JP2008253876A - Device and method for discharging material - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、接着剤、ペースト状又はクリーム状の電子材料等の容器内に貯留した液体材料等を、容器に適用した加圧力により所定量づつ吐出する材料の吐出方法に関する。 The present invention relates to a material ejection method for ejecting a liquid material or the like stored in a container such as an adhesive, a paste-like or cream-like electronic material by a predetermined amount by a pressure applied to the container.
従来の液体材料の吐出方法としては、一般的に機械式及びエアー式の2種類があり、精度等の必要性能により使い分けを行っている。一般的に、必要吐出量精度が高い場合には機械式が使用され、高精度が必要無い場合にはエアー式が使用される。 As a conventional liquid material discharging method, there are generally two types, a mechanical type and an air type, which are selectively used depending on required performance such as accuracy. Generally, when the required discharge amount accuracy is high, a mechanical type is used, and when high accuracy is not required, an air type is used.
機械式の場合、液体材料が入った容器内にピストン等を押し込み、このピストンの押し込んだ量に比例した量の液体を吐出するようになっている。この機械式の場合、吐出する材料の状態の影響を受けにくいため、高精度の吐出用で液体材料の吐出が可能である。しかし、機械式の場合は、エアー式と比較して、装置の全体の構成が複雑になり、装置コストが高いという難点がある。 In the case of the mechanical type, a piston or the like is pushed into a container containing a liquid material, and an amount of liquid proportional to the pushed-in amount of the piston is discharged. In the case of this mechanical type, since it is difficult to be influenced by the state of the material to be discharged, it is possible to discharge the liquid material for high-precision discharge. However, in the case of the mechanical type, compared with the air type, there is a problem that the overall configuration of the apparatus is complicated and the apparatus cost is high.
一方、エアー式の場合、装置を安価に構成することができるが、ピストン等をエアー圧で駆動するため、エアーの膨張・収縮及び材料の残量・粘度変化等の影響を受けるため、高精度での吐出量の制御を実現できない。 On the other hand, in the case of the air type, the device can be constructed at a low cost, but since the piston is driven by air pressure, it is affected by the expansion and contraction of the air and the remaining amount of the material and changes in the viscosity. It is not possible to control the discharge amount at this point.
ここで、吐出量精度がエアー式で充分ではあるが、材料それ自身の粘度変化等に起因して、材料への加圧力が一定であっても、単位時間当たりの液体吐出量が仕様を満足しない場合、また材料のロット間での特性違いに起因する場合等、現実的には定量吐出の精度向上はもちろん維持することさえ困難である。このため、定量吐出精度を維持するために、段取り替えの都度、試行錯誤的なテストを実施して材料への加圧力を決定していた。また、使用環境に対して特性変化の大きい材料の場合、精度維持のためにテストを頻繁に行う必要があり、生産効率の低下が否めなかった。 Here, the discharge accuracy is sufficient with the air type, but the liquid discharge amount per unit time satisfies the specifications even if the pressure applied to the material is constant due to changes in the viscosity of the material itself. If not, or due to a difference in characteristics between lots of materials, it is practically difficult to improve the accuracy of quantitative discharge. For this reason, in order to maintain the quantitative discharge accuracy, a trial and error test is performed every time the setup is changed to determine the pressure applied to the material. In addition, in the case of a material whose characteristics change greatly with respect to the usage environment, it is necessary to frequently perform tests in order to maintain accuracy, and it is unavoidable that the production efficiency is reduced.
即ち、吐出対象となる材料、例えば、接着剤、及びペースト状又はクリーム状の電子材料は、使用環境において粘度変化等の経時変化が多かれ少なかれ発生する。機械式の吐出手段を使用した場合、粘度変化等の影響を受けることなく、吐出量の精度を維持することが可能である。しかし、エアー式と比較してシステムが高価であり、段取り毎に清掃を行う等の長い作業工数が必要である。エアー式の吐出手段を使用した場合、機械式と比較して安価にシステムを構築でき、清掃作業等を必要としないため、短時間での段取り替えが可能となる。しかし、吐出駆動源がエアーのため、材料の残量・粘度変化等の影響を受けるので、吐出量の精度は低い。また、材料の経時変化に起因して、同一加圧力で吐出していても、吐出量が変化(多くの場合、減少)してしまい、精度を維持することも困難である。そのため、価格・作業性を犠牲にして機械式にて対応するか、又は、試行錯誤的なテストを定期的に実施して、所要の吐出量となる加圧力を決定する。又は、加圧力と吐出量との比例関係を計測し、所要加圧力を算出して定期的に加圧力の補正を実施する等で対応している。このため、従来技術においては、低コストで且つ高作業性で、経時変化に対して吐出量を高精度に維持することは困難であった。 That is, a material to be discharged, for example, an adhesive, and a paste-like or cream-like electronic material are more or less likely to change over time such as a viscosity change in a use environment. When a mechanical discharge means is used, it is possible to maintain the accuracy of the discharge amount without being affected by changes in viscosity or the like. However, the system is more expensive than the air type, and a long work man-hour such as cleaning every setup is required. When an air-type discharge means is used, a system can be constructed at a lower cost than a mechanical type, and no cleaning work or the like is required, so that the setup can be changed in a short time. However, since the discharge drive source is air, it is affected by the remaining amount of material, changes in viscosity, and the like, so the accuracy of the discharge amount is low. In addition, even when discharging is performed with the same applied pressure due to a change in material over time, the discharge amount changes (in many cases, decreases), and it is difficult to maintain accuracy. For this reason, it is possible to respond mechanically at the expense of price and workability, or periodically perform trial and error tests to determine the pressurizing force that provides the required discharge amount. Alternatively, the proportional relationship between the pressurizing force and the discharge amount is measured, the required pressurizing force is calculated, and the correction of the pressurizing force is periodically performed. For this reason, in the prior art, it has been difficult to maintain the discharge amount with high accuracy against changes with time at low cost and high workability.
特許文献1に記載の従来の吐出方法は、2種類の加圧力における吐出量を計測することで、計測時点での材料の加圧力と吐出量との比例関係を求め、この比例関係に基づいて、所要の吐出量に対応する加圧力を決定するものである。この方法では、試行錯誤的なテストを行う場合に比べて、生産効率の向上を図ることができる。また、この比例関係を定期的に求めることで、粘度変化等の影響を有効に取り除いて、吐出量を高精度に維持しようとしている。 The conventional discharge method described in Patent Document 1 measures the discharge amount at two types of pressurizing forces, thereby obtaining a proportional relationship between the material pressing force and the discharge amount at the time of measurement, and based on this proportional relationship. The pressing force corresponding to the required discharge amount is determined. In this method, the production efficiency can be improved as compared with a case where a trial and error test is performed. Further, by periodically obtaining this proportional relationship, it is intended to effectively remove the influence of viscosity change and maintain the discharge amount with high accuracy.
特許文献2に記載の従来の吐出装置は、予め実験によって求められた吐出圧・吐出時間等の修正データをメモリーに記憶させ、実際の吐出時には吐出回数・経過時間等により順次記憶しておいたメモリーのデータに従って、吐出圧・吐出時間を修正し、自動的に定量吐出を行っている。 In the conventional discharge device described in Patent Document 2, correction data such as discharge pressure and discharge time obtained in advance by experiments are stored in a memory, and are sequentially stored according to the number of discharges and elapsed time during actual discharge. The discharge pressure and discharge time are corrected according to the data in the memory, and quantitative discharge is automatically performed.
しかし、特許文献1に記載の従来の液体吐出方法においては、吐出量の精度を維持しようとした場合、比例関係を求める周期は、材料の特性に大きく起因する。即ち、特性の変化量の大きな材料を使用する場合には、頻繁に比例関係を求める必要があり、実際には生産効率の向上が期待できないという問題点がある。 However, in the conventional liquid ejection method described in Patent Document 1, when the accuracy of the ejection amount is to be maintained, the period for obtaining the proportional relationship is largely caused by the characteristics of the material. That is, when a material having a large amount of change in characteristics is used, it is necessary to frequently obtain a proportional relationship, and there is a problem that improvement in production efficiency cannot be expected in practice.
また、特許文献2に記載の従来の液体吐出装置においては、吐出圧等の吐出条件の修正が、メモリーのデータに従っているため、予め実験した条件と違う条件で吐出する場合に、再度実験する必要がある。また、同一材料であるが、ロット間の特性バラツキが大きな材料を扱う場合には、期待する定量吐出を行うことが困難である。 In addition, in the conventional liquid discharge device described in Patent Document 2, correction of discharge conditions such as discharge pressure conforms to the data in the memory, and therefore it is necessary to perform an experiment again when discharging under conditions different from the previously tested conditions. There is. Moreover, when the same material is used but a material with a large variation in characteristics between lots is handled, it is difficult to perform the expected quantitative discharge.
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、経時変化等に伴う材料自体の粘度変化が生じても、吐出量を高精度で所定量に制御することができる材料の吐出装置及び方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and is a material discharge device capable of controlling the discharge amount to a predetermined amount with high accuracy even if the viscosity of the material itself accompanying a change with time or the like occurs. It aims to provide a method.
本発明に係る材料の吐出装置は、容器内の材料を所定の加圧力で加圧し吐出する加圧手段と、所定の更新タイミングで前記加圧力に対応する吐出量を計測し、前記加圧力と前記吐出量との関係を記憶する吐出量記憶手段と、所望の吐出量を得る加圧力を前記関係から算出して設定する加圧力設定手段と、を有することを特徴とする。 The material discharge device according to the present invention includes a pressurizing unit that pressurizes and discharges a material in a container with a predetermined pressurizing force, measures a discharge amount corresponding to the pressurizing force at a predetermined update timing, and Discharge amount storage means for storing the relationship with the discharge amount and pressurizing force setting means for calculating and setting a pressurizing force for obtaining a desired discharge amount from the relationship.
本発明に係る他の材料の吐出装置は、材料を貯留し加圧力によりノズルから前記材料を吐出する容器と、前記容器内の加圧力を設定する加圧力設定部と、前記ノズルから吐出された材料の吐出量を測定する吐出量測定部と、前記吐出量の測定タイミングを決めるスケジューリング部と、この吐出量の測定の都度前記吐出量測定値と加圧力との関係を記憶する記憶部と、前記吐出量測定値が規定範囲内でない場合に前記加圧力を変更して前記吐出量測定部により吐出量を計測させる加圧力制御部と、を有することを特徴とする。 Another material discharge device according to the present invention is a container that stores material and discharges the material from a nozzle by a pressure, a pressure setting unit that sets a pressure in the container, and a gas discharged from the nozzle A discharge amount measuring unit that measures the discharge amount of the material, a scheduling unit that determines the measurement timing of the discharge amount, and a storage unit that stores the relationship between the discharge amount measurement value and the applied pressure each time the discharge amount is measured, A pressurizing force control unit that changes the pressurizing force and measures the discharge amount by the discharge amount measuring unit when the measured value of the discharge amount is not within a specified range.
また、本発明に係る材料の吐出方法は、容器内の材料を所定の加圧力で加圧して吐出させる工程と、所定の更新タイミングで前記加圧力に対応する吐出量を計測し、前記加圧力と前記吐出量との関係を記憶する工程と、所望の吐出量を得る加圧力を前記関係から算出して設定する工程とを有することを特徴とする。 Further, the material discharge method according to the present invention includes a step of pressurizing and discharging the material in the container with a predetermined pressurizing force, and measuring a discharge amount corresponding to the pressurizing force at a predetermined update timing. Storing the relationship between the discharge amount and the discharge amount, and calculating and setting a pressing force for obtaining a desired discharge amount from the relationship.
本発明に係る他の材料の吐出方法は、容器内の材料を容器内に供給された加圧力により吐出する材料の吐出方法において、所定の更新タイミングで、前記材料の吐出量を計測し、前記吐出量の計測値が規定範囲内であれば加圧力と吐出量との関係を記憶し、前記吐出量の計測値が規定範囲内でなければ加圧力を変更した後加圧力と吐出量との関係を記憶し、この記憶された加圧力と吐出量との関係に基づいて加圧力を設定して前記材料を吐出することを特徴とする。 According to another material discharge method according to the present invention, in the material discharge method for discharging the material in the container by the applied pressure supplied in the container, the discharge amount of the material is measured at a predetermined update timing. If the measured value of the discharge amount is within the specified range, the relationship between the applied pressure and the discharged amount is stored, and if the measured value of the discharged amount is not within the specified range, the applied pressure is changed after changing the applied pressure. The relationship is stored, and the material is discharged by setting the pressing force based on the relationship between the stored pressing force and the discharge amount.
前記材料は、例えば、液体、ゲル状物質又は流体である。 The material is, for example, a liquid, a gel substance, or a fluid.
以下、本発明の実施の形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る液体の吐出方法を示すブロック図である。本実施形態の液体材料の吐出方法においては、シリンジ1内に液体材料2が貯留され、この液体材料2はシリンジ1の先端に設けたノズル3から吐出されるようになっている。このシリンジ1の内部には、加圧源4から電空レギュレータ5によって加圧力が制御された空気が供給され、シリンジ1内の液体材料には、この加圧力が印加される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a liquid ejection method according to the first embodiment of the present invention. In the liquid material discharge method of the present embodiment, a liquid material 2 is stored in the syringe 1, and the liquid material 2 is discharged from a nozzle 3 provided at the tip of the syringe 1. Inside the syringe 1, air whose pressure is controlled by the electropneumatic regulator 5 is supplied from the pressure source 4, and this pressure is applied to the liquid material in the syringe 1.
また、吐出量を測定するタイミングを計画し、実行するスケジューリング部9と、前記スケジューリング部9からのタイミングにより加圧力と吐出量との関係を計測する吐出量測定部7と、吐出量測定部7で計測した際の情報を追記記憶する情報記憶部8と、液体材料を吐出する都度、情報記憶部8の情報から電空レギュレータ5への加圧力を算出更新する加圧力制御部6と、を含んで構成される。
Further, the scheduling unit 9 that plans and executes the timing for measuring the discharge amount, the discharge
吐出の駆動源となるエアー等が加圧源4から供給され、電空レギュレータ5にて制御された加圧力にてシリンジ1内の液体材料2を加圧し、液体材料2がノズル3の先端から吐出される。加圧力制御部6は、情報記憶部8に記憶されている情報から、液体材料2を吐出する度に、所定吐出量となる加圧力を算出し、算出結果に従って電空レギュレータ5を制御する。情報記憶部8の情報は、液体材料2の吐出量を計測する吐出量測定部7からの情報を測定の度に随時記憶している。計測のタイミングは、スケジューリング部9により決定される。例えば、材料の使用開始時は短いサイクルで計測し、徐々にサイクルを長くする等、材料の粘度変化特性に合わせて、所定吐出量を実現可能な情報を収集するようにスケジュールを構成する。材料の粘度変化等の経時変化を考慮して計測タイミングを決定し、蓄積した計測情報から吐出の度に所定吐出量となる加圧力を算出することにより、所要吐出量の維持が可能となる。
Air or the like as a driving source for discharge is supplied from the pressurizing source 4, and the liquid material 2 in the syringe 1 is pressurized with a pressurizing force controlled by the electropneumatic regulator 5. Discharged. The pressurizing
次に、図1及び図2のフローチャートを参照して本実施形態の液体材料の吐出方法の動作について説明する。図2において、ステップA1で、スケジューリング部9からのタイミングにより吐出量の計測実施の可否を判断する。計測実施の場合、情報記憶部8の情報をもとに加圧力制御部6で加圧力を算出し、電空レジュレータ5に加圧力を設定する。そのときの吐出量を吐出量測定部7で計測する(ステップA2)。次に、ステップA3で、計測した吐出量が、所定吐出量の規格範囲内であれば、ステップA5にて計測した吐出量を含めた吐出情報を情報記憶部8に追記する。また、計測した吐出量が、規格範囲外であれば、ステップA4にて加圧力を変更し、再度ステップA2にて吐出量の計測を実施する。また、ステップA1で計測実施しない場合、加圧力補正のステップA6を実行する。
Next, the operation of the liquid material discharging method of the present embodiment will be described with reference to the flowcharts of FIGS. In FIG. 2, in step A <b> 1, it is determined whether or not the discharge amount measurement can be performed based on the timing from the scheduling unit 9. In the case of performing the measurement, the pressurizing
ここで、ステップA6では、情報記憶部8に記憶された情報をもとに加圧力制御部6で加圧力を算出する。次に、ステップA7にて、ステップA6で算出した加圧力を電空レギュレータ5に設定して、製品への塗布を実行する。製品への塗布実施後、ステップA8にて、塗布の終了かどうかの判断を行う。ここで、終了と判断されれば処理を終了する。また、終了と判断されなければ、ステップA1に戻り吐出量の計測実施の可否判断を行う。ステップA8にて、製品への塗布実施が終了と判断されるまで、吐出量を計測し、加圧力を補正しながら製品への塗布実行を繰り返す。
Here, in step A <b> 6, the applied pressure is calculated by the applied
次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態においては、対象とする材料の吐出量を必要なタイミングで計測し、その計測情報をもとに吐出の度に加圧力を算出しているため、時間軸に対して粘度変化量が変化する材料に対しても、所定の吐出量を高精度で維持することができる。また、吐出量計測手段を有することにより、対象となる材料の特性を予め求める必要がないため、段取りが容易で、かつ試行錯誤的テストが不要であるという効果を奏する。 Next, the effect of this embodiment will be described. In the present embodiment, the discharge amount of the target material is measured at a necessary timing, and the applied pressure is calculated for each discharge based on the measurement information. A predetermined discharge amount can be maintained with high accuracy even for a changing material. Further, since the discharge amount measuring means is provided, it is not necessary to obtain the characteristics of the target material in advance, so that the setup is easy and a trial and error test is unnecessary.
なお、上記実施形態において、加圧力補正方法として、時間に関するn次式とすることができる。また、加圧力補正時に使用する情報記憶部8のデータサンプルとして、処理の始めから吐出量が規格範囲内となるときの加圧力のデータを全てサンプルとして取り扱っても良いし、新しいデータn個をサンプルとして取り扱っても良い。また、加圧力の算出時には、サンプルデータの重み付けをする場合としない場合等、一般的な統計手法を用いて行うことができる。 In the above-described embodiment, the pressure correction method can be an n-order equation related to time. Further, as the data sample of the information storage unit 8 used at the time of correcting the pressing force, all of the pressing force data when the discharge amount falls within the standard range from the beginning of the processing may be handled as a sample, or n pieces of new data are stored. It may be handled as a sample. In addition, the calculation of the applied pressure can be performed using a general statistical method, such as when the sample data is weighted or not.
なお、前記吐出材料としては、液体材料が一般的であるが、その他、ゲル状物質又は流体等も本発明の吐出対象として有効である。 The discharge material is generally a liquid material, but other gel-like substances or fluids are also effective as discharge targets of the present invention.
次に、本実施形態の効果を試験した結果について、図3及び図4を参照して説明する。この試験は図1に示す実施形態の装置で実施した。シリンジ1の先端にノズル3が取り付けられており、シリンジ1内に吐出対象となる液体材料2が入っている。液体材料2は、加圧源4から電空レギュレータ5によって制御された加圧力により、ノズル3から吐出される。本試験では、加圧力制御部6から、電空レギュレータ5に加圧力を設定し、所定時間の吐出を行い、そのときにノズル3から吐出された材料2の吐出量を吐出量測定部7にて測定を行う。このときの加圧力と吐出量とを記録する。なお、吐出は約20秒間隔で行った。
Next, the results of testing the effect of this embodiment will be described with reference to FIGS. This test was conducted with the apparatus of the embodiment shown in FIG. A nozzle 3 is attached to the tip of the syringe 1, and a liquid material 2 to be discharged is contained in the syringe 1. The liquid material 2 is discharged from the nozzle 3 by the pressurizing force controlled by the electropneumatic regulator 5 from the pressurizing source 4. In this test, a pressurizing force is set on the electropneumatic regulator 5 from the pressurizing
図3は、吐出開始の初回のみ吐出量の規格内判定を実施し、そのときの加圧力を一定にて吐出量を記録した結果である。また、図4は、図2で示したフローで加圧力補正を実施した場合の吐出量を記録した結果であり、規格範囲内かどうかの判定を約20分間隔で実施し、加圧力補正には規格範囲となった情報を使用して、最小二乗法により一次近似で加圧力補正を行った。ここで、所要吐出量の規格としてA(中心値)mg±B(許容範囲)mgとし、初期の加圧力は試験開始時の吐出量計測結果により決定した。図3から、加圧力一定では早い時期から規格外になる可能性が高く、一定時間経過後は完全に規格外である。しかし、図4の結果から、加圧力を吐出量の計測結果をもとに算出することにより、材料の粘度変化量が変化した場合でも、また長時間経過後でも規格内の吐出量が維持可能である。 FIG. 3 shows the result of recording within the specification of the discharge amount only at the first discharge start, and recording the discharge amount at a constant pressure. FIG. 4 is a result of recording the discharge amount when the pressure correction is performed in the flow shown in FIG. 2, and it is determined whether the pressure is within the standard range at intervals of about 20 minutes. Used the information that became the standard range, and corrected the pressure by linear approximation using the least squares method. Here, A (center value) mg ± B (allowable range) mg was set as the standard for the required discharge amount, and the initial pressure was determined from the discharge amount measurement result at the start of the test. From FIG. 3, when the pressure is constant, there is a high possibility that it will be out of specification from an early stage, and after the fixed time has passed, it is completely out of specification. However, by calculating the applied pressure based on the measurement result of the discharge amount from the results shown in FIG. 4, the discharge amount within the standard can be maintained even when the amount of change in the viscosity of the material changes or even after a long time has passed. It is.
本発明の活用例として、半導体組立におけるダイマウント工程のペースト塗布、アンダーフィル工程の樹脂塗布、放熱板貼付工程のペースト塗布、接着剤塗布等の液体樹脂を吐出する機能が必要な製造装置が挙げられる。 Examples of utilization of the present invention include a manufacturing apparatus that requires a function of discharging a liquid resin, such as paste application in a die mounting process in a semiconductor assembly, resin application in an underfill process, paste application in a heat sink application process, and adhesive application. It is done.
1 シリンジ
2 材料
3 ノズル
4 加圧源
5 電空レギュレータ
6 加圧力制御部
7 吐出量測定部
8 情報記憶部
9 スケジューリング部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Syringe 2 Material 3 Nozzle 4 Pressurization source 5
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