluminum etching foil, it is possible to prevent a reduction in etching magnification due to chemical dissolution of the aluminum foil, and thus it is possible to manufacture an electrolytic capacitor etching foil having a high capacitance.

また、隔壁により分離された空間内に水または低濃度のエッチング液を供給することでエッチング液の酸濃度を低くすることができ、隔壁により分離された空間内でのアルミニウム箔の化学溶解をより確実に抑制することができる。   In addition, by supplying water or a low-concentration etchant into the space separated by the partition walls, the acid concentration of the etchant can be lowered, and the chemical dissolution of the aluminum foil in the space separated by the partition walls can be further improved. It can be surely suppressed.

以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described.

[電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置の構成]
図1は、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置の要部構成図である。
図2(a)、(b)は各々、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に用いたエッチング槽の平面図、およびその底部分の拡大断面図である。
[Configuration of Electrolytic Capacitor Etching Foil Manufacturing Equipment]
FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of an apparatus for manufacturing an etching foil for electrolytic capacitors to which the present invention is applied.
2A and 2B are a plan view of an etching tank used in an apparatus for manufacturing an electrolytic capacitor etching foil to which the present invention is applied, and an enlarged sectional view of a bottom portion thereof.

図1および図2(a)、(b)に示すように、本発明の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置1は、エッチング液が貯留されたエッチング槽20を有しており、エッチング槽20の内部には、エッチング槽20内におけるアルミニウム箔10の走行経路を規定する液中ローラ25と、エッチング槽20内でアルミニウム箔10に対向する電極21、22とが配置されている。
液中ローラ25は、エッチング槽20内における底部側に配置され、エッチング槽20の上方位置には給電ローラ26が配置されている。電極21、22は、アルミニウム箔10のうち、給電ローラ26と液中ローラ25との間を走行する部分に対して両側から対向している。エッチング槽20には、エッチング液が供給されており、エッチング槽20中のエッチング液は常時、オーバーフローする状態にあり、エッチング槽20中には溶出したアルミニウムイオンが一定濃度に保たれている。
As shown in FIG. 1 and FIGS. 2 (a) and 2 (b), the electrolytic capacitor etching foil manufacturing apparatus 1 of the present invention has an etching tank 20 in which an etching solution is stored. Inside, the submerged roller 25 which prescribes | regulates the travel path of the aluminum foil 10 in the etching tank 20, and the electrodes 21 and 22 which oppose the aluminum foil 10 in the etching tank 20 are arrange | positioned.
The submerged roller 25 is disposed on the bottom side in the etching tank 20, and a power feeding roller 26 is disposed above the etching tank 20. The electrodes 21 and 22 face the portion of the aluminum foil 10 that travels between the power supply roller 26 and the submerged roller 25 from both sides. An etching solution is supplied to the etching bath 20, and the etching solution in the etching bath 20 always overflows, and the eluted aluminum ions are kept at a constant concentration in the etching bath 20.

このように構成した製造装置1において、液中ローラ25の周辺(無電解箇所)には電極21、22が配置されていないため、アルミニウム箔10が液中ローラ25の周辺を走行する間、アルミニウム箔10には通電が行われない。
そこで、本形態では、エッチング槽20の底部側には、液中ローラ25の周りを囲むように筐体30が配置されている。筐体30の材質としては、エッチング液に対する耐溶解性、耐熱性、および強度を満たすものであればよく、例えば、耐熱塩化ビニル、PP(ポリプロピレン)、FRP(繊維強化プラスチック)などが適している。
In the manufacturing apparatus 1 configured as described above, since the electrodes 21 and 22 are not disposed around the submerged roller 25 (electroless portion), while the aluminum foil 10 travels around the submerged roller 25, aluminum is used. The foil 10 is not energized.
Therefore, in the present embodiment, the casing 30 is disposed on the bottom side of the etching tank 20 so as to surround the submerged roller 25. The material of the housing 30 may be any material that satisfies the resistance to etching solution, heat resistance, and strength. For example, heat-resistant vinyl chloride, PP (polypropylene), FRP (fiber reinforced plastic), and the like are suitable. .

ここで、筐体30の上面には、アルミニウム箔10を通過させるための開口部30a、30bが形成されており、開口部30a、30bの各々には、開口部30a、30bを塞ぐようにガラス管31(丸棒)が配置されている。このため、筐体30の上面に開口部30a、30bが形成されていても、筐体30の内側と外側とは、わずかな隙間を介して連通しているだけで、十分に分離されている。
また、ガラス管31は、2本が一対になってアルミニウム箔10を両側から挟み込むように配置されている。このため、アルミニウム箔10の位置が規制されて、アルミニウム箔10が開口部30a、30bの縁を擦ることがない。
なお、ガラス管31については、その軸線周りに回転可能な状態に配置された構成、および軸線周りに回転不能な状態に配置された構成のいずれの構成を採用してもよいが、前者の場合には、アルミニウム箔10がガラス管31と擦れて傷つくことをより確実に防止することができる。
Here, openings 30a and 30b for allowing the aluminum foil 10 to pass through are formed on the upper surface of the housing 30, and the openings 30a and 30b are made of glass so as to close the openings 30a and 30b. A tube 31 (round bar) is arranged. For this reason, even if the openings 30a and 30b are formed on the upper surface of the housing 30, the inside and the outside of the housing 30 are sufficiently separated by merely communicating with each other through a slight gap. .
Moreover, the glass tube 31 is arrange | positioned so that two may be paired and the aluminum foil 10 may be pinched | interposed from both sides. For this reason, the position of the aluminum foil 10 is regulated, and the aluminum foil 10 does not rub the edges of the openings 30a and 30b.
In addition, about the glass tube 31, you may employ | adopt any structure of the structure arrange | positioned in the state which can be rotated around the axis line, and the structure arrange | positioned in the state which cannot be rotated around the axis line, but the former case Therefore, it is possible to more reliably prevent the aluminum foil 10 from being rubbed and damaged by the glass tube 31.

また、筐体30の底部およびエッチング槽20の底部の各々には、貫通穴30c、20aが形成されており、かかる貫通穴30c、20aには筐体30の内側に水を導入するための給水管32が接続されている。   In addition, through holes 30c and 20a are formed in the bottom of the case 30 and the bottom of the etching tank 20, respectively, and water is supplied to the through holes 30c and 20a for introducing water into the inside of the case 30. A tube 32 is connected.

[動作]
このような構成の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置および製造方法では、アルミニウム箔10は、駆動ローラ(図示せず)により、矢印Hで示す方向に走行する。そして、アルミニウム箔10は、エッチング槽20内を通過する間に、電極21、22との間で通電されて、電解エッチングが施され、電解コンデンサ用アルミニウムエッチング箔となる。
[Operation]
In the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the electrolytic capacitor etching foil having such a configuration, the aluminum foil 10 travels in a direction indicated by an arrow H by a driving roller (not shown). And while passing through the inside of the etching tank 20, the aluminum foil 10 is energized between the electrodes 21 and 22, is subjected to electrolytic etching, and becomes an aluminum etching foil for electrolytic capacitors.

その際、筐体30の内側には液体給水管32を介して水を供給する。このため、筐体30の内側は、外側に比して内圧を高く設定し、エッチング液が筐体30の内側に流入せず、かつ水が筐体30の外側に流出しないよう調整されている。このため、筐体30の内側は水で充満した状態になり、外側のエッチング液の濃度も薄くならない。
また、開口部30a、30bを介して、筐体30の内側にエッチング液が流入した場合でも、筐体30の内側は水で希釈されるので、酸濃度が極めて低いエッチング液が充満していることになる。
At that time, water is supplied to the inside of the housing 30 through the liquid water supply pipe 32. For this reason, the inner side of the housing 30 is adjusted so that the internal pressure is set higher than that of the outer side so that the etching solution does not flow into the housing 30 and water does not flow out of the housing 30. . For this reason, the inside of the housing | casing 30 will be in the state filled with water, and the density | concentration of an outer etching solution will not become thin.
Even when the etching solution flows into the inside of the housing 30 through the openings 30a and 30b, the inside of the housing 30 is diluted with water, so that the etching solution having a very low acid concentration is filled. It will be.

なお、筐体30の内側から開口部30a、30bを介して水が流出しても、エッチング槽20の内部のうち、筐体30の外側では、高濃度のエッチング液が供給されるので、エッチング槽20のうち、筐体30の外側のエッチング液については、常に所定の酸濃度に調整されている。   In addition, even if water flows out from the inside of the housing 30 through the openings 30a and 30b, a high-concentration etching solution is supplied to the outside of the housing 30 in the etching tank 20, so that etching is performed. In the tank 20, the etching solution outside the housing 30 is always adjusted to a predetermined acid concentration.

[本形態の主な効果]
以上説明したように、エッチング槽20の内部のうち、アルミニウム箔10が電極21、22と対向する箇所から外れた液中ローラ25周辺では、従来例(図3)は、無駄なアルミニウム箔の化学溶解が発生しやすいが、本実施例の形態(図1、2)では、かかる無電解箇所については、筐体30によって周囲から分離してあるため、化学溶解を抑えることができる。
しかも、本形態では、筐体30の内側に対して水を供給しているため、筐体30で囲まれた箇所では、水または酸濃度が極めて低いエッチング液が充満しているだけであって、筐体30の内側では、アルミニウム箔10が電極21、22と対向していない無電解箇所になっていても、アルミニウム箔10の表面では化学溶解が発生しない。
よって、アルミニウムエッチング箔を製造する際、化学溶解に起因するエッチング倍率の低下を防止することができるので、静電容量の高い電解コンデンサ用エッチング箔を製造することができる。
[Main effects of this embodiment]
As described above, in the vicinity of the submerged roller 25 inside the etching tank 20 where the aluminum foil 10 is removed from the position facing the electrodes 21 and 22, the conventional example (FIG. 3) is a waste aluminum foil chemistry. Although dissolution is likely to occur, in the embodiment of the present embodiment (FIGS. 1 and 2), such an electroless portion is separated from the surroundings by the casing 30, and thus chemical dissolution can be suppressed.
In addition, in this embodiment, since water is supplied to the inside of the housing 30, the portion surrounded by the housing 30 is only filled with an etching solution having a very low water or acid concentration. Even if the aluminum foil 10 is an electroless portion that does not face the electrodes 21 and 22 inside the housing 30, chemical dissolution does not occur on the surface of the aluminum foil 10.
Therefore, when manufacturing aluminum etching foil, since the fall of the etching magnification resulting from chemical dissolution can be prevented, the etching foil for electrolytic capacitors with a high electrostatic capacitance can be manufactured.

また、本形態では、筐体30の内側に水を供給するにあたって、エッチング槽20の底部および筐体30の底部から筐体の30の内圧を保つように水が連続して供給されるため、筐体30の内側の圧力は外側より大となっている。よって、筐体30の上面に形成された開口部30a、30bからエッチング液が流入しようとするのを確実に防止することができる。
また、本形態では、開口部30a、30bは、ガラス管31でわずかな隙間を残して塞がれているので、筐体30の開口部30a、30bからエッチング液が流入しようとするのを確実に防止することができる。
従って、本形態によれば、筐体30により隔離された空間全体内に水を効率よく行き渡らせることができる。
Further, in this embodiment, when water is supplied to the inside of the housing 30, water is continuously supplied from the bottom of the etching tank 20 and the bottom of the housing 30 so as to maintain the internal pressure of the housing 30. The pressure inside the housing 30 is greater than that outside. Therefore, it is possible to reliably prevent the etching solution from flowing in from the openings 30 a and 30 b formed on the upper surface of the housing 30.
Further, in this embodiment, the openings 30a and 30b are closed with a slight gap left by the glass tube 31, so that it is ensured that the etching solution will flow from the openings 30a and 30b of the housing 30. Can be prevented.
Therefore, according to this embodiment, water can be efficiently distributed in the entire space isolated by the housing 30.

[評価結果]
本発明の製造装置1における有効性を検証するために、図1および図2を参照して説明した製造装置1を用いて電解コンデンサ用アルミニウムエッチング箔を6枚製造し、これらを実施例1〜6とした。
実施例1〜6の原材料としては、純度99.9%、厚さ10μmのアルミニウム箔の軟質材を用いた。また、このアルミニウム箔に対して、エッチング処理を行う際、本実施例では、図1および図2を参照して説明したエッチング槽20を2つ用意し、下記の第1段、第2段のエッチングを行った。
[第1段エッチング]
エッチング液:硫酸4mol/L+塩酸1mol/Lの水溶液
温度:80℃、電流密度:0.1A/cm2、直流電流、電気量:25C/cm2
[第2段エッチング]
エッチング液:0.5mol/Lの塩酸水溶液温度:80℃、電流密度:0.03A/cm2、直流電流、電気量:26C/cm2
これらのエッチング工程は、図1および図2を参照して説明したように、筐体30内に純水を供給しながら行った。
次いで、アルミニウムエッチング箔については、純水で洗浄、乾燥した後、ホウ酸水溶液中にて250Vの電圧で化成を行い、電解コンデンサ用アルミニウム陽極箔(実施例1〜6)を得た。なお、実施例1〜6では、筐体30内に純水を供給する量を相違させており、その添加量の条件はそれぞれ、0、0.01、0.05、0.1、0.5、1(L/min)である。そして、実施例1〜6の静電容量を測定した(試料数n=10)。
[Evaluation results]
In order to verify the effectiveness of the manufacturing apparatus 1 of the present invention, six aluminum etching foils for electrolytic capacitors were manufactured using the manufacturing apparatus 1 described with reference to FIGS. It was set to 6.
As the raw material of Examples 1 to 6, a soft material of aluminum foil having a purity of 99.9% and a thickness of 10 μm was used. Moreover, when performing an etching process on this aluminum foil, in this embodiment, two etching tanks 20 described with reference to FIGS. 1 and 2 are prepared, and the following first and second stages are prepared. Etching was performed.
[First stage etching]
Etching solution: sulfuric acid 4 mol / L + hydrochloric acid 1 mol / L aqueous solution temperature: 80 ° C., current density: 0.1 A / cm 2 , direct current, quantity of electricity: 25 C / cm 2
[Second stage etching]
Etching solution: 0.5 mol / L hydrochloric acid aqueous solution temperature: 80 ° C., current density: 0.03 A / cm 2 , direct current, amount of electricity: 26 C / cm 2
These etching processes were performed while supplying pure water into the housing 30 as described with reference to FIGS.
Next, the aluminum etching foil was washed with pure water and dried, and then formed in an aqueous boric acid solution at a voltage of 250 V to obtain aluminum anode foils for electrolytic capacitors (Examples 1 to 6). In Examples 1 to 6, the amount of pure water supplied into the housing 30 is different, and the conditions for the amount of addition are 0, 0.01, 0.05, 0.1,. 5, 1 (L / min). And the electrostatic capacitance of Examples 1-6 was measured (sample number n = 10).

また、従来の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置(エッチング槽20に筐体30を設けていない構成/図3参照)を用いて、実施例と同様の製造条件でエッチング箔を製造し、かかるエッチング箔を用いて、従来例による電解コンデンサ用アルミニウム陽極箔を得、該陽極箔についても静電容量を測定した(試料数n=10)。 In addition, an etching foil is manufactured under the same manufacturing conditions as in the embodiment using a conventional manufacturing apparatus for an electrolytic capacitor etching foil (a configuration in which the housing 30 is not provided in the etching tank 20 / see FIG. 3). Using the foil, an aluminum anode foil for electrolytic capacitors according to a conventional example was obtained, and the capacitance of the anode foil was also measured (number of samples n = 10).

これらの測定結果を表1に示す。表1には、実施例1〜6の静電容量の従来例に対するアップ率として示した。   These measurement results are shown in Table 1. In Table 1, it showed as an up rate with respect to the prior art example of the electrostatic capacitance of Examples 1-6.

Figure 2009004409
Figure 2009004409

表1に示すように、純水0.1L/min以上の供給量で従来例に比べて5%前後、静電容量が上昇した。また、実施例1〜6とも、静電容量が上昇した。これにより、本発明の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置における有効性が実証された。   As shown in Table 1, the capacitance increased by about 5% compared to the conventional example when the supply amount of pure water was 0.1 L / min or more. Moreover, the electrostatic capacitance rose also in Examples 1-6. Thereby, the effectiveness in the manufacturing apparatus of the etching foil for electrolytic capacitors of this invention was demonstrated.

なお、純水の供給量が0L/minの場合でも静電容量が1.0%上昇した。すなわち、液中ローラ25周辺を筐体30で囲むと、筐体30の内側に水を供給しなくても、筐体30により分離された領域内では、筐体30の外側に比してエッチング液中のアルミニウム濃度が高くなるため、アルミニウム箔の化学溶解が発生しにくい。
それ故、液中ローラ25周辺を筐体30で囲むと、筐体30の内側に水を供給しなくても、ある程度、化学溶解に起因するエッチング倍率の低下を防止することができるので、静電容量の高い電解コンデンサ用エッチング箔を製造することができる。
Note that the capacitance increased by 1.0% even when the supply amount of pure water was 0 L / min. That is, when the periphery of the submerged roller 25 is surrounded by the housing 30, etching is performed in the region separated by the housing 30 compared to the outside of the housing 30 without supplying water to the inside of the housing 30. Since the aluminum concentration in the liquid increases, chemical dissolution of the aluminum foil is unlikely to occur.
Therefore, if the periphery of the submerged roller 25 is surrounded by the housing 30, it is possible to prevent a decrease in the etching magnification due to chemical dissolution to some extent without supplying water to the inside of the housing 30. An etching foil for electrolytic capacitors having a high capacitance can be produced.

[その他の実施の形態]
上記形態では、筐体30の内側に水を供給したが、水に代えて、酸濃度が低いエッチング液を供給してもよい。かかる低濃度のエッチング液を供給した場合でも、筐体30の内側では、アルミニウム箔の自然溶解の発生を抑制することができる。
[Other embodiments]
In the above embodiment, water is supplied to the inside of the housing 30, but an etching solution having a low acid concentration may be supplied instead of water. Even when such a low concentration etching solution is supplied, the spontaneous dissolution of the aluminum foil can be suppressed inside the housing 30.

また、上記形態では、電極21、22との対向箇所から外れた無電解箇所を周囲から分離するための隔壁を構成するにあたって、箱状の筐体30を用いたが、隔壁としては仕切り板などを用いてもよい。   Further, in the above embodiment, the box-shaped housing 30 is used to configure the partition wall for separating the electroless portion separated from the portion facing the electrodes 21 and 22 from the surroundings. May be used.

さらに、上記形態では、電極21、22との対向箇所から外れた無電解箇所として、液中ローラ25の周辺を隔壁で分離したが、電極21、22との対向箇所から外れた無電解箇所であれば、液中ローラ25の周辺以外の箇所を隔壁で分離してもよい。   Furthermore, in the said form, although the periphery of the submerged roller 25 was isolate | separated by the partition as an electroless location remove | deviated from the location facing the electrodes 21 and 22, in an electroless location removed from the location facing the electrodes 21 and 22 If there is, a portion other than the periphery of the submerged roller 25 may be separated by a partition wall.

さらにまた、上記形態では、直流エッチング用の装置を例に説明したが、交流エッチング用の装置に本発明を適用してもよい。   Furthermore, in the above embodiment, the DC etching apparatus has been described as an example. However, the present invention may be applied to an AC etching apparatus.

本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置の要部構成図である。It is a principal part block diagram of the manufacturing apparatus of the etching foil for electrolytic capacitors to which this invention is applied. (a)、(b)は各々、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に用いたエッチング槽の平面図、およびその底部分を拡大して示す断面図である。(A), (b) is the top view of the etching tank used for the manufacturing apparatus of the etching foil for electrolytic capacitors to which this invention is applied, respectively, and sectional drawing which expands and shows the bottom part. 従来の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing apparatus of the conventional etching foil for electrolytic capacitors.

符号の説明Explanation of symbols

1 エッチング箔の製造装置
10 アルミニウム箔
20 エッチング槽
20a 貫通孔
21、22 対向電極
26 給電ローラ
25 液中ローラ
30 筐体
30a、30b 開口部
30c 筐体貫通孔
31 ガラス管(丸棒)
100 エッチング箔の製造装置
120 エッチング槽
121、122 対向電極
125 液中ローラ
126 給電ローラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Etching foil manufacturing apparatus 10 Aluminum foil 20 Etching tank 20a Through hole 21, 22 Counter electrode 26 Feed roller 25 Submerged roller 30 Housing 30a, 30b Opening 30c Housing through hole 31 Glass tube (round bar)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Etching foil manufacturing apparatus 120 Etching tank 121, 122 Counter electrode 125 Submerged roller 126 Feed roller

Claims (7)

エッチング液が貯留されたエッチング槽と、
該エッチング槽内でアルミニウム箔の走行経路を規定する液中ローラと、前記エッチング槽内で走行する前記アルミニウム箔に対向する電極とを備えた電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置において、
前記エッチング槽内に、該エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行経路のうち、前記電極との対向箇所から外れた無電解箇所をエッチング液から分離する隔壁が配置されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
An etching tank in which an etching solution is stored;
In an apparatus for producing an etching foil for electrolytic capacitors, comprising: a submerged roller that defines a travel path of an aluminum foil in the etching tank; and an electrode facing the aluminum foil that travels in the etching tank.
In the etching tank, an electrolytic cell is provided that separates an electroless portion, which is separated from a position facing the electrode, of the traveling path of the aluminum foil in the etching tank from an etching solution. Manufacturing equipment for capacitor etching foil.
前記隔壁は、前記無電解箇所としての前記液中ローラおよびその周辺を、前記エッチング液から分離可能な箇所に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。   The said partition is arrange | positioned in the location which can isolate | separate the said submerged roller as the said electroless location, and its periphery from the said etching liquid, The manufacturing of the etching foil for electrolytic capacitors of Claim 1 characterized by the above-mentioned. apparatus. 前記隔壁により分離された空間内に、水、または前記エッチング液より酸濃度が低いエッチング液を供給する給水口が備えられていることを特徴とする請求項1または2に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。   The electrolytic capacitor etching according to claim 1, wherein a water supply port for supplying water or an etching solution having an acid concentration lower than that of the etching solution is provided in the space separated by the partition wall. Foil manufacturing equipment. 前記給水口は、前記隔壁により分離された空間内の下部に備えられていることを特徴とする請求項3に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。   The said water supply opening is provided in the lower part in the space isolate | separated by the said partition, The manufacturing apparatus of the etching foil for electrolytic capacitors of Claim 3 characterized by the above-mentioned. 前記隔壁の前記アルミニウム箔を通過させる開口部は、前記アルミニウム箔を両側から挟むように配置された複数本の丸棒により塞がれていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。   The opening part through which the said aluminum foil of the said partition is blocked | closed by the some round bar arrange | positioned so that the said aluminum foil may be pinched | interposed from both sides The manufacturing apparatus of the etching foil for electrolytic capacitors as described in a term. エッチング液が貯留されたエッチング槽と、前記エッチング槽内の液中ローラにより規定された走行経路に沿ってアルミニウム箔を走行させながら、前記エッチング槽内のアルミニウム箔に対向する電極に通電し、アルミニウム箔に電解エッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
前記エッチング槽内に、該エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行経路のうち、前記電極との対向箇所から外れた無電解箇所をエッチング液から分離する隔壁を配置しておくことを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
While running the aluminum foil along the etching path in which the etching liquid is stored and the running path defined by the submerged roller in the etching tank, the electrode facing the aluminum foil in the etching tank is energized, and aluminum In the manufacturing method of the etching foil for electrolytic capacitors that performs electrolytic etching on the foil,
In the etching tank, a partition wall that separates an electroless portion, which is out of a position facing the electrode, of the traveling path of the aluminum foil in the etching tank from the etching solution is disposed. Manufacturing method of etching foil for capacitor.
前記隔壁により分離された空間内は、水、または前記エッチング液より低濃度のエッチング液が供給されることを特徴とする請求項6に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。   The method for producing an etching foil for an electrolytic capacitor according to claim 6, wherein the space separated by the partition wall is supplied with water or an etching solution having a lower concentration than the etching solution.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011030734A (en) * 2009-07-31 2011-02-17 Nidek Co Ltd Visual restoration aiding device and method of manufacturing the same
JP5408247B2 (en) * 2009-05-12 2014-02-05 日本軽金属株式会社 Method and apparatus for manufacturing aluminum electrode plate for electrolytic capacitor

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