JP2008285614A - Resin composition, adhesive film and light-receiving device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition with a high optical transparency, adhesive film and a light-receiving device using the same. <P>SOLUTION: The resin composition, (corresponding to the adhesive film 14), is an optically curable resin composition installed between a base substrate 12 on which the light-receiving device 11 is installed, and a transparent substrate 13, and used for keeping a gap between the base substrate 12 and the transparent substrate 13. The resin composition comprises the optically curable resin and 0.1-40 wt.% of silica having 0.03-0.4 μm of an average particle size. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、受光部が設けられたベース基板および透明基板間の隙間を保持するために使用される光硬化性の樹脂組成物、接着フィルムおよび受光装置に関する。   The present invention relates to a photocurable resin composition, an adhesive film, and a light receiving device that are used to maintain a gap between a base substrate provided with a light receiving portion and a transparent substrate.

従来、受光装置において、受光部を保護するために、受光部が設けられたベース基板と対向する位置に、透明基板が配置されている。
そして、透明基板と、ベース基板との間には、受光部の周囲を取り囲む接着材が設けられている(例えば、特許文献1)。
このような受光装置を製造する際には、受光部が設けられたベース基板(あるいは透明基板)上に、接着材を構成する樹脂組成物を塗布し、所定の部分を露光する。そして、樹脂組成物を選択的に除去した後、ベース基板および透明基板を接着する。
Conventionally, in a light receiving device, in order to protect the light receiving portion, a transparent substrate is disposed at a position facing the base substrate on which the light receiving portion is provided.
An adhesive that surrounds the periphery of the light receiving unit is provided between the transparent substrate and the base substrate (for example, Patent Document 1).
When manufacturing such a light receiving device, a resin composition constituting an adhesive is applied on a base substrate (or a transparent substrate) provided with a light receiving portion, and a predetermined portion is exposed. Then, after selectively removing the resin composition, the base substrate and the transparent substrate are bonded.

特開2006−070053号公報JP 2006-070053 A

しかしながら、従来の受光装置の製造方法においては、以下のような課題があることがわかった。
受光装置を製造する際に、前記樹脂組成物の所定の部分を露光するが、この際、樹脂組成物上方に露光装置のマスクを設置する必要がある。
このマスクを設置する際には、ベース基板あるいは透明基板に形成された位置合わせマークを基準に、マスクの位置と、ベース基板あるいは透明基板の位置とを調整するが、樹脂組成物の光透過性が悪い場合には、位置合わせマークを検出することができず、位置合わせが困難となる。
However, it has been found that the conventional method for manufacturing a light receiving device has the following problems.
When manufacturing the light receiving device, a predetermined portion of the resin composition is exposed. At this time, it is necessary to install a mask of the exposure device above the resin composition.
When installing this mask, the position of the mask and the position of the base substrate or the transparent substrate are adjusted with reference to the alignment mark formed on the base substrate or the transparent substrate. If the position is poor, the alignment mark cannot be detected, and alignment becomes difficult.

本発明の目的は、光透過性の高い樹脂組成物、接着フィルムおよびこれらを使用した受光装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a resin composition having a high light transmittance, an adhesive film, and a light receiving device using these.

本発明によれば、受光部が設けられたベース基板と、透明基板との間に配置され、前記ベース基板および前記透明基板間の隙間を保持するために使用される光硬化性の樹脂組成物であって、光硬化性樹脂と、シリカとを含有し、前記シリカの含有量が、0.1wt%以上、40wt%以下であり、前記シリカの平均粒径が0.03μm以上、0.4μm以下である樹脂組成物が提供される。
この発明によれば、シリカの平均粒径を0.4μm以下とすることで光透過性のよい樹脂組成物とすることができる。
また、シリカの含有量を40wt%以下含有することで、光透過性のよい樹脂組成物とすることができる。
これにより、ベース基板等とマスクとの位置合わせを容易にすることができる。
なお、シリカの平均粒径を0.03μm以上とすることで、樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。
また、シリカの含有量を0.1wt%以上とすることで樹脂組成物の耐熱性、耐湿性を向上させることができる。さらには、樹脂組成物をベース基板と、透明基板との間に配置した際の強度を確保することができる。
According to the present invention, a photocurable resin composition that is disposed between a base substrate provided with a light receiving portion and a transparent substrate and used to maintain a gap between the base substrate and the transparent substrate. And containing a photocurable resin and silica, wherein the silica content is 0.1 wt% or more and 40 wt% or less, and the average particle diameter of the silica is 0.03 μm or more and 0.4 μm. The following resin composition is provided.
According to this invention, it can be set as the resin composition with favorable light transmittance by the average particle diameter of a silica being 0.4 micrometer or less.
Moreover, it can be set as the resin composition with favorable light transmittance by containing 40 wt% or less of silica content.
Thereby, alignment with a base substrate etc. and a mask can be made easy.
In addition, when the average particle diameter of silica is 0.03 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed when a resin composition is produced.
Moreover, the heat resistance and moisture resistance of a resin composition can be improved by making content of a silica into 0.1 wt% or more. Furthermore, the strength when the resin composition is disposed between the base substrate and the transparent substrate can be ensured.

この際、当該樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長600nmにおける透過率が7%以上、95%以下であることが好ましい。
また、当該樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長750nmにおける透過率が20%以上、95%以下であってもよい。
ベース基板等に形成された位置合わせマークの検出は、一般に、可視光領域で行われる。
従って、波長600nmにおける透過率を7%以上、95%以下、あるいは、波長750nmにおける透過率を20%以上、95%以下とすることで、ベース基板等とマスクとの位置合わせを容易にすることができる。
Under the present circumstances, when the said resin composition is formed in a 50-micrometer-thick film form, it is preferable that the transmittance | permeability in wavelength 600nm is 7% or more and 95% or less.
Moreover, when the said resin composition is formed in the film form of thickness 50 micrometers, the transmittance | permeability in wavelength 750nm may be 20% or more and 95% or less.
In general, the alignment mark formed on the base substrate or the like is detected in the visible light region.
Therefore, by setting the transmittance at a wavelength of 600 nm to 7% or more and 95% or less, or the transmittance at a wavelength of 750 nm to 20% or more and 95% or less, it is easy to align the base substrate and the mask. Can do.

さらに、シリカの最大粒径が0.1μm以上、1.0μm以下であることが好ましい。
シリカの最大粒径を1.0μm以下とすることで、樹脂組成物の光透過性を確実に向上させることができる。また、シリカの最大粒径を0.1μm以上とすることで樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。
Furthermore, it is preferable that the maximum particle size of silica is 0.1 μm or more and 1.0 μm or less.
By setting the maximum particle size of silica to 1.0 μm or less, the light transmittance of the resin composition can be reliably improved. Further, when the resin composition is produced by setting the maximum particle size of silica to 0.1 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed.

また、前記シリカは、カップリング処理されているものであることが好ましい。
このようなシリカを使用することで樹脂成分とシリカ界面の密着力が増し、樹脂組成物の強度が高くなるという効果がある。
The silica is preferably subjected to a coupling treatment.
By using such silica, the adhesion between the resin component and the silica interface is increased, and the strength of the resin composition is increased.

さらに、フィルム状に形成し、UV照射(700mJ/cm)後、80℃〜180℃の温度範囲での最低溶融粘度が100Pa・s以上であることが好ましい。
このようにすることで、透明基板と、ベース基板とを熱圧着する際に、樹脂組成物がつぶれてしまうことを防止することができる。
Furthermore, it is preferable that the minimum melt viscosity in a temperature range of 80 ° C. to 180 ° C. is 100 Pa · s or more after the film is formed and UV irradiation (700 mJ / cm 2 ).
By doing in this way, when a transparent substrate and a base substrate are thermocompression-bonded, it can prevent that a resin composition collapses.

また、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂を含むものであることが好ましく、さらには、光および熱の両方で硬化可能な前記硬化性樹脂は、(メタ)アクリル変性フェノール樹脂または(メタ)アクリロイル基含有(メタ)アクリル酸重合体を含むものであることが好ましい。また、熱硬化性樹脂としてシリコーン変性エポキシ樹脂を含むことが好ましい。   Moreover, it is preferable that it contains the curable resin which can be hardened | cured by both light and a heat | fever, Furthermore, the said curable resin which can be hardened | cured by both light and a heat | fever is (meth) acryl modified phenol resin or (meth) It is preferable to contain an acryloyl group-containing (meth) acrylic acid polymer. Moreover, it is preferable that a silicone modified epoxy resin is included as a thermosetting resin.

さらに、本発明によれば、フィルム状に形成した上述した樹脂組成物を有する接着フィルムも提供することができる。
また、本発明によれば、受光部が設けられたベース基板と、前記ベース基板に対し対向配置された透明基板とを備える受光装置であって、前記透明基板と、前記ベース基板との間には、前記ベース基板および前記透明基板間の隙間を保持するとともに、前記受光部を囲む枠材が配置され、前記枠材は、上述した樹脂組成物、あるいは、上述した接着フィルムである受光装置も提供することができる。
Furthermore, according to this invention, the adhesive film which has the resin composition mentioned above formed in the film form can also be provided.
In addition, according to the present invention, there is provided a light receiving device including a base substrate provided with a light receiving portion and a transparent substrate disposed to face the base substrate, wherein the light receiving device is provided between the transparent substrate and the base substrate. Is a frame member that holds a gap between the base substrate and the transparent substrate and surrounds the light receiving part, and the frame member is a light receiving device that is the above-described resin composition or the above-described adhesive film. Can be provided.

本発明によれば、光透過性の高い樹脂組成物、接着フィルムさらには、これらを用いた受光装置が提供される。   According to the present invention, there are provided a resin composition having a high light transmittance, an adhesive film, and a light receiving device using them.

はじめに、本発明の樹脂組成物の概要について説明する。
本実施形態の樹脂組成物(図2の符号14に該当)は、受光部11が設けられたベース基板12と、透明基板13との間に配置され、ベース基板12および透明基板13間の隙間を保持するために使用される光硬化性の樹脂組成物である(図2参照)。樹脂組成物は、光硬化性樹脂と、シリカとを含有し、前記シリカの含有量が、0.1wt%以上、40wt%以下であり、前記シリカの平均粒径が0.03μm以上、0.4μm以下である樹脂組成物である。
First, the outline | summary of the resin composition of this invention is demonstrated.
The resin composition of the present embodiment (corresponding to reference numeral 14 in FIG. 2) is disposed between the base substrate 12 provided with the light receiving unit 11 and the transparent substrate 13, and a gap between the base substrate 12 and the transparent substrate 13. It is a photo-curable resin composition used for holding (see FIG. 2). The resin composition contains a photocurable resin and silica, the silica content is 0.1 wt% or more and 40 wt% or less, and the average particle size of the silica is 0.03 μm or more, and 0.0. It is a resin composition which is 4 micrometers or less.

以下、樹脂組成物について詳細に説明する。
樹脂組成物は、光硬化性樹脂とシリカとを含む。
シリカの含有量は、0.1wt%以上、好ましくは、10wt%以上である。
シリカの含有量を0.1wt%以上、特に10wt%以上とすることで、樹脂組成物の耐熱性、耐湿性を向上させることができる。また、樹脂組成物をベース基板12と、透明基板13との間に配置した際の強度を確保することができる。
また、シリカの含有量は、40wt%以下、好ましくは、35wt%以下である。
シリカの含有量を40wt%以下、特に35wt%以下とすることで、光硬化前、および光硬化後の樹脂組成物の光透過性を確保することができる。
Hereinafter, the resin composition will be described in detail.
The resin composition includes a photocurable resin and silica.
The content of silica is 0.1 wt% or more, preferably 10 wt% or more.
By setting the silica content to 0.1 wt% or more, particularly 10 wt% or more, the heat resistance and moisture resistance of the resin composition can be improved. Moreover, the strength when the resin composition is disposed between the base substrate 12 and the transparent substrate 13 can be ensured.
Further, the content of silica is 40 wt% or less, preferably 35 wt% or less.
By setting the silica content to 40 wt% or less, particularly 35 wt% or less, the light transmittance of the resin composition before photocuring and after photocuring can be ensured.

シリカの平均粒径は、0.03μm以上、好ましくは、0.01μm以上である。
シリカの平均粒径を0.03μm以上、特に、0.01μm以上とすることで、樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。
また、シリカの平均粒径は、0.4μm以下、好ましくは、0.3μm以下である。
シリカの平均粒径を、0.4μm以下、特に、0.3μm以下とすることで、光硬化前、および光硬化後の樹脂組成物の光透過性を確実に確保することができる。
The average particle diameter of silica is 0.03 μm or more, preferably 0.01 μm or more.
By making the average particle diameter of silica 0.03 μm or more, particularly 0.01 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed when a resin composition is produced.
The average particle diameter of silica is 0.4 μm or less, preferably 0.3 μm or less.
By setting the average particle diameter of silica to 0.4 μm or less, particularly 0.3 μm or less, it is possible to ensure the light transmittance of the resin composition before and after photocuring.

シリカの平均粒径の計測方法は以下の通りである。
レーザー回折式粒度分布測定装置SALD−7000を用いて、水中にシリカを1分間超音波処理することにより分散させ、測定を行う。D50値を平均粒径とする。
The method for measuring the average particle diameter of silica is as follows.
Using a laser diffraction particle size distribution analyzer SALD-7000, silica is dispersed in water by ultrasonic treatment for 1 minute, and measurement is performed. The D50 value is defined as the average particle size.

さらに、シリカの最大粒径は、0.1μm以上、好ましくは、0.15μm以上である。また、シリカの最大粒径は1.0μm以下、好ましくは、0.9μm以下である。
シリカの最大粒径を0.1μm以上とすることで、樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。
また、シリカの最大粒径を1.0μm以下とすることで、樹脂組成物の光透過性の低下を防止することができる。
シリカの最大粒径は、以下のようにして計測することができる。
レーザー回折式粒度分布測定装置SALD−7000を用いて、水中にシリカを1分間超音波処理することにより分散させ、測定を行う。D100値を最大粒径とする。
Further, the maximum particle size of silica is 0.1 μm or more, preferably 0.15 μm or more. The maximum particle size of silica is 1.0 μm or less, preferably 0.9 μm or less.
By making the maximum particle size of silica 0.1 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed when producing a resin composition.
Moreover, the fall of the light transmittance of a resin composition can be prevented because the maximum particle diameter of a silica shall be 1.0 micrometer or less.
The maximum particle size of silica can be measured as follows.
Using a laser diffraction particle size distribution analyzer SALD-7000, silica is dispersed in water by ultrasonic treatment for 1 minute, and measurement is performed. The D100 value is taken as the maximum particle size.

また、シリカはカップリング処理されているものであることが好ましい。
このようなシリカを使用することで樹脂成分とシリカ界面の密着力が増し、樹脂組成物の強度が高くなるという効果がある。
Silica is preferably subjected to coupling treatment.
By using such silica, the adhesion between the resin component and the silica interface is increased, and the strength of the resin composition is increased.

樹脂組成物に含まれる前記光硬化性樹脂としては、例えばアクリル系化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂、ウレタンアクリレートオリゴマーまたはポリエステルウレタンアクリレートオリゴマーを主成分とする紫外線硬化性樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルフェノール系樹脂の群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする紫外線硬化性樹脂等が挙げられる。
これらの中でもアクリル系化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂が好ましい。アクリル系化合物は光を照射した際の硬化速度が速く、これにより、比較的少量の露光量で樹脂をパターニングすることができる。
Examples of the photocurable resin contained in the resin composition include an ultraviolet curable resin mainly composed of an acrylic compound, an ultraviolet curable resin mainly composed of a urethane acrylate oligomer or a polyester urethane acrylate oligomer, an epoxy resin, Examples thereof include an ultraviolet curable resin mainly comprising at least one selected from the group of vinylphenol resins.
Among these, an ultraviolet curable resin mainly composed of an acrylic compound is preferable. The acrylic compound has a high curing rate when irradiated with light, and thus the resin can be patterned with a relatively small amount of exposure.

前記アクリル系化合物としては、アクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステルのモノマー等が挙げられ、具体的にはジアクリル酸エチレングリコール、ジメタクリ酸エチレングリコール、ジアクリル酸1,6-ヘキサンジオール、ジメタクリル酸1,6-ヘキサンジオール、ジアクリル酸グリセリン、ジメタクリル酸グリセリン、ジアクリル酸1,10-デカンジオール、ジメタクリル酸1,10-デカンジオール等の2官能アクリレート、トリアクリル酸トリメチロールプロパン、トリメタクリル酸トリメチロールプロパン、トリアクリル酸ペンタエリスリトール、トリメタクリル酸ペンタエリスリトール、ヘキサアクリル酸ジペンタエリスリトール、ヘキサメタクリル酸ジペンタエリスリトール等の多官能アクリレートなどが挙げられる。これらの中でもアクリル酸エステルが好ましく、特に好ましくはエステル部位の炭素数が1〜15のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸アルキルエステルが好ましい。   Examples of the acrylic compounds include monomers of acrylic acid esters or methacrylic acid esters, and specifically include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, and 1,6 dimethacrylate. -Bifunctional acrylates such as hexanediol, glyceryl diacrylate, glyceryl dimethacrylate, 1,10-decanediol diacrylate, 1,10-decanediol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate And polyfunctional acrylates such as pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, etc. . Among these, acrylic acid esters are preferable, and acrylic acid esters or methacrylic acid alkyl esters having 1 to 15 carbon atoms in the ester moiety are particularly preferable.

光硬化性樹脂(紫外線硬化性樹脂)の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の5wt%以上、60wt%以下が好ましく、特に8wt%以上、30wt%以下が好ましい。含有量が5wt%未満であると紫外線照射による樹脂組成物のパターニングができない場合があり、60wt%を超えると樹脂が軟らかくなりすぎ、紫外線照射前のシート特性が低下する場合がある。   Although content of photocurable resin (ultraviolet curable resin) is not specifically limited, 5 wt% or more and 60 wt% or less of the whole resin composition are preferable, and 8 wt% or more and 30 wt% or less are especially preferable. If the content is less than 5 wt%, the resin composition may not be patterned by ultraviolet irradiation, and if it exceeds 60 wt%, the resin may be too soft and the sheet characteristics before ultraviolet irradiation may deteriorate.

さらに、樹脂組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。
これにより、光重合により樹脂組成物を効率良くパターニングすることができる。
前記光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾインメチルエーテル、ベンジルフィニルサルファイド、ベンジル、ジベンジル、ジアセチルなどが挙げられる。
前記光重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、前記樹脂組成物全体の0.5wt%以上、5wt%以下が好ましく、特に0.8wt%以上、2.5wt%が好ましい。含有量が0.5wt%未満であると光重合開始する効果が低下する場合があり、5wt%を超えると反応性が高くなりすぎ保存性や解像性が低下する場合がある。
Further, the resin composition preferably contains a photopolymerization initiator.
Thereby, a resin composition can be efficiently patterned by photopolymerization.
Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin isobutyl ether, methyl benzoin benzoate, benzoin benzoic acid, benzoin methyl ether, benzylfinyl sulfide, benzyl, dibenzyl, diacetyl and the like.
Although content of the said photoinitiator is not specifically limited, 0.5 wt% or more and 5 wt% or less of the whole said resin composition are preferable, and 0.8 wt% or more and 2.5 wt% are especially preferable. If the content is less than 0.5 wt%, the effect of initiating photopolymerization may be reduced, and if it exceeds 5 wt%, the reactivity may be too high and the storage stability and resolution may be reduced.

さらに、樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含むことが好ましい。
前記熱硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いても良い。これらの中でもエポキシ樹脂が特に好ましい。これにより、耐熱性および密着性をより向上することができる。
Furthermore, it is preferable that a resin composition contains a thermosetting resin.
Examples of the thermosetting resins include phenol novolac resins, cresol novolac resins, novolac type phenol resins such as bisphenol A novolac resins, phenol resins such as resol phenol resins, bisphenol type epoxies such as bisphenol A epoxy resins and bisphenol F epoxy resins. Resin, novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, etc., novolak epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, alkyl-modified triphenolmethane type epoxy resin, triazine nucleus-containing epoxy resin, di Epoxy resins such as cyclopentadiene-modified phenolic epoxy resins, resins with triazine rings such as urea (urea) resins and melamine resins, unsaturated Riesuteru resins, bismaleimide resins, polyurethane resins, diallyl phthalate resins, silicone resins, resins having a benzoxazine ring, cyanate ester resins, and the like. These may be used singly or in admixture. Among these, an epoxy resin is particularly preferable. Thereby, heat resistance and adhesiveness can be improved more.

また、さらに前記エポキシ樹脂として、シリコーン変性エポキシ樹脂を使用することが好ましく、なかでも、室温で固形のエポキシ樹脂(特にビスフェノール型エポキシ樹脂)と、室温で液状のエポキシ樹脂(特に室温で液状のシリコーン変性エポキシ樹脂)とを併用することが好ましい。これにより、耐熱性を維持しつつ、可とう性と解像性との両方に優れる樹脂組成物とすることができる。   Further, it is preferable to use a silicone-modified epoxy resin as the epoxy resin. Among them, an epoxy resin that is solid at room temperature (particularly a bisphenol type epoxy resin) and an epoxy resin that is liquid at room temperature (particularly a silicone that is liquid at room temperature). A modified epoxy resin) is preferably used in combination. Thereby, it can be set as the resin composition which is excellent in both flexibility and resolution, maintaining heat resistance.

前記熱硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の10wt%以上、40wt%以下が好ましく、特に15wt%以上、35wt%以下、が好ましい。含有量が10wt%未満であると耐熱性を向上する効果が低下する場合があり、40wt%を超えると樹脂組成物の靭性を向上する効果が低下する場合がある。   Although content of the said thermosetting resin is not specifically limited, 10 wt% or more and 40 wt% or less of the whole resin composition are preferable, and 15 wt% or more and 35 wt% or less are especially preferable. If the content is less than 10 wt%, the effect of improving the heat resistance may be reduced, and if it exceeds 40 wt%, the effect of improving the toughness of the resin composition may be reduced.

さらに、樹脂組成物は、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂を含むことが好ましい。これにより、前記光硬化性樹脂と前記熱硬化性樹脂との相溶性を向上することができ、それによって硬化(光硬化および熱硬化)した後の樹脂組成物の強度を高めることができる。   Further, the resin composition preferably contains a curable resin that can be cured by both light and heat. Thereby, the compatibility of the said photocurable resin and the said thermosetting resin can be improved, and the intensity | strength of the resin composition after hardening (photocuring and thermosetting) can be raised by it.

前記光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基等の光反応基を有する熱硬化性樹脂や、エポキシ基、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、カルボキシル基、酸無水物基、アミノ基、シアネート基等の熱反応基を有する光硬化性樹脂等が挙げられる。具体的には、(メタ)アクリル変性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有するアクリル共重合樹脂、(メタ)アクリロイル基含有(メタ)アクリル酸重合体等が挙げられる。これらの中でも(メタ)アクリル変性フェノール樹脂が好ましい。これにより、現像液に有機溶剤ではなく、環境に対する負荷の少ないアルカリ水溶液を適用できると共に、耐熱性を維持することができる。   Examples of the curable resin curable by both light and heat include, for example, a thermosetting resin having a photoreactive group such as an acryloyl group, a methacryloyl group, and a vinyl group, an epoxy group, a phenolic hydroxyl group, an alcoholic hydroxyl group, Examples thereof include a photocurable resin having a thermally reactive group such as a carboxyl group, an acid anhydride group, an amino group, and a cyanate group. Specific examples include (meth) acryl-modified phenolic resins, acrylic copolymer resins having a carboxyl group and an acrylic group in the side chain, and (meth) acryloyl group-containing (meth) acrylic acid polymers. Among these, a (meth) acryl-modified phenol resin is preferable. Thereby, not only an organic solvent but an alkaline aqueous solution with a small environmental load can be applied to the developer, and heat resistance can be maintained.

前記光反応基を有する熱硬化性樹脂の場合、前記光反応基の変性率(置換率)は、特に限定されないが、前記光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂の反応基全体(光反応基と熱反応基の合計)の20%以上、80%以下が好ましく、特に30%以上、70%以下が好ましい。変性量が20%以上、80%以下の範囲内であると、特に解像性に優れる。   In the case of the thermosetting resin having the photoreactive group, the modification rate (substitution rate) of the photoreactive group is not particularly limited, but the entire reactive group of the curable resin that can be cured by both light and heat (light 20% or more and 80% or less of the total of the reactive groups and the thermally reactive groups) is preferable, and 30% or more and 70% or less are particularly preferable. When the modification amount is in the range of 20% or more and 80% or less, the resolution is particularly excellent.

前記熱反応基を有する光硬化性樹脂の場合、前記熱反応基の変性率(置換率)は、特に限定されないが、前記光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂の反応基全体(光反応基と熱反応基の合計)の20%以上、80%以下が好ましく、特に30%以上、70%以下が好ましい。変性量が20%以上、80%以下の内であると、特に解像性に優れる。   In the case of the photocurable resin having the thermally reactive group, the modification rate (substitution rate) of the thermally reactive group is not particularly limited, but the entire reactive group of the curable resin that can be cured by both light and heat (light 20% or more and 80% or less of the total of the reactive groups and the thermally reactive groups) is preferable, and 30% or more and 70% or less are particularly preferable. When the modification amount is 20% or more and 80% or less, the resolution is particularly excellent.

前記光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の15wt%以上、50wt%以下が好ましく、特に20wt%以上、40%以下が好ましい。含有量が15wt%未満であると相溶性を向上する効果が低下する場合があり、50wt%を超えると現像性または解像性が低下する場合がある。   The content of the curable resin that can be cured by both light and heat is not particularly limited, but is preferably 15 wt% or more and 50 wt% or less, and particularly preferably 20 wt% or more and 40% or less of the entire resin composition. If the content is less than 15 wt%, the effect of improving the compatibility may be reduced, and if it exceeds 50 wt%, the developability or resolution may be reduced.

樹脂組成物は本発明の目的を損なわない範囲で可塑性樹脂、レベリング剤、消泡剤、カップリング剤、有機過酸化物などの添加剤を含有することができる。   The resin composition can contain additives such as a plastic resin, a leveling agent, an antifoaming agent, a coupling agent, and an organic peroxide as long as the object of the present invention is not impaired.

このような樹脂組成物は、厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長750nmにおける透過率が20%以上、95%以下である。なかでも、透過率は30%以上であることが好ましい。また、90%以下であることが好ましい。
透過率を20%以上とすることで、樹脂組成物の光透過性が確保され、樹脂組成物を塗布したベース基板12と、露光装置のマスクとの位置合わせを容易に行うことができる。
When such a resin composition is formed into a film having a thickness of 50 μm, the transmittance at a wavelength of 750 nm is 20% or more and 95% or less. Especially, it is preferable that the transmittance | permeability is 30% or more. Moreover, it is preferable that it is 90% or less.
By setting the transmittance to 20% or more, the light transmittance of the resin composition is ensured, and the alignment between the base substrate 12 coated with the resin composition and the mask of the exposure apparatus can be easily performed.

透過率は以下のようにして計測する。
透明PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(膜厚25μm)上に、樹脂組成物を膜厚50μmのフィルム状に形成する。
その後、透明PETフィルムがついたままの樹脂組成物を、紫外可視分光光度計UV−160A(島津製作所製)にセットし、波長750nmの透過率を測定する。
なお、この樹脂組成物の透過率は、樹脂組成物を光硬化させる前の透過率である。
ただし、樹脂組成物を硬化した後の波長750nmにおける透過率も20%以上、95%以下であることが好ましい。このようにすることで、後述するベース基板12と透明基板13との位置合わせを容易に行うことができる。
The transmittance is measured as follows.
On a transparent PET (polyethylene terephthalate) film (film thickness 25 μm), the resin composition is formed into a film with a film thickness of 50 μm.
Thereafter, the resin composition with the transparent PET film still attached is set in an ultraviolet-visible spectrophotometer UV-160A (manufactured by Shimadzu Corporation), and the transmittance at a wavelength of 750 nm is measured.
In addition, the transmittance | permeability of this resin composition is the transmittance | permeability before photocuring the resin composition.
However, the transmittance at a wavelength of 750 nm after curing the resin composition is also preferably 20% or more and 95% or less. By doing in this way, position alignment with the base substrate 12 and the transparent substrate 13 mentioned later can be performed easily.

さらに、樹脂組成物は、フィルム状に形成しUV照射(700mJ/cm)後、80℃〜180℃の温度範囲での最低溶融粘度が100Pa・s以上である。
なかでも、前記最低溶融粘度は、500pa・s以上であることがより好ましく、また、前記最低溶融粘度は、50000pa・s以下であることが好ましい。最低溶融粘度を50000pa・s以下とすることで、露光、現像によるパターニング後に、樹脂組成物の流動性を確保することができるため、透明基板13と受光部11が設けられたベース基板12とを熱圧着した際に確実に接着することができる。
Further, the resin composition is formed into a film shape, and after UV irradiation (700 mJ / cm 2 ), the minimum melt viscosity in the temperature range of 80 ° C. to 180 ° C. is 100 Pa · s or more.
Among these, the minimum melt viscosity is more preferably 500 pa · s or more, and the minimum melt viscosity is preferably 50000 pa · s or less. By setting the minimum melt viscosity to 50000 pa · s or less, the fluidity of the resin composition can be ensured after patterning by exposure and development. Therefore, the transparent substrate 13 and the base substrate 12 provided with the light receiving portion 11 are provided. It can be securely bonded when thermocompression bonding.

最低溶融粘度の計測は以下のようにして行う。
PET製のフィルム上に、樹脂組成物を膜厚50μmのフィルム状に形成する。その後、30mm角にカットしたサンプルを3枚準備する。前記各サンプルにブロードバンドの光を照射する。光量は、波長365nmの光で700mJ/cmとする。フィルム状の樹脂組成物をPET製のフィルムから剥がし、3枚重ねて動的粘弾性測定装置Rheo Stress RS150(HAAKE製)にセットする。プレート間ギャップは100μm、周波数1Hz、昇温速度10℃/分にて、室温〜250℃まで測定する。
The minimum melt viscosity is measured as follows.
A resin composition is formed into a film having a thickness of 50 μm on a PET film. Thereafter, three samples cut into 30 mm squares are prepared. Each sample is irradiated with broadband light. The amount of light is 700 mJ / cm 2 with a wavelength of 365 nm. The film-like resin composition is peeled off from the PET film, and three sheets are stacked and set on a dynamic viscoelasticity measuring device Rheo Stress RS150 (manufactured by HAAKE). The gap between the plates is measured from room temperature to 250 ° C. at 100 μm, frequency 1 Hz, and heating rate 10 ° C./min.

本発明の樹脂組成物を構成する樹脂等を有機溶剤、有機溶剤、たとえば、N−メチル−2−ピロリドン、アニソール、メチルエチルケトン、トルエン、酢酸エチル等に溶解することで、樹脂組成物をワニス状にすることができる。このワニス状の樹脂組成物から溶剤を除去し、乾燥させることで、フィルム状に形成した樹脂組成物を有する接着フィルムを得ることができる。   By dissolving the resin constituting the resin composition of the present invention in an organic solvent, an organic solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, anisole, methyl ethyl ketone, toluene, ethyl acetate, etc., the resin composition is varnished. can do. By removing the solvent from the varnish-like resin composition and drying it, an adhesive film having the resin composition formed into a film can be obtained.

次に、前記樹脂組成物をフィルム状とした接着フィルムの使用方法について説明する。
図1(A)、(B)に示すように、受光部11が複数設けられたベース基板12上に、ベース基板12を覆うように接着フィルム14を貼り付ける。ここで、接着フィルム14の厚みは5μm以上、100μm以下である。
次に、接着フィルム14が貼り付けられたベース基板12と、図示しない露光装置との位置あわせを行う。
このとき、ベース基板12の接着フィルム14が貼り付けられた面には、図示しない位置合わせマークが形成されている。この位置合わせマークを基準として、露光装置のマスクと、ベース基板12との位置合わせを行う。位置合わせは、可視光領域で行われる。
Next, the usage method of the adhesive film which used the said resin composition as the film form is demonstrated.
As shown in FIGS. 1A and 1B, an adhesive film 14 is attached to a base substrate 12 provided with a plurality of light receiving portions 11 so as to cover the base substrate 12. Here, the thickness of the adhesive film 14 is 5 μm or more and 100 μm or less.
Next, the base substrate 12 with the adhesive film 14 attached is aligned with an exposure apparatus (not shown).
At this time, an alignment mark (not shown) is formed on the surface of the base substrate 12 to which the adhesive film 14 is attached. With this alignment mark as a reference, alignment between the mask of the exposure apparatus and the base substrate 12 is performed. The alignment is performed in the visible light region.

ベース基板12と露光装置との位置合わせが完了したら、露光装置から接着フィルム14に対し、選択的に光(紫外線)を照射する。これにより、接着フィルム14のうち光照射された部分が光硬化する。露光後の接着フィルム14を現像液(例えば、アルカリ水溶液、有機溶剤等)で現像すると、光照射された部分が現像液に溶解せずに、残ることとなる。ベース基板12上の各受光部11以外の領域に、受光部11を囲むように格子状に接着フィルム14を残す(図1(C)参照)。   When the alignment between the base substrate 12 and the exposure apparatus is completed, the exposure apparatus selectively irradiates the adhesive film 14 with light (ultraviolet rays). Thereby, the part irradiated with light among the adhesive films 14 is photocured. When the exposed adhesive film 14 is developed with a developer (for example, an alkaline aqueous solution, an organic solvent, etc.), the light irradiated portion remains without being dissolved in the developer. The adhesive film 14 is left in a grid pattern so as to surround the light receiving portions 11 in a region other than each light receiving portion 11 on the base substrate 12 (see FIG. 1C).

その後、接着フィルム14上に透明基板13を載置し、接着フィルム14により、ベース基板12と透明基板13とを接着する。例えば、ベース基板12と透明基板13とを加熱加圧し、接着フィルム14を介して接着する。加熱圧着する際の温度は、80℃〜180℃である。
このとき、ベース基板12に形成された位置合わせマークを基準に透明基板13を設置する。
Thereafter, the transparent substrate 13 is placed on the adhesive film 14, and the base substrate 12 and the transparent substrate 13 are bonded by the adhesive film 14. For example, the base substrate 12 and the transparent substrate 13 are heated and pressed and bonded via the adhesive film 14. The temperature at the time of thermocompression bonding is 80 ° C to 180 ° C.
At this time, the transparent substrate 13 is set with reference to the alignment mark formed on the base substrate 12.

その後、接着したベース基板12および透明基板13を受光部単位に応じて分割する(図1(D)参照)。具体的には、透明基板13側からダイシングソーにより、切込み12Bを入れ、ベース基板12および透明基板13を受光部11単位に応じて分割する。
このような工程により、図2に示す受光装置1を得ることができる。すなわち、受光装置1は、受光部11が設けられたベース基板12と、ベース基板12に対し対向配置された透明基板13とを備える受光装置であって、透明基板13と、ベース基板12との間には、ベース基板12および前記透明基板13間の隙間を保持するとともに、受光部11を囲む枠材が配置される。この枠材は接着フィルム14である。
After that, the bonded base substrate 12 and transparent substrate 13 are divided according to the light receiving unit (see FIG. 1D). Specifically, a cut 12B is made by a dicing saw from the transparent substrate 13 side, and the base substrate 12 and the transparent substrate 13 are divided according to the light receiving unit 11 unit.
Through such a process, the light receiving device 1 shown in FIG. 2 can be obtained. That is, the light receiving device 1 is a light receiving device including a base substrate 12 provided with a light receiving unit 11 and a transparent substrate 13 disposed to face the base substrate 12, and includes a transparent substrate 13 and a base substrate 12. A frame member is disposed between the base substrate 12 and the transparent substrate 13 so as to surround the light receiving unit 11. This frame material is an adhesive film 14.

次に、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態の樹脂組成物は、平均粒径が0.03μm以上、0.4μm以下であるシリカを、0.1wt%以上、40wt%以下含有している。
シリカの平均粒径を0.4μm以下とすることで少なくとも可視光領域における光透過性のよい樹脂組成物とすることができる。
また、シリカの含有量を40wt%以下とすることで、少なくとも可視光領域における光透過性のよい樹脂組成物とすることができる。
これにより、ベース基板12と露光装置のマスクとの位置合わせを容易に行うことができる。また、樹脂組成物を硬化した後のベース基板12と透明基板13との位置合わせも容易に行うことができる。
さらに、シリカの平均粒径を0.03μm以上とすることで、樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。また、シリカの含有量を0.1wt%以上とすることで樹脂組成物の耐熱性、耐湿性を向上させることができる。また、樹脂組成物をベース基板12と、透明基板13との間に配置した際の強度を確保することができる。
Next, the effect of this embodiment is demonstrated.
The resin composition of this embodiment contains 0.1 wt% or more and 40 wt% or less of silica having an average particle size of 0.03 μm or more and 0.4 μm or less.
By setting the average particle size of silica to 0.4 μm or less, it is possible to obtain a resin composition having good light transmissivity in at least the visible light region.
Moreover, it can be set as the resin composition with the sufficient light transmittance in visible region at least by making content of a silica into 40 wt% or less.
Thereby, alignment with the base substrate 12 and the mask of exposure apparatus can be performed easily. In addition, the base substrate 12 and the transparent substrate 13 after the resin composition is cured can be easily aligned.
Furthermore, when the average particle diameter of silica is 0.03 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed when producing a resin composition. Moreover, the heat resistance and moisture resistance of a resin composition can be improved by making content of a silica into 0.1 wt% or more. Moreover, the strength when the resin composition is disposed between the base substrate 12 and the transparent substrate 13 can be ensured.

また、樹脂組成物を厚み50μmのフィルムとした場合、波長750nmにおける透過率を20%以上、95%以下とすることで、ベース基板12等とマスクとの位置合わせを容易にすることができる。   Further, when the resin composition is a film having a thickness of 50 μm, the base substrate 12 and the mask can be easily aligned with each other by setting the transmittance at a wavelength of 750 nm to 20% or more and 95% or less.

さらに、シリカの最大粒径を1.0μm以下とすることで、樹脂組成物の少なくとも可視光領域における光透過性を確実に向上させることができる。また、シリカの最大粒径を0.1μm以上とすることで樹脂組成物を作製する際、シリカを比較的分散させやすいという効果がある。
また、樹脂組成物をフィルム状に形成し、UV照射(700mJ/cm)後、80℃〜180℃の温度範囲での最低溶融粘度が100Pa・s以上とすることで、透明基板13と、ベース基板12とを熱圧着する際に、樹脂組成物(接着フィルム14)がつぶれたり、溶融して流れてしまうことを防止することができる。
Furthermore, by setting the maximum particle size of silica to 1.0 μm or less, the light transmittance of at least the visible light region of the resin composition can be reliably improved. Further, when the resin composition is produced by setting the maximum particle size of silica to 0.1 μm or more, there is an effect that silica is relatively easily dispersed.
In addition, the resin composition is formed into a film shape, and after UV irradiation (700 mJ / cm 2 ), the minimum melt viscosity in the temperature range of 80 ° C. to 180 ° C. is 100 Pa · s or more, When thermocompression bonding with the base substrate 12, the resin composition (adhesive film 14) can be prevented from being crushed or melted and flowing.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長750nmにおける透過率が20%以上、95%以下あるとしたが、さらに、樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長600nmにおける透過率が7%以上、95%以下であってもよい。
このようにすることで、樹脂組成物の光透過性を高め、可視光領域において、ベース基板12と透明基板13との位置あわせをより、容易に行うことができる。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
In the above embodiment, when the resin composition is formed into a film with a thickness of 50 μm, the transmittance at a wavelength of 750 nm is 20% or more and 95% or less, but the resin composition is further formed into a film with a thickness of 50 μm. In this case, the transmittance at a wavelength of 600 nm may be 7% or more and 95% or less.
By doing in this way, the light transmittance of a resin composition can be improved and position alignment with the base substrate 12 and the transparent substrate 13 can be performed more easily in visible region.

また、樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長600nmにおける透過率が7%以上、95%以下、または、波長750nmにおける透過率が20%以上、95%以下のいずれか一方であってもよい。
波長600nmにおける透過率を7%以上、95%以下とした場合であってもベース基板12と透明基板13との位置あわせを容易に行うことができる。
When the resin composition is formed into a film having a thickness of 50 μm, the transmittance at a wavelength of 600 nm is 7% or more and 95% or less, or the transmittance at a wavelength of 750 nm is 20% or more and 95% or less. There may be.
Even when the transmittance at a wavelength of 600 nm is 7% or more and 95% or less, the base substrate 12 and the transparent substrate 13 can be easily aligned.

なお、透過率の測定方法は以下の通りである。
透明PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(膜厚25μm)上に、樹脂組成物を膜厚50μmのフィルム状に形成する。
その後、透明PETフィルムがついたままの樹脂組成物を、紫外可視分光光度計UV−160A(島津製作所製)にセットし、波長600nmの透過率を測定する。
ここでの透過率は、樹脂組成物を硬化する前の透過率である。
In addition, the measuring method of the transmittance | permeability is as follows.
On a transparent PET (polyethylene terephthalate) film (film thickness 25 μm), the resin composition is formed into a film with a film thickness of 50 μm.
Thereafter, the resin composition with the transparent PET film still attached is set in an ultraviolet-visible spectrophotometer UV-160A (manufactured by Shimadzu Corporation), and the transmittance at a wavelength of 600 nm is measured.
The transmittance here is the transmittance before the resin composition is cured.

さらに、前記実施形態では、樹脂組成物をフィルム状に形成した接着フィルム14をベース基板12に貼り付け、ベース基板12と、透明基板13とを接着していたが、これに限らず、透明基板に接着フィルムを貼り付けてもよい。この場合には、透明基板に形成された位置あわせマークとマスクとの位置あわせを行うこととなる。
また、前記実施形態では、ベース基板12に接着フィルム14を貼り付け、接着フィルム14により透明基板13を貼り合わせた後、ダイシングを行ったが、これに限らず、接着フィルム14をベース基板12に貼り付けた後、受光部単位にベース基板12をダイシングし、その後、透明基板13を貼り付けてもよい。
また、前記実施形態では、樹脂組成物をフィルム状に形成した接着フィルム14をベース基板12に貼り付けたが、これに限らず、ワニス状の樹脂組成物をベース基板12に塗布してもよい。ワニス状の樹脂組成物をベース基板12に塗布した後、乾燥させ、露光、現像する。その後、前記実施形態と同様にして、透明基板13を貼り付け、受光装置1を構成すればよい。このとき、乾燥後のワニス状の樹脂組成物の厚みは、前記実施形態の接着フィルムと同程度の厚みであればよい。
さらに、接着フィルム14は、フィルム状に形成した樹脂組成物上に保護フィルム等が貼り付けられているものであってもよい。
Furthermore, in the said embodiment, although the adhesive film 14 which formed the resin composition in the film form was affixed on the base substrate 12, and the base substrate 12 and the transparent substrate 13 were adhere | attached, not only this but a transparent substrate An adhesive film may be affixed to. In this case, the alignment mark formed on the transparent substrate and the mask are aligned.
Moreover, in the said embodiment, although the adhesive film 14 was affixed on the base substrate 12, and the transparent substrate 13 was bonded together with the adhesive film 14, it diced, but it is not restricted to this, The adhesive film 14 is attached to the base substrate 12. After pasting, the base substrate 12 may be diced for each light receiving unit, and then the transparent substrate 13 may be pasted.
Moreover, in the said embodiment, although the adhesive film 14 which formed the resin composition in the film form was affixed on the base substrate 12, not only this but a varnish-like resin composition may be apply | coated to the base substrate 12. . After applying the varnish-like resin composition to the base substrate 12, it is dried, exposed and developed. Thereafter, the light receiving device 1 may be configured by attaching the transparent substrate 13 in the same manner as in the above embodiment. At this time, the thickness of the varnish-like resin composition after drying may be the same as that of the adhesive film of the embodiment.
Furthermore, the adhesive film 14 may be one in which a protective film or the like is attached on a resin composition formed in a film shape.

次に、本発明の実施例および比較例について説明する。
(実施例1〜4,比較例1,2)
(メタクリル変性ビスフェノールAノボラック樹脂(光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂)の合成)
ビスフェノールAノボラック樹脂(フェノライトLF−4871、大日本インキ化学(株)製)の固形分60%MEK(メチルエチルケトン)溶液500gを、2Lフラスコ中に投入し、これに触媒としてトリブチルアミン1.5g、および重合禁止剤としてハイドロキノン0.15gを添加し、100℃に加温した。その中へ、グリシジルメタクリレート180.9gを30分間で滴下し、100℃で5時間攪拌反応させることにより、不揮発分74%のメタクリル変性ビスフェノールAノボラック樹脂(メタクリロイル変性率50%)を得た。
Next, examples and comparative examples of the present invention will be described.
Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2
(Synthesis of methacryl-modified bisphenol A novolac resin (curable resin curable by both light and heat))
500 g of a solid content 60% MEK (methyl ethyl ketone) solution of bisphenol A novolak resin (Phenolite LF-4871, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals) was put into a 2 L flask, and 1.5 g of tributylamine was added as a catalyst thereto. Further, 0.15 g of hydroquinone was added as a polymerization inhibitor and heated to 100 ° C. Into this, 180.9 g of glycidyl methacrylate was added dropwise over 30 minutes, and the mixture was reacted with stirring at 100 ° C. for 5 hours to obtain a methacryl-modified bisphenol A novolak resin (methacryloyl modification rate 50%) having a nonvolatile content of 74%.

(樹脂組成物の調整および接着フィルムの作製)
表1に示す配合により樹脂組成物を作製した。
具体的には、メタクリル変性ビスフェノールAノボラック樹脂(不揮発分74%)、エピクロンN−865(ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、大日本インキ化学工業(株)製)、BY16−115(シリコーン変性エポキシ樹脂、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、シリカ、NKエステル3G(トリエチレングリコールジメタクリレート、新中村化学工業(株)製)をMEK(メチルエチルケトン、大伸化学(株)製)に溶解し固形分濃度71%になるように調整した。次に、ビーズミル(ビーズ直径400μm、処理速度、6g/s、5パス)を用いて、シリカを分散させ、さらに、感光剤を添加し、攪拌羽根(450rpm)にて、1時間攪拌することにより、樹脂組成物を作製した。
その後、樹脂組成物を透明PET(膜厚25μm)上に塗布し、80℃で15分間乾燥させることにより、フィルム状(接着フィルム)とした。接着フィルム(フィルム状の樹脂組成物)の厚みは50μmである。
(Adjustment of resin composition and production of adhesive film)
A resin composition was prepared according to the formulation shown in Table 1.
Specifically, methacryl-modified bisphenol A novolak resin (non-volatile content 74%), Epicron N-865 (bisphenol A novolac type epoxy resin, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), BY16-115 (silicone-modified epoxy resin, Toray Dow Corning Silicone Co.), silica, NK ester 3G (triethylene glycol dimethacrylate, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) dissolved in MEK (methyl ethyl ketone, Daishin Chemical Co., Ltd.) and solid The partial concentration was adjusted to 71%. Next, silica is dispersed using a bead mill (bead diameter 400 μm, processing speed, 6 g / s, 5 passes), a photosensitizer is added, and the mixture is stirred for 1 hour with a stirring blade (450 rpm). A resin composition was prepared.
Thereafter, the resin composition was applied onto transparent PET (film thickness 25 μm) and dried at 80 ° C. for 15 minutes to form a film (adhesive film). The thickness of the adhesive film (film-like resin composition) is 50 μm.

各実施例、各比較例で使用したシリカの平均粒径、最大粒径は、表2に示す通りである。 The average particle diameter and maximum particle diameter of silica used in each example and each comparative example are as shown in Table 2.

Figure 2008285614
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Figure 2008285614
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シリカの平均粒径、最大粒径、透過率、最低溶融粘度の計測方法は、前記実施形態で述べた通りである。
このような各実施例の接着フィルムをベース基板に貼り付けた後、露光を行った。このとき、ベース基板の位置あわせマークを可視光で容易に検出することができ、ベース基板とマスクとの位置あわせを容易に行うことができた(表1に示すようにアライメント性が良好となった)。
一方、各比較例の接着フィルムをベース基板に貼り付けた後、露光を行ったところ、ベース基板の位置あわせマークの可視光での検出が困難であった。そのため、ベース基板とマスクとの位置あわせが困難となった(表1に示すようにアライメント性が不良であった)。
The method for measuring the average particle diameter, maximum particle diameter, transmittance, and minimum melt viscosity of silica is as described in the above embodiment.
After the adhesive film of each Example was attached to the base substrate, exposure was performed. At this time, the alignment mark on the base substrate could be easily detected with visible light, and the alignment between the base substrate and the mask could be easily performed (as shown in Table 1, the alignment was good. )
On the other hand, when the adhesive film of each comparative example was affixed to the base substrate and then exposed, it was difficult to detect the alignment mark on the base substrate with visible light. For this reason, it is difficult to align the base substrate and the mask (alignment was poor as shown in Table 1).

本発明の実施形態にかかる受光装置の製造工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the manufacturing process of the light-receiving device concerning embodiment of this invention. 受光装置を示す図である。It is a figure which shows a light-receiving device.

符号の説明Explanation of symbols

1 受光装置
11 受光部
12 ベース基板
13 透明基板
14 接着フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light receiver 11 Light receiver 12 Base substrate 13 Transparent substrate 14 Adhesive film

Claims (11)

受光部が設けられたベース基板と、透明基板との間に配置され、前記ベース基板および前記透明基板間の隙間を保持するために使用される光硬化性の樹脂組成物であって、
光硬化性樹脂と、
シリカとを含有し、
前記シリカの含有量が、0.1wt%以上、40wt%以下であり、
前記シリカの平均粒径が0.03μm以上、0.4μm以下である樹脂組成物。
A photocurable resin composition that is disposed between a base substrate provided with a light receiving portion and a transparent substrate, and is used to maintain a gap between the base substrate and the transparent substrate,
A photocurable resin;
Containing silica,
The silica content is 0.1 wt% or more and 40 wt% or less,
The resin composition whose average particle diameter of the said silica is 0.03 micrometer or more and 0.4 micrometer or less.
請求項1に記載の樹脂組成物において、
当該樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長600nmにおける透過率が7%以上、95%以下である樹脂組成物。
The resin composition according to claim 1,
A resin composition having a transmittance of 7% or more and 95% or less at a wavelength of 600 nm when the resin composition is formed into a film having a thickness of 50 μm.
請求項1または2に記載の樹脂組成物において、
当該樹脂組成物を厚み50μmのフィルム状に形成した場合、波長750nmにおける透過率が20%以上、95%以下である樹脂組成物。
In the resin composition according to claim 1 or 2,
A resin composition having a transmittance of 20% or more and 95% or less at a wavelength of 750 nm when the resin composition is formed into a film having a thickness of 50 μm.
請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂組成物において、
前記シリカの最大粒径が0.1μm以上、1.0μm以下である樹脂組成物。
In the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 3,
A resin composition having a maximum particle size of the silica of 0.1 μm or more and 1.0 μm or less.
請求項1乃至4のいずれかに記載の樹脂組成物において、
前記シリカは、カップリング処理されているものである樹脂組成物。
In the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 4,
The silica is a resin composition that has been subjected to a coupling treatment.
請求項1乃至5のいずれかに記載の樹脂組成物において、
フィルム状に形成し、UV照射(700mJ/cm)後、80℃〜180℃の温度範囲での最低溶融粘度が100Pa・s以上である樹脂組成物。
In the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 5,
A resin composition which is formed into a film and has a minimum melt viscosity of 100 Pa · s or more in a temperature range of 80 ° C. to 180 ° C. after UV irradiation (700 mJ / cm 2 ).
請求項1乃至6のいずれかに記載の樹脂組成物において、
光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂を含むものである樹脂組成物。
In the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 6,
A resin composition comprising a curable resin curable with both light and heat.
請求項7に記載の樹脂組成物において、
光および熱の両方で硬化可能な前記硬化性樹脂は、(メタ)アクリル変性フェノール樹脂または(メタ)アクリロイル基含有(メタ)アクリル酸重合体を含むものである樹脂組成物。
The resin composition according to claim 7,
The curable resin curable by both light and heat is a resin composition containing a (meth) acryl-modified phenol resin or a (meth) acryloyl group-containing (meth) acrylic acid polymer.
請求項1乃至8のいずれかに記載の樹脂組成物において、
熱硬化性樹脂としてシリコーン変性エポキシ樹脂を含む樹脂組成物。
In the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 8,
A resin composition comprising a silicone-modified epoxy resin as a thermosetting resin.
フィルム状に形成した請求項1乃至9のいずれかに記載の樹脂組成物を有する接着フィルム。   The adhesive film which has the resin composition in any one of Claims 1 thru | or 9 formed in the film form. 受光部が設けられたベース基板と、
前記ベース基板に対し対向配置された透明基板とを備える受光装置であって、
前記透明基板と、前記ベース基板との間には、前記ベース基板および前記透明基板間の隙間を保持するとともに、前記受光部を囲む枠材が配置され、
前記枠材は、請求項1乃至9のいずれかに記載の樹脂組成物、あるいは、請求項10に記載の接着フィルムである受光装置。
A base substrate provided with a light receiving portion;
A light receiving device comprising a transparent substrate disposed opposite to the base substrate,
Between the transparent substrate and the base substrate, while holding a gap between the base substrate and the transparent substrate, a frame material surrounding the light receiving portion is disposed,
The light receiving device, wherein the frame member is the resin composition according to any one of claims 1 to 9, or the adhesive film according to claim 10.
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