JP2008251976A

JP2008251976A - Impedance matching device

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Publication number: JP2008251976A
Application number: JP2007093949A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Negi; 真一祢▲宜▼; Shuji Omae; 修二大前
Original assignee: Daihen Corp
Current assignee: Daihen Corp
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2008-10-16
Anticipated expiration: 2027-03-30
Also published as: JP5132967B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem, wherein a movable part 30 on a variable capacitor comprises a bolt part 31 and a nut part 32, but repeated operation only in a partial range on the movable part 30 gives rise to a phenomenon of depleted grease to cause screw threads on the bolt part 31 and the nut part 32 to be worn and deformed, thereby smooth movement being prevented. <P>SOLUTION: A decision criterion is set up to decide whether or not re-greasing is required for each variable capacitor. A control section 70 decides whether or not re-greasing is performed on the basis of the decision criterion, and re-greasing is performed if the requirements are satisfied. Information output from an input terminal information detection section 40, a first position detection section 61 and the like is used for making decision. Capability of automatic re-greasing operation eliminates the need for stopping a high-frequency power supply unit. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、プラズマエッチング、プラズマＣＶＤ等の用途に用いられるプラズマ処理装置等の負荷に電力を供給する高周波電源と負荷との間に設けられ、高周波電源と負荷のインピーダンスを整合させるインピーダンス整合装置に関するものである。 The present invention is provided between a high-frequency power source that supplies power to a load of a plasma processing apparatus or the like used in applications such as plasma etching and plasma CVD, and impedance matching that matches the impedance of the high-frequency power source and the load. It relates to the device.

図３は、インピーダンス整合装置が用いられる高周波電力供給システムの一例を示す図である。 FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a high-frequency power supply system in which an impedance matching device is used.

この高周波電力供給システムは、半導体ウエハや液晶基板等の被加工物に、例えばプラズマエッチング、プラズマＣＶＤといった加工処理を行うためのシステムであり、高周波電源装置１、伝送線路２、インピーダンス整合装置３、負荷接続部４及び負荷５（プラズマ処理装置５）で構成されている。 This high-frequency power supply system is a system for performing processing such as plasma etching and plasma CVD on a workpiece such as a semiconductor wafer or a liquid crystal substrate, and includes a high-frequency power supply device 1, a transmission line 2, an impedance matching device 3, It is comprised by the load connection part 4 and the load 5 (plasma processing apparatus 5).

高周波電源装置１は、高周波電力を出力して負荷５となるプラズマ処理装置５に供給するための装置である。なお、高周波電源装置１から出力された高周波電力は、同軸ケーブルからなる伝送線路２及びインピーダンス整合装置３及び遮蔽された銅板からなる負荷接続部４を介して負荷５に供給される。また、一般にこの種の高周波電源装置１では、無線周波数帯域の周波数（例えば、数百ｋＨｚ以上の周波数）を有する高周波電力を出力している。 The high frequency power supply device 1 is a device for outputting high frequency power and supplying it to the plasma processing apparatus 5 serving as a load 5. In addition, the high frequency electric power output from the high frequency power supply device 1 is supplied to the load 5 through the transmission line 2 made of a coaxial cable, the impedance matching device 3, and the load connection portion 4 made of a shielded copper plate. In general, this type of high-frequency power supply 1 outputs high-frequency power having a frequency in the radio frequency band (for example, a frequency of several hundred kHz or more).

負荷５（プラズマ処理装置５）は、加工部を備え、その加工部の内部に搬入したウエハ、液晶基板等の被加工物を加工（エッチング、ＣＶＤ等）するための装置であり、被加工物を加工するために、加工部にプラズマ放電用ガスを導入し、そのプラズマ放電用ガスに高周波電源装置１から供給された高周波電力（電圧）を印加することによって、上記のプラズマ放電用ガスを放電させて非プラズマ状態からプラズマ状態にしている。そして、プラズマを利用して被加工物を加工している。 The load 5 (plasma processing apparatus 5) includes a processing unit, and is a device for processing (etching, CVD, etc.) a workpiece such as a wafer and a liquid crystal substrate carried into the processing unit. In order to process the plasma discharge gas, the plasma discharge gas is introduced into the processing portion, and the plasma discharge gas is discharged by applying the high frequency power (voltage) supplied from the high frequency power supply 1 to the plasma discharge gas. Thus, the plasma state is changed from the non-plasma state. Then, the workpiece is processed using plasma.

インピーダンス整合装置３は、高周波電源装置１と負荷５とのインピーダンスを整合させるものである。インピーダンス整合装置３には、例えば、可変コンデンサや可変インダクタといったインピーダンスを変更できる可変インピーダンス素子等を備えたインピーダンス変換部１０（図４参照）が設けられ、インピーダンス変換部１０の可変インピーダンス素子のインピーダンス（より詳細には、可変コンデンサの場合はキャパシタンス、可変インダクタの場合はインダクタンス、可変抵抗の場合はレジスタンス）を変更させることによって、インピーダンス整合を行っている。 The impedance matching device 3 matches the impedance between the high frequency power supply device 1 and the load 5. The impedance matching device 3 includes, for example, an impedance converter 10 (see FIG. 4) including a variable impedance element that can change impedance, such as a variable capacitor and a variable inductor, and the impedance of the variable impedance element of the impedance converter 10 (see FIG. 4). More specifically, impedance matching is performed by changing capacitance in the case of a variable capacitor, inductance in the case of a variable inductor, and resistance in the case of a variable resistor.

より具体的には、例えば、高周波電源装置１の出力端から高周波電源装置１側を見たインピーダンスが、例えば５０Ωに設計され、高周波電源装置１が、特性インピーダンス５０Ωの伝送線路２でインピーダンス整合装置３の入力端子３ａに接続されているとすると、インピーダンス整合装置３は、当該インピーダンス整合装置３の入力端３ａから負荷５側を見たインピーダンスＺｉｎ（以下、入力インピーダンスＺｉｎ）を５０Ωに変換させるものである。 More specifically, for example, the impedance when the high frequency power supply device 1 side is viewed from the output end of the high frequency power supply device 1 is designed to be 50Ω, for example, and the high frequency power supply device 1 is an impedance matching device with a transmission line 2 having a characteristic impedance of 50Ω. 3 is connected to the input terminal 3a, the impedance matching device 3 converts the impedance Zin seen from the input end 3a of the impedance matching device 3 to the load 5 side (hereinafter referred to as input impedance Zin) into 50Ω. It is.

この際、例えば、５０Ω±１Ωのような範囲を設定して、その範囲内になればインピーダンス整合したと見なしてもよい。また、目標とするインピーダンスを５０Ωにするのではなく、あえて、他のインピーダンス（例えば５１Ω）に設定することもある。 At this time, for example, a range such as 50Ω ± 1Ω may be set and impedance matching may be regarded as being within the range. In addition, the target impedance is not set to 50Ω, but may be set to another impedance (for example, 51Ω).

図４は、インピーダンス変換部１０の回路構成例である。
インピーダンス変換部１０は、図４に示すように、例えば、第１の可変コンデンサＣ１、第２の可変コンデンサＣ２、およびインダクタＬ１によって構成される。また、図４とは異なり、可変インダクタが設けられることもある。なお、このような可変コンデンサ等を備えたインピーダンス整合装置３としては、特許文献１に示すようなものがある。 FIG. 4 is a circuit configuration example of the impedance converter 10.
As shown in FIG. 4, the impedance conversion unit 10 includes, for example, a first variable capacitor C1, a second variable capacitor C2, and an inductor L1. Further, unlike FIG. 4, a variable inductor may be provided. As an impedance matching device 3 provided with such a variable capacitor or the like, there is one as shown in Patent Document 1.

次に、第１の可変コンデンサＣ１および第２の可変コンデンサＣ２のような可変コンデンサを例にして、可変インピーダンス素子の可動部の構造を説明する。なお、以下では、第１の可変コンデンサＣ１および第２の可変コンデンサＣ２の区別無しに説明する。 Next, the structure of the movable part of the variable impedance element will be described by taking variable capacitors such as the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 as an example. In the following, description will be made without distinguishing between the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2.

図５は、可変コンデンサの可動部周辺の概略図である。
この図５に示すように、可変コンデンサの可動部３０が、ボルト部３１とナット部３２とによって構成されているものがある。そして、図示しない駆動部によってナット部３２が回転され、その回転によって、ボルト部３１の位置が変位するようになっている。なお、駆動部は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等のモータが用いられる。
また、ボルト部３１は、可変コンデンサの電極２０に連結されており、ボルト部３１の位置を変位させることによって、可変コンデンサのキャパシタンスが変更できるようになっている。すなわち、可動部３０（詳細には可動部３０を構成するボルト部３１）の位置を変位させることによって、可変インピーダンス素子の電気的特性を変更できるようになっている。
なお、可変コンデンサの電極２０の構造が様々であるため、ここでは詳細を省略するが、可動部３０の位置を変位させることによって、電極の対向面積が変わり、それによってキャパシタンスが変更されるようになっている。
例えば、図５（ａ）のように、ボルト部３１をナット部３２から突出する方向に、ボルト部３１の位置を変位させると、キャパシタンスが大になり、図５（ｂ）のように、ボルト部３１をナット部３２の中に入り込ませる方向に、ボルト部３１の位置を変位させると、キャパシタンスが小になる。なお、図５（ｂ）では、可変コンデンサの電極２０を省略している。 FIG. 5 is a schematic view around the movable part of the variable capacitor.
As shown in FIG. 5, the movable portion 30 of the variable capacitor includes a bolt portion 31 and a nut portion 32. And the nut part 32 is rotated by the drive part which is not shown in figure, and the position of the bolt part 31 is displaced by the rotation. For example, a motor such as a stepping motor or a servo motor is used as the drive unit.
The bolt portion 31 is connected to the electrode 20 of the variable capacitor, and the capacitance of the variable capacitor can be changed by displacing the position of the bolt portion 31. That is, the electrical characteristics of the variable impedance element can be changed by displacing the position of the movable part 30 (specifically, the bolt part 31 constituting the movable part 30).
Since the structure of the electrode 20 of the variable capacitor is various, the details are omitted here, but by displacing the position of the movable portion 30, the facing area of the electrode changes, thereby changing the capacitance. It has become.
For example, if the position of the bolt part 31 is displaced in a direction in which the bolt part 31 protrudes from the nut part 32 as shown in FIG. When the position of the bolt part 31 is displaced in the direction in which the part 31 enters the nut part 32, the capacitance becomes small. In FIG. 5B, the electrode 20 of the variable capacitor is omitted.

また、駆動部は、図示しない制御部によって制御される。この際、可変コンデンサのキャパシタンスが、複数段階に変更可能となるように制御される。すなわち、図示しない制御部によって駆動部が制御される。そして、駆動部によって可動部３０（詳細には可動部３０を構成するボルト部３１）の位置を変位させると、可動部３０に連結されている電極２０の状態が変化するので、キャパシタンスを変更できるようになっている。 The drive unit is controlled by a control unit (not shown). At this time, the capacitance of the variable capacitor is controlled so as to be changed in a plurality of stages. That is, the drive unit is controlled by a control unit (not shown). And if the position of the movable part 30 (specifically, the bolt part 31 constituting the movable part 30) is displaced by the drive part, the state of the electrode 20 connected to the movable part 30 changes, so that the capacitance can be changed. It is like that.

例えば、可変コンデンサの可動部３０の位置が、１０００段階に変位可能である場合、キャパシタンスも１０００通りに変更可能となる。なお、可動部３０の位置に対するキャパシタンスは、可変インピーダンス素子の仕様または実験によって、既知となっている。そのため、可動部３０の位置が分かれば、キャパシタンスが分かるようになっている。 For example, when the position of the movable portion 30 of the variable capacitor can be displaced in 1000 steps, the capacitance can be changed in 1000 ways. In addition, the capacitance with respect to the position of the movable part 30 is known by the specification or experiment of the variable impedance element. Therefore, if the position of the movable part 30 is known, the capacitance can be understood.

なお、上述した可変コンデンサは、コンデンサの電極部が真空空間になるような構造になっている。そのために、実際には、複雑な構造になっているが、図５では、可変コンデンサの電極および可動部３０周辺の概略図であるため、真空にするための構造等については省略している。また、このような可変コンデンサを真空可変コンデンサという。 The variable capacitor described above has a structure in which the electrode portion of the capacitor becomes a vacuum space. Therefore, although it is actually a complicated structure, FIG. 5 is a schematic view of the periphery of the electrode of the variable capacitor and the movable portion 30, and therefore the structure for creating a vacuum is omitted. Such a variable capacitor is called a vacuum variable capacitor.

なお、ここでは、可変コンデンサを例にして説明しているが、可動部がボルト部とナット部とによって構成されている可変インピーダンス素子であれば、同様のことが言える。例えば、可変インダクタ、可変抵抗等であっても、図５に示すように、可動部が、ボルト部とナット部とによって構成されているものであれば、同様のことが言える。 Here, a variable capacitor is described as an example, but the same can be said if the movable part is a variable impedance element constituted by a bolt part and a nut part. For example, the same applies to a variable inductor, a variable resistor, and the like as long as the movable portion includes a bolt portion and a nut portion as shown in FIG.

また、図５では、ナット部３２を回転させることによってボルト部３１の位置が変位する例を示したが、これに限定されるものではなく、ボルト部とナット部との関係を逆にしたような構成にしてもよい。すなわち、ボルト部を回転させることによって、ナット部の位置が変位され、そして、ナット部の位置が変位することによって、可変インピーダンス素子の電気的特性（キャパシタンス、インダクタンス等）を変更できるようにしてもよい。 Moreover, although the example which the position of the bolt part 31 displaces by rotating the nut part 32 was shown in FIG. 5, it is not limited to this, It seems that the relationship between a bolt part and a nut part was reversed. Any configuration may be used. That is, the position of the nut portion is displaced by rotating the bolt portion, and the electrical characteristics (capacitance, inductance, etc.) of the variable impedance element can be changed by the displacement of the nut portion. Good.

このように、可変インピーダンス素子には様々な種類があるが、以下の説明では、可変コンデンサを例にして説明を行う。 As described above, there are various types of variable impedance elements. In the following description, a variable capacitor will be described as an example.

特開２００３−３０２４３１号公報JP 2003-302431 A

上述したように可変コンデンサは、インピーダンス整合装置３において、インピーダンスを調整するために用いられる。そのために、高周波電源装置から負荷に電力が供給されている状態において、インピーダンス整合を行うために、負荷のインピーダンスに合わせて、キャパシタンスが変更される。 As described above, the variable capacitor is used in the impedance matching device 3 to adjust the impedance. Therefore, the capacitance is changed in accordance with the impedance of the load in order to perform impedance matching in a state where power is supplied from the high frequency power supply device.

このとき、可変コンデンサの可動部３０は、全可動範囲で位置が変位するのではなく、負荷のインピーダンスに合わせて、限られた範囲内で位置が変位することが多い。例えば、可変コンデンサの可動部３０の位置が、１０００段階に変位可能である場合において、可動部３０の可動範囲内で、キャパシタンスが最小となる可動部３０の位置を「１」で表し、キャパシタンスが最大となる可動部３０の位置を「１０００」で表すとする。このとき、可動部３０は、「１」〜「１０００」の範囲内で頻繁に位置が変位するのではなく、例えば、「２００」〜「３００」等の範囲でのみ位置が変位するなど、限られた可動範囲内で位置が変位をすることが多い。すなわち、全可動範囲の１０％の可動範囲内でのみ位置が変位するなど、限られた可動範囲内で位置が変位をすることが多い。
なお、この可動範囲は、負荷の状態などによって変わるため、例えば、「３００」〜「４５０」（全可動範囲の１５％）、「６００」〜「６５０」（全可動範囲の５％）の範囲など、様々である。
なお、図５に示すように、ボルト部３１およびナット部３２が接触している部分は、ある程度の幅があるので、上記で例示した割合は、全可動範囲のうちで、ボルト部３１およびナット部３２が接触している部分の割合を示すものではない。 At this time, the position of the movable portion 30 of the variable capacitor is not displaced in the entire movable range, but is often displaced in a limited range in accordance with the impedance of the load. For example, when the position of the movable part 30 of the variable capacitor can be displaced in 1000 steps, the position of the movable part 30 where the capacitance is minimum within the movable range of the movable part 30 is represented by “1”, and the capacitance is It is assumed that the maximum position of the movable unit 30 is represented by “1000”. At this time, the position of the movable unit 30 is not frequently displaced within the range of “1” to “1000”, but the position is displaced only within the range of “200” to “300”, for example. In many cases, the position is displaced within the movable range. That is, the position is often displaced within a limited movable range, for example, the position is displaced only within a movable range of 10% of the total movable range.
In addition, since this movable range changes with the state of a load etc., the range of "300"-"450" (15% of a total movable range), "600"-"650" (5% of a total movable range), for example And so on.
As shown in FIG. 5, the portion where the bolt portion 31 and the nut portion 32 are in contact has a certain width. Therefore, the ratio exemplified above is within the entire movable range. It does not indicate the proportion of the portion where the portion 32 is in contact.

また、図５に示すように、可動部３０のボルト部３１のうち、ナット部３２と接触しているのは、ボルト部３１の一部である。そのため、上述したような限られた可動範囲内でのみ可動部３０の位置が変位するという動作が繰り返されると、ボルト部３１、ナット部３２に塗布されたグリースが、その可動範囲で枯渇するという現象が生じる。 Further, as shown in FIG. 5, a part of the bolt part 31 is in contact with the nut part 32 among the bolt parts 31 of the movable part 30. Therefore, when the operation of moving the position of the movable portion 30 is repeated only within the limited movable range as described above, the grease applied to the bolt portion 31 and the nut portion 32 is depleted in the movable range. A phenomenon occurs.

グリースが枯渇した状態で可動部３０の位置を変異させようとしても、潤滑性が少ないので、ボルト部３１やナット部３２のねじ山が磨耗して変形することになる。そうなると、可動部３０は滑らかに可動できなくなる。そして、このような状態が続くと、ついには、可動部３０を変位させることができなくなる。 Even if the position of the movable portion 30 is changed in a state where the grease is depleted, since the lubricity is low, the thread of the bolt portion 31 and the nut portion 32 is worn and deformed. Then, the movable part 30 cannot be moved smoothly. And if such a state continues, it will finally become impossible to displace the movable part 30.

特に、上述したような真空可変コンデンサの場合は、可動部３０を駆動部側に変位させるには、真空空間に逆らって変位させる必要があるので、大きなトルクが必要となる。そのため、ねじ山が磨耗し変形すると、さらに大きなトルクが必要となるため、その影響は大きい。 In particular, in the case of the vacuum variable capacitor as described above, in order to displace the movable unit 30 toward the driving unit, it is necessary to displace it against the vacuum space, so a large torque is required. For this reason, when the thread is worn and deformed, a larger torque is required, so the influence is great.

そのため、定期的にグリースを塗布するメンテナンスを行なう等の対策が必要となる。しかし、分解してグリースを塗布するのは、現実問題として難しい。そこで、手動にて、可動部３０を広い範囲で可動させることによって、あまり使用されていない可動範囲に塗布されているグリースを、枯渇した範囲に広めるという方法がとられていた。 For this reason, it is necessary to take measures such as performing maintenance by periodically applying grease. However, it is difficult as a real problem to disassemble and apply grease. In view of this, a method has been adopted in which the grease applied to the movable range that is not so often used is spread to the exhausted range by manually moving the movable portion 30 in a wide range.

すなわち、グリースが残っているボルト部３１の範囲で、ボルト部３１とナット部３２とが接触するようにボルト部３１の位置を変位させて、ボルト部３１に残っているグリースをナット部３２に付ける。その後、グリースが枯渇したボルト部３１の範囲でボルト部３１とナット部３２とが接触するようにボルト部３１の位置を変位させると、ナット部３２に付いたグリースがボルト部３１に付くので、グリースが枯渇したボルト部３１の範囲にグリースを再塗布することができる。本明細書では、このような動作をリグリース動作という。 That is, within the range of the bolt part 31 where the grease remains, the position of the bolt part 31 is displaced so that the bolt part 31 and the nut part 32 come into contact with each other, and the grease remaining on the bolt part 31 is transferred to the nut part 32. wear. After that, when the position of the bolt part 31 is displaced so that the bolt part 31 and the nut part 32 are in contact with each other in the range of the bolt part 31 depleted of grease, the grease attached to the nut part 32 is attached to the bolt part 31. The grease can be reapplied to the range of the bolt part 31 where the grease is depleted. In this specification, such an operation is referred to as a re-grease operation.

このリグリース動作は、例えば、可動部３０の位置を、全ての可動範囲内又は予め設定された一部の可動範囲内で変化させればよい。
例えば、上述したように、可変コンデンサの可動部３０の位置（詳細には可動部３０を構成するボルト部３１）が、１０００段階に変位可能である場合、「１」〜「１０００」の範囲（全範囲）で、可変コンデンサの可動部３０を往復動作させればよい。
または、グリースが枯渇したボルト部３１の範囲が、上記例のように「２００」〜「３００」であると思われる場合は、上記範囲が含まれ、かつリグリース動作の効果が得られると思われる範囲（例えば、「０」〜「５００」）で、可変コンデンサの可動部３０を往復動作させればよい。また、このリグリース動作における往復回数は、１回よりも複数回の方が望ましい。また、往復させなくてもよい場合もある。 For this grease operation, for example, the position of the movable portion 30 may be changed within the entire movable range or within a predetermined movable range.
For example, as described above, when the position of the movable part 30 of the variable capacitor (specifically, the bolt part 31 constituting the movable part 30) can be displaced in 1000 steps, the range of “1” to “1000” ( The movable portion 30 of the variable capacitor may be reciprocated over the entire range.
Alternatively, when the range of the bolt part 31 depleted of grease is considered to be “200” to “300” as in the above example, the above range is included, and the effect of the re-grease operation can be obtained. The movable portion 30 of the variable capacitor may be reciprocated within a range (for example, “0” to “500”). In addition, the number of reciprocations in this re-grease operation is preferably a plurality of times rather than one. In some cases, it is not necessary to reciprocate.

なお、リグリース動作を行う前の位置に戻すことが望ましい。これは、リグリース動作が完了した後、高周波電源装置１から高周波電力が供給された場合に、いち早くインピーダンス整合を行うためである。 In addition, it is desirable to return to the position before performing the grease operation. This is because impedance matching is performed promptly when high-frequency power is supplied from the high-frequency power supply device 1 after the re-grease operation is completed.

しかし、インピーダンス整合装置３が用いられる高周波電力供給システムは、ほとんど休止時間なく稼動し続けることが多いので、手動にてメンテナンスを行なうにも、稼働中に発生する僅かな休止時間に行なう必要がある。しかし、手動にてリグリース動作を行なっていると、インピーダンス整合ができないので、もし、リグリース動作中に高周波電力が供給された場合には、製品に悪影響を与える恐れがある。また、高周波電源装置１に戻る反射波が大きくなって、高周波電源装置１を破損させる恐れがある。 However, since the high-frequency power supply system using the impedance matching device 3 often keeps operating with almost no downtime, it is necessary to perform the maintenance manually even during a short downtime that occurs during operation. . However, if the re-grease operation is performed manually, impedance matching cannot be performed. Therefore, if high-frequency power is supplied during the re-grease operation, the product may be adversely affected. Further, the reflected wave returning to the high frequency power supply device 1 becomes large, and the high frequency power supply device 1 may be damaged.

そのために、手動でリグリース動作を行なう場合には、稼働中に発生する僅かな休止時間に行なうというのではなく、高周波電力供給システム自体を停止させることによって、手動にてリグリース動作を行なっている間に、間違って高周波電力が供給されないようにする必要がある。しかし、これでは、工場の生産性が悪くなるという問題があった。 Therefore, when manually re-grease operation, it is not performed during the brief downtime that occurs during operation, but during the manual re-grease operation by stopping the high-frequency power supply system itself. In addition, it is necessary to prevent high frequency power from being supplied by mistake. However, this has a problem that the productivity of the factory deteriorates.

また、手動でリグリース動作を行なう場合には、リグリース動作をいつ行なうのかの管理が必要であり、手間がかかる。また、リグリース動作を行なう時期になっているにもかかわらず、リグリース動作を忘れてしまうということも考えられる。 In addition, when manually performing the re-grease operation, it is necessary to manage when the re-grease operation is performed, which is troublesome. It is also conceivable that the re-grease operation is forgotten even though it is time to perform the re-grease operation.

本発明は、上記事情のもとで考え出されたものであって、高周波電力供給システムを停止させることなく、自動にてリグリース動作を行なう機能を有するインピーダンス整合装置３を提供することを目的としている。 The present invention has been conceived under the above circumstances, and an object thereof is to provide an impedance matching device 3 having a function of automatically performing a grease operation without stopping a high-frequency power supply system. Yes.

第１の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
高周波電力を出力する高周波電源装置と負荷との間に設けられ、高周波電源装置と負荷のインピーダンスを整合させるために少なくとも１つの可変インピーダンス素子を有するインピーダンス整合装置において、
前記可変インピーダンス素子が１つの場合は、その１つの可変インピーダンス素子に対してリグリースが必要であるか否かを判定するための判定基準を設定しておき、また、前記可変インピーダンス素子が複数の場合は、それぞれの可変インピーダンス素子に対してリグリースが必要であるか否かを判定するための判定基準を設定しておき、前記判定基準に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定する機能と、
リグリースが必要であると判定され、かつ、リグリースを行える状態であれば、リグリースを行なうために、前記可変インピーダンス素子の可動部の位置を可動範囲内で変化させるリグリース動作を行なう機能と、
を有することを特徴としている。 The impedance matching device provided by the first invention is:
In an impedance matching device provided between a high frequency power supply device that outputs high frequency power and a load, and having at least one variable impedance element for matching impedances of the high frequency power supply device and the load,
When there is one variable impedance element, a criterion for determining whether regrease is necessary for the one variable impedance element is set, and there are a plurality of variable impedance elements. Is a function for determining whether or not regrease is necessary for each variable impedance element by setting a criterion for determining whether or not regrease is necessary. When,
A function of performing a re-grease operation to change the position of the movable portion of the variable impedance element within a movable range in order to perform re-grease if it is determined that re-grease is necessary and re-grease is possible;
It is characterized by having.

第２の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記判定基準に関するものであって、前記判定基準は、前記高周波電源装置から高周波電力が出力された累積時間、前記可変インピーダンス素子の可動部の累積変位量および前記可変インピーダンス素子の可動部の累積往復数のうちの少なくとも１つの情報が夫々に対して予め定めた基準値を超えたとき、または、前記３つの情報の任意の情報が夫々に対して予め定めた基準値を超えたときに、リグリースが必要であると判定することを特徴としている。 The impedance matching device provided by the second invention is:
The determination criterion relates to the cumulative time when the high frequency power is output from the high frequency power supply device, the cumulative displacement amount of the movable part of the variable impedance element, and the cumulative reciprocation of the movable part of the variable impedance element. Reggrease when at least one of the numbers exceeds a predetermined reference value for each, or when any of the three pieces of information exceeds a predetermined reference value for each It is characterized in that it is determined that is necessary.

第３の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記高周波電源装置から高周波電力が出力されていない状態のときに、リグリースを行える状態であるとする。 The impedance matching device provided by the third invention is:
It is assumed that regreasing can be performed when high frequency power is not output from the high frequency power supply device.

第４の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
リグリースが必要であると判定したときに、外部にリグリースが必要であることを示す信号を出力する機能を、さらに有し、
外部からリグリース動作を行うことを許可する許可信号が入力され、かつ、前記高周波電源装置から高周波電力が出力されていない状態のときに、リグリースを行える状態であるとする。 The impedance matching device provided by the fourth invention is:
A function of outputting a signal indicating that re-grease is necessary when it is determined that re-grease is necessary;
Assume that it is in a state in which re-grease can be performed when a permission signal permitting a re-grease operation is input from the outside and high-frequency power is not output from the high-frequency power supply device.

第５の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記リグリース動作中または前記リグリース動作を開始するときに、装置の外部に、リグリース動作中であることを示す信号を出力する機能を、さらに有することを特徴している。 The impedance matching device provided by the fifth invention is:
It is further characterized in that it has a function of outputting a signal indicating that the re-grease operation is being performed to the outside of the apparatus during the re-grease operation or when the re-grease operation is started.

第６の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記リグリース動作中に、前記高周波電源装置から高周波電力が出力されたことを検知した場合は、前記リグリース動作を中止し、高周波電源装置と負荷のインピーダンスを整合させる動作を行うことを特徴としている。 The impedance matching device provided by the sixth invention is:
If it is detected during the re-grease operation that high-frequency power is output from the high-frequency power supply device, the re-grease operation is stopped and an operation for matching the impedance between the high-frequency power supply device and the load is performed.

第７の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記リグリース動作に関するものであって、前記リグリース動作は、前記可変インピーダンス素子の可動部の位置を、全ての可動範囲内又は予め設定された一部の可動範囲内で変化させることを特徴としている。 The impedance matching device provided by the seventh invention is:
The regrease operation is characterized in that the position of the movable portion of the variable impedance element is changed within the entire movable range or within a predetermined movable range.

第８の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記リグリース動作に関するものであって、前記リグリース動作は、予め設定された速度で前記可変インピーダンス素子の可動部の位置を変化させることを特徴としている。 The impedance matching device provided by the eighth invention is
The re-grease operation is characterized in that the re-grease operation changes the position of the movable portion of the variable impedance element at a preset speed.

第９の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記判定基準に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定するのは、前記可変インピーダンス素子毎に行なうが、前記リグリース動作は、リグリースが必要と判定された可変インピーダンス素子のみ行うのか、又は、全ての可変インピーダンス素子において行なうのかを、予め設定しておくことを特徴としている。 The impedance matching device provided by the ninth invention provides
Based on the determination criteria, it is determined for each variable impedance element whether or not re-grease is necessary, but the re-grease operation is performed only for the variable impedance element determined to require re-grease, or This is characterized in that it is set in advance for all variable impedance elements.

第１０の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
前記判定基準に関するものであって、前記判定基準は、リグリース動作が完了した回数に関係なく同一間隔とするか、リグリース動作が完了した回数に応じてより厳しくなる方向に変更するかを選択できることを特徴としている。 The impedance matching device provided by the tenth invention is
The determination criterion relates to whether the determination criterion can be set to the same interval regardless of the number of times the regrease operation is completed or to be changed in a direction that becomes more severe according to the number of times the regrease operation is completed. It is a feature.

第１１の発明によって提供されるインピーダンス整合装置は、
可変インピーダンス素子の可動部に関するものであって、可変インピーダンス素子の可動部は、ボルト部とナット部とによって構成されていることを特徴としている。 The impedance matching device provided by the eleventh invention is
The present invention relates to a movable part of a variable impedance element, wherein the movable part of the variable impedance element is constituted by a bolt part and a nut part.

本発明によれば、高周波電力供給システムを停止させることなく、自動にてリグリース動作を行なう機能をインピーダンス整合装置に持たすことができる。
そのため、従来のように、手動にてリグリース動作を行なっている最中に高周波電力が供給されてしまい、その結果、製品に悪影響を与えたり、高周波電源装置を破損させたりする恐れがなくなる。
また、自動でリグリース動作を行なうために、高周波電力供給システム自体を停止させる必要がない。そのため、手動でリグリース動作を行なう場合に比べて、工場の生産性を向上させることができる。 According to the present invention, the impedance matching device can be provided with a function of automatically performing a grease operation without stopping the high-frequency power supply system.
As a result, high-frequency power is supplied during manual re-grease operation as in the prior art, and as a result, there is no possibility of adversely affecting the product or damaging the high-frequency power supply device.
Further, since the re-grease operation is automatically performed, it is not necessary to stop the high-frequency power supply system itself. Therefore, the productivity of the factory can be improved as compared with the case where the re-grease operation is performed manually.

以下、本発明の詳細を図面を参照して説明する。 Hereinafter, details of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、インピーダンス整合装置３の構成例である。
なお、インピーダンス変換部１０は、図４に示したものと同じであるので、説明を省略する。また、第１の可変コンデンサＣ１および第２の可変コンデンサＣ２の可動部周辺の構造については、両者とも図５と同様であるので、以下の説明においては、第１の可変コンデンサＣ１と第２の可変コンデンサＣ２で区別することなく、便宜上、図５で示した符号を用いる。 FIG. 1 is a configuration example of the impedance matching device 3.
The impedance converter 10 is the same as that shown in FIG. Further, since the structures around the movable part of the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 are both the same as in FIG. 5, in the following description, the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 For the sake of convenience, the reference numerals shown in FIG. 5 are used without distinguishing by the variable capacitor C2.

入力端情報検出部４０は、インピーダンス整合装置３の入力端３ａ（インピーダンス変換部１０の入力端１０ａと実質的に同じ）において、インピーダンス整合に必要な情報である入力電圧Ｖｉｎ（例えば、実効値）、入力電流Ｉｉｎ（例えば、実効値）、および入力電圧Ｖｉｎと入力電流Ｉｉｎとの位相差θｉｎを検出するものである。より詳細には、入力端情報検出部４０は、電圧検出部４１、電流検出部４２、位相差検出部４３によって構成されている。 The input terminal information detection unit 40 has an input voltage Vin (for example, effective value) that is information necessary for impedance matching at the input terminal 3a of the impedance matching device 3 (substantially the same as the input terminal 10a of the impedance converter 10). The input current Iin (for example, the effective value) and the phase difference θin between the input voltage Vin and the input current Iin are detected. More specifically, the input end information detection unit 40 includes a voltage detection unit 41, a current detection unit 42, and a phase difference detection unit 43.

第１駆動部５１は、第１の可変コンデンサＣ１の可動部３０と連結されており、第１駆動部５１が駆動することによって可変コンデンサＣ１のキャパシタンスを変更させることができる。同様に、第２駆動部５２は、第２の可変コンデンサＣ２の可動部３０と連結されており、第２駆動部５２が駆動することによって可変コンデンサＣ２のキャパシタンスを変更させることができる。このような第１駆動部５１および第２駆動部５２には、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等のモータが用いられる。 The first drive unit 51 is connected to the movable unit 30 of the first variable capacitor C1, and the capacitance of the variable capacitor C1 can be changed by driving the first drive unit 51. Similarly, the second drive unit 52 is connected to the movable unit 30 of the second variable capacitor C2, and the capacitance of the variable capacitor C2 can be changed by driving the second drive unit 52. For the first drive unit 51 and the second drive unit 52, for example, a motor such as a stepping motor or a servo motor is used.

また、これらの第１駆動部５１および第２駆動部５２は、後述する制御部７０によって制御される。この際、第１の可変コンデンサＣ１および第２の可変コンデンサＣ２のキャパシタンスが、それぞれ複数段階（例えば１０００段階）に変更可能となるように制御される。 The first drive unit 51 and the second drive unit 52 are controlled by a control unit 70 described later. At this time, the capacitances of the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 are controlled so as to be changeable in a plurality of stages (for example, 1000 stages).

第１位置検出部６１は、第１の可変コンデンサＣ１の可動部３０の位置情報を検出し、検出した位置情報に基づいて可動部３０の現在位置を出力するものである。なお、可動部３０の位置情報とは、可動部３０の位置を直接または間接的に示す情報のことである。例えば、本実施形態のように、第１駆動部５１がステッピングモータ等のモータの場合、第１の可変コンデンサＣ１の可動部３０の位置は、モータの回転によって変位する。そのために、モータの回転量を検出することによって、可動部３０の位置を求めることができる。そのために、モータの回転量を可動部３０の位置情報とすることができる。この場合、モータの回転量は、パルス信号で検出してもよいし、電圧等で検出してもよい。 The first position detector 61 detects the position information of the movable part 30 of the first variable capacitor C1, and outputs the current position of the movable part 30 based on the detected position information. Note that the position information of the movable unit 30 is information that directly or indirectly indicates the position of the movable unit 30. For example, as in the present embodiment, when the first driving unit 51 is a motor such as a stepping motor, the position of the movable unit 30 of the first variable capacitor C1 is displaced by the rotation of the motor. Therefore, the position of the movable part 30 can be obtained by detecting the rotation amount of the motor. Therefore, the rotation amount of the motor can be used as the position information of the movable unit 30. In this case, the rotation amount of the motor may be detected by a pulse signal, or may be detected by a voltage or the like.

また、前述したように、第１駆動部５１が、第１の可変コンデンサＣ１の可動部３０と連結されているので、第１の可変コンデンサＣ１の可動部３０の位置情報は、第１の可変コンデンサＣ１側で検出してもよいし、第１駆動部５１側で検出してもよい。本実施形態では、図１に示すように、第１駆動部５１側で検出する例を示している。 Further, as described above, since the first drive unit 51 is connected to the movable unit 30 of the first variable capacitor C1, the positional information of the movable unit 30 of the first variable capacitor C1 is the first variable capacitor. It may be detected on the capacitor C1 side or on the first drive unit 51 side. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, an example of detection on the first drive unit 51 side is shown.

同様に、第２位置検出部６２は、第２の可変コンデンサＣ２の可動部３０の位置情報を検出し、検出した位置情報に基づいて可動部３０の現在位置を出力するものである。この第２位置検出部６２は、第１位置検出部６１と同様なので、説明を省略する。 Similarly, the second position detector 62 detects position information of the movable part 30 of the second variable capacitor C2, and outputs the current position of the movable part 30 based on the detected position information. Since the second position detection unit 62 is the same as the first position detection unit 61, description thereof is omitted.

制御部７０は、入力端情報検出部４０で検出した情報に基づいて、入力インピーダンスＺｉｎが所定値になるように、インピーダンス整合を行うものである。そのために、制御部７０は、第１駆動部５１および第２駆動部５２に対して、インピーダンス整合するように指令信号を出力し、第１の可変コンデンサＣ１、および第２の可変コンデンサＣ２のキャパシタンスを変更させている。このとき、第１位置検出部６１および第２位置検出部６２から出力した可動部３０の現在位置を入力して、フィードバック制御してもよい。なお、第１位置検出部６１および第２位置検出部６２から出力した可動部３０の現在位置を使用しないときは、オープンループ制御となる。すなわち、第１位置検出部６１および第２位置検出部６２は、使用する場合と使用しない場合とがある。そのために、図１では、第１位置検出部６１および第２位置検出部６２から制御部７０に向かう信号線を点線で表している。 The control unit 70 performs impedance matching based on the information detected by the input end information detection unit 40 so that the input impedance Zin becomes a predetermined value. Therefore, the control unit 70 outputs a command signal so as to match impedance to the first driving unit 51 and the second driving unit 52, and the capacitances of the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2. Is changed. At this time, the current position of the movable unit 30 output from the first position detection unit 61 and the second position detection unit 62 may be input to perform feedback control. When the current position of the movable unit 30 output from the first position detection unit 61 and the second position detection unit 62 is not used, open loop control is performed. That is, the first position detector 61 and the second position detector 62 may be used or not used. For this purpose, in FIG. 1, signal lines from the first position detection unit 61 and the second position detection unit 62 to the control unit 70 are indicated by dotted lines.

なお、インピーダンス整合の方法に関しては公知であるため、説明を省略する。また、本実施例では、入力端情報検出部４０で検出するのは、電圧、電流、位相差であり、この情報に基づいてインピーダンス整合を行っているが、この方式に限定するものではない。例えば、進行波電圧と反射波電圧とを検出し、検出した進行波電圧と反射波電圧とに基づいてインピーダンス整合を行う方式でインピーダンス整合を行ってもよい。 Since the impedance matching method is known, the description thereof is omitted. In the present embodiment, the input end information detection unit 40 detects the voltage, current, and phase difference, and impedance matching is performed based on this information. However, the present invention is not limited to this method. For example, impedance matching may be performed by detecting a traveling wave voltage and a reflected wave voltage and performing impedance matching based on the detected traveling wave voltage and reflected wave voltage.

制御部７０は、さらに、第１の可変コンデンサＣ１および第２の可変コンデンサＣ２において、リグリースが必要であるか否かを判定する機能を有する。 The control unit 70 further has a function of determining whether or not re-grease is necessary in the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2.

また、制御部７０は、リグリースが必要であると判定され、かつ、リグリースを行える状態であれば、リグリースを行なうために、前記可変コンデンサの可動部３０の位置を可動範囲内で変化させるリグリース動作を行なう機能を有する。 In addition, if it is determined that re-grease is necessary, and the controller 70 is ready to re-grease, the re-grease operation for changing the position of the movable portion 30 of the variable capacitor within the movable range in order to re-grease. It has the function to perform.

次に、リグリースが必要であるか否かを判定する機能について説明する。
前述したように、第１の可変コンデンサＣ１、第２の可変コンデンサＣ２は、インピーダンス整合装置３において、インピーダンスを調整するために用いられる。そのために、高周波電源装置１から負荷に電力が供給されている状態で、インピーダンス整合を行うために、負荷のインピーダンスに合わせて、キャパシタンスが変更される。このとき、可変コンデンサの可動部３０は、可動範囲の全範囲で位置が変位するのではなく、負荷のインピーダンスに合わせて、限られた範囲内で位置が変位することが多い。 Next, a function for determining whether or not re-grease is necessary will be described.
As described above, the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 are used in the impedance matching device 3 to adjust the impedance. Therefore, in order to perform impedance matching in a state where electric power is supplied from the high frequency power supply device 1, the capacitance is changed according to the impedance of the load. At this time, the position of the movable portion 30 of the variable capacitor is not displaced in the entire movable range, but is often displaced in a limited range in accordance with the impedance of the load.

また、可動部３０は、図５に示すように、ボルト部３１とナット部３２とによって構成されているが、上述したような限られた可動範囲内でのみ可動部３０の位置が変位するという動作が繰り返されると、ボルト部３１、ナット部３２に塗布されたグリースが、その可動範囲で枯渇するという現象が生じる。そのため、リグリース動作が必要になる。 Moreover, as shown in FIG. 5, the movable part 30 is comprised by the bolt part 31 and the nut part 32, but the position of the movable part 30 is displaced only within the limited movable range as mentioned above. When the operation is repeated, a phenomenon occurs in which the grease applied to the bolt part 31 and the nut part 32 is depleted in the movable range. Therefore, a re-grease operation is necessary.

このリグリース動作を行なうために、それぞれの可変コンデンサに対してリグリースが必要であるか否かを判定するための判定基準を設定しておき、制御部７０に入力する。そして、制御部７０に入力した判定基準に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定する。 In order to perform this re-grease operation, a criterion for determining whether re-grease is necessary for each variable capacitor is set and input to the control unit 70. Then, based on the determination criterion input to the control unit 70, it is determined whether or not re-grease is necessary.

なお、図１では、可変コンデンサとして、第１の可変コンデンサＣ１、第２の可変コンデンサＣ２を用いた例を示したが、これに限定されるものではなく、可変コンデンサの個数は３つ以上であってもよい。また、１つであってもよい。いずれにしても、それぞれの可変コンデンサに対してリグリースが必要であるか否かを判定するための判定基準を制御部７０に入力し、制御部７０において、リグリースが必要であるか否かを判定する機能を有する。 Although FIG. 1 shows an example in which the first variable capacitor C1 and the second variable capacitor C2 are used as the variable capacitors, the present invention is not limited to this, and the number of variable capacitors is three or more. There may be. One may be sufficient. In any case, a criterion for determining whether or not regrease is necessary for each variable capacitor is input to the control unit 70, and the control unit 70 determines whether or not regrease is necessary. It has the function to do.

また、リグリースが必要であると判定され、かつ、リグリースを行える状態であれば、リグリースを行なうために、前記可変コンデンサの可動部３０の位置を可動範囲内で変化させるリグリース動作を行なう機能を有する。 In addition, if it is determined that grease is necessary and if grease can be performed, a function of performing a grease operation for changing the position of the movable portion 30 of the variable capacitor within the movable range in order to perform grease. .

上記の判定基準は、
（１）高周波電源装置１から高周波電力が出力された累積時間、
（２）可変インピーダンス素子（この実施形態では、可変コンデンサ）の可動部３０の累積変位量、
（３）可変インピーダンス素子（この実施形態では、可変コンデンサ）の可動部３０の累積往復数、
の３つのうちの少なくとも１つの情報が、夫々に対して予め定めた基準値を超えたときに、リグリースが必要であると判定するものである。また、これらの判定基準は、実験や稼働状況の実績等に基づいて適切な数値を設定すればよい。また、本明細書では、上記３つの情報を、「判定情報」という。 The above criteria are
(1) Cumulative time when high frequency power is output from the high frequency power supply device 1;
(2) The cumulative displacement amount of the movable part 30 of the variable impedance element (in this embodiment, the variable capacitor),
(3) The cumulative number of reciprocations of the movable part 30 of the variable impedance element (in this embodiment, the variable capacitor),
When at least one of the three information exceeds a predetermined reference value for each of them, it is determined that re-grease is necessary. Moreover, what is necessary is just to set an appropriate numerical value for these determination criteria based on the experiment, the results of the operation status, or the like. In the present specification, the three pieces of information are referred to as “determination information”.

なお、上記では、３つのうちの少なくとも１つの情報が、夫々に対して予め定めた基準値を超えたときに、リグリースが必要であると判定した。すなわち、ＯＲ（論理和）で判定したが、これに限定されるものではなく、下記（ａ）〜（ｃ）のように、上記３つの情報の任意の情報が夫々に対して予め定めた基準値を超えたときに、リグリースが必要であると判定するようにしてもよい。
（ａ）上記（１）〜（３）の３つの情報全てが、夫々に対して予め定めた基準値を超えたときに、リグリースが必要であると判定するようにしてもよい。すなわち、３つのＡＮＤ（論理積）で判定するようにしてもよい。
（ｂ）上記（１）〜（３）のいずれか１つだけの情報に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定するようにしてもよい。例えば、上記（２）の情報だけで判定する場合は、たとえ上記（１）の情報が、予め定めた基準値を超えたとしても、リグリースが必要であると判定しない。
（ｃ）上記（１）〜（３）のいずれか２つの情報に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定するようにしてもよい。この場合は、さらに、ＯＲ（論理和）で判定するようにしてもよいし、ＡＮＤ（論理積）で判定するようにしてもよい。 In the above description, when at least one of the three pieces of information exceeds a predetermined reference value for each of them, it is determined that re-grease is necessary. That is, although it is determined by OR (logical sum), the present invention is not limited to this. As shown in the following (a) to (c), arbitrary information of the above three pieces of information is a predetermined criterion for each. When the value is exceeded, it may be determined that re-grease is necessary.
(A) When all of the above three information items (1) to (3) exceed a predetermined reference value for each of them, it may be determined that re-grease is necessary. That is, it may be determined by three ANDs (logical products).
(B) It may be determined based on only one of the above-mentioned (1) to (3) whether or not re-grease is necessary. For example, when the determination is made only with the information (2), even if the information (1) exceeds a predetermined reference value, it is not determined that regrease is necessary.
(C) Based on any two pieces of information (1) to (3) described above, it may be determined whether or not re-grease is necessary. In this case, the determination may be further made by OR (logical sum) or by AND (logical product).

この判定基準に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定する機能を実現するために、制御部７０は、さらに下記の機能を有する。 In order to realize a function of determining whether or not regret is necessary based on this determination criterion, the control unit 70 further has the following functions.

（１）高周波電源装置１から高周波電力が出力された累積時間を計測する機能：
この機能は、入力端情報検出部４０で検出した情報に基づいて、簡単に実現できる。例えば、高周波電源装置１から高周波電力が出力されると、入力電圧Ｖｉｎや入力電流Ｉｉｎが、「０」ではなくなるので、高周波電力が出力されたか否かが判別できる。そのため、高周波電力が出力された時間を計測することができる。また、高周波電源装置１から高周波電力を出力したことを示す信号（図１の「高周波ＯＮ信号」）を受け取り、この信号に基づいて、高周波電力が出力された時間を計測することもできる。また、インピーダンス整合装置３の出力端側に電圧等を検出する検出器を設け、この検出器の検出値に基づいて、高周波電力が出力された時間を計測することもできる。 (1) A function of measuring the accumulated time when the high frequency power is output from the high frequency power supply device 1:
This function can be easily realized based on information detected by the input end information detection unit 40. For example, when the high frequency power is output from the high frequency power supply device 1, the input voltage Vin and the input current Iin are not “0”, so it can be determined whether or not the high frequency power is output. Therefore, the time when the high frequency power is output can be measured. It is also possible to receive a signal (“high frequency ON signal” in FIG. 1) indicating that high frequency power is output from the high frequency power supply device 1 and measure the time when the high frequency power is output based on this signal. In addition, a detector that detects a voltage or the like is provided on the output end side of the impedance matching device 3, and the time during which the high-frequency power is output can be measured based on the detection value of the detector.

また、上記の累積時間とは、前回のリグリース動作が完了したときからの時間である。なお、インピーダンス整合装置３を新規製作したときや、可変コンデンサを交換したときは、前回のリグリース動作がないので、第１回目に関しては、インピーダンス整合装置３を新規製作や可変コンデンサを交換したときからの累積時間となる。 The cumulative time is the time from when the previous regrease operation is completed. In addition, when the impedance matching device 3 is newly manufactured or when the variable capacitor is replaced, there is no previous re-grease operation. Therefore, for the first time, the impedance matching device 3 is newly manufactured or the variable capacitor is replaced. Accumulated time.

また、累積時間の判定基準は、リグリース動作の回数に関係なく、同一間隔としてもよいし、リグリース動作が完了した回数に応じて、より厳しくなる方向に変更するようにしてもよい。なお、同一間隔とは、例えば、１回目のリグリース動作を行なうまでの累積時間と、１回目のリグリース動作が完了してから２回目のリグリース動作を行なうまでの累積時間が同じであり、３回目以降も同様であることを意味する。また、厳しくなるとは、前回よりも判定基準の設定値を下げる（累積時間の場合は短くする、累積変位量や累積往復数の場合は少なくする）ことを意味する（下記（２）、（３）の場合も同様）。例えば、リグリース動作の回数が増えるにしたがって、１０時間ずつ短くしていくことを意味する。どの程度短くするかは、適宜決定される。また、途中で変更することも可能である。 In addition, the criterion for determining the accumulated time may be the same interval regardless of the number of re-grease operations, or may be changed in a more strict direction according to the number of re-grease operations completed. The same interval is, for example, the cumulative time until the first re-grease operation is performed, and the cumulative time from the completion of the first re-grease operation until the second re-grease operation is performed. It means that it is the same in the following. In addition, becoming severe means that the set value of the determination standard is lowered (reduced in the case of cumulative time, decreased in the case of cumulative displacement and cumulative number of reciprocations) than the previous time (the following (2), (3 ) Is the same). For example, it means shortening by 10 hours as the number of re-grease operations increases. The degree of shortening is appropriately determined. It is also possible to change the way.

また、リグリース動作が完了した場合、対象となる可変コンデンサの累積時間の情報をリセットする。これによって、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができるようになる。 Further, when the re-grease operation is completed, the information on the accumulated time of the target variable capacitor is reset. As a result, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is performed.

もちろん、累積時間は、インピーダンス整合装置３の稼働状況を確認する上で重要な情報であるので、（ｉ）リグリースが必要であるか否かを判定するための累積時間と、（ｉｉ）稼働状況を確認するための累積時間、の２種類の累積時間を保持しておくことが望ましい。すなわち、リグリース動作が完了した場合にリセットするのは、上記（ｉ）の累積時間であり、上記（ｉｉ）の累積時間はリセットせずに、引き続き累積時間を計測しておく。そうすれば、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができ、かつ、稼働状況を確認することもできる。 Of course, since the accumulated time is important information for confirming the operating status of the impedance matching device 3, (i) the accumulated time for determining whether or not the regret is necessary, and (ii) the operating status. It is desirable to hold two types of accumulated time, ie, accumulated time for confirming. In other words, when the re-grease operation is completed, the accumulated time of (i) is reset, and the accumulated time is continuously measured without resetting the accumulated time of (ii). By doing so, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is to be performed, and it is also possible to check the operation status.

（２）可変コンデンサの可動部３０の累積変位量を計測する機能：
上述したように、制御部７０は、それぞれの可変コンデンサの可動部３０の位置制御を行っている。そのため、可動部３０の位置がどれだけ変位したかの累積量、すなわち、可動部３０の累積変位量が分かる。したがって、それぞれの可変コンデンサの可動部３０の累積変位量を計測することができる。また、上記の累積変位量とは、前回のリグリース動作が完了したときからの累積変位量である。なお、インピーダンス整合装置３を新規製作したときや、可変コンデンサを交換したときは、前回のリグリース動作がないので、第１回目に関しては、インピーダンス整合装置３を新規製作や可変コンデンサを交換したときからの累積変位量となる。 (2) Function for measuring the cumulative displacement of the movable part 30 of the variable capacitor:
As described above, the control unit 70 controls the position of the movable unit 30 of each variable capacitor. Therefore, the accumulated amount of how much the position of the movable portion 30 is displaced, that is, the accumulated displacement amount of the movable portion 30 is known. Therefore, the cumulative displacement amount of the movable part 30 of each variable capacitor can be measured. The cumulative displacement amount is the cumulative displacement amount from the time when the previous grease operation is completed. In addition, when the impedance matching device 3 is newly manufactured or when the variable capacitor is replaced, there is no previous regrease operation. Therefore, for the first time, the impedance matching device 3 is newly manufactured or the variable capacitor is replaced. The cumulative displacement amount.

また、累積変位量の判定基準は、リグリース動作の回数に関係なく、同一間隔としてもよいし、リグリース動作が完了した回数に応じて、より厳しくなる方向に変更するようにしてもよい。また、リグリース動作が完了した場合、対象となる可変コンデンサの累積変位量の情報をリセットする。これによって、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができるようになる。 In addition, the criterion for determining the cumulative displacement amount may be the same interval regardless of the number of re-grease operations, or may be changed in a direction that becomes more strict according to the number of re-grease operations. Further, when the re-grease operation is completed, the information on the accumulated displacement amount of the target variable capacitor is reset. As a result, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is performed.

上記累積時間と同様であるが、累積変位量は、インピーダンス整合装置３の稼働状況を確認する上で重要な情報であるので、（ｉ）リグリースが必要であるか否かを判定するための累積変位量と、（ｉｉ）稼働状況を確認するための累積変位量、の２種類の累積変位量を保持しておくことが望ましい。すなわち、リグリース動作が完了した場合にリセットするのは、上記（ｉ）の累積変位量であり、上記（ｉｉ）の累積変位量はリセットせずに、引き続き累積変位量を計測しておく。そうすれば、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができ、かつ、稼働状況を確認することもできる。 Although the cumulative time is the same as the above cumulative time, the cumulative displacement amount is important information for confirming the operation status of the impedance matching device 3, and therefore (i) the cumulative amount for determining whether or not the regrease is necessary. It is desirable to hold two types of cumulative displacement amounts: a displacement amount and (ii) a cumulative displacement amount for confirming the operating status. That is, when the re-grease operation is completed, the accumulated displacement amount (i) is reset, and the accumulated displacement amount is continuously measured without resetting the accumulated displacement amount (ii). By doing so, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is to be performed, and it is also possible to check the operation status.

（３）前記可変コンデンサの可動部３０の累積往復数を計測する機能：
可変コンデンサの可動部３０の累積変位量と同様に、制御部７０は、それぞれの可変コンデンサの可動部３０の位置制御を行っている。そのため、可動部３０がこれまでに何回往復したのか、すなわち、可動部３０の累積往復数が分かる。したがって、それぞれの可変コンデンサの可動部３０の累積往復数を計測することができる。 (3) Function for measuring the cumulative number of reciprocations of the movable part 30 of the variable capacitor:
Similar to the cumulative displacement amount of the movable part 30 of the variable capacitor, the control unit 70 controls the position of the movable part 30 of each variable capacitor. Therefore, how many times the movable part 30 has reciprocated so far, that is, the cumulative number of reciprocations of the movable part 30 can be known. Therefore, the cumulative number of reciprocations of the movable part 30 of each variable capacitor can be measured.

なお、上記の往復とは、可動部３０の全可動範囲での往復だけでなく、一部の可動範囲における往復も対象となる。また、同じ位置まで返ってくることを示すものではない。例えば、可動部３０の位置が、「１００」→「１５０」→「１２０」→「１４０」→「１１０」と変化した場合は、２往復となる。要するに、モータの回転で考えると、「正転」→「反転」、または、「反転」→「正転」で、１往復となる。 The above-described reciprocation includes not only reciprocation in the entire movable range of the movable unit 30 but also reciprocation in a part of the movable range. Moreover, it does not indicate that the same position is returned. For example, when the position of the movable unit 30 changes from “100” → “150” → “120” → “140” → “110”, the number of reciprocations is two. In short, considering the rotation of the motor, “reverse rotation” → “reverse” or “reverse” → “normal rotation” is one reciprocation.

また、上記の累積往復数とは、前回のリグリース動作が完了したときからの累積往復数である。なお、インピーダンス整合装置３を新規製作したときや、可変コンデンサを交換したときは、前回のリグリース動作がないので、第１回目に関しては、インピーダンス整合装置３を新規製作や可変コンデンサを交換したときからの累積往復数となる。 The cumulative number of reciprocations is the cumulative number of reciprocations since the previous regrease operation was completed. In addition, when the impedance matching device 3 is newly manufactured or when the variable capacitor is replaced, there is no previous re-grease operation. Therefore, for the first time, the impedance matching device 3 is newly manufactured or the variable capacitor is replaced. The cumulative number of round trips.

また、累積往復数の判定基準は、リグリース動作の回数に関係なく、同一間隔としてもよいし、リグリース動作が完了した回数に応じて、より厳しくなる方向に変更するようにしてもよい。また、リグリース動作が完了した場合、対象となる可変コンデンサの累積往復数の情報をリセットする。これによって、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができるようになる。 Further, the criterion for determining the cumulative number of reciprocations may be the same interval regardless of the number of re-grease operations, or may be changed in a more severe direction according to the number of re-grease operations completed. In addition, when the re-grease operation is completed, the information on the cumulative number of reciprocations of the target variable capacitor is reset. As a result, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is performed.

上記累積時間と同様であるが、累積往復数は、インピーダンス整合装置３の稼働状況を確認する上で重要な情報であるので、（ｉ）リグリースが必要であるか否かを判定するための累積往復数と、（ｉｉ）稼働状況を確認するための累積往復数、の２種類の累積往復数を保持しておくことが望ましい。すなわち、リグリース動作が完了した場合にリセットするのは、上記（ｉ）の累積往復数であり、上記（ｉｉ）の累積往復数はリセットせずに、引き続き累積往復数を計測しておく。そうすれば、次回のリグリース動作を行なうか否かの判定ができ、かつ、稼働状況を確認することもできる。 Although it is the same as the above-mentioned accumulated time, the accumulated round-trip number is important information for confirming the operating status of the impedance matching device 3, and therefore (i) an accumulation for determining whether or not re-grease is necessary. It is desirable to hold two types of accumulated round-trip numbers: a round-trip number and (ii) a cumulative round-trip number for confirming the operating status. That is, when the re-grease operation is completed, the cumulative number of reciprocations (i) is reset, and the cumulative number of reciprocations is continuously measured without resetting the cumulative number of reciprocations (ii). By doing so, it is possible to determine whether or not the next re-grease operation is to be performed, and it is also possible to check the operation status.

なお、上記の３つの機能では、前回のリグリース動作が完了したときを基点としたが、リグリース動作が完了した場合であっても、インピーダンス整合装置３を新規製作したとき、または、可変コンデンサを交換したときを基点としてもよい。すなわち、判定情報をリセットしない方式にすることもできる。
この場合は、予め判定基準を定めておけばよい。例えば、高周波電源装置１から高周波電力が出力された累積時間を計測する場合は、「１０００時間」、「２０００時間」、「３０００時間」・・・・というように設定すればよい。なお、時間の間隔は、等間隔にする必要はなく、例えば、リグリース動作が完了した回数に応じて、より厳しくなる方向に変更するようにしてもよい。累積変位量、累積往復数の場合も同様であるので、累積変位量、累積往復数の場合の説明を省略する。 In the above three functions, the base point is the time when the previous regrease operation is completed, but even when the regrease operation is completed, when the impedance matching device 3 is newly manufactured or the variable capacitor is replaced. It is good also as a base point. That is, it is possible to adopt a method in which the determination information is not reset.
In this case, a determination criterion may be set in advance. For example, in the case of measuring the accumulated time when the high frequency power is output from the high frequency power supply device 1, it may be set as “1000 hours”, “2000 hours”, “3000 hours”,. It should be noted that the time intervals need not be equal, and may be changed in a direction that becomes more severe, for example, according to the number of times that the grease operation is completed. The same applies to the cumulative displacement amount and the cumulative number of reciprocations, and a description of the cumulative displacement amount and the cumulative number of reciprocations is omitted.

また、判定情報をリセットしない方式の場合は、リセットする方式のように２つの累積時間、２つの累積変位量、２つの累積往復数を保持する必要がなくなり、１つの累積時間等を保持するだけでよくなる。 In the case of a method that does not reset the determination information, it is not necessary to hold two cumulative times, two cumulative displacement amounts, and two cumulative reciprocations as in the resetting method, and only one cumulative time is held. Get better.

また、上述したリグリースを行える状態とは、高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態の場合と、外部からリグリース動作を行うことを許可する許可信号が入力され、かつ前記高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態の場合とがある。 In addition, the state in which the above-described regrease can be performed is a state in which high frequency power is not output from the high frequency power supply device 1, a permission signal for permitting a regrease operation from the outside, and the high frequency power supply device 1. In some cases, high-frequency power is not being output.

単に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態とする場合は、リグリースが必要であると判定された後に、インピーダンス整合装置３が、自動で高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態のときを見つけて、リグリース動作を行なうことができる。なお、リグリース動作中に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されたことを検知した場合は、リグリース動作を中止し、高周波電源装置１と負荷のインピーダンスを整合させる動作を行うようにすればよい。 When the high frequency power supply 1 is simply not in a state where high frequency power is output, the impedance matching device 3 automatically outputs the high frequency power from the high frequency power supply 1 after it is determined that re-grease is necessary. It is possible to perform a re-grease operation by finding when there is no state. When it is detected that the high-frequency power is output from the high-frequency power supply device 1 during the re-grease operation, the re-grease operation is stopped and an operation for matching the impedance of the load with the high-frequency power supply device 1 may be performed. .

また、外部からリグリース動作を行うことを許可する許可信号が入力され、かつ高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態とする場合は、他の装置との連携をとってリグリース動作を行なうことができる。そのために、この場合は、制御部７０は、さらに、リグリースが必要であると判定したときに、外部にリグリースが必要であることを示す信号を出力する機能を有している。 In addition, when a permission signal for permitting a re-grease operation is input from the outside and high-frequency power is not output from the high-frequency power supply device 1, the re-grease operation is performed in cooperation with other devices. be able to. Therefore, in this case, the control unit 70 further has a function of outputting a signal indicating that re-grease is necessary when it is determined that re-grease is necessary.

また、いずれの場合にしても、制御部７０は、リグリース動作中に、インピーダンス整合装置３の外部に、リグリース動作中であることを示す信号（図１の「リグリース動作中信号」）を出力する機能を有している。例えば、リグリース動作中は、Ｈｉｇｈレベルの信号を出力し、リグリース動作を行なっていないときは、Ｌｏｗレベルの信号を出力すればよい。または、リグリース動作を開始するときに、開始したことを示す信号を出力し、リグリース動作が完了したときに、完了したことを示す信号を出力してもよい。
このようにする理由は、リグリース動作中に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されないようにするためである。しかし、何らかの異常で、リグリース動作中に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されてしまった場合は、リグリース動作を中止し、高周波電源装置１と負荷のインピーダンスを整合させる動作を行うようにすればよい。 In any case, the control unit 70 outputs a signal indicating that the re-grease operation is being performed to the outside of the impedance matching device 3 during the re-grease operation (“re-grease operation in-progress signal” in FIG. 1). It has a function. For example, a high level signal may be output during the grease operation, and a low level signal may be output when the grease operation is not being performed. Alternatively, a signal indicating the start may be output when the re-grease operation is started, and a signal indicating the completion may be output when the re-grease operation is completed.
The reason for this is to prevent high-frequency power from being output from the high-frequency power supply device 1 during the re-grease operation. However, if high-frequency power is output from the high-frequency power supply device 1 during the re-grease operation due to some abnormality, the re-grease operation is stopped and an operation for matching the impedance of the load with the high-frequency power supply device 1 is performed. That's fine.

なお、リグリース動作は、予め設定された速度で可変コンデンサの可動部３０の位置を変位させる。この際、好ましくは、比較的遅い速度にした方がよい。これは、グリースが少なくなった状態で可変コンデンサの可動部３０を可動させるため、できるだけトルクを大きくしたいからである。 In the re-grease operation, the position of the movable portion 30 of the variable capacitor is displaced at a preset speed. At this time, it is preferable to set a relatively slow speed. This is because it is desired to increase the torque as much as possible in order to move the movable portion 30 of the variable capacitor with less grease.

また、判定基準に基づいて、リグリースが必要であるか否かを判定するのは、それぞれの可変コンデンサ毎に行なうが、リグリース動作は、リグリースが必要と判定された可変コンデンサのみ行うのか、又は、全ての可変コンデンサにおいて行なうのかを、予め設定しておけばよい。すなわち、２つのパターンから処理を選択できる。 Further, based on the determination criteria, it is determined for each variable capacitor whether or not re-grease is necessary, but the re-grease operation is performed only for the variable capacitor determined to require re-grease, or It is only necessary to set in advance whether to perform the operation for all the variable capacitors. That is, processing can be selected from two patterns.

なお、全ての可変コンデンサにおいて、リグリース動作を行なった場合は、判定基準に達していない他の可変コンデンサもリグリース動作を行なうことになる。この場合、他の可変コンデンサのリグリース動作を、ついでに行なえるので、次回のリグリース動作にかかる時期を遅らせることが可能となる。これは、リグリース動作にかかる時間の短縮につながる。 In addition, when the regrease operation is performed in all the variable capacitors, the other variable capacitors that have not reached the determination criterion also perform the regrease operation. In this case, the re-grease operation of the other variable capacitor can be performed subsequently, so that the timing for the next re-grease operation can be delayed. This leads to a reduction in the time taken for the re-grease operation.

次に図２を参照して、リグリース動作の処理方法について説明する。
図２は、リグリース動作の処理手順を示すフローチャートである。 Next, with reference to FIG. 2, a processing method for the grease operation will be described.
FIG. 2 is a flowchart showing a processing procedure of the grease operation.

ステップ１：以下の「判定情報」をリセットする。
（１）高周波電源装置１から高周波電力が出力された累積時間、
（２）可変インピーダンス素子（この実施形態では、可変コンデンサ）の可動部３０の累積変位量、
（３）可変インピーダンス素子（この実施形態では、可変コンデンサ）の可動部３０の累積往復数、 Step 1: The following “determination information” is reset.
(1) Cumulative time when high frequency power is output from the high frequency power supply device 1;
(2) The cumulative displacement amount of the movable part 30 of the variable impedance element (in this embodiment, the variable capacitor),
(3) The cumulative number of reciprocations of the movable part 30 of the variable impedance element (in this embodiment, the variable capacitor),

なお、上述したように、判定情報をリセットしない方式にすることもできる。この場合は、判定情報をリセットしない。ただし、インピーダンス整合装置３を新規製作したときや、可変コンデンサを交換したときは、初期状態にする必要がある。これも、リセットと言える。 Note that, as described above, a method in which the determination information is not reset can be employed. In this case, the determination information is not reset. However, when the impedance matching device 3 is newly manufactured or when the variable capacitor is replaced, it is necessary to set the initial state. This is also a reset.

ステップ２：高周波電源装置１から高周波電力を出力する。 Step 2: High frequency power is output from the high frequency power supply device 1.

ステップ３：「判定情報」の計測を開始する。判定情報をリセットしない方式の場合は、引き続き累積していく。 Step 3: Start measurement of “determination information”. In the case of a method that does not reset the determination information, it continues to accumulate.

ステップ４：「判定情報」が基準値を超えたか否かを判定する。基準値を超えた場合（Ｙｅｓ）は、ステップ５に進むが、基準値を超えなかった場合（Ｎｏ）は、条件を満たすまで、ステップ４を繰り返す。
なお、前述したように、外部からリグリース動作を行うことを許可する許可信号が入力され、かつ前記高周波電源装置１から高周波電力が出力されていない状態のときにリグリースを行える状態とする場合は、制御部７０から外部にリグリースが必要であることを示す信号を出力する。 Step 4: It is determined whether or not “determination information” exceeds a reference value. If the reference value is exceeded (Yes), the process proceeds to Step 5. If the reference value is not exceeded (No), Step 4 is repeated until the condition is satisfied.
As described above, when a permission signal for permitting a re-grease operation is input from the outside and when high-frequency power is not output from the high-frequency power supply device 1, a state where re-grease can be performed is as follows. A signal indicating that re-grease is necessary is output from the control unit 70 to the outside.

ステップ５：リグリース動作が行える状態であるか否かを判定する。
リグリース動作が行える状態の場合（Ｙｅｓ）は、ステップ６に進むが、リグリース動作が行える状態でない場合（Ｎｏ）は、リグリース動作が行える状態になるまで、ステップ５を繰り返す。 Step 5: It is determined whether or not the grease can be operated.
If the re-grease operation can be performed (Yes), the process proceeds to Step 6. If the re-grease operation cannot be performed (No), Step 5 is repeated until the re-grease operation can be performed.

ステップ６：リグリース動作を開始する。また、インピーダンス整合装置３の外部に、リグリース動作中であることを示す信号（リグリース動作中信号）を出力する Step 6: Start the re-grease operation. In addition, a signal indicating that a re-grease operation is being performed (a signal during re-grease operation) is output to the outside of the impedance matching device 3.

ステップ７：リグリース動作中に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されたか否かを監視する。
高周波電力が出力されたことを検知した場合（Ｙｅｓ）は、ステップ８に進む。高周波電力が出力されていない場合（Ｎｏ）は、ステップ９に進む。 Step 7: Monitor whether high-frequency power is output from the high-frequency power supply device 1 during the re-grease operation.
If it is detected that the high frequency power has been output (Yes), the process proceeds to Step 8. When the high frequency power is not output (No), the process proceeds to step 9.

ステップ８：ステップ７にて、高周波電力が出力されたことを検知した場合、すなわち、リグリース動作中に、高周波電源装置１から高周波電力が出力されたことを検知した場合は、リグリース動作を中止し、高周波電源装置１と負荷のインピーダンスを整合させる動作（インピーダンス整合動作）を行う。この場合、一旦、ステップ５に戻り、再度、リグリース動作が行える状態であるか否かを判定する。 Step 8: If it is detected in Step 7 that high-frequency power is output, that is, if it is detected that high-frequency power is output from the high-frequency power supply device 1 during the re-grease operation, the re-grease operation is stopped. Then, an operation (impedance matching operation) for matching the impedance between the high frequency power supply device 1 and the load is performed. In this case, the process once returns to step 5 and it is determined again whether or not the re-grease operation can be performed.

ステップ９：リグリース動作が完了したか否かを判定する。
リグリース動作が完了していない場合（Ｎｏ）は、ステップ７に戻り、リグリース動作が完了するまで処理を繰り返す。リグリース動作が完了した場合（Ｙｅｓ）は、リグリース動作が完了した状態であるため、ステップ１に戻り、判定情報をリセットした上で、次回のリグリース動作を行うために処理を繰り返す。 Step 9: It is determined whether or not the re-grease operation is completed.
If the re-grease operation is not completed (No), the process returns to step 7 and the process is repeated until the re-grease operation is completed. When the re-grease operation is completed (Yes), the re-grease operation is completed, so the process returns to step 1 to reset the determination information and repeat the process to perform the next re-grease operation.

以上のような処理を行なうことによって、リグリース動作を行うことができる。 By performing the processing as described above, the grease operation can be performed.

なお、リグリース動作が完了した回数が、所定回数になると、たとえ、リグリース動作を行なっていても、ボルト部３１やナット部３２のねじ山の磨耗が進んでいる可能性があると見て、可変コンデンサの交換を促す信号を外部に出力するようにしてもよい。 In addition, when the number of times that the re-grease operation is completed reaches a predetermined number, even if the re-grease operation is performed, it is considered that there is a possibility that the thread of the bolt portion 31 or the nut portion 32 is being worn. A signal that prompts replacement of the capacitor may be output to the outside.

また、これまでの説明では、可変コンデンサは、前述したように真空可変コンデンサを想定しているが、真空可変コンデンサでなく、電極部が大気中にある可変コンデンサであっても、グリースの枯渇の問題が生じるのであれば、本発明を適用できる。 In the description so far, the variable capacitor is assumed to be a vacuum variable capacitor as described above. However, even if the variable capacitor having the electrode portion in the atmosphere is not a vacuum variable capacitor, the depletion of the grease is performed. If problems arise, the present invention can be applied.

また、これまでの説明では、図５に示したように、ナット部を回転させることによってボルト部の位置が変位する例を示したが、これに限定されるものではなく、ボルト部とナット部との関係を逆にしたような構成にしてもよい。すなわち、ボルト部を回転させることによって、ナット部の位置が変位され、そして、ナット部の位置が変位することによって、可変インピーダンス素子の電気的特性（キャパシタンス、インダクタンス等）を変更できるようにしてもよい。 In the above description, as shown in FIG. 5, the example in which the position of the bolt part is displaced by rotating the nut part is shown, but the present invention is not limited to this, and the bolt part and the nut part are not limited thereto. You may make it the structure which reversed the relationship with. That is, the position of the nut portion is displaced by rotating the bolt portion, and the electrical characteristics (capacitance, inductance, etc.) of the variable impedance element can be changed by the displacement of the nut portion. Good.

また、これまでの説明では、可変コンデンサを例にして説明しているが、可動部がボルト部とナット部とによって構成されている可変インピーダンス素子であれば、同様のことが言える。例えば、可変インダクタ、可変抵抗等であっても、図５に示すように、可動部が、ボルト部とナット部とによって構成されているものであれば、同様のことが言える。 In the description so far, the variable capacitor has been described as an example. However, the same can be said if the movable part is a variable impedance element including a bolt part and a nut part. For example, the same applies to a variable inductor, a variable resistor, and the like as long as the movable portion includes a bolt portion and a nut portion as shown in FIG.

図１は、インピーダンス整合装置３の構成例である。FIG. 1 is a configuration example of the impedance matching device 3. 図２は、リグリース動作の処理手順を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a processing procedure of the grease operation. 図３は、インピーダンス整合装置が用いられる高周波電力供給システムの一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a high-frequency power supply system in which an impedance matching device is used. 図４は、インピーダンス変換部１０の回路構成例である。FIG. 4 is a circuit configuration example of the impedance converter 10. 図５は、可変コンデンサの可動部周辺の概略図である。FIG. 5 is a schematic view around the movable part of the variable capacitor.

Explanation of symbols

１高周波電源装置１
２伝送線路
３インピーダンス整合装置３
４負荷接続部
５負荷（プラズマ処理装置）
１０インピーダンス変換部
２０電極
２１固定側電極
２１可動側電極
３０可動部
３１ボルト部
３２ナット部
４０入力端情報検出部
４１電圧検出部
４２電流検出部
４３位相差検出部
５１第１駆動部
５２第２駆動部
６１第１位置検出部
６２第２位置検出部
７０制御部
Ｃ１第１の可変コンデンサ
Ｃ２第２の可変コンデンサ
Ｌ１インダクタ 1 High frequency power supply 1
2 Transmission line 3 Impedance matching device 3
4 Load connection 5 Load (Plasma processing equipment)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Impedance conversion part 20 Electrode 21 Fixed side electrode 21 Movable side electrode 30 Movable part 31 Bolt part 32 Nut part 40 Input end information detection part 41 Voltage detection part 42 Current detection part 43 Phase difference detection part 51 1st drive part 52 2nd Drive unit 61 First position detection unit 62 Second position detection unit 70 Control unit C1 First variable capacitor C2 Second variable capacitor L1 Inductor

Claims

In an impedance matching device provided between a high frequency power supply device that outputs high frequency power and a load, and having at least one variable impedance element for matching impedances of the high frequency power supply device and the load,
When there is one variable impedance element, a criterion for determining whether regrease is necessary for the one variable impedance element is set, and there are a plurality of variable impedance elements. Is a function for determining whether or not regrease is necessary for each variable impedance element by setting a criterion for determining whether or not regrease is necessary. When,
A function of performing a re-grease operation to change the position of the movable portion of the variable impedance element within a movable range in order to perform re-grease if it is determined that re-grease is necessary and re-grease is possible;
An impedance matching device comprising:

The determination criterion includes at least one information of an accumulated time when the high frequency power is output from the high frequency power supply device, an accumulated displacement amount of the movable part of the variable impedance element, and an accumulated reciprocation number of the movable part of the variable impedance element. When a predetermined reference value is exceeded for each of them, or when any information of the three pieces of information exceeds a predetermined reference value for each, it is determined that re-grease is necessary The impedance matching apparatus according to claim 1, wherein

3. The impedance matching device according to claim 1, wherein regreasing can be performed when high-frequency power is not output from the high-frequency power supply device. 4.

A function of outputting a signal indicating that re-grease is necessary when it is determined that re-grease is necessary;
3. Either of the claim 1 and claim 2, wherein a permission signal for permitting a re-grease operation is input from the outside and high-frequency power is not output from the high-frequency power supply device, and re-grease can be performed. An impedance matching device according to claim 1.

5. The apparatus according to claim 1, further comprising a function of outputting a signal indicating that the re-grease operation is being performed to the outside of the apparatus during the re-grease operation or when the re-grease operation is started. The impedance matching device described.

When it is detected during the re-grease operation that high-frequency power is output from the high-frequency power supply device, the re-grease operation is stopped, and an operation for matching impedances of the high-frequency power supply device and the load is performed. Item 6. The impedance matching apparatus according to any one of Items 1 to 5.

The said grease operation | movement changes the position of the movable part of the said variable impedance element within all the movable ranges or some movable ranges set beforehand. Impedance matching device.

The impedance matching apparatus according to claim 1, wherein the re-grease operation changes a position of a movable portion of the variable impedance element at a preset speed.

Based on the determination criteria, it is determined for each variable impedance element whether or not re-grease is necessary, but the re-grease operation is performed only for the variable impedance element determined to require re-grease, or The impedance matching device according to claim 1, wherein whether or not to perform all of the variable impedance elements is set in advance.

10. The determination criterion according to claim 1, wherein the determination criterion can select whether the intervals are the same regardless of the number of times of re-grease operation being completed, or whether the interval is changed to become more strict according to the number of times of re-grease operation being completed. The impedance matching apparatus according to any one of the above.

The movable part of a variable impedance element is comprised by the volt | bolt part and the nut part, The impedance matching apparatus in any one of Claims 1-10 characterized by the above-mentioned.