JP2008516455A - 自然故障装置との連動使用に適する電磁整流アンテナ - Google Patents

自然故障装置との連動使用に適する電磁整流アンテナ Download PDF

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Abstract

高周波電磁(EM)波の電力変換が可能なレクテナを提供する。一実施形態ではレクテナ要素は入射EM波電力とn型半導体又はアンテナ要素の最大電圧点に対応する別電子源に基づく二つのソースから電流を発生する。両ソースの合計電流はアンテナの電力出力を増加させ、その結果低電力信号のアンテナ検出感度を増加させる。レクテナ要素のアンテナ要素のギャップに接続した新規ダイオードを用いて全波整流が得られる。ダイオードは順方向バイアス電圧か逆バイアスで導電性であり、アンテナで受信した所望EM波により発生されたアンテナ信号を整流する。本発明のレクテナ要素は大レクテナアレーを生成させる基礎要素として使用される。
【選択図】図10a

Description

本発明は整流アンテナ(“レクテナ”)使用のエネルギー変換に関する。特に本発明は高周波小信号を整流する半導体装置を用いた電磁波エネルギーの電気エネルギーへのエネルギー変換装置に関する。
図1に従来のpn接合ダイオードの電流電圧特性を示す。図2は従来の段階pn接合ダイオード100の略図である。図2に示すように従来のpn接合ダイオード100はp領域101とn領域102を含む。p領域101は、例えばp型ドーパント(即ちホウ素のような電子受容体)を用いてドープし、n領域102はn型ドーパント(即ちリンのような電子供与体)を用いてドープできる。p領域101とn領域102間の段階接合近くで、二領域の電気化学ポテンシャル差による平衡と二領域間の電荷キャリヤー(例えば電子と“正孔”)拡散により、電荷キャリヤーを空乏化して“空乏領域”103と104をそれぞれp領域101とn領域102に形成する。所謂“段階接合近似”では、“空乏領域”103幅xと空乏領域“104幅xは、それぞれpn接合界面の外部負荷電圧Vと以下で与えられ、
xn =(2εNA(φi―V)/qND(NA+ND))1/2
x =(2εND(φi―V)/qNA(NA+ND))1/2
ここでεはシリコン電気透過率、qは電子電荷、φiはpn接合の“内蔵”電位、NAとNBはそれぞれp領域101とn領域102のドーピング濃度である。
図1に示すように横軸はpn接合界面電圧Vを示し、縦軸はpn界面間ダイオード電流ID示す。図1に示すようにpn接合界面電圧Vがゼロボルトより大きいか電圧Vth(“閾電圧”)より大きいと、pn接合は強く“順方向バイアス”され、ダイオード電流IDは電圧Vに関し指数関数的に増大する。pn接合界面電圧Vがゼロボルトより小さいが電圧Vbr(“降伏電圧”)よりは小さくない場合、pn接合は“逆バイアス”でありダイオード電流IDは非常に小さい。逆バイアスでは電圧の大きさが増大すると、発生キャリヤーのエネルギーが増加しトンネル現象や電圧Vbrでの衝撃イオン化のような現象をもたらす。電圧Vbrでダイオード電流IDは非常に大きくなりダイオードは“故障”する。故障時でのpn接合界面の平均電場の大きさ(センチメーター当たりのボルト)は以下の経験式で与えられ、
|Ebr| = 4.0 x 105 / 1-1/3logNp/1016
ここでNDはNA とNBの内の小さい方である。
(特許文献)
関連出願クロスリファレンス
本出願は2004年10月12日申請の“自然故障装置と連動で使用するに適した電磁波整流アンテナ”と題する代理人整理番号米国M−15617、通し番号10/963,357の同時継続米国特許出願(“同時継続特許出願”)の一部継続出願であり、それに優先する。同時継続特許出願はここに全体を文献として取り入れる。
本発明は自由空間の高周波電磁(EM)波出力を電気エネルギーに変換できる整流アンテナ(レクタナ)を提供する。本発明の一実施形態によると、アンテナはアンテナで入射EM波が生ずる電位差と、n型半導体又はアンテナの最大電圧点付随の他電子源の二ソースから電流を発生する。両ソースの合計電流によりアンテナ出力が増加し、その結果低出力信号アンテナの検出感度を増加する。
本発明の一実施形態によると、全波整流がアンテナ接続の新規ダイオード使用により達成される。この実施形態ではダイオードは逆バイアス電圧で導電であり、順方向バイスで電荷を蓄積し、標的電磁(EM)放射発生のアンテナ信号をアンテナ受信選択周波数帯内で整流する。ダイオードとアンテナがレクテナを形成する。本発明の一実施形態では半波整流がダイオードを用いて達成される。
本発明のレクテナは大レクテナアレーを形成する基礎要素として用いても良い。従って本発明のレクテナはマイクロ波、サブミリ波、テラヘルツ波、赤外線波、可視光波への応用が見出されるい。本発明のレクテナは拡大縮小が可能で、半導体技術、材料科学、デバイス物理及びアンテナデザインの改良で更なる改良が可能である。又このレクテナを用いて受信できる周波数の上限はない。本発明は電磁波―直流発電と供給、熱遮蔽、湿度、食糧生産、皮膚病学(例えば生検無しでの熱傷皮膚構造検査)及びトモグラフィー(及び他の医療用画像感知)に応用できる。本発明により特定の空港安全手順や麻薬検出手順でのパレット検査に使用されているような対象物画像化でのレントゲン線(X線)のテラヘルツ線(T-ray)による置き換えが可能になる。本発明により又炎とガス使用の化学分析(例えば毒性分析、フーリエスペクトル)、品質管理手順(例えば自動車用途で使用されているようなプラスチック部品の穴検出)及びレーダー用途(例えば反射測定)でも応用可能である。
本発明の他の様態によると、“自然故障装置”(“NBD”)はゼロバイアス電圧でも電流を流すことができる。自然故障の発明一実施形態によると、NBDはダイオード型の自然故障装置である。NBDは本発明のレクテナ上の整流器として用いて、小振幅高周波電磁信号を整流できる。
以下の記述では主として正方形アレー配置(即ち二次元アンテナアレーがそれぞれ各次元で同数のアンテナ要素を有する)での長方形ダイポールアンテナ(“レクタナ”)を開示するが、本発明は二次元で異なる数のアンテナ要素を有する二次元配置のような他配置のレクタナにも適応できる。本発明は発電用電磁エネルギーを捕獲回収するように配置したダイポールレクタナ要素アレーを提供する。
本発明の一実施形態を図9に示す。図9は多数のアンテナ(例えばアンテナ904、914及び924)を含むレクタナアレー900を示す。図10(a)と10(b)は整流器構造905a接触アンテナ部904aと904bを含むダイポールアンテナ904を示す、図9のレクタナアレー900の平面図と側面図である。整流器構造905aはアンテナ904aと904bの受信信号を整流する。本発明のこの実施形態よると、整流器構造905aは詳細説明で以下に更に検討し、“自然故障装置(NBD)”又は自然故障pn接合ダイオードと呼ぶ自然故障装置(NBD)により提供される。
図10(a)と図10(b)に示すように、整流器構造905aはp領域906とn領域907を含むNBDを含む。この説明で空乏領域幅が同一ドーピング濃度の段階接合でのゼロバイアス印加電圧で空乏化幅より狭い場合、この空乏化を“強制的”と呼ぶ。整流器構造905aの強制的空乏化p領域906はアンテナに直接接続する。整流器構造905aのn領域907は出力チャネル909と直接接続する。整流器構造905aは又図22(a)と図22(b)示すように、本発明の一実施形態よる二つのNBDを備えても良い。二つのNBDを用いて、それぞれアンテナ部904aと904bの内の異なるものと接続して、NBDによるアンテナ部の短絡を避けても良い、
本発明に示すダイポールアンテナ904と他アンテナの有効な作動が可能な905aのような整流器構造の幾つかの整流器特性としては、(1)逆方向バイアスゼロ電圧近くか順方向ゼロバイアス電圧近くで導電であり、(2)逆方向バイアスでの従来pn接合ダイオード漏洩電流より遙かに大きな電流を有し、(3)所定方向に電流を発生して入力信号を整流し、(4)整流器構造を電圧源に接続すると、入力電圧が上昇することが含まれる。
図10(b)に示すように各ダイポールアンテナ904は長さLであり、アンテナ中央でギャップ長さDだけ分離した二つのアンテナ部(例えば904a部と904b部)からなる。長さLは理想的にはアンテナ受信予定電磁(EM)波波長の半分であり、Dは通常アンテナ受信予測電磁(EM)波波長の最短よりかなり小さい。整流器構造905a(NBD300)のp領域906は片側でアンテナ904のギャップに隣接の904aと904b両部と接続し、他の側でn領域907と接続する。高濃度ドープのn+−領域908はアンテナ904の両端と接続する。この結果レクテナ要素がアンテナ904、整流器構造905a及びn+−領域908により形成される。複数レクテナ要素のn+−領域908を接続して電子用入力チャネル902を構成する。
同様に高濃度ドープのn+−領域909は複数整流器構造のn領域(例えば整流器構造905aのn領域907)と並列接続して電子用出力チャネル903を形成する。各アンテナのアンテナ部は他アンテナのアンテナ部から絶縁し、各アンテナはそのアンテナのEM波入射による任意の電圧レベルを得ることができる。n領域908と電子入力チャネル902は同じ導電型を有する。他実施形態ではn+−領域908と902は高ドープn+−領域で置き換えても良い。
ダイポールアンテナが波長2LのEM波を受信すると、アンテナ部端部間で電圧差が生ずる。ダイポールアンテナ中央の整流器構造陽極部に比して、ダイポールアンテナの反対端電圧は反対極性である。アンテナ904に対するn+−領域908間の抵抗及びNBD間の抵抗は非常に小さい。電圧差により両アンテナ部で図10のn+−領域908から整流器構造905aへ電子流れが生じる。これが整流器構造905aでの電子電流の第一源である。整流器構造905aでの電子電流の第二源は、EM波磁場によるアンテナ誘導の電子電流である。この電子電流は入射EM波電力に依存する大きさを有する。ある時間での電子電流源の方向はEM波位相により決まる。この配置で二つのソースにより電子流がダイポールアンテナに提供される。
両アンテナ部での最大電流はダイポールアンテナ中央で起こる。アンテナ904のギャップ長さDはアンテナ904の受信予定EM波波長の1/4より遙かに短いように設計する。理想的には各アンテナ部904aと904bは受信EM波波長の1/4より小さい。n+−領域908電流の大きさはn+−領域接合とダイポールアンテナの接触アンテナ部間電圧差の大きさと抵抗の大きさにより決まる。
ダイポールアンテナ中央の整流器構造が図3のNBD300で検討したと類似のNBDであるこの配置では、ダイポールアンテナの電子電流はNBD300により出力チャネル(例えば出力チャネル903)に対して短絡する。整流器構造は他類似構造で提供しても良い。以下に説明するようにNBDは出力チャネルで上昇電圧を有し、その結果複数アンテナの電子電流は電子出力チャネル903で合計される。例えば図9のレクタナアレー900に示すダイポールアンテナ上で、電子電流が電子入力チャネル902からアンテナ部周囲のn領域(例えば図10のn領域908)へNBD300のアンテナ部を通して流れ、そこから電子出力チャネル903に電子電流が流れる。その結果レクテナアレー900は電子入力チャネル902と電子出力チャネル903間の電圧(即ちNBD間の電圧)供給の電池と見なしても良い。直流電力が対角線的なn型チャネルとギャップ有りレクタナの各中央NBDに沿って回収される。余分の電子がアンテナ端部で対角線的にn型チャネルを接続して供給される。図22(a)と図22(b)で示す代替え実施形態も同様に行う。

1.この説明では装置が図3で検討のNBD300と類似のダイオードが必要な場合、必
要ダイオードは“NBD300”と呼ぶ。同様に装置が図6のNBD600と類似のダイオードが必要な場合、必要ダイオードは“NBD600”と呼ぶ。
図11はレクテナアレー1101電子出力チャネル1104をレクテナアレー1102電子入力チャネル1105に直列接続したレクテナアレー1101と1102を示す。この接続ではレクテナアレー1101と1102は電子入力チャネル1103と電子出力チャネル1106間NBD電圧の2倍の電圧を有する電池と見なせる。このようにし複数レクテナを接続しNBD電圧のN倍の電圧を有する装置を提供でき、ここでNは1以上の任意の正の整数である。代わりにレクテナアレー1101と1102が同じ出力電圧を有する場合、電子入力チャネル1103と1105を一緒に接続し、電子出力チャネル1104と1106を一緒に接続して、1102と1103を並列接続して、各アンテナアレー電流の2倍の電流を有する装置を作り出しても良い。
以下に説明するようにNBDを用いてメートル波信号を検出整流しても良い。従ってメートル波EM波を検出整流することで、本発明により可視スペクトルより長い周波数のような今まで電力変換への応用が実用的でないか不可能なEMスペクトル周波数を用いて、DC電力に検出整流する装置が提供される。本発明により赤外(IR)光及び可視光(例えば太陽光エネルギー)のような広範囲のEM波周波数を用いる電力変換用途への応用が見出される。本発明は光学センシングや光ネットワークの高速応答光センサーとして利用しでも良い。各レクタナ要素(又はレクタナ)のアンテナは任意種の任意サイズと任意形状で良い。レクタナアレーは多くの異なるレクタナ要素から構成できる。又各レクタナアレーは図9と図11のレクタナアレーと異なっても良い。本発明のレクタナアレーはレクタナ要素の全入力チャネルからレクタナ要素の全出力チャネルへ流れる電子電流を回収する。NBDの完全空乏化領域をアンテナと直接接続する。
各ダイポールアンテナでのギャップの存在により、本発明のレクタナ(又はレクタナアレー)が作動可能な最高周波数が限定される。図12(a)と図12(b)にそれぞれに記述の一実施形態によるギャップ無しダイポールアンテナの平面図と側面図を示す。NBD600をこの詳細記述で以下に更に検討するギャップ無しダイポールアンテナ用入力NBDとして用いても良い。図12(a)と図12(b)に示すように、ダイポールアンテナ1200のアンテナ55を二つのNBD(p領域53と54及びn領域57で形成)に接続し片側に電子出力端子を形成し、二つのNBD(p領域56及びn領域51と52で形成)に接続し他の側に電子入力端子を形成する。言い換えるとレクタナ要素1200は、電子入力端子での二つの入力用NBDと、電子出力端子での二つの出力用NBDのアンテナ1200で形成される。ダイポールレクタナ要素1200の電子入力端子と電子出力端子間の電圧差は、二つのNBD間の合計電圧で与えられる。従ってダイポールアンテナ1200は二つのNBDの分解能を有し、図9と図10のダイポールアンテナ904分解能の2倍となる。EM波がアンテナに衝突すると、このアンテナ端部間で電圧差を生じる。ダイポールアンテナの反対端での電圧は異極性である。正の電圧を有するアンテナ端部は、NBD300とアンテナ55間抵抗が非常に小さいため、入力NBDから出力NBDへの誘導電子流を有する。入力NBDが電子入力に提供される。出力NBDは整流器構造を提供する。入力NBDは電子を電子入力チャネルからアンテナへ導く。出力NBDはアンテナ信号用の整流器構造として働く。出力NBDはアンテナと直接接続する強制的空乏化p領域を有する。NBD300はアンテナ接続のp領域が強制的空乏化領域なので、出力NBDとして使用しても良い。本発明の一実施形態によると出力NBDは強制的空乏化p領域を有する必要はない。非強制的NBDも使用できる。強制的空乏化p領域とは異なり、非強制的空乏化領域は順方向バイアスの電子電流を整流しない。入力NBDのn領域は非強制的空乏化領域か強制的空乏化領域のいずれかである。強制的空乏化入力NBDは順方向

2.以下に検討するように非強制NBDという用語は、同一ドーパント濃度pn段階接
合での対応導電型空乏幅と全く同じ一領域幅を有するNBDを意味する。
バイアスで電子を蓄積し、非強制的空乏化入力NBDより良いレクタナ効率を与える。NBD600のn領域は強制的に空乏化され、ギャップ無しレクタナデザイン用入力NBDとして使用しても良い。入力NBDか出力NBDの完全空乏化領域はアンテナと直接接続する。
EM波位相によりアンテナのどちらの端部が電子電流を有するかが決まる。この配置ではアンテナ(レクタナかレクタナ要素)用電流源はただ一つである。電子電流源は入力NBDに隣接のアンテナ端部でのp+−領域である(例えば図12(a)と図12(b)のp+−領域56)。p+−領域からの電流の大きさは、p+−領域接合とギャップ無しアンテナの接触アンテナ部間の電圧差と抵抗により決まる。アンテナ要素55両端での直流電圧は、入力端子、出力端子又はダイポールレクタナ要素1200に関連して、NBD電圧に等しい。NBDは逆方向バイアスでの信号用出力電圧を上げることができる。アンテナ55のEM波誘導電圧がこの入力電圧範囲内であれば、アンテナ55と出力nチャネル57間の電圧差は上昇する。それ故EM波の小信号が他のレクテナでは達成できなかった適合用途で整流できる。DC電力を出力NBD下でn型チャネルと接続して回収する(図12(a)のp領域53と54)。余分の電子が入力NBD下でp型チャネルと接続して供給される。二つのギャップ無しアンテナが分離距離Dで端から端に並べると、このアンテナ対は上記のように単一ギャップ有りアンテナのように作動する。これはギャップ無しアンテナ対遠端の入力NBDがギャップ有りアンテナn+−型入力チャネルのように働き、ギャップ無しアンテナ対中央の二つの出力NBDがギャップ有りアンテナの中央出力NBDとして働くためである。
図13にその各電子入力端子を一緒に接続して電子入力チャネル1302を形成し、各電子出力端子を接続して電子出力チャネル1301を形成した多数のギャップ無しアンテナ(例えば図12のアンテナ1200)を含むレクタナアレー1300を示す。この多数のレクタナアレーは図14に示すように直列か並列接続できる。図14に示すようにレクテナアレー1402電子出力チャネル1404は、レクテナアレー1401電子入力チャネル1403と金属トレース(示していない)により直列接続し、各レクタナアレー出力電圧の2倍の電流を提供する。pn接合が好ましくない電圧降下を起こすので、金属トレースにより電子入力チャネル(p型)と電子出力チャネル(n型)のpn接合形成を防止する。レクテナアレー1401とレクテナアレー1402は電子入力チャネル1403と1406を一緒に接続し、電子出力チャネル1405と1404を一緒に接続して並列接続できる。同一レクタナアレー二つを並列接続することで、各レクテナアレー電流の2倍を供給する。
電子入力を与えるNBDのような入力装置は同様の装置で提供できる。ギャップ無しレクタナ要素1200により全波整流が提供される。一実施形態ではレクタナ要素は半波整流用アンテナの二端部で入力NBDと出力NBDを含んでも良い。
代わりに半波整流は一つの入力NBD(例えばNBD51)と出力NBD(例えばNBD53)又は入力NBD(例えばNBD52)と出力NBD(例えばNBD57)のいずれかを用いて達成しても良い。言い換えるとレクタナ要素は電子入力端子で電子入力用一NBD(例えばNBD51)と電子出力端子で電子出力用一NBD(例えばNBD53)、又は電子入力端子で電子入力用一NBD(例えばNBD52)と電子出力端子で電子出力用一NBD(例えばNBD57)のいずれかのアンテナ1200で形成される。
ギャプ無しレクタナ要素1200は電子入力チャネルと出力NBD間の電流を回収する。他のギャップ無しアンテナ2200では、本発明の他実施形態によるとギャップ有りアンテナ904と類似の二つの電流源を利用する。図20(a)と図20(b)にそれぞれダイポールアンテナ2200の平面図と側面図を示す。図20(a)と図20(b)に示すように、ダイポールアンテナ2200のアンテナ2205はp領域2203とn領域2204で形成したNBDと接続して片側に電子出力端子を形成し、p領域2201とn領域2202で形成したNBDと接続して他の側に電子入力端子を形成する。p領域2203とn領域2204で形成したNBDは整流器構造であり、p領域2203とn領域2204のいずれかで強制的空乏化領域か非強制的空乏化領域のいずれかでも良い。p領域2201とn領域2202で形成したNBDは電子をアンテナ2205に動かし、以下に検討するNBD600のようにNBDで実行しても良い。レクタナ要素はアンテナ2205、電子入力端子及び電子出力端子を含む。DCパワーは出力NBD下でn型チャネルと接続して回収する(例えば図20(a)のn領域2204)。余分の電子が入力かNBD下のp型チャネルと接続して供給される。レクタナ要素入力端子を一緒に接続し、レクタナ要素出力端子を一緒に接続してレクタナアレーを形成する。
図21に入力チャネルと出力チャネルが両レクタナアレーで共用するよう一括化した、並列接続のギャップ有りレクタナアレー2300と2350を示す。入力チャネル2302と出力チャネル2309による入力チャネルと出力チャネル共用を図21に示す。整流器2305aと2355aは出力2309に電子を出力し、n領域2308と2358は入力チャネル2302から電子を受け入れる。この形のパッケージ化を用いてより高密度デザインが提供され、受信EM波帯域幅と出力の増加法が提供される。又ギャップ無しレクタナアレーを同様に並列配置できる。このレクテナデザインの強制的NBDを用いて全波整流が生まれる。しかし非強制型NBD使用により半波整流が得られる。二つの半波整流を用いて全波整流を行うには、アンテナ2304aとアンテナ2304bそれぞれを出力チャネル2309と接続の分岐2305aと接続し、アンテナ2354aとアンテナ2354bそれぞれを出力チャネル2309と接続の分岐2355aと接続する。
本発明の一実施形態によると、全波整流はギャップ有りダイポールアンテナ用NBDを用いて得られる一方、半波整流は非強制型NBD使用で得られる。本発明の一実施形態によると、全波整流は整流器用の強制型NBDか非強制型NBD(例えばNBD300)使用で得られるが、ギャップ無しダイポールアンテナ付きの電子入力用の強制型NBDか非強制型NBD(例えばNBD600)使用でも得られる。全波整流は又本発明の一実施形態によると、二つの半波整流を用いても得られる。
本発明のEMレクテナの整流器構造は本発明の一実施形態によると、異なる数と形のNBD含んでも良い。整流器のこれらNBDは直列、並列或いは両者で接続できる。それ故EMレクテナの整流器構造は所望結果や性能の必要性により異なる配置を取り得る。入力電圧がNBDの所定負バイアス電圧範囲内で変化する場合、NBDの出力電圧は入力電圧よりかなり大きな一定値だけ大きできる。これは整流器が直列接続NBDを有すると、アンテナ出力電圧がDC電圧だけ上昇できることを意味する。同様に整流器がNBD接続で並列であると、アンテナ出力電流が制御できる。出力電圧か電流を変えて、異なる必要性を満たし異なる効率を達成するようにEMレクテナの変形が与えられる。
本発明のEMレクテナ整流器構造は、本発明の一実施形態によるNBDの代わりに他の整流用器具が使用できる。他の整流装置としてはショットキーダイオード、バックダイオード及びトンネルダイオードがある。適切な整流器装置は一バイアス方向に正しい評価の電流を導電する任意の装置であろう。上記の整流器特性を有する任意の装置は本発明の範囲内である。
本発明は電子入力出力チャネル用に伝統的な高導電金属材料の代わりに半導体材料(即ちn型とp型材料)を用いる。半導体材料を選んで特に上記のような高充填アンテナ構造での電子チャネルとアンテナ間干渉を減少した。
各アンテナはその大きさと形が一致する周波数の電磁波を集めるので、ダイオード(即ち整流器構造)はそのエネルギーを直流に整流する。本発明の実施形態のギャップ有りとギャップ無しレクタナにおけるように、各レクタナ要素は任意の大きさと任意の形状で良く、任意のアンテナ種が提供できる。レクタナアレーは多くの異なるレクタナ要素から作成できる。本発明はダイポールレクタナデザインや上記の全波整流レクタナに限定はされない。本発明の他様態によると小振幅高周波数信号を整流でき、上述のエネルギー変換装置との共用に適するNBDを提供する。このNBDは本発明の一実施形態によると、以下に記載するように“強制的空乏”自然故障装置である。
本発明では全領域がそのそれぞれの多数キャリヤーを空乏化した場合、p型領域かn型領域の完全空乏化と呼ぶ。この領域としては任意形状、形態、寸法、伝導度や濃度の異なる材料が挙げられる。
本発明では全領域がそのそれぞれ多数キャリヤーを空乏化した場合、p型領域かn型領域の完全空乏化と呼ぶ。この領域としては任意形状、形態、寸法、伝導度や濃度の異なる材料が挙げられる。ドーピングレベルや他のパラメーターは所望結果を得るように独立に変化できる。ここに示すNBDの例と図面は均一ドーパント濃度領域を示すが、この領域は説明目的のためだけに提供するものである。本発明はドーパント濃度が不均一な装置にも等しく応用できる。
本発明の一実施形態によると、NBD型ダイオードとしては、外部印加電圧無しで従来の段階pn接合空乏幅xに等しいかより狭い幅wを有する半導体(例えばp型領域)が挙げられる。即ち
wp<xp = (2εNDφi/qNA(NA+ND))1/2
で、ここでεはシリコンの電気透過率、qは電子電荷、φiはpn接合の“内蔵”電位、NAとNBはそれぞれp領域101とn領域102のドーピング濃度である。上記のようにw=x(w=x)の場合、領域は非強制的空乏化領域と云われ、w<x(w<x)の場合、領域は強制的空乏化領域と云われる。
図3は本発明の一実施形態によるNBD300の略図である。図3に示すようにNBD300はp領域301とn領域302を有し、p領域301は従来pn接合のp領域側の対応空乏幅の空乏幅xより狭いか等しい幅xを有する。(従来pn接合の対応半導体型での空乏幅の空乏幅より狭い空乏幅を有する半導体領域を、ここでは“強制的空乏”幅と呼ぶ)。対照的にn領域302幅は類似ドーピング濃度の従来pn接合ダイオードのn領域での従来空乏幅xより狭いか、広いか、等しくても良い。本発明の一実施形態はp領域301で強制的空乏化条件であり、xより広い幅のn領域302である。NBD300が電子回路と接続できる接点の接触領域303と304を示す。p領域301とn領域302のドーピング濃度は十分に高く、接点303と304はオーム接触である。接触領域303と304が、例えばアルミニウムや銅のような従来の相互連結導体を、従来の化学気相堆積法か技術の熟知者に既知の他法を用いて蒸着形成できる。p領域301とn領域302はイオン注入や技術の熟知者に既知の他法を用いて従来のシリコン基質に形成できる。
NBD300幅wはドーピング濃度をもとに計算できる。NBD300の所定幅wは以下の手順を用いて計算できる。
先ず従来pn接合ダイオードのp領域とn領域のドーピング濃度を、ゼロバイアス
印加電圧で図3に示すようにp領域は点4と点3間に空乏幅xを有し、n領域は点3と点2間に空乏幅xを有するように選ぶ。この寸法により従来pn接合ダイオードに内蔵電圧Vボルとを生ずる。NBDでは内蔵電圧VFDはVより小さい。電圧Vthは従来pn接合ダイオードの閾電圧である。ゼロバイアス印加電圧でのNBDのフェルミ準位は真性半導体のフェルミ準位に移動し、従来pn接合ダイオードの平衡フェルミ準位から離れる。
ゼロバイアス印加電圧で完全空乏化する領域が完全に空乏化する前に、NBD30
0に印加できる最大順方向バイアス電圧である電圧Vを選択する。NBDの用途に依存するが、ゼロバイアス印加電圧と電圧V間でNBDにより多数の所望特性(例えば低順方向バイアス電圧での定トンネル電流、電荷蓄積、トンネル現象の電圧範囲)が得られる。バイアス印加電圧がゼロから電圧Vに増加すると、NBDのフェルミ準位は従来のpn接合ダイオードのフェルミ準位に低下する。しかしバイアス印加電圧がこの範囲に低下すると、フェルミ準位は一定準位を維持し、バイアス印加電圧がVからにゼロに低下すると、電荷がn型領域に蓄積される。
電圧V値としてはゼロと従来pn接合ダイオードの内蔵電圧VDの間であり、このpn接合間電圧はV=V−Vで与えられる。本発明の一実施形態では電圧VS値は内蔵電圧VD(VS〜VP)近くに選ぶ。この条件到達に必要な完全空乏化空乏領域幅は非常に狭い。本発明の他実施形態では、V値はVの近くに選ばない。本発明の一実施形態によると、V値はNBD作動用の作動電圧範囲に適合するように調整か選択できる。NBD300の空乏幅はバイアス印加電圧がVより低い限り不変である。上で説明したようにNBDへのバイアス印加電圧がゼロとVの間の場合、電荷は蓄積される。より小さなVを持つNBDはより大きなVを持つNBDより少ない電荷を蓄積する。
電圧Vをp領域301に向かって303に印加した場合、全p領域301が空乏
されたままであるようにp領域301の空乏幅wを計算する。段階接合近似を仮定して、幅wを以下の式で計算できる。
Figure 2008516455


技術の熟知者には既知の他のw計算法がある。NBD300の内蔵電圧VFDは(V−V)ボルトに等しい。w=xであればVはゼロボルトである。
段階接合近似を用いて幅wを上のように計算することが分かる。他の適法を又用いても良い。応用によるが異なる接合近似を用いてwを計算しても良い。上に説明したように条件w<xは“強制的空乏化条件”と呼び、この条件下で本発明の一実施形態によるとp領域301は“強制的空乏化領域”と呼ぶ。p領域301が強制的空乏化条件にあると、V値はゼロではない。条件w=xは“非強制的空乏化条件”と呼ばれ、この条件下ではp領域301は本発明の別実施形態によると“非強制的空乏化領域”と呼ばれる。
p領域301が非強制的空乏化条件にあると、V値はゼロに等しい。一旦wが決まると、接触領域303とn領域302間で完全空乏化したp領域301を有するNBD300が、異なるn領域302幅を持って生じる。wはNBD300のn領域302の空乏領域幅である。n領域302幅はwからxより大きい範囲でも良い。n領域302幅の差によりNBD300に変化を生む。xより広いn領域302幅を有するNBDを生み出すことができる。接点303と304に印加の外部電圧がゼロ(ゼロバイアス印加電圧かバイアス無し)の場合、NBD300のp領域301は完全に空乏化する。該発明の一実施形態では、wを有するp領域301への強制的空乏化条件が、xより小さくn領域302幅がwとxより大きい間の値が提供される。該発明の一実施形態はwがxに等しく、n領域302幅がwとxより大きい間の値の非強制的空乏化条件である。
印加バイアス電圧がゼロボルトより低い場合、例え少量でも蓄積電荷は緩和される。従ってNBDは逆方向バイアス条件で導電する。
代わりに従来のpn接合寸法で始めて、p領域とn領域のドーパント濃度を領域の一つ(“第一領域”)の幅での領域が従来のpn接合を形成する場合、空乏領域(非強制的空乏化条件)に等しいように調節するか、第一領域幅がその領域が従来のpn接合を形成するかのように計算して期待空乏幅より狭いように他領域濃度を増加して、強制的か非強制的空乏領域寸法を得ることができる。
本発明の他実施形態では図6に示すように、n領域602をp領域601の強制的空乏化又は非強制的空乏化無しに強制的空乏化条件下に置いてNBD60変形にできる。NBDは一つより多い完全空乏化領域を持てる。p領域601幅の差によりNBD600に変化を生む。該発明の一実施形態により、非強制的空乏n領域602(即ちxに等しいw)とwとxより大なる間のp領域301が提供される。p領域601幅の差によりこの実施形態の変形を生み出す。該発明の別実施形態により、wを有するn領域602の強制的空乏化条件がxより小さく、該発明によるp領域301幅がwからxより大きい範囲で提供される。p領域601幅の差によりこの実施形態の変形を生み出す。NBDのこれらの変形は自然故障ダイオードである。NBDは一つより多い完全空乏化領域を持てる。これらの各領域は強制的空乏化領域か非強制的空乏化領域のいずれかである。
NBDはゼロバイアスで完全に空乏化したp領域かn領域の一つを有する。NBD300は強制的空乏化条件のp領域301とxより広い幅のn領域302を有する。NBD300の作動は以下条件での外部バイアス印加電圧に関して説明する。
a)ゼロバイアス順方向電圧をNBDに印加すると(即ちゼロバイアス)、入力電圧はVIN
ある(即ちVIN=0)。
b)順方向バイス電圧をゼロ乃至Vの間でNBD300に印加する場合(即ち0<VIN
=V)。
c)NBD300に印加の順方向バイス電圧がVとVthとの間の場合(即ちV<VIN<Vth)。
d)NBD300に印加の順方向バイス電圧がVとVthとより大きい場合(即ちVIN>Vth)。
e)逆向バイス電圧VINをNBD300に印加した場合
従って(a)VIN=0の場合、電圧差Vの電場(“二次電場”と呼ぶ)がn領域302の空乏領域端部に沿って生ずる。この装置では電流は流れない。空乏領域電場と内蔵電位との電圧差はVである。
(b) VがVに近くないように選び、0<VIN<=VでVINをNBD300の接点303に印加すると、VINがn領域302の二次電場全域の電位より小さいため、p領域301の空乏幅はp領域301全幅のままである。VINが増加すると、空乏領域間のフェルミ準位とp領域301とn領域302間の平衡フェルミ準位は減少する。バイアス印加電圧VINが増加すると、二次電場強度がn領域302で減少する。一旦VINがVに達すると、n領域302の二次電場がゼロになる。NBD300は従来pn接合より速く信号変化に応答し、NBD300は高速信号の整流に適する。この高速応答時間特性は全てのNBD300に存在する。NBD概念利用の装置はNBD概念を用いない同一装置より速い応答時間を有する。
がVに近くに選ぶ、Vより低いバイアス印加電圧VINに関して(0<VIN<=V)は、十分に薄い空乏領域を通り抜けて順方向定電流がNBD300に流れる。p領域301の空乏幅はp領域301全幅のままである。
(c)バイアス電圧印加VINがVと閾電圧の間の場合(即ちV<VIN<Vth)、p領域301とn領域302両者の空乏幅は減少する。空乏領域全域での電圧降下は又減少する。この方式でVINに比例の小順方向漏洩電流がNBD300で流れる。VINがVthに非常に近くなると、NBD300の空乏幅は非常に小さくなり有意な電流を流すことができる。
(d)印加電圧VINは閾電圧(即ちVIN>=Vth)を越えた場合、NBD300は電流を導電する。
(e)逆方向バイアス電圧VINをNBD300に印加すると、空乏幅は同じままである。逆方向バイアス電圧が増加すると、接点303とp領域301間抵抗と接点304とn領域302間抵抗をもとに逆方向電流は線型増加する。
(f)逆方向バイアスをかけると、NBD300は順方向バイスの場合の少数キャリヤー装置とは反対に、多数キャリヤー装置(電子がn領域に注入される)として作動する。多数キャリヤー装置のスイッチングタイムは通常少数キャリヤー装置のスイッチングタイムより速い。
図5はVがVに近くないように選んだ場合のNBD300の電流電圧(IV)特性プロットである。NBD300は入力電圧が負の場合かなりの逆電流を導電し、入力電圧がVthより大きい場合順方向電流を導電する。バイアス電圧がゼロとVth間の場合、NBD300はごくわずかな漏洩電流を導電する。ゼロとV間の順方向バイス電圧をNBDに印加すると、装置のフェルミ準位が空乏領域フェルミ電位より大きい限り、空乏領域幅は変化しない。NBD300の空乏領域電圧VFDと入力電圧VIN間の関係を示す図4にこの挙動を示し、そこでの空乏幅挙動も又示す。図24はVがVに非常に近く選んだ場合のNBD300の電流電圧(IV)特性プロットであり、ゼロボルトとV間のバイアス印加電圧に対するトンネル減少による順方向定電流を示す。
一実施形態では定電流生成用NBD300p領域幅は以下のように計算する。
NBD装置用の同じ材料とドーピング濃度を用いて従来ダイオードのIV曲線を用い、
曲線上の所望電流に合う順方向バイス電圧を見出す。バイアス電圧はVthより低い必要がある。このバイアス電圧がV値である。
従来ダイオードにステップ1)で決めたVのバイアスをかけた場合、従来ダイオード
のp領域空乏バンド幅を決定する。これは技術の熟知者には既知の計算か装置のシミュレーションで行える。この幅がwである。
ステップ1)で用いた従来ダイオードと同材料とドーピング濃度を用いて、ステップ
2)で決めた幅wのp領域を有するNBDを生成する。
NBD装置はバイアス印加電圧のゼロボルトと電圧V間での増加バイアス印加電圧と、同じ電圧範囲での減少バイアス印加電圧に非対称に挙動する。印加バイアス電圧が増加すると、装置のフェルミ準位は低下し、二次電場が減少する。しかしバイアス印加電圧が同一範囲を越えて減少すると、第三電場がn領域302中性領域の二次電場端部に現れ、フェルミ準位変化無しに増加し続ける。バイアス電圧が再度増加すると、この第三電場は減少する。一旦バイアス印加電圧が負になると、第三電場の電荷が解放され、その結果逆電流サージを起こす。第三電場全域での最大電圧はVである。それ故NBD300に正のバイアス電圧を印加した後に負のバイアス電圧を印加すると逆電流を生ずるであろう。
本発明の別実施形態では、n領域302が空乏バンド幅で完全に覆われないxより狭い幅のp領域301とn領域302上に強制的空乏化条件を有する。この装置の挙動は上述のNBD300と同じである。強制的空乏化条件が生ずる状態では、n領域302の空乏幅が接点304と完全空乏化p領域301間の全n領域302を覆う(“NBD310”)。
条件(a)VIN=0でのNBD310の挙動は上記と同じである。条件(b)0<VIN<=VでのNBD300の挙動は、n領域302が完全に空乏化するまでその状態は上記と同じである。一旦n領域302が完全に空乏化すると、NBD300はVIN=V前の条件(c)に達する。条件(c)でのNBD300の挙動は上記と同じである。
NBD300を電流源に直列接続すると、NBD300(即ちアンテナかセンサーからの信号)全域に電圧が出現する。NBD300は逆バイアス電圧で電流を導電するので、電流源が逆バイアス電流を印加すると、負の電位が出現する。
従ってNBD300はVより低い正のバイアス電圧VINを接触領域303に印加すると(即ち、0<VIN<=V)、正の小電量を与える。NBD300は又負の入力信号(即ちVIN<0)を整流できる。0<VIN<=V間で電荷の蓄積能を有し、逆バイアスで逆電流を導電するNBD300は、Vから−V迄の方式と負の電圧信号内でメートル波信号を整流できる。
本発明の他実施形態では強制的空乏p領域301と強制的空乏n領域302を提供する(即ちxより狭い幅を有する)。NBDの挙動は上述のNBD300と同じである。
本発明による他実施形態では非強制的空乏幅を有する(即ちw=x又はw=x)。この配置では生成NBDは逆バイアスで導電である。非強制型NBDはNBD300と同じ逆バイアス特性を有する。しかし非強制型NBDに順方向バイス電圧を印加すると、その電流電圧特性は従来のpn接合ダイオードのそれと同じである。
要約すると本発明のNBDは、逆バイアス電圧が印加されると導電電流を流すことができる。NBDと電流源を直列接続すると、出力電圧がNBD全域に出現する。順方向バイアスのV値を選ぶことで、NBDに電荷蓄積や定電流のような所望特性が提供される。印加バイアス電圧が閾電圧を超えると、NBDは導電電流を与える。NBD300は印加バイアス電圧を0ボルトとVの間に低下して電荷を蓄積する。印加バイアス電圧が負になると、蓄積電荷が解放される。従ってNBDは正弦波小信号でも全波整流でき、太陽光発電のような応用に適する。このNBD発明を従来pn接合ダイオードに応用することで、二つの新規の作動バイアス電圧範囲、即ち逆バイアス電圧とゼロボルトとVボルト間の順方向バイスが生まれた。これらの二つの新規作動領域により、NBD修正pn接合ダイオードは用途利用が可能な三つの作動領域を有することができる。
NBDは降伏電圧を持たない。pn接合領域の一つが完全に空乏化すると、逆バイアス条件下でも漏洩電流は認められない。内蔵電場は電子と正孔がpn接合界面で反対領域に移動する距離に合すことにより、逆バイアスで高導電性を与える。バイアス印加電圧VINが負の場合(即ち0>VIN)、逆電流が流れる。用途に依存して非ゼロV値により順方向バイスでの定電流又は電荷蓄積が提供される。
図23に本発明の一実施形態による接触抵抗が非常に低い場合のNBD300のIV曲線を示す。この実施形態ではIV曲線は理想ダイオードのIV曲線に非常に近い。V値はゼロに等しくないので、NBD300は順方向バイスがゼロボルトに低下すると蓄積電荷を有する。NBD300に逆バイアスがかかると、この電荷は解放され逆方向電流サージを生ずる。NBD300は逆方向電流サージ能を有する理想ダイオードと考えられる。図23のV=0の場合には、IV曲線は本発明の一実施形態による非常に低い接触抵抗を有する非強制型NBD300のIV曲線と同じである。非強制型NBD300は順方向閾電圧での降伏電圧を有する理想ダイオードと考えられる。
本発明の一実施形態によると、上で検討したように図6(a)に従来pn接合ダイオードの空乏幅xより狭い幅wを有するn型領域602を持つNBD600を示す。
wn < xn =(2εNAφi/qND(NA+ND))1/2
同様の決定によりNBD600の幅wが与えられる。空乏バンド幅がw<xでp領域601がxより大か等しいn領域602を有する強制的空乏化条件が作動した場合の挙動は以下の通りである。
ゼロバイアス印加電圧の(a)では、装置には電流は流れない。w<xであるので、過剰
数の正孔がp領域601の空乏領域端に沿って蓄積し、その結果二次電場が生ずる。この二次電場全域の電位はVである。
がVに近くないように選び、バイアス印加電圧がゼロボルトとVSとの間である(即ち0<VIN<=V)の(b)では、n領域602は完全空乏化のままである。印加バイアス電圧が増加すると、二次電場が低下する。一旦VINがVに等しくなると、p領域601の二次電場はゼロになる。従ってNBD600は二次電場幅が従来pn接合空乏幅より狭いため、従来pn接合より速く信号変化に応答する。従ってNBD600は高速信号の整流に適する。
電圧VがVに近く、バイアス印加電圧がゼロボルトとVとの間(即ち0<VIN<=V)に選ぶと、十分薄い空乏領域を通り抜けによる順方向定電流が生ずる。n領域602はn領域602全幅で完全に空乏化のままである。
(c)バイアス印加電圧がVと閾電圧の間であると(即ちV<VIN<Vth)、p領域601とn領域602両者での空乏幅は減少する。装置の電流はVINに比例する順方向漏洩小電流である。出力電圧はVINーVである。VINがVthに非常に近い場合、NBD600の空乏幅は導電電流が流れるには非常に小さい。
(d)バイアス印加電圧が閾電圧を越えると(即ちVIN>=Vth)、NBD600は電流を導電する。
(e)逆バイアス電圧VINをNBD600に印加すると、空乏幅は同じままである。逆バイアス電圧が増加すると、逆電流が又実質的に線型増加する。
NBD600はNBD300と同じ電流電圧特性を有する。NBD600はNBD300と同様に順方向バイス電圧ゼロとVとの間で電荷を蓄積する。又NBD300のようにNBD600を電流源に直列接続すると、電圧がNBD600を電流がNBD300全域に出現する。
本発明による別の実施形態はw=xを提供する(即ち非強制的空乏化条件)。非強制型NBD600は非強制型NBD300と同様の挙動を持つ。
本発明の一実施形態によると、図6(b)に両者共に強制的空乏化条件下にある二つの領域(p領域とn領域)を有するNBDを示す。本発明の他実施形態によると、図7(a)、7(b)及び7(c)にNBD700、NBD710及びNBD722で表される異なるNBD配置を示し、それぞれ強制的空乏化条件下の領域(例えば701、711、721又は722)を含む。又領域702がp型で領域712がn型では、NBD700とNBD710はそれぞれNPN型トランジスターとPNP型トランジスターと見ることができる。図8(a)、8(b)、8(c)、8(d)及び8(e)に異なるNBD配置800、810、820、830及び840を示し、それぞれ強制的空乏化条件下で二つ以上のドーピング濃度を有する領域(例えば801、811、821、822、831、832、833、841、842又は843)を含む。図15(a)乃至15(d)、16(a)と16(b)には、本発明によるNBD実施形態の幾つかを示す。
図17(a)乃至17(f)にはゼロバイアス印加電圧での幾つかのNBDを示し、各々はショットキー障壁かオーム的に隣接して形成の強制的空乏化p領域(又はn領域)を有する。ショットキー障壁かオーム接点は完全空乏p領域か完全空乏化n領域を課する。これらの完全空乏化領域は非強制的か強制的空乏化領域と考えられる。
図18(a)にゼロバイアス印加電圧のNBD1800と、NBD1800の電子回路との接続用接点である導体1801と1803を示す。NBD1800ではn領域1802は強制的空乏化条件下で完全に空乏化し、空乏幅1804より狭い幅を有する。n領域1802のドーピング濃度は十分に高く、導体1803とn領域1802間の接合はオーム接触で、導体1801はn領域1802に対しショットキー障壁を形成する。逆バイアス電圧下のNBD1800は実質的に上述のNBD600のように機能し、電流源と直列接続すると高速スイッチング、逆バイアスでの導電性、逆電圧のような特性を有する。順方向バイアスでのNBD1800は、実質的に順方向バイスを用いた同程度材料の従来n型ショットキーダイオードと同様に機能する。pn接合配置での上記強制的空乏幅は、完全空乏化p領域1812(又はn領域1802)の強制的空乏幅決定に使用できる。
図18(b)にゼロバイアス印加電圧のNBD1810と、NBD1810の電子回路との接続用接点である導体1811と1813を示す。p領域1812は強制的空乏化条件下で完全に空乏化し、p領域1812幅は空乏幅1814より狭い。p領域1812のドーピング濃度は十分に高く、導体1813とp領域1812間の接合はオーム接触で、導体1811はp領域1812に対しショットキー障壁を形成する。逆バイアスをかけると、NBD1810は実質的に上述のNBD300のように機能し、電流源と直列接続すると高速スイッチング、逆バイアスでの導電性、逆電圧のような特性を有する。順方向バイアスでのNBD1810は、実質的に順方向バイスを用いた同程度材料の従来p型ショットキーダイオードと同様に機能する。
NBD1800の強制的空乏幅を決めるため、(1)ゼロバイアスでのn領域ドーピング濃度を用いて従来ショットキーダイオードの空乏幅x、内蔵電圧V及び閾電圧Vthを決定し、(2)ゼロとVth間の順方向バイス仕事電圧Vをショットキーダイオード1800に使用できるように選び、(3)順方向バイス電圧VをNBD1800に印加した場合、n領域1802が−V(VはV=V−Vで与えられる)に等しい内蔵電位で空乏化したままであるようにn領域1802の空乏幅wを計算する。領域1802と1812はそれぞれ異なるドーピング濃度の複数のp型とn型区域を含む。本発明の他実施形態によると、NBDは一個以上が完全空乏化した三つの半導体領域を用いて形成しても良い。例えば三つの領域全ては完全に空乏化しても良い。少なくとも一つの完全空乏化半導体領域を持つトランジスターは本発明の範囲内であり、例えば上記のレクテナと組み合わして使用できる。
本発明の別実施形態によると、図19(c)に外部電圧を印加しないNPN型バイポーラ装置2020示す。装置2020は完全空乏化n型領域2026、空乏領域2027と2028間に中性領域を持つに十分な大きいp型領域2025、と空乏領域2028と接点2023間に中性領域を持つに十分に大きいn型領域2025を有する。n型領域2025(中性領域)は空乏領域2027と2028との少数キャリヤー拡散の重複を防ぐに十分に大きい。装置2020はn型領域2026が強制的に空乏化した場合強制型空乏装置と考えられ、n型領域2026が非強制的に空乏化した場合、非強制型空乏装置と考えられる。装置2020はn型領域2026が接点2021と空乏領域2027間に中性領域を持つ場合、従来装置と考えられる。
図28にそれぞれ従来装置、非強制型空乏装置及び強制型空乏装置のIV曲線2801、2802及び2803を示す。IV曲線2801、2802及び2803は説明目的のためだけに誇張して示されている。バイアス電圧は完全空乏化n型領域2026と関連し、それ故順方向バイス装置2020は接点2021に比して正電圧の接点2023を有するであろう。装置2020が従来装置である場合、順方向バイスは空乏領域2027幅を減少し、空乏領域2028幅は増加する。IV曲線2081から順方向バイスは従来装置2020全域で増加すると、空乏領域2027が導電し小数キャリヤー拡散が空乏領域2027に到達するように空乏領域2028幅が十分に増加するまで、電流は小さく一定のままである(即ち漏洩電流)。順方向バイスが装置2020(従来の)全域で更に増加すると、電流が指数関数的に増加する空乏領域2027に空乏領域2028が到達するまで電流は増加する。IV曲線2081は従来型で、それぞれが同じ中性領域幅を持つn型領域2024とn型領域2026を有する装置2020に基づく。それ故装置2020が従来型であると、空乏領域2028幅が減少し空乏領域2027幅が増加する順方向バイアスと同様の逆バイアス特性を有する。
非強制型空乏装置のIV曲線2803を従来装置のIV曲線2801と比較すると、順方向バイス時には両装置共に、逆バイアスをかけた場合に非強制型空乏装置は従来装置に比べより小さな電圧振幅で電流を指数関数的に増加する以外は似た挙動をすることが分かる。この挙動は非強制型空乏化領域が、上に説明のように順方向バイスをかけた場合には従来領域と同じように挙動するが逆バイアスをかけると直ちに導電すると云う事実から理解できる。それ故非強制型空乏装置に逆バイアスをかけると、空乏領域2028が空乏領域2027と2028が互いに接触する場合の代わりに、電流の指数関数的増加が始まると直ちに逆電流の指数関数的増加が起こる。
強制型空乏装置のIV圧曲線2802を従来装置のIV曲線2801と比較すると、順方向バイスと逆バイアス両者の間に差があることが分かる。上で説明したように強制型空乏化領域は、順方向バイスの低下に対して順方向バイアスの増加時に異なる挙動をとる。順方向バイアスがゼロとV間で増加する時、空乏領域2027幅は、空乏領域2028幅が増加し且つn型領域2026フェルミ準位がその非強制フェルミ準位に移動するまで同じままである。順方向バイアスがゼロとV間で減少する時、空乏領域2027幅はは同じままであり空乏領域2028幅も又同じままである。これはp型領域2025とn型領域2024間で同一電位電圧を維持する中性領域とp型領域2025界面に生じた電位電圧による。順方向バイアスサイクルのゼロとV間での増減後、n型領域2026又はp型領域2025接合の閾電圧はVボルトだけ減少する。又この順方向バイアスサイクル後、空乏領域2028はVだけ増加する(即ち閾電圧の増加)。電圧Vが強制的空乏化領域(即ちn型領域2026)の閾電圧から隣接半導体領域(即ちp型領域2025)の閾電圧に移動することが分かる。
IV曲線2802は順方向バイアスをゼロとVSとの間で増減した後の強制型空乏装置2020のIV特性を示す。強制的空乏化n型領域2026での減少閾電圧が、順方向バイス時に電流が空乏領域2027全域で非強制型空乏装置か従来装置のいずれよりも低電圧で流れることを意味する。又順方向バイス時に、空乏領域2028の増加幅によりより低電圧で指数関数的電流増加が起こる。逆バイアスでは空乏領域2028の増加幅は、指数関数的な電流が生じる前により大きな負のバイアスが必要となる。
本発明のNBD内の完全空乏化領域は以下の規則に従う。
完全空乏化領域が強制的に空乏化される場合、強制的空乏化領域のフェルミ準位は、
熱平衡で装置に正味ゼロの電流を生ずるに必要な量だけ真性半導体フェルミ準位に調整される。
完全空乏化領域隣接の中性領域の電圧差が、完全空乏化領域のフェルミ準位が真性半
導体フェルミ準位へ調整される前に生ずる。
完全空乏化領域のフェルミ準位が、完全空乏化領域隣接の中性領域に電圧差が生ずる
前に初期準位へと調整される。
上記規則に基づいて、NBD内の強制的空乏化領域特性は以下のようになる。
任意のバイアス電圧以前の熱平衡では、
―強制的空乏化領域のフェルミ準位は真性半導体準位に強制される。このエネルギーシフト関連の電圧はVである。
―完全空乏化領域内の全空乏領域は、完全空乏化領域と同材料の非完全空乏化領域と従来領域に比して縮小幅を有する。
順方向バイスがゼロとVの間で増加時には、
―強制的空乏化領域のフェルミ準位はその初期フェルミ準位に移動する。
―強制的空乏化領域に関する空乏化領域に同じ幅を維持する。
順方向バイアスがゼロとVS間で減少するときには、
―強制的空乏化領域隣接の中性領域がない場合、強制的空乏化領域のフェルミ準位は真性準位に移動する。
―強制的空乏化領域に隣接の中性領域内で幅増加が可能な空乏領域がない場合、電荷が隣接中性領域に蓄積する。強制的空乏化領域のフェルミ準位は変化しない。強制的空乏化領域関連の空乏領域は同一幅を維持する。
―強制的空乏化領域に隣接の中性領域内で幅増加が可能な任意の空乏領域は幅を増加する。強制的空乏化領域関連の内蔵電位は減少して、その閾電圧を低下させる。強制的空乏化領域のフェルミ準位は変化しない。強制的空乏化領域関連の空乏領域は同一幅を維持する。
逆バイアス時には、
―装置が空乏領域を一つだけ有する場合、装置はゼロに近いバイアス(閾電圧無し)で導電し、順方向バイス低下によるいずれの電荷蓄積も直ちに解放され、強制的空乏化領域のフェルミ準位は熱平衡準位に到達するまで真性半導体準位に移動する。強制的空乏化領域の空乏領域は装置に負の電位電圧を生ずる。
―装置が空乏領域を一つより多く有する場合、装置は逆閾電圧(即ち降伏電圧)を有する。いずれの蓄積電荷も装置が逆電流を導電する迄残る。装置が逆電流を導電する場合、強制的空乏化領域が負の電位電圧を加える。
上記規則に基づくNBD内の非強制的空乏化領域特性は以下のようになる。
熱平衡では
―非完全空乏化領域を用いた場合と同じ。
順方向バイスが増加する時、
―非完全空乏化領域を用いた場合と同じ。
順方向バイスが減少する時、
―非完全空乏化領域を用いた場合と同じ。
逆バイアスでは、
―装置が空乏領域を一つだけ有する場合、この装置はゼロに近いバイアス(閾電圧無し)で導電する。非強制的空乏化領域の空乏領域は装置に負電圧を生ずる。
―装置が空乏領域を一つより多く有する場合、装置は逆閾電圧(即ち降伏電圧)を有する。装置が逆電流を導電する場合、非強制的空乏化領域が負電圧を加える。
図27.1乃至図27.4にその予測特性を有するNBD構造の表を示す。表の左側の第一列は、NBD構造が線型に配列したかのような構造である。構造を示すのに用いた用語は以下の通りである。
“Sch”―接点―半導体ショットキー障壁
“Ohm”―接点―半導体オーム障壁
“N non−F”―非強制的空乏化n型領域
“P non−F”―非強制的空乏化p型領域
“N Forced”―強制的空乏化n型領域
“P Forced”―強制的空乏化p型領域
“N”―中性領域付きn型領域
“P”―中性領域付きp型領域
表の第二列は完全空乏化領域が真性半導体準位へ調整されたフェルミ準位を有するか否かを示す。強制的空乏化領域は調整フェルミ準位を有する(即ち“はい”)一方、非強制的空乏化領域は持たない(即ち“いいえ”)。第3列と第4列は順方向バイアスを増減時に構造が持つ特性をそれぞれ規定する。これらの列で用いた用語は以下の通りである。
“―>Efn”―完全空乏化領域のフェルミ準位が、完全に空乏化する前に初期フェルミ準位に移動することを示す。
“―>Efn”―完全空乏化領域のフェルミ準位が、真性半導体準位に移動することを示す。
第5列はNBD構造が全構造で逆電位を有するゼロ近くの逆バイアスで逆電流を導電するか否かを示す。第6列は構造にバイアスをかけた後、構造が電流を導電するのに同じバイアス電圧(即ち閾電圧)を維持するか否かを示す。“いいえ”とは順方向バイスの増加後、順方向サイクル前に一つ以上の接合で異なる電位障壁を持つ順方向バイスが低下する(順方向バイスサイクル)ことを意味する。
本発明の別実施形態によると、図19(a)と図19(b)に外部印加電圧無しでのNPN型バイポーラトランジスター2000と2010を示す。図19(a)に示すようにNPN型バイポーラトランジスター2000は、NPN型バイポーラトランジスター2000用のエミッタ及びコレクタとして機能する完全空乏化n型領域を有する。図19(b)にエミッタとしてかコレクタとしてそれぞれ完全空乏化n型領域2014と2016を有するNPN2010を示す。強制的か非強制的空乏化条件下の一つ以上の異なる半導体を用いて異なるトランジスター特性が得られる。例えばNPN型トランジスター2000と2010の空乏化領域2006,2014及び2016を、強制的か非強制的空乏化条件下に置いても良い。ベースp型領域2005と2015は完全空乏化で作成しても良い。PNP型バイポーラートランジスター構造は、又NPN型トランジスター2000と2010に記載の原理により形成しても良い。
一つの以上の半導体領域が完全に空乏化した場合、NPN型とPNP型トランジスターの挙動が変化する。一例としてエミッタ共通配置に配置のNPN型トランジスター2000(即ち接地したエミッタ端子2003を有する)を用いた場合、エミッタ領域2006が完全に空乏化すると、エミッタ領域2006を基板領域2005に比して逆バイアスかゼロバイアスをかけた場合電流がエミッタ領域2006からベース領域2005に流れ(即ちベース領域2005からエミッタ領域2006に電子が流れる)。この電流がNPN型トランジスター2000の切断モードでの作動に影響する。NPN型トランジスター2000のエミッタ領域2006が強制的空乏化条件にあるか否かにより、エミッタ領域2006の完全空乏化を維持する範囲のベースエミッタ間電圧VBEが決まる。図26にエミッタの空乏化が強制された場合のNPN型トランジスター2000のIV特性例を示す。破線は従来NPN型トランジスターのIV特性を示す。
本発明の別実施形態によると異なる組み合わせの完全空乏化か非空乏化(即ち従来の)半導体領域で4つ以上の領域を用いてNBDを形成しても良い。更に中央半導体領域が二つの完全空乏化隣接半導体領域間で完全空乏化するか否かで異なるNBDが生ずる。それ故半導体材料種、完全空乏化領域数(強制的空乏化条件か否かでの)、非空乏化領域数、半導体領域配列や配向、異なるドーピング濃度に関するNBDの変形全ては本発明の範囲内である。本発明の強制的か非強制的空乏化条件は、完全空乏化していない一つ以上の半導体領域を有する任意の装置に用いこの装置の挙動を修正できる。これにより又新規装置が生ずる。
技術的に真のp型オーム接触を生ずる接点材料は存在しないことが知られている。代わりp型オーム接触は十分に薄い空乏領域とのp型ショットキー接点を用いて模倣しても良い。薄い空乏領域が高濃度ドープのp型材料を用いることで、トンネル現象が可能となる。高濃度ドープのp型材料の使用は好ましくないか十分に低い抵抗が得られない。本発明の別実施形態により、接点、接点隣接の強制的空乏化n型領域と接点に反対のn型領域に隣接のp型領域を含むNBD構造を用いてp型オーム接触を生成する。上で説明のように強制的空乏化n型領域、接点及びp型領域間の内蔵電位は、p型領域がその中性領域内に別の空乏領域を持つ場合、順方向バイアスサイクルの増減後減少する。強制的空乏化n型領域は十分に薄く、接点とp型領域間での通り抜けが可能である。このp型オームNBD構造によりある環境ではp型領域と接点間の抵抗が減少できる。本発明の別実施形態では、接点隣接の強制的空乏化p型領域と接点と反対のn型領域隣接のn型領域がn型オームNBD構造を形成する。
真性半導体材料に隣接のp型かn型材料を用いて完全空乏化領域を生むこともできる。本発明の別実施形態では、NBDは少なくとも一つの真性半導体領域に隣接のp型又はn型半導体領域が生じる強制的空乏化領域を用いる。本発明の別実施形態では、NBDは少なくとも一つの真性半導体領域に隣接のp型又はn型半導体領域が生ずる非強制的空乏化領域を用いる。
NBDでp型領域がゼロバイアス印加電圧で完全に空乏化すると、ドリフト電流はその中で流れない。それ故従来pn接合ダイオードと通常漏洩電流に関連する非完全空乏化領域種を有する熱発生電流は、完全空乏化領域には生じない。これは電場によりこのいずれの電子も強制的に完全空乏化p型領域から非完全空乏化領域に移動し、このいずれの正孔も非完全空乏化領域から完全空乏化p型領域に移動し、NBDはゼロバイアスで導電性になるためである。ショットキーダイオードのような幾つかのNBDでは装置との接点はp型かn型領域として働く。
図8(f)に本発明出願による電流源から電圧を発生し、負荷に電力を供給するための直列接続の複数NBD600を示す。それ故所望出力電圧を発生する直列接続の複数NBDの出力電圧は単一NBD出力電圧の複数倍である。NBDを並列接続して、直列接続NBDのいずれかの飽和電流より大きな入力電流を防いでも良い。NBD数と接続形式を変えて所望出力電圧か電流の変化で得ても良い。
本発明実施形態の一つによると、NBD300は以下の特性を有する。(1)低い逆電流閾電圧、(2)小信号の整流、(3)高周波数信号の整流、(4)かなりの電流量を持つ逆バイアスでの導電性、(5)電流源と直列接続した場合の逆出力電圧。更に逆バイアスモードで、NBDの導電電流は故障前の従来ダイオードの漏洩電流より極めて大きい。更に内蔵電圧が出力電圧レベルを上げるので、NBD300は間接的に出力を上昇する。従ってNBDを用いた新型のネットワークスイッチング、ディジタル計算、信号伝達及び波形整形(クリッピングとクランピング)用回路が可能になる。ステップリカバリダイオード(SRD)、ピンダイオード(PIN)
及びゼナーダイオードを含むp型とn型材料を用いた特殊ダイオードを、例えば上記のステップで決められる空乏幅を修正して生み出しても良い。異なるドーピング濃度の複数p型とn型領域を持たすことにより、飽和電流、漏洩電流及び入力/出力抵抗のような他のダイオード特性を適宜生み出せる。
本発明の一実施形態によると、縮退半導体材料を用いて異なる特性のNBDが得られる。縮退半導体材料を用いた装置は、通常Vthより低い電圧範囲内のトンネル現象と負抵抗特性を示す。異なる値のVを持つNBDはトンネル現象と負抵抗の電圧範囲をシフトできる。図25(a)にVthに近くない一電圧値Vの縮退半導体材料を用いて加工したNBD300の電流電圧(IV)特性を示す。この配置でのNBD300は、同じ半導体縮退材料を用いた従来pn接合ダイオードに比し、トンネル現象が起こるより広い電圧範囲と、負抵抗の電圧が生じるより狭い電圧範囲を示す。図25(b)に閾電圧Vthにより近く選んだ他の電圧値Vの縮退半導体材料を用いNBD300の電流電圧(IV)特性を示す。この配置でのNBDは同じ縮退半導体材料を用いた従来pn接合ダイオードに比し、より大きな最小順方向電流と減少負抵抗値を有する。
上例は本発明によるNBDでトンネル現象装置が提供できることを示す。このトンネル現象装置は電圧範囲、電流範囲及び抵抗で所望特性を有する。本発明の一実施形態では、異なるピーク電圧、ピーク電流、谷電圧や谷電流を有するトンネルダイオードが又可能である。NBD型トンネルダイオードを用いた高周波への応用が可能である。NBD装置で非縮退半導体材料と縮退半導体材料の組み合わせを用いるような異種材料を変え混合することで、新規装置や新規特性の既存装置が得られる。
更に本発明による装置は実質的に低電圧装置であるか又は高信号対雑音比で作動する装置で、光通信システムの検出器としての使用に良く適する。本発明のEMレクテナの図面と図式は説明のために提供し、接続部品の尺度、大きさや位置の関係を表しはしない。例えばアンテナデザインを示すNBDや露出電子入力/出力チャネルの平面図で、実測は他の考慮が含まれる。本発明のレクテナ実施形態の記述に用いた図は半導体領域が不釣り合いに大きく示され、アンテナとの関係で説明目的のためだけに配置されている。レクテナシステムでの調整が高充填密度や効率を得るのに必要である。本発明によると高ドープn型材料はある状態では接点として働ける。又高ドープp型材料はある状態では接点として働ける。
装置の完全空乏化領域によりゼロバイアス印加電圧で得られるのは、(1)領域がゼロバイアス印加電圧で完全に空乏化すると、接点/半導体接合の電子は空乏領域が生じた電場の結果、完全空乏化p領域からn領域に移動する(接点/半導体接合の陽粒子(正孔)は完全空乏化n領域からp領域に移動する)。この場合完全空乏化p領域と接点/半導体接合の外部電子との距離(完全空乏化n領域と接点/半導体接合の外部陽粒子(正孔)との距離)はゼロである。その結果逆バイアス導電電流が得られる。(2)完全空乏化p領域が接点/半導体接合で外部電子を持つ(完全空乏化n領域が接点/半導体接合で外部陽粒子(正孔)を持つ)場合、逆バイアス導電性が閾電圧無しで生ずる。(3)接点半導体接合の電子が空乏領域で生まれた電場方向と逆方向に移動する(接点半導体接合の外部陽粒子(正孔)が電場と同じ方向に移動する)。例えばNBDは従来ダイオードの場合のように、降伏電圧を持たずに逆バイアスで導電する。(4)NBDは従来pn接合空乏領域を二つの電場に分割する。
本発明は又ダイポールレクテナ要素以外のレクタナ要素に利用できる。又本発明のNBDは実際にいずれのアンテナ形式と大きさを用いてEM波のDC電力の変換が得られる。最大電圧点か電流点を決められるアンテナ形式や、作動EM波周波数の応答に影響せずにギャップの位置決めするために、関連NBDが持つギャップを一つ以上のこの最大電流点に配置できる。さもなければこのアンテナ形式では、最大電圧点を見つけて非ギャップ又はギャップ無しレクタナ要素を用いても良く、アンテナの各最大電圧点で一対のNBDを配置して図20(a)と図20(b)に示すように入力端子と出力端子を形成しても良い。
ダイポールレクタナ要素をレクタナアレーに接続するのに上で検討した並列接続と直列接続を用いて、装置を設計し任意のアンテナ形式で任意電圧を出力できる。更に各装置のレクタナ要素を違えて単一装置が大周波数帯のEM内の種々の周波数波を捕獲するようにできる。又単一装置の異なる部位は異なるアンテナ形式のレクタナ要素を含み、これらの異なる部位を用いて異なる機能を実行しても良い。本発明はダイポールレクタナデザインに限定されず、上述の全波整流レクタナにも限定されない。該発明の実施形態により、各レクタナ要素は任意の大きさ、形状又は種類であり得る。更にレクテナアレーは一つより多い形式のレクタナ要素を含むことができる。例えば無線ICタグ(RFID)への応用で、レクタナアレーの一部は一周波数に感度があり、RFID回路に電力を供給するEM波の捕獲に用いる一方、レクタナアレーの別部は無線周波数(RF)伝送受信に用いても良い。この配置により必要部品数が減り、よりコンパクトな設計を生む。単一平面構成は接触ダイポールに限らず、又別ダイポールのより普通の場合にも利用できる。上記配置は平面アレーのみを記載したが、本発明は又非平面アレーにも利用できる。該発明は又個別部品を用いても実行できる。本発明のNBDはメートル波信号を整流できるため、本発明のEMレクタナを用いてメートルEM波を効率よく検出整流できる。従って以前には実用的でないか実行不可能なEM周波帯域の新規周波数の検出と電力変換が得られる。これには赤外(IR)や可視光周波帯域(例えば太陽光エネルギー)のDC電力発生、光センシングと光ネットワーク用の高速応答光センサーも含まれる。本発明による赤外線周波数の高効率吸収能は熱遮蔽や冷却遮蔽のような用途に用いることもできる。
太陽光エネルギー変換システムの増設を妨げる主障害の一つは効率である。効率での主課題は大部分は整流器と整流器のアンテナとの接続法に関する。本発明のEMレクテナで示した実施形態により、電磁(EM)波のDC電力への変換効率が先行技術を越えて改良され以下の改良が得られる。(1)より広い入力信号周波数範囲での全波整流(例えば上記赤外線かそれ以上で)、(2)整流器の電圧降下問題の解決、(3)小信号応答の電圧を出力する特殊整流器を用いた高効率の出力電圧レベルの提供、(4)より少数の整流器による全波整流、(5)入力電流源として、受信EM波源と電子入力チャネル源の二つのソースの提供。
本発明のレクテナを説明するためにダイポールアンテナのみを用いたが、上で検討の方法を用いて他のアンテナ形式と大きさを本発明のレクテナに取り入れても良い。
上記の詳細記述は上記の特定実施形態を説明するために用い、制限を意図したものではない。本発明の範囲内で多数の修正と変形が可能である。本発明で以下の特許請求項を示す。
先行技術の整流器(通常ダイオード)は電流を導電する前にバイアス電圧降下が必要である。電圧降下は特に低パワー信号での出力損を生ずる。電圧降下問題は電圧降下が負に供給する電圧を減少するのでソーラーエンジンで重要である。
図1は従来pn接合ダイオードの電流(I)―電圧(V)特性を示す。 図2は従来pn接合ダイオード100の略図である。 図3は本発明の一実施形態による自然故障装置(NBD)300の略図である。 図4は作動時のNBD300の内蔵電圧VFDとバイアス電圧VIN間の関係を示す。 図5は電圧値VsがNBD300の閾電圧Vthに近くない場合のNBDの電流―電圧(IV)特性を示す。 図6(a)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス電圧で完全に空乏化したN型領域を有する自然故障装置(NBD)600の略図である。図6(b)本発明の一実施形態によるゼロバイアス電圧で完全に消耗したp型領域とn型領域両者を有するNBD600を示す。 図7(a)乃至7(c)は、それぞれがゼロバイアス電圧で消耗領域(例えば空乏領域701,711、721又は722)を含むNBD700、NBD710及びNBD720を示す。 図8(a)乃至8(f)は、それぞれがゼロバイアス印加電圧で二つ以上のドーピング濃度を有する強制的空乏化領域(例えば空乏領域801,811,821及び822)を含むNBD800、NBD810及びNBD820を示す。特に図8(f)はゼロバイアスで直列接続の複数NBD600を示す。 図9は本発明の一実施形態により構築した多数のアンテナ(例えばアンテナ904、914及び924)を含むレクテナアレー900を示す。 図10(a)と10(b)は、本発明の一実施形態による図9のレクタナアレー900でのギャップ有りダイポールアンテナ904を示す該発明の一実施形態の平面図と側面図を示す。 図11はレクテナアレー1101電子出力チャネル1104のレクテナアレー1102電子入力チャネル1105との接続を示す、直列接続の直流集電用ギャップ有りレクテナアレー1101と1102を示す。 図12(a)と12(b)はそれぞれ本発明の一実施形態によるギャップ無しダイポールアンテナ1200の平面図と側面図を示す。 図13は多数のギャップ無しアンテナを含むレクテナアレー1300を示す。 図14はレクテナアレー1402電子出力チャネル1404のレクテナアレー1401電子入力チャネル1403との接続を示す、直列接続の直流集電用レクテナアレー1401と1402を示す。 図15(a)乃至15(d)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧での多数のNBDの略図を示す。 図16(a)と16(b)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBDの多数の配置略図を示す。 図17(a)乃至17(f)は本発明の一実施形態によるゼロ印加電圧での多数のNBDの略図を示す。 図18(a)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBD1800の略図を示す。NBD1810は強制的空乏化条件下の自然故障ショットキーダイオードを表す。図18(b)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBD1810の略図を示す。NBD1810は強制的空乏化条件下の自然故障ショットキーダイオードを表す。 図19(a)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBD2000の略図を示す。NBD2000は強制的空乏化条件下の一領域を有するNPN型バイポーラトランジスターを表す。図19(b)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBD2010の略図を示す。NBD2010は強制的空乏化条件下の二領域を有する自然故障NPN型バイポーラトランジスターを表す。図19(c)は本発明の一実施形態によるゼロバイアス印加電圧でのNBD2020の略図を示す。NBD2020は一つの完全空乏化領域を有する自然故障NPN型装置を表す。 図20(a)と20(b)はそれぞれ本発明の一実施形態によるギャップ無しダイポールレクテナ要素2200の正面図と側面図を示す。 図21は本発明の一実施形態による並列接続のギャップ有りレクタナアレー2300と2350を示す。 図22(a)と22(b)は本発明の一実施形態による信号整流を与える整流器構造905aを示す。 図23は接触抵抗が非常に低い場合でのNBD300の電流―電圧(IV)特性を示す。 図24は接触抵抗が閾電圧Vthに近い場合でのNBD300の電流―電圧(IV)特性を示す。 図25(a)はVs値が閾電圧Vthに近くない場合での縮退半導体材料を用いたNBD300の電流―電圧(IV)特性を示す。図25(b)はVs値が閾電圧Vthに近い場合での縮退半導体材料を用いたNBD300の電流―電圧(IV)特性を示す。 図26はNBD2000の電流―電圧(IV)特性を示す。 図27.1と27.2は対応特性を有する種々NBD構造の表である。 図28はNBD2020の電流―電圧(IV)特性を示す。

Claims (86)

  1. 半導体装置全域にわたってゼロバイアス電圧で完全に空乏化する半導体領域からなる半導体装置。
  2. 更に第一半導体領域隣接の接点からなる請求項1におけるような半導体装置。
  3. 更に第一半導体領域とpn接合を形成する第二半導体領域からなる請求項1におけるような半導体装置。
  4. 半導体装置が、逆バイアス電圧をpn接合界面で印加したとき実質的に線型に電流を導電する請求項3におけるような半導体装置。
  5. 第一半導体領域が強制的空乏領域である請求項1におけるような半導体装置。
  6. 第一半導体領域が非強制的空乏領域である請求項1におけるような半導体装置。
  7. 半導体領域フェルミ準位がゼロバイアス電圧で半導体装置のフェルミ準位より半導体領域真性フェルミ準位に近い請求項5におけるような半導体装置。
  8. 更に半導体領域フェルミ準位と半導体装置フェルミ準位間のエネルギー差に関わる電圧差に等しい電圧差からなる請求項5におけるような半導体装置。
  9. 第一半導体領域がその空乏幅より広い幅を有する第一半導体領域と所定材料領域により形成した接合を有する半導体装置を提供し、
    第一半導体幅が第一半導体領域の予期空乏幅に等しいか狭いように所定材料領域のパラメーターを調節する
    自然故障装置生成法。
  10. 所定材料が第二半導体領域を含み、調整パラメーターがドーパント濃度を含む請求項9におけるような方法。
  11. 所定材料が接点を形成する導体材料からなり、調整パラメーターが導体材料の仕事関数を含む請求項9におけるような方法。
  12. 調整パラメーターが半導体領域寸法幅に比し、所定材料領域の寸法である請求項9におけるような方法。
  13. 導電部分が電磁波で照射されると、第一点と第二点が最大電圧点を構成するように所定距離で分離した第一点と第二点を含む導電部分と
    導電部分と接触するp領域とp領域と接触するn領域からなる該第一点隣接の半導体ダイオードからなるレクテナ。
  14. 更に導電部分と接触するp領域とp領域と接触するn領域からなる第二点隣接の第二半導体ダイオードからなる請求項13におけるようなレクテナ。
  15. レクテナが入力チャネルを形成するようレクテナの第二半導体ダイオードp領域と接続し、
    出力チャネルを形成するようレクテナの第一半導体ダイオードn域と接続して、レクテナアレーを形成した複数アンテナの一つである請求項13におけるようなレクテナ。
  16. レクテナアレーのレクテナが二つ以上の機能を実行する請求項15におけるようなレクテナ。
  17. p領域とn領域がそれぞれ第一ドーピング濃度と第二ドーピング濃度を有し、p領域がp領域とn領域界面でゼロ印加電圧で完全に空乏化される請求項13におけるようなレクテナ。
  18. 第一導電部分、
    第一導電部分と第二導電部分の合計長さよりずっと小さいギャップで第一導電部分と分離した第二導電部分と、
    ギャップの第一導電部分と接触するp領域と、n領域を有する半導体装置からなる
    レクテナ。
  19. 半導体装置のp領域がギャップの第二導電部分と接触する請求項18におけるようなレクテナ。
  20. 更にp領域が第一半導体装置と第二半導体装置が互いに絶縁された、ギャップで第二部分と接触するp領域とn領域を持つ第二半導体装置、からなる請求項18におけるようなレクテナ。
  21. 更にギャップから遠い第一導電部分の端部と接触するn領域からなる請求項18におけるようなレクテナ。
  22. 半導体装置のp領域とn領域がそれぞれ第一ドーピング濃度と第二ドーピング濃度を有し、p領域がp領域とn領域との界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化される請求項18におけるようなレクテナ。
  23. 更にギャップから遠い第二導電部分の一端部と接触するn領域からなる請求項18におけるようなレクテナ。
  24. レクタナがレクタナアレーの複数レクタナの一つである請求項18におけるようなレクテナ。
  25. レクテナアレーが出力チャネルを形成するようレクテナの半導体装置n領域と接続し、入力チャネルを形成するようギャップから遠い第一半導電部分と第二導電部分端部n領域と接続して形成された請求項24におけるようなレクテナ。
  26. レクテナアレーのレクテナが二つ以上の機能を実行する請求項25におけるようなレクテナ。
  27. 半導体領域内のフェルミエネルギー準位を修正する方法で、
    第一半導体領域が半導体装置全域にわたってゼロバイアスで強制的空乏化されるように、第一導電性型の第一半導体領域を備え第一フェルミ準位の半導体装置を提供し、
    第二フェルミ準位が第一フェルミ準位より第一半導体領域の真性半導体フェルミ準位により近いように第一半導体領域を熱平衡で第二フェルミ準位に調整し、
    半導体装置全域で準閾バイアス電圧を提供する
    修正法。
  28. 第一半導体領域隣接の中性領域での電圧差が第一半導体領域のフェルミ準位が第二フェルミ準位に移動する前に生ずる請求項27におけるような方法。
  29. 第一半導体領域のフェルミ準位を電圧差が第一半導体領域隣接の中性領域に生ずる前に第一フェルミ準位に調整する請求項27におけるような方法。
  30. 自然故障ダイオードが
    第一ドーピング濃度を持つ第一導電性型の第一半導体領域と、
    第二ドーピング濃度を持つ第一導電性型と反対の第二半導体型の第二半導体領域と
    第一半導体領域隣接のオーム接点からなり、
    第一半導体領域が第一半導体領域と第二半導体領域界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化する自然故障ダイオード。
  31. 更に第一半導体領域とオーム接点間に第一半導体型の第三半導体領域からなり、第一半導体領域と第三半導体領域が第一半導体領域、第二半導体領域及び第三半導体領域界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化する請求項30におけるような自然故障ダイオード。
  32. 負バイアス電圧が第一半導体領域と第二半導体領域界面に印加したとき、自然故障ダイオードが導電性である請求項31におけるような自然故障ダイオード。
  33. ゼロボルトと所定電圧V間のバイアス電圧を第一半導体領域と第二半導体領域全域にわたって印加したとき、自然故障ダイオードが実質的に一定出力を与える請求項30におけるような自然故障ダイオード。
  34. 更に第二半導体領域と第一半導体領域間の第二半導体型第三半導体領域を含む請求項30におけるような自然故障ダイオード。
  35. n領域がp領域とn領域界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化する請求項30におけるような自然故障ダイオード。
  36. 従来のpn接合ダイオードのp領域とn領域のドーピング濃度を決め、
    従来のpn接合ダイオード閾電圧Vthより小さく、ダイオードの所定最大バイアス電圧より小さい順方向バイアス電圧Vを選び、
    バイアス電圧Vを従来のpn接合ダイオードのp領域とn領域界面に印加した場合の従来pn接合ダイオードの空乏幅wを計算し、
    を自然故障ダイオードのp領域幅として与える
    自然故障ダイオードを提供する方法。
  37. 更に自然故障ダイオードのpn接合界面の電場を計算し、自然故障ダイオードがゼロバイアス電圧で導電であるように自然故障ダイオードのp領域とn領域のドーピング濃度を調整することからなる請求項36におけるような方法。
  38. 導電部分を電磁波で照射したとき第一点と第二点が最大電圧点を構成するように所定距離で分離した第一点と第二点を含む導電部分を提供し、
    導電部分と接触のp領域とp領域と接触のn領域からなる該第一点隣接の半導体ダイオードを提供する
    レクテナ構築法。
  39. 更に導電部分と接触の第一n領域とn領域と接触のp領域からなる該第一点隣接の第二半導体ダイオードを提供することからなる請求項38におけるような方法。
  40. 更に導電部分と接触のp領域とp領域と接触のn領域からなる第二点隣接の第二半導体ダイオードを提供することからなる請求項38におけるような方法。
  41. 更にレクタナアレーに配列の複数レクタナを提供し、
    入力チャネルを形成するようにレクタナの第二半導体ダイオードと接続し、
    出力チャネルを形成するようにレクタナの第一半導体ダイオードn領域と接続することからなる、請求項38におけるような方法。
  42. 更にレクタナアレーのレクタナが二つ以上の機能の実行を提供することからなる請求項41におけるような方法。
  43. 更にそれぞれ第一ドーピング濃度と第二ドーピング濃度を有するp領域とn領域を提供し、p領域がp領域とn領域界面でゼロバイアス電圧で完全な空乏化を提供することからなる請求項42におけるような方法。
  44. 更にレクタナアレーの入力チャネルを一緒に接続し、レクタナアレーの出力チャネルを一緒に接続して複数のレクタナアレーを提供することからなる請求項41におけるような方法。
  45. 更に自然故障ダイオード全域にわたって増加ゼロバイアス電圧を提供し、
    電荷がn領域の中性領域で蓄積するように自然故障ダイオード全域にわたって減少ゼロバイアス電圧を印加することからなる
    請求項36におけるような方法。
  46. 第一半導体領域に関連する空乏領域が減少バイアス電圧中同じ幅を有する請求項27におけるような方法。
  47. 第一導電部分を提供し、
    第一導電部分と第二導電部分の合計長より実質的にずっと小さいギャップで第一導電部分と分離した第二導電部分提供し
    p領域がギャップの第一導電部分と第二導電部分と接触するp領域とn領域を有する半導体装置を提供することからなる
    レクテナを提供する方法。
  48. 半導体装置のp領域がギャップの第二導電部分と接触する請求項47におけるような方法。
  49. 更にギャップの第二部分と接触するp領域と、n領域を有する第二半導体装置からなる請求項47におけるような方法。
  50. 第一半導体装置と第二半導体装置が互いに絶縁されている請求項49におけるような方法。
  51. 更にギャップから遠い第一導電部分端子部と接触するn領域を提供することからなる請求項50におけるような方法。
  52. 更にそれぞれ第一ドーピング濃度と第二ドーピング濃度を有する半導体装置のp領域とn領域を提供し、p領域がp領域とn領域界面でゼロバイアス電圧で完全な空乏化を提供することからなる請求項51におけるような方法。
  53. 更にギャップから遠い第一導電部分の一端部と接触するn領域からなる請求項47におけるような方法。
  54. 更にレクタナアレーの複数レクタナの一つであるレクタナを提供することからなる請求項47におけるような方法。
  55. レクタナアレーで複数レクタナの一つのレクタナを提供することが
    複数のレクタナを提供し、
    レクタナの半導体装置のn領域と接続して出力チャネルを形成し、
    ギャップから遠い第一導電部分と第二導電部分端部のn領域と接続して入力チャネルを形成ことからなる、請求項51におけるような方法。
  56. レクタナが複数レクタナアレーに配列の複数レクタナの一レクタナであり、その方法が
    複数のレクタナアレーを提供し、
    レクタナアレーの入力チャネルを一緒に接続し、
    レクタナアレーの出力チャネルを一緒に接続することからなる
    請求項55におけるような方法。
  57. レクタナアレーが複数レクタナアレーの一つのレクタナであり、その方法が更に
    複数のレクタナアレーを提供し、
    レクタナの第二半導体ダイオードのp領域と接続して入力チャネルを形成し、
    レクタナの第一半導体ダイオードのn領域と接続して出力チャネルを形成ことからなる
    請求項56におけるような方法。
  58. レクタナアレーのレクタナが二つ以上の機能を実行する請求項57におけるような方法。
  59. 第一導電部分と第二導電部分が実質的に電磁波波長の奇数倍の半分である所定合計長を備える請求項57におけるような方法。
  60. 第一ドーピング濃度を有する第一導電型の第一半導体領域を提供し、第二ドーピング濃度を有する第一導電に反対の第二導電型第二半導体領域を提供し、
    第一ドーピング濃度と第二ドーピング濃度の第一半導体領域を有する従来ダイオードの第一半導体領域空乏幅より狭いか等しい第一半導体領域空乏幅を提供し、
    第一半導体領域隣接のオーム接点を提供ことからなる
    自然故障ダイオードを提供する方法。
  61. 更に第一半導体領域と第三ドーピング濃度を持つオーム接点間の第一導電型と同じ導電型第三半導体領域を提供することからなり、第一半導体領域と第三半導体領域が第一半導体領域、第二半導体領域及び第三半導体領域界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化する請求項60におけるような方法。
  62. 更に第一半導体領域と第二半導体領域界面でゼロバイアス電圧を印加すると、故障モードで作動するダイオードを提供することからなる請求項60におけるような方法。
  63. 更にゼロボルトと所定弾圧Vをp領域とn領域界面にバイアス電圧を印加すると、ダイオードに定電圧出力を提供することからなる請求項60におけるような方法。
  64. 更に第一半導体領域と第二半導体領域の間に第二導電型と同じ導電型の第三半導体領域を提供することからなる請求項60におけるような方法。
  65. 更に第一半導体領域と第二半導体領域間界面でゼロバイアス電圧で完全に空乏化する第二半導体領域を提供する請求項60におけるような方法。

  66. 入力チャネルと出力チャネルを持つアレーを形成した複数アンテナ要素を提供し、各アンテナ要素が
    導電部分が電磁波で照射されると第一点と第二点が最大電圧点を構成するように所定距離で分離した第一点と第二点を含む導電部分と、
    導電部分と接触のp領域とp領域と接触のn領域からなる該第一点隣接の半導体ダイオードからなり、
    電力貯蔵装置が入力チャネルと出力チャネル間で接続するアンテナアレーから電流を受信する電力貯蔵装置を提供する、ことからなる電磁放射線電力回収法。
  67. アンテナ要素が更に導電部分と接触の第一n領域とn領域と接触のp領域からなる第一点隣接の第二半導体ダイオードからなる請求項66におけるような方法。
  68. アンテナアレーの第二半導体ダイオードp領域が入力チャネルを形成し、アンテナアレーの第一半導体ダイオードn領域が出力チャネルを形成するように接続した請求項66におけるような方法。
  69. アンテナ要素が更に導電部分と接触のp領域と、p領域と接触のn領域からなる第二点隣接の第二半導体ダイオードからなる請求項66におけるような方法。
  70. 入力端子、
    出力端子、
    それぞれ第一端と第二端を持つ各導体でギャップ分離した第一導体と第二導体で、各導体の第二端がギャップにあり、各導体の第一端が入力端子と接続し、第一導体、第二導体とギャップの全長がアンテナ要素が受信する電磁放射波長が関わる所定値に等しい導体と
    第一導体の第二端と出力端子間で接続する第一整流器からなる
    アンテナ要素。
  71. 第二整流器が第二導体の第二端と出力端子間で接続する請求項70におけるようなアンテナ要素。
  72. 電磁放射がアンテナ要素に入射すると、各導体での電圧差により第一電流がアンテナ要素に誘導され、電磁放射の磁場により第二電流がアンテナ要素に誘導される請求項70におけるようなアンテナ要素。
  73. 整流器がゼロバイアス電圧で導電する請求項70におけるようなアンテナ要素。
  74. 半導体装置で相互接続の複数アンテナ要素からなるアンテナアレー。
  75. 第一端と第二端を持つ導体と、
    導体の第一端と接続し、ゼロバイアス電圧で完全に空乏化する半導体領域を含む半導体装置からなる
    整流器。
  76. 更にゼロバイアス電圧で完全に空乏化する半導体領域を含む導体と接続した第二半導体装置からなる請求項75におけるような整流器。
  77. 更にギャップで第一導体と分離した第二導体を含む請求項75におけるような整流器。
  78. 第一導体型の第一強制的完全空乏化半導体領域を提供し、
    第二半導体領域が第一半導体領域に隣接し、第一内蔵電位を持ち、第一導体型とは異なる第二導体型の第二半導体領域を提供し、
    第一内蔵電位と反対の第二半導体領域隣接の第二内蔵電位を提供し、
    第一半導体領域に比し増加した順方向バイアスを提供し、
    第一内蔵電位が減少し第二内蔵電位が増加するように、第一半導体領域に比し減少した順方向バイアスの提供からなる
    半導体装置で第一内蔵電位から第二内蔵電位への電位移動法。
  79. 半導体装置の閾電圧が従来pn接合の閾電圧より小さい請求項78におけるような方法。
  80. 所定内蔵電位のpn接合を半導体基質に生成し、
    半導体装置がゼロバイアス電圧の場合、完全に空乏化する半導体領域をpn接合から所定距離で半導体基質に提供する
    半導体装置の内蔵電位修正法。
  81. 完全空乏化半導体領域が適切にドープした半導体領域とオーム接触することで提供される請求項80におけるような方法。
  82. 完全空乏化半導体領域が適切にドープした半導体領域とショットキー接触することで提供される請求項80におけるような方法。
  83. ゼロバイアス電圧で完全に空乏化した半導体領域を含む半導体装置を提供し、
    半導体領域全域にわたって準閾バイアス電圧を印加することからなる
    半導体の信号電力貯蔵法。
  84. 第一導体型の第一半導体領域と、
    第一導体型と反対の第二導体型の第二半導体領域と、
    第一半導体領域が第二半導体領域と接点間でオーム接触を生成するのに十分薄く、第一半導体領域が接点と反対の第一半導体領域に隣接し、第二半導体領域に隣接する接点とからなる半導体装置内のオーム接点。
  85. 第一導体型の第一半導体領域を提供し、
    第一半導体領域隣接の第一導体型と反対の第二導体型の第二半導体領域を提供し、
    第一半導体領域が第二半導体領域と接点間でオーム接続を生み出すに十分薄く、第二半導体領域と反対の第一半導体領域隣接の接点を提供する、ことからなる半導体装置内のオーム接点を提供する方法。
  86. 第一導体型の第一半導体領域を提供し、
    第一半導体領域隣接の第一導体型と反対の第二導体型の第二半導体領域を提供し、
    第二半導体領域と反対の第一半導体領域隣接のオーム接点を提供し、
    第一半導体領域が接点、第一半導体領域及び第二半導体領域界面でゼロバイアス電圧で強制的な空乏化を提供し、
    入力信号を提供する、ことからなる単一半導体装置による入力信号の全波整流法。
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