JP2008285704A - Partial plating apparatus - Google Patents

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JP2008285704A
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Hironari Hata
裕也 畑
Yasuaki Naito
保昭 内藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plating apparatus in which problems that the life of a mask is shortened by the wear of the mask which occurs due to the slide of a lead frame to the mask, the precision in the plating of the lead frame is deteriorated therewith and fine foreign matter produced from the mask is deposited when the transportation and the partial plating of the lead frame are solved. <P>SOLUTION: The plating apparatus for a metallic bar is provided with a nozzle plate 3 also used as an electrode, an upper plate 4 positioned above the nozzle plate 3 and the mask 5 attached on the upper surface of the upper plate 4 and having an opening pattern formed thereon. A lift plate 6 arranged to keep a prescribed height by a spacer 7 is provided on the upper surface of the upper plate 4. The wear of the mask 5 and scratch occurring on the treated surface due to the sliding of the lead frame 1 to the mask 5 are prevented by lifting the lead frame 1 by the lift plate 6 to provide a gap between the lead frame 1 and the mask 5 in the transferring the lead frame 1 and thereby, the high precision partial plating is carried out. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は部分めっき装置に関し、金属条材、特にリードフレームにマスクを用いて部分めっきを施す技術に係るものである。   The present invention relates to a partial plating apparatus and relates to a technique for performing partial plating using a mask on a metal strip, particularly a lead frame.

従来、電子部品に用いられるリードフレームに部分めっきを施す方法としては、例えば特許文献1に示すように、マスク用治具をプレスブロックで押圧してめっき液漏れを防止しながらリードフレームに部分めっきを施しているものがある。   Conventionally, as a method of performing partial plating on a lead frame used in an electronic component, for example, as shown in Patent Document 1, partial plating is performed on a lead frame while preventing a plating solution from leaking by pressing a mask jig with a press block. There is something that has been given.

図2は、従来のリードフレームのめっき方法を示した断面図である。図2において、マスク用治具103は取付治具部102で支持しており、マスク用治具103の下方にめっき槽104がパッキン105を介して接続してあり、マスク用治具103の上にはリードフレーム106を載置している。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a conventional lead frame plating method. In FIG. 2, the mask jig 103 is supported by the mounting jig portion 102, and a plating tank 104 is connected to the lower side of the mask jig 103 via a packing 105. The lead frame 106 is placed on the head.

めっき槽104内にはノズル107が配設してあり、マスク用治具103に形成した開口部103aに向けてノズル107からめっき液を噴射する。マスク用治具103の上方には電極108を埋設したプレスブロック109が配置してあり、プレスブロック109は本体フレーム101に上下動可能に支持されたプレスブロック取付部110に装着してある。プレスブロック109の底部にはリードフレーム106に当接するマスクゴム111を取り付けている。   A nozzle 107 is disposed in the plating tank 104, and a plating solution is sprayed from the nozzle 107 toward the opening 103 a formed in the mask jig 103. A press block 109 in which an electrode 108 is embedded is disposed above the mask jig 103, and the press block 109 is mounted on a press block mounting portion 110 that is supported by the main body frame 101 so as to be movable up and down. A mask rubber 111 that is in contact with the lead frame 106 is attached to the bottom of the press block 109.

この構成により、プレスブロック109をエアシリンダなどにより降下させてマスクゴム111をリードフレーム106に当接させた状態で、めっき液をリードフレーム106に噴射し、電極108により電解作用を奏してめっきを施す。
特開平8−167683号公報
With this configuration, in a state where the press block 109 is lowered by an air cylinder or the like and the mask rubber 111 is in contact with the lead frame 106, the plating solution is sprayed onto the lead frame 106, and the electrode 108 performs an electrolytic action to perform plating. .
JP-A-8-167683

しかしながら、上述した従来のリードフレームのめっき装置では、リードフレームをめっき装置内へ搬入・搬出する際にリードフレームとマスクとが摺動することにより、マスクの磨耗が早いといった問題点がある。これがマスクの短命化につながり、コストアップの要因となる。また、リードフレームの部分めっき精度の変化や、マスクから発生する微細異物の付着等の問題が起こる可能性がある。また、リードフレームのめっき処理面への傷発生の可能性も考えられる。   However, the conventional lead frame plating apparatus described above has a problem in that the mask wears quickly because the lead frame and the mask slide when the lead frame is carried into and out of the plating apparatus. This leads to a shortened life of the mask and increases costs. In addition, problems such as changes in the accuracy of partial plating of the lead frame and adhesion of fine foreign matters generated from the mask may occur. In addition, the possibility of scratches on the plated surface of the lead frame is also considered.

本発明は上記のような従来の課題を解決するためのものであって、リードフレームとマスクとの摺動に起因するマスクの磨耗およびめっき処理面での傷の発生を防ぐことができる部分めっき装置を提供することを目的とする。   The present invention is intended to solve the above-described conventional problems, and is a partial plating that can prevent the wear of the mask and the generation of scratches on the plating surface due to the sliding between the lead frame and the mask. An object is to provide an apparatus.

上記の課題を解決するために、本発明の部分めっき装置は、金属条材に施す部分めっきの領域に相応する開口パターンを有するマスクと、前記マスクの開口パターンに相応する開口部を有するノズル板と、前記ノズル板の上方に位置して前記マスクを上面で支持し、前記マスクの開口パターンに相応する開口部を有する上板と、前記上板の上面にスペーサーにより所定高さ保持して配置するリフトプレートを備え、前記金属条材の搬送時に前記リフトプレートが前記金属条材を持ち上げて前記金属条材と前記マスクとの間に間隙を形成することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a partial plating apparatus according to the present invention includes a mask having an opening pattern corresponding to a region of partial plating applied to a metal strip, and a nozzle plate having an opening corresponding to the opening pattern of the mask. And an upper plate that is positioned above the nozzle plate and supports the mask on the upper surface, and has an opening corresponding to the opening pattern of the mask, and is arranged on the upper surface of the upper plate with a predetermined height held by a spacer. The lift plate lifts the metal strip when the metal strip is transported to form a gap between the metal strip and the mask.

上記した構成によれば、マスクの上方の位置においてバネ性を持ったリフトプレートを上板の上面に取付け、リフトプレート上でリードフレームを搬送することで、搬送時にリードフレームとマスクが摺動しない構造を実現するものである。   According to the configuration described above, a lift plate having spring properties is attached to the upper surface of the upper plate at a position above the mask, and the lead frame is transported on the lift plate, so that the lead frame and the mask do not slide during transport. The structure is realized.

また、部分めっき時にはバックプレートが下降してリードフレームをマスクに押し付け、リフトプレートがマスクの上面と同じ高さまで撓むことにより、リードフレームとマスクとの密着が可能となる。   Further, during partial plating, the back plate is lowered to press the lead frame against the mask, and the lift plate is bent to the same height as the upper surface of the mask, so that the lead frame and the mask can be in close contact with each other.

よって、リードフレームとマスクとの摺動によるマスクの磨耗およびめっき処理面の傷を防止すると共に、高精度な部分めっきが可能となる。   Therefore, mask wear and scratches on the plating surface due to sliding between the lead frame and the mask can be prevented, and high-precision partial plating can be performed.

以上のように、本発明のリードフレームのめっき装置によれば、リードフレームとマスクとの摺動を抑えることにより、マスクの磨耗を防ぐことが出来る。このことから、マスクの短命化を延ばすことが可能となり、コストを抑えることが出来る。また、リードフレームへの部分めっき精度の変化や、マスクから発生する微細な異物の付着等の問題に関しても有効である。また、めっき面に凸部形状を有しているリードフレームについても有効である。   As described above, according to the lead frame plating apparatus of the present invention, wear of the mask can be prevented by suppressing sliding between the lead frame and the mask. For this reason, it is possible to extend the life of the mask and to reduce the cost. It is also effective for problems such as changes in the accuracy of partial plating on the lead frame and adhesion of fine foreign matters generated from the mask. It is also effective for a lead frame having a convex shape on the plated surface.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1(a)、(b)は、本発明の実施の形態1における金属条材であるリードフレームのめっき装置の動作フローに沿った断面図である。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
1 (a) and 1 (b) are cross-sectional views along an operation flow of a lead frame plating apparatus which is a metal strip in the first embodiment of the present invention.

図1(a)、(b)において、めっき装置は、ノズル板3と、ノズル板3の上方にノズル板3の一部に当接して配置する上板4と、上板4の上面に取付けられて周囲が一定ピッチで切り取られたマスク5と、マスク5の上方に配置するリードフレーム1を支持するリフトプレート6と、上板4の上面においてリフトプレート6を所定高さに保持するスペーサー7とからなり、リフトプレート6はマスク5に対応する部分を除いて上板4の上面の両サイドに配置し、内側端部でリードフレーム1の端部を摺動自在に支持し、外側端部でスペーサー7に固定支持される。   1 (a) and 1 (b), the plating apparatus is attached to the nozzle plate 3, the upper plate 4 disposed in contact with a part of the nozzle plate 3 above the nozzle plate 3, and the upper surface of the upper plate 4. The mask 5 whose periphery is cut at a constant pitch, the lift plate 6 that supports the lead frame 1 disposed above the mask 5, and the spacer 7 that holds the lift plate 6 at a predetermined height on the upper surface of the upper plate 4. The lift plate 6 is disposed on both sides of the upper surface of the upper plate 4 except for the portion corresponding to the mask 5, and the end portion of the lead frame 1 is slidably supported by the inner end portion. And fixedly supported by the spacer 7.

ノズル板3はチタンなどの材質からなり、ノズル板3の下方に配置するめっき液タンク(図示せず)から供給されためっき液をイオン化し、上板4へめっき液を供給する役目を担っており、めっき対象物であるリードフレーム1の部分めっき部に対応した複数の開口部3aと、その周りに通電を目的とした電極(例えば白金など)3bを有している。   The nozzle plate 3 is made of a material such as titanium, and serves to ionize a plating solution supplied from a plating solution tank (not shown) disposed below the nozzle plate 3 and supply the plating solution to the upper plate 4. In addition, a plurality of openings 3a corresponding to the partial plating portion of the lead frame 1 which is a plating object, and an electrode (for example, platinum) 3b for energization are provided around the openings 3a.

マスク5は上板4にシリコンなどで接着されており、ノズル板3と同様にリードフレーム1の部分めっき部に対応した複数の開口部5aを有している。マスク5はエポキシガラスとシリコンゴムを貼り合わせたものからなり、表面にシリコンゴムを配置することでリードフレーム1との密着性を高めている。   The mask 5 is bonded to the upper plate 4 with silicon or the like, and has a plurality of openings 5 a corresponding to the partial plating portions of the lead frame 1 as with the nozzle plate 3. The mask 5 is formed by bonding epoxy glass and silicon rubber, and the silicon rubber is disposed on the surface to enhance the adhesion with the lead frame 1.

上板4はエポキシガラスなどの材質からなり、ノズル板3と同様にリードフレーム1の部分めっき部に対応した複数の開口部4aを有し、ノズル板3から供給されためっき液を確実にリードフレーム1の部分めっき部へ供給するための通り道の役目を担っている。   The upper plate 4 is made of a material such as epoxy glass, and has a plurality of openings 4a corresponding to the partial plating portions of the lead frame 1 as with the nozzle plate 3 to reliably lead the plating solution supplied from the nozzle plate 3. It plays the role of a path for supplying to the partial plating part of the frame 1.

このようにノズル板3、上板4、マスク5はそれぞれ、めっき液タンクから供給されためっき液を確実にリードフレーム1の部分めっき部に噴きつける役目を担っている。また、リフトプレート6はスペーサー7とともに、リードフレーム1を保持する役目を担っている。   As described above, the nozzle plate 3, the upper plate 4, and the mask 5 each have a role of reliably spraying the plating solution supplied from the plating solution tank onto the partial plating portion of the lead frame 1. The lift plate 6 has a role of holding the lead frame 1 together with the spacer 7.

リフトプレート6は、リードフレーム1が自重により落下することや、自重により撓むことのない最小限の接触面積でリードフレーム1を持ち上げている。この状態でリードフレーム1はリフトプレート6で持ち上げられてマスク5と一定の距離を保っているので、リードフレーム1はその搬送に際してマスク5と摺動することがない。よって、リードフレーム1との摺動によるマスク5の磨耗を防ぐことができる。   The lift plate 6 lifts the lead frame 1 with a minimum contact area where the lead frame 1 does not drop due to its own weight or bends due to its own weight. In this state, the lead frame 1 is lifted by the lift plate 6 and kept at a certain distance from the mask 5, so that the lead frame 1 does not slide with the mask 5 during its conveyance. Therefore, wear of the mask 5 due to sliding with the lead frame 1 can be prevented.

リードフレーム1は搬送時には一定のピッチで送られてリフトプレート6と摺動するので、リフトプレート6は摩擦抵抗の少ない材質が望ましい(例えば、ニューライト、テフロン(登録商標)など)。また、リフトプレート6にリードフレーム1の幅に合わせた段差もしくはガイド手段を設けることにより、リードフレーム1の幅方向の位置規制を行うことも可能である。   Since the lead frame 1 is sent at a constant pitch and slides with the lift plate 6 during conveyance, the lift plate 6 is preferably made of a material having low frictional resistance (for example, Newlite, Teflon (registered trademark), etc.). Further, by providing the lift plate 6 with a step or guide means that matches the width of the lead frame 1, it is possible to regulate the position of the lead frame 1 in the width direction.

上記した構成により、一定のピッチで搬送されたリードフレーム1と、マスク5の開口パターンとが合致したところで、図1(b)に示すように、バックプレート2が下降し、バックプレート2によってリードフレーム1とそれを持ち上げているリフトプレート6とを同時に押し下げる。この際に、リフトプレート6はリードフレーム1とマスク5とが密着するまで撓む。   With the above configuration, when the lead frame 1 transported at a constant pitch and the opening pattern of the mask 5 coincide with each other, the back plate 2 descends as shown in FIG. The frame 1 and the lift plate 6 that lifts the frame 1 are pushed down simultaneously. At this time, the lift plate 6 bends until the lead frame 1 and the mask 5 come into close contact with each other.

リードフレーム1とマスク5とが気密性を保って密着する状態で、めっき液タンク(図示せず)から供給するめっき液をノズル板3の開口部3aおよび上板4の開口部4aを通してリードフレーム1の部分めっき部に噴きつけて部分めっきを施す。   In a state where the lead frame 1 and the mask 5 are in close contact with each other while maintaining airtightness, a lead solution supplied from a plating solution tank (not shown) is supplied to the lead frame through the opening 3a of the nozzle plate 3 and the opening 4a of the upper plate 4. The partial plating is performed by spraying on the partial plating part 1.

部分めっきが施された後、バックプレート2が上昇すると、リードフレーム1を保持しているリフトプレート6がバネの作用によりリードフレーム1とマスク5が接触しない高さまで復帰する。以上のようにして、リードフレーム1の搬送と部分めっき処理とを交互に繰り返してリードフレーム1をめっき処理する。   When the back plate 2 rises after the partial plating is performed, the lift plate 6 holding the lead frame 1 returns to a height at which the lead frame 1 and the mask 5 do not contact with each other due to the action of the spring. As described above, the lead frame 1 is plated by alternately repeating the conveyance of the lead frame 1 and the partial plating process.

上述した構成において、スペーサー7の上面内側の角を丸面取りすることにより、リフトプレート6がバックプレート2により押し下げられて撓む際のリフトプレート6のストレスを軽減することができる。   In the above-described configuration, by rounding the corners inside the upper surface of the spacer 7, it is possible to reduce the stress of the lift plate 6 when the lift plate 6 is pushed down and bent by the back plate 2.

このように本発明は従来の部分めっき治具の構成を大きく変えることなく、上記のような効果を安価で実現することが出来る。   As described above, the present invention can realize the above effects at a low cost without greatly changing the configuration of the conventional partial plating jig.

(a)、(b)は本発明の実施の形態によるリードフレームのめっき装置の動作フローを示した断面図(A), (b) is sectional drawing which showed the operation | movement flow of the plating apparatus of the lead frame by embodiment of this invention 従来のリードフレームのめっき装置を示した断面図Sectional view showing conventional lead frame plating equipment

符号の説明Explanation of symbols

1 リードフレーム
2 バックプレート
3 ノズル板
3a 開口部
3b 電極
4 上板
4a 開口部
5 マスク
5a 開口部
6 リフトプレート
7 スペーサー
101 本体フレーム
102 取付治具部
103 マスク用治具
104 めっき槽
105 パッキン
106 リードフレーム
107 ノズル
108 電極
109 プレスブロック
110 プレスブロック取付部
111 マスクゴム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame 2 Back plate 3 Nozzle plate 3a Opening part 3b Electrode 4 Upper board 4a Opening part 5 Mask 5a Opening part 6 Lift plate 7 Spacer 101 Main body frame 102 Mounting jig part 103 Mask jig 104 Plating tank 105 Packing 106 Lead Frame 107 Nozzle 108 Electrode 109 Press block 110 Press block mounting part 111 Mask rubber

Claims (1)

金属条材に施す部分めっきの領域に相応する開口パターンを有するマスクと、前記マスクの開口パターンに相応する開口部を有するノズル板と、前記ノズル板の上方に位置して前記マスクを上面で支持し、前記マスクの開口パターンに相応する開口部を有する上板と、前記上板の上面にスペーサーにより所定高さ保持して配置するリフトプレートを備え、前記金属条材の搬送時に前記リフトプレートが前記金属条材を持ち上げて前記金属条材と前記マスクとの間に間隙を形成することを特徴とする部分めっき装置。   A mask having an opening pattern corresponding to a region of partial plating applied to the metal strip, a nozzle plate having an opening corresponding to the opening pattern of the mask, and the upper surface of the nozzle plate supported by the mask. And an upper plate having an opening corresponding to the opening pattern of the mask, and a lift plate disposed at a predetermined height by a spacer on the upper surface of the upper plate, the lift plate being A partial plating apparatus, wherein the metal strip is lifted to form a gap between the metal strip and the mask.
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