JP2008251275A - Treatment method and treatment device of conductive material - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a treatment method and a treatment device of a conductive material high in conductivity and storage stability and capable of keeping the line width uniform. <P>SOLUTION: This is the treatment method of the conductive material in which a silver image is formed by exposing and treating a conductive material precursor having at least one layer of a silver halide emulsion layer on a support body, and in which in treating in a treatment method liquid containing at least one kind or more of either compound of a reducing material, water-soluble phosphorous oxo acid compound, or water-soluble halide, and a face having the silver image of the conductive material is conveyed and treated with no contact. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子回路、アンテナ回路、電磁波シールド材、タッチパネル等の用途に用いることができる導電性材料の処理方法及び処理装置に関するものである。   The present invention relates to a processing method and a processing apparatus for a conductive material that can be used for applications such as an electronic circuit, an antenna circuit, an electromagnetic wave shielding material, and a touch panel.

近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。この中で、ディスプレイ装置は、テレビジョン用、パーソナルコンピューター用、駅や空港などの案内表示用、その他各種情報提供用に用いられている。特に、近年プラズマディスプレイが注目されている。   In recent years, with the rapid development of the information-oriented society, technologies related to information-related devices have rapidly advanced and become popular. Among them, the display device is used for televisions, personal computers, guidance displays for stations, airports, and other information. In particular, plasma displays have attracted attention in recent years.

このような情報化社会の中にあって、これらのディスプレイ装置から放射される電磁波の影響が心配されている。例えば、周辺の電子機器への影響や人体への影響が考えられている。特に、人体の健康に及ぼす影響は無視することができないものになっており、人体に照射される電磁界の強度の低減が求められ、このような要求に対して様々の透明導電性材料が開発されている。例えば、特開平9−53030号、特開平11−126024号、特開2000−294980号、特開2000−357414号、特開2000−329934号、特開2001−38843号、特開2001−47549号、特開2001−51610号、特開2001−57110号、特開2001−60416号公報等に開示されている。   In such an information society, there is a concern about the influence of electromagnetic waves radiated from these display devices. For example, the influence on surrounding electronic devices and the influence on the human body are considered. In particular, the impact on human health is not negligible, and there is a need to reduce the strength of the electromagnetic field applied to the human body, and various transparent conductive materials have been developed to meet these requirements. Has been. For example, JP-A-9-53030, JP-A-11-122024, JP-A-2000-294980, JP-A-2000-357414, JP-A-2000-329934, JP-A-2001-38843, JP-A-2001-47549. JP-A-2001-51610, JP-A-2001-57110, JP-A-2001-60416, and the like.

これらの導電性材料の製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって透明樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。これら従来方法では工法が極めて複雑になるため、高コストで生産性が悪いという問題が発生していた。   As a method for producing these conductive materials, a conductive metal such as silver, copper, nickel, or indium is formed on a transparent resin film by sputtering, ion plating, ion beam assist, vacuum deposition, or wet coating. A method of forming a metal thin film is generally used. In these conventional methods, since the construction method becomes extremely complicated, there has been a problem that the productivity is high and the productivity is poor.

また、透明導電性材料に求められる別の性能として導電性と光透過率がある。導電性を高くするにはある程度の幅と厚みを持った金属薄膜微細パターンを作る必要があるが、同時に光を遮断する金属からなるパターンの線幅を太くすると透過率が低下する。しかしながら、この両者を満足させるには十分な導電性を持った微細な金属パターン、特に必要最小限の幅で均一なパターンを製造する必要があるが、従来の方法ではこれは満足できなかった。   Another performance required for the transparent conductive material is conductivity and light transmittance. In order to increase the conductivity, it is necessary to form a metal thin film fine pattern having a certain width and thickness. At the same time, if the line width of the pattern made of a metal that blocks light is increased, the transmittance decreases. However, it is necessary to produce a fine metal pattern with sufficient conductivity, particularly a uniform pattern with a minimum necessary width, in order to satisfy both, but this cannot be satisfied by the conventional method.

均一なパターンを作ると言う観点において、近年導電性材料前駆体としてハロゲン化銀乳剤層を含有する銀塩写真感光材料を使用する方法が提案されている。例えば国際公開特許01/51276号パンフレット(特許文献1)、特開2004−221564号公報(特許文献2)では銀塩写真感光材料を像露光、現像処理した後、金属めっき処理を施すことで透明導電性材料を製造する方法の提案がなされている。同じく銀塩感光材料を使う方法として銀錯塩拡散転写法を用いる方法も提案されており、例えば特開2003−77350号公報(特許文献3)などがある。   From the viewpoint of producing a uniform pattern, a method of using a silver salt photographic light-sensitive material containing a silver halide emulsion layer as a conductive material precursor has been proposed in recent years. For example, in International Publication No. 01/51276 pamphlet (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-221564 (Patent Document 2), a silver salt photographic light-sensitive material is subjected to image exposure and development treatment, and then subjected to metal plating treatment to be transparent. Proposals have been made for methods of manufacturing conductive materials. Similarly, a method using a silver complex diffusion transfer method has also been proposed as a method using a silver salt photosensitive material, for example, JP-A-2003-77350 (Patent Document 3).

導電性材料前駆体としてこれら各種銀塩写真感光材料を使用した導電性材料で、更に高い導電性が必要な場合には金属めっき処理が施される。しかし、特に微細な金属パターンに電解金属めっきを施そうとすると、微細なパターンではパターンの抵抗が電解めっきを施すには高くなり過ぎ、給電部だけめっきされてしまう場合があった。従って電解金属めっき処理が均一にされるよう、微細な金属パターンであっても高い導電性が得られる銀塩写真感光材料を使用した導電性材料及びその製造方法が求められていた。   In the case of a conductive material using these various silver salt photographic light-sensitive materials as a conductive material precursor and higher conductivity is required, a metal plating process is performed. However, particularly when trying to perform electrolytic metal plating on a fine metal pattern, the resistance of the pattern is too high for electrolytic plating in the fine pattern, and only the power feeding portion may be plated. Therefore, there has been a demand for a conductive material using a silver salt photographic light-sensitive material capable of obtaining high conductivity even with a fine metal pattern and a method for producing the same so that the electrolytic metal plating process is made uniform.

更に導電性材料前駆体として各種銀塩写真感光材料を使用した導電性材料は保存中に導電性が変動するという場合があった。これが問題になる例として1/4λ型電波吸収体がある。1/4λ型電波吸収体では電波反射体から吸収する電波の波長λの1/4分だけ離れた位置に自由空間の特性インピーダンスである377Ωに等しい透明な抵抗膜を設置する構造になっている。銀塩写真感光材料を導電性材料前駆体として使用した導電性材料では高い透明度を有した抵抗体を作れるものの、先ほどの導電性の変動という問題のために抵抗がずれ電波吸収体の性能が保存中に劣化してくる。この例から判るように、十分に高い導電性を有するだけではなく、同時に保存安定性も高い導電性材料及びその製造方法が求められていた。   Furthermore, the conductivity of conductive materials using various silver salt photographic light-sensitive materials as the conductive material precursor may vary during storage. As an example in which this is a problem, there is a 1 / 4λ type electromagnetic wave absorber. The 1 / 4λ type wave absorber has a structure in which a transparent resistive film equal to 377Ω which is a characteristic impedance of free space is installed at a position separated by ¼ of the wavelength λ of the radio wave absorbed from the radio wave reflector. . A conductive material using silver salt photographic light-sensitive material as a conductive material precursor can make a highly transparent resistor, but the resistance is lost due to the previous problem of conductivity variation, and the performance of the radio wave absorber is preserved. Deteriorates inside. As can be seen from this example, there has been a demand for a conductive material that not only has sufficiently high conductivity but also has high storage stability and a method for manufacturing the same.

上記課題を解決する手段として特願2006−176037号に、支持体上に少なくとも一層のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を露光、現像処理し、支持体上に銀画像を形成した後に、還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物及び水溶性ハロゲン化物のいずれかの化合物を少なくとも一種類以上含有する処理液で処理する導電性材料の処理方法を提案している。   As means for solving the above problems, Japanese Patent Application No. 2006-176037 disclosed that a conductive material precursor having at least one silver halide emulsion layer on a support was exposed and developed to form a silver image on the support. Later, a treatment method for a conductive material is proposed in which treatment is performed with a treatment solution containing at least one of a reducing substance, a water-soluble phosphorus oxoacid compound, and a water-soluble halide.

ところで得られた導電性材料が有する微細な金属パターンである金属銀に無電解めっき及び/または電解めっきを施す場合、生産性の観点からロールtoロールで製造できれば非常に好ましい。ここで、ロールtoロールで処理するとは、ロール状に巻かれた導電性材料(以降、導電性材料ロールという)を無電解めっき及び/または電解めっき等の処理をして、再度ロール状に巻き取る方式である。従って前述の特許文献1〜3に記載される、支持体上に少なくとも一層のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体はロール状の導電性材料が得られる観点から好適であり、そのような処理方法または処理装置として特開2006−190535号公報(特許文献4)、特開2006−286410号公報(特許文献5)が知られている。   By the way, when electroless plating and / or electrolytic plating is performed on metallic silver, which is a fine metal pattern of the conductive material obtained, it is very preferable if it can be manufactured by roll-to-roll from the viewpoint of productivity. Here, the treatment with a roll-to-roll means that a conductive material wound in a roll shape (hereinafter referred to as a conductive material roll) is subjected to a treatment such as electroless plating and / or electrolytic plating and then wound into a roll shape again. It is a method to take. Therefore, the conductive material precursor described in the above-mentioned Patent Documents 1 to 3 having at least one silver halide emulsion layer on the support is suitable from the viewpoint of obtaining a roll-shaped conductive material. JP-A-2006-190535 (Patent Document 4) and JP-A-2006-286410 (Patent Document 5) are known as various processing methods or processing apparatuses.

しかしながら、支持体上に微細な金属パターンである金属銀を有する導電性材料のロール体を用いて、上記還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物及び水溶性ハロゲン化物のいずれかの化合物を少なくとも一種類以上含有する処理液で処理し、その後ロール体に巻き取るといった方法で、効率的に生産しようとした場合、その後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際、得られた金属パターンの線幅を均一に保つことが困難であり十分満足できるものではなかった。
国際公開特許01/51276号パンフレット 特開2004−221564号公報 特開2003−77350号公報 特開2006−190535号公報 特開2006−286410号公報
However, at least one of the reducing substance, the water-soluble phosphorus oxoacid compound, and the water-soluble halide is used by using a roll of a conductive material having metallic silver as a fine metal pattern on the support. When an attempt is made to produce efficiently by a method of treating with the treatment liquid containing the above and then winding it on a roll body, when the electroless plating and / or electrolytic plating is subsequently applied, the obtained metal pattern line It was difficult to keep the width uniform and was not satisfactory.
WO 01/51276 pamphlet JP 2004-221564 A JP 2003-77350 A JP 2006-190535 A JP 2006-286410 A

従って、本発明の目的は、導電性と保存安定性が高く、更に線幅を均一に保つことができる導電性材料の処理方法及び処理装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a processing method and a processing apparatus for a conductive material that have high conductivity and storage stability and can maintain a uniform line width.

本発明の上記目的は、以下の処理方法及び処理装置によって達成された。
1)支持体上に少なくとも1層のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を露光、現像処理し、銀画像を形成した導電性材料の処理方法であって、下記(I)〜(III)のいずれかに記載の化合物を少なくとも1種類以上含有する処理液で処理する際、該導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理方法。
(I) 還元性物質
(II) 水溶性リンオキソ酸化合物
(III) 水溶性ハロゲン化物
2)上記1)記載の導電性材料の処理方法に用いられる処理装置であって、ロール状の該導電性材料を保持する巻出し部と、該導電性材料を該処理液で処理する処理部と、乾燥部と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部とを少なくとも有し、前記導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、前記導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理装置。
3)上記1)記載の導電性材料の処理方法に用いられる処理装置であって、ロール状の該導電性材料前駆体を保持する巻出し部と、該導電性材料前駆体を現像液で現像処理する現像部と、該導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗部と、乾燥部と、該導電性材料を該処理液で処理する処理部と、乾燥部と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部とを少なくとも有し、前記導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、前記導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理装置。
The above object of the present invention has been achieved by the following processing method and processing apparatus.
1) A method for treating a conductive material in which a conductive material precursor having at least one silver halide emulsion layer on a support is exposed and developed to form a silver image, the following (I) to (I) III) Conductive material characterized in that when it is treated with a treatment liquid containing at least one type of compound according to any one of the above compounds, the surface having the silver image of the conductive material is conveyed and treated in a non-contact manner. Processing method.
(I) Reducing substance (II) Water-soluble phosphorus oxoacid compound (III) Water-soluble halide 2) A treatment apparatus used in the method for treating a conductive material according to 1) above, wherein the conductive material is in the form of a roll An unwinding section for holding the conductive material, a processing section for treating the conductive material with the treatment liquid, a drying section, and a winding section for winding the dried conductive material into a roll, The surface having the silver image of the conductive material is conveyed and processed in a non-contact manner from the time when the conductive material enters the processing section treatment tank to the time when it enters the washing section water washing tank. Conductive material processing equipment.
3) A processing apparatus used in the method for processing a conductive material according to 1) above, wherein a roll-out portion for holding the roll-shaped conductive material precursor, and developing the conductive material precursor with a developer. A developing section to be processed, a washing section for removing the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor, a drying section, a processing section for processing the conductive material with the processing liquid, and a drying section; A winding portion for winding the dried conductive material into a roll shape, and from the time when the conductive material enters the treatment unit treatment tank until it enters the washing unit water washing tank, A conductive material processing apparatus for transporting and processing a surface having a silver image of a conductive material in a non-contact manner.

本発明により、導電性と保存安定性が高く、更に線幅を均一に保つことができる導電性材料の処理方法及び処理装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a processing method and a processing apparatus for a conductive material that have high conductivity and storage stability and can maintain a uniform line width.

銀塩感光材料由来の金属銀画像を例えば水溶性ハロゲン化物などを含有する処理液による処理を施すことで、導電性と保存安定性が共に高い金属銀画像が得られる。以降、この処理を後処理、処理液を後処理液という。   By subjecting a metallic silver image derived from a silver salt photosensitive material to a treatment solution containing, for example, a water-soluble halide, a metallic silver image having high conductivity and high storage stability can be obtained. Hereinafter, this treatment is referred to as post-treatment, and the treatment liquid is referred to as post-treatment liquid.

本発明において支持体上に少なくとも1層のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を露光後に現像処理する方法としては、(1)銀塩拡散転写法に従う現像処理、(2)直接現像後に定着する現像処理、(3)硬化現像法に従う現像処理、の3つに代表される現像処理方法が挙げられる。(1)の方法は例えば特公昭42−23745号公報に記載される方法であり、(2)の方法は例えば 米国特許第6706165号明細書に記載の方法であり、(3)の方法は例えばJ.Photo.Sci.誌11号 p 1、A.G.Tull著(1963)或いは「The Theory of the photographic Process(4th edition,p326−327)」、T.H.James著等に記載されている。   In the present invention, the conductive material precursor having at least one silver halide emulsion layer on the support may be developed after exposure by (1) development processing according to the silver salt diffusion transfer method, or (2) direct development. There are three development processing methods typified by development processing to be fixed later and (3) development processing according to the curing development method. The method (1) is, for example, the method described in JP-B-42-23745, the method (2) is, for example, the method described in US Pat. No. 6,706,165, and the method (3) is, for example, J. et al. Photo. Sci. Magazine No. 11 p 1, A. G. By Tull (1963) or “The Theory of the Photographic Process (4th edition, p326-327)”, T. H. It is described by James et al.

(1)の方法では銀塩拡散転写現像による現像処理により画像を析出させ、次に不要になったハロゲン化銀乳剤層を水洗除去工程で除去し、その後乾燥工程で導電性材料を乾燥させる。以上基本的には3つの工程から導電性材料の現像処理工程が構成されている。(2)の方法においては直接現像処理、定着処理、水洗処理、乾燥処理が基本的な現像処理工程の構成である。(3)の方法においては、硬化現像処理、水洗除去、乾燥処理工程が基本的な現像処理工程の構成要素である。   In the method (1), an image is deposited by a development process by silver salt diffusion transfer development, and then the silver halide emulsion layer that is no longer needed is removed by a water washing removal process, and then the conductive material is dried by a drying process. As described above, the development process of the conductive material is basically composed of three processes. In the method (2), the direct development processing, fixing processing, water washing processing, and drying processing are the basic development processing steps. In the method (3), a curing development process, water washing removal, and a drying process are the basic components of the development process.

本発明の後処理は画像形成後に施すものである。次に本発明の後処理工程をどの工程の前後で行うかを説明する。図6は、本発明の後処理工程の工程順を示す概念図である。図6はロールtoロールで処理される露光済みのロール状の導電性材料前駆体を巻出から一連の処理工程を経て、巻取までの工程順を記している。ここで、図6中の現像とは(1)の銀塩拡散転写による現像処理、(2)の直接現像処理、(3)の硬化現像処理の3つの処理方法を現像として示した。(イ)は、上記(1)、(2)、(3)のいずれの方法における現像工程の後に後処理を行う方法である。後処理工程の後に定着或いは水洗除去、水洗、乾燥処理の工程順で処理を行う。図6(ロ)は、現像、定着或いは水洗除去工程の後に後処理を行う方法である。後処理工程の後は、後処理液の成分が導電性材料表面に析出してこないように水洗し、その後乾燥処理することが好ましい。図6(ハ)は、現像、定着或いは水洗除去、水洗工程の後に後処理を行う方法である。(ハ)の方法においても前記(ロ)の方法同様後処理工程の後には水洗、乾燥処理することが好ましい。図6(ニ)は、現像、定着或いは水洗除去、水洗、乾燥の後に後処理を行う方法である。(ニ)の方法においても前記(イ)、(ロ)、(ハ)の方法同様後処理工程の後には水洗、乾燥処理することが好ましい。   The post-processing of the present invention is performed after image formation. Next, it will be described in which step the post-processing step of the present invention is performed. FIG. 6 is a conceptual diagram showing the order of the post-processing steps of the present invention. FIG. 6 shows the sequence of steps from unwinding the exposed roll-shaped conductive material processed by roll-to-roll through a series of processing steps to winding. Here, the development in FIG. 6 is shown as three development methods: (1) development by silver salt diffusion transfer, (2) direct development, and (3) curing development. (A) is a method in which post-processing is performed after the development step in any of the above methods (1), (2), and (3). After the post-treatment process, the treatment is performed in the order of fixing, water removal, water washing and drying treatment. FIG. 6B shows a method in which post-processing is performed after the development, fixing, or water washing removal process. After the post-treatment step, it is preferable to wash with water so that the components of the post-treatment liquid do not precipitate on the surface of the conductive material, and then dry treatment. FIG. 6 (c) shows a method in which post-processing is performed after development, fixing, water removal, and water washing steps. Also in the method (c), it is preferable to carry out washing and drying after the post-treatment step as in the method (b). FIG. 6 (d) shows a method in which post-processing is performed after development, fixing or water removal, water washing and drying. Also in the method (d), it is preferable to carry out water washing and drying treatment after the post-treatment step as in the methods (a), (b) and (c).

ところで、大量生産を実現するためロールtoロールで処理するためには、上記の(イ)、(ロ)、(ハ)ような処理を連続的に行うと、搬送されている導電性材料はウエット状態で、後処理工程に入ることになり、後処理液の希釈による後処理液濃度管理負荷の増加、更には、後処理品質への悪影響を与える場合があり、上記(ニ)の方法が好適である。以降上記(ニ)の処理装置について、詳細に説明する。   By the way, in order to process in roll-to-roll in order to realize mass production, when the above processes (a), (b), and (c) are continuously performed, the conductive material being conveyed is wet. In this state, the post-treatment process is started, and the post-treatment liquid concentration management load increases due to dilution of the post-treatment liquid. Further, the post-treatment quality may be adversely affected. It is. Hereinafter, the processing apparatus (d) will be described in detail.

本発明の導電性材料の後処理方法の特徴は、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、現像処理で画像形成された銀画像面を非接触の状態で搬送し、処理する。ここで、銀画像面が非接触の状態で搬送するとは、ロール等の固定物に接触しないことを意味する。一般的に連続走行する支持体を搬送する場合、支持体表裏をロール等で接触して搬送する方が、装置的にも簡便であり、採用される傾向にある。しかし、接触式搬送ではメッシュパターンの線幅均一性が得られない。本発明において、銀画像面を非接触搬送することによって、導電性、保存安定性が高く、更に線幅を均一に保つことができる導電性材料が得られる。   The feature of the post-treatment method of the conductive material of the present invention is that the silver image surface imaged by the development processing is used from the time when the conductive material enters the processing section processing tank until it enters the washing section water washing tank. Transport and process in a non-contact state. Here, transporting the silver image surface in a non-contact state means that the silver image surface is not in contact with a fixed object such as a roll. In general, when transporting a continuously running support, it is simpler in terms of apparatus and tends to be employed when the support is conveyed by contacting the front and back of the support with a roll or the like. However, the contact-type conveyance cannot obtain the line width uniformity of the mesh pattern. In the present invention, by conducting non-contact conveyance of the silver image surface, a conductive material having high conductivity and storage stability and capable of keeping the line width uniform can be obtained.

以下本発明の導電性材料の後処理装置の実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。   Embodiments of a post-treatment apparatus for a conductive material according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の後処理装置の一例を示す概略断面図であり、導電性材料前駆体の処理装置に、本発明の後処理装置を適用した一例である。尚、図1は前述の(1)、(3)の現像処理方法に対応する導電性材料の処理装置である。図1の説明において、現像部100側を上流、乾燥部6側を下流とする。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a post-processing apparatus of the present invention, which is an example in which the post-processing apparatus of the present invention is applied to a conductive material precursor processing apparatus. FIG. 1 shows a conductive material processing apparatus corresponding to the development processing methods (1) and (3) described above. In the description of FIG. 1, the developing unit 100 side is the upstream side, and the drying unit 6 side is the downstream side.

図1において、本発明の導電性材料の後処理装置は、ロール状の該導電性材料前駆体Eの巻出し部16と、該導電性材料前駆体Eを現像液110で現像処理する現像部100と、該導電性材料前駆体Eのハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗部101と、乾燥部102と、該導電性材料を浸漬して後処理する後処理部4と、該導電性材料を水洗処理するための水洗部5と、乾燥部6と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部18とを有する。   In FIG. 1, the conductive material post-processing apparatus of the present invention includes a roll-shaped unwinding portion 16 of the conductive material precursor E and a developing portion that develops the conductive material precursor E with a developer 110. 100, a water washing part 101 for removing the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor E, a drying part 102, a post-treatment part 4 for post-treatment by immersing the conductive material, and the conductive material The water-washing part 5 for carrying out the water-washing process of the property material, the drying part 6, and the winding-up part 18 for winding up the dried electroconductive material in roll shape are provided.

図1の後処理装置において、予め露光された導電性材料前駆体ロール20は、巻出し軸2から巻出されて搬送されつつ、現像部100で所定時間の現像処理が行われ、水洗部101で不要なハロゲン化銀乳剤層等が除去され、乾燥部102で水分を乾燥し、後処理部4で還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物及び水溶性ハロゲン化物のいずれかの化合物を少なくとも一種類以上含有する処理液14で所定時間の後処理が行われ、水洗部5で水洗され、乾燥部6で水分を乾燥して、巻取り軸9に巻き取られる。その結果、支持体上に導電性、保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性パターンが得られる。支持体として、プラスチック樹脂フィルムのような透明支持体を用いると透明導電性フィルムが得られる。また、必要に応じて乾燥後に保護フィルム等を貼り合わせる工程の貼り合わせ部が設けられる。   In the post-processing apparatus shown in FIG. 1, the conductive material precursor roll 20 that has been exposed in advance is subjected to development processing for a predetermined time in the developing unit 100 while being unwound from the unwinding shaft 2 and transported, and the water-washing unit 101. The unnecessary silver halide emulsion layer and the like are removed, the moisture is dried in the drying unit 102, and at least one of the reducing substance, the water-soluble phosphorus oxoacid compound, and the water-soluble halide is used in the post-processing unit 4. A post-treatment is performed for a predetermined time with the treatment liquid 14 contained above, the water is washed in the water washing section 5, the moisture is dried in the drying section 6, and the paper is wound around the winding shaft 9. As a result, a conductive pattern having high conductivity and storage stability on the support and capable of keeping the line width uniform when electroless plating and / or electrolytic plating is performed thereafter is obtained. When a transparent support such as a plastic resin film is used as the support, a transparent conductive film can be obtained. Moreover, the bonding part of the process of bonding a protective film etc. after drying is provided as needed.

図1において、ロール状の導電性材料前駆体ロール20は巻出し軸2に装着され、矢印の方向に連続的に巻出されて搬送される。ロール状の導電性材料前駆体ロール20はハロゲン化銀乳剤層を有する面が内巻に巻かれている。巻出し軸2には張力制御手段3、例えばパウダーブレーキが接続されていて、現像処理部100、水洗部101、乾燥部102における導電性材料前駆体Eに加えられる張力を制御している。張力制御手段3は、現像処理部100、水洗部101、乾燥部102における導電性材料前駆体Eの蛇行、シワ、たるみを抑制するために、導電性材料前駆体Eに40〜150N/mの範囲の張力を与えて、導電性材料前駆体Eの搬送速度、張力を制御して搬送している。   In FIG. 1, a roll-shaped conductive material precursor roll 20 is mounted on the unwinding shaft 2 and is continuously unwound in the direction of the arrow and conveyed. The surface of the roll-shaped conductive material precursor roll 20 having the silver halide emulsion layer is wound in an inner volume. A tension control means 3, for example, a powder brake, is connected to the unwinding shaft 2 to control the tension applied to the conductive material precursor E in the development processing unit 100, the water washing unit 101, and the drying unit 102. The tension control means 3 is 40 to 150 N / m at the conductive material precursor E in order to suppress meandering, wrinkles and sagging of the conductive material precursor E in the development processing unit 100, the water washing unit 101, and the drying unit 102. The range of tension is applied, and the transport speed and tension of the conductive material precursor E are controlled and transported.

ロール状の導電性材料前駆体ロール20から巻出された導電性材料前駆体Eが搬送されて現像槽109に入る前に、導電性材料前駆体Eは反転ローラー107で搬送方向が反転される。この反転ローラー107と後述の反転ローラー108によって、現像槽109中でハロゲン化銀乳剤層を有する面が非接触状態で搬送される。現像槽109は図1に示すように縦長で薄型の槽が好ましく、槽内下部に設けられている反転ローラー108で導電性材料前駆体Eの裏面を支持しながら搬送方向を反転させることによって、小さい設置スペースで現像時間(現像液に浸漬している時間)を得ることができる。   Before the conductive material precursor E unwound from the roll-shaped conductive material precursor roll 20 is transported and enters the developing tank 109, the transport direction of the conductive material precursor E is reversed by the reverse roller 107. . The surface having the silver halide emulsion layer is conveyed in the developing tank 109 in a non-contact state by the reversing roller 107 and the reversing roller 108 described later. The development tank 109 is preferably a vertically long and thin tank as shown in FIG. 1, by reversing the transport direction while supporting the back surface of the conductive material precursor E with the reverse roller 108 provided in the lower part of the tank, The development time (the time of immersion in the developer) can be obtained with a small installation space.

現像槽109の容量は、導電性材料前駆体Eの幅寸法によっても異なるが、30〜130リットル程度が適当である。より好ましくは、50〜100リットルである。現像槽109には現像液110が所定の液面まで貯留されていて、現像処理によって消費された現像液は、図示しない補充装置により定期的に補充されている。現像槽109は、図示しない恒温装置で所定の温度範囲に調節されている。   The capacity of the developing tank 109 varies depending on the width dimension of the conductive material precursor E, but about 30 to 130 liters is appropriate. More preferably, it is 50-100 liters. In the developing tank 109, the developing solution 110 is stored up to a predetermined level, and the developing solution consumed by the developing process is periodically replenished by a replenishing device (not shown). The developing tank 109 is adjusted to a predetermined temperature range by a constant temperature device (not shown).

現像槽109から排出された導電性材料前駆体Eは、空中現像部111で引き続き現像され、水洗部101へ搬送される。水洗部101は、第1水洗槽103、第2水洗槽104、第3水洗槽105、リンス槽106を有する。水洗槽103、104、105、リンス槽106は、後述する各シャワーノズル114、117、120、123で連続搬送される導電性材料前駆体Eの表裏を洗浄するため、処理装置室内の湿度上昇、シャワー水滴飛散、また水滴付着による導電性材料前駆体Eの品質異常を防止するため、各槽内毎に図示しないカバーで覆われている。   The conductive material precursor E discharged from the developing tank 109 is continuously developed in the air developing unit 111 and conveyed to the water washing unit 101. The water washing unit 101 includes a first water washing tank 103, a second water washing tank 104, a third water washing tank 105, and a rinse tank 106. The rinsing tanks 103, 104, 105, and the rinsing tank 106 are designed to clean the front and back surfaces of the conductive material precursor E that is continuously conveyed by shower nozzles 114, 117, 120, and 123, which will be described later. In order to prevent the quality of the conductive material precursor E from being scattered by shower water droplets and adhering to the water droplets, each tank is covered with a cover (not shown).

第1水洗槽103の入口には、エアナイフ112が設置されていて、シャワーノズル114から噴出する温水が、連続走行している導電性材料前駆体E上を伝って、空中現像部111に流れ込まないようにしている。尚、エアナイフと導電性材料前駆体Eとの距離を安定化させてエアナイフの効果を安定させるため、エアナイフ112の下にはローラー137を配置している。また、導電性材料前駆体Eの搬送レベルを安定させるため、水洗槽内にローラー138、139を配置している。ローラー137、138、139は導電性材料前駆体Eが搬送時にスリップせず、傷を付け難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   An air knife 112 is installed at the inlet of the first water washing tank 103, and the hot water ejected from the shower nozzle 114 does not flow into the aerial development unit 111 along the conductive material precursor E that is continuously running. I am doing so. In order to stabilize the distance between the air knife and the conductive material precursor E and stabilize the effect of the air knife, a roller 137 is disposed under the air knife 112. Moreover, in order to stabilize the conveyance level of the electroconductive material precursor E, the rollers 138 and 139 are arrange | positioned in the washing tank. The rollers 137, 138, and 139 are preferably rubber rollers that do not slip when the conductive material precursor E is conveyed and are difficult to be damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第1水洗槽103中の導電性材料前駆体Eは、シャワーノズル114から噴出する温水により、第1水洗槽114内の導電性材料前駆体Eの全面に均一に散布するものであり、不要となったハロゲン化銀乳剤層及び必要に応じて設けられる中間層や保護層等が水洗除去されて、物理現像核に析出した金属銀が露出する。または硬化現像により得られた金属銀が露出する。第1水洗槽103の出口にも、エアナイフ113が設置され、シャワーノズル114から噴出する温水が第2水洗槽104に流れ込まないようにしている。導電性材料前駆体Eの裏面にもシャワーノズル114が設置されていて、裏塗層を水洗除去している。図中、第1水洗槽103に搬送される導電性材料前駆体Eの表裏に噴射するシャワーノズル114を各3本ずつ設置しているが、シャワー圧は図示しないバルブで各々調整可能となっている。   The conductive material precursor E in the first water rinsing tank 103 is uniformly sprayed over the entire surface of the conductive material precursor E in the first water rinsing tank 114 by hot water ejected from the shower nozzle 114. The formed silver halide emulsion layer and the intermediate layer and protective layer provided as necessary are washed away with water to expose the metallic silver deposited on the physical development nuclei. Or the metal silver obtained by hardening image development is exposed. An air knife 113 is also installed at the outlet of the first rinsing tank 103 so that the hot water ejected from the shower nozzle 114 does not flow into the second rinsing tank 104. A shower nozzle 114 is also provided on the back surface of the conductive material precursor E, and the backing layer is removed by washing with water. In the figure, three shower nozzles 114 for spraying on the front and back sides of the conductive material precursor E conveyed to the first washing tank 103 are provided, but the shower pressure can be adjusted by a valve (not shown). Yes.

次に、第2水洗槽104、第3水洗槽105も同様に入口と出口にエアナイフ115、116、118、119が各々設置されていて、隣の槽との水洗液の混合を防止して下流ほど水洗液の清浄度をあげる構造となっている。続いて、リンス槽106も入口にエアナイフ121が設置され、シャワーノズル123から噴出する新鮮なイオン交換処理された温水(以降、温純水という)が第3水洗槽105に流れ込まないようにしている。リンス槽106のシャワーノズル123から噴出する温純水により、第3水洗槽105までで除去しきれなかった不要部分を完全に除去し、導電性材料前駆体Eの表裏の清浄度を更に向上させている。リンス槽106の出口にはスポンジ状の柔らかいロール122が設置されていて、導電性材料前駆体に付着した水分が乾燥部102に持ち込まれないようにしている。以上のように、各水洗槽間の入口、出口にエアナイフを設けたことにより、各水洗槽毎で洗浄に使われた洗浄水を下流の清浄度の高い水洗槽に持ち込まないため、下流の水洗槽ほど洗浄効率の高い水洗が行われ、スラッジの付着が確実に防止され、商品価値の高い導電性材料が得られる。   Next, air knives 115, 116, 118, and 119 are installed at the inlet and the outlet of the second rinsing tank 104 and the third rinsing tank 105, respectively, to prevent mixing of the rinsing liquid with the adjacent tanks and downstream. The structure increases the cleanliness of the washing solution. Subsequently, an air knife 121 is also installed at the entrance of the rinsing tank 106 so that fresh ion-exchanged hot water (hereinafter referred to as hot pure water) ejected from the shower nozzle 123 does not flow into the third washing tank 105. The hot pure water ejected from the shower nozzle 123 of the rinsing tank 106 completely removes unnecessary portions that could not be removed up to the third water washing tank 105, thereby further improving the cleanliness of the front and back of the conductive material precursor E. . A sponge-like soft roll 122 is installed at the outlet of the rinsing tank 106 to prevent moisture adhering to the conductive material precursor from being brought into the drying unit 102. As described above, by providing air knives at the inlet and outlet between each washing tank, the washing water used for washing in each washing tank is not brought into the washing tank with high cleanliness downstream. As the tank is washed with water, the washing efficiency is higher, the sludge is reliably prevented from being attached, and a conductive material having a high commercial value can be obtained.

第1水洗槽103のシャワーノズル114から噴出した温水は、図示しない配管で第1水洗貯留槽124に貯留されて、循環ポンプ129によって、シャワーノズル114に循環供給される。第1水洗貯留槽124の容量は、20〜50リットル程度が適当である。温水の配管経路にはフィルター130が設置され、温水中に浮遊する銀スラッジ、ゴミ等の浮遊物を除去している。第1水洗貯留槽124には図示しないヒータが設置され、35〜45℃程度に温調されている。同様に第2水洗貯留槽125、第3水洗貯留槽126にも、循環ポンプ131、133、フィルター132、134が設置されていて、貯留槽の容量も同等の20〜50リットルで図示しないヒータも設置されていて、35〜45℃程度に温調されている。   The hot water ejected from the shower nozzle 114 of the first water washing tank 103 is stored in the first water washing storage tank 124 by a pipe (not shown), and is circulated and supplied to the shower nozzle 114 by the circulation pump 129. About 20-50 liters is suitable for the capacity | capacitance of the 1st washing storage tank 124. FIG. A filter 130 is installed in the hot water piping route to remove floating matters such as silver sludge and dust floating in the hot water. A heater (not shown) is installed in the first washing / reservoir 124 and the temperature is adjusted to about 35 to 45 ° C. Similarly, circulation pumps 131 and 133 and filters 132 and 134 are also installed in the second flush storage tank 125 and the third flush storage tank 126, and the capacity of the storage tank is equivalent to 20 to 50 liters, and a heater (not shown) is also provided. It is installed and the temperature is adjusted to about 35 to 45 ° C.

リンス槽106のシャワーノズル123から噴出した温純水は、図示しない配管でリンス貯留槽127に貯留されて、循環ポンプ135によって、シャワーノズル123に循環供給される。リンス貯留槽127の容量は、20〜50リットル程度が適当である。リンス貯留槽127には、循環ポンプ135、フィルター136、及び図示しないヒータが設置されていて、30〜40℃程度に温調されている。リンス貯留槽127には、図示しない温純水タンクからの補充供給口128が付設されていて、温純水が、1〜15リットル/分程度補充される。好ましくは、2〜5リットル/分である。   The warm pure water ejected from the shower nozzle 123 of the rinsing tank 106 is stored in the rinse storage tank 127 through a pipe (not shown), and is circulated and supplied to the shower nozzle 123 by the circulation pump 135. The capacity of the rinse storage tank 127 is appropriately about 20 to 50 liters. The rinse storage tank 127 is provided with a circulation pump 135, a filter 136, and a heater (not shown), and the temperature is adjusted to about 30 to 40 ° C. The rinse storage tank 127 is provided with a replenishment supply port 128 from a warm pure water tank (not shown), and warm pure water is replenished by about 1 to 15 liters / minute. Preferably, it is 2-5 liters / minute.

リンス貯留槽127にはオーバーフロー液供給手段となるオーバーフロー液供給口93が付設されていて、温純水が所定量以上貯留されるとオーバーフローして、第3水洗貯留槽126に補充される。第3水洗貯留槽126にもオーバーフロー液供給口92が付設されていて、オーバーフローした温水は第2水洗貯留槽125に補充される。第2水洗貯留槽125にもオーバーフロー液供給口91が付設されていて、オーバーフローした温水は第1水洗貯留槽124に補充される。第1水洗貯留槽124にもオーバーフロー口90が付設されていて、オーバーフローした温水DWは廃液される。リンス貯留槽127にのみ新鮮な温純水による補充を行い、下流側ほど清浄度の高いオーバーフロー水を順次、下流側から上流側の各水洗槽に補充することにより、補充液の省液化を実現し、また各水洗槽間に設置したエアナイフで槽間混合していないことで、各水洗槽毎で洗浄に使われた洗浄水を下流の清浄度の高い水洗槽に持ち込まないため、下流の水洗槽ほど洗浄効率の高い水洗が行われ、スラッジの付着が確実に防止され、商品価値の高い導電性材料が得られる。   The rinse storage tank 127 is provided with an overflow liquid supply port 93 serving as an overflow liquid supply means. When a predetermined amount or more of warm pure water is stored, the rinse storage tank 127 overflows and is replenished to the third flush storage tank 126. An overflow liquid supply port 92 is also attached to the third flush storage tank 126, and the overflowed warm water is replenished to the second flush storage tank 125. An overflow liquid supply port 91 is also attached to the second flush storage tank 125, and the overflowed warm water is replenished to the first flush storage tank 124. The first flush storage tank 124 is also provided with an overflow port 90, and the overflowing hot water DW is drained. By replenishing only the rinse storage tank 127 with fresh warm pure water, the overflow water having a higher cleanness is sequentially supplied to the downstream washing tanks from the downstream side to realize the liquid saving of the replenishing liquid, In addition, because the air knives installed between each washing tank do not mix between the tanks, the washing water used for washing in each washing tank is not brought into the downstream washing tank with high cleanliness. Washing with high cleaning efficiency is performed, sludge adhesion is reliably prevented, and a conductive material with high commercial value can be obtained.

上記水洗部101で導電性材料前駆体Eの表裏両面に十分な量の温水及び温純水を散布して、不要成分が完全に水洗除去された導電性材料Fは、乾燥部102で乾燥される。乾燥部6には吹き出しノズル152が上下に設置されていて、導電性材料Fの表裏に当たる温風により導電性材料Fを乾燥させる。乾燥温度は30℃以上であれば良いが、生産性の観点から40〜65℃が適当である。好ましくは、50〜60℃が適当である。導電性材料Fは、乾燥部102の後、ニップロール対153を経て、後処理部4に搬送される。このニップロール対153の前後で、現像部100、水洗部101、乾燥部102とその後工程となる後処理部4、水洗部5、乾燥部6との張力を分けて制御を行っている。   A sufficient amount of warm water and warm pure water is sprayed on both the front and back surfaces of the conductive material precursor E in the water washing section 101, and the conductive material F from which unnecessary components are completely washed away is dried in the drying section 102. Blowing nozzles 152 are installed at the top and bottom of the drying unit 6, and the conductive material F is dried by warm air hitting the front and back of the conductive material F. Although the drying temperature should just be 30 degreeC or more, 40-65 degreeC is suitable from a viewpoint of productivity. Preferably, 50-60 degreeC is suitable. The conductive material F is conveyed to the post-processing unit 4 after passing through the nip roll pair 153 after the drying unit 102. Before and after the nip roll pair 153, the tension of the developing unit 100, the rinsing unit 101, and the drying unit 102 and the post-processing unit 4, the rinsing unit 5, and the drying unit 6 that are the subsequent processes are controlled separately.

ニップロール対153から搬送された導電性材料Fは、後処理槽13に入る前に、反転ローラー11で搬送方向が反転される。この反転ローラー11と後述の反転ローラー12によって、後処理槽中で銀画像面が非接触状態で搬送される。後処理槽13は図1に示すように縦長で薄型の槽が好ましく、槽内下部に設けられている反転ローラー12で導電性材料Fの裏面を支持しながら搬送方向を反転させることによって、小さい設置スペースで後処理時間(後処理液に浸漬している時間)を十分に得ることができる。   The conductive material F conveyed from the nip roll pair 153 is reversed in the conveyance direction by the reverse roller 11 before entering the post-treatment tank 13. The silver image surface is conveyed in a non-contact state in the post-processing tank by the reverse roller 11 and the reverse roller 12 described later. The post-treatment tank 13 is preferably a vertically long and thin tank as shown in FIG. 1, and is small by reversing the conveying direction while supporting the back surface of the conductive material F with the reverse roller 12 provided in the lower part of the tank. A sufficient amount of post-treatment time (time of immersion in the post-treatment liquid) can be obtained in the installation space.

後処理槽13の容量は、導電性材料Fの幅寸法によっても異なるが、30〜130リットル程度が適当である。より好ましくは、50〜100リットルである。後処理槽13には後処理液14が所定の液面まで貯留されていて、後処理によって消費された後処理液は、図示しない補充装置により定期的に補充されている。後処理槽13は、図示しない恒温装置で所定の温度範囲に調節されている。本発明において、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点とは、図1においては後処理槽13の後処理液14に導電性材料Fが浸入した時点Aであり、導電性材料Fの銀画像面に反転ローラー11が後処理開始前に接触する最後のローラーである。また水洗部水洗槽に浸入するまでとは、導電性材料Fの銀画像面が処理部処理槽に浸入した時点Bであり、非接触で搬送されてから初めて銀画像面と接触するローラーは第1水洗槽21のローラー32である。   The capacity of the post-treatment tank 13 varies depending on the width of the conductive material F, but about 30 to 130 liters is appropriate. More preferably, it is 50-100 liters. The post-processing liquid 14 is stored in the post-processing tank 13 up to a predetermined liquid level, and the post-processing liquid consumed by the post-processing is periodically replenished by a replenishing device (not shown). The post-treatment tank 13 is adjusted to a predetermined temperature range by a thermostat (not shown). In the present invention, the time when the conductive material enters the processing section processing tank is the time A when the conductive material F enters the post-treatment liquid 14 in the post-processing tank 13 in FIG. This is the last roller with the reversing roller 11 in contact with the silver image surface before starting the post-processing. Also, the time until the silver image surface of the conductive material F enters the processing section processing tank is B until it enters the water washing section water washing tank, and the roller that contacts the silver image surface for the first time after being conveyed in a non-contact manner is the first. 1 is a roller 32 of the water washing tank 21.

本発明の導電性材料の後処理装置の特徴は、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、現像処理で画像形成された銀画像面は非接触の状態で搬送し、処理する。また、銀画像面が非接触の状態で搬送するとは、ロール等の固定物に接触しないことを意味する。銀画像面を非接触搬送することによって、導電性、保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性材料が得られる。   The feature of the post-processing apparatus of the conductive material of the present invention is that the silver image surface imaged by the development processing is from the time when the conductive material enters the processing section processing tank to the time when it enters the washing section water washing tank. Transport and process in a non-contact state. Moreover, conveying with a silver image surface being non-contact means not contacting a fixed object, such as a roll. A conductive material that has high conductivity and storage stability by non-contact conveyance of the silver image surface, and can maintain a uniform line width when electroless plating and / or electrolytic plating is performed thereafter. can get.

後処理槽13から上方に排出された導電性材料Fは、ローラー15から水平乃至略下向きに搬送されて、水洗部5へ送られる。水洗部5は、第1水洗槽21、第2水洗槽22を有する。水洗槽21、22は、水洗水27、28が貯留されていて、連続搬送される導電性材料Fの表裏に水洗水による浸漬処理にて洗浄される。各槽内水洗水27、28は図1に示すように、シャワーノズル23、24、25、26で循環されていることが好ましい。また、処理装置室内の湿度上昇、シャワー水滴飛散、また水滴付着による導電性材料Fの品質異常を防止するため、各槽内毎に図示しないカバーで覆われている。   The conductive material F discharged upward from the post-treatment tank 13 is conveyed horizontally or substantially downward from the roller 15 and sent to the water washing section 5. The water washing section 5 has a first water washing tank 21 and a second water washing tank 22. The washing tanks 21 and 22 store washing water 27 and 28, and are washed by immersion treatment with washing water on the front and back of the conductive material F that is continuously conveyed. As shown in FIG. 1, it is preferable that the rinsing water 27 and 28 in each tank is circulated by shower nozzles 23, 24, 25 and 26. In addition, each tank is covered with a cover (not shown) in order to prevent an increase in humidity in the processing apparatus room, scattering of shower water droplets, and quality abnormality of the conductive material F due to water droplet adhesion.

尚、ローラー15下部には、ローラー15表面の後処理液14による固着汚れ防止のため、ローラー洗浄タブ17が設置されていて、第2水洗槽22の水洗水28が一定量ずつ定期的に供給ポンプ46により供給され、図示しないオーバーフロー口より過剰水を排水している。   In addition, a roller cleaning tab 17 is installed at the lower part of the roller 15 in order to prevent adhesion of the post-treatment liquid 14 on the surface of the roller 15, and the washing water 28 of the second washing tank 22 is periodically supplied in a fixed amount. It is supplied by a pump 46 and drains excess water from an overflow port (not shown).

第1水洗槽21の入口には、ローラー31がローラー15より低く設置されている。これはローラー15以後に搬送される導電性材料F上の後処理液14を滞留させず、例えば後処理液14が流れ落ちても後処理槽13へ向けさせるものである。尚、ローラー31下部は、ローラー表面の固着防止のため水洗槽液面より低く設置している。ローラー32、33は第1水洗槽に貯留した水洗水の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル23、24から噴出する第1水洗槽の循環する洗浄水が向けられている。第1水洗槽21のローラー31、32、33、34は、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   A roller 31 is installed lower than the roller 15 at the entrance of the first washing tank 21. This does not cause the post-treatment liquid 14 on the conductive material F conveyed after the roller 15 to stay, and for example, causes the post-treatment liquid 14 to flow toward the post-treatment tank 13 even if the post-treatment liquid 14 flows down. In addition, the roller 31 lower part is installed lower than the washing tank liquid level in order to prevent sticking of the roller surface. The rollers 32 and 33 are installed in the washing water stored in the first washing tank, and the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with it and conveyed. Washing water circulating in the first washing tank ejected from the shower nozzles 23 and 24 is directed to the front and back of the conductive material F, respectively. The rollers 31, 32, 33, and 34 of the first rinsing tank 21 are preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第1水洗槽21中の導電性材料Fは、貯留した水洗水により、浸漬搬送して、洗浄される。これは第1水洗槽21内の導電性材料Fの表裏が後処理液の成分で結晶化されるのを防ぐものである。図中、第1水洗槽21に搬送される導電性材料Fの表裏に噴射するシャワーノズル23、24を各1本ずつ設置しているが、その数は特に限定されるものでなく、シャワー圧は図示しないバルブで各々調整可能となっている。   The conductive material F in the first water rinsing tank 21 is dipped, conveyed and washed by the stored water for washing. This prevents the front and back of the conductive material F in the first washing tank 21 from being crystallized by the components of the post-treatment liquid. In the figure, shower nozzles 23 and 24 that are sprayed on the front and back sides of the conductive material F conveyed to the first rinsing tank 21 are installed one by one, but the number is not particularly limited, and the shower pressure Can be adjusted by valves (not shown).

第1水洗槽21の出口には、ローラー34が設置されている。ローラー34上部は水洗液の液切りのため、水洗槽液面より高く設置している。しかも、ローラー34下部はローラー表面の固着防止のため水洗槽液面に浸っている。ローラー34をローラー対で水洗水27を絞らないのは、ローラー対固着、ゴミ巻き込みによる導電性材料F表面の傷付き防止のためである。   A roller 34 is installed at the outlet of the first washing tank 21. The upper part of the roller 34 is set higher than the liquid level of the washing tank in order to drain the washing liquid. In addition, the lower part of the roller 34 is immersed in the washing tank liquid level to prevent the roller surface from sticking. The reason why the rinsing water 27 is not squeezed with the roller pair is to prevent the surface of the conductive material F from being damaged due to adhesion of the roller pair and entrainment of dust.

次に、第2水洗槽22の入口には、ローラー35が設置されている。ローラー35は、前のローラー34より、若干高く設置することが好ましい。これは第2水洗槽22の水洗水28が第1水洗槽21の水洗水27より清浄度を低下させないようにするためである。ローラー36、37は第2水洗槽22に貯留した水洗水28の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル25、26から噴出する第2水洗槽の循環する水洗水28が向けられている。第2水洗槽22のローラー35、36、37、38も、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   Next, a roller 35 is installed at the entrance of the second washing tank 22. The roller 35 is preferably installed slightly higher than the previous roller 34. This is to prevent the flush water 28 in the second flush tank 22 from lowering the cleanliness than the flush water 27 in the first flush tank 21. The rollers 36 and 37 are installed in the rinsing water 28 stored in the second rinsing tank 22, so that the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with the irrigated water. Flushing water 28 circulating in the second flushing tank, which is ejected from the shower nozzles 25 and 26, is directed to the front and back surfaces of the conductive material F, respectively. The rollers 35, 36, 37, and 38 of the second washing tank 22 are also preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第2水洗槽22のシャワーノズル29は、新鮮なイオン交換処理された水(以降、純水という)を導電性材料表面に直接噴出することにより、導電性材料Fの表面の清浄度を更に向上させながら、第2水洗槽22の水洗水28として補充される。純水は図示しないタンクから補充供給口29が付設されていて、純水を0.1〜10リットル/分程度補充する。好ましくは、0.15〜5リットル/分である。第2水洗槽22の出口にはスポンジ状の柔らかいローラー39が設置されていて、導電性材料Fに付着した水分が乾燥部6に持ち込まれないようにしている。   The shower nozzle 29 of the second washing tank 22 further improves the cleanliness of the surface of the conductive material F by directly jetting fresh ion exchanged water (hereinafter referred to as pure water) onto the surface of the conductive material. Then, it is replenished as flush water 28 in the second flush tank 22. Pure water is provided with a replenishment supply port 29 from a tank (not shown) and replenishes pure water at a rate of 0.1 to 10 liters / minute. Preferably, it is 0.15-5 liter / min. A sponge-like soft roller 39 is installed at the outlet of the second rinsing tank 22 so that moisture adhering to the conductive material F is not brought into the drying unit 6.

第1水洗槽21のシャワーノズル23、24から噴出した水洗水27は、配管40と循環ポンプ42によって、シャワーノズル23、24に循環供給される。第1水洗槽21の容量は、10〜50リットル程度が適当である。水洗水の配管経路にはフィルター43が設置され、水洗水中に浮遊するゴミ等の浮遊物を除去している。第1水洗槽21の水洗水27は温度調整していない純水を使用する。同様に第2水洗槽22にも循環ポンプ44、フィルター45が設置されていて、第2水洗槽の容量は、20〜60リットル程度が適当で、温度調整していない純水を使用する。   The flush water 27 ejected from the shower nozzles 23 and 24 of the first flush tank 21 is circulated and supplied to the shower nozzles 23 and 24 by a pipe 40 and a circulation pump 42. The capacity of the first rinsing tank 21 is suitably about 10 to 50 liters. A filter 43 is installed in the flush water piping path to remove suspended matters such as dust floating in the flush water. As the flush water 27 in the first flush tank 21, pure water whose temperature is not adjusted is used. Similarly, a circulation pump 44 and a filter 45 are also installed in the second washing tank 22, and the capacity of the second washing tank is appropriately about 20 to 60 liters, and pure water whose temperature is not adjusted is used.

第2水洗槽22にはオーバーフロー口51が付設されていて、水洗水28が所定量以上貯留されるとオーバーフローして、第1水洗槽21に補充される。第1水洗槽21にもオーバーフロー口50が付設されていて、オーバーフローした水洗水Dは廃液される。第2水洗槽22にのみ新鮮な純水による補充を行い、清浄度の高いオーバーフロー水を下流から上流の第1水洗槽に補充することにより、補充液の省液化を実現し、各水洗槽間で洗浄に使われた洗浄水を下流の清浄度の高い水洗槽に持ち込み難くしたため、下流の水洗槽ほど洗浄効率の高い水洗が行われ、商品価値の高い導電性材料が得られる。   The second flush tank 22 is provided with an overflow port 51. When the flush water 28 is stored in a predetermined amount or more, it overflows and is replenished to the first flush tank 21. The first flush tank 21 is also provided with an overflow port 50, and the flushed water D that has overflowed is drained. By replenishing only the second flushing tank 22 with fresh pure water, and replenishing the overflow water with high cleanness from the downstream to the upstream first flushing tank, liquid saving of the supplementary liquid is realized, and between each washing tank Since it is difficult to bring the washing water used for washing into the downstream washing tank having high cleanliness, washing with higher washing efficiency is performed in the downstream washing tank, and a conductive material with higher commercial value is obtained.

上記水洗部5で導電性材料Fの表裏両面に付着した後処理液を十分に洗浄、水洗処理を行った後、導電性材料Fの表裏は乾燥部6で乾燥され、巻取り軸9でロール状に巻き取られる。乾燥部6には吹き出しノズル19が上下に設置されていて、導電性材料Fの表裏に当たる温風により導電性材料Fを乾燥させる。乾燥温度は30℃以上であれば良いが、生産性の観点から40〜65℃が適当である。好ましくは、50〜60℃が適当である。巻取り軸9には該軸を駆動回転できる張力制御手段10、例えばトルクモータが取り付けてある。張力は40〜150N/mの範囲が適当である。   After the post-treatment liquid adhering to both the front and back surfaces of the conductive material F is sufficiently washed and washed with water in the water washing section 5, the front and back surfaces of the conductive material F are dried in the drying section 6 and rolled on the winding shaft 9. Rolled up into a shape. Blowing nozzles 19 are installed at the top and bottom of the drying unit 6, and the conductive material F is dried by warm air hitting the front and back of the conductive material F. Although the drying temperature should just be 30 degreeC or more, 40-65 degreeC is suitable from a viewpoint of productivity. Preferably, 50-60 degreeC is suitable. A tension control means 10, such as a torque motor, that can drive and rotate the shaft is attached to the winding shaft 9. The tension is suitably in the range of 40 to 150 N / m.

図2は本発明の別の実施態様であり、前述図6(ニ)における現像、定着或いは水洗除去、水洗、乾燥処理を一連の工程で実施した後、別工程としてロール状導電性材料を後処理する本発明の後処理装置の一例を示す概略断面図である。尚、本発明の図の説明において、後処理部4側を上流、乾燥部6側を下流とする。   FIG. 2 shows another embodiment of the present invention, in which the development, fixing or water washing removal, water washing, and drying processes in FIG. It is a schematic sectional drawing which shows an example of the post-processing apparatus of this invention to process. In the description of the drawings of the present invention, the post-processing unit 4 side is upstream, and the drying unit 6 side is downstream.

図2の本発明の導電性材料の処理装置は、ロール状の該導電性材料の巻出し部16と、該導電性材料を浸漬して後処理する後処理部4と、該導電性材料を水洗処理するための水洗部5と、乾燥部6と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部18とを有する。   The conductive material processing apparatus of the present invention shown in FIG. 2 includes a roll-shaped unwinding portion 16 of the conductive material, a post-processing portion 4 that performs post-treatment by immersing the conductive material, and the conductive material. It has the water washing part 5 for performing a water washing process, the drying part 6, and the winding-up part 18 for winding up the dried electroconductive material in roll shape.

図2の後処理装置において、予め露光・現像処理された導電性材料ロール1は、巻出し軸2から巻出されて搬送されつつ、後処理部4で還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物及び水溶性ハロゲン化物のいずれかの化合物を少なくとも一種類以上含有する処理液14で所定時間の後処理が行われ、水洗部5で水洗され、乾燥部6で水分を乾燥して巻取り軸9に巻き取られる。その結果、支持体上に導電性と保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性パターンが得られる。支持体として、プラスチック樹脂フィルムのような透明支持体を用いると透明導電性フィルムが得られる。また、必要に応じて乾燥後に保護フィルム等を貼り合わせる工程の貼り合わせ部が設けられる。   In the post-processing apparatus shown in FIG. 2, the conductive material roll 1 that has been exposed and developed in advance is unwound from the unwinding shaft 2 and conveyed, while the post-processing unit 4 reduces the reducing substance, the water-soluble phosphoroacid compound, and A post-treatment is performed for a predetermined time with a treatment liquid 14 containing at least one compound of any one of water-soluble halides, followed by washing with a water washing section 5, drying moisture with a drying section 6, and applying to a winding shaft 9. It is wound up. As a result, a conductive pattern having high conductivity and storage stability on the support and capable of keeping the line width uniform when electroless plating and / or electrolytic plating is performed thereafter is obtained. When a transparent support such as a plastic resin film is used as the support, a transparent conductive film can be obtained. Moreover, the bonding part of the process of bonding a protective film etc. after drying is provided as needed.

図2において、ロール状の導電性材料ロール1は巻出し軸2に装着され、矢印の方向に連続的に巻出されて搬送される。ロール状の導電性材料ロール1は銀画像面が内巻に巻かれている。巻出し軸2には張力制御手段3、例えばパウダーブレーキが接続されていて、後処理部4、水洗部5、乾燥部6における導電性材料Fに加えられる張力を制御している。張力制御手段3は、後処理部4、水洗部5、乾燥部6における導電性材料Fの蛇行、シワ、たるみを抑制するために、導電性材料Fに40〜150N/mの範囲の張力を与えて、導電性材料Fの搬送速度、張力を制御して搬送している。   In FIG. 2, a roll-shaped conductive material roll 1 is mounted on an unwinding shaft 2 and is continuously unwound in the direction of the arrow and conveyed. The roll-shaped conductive material roll 1 has a silver image surface wound inside. A tension control means 3, for example, a powder brake, is connected to the unwinding shaft 2 to control the tension applied to the conductive material F in the post-processing unit 4, the water washing unit 5, and the drying unit 6. The tension control means 3 applies a tension in the range of 40 to 150 N / m to the conductive material F in order to suppress meandering, wrinkles and sagging of the conductive material F in the post-processing unit 4, the water washing unit 5 and the drying unit 6. The transport speed and tension of the conductive material F are controlled and transported.

ロール状の導電性材料ロール1から巻出された導電性材料Fが搬送されて後処理槽13に入る前に、導電性材料Fは反転ローラー11で搬送方向が反転される。この反転ローラー11と後述の反転ローラー12によって、後処理槽中で銀画像面が非接触状態で搬送される。後処理槽13は図2に示すように縦長で薄型の槽が好ましく、槽内下部に設けられている反転ローラー12で導電性材料Fの裏面を支持しながら搬送方向を反転させることによって、小さい設置スペースで後処理時間(後処理液に浸漬している時間)を十分に得ることができる。   Before the conductive material F unwound from the roll-shaped conductive material roll 1 is transported and enters the post-treatment tank 13, the transport direction of the conductive material F is reversed by the reverse roller 11. The silver image surface is conveyed in a non-contact state in the post-processing tank by the reverse roller 11 and the reverse roller 12 described later. The post-treatment tank 13 is preferably a vertically long and thin tank as shown in FIG. 2, and is small by reversing the transport direction while supporting the back surface of the conductive material F with the reverse roller 12 provided in the lower part of the tank. A sufficient amount of post-treatment time (time of immersion in the post-treatment liquid) can be obtained in the installation space.

後処理槽13の容量は、導電性材料Fの幅寸法によっても異なるが、30〜130リットル程度が適当である。より好ましくは、50〜100リットルである。後処理槽13には後処理液14が所定の液面まで貯留されていて、後処理によって消費された後処理液は、図示しない補充装置により定期的に補充されている。後処理槽13は、図示しない恒温装置で所定の温度範囲に調節されている。本発明において前述の図1の導電性材料の処理装置と同様、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点とは、図2における後処理槽13の後処理液14に導電性材料Fが浸入した時点Aであり、導電性材料Fの銀画像面に反転ローラー11が後処理開始前に接触する最後のローラーである。また水洗部水洗槽に浸入するまでとは、導電性材料Fの銀画像面が処理部処理槽に浸入した時点Bであり、非接触で搬送されてから初めて銀画像面と接触するローラーは第1水洗槽21のローラー32である。   The capacity of the post-treatment tank 13 varies depending on the width of the conductive material F, but about 30 to 130 liters is appropriate. More preferably, it is 50-100 liters. The post-processing liquid 14 is stored in the post-processing tank 13 up to a predetermined liquid level, and the post-processing liquid consumed by the post-processing is periodically replenished by a replenishing device (not shown). The post-treatment tank 13 is adjusted to a predetermined temperature range by a thermostat (not shown). In the present invention, similar to the conductive material processing apparatus of FIG. 1 described above, the time when the conductive material entered the processing section processing tank is the time when the conductive material F is in the post-processing liquid 14 of the post-processing tank 13 in FIG. This is the point A at the time of intrusion, and is the last roller where the reversing roller 11 contacts the silver image surface of the conductive material F before the start of post-processing. Also, the time until the silver image surface of the conductive material F enters the processing section processing tank is B until it enters the water washing section water washing tank, and the roller that contacts the silver image surface for the first time after being conveyed in a non-contact manner is the first. 1 is a roller 32 of the water washing tank 21.

本発明の導電性材料の後処理装置の特徴は、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、現像処理で画像形成された銀画像面は非接触の状態で搬送し、処理する。また、銀画像面が非接触の状態で搬送するとは、ロール等の固定物に接触しないことを意味する。銀画像面を非接触搬送することによって、導電性、保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性材料が得られる。   The feature of the post-processing apparatus of the conductive material of the present invention is that the silver image surface imaged by the development processing is from the time when the conductive material enters the processing section processing tank to the time when it enters the washing section water washing tank. Transport and process in a non-contact state. Moreover, conveying with a silver image surface being non-contact means not contacting a fixed object, such as a roll. A conductive material that has high conductivity and storage stability by non-contact conveyance of the silver image surface, and can maintain a uniform line width when electroless plating and / or electrolytic plating is performed thereafter. can get.

後処理槽13から上方に排出された導電性材料Fは、ローラー15から水平乃至略下向きに搬送されて、水洗部5へ送られる。水洗部5は、第1水洗槽21、第2水洗槽22を有する。水洗槽21、22は、水洗水27、28が貯留されていて、連続搬送される導電性材料Fの表裏に水洗水による浸漬処理にて洗浄される。各槽内水洗水27、28は図2に示すように、シャワーノズル23、24、25、26で循環されていることが好ましい。また、処理装置室内の湿度上昇、シャワー水滴飛散、また水滴付着による導電性材料Fの品質異常を防止するため、各槽内毎に図示しないカバーで覆われている。   The conductive material F discharged upward from the post-treatment tank 13 is conveyed horizontally or substantially downward from the roller 15 and sent to the water washing section 5. The water washing section 5 has a first water washing tank 21 and a second water washing tank 22. The washing tanks 21 and 22 store washing water 27 and 28, and are washed by immersion treatment with washing water on the front and back of the conductive material F that is continuously conveyed. As shown in FIG. 2, it is preferable that the rinsing water 27 and 28 in each tank is circulated by shower nozzles 23, 24, 25 and 26. In addition, each tank is covered with a cover (not shown) in order to prevent an increase in humidity in the processing apparatus room, scattering of shower water droplets, and quality abnormality of the conductive material F due to water droplet adhesion.

尚、ローラー15下部には、ローラー15表面の後処理液14による固着汚れ防止のため、ローラー洗浄タブ17が設置されていて、第2水洗槽22の水洗水28が一定量ずつ定期的に供給ポンプ46により供給され、図示しないオーバーフロー口より過剰水を排水している。   In addition, a roller cleaning tab 17 is installed at the lower part of the roller 15 in order to prevent adhesion of the post-treatment liquid 14 on the surface of the roller 15, and the washing water 28 of the second washing tank 22 is periodically supplied in a fixed amount. It is supplied by a pump 46 and drains excess water from an overflow port (not shown).

第1水洗槽21の入口には、ローラー31がローラー15より低く設置されている。これはローラー15以後に搬送される導電性材料F上の後処理液14を滞留させず、例えば後処理液14が流れ落ちても後処理槽13へ向けさせるものである。尚、ローラー31下部は、ローラー表面の固着防止のため水洗槽液面より低く設置している。ローラー32、33は第1水洗槽に貯留した水洗水の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル23、24から噴出する第1水洗槽の循環する洗浄水が向けられている。第1水洗槽21のローラー31、32、33、34は、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   A roller 31 is installed lower than the roller 15 at the entrance of the first washing tank 21. This does not cause the post-treatment liquid 14 on the conductive material F conveyed after the roller 15 to stay, and for example, causes the post-treatment liquid 14 to flow toward the post-treatment tank 13 even if the post-treatment liquid 14 flows down. In addition, the roller 31 lower part is installed lower than the washing tank liquid level in order to prevent sticking of the roller surface. The rollers 32 and 33 are installed in the washing water stored in the first washing tank, and the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with it and conveyed. Washing water circulating in the first washing tank ejected from the shower nozzles 23 and 24 is directed to the front and back of the conductive material F, respectively. The rollers 31, 32, 33, and 34 of the first rinsing tank 21 are preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第1水洗槽21中の導電性材料Fは、貯留した水洗水により、浸漬搬送して、洗浄される。これは第1水洗槽21内の導電性材料Fの表裏が後処理液の成分で結晶化されるのを防ぐものである。図中、第1水洗槽21に搬送される導電性材料Fの表裏に噴射するシャワーノズル23、24を各1本ずつ設置しているが、その数は特に限定されるものでなく、シャワー圧は図示しないバルブで各々調整可能となっている。   The conductive material F in the first water rinsing tank 21 is dipped, conveyed and washed by the stored water for washing. This prevents the front and back of the conductive material F in the first washing tank 21 from being crystallized by the components of the post-treatment liquid. In the figure, shower nozzles 23 and 24 that are sprayed on the front and back sides of the conductive material F conveyed to the first rinsing tank 21 are installed one by one, but the number is not particularly limited, and the shower pressure Can be adjusted by valves (not shown).

第1水洗槽21の出口には、ローラー34が設置されている。ローラー34上部は水洗液の液切りのため、水洗槽液面より高く設置している。しかも、ローラー34下部はローラー表面の固着防止のため水洗槽液面に浸っている。ローラー34をローラー対で水洗水27を絞らないのは、ローラー対固着、ゴミ巻き込みによる導電性材料F表面の傷付き防止のためである。   A roller 34 is installed at the outlet of the first washing tank 21. The upper part of the roller 34 is set higher than the liquid level of the washing tank in order to drain the washing liquid. In addition, the lower part of the roller 34 is immersed in the washing tank liquid level to prevent the roller surface from sticking. The reason why the rinsing water 27 is not squeezed with the roller pair is to prevent the surface of the conductive material F from being damaged due to adhesion of the roller pair and entrainment of dust.

次に、第2水洗槽22の入口には、ローラー35が設置されている。ローラー35は、前のローラー34より、若干高く設置することが好ましい。これは第2水洗槽22の水洗水28が第1水洗槽21の水洗水27より清浄度を低下させないようにするためである。ローラー36、37は第2水洗槽22に貯留した水洗水28の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル25、26から噴出する第2水洗槽の循環する水洗水28が向けられている。第2水洗槽22のローラー35、36、37、38も、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   Next, a roller 35 is installed at the entrance of the second washing tank 22. The roller 35 is preferably installed slightly higher than the previous roller 34. This is to prevent the flush water 28 in the second flush tank 22 from lowering the cleanliness than the flush water 27 in the first flush tank 21. The rollers 36 and 37 are installed in the rinsing water 28 stored in the second rinsing tank 22, so that the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with the irrigated water. Flushing water 28 circulating in the second flushing tank, which is ejected from the shower nozzles 25 and 26, is directed to the front and back surfaces of the conductive material F, respectively. The rollers 35, 36, 37, and 38 of the second washing tank 22 are also preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第2水洗槽22のシャワーノズル29は、純水を導電性材料表面に直接噴出することにより、導電性材料Fの表面の清浄度を更に向上させながら、第2水洗槽22の水洗水28として補充される。純水は図示しないタンクから補充供給口29が付設されていて、純水を0.1〜10リットル/分程度補充する。好ましくは、0.15〜5リットル/分である。第2水洗槽22の出口にはスポンジ状の柔らかいローラー39が設置されていて、導電性材料Fに付着した水分が乾燥部6に持ち込まれないようにしている。   The shower nozzle 29 of the second rinsing tub 22 is used as the rinsing water 28 of the second rinsing tub 22 while further improving the cleanliness of the surface of the conductive material F by jetting pure water directly onto the surface of the conductive material. To be replenished. Pure water is provided with a replenishment supply port 29 from a tank (not shown) and replenishes pure water at a rate of 0.1 to 10 liters / minute. Preferably, it is 0.15-5 liter / min. A sponge-like soft roller 39 is installed at the outlet of the second rinsing tank 22 so that moisture adhering to the conductive material F is not brought into the drying unit 6.

第1水洗槽21のシャワーノズル23、24から噴出した水洗水27は、配管40と循環ポンプ42によって、シャワーノズル23、24に循環供給される。第1水洗槽21の容量は、10〜50リットル程度が適当である。水洗水の配管経路にはフィルター43が設置され、水洗水中に浮遊するゴミ等の浮遊物を除去している。第1水洗槽21の水洗水27は温度調整していない純水を使用する。同様に第2水洗槽22にも循環ポンプ44、フィルター45が設置されていて、第2水洗槽の容量は、20〜60リットル程度が適当で、温度調整していない純水を使用する。   The flush water 27 ejected from the shower nozzles 23 and 24 of the first flush tank 21 is circulated and supplied to the shower nozzles 23 and 24 by a pipe 40 and a circulation pump 42. The capacity of the first rinsing tank 21 is suitably about 10 to 50 liters. A filter 43 is installed in the flush water piping path to remove suspended matters such as dust floating in the flush water. As the flush water 27 in the first flush tank 21, pure water whose temperature is not adjusted is used. Similarly, a circulation pump 44 and a filter 45 are also installed in the second washing tank 22, and the capacity of the second washing tank is appropriately about 20 to 60 liters, and pure water whose temperature is not adjusted is used.

第2水洗槽22にはオーバーフロー口51が付設されていて、水洗水28が所定量以上貯留されるとオーバーフローして、第1水洗槽21に補充される。第1水洗槽21にもオーバーフロー口50が付設されていて、オーバーフローした水洗水Dは廃液される。第2水洗槽22にのみ新鮮な純水による補充を行い、清浄度の高いオーバーフロー水を下流から上流の第1水洗槽に補充することにより、補充液の省液化を実現し、各水洗槽間で洗浄に使われた洗浄水を下流の清浄度の高い水洗槽に持ち込み難くしたため、下流の水洗槽ほど洗浄効率の高い水洗が行われ、商品価値の高い導電性材料が得られる。   The second flush tank 22 is provided with an overflow port 51. When the flush water 28 is stored in a predetermined amount or more, it overflows and is replenished to the first flush tank 21. The first flush tank 21 is also provided with an overflow port 50, and the flushed water D that has overflowed is drained. By replenishing only the second flushing tank 22 with fresh pure water, and replenishing the overflow water with high cleanness from the downstream to the upstream first flushing tank, liquid saving of the supplementary liquid is realized, and between each washing tank Since it is difficult to bring the washing water used for washing into the downstream washing tank having high cleanliness, washing with higher washing efficiency is performed in the downstream washing tank, and a conductive material with higher commercial value is obtained.

上記水洗部5で導電性材料Fの表裏両面に付着した後処理液を十分に洗浄、水洗処理を行った後、導電性材料Fの表裏は乾燥部6で乾燥され、巻取り軸9でロール状に巻き取られる。乾燥部6には吹き出しノズル19が上下に設置されていて、導電性材料Fの表裏に当たる温風により導電性材料Fを乾燥させる。乾燥温度は30℃以上であれば良いが、生産性の観点から40〜65℃が適当である。好ましくは、50〜60℃が適当である。巻取り軸9には該軸を駆動回転できる張力制御手段10、例えばトルクモータが取り付けてある。張力は40〜150N/mの範囲が適当である。   After the post-treatment liquid adhering to both the front and back surfaces of the conductive material F is sufficiently washed and washed with water in the water washing section 5, the front and back surfaces of the conductive material F are dried in the drying section 6 and rolled on the winding shaft 9. Rolled up into a shape. Blowing nozzles 19 are installed at the top and bottom of the drying unit 6, and the conductive material F is dried by warm air hitting the front and back of the conductive material F. Although the drying temperature should just be 30 degreeC or more, 40-65 degreeC is suitable from a viewpoint of productivity. Preferably, 50-60 degreeC is suitable. A tension control means 10, such as a torque motor, that can drive and rotate the shaft is attached to the winding shaft 9. The tension is suitably in the range of 40 to 150 N / m.

次に、本発明の別の実施態様である導電性材料の後処理装置について、図面を用いて詳細に説明する。図3は本発明の後処理装置の概略断面図である。尚、本発明の図の説明において、後処理部側を上流、乾燥部側を下流とする。   Next, a conductive material post-processing apparatus according to another embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 is a schematic sectional view of the post-processing apparatus of the present invention. In the description of the drawings of the present invention, the post-processing section side is upstream and the drying section side is downstream.

図3は本発明の導電性材料の後処理装置で、ロール状の該導電性材料の巻出し部16と、該導電性材料をシャワーノズルで後処理する後処理部4と、該導電性材料を水洗処理するための水洗部5と、乾燥部6と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部18とを有する。   FIG. 3 shows a conductive material post-processing apparatus according to the present invention, a roll-shaped conductive material unwinding section 16, a post-processing section 4 for post-processing the conductive material with a shower nozzle, and the conductive material. The water washing part 5 for carrying out the water washing process, the drying part 6, and the winding-up part 18 for winding up the dried electroconductive material in roll shape are provided.

図3の後処理装置において、予め露光・現像処理された導電性材料ロール1は、巻出し軸2から巻出されて搬送されつつ、後処理部4で所定時間の後処理が行われ、水洗部5で水洗され、乾燥部6で水分を乾燥して巻取り軸9に巻き取られる。その結果、支持体上に導電性、保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性パターンが得られる。支持体として、プラスチック樹脂フィルムのような透明支持体を用いると透明導電性フィルムが得られる。また、必要に応じて乾燥後に保護フィルム等を貼り合わせる工程の貼り合わせ部が設けられる。   In the post-processing apparatus shown in FIG. 3, the conductive material roll 1 that has been exposed and developed in advance is unrolled from the unwinding shaft 2 and conveyed, and is subjected to post-processing for a predetermined time by the post-processing unit 4 to be washed with water. The water is washed in the section 5, the moisture is dried in the drying section 6, and the film is wound around the winding shaft 9. As a result, a conductive pattern having high conductivity and storage stability on the support and capable of keeping the line width uniform when electroless plating and / or electrolytic plating is performed thereafter is obtained. When a transparent support such as a plastic resin film is used as the support, a transparent conductive film can be obtained. Moreover, the bonding part of the process of bonding a protective film etc. after drying is provided as needed.

図3において、ロール状の導電性材料ロール1は巻出し軸2に装着され、矢印の方向に連続的に巻出されて搬送される。ロール状の導電性材料ロール1は銀画像面が内巻に巻かれている。巻出し軸2には張力制御手段3、例えばパウダーブレーキが接続されていて、後処理部4、水洗部5、乾燥部6における導電性材料Fに加えられる張力を制御している。張力制御手段3は、後処理部4、水洗部5、乾燥部6における導電性材料Fの蛇行、シワ、たるみを抑制するために、導電性材料Fに40〜150N/mの範囲の張力を与えて、導電性材料Fの搬送速度、張力を制御して搬送している。   In FIG. 3, a roll-shaped conductive material roll 1 is mounted on the unwinding shaft 2, and is continuously unwound in the direction of the arrow and conveyed. The roll-shaped conductive material roll 1 has a silver image surface wound inside. A tension control means 3, for example, a powder brake, is connected to the unwinding shaft 2 to control the tension applied to the conductive material F in the post-processing unit 4, the water washing unit 5, and the drying unit 6. The tension control means 3 applies a tension in the range of 40 to 150 N / m to the conductive material F in order to suppress meandering, wrinkles and sagging of the conductive material F in the post-processing unit 4, the water washing unit 5 and the drying unit 6. The transport speed and tension of the conductive material F are controlled and transported.

ロール状の導電性材料ロール1から巻出された導電性材料Fが搬送されて、ローラー15により水平搬送され、後処理槽20に入る。後処理槽20は、後述するシャワーノズル61から噴出する後処理液14により、連続搬送される導電性材料Fの表面を後処理する。処理装置室内の湿度上昇、シャワー水滴飛散、また水滴付着による導電性材料Fの品質異常を防止するため、後処理槽20は図示しないカバーで覆われている。   The conductive material F unwound from the roll-shaped conductive material roll 1 is conveyed, is horizontally conveyed by the roller 15, and enters the post-treatment tank 20. The post-treatment tank 20 performs a post-treatment on the surface of the conductive material F that is continuously conveyed by the post-treatment liquid 14 ejected from a shower nozzle 61 described later. The post-treatment tank 20 is covered with a cover (not shown) in order to prevent an increase in humidity in the processing apparatus chamber, splashing of shower water droplets, and quality abnormality of the conductive material F due to water droplet adhesion.

後処理槽20の入口には、エアナイフ63が設置されていて、シャワーノズル61から噴出する後処理液14が、連続走行している導電性材料F上を伝って、ローラー15付近に流れ込まないようにしている。尚、エアナイフと導電性材料Fとの距離を安定化させてエアナイフの効果を安定させるため、エアナイフ63の下にはローラー64を配置している。また、導電性材料Fの搬送レベルを安定させるため、後処理槽20内にローラー65、66、67、68、69、70を配置している。ローラー64、65、66、67、68、69、70は導電性材料Fが搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   An air knife 63 is installed at the inlet of the post-treatment tank 20 so that the post-treatment liquid 14 ejected from the shower nozzle 61 does not flow into the vicinity of the roller 15 along the conductive material F that is continuously running. I have to. In order to stabilize the distance between the air knife and the conductive material F and stabilize the effect of the air knife, a roller 64 is disposed under the air knife 63. Further, in order to stabilize the transport level of the conductive material F, rollers 65, 66, 67, 68, 69 and 70 are arranged in the post-treatment tank 20. The rollers 64, 65, 66, 67, 68, 69, and 70 are preferably rubber rollers that do not slip when the conductive material F is conveyed and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

後処理槽20中の導電性材料Fは、シャワーノズル61から噴出する後処理液14により、後処理槽20内の導電性材料Fの全面に均一に散布するものである。後処理槽20の出口にも、エアナイフ71が設置され、シャワーノズル61から噴出する後処理液14が次工程の水洗部5に流れ込まないようにしている。図中、後処理槽20に搬送される導電性材料Fの表面に噴射するシャワーノズル61を6本設置しているが、その数は特に限定されるものでなく、シャワー圧は図示しないバルブで各々調整可能となっている。   The conductive material F in the post-treatment tank 20 is uniformly dispersed on the entire surface of the conductive material F in the post-treatment tank 20 by the post-treatment liquid 14 ejected from the shower nozzle 61. An air knife 71 is also installed at the outlet of the post-treatment tank 20 so that the post-treatment liquid 14 ejected from the shower nozzle 61 does not flow into the water washing section 5 in the next step. In the figure, six shower nozzles 61 for spraying on the surface of the conductive material F conveyed to the post-treatment tank 20 are installed, but the number is not particularly limited, and the shower pressure is a valve (not shown). Each can be adjusted.

後処理槽20のシャワーノズル61から噴出した後処理液14は、図示しない配管で後処理液貯留槽72に貯留されて、循環ポンプ73によって、シャワーノズル61に循環供給される。後処理液貯留槽72の容量は、導電性材料Fの幅寸法によっても異なるが、20〜130リットル程度が適当である。後処理液の配管経路にはフィルター74が設置され、後処理液中に浮遊するゴミ等の浮遊物を除去している。後処理液貯留槽72には図示しないヒータが設置され、所定の温度に調節されていて、図示しない液面センサーにより液面制御を行い、液面が低下すると配管75より後処理液14が補充され、液面がレベルを越えるとオーバーフロー口76を通じて廃液Wされる。   The post-treatment liquid 14 ejected from the shower nozzle 61 of the post-treatment tank 20 is stored in the post-treatment liquid storage tank 72 through a pipe (not shown), and is circulated and supplied to the shower nozzle 61 by a circulation pump 73. Although the capacity | capacitance of the post-processing liquid storage tank 72 changes also with the width dimensions of the electroconductive material F, about 20-130 liters is suitable. A filter 74 is installed in the post-treatment liquid piping path to remove floating substances such as dust floating in the post-treatment liquid. A heater (not shown) is installed in the post-treatment liquid storage tank 72 and is adjusted to a predetermined temperature. The liquid level is controlled by a liquid level sensor (not shown). When the liquid level drops, the post-treatment liquid 14 is replenished from the pipe 75. When the liquid level exceeds the level, the waste liquid W is discharged through the overflow port 76.

図3において、導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点とは、後処理槽20の後処理液14に導電性材料Fが浸入した時点Aであり、導電性材料Fの銀画像面に反転ローラー11が後処理開始前に接触する最後のローラーである。また水洗部水洗槽に浸入するまでとは、導電性材料Fの銀画像面が処理部処理槽に浸入した時点Bであり、非接触で搬送されてから初めて銀画像面と接触するローラーは第1水洗槽21のローラー32である。   In FIG. 3, the time when the conductive material enters the processing section processing tank is the time A when the conductive material F enters the post-treatment liquid 14 in the post-processing tank 20, and the silver image surface of the conductive material F The reverse roller 11 is the last roller that comes into contact before the start of post-processing. Also, the time until the silver image surface of the conductive material F enters the processing section processing tank is B until it enters the water washing section water washing tank, and the roller that contacts the silver image surface for the first time after being conveyed in a non-contact manner is the first. 1 is a roller 32 of the water washing tank 21.

本発明の導電性材料の後処理装置の特徴は、少なくとも後処理の間は、現像処理で画像形成された銀画像面は非接触の状態で搬送し、処理する。また、銀画像面が非接触の状態で搬送するとは、ロール等の固定物に接触しないことを意味する。銀画像面を非接触搬送することによって、導電性共、保存安定性が高く、更にその後に無電解めっき及び/または電解めっきを施した際に、線幅を均一に保つことができる導電性材料が得られる。   A feature of the post-processing apparatus of the conductive material according to the present invention is that at least during the post-processing, the silver image surface formed by the development processing is conveyed and processed in a non-contact state. Moreover, conveying with a silver image surface being non-contact means not contacting a fixed object, such as a roll. Non-contact conveyance of the silver image surface is highly conductive and storage stability. Furthermore, when conducting electroless plating and / or electrolytic plating, the conductive material can keep the line width uniform. Is obtained.

後処理槽20から排出された導電性材料Fは、水洗部5へ送られる。水洗部5は、第1水洗槽21、第2水洗槽22を有する。水洗槽21、22は、水洗水27、28が貯留されていて、連続搬送される導電性材料Fの表裏に水洗水による浸漬処理にて洗浄される。各槽内水洗水27、28はシャワーノズル23、24、25、26で循環されている。また、処理装置室内の湿度上昇、シャワー水滴飛散、また水滴付着による導電性材料Fの品質異常を防止するため、各槽内毎に図示しないカバーで覆われている。   The conductive material F discharged from the post-treatment tank 20 is sent to the water washing section 5. The water washing section 5 has a first water washing tank 21 and a second water washing tank 22. The washing tanks 21 and 22 store washing water 27 and 28, and are washed by immersion treatment with washing water on the front and back of the conductive material F that is continuously conveyed. Wash water 27 and 28 in each tank are circulated by shower nozzles 23, 24, 25 and 26. In addition, each tank is covered with a cover (not shown) in order to prevent an increase in humidity in the processing apparatus room, scattering of shower water droplets, and quality abnormality of the conductive material F due to water droplet adhesion.

第1水洗槽21の入口には、ローラー31がローラー70と水平に設置されている。尚、ローラー31下部はローラー表面の固着防止のため水洗槽液面より低く設置している。ローラー32、33は第1水洗槽に貯留した水洗水の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル23、24から噴出する第1水洗槽の循環する洗浄水が向けられている。第1水洗槽21のローラー31、32、33、34は、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   A roller 31 is installed horizontally with the roller 70 at the entrance of the first washing tank 21. In addition, the roller 31 lower part is installed lower than the washing tank liquid level in order to prevent sticking of the roller surface. The rollers 32 and 33 are installed in the washing water stored in the first washing tank, and the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with it and conveyed. Washing water circulating in the first washing tank ejected from the shower nozzles 23 and 24 is directed to the front and back of the conductive material F, respectively. The rollers 31, 32, 33, and 34 of the first rinsing tank 21 are preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第1水洗槽21中の導電性材料Fは、貯留した水洗水により、浸漬搬送して、洗浄され、第1水洗槽21内の導電性材料Fの表裏が後処理液の成分で結晶化されるのを防ぐものである。図中、第1水洗槽21に搬送される導電性材料Fの表裏に噴射するシャワーノズル23、24を各1本ずつ設置しているが、その数は特に限定されるものではなく、シャワー圧は図示しないバルブで各々調整可能となっている。   The conductive material F in the first washing tank 21 is immersed and transported by the stored washing water and washed, and the front and back surfaces of the conductive material F in the first washing tank 21 are crystallized with components of the post-treatment liquid. It is a thing that prevents it. In the figure, shower nozzles 23 and 24 that are sprayed on the front and back sides of the conductive material F conveyed to the first washing tank 21 are provided one by one, but the number is not particularly limited, and the shower pressure Can be adjusted by valves (not shown).

第1水洗槽21の出口には、ローラー34が設置されている。ローラー34上部は水洗液の液切りのため、水洗槽液面より高く設置している。尚、ローラー34下部はローラー表面の固着防止のため水洗槽液面に浸っている。ローラー34をローラー対で水洗水27を絞らないのは、ローラー対固着、ゴミ巻き込みによる導電性材料F表面の傷付き防止のためである。   A roller 34 is installed at the outlet of the first washing tank 21. The upper part of the roller 34 is set higher than the liquid level of the washing tank in order to drain the washing liquid. The lower part of the roller 34 is immersed in the washing tank liquid level to prevent the roller surface from sticking. The reason why the rinsing water 27 is not squeezed with the roller pair is to prevent the surface of the conductive material F from being damaged due to adhesion of the roller pair and entrainment of dust.

次に、第2水洗槽22の入口には、ローラー35が設置されている。ローラー35は、前のローラー34より、若干高く設置することが好ましい。これは第2水洗槽22の水洗水28が第1水洗槽21の水洗水27より清浄度を低下させないようにするためである。ローラー36、37は第2水洗槽22に貯留した水洗水28の中に設置されていて、導電性材料Fの銀画像面を接触して浸漬搬送させる。導電性材料Fの表裏に各々シャワーノズル25、26から噴出する第2水洗槽の循環する水洗水28が向けられている。第2水洗槽22のローラー35、36、37、38も、搬送時にスリップせず、傷を付難いゴムローラーが好ましい。ゴムの材質としては、ニトリルゴム(NBR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレン(CSM)、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が用いられる。   Next, a roller 35 is installed at the entrance of the second washing tank 22. The roller 35 is preferably installed slightly higher than the previous roller 34. This is to prevent the flush water 28 in the second flush tank 22 from lowering the cleanliness than the flush water 27 in the first flush tank 21. The rollers 36 and 37 are installed in the rinsing water 28 stored in the second rinsing tank 22, so that the silver image surface of the conductive material F is brought into contact with the irrigated water. Flushing water 28 circulating in the second flushing tank, which is ejected from the shower nozzles 25 and 26, is directed to the front and back surfaces of the conductive material F, respectively. The rollers 35, 36, 37, and 38 of the second washing tank 22 are also preferably rubber rollers that do not slip during transportation and are not easily damaged. As the rubber material, nitrile rubber (NBR), ethylene / propylene rubber (EPDM), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene (CSM), silicone rubber, urethane rubber and the like are used.

第2水洗槽22のシャワーノズル29は、純水を導電性材料表面に直接噴出することにより、導電性材料Fの表面の清浄度を更に向上させながら、第2水洗槽22の水洗水28として補充される。純水は図示しないタンクから補充供給口29が付設されていて、純水を0.1〜10リットル/分程度補充する。好ましくは、0.15〜5リットル/分である。第2水洗槽22の出口にはスポンジ状の柔らかいローラー39が設置されていて、導電性材料Fに付着した水分が乾燥部6に持ち込まれないようにしている。   The shower nozzle 29 of the second rinsing tub 22 is used as the rinsing water 28 of the second rinsing tub 22 while further improving the cleanliness of the surface of the conductive material F by jetting pure water directly onto the surface of the conductive material. To be replenished. Pure water is provided with a replenishment supply port 29 from a tank (not shown) and replenishes pure water at a rate of 0.1 to 10 liters / minute. Preferably, it is 0.15-5 liter / min. A sponge-like soft roller 39 is installed at the outlet of the second rinsing tank 22 so that moisture adhering to the conductive material F is not brought into the drying unit 6.

第1水洗槽21のシャワーノズル23、24から噴出した水洗水27は、配管40で循環ポンプ42によって、シャワーノズル23、24に循環供給される。第1水洗槽21の容量は、10〜50リットル程度が適当である。水洗水の配管経路にはフィルター43が設置され、水洗水中に浮遊するゴミ等の浮遊物を除去している。第1水洗槽21の水洗水27は温度調整していない純水を使用する。同様に第2水洗槽22にも循環ポンプ44、フィルター45が設置されていて、第2水洗槽の容量は、20〜60リットル程度が適当で、温度調整していない純水を使用する。   The flush water 27 ejected from the shower nozzles 23 and 24 of the first flush tank 21 is circulated and supplied to the shower nozzles 23 and 24 by a circulation pump 42 through a pipe 40. The capacity of the first rinsing tank 21 is suitably about 10 to 50 liters. A filter 43 is installed in the flush water piping path to remove suspended matters such as dust floating in the flush water. As the flush water 27 in the first flush tank 21, pure water whose temperature is not adjusted is used. Similarly, a circulation pump 44 and a filter 45 are also installed in the second washing tank 22, and the capacity of the second washing tank is appropriately about 20 to 60 liters, and pure water whose temperature is not adjusted is used.

第2水洗槽22にはオーバーフロー口51が付設されていて、水洗水28が所定量以上貯留されるとオーバーフローして、第1水洗槽21に補充される。第1水洗槽21にもオーバーフロー口50が付設されていて、オーバーフローした水洗水Dは廃液される。第2水洗槽22にのみ新鮮な純水による補充を行い、清浄度の高いオーバーフロー水を下流側から上流側の第1水洗槽に補充することにより、補充液の省液化を実現し、各水洗槽間で洗浄に使われた洗浄水を下流側の清浄度の高い水洗槽に持ち込み難くしたため、下流側の水洗槽ほど洗浄効率の高い水洗が行われ、商品価値の高い導電性材料が得られる。   The second flush tank 22 is provided with an overflow port 51. When the flush water 28 is stored in a predetermined amount or more, it overflows and is replenished to the first flush tank 21. The first flush tank 21 is also provided with an overflow port 50, and the flushed water D that has overflowed is drained. By replenishing only the second flush tank 22 with fresh pure water and replenishing highly clean overflow water from the downstream side to the first flush tank on the upstream side, it is possible to save liquid in the replenisher and Since washing water used for washing between tanks is difficult to bring into a highly clean water washing tank on the downstream side, water washing with higher washing efficiency is performed in the water washing tank on the downstream side, and a conductive material with high commercial value can be obtained. .

上記水洗部5で導電性材料Fの表裏両面に付着した後処理液を十分に洗浄、水洗処理を行った後、導電性材料Fの表裏は乾燥部6で乾燥され、巻取り軸9でロール状に巻き取られる。乾燥部6には吹き出しノズル19が上下に設置されていて、導電性材料Fの表裏に当たる温風により導電性材料Fを乾燥させる。乾燥温度は30℃以上であれば良いが、生産性の観点から40〜65℃が適当である。好ましくは、50〜60℃が適当である。巻取り軸9には該軸を駆動回転できる張力制御手段10、例えばトルクモータが取り付けてある。張力は40〜150N/mの範囲が適当である。   After the post-treatment liquid adhering to both the front and back surfaces of the conductive material F is sufficiently washed and washed with water in the water washing section 5, the front and back surfaces of the conductive material F are dried in the drying section 6 and rolled on the winding shaft 9. Rolled up into a shape. Blowing nozzles 19 are installed at the top and bottom of the drying unit 6, and the conductive material F is dried by warm air hitting the front and back of the conductive material F. Although the drying temperature should just be 30 degreeC or more, 40-65 degreeC is suitable from a viewpoint of productivity. Preferably, 50-60 degreeC is suitable. A tension control means 10, such as a torque motor, that can drive and rotate the shaft is attached to the winding shaft 9. The tension is suitably in the range of 40 to 150 N / m.

本発明の後処理液は(I)還元性物質、(II)水溶性リンオキソ酸化合物、(III)水溶性ハロゲン化物のいずれかを含有する。本発明の後処理液に用いる還元性物質としては、写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。これらはResearch Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)308119(1989年12月)に記載、或いは引用された文献に記載されている。具体的には、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノスルホン酸カリウム、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロロハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸及びその誘導体、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン等の3−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン等のアミノフェノール類、パラフェニレンジアミン等のポリアミノベンゼン類、ヒドロキシルアミン類等が挙げられる。これらの中でも水溶性が高く、有害性の少ないアスコルビン酸が好ましい。これら還元性物質は少なくとも1質量%以上、好ましくは5〜30質量%の水溶液として用いることが好ましい。   The post-treatment liquid of the present invention contains any of (I) a reducing substance, (II) a water-soluble phosphorus oxoacid compound, and (III) a water-soluble halide. As the reducing substance used in the post-treatment liquid of the present invention, a developing agent known in the field of photographic development can be used. These are described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979) 308119 (December 1989) or cited. Specifically, hydroquinone, potassium hydroquinone monosulfonate, catechol, pyrogallol, methylhydroquinone, chlorohydroquinone and other polyhydroxybenzenes, ascorbic acid and its derivatives, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1 -3-Pyrazolidones such as phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, aminophenols such as paramethylaminophenol, paraaminophenol, parahydroxyphenylglycine, paraphenylene Examples include polyaminobenzenes such as diamine, hydroxylamines, and the like. Among these, ascorbic acid having high water solubility and low toxicity is preferable. These reducing substances are preferably used as an aqueous solution of at least 1% by mass or more, preferably 5 to 30% by mass.

本発明において水溶性リンオキソ酸化合物としてはリン酸、亜リン酸、次亜リン酸、ピロリン酸、トリポリリン酸、ヘキサメタリン酸などのリンオキソ酸、及びその塩類があり、またそれらリンオキソ酸のエステル化合物がある。水溶性リンオキソ酸化合物とは25℃における水に対する溶解度は少なくとも0.1質量%以上であれば何でも使用できる。これら水溶性リンオキソ酸化合物の具体例としてはリン酸ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸二ナトリウム等のリン酸塩、次亜リン酸ナトリウムなどの次亜リン酸塩、ピロリン酸二水素二ナトリウムなどのピロリン酸塩、トリポリリン酸塩、ヘキサメタリン酸塩など各種公知の水溶性リンオキソ酸化合物やポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、アルキルリン酸塩等、各種リン酸エステル類などの水溶性リンオキソ酸化合物のエステルを用いることができる。この中では無機の水溶性リンオキソ酸化合物、リン酸塩類が好ましい。これら水溶性リンオキソ酸化合物は少なくとも5質量%以上、好ましくは10〜30質量%の水溶液として用いることが好ましい。   In the present invention, the water-soluble phosphorus oxoacid compound includes phosphoric acid, phosphorous acid, hypophosphorous acid, pyrophosphoric acid, tripolyphosphoric acid, hexametaphosphoric acid and the like, and salts thereof, and ester compounds of these phosphorus oxo acids. . Any water-soluble phosphorus oxo acid compound can be used as long as its solubility in water at 25 ° C. is at least 0.1% by mass or more. Specific examples of these water-soluble phosphorus oxoacid compounds include phosphates such as sodium phosphate, potassium phosphate and disodium phosphate, hypophosphites such as sodium hypophosphite, disodium dihydrogen pyrophosphate and the like. Esters of various known water-soluble phosphorus oxoacid compounds such as pyrophosphate, tripolyphosphate, hexametaphosphate, and other water-soluble phosphorus oxoacid compounds such as various phosphate esters such as polyoxyethylene alkyl ether phosphates and alkyl phosphates Can be used. Of these, inorganic water-soluble phosphorus oxoacid compounds and phosphates are preferred. These water-soluble phosphorus oxoacid compounds are preferably used as an aqueous solution of at least 5% by mass, preferably 10 to 30% by mass.

本発明において水溶性ハロゲン化物として用いるハロゲンとしてはフッ素、塩素、臭素、ヨウ素のいずれでも良く、25℃における水に対する溶解度が少なくとも0.1質量%以上ある化合物であって、水溶液中でハロゲン化物イオンを放出しうる化合物であればいずれでも使用できる。本発明の後処理液に用いる水溶性ハロゲン化物としては塩酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、フッ化水素酸などの水素酸や、塩化ナトリウム、塩化アンモニウム、塩化ルビジウムなどの塩化物、臭化ナトリウム、臭化カリウム、臭化リチウムなどの臭化物、ヨウ化ナトリウムなどのヨウ化物、フッ化ナトリウム、フッ化カリウムなどのフッ化物等の各種無機ハロゲン化物や、ジメチルアミン塩酸塩やトリメチルアミン臭酸塩などのアミン塩類、塩化ベンザルコニウム、アルキルピリジニウム塩酸塩、イミダゾリニウム塩酸塩、ポリアリルアミン塩酸塩やジアリルジメチルアンモニウムクロライド重合物などが挙げられる。この中で好ましいのは水溶液中で塩化物イオンを放出しうる化合物で、中でも塩化ナトリウムや塩化カリウムなどの水溶性無機塩化物が好ましい。これら水溶性ハロゲン化物は少なくとも1質量%以上、好ましくは5〜30質量%の水溶液として用いることが好ましい。   The halogen used as the water-soluble halide in the present invention may be any of fluorine, chlorine, bromine and iodine, and is a compound having a solubility in water of at least 0.1% by mass at 25 ° C. Any compound can be used as long as it is capable of releasing. Examples of the water-soluble halide used in the post-treatment liquid of the present invention include hydrochloric acid, hydrobromic acid, hydroiodic acid, hydrofluoric acid, and other hydrochloric acids, chlorides such as sodium chloride, ammonium chloride, and rubidium chloride, and odors. Various inorganic halides such as bromides such as sodium iodide, potassium bromide and lithium bromide, iodides such as sodium iodide, fluorides such as sodium fluoride and potassium fluoride, dimethylamine hydrochloride and trimethylamine bromide And amine salts such as benzalkonium chloride, alkylpyridinium hydrochloride, imidazolinium hydrochloride, polyallylamine hydrochloride and diallyldimethylammonium chloride polymer. Among these, compounds capable of releasing chloride ions in an aqueous solution are preferable, and water-soluble inorganic chlorides such as sodium chloride and potassium chloride are particularly preferable. These water-soluble halides are preferably used in an aqueous solution of at least 1% by mass, preferably 5-30% by mass.

本発明に用いる後処理液の成分としての還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物、水溶性ハロゲン化物は単独で用いても良いし、或いは例えば還元性物質と別の還元性物質のように同種の成分の複数を混合させて使用しても良く、或いは還元性物質と水溶性ハロゲン化物など別の種類の成分を混合させて用いても良い。この中でも後処理液の効率が高く、また後処理液の保存安定性や処理安定性の高い水溶性ハロゲン化物を用いることが最も好ましい。後処理の温度としては高い方が好ましいが、導電性材料の支持体として用いる物質のTg(ガラス転移温度)以下で用いないと処理中に導電性材料が伸びたり切れたりするのでTg以下の温度で処理する。好ましい処理温度としては水溶性ハロゲン化物を用いる場合には30℃以上、他の物質を用いる場合でも40℃以上、いずれの物質でも更に好ましくは50〜70℃、更に好ましくは60〜70℃で処理する。処理時間は後処理の成分にもよるが、10秒以上、好ましくは30秒〜3分処理する。   The reducing substance, water-soluble phosphorus oxo acid compound, and water-soluble halide as components of the post-treatment liquid used in the present invention may be used alone or, for example, the same kind as the reducing substance and another reducing substance. A plurality of components may be mixed and used, or another type of component such as a reducing substance and a water-soluble halide may be mixed and used. Among these, it is most preferable to use a water-soluble halide having high efficiency of the post-treatment liquid and high storage stability and high process stability of the post-treatment liquid. The post-treatment temperature is preferably higher, but if it is not used below the Tg (glass transition temperature) of the substance used as the support for the conductive material, the conductive material will be stretched or cut during the treatment. Process with. The treatment temperature is preferably 30 ° C. or higher when using a water-soluble halide, 40 ° C. or higher when using other materials, more preferably 50 to 70 ° C., and even more preferably 60 to 70 ° C. for any material. To do. Although the treatment time depends on the components of the post-treatment, the treatment is carried out for 10 seconds or longer, preferably 30 seconds to 3 minutes.

本発明の後処理液のpHは10以下、好ましくは4〜9である。特に還元性物質を後処理液の成分として用いる場合にはpHが高いと後処理液中の還元性物質が酸化しやすくなり、後処理液の保存安定性が悪くなるので還元性物質を含有する後処理液ではpHは8以下であることが好ましい。好ましいpHに調整するため後処理液には公知のpH緩衝剤を用いることができる。本発明に用いる後処理液にはそれら以外にも公知の界面活性剤、消泡剤、防腐剤などを含有させることもできる。   The pH of the post-treatment liquid of the present invention is 10 or less, preferably 4-9. In particular, when a reducing substance is used as a component of the post-treatment liquid, if the pH is high, the reducing substance in the post-treatment liquid is likely to be oxidized, and the storage stability of the post-treatment liquid is deteriorated. In the post-treatment liquid, the pH is preferably 8 or less. In order to adjust to a preferable pH, a known pH buffering agent can be used in the post-treatment liquid. In addition to these, the post-treatment liquid used in the present invention may contain a known surfactant, antifoaming agent, preservative and the like.

次に本発明の導電性材料について説明する。前述の通り本発明の導電性材料前駆体を現像処理する方法としては(1)銀塩拡散転写法に従う現像処理、(2)直接現像後に定着する現像処理(3)硬化現像法に従う現像処理の3つの方法を用いることができる。以下、本発明における(1)の現像処理方法を用いる導電性材料をタイプ1、(2)の現像処理方法を用いる導電性材料をタイプ2、(3)の現像処理方法を用いる導電性材料をタイプ3と略して、順に説明する。   Next, the conductive material of the present invention will be described. As described above, the method of developing the conductive material precursor of the present invention includes (1) development processing according to the silver salt diffusion transfer method, (2) development processing for fixing after direct development, and (3) development processing according to the curing development method. Three methods can be used. Hereinafter, the conductive material using the development processing method (1) in the present invention is type 1, the conductive material using the development processing method (2) is type 2, and the conductive material using the development processing method (3) is used. It abbreviates as Type 3 and will be described in order.

<タイプ1>
ハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を露光し、次に未露光部である画像部のハロゲン化銀粒子を可溶性銀錯塩形成剤で溶解して可溶性銀錯塩として溶解させ、物理現像核上まで拡散してきた可溶性銀錯塩をハイドロキノン等の還元剤(現像主薬)で還元して金属銀を析出させて画像を形成する。その後水洗除去して、ハロゲン化銀乳剤層などを洗い流し、基板上に像様に銀画像の付いたパターンを形成する。
<Type 1>
The conductive material precursor having a silver halide emulsion layer is exposed, and then the silver halide grains in the image area, which is an unexposed area, are dissolved with a soluble silver complex salt forming agent to dissolve as a soluble silver complex salt. The soluble silver complex salt diffused up to the top is reduced with a reducing agent (developer) such as hydroquinone to deposit metallic silver to form an image. Thereafter, it is removed by washing with water, and the silver halide emulsion layer is washed away to form a pattern with a silver image on the substrate.

導電性材料前駆体は支持体上に少なくとも物理現像核層、ハロゲン化銀乳剤層を支持体に近い方からこの順で有する。更に、非感光性層を支持体から最も遠い最外層及びまたは物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層との間に中間層を有しても良い。これらの非感光性層は、水溶性高分子を主たるバインダーとする層である。ここでいう水溶性高分子とは、現像液で容易に膨潤し、下層のハロゲン化銀乳剤層、物理現像核層まで現像液を容易に浸透させるものであれば任意のものが選択できる。   The conductive material precursor has at least a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer on the support in this order from the side closer to the support. Further, the non-photosensitive layer may have an outermost layer farthest from the support and / or an intermediate layer between the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer. These non-photosensitive layers are layers having a water-soluble polymer as a main binder. As the water-soluble polymer mentioned here, any polymer can be selected as long as it easily swells with a developing solution and allows the developing solution to easily penetrate into the underlying silver halide emulsion layer and physical development nucleus layer.

具体的には、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、ポリビニルアルコール、等を用いることができる。特に好ましい水溶性高分子は、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。本発明の効果を十分に得るためには、この非感光性層のバインダー量としては、ハロゲン化銀乳剤層の総バインダー量に対して20質量%〜100質量%の範囲が好ましく、特に30質量%〜80質量%が好ましい。   Specifically, gelatin, albumin, casein, polyvinyl alcohol, or the like can be used. Particularly preferred water-soluble polymers are proteins such as gelatin, albumin and casein. In order to sufficiently obtain the effect of the present invention, the binder amount of the non-photosensitive layer is preferably in the range of 20% by mass to 100% by mass, particularly 30% by mass with respect to the total binder amount of the silver halide emulsion layer. % To 80% by mass is preferable.

これら非感光性層には、必要に応じてResearch Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載されているような公知の写真用添加剤を含有させることができる。また、処理後のハロゲン化銀乳剤層の剥離を妨げない限りにおいて、架橋剤により硬膜させることも可能である。   These non-photosensitive layers may be added to known photographic additives as described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (December 1989), if necessary. An agent can be included. Further, the film can be hardened with a crosslinking agent as long as the peeling of the silver halide emulsion layer after the treatment is not prevented.

タイプ1の導電性材料前駆体における物理現像核層の物理現像核としては、重金属或いはその硫化物からなる微粒子(粒子サイズは1〜数十nm程度)が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられるが、銀コロイド及び硫化パラジウム核が好ましい。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法によってプラスチック樹脂フィルム上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で0.1〜10mg/m2程度が適当である。 As the physical development nuclei of the physical development nuclei layer in the type 1 conductive material precursor, fine particles (having a particle size of about 1 to several tens of nm) made of heavy metals or sulfides thereof are used. Examples thereof include colloids such as gold and silver, metal sulfides obtained by mixing sulfides with water-soluble salts such as palladium and zinc, and silver colloids and palladium sulfide nuclei are preferable. The fine particle layer of these physical development nuclei can be provided on the plastic resin film by vacuum deposition, cathode sputtering, or coating. From the viewpoint of production efficiency, a coating method is preferably used. The content of physical development nuclei in the physical development nuclei layer is suitably about 0.1 to 10 mg / m 2 in terms of solid content.

物理現像核層には、親水性バインダーを含有しても良い。親水性バインダー量は物理現像核に対して10〜500質量%程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種澱粉、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。好ましい親水性バインダーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。   The physical development nucleus layer may contain a hydrophilic binder. The amount of the hydrophilic binder is preferably about 10 to 500% by mass with respect to the physical development nucleus. As the hydrophilic binder, gelatin, gum arabic, cellulose, albumin, casein, sodium alginate, various starches, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylamide, a copolymer of acrylamide and vinyl imidazole, and the like can be used. Preferred hydrophilic binders are proteins such as gelatin, albumin and casein.

物理現像核層には、例えばクロム明ばんのような無機化合物、ホルマリン、グリオキザール、マレアルデヒド、グルタルアルデヒドのようなアルデヒド類、尿素やエチレン尿素等のN−メチロール化合物、ムコクロル酸、2,3−ジヒドロキシ−1,4−ジオキサンの様なアルデヒド等価体、2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−s−トリアジン塩や、2,4−ジヒドロキシ−6−クロロ−トリアジン塩のような活性ハロゲンを有する化合物、ジビニルスルホン、ジビニルケトンやN,N,N−トリアクリロイルヘキサヒドロトリアジン、活性な三員環であるエチレンイミノ基やエポキシ基を分子中に二個以上有する化合物類、高分子硬膜剤としてのジアルデヒド澱粉等の種々タンパク質の架橋剤(硬膜剤)の一種若しくは二種以上を含有することは好ましい。これらの架橋剤の中でも、好ましくは、グリオキザール、グルタルアルデヒド、3−メチルグルタルアルデヒド、サクシンアルデヒド、アジポアルデヒド等のジアルデヒド類であり、より好ましい架橋剤は、グルタルアルデヒドである。架橋剤は、下記ベース層及び物理現像核層に含まれる合計のタンパク質に対して0.1〜30質量%を物理現像核層に含有させるのが好ましく、特に1〜20質量%が好ましい。   Examples of the physical development nucleus layer include inorganic compounds such as chromium alum, formalins, glyoxal, malealdehyde, aldehydes such as glutaraldehyde, N-methylol compounds such as urea and ethylene urea, mucochloric acid, 2,3- Aldehyde equivalents such as dihydroxy-1,4-dioxane, compounds having active halogen such as 2,4-dichloro-6-hydroxy-s-triazine salt and 2,4-dihydroxy-6-chloro-triazine salt , Divinyl sulfone, divinyl ketone, N, N, N-triacryloyl hexahydrotriazine, compounds having two or more active three-membered ethyleneimino groups and epoxy groups in the molecule, and as a polymer hardener Contains one or more of various protein cross-linking agents (hardeners) such as dialdehyde starch It is preferable. Among these crosslinking agents, dialdehydes such as glyoxal, glutaraldehyde, 3-methylglutaraldehyde, succinaldehyde, and adipaldehyde are preferable, and glutaraldehyde is more preferable. The crosslinking agent preferably contains 0.1 to 30% by mass in the physical development nucleus layer, particularly 1 to 20% by mass, based on the total protein contained in the following base layer and physical development nucleus layer.

タイプ1の導電性材料前駆体においては、物理現像核層と透明支持体の間にタンパク質とラテックスからなるベース層を有することが好ましい。透明支持体とベース層の間には、更に塩化ビニリデンやポリウレタン等の易接着層を有することは好ましい。ベース層に用いられるタンパク質としては、ゼラチン、アルブミン、カゼイン或いはこれらの混合物が好ましく用いられる。ベース層におけるタンパク質の含有量は10〜300mg/m2が好ましい。またベース層に用いられるラテックスの含有量は0.2〜1.3g/m2が好ましい。 The type 1 conductive material precursor preferably has a base layer made of protein and latex between the physical development nucleus layer and the transparent support. It is preferable to further have an easy adhesion layer such as vinylidene chloride or polyurethane between the transparent support and the base layer. As the protein used for the base layer, gelatin, albumin, casein or a mixture thereof is preferably used. The protein content in the base layer is preferably 10 to 300 mg / m 2 . The latex content used in the base layer is preferably 0.2 to 1.3 g / m 2 .

物理現像核層やベース層の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。   The physical development nucleus layer and the base layer can be applied by an application method such as dip coating, slide coating, curtain coating, bar coating, air knife coating, roll coating, gravure coating, spray coating and the like.

タイプ1の導電性材料前駆体においては光センサーとしてハロゲン化銀乳剤層が設けられる。ハロゲン化銀に関する銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられる技術は、そのまま用いることもできる。   In the type 1 conductive material precursor, a silver halide emulsion layer is provided as an optical sensor. Techniques used for silver halide photographic films, photographic papers, printing plate-making films, photomask emulsion masks, and the like relating to silver halides can be used as they are.

ハロゲン化銀乳剤層に用いられるハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)で記載されていような公知の手法を用いることができる。なかでも同時混合法の一種で、粒子形成される液相中のpAgを一定に保ついわゆるコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。本発明においては、好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は0.25μm以下、特に好ましくは0.05〜0.2μmである。本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤のハロゲン化物組成には好ましい範囲が存在し、塩化物を80モル%以上含有するのが好ましく、特に90モル%以上が塩化物であることが特に好ましい。   For formation of silver halide emulsion grains used in the silver halide emulsion layer, Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (such as forward mixing, reverse mixing, and simultaneous mixing) are used. (December 1989) can be used. Among them, the so-called controlled double jet method, which is a kind of simultaneous mixing method and keeps pAg in a liquid phase to be formed constant, is preferable in that silver halide emulsion grains having a uniform particle diameter can be obtained. In the present invention, the average grain size of preferable silver halide emulsion grains is 0.25 μm or less, particularly preferably 0.05 to 0.2 μm. There is a preferable range for the halide composition of the silver halide emulsion used in the present invention, and it is preferable that the chloride content is 80 mol% or more, and it is particularly preferable that 90 mol% or more is chloride.

ハロゲン化銀乳剤の製造においては、必要に応じてハロゲン化銀粒子の形成或いは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、或いはロジウム塩若しくはその錯塩、イリジウム塩若しくはその錯塩などVIII族金属元素の塩若しくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法など当業界で一般的な方法を、単独、或いは組み合わせて用いることができる。また本発明においてハロゲン化銀乳剤は必要に応じて色素増感することもできる。   In the production of silver halide emulsions, group VIII such as sulfite, lead salt, thallium salt, rhodium salt or complex salt thereof, iridium salt or complex salt thereof in the process of silver halide grain formation or physical ripening as necessary. A metal element salt or a complex salt thereof may coexist. Further, it can be sensitized by various chemical sensitizers, and methods commonly used in the art such as sulfur sensitization method, selenium sensitization method and noble metal sensitization method can be used alone or in combination. In the present invention, the silver halide emulsion can be dye-sensitized as necessary.

また、ハロゲン化銀乳剤層は水溶性高分子をバインダーとする層であり、ここでいう水溶性高分子とは前述の非感光性層の水溶性高分子と同義であり、好ましくはゼラチンである。ハロゲン化銀乳剤層に含有するハロゲン化銀量とゼラチン量の比率は、ハロゲン化銀(銀換算)とゼラチンとの質量比(銀/ゼラチン)が1.2以上、より好ましくは1.5以上である。   The silver halide emulsion layer is a layer having a water-soluble polymer as a binder, and the water-soluble polymer here is synonymous with the water-soluble polymer of the non-photosensitive layer described above, preferably gelatin. . The ratio of the amount of silver halide and the amount of gelatin contained in the silver halide emulsion layer is such that the mass ratio (silver / gelatin) of silver halide (silver equivalent) to gelatin is 1.2 or more, more preferably 1.5 or more. It is.

ハロゲン化銀乳剤層には、更に種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。これらは、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載、或いは引用された文献に記載されている。   In the silver halide emulsion layer, known photographic additives can be used for various purposes. These are described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (December 1989) or cited.

タイプ1の導電性材料前駆体にはハロゲン化銀乳剤層の感光波長域に吸収極大を有する非増感性染料または顔料を、画質向上のためのハレーション、或いはイラジエーション防止剤として用いることは好ましい。ハレーション防止剤としては、好ましくは上記したベース層或いは物理現像核層、或いは物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層の間に必要に応じて設けられる中間層、または支持体を挟んで設けられる裏塗層に含有させることができる。イラジエーション防止剤としては、ハロゲン化銀乳剤層に含有させるのが良い。添加量は、目的の効果が得られるのであれば広範囲に変化しうるが、例えばハレーション防止剤として裏塗層に含有させる場合、約20mg/m2〜約1g/m2の範囲が望ましく、好ましくは、極大吸収波長における光学濃度として、0.5g/m2以上である。 For the type 1 conductive material precursor, it is preferable to use a non-sensitizing dye or pigment having an absorption maximum in the photosensitive wavelength region of the silver halide emulsion layer as a halation or an irradiation prevention agent for improving the image quality. The antihalation agent is preferably a base layer or a physical development nucleus layer, or an intermediate layer provided as necessary between the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer, or a back provided with a support interposed therebetween. It can be contained in the coating layer. An irradiation inhibitor is preferably contained in the silver halide emulsion layer. The amount added can be varied within a wide range as long as the desired effect can be obtained. For example, when it is contained in the backing layer as an antihalation agent, a range of about 20 mg / m 2 to about 1 g / m 2 is desirable and preferable. Is 0.5 g / m 2 or more as the optical density at the maximum absorption wavelength.

タイプ1の導電性材料前駆体に用いられる透明支持体としては、例えばポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等のプラスチック樹脂フィルム、ガラス板などが挙げられる。   Examples of the transparent support used for the type 1 conductive material precursor include polyester resins such as polyethylene terephthalate, diacetate resins, triacetate resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyvinyl chloride, polyimide resins, cellophane, and celluloid. A plastic resin film, a glass plate, etc. are mentioned.

上記タイプ1の導電性材料前駆体を用い、透明導電性フィルムを作製するための方法は、例えば網目状パターンの銀薄膜の形成が挙げられる。この場合、ハロゲン化銀乳剤層は網目状パターンに露光されるが、露光方法として、網目状パターンの透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法、或いは各種レーザー光を用いて走査露光する方法等がある。上記したレーザー光で露光する方法においては、例えば400〜430nmに発振波長を有する青色半導体レーザー(バイオレットレーザーダイオードともいう)を用いることができる。   Examples of the method for producing a transparent conductive film using the type 1 conductive material precursor include formation of a silver thin film having a mesh pattern. In this case, the silver halide emulsion layer is exposed in a network pattern. As an exposure method, a transparent original having a network pattern and a silver halide emulsion layer are exposed in close contact with each other, or scanning is performed using various laser beams. There are exposure methods. In the above-described method of exposing with laser light, for example, a blue semiconductor laser (also referred to as a violet laser diode) having an oscillation wavelength of 400 to 430 nm can be used.

網目状パターンのような任意の形状パターンの透過原稿と上記前駆体を密着して露光、或いは、任意の形状パターンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記前駆体に走査露光した後、銀塩拡散転写現像液で処理することにより物理現像が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して形状パターンの銀薄膜を得ることができる。一方、露光された部分はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、不要になったハロゲン化銀乳剤層及び中間層、保護層は水洗除去されて、形状パターンの銀薄膜が表面に露出する。   After exposing a transparent original having an arbitrary shape pattern such as a mesh pattern and the above precursor, or by scanning and exposing a digital image of an arbitrary shape pattern to the precursor with various laser light output machines, silver When processed with a salt diffusion transfer developer, physical development occurs, the silver halide in the unexposed areas is dissolved to form a silver complex salt, and reduced on the physical development nuclei to deposit metallic silver, thereby forming a silver thin film with a shape pattern. Obtainable. On the other hand, the exposed portion is chemically developed in the silver halide emulsion layer to become blackened silver. After development, the silver halide emulsion layer, intermediate layer and protective layer which are no longer needed are washed away with water, and a silver thin film having a shape pattern is exposed on the surface.

現像処理後のハロゲン化銀乳剤層等の物理現像核層の上に設けられた層の除去方法は、水洗除去或いは剥離紙等に転写剥離する方法がある。水洗除去は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法がある。また、剥離紙等で転写剥離する方法は、ハロゲン化銀乳剤層上の余分なアルカリ液(銀錯塩拡散転写用現像液)を予めローラー等で絞り取っておき、ハロゲン化銀乳剤層等と剥離紙を密着させてハロゲン化銀乳剤層等をプラスチック樹脂フィルムから剥離紙に転写させて剥離する方法である。剥離紙としては吸水性のある紙や不織布、或いは紙の上にシリカのような微粒子顔料とポリビニルアルコールのようなバインダーとで吸水性の空隙層を設けたものが用いられる。   As a method for removing a layer provided on a physical development nucleus layer such as a silver halide emulsion layer after development, there is a method of removing by washing with water or transferring to a release paper. There are two methods for removing the water washing: a method of removing hot water using a scrubbing roller or the like while jetting it with a nozzle or the like, and a method of removing hot water by jetting with a nozzle or the like. Also, the method of transferring and peeling with release paper, etc., is to squeeze the excess alkali solution (silver complex diffusion transfer developer) on the silver halide emulsion layer in advance with a roller or the like, and remove the silver halide emulsion layer and the release paper. In this method, the silver halide emulsion layer and the like are transferred from a plastic resin film to a release paper and peeled off. As the release paper, water-absorbing paper or non-woven fabric, or paper having a water-absorbing void layer formed of a fine pigment such as silica and a binder such as polyvinyl alcohol on the paper is used.

次に、銀塩拡散転写現像の現像液について説明する。現像液は、可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤を含有するアルカリ液である。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物である。   Next, a developing solution for silver salt diffusion transfer development will be described. The developer is an alkaline solution containing a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent. The soluble silver complex salt forming agent is a compound that dissolves silver halide to form a soluble silver complex salt, and the reducing agent is a compound for reducing the soluble silver complex salt to deposit metallic silver on the physical development nucleus. .

現像液に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウムやチオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサゾリドン類、2−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平9−171257号公報に記載のメソイオン性化合物、USP5,200,294号明細書に記載のようなチオエーテル類、5,5−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に、「The Theory of the photographic Process(4th edition,p474〜475」、T.H.James著に記載されている化合物が挙げられる。   Soluble silver complex forming agents used in the developer include thiosulfates such as sodium thiosulfate and ammonium thiosulfate, thiocyanates such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, and sulfites such as sodium sulfite and potassium bisulfite. Salts, oxazolidones, 2-mercaptobenzoic acid and derivatives thereof, cyclic imides such as uracil, alkanolamines, diamines, mesoionic compounds described in JP-A-9-171257, USP 5,200,294 As described, thioethers, 5,5-dialkylhydantoins, alkylsulfones, and the like, "The Theory of the Photographic Process (4th edition, p474-475)", by TH James. The compounds described can be mentioned.

これらの可溶性銀錯塩形成剤の中でも特に、アルカノールアミンが好ましい。アルカノールアミンを含有した処理液で現像を行った透明導電性フィルムの表面抵抗は比較的低い値が得られる。   Among these soluble silver complex salt forming agents, alkanolamine is particularly preferable. A relatively low value is obtained for the surface resistance of the transparent conductive film developed with a processing solution containing an alkanolamine.

アルカノールアミンとしては、例えばN−アミノエチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エタノールアミン、4−アミノブタノール、N,N−ジメチルエタノールアミン、3−アミノプロパノール、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール等が挙げられる。   Examples of the alkanolamine include N-aminoethylethanolamine, diethanolamine, N-methylethanolamine, triethanolamine, N-ethyldiethanolamine, diisopropanolamine, ethanolamine, 4-aminobutanol, N, N-dimethylethanolamine, Examples include 3-aminopropanol and 2-amino-2-methyl-1-propanol.

これらの可溶性銀錯塩形成剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。   These soluble silver complex salt forming agents can be used alone or in combination.

現像液に用いられる還元剤は、Research Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載されているような写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロロハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸及びその誘導体、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン等の3−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。これらの還元剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。   The reducing agent used in the developer is a development known in the field of photographic development as described in Research Disclosure Item 17643 (December 1978) and 18716 (November 1979), 308119 (December 1989). The main drug can be used. For example, polyhydroxybenzenes such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, methylhydroquinone, chlorohydroquinone, ascorbic acid and its derivatives, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1- Examples include 3-pyrazolidones such as phenyl-4-methyl-4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, paramethylaminophenol, paraaminophenol, parahydroxyphenylglycine, paraphenylenediamine, and the like. These reducing agents can be used alone or in combination.

可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液1リットル当たり、0.001〜5モルが好ましく、より好ましくは0.005〜1モルの範囲である。還元剤の含有量は現像液1リットル当たり0.01〜1モルが好ましく、より好ましくは0.05〜1モルの範囲である。   The content of the soluble silver complex salt forming agent is preferably 0.001 to 5 mol, more preferably 0.005 to 1 mol, per liter of the developer. The content of the reducing agent is preferably from 0.01 to 1 mol, more preferably from 0.05 to 1 mol, per liter of the developer.

現像液のpHは10以上が好ましく、更に11〜14が好ましい。所望のpHに調整するために、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ剤、リン酸、炭酸などの緩衝剤を単独、または組み合わせて含有させる。また、本発明の現像液には、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸カリウム等の保恒剤を含むことが好ましい。   The pH of the developer is preferably 10 or more, and more preferably 11-14. In order to adjust to a desired pH, an alkali agent such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, or a buffering agent such as phosphoric acid or carbonic acid is contained alone or in combination. The developer of the present invention preferably contains a preservative such as sodium sulfite or potassium sulfite.

<タイプ2>
直接現像処理を行う方法である。例えばネガ乳剤を用いる場合、像様に光センサーのハロゲン化銀粒子を露光することで潜像を形成し、潜像を触媒として現像液中のハイドロキノンなどの還元剤でハロゲン化銀を還元、金属銀を形成する。その後定着処理により未感光部のハロゲン化銀を除去し、基板上に像様のバインダーに保持された銀粒子からなるパターンを形成する。
<Type 2>
This is a method of performing direct development processing. For example, when using a negative emulsion, a silver halide grain of an optical sensor is exposed imagewise to form a latent image, and the latent image is used as a catalyst to reduce the silver halide with a reducing agent such as hydroquinone in the developer. Form silver. Thereafter, the unexposed silver halide is removed by a fixing process, and a pattern of silver particles held in an image-like binder is formed on the substrate.

タイプ2の導電性材料前駆体に用いられる透明支持体としては、タイプ1の導電性材料前駆体で説明したような素材、性能のものを用いることができる。   As the transparent support used for the type 2 conductive material precursor, the materials and performances described for the type 1 conductive material precursor can be used.

タイプ2の導電性材料前駆体においては光センサーとしてハロゲン化銀乳剤層が支持体上に設けられるが、ハロゲン化銀乳剤層のハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであっても良く、これらを組み合わせても良い。ハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の方法が用いられる。なかでもコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は0.25μm以下、特に好ましくは0.05〜0.2μmである。   In the type 2 conductive material precursor, a silver halide emulsion layer is provided on the support as an optical sensor. The halogen elements contained in the silver halide of the silver halide emulsion layer include chlorine, bromine, iodine and Any of fluorine may be used, and these may be combined. For the formation of silver halide emulsion grains, methods such as forward mixing, reverse mixing, and simultaneous mixing are used. Of these, the use of the controlled double jet method is preferred from the viewpoint of obtaining silver halide emulsion grains having a uniform grain size. The average grain size of preferable silver halide emulsion grains is 0.25 μm or less, particularly preferably 0.05 to 0.2 μm.

ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状(六角平板状、三角形平板状、四角形平板状など)、八面体状、十四面体状など様々な形状であることができる。   The shape of the silver halide grains is not particularly limited. For example, the shape can be various shapes such as a spherical shape, a cubic shape, a flat plate shape (hexagon flat plate shape, a triangular flat plate shape, a quadrangular flat plate shape, etc.), an octahedron shape, and a tetrahedron shape. Can be.

ハロゲン化銀乳剤の製造においては、必要に応じてハロゲン化銀粒子の形成或いは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、或いはロジウム塩若しくはその錯塩、イリジウム塩若しくはその錯塩などVIII族金属元素の塩若しくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法など当業界で一般的な方法を、単独、或いは組み合わせて用いることができる。また本発明においてハロゲン化銀乳剤は必要に応じて色素増感することもできる。   In the production of silver halide emulsions, group VIII such as sulfite, lead salt, thallium salt, rhodium salt or complex salt thereof, iridium salt or complex salt thereof in the process of silver halide grain formation or physical ripening as necessary. A metal element salt or a complex salt thereof may coexist. Further, it can be sensitized by various chemical sensitizers, and methods commonly used in the art such as sulfur sensitization method, selenium sensitization method and noble metal sensitization method can be used alone or in combination. In the present invention, the silver halide emulsion can be dye-sensitized as necessary.

ハロゲン化銀乳剤層はバインダーを含有する。バインダーとして非水溶性高分子及び水溶性高分子のいずれもバインダーとして用いることができるが、水溶性高分子を用いることが好ましい。好ましい水溶性高分子としては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。   The silver halide emulsion layer contains a binder. As the binder, both water-insoluble polymers and water-soluble polymers can be used as binders, but it is preferable to use water-soluble polymers. Preferred water-soluble polymers include, for example, gelatin, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch and other polysaccharides, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polyvinyl amine, chitosan, polylysine, polyacrylic acid, poly Examples include alginic acid, polyhyaluronic acid, and carboxycellulose.

ハロゲン化銀乳剤層には上記水溶性高分子の他に非水溶性高分子としての高分子ラテックスを用いることもできる。高分子ラテックスとしては単独重合体や共重合体など各種公知のラテックスを用いることができる。単独重合体としては酢酸ビニル、塩化ビニル、スチレン、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、メタクリロニトリル、ブタジエン、イソプレンなどがあり、共重合体としてはエチレン・ブタジエン共重合体、スチレン・ブタジエン共重合体、スチレン・p−メトキシスチレン共重合体、スチレン・酢酸ビニル共重合体、酢酸ビニル・塩化ビニル共重合体、酢酸ビニル・マレイン酸ジエチル共重合体、メチルメタクリレート・アクリロニトリル共重合体、メチルメタクリレート・ブタジエン共重合体、メチルメタクリレート・スチレン共重合体、メチルメタクリレート・酢酸ビニル共重合体、メチルメタクリレート・塩化ビニリデン共重合体、メチルアクリレート・アクリロニトリル共重合体、メチルアクリレート・ブタジエン共重合体、メチルアクリレート・スチレン共重合体、メチルアクリレート・酢酸ビニル共重合体、アクリル酸・ブチルアクリレート共重合体、メチルアクリレート・塩化ビニル共重合体、ブチルアクリレート・スチレン共重合体等がある。ハロゲン化銀乳剤層に用いられる高分子ラテックスの平均粒径は0.01〜1.0μmであることが好ましく、更に好ましくは0.05〜0.8μmである。   In addition to the above water-soluble polymer, a polymer latex as a water-insoluble polymer can also be used for the silver halide emulsion layer. As the polymer latex, various known latexes such as homopolymers and copolymers can be used. Homopolymers include vinyl acetate, vinyl chloride, styrene, methyl acrylate, butyl acrylate, methacrylonitrile, butadiene, and isoprene. Copolymers include ethylene / butadiene copolymers, styrene / butadiene copolymers, and styrene.・ P-methoxystyrene copolymer, styrene / vinyl acetate copolymer, vinyl acetate / vinyl chloride copolymer, vinyl acetate / diethyl maleate copolymer, methyl methacrylate / acrylonitrile copolymer, methyl methacrylate / butadiene copolymer Polymer, methyl methacrylate / styrene copolymer, methyl methacrylate / vinyl acetate copolymer, methyl methacrylate / vinylidene chloride copolymer, methyl acrylate / acrylonitrile copolymer, methyl acrylate / butadiene copolymer Methyl acrylate-styrene copolymer, methyl acrylate-vinyl acetate copolymer, an acrylic acid-butyl acrylate copolymer, methyl acrylate-vinyl chloride copolymer, and butyl acrylate-styrene copolymer. The average particle size of the polymer latex used in the silver halide emulsion layer is preferably 0.01 to 1.0 [mu] m, more preferably 0.05 to 0.8 [mu] m.

高分子ラテックスはその使用量が多過ぎると塗布性に悪影響を及ぼすため、水溶性高分子との質量比(高分子ラテックス/水溶性高分子)が1.0以下で用いることが好ましい。また、ハロゲン化銀乳剤層に含有する高分子ラテックスと水溶性高分子の総量、すなわち総バインダー量については、バインダー量が少ないと塗布性に悪影響を及ぼし、また安定したハロゲン化銀粒子も得られなくなる、一方、多過ぎると多量にめっきをしないと導電性が得られなくなり、生産性を落としてしまうなど、品質に大きな影響を与える。好ましいハロゲン化銀(銀換算)と総バインダーとの質量比(銀/総バインダー)は1.2以上、より好ましくは1.5〜3.5である。   The polymer latex is preferably used at a mass ratio (polymer latex / water-soluble polymer) of 1.0 or less because the polymer latex has an adverse effect on coating properties when used in an excessive amount. In addition, regarding the total amount of polymer latex and water-soluble polymer contained in the silver halide emulsion layer, that is, the total amount of binder, if the amount of the binder is small, the coating property is adversely affected, and stable silver halide grains can also be obtained. On the other hand, if the amount is too large, the electroconductivity cannot be obtained unless a large amount of plating is performed, and the productivity is greatly affected. The mass ratio (silver / total binder) of the preferred silver halide (in terms of silver) and the total binder is 1.2 or more, more preferably 1.5 to 3.5.

タイプ2に用いる導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層は硬膜剤により、硬膜されることが好ましい。硬膜剤としては例えばクロム明ばんのような無機化合物、ホルマリン、グリオキザール、マレアルデヒド、グルタルアルデヒドのようなアルデヒド類、尿素やエチレン尿素等のN−メチロール化合物、ムコクロル酸、2,3−ジヒドロキシ−1,4−ジオキサンの様なアルデヒド等価体、2,4−ジクロロ−6−ヒドロキシ−s−トリアジン塩や、2,4−ジヒドロキシ−6−クロロ−トリアジン塩のような活性ハロゲンを有する化合物、ジビニルスルホン、ジビニルケトンやN,N,N−トリアクリロイルヘキサヒドロトリアジン、活性な三員環であるエチレンイミノ基やエポキシ基を分子中に二個以上有する化合物類、高分子硬膜剤としてのジアルデヒド澱粉等やその他にもResearch Disclosure Item 17643(1978年12月)及び18716(1979年11月)、308119(1989年12月)に記載されているような物質を用いることができる。また硬膜剤は一種若しくは二種以上混合させて用いることもできる。硬膜剤は、ハロゲン化銀乳剤層に含有されるバインダーに対して0.1〜10質量%を含有させるのが好ましく、特に0.5〜8質量%が好ましい。   The silver halide emulsion layer of the conductive material precursor used for Type 2 is preferably hardened with a hardener. Examples of hardeners include inorganic compounds such as chromium alum, aldehydes such as formalin, glyoxal, malealdehyde and glutaraldehyde, N-methylol compounds such as urea and ethyleneurea, mucochloric acid, 2,3-dihydroxy- Aldehyde equivalent such as 1,4-dioxane, 2,4-dichloro-6-hydroxy-s-triazine salt, compound having active halogen such as 2,4-dihydroxy-6-chloro-triazine salt, divinyl Sulfone, divinyl ketone, N, N, N-triacryloyl hexahydrotriazine, compounds having two or more active three-membered ethyleneimino groups or epoxy groups in the molecule, dialdehyde as a polymer hardener Research Disclosure Item 1764 for starch and others (November 1979) (December 1978) and 18716, can be used materials such as described in 308119 (December 1989). The hardener can be used alone or in combination. The hardener is preferably contained in an amount of 0.1 to 10% by weight, particularly 0.5 to 8% by weight, based on the binder contained in the silver halide emulsion layer.

ハロゲン化銀乳剤層には、更に種々の目的のために、タイプ1同様の公知の写真用添加剤を用いることができる。   In the silver halide emulsion layer, known photographic additives similar to type 1 can be used for various purposes.

タイプ2の導電性材料前駆体には必要に応じて支持体のハロゲン化銀乳剤層と反対面に裏塗層やハロゲン化銀乳剤層の上にオーバー層などを設けることができる。またタイプ2の導電性材料前駆体にはハロゲン化銀乳剤層の感光波長域に吸収極大を有する非増感性染料または顔料を、タイプ1の導電性材前駆体で説明したものと同様の目的、方法で含有することができる。   If necessary, the type 2 conductive material precursor may be provided with a backing layer or an overlayer on the silver halide emulsion layer on the opposite side of the support from the silver halide emulsion layer. In addition, for the type 2 conductive material precursor, a non-sensitizing dye or pigment having an absorption maximum in the photosensitive wavelength region of the silver halide emulsion layer, the same purpose as described for the type 1 conductive material precursor, It can be contained by the method.

上記タイプ2の導電性材料前駆体を用い、透明導電性材料を作製するための方法は、例えば網目状パターンの銀薄膜の形成が挙げられるが、これは、タイプ1の銀塩拡散転写現像で説明した方法で露光することができる。   A method for producing a transparent conductive material using the type 2 conductive material precursor includes, for example, formation of a silver thin film having a mesh pattern. This is a type 1 silver salt diffusion transfer development. The exposure can be performed in the manner described.

本発明におけるタイプ2の導電性材料の製造に用いる現像液は、基本組成として現像主薬、保恒剤、アルカリ剤、カブリ防止剤からなる。現像主薬としては具体的にハイドロキノン、アスコルビン酸、パラアミノフェノール、パラフェニレンジアミン、フェニドン等が挙げられる。これらの一部は導電性材料前駆体に含有させても良い。保恒剤としては、亜硫酸イオンなどがある。アルカリ剤は、現像主薬の還元性を発揮するために必要であり、現像液のpHを9以上、好ましくは10以上になるように添加される。また安定に塩基性を保つための、炭酸塩やリン酸塩のような緩衝剤も用いられる。更に現像核を持たないハロゲン化銀粒子が還元されないように加えられるカブリ防止剤としては、臭化物イオン、ベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾールなどが挙げられる。   The developer used for the production of the type 2 conductive material in the present invention comprises a developing agent, a preservative, an alkali agent, and an antifoggant as a basic composition. Specific examples of the developing agent include hydroquinone, ascorbic acid, paraaminophenol, paraphenylenediamine, phenidone and the like. Some of these may be contained in the conductive material precursor. Examples of preservatives include sulfite ions. The alkaline agent is necessary for exhibiting the reducing ability of the developing agent, and is added so that the pH of the developer is 9 or more, preferably 10 or more. In addition, a buffering agent such as carbonate or phosphate is also used in order to keep the basicity stably. Furthermore, examples of the antifoggant added so that silver halide grains having no development nucleus are not reduced include bromide ions, benzimidazole, benzotriazole, 1-phenyl-5-mercaptotetrazole and the like.

更に本発明におけるタイプ2の導電性材料の製造に用いる現像液として可溶性銀錯塩形成剤を含有させることが高い導電性を得る上で好ましい。可溶性銀錯塩形成剤としては。具体的にはチオ硫酸アンモニウムやチオ硫酸ナトリウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、1,10−ジチア−18−クラウン−6、2,2’−チオジエタノールなどのチオエーテル類、オキサドリドン類、2−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平9−171257号公報に記載のメソイオン性化合物、5,5−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に「The Theory of the photographic Process(4th edition,p474〜475」、T.H.James著に記載されている化合物が挙げられる。   Furthermore, it is preferable for obtaining high conductivity to contain a soluble silver complex salt forming agent as a developer used in the production of the type 2 conductive material in the present invention. As a soluble silver complex forming agent. Specifically, thiosulfates such as ammonium thiosulfate and sodium thiosulfate, thiocyanates such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, sulfites such as sodium sulfite and potassium hydrogen sulfite, 1,10-dithia-18 -Crown-6, thioethers such as 2,2'-thiodiethanol, oxadridones, 2-mercaptobenzoic acid and derivatives thereof, cyclic imides such as uracil, alkanolamines, diamines, JP-A-9-171257 The mesoionic compounds described, 5,5-dialkylhydantoins, alkylsulfones, and others, “The Theory of the Photographic Process (4th edition, p474-475)”, written by TH James. Compounds.

これらの可溶性銀錯塩形成剤の中で特にアルカノールアミンが好ましい。アルカノールアミンとしては、例えばジエタノールアミン、N−メチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エタノールアミン、4−アミノブタノール、N,N−ジメチルエタノールアミン、3−アミノプロパノール、2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール等が挙げられる。   Of these soluble silver complex salt forming agents, alkanolamines are particularly preferred. Examples of the alkanolamine include diethanolamine, N-methylethanolamine, triethanolamine, N-ethyldiethanolamine, diisopropanolamine, ethanolamine, 4-aminobutanol, N, N-dimethylethanolamine, 3-aminopropanol, 2- Amino-2-methyl-1-propanol etc. are mentioned.

これらの可溶性銀錯塩形成剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。また可溶性銀錯塩形成剤の使用量としては0.1〜40g/リットル、好ましくは1〜20g/リットルである。現像処理温度は通常15〜45℃の間で選ばれるが、より好ましくは25〜40℃である。   These soluble silver complex salt forming agents can be used alone or in combination. The amount of the soluble silver complex salt forming agent used is 0.1 to 40 g / liter, preferably 1 to 20 g / liter. The development processing temperature is usually selected from 15 to 45 ° C, more preferably 25 to 40 ° C.

定着処理は未現像部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。定着処理には公知の銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができ、「写真の化学」(笹井著、写真工業出版社(株))p321記載の定着液などが挙げられる。   The fixing process is performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the undeveloped part. The fixing process can be performed by using a fixing process technique used in known silver salt photographic film, photographic paper, film for printing plate making, emulsion mask for photomask, etc. And a fixing solution described in p321.

その中でも、チオ硫酸塩以外の脱銀剤が含まれる定着液が好ましい。その場合の脱銀剤としてはチオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、1,10−ジチア−18−クラウン−6、2,2´−チオジエタノールなどのチオエーテル類、オキサドリドン類、2−メルカプト安息香酸及びその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平9−171257号公報に記載のメソイオン性化合物、5,5−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に「The Theory of the photographic Process(4th edition,p474〜475」、T.H.James著に記載されている化合物が挙げられる。   Among them, a fixing solution containing a desilvering agent other than thiosulfate is preferable. In this case, as a desilvering agent, thiocyanates such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, sulfites such as sodium sulfite and potassium bisulfite, 1,10-dithia-18-crown-6, 2,2 ′ -Thioethers such as thiodiethanol, oxadoridones, 2-mercaptobenzoic acid and derivatives thereof, cyclic imides such as uracil, alkanolamines, diamines, mesoionic compounds described in JP-A-9-171257, 5,5 -Dialkylhydantoins, alkylsulfones, and other compounds described in "The Theory of the Photographic Process (4th edition, p474-475)", TH James.

これらの脱銀剤の中でも特に、アルカノールアミンが好ましい。アルカノールアミンとしては、拡散転写現像液で述べた可溶性銀錯塩形成剤と同義である。また、チオシアン酸塩については脱銀能力は高いのだが、人体に対する安全性の観点から使用することは好ましくない。   Among these desilvering agents, alkanolamine is particularly preferable. Alkanolamine has the same meaning as the soluble silver complex forming agent described in the diffusion transfer developer. Further, although thiocyanate has a high desilvering ability, it is not preferable to use it from the viewpoint of safety to the human body.

これらの脱銀剤は単独で、または複数組み合わせて使用することができる。また脱銀剤の使用量としては脱銀剤の合計で定着液1リットル当たり、0.01〜5モルが好ましく、より好ましくは0.1〜3モルの範囲である。   These desilvering agents can be used alone or in combination. The amount of the desilvering agent used is preferably 0.01 to 5 mol, more preferably 0.1 to 3 mol per liter of the fixing solution in total of the desilvering agent.

定着液としては脱銀剤の他にも保恒剤として亜硫酸塩、重亜硫酸塩、pH緩衝剤として酢酸、硼酸アミン、リン酸塩などを含むことができる。また、硬膜剤として水溶性アルミニウム(例えば硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、カリ明ばん等)、アルミニウムの沈殿防止剤として二塩基酸(例えば、酒石酸、酒石酸カリウム、酒石酸ナトリウム、クエン酸ナトリウム、クエン酸リチウム、クエン酸カリウム等)も含有させることができる。定着液の好ましいpHは脱銀剤の種類により異なり、特にアミンを使用する場合は8以上、好ましくは9以上である。定着処理温度は通常10℃から45℃の間で選ばれるが、より好ましくは18℃〜30℃である。   In addition to the desilvering agent, the fixing solution may contain sulfite or bisulfite as a preservative, and acetic acid, borate amine, phosphate, or the like as a pH buffer. In addition, water-soluble aluminum (for example, aluminum sulfate, aluminum chloride, potassium alum) as a hardening agent, dibasic acid (for example, tartaric acid, potassium tartrate, sodium tartrate, sodium citrate, lithium citrate) as an aluminum precipitation inhibitor , Potassium citrate and the like). The preferred pH of the fixing solution varies depending on the type of desilvering agent, and in particular when the amine is used, it is 8 or more, preferably 9 or more. The fixing processing temperature is usually selected between 10 ° C. and 45 ° C., more preferably 18 ° C. to 30 ° C.

<タイプ3>
硬化現像処理法を用いる方法である。この方法においては光センサーのハロゲン化銀粒子を像様に露光し潜像を形成し、これを触媒としてハロゲン化銀を還元する時に、ハイドロキノン等のその酸化体がゼラチンの硬化作用を持つ還元剤を用い、金属銀を形成すると同時に金属銀周囲のゼラチンを硬化させ、画像を形成させた後、水洗除去して非硬化部を洗い流す。タイプ2と同様銀粒子はバインダーに保持されているが、非画像部には支持体のみが残ることとなる。
<Type 3>
This is a method using a curing development method. In this method, a silver halide grain of an optical sensor is exposed imagewise to form a latent image, and when this is used as a catalyst to reduce silver halide, a reducing agent whose oxidized form such as hydroquinone has a hardening action on gelatin. The metal silver is formed at the same time as the gelatin around the metal silver is hardened to form an image, and then washed away with water to wash away the non-hardened portion. Silver particles are held in the binder as in type 2, but only the support remains in the non-image area.

タイプ3に用いる導電性材料前駆体に用いられる透明支持体としては、タイプ1、タイプ2の導電性材料前駆体に用いる透明支持体と同様のものを使用することができる。   As the transparent support used for the conductive material precursor used for type 3, the same transparent support used for the type 1 and type 2 conductive material precursors can be used.

本発明に用いるタイプ3の導電性材料前駆体においては光センサーとしてハロゲン化銀乳剤層が支持体上に設けられる。   In the type 3 conductive material precursor used in the present invention, a silver halide emulsion layer is provided on a support as an optical sensor.

本発明におけるハロゲン化銀としてはタイプ2の導電性材料前駆体に用いるのと同様のハロゲン化銀を用いることができる。   As the silver halide in the present invention, the same silver halide as that used for the type 2 conductive material precursor can be used.

本発明においてハロゲン化銀乳剤層はバインダーを含有する。本発明においては非水溶性高分子及び水溶性高分子のいずれもバインダーとして用いることができるが、水溶性高分子を用いることが好ましい。本発明における好ましいバインダーとしては、例えば、ゼラチン、カゼインなどのタンパク質類、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、アルギン酸、ヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これら水溶性高分子の中でもゼラチンなどのタンパク質が好ましい。   In the present invention, the silver halide emulsion layer contains a binder. In the present invention, both a water-insoluble polymer and a water-soluble polymer can be used as a binder, but it is preferable to use a water-soluble polymer. Preferred binders in the present invention include, for example, proteins such as gelatin and casein, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), polysaccharides such as starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polyvinylamine, chitosan, polylysine. , Polyacrylic acid, alginic acid, hyaluronic acid, carboxycellulose and the like. Of these water-soluble polymers, proteins such as gelatin are preferred.

本発明においてハロゲン化銀乳剤層には上記水溶性高分子の他に非水溶性高分子としての高分子ラテックスを用いることもできる。高分子ラテックスとしては単独重合体や共重合体など各種公知のラテックスを用いることができる。単独重合体としては酢酸ビニル、塩化ビニル、スチレン、メチルアクリレート、ブチルアクリレート、メタクリロニトリル、ブタジエン、イソプレンなどがあり、共重合体としてはエチレン・ブタジエン、スチレン・ブタジエン、スチレン・p−メトキシスチレン、スチレン・酢酸ビニル、酢酸ビニル・塩化ビニル、酢酸ビニル・マレイン酸ジエチル、メチルメタクリレート・アクリロニトリル、メチルメタクリレート・ブタジエン、メチルメタクリレート・スチレン、メチルメタクリレート・酢酸ビニル、メチルメタクリレート・塩化ビニリデン、メチルアクリレート・アクリロニトリル、メチルアクリレート・ブタジエン、メチルアクリレート・スチレン、メチルアクリレート・酢酸ビニル、アクリル酸・ブチルアクリレート、メチルアクリレート・塩化ビニル、ブチルアクリレート・スチレン等がある。本発明で用いる高分子ラテックスの平均粒径は0.01〜1.0μmであることが好ましく、更に好ましくは0.05〜0.8μmである。   In the present invention, a polymer latex as a water-insoluble polymer can be used in addition to the above water-soluble polymer in the silver halide emulsion layer. As the polymer latex, various known latexes such as homopolymers and copolymers can be used. Homopolymers include vinyl acetate, vinyl chloride, styrene, methyl acrylate, butyl acrylate, methacrylonitrile, butadiene, isoprene, etc., and copolymers include ethylene butadiene, styrene butadiene, styrene p-methoxystyrene, Styrene / vinyl acetate, vinyl acetate / vinyl chloride, vinyl acetate / diethyl maleate, methyl methacrylate / acrylonitrile, methyl methacrylate / butadiene, methyl methacrylate / styrene, methyl methacrylate / vinyl acetate, methyl methacrylate / vinylidene chloride, methyl acrylate / acrylonitrile, Methyl acrylate / butadiene, methyl acrylate / styrene, methyl acrylate / vinyl acetate, acrylic acid / butyl acrylate, methyl acrylate Relate vinyl chloride, butyl acrylate-styrene and the like. The average particle size of the polymer latex used in the present invention is preferably 0.01 to 1.0 μm, more preferably 0.05 to 0.8 μm.

本発明におけるハロゲン化銀乳剤層に含有する水溶性高分子と高分子ラテックスの総量、すなわち総バインダー量については、バインダー量が少ないと塗布性に悪影響を及ぼし、また安定したハロゲン化銀粒子も得られなくなる、一方、多過ぎると導電性が得られ難くなり、生産性を落としてしまうなど、品質に大きな影響を与える。好ましいハロゲン化銀(銀換算)と総バインダーとの質量比(銀/総バインダー)は0.5以上、より好ましくは1.5〜3.5である。また、好ましい総バインダー量は0.05〜3g/m2以上、更に好ましくは0.1〜1g/m2である。 With respect to the total amount of water-soluble polymer and polymer latex contained in the silver halide emulsion layer in the present invention, that is, the total amount of binder, if the amount of the binder is small, the coating property is adversely affected, and stable silver halide grains are also obtained. On the other hand, if the amount is too large, it is difficult to obtain conductivity, and the productivity is greatly affected. The mass ratio (silver / total binder) between the preferred silver halide (in terms of silver) and the total binder is 0.5 or more, more preferably 1.5 to 3.5. Moreover, a preferable total binder amount is 0.05-3 g / m < 2 > or more, More preferably, it is 0.1-1 g / m < 2 >.

ハロゲン化銀乳剤層にはタイプ2の導電性材料前駆体同様、種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。   Similar to the type 2 conductive material precursor, known photographic additives can be used for the silver halide emulsion layer for various purposes.

タイプ3の導電性材料前駆体には必要に応じて支持体のハロゲン化銀乳剤層と反対面に裏塗層やハロゲン化銀乳剤層の上にオーバー層、ハロゲン化銀乳剤層の下に下引き層などを設けることができる。またタイプ1、タイプ2の導電性材料前駆体同様ハロゲン化銀乳剤層の感光波長域に吸収極大を有する非増感性染料または顔料を含有することができる。   For type 3 conductive material precursors, if necessary, an over layer on the backing layer or silver halide emulsion layer on the opposite side of the support and a lower layer below the silver halide emulsion layer. A pulling layer or the like can be provided. Further, a non-sensitizing dye or pigment having an absorption maximum in the photosensitive wavelength region of the silver halide emulsion layer can be contained as well as the type 1 and type 2 conductive material precursors.

タイプ3の導電性材料前駆体のオーバー層、下引き層についてはハロゲン化銀乳剤層と同様のバインダーを用いることができる。それぞれの層の使用目的に応じて好ましいバインダー量は異なるが、特に硬化現像処理を利用して画像状にそれらの層を硬化させ、必要な部分のみ残したい場合、例えばオーバー層に無電解めっきの触媒核を含有させる場合などでは、ハロゲン化銀乳剤層中で起きる硬化反応を利用するので、できるだけ薄い方が好ましく、好ましい使用量は0.1g/m2以下、更に好ましくは0.05〜0.001g/m2である。更にオーバー層、下引き層には公知の界面活性剤、現像抑制剤、イラジエーション防止色素、顔料、マット剤、滑剤などを含有することができる。 For the over layer and the undercoat layer of the type 3 conductive material precursor, the same binder as in the silver halide emulsion layer can be used. The preferred binder amount varies depending on the purpose of use of each layer. In particular, when the layers are cured in an image form using a curing development process and it is desired to leave only necessary portions, for example, an electroless plating is applied to the over layer. In the case of containing catalyst nuclei, etc., since the curing reaction occurring in the silver halide emulsion layer is used, it is preferably as thin as possible. The preferred amount is 0.1 g / m 2 or less, more preferably 0.05 to 0. 0.001 g / m 2 . Further, the over layer and the undercoat layer can contain a known surfactant, development inhibitor, irradiation prevention dye, pigment, matting agent, lubricant and the like.

タイプ3の導電性材料前駆体には硬化現像薬を含有することが特に好ましい。硬化現像薬としては、ポリヒドロキシベンゼン、例えばハイドロキノン、カテコール、クロロハイドロキノン、ピロガロール、ブロモハイドロキノン、イソプロピルハイドロキノン、トルハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,3−ジクロロハイドロキノン、2,3−ジメチルハイドロキノン、2,3−ジブロモハイドロキノン、2,5−ジヒドロキシアセトフェノン、2,5−ジメチルハイドロキノン、4−フェニルカテコール、4−t−ブチルカテコール、4−s−ブチルピロガロール、4,5−ジブロモカテコール、2,5−ジエチルハイドロキノン、2,5−シリベンゾイルアミノハイドロキノン、等がある。また、アミノフェノール化合物、例えばN−メチル−パラアミノフェノール、パラアミノフェノール−2,4−ジアミノフェノール、パラベンジルアミノフェノール、2−メチル−パラアミノフェノール、2−ヒドロキシメチル−パラアミノフェノールなど、また、その他にも例えば特開2001−215711号公報、特開2001−215732号公報、特開2001−312031号公報、特開2002−62664号公報記載の公知の硬化現像薬を用いることができるが、特にベンゼン核の少なくとも1,2位または1,4位にヒドロキシル基が置換したベンゼンが好ましい。また、これらの硬化現像薬を併用して用いることも可能である。更に、3−ピラゾリドン類、例えば1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−p−トリル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、及び1−パラクロロフェニル−3−ピラゾリドンなどの公知の写真現像液に用いる還元剤を上記硬化現像薬に併せて用いることも可能である。   It is particularly preferred that the type 3 conductive material precursor contains a hardened developer. Curing developers include polyhydroxybenzenes such as hydroquinone, catechol, chlorohydroquinone, pyrogallol, bromohydroquinone, isopropylhydroquinone, toluhydroquinone, methylhydroquinone, 2,3-dichlorohydroquinone, 2,3-dimethylhydroquinone, 2,3- Dibromohydroquinone, 2,5-dihydroxyacetophenone, 2,5-dimethylhydroquinone, 4-phenylcatechol, 4-t-butylcatechol, 4-s-butylpyrogalol, 4,5-dibromocatechol, 2,5-diethylhydroquinone, 2,5-silibenzoylaminohydroquinone and the like. In addition, aminophenol compounds such as N-methyl-paraaminophenol, paraaminophenol-2,4-diaminophenol, parabenzylaminophenol, 2-methyl-paraaminophenol, 2-hydroxymethyl-paraaminophenol, etc. For example, known curing developers described in JP-A-2001-215711, JP-A-2001-215732, JP-A-2001-312031, and JP-A-2002-62664 can be used. Benzene substituted with a hydroxyl group at least in the 1,2-position or 1,4-position is preferred. Further, these curable developers can be used in combination. Further, 3-pyrazolidones such as 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-p-tolyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3- It is also possible to use a reducing agent used for a known photographic developer such as pyrazolidone and 1-parachlorophenyl-3-pyrazolidone in combination with the above-described cured developer.

これら硬化現像薬は導電材料前駆体のどの層に含有されても良いが、ハロゲン化銀乳剤層若しくは下引き層に含有されることが好ましく、特にハロゲン化銀乳剤層に含有されていることが好ましい。含有する好ましい量はハロゲン化銀乳剤層の水溶性バインダーを耐水化できるだけの量であるため、使用する水溶性バインダーの量に応じて変化する。好ましい硬化現像薬の量は0.01〜0.5mモル/水溶性バインダー1g、更に好ましくは0.1〜0.4mモル/水溶性バインダー1gである。これら硬化現像薬は塗液に溶解させても各層に含有させても良いし、オイル分散液に溶解させて各層中に含有させることも可能である。   These hardened developing agents may be contained in any layer of the conductive material precursor, but are preferably contained in the silver halide emulsion layer or the undercoat layer, and particularly in the silver halide emulsion layer. preferable. A preferable amount to be contained is an amount sufficient to make the water-soluble binder of the silver halide emulsion layer water-resistant, and thus varies depending on the amount of the water-soluble binder used. A preferable amount of the hardened developer is 0.01 to 0.5 mmol / water-soluble binder 1 g, more preferably 0.1 to 0.4 mmol / water-soluble binder 1 g. These hardened developers may be dissolved in the coating solution or contained in each layer, or may be dissolved in an oil dispersion and contained in each layer.

タイプ3の導電性材料前駆体には膨潤抑制剤を含有することが好ましい。本発明における膨潤抑制剤とは導電性材料前駆体を硬化現像液で処理する際に水溶性バインダーが膨潤するのを妨ぎ、画像のぼけを防いで透過性を上げ、また導電性を上げるために用いる。膨潤抑制剤として作用するかどうかはpH3.5の5%ゼラチン水溶液に膨潤抑制剤0.35モル/リットルになるよう加えてゼラチンの沈殿が発生するかどうかで調べられ、この試験でゼラチンの沈殿が発生するような薬品は全て膨潤抑制剤として作用する。膨潤抑制剤の具体例としては、例えば硫酸ナトリウム、硫酸リチウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硝酸ナトリウム、硝酸カルシウム、硝酸マグネシウム、硝酸亜鉛、塩化マグネシウム、塩化ナトリウム、塩化マンガン、リン酸マグネシウムなどの無機塩類、或いは例えばベンゼンスルホン酸、ジフェニルスルホン酸、5−スルホサリチル酸、パラトルエンスルホン酸、フェノールジスルホン酸、α−ナフタレンスルホン酸、β−ナフタレンスルホン酸、1,5−ナフタレンスルホン酸、1−ヒドロキシ−3,6−ナフタレンジスルホン酸、ジナフチルメタンスルホン酸などのスルホン酸類、例えばポリビニルベンゼンスルホン酸、無水マレイン酸とビニルスルホン酸の共重合物、ポリビニルアクリルアミドなどの高分子沈殿剤として用いられる化合物などが挙げられる。これら膨潤抑制剤は単独でも組み合わせて用いても良いが、無機塩類、特に硫酸塩類を使用することが好ましい。これら膨潤抑制剤は導電性材料前駆体のどの層に含有されていても良いが、特にハロゲン化銀乳剤層に含有されていることが好ましい。これら膨潤抑制剤の好ましい含有量は0.01〜10g/m2、更に好ましくは0.1〜2g/m2である。 The type 3 conductive material precursor preferably contains a swelling inhibitor. In the present invention, the swelling inhibitor is used to prevent the water-soluble binder from swelling when the conductive material precursor is processed with a hardened developer, to prevent blurring of the image, to increase transparency, and to increase conductivity. Used for. Whether or not it acts as a swelling inhibitor is determined by checking whether gelatin precipitation occurs by adding a swelling inhibitor of 0.35 mol / liter to a 5% aqueous gelatin solution at pH 3.5. All the chemicals that cause the occurrence of swelling act as swelling inhibitors. Specific examples of the swelling inhibitor include inorganic salts such as sodium sulfate, lithium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, sodium nitrate, calcium nitrate, magnesium nitrate, zinc nitrate, magnesium chloride, sodium chloride, manganese chloride, and magnesium phosphate. Or, for example, benzenesulfonic acid, diphenylsulfonic acid, 5-sulfosalicylic acid, paratoluenesulfonic acid, phenol disulfonic acid, α-naphthalenesulfonic acid, β-naphthalenesulfonic acid, 1,5-naphthalenesulfonic acid, 1-hydroxy-3 Sulfonic acids such as 1,6-naphthalenedisulfonic acid and dinaphthylmethanesulfonic acid, such as polyvinylbenzenesulfonic acid, a copolymer of maleic anhydride and vinylsulfonic acid, and a polymer precipitant such as polyvinylacrylamide Examples include compounds used. These swelling inhibitors may be used alone or in combination, but it is preferable to use inorganic salts, particularly sulfates. These swelling inhibitors may be contained in any layer of the conductive material precursor, but are particularly preferably contained in the silver halide emulsion layer. The preferred content of these swelling inhibitors 0.01 to 10 g / m 2, still more preferably 0.1-2 g / m 2.

上記タイプ3の導電性材料前駆体を用い、透明導電性材料を作製するための方法は、例えば網目状パターンの銀薄膜の形成が挙げられるが、これは前述のタイプ1、タイプ2で説明した方法で露光することができる。   Examples of the method for producing a transparent conductive material using the type 3 conductive material precursor include formation of a silver thin film having a mesh pattern, which has been described in the above type 1 and type 2. It can be exposed by the method.

タイプ3では導電性材料前駆体を露光した後に硬化現像を行う。硬化現像液にはアルカリ性物質、例えば水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、第3リン酸ナトリウム、或いはアミン化合物、粘稠剤、例えばカルボキシメチルセルロース、現像助薬、例えば3−ピラゾリジノン類、カブリ防止剤、例えば臭化カリウム、現像変性剤、例えばポリオキシアルキレン化合物、ハロゲン化銀溶剤、例えばチオ硫酸塩、チオシアン酸塩、環状イミド、チオサリチル酸、メソイオン性化合物等等の添加剤等を含ませることができる。現像液のpHは通常10〜14である。通常の銀塩写真現像液に用いる保恒剤、例えば亜硫酸ナトリウムなどは硬化現像による硬化反応を停める作用があるので、本発明における硬化現像液では保恒剤は少なくとも20g/リットル以下の使用量、好ましくは10g/リットル以下の使用量が好ましい。   In type 3, the conductive material precursor is exposed and then cured and developed. Cured developers include alkaline substances such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, lithium hydroxide, tribasic sodium phosphate, or amine compounds, thickeners such as carboxymethylcellulose, development aids such as 3-pyrazolidinones, fog. Inhibitors such as potassium bromide, development modifiers such as polyoxyalkylene compounds, silver halide solvents such as thiosulfate, thiocyanate, cyclic imide, thiosalicylic acid, mesoionic compounds and the like are included. be able to. The pH of the developer is usually 10-14. Preservatives used in ordinary silver salt photographic developers, such as sodium sulfite, have the effect of stopping the curing reaction by curing development, so in the cured developers in the present invention, the preservative is used in an amount of at least 20 g / liter or less, The amount used is preferably 10 g / liter or less.

タイプ3の硬化現像液には導電性材料前駆体に硬化現像薬を含有させない場合は硬化現像薬を含有する。硬化現像薬としては導電性材料前駆体に含有させるのと同様の硬化現像薬を用いることができる。好ましい硬化現像薬の含有量は1〜50g/リットルである。硬化現像薬を現像液中に含有させる場合、保恒性が悪く、直ぐに空気酸化してしまうので、使用の直前にアルカリ性水溶液に溶解することが好ましい。   The type 3 cured developer contains a cured developer when the conductive material precursor does not contain a cured developer. As the hardened developer, the same hardened developer as that contained in the conductive material precursor can be used. A preferable content of the hardened developer is 1 to 50 g / liter. When the hardened developer is contained in the developer, the preservability is poor and the air is immediately oxidized. Therefore, it is preferable to dissolve in an alkaline aqueous solution immediately before use.

タイプ3の硬化現像液には膨潤抑制剤を含有することが好ましい。膨潤抑制剤としては導電性材料前駆体に含有させるのと同様の膨潤抑制剤を用いることができる。好ましい膨潤抑制剤の含有量は50〜300g/リットル、好ましくは100〜250g/リットルである。   The type 3 curable developer preferably contains a swelling inhibitor. As the swelling inhibitor, the same swelling inhibitor as that contained in the conductive material precursor can be used. The content of a preferred swelling inhibitor is 50 to 300 g / liter, preferably 100 to 250 g / liter.

タイプ3の硬化現像処理を行う方法としては、浸漬方式であっても塗布方式であっても良い。浸漬方式は、例えば、タンクに大量に貯留された処理液中に、導電性材料前駆体を浸漬しながら搬送するものであり、塗布方式は、例えば導電性材料前駆体上に処理液を40〜120ml/m2程度塗布するものである。特に硬化現像薬含有硬化現像液を用いる場合には塗布方式にし、硬化現像を繰り返し用いないようにする方が好ましい。 As a method for performing the type 3 curing and developing treatment, an immersion method or a coating method may be used. In the immersion method, for example, the conductive material precursor is conveyed while being immersed in a treatment liquid stored in a large amount in a tank, and in the coating method, for example, the treatment liquid is 40 to 40 on the conductive material precursor. About 120 ml / m 2 is applied. In particular, when a curable developer containing a curable developer is used, it is preferable to use a coating method and avoid repeated use of curable development.

タイプ3の硬化現像処理条件については、以下の通りである。現像温度は2〜30℃であり、10〜25℃がより好ましい。現像時間は5秒〜30秒であり、好ましくは5〜10秒である。   The type 3 curing and developing treatment conditions are as follows. The development temperature is 2 to 30 ° C, and 10 to 25 ° C is more preferable. The development time is 5 to 30 seconds, preferably 5 to 10 seconds.

タイプ3の導電性材料を製造する工程には、光透過部のハロゲン化銀乳剤層を除去し、支持体面を露出させる工程が含まれる。本工程はハロゲン化銀乳剤の除去を主目的としているので、本工程で用いられる処理液は水を主成分とする。処理液は緩衝成分を含有しても良い。また、除去したゼラチンの腐敗を防止する目的で、防腐剤を含有することができる。ハロゲン化銀乳剤を除去する方法としては、スポンジ等で擦り取る方法、ローラーを膜面に当ててスリップさせることによってはがしとる方法、ローラーを膜面に接触させてローラーに巻き付ける方法等がある。処理液流をハロゲン化銀乳剤面に当てる方法としては、シャワー方式、スリット方式等を単独、或いは組み合わせて使用できる。また、シャワーやスリットを複数個設けて、除去の効率を高めることもできる。   The step of manufacturing the type 3 conductive material includes a step of removing the silver halide emulsion layer in the light transmitting portion and exposing the support surface. Since the main purpose of this step is to remove the silver halide emulsion, the processing solution used in this step contains water as the main component. The treatment liquid may contain a buffer component. Moreover, a preservative can be contained in order to prevent the removed gelatin from being spoiled. As a method of removing the silver halide emulsion, there are a method of rubbing with a sponge or the like, a method of peeling off by applying a roller to the film surface and slipping, a method of winding the roller in contact with the film surface and the like. As a method of applying the treatment liquid stream to the silver halide emulsion surface, a shower method, a slit method or the like can be used alone or in combination. Also, a plurality of showers and slits can be provided to increase the removal efficiency.

タイプ3において非画像部ハロゲン化銀乳剤層を除去して銀画像を作製した後に、当業者で周知の硬膜剤を含有した液で処理することでより強固な銀画像を作製することができる。硬膜剤としては、クロムミョウバン、ホルマリン等のアルデヒド類、ジアセチル等のケトン類、ムコクロル酸類等、種々のものを用いることができる。またタイプ3において硬化現像処理後にハロゲン化銀溶剤を含む物理現像液で導電性材料前駆体を処理し、硬化現像で硬化された金属銀中にある銀を増大させ、導電性を得ることもできる。   In Type 3, after removing the non-image area silver halide emulsion layer to produce a silver image, a stronger silver image can be produced by processing with a solution containing a hardener well known to those skilled in the art. . Various hardeners such as aldehydes such as chrome alum and formalin, ketones such as diacetyl, mucochloric acid and the like can be used. In Type 3, the conductive material precursor is treated with a physical developer containing a silver halide solvent after the curing and developing treatment to increase the silver in the metallic silver cured by the curing and developing, thereby obtaining conductivity. .

本発明においてタイプ1,タイプ2,タイプ3いずれかの方法で作製した導電性材料では更に高い導電性を得るためや、或いは銀画像の色調を変えるためなどの種々の目的でめっき処理を行う。本発明におけるめっき処理としては、無電解めっき(化学還元めっきや置換めっき)、電解めっき、または無電解めっきと電解めっきの両方を用いることができる。めっき処理によりどの程度導電性を付与するかは用いる用途に応じて異なるが、例えばPDP用に用いる電磁波シールド材として用いるためには表面抵抗値2.5Ω/□以下、好ましくは1.5Ω/□以下が要求される。   In the present invention, the conductive material produced by any one of the type 1, type 2 and type 3 methods is subjected to plating for various purposes such as obtaining higher conductivity or changing the color tone of the silver image. As the plating treatment in the present invention, electroless plating (chemical reduction plating or displacement plating), electrolytic plating, or both electroless plating and electrolytic plating can be used. The degree of conductivity imparted by the plating process varies depending on the application to be used. For example, for use as an electromagnetic shielding material for PDP, the surface resistance value is 2.5Ω / □ or less, preferably 1.5Ω / □. The following are required:

本発明において無電解めっき処理を施す場合、無電解めっきを促進させる目的でパラジウムを含有する溶液で活性化処理することもできる。パラジウムとしては2価のパラジウム塩或いはその錯体塩の形でも良いし,また金属パラジウムであっても良い。しかし、液の安定性、処理の安定性から好ましくはパラジウム塩或いはその錯塩を用いることが良い。   In the present invention, when the electroless plating treatment is performed, the activation treatment can be performed with a solution containing palladium for the purpose of promoting the electroless plating. Palladium may be in the form of a divalent palladium salt or a complex salt thereof, or may be metallic palladium. However, it is preferable to use a palladium salt or a complex salt thereof in view of the stability of the liquid and the stability of the treatment.

本発明における無電解めっきは、公知の無電解めっき技術、例えば無電解ニッケルめっき、無電解コバルトめっき、無電解金めっき、銀めっきなどを用いることができるが、上記の必要な導電性と透明性を得るためには無電解銅めっきを行うことが好ましい。   For the electroless plating in the present invention, known electroless plating techniques such as electroless nickel plating, electroless cobalt plating, electroless gold plating, and silver plating can be used. In order to obtain this, it is preferable to perform electroless copper plating.

本発明における無電解銅めっき液には硫酸銅や塩化銅など銅の供給源、ホルマリンやグリオキシル酸、テトラヒドロホウ酸カリウム、ジメチルアミンボランなど還元剤、EDTAやジエチレントリアミン5酢酸、ロシェル塩、グリセロール、メソーエリトリトール、アドニール、D−マンニトール、D−ソルビトール、ズルシトール、イミノ2酢酸、trans−1,2−シクロヘキサンジアミン4酢酸、1,3−ジアミノプロパンー2−オール、グリコールエーテルジアミン、トリイソプロパノールアミン、トリエタノールアミン等の銅の錯化剤、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムなどのpH調整剤などが含有される。更にその他に浴の安定化やめっき皮膜の平滑性を向上させるための添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジル、o−フェナントロリン、ネオクプロイン、チオ尿素、シアン化物などを含有させることもできる。めっき液は安定性を増すためエアレーションを行うことが好ましい。   The electroless copper plating solution in the present invention includes copper sources such as copper sulfate and copper chloride, reducing agents such as formalin, glyoxylic acid, potassium tetrahydroborate, and dimethylamine borane, EDTA, diethylenetriaminepentaacetic acid, Rochelle salt, glycerol, Soerythritol, Adenyl, D-mannitol, D-sorbitol, dulcitol, iminodiacetic acid, trans-1,2-cyclohexanediaminetetraacetic acid, 1,3-diaminopropan-2-ol, glycol ether diamine, triisopropanolamine, tri It contains a copper complexing agent such as ethanolamine, a pH adjusting agent such as sodium hydroxide, potassium hydroxide and lithium hydroxide. In addition, polyethylene glycol, yellow blood salt, bipyridyl, o-phenanthroline, neocuproine, thiourea, cyanide, and the like can also be added as additives for improving bath stabilization and plating film smoothness. The plating solution is preferably aerated to increase stability.

無電解銅めっきでは前述の通り種々の錯化剤を用いることができるが、錯化剤の種類により酸化銅が共析し、導電性に大きく影響したり、或いはトリエタノールアミンなど銅イオンとの錯安定定数の低い錯化剤は銅が沈析しやすいため、安定しためっき液やめっき補充液が作り難いなどということが知られている。従って工業的に通常用いられる錯化剤は限られており、本発明においても同様の理由でめっき液の組成として特に錯化剤の選択は重要である。特に好ましい錯化剤としては銅錯体の安定定数の大きいEDTAやジエチレントリアミン5酢酸などが挙げられ、このような好ましい錯化剤を用いためっき液としては例えばプリント基板の作製に使用される高温タイプの無電解銅めっきがある。高温タイプの無電解銅めっきの手法については「無電解めっき 基礎と応用」(電気鍍金研究会編)p105などに詳しく記載されている。高温タイプのめっきでは通常60〜70℃で処理し、処理時間は無電解めっき後に電解めっきを施すかどうかで変わってくるが、通常1〜30分、好ましくは3〜20分無電解めっき処理を行うことで本発明の目的を達することができる。   As described above, various complexing agents can be used in electroless copper plating. However, copper oxide co-deposits depending on the type of complexing agent, which greatly affects the conductivity, or with copper ions such as triethanolamine. It is known that a complexing agent having a low complex stability constant tends to precipitate copper, making it difficult to produce a stable plating solution or plating replenisher. Therefore, the complexing agents usually used industrially are limited, and in the present invention, the selection of the complexing agent is particularly important as the composition of the plating solution for the same reason. Particularly preferable complexing agents include EDTA and diethylenetriaminepentaacetic acid, which have a large stability constant of copper complex. Examples of plating solutions using such a complexing agent include high-temperature types used in the production of printed circuit boards. There is electroless copper plating. The method of high-temperature type electroless copper plating is described in detail in “Electroless plating basics and applications” (ed. In high-temperature type plating, the treatment is usually performed at 60 to 70 ° C., and the treatment time varies depending on whether or not the electrolytic plating is performed after the electroless plating. Usually, the electroless plating treatment is performed for 1 to 30 minutes, preferably 3 to 20 minutes. By doing so, the object of the present invention can be achieved.

本発明において銅以外の無電解めっき処理を行う場合は例えば「めっき技術ガイドブック」(東京鍍金材料協同組合技術委員会編、1987年)p406〜432記載の方法などを用いることができる。   When electroless plating treatment other than copper is performed in the present invention, for example, a method described in “Plating Technology Guidebook” (edited by Tokyo Sheet Metal Cooperative Technical Committee, 1987) p406 to 432 can be used.

本発明においては電解めっきを施すこともできる。電解めっき法としては銅めっき、ニッケルめっき、亜鉛めっき、スズめっき等の公知のめっき方法を用いることができ、その方法として例えば「めっき技術ガイドブック」(東京鍍金材料協同組合技術委員会編、1987年)記載の方法を用いることができる。どのめっき法を用いるかは製造する導電性材料の用途によって異なるが、導電性を更に高めるためにめっきする場合、銅めっきやニッケルめっきが好ましい。銅めっきのめっき法として好ましい方法としては硫酸銅浴めっき法やピロリン酸銅浴めっき法、ニッケルめっき法としてはワット浴めっき法、黒色めっき法などが好ましい。   In the present invention, electrolytic plating can also be applied. As the electroplating method, a known plating method such as copper plating, nickel plating, zinc plating, tin plating or the like can be used. As the method, for example, “Plating Technology Guidebook” (edited by Tokyo Sheet Metal Cooperative Association Technical Committee, 1987). (Year) described method can be used. Which plating method is used depends on the use of the conductive material to be manufactured, but when plating is performed in order to further increase the conductivity, copper plating or nickel plating is preferable. Preferred examples of the copper plating method include a copper sulfate bath plating method and a copper pyrophosphate bath plating method, and preferred nickel plating methods include a Watt bath plating method and a black plating method.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、無論この記述により本発明が制限されるものではない。尚記載中、特に断りのない限り、%は質量%を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but it is needless to say that the present invention is not limited by this description. In the description, unless otherwise specified,% represents mass%.

銀塩拡散転写法を利用する導電性材料前駆体を以下のように作製した。透明支持体として、厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。物理現像核層を塗布する前に、このフィルムに、塩化ビニリデンからなる下引き層を塗布し、その上にゼラチン50mg/m2、ラテックス(大日本インキ化学工業社製WLS210)35質量%分散液1g/m2を含有するベース層を塗布し乾燥した。次に、硫化パラジウムからなる物理現像核層を固形分で0.4mg/m2になるように塗布し、乾燥した。続いて、ハロゲン化銀乳剤層を上記物理現像核層の上に銀換算で3.0g/m2となるように塗布、乾燥して、導電性材料前駆体をロール状に巻き取った。尚、硫化パラジウムからなる物理現像核及びハロゲン化銀乳剤層は、前述の特開2004−172041号公報の実施例1に従い作製した。 A conductive material precursor using the silver salt diffusion transfer method was prepared as follows. A 100 μm thick polyethylene terephthalate film was used as the transparent support. Before applying the physical development nucleus layer, an undercoat layer made of vinylidene chloride is applied to this film, and gelatin 50 mg / m 2 and latex (Dainippon Ink & Chemicals, Inc. WLS210) 35% by weight dispersion A base layer containing 1 g / m 2 was applied and dried. Next, a physical development nucleus layer made of palladium sulfide was applied to a solid content of 0.4 mg / m 2 and dried. Subsequently, the silver halide emulsion layer was coated on the physical development nucleus layer so as to be 3.0 g / m 2 in terms of silver and dried, and the conductive material precursor was wound into a roll. A physical development nucleus and a silver halide emulsion layer made of palladium sulfide were prepared according to Example 1 of the aforementioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-172041.

このようにして得た前駆体ロール500mを水銀灯を光源とする密着プリンターで400nm以下の光をカットする樹脂フィルターを介し、細線幅20μmで格子間隔250μmの網目パターンを有する50cm四方の透過原稿による密着露光を500m処理した。尚、露光パターンは後に行うめっき処理工程が可能なように、パターン間を20mm幅、長さ50mmの銀画像を2箇所設けて繋いでいる。その後下記現像液中に20℃で90秒間浸漬した後、続いて40℃の温水で水洗し、乾燥処理した。このようにして網目パターン状に銀薄膜が形成された500mのロール状の導電性材料ロールを得た。   The precursor roll 500 m thus obtained is adhered by a 50 cm square transmission original having a mesh pattern with a fine line width of 20 μm and a lattice interval of 250 μm through a resin filter that cuts light of 400 nm or less with a contact printer using a mercury lamp as a light source. The exposure was processed for 500 m. The exposed pattern is connected by providing two silver images having a width of 20 mm and a length of 50 mm between the patterns so that a plating process performed later can be performed. Thereafter, the film was immersed in the following developer at 20 ° C. for 90 seconds, then washed with warm water at 40 ° C. and dried. Thus, a 500-m roll conductive material roll having a silver thin film formed in a mesh pattern was obtained.

<現像液>
水酸化カリウム 25g
ハイドロキノン 18g
1−フェニル−3−ピラゾリドン 2g
亜硫酸カリウム 80g
N−メチルエタノールアミン 15g
臭化カリウム 1.2g
水を加えて全量を1000mlとし、pH=12.2に調整する。
<Developer>
Potassium hydroxide 25g
Hydroquinone 18g
1-phenyl-3-pyrazolidone 2g
Potassium sulfite 80g
N-methylethanolamine 15g
Potassium bromide 1.2g
Add water to bring the total volume to 1000 ml and adjust to pH = 12.2.

図2の後処理装置において、上記のようにして得られた網目パターン状銀薄膜が形成された500m巻の各導電性材料ロール1は、巻出し軸2から巻出されて搬送されつつ、後処理部4で表1に示す後処理液に60℃90秒浸漬する後処理を行い、水洗部5で20℃の純水で水洗され、乾燥部6で60℃の温風により水分を乾燥して巻取り軸9に巻き取られる。後処理液毎に導電性材料ロール500m巻をそれぞれ処理し、導電性材料A1〜A3を得た。   In the post-processing apparatus shown in FIG. 2, each conductive material roll 1 having a volume of 500 m on which the mesh-patterned silver thin film obtained as described above is formed is unwound from the unwinding shaft 2 and conveyed. The post-treatment is carried out by immersing in the post-treatment liquid shown in Table 1 at 60 ° C. for 90 seconds in the processing unit 4, washed with pure water at 20 ° C. in the water washing unit 5, and dried with warm air at 60 ° C. in the drying unit 6 And wound on the winding shaft 9. Conductive material roll 500m winding was processed for each post-treatment liquid to obtain conductive materials A1 to A3.

比較例として図4に示す、後処理槽による浸漬処理の間、銀画像面がロールに接触した状態で搬送させて後処理を行う後処理装置を用いること以外は導電性材料A1〜A3と同様として、導電性材料A4〜A6を作製した。   As a comparative example, the conductive materials A1 to A3 are the same as those shown in FIG. 4 except that a post-processing apparatus that performs post-processing by transporting the silver image surface in contact with the roll during the immersion processing in the post-processing tank is used. As a result, conductive materials A4 to A6 were produced.

Figure 2008251275
Figure 2008251275

上記のようにして得られた網目パターン状銀薄膜が形成された導電性材料の表面抵抗率は、(株)ダイアインスツルメンツ製、ロレスタ−GP/ESPプローブを用いて、JIS K 7194に従い測定した。得られた結果を表2にまとめた。尚、測定に用いたサンプルは、前記A1〜A6各々500mロールの最初の網目パターンである。   The surface resistivity of the conductive material on which the mesh-patterned silver thin film obtained as described above was formed was measured according to JIS K 7194 using a Loresta-GP / ESP probe manufactured by Dia Instruments Co., Ltd. The results obtained are summarized in Table 2. In addition, the sample used for the measurement is the first mesh pattern of 500 m rolls for each of A1 to A6.

更に網目パターン状銀薄膜が形成された導電性材料を60℃の加温庫に1週間入れ、その後の表面抵抗値を測定した。得られた結果は加温前の表面抵抗値を100%として元の何%まで落ちたかという値で同じく表2に示す。尚、測定に用いたサンプルは、前記A1〜A6各々500mロールの最初の網目パターンである。   Further, the conductive material on which the mesh-patterned silver thin film was formed was placed in a heating chamber at 60 ° C. for 1 week, and the subsequent surface resistance value was measured. The obtained results are also shown in Table 2 in terms of the value of how many percent of the original surface resistance value before heating was taken as 100%. In addition, the sample used for the measurement is the first mesh pattern of 500 m rolls for each of A1 to A6.

上記導電性材料A1〜A6を下記ニッケルめっき液を使って温度45℃、電流密度4A/dm2にてニッケルめっきを行った。得られた導電性材料の網目パターン細線幅をデジタルマイクロスコープ((株)ハイロックス製KH−3000)で撮影し、細線の幅を測定した。測定は500m巻の各導電性材料の最初の網目パターンと最後の網目パターンである。50cm四方のサンプルについて、各々10点測定してその線幅振れの範囲をめっき後線幅として表2に併せて示す。 The conductive materials A1 to A6 were subjected to nickel plating at a temperature of 45 ° C. and a current density of 4 A / dm 2 using the following nickel plating solution. The mesh pattern fine line width of the obtained conductive material was photographed with a digital microscope (KH-3000 manufactured by Hilox Co., Ltd.), and the width of the fine line was measured. The measurement is the first mesh pattern and the last mesh pattern of each conductive material of 500 m. Each sample of 50 cm square is measured at 10 points, and the range of line width fluctuation is shown in Table 2 as the line width after plating.

<ニッケルめっき液処方>
硫酸ニッケル 240g/リットル
塩化ニッケル 45g/リットル
硼酸 30g/リットル
pH=4.5
<Prescription of nickel plating solution>
Nickel sulfate 240 g / liter Nickel chloride 45 g / liter Boric acid 30 g / liter pH = 4.5

Figure 2008251275
Figure 2008251275

表2の結果から、還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物、水溶性ハロゲン化物を含有する後処理液で処理する際、導電性材料の銀画像面を非接触の状態で搬送し、処理することで、導電性と保存安定性が高く、更にめっき後の網目パターン細線幅が安定した導電性材料が得られた。   From the results in Table 2, when processing with a post-treatment liquid containing a reducing substance, a water-soluble phosphorus oxoacid compound, and a water-soluble halide, the silver image surface of the conductive material is conveyed and processed in a non-contact state. Thus, a conductive material having high conductivity and storage stability and having a stable mesh pattern fine line width after plating was obtained.

図3の後処理装置を用いて、次のような処理を行った。図3の後処理装置は、ロールtoロールで処理されるようにロール状の該導電性材料の巻出し部16と、該導電性材料をシャワーノズルで後処理する後処理部4と、該導電性材料を水洗処理するための水洗部5と、乾燥部6と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部18とを有する。   The following processing was performed using the post-processing apparatus of FIG. The post-processing apparatus in FIG. 3 includes a roll-shaped conductive material unwinding section 16 so as to be processed by a roll-to-roll, a post-processing section 4 for post-processing the conductive material with a shower nozzle, and the conductive material. The water-washing part 5 for carrying out the water-washing process of the property material, the drying part 6, and the winding-up part 18 for winding up the dried electroconductive material in roll shape are provided.

直接現像後に定着処理する導電性材料前駆体を以下のように作製した。透明支持体として、厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。このフィルムに、塩化ビニリデンからなる下引き層を塗布し、その上にゼラチン50mg/m2を含有するベース層を塗布し乾燥した。次に、前述のハロゲン化銀乳剤にゼラチン1g、硬膜剤(グリオキサール40%水溶液)50mgを添加し、銀換算で3.0g/m2となるように塗布、乾燥して、導電性材料前駆体をロール状に巻き取った。 A conductive material precursor to be fixed after direct development was prepared as follows. A 100 μm thick polyethylene terephthalate film was used as the transparent support. An undercoat layer made of vinylidene chloride was applied to the film, and a base layer containing 50 mg / m 2 of gelatin was applied thereon and dried. Next, 1 g of gelatin and 50 mg of a hardener (glyoxal 40% aqueous solution) are added to the above-described silver halide emulsion, and the resultant is applied and dried so as to be 3.0 g / m 2 in terms of silver. The body was rolled up.

このようにして得た前駆体ロール500mを水銀灯を光源とする密着プリンターで400nm以下の光をカットする樹脂フィルターを介し、細線幅20μmで格子間隔250μmの網目パターンを有する50cm四方の透過原稿による密着露光を500m処理した。尚、露光パターンは後に行うめっき処理工程が可能なように、パターン間を20mm幅、長さ50mmの銀画像を2箇所設けて繋いでいる。その後、特開2004−221564号公報の実施例1に記載の現像液及び定着液を用いて、現像処理して、網目パターン状に銀薄膜が形成された500mの導電性材料ロールを得た。   The precursor roll 500 m thus obtained is adhered by a 50 cm square transmission original having a mesh pattern with a fine line width of 20 μm and a lattice interval of 250 μm through a resin filter that cuts light of 400 nm or less with a contact printer using a mercury lamp as a light source. The exposure was processed for 500 m. The exposed pattern is connected by providing two silver images having a width of 20 mm and a length of 50 mm between the patterns so that a plating process performed later can be performed. Thereafter, development processing was performed using the developer and the fixing solution described in Example 1 of JP-A-2004-221564 to obtain a 500 m conductive material roll having a silver thin film formed in a mesh pattern.

図3の後処理装置において、上記のようにして得られた網目パターン状銀薄膜が形成された500m巻の各導電性材料ロール1は、巻出し軸2から巻出されて搬送されつつ、後処理槽20で表1に示す後処理液が60℃60秒シャワーノズルより噴出されて後処理が行われ、水洗部5で20℃の純水で水洗され、乾燥部6で60℃の温風により水分を乾燥して巻取り軸9に巻き取られる。後処理液毎に導電性材料ロール500m巻を各1本ずつ処理して導電性材料B1〜B3を作製した。これを評価し、表3のような結果を得た。   In the post-processing apparatus of FIG. 3, each conductive material roll 1 having a volume of 500 m on which the mesh-patterned silver thin film obtained as described above is formed is unwound from the unwinding shaft 2 and conveyed. The post-treatment liquid shown in Table 1 is ejected from the shower nozzle at 60 ° C. for 60 seconds in the treatment tank 20, and the water is washed with pure water at 20 ° C. in the water washing section 5, and warm air at 60 ° C. in the drying section 6. Thus, moisture is dried and wound on the winding shaft 9. Conductive material B1-B3 was produced by processing one 500 m roll of conductive material roll for each post-treatment liquid. This was evaluated and the results shown in Table 3 were obtained.

比較として図5に示す、後処理槽20によるシャワーノズル処理の間、銀画像面が入口、出口ロールにて接触した状態で搬送させて後処理を行う後処理装置により、導電性材料B4〜B6を作製した。これを実施例1と同様に評価し、その結果表3のような結果を得た。   As a comparison, during the shower nozzle processing by the post-processing tank 20 shown in FIG. 5, the conductive materials B4 to B6 are processed by a post-processing device that performs post-processing by carrying the silver image surface in contact with the inlet and outlet rolls. Was made. This was evaluated in the same manner as in Example 1, and as a result, the results shown in Table 3 were obtained.

Figure 2008251275
Figure 2008251275

表3の結果から、還元性物質、水溶性リンオキソ酸化合物、水溶性ハロゲン化物を含有する後処理液で処理する際、導電性材料の銀画像面を非接触の状態で搬送し、処理することで、導電性と保存安定性が高く、更にめっき後の網目パターン細線幅が安定した導電性材料が得られた。   From the results in Table 3, when processing with a post-treatment liquid containing a reducing substance, a water-soluble phosphorus oxoacid compound, and a water-soluble halide, the silver image surface of the conductive material is conveyed and processed in a non-contact state. Thus, a conductive material having high conductivity and storage stability and having a stable mesh pattern fine line width after plating was obtained.

本発明の処理方法及び処理装置によって得られる導電性パターンは、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等の用途に用いられる導電性材料等に利用可能である。   The conductive pattern obtained by the processing method and processing apparatus of the present invention can be used for conductive materials used for applications such as electromagnetic wave shielding films and touch panels.

本発明の後処理装置の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of the post-processing apparatus of the present invention 本発明の後処理装置の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of the post-processing apparatus of the present invention 本発明の後処理装置の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of the post-processing apparatus of the present invention 従来の後処理装置の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of a conventional post-processing apparatus 従来の後処理装置の一例を示す概略断面図Schematic sectional view showing an example of a conventional post-processing apparatus 本発明の後処理工程を処理する工程順を示す概念図The conceptual diagram which shows the process order which processes the post-process of this invention

符号の説明Explanation of symbols

1 導電性材料ロール
2 巻出し軸
3 張力制御手段
4 後処理部
5 水洗部
6 乾燥部
8 巻取りロール
9 巻取り軸
11 反転ローラー
13 後処理槽
14 後処理液
15 ローラー
16 巻出し部
17 ローラー洗浄タブ
18 巻取り部
19 吹き出しノズル
21 第1水洗槽
22 第2水洗槽
23 シャワーノズル
27 水洗水
31 ローラー
39 ローラー対
42 循環ポンプ
43 フィルター
50 オーバーフロー口
61 シャワーノズル
63 エアナイフ
F 導電性材料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conductive material roll 2 Unwinding shaft 3 Tension control means 4 Post-processing part 5 Water washing part 6 Drying part 8 Winding roll 9 Winding shaft 11 Reverse roller 13 Post-processing tank 14 Post-processing liquid 15 Roller 16 Unwinding part 17 Roller Washing tab 18 Winding part 19 Outlet nozzle 21 First washing tank 22 Second washing tank 23 Shower nozzle 27 Washing water 31 Roller 39 Roller pair 42 Circulation pump 43 Filter 50 Overflow port 61 Shower nozzle 63 Air knife F Conductive material

Claims (3)

支持体上に少なくとも1層のハロゲン化銀乳剤層を有する導電性材料前駆体を露光、現像処理し、銀画像を形成した導電性材料の処理方法であって、下記(I)〜(III)のいずれかに記載の化合物を少なくとも1種類以上含有する処理液で処理する際、該導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理方法。
(I) 還元性物質
(II) 水溶性リンオキソ酸化合物
(III) 水溶性ハロゲン化物
A method for treating a conductive material obtained by exposing and developing a conductive material precursor having at least one silver halide emulsion layer on a support to form a silver image, wherein the following (I) to (III): When processing with the processing liquid containing at least 1 or more types of compound in any one of these, the surface which has the silver image of this electroconductive material is conveyed and processed in non-contact, The process of the electroconductive material characterized by the above-mentioned Method.
(I) Reducing substance (II) Water-soluble phosphorus oxoacid compound (III) Water-soluble halide
請求項1記載の導電性材料の処理方法に用いられる処理装置であって、ロール状の該導電性材料を保持する巻出し部と、該導電性材料を該処理液で処理する処理部と、乾燥部と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部とを少なくとも有し、前記導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、前記導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理装置。   A processing apparatus used in the method for processing a conductive material according to claim 1, wherein an unwinding unit that holds the conductive material in a roll shape, a processing unit that processes the conductive material with the processing liquid, It has at least a drying unit and a winding unit for winding the dried conductive material into a roll shape, from the time when the conductive material enters the processing unit treatment tank until it enters the washing unit washing tank. In the meantime, the conductive material processing apparatus is characterized in that the surface having the silver image of the conductive material is conveyed and processed in a non-contact manner. 請求項1記載の導電性材料の処理方法に用いられる処理装置であって、ロール状の該導電性材料前駆体を保持する巻出し部と、該導電性材料前駆体を現像液で現像処理する現像部と、該導電性材料前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗部と、乾燥部と、該導電性材料を該処理液で処理する処理部と、乾燥部と、乾燥された導電性材料をロール状に巻き取るための巻取り部とを少なくとも有し、前記導電性材料が処理部処理槽に浸入した時点から水洗部水洗槽に浸入するまでの間は、前記導電性材料の銀画像を有する面を非接触で搬送し、処理することを特徴とする導電性材料の処理装置。   A processing apparatus for use in the conductive material processing method according to claim 1, wherein a roll-out portion that holds the conductive material precursor in a roll shape and the conductive material precursor is developed with a developer. A developing unit, a washing unit for removing the silver halide emulsion layer of the conductive material precursor, a drying unit, a processing unit for treating the conductive material with the processing solution, and a drying unit. A winding part for winding the conductive material into a roll shape, and the conductive material is in a period from the time when the conductive material enters the treatment tank to the time when it enters the washing tank. A conductive material processing apparatus for transporting and processing a surface having a silver image of a material in a non-contact manner.
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