JP2008300032A - Magnetic transfer device and magnetic transfer method - Google Patents
Magnetic transfer device and magnetic transfer method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008300032A JP2008300032A JP2008207622A JP2008207622A JP2008300032A JP 2008300032 A JP2008300032 A JP 2008300032A JP 2008207622 A JP2008207622 A JP 2008207622A JP 2008207622 A JP2008207622 A JP 2008207622A JP 2008300032 A JP2008300032 A JP 2008300032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- master carrier
- holder
- elastic member
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、情報を担持したマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置および磁気転写方法に関するものである。 The present invention relates to a magnetic transfer apparatus and a magnetic transfer method for performing magnetic transfer from a master carrier carrying information to a slave medium.
磁気記録媒体へのサーボ信号等のプリフォーマット記録もしくはデータ記録の方法として、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体(パターンドマスター担体)を、磁気記録層を有する磁気記録媒体(被転写媒体(スレーブ媒体))と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体が担持する情報に対応した磁化パターンを磁気記録媒体に転写記録する磁気転写方法が提案されている。 As a method for preformat recording or data recording of servo signals, etc. on magnetic recording media, a master carrier (patterned master carrier) in which a transfer pattern of servo signals etc. having a magnetic layer at least on the surface layer is formed in an uneven shape or an embedded structure Is applied to a magnetic recording medium having a magnetic recording layer (transfer medium (slave medium)), and a magnetic field for transfer is applied to the magnetic recording medium by applying a transfer magnetic field to the magnetic recording medium. Magnetic recording methods for recording have been proposed.
磁気記録媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクなどの円盤状媒体の場合には、この磁気記録媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置あるいは永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。 When the magnetic recording medium is a disk-shaped medium such as a hard disk or a high-density flexible disk, an electromagnetic device or permanent magnet is attached to one or both sides of the magnetic recording medium in a state where a disk-shaped master carrier is closely attached to one or both surfaces. A magnetic field applying device using a magnet device is provided to apply a transfer magnetic field.
上記磁気転写における転写品質を高めるにあたっては、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに隙間なく密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。 In order to improve the transfer quality in the magnetic transfer, it is an important issue how to closely contact the slave medium and the master carrier with no gap. In other words, if there is poor adhesion, there will be areas where magnetic transfer will not occur, and if magnetic transfer does not occur, signal loss will occur in the magnetic information transferred to the slave medium, the signal quality will deteriorate, and the recorded signal will be In this case, there is a problem that the tracking function cannot be sufficiently obtained and the reliability is lowered.
そこで、マスター担体をホルダーに保持して磁気記録媒体と押圧密着させる際に、マスター担体を平坦なホルダー面に吸着して平坦性を高めて、磁気記録媒体との密着性を向上させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、ホルダー面とマスター担体との間に弾性部材を介装して、マスター担体の微小弾性変形を許容して磁気記録媒体との密着性を高める方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。 Therefore, when holding the master carrier in the holder and pressing and adhering to the magnetic recording medium, a method for improving the adhesion with the magnetic recording medium by adsorbing the master carrier to the flat holder surface and improving the flatness is proposed. (For example, refer to Patent Document 1). In addition, a method has been proposed in which an elastic member is interposed between the holder surface and the master carrier to allow fine elastic deformation of the master carrier and improve the adhesion with the magnetic recording medium (for example, Patent Document 2). reference).
しかしながら、マスター担体に対してスレーブ媒体の全面を均等に押圧しても、実際には、各種歪、エアの残留等により全面を均等に密着させるのは困難であり、部分的に密着不良が発生し、転写不良を生起する。特に転写情報は、マスター担体の全面に均一に形成されるのではなく、後述の図3(A)に示すように、例えばサーボパターンの場合には略放射状に部分的に形成されるものであり、この転写パターンの部分で密着性が確保できていれば良好な磁気転写が行えることが判明した。 However, even if the entire surface of the slave medium is pressed evenly against the master carrier, it is actually difficult to evenly adhere to the entire surface due to various strains, residual air, etc., and partial adhesion failure occurs. And transfer failure occurs. In particular, the transfer information is not uniformly formed on the entire surface of the master carrier, but is formed partially in a substantially radial manner in the case of a servo pattern, for example, as shown in FIG. It has been found that good magnetic transfer can be performed if the adhesion can be secured at the transfer pattern portion.
そこで、弾性体をマスター担体のサーボ信号用の転写パターンに対応して、そのパターン部位に対応する領域を凸形状に形成した弾性部材により、スレーブ媒体の背面から押圧する方法が提案されている(例えば、特許文献3参照)。
しかしながら、特許文献3に記載されているようにスレーブ媒体の背面から弾性部材で押圧する方法では、両面に磁気記録媒体層を有するスレーブ媒体への信号記録は、片面ずつ逐次転写を行う必要がある。片面逐次転写は手間がかかると共に、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着し、該塵埃がスレーブ媒体とマスター担体との間に介在する異物となり密着性に非常に大きな悪影響を与え、転写品質を低下させる虞が非常に高いという問題がある。
However, as described in
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、磁気転写におけるスレーブ媒体とマスター担体との密着性を高め転写信号品質を向上させることができると共に、磁気記録媒体の製造時間を短縮し生産性を向上させることができる磁気転写装置および磁気転写方法を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can improve the transfer signal quality by improving the adhesion between the slave medium and the master carrier in magnetic transfer, and shorten the manufacturing time of the magnetic recording medium and improve the productivity. It is an object of the present invention to provide a magnetic transfer apparatus and a magnetic transfer method that can be performed.
本発明の第1の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体と該スレーブ媒体の両面に密着させる前記マスター担体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とするものである。
The first magnetic transfer device of the present invention includes a master carrier having a surface on which a transfer pattern corresponding to information to be transferred is partially formed, a slave medium that receives the transfer, and the master carrier that is in close contact with both sides of the slave medium A holder that presses the superimposed body from the back side of the master carrier when a transfer magnetic field is applied to the superimposed body, and is disposed between the back surface of the master carrier and the holder. In a magnetic transfer device provided with an elastic member
A portion of the surface of the elastic member, which faces the back surface of the master carrier, corresponding to a region where the transfer pattern of the master carrier is formed is formed in a convex shape.
本発明の第2の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体と該スレーブ媒体の両面に密着させる前記マスター担体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とするものである。
The second magnetic transfer device according to the present invention includes a master carrier having a surface on which a transfer pattern corresponding to information to be transferred is partially formed, a slave medium that receives the transfer, and the master carrier that is in close contact with both sides of the slave medium. A holder that presses the superimposed body from the back side of the master carrier when a transfer magnetic field is applied to the superimposed body, and is disposed between the back surface of the master carrier and the holder. In a magnetic transfer device provided with an elastic member
A portion of the surface of the elastic member facing the holder corresponding to a region where the transfer pattern of the master carrier is formed is formed in a convex shape.
第1および第2の磁気転写装置においては、弾性部材に設けられる凸状の部分の厚みが、5μm超、100μm以下であることが好ましく、さらには10μm超、50μm未満であることがより好ましい。 In the first and second magnetic transfer apparatuses, the thickness of the convex portion provided on the elastic member is preferably more than 5 μm and less than 100 μm, and more preferably more than 10 μm and less than 50 μm.
本発明の第1の磁気転写方法は、転写を受けるスレーブ媒体と、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有し前記スレーブ媒体の両面に密着させるマスター担体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とするものである。
The first magnetic transfer method of the present invention includes a superposition of a slave medium that receives a transfer and a master carrier that has a surface partially formed with a transfer pattern corresponding to the information to be transferred and is in close contact with both surfaces of the slave medium. In a magnetic transfer method for performing magnetic transfer by applying a magnetic field for transfer to the superimposed body in a state where the body is pressed and held from the back side of the master carrier by a holder,
Between the back surface of the master carrier and the holder, a portion corresponding to the region where the transfer pattern of the master carrier is formed on the surface of the elastic member that faces the back surface of the master carrier is formed in a convex shape. The elastic member is disposed and then pressed by the holder.
本発明の第2の磁気転写方法は、転写を受けるスレーブ媒体と、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有し前記スレーブ媒体の両面に密着させるマスター担体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、該ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
According to the second magnetic transfer method of the present invention, a slave medium that receives a transfer and a master carrier that has a surface partially formed with a transfer pattern corresponding to the information to be transferred and is in close contact with both surfaces of the slave medium. In a magnetic transfer method for performing magnetic transfer by applying a magnetic field for transfer to the superimposed body in a state where the body is pressed and held from the back side of the master carrier by a holder,
An elastic member is provided between the back surface of the master carrier and the holder so that a portion corresponding to the area where the transfer pattern of the master carrier is formed is convex on the surface facing the holder. A magnetic transfer method comprising pressing with the holder.
第1および第2の磁気転写方法においては、弾性部材に設けられる凸状に形成されている部分の厚みが、5μm超、100μm以下であることが好ましく、さらには10μm超、50μm未満であることがより好ましい。 In the first and second magnetic transfer methods, the thickness of the convex portion provided on the elastic member is preferably more than 5 μm and less than 100 μm, and more preferably more than 10 μm and less than 50 μm. Is more preferable.
本発明の第1および第2の磁気転写装置および方法によれば、マスター担体の背面とホルダーとの間に配される弾性部材の、マスター担体の背面に対向する面もしくはホルダーに対向する面の、マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されているために、マスター担体の凹凸パターン形成部とスレーブ媒体の記録面とを効率よく均一に密着させることができ、密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高め信頼性を向上することができると共に、スレーブ媒体と弾性部材が接触していないため弾性部材から発生する塵埃のスレーブ媒体への付着を防止することができ、また両面に磁気記録層を有するスレーブ媒体に対して両面同時転写が可能であるため両面磁気記録型の磁気記録媒体を製造する製造時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。 According to the first and second magnetic transfer apparatuses and methods of the present invention, the elastic member disposed between the back surface of the master carrier and the holder is formed on the surface facing the back surface of the master carrier or the surface facing the holder. Since the portion of the master carrier corresponding to the region where the transfer pattern is formed is formed in a convex shape, the concave / convex pattern forming portion of the master carrier and the recording surface of the slave medium can be efficiently and uniformly adhered to each other. This can prevent the occurrence of signal loss due to poor adhesion, improve the quality of the transfer signal and improve the reliability, and since the slave medium and the elastic member are not in contact, the slave medium of dust generated from the elastic member Double-sided magnetic recording type magnetic recording medium can be prevented from adhering to both sides and simultaneous transfer on both sides to a slave medium having a magnetic recording layer on both sides is possible. It is possible to shorten the manufacturing time for the production of, thereby improving the productivity.
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図1は本発明の磁気転写装置の転写時の状態を示す要部斜視図である。図2は本発明に含まれない参考例に係る転写ホルダーの分解斜視図、図3は、図2の参考例におけるマスター担体とスペーサの平面図およびスペーサの断面図である。なお、各図は模式図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. FIG. 1 is a perspective view of a main part showing a state during transfer of the magnetic transfer apparatus of the present invention. 2 is an exploded perspective view of a transfer holder according to a reference example not included in the present invention, and FIG. 3 is a plan view of a master carrier and a spacer and a cross-sectional view of the spacer in the reference example of FIG. Each figure is a schematic diagram, and the thickness and the like are shown at a ratio different from the actual dimension.
図1に示す磁気転写装置1は、後述の図2、図4の参考例および図5、図7の本発明の実施形態に示すように、スレーブ媒体2の片面および他面に転写すべき情報をそれぞれ担持する磁気転写用マスター担体3および4と、該マスター担体3、4およびスレーブ媒体2の重畳体を押圧保持する、第1および第2のホルダー11および12からなる転写ホルダー10と、マスター担体3とホルダー11、マスター担体4とホルダー12のそれぞれの間に介装されるスペーサ5、6および弾性部材7、8と、転写ホルダー10の内部空間のエアを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る図示しない真空吸引手段からなる密着圧力印加手段と、転写ホルダー10を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段85とを備えてなる。
The magnetic transfer apparatus 1 shown in FIG. 1 has information to be transferred to one side and the other side of the
図2の参考例における転写ホルダーは、後述のスペーサ以外の基本構造は本発明の実施形態と同様であり、相対的に接離移動可能な左側の第1のホルダー11と右側の第2のホルダー12とからなり、その内部に形成される内部空間に、スレーブ媒体2およびマスター担体3、4をそれぞれの中心位置を一致させた状態で収容して、この内部空間の減圧によりスレーブ媒体2とマスター担体3、4とを重ね合わせて対峙密着させるものである。第1のホルダー11および第2のホルダー12の背面の中心位置には、それぞれ支持軸が突設され、装置本体に支持され、回転機構に連係されて磁気転写時に回転駆動される。また、転写ホルダー10の内部空間は、密着時には所定の真空度に減圧されて、スレーブ媒体2とマスター担体3、4との密着力を得るととともに、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるとともに、大気開放時および剥離時には圧縮空気の導入が行われる。
The transfer holder in the reference example of FIG. 2 has the same basic structure as that of the embodiment of the present invention except for the spacer described later, and the
第1および第2のホルダー11および12は、マスター担体3、4の大きさに対応した円形状の吸着面11a、12aを有し、その表面が平坦に仕上げられている。この吸着面11aには、吸気孔がほぼ均等に開口している(多孔質面でもよい)。図示していないが、この吸気孔には内部からホルダー11、12の外部に導出された吸気通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面11a、12aに弾性部材およびスペーサを介してマスター担体を真空吸着し、好ましくはマスター担体の平坦性を吸着面11a、12aに沿わせて矯正する。
The first and
マスター担体3、4は、中心孔3a、4aが開口された剛体によりディスク状に形成されている。このマスター担体3、4は、基板の表面に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体2に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面3b、4bである。
The
マスター担体3、4の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
As the substrate of the
転写情報がサーボ信号の場合は、マスター担体3の情報担持面3bには、図3(A)に示すように、中心部から等間隔でほぼ放射方向(図示の場合は、若干湾曲している)に延びる細幅の領域にサーボパターン(転写パターン)が部分的に形成されている。このサーボパターンが形成されている領域(以下、これを転写パターン領域Pと称する。)がスレーブ媒体2と均一な密着が要求される部分であり、マスター担体3の情報担持面3bには、転写パターン領域Pとそれに隣接する非転写パターン領域が交互に形成されている。なお、マスター担体4の情報担持面4bには、マスター担体3の情報担持面3bの転写パターンと鏡像関係にある転写パターンが形成されている。
When the transfer information is a servo signal, the
スペーサ5は、プラスチックフィルムなどで形成されたものであり、図3(B)、(C)に示すように、マスター担体3の非転写パターン領域に対応する領域に裏面に貫通する孔51が設けられ、内周の内リング部52と、外周の外リング部53と、内リング部52と外リング部53を連結する、マスター担体3の転写パターン領域Pに対応した複数の放射部54とを有する形状に構成されている。スペーサ5は全領域に渡って略均一な厚みを有し、その厚みtsは5μm超、100μm以下であることが好ましい。厚みtsが5μm超であれば凸部としての機能が効果的であり、また100μm以下であればスペーサ自体の柔軟性を十分に有するため、弾性部材との密着も良好となるからである。なお、さらに好ましい厚みは10μm超、50μm未満である。なお、スペーサ6はスペーサ5と略同一形状を有する。
The
スペーサの材料としては、ポリイミドフィルム、アラミドフィルムなどを用いることができ、孔の形成は、打ち抜きなど機械的な方法により行うことができる。 As a material of the spacer, a polyimide film, an aramid film, or the like can be used, and the hole can be formed by a mechanical method such as punching.
スペーサ5は、弾性部材7とマスター担体3の背面との間に、マスター担体3の転写パターン領域Pと該スペーサ5の放射部54との位置が加圧方向(重畳される方向)に垂直な面内において一致するように位置決めされて第1のホルダー11に保持される。同様に、スペーサ6は、弾性部材8とマスター担体4の背面との間に、マスター担体4の転写パターン領域と該スペーサ6の放射部との位置が一致するように位置決めされて第2のホルダー12に保持される。
The
弾性部材7、8はマスター担体の背面に接触して押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成され、ホルダーの吸着面11a、12aに保持される。弾性部材の具体的材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン(登録商標)ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが挙げられる。弾性部材は全面に亘って略均一な厚みで構成されており、その厚みtdは、100μm以上、3000μm以下であることが望ましい。厚みtdが3000μm以下であれば弾性材料としての機能(柔軟性)が効果的であり、また100μm以上であれば柔らか過ぎず、密着時に弾性部材が過度に変形することを抑制し、マスター担体とスレーブ媒体との均一な密着に好ましいためである。なお、さらに好ましい厚みは300μm以上、700μm以下である。 The elastic members 7 and 8 are in contact with and pressed against the back surface of the master carrier, are formed in a disk shape from a material having elastic characteristics, and are held on the suction surfaces 11a and 12a of the holder. Specific materials for the elastic member include general rubber such as silicon rubber, polyurethane rubber, fluorine rubber, butadiene rubber, Teflon (registered trademark) rubber, Viton rubber, and foamed resin such as sponge rubber. The elastic member is configured to have a substantially uniform thickness over the entire surface, and the thickness t d is preferably 100 μm or more and 3000 μm or less. Thickness t d is a function (flexibility) is effective as an elastic material not more than 3000 .mu.m, also not too soft if 100μm or more, the elastic member is prevented from being excessively deformed during adhesion, the master carrier This is because it is preferable for uniform contact with the slave medium. A more preferable thickness is not less than 300 μm and not more than 700 μm.
磁界印加手段85は、図示のように転写ホルダー10の両側に配設された電磁石装置80を備えてなり、この電磁石装置80の転写ホルダー10の半径方向に延びるギャップ81を有するコア82にコイル83が巻き付けられてなる。両電磁石装置80はトラック方向と平行な同一の向きの磁界を発生させるものである。また、磁界印加手段85としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。垂直記録の場合の磁界印加手段は、転写ホルダー10の両側に配設された、極性の異なる電磁石または永久磁石から構成することができる。すなわち、垂直記録の場合は、トラック面に垂直な方向に転写用磁界を発生させるものである。
The magnetic
また、磁界印加手段85は、転写ホルダー10の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置80が接離移動するか、電磁石装置80、80間に転写ホルダー10が挿入されるように電磁石装置80,80またはホルダー10が移動するようになっている。
Further, the magnetic
次に、上記磁気転写装置1による磁気転写方法について説明する。 Next, a magnetic transfer method using the magnetic transfer apparatus 1 will be described.
非転写媒体たるスレーブ媒体2は、両面に磁気記録層が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。その磁気記録層は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層である。磁気転写を行う際には、スレーブ媒体2の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体2をマスター担体3、4と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
The
上記磁気転写装置の転写ホルダー10は、一組のマスター担体3、4により複数のスレーブ媒体2に対する磁気転写を行うものであり、まず第1のホルダー11の吸着面11aに弾性部材7を保持させ、さらに、不図示の位置決め機構によりスペーサ5の放射部54とマスター担体3の転写パターン領域Pとが一致するように位置決めして保持させる。同様に、第2のホルダー12の吸着面12aに弾性部材8を保持させ、スペーサ6の放射部とマスター担体4の転写パターン領域Pの位置がその重畳方向に垂直な面内において一致するように位置決めして保持させる。
The
そして、第1のホルダー11と第2のホルダー12とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体2を中心位置を合わせてセットした後、第2のホルダー12を第1のホルダー11に接近移動させ閉状態とする。スレーブ媒体2およびマスター担体3、4を収容した転写ホルダー10の内部空間を真空吸引することにより減圧し、スレーブ媒体2とマスター担体3、4とに均一に密着力を加え密着させる。密着力の印加のために、真空吸引に加えて、外部から機械的に加圧してもよい。
Then, in the open state in which the
その後、転写ホルダー10の両側に電磁石装置80を接近させ、転写ホルダー10を回転させつつ電磁石装置80によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体3、4の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体2の磁気記録層に転写記録する。上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体3、4の転写パターンにおけるスレーブ媒体2と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体2にはマスター担体3、4の転写パターンに応じた磁化パターンが表裏それぞれに転写記録される。
Thereafter, the
図2の参考例によれば、マスター担体3、4にスレーブ媒体2を密着させる際に、それぞれのマスター担体3、4の背面に備えられているスペーサ5、6の放射部によって、マスター担体3、4の背面の主に転写パターン領域が押圧されるため、転写パターン領域でのスレーブ媒体との密着性を高め、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができる。弾性部材はマスター担体の背面に配置されており、スレーブ媒体は弾性部材と接触しないため、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着しにくいために塵埃による密着不良を防止し、また、両面同時転写により迅速に磁気記録媒体を製造することができる。
According to the reference example of FIG. 2, when the
図4は、本発明に含まれない他の参考例の磁気転写装置の転写ホルダーの分解斜視図を示すものである。この他の参考例の磁気転写装置の全体構成概略は上記図2の参考例と同様である。以下の参考例においては、主として図2の参考例と異なる点を説明する。また、磁気転写装置と同様の構成要素には同一符号を付し、説明を省略する。 FIG. 4 is an exploded perspective view of a transfer holder of a magnetic transfer apparatus of another reference example not included in the present invention. The general configuration of the magnetic transfer apparatus of the other reference example is the same as the reference example of FIG. In the following reference example, differences from the reference example of FIG. 2 will be mainly described. In addition, the same components as those of the magnetic transfer apparatus are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
上記図2の参考例の磁気転写装置においては、スペーサ5、6が弾性部材7、8とマスター担体3、4との間に配置されているのに対して、本参考例においては、スペーサ5が第1のホルダー11と弾性部材7との間、スペーサ6が第2のホルダー12と弾性部材8との間にそれぞれ配置されている。スペーサ5および6は、第1の実施形態の場合と同様に、それぞれの放射部がマスター担体の転写パターン領域と一致するように位置決めされてホルダーに保持される。したがって、マスター担体とスレーブ媒体との密着時には、転写パターン領域に特に押圧力が加わるため、転写パターン領域の密着性が高まり、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
In the magnetic transfer apparatus of the reference example of FIG. 2, the
図5は本発明の第1の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー10の分解斜視図を示すものである。
FIG. 5 is an exploded perspective view of the
本実施形態はスペーサ5、6を有していない点および、弾性部材17、18の一面の、マスター担体3、4の転写パターン領域Pに対応した領域が凸状に形成されている点で図2〜図4の参考例と異なる。
In the present embodiment, the
図6は本実施形態における弾性部材17の平面図および断面図を示すものである。弾性部材17、18はマスター担体3、4の背面に接触してマスター担体3、4を押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成されている。この弾性部材17の一面17aは、図6(A)、(B)に示すように、マスター担体3の前記転写パターン領域Pに対応して該転写パターン領域Pの部分を主に押圧する凹凸形状とされている。すなわち、前記一面17aは、内周の内リング部72と、外周の外リング部73と、内リング部72と外リング部73を連結するマスター担体3の転写パターン領域Pに対応した複数の放射部74とが凸状に形成され、その他の部分は凹部71(裏面に貫通していてもよい)に形成されている。なお、ここでは、凸状に形成された内リング部72、外リング部73を備えるものとしたが、マスター担体3の転写パターン領域Pに対応した放射部74のみが凸状に形成された形状であってもよい。
FIG. 6 shows a plan view and a cross-sectional view of the
弾性部材17および18の材料は、先の参考例の弾性部材7,8と同様であり、圧力印加時に押圧面積が過剰に増大しない程度の弾性特性を有している。具体的材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン(登録商標)ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが挙げられる。
The materials of the
弾性部材17(および18)の一面の凸状部上面から他面までの厚みtは、100以上、3000μm以下であることが望ましい。厚みtが3000μm以下であれば弾性材料としての機能(柔軟性)が効果的であり、また100μm以上であれば柔らか過ぎて密着時に弾性部材が過度に変形することを抑制し、マスター担体とスレーブ媒体との均一な密着に好ましいためである。なお、さらに好ましい厚みは300μm以上、700μm以下である。また、凸状部の厚みt’は、5μm越、100μm以下の範囲であることが好ましい。厚みt’が5μm越であれば凸状部としての機能が効果的であり、また100μm以下であれば密着時に凸状部の形状が安定しマスター担体の転写パターン領域とを容易に一致させることができるからである。なお、さらに好ましい凸状部厚みt’は10μm越、50μm未満である。 The thickness t from the upper surface of the convex portion of one surface of the elastic member 17 (and 18) to the other surface is desirably 100 or more and 3000 μm or less. If the thickness t is 3000 μm or less, the function (flexibility) as an elastic material is effective. If the thickness t is 100 μm or more, it is too soft to suppress excessive deformation of the elastic member when closely attached, and the master carrier and slave This is because it is preferable for uniform contact with the medium. A more preferable thickness is not less than 300 μm and not more than 700 μm. The thickness t ′ of the convex portion is preferably in the range of more than 5 μm and not more than 100 μm. If the thickness t ′ exceeds 5 μm, the function as a convex portion is effective, and if it is 100 μm or less, the shape of the convex portion is stable at the time of close contact and easily matches the transfer pattern region of the master carrier. Because you can. A more preferable convex portion thickness t ′ is more than 10 μm and less than 50 μm.
均一な弾性部材に対して、例えばウォータージェット加工法により凹部を形成し、部分的に凸状部を備えた形状に加工する。弾性部材17は、その一面17aがマスター担体3の背面に対向するようにして、マスター担体3の転写パターン領域Pと該一面17aの放射部74との位置が加圧方向(重畳される方向)に垂直な面内において一致するように位置決めされて第1のホルダー11に保持される。同様に、弾性部材18は、凸状部が設けられた一面がマスター担体4の背面に対向するようにして、マスター担体4の転写パターン領域と該一面の凸状放射部との位置が一致するように位置決めされて第2のホルダー12に保持される。
For a uniform elastic member, a concave portion is formed by, for example, a water jet processing method, and processed into a shape partially including a convex portion. The
本実施の形態によれば、マスター担体3、4にスレーブ媒体2を密着させる際に、それぞれのマスター担体3、4の背面に備えられている弾性部材17、18の放射部によって、マスター担体3、4の背面の主に転写パターン領域が押圧されるため、転写パターン領域でのスレーブ媒体との密着性を高め、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができる。弾性部材はマスター担体の背面に配置されており、スレーブ媒体は弾性部材と接触しないため、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着しにくいために塵埃による密着不良を防止し、また、両面同時転写により迅速に磁気記録媒体を製造することができる。
According to the present embodiment, when the
図7は本発明の第2の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー10の分解斜視図を示すものである。
FIG. 7 is an exploded perspective view of the
本実施形態は第1の実施形態と同様に、スペーサを有しておらず、片面がマスター担体の転写パターン領域に対応した領域が凸状に形成されている弾性部材17、18を備えている。
As in the first embodiment, the present embodiment includes
第2の実施形態の磁気転写装置においては、弾性部材17、18の、凸状部が形成された面がマスター担体3、4の背面に対向するように配置されているのに対して、本実施形態においては、弾性部材17、18の凸状部が形成された面がホルダーの吸着面に対向するように配置されている。またここでは、マスター担体3、4の転写パターン領域が鏡像関係にあるため、それぞれの背面に設けられる弾性部材の凸状部の形状も弾性部材17と18で鏡像関係にあり、マスター担体の転写パターンと凸状放射部が一致するように弾性部材17がマスター担体4の背面に、弾性部材18がマスター担体3の背面に配置される。
In the magnetic transfer device according to the second embodiment, the
弾性部材17、18は、第1の実施形態の場合と同様に、それぞれの凸状放射部がマスター担体の転写パターン領域と一致するように位置決めされてホルダーに保持される。したがって、マスター担体とスレーブ媒体との密着時には、転写パターン領域に特に押圧力が加わるため、転写パターン領域の密着性が高まり、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
As in the case of the first embodiment, the
なお、上記実施形態では、マスター担体3および4の転写パターンが鏡像関係にあるとしたが、両パターンは必ずしも鏡像関係にあるとは限らない。
In the above embodiment, the transfer patterns of the
また、上記第1および第2の実施形態において、一面に凸部形状とされた弾性部材を必ずしも両ホルダーに備える必要はなく、一方のホルダー側には厚みの均一な弾性部材を備え、他方のホルダー側にのみ、一面に凸部形状を有する弾性部材を備えるようにしてもよい。 In the first and second embodiments, it is not always necessary to provide both holders with an elastic member having a convex shape on one surface, and one holder side is provided with an elastic member having a uniform thickness, and the other Only the holder side may be provided with an elastic member having a convex shape on one surface.
以下、本発明の磁気転写装置の実施例および比較例について説明する。 Examples of the magnetic transfer apparatus of the present invention and comparative examples will be described below.
マスター担体としては、スタンパ法により作製したNi基板上にFeCo磁性層および保護層を成膜して形成したマスター担体を用いた。マスター担体は、ディスク内径20mm、ディスク外径32mmとした。 As the master carrier, a master carrier formed by forming a FeCo magnetic layer and a protective layer on a Ni substrate produced by a stamper method was used. The master carrier had a disc inner diameter of 20 mm and a disc outer diameter of 32 mm.
実施例1〜9の磁気転写装置は、上述の図2の参考例において説明したものである。すなわち、略均一な厚みの弾性部材と、マスター担体の非転写領域に対応する領域に孔を有するスペーサを備え、該スペーサを弾性部材とマスター担体の背面との間に介装させた状態でマスター担体とスレーブ媒体を密着させる磁気転写装置を用いた。スペーサは、ポリイミドフィルムからなり、打ち抜き加工したものを用いた。 The magnetic transfer apparatuses of Examples 1 to 9 are those described in the reference example of FIG. That is, an elastic member having a substantially uniform thickness and a spacer having a hole in a region corresponding to the non-transfer region of the master carrier are provided, and the master is interposed between the elastic member and the back surface of the master carrier. A magnetic transfer device for closely contacting the carrier and the slave medium was used. The spacer was made of a polyimide film and punched.
実施例10〜18の磁気転写装置は、上述の第1の実施形態において説明したものである。すなわち、スペーサを備えず、マスター担体の転写領域に対応する領域が凸状に形成された弾性部材を備え、該弾性部材の凸状に形成された部分を備えた面をマスター担体の背面と対向するように配置した状態でマスター担体とスレーブ媒体を密着させる磁気転写装置である。 The magnetic transfer apparatuses of Examples 10 to 18 are those described in the first embodiment. In other words, an elastic member is provided that has no spacer, and a region corresponding to the transfer region of the master carrier is formed in a convex shape, and the surface of the elastic member that has the convex portion is opposed to the back surface of the master carrier. In this state, the magnetic transfer device causes the master carrier and the slave medium to be in close contact with each other.
比較例の磁気転写装置は、スペーサを備えずかつ表面に凹凸のない略均一な厚みを有する弾性部材を備えた磁気転写装置である。 The magnetic transfer apparatus of the comparative example is a magnetic transfer apparatus that includes an elastic member that does not include a spacer and has a substantially uniform thickness with no unevenness on the surface.
各例において、弾性部材としては、ウレタンゴムあるいはニトリルゴム(NBR)からなるものを用いた。 In each example, an elastic member made of urethane rubber or nitrile rubber (NBR) was used.
弾性部材の厚み、凸部厚み、スペーサの有無、スペーサの厚み以外はすべて同一条件下で磁気転写を行った。被転写媒体としては、市販のハードディスクを用いた。 Magnetic transfer was performed under the same conditions except for the thickness of the elastic member, the thickness of the protrusion, the presence or absence of a spacer, and the thickness of the spacer. A commercially available hard disk was used as the transfer medium.
実施例1〜9および比較例の弾性部材の厚みおよびスペーサの厚みは表1に示すとおりである。また、実施例10〜18の弾性部材の厚みおよび弾性部材の凸部厚みは表2に示すとおりである。ここで、実施例10〜18における弾性部材の厚みは、図6(B)に示すt、凸部厚みは、t’である。 The thicknesses of the elastic members and the spacers of Examples 1 to 9 and Comparative Example are as shown in Table 1. Moreover, the thickness of the elastic member of Examples 10-18 and the convex part thickness of an elastic member are as showing in Table 2. Here, the thickness of the elastic member in Examples 10 to 18 is t shown in FIG. 6B, and the thickness of the convex portion is t ′.
<評価方法>
実施例1〜18および比較例の磁気転写装置を用いて磁気転写を行い製造した磁気記録媒体について、それぞれ信号出力のエンベロープモジュレーションを測定し、その最大値Mmaxと最小値Mminiの加算値、減算値の比{(Mmax−Mmini)/(Mmax+Mmini)}×100(%)の値(以下、これをモジュレーション値という。)を求めた。このモジュレーション値が小さいほど信号値のブレが小さいことを意味し、転写信号の品質が良好であることを示す。すなわち、モジュレーション値が小さいほど転写時におけるマスター担体とスレーブ媒体との密着状態が良好であることを意味する。ここでは、モジュレーション値が3%以下であれば優(◎)、3%超、10%未満であれば良(○)、10%以上、15%未満であれば可(△)、15%以上であれば不可(×)として評価した。
For each of the magnetic recording media manufactured by performing magnetic transfer using the magnetic transfer apparatuses of Examples 1 to 18 and the comparative example, the envelope modulation of the signal output is measured, and the addition value and the subtraction value of the maximum value Mmax and the minimum value Mmini are measured. The ratio {(Mmax−Mmini) / (Mmax + Mmini)} × 100 (%) (hereinafter referred to as a modulation value) was determined. It means that the smaller the modulation value, the smaller the fluctuation of the signal value, and the better the quality of the transfer signal. That is, the smaller the modulation value, the better the adhesion between the master carrier and the slave medium during transfer. Here, if the modulation value is 3% or less, excellent (◎), more than 3%, less than 10% is good (○), 10% or more, less than 15% (△), 15% or more If so, it was evaluated as impossible (×).
表1および表2に示すように、スペーサを備えず、かつ、均一な厚みの弾性部材を備えた比較例に対し、スペーサを備えた参考例の実施例1〜9および凸部を有する弾性部材を備えた本発明の実施例10〜18においては、モジュレーション値が抑制され、転写信号が良好であった。 As shown in Tables 1 and 2, in contrast to the comparative example in which the spacer is not provided and the elastic member having a uniform thickness is provided, Examples 1 to 9 of the reference examples provided with the spacer and the elastic member having the convex portion. In Examples 10 to 18 of the present invention including the above, the modulation value was suppressed and the transfer signal was good.
実施例1〜7においてスペーサの厚みが、5μm越、100μm以下にある実施例は、この範囲外の厚みのスペーサを有する実施例3〜5と比較して転写信号の品質が高かった。同様に、実施例10から16において弾性部材の凸部厚みが好ましい範囲5μm越、100μm以下にある実施例は、この範囲外の厚みの凸部を有する弾性部材を用いた実施例12〜14と比較して信号の品質が高かった。 In Examples 1 to 7, the spacers having thicknesses exceeding 5 μm and 100 μm or less had higher transfer signal quality than Examples 3 to 5 having spacers with thicknesses outside this range. Similarly, in Examples 10 to 16, examples in which the convex thickness of the elastic member exceeds the preferable range of 5 μm and is 100 μm or less are the Examples 12 to 14 using the elastic member having the convex portion having a thickness outside this range. Compared with the signal quality was high.
しかしながら、弾性部材の厚みが90μmである実施例8、実施例17および弾性部材の厚みが3,500μmである実施例9、4000μmである実施例18は、スペーサの厚みもしくは弾性部材の凸部の厚みが5μm越、100μm以下の範囲にあるにも拘わらず信号の品質は可程度であった。これは、弾性部材の厚みが90μmでは薄すぎて、加圧時に弾性部材が過度に変形しマスター担体とスレーブ媒体との密着に不均一な部分が発生したためであり、厚みが3,500μm、4000μmでは厚すぎて弾性部材の剛性が高くなり、その結果柔軟性が低下しやはり密着に不均一な部分が発生したためと考えられる。なお、スペーサの厚みもしくは弾性部材の凸部の厚みのより好ましい範囲である10μm越、50μm以下の条件を満たすもののうち、弾性部材の厚みが薄すぎたり厚すぎたりしない実施例1および実施例10では評価が優であり非常に品質よく転写を行うことができた。 However, Example 8 and Example 17 in which the thickness of the elastic member is 90 μm, Example 9 in which the thickness of the elastic member is 3,500 μm, and Example 18 in which the thickness of 4000 μm is the thickness of the spacer or the convex portion of the elastic member. However, the signal quality was acceptable even though it was in the range of more than 5 μm and less than 100 μm. This is because the elastic member is too thin when the thickness is 90 μm, and the elastic member is excessively deformed during pressurization, resulting in an uneven portion between the master carrier and the slave medium. When the thickness is 3,500 μm and 4000 μm, This is probably because the elastic member is too thick and the rigidity of the elastic member is increased. As a result, the flexibility is lowered, and a non-uniform portion is generated. In addition, among those that satisfy the conditions of more than 10 μm and 50 μm or less, which is the more preferable range of the thickness of the spacer or the convex portion of the elastic member, the thickness of the elastic member is not too thin or too thick. The evaluation was excellent, and the transfer was very good.
1 磁気転写装置
2 スレーブ媒体
3、4 マスター担体
3b、4b 情報担持面
10 転写ホルダー
11 第1のホルダー
12 第2のホルダー
17、18 一面に凸部を有する弾性部材
71 凹部
72 内リング部
73 外リング部
74 放射部
80 電磁石装置
85 磁界印加手段
1
3b, 4b Information carrying surface
10 Transfer holder
11 First holder
12 Second holder
17, 18 Elastic member with convex part on one side
71 recess
72 Inner ring
73 Outer ring
74 Radiation section
80 Electromagnetic device
85 Magnetic field application means
Claims (6)
転写を受けるスレーブ媒体と該スレーブ媒体の両面に密着させる前記マスター担体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とする磁気転写装置。 A master carrier having a surface partially formed with a transfer pattern corresponding to information to be transferred;
Holds a superposed body of a slave medium to be transferred and the master carrier closely attached to both sides of the slave medium, and presses the superposed body from the back side of the master carrier when a magnetic field for transfer is applied to the superposed body Holder to do,
In a magnetic transfer apparatus comprising an elastic member disposed between a back surface of the master carrier and the holder,
A magnetic transfer device, wherein a portion of the surface of the elastic member that faces the back surface of the master carrier, corresponding to the region where the transfer pattern of the master carrier is formed, is formed in a convex shape.
転写を受けるスレーブ媒体と該スレーブ媒体の両面に密着させる前記マスター担体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とする磁気転写装置。 A master carrier having a surface partially formed with a transfer pattern corresponding to information to be transferred;
Holds a superposed body of a slave medium to be transferred and the master carrier closely attached to both surfaces of the slave medium, and presses the superposed body from the back side of the master carrier when a magnetic field for transfer is applied to the superposed body. Holder to do,
In a magnetic transfer apparatus comprising an elastic member disposed between a back surface of the master carrier and the holder,
A magnetic transfer apparatus, wherein a portion of the surface of the elastic member facing the holder corresponding to a region where the transfer pattern of the master carrier is formed is formed in a convex shape.
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。 A superposed body of a slave medium to be transferred and a master carrier having a surface on which a transfer pattern corresponding to the information to be transferred is partially formed and in close contact with both sides of the slave medium is provided from the back side of the master carrier by a holder In a magnetic transfer method in which magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field to the superimposed body in a state of being pressed and held,
Between the back surface of the master carrier and the holder, a portion corresponding to the region where the transfer pattern of the master carrier is formed on the surface of the elastic member that faces the back surface of the master carrier is formed in a convex shape. A magnetic transfer method, comprising: placing an elastic member, and pressing with the holder.
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、該ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。 A superposed body of a slave medium to be transferred and a master carrier having a surface on which a transfer pattern corresponding to the information to be transferred is partially formed and in close contact with both sides of the slave medium is provided from the back side of the master carrier by a holder. In a magnetic transfer method in which magnetic transfer is performed by applying a transfer magnetic field to the superimposed body in a state of being pressed and held,
An elastic member is provided between the back surface of the master carrier and the holder so that a portion corresponding to the area where the transfer pattern of the master carrier is formed is convex on the surface facing the holder. A magnetic transfer method comprising pressing with the holder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008207622A JP2008300032A (en) | 2008-08-12 | 2008-08-12 | Magnetic transfer device and magnetic transfer method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008207622A JP2008300032A (en) | 2008-08-12 | 2008-08-12 | Magnetic transfer device and magnetic transfer method |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005046799A Division JP4188926B2 (en) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | Magnetic transfer apparatus and magnetic transfer method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300032A true JP2008300032A (en) | 2008-12-11 |
Family
ID=40173379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008207622A Pending JP2008300032A (en) | 2008-08-12 | 2008-08-12 | Magnetic transfer device and magnetic transfer method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008300032A (en) |
-
2008
- 2008-08-12 JP JP2008207622A patent/JP2008300032A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6804070B2 (en) | Magnetic transfer apparatus | |
KR20020035776A (en) | Method and apparatus for magnetic transfer and magnetic recording medium | |
US7009790B2 (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP4188926B2 (en) | Magnetic transfer apparatus and magnetic transfer method | |
JP2003272139A (en) | Holder of magnetic transfer apparatus | |
JP4053450B2 (en) | Magnetic transfer method | |
JP2008300032A (en) | Magnetic transfer device and magnetic transfer method | |
US20040040668A1 (en) | Holder for magnetic transfer device | |
US7312940B2 (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP2004086995A (en) | Holder of magnetic transfer device | |
KR20030031415A (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP2004348796A (en) | Master carrier for magnetic transfer and magnetic transfer method | |
US20030156339A1 (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP2006268950A (en) | Method for manufacturing magnetic transfer master disk, magnetic transfer master disk, and magnetic recording medium | |
JP2005276265A (en) | Magnetic transfer method and magnetic recording medium | |
JP2004206759A (en) | Magnetic transfer apparatus | |
JP4761166B2 (en) | Manufacturing method of master body for magnetic transfer | |
JP2004030746A (en) | Magnetic transfer device | |
JP2004103113A (en) | Holder for magnetic transfer device | |
JP2005011384A (en) | Master carrier for magnetic transfer and magnetic transfer method | |
JP2004030747A (en) | Magnetic transfer method | |
JP2002304723A (en) | Magnetic transfer method | |
JP2004310873A (en) | Magnetic transfer master carrier | |
JP2003281715A (en) | Magnetic transfer device | |
JP2003281714A (en) | Holder for magnetic transfer device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090119 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090217 |