JP2008284482A - 低露点圧縮空気製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低露点圧縮空気製造装置10は、処理用空気を除湿ロータ20に送気することによって大気圧下で除湿するとともに、加熱された再生用空気を前記除湿ロータ20に送気することによって前記除湿ロータ20を再生させる乾式除湿機12と、乾式除湿機12の後段に設けられ、乾式除湿機12で除湿された処理用空気を圧縮する圧縮機14と、圧縮機14を囲むケーシング36と、乾式除湿機12で除湿された処理用空気をケーシング36の内部に送気して充満させる配管38と、を備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 圧縮された低露点の空気を製造する低露点圧縮空気製造装置において、
処理用空気を除湿ロータに送気することによって大気圧下で除湿するとともに、加熱された再生用空気を前記除湿ロータに送気することによって前記除湿ロータを再生させる乾式除湿装置と、
前記乾式除湿装置の後段に設けられ、該乾式除湿装置で除湿された処理用空気を圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機を囲むケーシングと、
前記乾式除湿装置で除湿された処理用空気を前記ケーシングの内部に送気して充満させる配管と、
を備えたことを特徴とする低露点圧縮空気製造装置。 - 前記ケーシングの内部の露点温度を検出するセンサと、
前記ケーシングの内部から排気される前記処理用空気の流量を調節する流量可変バルブと、
前記センサの測定結果に基づいて前記流量可変バルブを制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の低露点圧縮空気製造装置。 - 前記乾式除湿装置における前記処理用空気の入口部と出口部とを接続するバイパス管と、
前記バイパス管に設けられたバイパス流量可変バルブと、
前記圧縮機から吐出された処理用空気の露点温度を測定する給気側露点温度センサと、
前記給気側露点温度センサの測定値に基づいて前記バイパス流量可変バルブを制御するバイパス流量制御装置と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の低露点圧縮空気製造装置。 - 前記圧縮機から吐出される処理用空気を非再生式不純物除去フィルタに通気させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1に記載の低露点圧縮空気製造装置。
- 前記ケーシングの内部から前記処理用空気を排気する配管に逆流防止弁が設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1に記載の低露点圧縮空気製造装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010148997A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | 除湿装置 |
US20110016902A1 (en) * | 2009-07-27 | 2011-01-27 | Nissan Technical Center North America, Inc. | Vehicle air handling system |
KR20140020729A (ko) * | 2012-08-09 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 세이부 기켄 | 글로브 박스 |
JP2020138146A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
US20210132135A1 (en) * | 2018-02-26 | 2021-05-06 | Tokyo Electron Limited | Inspection device and method for operating inspection device |
CN115234478A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-10-25 | 中核核电运行管理有限公司 | 一种核电厂压空生产系统及其控制方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61252880A (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-10 | Orion Mach Co Ltd | 空気圧縮装置 |
JPS61252879A (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-10 | Orion Mach Co Ltd | 空気圧縮装置 |
-
2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61252880A (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-10 | Orion Mach Co Ltd | 空気圧縮装置 |
JPS61252879A (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-10 | Orion Mach Co Ltd | 空気圧縮装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010148997A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | 除湿装置 |
US20110016902A1 (en) * | 2009-07-27 | 2011-01-27 | Nissan Technical Center North America, Inc. | Vehicle air handling system |
US8453474B2 (en) * | 2009-07-27 | 2013-06-04 | Nissan North America, Inc. | Vehicle air handling system |
KR20140020729A (ko) * | 2012-08-09 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 세이부 기켄 | 글로브 박스 |
KR102032143B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2019-10-15 | 가부시키가이샤 세이부 기켄 | 글로브 박스 |
US20210132135A1 (en) * | 2018-02-26 | 2021-05-06 | Tokyo Electron Limited | Inspection device and method for operating inspection device |
US11614477B2 (en) * | 2018-02-26 | 2023-03-28 | Tokyo Electron Limited | Inspection device and method for operating inspection device |
JP2020138146A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
CN115234478A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-10-25 | 中核核电运行管理有限公司 | 一种核电厂压空生产系统及其控制方法 |
CN115234478B (zh) * | 2022-06-14 | 2024-02-09 | 中核核电运行管理有限公司 | 一种核电厂压空生产系统及其控制方法 |
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