JP2008544859A - Laser welding system and method - Google Patents

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Abstract

レーザ溶接システム及び方法であって、該システムは、ターゲットを溶接するとともに、光軸を有し、レーザビーム24のソース22と、レーザビーム24を、前記光軸30の周りを回転する一対のレーザスポット32に変換する回転可能回折格子26と、前記一対のレーザスポット32をターゲット34に集束させるレンズとを含む。  A laser welding system and method for welding a target and having an optical axis, a source 22 of a laser beam 24 and a pair of lasers that rotate the laser beam 24 about the optical axis 30 It includes a rotatable diffraction grating 26 that converts to a spot 32 and a lens that focuses the pair of laser spots 32 onto a target 34.

Description

本発明は、一般に溶接システムに関し、より詳細には、レーザ溶接システム及び方法に関する。   The present invention relates generally to welding systems, and more particularly to laser welding systems and methods.

現代の製造プロセスは、しばしば異種の材料の接合、例えば、ニッケルを真鍮に、ステンレススチールを銅に、ステンレススチールを真鍮に、又は金属をサーメット(cermet)に接合することを必要とする。異種の材料を融接しようとしても、溶接において形成される金属間相により、ある程度しか成功しない。2つの材料における異なる物理特性は、溶融池形状、凝固微細構造、及び偏析パターンにおいて、複雑な問題をもたらす。現行技術のレーザ溶接技術は、硬く、脆性微細構造であり、弱く、大きな亀裂を有する結果となる。このような溶接は、信頼できず、不安定な溶接プロセスである。   Modern manufacturing processes often require bonding of dissimilar materials, for example, bonding nickel to brass, stainless steel to copper, stainless steel to brass, or metal to cermet. Attempts to fusion weld dissimilar materials are only somewhat successful due to the intermetallic phase formed in the weld. Different physical properties in the two materials lead to complex problems in the weld pool shape, solidification microstructure, and segregation pattern. Current laser welding techniques are hard, brittle microstructures, weak and result in large cracks. Such welding is an unreliable and unstable welding process.

従来の回転するレーザビームを使用するレーザ溶接装置は、複雑な光学系、及び機構を使用している。典型的に、レーザビームは、レーザビームを光軸からそらすとともに、溶接ターゲット上に円形路を生成する、回転光学要素を通過させられる。レーザビームをそらすために使用されるレンズ、鏡、及びプリズムは、放射対称性ではないか、又は光軸に対して非対称に取り付けられ、回転速度を制限する。こうすることは、溶接するターゲットにおいて、レーザビームの安定性及び速度を制限する。ゆっくりした速度は、レーザビームの、溶接ターゲットとの相互作用時間を増加させ、スパッタリング及び粗い溶接を避けるために、ビーム電力の減少を必要とする。相互作用時間が増加されると、異種金属の溶接の冶金学的能力が低下する。光学安定性が低下すると、溶接の正確性も低下する。   A conventional laser welding apparatus using a rotating laser beam uses complicated optical systems and mechanisms. Typically, the laser beam is passed through a rotating optical element that deflects the laser beam from the optical axis and creates a circular path on the weld target. The lenses, mirrors, and prisms used to deflect the laser beam are not radial symmetric or are mounted asymmetrically with respect to the optical axis to limit the rotational speed. This limits the stability and speed of the laser beam at the target to be welded. The slow speed increases the interaction time of the laser beam with the welding target and requires a reduction in beam power to avoid sputtering and rough welding. As the interaction time increases, the metallurgical capacity of dissimilar metal welding decreases. As optical stability decreases, so does the accuracy of welding.

上記の不利な点を克服するレーザ溶接システム及び方法を持つことが望ましい。   It would be desirable to have a laser welding system and method that overcomes the above disadvantages.

本発明の一態様は、ターゲットを溶接するとともに、光軸を有するシステムであって、レーザビームのソースと、光軸の周りを回転する一対のレーザスポットに、レーザビームを変換する回転可能回折格子と、該一対のレーザスポットをターゲットに集束させるレンズとを有するシステムを提供する。   One aspect of the invention is a rotatable diffraction grating that welds a target and has an optical axis that converts the laser beam into a laser beam source and a pair of laser spots that rotate about the optical axis. And a lens for focusing the pair of laser spots on a target.

本発明の他の態様は、ターゲットを溶接する方法であって、平面の回転可能回折格子を設けるステップと、該回転可能回折格子の平面に対して直交する光軸の周りを、回転可能回折格子を回転させるステップと、分割ビームを生成するために、前記回転可能回折格子に、光軸に沿うレーザビームを向けるステップと、該分割ビームをターゲットに集束させるステップとを有する方法を提供する。   Another aspect of the present invention is a method of welding a target, comprising the step of providing a planar rotatable diffraction grating, and a rotatable diffraction grating around an optical axis orthogonal to the plane of the rotatable diffraction grating. A method of providing a split beam, directing a laser beam along an optical axis to the rotatable diffraction grating, and focusing the split beam on a target to generate a split beam.

本発明の他の態様は、ターゲットを溶接するシステムであって、平面の回転可能回折格子と、該回転格子を、該回転格子の平面に対して直交する光軸の周りを回転させる手段と、分割ビームを生成するために、前記光軸に沿うレーザビームを、前記回転可能回折格子に向ける手段と、前記分割ビームをターゲットに集束させる手段とを有するシステムを提供する。   Another aspect of the present invention is a system for welding a target comprising a plane rotatable diffraction grating and means for rotating the rotating grating about an optical axis orthogonal to the plane of the rotating grating; To generate a split beam, a system is provided having means for directing a laser beam along the optical axis to the rotatable diffraction grating and means for focusing the split beam on a target.

本発明の上記及び他の特徴及び利点は、添付の図面とともに読まれる、本発明の好ましい実施例の以下の詳細な説明から、更に明らかになるであろう。詳細な説明及び図面は、本発明を制限するものではなく、単に説明するものであり、本発明の範囲は、請求項及び、それと同じものにより規定されている。   The above and other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of preferred embodiments of the present invention, read in conjunction with the accompanying drawings. The detailed description and drawings are merely illustrative of the invention rather than limiting, the scope of the invention being defined by the appended claims and the same.

図1及び図2は、それぞれ、本発明によって作られる溶接システムの断面図及び溶接経路の概略図である。該溶接システムは、ターゲットにおいて一対の回転するレーザスポットを生成するために、回転可能回折格子を通じて、レーザビームをそらす。   1 and 2 are a cross-sectional view and a schematic view of a welding path, respectively, of a welding system made in accordance with the present invention. The welding system deflects the laser beam through a rotatable diffraction grating to produce a pair of rotating laser spots at the target.

図1及び図2を参照すると、溶接システム20は、レーザビーム24のソース22と、回転可能回折格子26と、レンズ28とを有する。溶接システム20の光学系は、光軸30に沿って位置合わせされる。回転可能回折格子26は、レーザビーム24を、光軸30の周りを回転する一対のレーザスポット32に変換する。静止レンズ28は、ステージ38に担持されるワークピース36に対して、ターゲット34を溶接するために、一対のレーザスポット32をターゲット34に集束させる。図2は、ターゲット34において溶接50を形成するレーザスポット32とともに、溶接プロセスを図示し、すなわち、溶接50は、まだ完全な円を形成していない。当業者らは、溶接システム20が、所望であれば完全な円ではない溶接を作るためにも使用され得ることを理解するであろう。回転可能回折格子26は、高速ベアリング44により、固定ハウジング42内に担持される、回転可能ハウジング40に取り付けられる。速度制御されたACサーボモータ46は、ベルト48を通じて、回転可能ハウジング40を駆動する。回転可能回折格子26における矢印は、回転可能回折格子26の回転を図示する。一実施例において、光軸30は、重力の向きに沿い、その結果回転可能ハウジング40は、固定ハウジング42からぶら下がる。   With reference to FIGS. 1 and 2, the welding system 20 includes a source 22 of a laser beam 24, a rotatable diffraction grating 26, and a lens 28. The optical system of the welding system 20 is aligned along the optical axis 30. The rotatable diffraction grating 26 converts the laser beam 24 into a pair of laser spots 32 that rotate about the optical axis 30. The stationary lens 28 focuses the pair of laser spots 32 on the target 34 in order to weld the target 34 to the workpiece 36 carried on the stage 38. FIG. 2 illustrates the welding process with the laser spot 32 forming a weld 50 at the target 34, ie, the weld 50 has not yet formed a complete circle. Those skilled in the art will appreciate that the welding system 20 can also be used to make welds that are not perfect circles if desired. The rotatable diffraction grating 26 is attached to a rotatable housing 40 that is carried in a fixed housing 42 by high speed bearings 44. The speed-controlled AC servo motor 46 drives the rotatable housing 40 through a belt 48. The arrows in the rotatable diffraction grating 26 illustrate the rotation of the rotatable diffraction grating 26. In one embodiment, the optical axis 30 is along the direction of gravity so that the rotatable housing 40 hangs from the stationary housing 42.

レーザビーム24のソース22は、レーザ21からのレーザビーム24を伝達するファイバ光学導体、又はレーザの直接出力部であり得る。レーザ21は、溶接に適したいかなるパルス又は連続レーザ源でもあり得る。一例において、レーザ21は、1064nmの波長で、パルス電力約600乃至6000ワットであるレーザビームを生成するネオジムドープされたイットリウムアルミニウムガーネット(Nd:YAG)レーザである。一実施例において、レーザは、Trumpf Laser GmbH of Schramberg, Germanyから利用可能であるHL204pである。レーザビーム24は、回転可能ハウジング40に入ると拡散し、拡散ビーム60になる。当業者らは、溶接、切断、孔あけ、及び/又は融除(ablate)するような特定の用途に適切な様々なタイプのレーザ及び様々なタイプの波長が、所望であれば使用され得るということを理解するであろう。   The source 22 of the laser beam 24 can be a fiber optic conductor that carries the laser beam 24 from the laser 21 or a direct output of the laser. The laser 21 can be any pulsed or continuous laser source suitable for welding. In one example, laser 21 is a neodymium doped yttrium aluminum garnet (Nd: YAG) laser that produces a laser beam with a wavelength of 1064 nm and a pulse power of about 600 to 6000 watts. In one embodiment, the laser is HL204p, available from Trumpf Laser GmbH of Schramberg, Germany. As the laser beam 24 enters the rotatable housing 40, it diffuses into a diffused beam 60. Those skilled in the art will recognize that various types of lasers and various types of wavelengths suitable for particular applications such as welding, cutting, drilling, and / or ablate can be used if desired. You will understand that.

回転可能回折格子26は、レーザビーム24を少なくとも一対のレーザスポット32に分割することに適した二位相回折格子のような、いかなる回折格子でもあり得る。回転可能回折格子26は、拡散ビーム60から、分割ビーム62を生成し、該回転可能回折格子26は、光軸30の周りを回転する回転可能ハウジング40内に取り付けられる。回転可能回折格子26は、平面及び放射状に対称性を持つ。回転可能回折格子26の平面は、光軸30に対して直交し、光軸30の周りを高速度で、回転可能回折格子26が回転することを可能にする。回転可能回折格子26は、使用される特定のレーザに対して所望であれば、ガラス上にフォトレジストで覆われるか、又は溶融石英においてエッチングされ得る。当業者らは、回転可能回折格子26のパターンが一対より多くのレーザスポット32を生成するように選択され得るか、又は多量の分離した回転可能回折格子が使用され得ることを理解するであろう。例えばレーザビームを2つの同一の画像に分割する、1つの回転可能回折格子は、自身のパターンを、4つの分割ビームと二対のレーザスポットとを生成する同じ種類の他の回転可能回折格子に対して直角に位置され得る。   The rotatable diffraction grating 26 can be any diffraction grating, such as a two-phase diffraction grating suitable for dividing the laser beam 24 into at least a pair of laser spots 32. The rotatable diffraction grating 26 generates a split beam 62 from the diffuse beam 60, which is mounted in a rotatable housing 40 that rotates about the optical axis 30. The rotatable diffraction grating 26 has plane and radial symmetry. The plane of the rotatable diffraction grating 26 is orthogonal to the optical axis 30 and allows the rotatable diffraction grating 26 to rotate about the optical axis 30 at high speed. The rotatable diffraction grating 26 can be covered with photoresist on glass or etched in fused silica if desired for the particular laser used. Those skilled in the art will appreciate that the pattern of the rotatable grating 26 can be selected to produce more than a pair of laser spots 32, or that a large number of separate rotatable gratings can be used. . For example, one rotatable diffraction grating that splits a laser beam into two identical images can have its pattern on another rotatable diffraction grating of the same type that produces four split beams and two pairs of laser spots. It can be located at right angles to it.

レンズ28は、前記一対のレーザスポット32を生成する、ターゲット34に集束されたビーム66を供給するように、回転可能回折格子26からの分割ビームを視準するとともに集束させるいかなる1つ又はグループのレンズであり得る。レンズ28は、光軸30に対して固定である。一実施例において、レンズ28は、Trumpf Laser GmbH of Schramberg, Germanyから利用可能であるBEO30集束光学系に見つけられるように、コリメートレンズ52と集束レンズ54とを含む。コリメートレンズ52は、分割ビーム62からコリメートビーム64を生成し、集束レンズ54は、コリメートビーム64から集束されたビーム66を生成する。   The lens 28 collimates and focuses the split beam from the rotatable diffraction grating 26 to provide a focused beam 66 on the target 34 that produces the pair of laser spots 32. It can be a lens. The lens 28 is fixed with respect to the optical axis 30. In one embodiment, lens 28 includes a collimating lens 52 and a focusing lens 54 as found in the BEO 30 focusing optics available from Trumpf Laser GmbH of Schramberg, Germany. The collimating lens 52 generates a collimated beam 64 from the split beam 62, and the focusing lens 54 generates a beam 66 that is focused from the collimated beam 64.

図示された例において、回転可能回折格子26は、ターゲット34における溶接経路51の直径及びレーザスポット32の直径を決定するために、拡散ビーム60内で軸方向に移動され得る。拡散ビーム60内に回転可能回折格子26をおくことは、ターゲット34における溶接経路51の直径の調整、すなわち、回転可能回折格子26の位置及び格子定数に従って、レーザスポット32の間におけるピッチの調整の柔軟性を提供する。他の実施例において、回転可能回折格子26は、コリメートビーム64内のコリメートレンズ52と集束レンズ54との間に配置され得る。コリメートビーム64内に回転可能回折格子26を位置することは、ターゲット34における溶接経路51の直径を固定、すなわち回転可能回折格子26の格子定数に従って、レーザスポット32の間におけるピッチを固定する。   In the illustrated example, the rotatable diffraction grating 26 can be moved axially within the diffusing beam 60 to determine the diameter of the weld path 51 and the diameter of the laser spot 32 at the target 34. Placing the rotatable diffraction grating 26 in the diffused beam 60 is an adjustment of the diameter of the welding path 51 in the target 34, ie, the adjustment of the pitch between the laser spots 32 according to the position of the rotatable diffraction grating 26 and the grating constant. Provide flexibility. In other embodiments, the rotatable diffraction grating 26 may be disposed between the collimating lens 52 and the focusing lens 54 in the collimated beam 64. Positioning the rotatable diffraction grating 26 in the collimated beam 64 fixes the diameter of the welding path 51 in the target 34, ie, fixes the pitch between the laser spots 32 according to the grating constant of the rotatable diffraction grating 26.

ターゲット34及びワークピース36は、溶接によって接合されるべき2つの部分でもあり得る。一例において、ターゲット34は、板状(plate)であり、ワークピース36が、中空の円筒状である。他の例において、ターゲット34とワークピース36の両方が板状である。他の例において、ターゲット34がワイヤであり、ワークピース36が板状である。ターゲット34とワークピース36とは、ニッケルと真鍮、ステンレススチールと銅、ステンレススチールと真鍮、又は金属とサーメットのような異種の材料であり得る。ターゲット34は金属であり得、ワークピース36は、金属化プラスチック、セラミック、及び/又は金属化ガラスのような繊細な材料であり得る。溶接の1つの例示的な使用は、高輝度放電(HID)ランプのセラミックバーナを密閉することである。   Target 34 and workpiece 36 may also be two parts to be joined by welding. In one example, the target 34 is a plate and the workpiece 36 is a hollow cylinder. In another example, both the target 34 and the workpiece 36 are plate-shaped. In another example, the target 34 is a wire and the workpiece 36 is plate-shaped. Target 34 and workpiece 36 may be dissimilar materials such as nickel and brass, stainless steel and copper, stainless steel and brass, or metal and cermet. The target 34 can be metal and the workpiece 36 can be a delicate material such as metalized plastic, ceramic, and / or metalized glass. One exemplary use of welding is to seal a ceramic burner of a high intensity discharge (HID) lamp.

ターゲット34及びワークピース36は、溶接のための位置にターゲット34とワークピース36とを固定するために、ステージ38に担持され得る。典型的に、ターゲット34の平面は、光軸30に対して直交し、それから、ターゲット34における溶接経路51は円形である。他の実施例において、ターゲット34の平面は、光軸30に対してある角度をなし、その結果ターゲット34における溶接経路51は楕円である。該角は、溶接を形成するのに十分な電力を供給するように、レーザスポット32が、溶接経路51全体に渡って十分に焦点が合ういかなる角、例えば約20度より小さい、ターゲット34の平面と光軸30との間の角であり得る。一実施例において、ステージ38は、溶接の間、光軸30に対して固定される。他の実施例において、ドライバ39は、ターゲット34上において、サイクロイドのような複雑な溶接経路を作り上げるように、溶接の間ステージ38を移動させる。当業者らは、ドライバ39が、所望であればいかなる軌道においても、例えば線形又は二次元の軌道においても、光軸30に直交してターゲット34を移動させるようにプログラムされ得ることを理解するであろう。   Target 34 and workpiece 36 may be carried on stage 38 to secure target 34 and workpiece 36 in a position for welding. Typically, the plane of the target 34 is orthogonal to the optical axis 30 and then the weld path 51 at the target 34 is circular. In other embodiments, the plane of the target 34 is at an angle with respect to the optical axis 30 so that the weld path 51 at the target 34 is elliptical. The angle is such that the laser spot 32 is sufficiently focused throughout the weld path 51, such as less than about 20 degrees, to provide sufficient power to form a weld, such as the plane of the target 34. And the angle between the optical axis 30. In one embodiment, stage 38 is fixed relative to optical axis 30 during welding. In other embodiments, the driver 39 moves the stage 38 during welding to create a complex welding path, such as a cycloid, on the target 34. Those skilled in the art will appreciate that the driver 39 can be programmed to move the target 34 perpendicular to the optical axis 30 in any trajectory as desired, for example, in a linear or two-dimensional trajectory. I will.

空気、窒素、アルゴン、及び/又は酸素のような高純度遮蔽ガスが、冷却及び補助プラズマ形成をするように、ターゲット34において適用され得る。遮蔽ガスは、特定の材料のターゲット34及びワークピース36に対して、要求通り選択され得る。遮蔽ガスの流れは、所望であればクロスフロー、ダウンフロー、及び/又はボックスフローであり得る。   A high purity shielding gas such as air, nitrogen, argon, and / or oxygen may be applied at the target 34 to provide cooling and auxiliary plasma formation. The shielding gas may be selected as desired for a particular material target 34 and workpiece 36. The flow of shielding gas can be crossflow, downflow, and / or boxflow if desired.

図2を参照すると、一対のレーザスポット32は、ターゲット34における溶接50を生成する溶接経路51において、光軸30の周りを回転する。レーザスポット32の直径は、特定の用途に対して所望であれば、通常約0.1乃至0.6mmの範囲にある。回転可能回折格子26の高速回転は、ターゲット34を横切って急速にレーザスポット32を運動させ、レーザスポット32とターゲット34との間の相互作用時間を制限する。ここでは、相互作用時間は、レーザスポット32にとって、ターゲット34におけるレーザスポット32の直径1つ分を移動するのに必要とされる時間として規定される。相互作用時間は、レーザスポット32が、溶接経路51全体に沿うある地点にある時間でもある。10乃至20msにおいて行き来する溶接経路51に対して、相互作用時間は、通常0.1乃至0.2msである。制限された相互作用時間は、非常に短い時間に、ターゲット34及びワークピース36の両方に対して、高いエネルギーをもたらすことにより、確実な溶接を生成する。高いエネルギーは、ターゲット34を通じてワークピース36へのキーホール、及びプラズマプルームを形成する。キーホール内におけるレーザ光の反射は、ターゲット34へのエネルギー伝達を増加させる。キーホールの周りの溶融された金属は、表面張力及び凝固により、移動するレーザスポット32の背後の領域に流れ、溶接50を形成する。制限された相互作用時間は、溶接付近のスパッタリングを減少させ、スムーズな溶接表面をもたらす。   Referring to FIG. 2, a pair of laser spots 32 rotate around the optical axis 30 in a weld path 51 that produces a weld 50 at the target 34. The diameter of the laser spot 32 is typically in the range of about 0.1 to 0.6 mm if desired for a particular application. The high speed rotation of the rotatable diffraction grating 26 causes the laser spot 32 to move rapidly across the target 34 and limits the interaction time between the laser spot 32 and the target 34. Here, the interaction time is defined as the time required for the laser spot 32 to move one laser spot 32 diameter at the target 34. The interaction time is also the time at which the laser spot 32 is at a certain point along the entire welding path 51. For a weld path 51 that traverses in 10-20 ms, the interaction time is typically 0.1-0.2 ms. The limited interaction time produces a reliable weld by providing high energy to both the target 34 and the workpiece 36 in a very short time. The high energy forms a keyhole and plasma plume through the target 34 to the workpiece 36. Reflection of the laser light within the keyhole increases energy transfer to the target 34. The molten metal around the keyhole flows into the area behind the moving laser spot 32 due to surface tension and solidification, forming a weld 50. The limited interaction time reduces sputtering near the weld and results in a smooth weld surface.

所望される相互作用時間は、ターゲット34及びワークピース36の材料に依存し、ターゲット34におけるレーザスポット32の速度の関数である。ここでは、相互作用時間は、レーザスポット32にとって、ターゲット34におけるレーザスポット32の直径1つ分を移動するために必要とされる時間として規定される。相互作用時間は、レーザスポット32が、溶接経路51全体に沿うある地点にある時間でもある。レーザスポット32の速度は、溶接されるべきターゲット34及びワークピース36の構成によって通常設定される、溶接経路51の直径と、可変である回転可能回折格子26の回転速度とにより決定される。回転可能回折格子26の回転速度は、通常、約1500と4500rpmとの間にあり、10000rpmより遅い。ターゲット34におけるレーザスポット32の速度は、通常約500mm/秒であり、約200乃至800mm/秒の範囲内にあり得る。レーザスポット32のターゲット34との所望された相互作用時間は、通常約0.2m秒であり、約0.1乃至0.5m秒の範囲内にあり得る。   The desired interaction time depends on the material of the target 34 and the workpiece 36 and is a function of the velocity of the laser spot 32 at the target 34. Here, the interaction time is defined as the time required for the laser spot 32 to move one diameter of the laser spot 32 at the target 34. The interaction time is also the time at which the laser spot 32 is at a certain point along the entire welding path 51. The speed of the laser spot 32 is determined by the diameter of the weld path 51 and the rotational speed of the rotatable diffraction grating 26, which are usually set by the configuration of the target 34 and workpiece 36 to be welded. The rotational speed of the rotatable diffraction grating 26 is typically between about 1500 and 4500 rpm and is slower than 10,000 rpm. The speed of the laser spot 32 at the target 34 is typically about 500 mm / second and may be in the range of about 200 to 800 mm / second. The desired interaction time of the laser spot 32 with the target 34 is typically about 0.2 msec and may be in the range of about 0.1 to 0.5 msec.

レーザに対する電力は、特定の溶接結果を生成するために、スイッチオン及びオフ、並びに/又は、時間とともに変化され得る。レーザは、溶接経路51に沿って2つの分離した溶接を生成するために、レーザスポット32の1つに対して、溶接経路51の半分を誘導するのに必要とされる時間よりも短くあてられ得る。レーザは、溶接経路51に沿って円形の溶接を生成するために、レーザスポット32の1つに対して、溶接経路の半分を誘導するのに必要とされる時間、あてられ得る。レーザは、溶接経路51に沿ってマルチパスの溶接を生成するために、レーザスポット32の1つに対して、溶接経路51の半分を誘導することが必要とされる時間よりも長くあてられ得る。レーザに対する電力は、溶接の間も時間とともに変化され得る。例えば電力は、溶接の開始の際に鋭くオンになり、溶接のほとんどの間一定に保ち、溶接の終了の際に線が先細るように徐々にオフになる。溶接の終了の際に、電力を徐々にオフにすることは、溶接の最後に孔を残さないことを保証する。   The power to the laser can be switched on and off and / or changed over time to produce a specific welding result. The laser is applied for less than the time required to guide half of the weld path 51 for one of the laser spots 32 to produce two separate welds along the weld path 51. obtain. The laser can be applied for the time required to direct half of the weld path to one of the laser spots 32 to produce a circular weld along the weld path 51. The laser can be applied longer than the time required to guide half of the weld path 51 to one of the laser spots 32 to produce a multi-pass weld along the weld path 51. . The power to the laser can be changed over time during welding. For example, power is sharply turned on at the beginning of the weld, remains constant for most of the weld, and gradually turns off so that the line tapers at the end of the weld. At the end of the weld, turning off the power gradually ensures that no holes are left at the end of the weld.

図3及び図4は、本発明にしたがって作られる溶接システムのための溶接経路の概略図である。図3は、二対のレーザスポットを持つ固定のターゲットに対して溶接経路を図示する。図4は、一対のレーザスポットを持つ線形移動ターゲットに対する溶接経路を図示する。   3 and 4 are schematic views of a welding path for a welding system made in accordance with the present invention. FIG. 3 illustrates the welding path for a fixed target with two pairs of laser spots. FIG. 4 illustrates a welding path for a linear moving target having a pair of laser spots.

類似の要素は、図2における類似の参照符号を共有して、図3を参照すると、第1の対のレーザスポット32aと、第2の対のレーザスポット32bとが、ターゲット34上に溶接50を生成する溶接経路51上において、光軸30の周りを回転する。図3は、レーザスポット32a、32bとともに、ターゲット34上で溶接50を形成する、すなわち溶接50は完全な円を形成する、溶接プロセスを図示する。当業者らは、溶接システム20が、所望であれば完全な円よりも少ない溶接を作るように使用され得るということを理解するであろう。二対のレーザスポット32a、32bは、2つの回転可能回折格子を互いに直角に積み重ねることによって生成され得る。当業者らは、いかなる数の回転可能回折格子も、所望の数の対のレーザスポットを生成するために積み重ねられ得ることを理解するであろう。   Similar elements share similar reference numbers in FIG. 2, and referring to FIG. 3, a first pair of laser spots 32a and a second pair of laser spots 32b are welded 50 onto the target 34. Rotate around the optical axis 30 on the welding path 51 that generates FIG. 3 illustrates the welding process with the laser spots 32a, 32b forming a weld 50 on the target 34, ie, the weld 50 forms a complete circle. Those skilled in the art will appreciate that the welding system 20 can be used to make fewer than full circle welds if desired. Two pairs of laser spots 32a, 32b can be generated by stacking two rotatable gratings at right angles to each other. One skilled in the art will appreciate that any number of rotatable diffraction gratings can be stacked to produce the desired number of pairs of laser spots.

類似の要素は、図2の類似の参照符号を共有して、図4を参照すると、溶接50は、溶接システムの光軸に対して垂直な平面における線に沿ってターゲット34を移動することにより、線形の軌道58に沿う複雑な溶接経路に沿って生成される。回転可能回折格子の回転速度に対するターゲット34の速度は、ループ56が形成される(長サイクロイド)か、又は溶接経路が、連続する2つの交差曲線(短サイクロイド)であるかを決定する。線形軌道58に沿う複雑な溶接経路は、線状のターゲットをワークピースに取り付けるか、又は2つのプレートを縁に沿って接続するように使用され得る。一実施例において、ワークピース及びターゲット34を担持するステージに動作可能に接続されるドライバは、ターゲット34の線形運動を駆動する。当業者らは、ドライバが、特定のターゲット形状に適合されるように、複雑な軌道に沿ってターゲットを駆動するようにプログラムされ得ると理解するであろう。例えば、ドライバは、大きな円形ターゲットの円周付近に円形軌道を提供するようにプログラムされ得、円形ターゲットの縁に沿う複雑な溶接経路となる。   Similar elements share the same reference numbers in FIG. 2, and referring to FIG. 4, the weld 50 moves the target 34 along a line in a plane perpendicular to the optical axis of the welding system. , Generated along a complex weld path along a linear trajectory 58. The speed of the target 34 relative to the rotational speed of the rotatable grating determines whether the loop 56 is formed (long cycloid) or the welding path is two consecutive cross curves (short cycloid). Complex welding paths along the linear track 58 can be used to attach a linear target to the workpiece or to connect two plates along the edges. In one embodiment, a driver operably connected to the stage carrying the workpiece and target 34 drives the linear motion of target 34. One skilled in the art will appreciate that the driver can be programmed to drive the target along a complex trajectory to be adapted to a particular target shape. For example, the driver can be programmed to provide a circular trajectory near the circumference of a large circular target, resulting in a complex weld path along the edge of the circular target.

図5は、類似の要素が図1の類似の参照符号と共有して、本発明によってつくられる他の溶接システムの概略的な図である。この実施例において、回転可能回折格子26は、拡散ビーム60ではなくコリメートビーム64内に配置される。   FIG. 5 is a schematic diagram of another welding system made by the present invention, with similar elements shared with like reference numerals in FIG. In this embodiment, the rotatable diffraction grating 26 is disposed within the collimated beam 64 rather than the diffused beam 60.

溶接システム20は、レーザビーム24のソース22と、回転可能回折格子26と、コリメートレンズ52及び集束レンズ54を含むレンズ28とを含む。溶接システム20の光学系は、光軸30に沿って位置合わせされる。コリメートレンズ52と集束レンズ54との間に位置された回転可能回折格子26は、ターゲット34上で光軸30の周りを回転するレーザスポットの対に、レーザビーム24を変換する。回転可能回折格子26を取り付ける回転可能ハウジングと、回転可能ハウジングを駆動する速度制御可能ACサーボモータと、回転可能ハウジングに対する固定ハウジングとは、説明の明確化のために図5から除外されている。   The welding system 20 includes a source 22 of a laser beam 24, a rotatable diffraction grating 26, and a lens 28 that includes a collimating lens 52 and a focusing lens 54. The optical system of the welding system 20 is aligned along the optical axis 30. A rotatable diffraction grating 26 positioned between the collimating lens 52 and the focusing lens 54 converts the laser beam 24 into a pair of laser spots that rotate about the optical axis 30 on the target 34. The rotatable housing to which the rotatable diffraction grating 26 is mounted, the speed controllable AC servo motor that drives the rotatable housing, and the fixed housing relative to the rotatable housing are omitted from FIG. 5 for clarity of explanation.

コリメートレンズ52は、ソース22から拡散ビーム60を受け、コリメートビーム64を生成する。回転可能回折格子26は、コリメートビーム64を受け、分割ビーム62を生成する。集束レンズ54は、分割ビーム62を受け、ターゲット34上に集束された一対のレーザスポットを供給する焦点ビーム66を生成する。   The collimating lens 52 receives the diffuse beam 60 from the source 22 and generates a collimated beam 64. The rotatable diffraction grating 26 receives the collimated beam 64 and generates a split beam 62. A focusing lens 54 receives the split beam 62 and generates a focused beam 66 that provides a pair of laser spots focused on the target 34.

図6は、本発明による溶接の方法のフローチャートである。ターゲットを溶接する方法は、平面の回転可能回折格子を設けるステップ100と、回転可能回折格子を、回転可能回折格子の平面に直交する光軸の周りを回転させるステップ102と、分割ビームを生成するために、光軸に沿うレーザビームを回転可能回折格子に向けるステップ104と、分割ビームをターゲットに集束させるステップ106とを有する。一実施例において、該方法は、ターゲットを光軸に対して垂直に移動させ、例えば光軸に対して垂直な線に沿ってターゲットを移動させるステップを更に含む。他の実施例において、該方法は、ターゲットに対して遮蔽ガスを適用するステップを更に有する。   FIG. 6 is a flowchart of a welding method according to the present invention. The method of welding the target includes providing a planar rotatable grating 100, rotating the rotatable grating about an optical axis orthogonal to the plane of the rotatable grating, and generating a split beam. For this purpose, the method includes the step 104 of directing the laser beam along the optical axis to the rotatable diffraction grating and the step 106 of focusing the split beam on the target. In one embodiment, the method further includes moving the target perpendicular to the optical axis, eg, moving the target along a line perpendicular to the optical axis. In other embodiments, the method further comprises applying a shielding gas to the target.

ここに開示される本発明の実施例が、現在好ましく考慮されるが、様々な変更及び修正が、本発明の範囲から逸脱せずになされ得る。例えばここに記載される溶接システムは、ターゲットを溶接、切断、孔あけ、及び/又は融除するように使用され得る。本発明の範囲は、請求項において示され、手段及び等価なものの範囲にある全ての変更は、ここに包含されると意図される。   While the embodiments of the invention disclosed herein are presently preferred, various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention. For example, the welding system described herein can be used to weld, cut, drill, and / or ablate a target. The scope of the invention is indicated in the claims, and all changes that come within the scope of the means and equivalents are intended to be embraced therein.

図1は、本発明によって作られる溶接システムの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a welding system made in accordance with the present invention. 図2は、本発明によって作られる溶接システムの溶接経路の概略図である。FIG. 2 is a schematic view of the welding path of a welding system made in accordance with the present invention. 図3は、本発明によって作られる溶接システムの溶接経路の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of the welding path of a welding system made in accordance with the present invention. 図4は、本発明によって作られる溶接システムの溶接経路の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of the welding path of a welding system made in accordance with the present invention. 図5は、本発明によって作られる他の溶接システムの概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram of another welding system made in accordance with the present invention. 図6は、本発明による溶接方法のフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart of the welding method according to the present invention.

Claims (22)

ターゲットを溶接するとともに、光軸を有するシステムであって、
レーザビームのソースと、
前記光軸の周りを回転する一対のレーザスポットに、前記レーザビームを変換する、回転可能回折格子と、
前記一対のレーザスポットをターゲットに集束させるレンズと、
を有する、システム。
A system for welding a target and having an optical axis,
A laser beam source;
A rotatable diffraction grating that converts the laser beam into a pair of laser spots that rotate about the optical axis;
A lens for focusing the pair of laser spots on a target;
Having a system.
前記回転可能回折格子が、前記ソースと前記レンズとの間に位置される、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the rotatable diffraction grating is located between the source and the lens. 前記レンズが、コリメートレンズと集束レンズとを有し、前記回転可能回折格子が前記コリメートレンズと前記集束レンズとの間に位置される、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the lens comprises a collimating lens and a focusing lens, and the rotatable diffraction grating is located between the collimating lens and the focusing lens. 前記回転可能回折格子の平面が、前記光軸と直交する、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein a plane of the rotatable diffraction grating is orthogonal to the optical axis. 前記レンズが前記光軸に対して固定である、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the lens is fixed relative to the optical axis. 前記回転可能回折格子が第1回転可能回折格子であり、前記一対のレーザスポットは第1の対のレーザスポットであり、前記光軸の周りを回転する第2の対のレーザスポットに前記レーザビームを変換する第2回転可能回折格子を更に有するシステムであって、前記レンズが前記第1の対のレーザスポットと、前記第2の対のレーザスポットとを前記ターゲットに集束させる、請求項1に記載のシステム。   The rotatable diffraction grating is a first rotatable diffraction grating, the pair of laser spots is a first pair of laser spots, and the laser beam is applied to a second pair of laser spots rotating around the optical axis. The system of claim 1, further comprising a second rotatable diffraction grating for converting the lens, wherein the lens focuses the first pair of laser spots and the second pair of laser spots on the target. The described system. 前記一対のレーザスポットの1つの、前記ターゲットにおける速度が、約200mm/秒と約800mm/秒との間である、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein a velocity at the target of one of the pair of laser spots is between about 200 mm / sec and about 800 mm / sec. 前記一対のレーザスポットの1つと、前記ターゲットとの相互作用時間は、約0.1m秒と0.5m秒との間である、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein an interaction time between one of the pair of laser spots and the target is between about 0.1 ms and 0.5 ms. 前記回転可能回折格子の回転速度は、約1500rpmと約4500rpmとの間である、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the rotational speed of the rotatable diffraction grating is between about 1500 rpm and about 4500 rpm. 前記回転可能回折格子が、フォトレジストでコーティングされたガラス格子と、エッチングされた溶融石英格子とからなるグループから選択される、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein the rotatable diffraction grating is selected from the group consisting of a photoresist coated glass grating and an etched fused silica grating. 前記ターゲットと前記光軸との間の角が約20度よりも小さい、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, wherein an angle between the target and the optical axis is less than about 20 degrees. 前記光軸に対して垂直に前記ターゲットを移動するために、前記ターゲットに動作可能に接続されるドライバを更に有する、請求項1に記載のシステム。   The system of claim 1, further comprising a driver operably connected to the target for moving the target perpendicular to the optical axis. ターゲットを溶接する方法であって、
平面の回転可能回折格子を設けるステップと、
前記回転可能回折格子を、前記回転可能回折格子の平面に直交する光軸の周りを回転させるステップと、
分割ビームを生成するために、前記光軸に沿うレーザビームを前記回転可能回折格子に向けるステップと、
前記分割ビームを前記ターゲットに集束させるステップと、
を有する方法。
A method of welding a target,
Providing a planar rotatable diffraction grating;
Rotating the rotatable diffraction grating about an optical axis orthogonal to a plane of the rotatable diffraction grating;
Directing a laser beam along the optical axis to the rotatable diffraction grating to generate a split beam;
Focusing the split beam on the target;
Having a method.
前記分割ビームを集束させるステップが、前記分割ビームをコリメートビームに視準するステップと、前記コリメートビームを集束させるステップとを有する、請求項13に記載の方法。   14. The method of claim 13, wherein focusing the split beam comprises collimating the split beam to a collimated beam and focusing the collimated beam. 前記ターゲットを前記光軸に対して垂直に移動させるステップを更に有する、請求項13に記載の方法。   The method of claim 13, further comprising moving the target perpendicular to the optical axis. 前記ターゲットを前記光軸に対して垂直な線に沿って移動させるステップを更に有する、請求項13に記載の方法。   The method of claim 13, further comprising moving the target along a line perpendicular to the optical axis. 前記ターゲットに対して遮蔽ガスを適用するステップを更に有する、請求項13に記載の方法。   The method of claim 13, further comprising applying a shielding gas to the target. ターゲットを溶接するシステムであって、
平面の回転可能回折格子と、
前記回転可能回折格子を、前記回転可能回折格子の平面に直交する光軸の周りを回転させる手段と、
分割ビームを生成するために、前記光軸に沿うレーザビームを前記回転可能回折格子に向ける手段と、
前記分割ビームを前記ターゲットに集束させる手段と、
を有するシステム。
A system for welding a target,
A planar rotatable diffraction grating; and
Means for rotating the rotatable diffraction grating about an optical axis perpendicular to the plane of the rotatable diffraction grating;
Means for directing a laser beam along the optical axis to the rotatable diffraction grating to generate a split beam;
Means for focusing the split beam on the target;
Having a system.
前記分割ビームを集束させる手段が、前記分割ビームをコリメートビームに視準する手段と、前記コリメートビームを集束させる手段とを有する、請求項18に記載のシステム。   19. The system of claim 18, wherein the means for focusing the split beam comprises means for collimating the split beam to a collimated beam and means for focusing the collimated beam. 前記ターゲットを前記光軸に対して垂直に移動させる手段を更に有する、請求項18に記載のシステム。   The system of claim 18, further comprising means for moving the target perpendicular to the optical axis. 前記ターゲットを、前記光軸に対して垂直な線に沿って移動させる手段を更に有する、請求項18に記載のシステム。   The system of claim 18, further comprising means for moving the target along a line perpendicular to the optical axis. 遮蔽ガスを前記ターゲットに適用させる手段を更に有する、請求項18に記載のシステム。   The system of claim 18, further comprising means for applying a shielding gas to the target.
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