JP2008521206A - イオン注入機の加速減速コラムの焦点効果低減 - Google Patents
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Abstract
チューブレンズによって、イオンビーム(104)はチューブレンズ(250)の入口においてデフォーカスされる。これにより、コラムによって発生するイオン分散問題が低減される。本発明はまた、チューブレンズを組み入れた加減速コラムおよびイオン注入機も含む。付加的な減速抑制電極(270)もまたチューブレンズ(250)の後に加えられて電子がチューブレンズ内に閉じ込められる。
【選択図】図4
Description
Claims (32)
- イオン注入機のイオンビームに対する加速減速コラムの焦点効果を低減するための装置であって、
前記イオンビームを取り囲んで前記加速減速コラムの減速レンズ近傍にあるチューブレンズを含む装置。 - 前記チューブレンズの長さは、前記イオンビームのデフォーカスがその長さ内で可能になるように選択される、請求項1に記載の装置。
- 前記加速減速コラムは、前記イオンビームが加速される加速モードと、前記イオンビームが減速される減速モードとを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記加速モードにおいて、前記チューブレンズは前記イオンビームに対する影響がないように接地される、請求項3に記載の装置。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの焦点効果を徐々に低減するべくデフォーカスレンズとして機能するように負電圧が帯電される、請求項3に記載の装置。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの加速抑制電極に電気的に接続される、請求項5に記載の装置。
- 前記チューブレンズの上流側直近に配置された加速抑制電極と、
前記チューブレンズの下流側直近に配置された減速抑制電極と
をさらに含み、
前記減速モードにおいて、前記チューブレンズ内に電子を閉じ込めるべく前記チューブレンズに印加される負電圧よりも大きな負電圧が前記加速抑制電極および減速抑制電極に印加される、請求項1に記載の装置。 - 前記チューブレンズは、径方向に延びるマウントを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記減速レンズは、ターミナル電極、焦点電極および接地電極を含む、請求項1に記載の装置。
- イオン注入機のイオンビームに対する加速減速コラムであって、
ターミナル電極、前記ターミナル電極近傍の焦点電極、および前記焦点電極近傍の接地電極を含む前記イオンビーム減速のための減速レンズと、
前記イオンビームを取り囲んで前記減速レンズ近傍にあるチューブレンズと
を含むコラム。 - 前記チューブレンズの長さは、前記イオンビームのデフォーカスがその長さ内で可能になるように選択される、請求項10に記載のコラム。
- 前記加速減速コラムは、前記イオンビームが加速される加速モードと、前記イオンビームが減速される減速モードとを有する、請求項10に記載のコラム。
- 前記加速モードにおいて、前記チューブレンズは前記イオンビームに対する影響がないように接地される、請求項12に記載のコラム。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの焦点効果を徐々に低減するべくデフォーカスレンズとして機能するように負電圧が帯電される、請求項12に記載のコラム。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの加速抑制電極に電気的に接続される、請求項14に記載のコラム。
- 前記チューブレンズの上流側直近に配置された加速抑制電極と、
前記チューブレンズの下流側直近に配置された減速抑制電極と
をさらに含み、
前記減速モードにおいて、前記チューブレンズ内に電子を閉じ込めるべく前記チューブレンズに印加される負電圧よりも大きな負電圧が前記加速抑制電極および減速抑制電極に印加される、請求項10に記載のコラム。 - 下流側のアナライザマグネットに密封的に連結するための連結装置をさらに含む、請求項10に記載のコラム。
- 前記チューブレンズは、径方向に延びるマウントを含む、請求項10に記載のコラム。
- イオンビームを発生させるためのイオンソースと、
前記イオンビームを加速または減速するための、減速レンズを含む加速減速コラムと、
前記イオンビームを取り囲んで減速レンズ近傍にあるチューブレンズと、
前記チューブレンズよりも下流側にあるアナライザマグネットと、
前記イオンビームによる注入を受けるターゲットを保持するための注入チャンバと
を含むイオン注入機。 - 前記チューブレンズの長さは、前記イオンビームのデフォーカスがその長さ内で可能になるように選択される、請求項19に記載のイオン注入機。
- 前記加速減速コラムは、前記イオンビームが加速される加速モードと、前記イオンビームが減速される減速モードとを有する、請求項19に記載のイオン注入機。
- 前記加速モードにおいて、前記チューブレンズは前記イオンビームに対する影響がないように接地される、請求項21に記載のイオン注入機。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記減速レンズの焦点効果を徐々に低減するべくデフォーカスレンズとして機能するように負電圧が帯電される、請求項21に記載のイオン注入機。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの加速抑制電極に電気的に接続される、請求項23に記載のイオン注入機。
- 前記チューブレンズの上流側直近に配置された加速抑制電極と、
前記チューブレンズの下流側直近に配置された減速抑制電極と
をさらに含み、
前記減速モードにおいて、前記チューブレンズ内に電子を閉じ込めるべく前記チューブレンズに印加される負電圧よりも大きな負電圧が前記加速抑制電極および減速抑制電極に印加される、請求項19に記載のイオン注入機。 - 前記チューブレンズは、径方向に延びるマウントを含む、請求項19に記載のイオン注入機。
- 前記減速モードにおいて、前記チューブレンズは、前記加速減速コラムの加速抑制電極に電気的に接続される、請求項19に記載のイオン注入機。
- イオン注入機のイオンビームに対する加速減速コラムの焦点効果を低減する方法であって、
前記加速減速コラムを使用して前記イオンビームを減速するステップと、
前記減速するステップ時にイオンビームを負電位にするチューブレンズを通過させて前記イオンビームをデフォーカスするステップと
を含む方法。 - 前記減速するステップ時に、前記チューブレンズを前記加速減速コラムの加速抑制電極に電気的に接続するステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。
- 前記チューブレンズの長さは、前記イオンビームのデフォーカスがその長さ内で可能になるように選択される、請求項28に記載の方法。
- 前記加速減速コラムを使用して前記イオンビームを加速するステップと、
前記イオンビームに、前記加速するステップ時に前記イオンビームに対する影響がないように接地された前記チューブレンズを通過させるステップと
をさらに含む、請求項28に記載の方法。 - 前記チューブレンズ内に電子を閉じ込めるべく前記チューブレンズに印加される負電圧よりも大きな負電圧を、前記チューブレンズの上流側直近に配置された加速抑制電極、および前記チューブレンズの下流側直近に配置された減速抑制電極に印加するステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。
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