JP2008288305A - Electromagnetic wave shield film and method of manufacturing the same - Google Patents

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Masaru Iwagaki
賢 岩垣
Toshihiko Iwasaki
利彦 岩崎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave shield film having superior electromagnetic wave cut-off capability and high transparency and having less spot defectives on a mesh pattern to offer superior mesh uniformity and a method for manufacturing the electromagnetic wave film, and to provide an electromagnetic wave shield film which hardly allows a plating layer on the mesh pattern to peel even in production of a long continuous roll, shows less time-dependent color change, and is highly stable, and a method for manufacturing the electromagnetic wave shield film. <P>SOLUTION: In the method for manufacturing the electromagnetic wave shield film, a silver halogenide photosensitive material having a transparent support is exposed to light and is subjected to a development process to form a metal silver mesh portion, which is then subjected to a copper plating process to form a highly conductive mesh portion. A copper sulfate used for the copper plating process is a refined copper sulfate having an iron (Fe) content rate of 100 ppm or lower. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、携帯電話、電子レンジ、CRT及びフラットパネルディスプレイ等の電子機器から発生する電磁波を遮蔽する電磁波シールドフィルム及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding film that shields electromagnetic waves generated from electronic devices such as mobile phones, microwave ovens, CRTs, and flat panel displays, and a method for manufacturing the same.

近年、携帯電話やパソコン、TV等に用いられるディスプレイ装置等に代表されるような電子機器の使用機会が増加しているが、これらの電子機器からは一般的に電磁波が放出され、それにより、電子、電気機器の誤動作、障害あるいは人体に対しても害を与える可能性がある等、いわゆる電磁波障害(EMI)が生じることが知られている。それに伴い、このようなEMIを低減する必要性が高まっており、欧米を中心に電磁波放出の強さに関する規格または規制が設けられ、最近の電子機器にはこれらの基準を満たすことが求められている。特に、CRTやフラットパネルディスプレイ、あるいは窓ガラスのように視認性を必要とする機材には電磁波遮蔽性能と透明性を両立させることが必要である。これらは、透明樹脂フィルム上に導電性の金属パターンを設けたものが一般的であり、その光透過性と導電性向上のために、長尺の透明樹脂フィルム上に連続する金属メッシュパターンを形成し、さらにめっきによって金属メッシュを補強している(例えば、特許文献1〜4参照)。   In recent years, the use of electronic devices such as display devices used in mobile phones, personal computers, TVs and the like has increased, but electromagnetic waves are generally emitted from these electronic devices, It is known that so-called electromagnetic interference (EMI) occurs, such as malfunction of electronic and electrical equipment, failure, or the possibility of harming the human body. Along with this, there is an increasing need to reduce such EMI, and standards or regulations regarding the intensity of electromagnetic wave emission are established mainly in Europe and the United States, and recent electronic devices are required to meet these standards. Yes. In particular, it is necessary to achieve both electromagnetic shielding performance and transparency for equipment that requires visibility such as CRT, flat panel display, and window glass. These are generally provided with a conductive metal pattern on a transparent resin film, and a continuous metal mesh pattern is formed on a long transparent resin film to improve its light transmission and conductivity. Further, the metal mesh is reinforced by plating (for example, see Patent Documents 1 to 4).

しかしながら、線幅10μm前後で線間隔200μmほどの微細な金属メッシュのめっきは、小さなスポットも影響が大きいために、高度なコントロールが必要である。特に、ハロゲン化銀感光材料を露光後、現像処理し、物理現像やめっき等の補力処理によってメッシュパターンを形成する方法の場合は、従来のスパッタ法や印刷法に比べて安価で生産性が高いが、めっき処理でのスポット欠陥やめっきムラが発生しやすいという問題がある。さらには、めっき層のはがれや、メッシュの経時での変色も課題である。
国際公開第01/51276号パンフレット 国際公開第04/7810号パンフレット 特開2004−221564号公報 国際公開第06/88059号パンフレット
However, plating of a fine metal mesh with a line width of about 10 μm and a line interval of about 200 μm requires a high degree of control because even a small spot has a large influence. In particular, in the case of a method in which a silver halide light-sensitive material is exposed and developed, and a mesh pattern is formed by intensifying treatment such as physical development or plating, it is cheaper and more productive than conventional sputtering or printing methods. Although high, there is a problem that spot defects and uneven plating easily occur in the plating process. Furthermore, peeling of the plating layer and discoloration of the mesh over time are also problems.
WO 01/51276 pamphlet International Publication No. 04/7810 Pamphlet JP 2004-221564 A International Publication No. 06/88059 Pamphlet

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、電磁波遮蔽性能に優れ、かつ高い透明性を有し、メッシュパターンのスポット欠陥が少なく、メッシュの均一性に優れた電磁波シールドフィルム及びその製造方法、さらに長尺連続ロール生産においても、メッシュパターンのめっき層はがれが起こりにくく、経時での変色も少なく安定性に優れた電磁波シールドフィルム及びその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its purpose is an electromagnetic wave shielding film having excellent electromagnetic wave shielding performance, high transparency, few mesh pattern spot defects, and excellent mesh uniformity. It is another object of the present invention to provide an electromagnetic wave shielding film excellent in stability and a method for producing the same, in which the plating layer of the mesh pattern is hardly peeled off even in the production of the long continuous roll, and the discoloration with time is little.

本発明者らは上記課題について検討した結果、金属メッシュパターンの額縁部を改良することによって、優れた透明電磁波シールドフィルムを得ることができることを見いだした。   As a result of studying the above problems, the present inventors have found that an excellent transparent electromagnetic wave shielding film can be obtained by improving the frame portion of the metal mesh pattern.

すなわち、本発明の目的は、以下により達成される。   That is, the object of the present invention is achieved by the following.

1.透明支持体を有するハロゲン化銀感光材料を露光し、現像処理を施すことによって金属銀メッシュ部を形成し、さらに該金属銀メッシュ部に銅めっき処理を施して高導電性メッシュ部を形成する電磁波シールドフィルムの製造方法において、該銅めっき処理に用いる硫酸銅が、鉄(Fe)含有率が100ppm以下の精製硫酸銅であることを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。   1. An electromagnetic wave in which a silver halide photosensitive material having a transparent support is exposed to light and developed to form a metal silver mesh portion, and the metal silver mesh portion is further subjected to copper plating to form a highly conductive mesh portion. In the manufacturing method of a shield film, the copper sulfate used for this copper plating process is a refined copper sulfate whose iron (Fe) content rate is 100 ppm or less, The manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film characterized by the above-mentioned.

2.前記硫酸銅の鉄(Fe)含有率が、銅(Cu)に対して50ppm以下であることを特徴とする前記1記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   2. 2. The method for producing an electromagnetic wave shielding film as described in 1 above, wherein an iron (Fe) content of the copper sulfate is 50 ppm or less with respect to copper (Cu).

3.前記硫酸銅のケイ素(Si)含有率が、銅(Cu)に対して20ppm以下であることを特徴とする前記1または2記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   3. 3. The method for producing an electromagnetic shielding film according to 1 or 2, wherein the copper sulfate has a silicon (Si) content of 20 ppm or less with respect to copper (Cu).

4.前記硫酸銅のCa、Mgの少なくとも1方の含有率が、銅(Cu)に対して5ppm以下であることを特徴とする前記1〜3のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   4). 4. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 3, wherein a content of at least one of Ca and Mg of the copper sulfate is 5 ppm or less with respect to copper (Cu).

5.前記硫酸銅が、純度99.99%以上の高純度硫酸銅であることを特徴とする前記1〜4のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   5. 5. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 4, wherein the copper sulfate is high-purity copper sulfate having a purity of 99.99% or more.

6.前記銅めっき処理に用いる銅めっき液が、銅(Cu)に対して0.1〜100ppmの銀(Ag)を含有することを特徴とする前記1〜5のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   6). The electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 5, wherein a copper plating solution used for the copper plating treatment contains 0.1 to 100 ppm of silver (Ag) with respect to copper (Cu). Manufacturing method.

7.前記銅めっき処理で得られる銅めっきが、電解銅めっきであることを特徴とする前記1〜6のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   7. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 6, wherein the copper plating obtained by the copper plating treatment is electrolytic copper plating.

8.前記現像処理が、化学現像処理、定着処理、物理現像処理からなることを特徴とする前記1〜7のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   8). 8. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 7, wherein the development treatment comprises chemical development treatment, fixing treatment, and physical development treatment.

9.前記電磁波シールドフィルムが、幅50cm以上の長尺ロールで連続生産されることを特徴とする前記1〜8のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   9. 9. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of 1 to 8, wherein the electromagnetic wave shielding film is continuously produced by a long roll having a width of 50 cm or more.

10.前記ハロゲン化銀感光材料のハロゲン化銀が、塩化銀を70モル%以上含有することを特徴とする前記1〜9のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。   10. 10. The method for producing an electromagnetic wave shielding film as described in any one of 1 to 9 above, wherein the silver halide of the silver halide photosensitive material contains 70 mol% or more of silver chloride.

11.透明支持体上に、銀メッシュの表面に銅めっき処理して形成された高導電性メッシュ部を有する電磁波シールドフィルムにおいて、該高導電性メッシュ部の表面にAgが存在することを特徴とする電磁波シールドフィルム。   11. An electromagnetic wave shielding film having a highly conductive mesh part formed by copper plating on the surface of a silver mesh on a transparent support, wherein Ag is present on the surface of the highly conductive mesh part Shield film.

本発明によれば、電磁波遮蔽性能に優れ、かつ高い透明性を有し、メッシュパターンのスポット欠陥が少なく、メッシュの均一性に優れた電磁波シールドフィルム及びその製造方法、さらに長尺連続ロール生産においても、メッシュパターンのめっき層はがれが起こりにくく、経時での変色も少なく安定性に優れた電磁波シールドフィルム及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, an electromagnetic wave shielding film excellent in electromagnetic wave shielding performance, having high transparency, having few mesh pattern spot defects, and excellent in mesh uniformity, and a method for producing the same, and further in production of long continuous rolls However, it is possible to provide an electromagnetic wave shielding film that is less likely to peel off the plating layer of the mesh pattern, has little discoloration over time, and has excellent stability, and a method for manufacturing the same.

本発明は、透明支持体を有するハロゲン化銀感光材料を露光し、現像処理を施すことによって金属銀メッシュ部を形成し、さらに該金属銀メッシュ部にめっき処理を施して高導電性メッシュ部を形成した電磁波シールドフィルム及びその製造方法に関する。特に、該金属めっき被覆表面に金属銀が存在していることを特徴とする電磁波シールドフィルム及びその製造方法に関する。また、本発明は、電磁波シールドフィルムを長尺ロールで連続生産するのに好適な製造方法に関する。   In the present invention, a silver halide photosensitive material having a transparent support is exposed to light and developed to form a metal silver mesh portion, and the metal silver mesh portion is further plated to form a highly conductive mesh portion. The present invention relates to a formed electromagnetic wave shielding film and a manufacturing method thereof. In particular, the present invention relates to an electromagnetic wave shielding film characterized in that metallic silver is present on the surface of the metal plating coating and a method for producing the same. The present invention also relates to a production method suitable for continuously producing an electromagnetic shielding film with a long roll.

以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited thereto.

(透明支持体)
本発明において透明支持体(以下、支持体ともいう)としては、通常の合成樹脂フィルムを用いることができる。
(Transparent support)
In the present invention, a normal synthetic resin film can be used as the transparent support (hereinafter also referred to as a support).

例えば、セルロースエステル系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリカーボネート系フィルム、ポリアリレート系フィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンも含む)系フィルム、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、セルロースジアセテートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、シンジオタクティックポリスチレン系フィルム、ポリカーボネートフィルム、ノルボルネン樹脂系フィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルケトンイミドフィルム、ポリアミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ナイロンフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルムまたはアクリルフィルム等を用いることができる。また、これらプラスチックフィルム以外に、石英ガラス、ソーダガラス等も用いることが可能である。   For example, cellulose ester film, polyester film, polycarbonate film, polyarylate film, polysulfone (including polyethersulfone) film, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate polyester film, polyethylene film, polypropylene film, cellophane, Cellulose diacetate film, cellulose acetate butyrate film, polyvinylidene chloride film, polyvinyl alcohol film, ethylene vinyl alcohol film, syndiotactic polystyrene film, polycarbonate film, norbornene resin film, polymethylpentene film, polyether ketone film, Polyetherketoneimide film, polyamid Film, fluororesin film, a nylon film, a polymethyl methacrylate film or an acrylic film or the like. In addition to these plastic films, quartz glass, soda glass, and the like can be used.

中でも、セルローストリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンを含む)、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましく用いられる。   Of these, cellulose triacetate film, polycarbonate film, polysulfone (including polyethersulfone), polyethylene terephthalate film, and polyethylene naphthalate film are preferably used.

本発明においては、透明性、等方性、接着性、耐久性等の観点から、支持体としてはポリエステル系フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムを用いることが特に好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use a polyethylene terephthalate film or a polyethylene naphthalate film that is a polyester film as the support from the viewpoints of transparency, isotropic properties, adhesiveness, durability, and the like.

本発明の電磁波シールドフィルムをディスプレイの表示画面に用いる場合には、高い透明性が要求されるため、支持体自体の透明性も高いことが望ましい。この場合におけるプラスチックフィルムまたはガラス板の可視光域の平均透過率は好ましくは85〜100%であり、より好ましくは90〜100%である。また、本発明では、色調調節剤として前記プラスチックフィルムまたはガラス板を本発明の目的を妨げない程度に着色したものを用いることもできる。可視光域の平均透過率とは、400〜700nmまでの可視光領域の透過率を、少なくとも5nm毎に測定して求めた可視光域の各透過率を積算し、その平均値として求めたものと定義する。測定においては、測定アパチャーを、前述のメッシュパターンより十分大きくとっておく必要があり、少なくともメッシュの格子面積より100倍以上大きな面積で測定して求める。   When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used for a display screen of a display, high transparency is required. Therefore, it is desirable that the support itself has high transparency. In this case, the average transmittance in the visible light region of the plastic film or glass plate is preferably 85 to 100%, more preferably 90 to 100%. Moreover, in this invention, what colored the said plastic film or glass plate to the extent which does not interfere with the objective of this invention can also be used as a color tone regulator. The average transmittance in the visible light region is obtained by integrating the transmittances in the visible light region obtained by measuring the transmittance in the visible light region from 400 to 700 nm at least every 5 nm, and obtaining the average value. It is defined as In measurement, the measurement aperture needs to be sufficiently larger than the mesh pattern described above, and is obtained by measuring at least an area 100 times larger than the mesh area of the mesh.

本発明に用いる支持体は、長尺ロール状として連続搬送しながら生産するために、100m以上、より好ましくは500m以上、さらに好ましくは1000m以上、2000m以下である。   The support used in the present invention is 100 m or more, more preferably 500 m or more, still more preferably 1000 m or more and 2000 m or less in order to produce the continuous support as a long roll.

本発明に用いる支持体の幅は、より大画面のディスプレイパネル用の要望から1m以上、好ましくは1.5m以上、さらに好ましくは、2m以上、5m以下である。   The width of the support used in the present invention is 1 m or more, preferably 1.5 m or more, and more preferably 2 m or more and 5 m or less because of the demand for a display panel with a larger screen.

本発明に用いる支持体の厚さには特に制限はないが、透過率の維持及び取り扱い性の観点から、5〜200μmであることが好ましく、30〜150μmであることがさらに好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the support body used for this invention, It is preferable that it is 5-200 micrometers from a viewpoint of the maintenance of a transmittance | permeability, and a handleability, and it is further more preferable that it is 30-150 micrometers.

(メッシュ部)
電磁波を遮蔽するために形成される導電性金属メッシュ部の線幅は、通常20μm以下であり、メッシュを目立たせなくする観点からは、18μm以下が好ましく、15μm以下がさらにより好ましく、3μm以上、10μm以下が最も好ましい。3μm未満では導電性がやや不足する。
(Mesh part)
The line width of the conductive metal mesh portion formed for shielding electromagnetic waves is usually 20 μm or less, preferably 18 μm or less, more preferably 15 μm or less, even more preferably 3 μm or more, from the viewpoint of making the mesh inconspicuous. 10 μm or less is most preferable. If it is less than 3 μm, the conductivity is slightly insufficient.

メッシュ部の線間隔は150μm以上であることが好ましく、180μm以上がより好ましく、200μm以上が特に好ましい。また、メッシュ細線の厚さは、0.1μm以上、25μm以下が好ましく、0.2以上、20μm以下がより好ましく、0.5μm以上、15μm以下が特に好ましい。   The line spacing of the mesh part is preferably 150 μm or more, more preferably 180 μm or more, and particularly preferably 200 μm or more. The thickness of the fine mesh wire is preferably 0.1 μm or more and 25 μm or less, more preferably 0.2 or more and 20 μm or less, and particularly preferably 0.5 μm or more and 15 μm or less.

本発明におけるメッシュ部は、可視光透過率の点から開口率は80%より大きいことが好ましく、85%以上がさらに好ましく、90%以上が最も好ましい。開口率とは、メッシュをなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅10μm、ピッチ200μmの正方形の格子状メッシュの開口率は90%である。   The mesh portion in the present invention preferably has an aperture ratio of more than 80%, more preferably 85% or more, and most preferably 90% or more from the viewpoint of visible light transmittance. The aperture ratio is the ratio of the portion without fine lines forming the mesh to the whole. For example, the aperture ratio of a square lattice mesh having a line width of 10 μm and a pitch of 200 μm is 90%.

本発明においては、高い透光性と高い電磁波遮蔽性能を付与するために、格子状の細線メッシュパターンを露光により描画し、次いで現像処理等を行うことで、導電性のメッシュパターンを形成し、電磁波シールドフィルムとすることが好ましい。   In the present invention, in order to give high translucency and high electromagnetic wave shielding performance, a lattice-like fine line mesh pattern is drawn by exposure, and then a development process or the like is performed to form a conductive mesh pattern. An electromagnetic wave shielding film is preferred.

(額縁部)
額縁部とは、メッシュ部で電磁波を吸収して発生する電流を接地するための接続部分であり、一般的には導通性を高めるために短冊状の枠を形成している。
(Frame part)
The frame portion is a connection portion for grounding a current generated by absorbing electromagnetic waves in the mesh portion, and generally forms a strip-shaped frame in order to improve conductivity.

(メッシュの形成方法)
本発明の電磁波シールドフィルムにおいては、電磁波シールド機能を有する導電性メッシュの形成方法は、公知の方法すなわち、蒸着法、各種印刷法(グラビア印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、インクジェット印刷)、エッチング法、フォトリソグラフィック法等を利用できるが、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理、必要に応じて補力処理等を行なって形成する銀塩写真法が好ましい。
(Mesh formation method)
In the electromagnetic wave shielding film of the present invention, the method for forming a conductive mesh having an electromagnetic wave shielding function is a known method, that is, a vapor deposition method, various printing methods (gravure printing, screen printing, offset printing, ink jet printing), etching method, A photolithographic method or the like can be used, but a silver salt photographic method in which a silver halide photosensitive material is formed by exposure, development processing, and intensification processing as necessary is preferable.

(ハロゲン化銀)
本発明の電磁波シールドフィルムを銀塩写真法を用いて形成する場合は、後述するハロゲン化銀及びバインダーを含有するハロゲン化銀乳剤含有層が支持体上に設けられるが、ハロゲン化銀乳剤含有層は、この他に、硬膜剤、硬調化剤、活性剤等を含有することができる。
(Silver halide)
When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is formed using a silver salt photography method, a silver halide emulsion-containing layer containing a silver halide and a binder described later is provided on the support. In addition to this, a hardening agent, a thickening agent, an activator, etc. can be contained.

本発明において、ハロゲン化銀の含有量は、銀換算で0.05g/m2以上、3g/m2未満が好ましく、特に好ましくは銀換算で0.3g/m2以上、1g/m2未満である。ハロゲン化銀の含有量が0.05g/m2未満の場合、電磁波遮蔽性能を十分に得ることが困難になりやすい。これは、後述する物理現像または金属めっき処理の触媒となる現像銀核の量が不十分となり、有効な導電性メッシュを形成しにくくなるためと推定される。また、ハロゲン化銀の含有量が3g/m2以上である場合、バインダーに対するハロゲン化銀の量が相対的に多くなるため、被膜が脆弱になりやすく、十分な被膜強度を維持することが困難となる。 In the present invention, the content of the silver halide in terms of silver in 0.05 g / m 2 or more, preferably less than 3 g / m 2, particularly preferably in terms of silver 0.3 g / m 2 or more and less than 1 g / m 2 It is. When the silver halide content is less than 0.05 g / m 2 , it is difficult to obtain sufficient electromagnetic wave shielding performance. This is presumed to be because the amount of developed silver nuclei serving as a catalyst for physical development or metal plating treatment described later becomes insufficient and it becomes difficult to form an effective conductive mesh. In addition, when the silver halide content is 3 g / m 2 or more, the amount of silver halide relative to the binder is relatively large, so that the film tends to become brittle and it is difficult to maintain sufficient film strength. It becomes.

被膜物性を維持するためにバインダー量を増やした場合、ハロゲン化銀粒子の粒子間距離が大きくなるため、現像銀ネットワークが形成されにくくなり、有効な導電性メッシュを形成しにくくなるとともに、温度、湿度変化に対する耐久性も不十分となり本発明の効果が得られ難くなる。   When the amount of the binder is increased in order to maintain the physical properties of the film, the distance between the grains of the silver halide grains is increased, so that it becomes difficult to form a developed silver network, and it becomes difficult to form an effective conductive mesh. The durability against changes in humidity is insufficient, and the effects of the present invention are difficult to obtain.

本発明において、ハロゲン化銀感光材料のバインダー量は10mg/m2以上、0.2g/m2以下の場合が、導電性と被膜物性の両立という観点から特に好ましい。バインダー量が10mg/m2未満の場合、バインダーに対するハロゲン化銀の量が相対的に多くなるため、被膜が脆弱になりやすく、十分な被膜強度を維持することが困難となる。また、バインダー量が0.1g/m2より多い場合には、ハロゲン化銀粒子の粒子間距離が大きくなるため、現像銀ネットワークが形成されにくくなり、有効な導電性メッシュを形成しにくくなるとともに、温度、湿度変化に対する耐久性も不十分となり本発明の効果が得られなくなる。 In the present invention, the binder amount of the silver halide light-sensitive material is particularly preferably 10 mg / m 2 or more and 0.2 g / m 2 or less from the viewpoint of achieving both conductivity and film properties. When the amount of the binder is less than 10 mg / m 2, the amount of silver halide relative to the binder is relatively large, so that the coating tends to become brittle and it is difficult to maintain sufficient coating strength. On the other hand, when the amount of the binder is more than 0.1 g / m 2 , the distance between the grains of the silver halide grains becomes large, so that it becomes difficult to form a developed silver network, and it becomes difficult to form an effective conductive mesh. Further, durability against changes in temperature and humidity becomes insufficient, and the effects of the present invention cannot be obtained.

本発明で用いられるハロゲン化銀粒子の組成は、塩化銀、臭化銀、塩臭化銀、沃臭化銀、塩沃臭化銀、塩沃化銀等任意のハロゲン組成を有するものであってもよいが、導電性のよい金属銀を得るためには、感度の高い微粒子が好ましく、塩化銀含有粒子が好ましく用いられる。特に、塩化銀を70モル%以上含有するものが好ましい。   The composition of the silver halide grains used in the present invention has an arbitrary halogen composition such as silver chloride, silver bromide, silver chlorobromide, silver iodobromide, silver chloroiodobromide and silver chloroiodide. However, in order to obtain metallic silver having good conductivity, fine particles having high sensitivity are preferable, and silver chloride-containing particles are preferably used. Particularly preferred are those containing 70 mol% or more of silver chloride.

ハロゲン化銀粒子が現像され金属銀粒子になった後の表面比抵抗を下げ、電磁波を効率的に遮蔽するためには、現像銀粒子同士の接触面積ができるだけ大きくなる必要がある。そのためには表面積比を高めるためにハロゲン化銀粒子サイズが小さい程よいが、小さすぎる粒子は凝集して大きな塊状になりやすく、その場合接触面積は逆に少なくなってしまうので最適な粒子径が存在する。本発明において、ハロゲン化銀粒子の平均粒子サイズは、球相当径で0.01〜0.5μmが好ましく、より好ましくは0.03〜0.3μmである。なお、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径を表す。ハロゲン化銀粒子の平均粒子サイズは、ハロゲン化銀粒子の調製時の温度、pAg、pH、銀イオン溶液とハロゲン溶液の添加速度、粒子径コントロール剤(例えば、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、ベンズトリアゾール、テトラザインデン化合物類、核酸誘導体類、チオエーテル化合物類等)を適宜組み合わせて制御することができる。   In order to reduce the surface specific resistance after silver halide grains are developed to become metallic silver grains and effectively shield electromagnetic waves, the contact area between developed silver grains needs to be as large as possible. For this purpose, a smaller silver halide grain size is better to increase the surface area ratio, but too small grains tend to agglomerate into large agglomerates, in which case the contact area will be reduced, so there is an optimum grain size. To do. In the present invention, the average grain size of the silver halide grains is preferably 0.01 to 0.5 μm, more preferably 0.03 to 0.3 μm, in terms of a sphere equivalent diameter. In addition, the sphere equivalent diameter of silver halide grains represents the diameter of grains having the same volume and having a spherical shape. The average grain size of silver halide grains is the temperature at the time of preparation of silver halide grains, pAg, pH, addition rate of silver ion solution and halogen solution, grain size control agent (for example, 1-phenyl-5-mercaptotetrazole, 2-mercaptobenzimidazole, benztriazole, tetrazaindene compounds, nucleic acid derivatives, thioether compounds, etc.) can be appropriately combined and controlled.

本発明においては、塗布銀量(g/m2)を粒径(μm)で除した値が6以上、25以下となる態様が好ましい。比較的粒径の小さいハロゲン化銀を多量に用いた場合に、この値が25より大きくなりやすく、この場合、フィルム断裁時のエッジ部分において、被膜からハロゲン化銀粒子の滑落等が生じやすくなる傾向にある。また比較的粒径の大きいハロゲン化銀を少量用いた場合にこの値が6より小さくなりやすく、この場合、単位面積中のハロゲン化銀の粒子個数が少なくなるため、導電性が低下しやすい傾向となるためである。 In the present invention, an embodiment in which the value obtained by dividing the coating silver amount (g / m 2 ) by the particle size (μm) is 6 or more and 25 or less is preferable. When a large amount of silver halide having a relatively small grain size is used, this value tends to be larger than 25. In this case, the silver halide grains are likely to slip off from the coating at the edge portion when the film is cut. There is a tendency. In addition, when a small amount of silver halide having a relatively large grain size is used, this value tends to be smaller than 6, and in this case, the number of silver halide grains in a unit area tends to decrease, so that the conductivity tends to decrease. It is because it becomes.

本発明においては、ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状(6角平板状、3角形平板状、4角形平板状等)、8面体状、14面体状等、さまざまな形状であることができる。感度を高くするためにアスペクト比が2以上や4以上、さらに8〜16であるような平板粒子も好ましく使用することができる。粒子サイズの分布には特に限定はないが、露光によるパターン形成時に、パターンの輪郭をシャープに再現させ、高い導電性を維持しながら透明性を高めるという観点からは、狭い分布が好ましい。本発明に係るハロゲン化銀感光材料に用いられるハロゲン化銀粒子の粒径分布は、好ましくは変動係数が0.22以下、さらに好ましくは0.15以下の単分散ハロゲン化銀粒子である。ここで変動係数は、粒径分布の広さを表す係数であり、次式によって定義される。   In the present invention, the shape of the silver halide grains is not particularly limited, and for example, spherical, cubic, flat plate (hexagonal flat plate, triangular flat plate, tetragonal flat plate, etc.), octahedron, tetrahedron It can be in various shapes such as shapes. In order to increase the sensitivity, tabular grains having an aspect ratio of 2 or more, 4 or more, and further 8 to 16 can be preferably used. The particle size distribution is not particularly limited, but a narrow distribution is preferable from the viewpoint of enhancing the transparency while sharply reproducing the outline of the pattern and maintaining high conductivity during pattern formation by exposure. The particle size distribution of the silver halide grains used in the silver halide photosensitive material according to the present invention is preferably monodispersed silver halide grains having a coefficient of variation of 0.22 or less, more preferably 0.15 or less. Here, the variation coefficient is a coefficient representing the breadth of the particle size distribution, and is defined by the following equation.

変動係数=S/R
(式中、Sは粒径分布の標準偏差、Rは平均粒径を表す。)
本発明で用いられるハロゲン化銀粒子は、さらに他の元素を含有していてもよい。例えば、写真乳剤において、硬調な乳剤を得るために用いられる金属イオンをドープすることも有用である。特に鉄イオン、ロジウムイオン、ルテニウムイオンやイリジウムイオン等の第8〜10族金属イオンは、金属銀像の生成の際に露光部と未露光部の差が明確に生じやすくなるため好ましく用いられる。
Coefficient of variation = S / R
(In the formula, S represents the standard deviation of the particle size distribution, and R represents the average particle size.)
The silver halide grains used in the present invention may further contain other elements. For example, in a photographic emulsion, it is also useful to dope metal ions used to obtain a high-contrast emulsion. In particular, Group 8-10 metal ions such as iron ion, rhodium ion, ruthenium ion and iridium ion are preferably used because the difference between the exposed portion and the unexposed portion tends to be clearly generated when the metal silver image is generated.

これらの金属イオンは、塩や錯塩の形でハロゲン化銀乳剤に添加することができる。ロジウムイオン、イリジウムイオンに代表される遷移金属イオンは、各種の配位子を有する化合物であることもできる。そのような配位子としては、例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナートイオン、ニトロシルイオン、水、水酸化物イオン等を挙げることができる。具体的な化合物の例としては、臭化ロジウム酸カリウムやイリジウム酸カリウム等が挙げられる。   These metal ions can be added to the silver halide emulsion in the form of a salt or a complex salt. Transition metal ions represented by rhodium ions and iridium ions can also be compounds having various ligands. Examples of such a ligand include cyanide ions, halogen ions, thiocyanate ions, nitrosyl ions, water, hydroxide ions, and the like. Specific examples of the compound include potassium bromide rhodate and potassium iridate.

本発明において、ハロゲン化銀に含有される前記金属イオン化合物の含有率は、ハロゲン化銀1モル当たり、10-10〜10-2モル/モルAgであることが好ましく、10-9〜10-3モル/モルAgであることがさらに好ましい。 In the present invention, the content of the metal ion compound contained in the silver halide is preferably 10 −10 to 10 −2 mol / mol Ag per mol of silver halide, and is preferably 10 −9 to 10 −. More preferably, it is 3 mol / mol Ag.

ハロゲン化銀粒子に上述の金属イオンを含有させるためには、該金属化合物をハロゲン化銀粒子の形成前、ハロゲン化銀粒子の形成中、ハロゲン化銀粒子の形成後等、物理熟成中の各工程における任意の場所で添加すればよい。また、添加においては、重金属化合物の溶液を粒子形成工程の全体あるいは一部にわたって連続的に行うことができる。   In order for silver halide grains to contain the above-described metal ions, the metal compound is subjected to physical ripening before formation of silver halide grains, during formation of silver halide grains, after formation of silver halide grains, etc. What is necessary is just to add in the arbitrary places in a process. Moreover, in addition, the solution of a heavy metal compound can be continuously performed over the whole or a part of particle formation process.

本発明では、さらに感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施したり、分光増感を施したりすることができる。   In the present invention, in order to further improve the sensitivity, chemical sensitization performed with a photographic emulsion or spectral sensitization can be performed.

(バインダー)
本発明に係るハロゲン化銀感光性層において、ハロゲン化銀粒子を均一に分散させ、かつハロゲン化銀粒子を支持体上に担持し、ハロゲン化銀感光性層と他の層、または支持体との接着性を確保する目的でバインダーを用いる。本発明に用いることができるバインダーには、特に制限がなく、非水溶性ポリマー及び水溶性ポリマーのいずれも用いることができるが、現像性向上の観点からは、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
(binder)
In the silver halide photosensitive layer according to the present invention, the silver halide grains are uniformly dispersed, and the silver halide grains are supported on a support, and the silver halide photosensitive layer and other layers, or the support, A binder is used for the purpose of ensuring the adhesion of the resin. The binder that can be used in the present invention is not particularly limited, and any of a water-insoluble polymer and a water-soluble polymer can be used. From the viewpoint of improving developability, it is preferable to use a water-soluble polymer.

本発明に係る感光材料には、バインダーとしてゼラチンを用いることが有利であるが、必要に応じてゼラチン誘導体、ゼラチンと他の高分子のグラフトポリマー、ゼラチン以外のタンパク質、糖誘導体、セルロース誘導体、単一あるいは共重合体のごとき合成親水性高分子物質等の親水性コロイドも用いることができる。   In the light-sensitive material according to the present invention, it is advantageous to use gelatin as a binder, but if necessary, gelatin derivatives, graft polymers of gelatin and other polymers, proteins other than gelatin, sugar derivatives, cellulose derivatives, simple substances. Hydrophilic colloids such as synthetic hydrophilic polymer materials such as mono- or copolymers can also be used.

バインダーとしてゼラチンを用いる場合、イオン交換処理等によってイオン性の不純物が除去されたゼラチンを用いることが好ましい。また、ハロゲン化銀の性能に影響を与えるような、例えばイオウ化合物等を低減させたものが好ましい。さらには、そのゼラチンの形成過程において、酵素分解法等によってゼラチンの分子量分布を均一な方向にコントロールされたものが好ましい。   When gelatin is used as the binder, it is preferable to use gelatin from which ionic impurities have been removed by ion exchange treatment or the like. Also preferred are those in which, for example, a sulfur compound is reduced, which affects the performance of silver halide. Furthermore, it is preferable that the molecular weight distribution of gelatin is controlled in a uniform direction by an enzymatic decomposition method or the like in the gelatin formation process.

本発明においては、ハロゲン化銀感光性層の銀/バインダー質量比は、0.5以上、20以下が好ましい。これは前述の、現像銀粒子同士の接触面積を大きくするためであり、より好ましくは1.0以上、10以下、さらに好ましくは3.0以上、8.0以下である。   In the present invention, the silver / binder mass ratio of the silver halide photosensitive layer is preferably from 0.5 to 20. This is to increase the contact area between the developed silver particles described above, more preferably 1.0 or more and 10 or less, still more preferably 3.0 or more and 8.0 or less.

(ハロゲン化銀感光材料の層構成)
本発明の電磁波シールドフィルム形成用のハロゲン化銀感光材料の層構成については、基本的には、支持体とハロゲン化銀感光性層からなる。さらに電磁波シールドフィルムとしての高機能化、加工特性、耐久性のみならず、ハロゲン化銀感光材料の製造効率、製造安定性等を考慮して、種々の層を設けることが好ましい。
(Layer structure of silver halide photosensitive material)
The layer structure of the silver halide photosensitive material for forming an electromagnetic wave shielding film of the present invention basically comprises a support and a silver halide photosensitive layer. Furthermore, it is preferable to provide various layers in consideration of not only high functionality, processing characteristics and durability as an electromagnetic wave shielding film but also the production efficiency and production stability of the silver halide photosensitive material.

例えば、支持体とハロゲン化銀感光性層の間に非感光性中間層を設けたり、支持体に対してハロゲン化銀感光性層とは反対側に、バッキング層を設けたり、ハロゲン化銀感光性層の上に保護層を設けたりすることが好ましい。これらの層は複数層から構成されてもよい。   For example, a non-photosensitive intermediate layer is provided between the support and the silver halide photosensitive layer, or a backing layer is provided on the opposite side of the support from the silver halide photosensitive layer. It is preferable to provide a protective layer on the conductive layer. These layers may be composed of a plurality of layers.

本発明においては、支持体を挟んだ両側に各々ハロゲン化銀感光性層を設け、それぞれに導電性パターンを形成することも好ましく行われる。この場合、各々の面に塗設されるハロゲン化銀乳剤は、分光増感等により、それぞれ異なる波長に感度を有するような態様が好ましい。表裏面で異なる波長に感度を持たせることにより、各々の面に異なる導電性パターンを作製することが可能となり、例えば表裏面で各々異なる周波数の電磁波に対して選択的に遮蔽効果を有するように導電性パターンを形成することも可能となる。   In the present invention, it is also preferable to provide a silver halide photosensitive layer on both sides of the support and to form a conductive pattern on each. In this case, it is preferable that the silver halide emulsion coated on each surface has sensitivity at different wavelengths by spectral sensitization or the like. By giving sensitivity to different wavelengths on the front and back surfaces, it is possible to produce different conductive patterns on each surface, for example, to selectively shield against electromagnetic waves of different frequencies on the front and back surfaces. It is also possible to form a conductive pattern.

(電磁波シールドフィルムの製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルムの基本的な製造方法については、(1)支持体上にハロゲン化銀乳剤を塗布する工程、(2)塗布されたハロゲン化銀感光材料を乾燥させる工程、(3)形成されたハロゲン化銀感光材料にパターン露光する工程、(4)該露光済みハロゲン化銀感光材料を現像処理して金属銀部と光透過性部とを形成する工程、(5)該金属銀部にメッキ処理を施して高導電性金属部を形成する工程、からなることを特徴とする。
(Method for producing electromagnetic shielding film)
The basic method for producing the electromagnetic wave shielding film of the present invention is as follows: (1) a step of coating a silver halide emulsion on a support, (2) a step of drying the coated silver halide photosensitive material, (3) A step of pattern exposure of the formed silver halide photosensitive material, (4) a step of developing the exposed silver halide photosensitive material to form a metallic silver portion and a light transmitting portion, and (5) the metallic silver. And a step of plating the portion to form a highly conductive metal portion.

これらの各工程は、それぞれ独立してバッチ処理されてもよいが、支持体の繰り出しから、各工程が連続するウェブに対して連動していることが好ましい。最後は、形成された電磁波シールドフィルムが長尺巻として得られるか、形成された電磁波シールドフィルムが裁断されて、シート状にて集積されてもよい。   Each of these steps may be batch-processed independently, but it is preferable that each step is linked to a continuous web from the feeding of the support. Finally, the formed electromagnetic wave shielding film may be obtained as a long roll, or the formed electromagnetic wave shielding film may be cut and integrated in a sheet form.

(塗布工程)
塗布工程は、支持体上に前記構成層を塗布する工程である。その塗布方法としては、例えば、ディップコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビヤコート法、インクジェットコート法あるいは米国特許第2,681,294号明細書に記載のホッパーを使用するエクストルージョンコート法等が挙げられる。また、必要に応じて、米国特許第2,761,791号、同第3,508,947号、同第2,941,898号及び同第3,526,528号明細書、原崎勇次著「コーティング工学」253頁(1973年朝倉書店発行)等に記載された2層以上の層を同時に塗布する方法も、好ましく用いることができる。
(Coating process)
A coating process is a process of apply | coating the said structural layer on a support body. Examples of the coating method include a dip coating method, a spray coating method, an air knife coating method, a curtain coating method, a roller coating method, a wire bar coating method, a gravure coating method, an inkjet coating method, or US Pat. No. 2,681,294. Examples include an extrusion coating method using a hopper described in the specification. If necessary, U.S. Pat. Nos. 2,761,791, 3,508,947, 2,941,898 and 3,526,528, Yuji Harasaki, “ The method of simultaneously applying two or more layers described in “Coating Engineering” on page 253 (published by Asakura Shoten in 1973) can also be preferably used.

(露光工程)
本発明では、後述する現像処理、物理現像及びメッキ処理から選ばれる少なくともいずれかを施して、導電性パターンを形成するために、ハロゲン化銀感光材料の露光を行う。露光に用いられる光源としては例えば、紫外線、可視光線、赤外線等の光、電子線、X線等の放射線等が挙げられるが、ハロゲン化銀の特性を活用する点で、可視光線を用いることが好ましい。特に波長分布の狭い光源を利用することによって、電磁波シールドフィルム形成を効率よくコントロールでき、安定に製造できるので好ましい。
(Exposure process)
In the present invention, the silver halide photosensitive material is exposed in order to form a conductive pattern by performing at least one selected from development processing, physical development and plating processing described later. Examples of the light source used for exposure include ultraviolet light, visible light, infrared light, etc., electron beam, X-ray radiation, etc., and visible light is used in terms of utilizing the characteristics of silver halide. preferable. In particular, it is preferable to use a light source having a narrow wavelength distribution because the formation of the electromagnetic shielding film can be efficiently controlled and can be stably produced.

特に本発明では、レーザー光を用いて露光することが好ましい。種々のレーザー光の中でも、ハロゲン化銀の感光特性から、青色レーザーが好ましい。その発光波長が370〜450nm、特に415〜440nmが好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to perform exposure using a laser beam. Among various laser beams, a blue laser is preferable because of the photosensitive characteristics of silver halide. The emission wavelength is preferably 370 to 450 nm, particularly 415 to 440 nm.

具体的には、ヘリウム・カドミウムレーザー(約442nm)、InGaN系材料を用いた発振波長が400〜430nmの青色半導体レーザー、GaAlAs系(発振波長850nm)の半導体レーザーを、MgO:LiNbO3のSHG結晶により波長変換して取り出したレーザー(425nm)等があるが、コンパクト、低消費電力、安定性、長寿命等の観点から、青色半導体レーザーが好ましい。特に、2001年3月第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学(株)発表の、青色半導体レーザーが好ましい。 Specifically, a helium-cadmium laser (about 442 nm), a blue semiconductor laser using an InGaN-based material with an oscillation wavelength of 400 to 430 nm, a GaAlAs-based (laser wavelength 850 nm) semiconductor laser, an MgO: LiNbO 3 SHG crystal. However, a blue semiconductor laser is preferable from the viewpoints of compactness, low power consumption, stability, long life, and the like. In particular, a blue semiconductor laser announced by Nichia Chemical Co., Ltd. at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001 is preferred.

(現像処理)
本発明では、ハロゲン化銀感光材料を露光した後、現像処理が行われる。現像処理は、発色現像主薬を含有しない、いわゆる黒白現像処理であることが好ましい。
(Development processing)
In the present invention, after the silver halide photosensitive material is exposed, development processing is performed. The development process is preferably a so-called black-and-white development process that does not contain a color developing agent.

現像処理液としては、現像主薬としてハイドロキノン、ハイドロキノンスルホン酸ナトリウム、クロルハイドロキノン等のハイドロキノン類の他に、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−3−ピラゾリドン等のピラゾリドン類及びN−メチルパラアミノフェノール硫酸塩等の超加成性現像主薬と併用することができる。また、ハイドロキノンを使用しないでアスコルビン酸やイソアスコルビン酸等レダクトン類化合物を上記超加成性現像主薬と併用することが好ましい。   As the developing solution, in addition to hydroquinones such as hydroquinone, sodium hydroquinonesulfonate, chlorohydroquinone and the like as developing agents, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1- Use in combination with pyrazolidones such as phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl-3-pyrazolidone and superadditive developing agents such as N-methylparaaminophenol sulfate. Can do. Further, it is preferable to use a reductone compound such as ascorbic acid or isoascorbic acid in combination with the superadditive developing agent without using hydroquinone.

また、現像処理液には保恒剤として亜硫酸ナトリウム塩や亜硫酸カリウム塩、緩衝剤として炭酸ナトリウム塩や炭酸カリウム塩、現像促進剤としてジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジエチルアミノプロパンジオール等を適宜使用できる。   In addition, sodium sulfite or potassium sulfite as a preservative, sodium carbonate or potassium carbonate as a buffer, diethanolamine, triethanolamine, diethylaminopropanediol or the like as a development accelerator can be appropriately used in the developing solution.

現像処理で用いられる現像処理液は、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾール、5−メチルベンゾトリアゾール等の含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。   The development processing solution used in the development processing can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 1-phenyl-5-mercaptotetrazole and 5-methylbenzotriazole.

本発明においては、露光後に行われる現像処理が、定着前物理現像を含んでいることが好ましい。ここで言う定着前物理現像とは、後述の定着処理を行う前に、露光により潜像を有するハロゲン化銀粒子の内部以外から銀イオンを供給し、現像銀を補強するプロセスのことを示す。現像処理液から銀イオンを供給するための具体的な方法としては、例えば予め現像処理液中に硝酸銀等を溶解しておき銀イオンを溶かしておく方法、あるいは現像液中に、チオ硫酸ナトリウム、チオシアン酸アンモニウム等のようなハロゲン化銀溶剤を溶解しておき、現像時に未露光部のハロゲン化銀を溶解させ、潜像を有するハロゲン化銀粒子の現像を補力する方法等が挙げられる。   In the present invention, it is preferable that the development processing performed after exposure includes physical development before fixing. The term “physical development before fixing” as used herein refers to a process in which silver ions are supplied from outside the silver halide grains having a latent image by exposure to reinforce developed silver before performing a fixing process described later. As a specific method for supplying silver ions from the developing solution, for example, a method of dissolving silver nitrate or the like in advance in a developing solution and dissolving silver ions, or sodium thiosulfate in the developing solution, Examples include a method in which a silver halide solvent such as ammonium thiocyanate is dissolved, unexposed silver halide is dissolved during development, and development of silver halide grains having a latent image is supplemented.

本発明においては、現像液中に予めハロゲン化銀溶剤を溶解しておく処方を用いた方が、未露光部でのカブリ発生による、フィルムの透過率低下を抑制できるため好ましい。   In the present invention, it is preferable to use a formulation in which a silver halide solvent is preliminarily dissolved in a developer because a reduction in the transmittance of the film due to fogging in unexposed areas can be suppressed.

本発明における現像処理においては、露光されたハロゲン化銀粒子の現像終了後に、未露光部分のハロゲン化銀粒子を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を行う。本発明における定着処理は、ハロゲン化銀粒子を用いた写真フィルムや印画紙等で用いられる定着液処方を用いることができる。定着処理で使用する定着液は、定着剤としてチオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸カリウム、チオ硫酸アンモニウム等を使用することができる。定着時の硬膜剤として硫酸アルミウム、硫酸クロミウム等を使用することができる。定着剤の保恒剤としては、現像処理液で述べた亜硫酸ナトリウム、亜硫酸カリウム、アスコルビン酸、エリソルビン酸等を使用することができ、その他にクエン酸、蓚酸等を使用することができる。   In the development processing in the present invention, after the development of the exposed silver halide grains, fixing processing is performed for the purpose of removing and stabilizing the unexposed silver halide grains. For the fixing treatment in the present invention, a fixer formulation used for photographic films, photographic papers and the like using silver halide grains can be used. The fixing solution used in the fixing process may use sodium thiosulfate, potassium thiosulfate, ammonium thiosulfate, or the like as a fixing agent. Aluminum sulfate, chromium sulfate, or the like can be used as a hardener for fixing. As the fixing agent preservative, sodium sulfite, potassium sulfite, ascorbic acid, erythorbic acid and the like described in the developing solution can be used, and citric acid, oxalic acid, and the like can be used.

本発明に使用する水洗水には、防黴剤としてN−メチル−イソチアゾール−3−オン、N−メチル−イソチアゾール−5−クロロ−3−オン、N−メチル−イソチアゾール−4,5−ジクロロ−3−オン、2−ニトロ−2−ブロム−3−ヒドロキシプロパノール、2−メチル−4−クロロフェノール、過酸化水素等を使用することができる。   The washing water used in the present invention includes N-methyl-isothiazol-3-one, N-methyl-isothiazol-5-chloro-3-one, and N-methyl-isothiazole-4,5 as antifungal agents. -Dichloro-3-one, 2-nitro-2-bromo-3-hydroxypropanol, 2-methyl-4-chlorophenol, hydrogen peroxide and the like can be used.

(補力処理、物理現像処理)
本発明においては、上述の現像処理によって形成された現像銀同士の接触を補助し、導電性を高めるために補力処理を行うことが好ましい。本発明において補力処理とは、現像処理中、あるいは処理後に予めハロゲン化銀感光材料中に含有されていない導電性物質源を外部から供給し、導電性を高める処理のことを指し、具体的な方法としては、例えば、物理現像、あるいはめっき処理等を挙げることができる。
(Reinforcement processing, physical development processing)
In the present invention, in order to assist the contact between the developed silvers formed by the above-described development process and to increase the conductivity, it is preferable to perform a reinforcement process. In the present invention, the intensifying process refers to a process in which a conductive substance source not contained in the silver halide photosensitive material is supplied from the outside during the development process or after the process to increase the conductivity. Examples of such a method include physical development or plating treatment.

物理現像は、潜像を有するハロゲン化銀乳剤を含有するハロゲン化銀感光材料を、銀イオンあるいは銀錯イオンと還元剤を含有する処理液に浸漬することでこれを施すことができる。   Physical development can be performed by immersing a silver halide photosensitive material containing a silver halide emulsion having a latent image in a processing solution containing silver ions or silver complex ions and a reducing agent.

本発明においては、物理現像の現像開始点が潜像核だけでなく、現像銀が物理現像開始点となった場合についても物理現像と定義し、これを好ましく用いることができる。   In the present invention, physical development is defined not only when the development start point of physical development is the latent image nucleus but also when developed silver is the physical development start point, and this can be preferably used.

本発明において、最も好ましい現像処理工程としては、化学現像処理(黒白現像処理)、定着処理、物理現像処理の順からなるものである。   In the present invention, the most preferable development processing step includes chemical development processing (black and white development processing), fixing processing, and physical development processing in this order.

(めっき処理)
本発明において、めっき処理には従来公知の種々のめっき方法を用いることができ、例えば電解めっき及び無電解めっきを単独、あるいは組み合わせて実施することができる。中でも、めっき金属の選択性、めっき速度の調整、めっき強度に優れた電解めっきを本発明では好ましく用いることができる。無電解めっきの場合は、電流分布ムラによるめっきムラが発生しないという長所を有する。めっきに用いることができる金属としては、例えば、銅、ニッケル、コバルト、すず、銀、金、白金、その他各種合金を用いることができる。めっき処理が比較的容易であり、かつ高い導電性を得やすいという観点から、銅電解めっきを用いることが特に好ましい。
(Plating treatment)
In the present invention, various conventionally known plating methods can be used for the plating treatment. For example, electrolytic plating and electroless plating can be carried out alone or in combination. Among them, electrolytic plating excellent in selectivity of plating metal, adjustment of plating speed, and plating strength can be preferably used in the present invention. In the case of electroless plating, there is an advantage that uneven plating due to uneven current distribution does not occur. As a metal that can be used for plating, for example, copper, nickel, cobalt, tin, silver, gold, platinum, and other various alloys can be used. It is particularly preferable to use copper electrolytic plating from the viewpoint that the plating treatment is relatively easy and high conductivity is easily obtained.

なお、上記処理は現像中、現像後定着前、定着処理後のいずれのタイミングにおいても実施可能であるが、フィルムの透明性を高く維持するという観点から、定着処理後に実施することが好ましい。   The above processing can be performed during development, at any timing after development, before fixing, and after fixing processing. However, from the viewpoint of maintaining high transparency of the film, it is preferably performed after the fixing processing.

本発明において、物理現像または金属めっきにより付与された金属量が、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理することにより得られた現像銀に対して、質量換算で10倍以上、100倍以下である態様が好ましい。この値は、物理現像または金属めっきを施す前後において、ハロゲン化銀感光材料中に含有される金属を、例えば蛍光X線分析等で定量することによって求めることができる。物理現像または金属めっきにより付与された金属量が、ハロゲン化銀感光材料を露光、現像処理することにより得られた現像銀に対して、質量換算で10倍未満である場合、導電性がやや低下する傾向となりやすく、また、100倍より大きい場合には、導電性メッシュパターン部以外の不要な部分への金属析出による透過率の低下が生じやすい傾向となる。なお、本発明においては物理現像及び金属めっきの両方の処理を施すことが好ましい。   In the present invention, the amount of metal applied by physical development or metal plating is 10 times or more and 100 times or less in terms of mass relative to developed silver obtained by exposing and developing a silver halide photosensitive material. Some embodiments are preferred. This value can be determined by quantifying the metal contained in the silver halide photosensitive material by, for example, fluorescent X-ray analysis before and after physical development or metal plating. When the amount of metal applied by physical development or metal plating is less than 10 times in terms of mass relative to developed silver obtained by exposing and developing a silver halide photosensitive material, the conductivity is slightly reduced. If the ratio is larger than 100 times, the transmittance tends to decrease due to metal deposition on unnecessary portions other than the conductive mesh pattern portion. In the present invention, it is preferable to perform both physical development and metal plating.

本発明は、支持体を有するハロゲン化銀感光材料を露光し、現像処理を施すことによって金属銀メッシュ部を形成し、さらに該金属銀メッシュ部に銅めっき処理を施して高導電性メッシュ部を形成させる電磁波シールドフィルムの製造方法において、該銅めっきに用いる硫酸銅が、鉄(Fe)含有率が100ppm以下である精製硫酸銅を用いる製造方法によって、本発明の効果が発揮されることを見出したものである。   In the present invention, a silver halide photosensitive material having a support is exposed and developed to form a metallic silver mesh portion, and the metallic silver mesh portion is further subjected to copper plating to form a highly conductive mesh portion. In the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film to be formed, the copper sulfate used for the copper plating is found to exhibit the effects of the present invention by a manufacturing method using purified copper sulfate having an iron (Fe) content of 100 ppm or less. It is a thing.

銅めっき用の硫酸銅として市販されているものには、不純物として銅以外の金属塩を含むものが多く、電気関係部品等の一般銅めっき用途としては問題ないレベルと言えるが、本発明のような微細な電磁波シールドメッシュを有する電磁波シールドフィルムであって、なおかつハロゲン化銀感光材料の露光、現像処理によって形成された金属銀メッシュの上に銅めっきするような場合は、かかる不純物が品質に大きく影響することを見出した。   Many commercially available copper sulfates for copper plating contain metal salts other than copper as impurities, which can be said to be a problem-free level for general copper plating applications such as electrical parts. In the case of an electromagnetic wave shielding film having a fine electromagnetic wave shielding mesh and copper plating on a metallic silver mesh formed by exposure and development processing of a silver halide photosensitive material, such impurities are large in quality. I found out that it affected.

特に、硫酸銅中のFe含有率は、Cuに対して50ppm以下であることが好ましく、5ppm以下であることが特に好ましい。また、硫酸銅中のケイ素(Si)含有率は、Cuに対して20ppm以下であることが好ましく、5ppm以下であることが特に好ましい。これらの不純物を低減することによって、めっき処理工程で発生するスポット欠陥を低減させることができることを見出した。   In particular, the Fe content in copper sulfate is preferably 50 ppm or less and particularly preferably 5 ppm or less with respect to Cu. Moreover, it is preferable that it is 20 ppm or less with respect to Cu, and, as for the silicon (Si) content rate in copper sulfate, it is especially preferable that it is 5 ppm or less. It has been found that spot defects generated in the plating process can be reduced by reducing these impurities.

硫酸銅中のCa、Mgの少なくとも1方の含有率が、Cuに対して5ppm以下であることが好ましく、1ppm以下であることが特に好ましい。これらの不純物を低減することによって、めっき処理工程で発生するめっきムラを低減させることができることを見出した。   The content of at least one of Ca and Mg in the copper sulfate is preferably 5 ppm or less and particularly preferably 1 ppm or less with respect to Cu. It has been found that by reducing these impurities, plating unevenness generated in the plating process can be reduced.

かかる状況から、本発明に用いる硫酸銅としては、純度99.9%以上、好ましくは純度99.99%以上の高純度硫酸銅を用いるのがよく、他の金属塩は数ppm以下であることが特に好ましい。   Under such circumstances, as the copper sulfate used in the present invention, it is preferable to use high-purity copper sulfate having a purity of 99.9% or more, preferably 99.99% or more, and other metal salts are several ppm or less. Is particularly preferred.

さらに本発明においては、前記硫酸銅を用いた銅めっき液が、Cuに対して0.1〜100ppmの銀(Ag)を含有することによって、めっき処理工程で発生するめっき層はがれやメッシュの経時での変色を低減させることができることを見出した。   Furthermore, in this invention, when the copper plating solution using the said copper sulfate contains 0.1-100 ppm of silver (Ag) with respect to Cu, the plating layer which generate | occur | produces at a metal-plating process and peeling of a mesh are carried out. It has been found that discoloration can be reduced.

本発明では、かかる銅めっき液は、無電解銅めっきにも適用できるが、電解銅めっきで特に効果が大きいことを見出した。   In the present invention, the copper plating solution can be applied to electroless copper plating, but has been found to be particularly effective in electrolytic copper plating.

本発明においては、電磁波シールドフィルムが幅50cm以上の長尺ロール状で連続生産される際に、すなわち連続生産に関わる連続電解銅めっきでの不純物や銀含有率をコントロールすることによって、特に効果を発揮する。   In the present invention, when the electromagnetic wave shielding film is continuously produced in the form of a long roll having a width of 50 cm or more, that is, by controlling impurities and silver content in continuous electrolytic copper plating related to continuous production, the effect is particularly effective. Demonstrate.

本発明においては、金属銀メッシュ部に銀以外の金属めっき処理を施して高導電性メッシュ部を形成した電磁波シールドフィルムにおいて、該金属めっき被覆表面に金属銀が存在していることによって、本発明の効果を有することを見出した。また、金属めっき被覆表面に存在する金属銀は、微粒子状である時に効果が大きい。   In the present invention, in the electromagnetic wave shielding film in which the metal silver mesh portion is subjected to metal plating treatment other than silver to form a highly conductive mesh portion, the presence of metal silver on the surface of the metal plating coating allows the present invention to It was found to have the effect of. Further, the metallic silver present on the surface of the metal plating coating is highly effective when it is in the form of fine particles.

銅めっき被覆表面に金属銀が存在していることは、メッシュ表面を電子顕微鏡を用いた蛍光X線分析により、微細部分の金属分析を行うことによって検出できる。   The presence of metallic silver on the surface of the copper plating coating can be detected by conducting a metal analysis on a fine portion of the mesh surface by fluorescent X-ray analysis using an electron microscope.

金属めっき被覆表面に金属銀を存在させるには、めっき液に銀イオンを少量添加することによって達成できる。めっき液中の銀イオン濃度は、めっき金属イオンに対して0.1〜100ppmの範囲の時に、本発明の効果が顕著であった。   The presence of metallic silver on the surface of the metal plating coating can be achieved by adding a small amount of silver ions to the plating solution. The effect of the present invention was remarkable when the silver ion concentration in the plating solution was in the range of 0.1 to 100 ppm relative to the plating metal ions.

例えば、銅電解めっきの場合、銀を少量添加した銅めっき液を用いて、現像処理済みの現像銀を銅めっきすると、そのメッシュ線の断面図において、基体となる現像銀と、それを覆うように形成されている銅めっき部分と、その中間に銀−銅混晶部分と思われる層を検出できた。この混晶部分が存在すると、現像銀と銅めっきの接着が強くてはがれにくく、導電性も高い傾向があることが分かった。   For example, in the case of copper electrolytic plating, when a developed silver that has been subjected to development treatment is copper-plated using a copper plating solution to which a small amount of silver has been added, the developed silver serving as a base is covered with a cross-sectional view of the mesh line. The copper plating part currently formed in this, and the layer considered to be a silver-copper mixed crystal part in the middle were able to be detected. When this mixed crystal portion was present, it was found that the adhesion between developed silver and copper plating is strong and difficult to peel off, and the conductivity tends to be high.

(酸化処理)
本発明においては、現像処理あるいは物理現像またはめっき処理後に酸化処理を行うこが好ましい。酸化処理により、不要な金属成分をイオン化して溶解除去することが可能となり、フィルムの透過率をより高めることが可能となる。
(Oxidation treatment)
In the present invention, it is preferable to carry out an oxidation treatment after the development treatment, physical development or plating treatment. By the oxidation treatment, unnecessary metal components can be ionized and dissolved and removed, and the transmittance of the film can be further increased.

酸化処理に用いる処理液としては、例えばFe(III)イオンを含む水溶液を用いて処理する方法、あるいは過酸化水素、過硫酸塩、過硼酸塩、過燐酸塩、過炭酸塩、過ハロゲン酸塩、次亜ハロゲン酸塩、ハロゲン酸塩、有機過酸化物等の過酸化物を含む水溶液を用いて処理する方法等、従来公知の酸化剤を含有する処理液を用いることができる。酸化処理は、現像処理終了後から、めっき処理前の間に行われる態様が、短時間処理で効率的に透過率向上を行うことができるため好ましい態様であり、特に好ましくは、物理現像終了後に行う態様である。   As the treatment liquid used for the oxidation treatment, for example, a treatment method using an aqueous solution containing Fe (III) ions, or hydrogen peroxide, persulfate, perborate, perphosphate, percarbonate, perhalogenate. A treatment solution containing a conventionally known oxidant such as a method of treating with an aqueous solution containing a peroxide such as a hypohalite, a halogenate, or an organic peroxide can be used. The oxidation process is preferably performed after the development process and before the plating process because the transmittance can be improved efficiently in a short time, and particularly preferably after the physical development. This is the mode to be performed.

(黒化処理)
本発明においては、電磁波シールドフィルム表面での外光反射を防止するという観点から、金属メッシュ表面の黒化処理を施すことが好ましい。このような黒化処理を施した透明電磁波シールドフィルムを、例えばPDP等のディスプレイに用いた場合、外光反射によるコントラストの低下を軽減できるとともに、非使用時の画面の色調を黒く高品位に保つことができ好ましい。黒化処理の方法としては、特に制限はなく、既知の手法を適宜、単独あるいは組み合わせて用いることができる。例えば導電性パターンの最表面が金属銅から成る場合には、亜塩素酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、リン酸三ナトリウムを含んでなる水溶液に浸漬して酸化処理する方法、あるいはピロリン酸銅、ピロリン酸カリウム、アンモニアを含んで成る水溶液に浸漬し、電解めっきを行うことにより、黒化処理する方法等を好ましく用いることができる。また、導電性パターンの最表層がニッケル−リン合金被膜から成る場合は、塩化銅(II)または硫酸銅(II)、塩化ニッケルまたは硫酸ニッケル、及び塩酸を含有する酸性黒化処理液中に浸漬する方法を好ましく用いることができる。
(Blackening treatment)
In the present invention, it is preferable to perform a blackening treatment on the surface of the metal mesh from the viewpoint of preventing external light reflection on the surface of the electromagnetic wave shielding film. When such a blackened transparent electromagnetic wave shielding film is used for a display such as a PDP, for example, it is possible to reduce a decrease in contrast due to reflection of external light, and to maintain a high-quality black tone when not in use. Can be preferable. The blackening treatment method is not particularly limited, and known methods can be used alone or in combination as appropriate. For example, when the outermost surface of the conductive pattern is made of metallic copper, a method of oxidizing by immersing in an aqueous solution containing sodium chlorite, sodium hydroxide, or trisodium phosphate, or copper pyrophosphate or pyrophosphoric acid A method of blackening by dipping in an aqueous solution containing potassium and ammonia and performing electrolytic plating can be preferably used. If the outermost layer of the conductive pattern is made of a nickel-phosphorus alloy coating, immerse it in an acidic blackening solution containing copper (II) chloride or copper (II) sulfate, nickel chloride or nickel sulfate, and hydrochloric acid. The method to do can be used preferably.

また、上述の方法以外にも、表面を微粗面化する方法によっても黒化処理が可能であるが、高い導電性を維持するという観点からは、表面の微粗面化よりも、酸化による黒化処理の方法が好ましい。   In addition to the above-described method, the blackening treatment can be performed by a method of finely roughening the surface. However, from the viewpoint of maintaining high conductivity, oxidation is more effective than finer roughening of the surface. A blackening treatment method is preferred.

(近赤外線吸収層)
本発明の電磁波シールドフィルムを、例えば、プラズマディスプレイパネル(PDP)用の光学フィルタと組み合わせて使う場合には、ハロゲン化銀感光性層の下に近赤外吸収染料を含む層である近赤外線吸収層を設けることも好ましい。場合によっては近赤外線吸収層を支持体に対して、ハロゲン化銀粒子層のある側の反対側に設けることもできるし、ハロゲン化銀粒子層側と反対側の両方に設けてもよい。ハロゲン化銀を含むハロゲン化銀粒子層と支持体との間に近赤外線吸収層を設けること、あるいは、ハロゲン化銀粒子層からみて支持体の反対側に近赤外線吸収層を設けることができるが、支持体の一方側にすると同時に塗布ができるので前者の方が好ましい。
(Near-infrared absorbing layer)
When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used in combination with, for example, an optical filter for a plasma display panel (PDP), near infrared absorption, which is a layer containing a near infrared absorbing dye under the silver halide photosensitive layer. It is also preferred to provide a layer. In some cases, the near-infrared absorbing layer may be provided on the opposite side of the support to the silver halide grain layer side, or may be provided on both the silver halide grain layer side and the opposite side. A near-infrared absorbing layer can be provided between the silver halide grain layer containing silver halide and the support, or a near-infrared absorbing layer can be provided on the opposite side of the support as viewed from the silver halide grain layer. The former is preferred because it can be applied simultaneously with one side of the support.

近赤外線吸収染料の具体例としては、ポリメチン系、フタロシアニン系、ナフタロシアニン系、金属錯体系、アミニウム系、イモニウム系、ジイモニウム系、アンスラキノン系、ジチオール金属錯体系、ナフトキノン系、インドールフェノール系、アゾ系、トリ、アリルメタン系の化合物等が挙げられる。PDP用光学フィルタで近赤外線吸収能が要求されるのは、主として熱線吸収や電子機器のノイズ防止である。このためには、最大吸収波長が750〜1100nmである近赤外線吸収能を有する色素が好ましく、金属錯体系、アミニウム系、フタロシアニン系、ナフタロシアニン系、ジイモニウム系、スクワリウム化合物系が特に好ましい。   Specific examples of near-infrared absorbing dyes include polymethine, phthalocyanine, naphthalocyanine, metal complex, aminium, imonium, diimonium, anthraquinone, dithiol metal complex, naphthoquinone, indolephenol, azo System, tri, and allylmethane compounds. The PDP optical filter is required to have near-infrared absorptivity mainly for absorption of heat rays and noise prevention of electronic devices. For this purpose, a dye having a near-infrared absorbing ability having a maximum absorption wavelength of 750 to 1100 nm is preferable, and a metal complex, aminium, phthalocyanine, naphthalocyanine, diimonium, and squalium compound are particularly preferable.

近赤外線吸収染料としては、ジイモニウム化合物は、IRG−022、IRG−040(以上、日本化薬株式会社製商品名)、ニッケルジチオール錯体化合物は、SIR−128、SIR−130、SIR−132、SIR−159、SIR−152、SIR−162(以上、三井化学株式会社製商品名)、フタロシアニン系化合物は、IR−10、IR−12(以上、日本触媒株式会社商品名)等の市販品を利用することができる。   As a near-infrared absorbing dye, diimonium compounds are IRG-022, IRG-040 (above, trade names manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), nickel dithiol complex compounds are SIR-128, SIR-130, SIR-132, SIR. -159, SIR-152, SIR-162 (above, trade names manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) and phthalocyanine compounds are commercially available products such as IR-10, IR-12 (above, trade names of Nippon Shokubai Co., Ltd.). can do.

本発明の電磁波シールドフィルムを、例えば、プラズマディスプレイパネル(PDP)用の光学フィルタと組み合わせて使う場合には、PDPに用いられるネオンガスの輝線発光行による色再現性の低下を防ぐためにこの対策として595nm付近の光を吸収する色素を含有する態様が好ましい。このような特定波長を吸収する色素としては、具体的には例えば、アゾ系、縮合アゾ系、フタロシアニン系、アンスラキノン系、インジゴ系、ペリノン系、ペリレン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、メチン系、イソインドリノン系、キノフタロン系、ピロール系、チオインジゴ系、金属錯体系等の周知の有機顔料及び有機染料、無機顔料が挙げられる。これらの中でも、耐候性が良好であることから、フタロシアニン系、アンスラキノン系色素が特に好ましく用いられる。   When the electromagnetic shielding film of the present invention is used in combination with, for example, an optical filter for a plasma display panel (PDP), for example, 595 nm is used as a countermeasure to prevent a decrease in color reproducibility due to emission lines of neon gas emission lines used in PDP. The aspect containing the pigment | dye which absorbs near light is preferable. Specific examples of the dye that absorbs such a specific wavelength include, for example, azo, condensed azo, phthalocyanine, anthraquinone, indigo, perinone, perylene, dioxazine, quinacridone, methine, Well-known organic pigments and organic dyes such as isoindolinone-based, quinophthalone-based, pyrrole-based, thioindigo-based, and metal complex-based materials, and inorganic pigments may be mentioned. Among these, phthalocyanine-based and anthraquinone-based dyes are particularly preferably used because of good weather resistance.

(紫外線吸収層)
本発明においては、電磁波シールドフィルムの紫外線による劣化を避けるために、極大吸収波長350nm未満の紫外線吸収剤を使用することが好ましい。
(UV absorbing layer)
In the present invention, it is preferable to use an ultraviolet absorber having a maximum absorption wavelength of less than 350 nm in order to avoid deterioration of the electromagnetic wave shielding film due to ultraviolet rays.

紫外線吸収剤としては、公知の紫外線吸収剤、例えばサリチル酸系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、S−トリアジン系化合物、環状イミノエステル系化合物等を好ましく使用することができる。これらの中、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、環状イミノエステル系化合物が好ましい。ポリエステルに配合するものとしては、特に環状イミノエステル系化合物が好ましい。これら紫外線吸収剤の添加層については特に制限はないが、ハロゲン化銀感光性層(メッシュパターン層)に用いられるバインダーの紫外線による劣化を防止するという観点から、ハロゲン化銀感光性層への添加、あるいは該層よりも光源側に設けられる態様が好ましい。   As the ultraviolet absorber, known ultraviolet absorbers such as salicylic acid compounds, benzophenone compounds, benzotriazole compounds, S-triazine compounds, cyclic imino ester compounds and the like can be preferably used. Of these, benzophenone compounds, benzotriazole compounds, and cyclic imino ester compounds are preferred. As what is blended with the polyester, a cyclic imino ester compound is particularly preferable. There are no particular restrictions on the layer added to these ultraviolet absorbers, but from the viewpoint of preventing the binder used in the silver halide photosensitive layer (mesh pattern layer) from being deteriorated by ultraviolet rays, it is added to the silver halide photosensitive layer. Or the aspect provided in the light source side rather than this layer is preferable.

好ましい紫外線吸収剤としてはベンゾトリアゾール類が挙げられ、例えば特開平1−250944号公報記載の一般式[III−3]で示される化合物、特開昭64−66646号公報記載の一般式[III]で示される化合物、特開昭63−187240号公報記載のUV−1L〜UV−27L、特開平4−1633号公報記載の一般式[I]で示される化合物、特開平5−165144号公報記載の一般式(I)、(II)で示される化合物等が好ましく用いられる。   Preferred ultraviolet absorbers include benzotriazoles, for example, compounds represented by general formula [III-3] described in JP-A-1-250944, and general formula [III] described in JP-A 64-66646. A compound represented by general formula [I] described in JP-A No. 63-187240, UV-1L to UV-27L described in JP-A No. 63-187240, JP-A No. 4-1633, and JP-A No. 5-165144 The compounds represented by the general formulas (I) and (II) are preferably used.

これらの紫外線吸収剤は、例えばジオクチルフタレート、ジ−i−デシルフタレート、ジブチルフタレート等のフタル酸エステル類、トリクレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート等の燐酸エステル類等に代表される高沸点有機溶媒に分散して添加することが好ましい。また、これらの紫外線吸収剤を支持体中に直接添加する態様も好ましく用いられ、この場合、例えば特表2004−531611号に記載されたような態様も好ましく用いることができる。   These ultraviolet absorbers are used in, for example, high-boiling organic solvents represented by phthalates such as dioctyl phthalate, di-i-decyl phthalate, and dibutyl phthalate, and phosphate esters such as tricresyl phosphate and trioctyl phosphate. It is preferable to add in a dispersed manner. Moreover, the aspect which adds these ultraviolet absorbers directly to a support body is also used preferably, In this case, the aspect as described, for example in Japanese translations of PCT publication No. 2004-531611 can also be used preferably.

(反射防止層)
本発明の電電磁波シールドフィルムを、ディスプレイ画面の保護等を目的として用いる場合には、反射防止層を設けることが好ましい。
(Antireflection layer)
When the electromagnetic wave shielding film of the present invention is used for the purpose of protecting a display screen or the like, it is preferable to provide an antireflection layer.

反射防止機能を有する層は、屈折率の異なる複数の光透過性層からなることが好ましく、無機微粒子を含有した高屈折率層、中屈折率層、低屈折率層から構成されることがより好ましい。屈折率の異なる層はそれぞれに含有される無機微粒子の種類、粒径、添加量、樹脂バインダーの種類等によって調整される。高屈折率層の屈折率は1.55〜2.30であることが好ましく、1.57〜2.20であることがさらに好ましい。中屈折率層の屈折率は、基材フィルムの屈折率と高屈折率層の屈折率との中間の値となるように調整する。中屈折率層の屈折率は1.55〜1.80であることが好ましい。低屈折率層の屈折率は1.46以下が好ましく、特に1.3〜1.45であることが望ましい。   The layer having an antireflection function is preferably composed of a plurality of light-transmitting layers having different refractive indexes, and is preferably composed of a high refractive index layer, a medium refractive index layer, and a low refractive index layer containing inorganic fine particles. preferable. The layers having different refractive indexes are adjusted according to the kind of inorganic fine particles contained therein, the particle diameter, the added amount, the kind of resin binder, and the like. The refractive index of the high refractive index layer is preferably 1.55 to 2.30, and more preferably 1.57 to 2.20. The refractive index of the medium refractive index layer is adjusted so as to be an intermediate value between the refractive index of the base film and the refractive index of the high refractive index layer. The refractive index of the middle refractive index layer is preferably 1.55 to 1.80. The refractive index of the low refractive index layer is preferably 1.46 or less, and particularly preferably 1.3 to 1.45.

反射防止層としては、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、ホウ化物、炭化物、窒化物、硫化物等の無機物を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法等で単層あるいは多層に薄膜積層させる方法、アクリル樹脂、フッ素樹脂等の屈折率の異なる樹脂を単層あるいは多層に薄膜積層させる方法等を用いることができる。   As the antireflection layer, inorganic materials such as metal oxides, fluorides, silicides, borides, carbides, nitrides, sulfides, etc., can be used by vacuum deposition, sputtering, ion plating, ion beam assist, etc. A method of laminating a thin film in a layer or a multilayer, a method of laminating a resin having a different refractive index such as an acrylic resin or a fluororesin into a single layer or a multilayer can be used.

本発明において、導電性パターンを有する層に対して該電磁波シールドフィルムの支持体を挟んだ反対側に反射防止層を形成する場合には、まず最初に反射防止層を形成した後に、プロテクトフィルムを貼り合わせ、その後導電性パターン層を形成する態様が好ましい。導電性パターンを先に形成した後に反射防止層を形成する場合、反射防止層と支持体の接着性を向上させるために行うプラズマ処理やコロナ処理の効率が低下しやすい傾向にあるため、反射防止層を最初に形成する態様が好ましい。また、反射防止層を先に形成した場合、該層が現像及びめっき処理等により劣化することを防止するという観点から、予めプロテクトフィルムを貼り合わせた後、導電性パターン層を形成する態様が好ましい。   In the present invention, when the antireflection layer is formed on the opposite side of the layer having the conductive pattern with the support of the electromagnetic wave shielding film interposed therebetween, the protective film is first formed after the antireflection layer is first formed. An embodiment in which the conductive pattern layer is formed after pasting is preferable. When the antireflection layer is formed after the conductive pattern is formed first, the efficiency of the plasma treatment and corona treatment performed to improve the adhesion between the antireflection layer and the support tends to be reduced. The embodiment in which the layer is formed first is preferred. In addition, when the antireflection layer is formed first, from the viewpoint of preventing the layer from being deteriorated by development, plating treatment, or the like, a mode in which a conductive pattern layer is formed after pasting a protective film in advance is preferable. .

本発明において用いられるプロテクトフィルムは、一般的に市販されているプロテクトフィルムを用いることができるが、導電性パターン形成のためのハロゲン化銀乳剤層を塗工しやすくするという観点から、フィルムの厚さは10〜100μmが好ましく、特に好ましくは20〜60μmである。10μm未満の場合、フィルムの剛性が著しく低下するためプロテクトフィルムの貼合せの作業効率が低下しやすく、また100μmより厚い場合、フィルムの巻き取り時に巻き取り皺等の故障が発生しやすくなるためである。   As the protective film used in the present invention, a commercially available protective film can be used. From the viewpoint of facilitating coating of a silver halide emulsion layer for forming a conductive pattern, the thickness of the film The thickness is preferably 10 to 100 μm, particularly preferably 20 to 60 μm. If the thickness is less than 10 μm, the rigidity of the film is remarkably reduced, so that the work efficiency of the protection film is likely to be lowered. If the thickness is more than 100 μm, a failure such as a winding reel tends to occur when the film is wound. is there.

プロテクトフィルムに用いられる粘着剤の種類には特に制限はないが、反射防止フィルムを変質させることなく、また剥離時に反射防止フィルムにダメージを与えないものが好ましく用いられる。このような観点から、アクリル系、またはシリコーン系の粘着剤が好ましく用いられる。また、その粘着力としては、0.08〜0.6N/25mmであるものが好ましく用いられる。   Although there is no restriction | limiting in particular in the kind of adhesive used for a protective film, The thing which does not damage an antireflection film at the time of peeling, without altering an antireflection film is used preferably. From such a viewpoint, an acrylic or silicone adhesive is preferably used. Moreover, as the adhesive force, what is 0.08-0.6N / 25mm is used preferably.

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「%」あるいは「ppm」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量%」あるいは「質量ppm」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, although the display of "%" or "ppm" is used in an Example, unless otherwise indicated, "mass%" or "mass ppm" is represented.

実施例1
(ハロゲン化銀乳剤の調製)
硝酸銀水溶液と、臭化カリウム及び塩化ナトリウム水溶液とを、35℃のゼラチン水溶液中へ制御しながら添加混合して、塩臭化銀乳剤(臭化銀10モル%、塩化銀90モル%)を調製した。この乳剤中には臭化ロジウム酸カリウム及び塩化イリジウム酸カリウムを濃度が1.0×10-7(モル/モル銀)になるように添加し、RhイオンとIrイオンをドープした。また、銀/ゼラチン質量比は4/1(銀/ゼラチン体積比は約0.5)とし、ゼラチン種としては平均分子量4万のアルカリ処理型低分子量ゼラチンを用いた。平均粒径は0.04μm、粒径分布の変動係数は0.13であった。
Example 1
(Preparation of silver halide emulsion)
A silver chlorobromide emulsion (10 mol% silver bromide, 90 mol% silver chloride) was prepared by adding and mixing an aqueous silver nitrate solution and an aqueous potassium bromide and sodium chloride solution while controlling the solution to an aqueous gelatin solution at 35 ° C. did. In this emulsion, potassium rhodium bromide and potassium chloroiridate were added to a concentration of 1.0 × 10 −7 (mol / mol silver), and Rh ions and Ir ions were doped. The silver / gelatin mass ratio was 4/1 (silver / gelatin volume ratio was about 0.5), and an alkali-treated low molecular weight gelatin having an average molecular weight of 40,000 was used as the gelatin species. The average particle size was 0.04 μm, and the variation coefficient of the particle size distribution was 0.13.

その後、チオ硫酸ナトリウムをハロゲン化銀1モル当たり2.0mg用い、40℃にて80分間化学増感を行い、化学増感終了後に4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデンをハロゲン化銀1モル当たり500mg添加して、さらに、下記増感色素SD−1をハロゲン化銀1モル当たり500mg添加して、ハロゲン化銀乳剤を得た。   Thereafter, 2.0 mg of sodium thiosulfate per mol of silver halide was used for chemical sensitization at 40 ° C. for 80 minutes, and after completion of chemical sensitization, 4-hydroxy-6-methyl-1,3,3a, 7- The silver halide emulsion was obtained by adding 500 mg of tetrazaindene per mole of silver halide and further adding 500 mg of the following sensitizing dye SD-1 per mole of silver halide.

Figure 2008288305
Figure 2008288305

(支持体)
両面にプラズマ放電処理を施した、厚さ120μm、幅60cm、長さ120mの透明ポリエチレンテレフタレートフィルム支持体の一方の側に、ブチルアクリレート:スチレン:グリシジルアクリレート(40:20:40%)ラテックスが0.40g/m2、ヘキサメチレン−1,6−ビス(エチレンウレア)が0.01g/m2となるように塗布して、下塗り層を設けた。その一方の側に、非感光性中間層として、ゼラチンを0.20g/m2塗布した。
(Support)
0% butyl acrylate: styrene: glycidyl acrylate (40: 20: 40%) latex is applied to one side of a transparent polyethylene terephthalate film support having a thickness of 120 μm, a width of 60 cm, and a length of 120 m. .40 g / m 2 , hexamethylene-1,6-bis (ethylene urea) was applied so as to be 0.01 g / m 2 to provide an undercoat layer. On one side, 0.20 g / m 2 of gelatin was applied as a non-photosensitive intermediate layer.

さらに他方の側に、非感光性中間層として、ゼラチンを0.20g/m2塗布した。 Further, 0.20 g / m 2 of gelatin was coated on the other side as a non-photosensitive intermediate layer.

(ハロゲン化銀感光性層の塗布)
前記のハロゲン化銀乳剤に、塗布助剤として、界面活性剤(スルホ琥珀酸ジ・2−エチルヘキシル・ナトリウム)を添加して表面張力を調整し、硬膜剤(テトラキス・ビニルスルホニルメチル・メタン)をゼラチン1g当たり50mgとなるようにして添加し、前記非感光性中間層の上に、銀塗布量0.60g/m2、及びゼラチン塗布量0.15g/m2となるように、速度20m/分で塗布を行って乾燥し、ロール状のハロゲン化銀感光材料を作製した。
(Coating of silver halide photosensitive layer)
To the above silver halide emulsion, a surfactant (disulfo oxalate, 2-ethylhexyl, sodium) is added as a coating aid to adjust the surface tension, and a hardener (tetrakis, vinylsulfonylmethyl, methane). Is added at a rate of 20 m so that the silver coating amount is 0.60 g / m 2 and the gelatin coating amount is 0.15 g / m 2. The coating was carried out at a speed of / min and dried to prepare a roll-shaped silver halide photosensitive material.

(露光)
このようにして得られたハロゲン化銀感光材料に対して、図1のようなメッシュパターンの露光を行なった。メッシュ部は、線幅が10μm、線間隔が240μmの格子状で、格子線がロールの長手方向に対して45度の角度をもって形成される。
(exposure)
The silver halide photosensitive material thus obtained was exposed with a mesh pattern as shown in FIG. The mesh portion has a lattice shape with a line width of 10 μm and a line interval of 240 μm, and the lattice lines are formed at an angle of 45 degrees with respect to the longitudinal direction of the roll.

これらの電磁波シールドメッシュパターンを、発振波長440nmのレーザー光(日亜化学(株)製の青色半導体レーザーダイオード)を用いて、ハロゲン化銀感光材料を連続搬送しながら露光を行った。   These electromagnetic wave shielding mesh patterns were exposed using a laser beam having an oscillation wavelength of 440 nm (blue semiconductor laser diode manufactured by Nichia Corporation) while continuously conveying the silver halide photosensitive material.

(現像処理)
露光済みの試料について、図2に示すような幅60cmのリーダーベルト搬送方式の、自動現像処理・物理現像・めっき統合機を用い、下記現像液を用いて25℃で60秒間現像処理を行った後、下記定着液を用いて、25℃で120秒間の定着処理を行い、ついで水洗処理を行った。さらに、下記物理現像液を用いて、25℃5分間の物理現像を行い、ついで水洗処理を行った後、下記銅めっき液にて、2.5A/cm2で25℃5分間の電解めっきを行って、水洗した。最後に60℃温風にて乾燥し、長尺ロール状の電磁波シールドフィルム試料101〜107を作製した。
(Development processing)
The exposed sample was subjected to development processing at 25 ° C. for 60 seconds using the following developing solution using an automatic development processing / physical development / plating integrated machine of a leader belt conveyance system having a width of 60 cm as shown in FIG. Thereafter, using the following fixing solution, a fixing process was performed at 25 ° C. for 120 seconds, followed by a water washing process. Furthermore, after performing physical development at 25 ° C. for 5 minutes using the following physical developer, followed by washing with water, electrolytic plating at 25 ° C. for 5 minutes at 2.5 A / cm 2 with the following copper plating solution. Went and washed with water. Finally, it dried with 60 degreeC warm air, and produced the elongate roll-shaped electromagnetic wave shielding film samples 101-107.

(現像液)
純水 500ml
メトール 2g
無水亜硫酸ナトリウム 80g
ハイドロキノン 4g
ホウ砂 4g
チオ硫酸ナトリウム 10g
臭化カリウム 0.5g
水を加えて全量を1リットルとする
(定着液)
純水 750ml
チオ硫酸ナトリウム 250g
無水亜硫酸ナトリウム 15g
氷酢酸 15ml
カリミョウバン 15g
水を加えて全量を1リットルとする
(物理現像液)
純水 800ml
クエン酸 5g
ハイドロキノン 7g
硝酸銀 3g
水を加えて全量を1リットルとする
(銅めっき液)
硫酸銅 125g
硫酸 85g
ポリエチレングリコール 0.1g
1mol/L塩酸 2.0ml
水を加えて全量を1リットルとする。
(Developer)
500 ml of pure water
Metol 2g
80 g of anhydrous sodium sulfite
Hydroquinone 4g
4g borax
Sodium thiosulfate 10g
Potassium bromide 0.5g
Add water to bring the total volume to 1 liter (fixing solution)
750 ml of pure water
Sodium thiosulfate 250g
Anhydrous sodium sulfite 15g
Glacial acetic acid 15ml
Potash alum 15g
Add water to make 1 liter (physical developer)
800ml of pure water
Citric acid 5g
Hydroquinone 7g
Silver nitrate 3g
Add water to bring the total volume to 1 liter (copper plating solution)
125 g of copper sulfate
85 g of sulfuric acid
Polyethylene glycol 0.1g
1mol / L hydrochloric acid 2.0ml
Add water to bring the total volume to 1 liter.

ここで銅めっき液は、市販の硫酸銅を用いた銅めっき液1、その不純物として含まれるFe含有率を80ppmまで除去した銅めっき液2、さらに再結晶により精製して純度99.99%とした硫酸銅を用いた銅めっき液3、さらに該銅めっき液3に対して不純物を故意に添加してその影響を調べるための、銅めっき液4〜7を調製して用いた。   Here, the copper plating solution is a copper plating solution 1 using commercially available copper sulfate, a copper plating solution 2 from which Fe content contained as impurities is removed up to 80 ppm, and further purified by recrystallization to have a purity of 99.99%. Copper plating solutions 4 to 7 for preparing the copper plating solution 3 using the copper sulfate and further examining impurities by intentionally adding impurities to the copper plating solution 3 were prepared and used.

銅めっき液1:市販の硫酸銅試薬(純度98%)使用
銅めっき液2:市販の硫酸銅試薬からFeを除去して、Cuに対してFe含有率80ppmとした
銅めっき液3:精製硫酸銅(純度99.99%)使用
銅めっき液4:精製硫酸銅にFeを添加して、Cuに対してFe含有率50ppmとした
銅めっき液5:精製硫酸銅にSiを添加して、Cuに対してSi含有率20ppmとした
銅めっき液6:精製硫酸銅にCaを添加して、Cuに対してCa含有率5ppmとした
銅めっき液7:精製硫酸銅にMgを添加して、Cuに対してMg含有率5ppmとした
(評価)
このようにして得られた、導電性の金属メッシュ部を有する電磁波シールドフィルム試料101〜107に対して、以下の評価を行った。
Copper plating solution 1: Use of commercially available copper sulfate reagent (purity 98%) Copper plating solution 2: Fe was removed from commercially available copper sulfate reagent to make Fe content 80 ppm with respect to Cu Copper plating solution 3: Purified sulfuric acid Copper (purity 99.99%) used Copper plating solution 4: Fe was added to purified copper sulfate, and Fe content was 50 ppm with respect to Cu Copper plating solution 5: Si was added to purified copper sulfate, Cu Copper plating solution 6 with Si content of 20 ppm relative to Cu: Ca was added to purified copper sulfate, and Ca content rate was 5 ppm with respect to Cu. Copper plating solution 7: Mg was added to purified copper sulfate, Cu Mg content is 5 ppm (Evaluation)
Thus, the following evaluation was performed with respect to the electromagnetic wave shield film samples 101-107 which have the electroconductive metal mesh part obtained.

〈スポット欠陥〉
めっき処理済みの電磁波シールドフィルムのメッシュをルーペで観察して、100cm2あたりのスポットの数をカウントした。各試料について、100cm2単位で6箇所について測定し、その相加平均値を得て下記基準で評価した。
<Spot defect>
The mesh of the plated electromagnetic wave shielding film was observed with a loupe, and the number of spots per 100 cm 2 was counted. About each sample, it measured about six places per 100 cm < 2 >, the arithmetic mean value was obtained, and the following reference | standard evaluated.

A:0個または1個
B:2〜5個
C:6個以上
〈めっきムラ〉
めっき処理し、乾燥した後の試料の、額縁部とメッシュ部の境界付近のパターンのムラの発生状況を、高精細CCDカメラで複数箇所をコマ撮影して40インチモニター画面上に拡大倍率200倍で表示し、目視観察して、下記基準で評価した。
A: 0 or 1 B: 2 to 5 C: 6 or more <Plating unevenness>
After the plating treatment and drying, the pattern unevenness in the vicinity of the border between the frame part and the mesh part of the sample was photographed at several points with a high-definition CCD camera and magnified 200 times on a 40-inch monitor screen. And visually observed and evaluated according to the following criteria.

A:メッシュの線幅のばらつきは認められない
B:わずかにメッシュの線幅のばらつきが認められる
C:線幅が1/2以下の部分や、断線部分が認められる
評価の結果を表1に示す。
A: No variation in the line width of the mesh is observed. B: A slight variation in the line width of the mesh is observed. C: A portion where the line width is 1/2 or less or a disconnection portion is recognized. Show.

Figure 2008288305
Figure 2008288305

表1から、現像銀メッシュへの電解銅めっきでは、硫酸銅中の不純物のFeやSiを除去することによって、スポット欠陥発生が低減した。また、CaやMgを除去することによって、めっきムラが低減した。純度の高い硫酸銅に各不純物を故意に添加することによって、それらの影響が分かった。   From Table 1, in the electrolytic copper plating on the developed silver mesh, the occurrence of spot defects was reduced by removing impurities Fe and Si in the copper sulfate. Moreover, plating unevenness was reduced by removing Ca and Mg. By intentionally adding impurities to high purity copper sulfate, their effects were found.

実施例2
実施例1で調製した銅めっき液3に、硝酸銀を添加して表2に示す銀濃度の銅めっき液8〜12を調製し、この銅めっき液及び銅めっき液3を用いて、実施例1と同様にスポット欠陥及びめっきムラの評価を行った。さらに、下記方法で接着性及び変色性を評価した。
Example 2
To the copper plating solution 3 prepared in Example 1, silver nitrate was added to prepare copper plating solutions 8 to 12 having a silver concentration shown in Table 2. Using this copper plating solution and the copper plating solution 3, Example 1 was prepared. In the same manner as described above, spot defects and plating unevenness were evaluated. Furthermore, adhesiveness and discoloration were evaluated by the following methods.

〈接着性〉
めっき処理後、乾燥した各試料を23℃55%RH雰囲気下に24時間放置後、めっき表面に対してJIS−K5400のクロスカット密着試験方法に従って、銀メッシュと銅めっきの接着性の評価を行った。
<Adhesiveness>
After plating treatment, each dried sample is allowed to stand in an atmosphere of 23 ° C. and 55% RH for 24 hours, and then the adhesion between the silver mesh and the copper plating is evaluated on the plating surface according to the JIS-K5400 cross-cut adhesion test method. It was.

各試料についてクロス状のカット線を引き、日東電工(株)製のセロハンテープNo.29を貼り付けて、テープをはがし、銀メッシュと銅めっきの剥離状態を調べ、下記基準で評価した。   A cross-shaped cut line was drawn for each sample, and cellophane tape No. 1 manufactured by Nitto Denko Corporation was used. 29 was affixed, the tape was peeled off, the peeled state of the silver mesh and the copper plating was examined, and the following criteria were evaluated.

A:銀メッシュと銅めっきの剥離は発生せず、銅めっきは強固になされている
B:銀メッシュと銅めっきの剥離が、クロスカット部の一部分でわずかに認められる
C:銀メッシュと銅めっきの剥離が20%以上で認められる
〈変色性〉
めっき処理済みの電磁波シールドフィルムを、70℃25%RHの雰囲気下に1000時間放置して、メッシュの変色状態を下記のように目視評価した。
A: Peeling of silver mesh and copper plating does not occur and copper plating is strong B: Peeling of silver mesh and copper plating is slightly observed in a part of the cross cut part C: Silver mesh and copper plating Is observed at 20% or more <Discoloration>
The plated electromagnetic wave shielding film was left in an atmosphere of 70 ° C. and 25% RH for 1000 hours, and the discolored state of the mesh was visually evaluated as follows.

A:全く認められない
B:わずかに認められるが、実用上問題がない
C:変色が認められる
D:黒化変色が著しい
評価の結果を表2に示す。
A: Not recognized at all B: Slightly recognized, but no problem in practical use C: Discoloration observed D: Significant blackening discoloration is shown in Table 2.

Figure 2008288305
Figure 2008288305

表2の結果から、銅めっき液中に銀を存在させると、銀メッシュと銅めっきのはがれが起こりにくくなり、かつ、電磁波シールドフィルムの耐久テストにおける変色も低減できることが分かった。なお、銀を150ppmまで増量すると、めっき速度が少し低下する傾向が見られた。   From the results in Table 2, it was found that when silver was present in the copper plating solution, peeling of the silver mesh and the copper plating hardly occurred, and discoloration in the durability test of the electromagnetic wave shielding film could be reduced. In addition, when the amount of silver was increased to 150 ppm, there was a tendency for the plating rate to decrease slightly.

実施例3
実施例1で調製した銅めっき液3を用いて、長尺ロール状の現像処理済み試料を、連続搬送しながら銅めっきを連続実施した。銅めっき液中の銅イオンの減少に対して、精製硫酸銅の濃厚水溶液のみを補充してめっきを継続したところ、銅めっき液中の銀イオンが10ppmとなった。この時点でめっきされた部分の試料301について実施例2と同じ評価を行ったところ、実施例2と同様の優れた効果が再現された。
Example 3
Using the copper plating solution 3 prepared in Example 1, copper plating was continuously carried out while continuously transporting a long roll-shaped developed sample. When the plating was continued by replenishing only the concentrated aqueous solution of purified copper sulfate with respect to the decrease of the copper ions in the copper plating solution, the silver ions in the copper plating solution became 10 ppm. When the same evaluation as in Example 2 was performed on the plated portion of the sample 301 at this time, the same excellent effect as in Example 2 was reproduced.

次に、銅めっき液の補充の仕方について、銅イオン、銀イオンの濃度、補充量、オーバーフロー量、液温度、攪拌状態について、種々組み合わせて試験を行った。   Next, the copper plating solution was replenished with various combinations of copper ion and silver ion concentrations, replenishment amount, overflow amount, solution temperature, and stirring state.

その結果、長尺ロール状試料の連続銅めっきに際しては、銅めっき液中の銅イオンを一定に保持することに加えて、銀イオン量も一定量に保持するように液補充されることが好ましいこと、すなわち、銅めっき開始時には銅めっき液中に銀イオンを添加しておくのが好ましいこと、銅めっき液の補充液としては銀イオンを含むものが好ましいこと、銅めっき液中の銀イオンが多くなりすぎる時は、銀イオンが少ないかまたは含まない銅めっき液補充液を補充すること、銅めっき液中の銅イオンだけでなく、銀イオン量も検出してコントロールすることが好ましいことが分かった。   As a result, in continuous copper plating of a long roll sample, it is preferable to replenish the liquid so that the amount of silver ions is also kept constant in addition to keeping the copper ions in the copper plating solution constant. That is, it is preferable to add silver ions to the copper plating solution at the start of copper plating, that the replenisher of the copper plating solution preferably contains silver ions, and the silver ions in the copper plating solution are When the amount is too high, it is found preferable to replenish the copper plating solution replenisher with little or no silver ions and to detect and control not only the copper ions in the copper plating solution but also the amount of silver ions. It was.

実施例4
実施例2において、精製硫酸銅を日鉱シーエスケミカル社の高純度硫酸銅「ユピノーグ」に代えて銅めっき液を調製して、同様に試験を行った。
Example 4
In Example 2, a copper plating solution was prepared by replacing the purified copper sulfate with high-purity copper sulfate “Iupinogue” manufactured by Nikko Cs Chemical Co., Ltd., and the same test was performed.

その結果、高純度硫酸銅を用いた場合も、前記精製硫酸銅と同様に本発明の効果が得られ、銀イオン量が0.1〜100ppmの範囲内で、本発明の効果が顕著であることが分かった。   As a result, even when high-purity copper sulfate is used, the effect of the present invention is obtained as in the case of the purified copper sulfate, and the effect of the present invention is remarkable when the amount of silver ions is in the range of 0.1 to 100 ppm. I understood that.

実施例5
実施例2〜4において、ハロゲン化銀として平均粒径0.04μmの塩臭化銀に代えて平均粒径0.04μmの沃化銀、臭化銀、沃臭化銀、塩化銀、塩沃化銀、塩沃臭化銀を用い、同様の試験を行った。その結果、塩化銀を含有するハロゲン化銀、すなわち塩化銀、塩臭化銀、塩沃化銀、塩沃臭化銀により形成された銀メッシュの電解銅めっきに際してその効果が大きく、特に塩化銀含有率が70モル%以上で顕著であることが分かった。
Example 5
In Examples 2 to 4, instead of silver chlorobromide having an average grain size of 0.04 μm as silver halide, silver iodide, silver bromide, silver iodobromide, silver chloride, chloroiodine having an average grain size of 0.04 μm A similar test was conducted using silver halide and silver chloroiodobromide. As a result, silver halide containing silver chloride, that is, silver chloride, silver chlorobromide, silver chloroiodide, silver chloroiodobromide, and silver mesh formed by electrolytic copper plating of the silver mesh, the effect is large, especially silver chloride It was found that the content was remarkable at 70 mol% or more.

実施例6
実施例2〜5において、本発明の顕著な効果を示した電磁波シールドフィルムのメッシュ表面を電子顕微鏡を用いた蛍光X線分析により解析した結果、銅めっき表面に金属銀が斑点状に存在することが分かった。銅めっき液中に銀を存在させることによって、銅めっき表面にも銀が存在し、これが本発明のすぐれた効果に関係しているものと見られる。
Example 6
In Examples 2-5, as a result of analyzing the mesh surface of the electromagnetic wave shielding film showing the remarkable effect of the present invention by fluorescent X-ray analysis using an electron microscope, metallic silver is present in spots on the copper plating surface. I understood. When silver is present in the copper plating solution, silver is also present on the surface of the copper plating, which is considered to be related to the excellent effect of the present invention.

露光パターンを示す図である。It is a figure which shows an exposure pattern. 自動現像処理・物理現像・めっき統合機の工程を示す概略図である。It is the schematic which shows the process of an automatic image development processing / physical image development / plating integrated machine.

符号の説明Explanation of symbols

1 メッシュ部
2 額縁部
11 現像
12 定着
13 水洗
14 物理現像
15 めっき
16 乾燥
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mesh part 2 Frame part 11 Development 12 Fixing 13 Washing 14 Physical development 15 Plating 16 Drying

Claims (11)

透明支持体を有するハロゲン化銀感光材料を露光し、現像処理を施すことによって金属銀メッシュ部を形成し、さらに該金属銀メッシュ部に銅めっき処理を施して高導電性メッシュ部を形成する電磁波シールドフィルムの製造方法において、該銅めっき処理に用いる硫酸銅が、鉄(Fe)含有率が100ppm以下の精製硫酸銅であることを特徴とする電磁波シールドフィルムの製造方法。 An electromagnetic wave in which a silver halide photosensitive material having a transparent support is exposed to light and developed to form a metal silver mesh portion, and the metal silver mesh portion is further subjected to copper plating to form a highly conductive mesh portion. In the manufacturing method of a shield film, the copper sulfate used for this copper plating process is a refined copper sulfate whose iron (Fe) content rate is 100 ppm or less, The manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film characterized by the above-mentioned. 前記硫酸銅の鉄(Fe)含有率が、銅(Cu)に対して50ppm以下であることを特徴とする請求項1記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the iron sulfate (Fe) content of the copper sulfate is 50 ppm or less with respect to copper (Cu). 前記硫酸銅のケイ素(Si)含有率が、銅(Cu)に対して20ppm以下であることを特徴とする請求項1または2記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 3. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the copper sulfate has a silicon (Si) content of 20 ppm or less with respect to copper (Cu). 前記硫酸銅のCa、Mgの少なくとも1方の含有率が、銅(Cu)に対して5ppm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 3, wherein a content of at least one of Ca and Mg of the copper sulfate is 5 ppm or less with respect to copper (Cu). . 前記硫酸銅が、純度99.99%以上の高純度硫酸銅であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The said copper sulfate is high purity copper sulfate of purity 99.99% or more, The manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film of any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 前記銅めっき処理に用いる銅めっき液が、銅(Cu)に対して0.1〜100ppmの銀(Ag)を含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The electromagnetic wave shield according to any one of claims 1 to 5, wherein a copper plating solution used for the copper plating treatment contains 0.1 to 100 ppm of silver (Ag) with respect to copper (Cu). A method for producing a film. 前記銅めっき処理で得られる銅めっきが、電解銅めっきであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the copper plating obtained by the copper plating treatment is electrolytic copper plating. 前記現像処理が、化学現像処理、定着処理、物理現像処理からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 7, wherein the development processing comprises chemical development processing, fixing processing, and physical development processing. 前記電磁波シールドフィルムが、幅50cm以上の長尺ロールで連続生産されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 8, wherein the electromagnetic wave shielding film is continuously produced by a long roll having a width of 50 cm or more. 前記ハロゲン化銀感光材料のハロゲン化銀が、塩化銀を70モル%以上含有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 9, wherein the silver halide of the silver halide photosensitive material contains 70 mol% or more of silver chloride. 透明支持体上に、銀メッシュの表面に銅めっき処理して形成された高導電性メッシュ部を有する電磁波シールドフィルムにおいて、該高導電性メッシュ部の表面にAgが存在することを特徴とする電磁波シールドフィルム。 An electromagnetic wave shielding film having a highly conductive mesh portion formed by copper plating on the surface of a silver mesh on a transparent support, wherein Ag is present on the surface of the highly conductive mesh portion. Shield film.
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