JP2008541513A - 高感度ファイバ適合光音響センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、2005年4月29日に出願され、米国仮特許出願第60/676,700号の利益を主張し、参照することによってその全体を本書に組み込むものとする。
発明の分野
本出願は、一般に、音響センサシステムに関し、より詳細には、光ファイバ適合音響センサシステムに関する。
ファブリ・ペロー干渉キャビティの2枚の鏡の相対変位に基づいた音響圧力測定を提供する様々な光ファイバセンサシステムが従来開示されている。例えば、M.Yu et al.,“Acoustic Measurements Using a Fiber
Optic Sensor System,” J.Intelligent Mat‘l Systems and Structures,vol.14,pages 409−414(July 2003)(M.ユーら、「光ファイバセンサシステムを用いた音響測定」、ジャーナルオブインテリジェントマテリアルシステムズアンドストラクチャーズ14巻、409〜414頁(2003年7月));K.Totsu et al.,“Ultra−Miniature Fiber−Optic Pressure Sensor Using White Light Interferometry,”J.Micromech.Microeng.,vol.15,pages 71−75(2005)(K.トーツら、「白色光干渉計を用いた超小型光ファイバ圧力センサ」、ジャーナルオブミクロメカニカルミクロエンジニア15巻、71〜75頁(2005年));W.B.Spillman,Jr.et al.,“Moving Fiber−Optic Hydrophone,”Optics Lett.,vol.5,no.1,pages 30−31(January 1980)(W.B.スピルマンJr.ら、「移動光ファイバ水中聴音機」、オプティクスレター5巻、No.1、30〜31頁(1980年1月));K.Kardirvel et al.,“Design and
Characterization of MEMS Optical Microphone for Aeroacoustic Measurement,”42nd AIAA Aerospace Sciences Meeting and Exhibit,5−8 January 2004,Reno,Nevada(K.カルディベルら、「航空音響測定用MEMS光マイクロホンの設計および特性」、第42回AIAA航空宇宙科学会議および展示、2004年1月5〜8日、リノ、ネバダ);J.A.Bucaro et al.,“Miniature,High Performance,Low−Cost Fiber Optic Microphone,”J.Acoust.Soc.Am.,vol.118,no.3,part 1,pages 1406−1413(September 2005)(J.A.ブカロら、「小型高機能で低コストなファイバ光マイクロホン」、ジャーナルオブアコースティックソサエティオブアメリカ118巻、No.3、パート1、1406〜1413(2005年9月);T.K.Gangopadhyay et al.,“Modeling and Analysis of an Extrinsic Fabry−Perot Interferometer Cavity,”Appl.Optics,vol.44,no.16,pages 312−3196(1 June 2005)(T.K.ガンゴパドヘイら、「外部ファブリ・ペロー干渉計キャビティのモデリングおよび分析」アプライドオプティ
クス44巻、No.16、312〜3196頁(2005年6月1日));およびP.J.Kuzmenko,“Experimental Performance of a
Miniature Fabry−Perot Fiber Optic Hydrophone,”Proceedings of 8th Optical Fiber Sensors Conference,Monterey,California,January 29−31,1992,pages 354−357(P.J.クズメンコ、「小型ファブリ・ペロー光ファイバ水中聴音機の実験的性能」、第8回光ファイバセンサ会議会報、カリフォルニア州モンテレー、1992年1月29〜31日、354〜357頁)を参照。
modes in an air−bridged semiconductor waveguide with a two−dimensional photonic
lattice,”Appl.Phys.Lett.,vol.70,page 1438(1997)(M.カンスカーら、「二次元光子格子を有するエアブリッジ半導体導波管における漏えいスラブモードの観察」(アプライドフィジックスレター70巻、1438頁(1997年));V.N.Astratov et al.,“Resonant coupling of near−infrared radiation to
photonic band structure waveguides,”J.Lightwave Technol.,vol.17,page 2050(1999)(V.N.アストラトブら、「光子バンド構造導波管への近赤外線の共振カップリング」ジャーナルオブライトウェイブテクノロジー17巻、2050頁(1999年));およびS.Fan and J.D.Joannopoulos,“Analysis of
guided resonances in photonic crystal slabs,”Phys.Rev.B,vol.65,page 235112(2002)(S.ファンおよびJ.D.ジョアノプロス、「光子結晶スラブにおけるガイドされた共振の分析」、フィジカルレビューB65巻、235112頁(2002年)。そのようなガイドされた共振モードは、発光ダイオードおよびレーザにおいて、光学フィルタまたは鏡として従来使用されてきた。
特定の実施形態において、音響センサは、共振周波数および共振線形を持つ少なくとも1つの光学共鳴を有する少なくとも1つの光子結晶構造を含む。音響センサは、少なくとも1つの光子結晶構造を実質的に包囲し、少なくとも1つの光子結晶構造に機械的に結合された筺体をさらに含む。共振周波数および共振線形の少なくとも1つは、筺体に入射する音波に応答する。
共振線形の少なくとも1つの変化を検知するステップをさらに含む。
圧電変換器の感度に匹敵する感度を達成するために十分な線質係数を有する現代の光共振器は、典型的には大きく、作製、取り付け、整列および作動するのに実用的でない。対照的に、本書に記載した特定の実施形態は、従来の光キャビティのものより小さい桁の口径を持つ光子結晶スラブ(PCS)構造によって形成された光共振器に基づく音響センサを含む。そのような実施形態の小さな大きさによって、約10kHzより大きな周波数用の圧電/容量変位センサの感度に匹敵する感度がもたらされる。一対のPCSを含む光子結晶構造を使用して、ノッチおよび帯域通過透過および反射フィルタを提供することができ、そのような構造は、様々な用途(例えば、石油探索、海中音波検知)に適合する音響センサシステムで利用することができる。
特定の実施形態では、少なくとも1つの光子結晶構造20は、PCS70を含み、その例を図2Aに概略的に図示する。PCS70は、第1の材料72と、PCS70内の領域74の配列を含む。領域74は、第1の材料72の屈折率と異なる屈折率を有する第2の材料76を含む。図2AのPCS70は、厚みTを有し、実質的に平面の構成を有する。
のアルコールが挙げられるが、それらに限定されない。
示する。図2Eおよび2Fにおいて、領域74は、断面図に対して実質的に垂直な方向に延在する。特定の実施形態では、隣接領域74間の間隔は、約100ナノメータ〜約1550ナノメータの間の範囲にある。特定の実施形態では、領域74の幅は、約100ナノメータ〜約1500ナノメータの範囲にある。特定の実施形態では、隣接領域74間の中心間距離は、約100ナノメータ〜約1550ナノメータの範囲にある。
電率も変化し、それらの両方は共振波長のシフトに寄与する。
特定の実施形態では、図8で概略的に図示するように、光子結晶構造20は、第1のPCS100、および第1のPCS100と実質的に平行な第2のPCS102を含む。これらPCS100、102の各々は、単一のPCS構造について、上述するような物理的パラメータ(例えば、厚み、領域の大きさ、材料、周期性、配置)を有することができる。
光を非縮退共振に結合することを可能にする。これらのさらなる共振は、2つのPCS間の垂直変位の関数として、周波数(または波長)がシフトする。これらのさらなる共振は、2つのPCSと平行な横変位の関数として、周波数(または波長)およびそれらの線形(例えば、線幅)もシフトする。特定の実施形態では、2つのPCSを光学的に結合することによって、線幅およびこれらのさらなる共振の周波数は、PCSに垂直でありPCSと平行である2つのPCS間の変位によって、有利に動的に調整することができる。特定の実施形態では、2つのPCS間のサブオングストローム変位(PCSに垂直または平行)は、感度の良好な共振波長で、透過または反射されたパワーの検知可能な変化を導入する。特定の実施形態では、電気的作動は、PCSと概ね平行な方向にPCSをシフトするために使用することができ、共振周波数の使用は、PCSに概ね垂直な方向に、PCS間の音波で引き起こされた変位によりシフトする。そのような特定の実施形態は、音響センサシステムで有利に使用される。
典型的な光共振器またはフィルタの鋭い共振は、光の入射角に対して感度が良好である。典型的には、入射角へのこの感度を回避するために、入射光は、平面波に近似するように平行にされる。光源として光ファイバを使用する場合、光ファイバによって放射された光は、さらなる平行光学系およびさらなるファイバ−ファイバ結合ハードウェアを使用して、現代の光共振器用に典型的に平行にされる、ある角度配置を有する。
PCS内の特定の固有モードは無限の寿命を有し、したがって、垂直入射で外部放射に結合されない。したがって、光子結晶を利用する現代の光共振器システムでは、共振モードと入射波との間の対称ミスマッチにより、垂直入射平面波を持つ特定の共振(本書では非縮退共振と称する)に結合することは、一般に可能でない。この効果は、Pacradouni et al.,“Photonic band structure of dielectric membranes periodically textured in two dimensions,”Phys.Rev.B,vol.62,
page 4204 (2000年)(パクラドウニら、「2次元で周期的に織り目加工された誘電膜の光子バンド構造」、フィジカルレビューB62巻、4204頁(2000年))によって実験的に観察され、Paddon and Young,“Two−dimensional vector−coupled−mode theory for textured planar waveguides,”Phys.Rev.B,vol.61,page 2090(2000)(パドンおよびヤング、「織り目加工された平面導波路に関する2次元ベクトル結合モード理論」、フィジカルレビューB61巻、2090頁(2000年))によって理論的に検討された。グループ理論主張を用いて、Ochiai and Sakoda,“Dispersion relation
and optical transmittance of a hexagonal photonic crystal slab,”Phys.Rev.B,vol.63,page 125107(2001)(オチアイおよびサコダ、「六角形光子結晶スラブの分散関係および光透過率」、フィジカルレビューB63巻,125107頁(2001年))は、これらの共振が外部放射を持つ対称ミスマッチにより結合されないことを示した。
器システムについて実施される。
に結合されず、非縮退共振である。
称穴、および回転非対称穴を持つPCS構造を通る垂直入射透過に相当する。
の場合についての透過スペクトルを図示する。これらの共振の非縮退の性質は、それらの固有に高い線質係数がリソグラフィー的に制御できる単純な形状的パラメータによって調整できるという事実と併せて、レーザにおいてモード選択および線幅制御のための音響検出システムおよび装置を含む多様な用途を可能にする。そのような構造は、センサ用途において、非常に鋭いフィルタとしても使用される。
図24は、本書に記載した特定の実施形態に適合する例としての音響センサシステム200を概略的に図示する。特定の実施形態では、音響センサシステム200は、共振周波数および共振線形を持つ少なくとも1つの光学共鳴を有する少なくとも1つの光子結晶構造20を含む。音響センサシステム200は、少なくとも1つの光子結晶構造20を実質的に包囲し、少なくとも1つの光子結晶構造20に機械的に結合された筺体30をさらに含む。少なくとも1つの光子結晶構造20の共振周波数および共振線形の少なくとも1つは、筺体30に入射する音波40に応答する。図24で図示するように、特定の実施形態では、音響センサシステム200は、少なくとも1つの光子結晶構造20に光学的に結合された光ファイバ50をさらに含む。
する。特定の実施形態では、可動部220は、音波40によって可動部220の変位に応じて復元力を付与することにより、機械的ばねとして機能を果たす。特定の他の実施形態では、支持体212は、音波40による可動部220の変位に応じて復元力を付与することにより、機械的ばねとして機能を果たす。構造210または支持体212のための他のばね設計を利用する他の実施形態も、本書に記載した実施形態と適合する。
ンサシステム200内の領域280から有利に遮られる。そのような特定の実施形態では、光子結晶構造20のPCS70a、70bは、気体(例えば、空気)内で動作する。特定の実施形態では、筺体30は、液体を含み、かつ少なくとも1つの光子結晶構造20の外側にある領域(例えば、内部領域250)を画成し、少なくとも1つの光子結晶構造20を含み、かつ実質的に液体がない領域280を画成する。液体は、スペーサ270下の開口を通って領域280に侵入することができてもよいが、特定の実施形態では、領域280内の気体の圧力およびスペーサ270下の開口の小さな大きさは共に、ともすれば音響センサシステム200の動作を悪化させ得る領域280への液体の侵入を防ぐために有利に選択される。特定の実施形態では、領域280から液体を妨げるように構成された疎水性表面を光子結晶構造20の少なくとも一部に設けることにより、領域280からの液体の排除をさらに有利に向上させる。
ファイバ50の一部であるファイバブラッグ回折格子330を含む。ファイバブラッグ回折格子330は、光ファイバ50によって放射された光を少なくとも部分的に透過し、少なくとも部分的に反射する。特定の実施形態では、PCS70およびファイバブラッグ回折格子330は、ファイバブラッグ回折格子330に対するPCS70の変位に感度の良好なファブリ・ペロー干渉キャビティを形成する。典型的には、ファイバブラッグ回折格子は、数百ナノメータのピッチおよび数百マイクロメートルから数ミリメートルに及ぶ全長を有する。特定の実施形態のファイバブラッグ回折格子は、ピコメータから数ナノメータまで及ぶ波長帯域幅で、数パーセントからほとんど100%までの反射率をもたらす。以下に、単一のPCS70およびファイバブラッグ回折格子330のそのような組み合わせの光学的特性を、より完全に記載する。本書に記載した特定の実施形態に適合するファイバブラッグ回折格子330は市販されており、そのようなファイバブラッグ回折格子を使用することによって、音響センサシステム200の作製を簡易化することができる。
特定の実施形態では、音響センサシステム200の様々な構成要素を形成するために、表面マイクロマシニング技術およびバルクマイクロマシニング技術を、作製工程フローで使用する。本書に記載した実施形態に適合するリソグラフィー技術としては、光リソグラフィー、電子線リソグラフィー、ナノインプリンティング技術、および微小電気機械システム(MEMS)作製と概ね適合する他の技術が挙げられるが、それらに限定されない。本書に記載した実施形態に適合する表面マイクロマシニング技術としては、膜堆積、ドライエッチング、ウェットエッチング、エピタキシャル成長、ウエハボンディング、および犠牲放出が挙げられるが、それらに限定されない。本書に記載した実施形態に適合するバルクマイクロマシニング技術としては、異方性または等方性の大規模反応性イオンエッチング、KOH(水酸化カリウム)またはTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を
使用する異方性ウェットエッチング、および等方性ウェットエッチングが挙げられるが、それらに限定されない。
Iウエハ500をパターン化する(例えば、第5のマスクを使用して)。図30Nで概略的に図示するように、酸化層520の一部をエッチングで取り去り、シリコン層530で止まることによって、アパチャを拡張し、酸化層640をエッチングで取り去る。特定の実施形態では、酸化層642、酸化層632、シリコン層532、酸化層520および酸化層640のエッチングを、同じエッチングステップの間に行う。特定の実施形態では、得られた構造を個々のチップに分離し、後続の工程ステップをチップの規模で行う。
音響センサシステム200の可動部220および弾性部(例えば、第2の筺体310)の力学は、本書に記載した様々な実施形態の性能に影響する。これらの力学を、音響センサシステム200の様々な構成について以下に分析する。以下の計算は、本書に記載した様々な実施形態の動作について幾分の洞察をもたらすが、限定を意図しない。
厚みh、密度ρを持つ伸張されたダイヤフラムの横方向変位uについての運動の式を以下のように表すことができる。
Control,IEEE Transactions,vol.45,issue 3,pages 678−690(May 1998)(I.ラダバウムら、「表面マイクロマシニングされた容量性超音波振動子」、フェロエレクトリックスアンドフリクエンシーコントロール、IEEEトランザクション45巻3号、678〜690頁(1998年5月);M.Yu,“Fiber−Optic Sensor Systems for Acoustic Measurements,”Ph.D.Dissertation,University of Maryland,College Park,MD.(M.ユー、「音響測定のための光ファイバセンサシステム」、博士論文、メリーランド大学、カレッジパーク、メリーランド)参照。ここでσは残留応力、Dは以下のように定義された曲げ剛性である。
件は、次の固有値方程式になる。
強制され減衰されたダイヤフラムについて、運動方程式は、以下のようになる。
異なる2つの種類の構造は、窒化ケイ素および結晶シリコンからなるダイヤフラムであり、興味深い。これらの2つの材料の機械的特性により、以下に検討するように、ダイヤフラムの解は、閉形式を有する。
膜は、残留応力が支配的な、例えば、κ→∞のダイヤフラムである。膜構造は、κ>20について良好な近似であり、通常、高い残留応力を有する窒化ケイ素ダイヤフラムの場合である。この場合、βn→κ/a→∞なので、固有値方程式(15)は、単に、J0(αna)=0になる。表記を簡単にするために、(αna=Zn)であり、ここで、ZnはJ0(x)のn次ゼロを示す。
b=0については、式(21)の変位は以下のようになる。
new analytical solution for diaphragm deflection and its application to a surface micromachined pressure sensor,”Int‘l Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems,1999(W.P.イートンら、「ダイヤフラム偏差に関する新しい解析解および表面マイクロマシニングされた圧力センサへの適用」、マイクロシステムのモデリングおよびシミュレーションに関する国際会議、1999年)参照。式(22)が、r=(0,a)の全体の範囲に適用可能な正確な解であることに注意されたい。
b→∞については、式(21)の変位は、以下のようになる。
板は、曲げ剛性が支配的なダイヤフラムであり、例えば、κ=0である。板構造は、κ<2について良好な近似であり、通常、非常に低い残留応力を有する結晶シリコンダイヤフラムについての場合である。
b=0については、式(24)の変位は、以下のようになる。
new analytical solution for diaphragm deflection and its application to a surface micromachined pressure sensor,”Int‘l Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems,1999(W.P.イートンら、「ダイヤフラム偏差に関する新しい解析解および表面マイクロマシニングされた圧力センサへの適用」、マイクロシステムのモデリングおよびシミュレーションに関する国際会議、1999年)参照。r=0からr=aまでの減衰は、より迅速に膜の場合と比較されることが注目される。
b→∞については、式(21)の変位は、以下のようになる。
機械インピーダンスの計算は、周囲媒体(空気や水など)および減衰が、ダイヤフラムの変位にどのように影響するかの理解を促進できる。機械インピーダンスZは、圧力対速度、すなわち、Z=P/υの比率として定義される。ここで検討する場合、υ(r)=jωu(r)である。ダイヤフラムのインピーダンスを計算するために、集中速度を使用する。
例としてのシステムとして、円形ダイヤフラムは、窒化ケイ素または結晶シリコンからなり、典型的なSMF−28シングルモードファイバ(例えば、62.5ミクロン)の半径を有しており、ファイバの端部から距離dほど離間される。表1には、計算で使用される様々なパラメータおよび定数の値が与えられる。
上記に導出された式は、音響センサシステムに関する最適パラメータを求めるために使用することができる。図31は、可動性反射素子(例えば、膜)および光ファイバの例としての構成を概略的に図示する。最適化される主なパラメータは、図31で概略的に示され、キャビティ長(L)、膜の半径(a)、およびファイバ端部の反射率(Rf)および
膜鏡の反射率(Rm)である。
上記の関係は、最大Lを計算するために使用することができる。この計算値は、必要な感度を達成するために使用される最小反射率Reffに依存する。最良のシナリオに関する最小必要反射率は、ショット雑音限界にある騒音レベルに相当し、水のインピーダンスは、支配的であり、その結果、膜は水粒子で変位する。
音響センサとして使用される単純なファブリ・ペロー構造は、光子結晶鏡およびファイバブラッグ回折格子(例えば、図28で示すように)で、または本書で記載するように、たった2枚の光子結晶鏡で構成することができる。そのようなセンサの感度は、基本ファブリ・ペロー式から計算することができる(例えば、Thomson et al.,“A Fabry−Perot acoustic surface vibration
detector−application to acoustic holography,”J.Phys.D:Appl.Phys.,Vol.6,page 677(1973)(トムソンら、「音響ホログラフィへのファブリ・ペローの音響表面振動検知器の適用」、ジャーナルオブフィジックスD:アプライドフィジックス6巻、677頁(1973年)参照)。特定の実施形態では、ファブリ・ペローキャビティを形成する鏡は両方とも、高い反射率Rを有する。そして、K=4R/(l−R)2およびφ=2πL/λについて、Lは鏡間隔であり、反射パワーPrと入射パワーPiとの関係を以下のように計算することができる。
ピーク振幅ΔLの小さな鏡変位については、フォトダイオードの信号電流は次のとおりである。
式(33)で与えられた最大感度で動作して、式(35)の信号電流式内の式(36)のパワー信号は以下のとおり。
感度についての一般式を有し、ファイバブラッグ回折格子についての感度を計算することができる。そのような構造の共振波長は、次のとおりである。
であることを意味する。したがって、式(46)のL・Δλ1/2が同じならば、ファブリ・ペローキャビティおよびファイバブラッグ回折格子の感度は、与えられた波長について同じオーダーである。
using a pre−stabilized diode laser,”page CPDA9,Post−deadline CLEO 2005(2005)(チョウら、「あらかじめ安定化したダイオードレーザを使用する超高分解能ファイバセンサ」、CPDA9頁、Post−deadline CLEO2005(2005年)参照)。この報告された値は、同じ構造について、感度を限定した基本ショット雑音よりちょうど約1オーダー低い。したがって、この場合には非常に良好なレーザを使用するので、長いキャビティ長で高感度を得ることはより難しい。しかし、これらの結果は、鏡として2つの薄い光子結晶スラブを使用するファブリ・ペローセンサに関してと同様に、図28に示すファイバブラッグ回折格子構造のついて有望なはずである。
Claims (41)
- 共振周波数および共振線形を持つ少なくとも1つの光学共鳴を有する少なくとも1つの光子結晶構造と、
前記少なくとも1つの光子結晶構造を実質的に包囲し、前記少なくとも1つの光子結晶構造に機械的に結合された筺体と、を含む音響センサであって、
前記共振周波数および前記共振線形の少なくとも1つは、前記筺体に入射する音波に応答する、音響センサ。 - 前記音響センサは、前記少なくとも1つの光子結晶構造に光学的に結合された光ファイバをさらに含む、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記光ファイバから放射された光は、前記少なくとも1つの光子結晶構造に垂直な方向から約10度以内の入射角の範囲で、前記少なくとも1つの光子結晶構造に入射する、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記光は、前記光ファイバから放射されてから前記少なくとも1つの光子結晶構造に達するまで平行にされない、請求項3に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、実質的に平面の構成を有する光子結晶スラブと、前記光子結晶スラブと前記光ファイバとの間の金属層と、を含み、
前記金属層は、前記光ファイバによって放射された光を少なくとも部分的に透過する、請求項2に記載の音響センサ。 - 前記金属層は、前記光ファイバの一端上の金属被覆を含む、請求項5に記載の音響センサ。
- 前記金属層は、前記光子結晶スラブに実質的に平行である、請求項5に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、実質的に平面の構成を有する光子結晶スラブと、ファイバブラッグ回折格子とを含む、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記光ファイバは、前記ファイバブラッグ回折格子を含む、請求項7に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、実質的に平面の構成を有する光子結晶スラブを含み、前記スラブは、第1の材料およびその上の突出部の実質的に周期的な配列を含む、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、厚みおよび実質的に平面の構成を有する少なくとも1つの光子結晶スラブを含み、前記スラブは、第1の材料と、前記スラブ内の領域の配列と、を含み、各領域は、前記第1の材料の屈折率と異なる屈折率を有する第2の材料を含む、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記領域の配列は、前記スラブの前記厚みを少なくとも部分的に貫いて延在し、かつ前記第2の材料を含む、複数の穴を含み、前記複数の穴は、前記スラブ内に実質的に周期的な配置を有する、請求項11に記載の音響センサ。
- 前記第1の材料は固体誘電材料を含み、前記第2の材料は空気を含む、請求項12に記
載の音響センサ。 - 前記第1の材料は固体誘電材料を含み、前記第2の材料は水を含む、請求項12に記載の音響センサ。
- 前記領域の配列は、実質的に円形の穴の実質的に正方形の配列を含む、請求項12に記載の音響センサ。
- 前記複数の穴の各穴は、前記光子結晶スラブに沿った第1の軸および前記光子結晶スラブに沿った第2の軸に対して鏡面対称を有する実質的に対称な形状を有し、前記第2の軸は、前記第1の軸に実質的に垂直である、請求項12に記載の音響センサ。
- 前記複数の穴の各穴は、前記光子結晶スラブに沿った第1の軸に対して鏡面対称を欠く実質的に非対称の形状を有する、請求項12に記載の音響センサ。
- 前記複数の穴の各穴は、前記光子結晶スラブに沿った第2の軸に対して鏡面対称を有し、前記第2の軸は前記第1の軸に実質的に垂直である、請求項17に記載の音響センサ。
- 前記実質的に周期的な配置は欠陥を有する、請求項12に記載の音響センサ。
- 前記欠陥は欠損穴、前記複数の穴のうちの他の穴とは異なる大きさを有する穴、前記複数の穴のうちの他の穴とは異なる形状を有する穴、前記第1の材料もしくは前記第2の材料の前記屈折率とは異なる屈折率を有する第3の材料を含む穴、または前記実質的に周期的な配置の予期された位置から変位された穴を含む、請求項19に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、前記筺体に入射する音波が、前記少なくとも1つの光学共鳴の前記共振周波数および前記共振線形の少なくとも1つを変化させる前記少なくとも1つの光子結晶構造に加えられる力を引き起こすように、前記筺体に機械的に結合される、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、伸長、圧縮、または曲げによって、単一の光子結晶スラブに加えられる力に応答する前記単一の光子結晶スラブを含む、請求項21に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は、一対の光子結晶スラブを含み、前記一対の光子結晶スラブは、前記音響センサに固定して設けられた第1の光子結晶スラブと、前記音響センサ内に可動的に設けられた第2の光子結晶スラブとを含み、前記第2の光子結晶スラブは、前記第1の光子結晶スラブと実質的に平行で、前記第1の光子結晶スラブに光学的に結合され、
前記第2の光子結晶スラブは、前記少なくとも1つの光子結晶構造に加えられる前記力に応じて、前記第1の光子結晶スラブに対する移動を経験する、請求項21に記載の音響センサ。 - 前記第2の光子結晶スラブの前記移動は、前記第1の光子結晶スラブに実質的に垂直な方向に成分を有し、前記移動は、前記第1の光子結晶スラブと前記第2の光子結晶スラブとの距離を変化させる、請求項23に記載の音響センサ。
- 前記第2の光子結晶スラブの前記移動は、前記第1の光子結晶スラブに実質的に平行な方向に成分を有する、請求項23に記載の音響センサ。
- 前記筺体は、前記筺体内の内部領域と前記筺体の外側の外部領域との間に少なくとも1つの圧力水路を含む、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの圧力水路は、前記筺体を貫く穴を含み、前記穴は、前記内部領域を前記外部領域と流体的に結合する、請求項26に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの圧力水路は、前記内部領域と前記外部領域との間に弾性膜を含み、前記膜は、圧力差を低減するために移動することによって、前記内部領域と前記外部領域との前記圧力差に応答する、請求項26に記載の音響センサ。
- 前記少なくとも1つの圧力水路は、前記内部領域と前記外部領域との間の前記筺体の可動部と、前記可動部に機械的に結合された支持構造とを含み、前記支持構造は、前記可動部に復元力をもたらし、圧力差を低減するために前記可動部を移動させることによって、前記可動部にわたって前記圧力差に応答する、請求項26に記載の音響センサ。
- 前記筺体は、前記少なくとも1つの光子結晶構造を含む第1の領域および前記少なくとも1つの光子結晶構造の外の第2の領域を画成し、
前記第2の領域は液体を含み、前記第1の領域は液体が実質的にない、請求項1に記載の音響センサ。 - 前記筺体の少なくとも一部は、前記第1の領域から液体を制限するように構成された疎水性表面を含む、請求項30に記載の音響センサ。
- 前記第1の領域は気体を含み、前記第2の領域は水を含む、請求項30に記載の音響センサ。
- 音波を検知する方法であって、
共振周波数および共振線形を持つ少なくとも1つの光学共鳴を有する少なくとも1つの光子結晶構造を含むセンサと、前記少なくとも1つの光子結晶構造を実質的に包囲し、前記少なくとも1つの光子結晶構造に機械的に結合された筺体とを準備するステップであって、前記共振周波数および前記共振線形の少なくとも1つは、前記筺体に入射する音波に応答するステップと、
前記センサを音波にさらすステップと、
前記音波によって引き起こされる前記共振周波数および前記共振線形の少なくとも1つの変化を検知するステップと、を含む方法。 - 前記共振周波数および前記共振線形の少なくとも1つの変化を検知するステップは、前記少なくとも1つの光子結晶構造に光を照射するステップと、前記少なくとも1つの光子結晶構造から反射された光、前記少なくとも1つの光子結晶構造を透過した光、または前記少なくとも1つの光子結晶構造から反射された光および前記少なくとも1つの光子結晶構造を透過した光の両方を検出するステップと、を含む、請求項33に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は対称軸を有し、前記光は前記対称軸に実質的に垂直な方向に偏光される、請求項34に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの光子結晶構造は対称軸を有しており、前記光は前記対称軸に実質的に平行な方向に偏光される、請求項34に記載の方法。
- 前記光は前記共振周波数からの周波数オフセットを有する、請求項34に記載の方法。
- 前記光は前記光子結晶構造に光学的に結合された光ファイバによって放射される、請求項34に記載の方法。
- 前記光ファイバによって放射された前記光は、前記光ファイバと前記光子結晶構造との間の平行光学系を透過されることなく、前記光子結晶構造を照射する、請求項38に記載の方法。
- 前記光子結晶構造は、前記光子結晶スラブに沿った第1の軸に対して鏡面対称を欠く光子結晶スラブを含み、前記光は前記光子結晶スラブに垂直入射する、請求項34に記載の方法。
- 前記光子結晶スラブは、前記光子結晶スラブに沿った第2の軸に対して鏡面対称を有し、前記第2の軸は、前記第1の軸に実質的に垂直である、請求項40に記載の方法。
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