JP2008292640A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】歩留まり低下を抑制するとともに、表示品位に優れた表示装置及びその製造方法を提供すること
【解決手段】本発明にかかる表示装置は、対向基板２０と、対向基板２０の対面に配置されたアレイ基板１０と、対向基板２０と前記アレイ基板１０との間に挟持された液晶３０と、対向基板２０のアレイ基板１０側の面に形成され、対向基板２０とアレイ基板１０との間の基板間隔を保持する柱状スペーサ２５と、を備え、アレイ基板１０上の柱状スペーサ２５に対向する箇所、又は柱状スペーサ２５の頂面に、高さ０．３μｍ以下の段差部１７１が設けられ、柱状スペーサ２５の頂面の中で段差部１７１の最も高い凸部１７１ａが占める割合が１／２以下であるものである。
【選択図】 図２

Description

本発明は、表示装置及びその製造方法に関するものである。

液晶表示装置は、通常、上下一対の基板を、画像表示部外縁に形成されたシール材により貼り合わせ、その内部に液晶を封入するよう構成されている。これら基板間の間隔（パネルギャップ）を精度良く制御する方法として、一方の基板に柱状スペーサを形成する技術が知られている。

液晶表示装置のパネル内において、柱状スペーサの設置密度が低いと、パネルに加えられた外力に対して柱状スペーサが変形し易くなる。そのため、パネルギャップに変化が生じ、表示ムラが発生する。一方、柱状スペーサの設置密度が高いと、低温環境下において、液晶の体積収縮にパネルギャップが追従できなくなる。そして、パネル内の圧力が低下して液晶が発泡する、いわゆる低温発泡という現象が発生してしまう。

このような問題に対し、高さの異なる２種類の柱状スペーサを形成する方法が、特許文献１に開示されている（従来技術１）。図１２は、従来技術１に係る液晶表示装置の断面図である。図１２において、アレイ基板１１０とカラーフィルタ基板１２０とが互いに対向するように配置されている。そして、これら両基板の間には、液晶１３０が挟持されている。

アレイ基板１１０は、基板１１１の上にパターン層１１２が設けられている。パターン層１１２には、表示領域を形成する画素電極、走査信号線、及び映像信号線がそれぞれ絶縁膜を介して形成される。カラーフィルタ基板１２０は、基板１２１の上に着色層１２３が設けられている。着色層１２３の上には、ＩＴＯ等の透明な対向電極１２４が形成される。そして、対向電極１２４の上に、高さの異なる柱状スペーサ１２５、１２６が設けられる。

柱状スペーサ１２５は、対向するアレイ基板１１０とのパネルギャップを決定している。一方、柱状スペーサ１２６は、柱状スペーサ１２５より高さが低く、アレイ基板１１０とのパネルギャップを保持していない。パネルに強い外力が加わり柱状スペーサ１２５が変形すると、柱状スペーサ１２６はアレイ基板１１０とのギャップ保持に加わるようになる。なお、アレイ基板１１０及びカラーフィルタ基板１２０の互いに対向する面には、配向膜１１９、１２９がそれぞれ形成されている。

また、特許文献１には、同じ高さの柱状スペーサを、総膜厚の異なる２箇所の領域に対向させる方法が開示されている（従来技術２）。図１３は、従来技術２に係る液晶表示装置の断面図である。図１３において、従来技術２のアレイ基板１１０には、パターン層１１２に段差部１１３が設けられている。段差部１１３では、膜厚の厚いパターン層１１２が形成されている。また、カラーフィルタ基板１２０には、同じ高さの柱状スペーサ１２７、１２８が設けられる。

柱状スペーサ１２７は、段差部１１３と対向する領域に形成されている。従って、パネルギャップは、段差部１１３と対向する柱状スペーサ１２７によって決定される。柱状スペーサ１２８は、段差部１１３の設けられていない領域と対向配置され、アレイ基板１１０とのパネルギャップを保持していない。パネルに強い外力が加わり柱状スペーサ１２７が変形すると、柱状スペーサ１２８はアレイ基板１１０とのギャップ保持に加わるようになる。

このように、従来技術１、２では、通常時には第１の柱状スペーサ１２５、１２７がパネルギャップを保持している。そして、強い外力が加えられた際には、第１の柱状スペーサ１２５、１２７に加えて第２の柱状スペーサ１２６、１２８によりパネルギャップが保持される。これにより、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。
特開２００２−３４１３５４号公報

しかしながら、従来技術１、２では、通常の約２倍の数の柱状スペーサを設ける必要がある。そのため、柱状スペーサの形成、あるいはラビング等の工程において、歩留まり低下の要因となる。

また、低温発泡を回避するため、通常時ギャップ保持に係わる柱状スペーサ１２５、１２７は、直径１０μｍ以下であることが好ましい。これは、直径が大きくなる程、柱状スペーサ１２５、１２７が変形し難くなるためであるが、同時に次のような問題が生じる。すなわち、直径１０μｍ以下の細い柱状スペーサ１２５、１２７は、密着強度が低下してしまう。さらに、直径１０μｍ以下の細い柱状スペーサ１２５、１２７は、その底面の大きさが頂面より小さい逆三角形状となり易い。従って、ラビングや洗浄等の工程で、柱状スペーサ１２５、１２７が剥離するリスクが高くなる。多数の柱状スペーサ１２５、１２７が剥がれると、例えば、点欠陥不良やギャップ不良となる。そして、液晶表示装置の表示品質が劣化し、歩留まりを低下させてしまう。

本発明は、上記のような問題点を鑑みてなされたものであり、歩留まり低下を抑制するとともに、表示品位に優れた表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明にかかる表示装置は、第１の基板と、前記第１の基板の対面に配置された第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に挟持された表示材料と、前記第１の基板の前記第２の基板側の面に形成され、前記第１の基板と前記第２の基板との間の基板間隔を保持する柱状スペーサと、を備え、前記第２の基板上の前記柱状スペーサに対向する箇所、又は前記柱状スペーサの頂面に、高さ０．３μｍ以下の段差部が設けられ、前記柱状スペーサの頂面の中で前記段差部の最も高い段が占める割合が１／２以下であるものである。

本発明によれば、歩留まり低下を抑制するとともに、表示品位に優れた表示装置及びその製造方法を提供することができる。

実施の形態１．
始めに、図１を用いて、本実施の形態に係る表示装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る液晶表示装置の断面図である。本実施の形態に係る表示装置は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）を有するアクティブマトリクス型液晶表示装置を例として説明するが、ＴＦＴ以外のスイッチング素子を用いてもよい。また、パッシブマトリクス型液晶表示装置とすることも可能である。なお、本発明は液晶表示装置に限られるものはない。すなわち、アレイ基板と、対向基板との間に、液晶や粒子や液体等の表示材料が設けられた表示装置であれば、適用可能である。

図１において、本実施の形態に係る液晶表示装置は、アレイ基板１０と対向基板２０とが互いに対向して配置されている。そして、これら両基板を貼り合わせるシール材３４との間の空間に液晶３０を封入した構成を有する。シール材３４は液晶表示装置の表示領域を囲うように枠状に形成されている。

アレイ基板１０は、基板１１の上に表示領域を形成する画素電極１６、走査信号線（不図示）、及び映像信号線（不図示）がそれぞれ絶縁膜１５を介して形成されている。複数の走査信号線（ゲート配線）は平行に設けられている。同様に、複数の映像信号線（ソース配線）は平行に設けられている。走査信号線と映像信号線とは、互いに交差するように形成されている。走査信号線と映像信号線とは交差している。隣接する走査信号線と映像信号線とで囲まれた領域が画素となる。従って、画素が表示領域内にマトリクス状に配列される。この画素の略全域に画素電極１６が形成されている。

走査信号線と映像信号線との交差点近傍には、スイッチング素子であるＴＦＴ１４が形成される。ＴＦＴ１４は表示領域内にアレイ状に配列されている。ＴＦＴ１４は、映像信号線と同じ層で形成されたドレイン電極及びソース電極を備えている。ソース電極とドレイン電極とは、半導体層を介して接続されている。このＴＦＴ１４を介して、映像信号線と画素電極１６とが接続される。したがって、走査信号によってＴＦＴ１４をオン状態にすることによって、映像信号線から画素電極１６に表示信号が供給される。本実施の形態では、例えば、ボトムゲート型ＴＦＴ１４を用いることができる。

画素電極１６上には、液晶３０を配向させるための配向膜１９が積層されている。基板１１の外側には偏光板３１が貼着されている。また、アレイ基板１０上には、ＴＦＴ１４に供給する信号を外部から受け入れる端子３７を有している。

対向基板２０は、基板２１のアレイ基板１０と対向する面に、顔料あるいはクロム等の金属から成り光を遮光する遮光層２２が形成されている。そして、遮光層２２間を埋めるように顔料あるいは染料からなる着色層２３が形成されている。着色層２３は例えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフィルタである。さらに遮光層２２および着色層２３を覆うように、対向電極２４が表示領域の略全面に形成されている。対向電極２４は、アレイ基板１０の画素電極１６との間に電界を生じさせ、液晶３０を駆動する。また、アレイ基板１０の液晶３０と接する面には、液晶３０を配向させるための配向膜１９が積層されている。

対向電極２４の上には、柱状スペーサ（不図示）が形成されている。柱状スペーサは、柱状の突起物であり、アレイ基板１０と対向基板２０のパネルギャップを、均一に保持することができる。表示領域内において、複数の柱状スペーサが所定の間隔で配置されている。本実施の形態では、柱状スペーサの形状や設置箇所等に特徴を有しており、詳細については後述する。また、対向電極２４及び柱状スペーサを覆うように、配向膜２９が積層されている。なお、基板２１の外側には偏光板３２が貼着されている。

アレイ基板１０と対向基板２０は、シール材３４を介して貼り合わされている。基板１１、２１としては、ガラス基板、石英ガラス等の透明な絶縁基板を用いることができる。シール材３４は、例えば光硬化性及び熱硬化性のアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂、または紫外線硬化性の樹脂を用いることができる。また、本実施の形態に係る液晶表示装置は、駆動信号を発生させる制御基板３５、制御基板３５を端子３７に電気的に接続するＦＦＣ（Flexible Flat Cable）３６、光源となるバックライトユニット（不図示）等を備えている。

このような液晶表示装置では、制御基板３５から電気信号が入力されると、画素電極１６及び対向電極２４に駆動電圧が加わる。そして、駆動電圧に合わせて液晶３０の分子の方向が変化する。バックライトユニットの発する光がアレイ基板１０、液晶３０、及び対向基板２０を介して外部へ透過または遮断されることにより、液晶表示装置に映像等が表示される。すなわち、画素ごとに駆動電圧を変えることによって、所望の画像を表示することができる。

なお、液晶表示装置の動作モードは、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＳＴＮ(Super Twisted Nematic)モード、強誘電性液晶モード等を用いることができる。また、対向基板２０に設けた対向電極２４をアレイ基板１０側に配置し、画素電極１６との間で液晶３０に対して横方向に電界をかける横電界方式の液晶表示装置であってもよい。

次に、本実施の形態に係る柱状スペーサについて、図２及び図３を用いて詳細に説明する。図２は、実施の形態１に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。また、図３は、図２におけるアレイ基板１０を模式的に示した上面図である。なお、図３では、説明の便宜上のため、対向基板２０に設けられる柱状スペーサの外形を点線で記している。図２及び図３では、アレイ基板１０には、走査信号線１２が映像信号線の下に形成されているとして説明する。

図１と同様に、図２において、アレイ基板１０と対向基板２０とが互いに対向して配置されている。そして、これら両基板の間には、液晶３０が挟持されている。対向基板２０は、基板２１の上に着色層２３が設けられている。着色層２３の上には、ＩＴＯ等の透明な対向電極２４が形成される。そして、対向電極２４の上に、柱状スペーサ２５が設けられる。柱状スペーサ２５は、柱状の形状を有している。例えば、四角柱形、円錐台形、四角錘台形等が柱状スペーサ２５の形状として適用可能であるが、ここでは円柱形とする。

アレイ基板１０は、基板１１の上に走査信号線１２が設けられている。走査信号線１２を覆うように、絶縁膜１５１が基板１１全面に形成される。絶縁膜１５１は、例えばゲート絶縁膜である。この絶縁膜１５１の上には、図示しない箇所において映像信号線が設けられている。映像信号線は、さらに図示しない箇所において、絶縁膜１５１を介して走査信号線１２と交差するように設けられている。本実施の形態では、映像信号線と同じ層によって形成された島状の分離パターン１３１が、走査信号線１２の上に設けられている。分離パターン１３１は、映像信号線より離間して形成されており、例えば図３に示すように、円形の形状を有している。分離パターン１３１の形状は、特に限定されるものではない。

ここで、分離パターン１３１は、柱状スペーサ２５の対面に配置される位置に形成される。具体的には、図３に示す上面図において、柱状スペーサ２５の側面より内側の領域内に、分離パターン１３１が形成されている。すなわち、分離パターン１３１は、柱状スペーサ２５のアレイ基板１０と対向する側の対向面（頂面）からはみ出すことなく、内包される。分離パターン１３１が柱状スペーサ２５頂面の中心点を含むように配設されていることが好ましい。また、分離パターン１３１の面積は、後述する段差部１７１の凸部１７１ａが柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下となる範囲内で決定されている。

分離パターン１３１及び映像信号線の上には、さらに絶縁膜１５２が基板１１全面に形成されている。絶縁膜１５２は、例えば、層間絶縁膜である。なお、アレイ基板１０及び対向基板２０の液晶３０と接する側の面には、それぞれ配向膜１９、２９が設けられている。また、図２及び図３には図示しないが、図１に示すように、適宜、画素電極１６が配向膜１９と絶縁膜１５２の間に形成される。このとき、絶縁膜１５２及び配向膜１９は分離パターン１３１を覆うように設けられ、段差部１７１を形成する。段差部１７１は、分離パターン１３１上に設けられた凸部１７１ａと、それ以外の領域に設けられた基部１７１ｂとによって構成される。すなわち、アレイ基板１０上の柱状スペーサ２５と対向する領域のうち、凸部１７１ａでは、基部１７１ｂよりアレイ基板１０上の総膜厚が厚くなっており、柱状スペーサ２５と対向する領域の中で最も高い段となる。なお、凸部１７１ａと基部１７１ｂとの境界は、図３に示すように、分離パターン１３１よりひとまわり大きくなっている。

従って、柱状スペーサ２５は、その一部の領域において段差部１７１の凸部１７１ａと対向し、アレイ基板１０と対向基板２０との間のパネルギャップを決定する。一方、段差部１７１の基部１７１ｂと対向する領域の柱状スペーサ２５は、アレイ基板１０とのパネルギャップを保持していない。

パネルに外力が加わると、凸部１７１ａと対向する領域の柱状スペーサ２５に弾性変形が生じて、パネルギャップを小さくする。パネルに加わる外力が強くなると、段差部１７１の基部１７１ｂにおいて生じていた柱状スペーサ２５とアレイ基板１０との隙間が徐々に狭くなっていく。そして、この隙間がなくなる程度の外力が加わったとき、基部１７１ｂと対向する柱状スペーサ２５がギャップ保持に加わるようになる。これにより、柱状スペーサ２５頂面の略全体でギャップを保持するようになるので、更なるパネルギャップ変動が抑制される。

液晶表示装置では、局所的なパネルギャップ変動が０．３μｍを越えると、許容できないレベルの表示ムラとして視認される。従って、柱状スペーサ２５頂面と対向する領域に設けられた段差部１７１の高さは、０μｍより大きく、０．３μｍ以下であることが好ましい。すなわち、凸部１７１ａと基部１７１ｂの高さの差が０．３μｍ以下となる。例えば、ここでは、映像信号線は膜厚０．２５μｍの薄膜により形成されていて、０．２５μｍの段差部１７１が設けられているとする。

このとき、段差部１７１の凸部１７１ａが占める面積は、柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下である必要がある。これは、柱状スペーサ２５頂面のうち、凸部１７１ａと対向する領域がそれ以外の基部１７１ｂと対向する領域より大きい場合、低温環境下において、液晶３０の体積収縮にパネルギャップが追従できなくなる。そして、パネル内の圧力が低下して液晶が発泡（低温発泡）してしまうからである。従って、分離パターン１３１の面積は、柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下の凸部１７１ａが形成される範囲内で決定される。本実施の形態では、凸部１７１ａは、柱状スペーサ２５の頂面からはみ出すことなく、内包されている。凸部１７１ａは柱状スペーサ２５頂面の中心を含むように配設されていることが好ましい。

続いて、本実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法について説明する。まず初めに、基板１１上に走査信号線１２、映像信号線、及び画素電極１６等の複数の電極をこの順に形成する。これらの電極は、公知の成膜、フォトリソグラフィ法、エッチング、レジスト除去の工程を経てパターニングされる。また、ＴＦＴ１４を構成する半導体層を、フォトリソグラフィ法を用いて形成する。これらの電極間には、絶縁膜１５を基板１１全面に成膜する。走査信号線１２を形成する際、ＴＦＴ１４のゲート電極を同時に形成する。また、映像信号線を形成する際、分離パターン１３１を同時に形成する。このとき、絶縁膜１５を介した走査信号線１２の上に、分離パターン１３１を設けることが好ましい。さらに、ＴＦＴ１４の半導体層と接続するソース電極及びドレイン電極を、映像信号線と同時に形成する。

このように複数の電極が形成された基板１１上に、転写法等により配向膜１９を形成する。例えば、配向膜１９として、高分子材料であるポリイミド（Polyimide）薄膜等の有機薄膜を用いる。次に、配向膜１９に熱を加え硬化させた後、この配向膜に対して、液晶３０との接触面に一方向にミクロな傷をつける配向処理（ラビング処理）を施す。ナイロン系のラビング布を装着したローラー等を用いてラビング処理を行う。以上のような工程を経て、分離パターン１３１上に凸部１７１ａが形成され、段差部１７１を有するアレイ基板１０が形成される。

別の基板２１上に、フォトリソグラフィ法により遮光層２２を形成する。遮光層２２は
顔料を含む樹脂あるいはクロム等の金属を用いることができる。遮光層２２の上から遮光層２２間を埋めるように、着色層２３をフォトリソグラフィ法により形成する。着色層２３は、顔料あるいは染料からなる感光性樹脂を用いることができる。そして、遮光層２２及び着色層２３を覆うように、対向電極２４を基板２１の略全面に形成する。対向電極２４として、ＩＴＯ等からなる透明導電膜が用いられる。

対向電極２４の上に、柱状スペーサ２５となるフォトレジストを塗布する。そして、公知のフォトリソグラフィ法を用いて、フォトレジストをパターニングし、柱状スペーサ２５を形成する。このとき、後述するパネル貼り合わせ工程において、アレイ基板１０の段差部１７１と対向する位置に、柱状スペーサ２５を形成しておく。このように柱状スペーサ２５が設けられた対向基板２０上に、アレイ基板１０と同様、配向膜２９を形成し、ラビング処理を行う。以上のような工程を経て、柱状スペーサ２５を有する対向基板２０が形成される。

次に、アレイ基板１０あるいは対向基板２０のいずれか片方の基板にシール材３４を塗布する。アレイ基板１０又は対向基板２０の外周縁に、液晶注入口となる一部を除いて、枠状のシール材３４を形成する。そして、アレイ基板１０及び対向基板２０を、配向膜１９、２９が形成された面を互いに対向させた状態で、シール材３４により貼り合わせる。このとき、柱状スペーサ２５頂面が段差部１７１の凸部１７１ａを内包する位置となるように、アレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる。これにより、柱状スペーサ２５と段差部１７１の凸部１７１ａとが対向配置され、対向基板２０とアレイ基板１０との間のパネルギャップが決定される。

その後、アレイ基板１０と対向基板２０の間であってシール材３４により囲われた空間に、液晶３０を注入する。具体的には、液晶注入口を液晶に浸漬して、アレイ基板１０、対向基板２０、及びシール材３４により囲われた空間に、毛細管現象により液晶３０を注入する（汲み上げ方式またはディップ式）。そして、液晶注入口を封止材により封止して、封止材を硬化させることにより、液晶３０を閉空間内に密封する。なお、この汲み上げ方式のほかに、液晶３０を滴下して、アレイ基板１０、対向基板２０、及びシール材３４により囲われた閉空間に、液晶３０を密封することもできる（滴下式またはディスペンサ式）。

次に、アレイ基板１０及び対向基板２０の外側に、偏光板３１、３２を貼着する。そして、制御基板３５を実装して、バックライトユニット等を取り付ける。以上の工程を経て、本実施の形態に係る液晶表示装置が完成する。

このように、本実施の形態では、柱状スペーサ２５と対向する領域に、分離パターン１３１を設けることによって段差部１７１を形成する。段差部１７１は、高さ０．３μｍ以下で、柱状スペーサ２５頂面の１／２以下の面積を有する。そして、段差部１７１の凸部１７１ａを柱状スペーサ２５の頂面に内包させるように、アレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる。すなわち、通常時にパネルギャップを保持する凸部１７１ａと、強い外力が加えられた際にパネルギャップの保持に加わる基部１７１ｂとが、１つの柱状スペーサ２５に対向して配置される。このような構成により、直径１０μｍ以下の細い柱状スペーサを形成する必要がなくなるため、柱状スペーサの密着強度が向上し、剥がれを抑制することができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。また、柱状スペーサの設置数を増やす必要がなくなるので、歩留まり低下を抑制することができる。

また、低温環境下では、段差部１７１の凸部１７１ａと対向する領域の柱状スペーサ２５が弾性変形する。従って、液晶３０の体積減少に追従してギャップを小さくすることができ、低温発泡を防止することができる。パネルに強い外力が加えられた場合、凸部１７１ａと対向する領域の柱状スペーサ２５に加え、基部１７１ｂと対向しない領域の柱状スペーサ２５がギャップ保持に加わるようになる。従って、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。

なお、柱状スペーサ２５周辺では、液晶３０の配向が乱れるため、光漏れとなる。本実施の形態では、柱状スペーサ２５は、の走査信号線１２上からはみ出さないように配置されている。従って、段差部１７１及び分離パターン１３１を走査信号線１２の上に形成している。このように、画素となる開口部以外の領域に柱状スペーサ２５を配置することで、光漏れによる表示品位の低下を防ぐことができる。

実施の形態２．
本実施の形態に係る液晶表示装置を図４及び図５により説明する。図４は、実施の形態２に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。また、図５は、図４におけるアレイ基板１０を模式的に示した上面図である。なお、図５では、説明の便宜上のため、対向基板２０に設けられる柱状スペーサの外形を点線で記している。本実施の形態では、柱状スペーサ２５の設置される箇所が実施の形態１と異なっていて、それ以外の構成は実施の形態１と同様であるため説明を省略する。

図４及び図５において、図１〜図３と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。図４において、アレイ基板１０の基板１１の上には、走査信号線１２が設けられている。走査信号線１２を覆うように、絶縁膜１５１が基板１１全面に形成される。この絶縁膜１５１を介して走査信号線１２と交差するように、映像信号線１３が形成されている。本実施の形態では、映像信号線１３から延在された延在パターン１３２が走査信号線１２の上に設けられている。延在パターン１３２は、走査信号線１２との交差点付近から延在されて形成されており、例えば図５に示すように、パターン先端部は略半円状の形状を有している。延在パターン１３２の形状は、特に限定されるものではない。

ここで、延在パターン１３２は、映像信号線１３から、柱状スペーサ２５の対面に配置される位置まで延在されて形成される。すなわち、図５に示す上面図において、延在パターン１３２は、柱状スペーサ２５の端辺をまたぐように形成され、延在パターン１３２の一部が柱状スペーサ２５と重複する。柱状スペーサ２５と重複する延在パターン１３２の面積は、後述する段差部１７２の凸部１７２ａが柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下となる範囲内で決定されている。延在パターン１３２は、柱状スペーサ２５頂面の中心点に対向するアレイ基板１０上の位置に向かって、映像信号線１３から延在されることが好ましい。

延在パターン１３２及び映像信号線１３の上には、さらに絶縁膜１５２が基板１１全面に形成されている。さらに、この上には配向膜１９が積層される。このように、延在パターン１３２上では、絶縁膜１５２及び配向膜１９が延在パターン１３２を覆うように設けられ、段差部１７２を形成する。段差部１７２は、延在パターン１３２上に設けられた凸部１７２ａと、それ以外の領域に設けられた基部１７２ｂとによって構成される。すなわち、柱状スペーサ２５と対向するアレイ基板１０上の領域のうち、凸部１７２ａでは、基部１７２ｂよりアレイ基板１０上の総膜厚が厚くなっており、柱状スペーサ２５と対向する領域の中で最も高い段となる。なお、凸部１７２ａと基部１７２ｂとの境界は、図５に示すように、延在パターン１３２よりひとまわり大きくなっている。従って、柱状スペーサ２５は、その一部の領域において段差部１７２の凸部１７２ａと対向し、アレイ基板１０と対向基板２０との間のパネルギャップを決定する。一方、段差部１７２の基部１７２ｂと対向する領域の柱状スペーサ２５は、アレイ基板１０とのパネルギャップを保持していない。

実施の形態１と同様に、本実施の形態では、柱状スペーサ２５と重複する段差部１７２の凸部１７２ａの面積は、柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下とする。従って、延在パターン１３２の大きさは、柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下の凸部１７２ａが形成される範囲内で決定される。また、柱状スペーサ２５頂面と対向する領域に設けられた段差部１７２の高さは、０μｍより大きく、０．３μｍ以下であることが好ましい。すなわち、凸部１７２ａと基部１７２ｂの高さの差が０．３μｍ以下となる。例えば、実施の形態１と同様に、ここでは０．２５μｍの段差部１７２が設けられているとする。

このような構成の液晶表示装置は、実施の形態１の分離パターン１３１の代わりに延在パターン１３２を形成し、アレイ基板１０上に段差部１７２を設ける。そして、柱状スペーサ２５頂面の１／２以下の面積で、段差部１７２の凸部１７２ａと柱状スペーサ２５が重複するように、アレイ基板１０と対向基板２０を貼り合わせればよい。それ以外の工程については実施の形態１と同様であるため説明を省略する。従って、凸部１７２ａと柱状スペーサ２５とを、柱状スペーサ２５頂面の１／２以下の面積で重複させるために、延在パターン１３２の寸法、柱状スペーサ２５の位置等を、予め考慮して形成しておく必要がある。

このように、本実施の形態では、柱状スペーサ２５と対向する領域に、映像信号線１３から延在パターン１３２を延在して高さ０．３μｍ以下の段差部１７２を形成する。そして、段差部１７２の凸部１７２ａを柱状スペーサ２５の頂面に１／２以下の面積で重複させるように、アレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる。すなわち、通常時にパネルギャップを保持する凸部１７２ａと、強い外力が加えられた際にパネルギャップの保持に加わる基部１７２ｂとが、１つの柱状スペーサ２５に対向して配置される。凸部１７２ａが、柱状スペーサ２５の端部を横切るように配置されている。このような構成により、実施の形態１と同様、細い柱状スペーサを形成する必要がなくなるため、柱状スペーサの密着強度が向上し、剥がれを抑制することができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。また、柱状スペーサの設置数を増やす必要がなくなるので、歩留まり低下を抑制することができる。

また、低温環境下では、段差部１７２の凸部１７２ａと対向する領域の柱状スペーサ２５が弾性変形する。従って、液晶３０の体積減少に追従してギャップを小さくすることができ、低温発泡を防止することができる。パネルに強い外力が加えられた場合、凸部１７２ａと対向する領域の柱状スペーサ２５に加え、基部１７２ｂと対向しない領域の柱状スペーサ２５がギャップ保持に加わるようになる。従って、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。

実施の形態３．
本実施の形態に係る液晶表示装置を図６及び図７により説明する。図６は、実施の形態３に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。また、図７は、図６におけるアレイ基板１０を模式的に示した上面図である。なお、図７では、説明の便宜上のため、対向基板２０に設けられる柱状スペーサの外形を点線で記している。本実施の形態では、柱状スペーサ２５の設置される箇所が実施の形態１、２と異なっていて、それ以外の構成は実施の形態１と同様であるため説明を省略する。

図６及び図７において、図１〜図３と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。図６において、アレイ基板１０の基板１１の上には、走査信号線１２が設けられている。走査信号線１２を覆うように、絶縁膜１５１が基板１１全面に形成される。この絶縁膜１５１を介して走査信号線１２と交差するように、映像信号線１３が形成されている。そして、本実施の形態では、映像信号線１３が柱状スペーサ２５の一部と重複するように対向配置される。具体的には、図７に示す上面図において、柱状スペーサ２５が映像信号線１３の端辺をまたぐように配設される。本実施の形態では、分離パターン１３１や延在パターン１３２は形成されない。図７に示すように、映像信号線１３と走査信号線１２とが交差する交差部における映像信号線１３の端辺を横切るように、柱状スペーサ２５を配置することが好ましい。

映像信号線１３の上には、さらに絶縁膜１５２が基板１１全面に形成されている。さらに、この上には配向膜１９が積層される。このように、映像信号線１３上では、絶縁膜１５２及び配向膜１９が映像信号線１３を覆うように設けられ、段差部１７３を形成している。段差部１７３は、映像信号線１３上に設けられた凸部１７３ａと、それ以外の領域に設けられた基部１７３ｂとによって構成される。すなわち、柱状スペーサ２５と対向するアレイ基板１０上の領域のうち、凸部１７３ａでは、基部１７３ｂよりアレイ基板１０上の総膜厚が厚くなっており、柱状スペーサ２５と対向する領域の中で最も高い段となる。なお、凸部１７３ａと基部１７３ｂとの境界は、図７に示すように、映像信号線１３よりひとまわり大きくなっている。従って、柱状スペーサ２５は、その一部の領域において段差部１７３の凸部１７３ａと対向し、アレイ基板１０と対向基板２０との間のパネルギャップを決定する。一方、段差部１７３の基部１７３ｂと対向する領域の柱状スペーサ２５は、アレイ基板１０とのパネルギャップを保持していない。

実施の形態１と同様に、本実施の形態では、柱状スペーサ２５と重複する段差部１７３の凸部１７３ａの面積は、柱状スペーサ２５頂面の面積の１／２以下とする。また、柱状スペーサ２５頂面と対向する領域に設けられた段差部１７３の高さは、０μｍより大きく、０．３μｍ以下であることが好ましい。すなわち、凸部１７３ａと基部１７３ｂの高さの差が０．３μｍ以下となる。例えば、実施の形態１と同様に、ここでは０．２５μｍの段差部１７３が設けられているとする。

このような構成の液晶表示装置は、実施の形態１の分離パターン１３１は形成せずに、映像信号線１３によりアレイ基板１０上に段差部１７３を設ける。そして、柱状スペーサ２５頂面の１／２以下の面積で、段差部１７３の凸部１７３ａと柱状スペーサ２５が重複するように、アレイ基板１０と対向基板２０を貼り合わせればよい。それ以外の工程については実施の形態１と同様であるため説明を省略する。従って、凸部１７３ａと柱状スペーサ２５とを、柱状スペーサ２５頂面の１／２以下の面積で重複させるために、柱状スペーサ２５の位置、映像信号線１３の寸法及び位置等を、予め考慮して形成しておく必要がある。

このように、本実施の形態では、柱状スペーサ２５と対向する領域に、映像信号線１３によって高さ０．３μｍ以下の段差部１７３を形成する。そして、段差部１７３の凸部１７３ａを柱状スペーサ２５の頂面に１／２以下の面積で重複させるように、アレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる。すなわち、通常時にパネルギャップを保持する凸部１７３ａと、強い外力が加えられた際にパネルギャップの保持に加わる基部１７３ｂとが、１つの柱状スペーサ２５に対向して配置される。凸部１７３ａが、柱状スペーサ２５の端部を横切るように配置されている。このような構成により、実施の形態１と同様、細い柱状スペーサを形成する必要がなくなるため、柱状スペーサの密着強度が向上し、剥がれを抑制することができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。また、柱状スペーサの設置数を増やす必要がなくなるので、歩留まり低下を抑制することができる。

また、低温環境下では、段差部１７３と対向する領域の柱状スペーサ２５が弾性変形する。従って、液晶３０の体積減少に追従してギャップを小さくすることができ、低温発泡を防止することができる。パネルに強い外力が加えられた場合、段差部１７３と対向する領域の柱状スペーサ２５に加え、段差部１７３と対向しない領域の柱状スペーサ２５がギャップ保持に加わるようになる。従って、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。なお、柱状スペーサ２５により液晶３０の配向が乱れるため、柱状スペーサ２５は、走査信号線１２上の段差部１７３、すなわち走査信号線１２と映像信号線１３との交差部における段差部１７３と対向配置させることが好ましい。

実施の形態４．
本実施の形態に係る液晶表示装置を図８及び図９により説明する。図８は、実施の形態４に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。また、図９は、図８におけるアレイ基板１０を模式的に示した上面図である。なお、図９では、説明の便宜上のため、対向基板２０に設けられる柱状スペーサの外形を点線で記している。本実施の形態では、柱状スペーサの形状及び設置される箇所が実施の形態１〜３と異なっていて、それ以外の構成は実施の形態１と同様であるため説明を省略する。

図８及び図９において、図１〜図３と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。図８において、アレイ基板１０の基板１１の上には、走査信号線１２が設けられている。走査信号線１２を覆うように、絶縁膜１５１が基板１１全面に形成される。この絶縁膜１５１を介して走査信号線１２と交差するように、図示しない箇所において映像信号線が形成されている。映像信号線１３の上には、さらに絶縁膜１５２が基板１１全面に形成されている。さらに、この上には配向膜１９が積層される。実施の形態１と異なり、本実施の形態では、分離パターン１３１や延在パターン１３２は形成されない。従って、このように他の層によるパターンが設けられない走査信号線１２上の領域では、段差部が形成されず、その総膜厚はほぼ均一となっている。

この走査信号線１２と対向する領域の対向基板２０上に、柱状スペーサ２６が形成されている。柱状スペーサ２６は、図９に示す上面図において、走査信号線１２からはみ出すことなく、内包されるように配置される。また、本実施の形態では、柱状スペーサ２６は、突起部２６ａと、突起部２６ａより高さの低い基部２６ｂとによって構成されている。図９において、柱状スペーサ２６の半分より右側の領域に突起部２６ａ、それ以外の領域に基部２６ｂが設けられている。本実施の形態では、突起部２６ａは、柱状スペーサ２６の端部に設けられる。突起部２６ａにより、柱状スペーサ２６頂面に段差が生じる。そして、図９に示すように、柱状スペーサ２６の断面は階段状になっており、突起部２６ａは柱状スペーサ２６頂面の中で最も高い段となる。このとき、低温発泡を防止するため、柱状スペーサ２６の突起部２６ａは、その頂面が基部２６ｂ頂面の面積以下となる面積を有している。すなわち、突起部２６ａの頂面は、柱状スペーサ２６頂部の１／２以下の面積となっている。また、表示ムラを抑制するため、突起部２６ａと基部２６ｂとの段差は、０μｍより大きく、０．３μｍ以下であることが好ましい。すなわち、突起部２６ａと基部２６ｂの高さの差が０．３μｍ以下となる。ここでは、例えば０．２μｍの段差が設けられた柱状スペーサ２６を形成することとする。

従って、柱状スペーサ２６は、その突起部２６ａがアレイ基板と対向し、アレイ基板１０と対向基板２０との間のパネルギャップを決定する。一方、柱状スペーサ２６の基部２６ｂは、アレイ基板１０とのパネルギャップを保持していない。パネルに外力が加わると、突起部２６ａの柱状スペーサ２６に弾性変形が生じて、パネルギャップを小さくする。パネルに加わる外力が強くなると、基部２６ｂにおいて生じていた対向基板２０とアレイ基板１０との隙間が徐々に狭くなっていく。そして、この隙間がなくなる程度の外力が加わったとき、基部２６ｂの柱状スペーサ２６がギャップ保持に加わるようになる。これにより、柱状スペーサ２６頂面の略全体でギャップを保持するようになるので、更なるパネルギャップ変動が抑制される。

このような構成の液晶表示装置は、複数階調露光技術を用いて柱状スペーサ２６を形成する。具体的には、対向基板２０の対向電極２４の上に、柱状スペーサ２６となるフォトレジストを塗布する。そして、このフォトレジストに、露光部、中間露光部、及び遮光部を有するフォトマスクを用いて複数階調露光を行う。柱状スペーサ２６の基部２６ｂを形成する領域のフォトマスクには、中間露光部を設けておく。このようなフォトマスクは、ハーフトーンマスクやグレイトーンマスクが知られている。ハーフトーンマスクの中間露光部には、露光に用いる波長領域（通常３５０〜４５０ｎｍ）の光の透過量を減少させるような半透過膜が形成される。グレイトーンマスクの中間露光部には、光回折現象を利用しながら露光量を減少させるために、露光機の解像度以下のスリットパターンが設けられる。

このようなフォトマスクを用いて露光した後、現像する。これにより、突起部２６ａ及び基部２６ｂが同時にパターニングされ、段差を有する柱状スペーサ２６が形成される。なお、複数階調露光技術を用いずに、２枚のフォトマスクを用いて２回露光して、柱状スペーサ２６を形成してもよい。また、本実施の形態では、アレイ基板１０上には実施の形態１の分離パターン１３１は形成しない。そして、柱状パターン２６が他の層によるパターンが設けられない走査信号線１２上の領域に内包されるように、アレイ基板１０と対向基板２０を貼り合わせればよい。それ以外の工程については実施の形態１と同様であるため説明を省略する。

このように、本実施の形態では、突起部２６ａ及び基部２６ｂを有する柱状スペーサ２６を形成する。突起部２６ａは、基部２６ｂとの段差が０．３μｍ以下で、柱状スペーサ２６頂面の１／２以下の面積を占めるように形成される。柱状パターン２６を、他の層によるパターンが設けられない走査信号線１２上の領域に内包させるように、アレイ基板１０と対向基板２０を貼り合わせる。すなわち、通常時にパネルギャップを保持する突起部２６ａと、強い外力が加えられた際にパネルギャップの保持に加わる基部２６ｂとが、１つの柱状スペーサ２６に含まれる。このような構成により、実施の形態１と同様、細い柱状スペーサを形成する必要がなくなるため柱状スペーサの、密着強度が向上し、剥がれを抑制することができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。また、柱状スペーサの設置数を増やす必要がなくなるので、歩留まり低下を抑制することができる。

また、低温環境下では、突起部２６ａの柱状スペーサ２６が弾性変形する。従って、液晶３０の体積減少に追従してギャップを小さくすることができ、低温発泡を防止することができる。パネルに強い外力が加えられた場合、突起部２６ａに加え、基部２６ｂの柱状スペーサ２６がギャップ保持に加わるようになる。従って、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。

実施の形態５．
本実施の形態に係る液晶表示装置を図１０及び図１１により説明する。図１０は、実施の形態５に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。また、図１１は、図１０におけるアレイ基板１０を模式的に示した上面図である。なお、図１１では、説明の便宜上のため、対向基板２０に設けられる柱状スペーサの外形を点線で記している。本実施の形態では、柱状スペーサの形状が実施の形態４と異なっていて、それ以外の構成は実施の形態４と同様であるため説明を省略する。

図１０及び図１１において、図８及び図９と同じ構成部分については同一の符号を付し、差異について説明する。実施の形態４と同様に、走査信号線１２と対向する領域の対向基板２０上に、柱状スペーサ２７が形成されている。柱状スペーサ２７は、突起部２７ａと、突起部２７ａより高さの低い基部２７ｂとによって構成されている。本実施の形態では、図１１に示すように、柱状スペーサ２７の中央部付近に突起部２７ａが設けられている。そして、突起部２７ａの周囲、すなわち柱状スペーサ２７の外周部に、基部２７ｂが設けられている。突起部２７ａにより、柱状スペーサ２７頂面に段差が生じる。そして、図１１に示すように、柱状スペーサ２７の断面は階段状になっており、突起部２７ａは柱状スペーサ２７頂面の中で最も高い段となる。このとき、低温発泡を防止するため、柱状スペーサ２７の突起部２７ａは、その頂面が基部２７ｂ頂面の面積以下となる面積を有している。すなわち、突起部２７ａの頂面は、柱状スペーサ２７頂部の１／２以下の面積となっている。また、表示ムラを抑制するため、突起部２７ａと基部２７ｂとの膜厚差は、０μｍより大きく、０．３μｍ以下であることが好ましい。すなわち、突起部２７ａと基部２７ｂの高さの差が０．３μｍ以下となる。ここでは、例えば０．２μｍの段差が設けられた柱状スペーサ２７を形成することとする。

このような構成の液晶表示装置は、実施の形態４と同様、複数階調露光技術を用いて柱状スペーサ２７を形成する。これにより、突起部２７ａ及び基部２７ｂが同時にパターニングされ、段差を有する柱状スペーサ２７が形成される。

このように、本実施の形態では、突起部２７ａ及び基部２７ｂを有する柱状スペーサ２７を形成する。突起部２７ａは、基部２７ｂとの段差が０．３μｍ以下で、柱状スペーサ２７頂面の１／２以下の面積を占めるように形成される。柱状パターン２７を、他の層によるパターンが設けられない走査信号線１２上の領域に内包させるように、アレイ基板１０と対向基板２０を貼り合わせる。すなわち、通常時にパネルギャップを保持する突起部２７ａと、強い外力が加えられた際にパネルギャップの保持に加わる基部２６ｂとが、１つの柱状スペーサ２７に含まれる。このような構成により、実施の形態４と同様、細い柱状スペーサを形成する必要がなくなるため、柱状スペーサの密着強度が向上し、剥がれを抑制することができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。また、柱状スペーサの設置数を増やす必要がなくなるので、歩留まり低下を抑制することができる。

また、低温環境下では、突起部２７ａの柱状スペーサ２７が弾性変形する。従って、液晶３０の体積減少に追従してギャップを小さくすることができ、低温発泡を防止することができる。パネルに強い外力が加えられた場合、突起部２７ａに加え、基部２７ｂの柱状スペーサ２７がギャップ保持に加わるようになる。従って、更なるパネルギャップ変動が抑制され、表示ムラを改善することができる。

なお、実施の形態１〜５では、着色層２３上に対向電極２４を介して柱状スペーサを形成する場合について例示的に説明をしたが、遮光層２２上に配置することも可能である。また、走査信号線１２と対向する領域の対向基板２０上に柱状スペーサを形成したが、これに限定されるものではない。同様に、実施の形態１〜３では、段差部は、映像信号線１３、あるいは映像信号線１３と同一層のパターンによって形成する例について説明したが、アレイ基板１０を構成する映像信号線１３以外の走査信号線１２、半導体層等の層のパターンによって形成してもよい。走査信号線１２、映像信号線１３、半導体層等、アレイ基板１０上に形成される薄膜の積層される順番についても、特に限定されるものではない。

さらに、柱状スペーサは、対向基板２０上だけでなく、アレイ基板１０側に設けることも可能である。この場合、段差部は、対向基板２０を構成する層によって形成する。段差部を形成するために設けられたパターンは、一層のみに限らず、複数の層のパターンを積層して段差部を形成してもよい。このようなパターンは、段差部を形成するものであればその形状は限定されない。段差部を構成する凸部の側面がテーパー状であってもよい。同様に、柱状スペーサ頂部に形成する突起部についても、その形状は限定されるものではない。突起部の側面がテーパー状であってもよい。

なお、実施の形態１〜３では、アレイ基板の段差部に１つの凸部を設ける場合について説明したが、複数設けられていてもよい。その場合、複数の凸部（段）のうち、最も高い段の占める面積が柱状スペーサ頂部面積の１／２以下、且つ、基部からの高さが０．３μｍ以下とする。ここで、基部は、柱状スペーサと対向する領域の中で、最も高い段の隣接する段とする。さらには、柱状スペーサと対向する領域の中で、最も低い段を基部とすることが好ましい。同様に、実施の形態４、５では、柱状スペーサに複数の突起部が設けられていてもよい。複数の突起部（段）のうち、最も高い段の占める面積が柱状スペーサ頂部面積の１／２以下、且つ、基部からの高さが０．３μｍ以下とする。

以上の説明は、本発明の実施の形態を説明するものであり、本発明が以上の実施の形態に限定されるものではない。また、当業者であれば、以上の実施の形態の各要素を、本発明の範囲において、容易に変更、追加、変換することが可能である。

本実施の形態に係る液晶表示装置の断面図である。 実施の形態１に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。 図２におけるアレイ基板を模式的に示した上面図である。 実施の形態２に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。 図４におけるアレイ基板を模式的に示した上面図である。 実施の形態３に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。 図６におけるアレイ基板を模式的に示した上面図である。 実施の形態４に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。 図８におけるアレイ基板を模式的に示した上面図である。 実施の形態５に係る柱状スペーサ及びその周辺を拡大した断面模式図である。 図１０におけるアレイ基板を模式的に示した上面図である。 従来技術１に係る液晶表示装置の断面図である。 従来技術２に係る液晶表示装置の断面図である。

符号の説明

１０ アレイ基板、１１ 基板、１２ 走査信号線、
１３ 映像信号線、１４ ＴＦＴ、１５ 絶縁膜、１６ 画素電極、
１９ 配向膜、２０ 対向基板、２１ 基板、２２ 遮光層、
２３ 着色層、２４ 対向電極、２５、２６ 柱状スペーサ、
２６ａ 突起部、２６ｂ 基部、２７ 柱状スペーサ、
２７ａ 突起部、２７ｂ 基部、２９ 配向膜、３０ 液晶、
３１、３２ 偏光板、３４ シール材、３５ 制御基板、３７ 端子、
１１０ アレイ基板、１１１ 基板、１１２ パターン層、
１１３ 段差部、１１９ 配向膜、１２０ カラーフィルタ基板、
１２１ 基板、１２３ 着色層、１２４ 対向電極、
１２５、１２６、１２７、１２８ 柱状スペーサ、１２９ 配向膜、
１３０ 液晶、１３１ 分離パターン、１３２ 延在パターン、
１７１ 段差部、１７１ａ 凸部、１７１ｂ 基部、
１７２ 段差部、１７２ａ 凸部、１７２ｂ 基部、
１７３ 段差部、１７３ａ 凸部、１７３ｂ 基部

Claims (9)

1. 第１の基板と、
   前記第１の基板の対面に配置された第２の基板と、
   前記第１の基板と前記第２の基板との間に挟持された表示材料と、
   前記第１の基板の前記第２の基板側の面に形成され、前記第１の基板と前記第２の基板との間の基板間隔を保持する柱状スペーサと、を備え、
   前記第２の基板上の前記柱状スペーサに対向する箇所、又は前記柱状スペーサの頂面に、高さ０．３μｍ以下の段差部が設けられ、前記柱状スペーサの頂面の中で前記段差部の最も高い段が占める割合が１／２以下である表示装置。
2. 前記段差部は、前記第２の基板を構成する層のうち、少なくとも１つの層のパターンによって、前記第２の基板上に形成されている請求項１に記載の表示装置。
3. 前記第２の基板は、走査信号線、及び前記走査信号線と絶縁膜を介して交差する映像信号線を有するアレイ基板であり、
   前記段差部は、前記走査信号線、前記映像信号線、半導体層の少なくとも一つから分離された分離パターンによって形成される請求項２に記載の表示装置。
4. 前記第２の基板は、走査信号線、及び前記走査信号線と絶縁膜を介して交差する映像信号線を有するアレイ基板であり、
   前記段差部は、前記走査信号線、前記映像信号線、半導体層の少なくとも一つから延在された延在パターンによって形成される請求項２に記載の表示装置。
5. 前記第２の基板は、走査信号線、及び前記走査信号線と絶縁膜を介して交差する映像信号線を有するアレイ基板であり、
   前記段差部は、前記走査信号線と前記映像信号線との交差部によって形成される請求項２に記載の表示装置。
6. 前記段差部は、前記柱状スペーサの頂面に設けられた突起部によって形成される請求項１に記載の表示装置。
7. 第１の基板と第２の基板との間に表示材料が設けられた表示装置の製造方法であって、
   前記第１の基板上に柱状スペーサを形成する工程と、
   前記第２の基板上に、複数の薄膜を形成し、高さ０．３μｍ以下の段差部を形成する工程と、
   前記第１の基板の前記柱状スペーサが形成された面と、前記第２の基板の前記段差部が形成された面とが対向し、且つ、前記柱状スペーサの頂面の中で前記段差部の最も高い段が占める割合が１／２以下となるように対向配置し、前記対向配置された前記第１の基板と前記第２の基板とをシール材を介して貼り合せる工程と、を備える表示装置の製造方法。
8. 第１の基板と第２の基板との間に表示材料が設けられた表示装置の製造方法であって、
   前記第１の基板上に、高さ０．３μｍ以下の突起部を有する柱状スペーサを、前記柱状スペーサの頂面の中で前記突起部の占める割合が１／２以下となるように形成する工程と、
   前記第２の基板を、前記第１の基板の前記柱状スペーサが形成された面側に対向配置し、前記対向配置された前記第１の基板と前記第２の基板とをシール材を介して貼り合せる工程と、を備える表示装置の製造方法。
9. 前記柱状スペーサを形成する工程では、複数階調露光によって前記突起部を有する前記柱状スペーサを形成する請求項８に記載の表示装置の製造方法。

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